JP5148302B2 - 微小加工装置用プローブおよび微小加工装置 - Google Patents
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Description
3 試料移動手段
4 駆動装置
5 加振電源
500 加振手段
6、60 変位検出手段
7 コンピュータ
8 接触検出手段
9 試料支持部
10 接触検知機構
20、201 プローブ
21 探針部
22 カンチレバー
23 本体部
24 スリット
30、30a、30b カンチレバー姿勢維持機構
31 拘束部
28 絶縁層
40 ピエゾ抵抗素子
41、42 ピエゾ抵抗素子用電極配線
100 試料
Claims (7)
- カンチレバーと、
前記カンチレバーの先端に設けられ、先鋭化された探針部と、
前記カンチレバーの近傍に設けられたカンチレバー姿勢維持機構と、
前記カンチレバーおよび前記カンチレバー姿勢維持機構のそれぞれに設けられた接触検知機構と、
を有し、
前記接触検知機構は、前記カンチレバーが撓むことにより該カンチレバーに設けられた接触検知機構と前記カンチレバー姿勢維持機構に設けられた接触検知機構が接触する状態に形成されていることを特徴とする微小加工装置用プローブ。 - 前記カンチレバー姿勢維持機構は、前記カンチレバーの幅方向両側のそれぞれにおいて該カンチレバーの上面に対向するように、前記カンチレバーの長手方向に沿って延びていることを特徴とする請求項1に記載の微小加工装置用プローブ。
- 前記カンチレバーの基端部に撓み易い応力集中部を有していることを特徴とする請求項1又は2に記載の微小加工装置用プローブ
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の微小加工装置用プローブと、
前記探針部を試料の被測定面に接近させて試料表面を走査することにより試料表面形状に応じて変位する前記探針部の変位データを検出する変位検出手段と、
前記探針部を前記試料表面に平行で互いに直交する二方向及び前記試料表面に垂直な方向に前記試料に対して相対的に移動させる移動手段と、
を備える微小加工装置。 - 前記探針部を任意の周波数で共振または強制振動させる加振手段をさらに備え、
前記変位検出手段は、前記探針部の振動状態を検出する請求項4に記載の微小加工装置。 - 前記変位検出手段が、前記カンチレバー内に設けられた変位検出部に接続されている請求項4または請求項5に記載の微小加工装置。
- 前記変位検出部はピエゾ抵抗素子である請求項6に記載の微小加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008012628A JP5148302B2 (ja) | 2008-01-23 | 2008-01-23 | 微小加工装置用プローブおよび微小加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008012628A JP5148302B2 (ja) | 2008-01-23 | 2008-01-23 | 微小加工装置用プローブおよび微小加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009172703A JP2009172703A (ja) | 2009-08-06 |
JP5148302B2 true JP5148302B2 (ja) | 2013-02-20 |
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ID=41028400
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2008012628A Expired - Fee Related JP5148302B2 (ja) | 2008-01-23 | 2008-01-23 | 微小加工装置用プローブおよび微小加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5148302B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6241402B2 (ja) * | 2014-10-06 | 2017-12-06 | Jfeスチール株式会社 | 接触検知装置、接触検知方法および疵検出器 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2653575B2 (ja) * | 1991-08-30 | 1997-09-17 | 株式会社東芝 | カンチレバー体及びこれを用いた表面修正装置 |
WO1997009584A1 (en) * | 1995-09-01 | 1997-03-13 | International Business Machines Corporation | Cantilever with integrated deflection sensor |
US6884999B1 (en) * | 2000-10-24 | 2005-04-26 | Advanced Micro Devices, Inc. | Use of scanning probe microscope for defect detection and repair |
JP4426730B2 (ja) * | 2001-01-12 | 2010-03-03 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | マスクの黒欠陥修正方法 |
JP2002333395A (ja) * | 2001-05-10 | 2002-11-22 | Canon Inc | 走査型プローブを備えた情報検出装置、該情報検出装置を用いて構成した加工装置、表面観察装置、及び走査型プローブを備えた情報検出方法 |
JP3908526B2 (ja) * | 2001-12-10 | 2007-04-25 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | フォトマスクの欠陥修正方法 |
JP4361403B2 (ja) * | 2004-03-15 | 2009-11-11 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | 加工用プローブ |
JP2005266650A (ja) * | 2004-03-22 | 2005-09-29 | Sii Nanotechnology Inc | スクラッチ修正加工方法及びそれに用いるspm |
JP2006258429A (ja) * | 2005-03-15 | 2006-09-28 | Sii Nanotechnology Inc | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP4676237B2 (ja) * | 2005-04-12 | 2011-04-27 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | Afmを用いたフォトマスク欠陥修正装置及び方法 |
JP4559928B2 (ja) * | 2005-08-11 | 2010-10-13 | セイコーインスツル株式会社 | カンチレバー |
JP2007320017A (ja) * | 2006-06-05 | 2007-12-13 | Sii Nanotechnology Inc | 原子間力顕微鏡微細加工装置を用いた加工方法 |
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Publication number | Publication date |
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JP2009172703A (ja) | 2009-08-06 |
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RD01 | Notification of change of attorney |
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RD01 | Notification of change of attorney |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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