JP2009147083A - 半導体光素子を作製する方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】希釈窒素系III−V化合物半導体を用いる半導体発光素子において発光特性を向上させることができる半導体発光素子を作製する方法を提供する。
【解決手段】Ga原料としてTEGaを用いてGaInNAs井戸層を成長すると共にGa原料としてTEGaまたはTMGaを用いてGaAs障壁層を成長して2種類の半導体レーザを作製したとき、Ga原料としてTMGaを用いたGaAs障壁層を含む半導体レーザの発光波長が長波長にシフトする。発光しているGaInNaAs井戸層の成長条件が両半導体レーザで全く同等であるけれども、井戸層を挟むGaAs障壁層の作製方法を変更することによって、GaInNaAs井戸層からの発光特性を向上できる。
【選択図】図6
【解決手段】Ga原料としてTEGaを用いてGaInNAs井戸層を成長すると共にGa原料としてTEGaまたはTMGaを用いてGaAs障壁層を成長して2種類の半導体レーザを作製したとき、Ga原料としてTMGaを用いたGaAs障壁層を含む半導体レーザの発光波長が長波長にシフトする。発光しているGaInNaAs井戸層の成長条件が両半導体レーザで全く同等であるけれども、井戸層を挟むGaAs障壁層の作製方法を変更することによって、GaInNaAs井戸層からの発光特性を向上できる。
【選択図】図6
Description
本発明は、半導体光素子を作製する方法に関する。
非特許文献1には、有機金属気相成長(MOVPE)法で、GaInNaAs結晶を成長する方法が記載されている。GaInNaAs結晶の成長では、窒素原料として、ジメチルヒドラジン(UDMHy:1,1-dimethylhydrazine)を用いる。
Jpn. J. Appl. Phys. (1997) 36, pp.2671-267
Jpn. J. Appl. Phys. (1997) 36, pp.2671-267
GaInNaAsといった希釈窒素系III−V化合物半導体は、例えばGaInNAs井戸層を含む活性層を持つ半導体レーザ及び発光ダイオードといった半導体光素子に用いられる。GaInNAs井戸層において、ガリウム組成は約66%であり、インジウム組成は約34%であり、窒素組成を約1%であり、ヒ素組成を約99%である。この組成のGaInNAsを用いることにより、波長1.3マイクロメートル帯で発光する半導体発光素子が得られる。
GaInNAs系活性層を有する半導体光素子(例えば、半導体レーザ)の開発が行われているが、この組成のGaInNAs結晶は、波長1.3マイクロメートル帯で発光可能である。しかしながら、良好なレーザ特性を実現するGaInNAs結晶を得ることは容易ではない。また、十分な発光強度を得ることも容易ではなく、レーザダイオードの発振閾値電流密度が高い。また、波長1.3マイクロメートル帯の領域でも、できるかぎり長波長にして、かつ、十分な発光強度を得ることも容易ではない。これまでの手法では、GaInNAsに代表される希薄窒素III−V化合物半導体を成長した後に、この希薄窒素III−V化合物半導体の熱処理(熱アニール)を行って、その発光特性の向上と関連させてレーザダイオードの発振閾値電流密度を低減させていた。しかしながら、この熱アニールを行うことによって発光波長が短波長化してしまう。このため、長波長の波長領域で発光するレーザダイオードを作製することは容易でない。これまではレーザダイオードとしての素子特性を製品適用に十分なレベルにするために、その発光特性に関しては更なる向上が望まれていた。
例えばGaInNAs井戸層及びGaAs障壁層を含む量子井戸構造の活性層を有する半導体レーザでは、GaInNAs結晶の上記のような事情により、その発振波長、フォトルミネッセンスピーク波長が長波長にシフトされた活性層を作製することができなかった。
本発明は、このような事情を鑑みて為されたものであり、希釈窒素系III−V化合物半導体を用いる半導体発光素子において発光特性を向上可能な、半導体発光素子を作製する方法を提供することを目的とする。
