JP4929334B2 - 流量測定装置 - Google Patents
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Description
副通路部10Cで360度以上迂回する渦巻き状の副通路を構成し、第1副通路部10A
の入口11と第3副通路部10Cの出口12が主通路4の流体流と直交する面に開口する
構成の熱式流量測定装置1であった。
5 回路基板
6 センサ素子
10A 第1副通路部
10B 第2副通路部
10C 第3副通路部
10AB 連通通路部
10D 第2副通路部のセンサ素子側突起
10E 第2副通路部のセンサ素子側と反対側の突起
10G,10H,10GH 連通通路部の外回り壁面
10P 連通通路部の内回り壁面
13 ハウジング部材
14 ベース部材
Claims (8)
- 主通路を流れる流体の一部を取り込む副通路と、一方の面側に流量を測定するセンサ素子が実装された板状基板とを有する流量測定装置において、
前記副通路の一部に、前記板状基板におけるセンサ素子が実装されたセンサ素子実装面側と、前記板状基板における前記センサ素子実装面側とは反対側の背面側とにそれぞれ流体通路が構成されるように、前記板状基板を配置し、
前記板状基板は、前記実装面と前記背面とが前記副通路を流れる流体に対して平行となるよう配置され、
前記副通路は、前記板状基板に対して流れの上流側に配置され、曲線を描いて向きを変える曲線通路部を有し、
前記曲線通路部は、曲線通路の外周に形成され、傾斜部を有する外周壁面と、曲線通路の内周を形成する内周壁面とを備え、
前記傾斜部は、前記板状基板上の前記センサ素子実装面に垂直な方向における前記外周壁面の両端部のうち、前記センサ素子実装面側の前記外周壁面の端部がもう一方の端部に対して、前記内周壁面側に位置するように傾斜した形状であることを特徴とする流量測定装置。 - 請求項1に記載の流量測定装置において、
前記傾斜部は、直線形状であることを特徴とする流量測定装置。 - 請求項1に記載の流量測定装置において、
前記傾斜部は、円弧形状であることを特徴とする流量測定装置。 - 請求項1に記載の流量測定装置において、
前記傾斜部は、前記傾斜が複数形成されていることを特徴とする流量測定装置。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の流量測定装置において、
前記曲線通路部は、第一の部材と第二の部材とを前記センサ素子実装面に垂直な方向に重ね合わせて形成され、
前記第一の部材はセンサ素子実装面側に位置していて、前記第二の部材は前記背面側に位置しており、
前記第一の部材の外周壁面部と前記第二の部材の外周壁面部によって前記外周壁面を構成し、前記傾斜部が前記第一の部材の外周壁面部に構成されていることを特徴とする流量測定装置。 - 請求項5に記載の流量測定装置において、
前記第二の部材の外周壁面部にも、前記傾斜部が形成されていることを特徴とする流量測定装置。 - 請求項1に記載の流量測定装置において、
前記副通路は、
曲線を描いて向きを変える第一副通路部と、
前記第一副通路に対して流体の下流側に設けられ、前記板状基板が配置された直線状の第二副通路部と、
前記第二副通路に対して流体の下流側に設けられ、曲線を描いて向きを変える第三副通路部と、を備え、
前記第一副通路と前記第三副通路部とは交差することなく階層状に設けられていて、
前記曲線通路部は、前記第一副通路部と前記第二副通路部とを連通接続するように設けられていることを特徴とする空気流量測定装置。 - 請求項7に記載の流量測定装置において、
前記センサ素子実装面側の流体通路における通路断面積は、前記背面側の流体通路における通路断面積より小さくなるように前記板状基板を配置したことを特徴とする流量測定装置。
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