JP2009122054A - 流量測定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】
空気流量を測定するための流量測定装置の流量計測素子が吸気ダクト内に進入したダストによって破損することを防止する。
【解決手段】
流体が流れる主通路内に配置される副通路８と、一方の面側に流量を測定するための発熱抵抗体のパターンが設けられ前記副通路内に配置された平板状部材５とを有し、平板状部材における発熱抵抗体のパターンの設けられた面５ａが副通路内の流体の流れに沿うように配置され、平板状部材の面５ａと副通路の通路形成面８ｄとの間に流体が流れる発熱抵抗体パターン側流体通路部８ａと、平板状部材の面５ａとは反対側の面５ｂと副通路の通路形成面８ｃとの間に背面側流体通路部８ｂとが構成された流量測定装置において、平板状部材の上流側端部に、この端部に衝突したダストを背面側流体通路部８ｂ側へ誘導する誘導部１３を設ける。
【選択図】図１

Description

本発明は、流量計に係わり、特に自動車エンジンの吸気系を構成して、その吸気量を検出、さらには制御するのに適する流量測定装置に関する。

空気流量を計測する流量測定装置として、発熱抵抗体を加熱制御し発熱抵抗体の放熱量によって流量を計測するものや、発熱抵抗体を加熱制御し発熱抵抗体の近傍に配置した感温抵抗体の温度変化によって流量を計測するものなどが知られている。流量測定装置は、車両の吸気ダクトの一部に装着され、吸入空気流量を測定する役割を持つ。通常、吸気ダクト内にはエアフィルタが設けられており、吸気ダクト内に流入する空気に含まれるダストをエアフィルタで取り除いている。しかし、ダストの大きさによってはエアフィルタを通過してしまうものがあり、またエアフィルタ交換後の装着不具合によりダストが吸気ダクト内へ入り込んでしまったりすることがある。吸気ダクト内に入り込んだダストは、アクセルの踏み込み量が増加すると流体とともに数十ｍ／ｓにまで加速され、流量測定装置の副通路内にまで到達することがある。副通路内に配置された流量計測素子には、非常に薄い部分があり、ダストが衝突することにより破壊される可能性が考えられる。また、吸気ダクト内に入り込んだダストが流量測定装置の流量計測素子に付着すると、流量計測素子の放熱特性が変化して出力特性変化を引き起こす可能性が考えられる。

吸気ダクト内に進入したダストなどから流量計測素子を保護し、汚損による経時劣化を防止する構造として、流量検出部が下面側になるように、感熱抵抗体を流体の流れ方向に対して、２０〜６０度の角度を設けて配置した感熱式流量測定装置が知られている（特許文献１参照）。また、反センシング部分が上流を向くように、流路の軸方向に対して角度αだけ傾斜させて流量計測素子を装着した流量測定装置が知られている（特許文献２参照）。

実公平６−０２０９７４号公報 特開２００３−２６２１４４号公報

従来の技術では、ダストなどから流量計測素子を保護する効果はあるものの、流量計測素子の配置面を流れに対して隠すように構成されているため、本来計測すべき流量に関しては、流体の剥離渦などにより安定した測定が難しくなるといった課題がある。

本発明の目的は、耐ダスト性に優れ、特性誤差が生じにくく信頼性の高い流量測定装置を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明の流量測定装置は、流体が流れる主通路内に配置される副通路と、一方の面側に流量を測定するための発熱抵抗体のパターンが設けられ前記副通路内に配置された平板状部材とを有し、前記平板状部材における前記発熱抵抗体のパターンの設けられた面が前記副通路内の流体の流れに沿うように配置され、前記平板状部材の前記面と前記副通路の通路形成面との間に流体が流れる発熱抵抗体パターン側流体通路部と、前記平板状部材の前記面とは反対側の面と前記副通路の通路形成面との間に背面側流体通路部とが構成された流量測定装置において、前記平板状部材の上流側端部に、この端部に衝突したダストを前記背面側流体通路部側へ誘導する誘導部を設けたものである。