本発明の一側面は、半導体光素子を作製する方法である。この方法は、(a)III族としてガリウムを含むと共にV族としてヒ素を含む第1のIII−V化合物半導体層を有機金属気相成長法で成長する工程と、(b)前記第1のIII−V化合物半導体層の成長の際に供給される第1の有機ガリウム原料と異なる第2の有機ガリウム原料に切り替えて、III族としてガリウム及びインジウムを含むと共にV族としてヒ素及び窒素を含む第2のIII−V化合物半導体層を有機金属気相成長法で成長する工程と、(c)前記第2のIII−V化合物半導体層の成長の際に供給された前記第2の有機ガリウム原料と異なる第3の有機ガリウム原料に切り替えて、III族としてガリウムを含むと共にV族としてヒ素を含む第3のIII−V化合物半導体層を有機金属気相成長法で成長する工程とを備える。前記第2のIII−V化合物半導体層のバンドギャップは、前記第1及び第3のIII−V化合物半導体層のバンドギャップよりも小さい。前記第1〜第3のIII−V化合物半導体層は量子井戸構造のために形成される。
この方法によれば、異なる有機ガリウム原料を用いて、第2のIII−V化合物半導体層と第1及び第3のIII−V化合物半導体層とを成長することによって、半導体発光素子の発光特性を向上ができた。また、異なる有機ガリウム原料を用いて、第2のIII−V化合物半導体層と第1及び第3のIII−V化合物半導体層とを成長することによって、フォトルミネッセンス波長が長波長にシフトされた。
本発明に係る方法では、前記第2のIII−V化合物半導体層の成長の際に供給される第1の有機ガリウム原料が、トリエチルガリウム(TEGa)であることが好ましく、前記第1のIII−V化合物半導体層の成長の際に供給される第2の有機ガリウム原料は、一または複数の有機ガリウム原料を含み、前記第3のIII−V化合物半導体層の成長の際に供給される第3有機のガリウム原料は、一または複数の有機ガリウム原料を含み、前記第1及び第3の有機ガリウム原料は、トリエチルガリウムと異なる有機ガリウム原料を含む。
この方法によれば、第2のIII−V化合物半導体層の成長には、トリエチルガリウムが好適である。
本発明に係る方法では、前記第1の有機ガリウム原料はトリメチルガリウムであることができる。半導体発光素子の発光特性を向上するために、有機ガリウム化合物のトリメチルガリウムを第1の有機ガリウム原料として用いることが好適である。また、本発明に係る方法では、前記第3の有機ガリウム原料はトリメチルガリウムであることができる。半導体発光素子の発光特性を向上するために、有機ガリウム化合物のトリメチルガリウムを第3の有機ガリウム原料として用いることが好適である。
或いは、本発明に係る方法では、前記第1及び第3の有機ガリウム原料はトリエチルガリウム及びトリメチルガリウムの両方を含むことができる。半導体発光素子の発光特性を向上させるために、第1及び第3の有機ガリウム原料の各々として、トリエチルガリウム及びトリメチルガリウムを用いることが好適である。
本発明に係る方法では、前記第2のIII−V化合物半導体層は、GaInNAs、GaInNAsP、GaInNAsSbのいずれかからなることができる。この方法は、上記の希釈窒素系III−V化合物半導体層の成長に好適である。
本発明に係る方法では、前記第1及び第3のIII−V化合物半導体層は、GaAsおよびGaNAsのいずれかからなることができる。この方法は、希釈窒素系III−V化合物半導体層と共に用いられる上記のIII−V化合物半導体層の成長に好適である。
本発明に係る方法では、前記量子井戸構造は、半導体発光素子の活性層のために形成され、前記第2のIII−V化合物半導体層は、前記活性層における井戸層であり、前記第1及び第3のIII−V化合物半導体層は、前記活性層における障壁層または光閉じ込め層であることができる。
この発明によれば、上記の希釈窒素系III−V化合物半導体層とこれと組み合わせて用いられるIII−V化合物半導体層とを用いて、発光特性が向上された量子井戸構造の活性層を作製できる。
本発明に係る方法は、前記第1〜第3のIII−V化合物半導体層を成長した後に、前記量子井戸構造の熱アニールを行う工程を更に備えることができる。この発明によれば、熱アニールにより発光特性が更に向上される。
本発明に係る方法では、前記第1〜第3のIII−V化合物半導体層はGaAs基板上に成長されることができる。第2のIII−V化合物半導体層はGaAsに格子整合する。
本発明の上記の目的および他の目的、特徴、並びに利点は、添付図面を参照して進められる本発明の好適な実施の形態の以下の詳細な記述から、より容易に明らかになる。
以上説明したように、本発明によれば、希釈窒素系III−V化合物半導体を用いる半導体発光素子において発光特性を向上できる半導体発光素子を作製する方法が提供される。
本発明の知見は、例示として示された添付図面を参照して以下の詳細な記述を考慮することによって容易に理解できる。引き続いて、添付図面を参照しながら、本発明の半導体発光素子を作製する方法に係る実施の形態を説明する。可能な場合には、同一の部分には同一の符号を付する。
