JP2009168992A - ポジ型感光性重合体組成物 - Google Patents

Abstract

【課題】高い感放射線感度を有し、高透明性、低誘電率性、高耐溶剤性、高耐水性、高耐酸性、高耐アルカリ性、高耐熱性、下地との密着性等に優れ、アルカリ水溶液で現像することにより得られるパターニングされた重合体膜の形成に有用なポジ型感光性重合体組成物を提供する。
【解決手段】（メタ）アクリロイル基と末端がアルコキシであるポリアルキレングリコール基とを有するラジカル重合性モノマー（ａ１）を含むモノマーのラジカル重合による共重合体と１，２−キノンジアジド化合物とを含有し、モノマー（ａ１）を含まないモノマーのラジカル重合による共重合体をさらに含有してもよいポジ型感光性重合体組成物を提供する。
【選択図】なし

Description

本発明は、レジスト分野等で利用可能なポジ型感光性重合体組成物に関する。

パターニングされた透明膜は、スペーサー、絶縁膜、保護膜等表示素子の多くの部分で使用されており、これまでに多くのポジ型感光性重合体組成物がこの用途に提案されてきた（例えば、特許文献１〜３参照。）。また、４−ヒドロキシスチレンをモノマーとする重合体を含有するポジ型感光性重合体組成物が知られている（例えば特許文献４参照。）。

一般に、薄膜トランジスタ型液晶表示素子や固体撮像素子等の電子部品には、層状に配置される配線の間を絶縁するために絶縁膜が設けられている。絶縁膜を形成する材料としては、必要とするパターン形状の絶縁膜を得るための工程数が少ないポジ型感光性重合体組成物が幅広く使用されている。ポジ型感光性重合体組成物は絶縁膜を形成する過程において製造時間を短縮する為に高感度化が求められている。また、ポジ型感光性重合体組成物は、絶縁膜を形成する過程において広いプロセスマージンを有することが必要である。さらに、ポジ型感光性重合体組成物を用いた絶縁膜や表示素子は、製造後工程において、溶剤、酸、アルカリ溶液等に浸漬等によって接触すること及び熱処理されることが不可欠である。
特開昭５１−３４７１１号公報 特開昭５６−１２２０３１号公報 特開平５−１６５２１４号公報 特公昭５２−４１０５０号公報

このような状況の下、高い感放射線感度を有し、高耐溶剤性、高耐水性、高耐酸性、高耐アルカリ性、高耐熱性、高透明性、低誘電率性、下地との密着性等に優れ、アルカリ水溶液で現像することにより得られるパターニングされた重合体膜、すなわちパターニングされた透明膜（パターン状透明膜）を形成できるポジ型感光性重合体組成物等が求められている。

同様にして、高耐溶剤性、高耐水性、高耐酸性、高耐アルカリ性、高耐熱性、高透明性、低誘電率性、下地との密着性等に優れたパターニング状透明膜や絶縁膜、表示素子等も求められている。

本発明者等は、下記式（Ｉ）で表されるラジカル重合性モノマー（ａ１）と他のラジカル重合性モノマー（ａ２）を重合して得られる共重合体（Ａ）及び１、２−キノンジアジド化合物（Ｂ）を含有するポジ型感光性重合体組成物を見出し、この知見に基づいて本発明を完成した。本発明は以下の項を含む。

１） 下記式（Ｉ）で表されるラジカル重合性モノマー（ａ１）及びその他のラジカル重合性モノマー（ａ２）を重合して得られる共重合体（Ａ）と、１，２−キノンジアジド化合物（Ｂ）とを含有する感光性重合体組成物。

式（Ｉ）中、Ｒ¹は水素、又は任意の水素がフッ素で置き換えられてもよい炭素数１〜５のアルキルを表し、Ｒ²は炭素数１〜５のアルキレンを表し、Ｒ³は炭素数１〜１０のアルキルを表し、ｎは１〜３０の整数を表す。

２） 前記ラジカル重合性モノマー（ａ１）が、メトキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、エトキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、メトキシポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート、及びエトキシポリプロピレングリコール（メタ）アクリレートから選ばれる１種以上であることを特徴とする１）に記載の感光性重合体組成物。

３） 前記ラジカル重合性モノマー（ａ２）が、不飽和カルボン酸を有するラジカル重合性モノマー、不飽和カルボン酸無水物を有するラジカル重合性モノマー、フェノール性ＯＨを有するラジカル重合性モノマー、エポキシを有するラジカル重合性モノマー、下記式（ＩＩＩ）で表されるラジカル重合性モノマー、Ｎ置換マレイミドを含むラジカル重合性モノマー、及びジシクロペンタニルを含むラジカル重合性モノマーから選ばれる１種以上であることを特徴とする１）又は２）に記載の感光性重合体組成物。

式（ＩＩＩ）中、Ｒ¹²は水素、又は任意の水素がフッ素で置き換えられてもよい炭素数１〜５のアルキルを表し、Ｒ¹³、Ｒ¹⁴及びＲ¹⁵はそれぞれ、水酸基、炭素数１〜５のアルキル、炭素数１〜５のアルコキシ、又は−Ｏ（Ｓｉ（Ｃ_jＨ_2j+1）₂Ｏ）_pＳｉ（Ｃ_kＨ_2k+1）₃を表し、ｊは１〜５の整数を表し、ｋは１〜５の整数を表し、ｐは０又は１〜１０の整数を表し、ｍは１〜５の整数を表す。

４） 前記不飽和カルボン酸を有するラジカル重合性モノマーが、（メタ）アクリル酸であることを特徴とする３）に記載の感光性重合体組成物。

５） 前記不飽和カルボン酸無水物を有するラジカル重合性モノマーが無水マレイン酸であることを特徴とする３）又は４）に記載の感光性重合体組成物。

６） 前記フェノール性ＯＨを有するラジカル重合性モノマーが、ヒドロキシスチレン及び下記式（ＩＩ）で表される化合物の一方又は両方であることを特徴とする３）〜５）のいずれか一項に記載の感光性重合体組成物。

式（ＩＩ）中、Ｒ⁴、Ｒ⁵及びＲ⁶は、それぞれ、水素、又は任意の水素がフッ素で置き換えられてもよい炭素数１〜３のアルキルを表し、Ｒ⁷、Ｒ⁸、Ｒ⁹、Ｒ¹⁰及びＲ¹¹は、それぞれ、水素、ハロゲン、−ＣＮ、−ＣＦ₃、−ＯＣＦ₃、−ＯＨ、任意の−ＣＨ₂−が−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−ＣＯ−で置き換えられてもよく、また任意の水素がハロゲンで置き換えられてもよい炭素数１〜５のアルキル、又は任意の水素がハロゲンで置き換えられてもよい炭素数１〜５のアルコキシを表す。ただし、Ｒ⁷〜Ｒ¹¹のうち少なくとも１つは−ＯＨである。

７） 前記式（ＩＩ）で表される化合物が４−ヒドロキシフェニルビニルケトンであることを特徴とする６）に記載の感光性重合体組成物。

８） 前記エポキシを有するラジカル重合性モノマーが、グリシジル（メタ）アクリレート、メチルグリシジル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート、（３−メチル−３−オキセタニル）メチル（メタ）アクリレート、（３−エチル−３−オキセタニル）メチル（メタ）アクリレート、（３−メチル−３−オキセタニル）エチル（メタ）アクリレート、及び（３−エチル−３−オキセタニル）エチル（メタ）アクリレートから選ばれる１種以上であることを特徴とする３）〜７）のいずれか一項に記載の感光性重合体組成物。

９） 前記Ｎ置換マレイミドを含むラジカル重合性モノマーが、Ｎ−メチルマレイミド、Ｎ−エチルマレイミド、Ｎ−ブチルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−ベンジルマレイミド、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−（４−アセチルフェニル）マレイミド、Ｎ−（２，６−ジエチルフェニル）マレイミド、Ｎ−（４−ジメチルアミノ−３，５−ジニトロフェニル）マレイミド、Ｎ−（１−アニリノナフチル−４）マレイミド、Ｎ−［４−（２−ベンズオキサゾリル）フェニル］マレイミド、及びＮ−（９−アクリジニル）マレイミドから選ばれる１種以上であることを特徴とする３）〜８）のいずれか一項に記載の感光性重合体組成物。

１０） 前記ジシクロペンタニルを含むラジカル重合性モノマーが、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートであることを特徴とする３）〜９）のいずれか一項に記載の感光性重合体組成物。

１１） 前記１，２−キノンジアジド化合物（Ｂ）が、４，４’−［１−［４−［１−［４−ヒドロキシフェニル］−１−メチルエチル］フェニル］エチリデン］ビスフェノールと１，２−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸クロライドとの縮合物であることを特徴とする１）〜１０）のいずれか一項に記載の感光性重合体組成物。

１２） エポキシを有する化合物をさらに含有することを特徴とする１）〜１１）のいずれか一項に記載の感光性重合体組成物。

１３） 前記ラジカル重合性モノマー（ａ２）の二種以上を重合して得られる共重合体（
Ｃ）をさらに含有することを特徴とする１）〜１２）のいずれか一項に記載の感光性重合体組成物。

１４） 前記共重合体（Ｃ）における前記ラジカル重合性モノマー（ａ２）が請求項３〜１０のいずれか一項に記載のラジカル重合性モノマー（ａ２）を含むことを特徴とする１３）に記載の感光性重合体組成物。

１５） ヒンダード系フェノール酸化防止剤をさらに含有することを特徴とする１）〜１４）のいずれか一項に記載の感光性重合体組成物。

１６） １）〜１５）のいずれか一項に記載の感光性重合体組成物の塗膜への、所望のパターンに応じた開口部を有するマスクを介する露光、現像、及び焼成によって得られるパターン状透明膜。

１７） １）〜１５）のいずれか一項に記載の感光性重合体組成物の塗膜への、所望のパターンに応じた開口部を有するマスクを介する露光、現像、後露光、及び焼成によって得られるパターン状透明膜。