本発明は以下のように構成される。

本発明によれば、ダストが平板状部材の上流側端部で跳ね返されたのち、流体の流れに乗って平板状部材の発熱抵抗体パターンが設けられた面側に流れるのを抑制することができ、発熱抵抗体パターン他で構成される流体計測素子の破損あるいは汚損を防止することができる。

本発明に係る具体的な構成は、以下の通りである。

流体が流れる主通路内に配置される副通路と、一方の面側に流量を測定するための発熱抵抗体のパターンが設けられ前記副通路内に配置された平板状部材とを有し、前記平板状部材における前記発熱抵抗体のパターンの設けられた面が前記副通路内の流体の流れに沿うように配置され、前記平板状部材の前記面と前記副通路の通路形成面との間に流体が流れる発熱抵抗体パターン側流体通路部と、前記平板状部材の前記面とは反対側の面と前記副通路の通路形成面との間に背面側流体通路部とが構成された流量測定装置において、前記平板状部材の上流側端部に、前記発熱抵抗体パターン側流体通路部側よりも、前記背面側流体通路部側を指向するように傾斜した傾斜面を設ける。

このとき、前記平板状部材は前記発熱抵抗体のパターンが電気的に接続される電子回路を構成する回路基板にするとよい。

また、前記発熱抵抗体のパターンが電気的に接続される電子回路と、前記電子回路を内包するハウジング枠体部とを備え、前記傾斜面を前記ハウジング枠体部と一体に成型加工するとよい。

また、前記副通路は前記流体計測素子の上流側に少なくとも一つの曲り部を有し、前記傾斜面は前記平板状部材の前記副通路内に位置する上流側端部部分のうち前記曲がり部外周側の一部を覆うように設けられるとよい。

また、前記傾斜面は前記平板状部材よりも軟質な部材で形成されているとよい。

また、前記傾斜面は前記平板状部材の上流側端部によって形成されているとよい。

本発明に係る以下の実施例は、自動車用の内燃機関に吸入される空気流量を測定するために用いられる流量測定装置に係り、吸入される空気に混じって吸気ダクト内を流れるダストなどの異物によって流量計測素子が破損することを防止し、また安定した流量測定を行えるような構造を提供するものである。以下の説明では、ダストなどの異物を単にダストと呼んで説明する。

本発明の実施例を具体的に説明する。

図１は本発明の一実施例を示す流量測定装置の正面図（Ａ）及びＡ−Ａ断面拡大図（Ｂ）である。図１に従い本実施例の構成部品を説明する。

電子回路５と外部機器とを電気的に接続するためのコネクタターミナル１を有するコネクタ２と、流量測定装置を流体管路構成部材であるボディ１５に固定するためのモジュール支持部３と、電子回路５を保持するハウジング枠体部４とが、プラスチックモールドにて一体成型されている。コネクタターミナル１は電子回路５の端部に形成したボンディングパッド１１とボンディングワイヤ１２により電気的に接続されている。

電子回路５は、平板状部材である基板上に回路素子を配置し、配線によって接続した回路基板として構成される。

流量計測素子６は平板状部材である基板とこの基板上に薄膜形成プロセスにより形成された発熱抵抗体などの抵抗体パターンとによって構成されている。流量計測素子６の基板面が電子回路５の基板面とほぼ平行になるように電子回路５に固定されている。電子回路５はハウジング枠体部４に内包され、副吸気通路内を流れる流体３０の流れの方向に対して平行になるように固定される。尚、本実施例において、流体３０は空気である。

このとき、電子回路５における発熱抵抗体のパターンの設けられた面５ａは、副吸気通路８内の流体の流れに沿うように配置され、電子回路５における発熱抵抗体パターン構成面５ａと副吸気通路８の通路形成面８ｄとの間には流体が流れる発熱抵抗体パターン側流体通路部８ａが構成され、電子回路５における発熱抵抗体パターン構成面とは反対側の面５ｂと副吸気通路８の通路形成面８ｃとの間には背面側流体通路部８ｂが構成される。すなわち、電子回路５の両面５ａ，５ｂに流体が流れるように構成されている。