図1〜図5は、本発明の実施の形態に係る半導体発光素子を製造する方法の主要な工程を示す図面である。この方法により作製される半導体発光素子は、III−V化合物半導体からなり、III−V化合物半導体の結晶成長は、例えば有機金属気相成長法を用いて行われる。また、この半導体光素子は、V族として窒素およびヒ素を含むIII−V化合物半導体層を含む活性層を有する。引き続く説明では、半導体発光素子の一例として端面発光型レーザダイオードを作製する方法を説明する。
有機金属気相成長(MOVPE)炉(以下、成長炉と記す)11に半導体基板13をセットする。インジウム原料SIn、アルミニウム原料SAl、窒素原料SN、燐原料SPおよびヒ素原料SAsとして、それぞれ、例えば、トリメチルインジウム(TMIn)、トリメチルアルミニウム(TMAl)、ジメチルヒドラジン(DMHy)、ターシャリブチルホスフィン(TBP)およびターシャリブチルアルシン(TBA)を使用することができる。また、井戸層、障壁層及び光閉じ込め層の成長を除く半導体層の成長では、有機ガリウム原料SGaとしては、例えばトリエチルガリウム(TEGa)が使用される。一方、有機ガリウム原料SGa1を使用して障壁層及び光閉じ込め層が成長される。有機ガリウム原料SGa1と異なる有機ガリウム原料SGa2を使用して井戸層が成長される。
半導体基板13は、第1導電型III−V化合物半導体からなり、例えばSiドープのn型GaAs基板である。図1(a)に示されるように、半導体基板13の主面13a上に、バッファ層15およびクラッド層17を形成する。バッファ層15およびクラッド層17は第1導電型III−V化合物半導体からなる。一例のn型GaAs基板上には、n型GaAsバッファ層およびn型AlGaAsクラッド層を順に成長する。GaAsバッファ層の成長温度は例えば摂氏550度であり、AlGaAsクラッド層の成長温度T0は例えば摂氏650度である。n型AlGaAsクラッド層を成長するために、有機金属成膜ガスSAl、SGa、SAsを供給する。
図1(b)に示されるように、クラッド層17上に、光閉じ込め層19を形成する。光閉じ込め層19はIII−V化合物半導体からなる。一例のn型AlGaAsクラッド層上には、アンドープGaAs光閉じ込め層を成長する。GaAs光閉じ込め層の成長温度T1は例えば摂氏550度である。アンドープGaAs光閉じ込め層を成長するために、有機金属成膜ガスSGa1、SAsを供給する。なお、アンドープGaAs光閉じ込め層に替えてアンドープGaAs障壁層を成長するようにしてもよい。有機金属成膜ガスSGa1は、一又は複数の有機金属ガリウム原料を含むことができる。成長温度T1は例えば摂氏490度以上であり、また摂氏540度以下である。必要な場合には、光閉じ込め層19は所望のドーパントで添加される。光閉じ込め層19の材料は、GaAsに限定されることなく、GaNAs、あるいはGaAsP等から成ることができる。
次いで、図2(a)に示されるように、活性層のための井戸層21aを光閉じ込め層19上に形成する。井戸層21aは、III族としてガリウム及びインジウムを含むと共にV族として窒素およびヒ素を含むIII−V化合物半導体からなる。井戸層21aは、例えばアンドープのGaInNAs層からなることができ、成長温度T2は、例えば摂氏490度以上であり、また摂氏540度以下である。アンドープGaInNAs井戸層を成長するために、有機金属成膜ガスSGa2、SIn、SAs、SNを供給する。有機金属成膜ガスSGa2は、一又は複数の有機金属ガリウム原料を含むことができる。井戸層のための有機金属成膜ガスSGa2は、光閉じ込め層のための有機金属成膜ガスSGa1と異なる。このため、光閉じ込め層19の成長と井戸層21aの成長との間に、有機ガリウム原料の切り替えを行う。
引き続く工程では、活性層のための井戸層を成長した後に、当該半導体発光素子のための残りの複数のIII−V化合物半導体層をそれぞれの成長温度において成長して、エピタキシャル基板を形成する。井戸層21aの形成の後に、図2(b)に示されるように、井戸層21a上に障壁層23を成長温度T1で形成する。障壁層23は、例えばアンドープのGaAs層からなることができる。アンドープGaAs障壁層を成長するために、有機金属成膜ガスSGa1、SAsを供給する。障壁層のための有機金属成膜ガスSGa1は、井戸層のための有機金属成膜ガスSGa2と異なる。このため、井戸層21aの成長と障壁層23の成長との間に、有機ガリウム原料の切り替えを行う。障壁層23の材料は、GaAsに限定されることなく、GaNAs、あるいはGaAsP等から成ることができる。