１８） 絶縁膜であることを特徴とする１６）又は１７）に記載のパターン状透明膜。

１９） １６）〜１８）のいずれか一項に記載のパターン状透明膜を含む表示素子。

本明細書中、アクリル酸とメタクリル酸の一方又は両者を示すために「（メタ）アクリル酸」のように表記することがある。また同様にアクリレートとメタクリレートの一方又は両者を示すために「（メタ）アクリレート」のように表記することがある。

本明細書中、「アルキル」とは、直鎖又は分岐鎖のアルキルであり、例えば、メチル、エチル、プロピル、ｎ−ブチル、ｔ−ブチル、ペンチル、ヘキシル等が挙げられる。

本発明は、特に、高い感度の感光性重合体組成物、及びそれによる透明膜、及びそれを有する表示素子を提供することができる。

＜１．本発明の感光性重合体組成物＞
本発明の感光性重合体組成物は、下記式（Ｉ）で表されるラジカル重合性モノマー（ａ１）及びその他のラジカル重合性モノマー（ａ２）を重合して得られる共重合体（Ａ）と、１，２−キノンジアジド化合物（Ｂ）とを含有する。共重合体（Ａ）は一種でも二種以上でもよい。また１，２−キノンジアジド化合物（Ｂ）も一種でも二種以上でもよい。

＜１−１．共重合体（Ａ）＞
本発明の共重合体（Ａ）は、下記式（Ｉ）で表されるラジカル重合性モノマー（ａ１）とその他のラジカル重合性モノマー（ａ２）を重合して得られる重合体である。すなわち、この共重合体（Ａ）は、ラジカル重合性モノマー（ａ１）を含むモノマーの混合物を重合させて得られる共重合体である。

前記共重合体（Ａ）において、式（Ｉ）で表されるラジカル重合性モノマー（ａ１）は一種類でも二種類以上でもよい。ラジカル重合性モノマー（ａ１）は、共重合体（Ａ）の全モノマー中、０．１〜４０重量％含有されることが、未露光部と露光部のアルカリ水溶液に対する溶解度の差を広げる、すなわち感放射線感度を高める観点から好ましく、１〜
２０重量％含有されることがより好ましい。

前記共重合体（Ａ）において、前記ラジカル重合性モノマー（ａ２）は一種類でも二種類以上でもよい。ラジカル重合性モノマー（ａ２）は、共重合体（Ａ）の全モノマー中、６０〜９９．９重量％含有されることが、本発明の感光性重合体組成物においてラジカル重合性モノマー（ａ２）による特性を発現させる観点から好ましく、８０〜９９重量％含有されることがより好ましい。

＜１−１−１．式（Ｉ）で表されるラジカル重合性モノマー（ａ１）＞
ラジカル重合性モノマー（ａ１）は下記式（Ｉ）で表される。

式（Ｉ）中、Ｒ¹は水素、又は任意の水素がフッ素で置き換えられてもよい炭素数１〜５のアルキルを表し、Ｒ²は炭素数１〜５のアルキレンを表し、Ｒ³は炭素数１〜１０のアルキルを表し、ｎは１〜３０の整数を表す。

前記ラジカル重合性モノマー（ａ１）（以降、モノマー（ａ１）と呼ぶことがある）としては、メトキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、エトキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、メトキシポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート、エトキシポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート等が挙げられる。

これらのラジカル重合性モノマー（ａ１）は、後述する本発明の透明膜において、未露光部のアルカリ水溶液に対する溶解性に比べて、露光部のアルカリ水溶液に対する溶解性を大幅に高くする観点から好ましい。すなわち、これらのラジカル重合性モノマー（ａ１）を使用することは、未露光部の現像後膜厚をほとんど変化させずに、露光部のホール等のパターンサイズを大きくすることができるため、高い感放射線感度を得る観点から好ましい。

＜１−１−２．その他のラジカル重合性モノマー（ａ２）＞
前記ラジカル重合性モノマー（ａ２）は、前記ラジカル重合性モノマー（ａ１）以外のラジカル重合性モノマーであればよく、感光性重合体組成物の用途に応じた所望の特性を発現させる観点から選ぶことができる。このようなラジカル重合性モノマー（ａ２）（以降、モノマー（ａ２）と呼ぶことがある）としては、例えば酸性基を有するラジカル重合性モノマー、エポキシを有するラジカル重合性モノマー、ケイ素を含むラジカル重合性モノマー、Ｎ置換マレイミドを含むラジカル重合性モノマー、及びジシクロペンタニルを含むラジカル重合性モノマーが挙げられる。

＜１−１−２−１．酸性基を有するラジカル重合性モノマー（ａ２）＞
前記酸性基を有するラジカル重合性モノマーは、共重合体（Ａ）が酸性基を有するように共重合体（Ａ）を構成するモノマーである。酸性基を有するラジカル重合性モノマーは、ラジカル重合性モノマー（ａ２）の全モノマー中、５〜８０重量％含有されることが、十分な現像性を発現させる観点から好ましい。

酸性基を有するラジカル重合性モノマーとしては、例えば不飽和カルボン酸を有するラジカル重合性モノマー、不飽和カルボン酸無水物を有するラジカル重合性モノマー、フェノール性ＯＨを有するラジカル重合性モノマーが挙げられる。不飽和カルボン酸を有するラジカル重合性モノマーとしては、例えば（メタ）アクリル酸が挙げられる。不飽和カルボン酸無水物を有するラジカル重合性モノマーとしては、例えば無水マレイン酸が挙げられる。フェノール性ＯＨを有するラジカル重合性モノマーとしては、例えばヒドロキシスチレン、及び下記式（ＩＩ）で表されるラジカル重合性モノマーが挙げられる。

式（ＩＩ）中、Ｒ⁴、Ｒ⁵及びＲ⁶は、それぞれ、水素、又は任意の水素がフッ素で置き換えられてもよい炭素数１〜３のアルキルを表す。Ｒ⁷、Ｒ⁸、Ｒ⁹、Ｒ¹⁰及びＲ¹¹は、それぞれ、水素、ハロゲン、−ＣＮ、−ＣＦ₃、−ＯＣＦ₃、−ＯＨ、任意の−ＣＨ₂−が−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−ＣＯ−で置き換えられてもよく、また任意の水素がハロゲンで置き換えられてもよい炭素数１〜５のアルキル、又は任意の水素がハロゲンで置き換えられてもよい炭素数１〜５のアルコキシを表す。ただし、Ｒ⁷〜Ｒ¹¹のうち少なくとも１つは−ＯＨである。

式（ＩＩ）で表されるラジカル重合性モノマーとしては、例えば４−ヒドロキシフェニルビニルケトンが挙げられる。

前述した酸性基を有するラジカル重合性モノマーの具体例は、良好なアルカリ可溶性を達成する観点から好ましい。

上記具体例の中でも、メタクリル酸、ヒドロキシスチレン、及び４−ヒドロキシフェニルビニルケトンが好ましい。メタクリル酸及びヒドロキシスチレンは入手が容易である観点から好ましい。４−ヒドロキシフェニルビニルケトンは、高耐熱性及び高透明性を示す観点から好ましい。さらにメタクリル酸は、現像時のアルカリ水溶液に対する溶解性、すなわち現像性を高める観点からより好ましい。

＜１−１−２−２．エポキシを有するラジカル重合性モノマー（ａ２）＞
前記エポキシを有するラジカル重合性モノマーは、環状エーテル基を有するラジカル重合性モノマーである。エポキシを有するラジカル重合性モノマーは、ラジカル重合性モノマー（ａ２）の全モノマー中、１０〜８０重量％含有されることが、本発明の透明膜の耐熱性を高める観点から好ましい。

エポキシを有するラジカル重合性モノマーとしては、例えばグリシジル（メタ）アクリレート、メチルグリシジル（メタ）アクリレート、α−エチルアクリル酸グリシジルエステル−３，４−エポキシシクロヘキシル（メタ）アクリレート、（３−メチル−３−オキセタニル）メチル（メタ）アクリレート、（３−エチル−３−オキセタニル）メチル（メタ）アクリレート、（３−メチル−３−オキセタニル）エチル（メタ）アクリレート、及び（３−エチル−３−オキセタニル）エチル（メタ）アクリレート等が挙げられる。これ
らのラジカル重合性モノマーは、前記透明膜における良好な耐熱性と透明性の向上の観点から好ましい。

上記具体例の中でも、グリシジル（メタ）アクリレート、メチルグリシジル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート、及び（３−エチル−３−オキセタニル）メチル（メタ）アクリレートは、入手が容易であり、また得られたパターン状透明膜の耐溶剤性、耐水性、耐酸性、耐アルカリ性、耐熱性、透明性を高める観点から好ましい。

＜１−１−２−３．ケイ素を含むラジカル重合性モノマー（ａ２）＞
前記ケイ素を含むラジカル重合性モノマーは、主鎖の一部の炭素、好ましくは主鎖の端部の炭素、がケイ素に置き換わったモノマーである。ケイ素を含むラジカル重合性モノマーは、ラジカル重合性モノマー（ａ２）の全モノマー中、１０〜８０重量％含有されることが、本発明の感光性重合体組成物における高温時の特性の劣化を抑制する観点から好ましい。

前記ケイ素を含むラジカル重合性モノマーとしては、下記式（ＩＩＩ）で表されるラジカル重合性モノマーが挙げられる。

式（ＩＩＩ）中、Ｒ¹²は水素、又は任意の水素がフッ素で置き換えられてもよい炭素数１〜５のアルキルを表す。Ｒ¹³、Ｒ¹⁴及びＲ¹⁵はそれぞれ、水酸基、炭素数１〜５のアルキル、炭素数１〜５のアルコキシ、又は−Ｏ（Ｓｉ（Ｃ_jＨ_2j+1）₂Ｏ）_pＳｉ（Ｃ_kＨ_2k+1）₃を表す。ｊは１〜５の整数を表し、ｋは１〜５の整数を表し、ｐは０又は１〜１０の整数を表し、ｍは１〜５の整数を表す。

