JP2009175150A - 被検査体の検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】コーティング検査装置10は、紫外光を受けた基板1のコーティングからの蛍光を受光して紫外光画像を生成し、可視光を受けた基板1からの反射光を受光して可視光画像を生成する。コーティング検査装置10は、可視光画像に基づいて基板1の位置を特定し、生成した画像のうち少なくとも紫外光画像とに基づいて基板1のコーティングを検査する。特定された基板1の位置を用いて被検査画像の位置を補正したうえでコーティングを検査してもよい。
【選択図】図1
Description
Claims (7)
- 紫外光を受けて蛍光を発するコーティングで表面の少なくとも一部が被覆された被検査体の検査装置であって、
紫外光源と、
可視光源と、
紫外光を受けた被検査体からの蛍光を受光して紫外光画像を生成し、可視光を受けた被検査体からの反射光を受光して可視光画像を生成する撮像部と、
可視光画像に基づいて被検査体の位置情報を特定する位置特定部と、
前記位置特定部により特定された被検査体の位置情報と、前記撮像部が生成した画像のうち少なくとも紫外光画像とに基づいて被検査体のコーティングを検査する検査部と、を備えることを特徴とする検査装置。 - 前記検査部は、特定された被検査体の位置情報を用いて被検査画像の位置を補正したうえでコーティングを検査することを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- 前記検査部は、紫外光画像及び可視光画像それぞれの対応する画素の輝度の差を各画素の輝度とする被検査画像に基づいてコーティングを検査することを特徴とする請求項1または2に記載の検査装置。
- 前記可視光源は、紫外光を受けたコーティングが発する蛍光と同一のスペクトルを有する可視光を放射することを特徴とする請求項3に記載の検査装置。
- 紫外光を受けた基準部材が発する蛍光の強度に基づいて紫外光画像のシェーディング補正をするシェーディング補正部をさらに備えることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の検査装置。
- 前記シェーディング補正部は、可視光を受けた前記基準部材からの反射光の強度に基づいて可視光画像のシェーディング補正をすることを特徴とする請求項5に記載の検査装置。
- 前記検査部は、可視光画像に基づいて被検査体上の異物を検査することを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の検査装置。
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