図3(a)に示されるように、井戸層21aと同様に、井戸層21bを障壁層23上に成長温度T1で形成する。井戸層21bは、井戸層21aと同じく例えばアンドープのGaInNAs層からなることができる。アンドープGaInNAs井戸層を成長するために、有機金属成膜ガスSGa2、SIn、SAs、SNを供給する。有機金属成膜ガスSGa2は、一又は複数の有機金属ガリウム原料を含むことができる。井戸層のための有機金属成膜ガスSGa2は、光閉じ込め層のための有機金属成膜ガスSGa1と異なる。このため、障壁層23の成長と井戸層21bの成長との間に、有機ガリウム原料の切り替えを行う。井戸層21a、21bの材料は、GaInNAsに限定されることなく、GaNAs、GaNPAs、およびGaInNAsSbのいずれかから成ることができる。
図3(b)に示されるように、光閉じ込め層25を井戸層21b上に成長温度T1で形成する。一例の光閉じ込め層25は、例えばアンドープGaAsであることができ、成長温度T1は例えば摂氏490度以上であり、また摂氏550度以下である。アンドープGaAs光閉じ込め層を成長するために、有機金属成膜ガスSGa1、SAsを供給する。なお、アンドープGaAs光閉じ込め層に替えて、アンドープGaAs障壁層を成長するようにしてもよい。有機金属成膜ガスSGa1は、一又は複数の有機金属ガリウム原料を含むことができる。成長温度T1は例えば摂氏490度以上であり、また摂氏540度以下である。必要な場合には、光閉じ込め層19は所望のドーパントで添加される。光閉じ込め層25のための有機金属成膜ガスSGa1は、井戸層21bのための有機金属成膜ガスSGa2と異なる。このため、井戸層21bの成長と光閉じ込め層25の成長との間に、有機ガリウム原料の切り替えを行う。光閉じ込め層25の材料は、GaAsに限定されることなく、GaNAs、あるいはGaAsP等から成ることができる。
図4(a)に示されるように、第2導電型III−V化合物半導体からなるクラッド層27を光閉じ込め層25上に形成する。一例のクラッド層27は、例えばp型AlGaAsであることができ、成長温度T3は例えば摂氏550度以上であり、また摂氏650度以下である。p型AlGaAsクラッド層を成長するために、有機金属成膜ガスSAl、SGa、SAsを供給する。
図4(b)に示されるように、第2導電型III−V化合物半導体からなるコンタクト層29をクラッド層27上に成長温度T4で形成する。一例のコンタクト層29は、例えばp型GaAsであることができ、成長温度T4は例えば摂氏500度以上であり、また摂氏550度以下である。これらの工程により、エピタキシャル基板E1が形成された。
次いで、必要な場合には、図5(a)に示されるように、成長炉11を用いてエピタキシャル基板E1のアニール31を温度T5で行う。アニール温度T5は例えば摂氏550度以上であり、また摂氏750度以下である。アニール31は、例えばターシャリブチルアルシン(TBA)の雰囲気で行われる。この熱処理により、エピタキシャル基板E2が形成された。
この後に、図5(b)に示されるように、エピタキシャル基板E2のコンタクト層29上に絶縁膜をCVD成膜装置を用いて形成すると共に、フォトリソグラフィによりコンタクト層29に通じる開口を絶縁膜に形成する。該絶縁膜に開口を形成して保護層33を形成する。次いで、図5(b)に示されるように、電極35、37をエピタキシャル基板上に形成する。一例では、電極35、37のうちのp電極をコンタクト層29上に形成すると共に、電極35、37のうちのn電極を基板13の裏面13b上に形成する。
電極を形成した後に、ウエハの壁開によって半導体レーザを作製した。この半導体レーザの共振器長は、例えば600マイクロメートである。これらの工程により作製された半導体レーザの一例は、
半導体基板13:Siドープn型GaAs、厚さ350μm
バッファ層15:Siドープn型GaAs、厚さ200nm
クラッド層17:Siドープn型AlGaAs、厚さ0.1μm
光閉じ込め層19:アンドープGaAs、厚さ140nm
井戸層21a:アンドープのGaInNAs、厚さ7nm
障壁層23:アンドープGaAs、厚さ8nm
井戸層21b:アンドープのGaInNAs、厚さ7nm
光閉じ込め層25:アンドープGaAs、厚さ140nm
クラッド層27:Znドープp型AlGaAs、厚さ0.3μm
コンタクト層29:Znドープp型GaAs、厚さ200nm