式（ＩＩＩ）で表されるラジカル重合性モノマーは、前記透明膜において、透明性が高く、かつ高温での焼成による透明性の劣化がほとんどなくなることから好ましい。式（ＩＩＩ）で表されるラジカル重合性モノマーとしては、例えば３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、及びメタクリロイロキシプロピル−トリス−トリメチルシロキシシランが挙げられる。

＜１−１−２−４．Ｎ置換マレイミドを含むラジカル重合性モノマー（ａ２）＞
前記Ｎ置換マレイミドを含むラジカル重合性モノマーは、共重合体（Ａ）の生成において、マレイミドの二重結合がラジカル重合に供される化合物である。Ｎ置換マレイミドを含むラジカル重合性モノマーは、ラジカル重合性モノマー（ａ２）の全モノマー中、５〜７０重量％含有されていることが、前記透明膜における耐熱性及び低誘電率性を高める観点から好ましい。

前記Ｎ置換マレイミドを含むラジカル重合性モノマーとしては、例えばＮ−メチルマレイミド、Ｎ−エチルマレイミド、Ｎ−ブチルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−ベンジルマレイミド、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−（４−アセチルフェニル）マレイミド、Ｎ−（２，６−ジエチルフェニル）マレイミド、Ｎ−（４−ジメチルアミノ−
３，５−ジニトロフェニル）マレイミド、Ｎ−（１−アニリノナフチル−４）マレイミド、Ｎ−［４−（２−ベンズオキサゾリル）フェニル］マレイミド、及びＮ−（９−アクリジニル）マレイミドが挙げられる。

＜１−１−２−５．ジシクロペンタニルを含むラジカル重合性モノマー（ａ２）＞
前記ジシクロペンタニルを含むラジカル重合性モノマーは、ジシクロペンタニルとラジカル重合性基とを有する化合物である。ジシクロペンタニルを含むラジカル重合性モノマーは、ラジカル重合性モノマー（ａ２）の全モノマー中、５〜７０重量％含有されていることが、前記透明膜における耐熱性及び低誘電率性を高める観点から好ましい。

前記ジシクロペンタニルを含むラジカル重合性モノマーとしては、例えばジシクロペンタニルアクリレート及びジシクロペンタニルメタクリレートが挙げられる。

＜１−１−２−６．その他の成分＞
前記共重合体（Ａ）は、その他のラジカル重合性モノマー（ａ２）として、前述したラジカル重合性モノマー以外のラジカル重合性モノマーを含んでもよい。このようなその他のラジカル重合性モノマーは、１〜５０重量％含有されていることが、本発明の効果を損なわずに、前記のその他のラジカル重合性モノマーによる特性を発現させる観点から好ましい。このようなその他のラジカル重合性モノマーとしては、例えばスチレンのような芳香族基とラジカル重合性基とを有する化合物、及びメチル（メタ）アクリレートのような不飽和カルボン酸エステルが挙げられる。

好ましい共重合体（Ａ）としては、例えばラジカル重合性モノマー（ａ１）と、フェノール性ＯＨを有するラジカル重合性モノマーと、エポキシを有するラジカル重合性モノマーとをモノマーに含み、ケイ素を含むラジカル重合性モノマーと、Ｎ置換マレイミドを含むラジカル重合性モノマーと、ジシクロペンタニルを含むラジカル重合性モノマーとをモノマーにさらに含んでいてもよい共重合体が挙げられる。

また、好ましい共重合体（Ａ）としては、例えば、ラジカル重合性モノマー（ａ１）と、不飽和カルボン酸を有するラジカル重合性モノマーと、Ｎ置換マレイミドを含むラジカル重合性モノマーと、ジシクロペンタニルを含むラジカル重合性モノマーとをモノマーとする共重合体（Ａ１）と、ラジカル重合性モノマー（ａ１）と、フェノール性ＯＨを有するラジカル重合性モノマーと、エポキシを有するラジカル重合性モノマーと、ケイ素を含むラジカル重合性モノマーとをモノマーとする共重合体（Ａ２）とからなる組成物が挙げられる。

さらに、好ましい共重合体（Ａ）としては、例えば、ラジカル重合性モノマー（ａ１）と、不飽和カルボン酸を有するラジカル重合性モノマー及びフェノール性ＯＨを有するラジカル重合性モノマーの一方又は両方とをモノマーに含み、ケイ素を含むラジカル重合性モノマーと、Ｎ置換マレイミドを含むラジカル重合性モノマーと、ジシクロペンタニルを含むラジカル重合性モノマーとをモノマーにさらに含んでいてもよい共重合体（Ａ３）と、ラジカル重合性モノマー（ａ１）と、エポキシを有するラジカル重合性モノマーとをモノマーに含み、フェノール性ＯＨを有するラジカル重合性モノマーと、ケイ素を含むラジカル重合性モノマーと、Ｎ置換マレイミドを含むラジカル重合性モノマーと、ジシクロペンタニルを含むラジカル重合性モノマーとをモノマーにさらに含んでもよい共重合体（Ａ４）とからなる組成物が挙げられる。

＜１−２．キノンジアジド化合物（Ｂ）＞
１，２−キノンジアジド化合物（Ｂ）には、例えばレジスト分野において感光剤として使用される化合物を用いることができる。１，２−キノンジアジド化合物（Ｂ）としては
、フェノール化合物と１，２−ベンゾキノンジアジド−４−スルホン酸又は１，２−ベンゾキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステル、フェノール化合物と１，２−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸又は１，２−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステル、フェノール化合物の水酸基をアミノ基に置き換えた化合物と１，２−ベンゾキノンジアジド−４−スルホン酸又は１，２−ベンゾキノンジアジド−５−スルホン酸とのスルホンアミド、フェノール化合物の水酸基をアミノ基に置き換えた化合物と１，２−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸又は１，２−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのスルホンアミド等が挙げられる。これらは単独で用いてもよく、２つ以上を組み合わせて用いてもよい。

フェノール化合物の具体例は、２，３，４−トリヒドロキシベンゾフェノン、２，４，６−トリヒドロキシベンゾフェノン、２，２’，４，４’−テトラヒドロキシベンゾフェノン、２，３，３’，４−テトラヒドロキシベンゾフェノン、２，３，４，４’−テトラヒドロキシベンゾフェノン、ビス（２，４−ジヒドロキシフェニル）メタン、ビス（ｐ−ヒドロキシフェニル）メタン、トリ（ｐ−ヒドロキシフェニル）メタン、１，１，１−トリ（ｐ−ヒドロキシフェニル）エタン、ビス（２，３，４−トリヒドロキシフェニル）メタン、２，２−ビス（２，３，４−トリヒドロキシフェニル）プロパン、１，１，３−トリス（２，５−ジメチル−４−ヒドロキシフェニル）−３−フェニルプロパン、４，４’−［１−［４−［１−［４−ヒドロキシフェニル］−１−メチルエチル］フェニル］エチリデン］ビスフェノール、ビス（２，５−ジメチル−４−ヒドロキシフェニル）−２−ヒドロキシフェニルメタン、３，３，３’，３’−テトラメチル−１，１’−スピロビインデン−５，６，７，５’，６’，７’−ヘキサノール、又は２，２，４−トリメチル−７，２’，４’−トリヒドロキシフラバン等である。

１，２−キノンジアジド化合物（Ｂ）として、２，３，４−トリヒドロキシベンゾフェノンと１，２−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸とのエステル、２，３，４−トリヒドロキシベンゾフェノンと１，２−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステル、４，４’−［１−［４−［１−［４−ヒドロキシフェニル］−１−メチルエチル］フェニル］エチリデン］ビスフェノールと１，２−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸とのエステル、又は４，４’−［１−［４−［１−［４−ヒドロキシフェニル］−１−メチルエチル］フェニル］エチリデン］ビスフェノールと１，２−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステル等を用いると、本発明の感光性重合体組成物の透明性を高める観点から好ましい。これらは単独で用いてもよく、２つ以上を組み合わせて用いてもよい。

前記１，２−キノンジアジド化合物（Ｂ）の含有量は、本発明の感光性重合体組成物において、共重合体（Ａ）を含む重合体成分の合計量１００重量部に対し５〜５０重量部であることが好ましい。

＜１−３．さらなる成分＞
本発明の感光性重合体組成物は、さらなる特性の付加の観点から、前述した共重合体（Ａ）及び１，２−キノンジアジド化合物（Ｂ）以外の成分をさらに含有していてもよい。このようなさらなる成分としては、例えば共重合体（Ａ）以外の共重合体である共重合体（Ｃ）、溶剤、添加剤、多価カルボン酸、及びエポキシ化合物が挙げられる。

＜１−３−１．共重合体（Ｃ）＞
前記共重合体（Ｃ）は、前記ラジカル重合性モノマー（ａ２）の二種以上を重合して得られる共重合体である。共重合体（Ｃ）は一種でも二種以上でもよい。共重合体（Ｃ）のモノマーとしてのラジカル重合性モノマー（ａ２）は、前記式（Ｉ）で表されるラジカル重合性モノマー（ａ１）を除く以外は、前記共重合体（Ａ）における含有比の範囲で用い
られて共重合体（Ｃ）を得ることができる。このような共重合体（Ｃ）を含有させることは、透明性、加熱時の透明性劣化の抑制、低誘電率性、耐溶剤性、高耐水性、高耐酸性、及び高耐アルカリ性等のラジカル重合性モノマー（ａ２）によって発現される特性の種類や強度を調整する観点から好ましい。

例えば、共重合体（Ｃ）におけるラジカル重合性モノマー（ａ２）に、共重合体（Ａ）で用いられているラジカル重合性モノマー（ａ２）以外のラジカル重合性モノマーを用いることは、ラジカル重合性モノマーによる特性をより多く発現させる観点から好ましい。また共重合体（Ｃ）におけるラジカル重合性モノマー（ａ２）に、共重合体（Ａ）で用いられているラジカル重合性モノマー（ａ２）と同じ又は同類のラジカル重合性モノマーを用いることは、ラジカル重合性モノマーによる特定の特性をより強く発現させる観点から好ましい。

