JP2009172703A - 微小加工装置用プローブおよび微小加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 カンチレバー22と、カンチレバー姿勢維持機構30と、カンチレバー22および前記カンチレバー姿勢維持機構30に設けられた接触検知機構10と、カンチレバー22の基端部を先端部が自由端となるように片持ち状態で固定する本体部23と、を備え、カンチレバー22の先端には、尖鋭化された探針部21がカンチレバー22上から突出して設けられている微小加工装置用プローブとした。
【選択図】 図2
Description
3 試料移動手段
4 駆動装置
5 加振電源
500 加振手段
6、60 変位検出手段
7 コンピュータ
8 接触検出手段
9 試料支持部
10 接触検知機構
20、201 プローブ
21 探針部
22 カンチレバー
23 本体部
24 スリット
30、30a、30b カンチレバー姿勢維持機構
31 拘束部
28 絶縁層
40 ピエゾ抵抗素子
41、42 ピエゾ抵抗素子用電極配線
100 試料
Claims (8)
- カンチレバーと、
前記カンチレバーの先端に設けられ、先鋭化された探針部と、
前記カンチレバーの近傍に設けられたカンチレバー姿勢維持機構と、
前記カンチレバーおよび前記カンチレバー姿勢維持機構の少なくとも一方に設けられた接触検知機構と、
を有していることを特徴とする微小加工装置用プローブ - 前記カンチレバー姿勢維持機構は、前記カンチレバーの幅方向両側のそれぞれにおいて該カンチレバーの下面に対向するように、前記カンチレバーの長手方向に沿って延びていることを特徴とする請求項1に記載の微小加工装置用プローブ。
- 前記接触検知機構は、前記カンチレバーおよび前記カンチレバー姿勢維持機構のそれぞれに設けられ、前記カンチレバーが撓むことにより該カンチレバーに設けられた接触検知機構と前記カンチレバー姿勢維持機構に設けられた接触検知機構が接触する状態に形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の微小加工装置用プローブ。
- 前記カンチレバーの基端部に撓み易い応力集中部を有していることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の微小加工装置用プローブ
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の微小加工装置用プローブと、
前記探針部を試料の被測定面に接近させて試料表面を走査することにより試料表面形状に応じて変位する前記探針部の変位データを検出する変位検出手段と、
前記探針部を前記試料表面に平行で互いに直交する二方向及び前記試料表面に垂直な方向に前記試料に対して相対的に移動させる移動手段と、
を備える微小加工装置。 - 前記探針部を任意の周波数で共振または強制振動させる加振手段をさらに備え、
前記変位検出手段は、前記探針部の振動状態を検出する請求項5に記載の微小加工装置。 - 前記変位検出手段が、前記カンチレバー内に設けられた変位検出部に接続されている請求項5または請求項6に記載の微小加工装置。
- 前記変位検出部はピエゾ抵抗素子である請求項7に記載の微小加工装置。
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