絶縁膜33:シリコン酸化物、厚さ100nm
である。
半導体基板13:Siドープn型GaAs、厚さ350μm
バッファ層15:Siドープn型GaAs、厚さ200nm
クラッド層17:Siドープn型AlGaAs、厚さ0.1μm
光閉じ込め層19:アンドープGaAs、厚さ140nm
井戸層21a:アンドープのGaInNAs、厚さ7nm
障壁層23:アンドープGaAs、厚さ8nm
井戸層21b:アンドープのGaInNAs、厚さ7nm
光閉じ込め層25:アンドープGaAs、厚さ140nm
クラッド層27:Znドープp型AlGaAs、厚さ0.3μm
コンタクト層29:Znドープp型GaAs、厚さ200nm
絶縁膜33:シリコン酸化物、厚さ100nm
である。
活性層は、量子井戸構造を有しており、例えば、光閉じ込め層19、井戸層21a、障壁層23、井戸層21b、光閉じ込め層25からなることができる。この井戸層の成長では、有機金属原料のTEGa、TMIn、DMHy、TBAsの流量は、それぞれ、5×10−5mol/分、2×10−5mol/分、3×10−2mol/分、3×10−4mol/分であった。この成長で、同じV族原子となる、DMHyとTBAsの供給モル数比は
[DMHy]:[TBAs]=100:1
である。この成長条件で上記の実施例のレーザダイオードを作製したとき、井戸雄のIn組成およびN組成は、それぞれ、約34%および約1%であり、レーザ発光波長が1.29μmであった。
[DMHy]:[TBAs]=100:1
である。この成長条件で上記の実施例のレーザダイオードを作製したとき、井戸雄のIn組成およびN組成は、それぞれ、約34%および約1%であり、レーザ発光波長が1.29μmであった。
(実施例)
以下の手順により2種類の端面発光型発光ダイオード(LED)を作製した。このLEDのためのエピタキシャル成長は、MOVEP法により行われた。Ga、In、N、As、Al原料として、それぞれ、トリエチルガリウム(TEGa)またはトリメチルガリウム(TMGa)、トリメチルインジウム(TMIn)、ジメチルヒドラジン(DMHy)、ターシャリーブチルアルシン(TBAs)、トリメチルアルミニウム(TMAl)を用いた。まず、SiドープしたGaAs基板を準備した。SiドープGaAs基板上に、n型Siドープバッファ層(厚さ:200nm)成長した。その上にn型SiドープAlGaAsクラッド層(厚さ:100nm)を成長した。その上に活性層を成長した。活性層は、順に形成されたアンドープGaAs障壁層(厚さ:140nm)、アンドープGaInNAs井戸層(厚さ:7nm)、アンドープGaAs障壁層(厚さ:8nm)、アンドープGaInNAs井戸層(7nm)、アンドープGaAs障壁層(厚さ:140nm)からなる多重量子井戸構造を有する。活性層の作製は後ほど詳述する。活性層上にp型ZnドープAlGaAsクラッド層(厚さ:1.5μm)を成長した。その上にp型ZnドープGaAsコンタクト層を成長した。これらの結晶成長によりエピタキシャル基板が作製された。このエピタキシャル基板を、続いて熱アニール処理を行った。
以下の手順により2種類の端面発光型発光ダイオード(LED)を作製した。このLEDのためのエピタキシャル成長は、MOVEP法により行われた。Ga、In、N、As、Al原料として、それぞれ、トリエチルガリウム(TEGa)またはトリメチルガリウム(TMGa)、トリメチルインジウム(TMIn)、ジメチルヒドラジン(DMHy)、ターシャリーブチルアルシン(TBAs)、トリメチルアルミニウム(TMAl)を用いた。まず、SiドープしたGaAs基板を準備した。SiドープGaAs基板上に、n型Siドープバッファ層(厚さ:200nm)成長した。その上にn型SiドープAlGaAsクラッド層(厚さ:100nm)を成長した。その上に活性層を成長した。活性層は、順に形成されたアンドープGaAs障壁層(厚さ:140nm)、アンドープGaInNAs井戸層(厚さ:7nm)、アンドープGaAs障壁層(厚さ:8nm)、アンドープGaInNAs井戸層(7nm)、アンドープGaAs障壁層(厚さ:140nm)からなる多重量子井戸構造を有する。活性層の作製は後ほど詳述する。活性層上にp型ZnドープAlGaAsクラッド層(厚さ:1.5μm)を成長した。その上にp型ZnドープGaAsコンタクト層を成長した。これらの結晶成長によりエピタキシャル基板が作製された。このエピタキシャル基板を、続いて熱アニール処理を行った。