さらに、電子回路５の上流側の端部（側面）には、図１（Ｂ）に示すように、側面に当たる流体を電子回路５の裏面（裏側）に導く誘導部が突起１３として構成されている。ここで、電子回路５の裏面（裏側）５ｂとは、流量計測素子６が形成されている側の基板面５ａとは反対側の基板面のことであって、背面（背面側）とも言う。これに対して流量計測素子６が設けられている側の基板面５ａを流量計測素子構成面又は表面ということにする。

突起１３の非誘導面１３Ｂは、流量計測素子６側の平面に平行な面で構成されている。突起１３の誘導面１３Ａは、流れを電子回路５の裏面に誘導するために、流れに対して角度を有しており、その角度は流れが誘導面１３Ａに当たるような角度に構成されている。すなわち突起１３は誘導面１３Ａを構成する傾斜面を有している。傾斜面である誘導面１３Ａは発熱抵抗体パターン側の流体通路部８ａ側よりも、背面側の流体通路部８ｂ側を指向するように傾斜している。

突起１３は電子回路５の上流側側面の一部を覆うように設置される。また、本実施例では、突起１３はハウジング枠体部４と一体に成型加工されており、突起１３と電子回路５の上流側側面との隙間は、流体が流れない程度になるように設置される。これは、この隙間を通り、ダスト１４が流量計測素子６側へ進入することを抑制するためである。尚、電子回路５の上流側側面５ｃとは、電子回路５を構成する回路基板の厚さ方向に沿う面のうち、流体の流れ方向において、上流側に位置する面のことである。下流側には下流側側面５ｄが存在する。

ハウジング枠体部４には副吸気通路８が形成されたバイパスモールド部７が結合されている。流量計測素子６は、電子回路５に搭載された状態で、副吸気通路８中に配置される。ハウジング枠体部４及びバイパスモールド部７は、流体管路を構成するボディ１５に開けた矩形の穴からボディ１５内に挿入され、固定ネジ１０によりボディ１５に締めつけ固定される。これにより、吸気通路９を流れるエンジンへの吸気の一部が副吸気通路８へ分流する。その分流した吸気の流量を流量計測素子６により検出してエンジンに吸入される空気の全流量を検出する。

例えば、上記の流量測定装置を自動車などの内燃機関の流体管路を構成するボディ１５に取り付け、吸気ダクトと共にエンジンルーム内に設置した場合、ダストによる影響が考えられる。

ここで、図２を使って流量計測素子６へのダストなどの飛跡の形態を説明する。図２は、本発明を実施しなかった場合、すなわち電子回路５の上流側側面の近傍に突起１３を設けなかった場合のＣＡＥ解析による一定時間ごとのダスト１４の飛跡を示す。

図２に示すように、副吸気通路８内に進入してきたダスト１４は、副吸気通路８が曲がりを持つ構造であるため、慣性力により外周側へと向かう飛跡となる。しかし、電子回路５の流れに垂直である上流側面に衝突したダスト１４は、時間Ｔ１では流れとは逆の方向へ大きく跳ね返され、時間Ｔ２では逆に流れに押し戻されて再度電子回路５へと向かう。さらに、時間Ｔ３では、流量計測素子６の近傍を通り抜け下流側へと流れていく。

すなわち、図２により、本実施例の突起１３を設けなかった場合、流量計測素子６にダスト１４が衝突する可能性のあることが確認できる。

次に、図１に示した実施例の効果を確認するために、電子回路５の上流側側面の近傍に、流れを裏面に誘導するような突起１３を形成した場合について、上記と同様のＣＡＥ解析を実施した。図３に、突起１３を形成した場合のＣＡＥ解析による一定時間ごとのダスト１４の飛跡を示す。