共重合体（Ａ）と共重合体（Ｃ）の好ましい組み合わせとしては、例えば、ラジカル重合性モノマー（ａ１）と、不飽和カルボン酸を有するラジカル重合性モノマーとをモノマーに含み、フェノール性ＯＨを有するラジカル重合性モノマーと、ケイ素を含むラジカル重合性モノマーと、Ｎ置換マレイミドを含むラジカル重合性モノマーと、ジシクロペンタニルを含むラジカル重合性モノマーとをモノマーにさらに含んでいてもよい共重合体（Ａ）と、エポキシを有するラジカル重合性モノマーをモノマーに含み、フェノール性ＯＨを有するラジカル重合性モノマーと、ケイ素を含むラジカル重合性モノマーと、Ｎ置換マレイミドを含むラジカル重合性モノマーと、ジシクロペンタニルを含むラジカル重合性モノマーとをモノマーにさらに含んでいてもよい共重合体（Ｃ）とからなる組成物が挙げられる。

さらに、共重合体（Ａ）と共重合体（Ｃ）の好ましい組み合わせとしては、例えば、ラジカル重合性モノマー（ａ１）と、エポキシを有するラジカル重合性モノマーとをモノマーに含み、フェノール性ＯＨを有するラジカル重合性モノマーと、ケイ素を含むラジカル重合性モノマーと、Ｎ置換マレイミドを含むラジカル重合性モノマーと、ジシクロペンタニルを含むラジカル重合性モノマーとをモノマーにさらに含んでいてもよい共重合体（Ａ）と、不飽和カルボン酸を有するラジカル重合性モノマーをモノマーに含み、フェノール性ＯＨを有するラジカル重合性モノマーと、ケイ素を含むラジカル重合性モノマーと、Ｎ置換マレイミドを含むラジカル重合性モノマーと、ジシクロペンタニルを含むラジカル重合性モノマーとをモノマーにさらに含んでいてもよい共重合体（Ｃ）とからなる共重合体組成物が挙げられる。

＜１−３−２．溶剤＞
前記溶剤は、前記共重合体（Ａ）及び１，２−キノンジアジド化合物（Ｂ）、及び共重合体（Ｃ）を含有する場合には共重合体（Ｃ）を溶解する溶剤が好ましい。溶剤は一種でも二種以上でもよい。

また前記溶剤は、沸点が１００℃〜３００℃である化合物が好ましい。沸点が１００℃〜３００℃である前記溶剤としては、例えば水、酢酸ブチル、プロピオン酸ブチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、３−オキシプロピオン酸メチル、３−オキシプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸メチル、２−オキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸プロピル、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸メ
チル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチル、ジオキサン、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール、１，４−ブタンジオール、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、トルエン、キシレン、γ−ブチロラクトン、及びＮ，Ｎ−ジメチルアセトアミドが挙げられる。

前記溶剤は、これらの沸点が１００〜３００℃である溶剤を２０重量％以上含有する混合溶剤であってもよい。混合溶剤における、沸点が１００〜３００℃である溶剤以外の溶剤には、公知の溶剤の一又は二以上を用いることができる。

前記溶剤は、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、乳酸エチル及び酢酸ブチルから選ばれる少なくとも１つであると、感光性重合体組成物の塗布均一性を高める観点からより好ましい。さらに前記溶剤は、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、乳酸エチル、及び酢酸ブチルから選ばれる少なくとも１つであると、感光性重合体組成物の塗布均一性を高める観点及び人体への安全性の観点からより一層好ましい。

前記溶剤は、本発明の感光性重合体組成物において、固形分である共重合体及び感光剤が総量で５〜５０重量％となるように配合されることが好ましい。

＜１−３−３．添加剤＞
前記添加剤は、解像度、塗布均一性、現像性、接着性、安定性等の、本発明における感光性重合体組成物の特性を向上させる観点から添加される。前記添加剤には、例えばアクリル系、スチレン系、ポリエチレンイミン系又はウレタン系の高分子分散剤、アニオン系、カチオン系、ノニオン系又はフッ素系の界面活性剤、シリコン重合体系塗布性向上剤、シランカップリング剤等の密着性向上剤、アルコキシベンゾフェノン類等の紫外線吸収剤、ポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤、エポキシ化合物、メラミン化合物又はビスアジド化合物等の熱架橋剤、有機カルボン酸，フェノール化合物等のアルカリ溶解性促進剤、及びヒンダード系フェノール等の酸化防止剤が挙げられる。

添加剤の具体例は、ポリフロー（Ｐｏｌｙｆｌｏｗ）Ｎｏ．４５、ポリフローＫＬ−２４５、ポリフローＮｏ．７５、ポリフローＮｏ．９０、ポリフローＮｏ．９５（以上いずれも商品名、共栄社化学工業株式会社製）、ディスパーベイク（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ）１
６１、ディスパーベイク１６２、ディスパーベイク１６３、ディスパーベイク１６４、ディスパーベイク１６６、ディスパーベイク１７０、ディスパーベイク１８０、ディスパーベイク１８１、ディスパーベイク１８２、ＢＹＫ３００、ＢＹＫ３０６、ＢＹＫ３１０、ＢＹＫ３２０、ＢＹＫ３３０、ＢＹＫ３４４、ＢＹＫ３４６（以上いずれも商品名、ビックケミー・ジャパン株式会社製）、ＫＰ−３４１、ＫＰ−３５８、ＫＰ−３６８、ＫＦ−９６−５０ＣＳ、ＫＦ−５０−１００ＣＳ（以上いずれも商品名、信越化学工業株式会社製）、サーフロン（Ｓｕｒｆｌｏｎ）ＳＣ−１０１、サーフロンＫＨ−４０（以上いずれも商品名、セイミケミカル株式会社製）、フタージェント（Ｆｔｅｒｇｅｎｔ）２２２Ｆ、フタージェント２５１、ＦＴＸ−２１８（以上いずれも商品名、株式会社ネオス製）、ＥＦＴＯＰ ＥＦ−３５１、ＥＦＴＯＰ ＥＦ−３５２、ＥＦＴＯＰ ＥＦ−６０１、ＥＦＴＯＰ ＥＦ−８０１、ＥＦＴＯＰ ＥＦ−８０２（以上いずれも商品名、三菱マテリアル株式会社製）、メガファック（ＭＥＧＡＦＡＣＥ）Ｆ−１７１、メガファックＦ−１７７、メガファックＦ−４７５、メガファックＲ−０８、メガファックＲ−３０（以上いずれも商品名、大日本インキ化学工業株式会社製）、フルオロアルキルベンゼンスルホン酸塩、フルオルアルキルカルボン酸塩、フルオロアルキルポリオキシエチレンエーテル、フルオロアルキルアンモニウムヨージド、フルオロアルキルベタイン、フルオロアルキルスルホン酸塩、ジグリセリンテトラキス（フルオロアルキルポリオキシエチレンエーテル）、フルオロアルキルトリメチルアンモニウム塩、フルオロアルキルアミノスルホン酸塩、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレントリデシルエーテル、ポリオキシエチレンセチルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンラウレート、ポリオキシエチレンオレレート、ポリオキシエチレンステアレート、ポリオキシエチレンラウリルアミン、ソルビタンラウレート、ソルビタンパルミテート、ソルビタンステアレート、ソルビタンオレエート、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタンラウレート、ポリオキシエチレンソルビタンパルミテート、ポリオキシエチレンソルビタンステアレート、ポリオキシエチレンソルビタンオレエート、ポリオキシエチレンナフチルエーテル、アルキルベンゼンスルホン酸塩、又はアルキルジフェニルエーテルジスルホン酸塩等が挙げられる。これらから選ばれる少なくとも１つを前記添加剤に用いることが好ましい。

これらの添加剤の中でも、フルオロアルキルベンゼンスルホン酸塩、フルオルアルキルカルボン酸塩、フルオロアルキルポリオキシエチレンエーテル、フルオロアルキルアンモニウムヨージド、フルオロアルキルベタイン、フルオロアルキルスルホン酸塩、ジグリセリンテトラキス（フルオロアルキルポリオキシエチレンエーテル）、フルオロアルキルトリメチルアンモニウム塩、及びフルオロアルキルアミノスルホン酸塩等のフッ素系の界面活性剤、ＢＹＫ３０６、ＢＹＫ３４４、ＢＹＫ３４６、ＫＰ−３４１、ＫＰ−３５８、及びＫＰ−３６８等のシリコン重合体系塗布性向上剤の中から選ばれる少なくとも１種が添加されることは、感光性重合体組成物の塗布均一性を高める観点から好ましい。

前記ヒンダード系フェノール酸化防止剤は、特許第３９１９１４７号公報に記載されているように、フェノールのＯＨのオルト位にｔ−ブチルを有し、さらにアルキル基等の置換基を有していてもよい化合物、及び、パラ位の二価の有機基を介してパラ位で結合する前記化合物の２〜４量体のような公知の化合物が用いられる。市販品としては、下記の式で示される化合物を主成分とするイルガノックス（Ｉｒｇａｎｏｘ）１０１０（商品名：チバ・ジャパン株式会社）などがある。ヒンダード系フェノール酸化防止剤は、感光性重合体組成物の変色を抑制する観点から、例えば共重合体成分１００重量部に対して１〜２０重量部程度の量で感光性重合体組成物に添加される。

＜１−３−４．多価カルボン酸＞
前記多価カルボン酸は、本発明の感光性重合体組成物の保存時に、１，２−キノンジアジド化合物（Ｂ）の分解を抑制し、感光性重合体組成物の着色を防止する観点から好ましい。また前記多価カルボン酸は、本発明の感光性重合体組成物にエポキシが含まれる場合には、多価カルボン酸のカルボキシルが前記エポキシと加熱により反応する。したがって耐熱性及び耐薬品性をさらに向上させる観点から好ましい。