熱処理後に、エピタキシャル基板に酸化膜を形成した。この酸化膜に対してフォトエッチング工程により酸化膜の所望領域を除去した後に、p型電極を形成した。続いて、エピタキシャル基板の裏面にn型電極を形成した。これらのメタライゼーションにより、共振器長600マイクロメートルの端面発光型LEDを得た。
上記のLEDの成長において、一方のLEDの作製では、GaAs障壁層の成長においてガリウム原料としてTEGaを供給し、他方のLEDの作製では、GaAs障壁層の成長においてガリウム原料としてTMGaを供給した。つまり、図6に示されるように、実験例1及び実験例2のような成膜ガスを用いた。
実験例1(TEGa/TEGa):
この活性層(井戸層および障壁層)の成長では、GaAs障壁層のGa原料にはTEGaのみを用いた。その供給量は5×10−5mol/分であった。GaInNAs井戸層のGa原料にはTEGaのみ用いた。井戸層の成長と障壁層の成長との間の原料ガスの切り替えを行わず、井戸層及び障壁層を連続して形成した。TEGaの供給は、井戸層の成長と障壁層の成長との両者で1本のTEGaの原料供給ラインから常に5×10−5mol/分を供給する方法で行った。
実験例2(TMGa/TEGa):
この活性層(井戸層および障壁層)の成長では、GaAs障壁層のGa原料にはTMGaのみを用いた。その供給量は4×10−5mol/分であった。GaInNAs井戸層のGa原料にはTEGaのみ用いた。井戸層の成長と障壁層の成長との間にて原料ガスの切り替えを行って、井戸層及び障壁層を連続して形成した。Ga原料の提供のための2本の供給ラインを準備した。これらは、井戸層の成長で供給するTEGaのラインと、障壁層の成長で供給するTMGaのラインとである。井戸層の成長では、TEGaのラインをONとしTMGaのラインをOFFとする。また、障壁層の成長では、TEGaのラインをOFFとしTMGaのラインをONとする。
この活性層(井戸層および障壁層)の成長では、GaAs障壁層のGa原料にはTEGaのみを用いた。その供給量は5×10−5mol/分であった。GaInNAs井戸層のGa原料にはTEGaのみ用いた。井戸層の成長と障壁層の成長との間の原料ガスの切り替えを行わず、井戸層及び障壁層を連続して形成した。TEGaの供給は、井戸層の成長と障壁層の成長との両者で1本のTEGaの原料供給ラインから常に5×10−5mol/分を供給する方法で行った。
実験例2(TMGa/TEGa):
この活性層(井戸層および障壁層)の成長では、GaAs障壁層のGa原料にはTMGaのみを用いた。その供給量は4×10−5mol/分であった。GaInNAs井戸層のGa原料にはTEGaのみ用いた。井戸層の成長と障壁層の成長との間にて原料ガスの切り替えを行って、井戸層及び障壁層を連続して形成した。Ga原料の提供のための2本の供給ラインを準備した。これらは、井戸層の成長で供給するTEGaのラインと、障壁層の成長で供給するTMGaのラインとである。井戸層の成長では、TEGaのラインをONとしTMGaのラインをOFFとする。また、障壁層の成長では、TEGaのラインをOFFとしTMGaのラインをONとする。
実験例1及び2において、GaInNAs井戸層の成長条件は同じである。条件のうち異なるものは、GaAs障壁層に用いるGa原料である。このようにして得られたLED装置の特性評価を実施した結果を図7に示す。発光素子の発光波長に関して、実験例1の特性線E1に比較して実験例2の特性線E1は、発光波長のピーク波長に15nm程度の長波長化(△λ)が生じたことを示している。また、発光波長が長波長化しても、発光強度が同等或いは向上している。これ故に、結晶特性を劣化させること無く長波長化が達成されている。
上記の実験によれば、井戸層の成長にはトリエチルガリウムが好適である。また、障壁層または光閉じ込め層のガリウム原料はトリメチルガリウムであることができる。有機ガリウム化合物のトリメチルガリウムを障壁層または光閉じ込め層のガリウム原料として用いることによって、半導体発光素子の発光特性を向上ができた。
井戸層のガリウム原料には、トリエチルガリウム及びトリメチルガリウムの両方を含むことができる。障壁層および光閉じ込め層のガリウム原料には、トリエチルガリウム及びトリメチルガリウムの両方を含むことができる。ここでは、井戸層では、トリエチルガリウムの流量はトリメチルガリウムの流量より多い供給量とし、同時に、障壁層または光閉じ込め層のガリウム原料はトリメチルガリウムの流量はトリエチルガリウムの流量より多い供給量とすることで、発光特性の向上の効果が得られる。
他に、障壁層及び光閉じ込め層のガリウム原料として、例えばトリイソブチルガリウム((C4H9)3Ga)等を用いることができる。