図３に示すように、副吸気通路８内に進入してきたダスト１４は電子回路５に達するまでは、副吸気通路８が曲がりを持つ構造であるため、慣性力により外周側へと向かう飛跡となる。しかし、電子回路５の上流側側面に流れを裏面に誘導するための突起１３を設けたことで、突起１３に衝突したダスト１４は、上流側へ跳ね返されることが無く、電子回路５の裏面に誘導されることが確認できる。このように、小さな突起１３を設けるだけで、ダスト１４の流量計測素子６部への進入を抑制することができ、さらには、流れの剥離を誘発する垂直な面をなくすことで流れを安定させることでき、すなわち流量計測素子６の特性が不安定となることが回避される。したがって、コストアップすることなく、実装時等における流量計測素子６へ信頼性を確保し、小型化に際しての特性変化を抑制可能な流量測定装置を実現することができる。

突起１３は、上述したように、流体の流れを電子回路５の裏面に導くだけではなく、ダスト１４の上流側への跳ね返りを抑制し、ダスト１４が電子回路５の裏面側に流れ易くしている。この場合、突起１３はダスト１４が電子回路５の裏面側に向けて流れる流体の流れに向かって跳ねるように機能している。或いは、ダスト１４は突起１３で大きく跳ねることなく、電子回路５の裏面側に向けて流れる流体に乗って流れていく形態が考えられる。

図１に示した実施例に対し、図４に示すように、突起１３を電子回路５の上流側側面のうち、副吸気通路８内に挿入された部分の全体を覆うように形成してもよい。

樹脂で構成する場合、一部を覆う形状に比べると、細長い形状で構成されるため成形性に劣る面があるが、副吸気通路８内の流体３０の流速が遅い場合、あるいは慣性分離されない程度のダスト１４でも流量計測素子６側への進入を抑制することが可能になる。この構成により、流量計測素子６の汚損を防止することができ、すなわち、汚損劣化による特性変化を抑制可能な流量測定装置を実現することができる。

また、図１及び図４に示す突起１３あるいは誘導面１３Ａを、電子回路５あるいは流量計測素子６を構成する部材よりも、さらに軟質な反発係数の低い部材で構成することでも、上記以上の効果を得ることができる。突起１３の反発係数が大きいと、流れの変化によって、ダスト１４が上流側（流れと反対の方向）に大きく跳ね返ってしまうことも考えられ、すなわち流量計測素子６までの距離が長くなり、再度流れにより加速され流量計測素子６付近を通過する時には、流量計測素子６を破壊する流速に達する可能性もあるからである。

図１及び図４に示した実施例に対し、図５に示すように、突起１３を電子回路５と同部材で形成しても良い。一部を覆う形状に比べると技術的に難しくなるため生産性に劣る面があるが、上記と同様にダスト１４の流量計測素子６側への進入を抑制することが可能である。この構成により、流量計測素子６の破壊あるいは汚損を防止することができ、すなわち、信頼性の高い、汚損劣化による特性変化を抑制可能な流量測定装置を実現することができる。また、この構成の場合には、製造上の誤差により、突起１３と電子回路５の位置がずれることがなくなり、すなわち段差や流体が流れ込むような隙間が構造上なくなるため、流れの安定化の面でさらに有利である。

また、図１，図４及び図５に示す突起１３の誘導面１３Ａの傾斜角度は、図６に示すように、副吸気通路８内の流体３０の流れに対して４５°以下にするとよい。これにより、効果的にダスト１４を電子回路５の裏面に誘導することが可能となる。突起１３が副吸気通路８内の流体３０の流れに対して４５°より大きいことが望ましくない理由は、誘導面１３Ａに衝突したダスト１４は突起１３よりも上流側へ戻されてしまい、再度加速されたダスト１４が流量計測素子６側へ進入してくる可能性が高まるからである。