前記多価カルボン酸としては、例えば無水トリメリット酸、無水フタル酸、及び４−メチルシクロヘキサン−１，２−ジカルボン酸無水物等の多価カルボン酸が挙げられる。これらの多価カルボン酸の中でも無水トリメリット酸が好ましい。

前記多価カルボン酸の含有量は、本発明の感光性重合体組成物中における共重合体成分の合計量１００重量部に対し、１〜３０重量部であることが好ましく、２〜２０重量部であることがさらに好ましい。

＜１−３−５．エポキシ化合物＞
前記エポキシ化合物は、例えば前記透明膜における耐久性を向上させる観点から、感光性重合体組成物にさらに添加することができる。前記エポキシ化合物は、前記エポキシを有すれば特に限定されず、一種でも二種以上でもよい。エポキシ化合物の添加量は、前記透明膜の物理的な耐久性を高める観点から、０．１〜４０重量％であることが好ましく、０．２〜３０重量％であることがより好ましい。

前記エポキシ化合物としては、例えば、前記エポキシを有するラジカル重合性モノマーをモノマーに含む、単重合体、共重合体、及びオリゴマー等の化合物、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、下記式（Ｅ１）〜（Ｅ５）で表される化合物が挙げられる。なお式（Ｅ４）中、ｎは０〜１０の整数を表す。

さらに具体的には、前記エポキシ樹脂としては、ｊＥＲ８０７、ｊＥＲ８１５、ｊＥＲ８２５、ｊＥＲ８２７（いずれも商品名、ジャパンエポキシレジン株式会社）が挙げられる。式（Ｅ１）で表される化合物としては、アラルダイト（Ａｒａｌｄｉｔｅ）ＣＹ１８４（商品名、チバ・ジャパン株式会社）が挙げられる。式（Ｅ２）で表される化合物としては、セロキサイド（ＣＥＬＬＯＸＩＤＥ）２０２１Ｐ（商品名、ダイセル化学工業株式会社）が挙げられる。式（Ｅ３）で表される化合物としては、テクモア（ＴＥＣＨＭＯＲＥ）ＶＧ３１０１Ｌ（商品名、三井化学株式会社）が挙げられる。式（Ｅ４）で表される化合物としては、ｊＥＲ８２８、ｊＥＲ１９０Ｐ、ｊＥＲ１９１Ｐ、ｊＥＲ１００４、ｊＥＲ１２５６（いずれも商品名、ジャパンエポキシレジン株式会社）、アラルダイトＣＹ１７７（商品名、チバ・ジャパン株式会社）が挙げられる。式（Ｅ５）で表される化合物としては、「４，４'−メチレンビス（Ｎ，Ｎ−ジグリシジルアニリン）」（シグマ・アルドリッチ社製）が挙げられる。

これらの中でも、式（Ｅ４）で表される化合物（ｎ＝０〜４の化合物の混合物）であるｊＥＲ８２８（商品名、ジャパンエポキシレジン株式会社）、式（Ｅ１）で表される化合
物であるアラルダイトＣＹ１８４（商品名、チバ・ジャパン株式会社（株）製）、式（Ｅ２）で表される化合物である商品名「セロキサイド２０２１Ｐ」（商品名、ダイセル化学工業株式会社）、式（Ｅ３）で表される化合物である商品名「テクモアＶＧ３１０１Ｌ」（商品名、三井化学株式会社）、及び式（Ｅ５）で表される化合物「４，４'−メチレンビス（Ｎ，Ｎ−ジグリシジルアニリン）」（シグマ・アルドリッチ・ジャパン株式会社）は、前記透明膜の透明性と平坦性と高める観点から好ましい。

＜１−４．共重合体（Ａ）及び共重合体（Ｃ）の重合方法＞
共重合体（Ａ）、共重合体（Ｃ）の重合方法は、特に制限されないが、溶剤を用いた溶液中でのラジカル重合が好ましい。重合温度は使用する重合開始剤からラジカルが十分発生する温度であれば特に限定されないが、通常５０℃〜１５０℃の範囲である。重合時間も特に限定されないが、通常１〜２４時間の範囲である。また、当該重合は、加圧、減圧又は大気圧のいずれの圧力下でも行うことができる。

上記の重合反応で使用される溶剤は、使用するラジカル重合性モノマー（ａ１）及び（ａ２）及び生成する共重合体（Ａ）及び共重合体（Ｃ）を溶解する溶剤が好ましい。当該溶剤の具体例は、メタノール、エタノール、１−プロパノール、２−プロパノール、アセトン、２−ブタノン、酢酸エチル、酢酸プロピル、テトラヒドロフラン、アセトニトリル、ジオキサン、トルエン、キシレン、シクロヘキサノン、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、酢酸、又は水等が挙げられる。前記溶剤は、これらの一種であってもよいし、これらの二種以上の混合物であってもよい。

共重合体（Ａ）及び共重合体（Ｃ）の合成には、公知の重合開始剤を用いることができる。前記重合開始剤としては、熱によりラジカルを発生する化合物、アゾビスイソブチロニトリル等のアゾ系開始剤、及び過酸化ベンゾイル等の過酸化物系開始剤が挙げられる。前記ラジカル重合反応では、生成する共重合体の分子量を調節するために、チオグリコール酸等の連鎖移動剤を適量添加してもよい。

共重合体（Ａ）及び共重合体（Ｃ）は、ポリエチレンオキシドを標準としたＧＰＣ分析で求めた重量平均分子量が１，０００〜１００，０００の範囲であると、露光部分がアルカリ現像液で溶解されるまでの現像時間が適正であり、かつ、現像時に膜の表面が荒れにくくなり好ましい。さらに、重量平均分子量が１，０００〜５０，０００の範囲であると、未露光部分がアルカリ現像液で溶解されるまでの現像時間が適正であり、かつ、現像時に膜の表面が荒にくく、現像残渣も極めて少なくなるので、一層好ましい。同様の理由により、重量平均分子量が１，５００〜２０，０００の範囲であると、特に一層好ましい。

共重合体（Ａ）及び共重合体（Ｃ）の重量平均分子量は、例えば、標準のポリエチレンオキシドには、分子量が１，０００〜５１０，０００のポリエチレンオキシド（例えば東ソー（株）製のＴＳＫ ｓｔａｎｄａｒｄ）を用い、カラムにはＳｈｏｄｅｘ ＫＤ−８０６Ｍ（昭和電工（株）製）を用い、移動相としてＤＭＦを用いる条件で測定することができる。

なお、本発明の感光性重合体組成物中の前記共重合体（Ａ）及び共重合体（Ｃ）は、例えば共重合体（Ａ）及び共重合体（Ｃ）が熱分解したときに、熱分解により生じたガスをＧＣ−ＭＳで測定することによって検出されるモノマー成分からその組成を推定することができる。

また、本発明の感光性重合体組成物は、１，２−キノンジアジド化合物以外の成分が、その溶液のスピンコート及び１２０℃３０分間の加熱で形成される厚さ０．０１〜１００μｍの被膜を、例えば２５℃程度の２．３８重量％のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液で５分間浸した後に純水ですすいだときに、前記被膜が残こらない程度にアルカリへ溶解する性質を有することが好ましい。

＜１−５．感光性重合体組成物の保存＞
本発明の感光性重合体組成物は、温度−３０℃〜２５℃の範囲で遮光して保存すると、組成物の経時安定性が良好となり好ましい。保存温度が−２０℃〜１０℃であれば、析出物もなく一層好ましい。

＜１−６．効果＞
前記感光性重合体組成物は、例えば、パターン状透明膜及び絶縁膜に対して一般的に求められている高耐溶剤性、高耐水性、高耐酸性、高耐アルカリ性、高耐熱性、高透明性、低誘電率性、下地との密着性等の各種特性を有する。

前記感光性重合体組成物は、高い感放射線感度を有し、更に耐溶剤性、耐水性、耐酸性、耐アルカリ性、耐熱性、透明性、低誘電率性に優れている。当該感光性重合体組成物は、高い感放射線感度を有していることから、その製造工程において、露光時間の短縮、あるいは現像時間の短縮の効果が得られる。また、当該感光性重合体組成物は、これを用いて透明膜を製造したときに、その製造後工程において溶剤、酸、アルカリ溶液等の液への浸漬や接触、及び熱処理等の後処理がなされても、重合体膜に表面荒れが発生しにくい。その結果、前記透明膜における光の透過率を高めることができ、それを用いた表示素子の表示品位を高めることができる。

＜２．本発明のパターン状透明膜＞
本発明のパターン状透明膜は、前述した感光性重合体組成物の塗膜への、所望のパターンに対応した開口部を有するマスクを介する露光、現像、及び焼成により得られる膜である。さらに前記パターン状透明膜において、前期現像と焼成との間に後露光が行われることは、前記パターン状透明膜の透明性を高める観点から好ましい。後露光は、前記パターン状透明膜の透明性の向上の必要性に応じて省略することができる。本発明の感光性重合体組成物は、透明の重合体膜を形成するのに適しており、パターニングの際の解像度が比較的高いことから１０μｍ以下の小さな穴の開いたパターン状透明膜を形成するのに最適である。このパターン状透明膜の用途としては、絶縁膜が好ましい。ここで、絶縁膜とは、例えば、層状に配置される配線間を絶縁するために設ける膜（層間絶縁膜）等をいう。