好適な実施の形態において本発明の原理を図示し説明してきたが、本発明は、そのような原理から逸脱することなく配置および詳細において変更され得ることは、当業者によって認識される。本発明は、本実施の形態に開示された特定の構成に限定されるものではない。したがって、特許請求の範囲およびその精神の範囲から来る全ての修正および変更に権利を請求する。
既に説明したように、良好な発光特性を示すGaInNAs結晶を得ることは容易ではない。これまで、十分な発光強度が得られなかったり、レーザダイオードの発振閾値電流密度が高かったり、または十分な素子寿命(長期信頼性)が得られなかったりした。
上記の要因の一つとして、GaInNAsとしての窒素の混晶化の難しさが挙げられる。MOVPE法でGaInNAs結晶を成長する場合、その窒素(N)原料にジメチルヒドラジンを用いる。しかし、GaInNAsへの窒素取り込み効率は極端に小さく、窒素原料の供給量が他の原料の供給量の100倍程度になる。これは、平衡状態での窒素の固溶度が極端に小さいことに起因する。
その一例として、N組成1%及びAs組成99%となるGaInNAs井戸層を成長するとき、GaInNAsのV族原子であるNとAsはその組成比としては、
N:As=1:99
である。これに対して、窒素原料ガス(例えば、ジメチルヒドラジン)と砒素原料ガス(例えば、ターシャリーブチルアルシン)の供給モル数比を
DMHy:TBA=100:1
としなければならない。
N:As=1:99
である。これに対して、窒素原料ガス(例えば、ジメチルヒドラジン)と砒素原料ガス(例えば、ターシャリーブチルアルシン)の供給モル数比を
DMHy:TBA=100:1
としなければならない。
ところが、このような大きな供給モル数比で2種類のV族原料ガスを成長炉に供給したとき、大量のジメチルヒドラジンが成長炉に供給されるので、成長炉に供給された原料ガスが均一に混合しにくくなり、窒素濃度が不均一になり、パイルアップが生じる。安定したMOCVD成長を行うための成長条件の最適化が容易ではなく、最適値のマージンが小さかったりする。さらには、GaInNAs系結晶の成長中に有機窒素原料に由来するCH3基が結晶中に混入する。このため、GaInNAs中の不順物(H、C等)濃度が大きくなり、これ故に、結晶特性を劣化させる。これらの影響でGaInNAs量子井戸構造において良好な特性が得られない。
GaInNAs井戸層を含む活性層を有する発光素子では、井戸層を挟む障壁層の結晶特性が、GaInNAs井戸層および活性層全体の結晶特性に大きな影響を持つと考えられる。なぜなら、井戸層と障壁層の境界となる位置では、2種類のV族原料ガスが供給され、その際、大量のジメチルヒドラジンが供給されるので、原料ガスが均一に混合しにくくなり、窒素濃度が不均一になり、パイルアップなどが生じて良好な界面を形成することが難しいと考えられるからである。GaInNAs井戸層を含む活性層を成長する際に、GaInNAs井戸層のGa原料と、それを挟む障壁層のGa原料を別々のものとする(或いは、一種類のGaソースとしないようにする)ことにより、GaInNAs系活性層の結晶性を向上できる。なぜなら、井戸層と障壁層の境界となる位置で、供給する原料を明確に切り替えることによって原料ガスが均一に混合されやすくなり、良好な界面を形成することが可能となって井戸層と障壁層の分離が明確になると考えられるからである。
具体的には、Ga原料としてTEGaを用いてGaInNAs井戸層を成長すると共にGa原料としてTEGaまたはTMGaを用いてGaAs障壁層を成長して2種類の半導体レーザを作製したとき、Ga原料としてTMGaを用いたGaAs障壁層を含む半導体レーザの発光波長が長波長にシフトする。なぜなら、井戸層と障壁層の境界となる位置で、供給する原料を明確に切り替えない場合は、良好な界面を形成されずに実効的な井戸幅が小さくなることから、波長が短くなると考えられる。これに対して、井戸層と障壁層の境界となる位置で、供給する原料を明確に切り替える場合には井戸層と障壁層の境界において良好な界面が形成され、供給する原料を明確に切り替えない場合と比較して、実効的な井戸幅が大きくなることから、発光波長が長波長にシフトすると考えられるからである。また、発光しているGaInNaAs井戸層の成長条件を両半導体レーザで意図的に変更していないけれども、井戸層を挟むGaAs障壁層の作製方法を変更することによって、GaInNaAs井戸層からの発光特性を向上できる。なぜなら、供給するGa原料を、井戸層と障壁層の切り替えとなるタイミングに合わせて上記のように変更することで、原料ガスの混合が促進され、複数の原料ガスの混合ガスが不均一が縮小されやすくなる。供給するGa原料によって井戸層と障壁層との違いが生じるので、良好な界面形成が可能となると考えられるからである。この技術によって、同じ窒素原料の供給量で、より長い発光波長(フォトルミネッセンス波長)のGaInNAs系結晶を成長できる。また、長波長化のための成長条件を用いてもGaInNAs系結晶特性が劣化しない。