また、図１，図４及び図５に示す突起１３の誘導面１３Ａは、図７に示すように、副吸気通路８内の流体３０の流れに対して凹状の曲面にするとよい。これにより、効果的にダスト１４を電子回路５の裏面に誘導することが可能となる。突起１３が副吸気通路８内の流体３０の流れに対して凸状とすることが望ましくない理由は、図６の構成と同様に、誘導面１３に衝突したダスト１４が突起１３よりも上流側へ戻されてしまい、再度加速されたダスト１４が流量計測素子６側へ進入してくる可能性が高まるからである。

以上の説明では、流量計測素子６が電子回路５に搭載された状態で副吸気通路８内に配置される構成としているが、流量計測素子６を電子回路５に搭載することなく直接配置するような構成もあり得る。この場合、電子回路５の「裏面」は流量計測素子６を構成する基板において抵抗体パターンが形成された側の基板面とは反対側の基板面に対応することになる。あるいは、電子回路５の代わりに他の支持部材に流量計測素子６を搭載して副吸気通路８内に配置する構成も考えられる。この場合は、電子回路５を他の支持部材に置き換えて電子回路５の「裏面」を考えればよい。

図８は、本発明の流量測定装置１０１を用いた電子燃料噴射方式の内燃機関の動作制御システムの具体的構成例を示す図である。

図８において、エアクリーナ１００から吸入された吸入空気２９は、流量測定装置１０１が配置されたボディ１５，吸気ダクト１０３，スロットルボディ１０４及び燃料が供給されるインジェクタ（燃料噴射弁）１０５を備えたインテークマニホールド１０６を経て、エンジンシリンダ１０７に吸入される。そして、エンジンシリンダ１０７で発生したガス１０８は排気マニホールド１０９を経て外部に排出される。流量測定装置１０１から出力される空気流量信号，吸入空気温度信号，スロットル角度センサ１１１から出力されるスロットルバルブ角度信号，排気マニホールド１０９に設けられた酸素濃度計１１２から出力される酸素濃度信号、及びエンジン回転速度計１１３から出力されるエンジン回転速度信号等は、コントロールユニット１１４に供給される。コントロールユニット１１４は、供給された信号を逐次演算して、最適な燃料噴射量とアイドルエアコントロールバルブ開度とを求め、その値を使ってインジェクタ１０５及びアイドルエアコントロールバルブ１１５を制御する。本発明による流量測定装置１０１を電子燃料噴射方式の内燃機関に使用すれば、正確な流量を測定することができ、内燃機関の正確な動作制御を行うことができる。

上述した実施例により、以下のような効果が得られる。

流体が流れる主通路内に配置された副通路内の流体の流れに平行に配置された電子回路を構成する回路基板の流れ方向の上流側面に、副通路内の流体の流れを、流量計測素子を配置した面とは逆の裏面側に誘導するための誘導部或いは傾斜面を設けることで、流体計測素子側へのダストの進入を防ぐことが可能となり、流体計測素子の破損あるいは汚損を防止することができる。

流量計測素子の上流側に少なくとも一つの曲り部を有した副通路内の流体の流れに平行に配置された電子回路を構成する回路基板の流れ方向の上流側面に、副通路内の流体の流れを流量計測素子を配置した面とは逆の裏面側に誘導するための突起を、曲がり部外側の延長線上に形成することで、曲がりによって遠心分離されたダストが流体計測素子側へ進入することを効率的に防ぐことが可能となり、流体計測素子の破損あるいは汚損を防止することができる。

流体が流れる主通路内に配置された副通路内の流体の流れに平行に配置された電子回路を構成する回路基板の流れ方向の上流側面の一部を覆うように、副通路内の流体の流れを、流量計測素子を配置した面とは逆の裏面側に誘導するための突起を設けることで、曲がりを持つ、すなわち遠心分離機能を持った流量測定装置に対して、生産性および成形性（長く、細長い形状は成形性が悪化しやすい）を考慮しながら流体計測素子側へのダストの進入を防ぐことが可能となり、流体計測素子の破損あるいは汚損を防止することができる。