前記パターン状透明膜は、レジスト分野において重合体膜を形成する通常の方法で形成することができ、例えば以下のようにして形成される。

１）塗膜の形成
まず、本発明の感光性重合体組成物をスピンコート、ロールコート、スリットコート等の公知の方法により、ガラス等の基板上に塗布し、塗膜を形成する。次に、基板上の感光性重合体組成物の塗膜をホットプレート又はオーブンで乾燥する。通常、６０〜１５０℃で１〜１０分間乾燥する。基板としては、例えば、白板ガラス、青板ガラス、シリカコート青板ガラス等の透明ガラス基板、ポリカーボネート、ポリエーテルスルホン、ポリエステル、アクリル重合体、塩化ビニール重合体、芳香族ポリアミド重合体、ポリアミドイミド、ポリイミド等の合成重合体製シート、フィルム又は基板、アルミニウム板、銅板、ニッケル板、ステンレス板等の金属基板、その他セラミック板、光電変換素子を有する半導体基板が挙げられる。これらの基板には所望により、シランカップリング剤等の薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング、スパッタリング、気相反応法、真空蒸着等の前
処理を行うことができる。

２）露光
乾燥した基板上の前記塗膜に、所望のパターン形状のマスクを介して紫外線等の放射線を照射する。照射条件は、感光性重合体組成物中の感光剤の種類にもより、感光剤が１，２−キノンジアジド化合物（Ｂ）であれば、ｉ線で５〜７００ｍＪ／ｃｍ²が適当である。紫外線の当たった部分の１，２−キノンジアジド化合物（Ｂ）はインデンカルボン酸となり速やかに現像液に溶解する状態になる。

３）現像
放射線を照射後の膜は、アルカリ溶液等の現像液を用いて現像される。この現像により、前記膜において放射線が照射された部分は速やかに現像液に溶解する。現像方法は特に限定されず、ディップ現像、パドル現像、シャワー現像のいずれも用いることができる。現像された前記膜は、純水で十分にすすがれる。

前記現像液はアルカリ溶液が好ましい。アルカリ溶液に含まれるアルカリの具体例は、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、２−ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムハイドロオキサイド、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素カリウム、水酸化ナトリウム、又は水酸化カリウム等が挙げられる。また、現像液としては、これらのアルカリの水溶液が好適に用いられる。すなわち、現像液として、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、又は２−ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムハイドロオキサイド等の有機アルカリ類等、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、又は水酸化カリウム等の無機アルカリ類の水溶液を挙げることができる。

現像液には現像残渣の低減やパターン形状の適性化を目的として、メタノール、エタノールや界面活性剤を添加してもよい。界面活性剤には、例えばアニオン系、カチオン系、及びノニオン系から選択される界面活性剤を使用することができる。これらの中でも、特に、ノニオン系のポリオキシエチレンアルキルエーテルを添加すると、解像度を高める観点から好ましい。

４）後露光
前記現像後、必要に応じて、再度放射線が基板上の膜の全面に照射される。例えば放射線が紫外線の場合は、１００〜１，０００ｍＪ／ｃｍ²の強度で前記膜に照射される。

５）焼成
放射線が再照射された基板上の前記膜は、最後に１８０〜２５０℃で１０〜１２０分間焼成される。

このようにして得られた所望のパターニングされた透明膜（パターン状透明膜）は、パターン状絶縁膜として用いることもできる。絶縁膜に形成された穴の形状は、真上から見た場合、正方形、長方形、円形又は楕円形であることが好ましい。さらに、該絶縁膜上に透明電極を形成し、エッチングによりパターニングを行った後、配向処理を行う膜を形成させてもよい。該絶縁膜は、耐スパッタ性が高いため、透明電極を形成しても絶縁膜にしわが発生せず、高い透明性を保つことができる。

＜３．本発明の表示素子＞
本発明の表示素子は、前述した本発明のパターン状透明膜を含む。本発明の表示素子は、感光性組成物による膜として前述のパターン状透明膜が用いられる以外は、公知の表示素子と同様に構成することができる。例えば前記パターン状透明膜は、液晶等を用いる表
示素子に用いられる。例えば前記表示素子は、上記のようにして基板上にパターニングされた透明膜又は絶縁膜が設けられた素子基板と、対向基板であるカラーフィルター基板とを、位置を合わせて圧着し、その後熱処理して組み合わせ、対向する基板の間に液晶を注入し、注入口を封止することによって製作される。

又は、前記素子基板上に液晶を散布した後、素子基板を重ね合わせ、液晶が漏れないように密封することによっても製作することができ、前記表示素子はこのように製作された表示素子であってもよい。

このように、本発明の表示素子は、前述の感光性重合体組成物で形成された、優れた透明性を有する絶縁膜を有する液晶表示素子とすることができる。なお、この液晶表示素子に用いられる液晶、すなわち液晶化合物及び液晶組成物については特に限定されず、いずれの液晶化合物及び液晶組成物をも使用することができる。

本発明の表示素子は、前述した感光性重合体組成物を用いて得られる、光透過性に優れたパターン状透明膜を有することから、高い表示品位を示す。

以下、実施例により本発明をさらに説明するが、本発明はこれらによって限定されるものではない。

合成例及び比較合成例に使用した化合物を、成分毎に記しておく。
重合溶媒：
３−メトキシプロピオン酸メチル、
モノマー（ａ１）：
メトキシポリエチレングリコールメタクリレート、
エトキシポリエチレングリコールメタクリレート、
モノマー（ａ２）：
４−ヒドロキシフェニルビニルケトン、
グリシジルメタクリレート、
３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、
（３−エチル−３−オキセタニル）メチルアクリレート、
メタクリル酸、
ジシクロペンタニルメタクリレート、
Ｎ−フェニルマレイミド、
スチレン、
Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、
メチルメタクリレート、
重合開始剤：
２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）

［合成例１］共重合体（Ａ１）の合成
攪拌器付４つ口フラスコに、重合溶媒として３−メトキシプロピオン酸メチル、モノマー（ａ１）としてメトキシポリエチレングリコールメタクリレート、モノマー（ａ２）として、４−ヒドロキシフェニルビニルケトン、並びにグリシジルメタクリレート、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、（３−エチル−３−オキセタニル）メチルアクリレート、重合開始剤として、２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）を下記の重量で仕込み、８０℃の重合温度で４時間加熱して重合を行った。
３−メトキシプロピオン酸メチル ２００．０ｇ
メトキシポリエチレングリコールメタクリレート １０．０ｇ
４−ヒドロキシフェニルビニルケトン ３０．０ｇ
グリシジルメタクリレート ３５．０ｇ
３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン １５．０ｇ
（３−エチル−３−オキセタニル）メチルアクリレート １０．０ｇ
２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル） ５．０ｇ

反応液を室温まで冷却し、共重合体（Ａ１）を得た。

溶液の一部をサンプリングし、ＧＰＣ分析（ポリエチレンオキシド標準）により重量平均分子量を測定した。その結果、重量平均分子量は５，５００であった。

［合成例２］共重合体（Ａ２）の合成
合成例１と同様にして、下記の成分を下記の重量で仕込み、重合を行った。
３−メトキシプロピオン酸メチル ２００．０ｇ
メトキシポリエチレングリコールメタクリレート １０．０ｇ
メタクリル酸 ３０．０ｇ
ジシクロペンタニルメタクリレート ３０．０ｇ
Ｎ−フェニルマレイミド ３０．０ｇ
２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル） ５．０ｇ

合成例１と同様の処理を行い、得られた共重合体（Ａ２）のＧＰＣ分析（ポリエチレンオキシド標準）により求めた重量平均分子量は５，０００であった。

［合成例３］共重合体（Ａ３）の合成
合成例１と同様にして、下記の成分を下記の重量で仕込み、重合を行った。
３−メトキシプロピオン酸メチル ２００．０ｇ
メトキシポリエチレングリコールメタクリレート １０．０ｇ
４−ヒドロキシフェニルビニルケトン ２０．０ｇ
グリシジルメタクリレート ７０．０ｇ
２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル） ５．０ｇ

合成例１と同様の処理を行い、得られた共重合体（Ａ３）のＧＰＣ分析（ポリエチレンオキシド標準）により求めた重量平均分子量は５，７００であった。

［合成例４］共重合体（Ａ４）の合成
合成例１と同様にして、下記の成分を下記の重量で仕込み、重合を行った。
３−メトキシプロピオン酸メチル ２００．０ｇ
エトキシポリエチレングリコールメタクリレート １０．０ｇ
４−ヒドロキシフェニルビニルケトン ３０．０ｇ
ジシクロペンタニルメタクリレート ３０．０ｇ
Ｎ−フェニルマレイミド ３０．０ｇ
２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル） ５．０ｇ

合成例１と同様の処理を行い、得られた共重合体（Ａ４）のＧＰＣ分析（ポリエチレンオキシド標準）により求めた重量平均分子量は５，１００であった。

［合成例５］共重合体（Ａ５）の合成
合成例１と同様にして、下記の成分を下記の重量で仕込み、重合を行った。
３−メトキシプロピオン酸メチル ２００．０ｇ
メトキシポリエチレングリコールメタクリレート ２０．０ｇ
メタクリル酸 ３０．０ｇ
３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン ３０．０ｇ
Ｎ−フェニルマレイミド ２０．０ｇ
２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル） ５．０ｇ

合成例１と同様の処理を行い、得られた共重合体（Ａ５）のＧＰＣ分析（ポリエチレンオキシド標準）により求めた重量平均分子量は４，７００であった。

［合成例７］共重合体（Ｃ１）の合成
合成例１と同様にして、下記の成分を下記の重量で仕込み、重合を行った。
３−メトキシプロピオン酸メチル ２００．０ｇ
４−ヒドロキシフェニルビニルケトン １０．０ｇ
グリシジルメタクリレート ３０．０ｇ
３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン ３０．０ｇ
スチレン ３０．０ｇ
２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル） ５．０ｇ

合成例１と同様の処理を行い、得られた共重合体（Ｃ１）のＧＰＣ分析（ポリエチレンオキシド標準）により求めた重量平均分子量は６，９００であった。

［合成例８］共重合体（Ｃ２）の合成
合成例１と同様の装置を用いて、下記組成にて、３−メトキシプロピオン酸メチルを重合溶媒とし、８０℃の温度で４時間加熱し重合を行った。
３−メトキシプロピオン酸メチル ２００．０ｇ
メタクリル酸 ３０．０ｇ
ジシクロペンタニルメタクリレート ４０．０ｇ
Ｎ−シクロヘキシルマレイミド ３０．０ｇ
２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル） ５．０ｇ

