JP2009145302A - 半導体素子の試験装置及びその試験方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】コイル14と、コイル14を介して半導体素子10に電圧を印加する電源12と、半導体素子10のコレクタ−エミッタ間に流れる電流の電流値に応じて電源12による半導体素子10への電圧印加を遮断するリレー1と、リレー1によって電源12による半導体素子10への電圧印加が遮断された後に半導体素子10をオフにする駆動部11と、を備えることを特徴とする、半導体素子の試験装置。
【選択図】図1
Description
コイルと、
前記コイルを介して半導体素子に電圧を印加する電源と、
前記半導体素子に流れる電流の電流状態に応じて、前記電源による前記半導体素子への電圧印加を遮断する遮断手段と、
前記遮断手段によって前記電圧印加が遮断された後に前記半導体素子をオフにする駆動手段とを備えることを特徴とする。
半導体素子に流れる電流の電流状態を検出するステップと、
前記電流状態の検出結果に応じて、コイルを介して前記半導体素子に対して印加される電圧を遮断するステップと、
前記半導体素子に対する電圧印加を遮断した後に前記半導体素子をオフにするステップとを備えることを特徴とする。
10 半導体素子
11 駆動部
12 電源
13 ダイオード
14 コイル
20 電流センサ
30 放電回路
Claims (8)
- コイルと、
前記コイルを介して半導体素子に電圧を印加する電源と、
前記半導体素子に流れる電流の電流状態に応じて、前記電源による前記半導体素子への電圧印加を遮断する遮断手段と、
前記遮断手段によって前記電圧印加が遮断された後に前記半導体素子をオフにする駆動手段とを備える、半導体素子の試験装置。 - 前記遮断手段は、前記半導体素子に流れる電流の電流値に応じて、前記電圧印加を遮断する、請求項1に記載の半導体素子の試験装置。
- 前記半導体素子のオフ後のアバランシェ状態の変化を検出する検出手段を備える、請求項1又は2に記載の半導体素子の試験装置。
- 前記検出手段は、前記半導体素子のオフ後の所定期間内における前記半導体素子の電圧変化を検出する、請求項3に記載の半導体素子の試験装置。
- 半導体素子に流れる電流の電流状態を検出するステップと、
前記電流状態の検出結果に応じて、コイルを介して前記半導体素子に対して印加される電圧を遮断するステップと、
前記半導体素子に対する電圧印加を遮断した後に前記半導体素子をオフにするステップとを備える、半導体素子の試験方法。 - 前記半導体素子に流れる電流の電流値に応じて、前記半導体素子に印加される電圧を遮断する、請求項5に記載の半導体素子の試験方法。
- 前記半導体素子のオフ後のアバランシェ状態の変化を検出するステップを備える、請求項5又は6に記載の半導体素子の試験方法。
- 前記半導体素子のオフ後の所定期間内における前記半導体素子の電圧変化を検出する、請求項7に記載の半導体素子の試験方法。
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