JP2009152438A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板10上に第1の窒化膜24、第1の酸化膜26、第2の窒化膜28を順次形成する工程と、第2の窒化膜上にフォトレジスト膜34を形成する工程と、フォトレジスト膜に開口部36を形成する工程と、フォトレジスト膜をマスクとして、第2の窒化膜28をエッチングし、開口部を第1の酸化膜まで到達させる第1のエッチング工程と、第2の窒化膜をマスクとして、第1の酸化膜をエッチングし、開口部を第1の窒化膜まで到達させる第2のエッチング工程と、開口部の底部の径d2を広げるとともに、第1の窒化膜を途中までエッチングする第3のエッチング工程と、第1の窒化膜を更にエッチングし、半導体基板に達するコンタクトホール38を形成する第4のエッチング工程とを有している。
【選択図】 図8
Description
本発明の一実施形態による半導体装置の製造方法を図1乃至図16を用いて説明する。図1乃至図9は、本実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。
本発明は上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。
半導体基板上に第1の窒化膜を形成する工程と、
前記第1の窒化膜上に第1の酸化膜を形成する工程と、
前記第1の酸化膜上に第2の窒化膜を形成する工程と、
前記第2の窒化膜上にフォトレジスト膜を形成する工程と、
前記フォトレジスト膜に開口部を形成する工程と、
前記フォトレジスト膜をマスクとして、前記第2の窒化膜をエッチングし、前記開口部を前記第1の酸化膜まで到達させる第1のエッチング工程と、
前記第2の窒化膜をマスクとして、前記第1の酸化膜をエッチングし、前記開口部を前記第1の窒化膜まで到達させる第2のエッチング工程と、
前記開口部の底部の径を広げるとともに、前記第1の窒化膜を途中までエッチングする第3のエッチング工程と、
前記第1の窒化膜を更にエッチングし、前記開口部を前記半導体基板まで到達させることにより、前記半導体基板に達するコンタクトホールを形成する第4のエッチング工程と
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
付記1記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1の窒化膜を形成する工程では、トランジスタが形成された前記半導体基板上に前記第1の窒化膜を形成し、
前記第4のエッチング工程では、前記トランジスタのソース/ドレイン電極に達する前記コンタクトホールを形成する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
付記1又は2記載の半導体装置の製造方法において、
前記第3のエッチング工程では、前記第2の窒化膜における前記開口部の径を変化させることなく、前記開口部の前記底部の径を広げる
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
付記1乃至3のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記第2の窒化膜を形成する工程の後、前記フォトレジスト膜を形成する工程の前に、前記第2の窒化膜上に第2の酸化膜を形成する工程を更に有し、
前記第1のエッチング工程では、前記フォトレジスト膜をマスクとして、前記第2の酸化膜及び前記第2の窒化膜をエッチングする
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
付記1乃至4のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記第3のエッチング工程では、前記第1の酸化膜に対するオーバーエッチング量に基づいて、前記開口部の前記底部の径を制御する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
付記1乃至5のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記第3のエッチング工程において用いられるエッチングガスのCF系ポリマの含有率は、第2のエッチング工程において用いられるエッチングガスのCF系ポリマの含有率より大きい
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
付記1乃至6のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
第3のエッチング工程における前記第1の窒化膜に対する前記第1の酸化膜の選択比は、前記第2のエッチング工程における前記第1の窒化膜に対する前記第1の酸化膜の選択比より大きい
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
付記1乃至7のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1のエッチング工程では、CF4ガスより成るエッチングガス、CF4ガスとCHF3との混合ガスより成るエッチングガス、CF4とCH2F2ガスとの混合ガスより成るエッチングガス、又は、CF4ガスとCHF3とCH2F2ガスとの混合ガスより成るエッチングガスを用いる
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
付記1乃至8のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1のエッチング工程において形成される前記開口部の形状は、前記開口部の底部に向かって先細った形状である
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