合成例１と同様の処理を行い、得られた共重合体（Ｃ２）のＧＰＣ分析（ポリエチレンオキシド標準）により求めた重量平均分子量は７，６００であった。

［合成例９］共重合体（Ａ６）の合成
合成例１と同様にして、下記の成分を下記の重量で仕込み、重合を行った。
３−メトキシプロピオン酸メチル ２００．０ｇ
メトキシポリエチレングリコールメタクリレート １０．０ｇ
４−ヒドロキシフェニルビニルケトン ２０．０ｇ
グリシジルメタクリレート ６０．０ｇ
Ｎ−シクロヘキシルマレイミド １０．０ｇ
２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル） ５．０ｇ

合成例１と同様の処理を行い、得られた共重合体（Ａ６）のＧＰＣ分析（ポリエチレンオキシド標準）により求めた重量平均分子量は７，３００であった。

［合成例１０］共重合体（Ａ７）の合成
合成例１と同様にして、下記の成分を下記の重量で仕込み、重合を行った。
３−メトキシプロピオン酸メチル ２００．０ｇ
メトキシポリエチレングリコールメタクリレート １０．０ｇ
４−ヒドロキシフェニルビニルケトン １０．０ｇ
グリシジルメタクリレート ５０．０ｇ
ジシクロペンタニルメタクリレート １５．０ｇ
Ｎ−シクロヘキシルマレイミド １５．０ｇ
２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル） ５．０ｇ

合成例１と同様の処理を行い、得られた共重合体（Ａ７）のＧＰＣ分析（ポリエチレンオキシド標準）により求めた重量平均分子量は８，０００であった。

［比較合成例１］比較共重合体（Ｄ１）の合成
合成例１と同様にして、下記の成分を下記の重量で仕込み、重合を行った。
３−メトキシプロピオン酸メチル ２００．０ｇ
４−ヒドロキシフェニルビニルケトン １０．０ｇ
メタクリル酸 ２０．０ｇ
グリシジルメタクリレート ４０．０ｇ
３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン ２０．０ｇ
（３−エチル−３−オキセタニル）メチルアクリレート １０．０ｇ
２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル） ５．０ｇ

合成例１と同様の処理を行い、得られた比較共重合体（Ｄ１）のＧＰＣ分析（ポリエチレンオキシド標準）により求めた重量平均分子量は６，２００であった。

［比較合成例２］比較共重合体（Ｄ２）の合成
合成例１と同様にして、下記の成分を下記の重量で仕込み、重合を行った。
３−メトキシプロピオン酸メチル ２００．０ｇ
４−ヒドロキシフェニルビニルケトン ２０．０ｇ
グリシジルアクリレート ６０．０ｇ
Ｎ−フェニルマレイミド ２０．０ｇ
２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル） ５．０ｇ

合成例１と同様の処理を行い、得られた比較共重合体（Ｄ２）のＧＰＣ分析（ポリエチレンオキシド標準）により求めた重量平均分子量は５，９００であった。

［比較合成例３］比較共重合体（Ｄ３）の合成
合成例１と同様にして、下記の成分を下記の重量で仕込み、重合を行った。
３−メトキシプロピオン酸メチル ２００．０ｇ
４−ヒドロキシフェニルビニルケトン ２０．０ｇ
グリシジルメタクリレート ６５．０ｇ
メチルメタクリレート １５．０ｇ
２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル） ５．０ｇ

合成例１と同様の処理を行い、得られた比較重合体（Ｄ３）のＧＰＣ分析（ポリエチレンオキシド標準）により求めた重量平均分子量は６，８００であった。

［実施例１］
［ポジ型感光性重合体組成物の製造］
合成例１で得られた共重合体（Ａ１）、１，２−キノンジアジド化合物である４，４’−［１−［４−［１−［４−ヒドロキシフェニル］−１−メチルエチル］フェニル］エチリデン］ビスフェノールと１，２−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸クロライドとの縮合物（平均エステル化率５８％、以下「ＰＡＤ」ともいう）、添加剤としてフッ素系界面活性剤である大日本インキ化学工業株式会社製メガファックＲ−０８（以下「Ｒ−０８」と略す）、溶剤として３−メトキシプロピオン酸メチルを下記の重量で混合溶解し、
ポジ型感光性重合体組成物を得た。
３−メトキシプロピオン酸メチル １．４０ｇ
共重合体（Ａ１）の３０重量％溶液 １０．００ｇ
ＰＡＤ ０．６０ｇ
Ｒ−０８ ０．００６ｇ

［ポジ感光性重合体組成物の評価方法］
１）パターン状透明膜の形成
ガラス基板上に実施例１で合成されたポジ型感光性重合体組成物を５００〜８００ｒｐｍで１０秒間スピンコートし、１００℃のホットプレート上で２分間乾燥した。この基板を空気中、ホールパターン形成用のマスクを介して、株式会社トプコン製プロキシミティー露光機ＴＭＥ−１５０ＰＲＣを使用し、波長カットフィルターを通して３５０ｎｍ以下の光をカットしてｇ、ｈ、ｉ線を取り出し、露光ギャップ１００μｍで露光した。露光量はウシオ電機株式会社製積算光量計ＵＩＴ−１０２、受光器ＵＶＤ−３６５ＰＤで測定して５０〜１５０ｍＪ／ｃｍ²とした。露光後のガラス基板を、２５℃のテトラメチルアンモニウムヒドロキシドの０．４重量％水溶液で６０秒間ディップ現像し、露光部の重合体組成物を除去した。現像後の基板を純水で６０秒間洗ってから１００℃のホットプレートで２分間乾燥した。この基板を前記露光機にてマスクを介さずに露光量３００ｍＪ／ｃｍ²で全面露光した後、オーブン中２３０℃で３０分ポストベイクし、膜厚３μｍのパターン状透明膜を形成した。膜厚はＫＬＡ−Ｔｅｎｃｏｒ Ｊａｐａｎ株式会社製触針式膜厚計αステップ２００を使用し、３箇所の測定の平均値を膜厚とした。

２）現像後残膜率
現像の前後で膜厚を測定し、次の計算式から計算した。
（現像後膜厚／現像前膜厚）×１００（％）

３）感放射線感度
上記１）で得られた現像後のパターン状透明膜の基板を光学顕微鏡で４００倍にて観察し、１０μｍマスクサイズのホールパターンで１０μｍサイズのホールパターンができている露光量を確認した。

３）解像度
上記１）で得られたポストベイク後のパターン状透明膜の基板を光学顕微鏡で４００倍にて観察し、ホールパターンの底にガラスが露出しているマスクサイズを確認した。

４）透明性
有限会社東京電色製ＴＣ−１８００を使用し、透明膜を形成していないガラス基板をリファレンスとして波長４００ｎｍでの光透過率を測定した。

５）耐溶剤性
上記１）で得られたパターン状透明膜の基板を１００℃のＮ−メチル−２−ピロリドン中に５分間浸漬し、膜厚の変化を測定した。浸漬の前後で膜厚を測定し、膜厚の変化率を次の計算式から計算した。
（浸漬後膜厚／浸漬前膜厚）×１００（％）

なお、膜厚の変化率が−２〜２％である場合は良好と判定でき、膨潤により２％を超えたり、溶解により−２％より低かった場合は不良と判定できる。

６）耐酸性
上記１）で得られたパターン状透明膜の基板を５０℃の塩酸／硝酸／水＝４／２／４（
重量比）に３分間浸漬し、膜厚の変化を測定した。浸漬の前後で膜厚を測定し、膜厚の変化率を次の計算式から計算した。
（浸漬後膜厚／浸漬前膜厚）×１００（％）

膜厚の変化率が−２〜２％である場合は良好と判定でき、膨潤により２％を超えたり、溶解により−２％より低かった場合は不良と判定できる。

７）耐アルカリ性
上記１）で得られたパターン状透明膜の基板を６０℃の５％水酸化カリウム水溶液に１０分間浸漬し、膜厚の変化を測定した。浸漬の前後で膜厚を測定し、膜厚の変化率を次の計算式から計算した。
（浸漬後膜厚／浸漬前膜厚）×１００（％）

膜厚の変化率が−２〜２％である場合は良好と判定でき、膨潤により２％を超えたり、溶解により−２％より低かった場合は不良と判定できる。

８）耐熱性
上記１）で得られたパターン状透明膜の基板を２３０℃のオーブンで１時間追加ベイクし、加熱の前後において上記４）と同様に光透過率を測定し、ポストベイク後（追加ベイク前）の光透過率をＴ１とし、追加ベイク後の光透過率をＴ２とした。ポストベイク後から追加ベイク後の光透過率の低下が少ないほど良好と判定できる。また加熱の前後で膜厚を測定し、膜厚の変化率を次の計算式から計算した。
（追加ベイク後膜厚／ポストベイク後膜厚）×１００（％）

９）密着性
上記１）で得られたパターン状透明膜の基板を碁盤目剥離試験（クロスカット試験）により評価した。評価は１ｍｍ角の碁盤目１００個中におけるテープ剥離後の残存碁盤目数を表した。

１０）耐スパッタ性
上記１）で得られたパターン状透明膜の基板にＩＴＯ（インジウムチンオキシド）の透明電極を２００℃にてスパッタリングにより１５０ｎｍの膜厚で形成し、室温に戻した後で膜面のしわの有無を目視により観察した。膜面にしわが生じなかった場合は耐スパッタ性が良好（Ｇ：Ｇｏｏｄ）と、膜面にしわが生じた場合は耐スパッタ性が不良（ＮＧ：Ｎｏ Ｇｏｏｄ）と判定した。