13…半導体基板、15…バッファ層、17…クラッド層、19…光閉じ込め層、21a…井戸層、23…障壁層、21b…井戸層、25…光閉じ込め層、27…クラッド層、29…コンタクト層、33…絶縁膜
Claims (10)
- 半導体発光素子を作製する方法であって、
III族としてガリウムを含むと共にV族としてヒ素を含む第1のIII−V化合物半導体層を有機金属気相成長法で成長する工程と、
前記第1のIII−V化合物半導体層の成長の際に供給された第1の有機ガリウム原料と異なる第2の有機ガリウム原料に切り替えて、III族としてガリウム及びインジウムを含むと共にV族としてヒ素及び窒素を含む第2のIII−V化合物半導体層を有機金属気相成長法で成長する工程と、
前記第2のIII−V化合物半導体層の成長の際に供給された前記第2の有機ガリウム原料と異なる第3の有機ガリウム原料に切り替えて、III族としてガリウムを含むと共にV族としてヒ素を含む第3のIII−V化合物半導体層を有機金属気相成長法で成長する工程と
を備え、
前記第2のIII−V化合物半導体層のバンドギャップは、前記第1及び第3のIII−V化合物半導体層のバンドギャップよりも小さく、
前記第1〜第3のIII−V化合物半導体層は量子井戸構造のために形成される、ことを特徴とする方法。 - 前記第2の有機ガリウム原料はトリエチルガリウム(TEGa)であり、
前記第1の有機ガリウム原料は一または複数の有機ガリウムを含み、
前記第3の有機ガリウム原料は一または複数の有機ガリウムを含み、
前記第1及び第3の有機ガリウム原料は、トリエチルガリウムと異なる有機ガリウムを含む、ことを特徴とする請求項1に記載された方法。 - 前記第1の有機ガリウム原料はトリメチルガリウムである、ことを特徴とする請求項2に記載された方法。
- 前記第3の有機ガリウム原料はトリメチルガリウムを含む、ことを特徴とする請求項3に記載された方法。
- 前記第1の有機ガリウム原料はトリエチルガリウム及びトリメチルガリウムの両方を含み、
前記第3の有機ガリウム原料はトリエチルガリウム及びトリメチルガリウムの両方を含む、ことを特徴とする請求項3に記載された方法。 - 前記第2のIII−V化合物半導体層は、GaInNAs、GaInNAsP、GaInNAsSbのいずれかからなる、ことを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載された方法。
- 前記第1のIII−V化合物半導体層は、GaAsおよびGaNAsのいずれかからなり、
前記第3のIII−V化合物半導体層は、GaAsおよびGaNAsのいずれかからなる、ことを特徴とする請求項6に記載された方法。 - 前記量子井戸構造は、半導体レーザの活性層のために形成され、
前記第2のIII−V化合物半導体層は、前記活性層における井戸層であり、
前記第1及び第3のIII−V化合物半導体層は、前記活性層における障壁層または光閉じ込め層である、ことを特徴とする請求項6又は請求項7に記載された方法。 - 前記第1〜第3のIII−V化合物半導体層を成長した後に、前記量子井戸構造の熱アニールを行う工程を更に備える、ことを特徴とする請求項1〜請求項8のいずれか一項に記載された方法。
- 前記第1〜第3のIII−V化合物半導体層はGaAs基板上に成長される、ことを特徴とする請求項1〜請求項9のいずれか一項に記載された方法。
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JP2002094187A (ja) * | 2000-09-18 | 2002-03-29 | Hitachi Ltd | 半導体レーザ及びそれを用いた光通信システム |
JP2003347232A (ja) * | 2002-05-31 | 2003-12-05 | Hitachi Cable Ltd | 半導体の製造方法及びそれを用いて形成した半導体素子 |
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