流体が流れる主通路内に配置された副通路内の流体の流れに平行に配置された電子回路を構成する回路基板の流れ方向の上流側面全部を覆うように、副通路内の流体の流れを流量計測素子を配置した面とは逆の裏面側に誘導するための突起を設けることで、曲がりを持たない副通路、すなわち遠心分離機能を持たない流量測定装置においても、流体計測素子側へのダストの進入を防ぐことが可能となり、流体計測素子の破損を防止することができる。

流体が流れる主通路内に配置された副通路内の流体の流れに平行に配置された電子回路を構成する回路基板の流れ方向の上流側面に、副通路内の流体の流れを、流量計測素子を配置した面とは逆の裏面側に誘導するための突起を流量計測素子あるいは回路基板とは別部材とすることで、生産性を考慮しながら、流体計測素子側へのダストの進入を防ぐことが可能となり、流体計測素子の破損あるいは汚損を防止することができる。

流体が流れる主通路内に配置された副通路内の流体の流れに平行に配置された電子回路を構成する回路基板の流れ方向の上流側面に、副通路内の流体の流れを、流量計測素子を配置した面とは逆の裏面側に誘導するための突起を、流量計測素子あるいは回路基板とは別部材で軟質な部材とし、突起に衝突したダストの運動エネルギーを減少させることで、たとえば、流れの状態によって突起に衝突したダストが、流量計測素子を配置した面側へ流れたとしても、流体計測素子の破損あるいは汚損を防止することができる。

流体が流れる主通路内に配置された副通路内の流体の流れに平行に配置された電子回路を構成する回路基板の流れ方向の上流側面に、副通路内の流体の流れを、流量計測素子を配置した面とは逆の裏面側に誘導するための突起と流量計測素子あるいは回路基板との間に流体が流れない程度の隙間を設けて形成することで、突起に衝突したダストが再度回路基板の流れ方向の上流側面に衝突して、流体計測素子側へのダスト，塵などの進入を防ぐことが可能となり、流体計測素子の破損あるいは汚損を防止することができる。

流体が流れる主通路内に配置された副通路内の流体の流れに平行に配置された電子回路を構成する回路基板の流れ方向の上流側面に、副通路内の流体の流れを、流量計測素子を配置した面とは逆の裏面側に誘導するための突起を、製造コスト，生産性で困難であるが、将来安価に生産できれば流量計測素子あるいは回路基板とは同部材とすることでも流体計測素子側へのダストの進入を防ぐことが可能となり、流体計測素子の破損あるいは汚損を防止することができる。

流体が流れる主通路内に配置された副通路内の流体の流れに平行に配置された電子回路を構成する回路基板の流れ方向の上流側面に、副通路内の流体の流れを、流量計測素子を配置した面とは逆の裏面側に誘導するための、突起の流れの誘導面を、副通路内の流体の流れに対し４５°以下で傾斜した面あるいは凹上の曲面で形成することで、突起に衝突したダストは、少なくとも、突起よりも上流側へ戻されることがない。すなわち、流体計測素子側へのダストの進入を防ぐことが可能となり流体計測素子の破損あるいは汚損を防止することができる。

ダストの影響を受け難い流量測定装置とすることで、信頼性の高い内燃機関の動作制御システムを提供することができる。

本発明による一実施形態である流量測定装置の縦断面図及びＡ−Ａ断面拡大図。 本実施例を実施しなかった場合のダストの飛跡の形態を確認するために実施したＣＡＥ解析による粒子分布図。 本実施例を実施した場合のダストの飛跡の形態を確認するために実施したＣＡＥ解析による粒子分布図。 図１に示す一実施形態の突起構造を変更した場合の流量測定装置の縦断面図。 図１及び図４に示す一実施形態の突起構造を変更した場合の流量測定装置の縦断面図。 本発明による一実施形態である突起構造の拡大図。 図１，図４及び図５に示す突起構造を変更した場合の拡大図。 発明の流量測定装置を用いた電子燃料噴射方式の内燃機関の具体的構成例を示す図。