１１）比誘電率
アジレントテクノロジー社製ＬＣＲメーター（４２８４Ａ）を使用し、透明膜の上下に電極を作製し、比誘電率測定を行った。評価は１ｋＨｚで行った。

実施例１で合成されたポジ型感光性重合体組成物について、上記の評価方法によって得られた結果を表１に示す。

［実施例２］
実施例１において用いられた共重合体（Ａ１）の代わりに、合成例２で得られた共重合体（Ａ２）と、合成例７で得られた共重合体（Ｃ１）の１：１混合物（重量比）を用いた以外は、実施例１と同様にポジ型感光性重合体組成物を調製し、評価した。結果を表１に示す。

［実施例３］
実施例１において用いられた共重合体（Ａ１）の代わりに、合成例３で得られた共重合体（Ａ３）と合成例８で得られた共重合体（Ｃ２）の１：１混合物（重量比）を用いた以外は、実施例１と同様にポジ型感光性重合体組成物を調製し、評価した。結果を表１に示す。

［実施例４］
実施例１において用いられた共重合体（Ａ１）の代わりに、合成例４で得られた共重合体（Ａ４）と合成例９で得られた共重合体（Ａ６）の１：１混合物（重量比）を用いた以外は、実施例１と同様にポジ型感光性重合体組成物を調製し、評価した。結果を表１に示す。

［実施例５］
実施例１において用いられた共重合体（Ａ１）の代わりに、合成例５で得られた共重合体（Ａ５）と合成例１０で得られた共重合体（Ａ７）の１：１混合物（重量比）を用いた以外は、実施例１と同様にポジ型感光性重合体組成物を調製し、評価した。結果を表１に
示す。

［比較例１］
実施例１において用いられた共重合体（Ａ１）の代わりに、比較合成例１で得られた比較共重合体（Ｄ１）を用いた以外は、実施例１と同様にポジ型感光性重合体組成物を調製し評価した。結果を表２に示す。

［比較例２］
実施例１において用いられた共重合体（Ａ１）の代わりに、比較合成例２で得られた比較共重合体（Ｄ２）と合成例８で得られた共重合体（Ｃ２）の１：１混合物（重量比）を用いた以外は、実施例１と同様にポジ型感光性重合体組成物を調製し評価した。結果を表２に示す。

［比較例３］
実施例１において用いられた共重合体（Ａ１）の代わりに、比較合成例３で得られた比較共重合体（Ｄ３）と合成例７で得られた共重合体（Ｃ１）の１：１混合物（重量比）を用いた以外は、実施例１と同様にポジ型感光性重合体組成物を調製し評価した。結果を表２に示す。

比較例１〜３によれば、実施例１〜５のポジ型感光性重合体組成物は、感放射線感度に優れていることがわかる。また比較例２及び３によれば、実施例１〜５のポジ型感光性重
合体組成物は、光透過性に優れ、また加熱による光透過性の低下の抑制効果に優れている。さらに比較例１及び３によれば、実施例１〜５のポジ型感光性重合体組成物は、耐スパッタ性に優れている。

本発明のポジ型感光性重合体組成物は、例えば、液晶表示素子に用いることができる。

Claims (19)

1. 下記式（Ｉ）で表されるラジカル重合性モノマー（ａ１）及びその他のラジカル重合性モノマー（ａ２）を重合して得られる共重合体（Ａ）と、１，２−キノンジアジド化合物（Ｂ）とを含有する感光性重合体組成物。
   

   

   （式（Ｉ）中、Ｒ¹は水素、又は任意の水素がフッ素で置き換えられてもよい炭素数１〜５のアルキルを表し、Ｒ²は炭素数１〜５のアルキレンを表し、Ｒ³は炭素数１〜１０のアルキルを表し、ｎは１〜３０の整数を表す。）
2. 前記ラジカル重合性モノマー（ａ１）が、メトキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、エトキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、メトキシポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート、及びエトキシポリプロピレングリコール（メタ）アクリレートから選ばれる１種以上であることを特徴とする請求項１に記載の感光性重合体組成物。
3. 前記ラジカル重合性モノマー（ａ２）が、不飽和カルボン酸を有するラジカル重合性モノマー、不飽和カルボン酸無水物を有するラジカル重合性モノマー、フェノール性ＯＨを有するラジカル重合性モノマー、エポキシを有するラジカル重合性モノマー、下記式（ＩＩＩ）で表されるラジカル重合性モノマー、Ｎ置換マレイミドを含むラジカル重合性モノマー、及びジシクロペンタニルを含むラジカル重合性モノマーから選ばれる１種以上であることを特徴とする請求項１又は２に記載の感光性重合体組成物。
   

   

   （式（ＩＩＩ）中、Ｒ¹²は水素、又は任意の水素がフッ素で置き換えられてもよい炭素数１〜５のアルキルを表し、Ｒ¹³、Ｒ¹⁴及びＲ¹⁵はそれぞれ、水酸基、炭素数１〜５のアルキル、炭素数１〜５のアルコキシ、又は−Ｏ（Ｓｉ（Ｃ_jＨ_2j+1）₂Ｏ）_pＳｉ（Ｃ_kＨ_2k+1）₃を表し、ｊは１〜５の整数を表し、ｋは１〜５の整数を表し、ｐは０又は１〜１０の整数を表し、ｍは１〜５の整数を表す。）
4. 前記不飽和カルボン酸を有するラジカル重合性モノマーが、（メタ）アクリル酸であることを特徴とする請求項３に記載の感光性重合体組成物。
5. 前記不飽和カルボン酸無水物を有するラジカル重合性モノマーが無水マレイン酸であることを特徴とする請求項３又は４に記載の感光性重合体組成物。
6. 前記フェノール性ＯＨを有するラジカル重合性モノマーが、ヒドロキシスチレン及び下記式（ＩＩ）で表される化合物の一方又は両方であることを特徴とする請求項３〜５のいずれか一項に記載の感光性重合体組成物。
   

   

   （式（ＩＩ）中、Ｒ⁴、Ｒ⁵及びＲ⁶は、それぞれ、水素、又は任意の水素がフッ素で置き換えられてもよい炭素数１〜３のアルキルを表し、Ｒ⁷、Ｒ⁸、Ｒ⁹、Ｒ¹⁰及びＲ¹¹は、それぞれ、水素、ハロゲン、−ＣＮ、−ＣＦ₃、−ＯＣＦ₃、−ＯＨ、任意の−ＣＨ₂−が−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−ＣＯ−で置き換えられてもよく、また任意の水素がハロゲンで置き換えられてもよい炭素数１〜５のアルキル、又は任意の水素がハロゲンで置き換えられてもよい炭素数１〜５のアルコキシを表す。ただし、Ｒ⁷〜Ｒ¹¹のうち少なくとも１つは−ＯＨである。）
7. 前記式（ＩＩ）で表される化合物が４−ヒドロキシフェニルビニルケトンであることを特徴とする請求項６に記載の感光性重合体組成物。
8. 前記エポキシを有するラジカル重合性モノマーが、グリシジル（メタ）アクリレート、メチルグリシジル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート、（３−メチル−３−オキセタニル）メチル（メタ）アクリレート、（３−エチル−３−オキセタニル）メチル（メタ）アクリレート、（３−メチル−３−オキセタニル）エチル（メタ）アクリレート、及び（３−エチル−３−オキセタニル）エチル（メタ）アクリレートから選ばれる１種以上であることを特徴とする請求項３〜７のいずれか一項に記載の感光性重合体組成物。
9. 前記Ｎ置換マレイミドを含むラジカル重合性モノマーが、Ｎ−メチルマレイミド、Ｎ−エチルマレイミド、Ｎ−ブチルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−ベンジルマレイミド、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−（４−アセチルフェニル）マレイミド、Ｎ−（２，６−ジエチルフェニル）マレイミド、Ｎ−（４−ジメチルアミノ−３，５−ジニトロフェニル）マレイミド、Ｎ−（１−アニリノナフチル−４）マレイミド、Ｎ−［４−（２−ベンズオキサゾリル）フェニル］マレイミド、及びＮ−（９−アクリジニル）マレイミドから選ばれる１種以上であることを特徴とする請求項３〜８のいずれか一項に記載の感光性重合体組成物。
10. 前記ジシクロペンタニルを含むラジカル重合性モノマーが、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートであることを特徴とする請求項３〜９のいずれか一項に記載の感光性重合体組成物。
11. 前記１，２−キノンジアジド化合物（Ｂ）が、４，４’−［１−［４−［１−［４−ヒドロキシフェニル］−１−メチルエチル］フェニル］エチリデン］ビスフェノールと１，２−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸クロライドとの縮合物であることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一項に記載の感光性重合体組成物。
12. エポキシを有する化合物をさらに含有することを特徴とする請求項１〜１１のいずれか一項に記載の感光性重合体組成物。
13. 前記ラジカル重合性モノマー（ａ２）の二種以上を重合して得られる共重合体（Ｃ）をさらに含有することを特徴とする請求項１〜１２のいずれか一項に記載の感光性重合体組
    成物。
14. 前記共重合体（Ｃ）における前記ラジカル重合性モノマー（ａ２）が請求項３〜１０のいずれか一項に記載のラジカル重合性モノマー（ａ２）を含むことを特徴とする請求項１３に記載の感光性重合体組成物。
15. ヒンダード系フェノール酸化防止剤をさらに含有することを特徴とする請求項１〜１４のいずれか一項に記載の感光性重合体組成物。
16. 請求項１〜１５のいずれか一項に記載の感光性重合体組成物の塗膜への、所望のパターンに応じた開口部を有するマスクを介する露光、現像、及び焼成によって得られるパターン状透明膜。
17. 請求項１〜１５のいずれか一項に記載の感光性重合体組成物の塗膜への、所望のパターンに応じた開口部を有するマスクを介する露光、現像、後露光、及び焼成によって得られるパターン状透明膜。
18. 絶縁膜であることを特徴とする請求項１６又は１７に記載のパターン状透明膜。
19. 請求項１６〜１８のいずれか一項に記載のパターン状透明膜を含む表示素子。