付記1乃至9のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1の窒化膜は、第1のシリコン窒化膜であり、
前記第1の酸化膜は、第1のシリコン酸化膜であり、
前記第2の窒化膜は、第2のシリコン窒化膜である
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
付記1乃至10のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記第4のエッチング工程では、前記第1の窒化膜をエッチングするとともに、前記第2の窒化膜をエッチング除去する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
12…素子分離領域
14…ゲート絶縁膜
16…ゲート電極
18…ソース/ドレイン拡散層
18a、18b…不純物拡散領域
20…サイドウォール絶縁膜
22…ソース/ドレイン電極
23…トランジスタ
24…シリコン窒化膜
26…シリコン酸化膜
28…シリコン窒化膜
30…シリコン酸化膜
32…反射防止膜
34…フォトレジスト膜
36…開口部
38…コンタクトホール
40…バリアメタル
42…導体プラグ
Claims (10)
- 半導体基板上に第1の窒化膜を形成する工程と、
前記第1の窒化膜上に第1の酸化膜を形成する工程と、
前記第1の酸化膜上に第2の窒化膜を形成する工程と、
前記第2の窒化膜上にフォトレジスト膜を形成する工程と、
前記フォトレジスト膜に開口部を形成する工程と、
前記フォトレジスト膜をマスクとして、前記第2の窒化膜をエッチングし、前記開口部を前記第1の酸化膜まで到達させる第1のエッチング工程と、
前記第2の窒化膜をマスクとして、前記第1の酸化膜をエッチングし、前記開口部を前記第1の窒化膜まで到達させる第2のエッチング工程と、
前記開口部の底部の径を広げるとともに、前記第1の窒化膜を途中までエッチングする第3のエッチング工程と、
前記第1の窒化膜を更にエッチングし、前記開口部を前記半導体基板まで到達させることにより、前記半導体基板に達するコンタクトホールを形成する第4のエッチング工程と
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1の窒化膜を形成する工程では、トランジスタが形成された前記半導体基板上に前記第1の窒化膜を形成し、
前記第4のエッチング工程では、前記トランジスタのソース/ドレイン電極に達する前記コンタクトホールを形成する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1又は2記載の半導体装置の製造方法において、
前記第3のエッチング工程では、前記第2の窒化膜における前記開口部の径を変化させることなく、前記開口部の前記底部の径を広げる
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第2の窒化膜を形成する工程の後、前記フォトレジスト膜を形成する工程の前に、前記第2の窒化膜上に第2の酸化膜を形成する工程を更に有し、
前記第1のエッチング工程では、前記フォトレジスト膜をマスクとして、前記第2の酸化膜及び前記第2の窒化膜をエッチングする
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第3のエッチング工程では、前記第1の酸化膜に対するオーバーエッチング量に基づいて、前記開口部の前記底部の径を制御する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1乃至5のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第3のエッチング工程において用いられるエッチングガスのCF系ポリマの含有率は、第2のエッチング工程において用いられるエッチングガスのCF系ポリマの含有率より大きい
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1乃至6のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法において、
第3のエッチング工程における前記第1の窒化膜に対する前記第1の酸化膜の選択比は、前記第2のエッチング工程における前記第1の窒化膜に対する前記第1の酸化膜の選択比より大きい
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1乃至7のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1のエッチング工程では、CF4ガスより成るエッチングガス、CF4ガスとCHF3との混合ガスより成るエッチングガス、CF4とCH2F2ガスとの混合ガスより成るエッチングガス、又は、CF4ガスとCHF3とCH2F2ガスとの混合ガスより成るエッチングガスを用いる
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1乃至8のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1のエッチング工程において形成される前記開口部の形状は、前記開口部の底部に向かって先細った形状である
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1乃至9のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第4のエッチング工程では、前記第1の窒化膜をエッチングするとともに、前記第2の窒化膜をエッチング除去する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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