符号の説明

１ コネクタターミナル
２ コネクタ
３ モジュール支持部
４ ハウジング枠体
５ 電子回路（回路基板）
６ 流量計測素子
７ バイパスモールド
８ 副吸気通路
９ 吸気通路
１０ 固定ネジ
１１ ボンディングパッド
１２ ボンディングワイヤ
１３ 回路基板上流側面に設けた突起
１３Ａ 流れの誘導面
１３Ｂ 流れの非誘導面
１４ ダスト，塵など
１５ ボディ
２９ 吸入空気
３０ 副通路内流体
１００ エアクリーナ
１０１ 流量測定装置
１０３ 吸気ダクト
１０４ スロットルボディ
１０５ インジェクタ
１０６ マニホールド
１０７ エンジンシリンダ
１０９ 排気マニホールド
１１１ スロットル角度センサ
１１２ 酸素濃度計
１１３ エンジン回転速度計
１１４ コントロールユニット
１１５ アイドルエアコントロールバルブ

Claims (7)

1. 流体が流れる主通路内に配置される副通路と、一方の面側に流量を測定するための発熱抵抗体のパターンが設けられ前記副通路内に配置された平板状部材とを有し、前記平板状部材における前記発熱抵抗体のパターンの設けられた面が前記副通路内の流体の流れに沿うように配置され、前記平板状部材の前記面と前記副通路の通路形成面との間に流体が流れる発熱抵抗体パターン側流体通路部と、前記平板状部材の前記面とは反対側の面と前記副通路の通路形成面との間に背面側流体通路部とが構成された流量測定装置において、
   前記平板状部材の上流側端部に、前記発熱抵抗体パターン側流体通路部側よりも、前記背面側流体通路部側を指向するように傾斜した傾斜面を設けたことを特徴とする流量測定装置。
2. 請求項１に記載の流量測定装置において、
   前記平板状部材は前記発熱抵抗体のパターンが電気的に接続される電子回路を構成する回路基板であることを特徴とする流量測定装置。
3. 請求項１に記載の流量測定装置において、
   前記発熱抵抗体のパターンが電気的に接続される電子回路と、前記電子回路を内包するハウジング枠体部とを備え、
   前記傾斜面は前記ハウジング枠体部と一体に成型加工されたことを特徴とする流量測定装置。
4. 請求項１に記載の流量測定装置において、
   前記副通路は前記流体計測素子の上流側に少なくとも一つの曲り部を有し、
   前記傾斜面は前記平板状部材の上流側端部のうち前記曲がり部外周側の一部を覆うように設けられていることを特徴とする流量測定装置。
5. 請求項１に記載の流量測定装置において、
   前記傾斜面は、前記平板状部材よりも軟質な部材で形成されていることを特徴とする流量測定装置。
6. 請求項１に記載の流量測定装置において、
   前記傾斜面は、前記平板状部材の上流側端部よって形成されていることを特徴とする流量測定装置。
7. 流体が流れる主通路内に配置される副通路と、一方の面側に流量を測定するための発熱抵抗体のパターンが設けられ前記副通路内に配置された平板状部材とを有し、前記平板状部材における前記発熱抵抗体のパターンの設けられた面が前記副通路内の流体の流れに沿うように配置され、前記平板状部材の前記面と前記副通路の通路形成面との間に流体が流れる発熱抵抗体パターン側流体通路部と、前記平板状部材の前記面とは反対側の面と前記副通路の通路形成面との間に背面側流体通路部とが構成された流量測定装置において、
   前記平板状部材の上流側端部に、この端部に衝突したダストを前記背面側流体通路部側へ誘導する誘導部を設けたことを特徴とする流量測定装置。

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