JP2020106320A - 物理量計測装置 - Google Patents

Abstract

【課題】物理量の計測精度を高めることができる物理量計測装置を提供する。【解決手段】ハウジング２１において、計測流路３２はセンサ路４０５、上流曲がり路４０６、下流曲がり路４０７を有している。流量センサ２２はセンサ路４０５に設けられている。上流曲がり路４０６はセンサ路４０５から計測入口３５に向けて延びており、下流曲がり路４０７はセンサ路４０５から計測出口３６に向けて延びている。ハウジング２１の内面は、上流曲がり路４０６の曲がりを外側から形成する上流外曲がり面４１１と、下流曲がり路４０６の曲がりを外側から形成する下流外曲がり面４２１とを有している。計測流路３２について、流量センサ２２を通り、奥行き方向Ｚに延びる仮想の直線として並び線ＣＬ３１を想定すると、この並び線ＣＬ３１上では、流量センサ２２が下流外曲がり面４２１よりも上流外曲がり面４１１に近い位置に設けられている。【選択図】図１５

Description

この明細書による開示は、物理量計測装置に関する。

流体の物理量を計測する物理量計測装置として、例えば特許文献１には、サブバイパス流路を形成するハウジングと、サブバイパス流路を流れる空気の流量を検出する流量センサと、を備えた空気流量測定装置が開示されている。この空気流量測定装置では、サブバイパス流路は、空気が流れ込むサブ入口と、流れ込んだ空気を流出させるサブ出口とを有しており、これらサブ入口とサブ出口との間で空気の流れをＵターンさせる流路形状になっている。サブバイパス流路においては、サブ入口に向けて曲がった部分と、サブ出口に向けて曲がった部分との間に流量センサが設けられている。

特開２０１３−１９０４４７号公報

上記特許文献１では、サブ入口からサブバイパス流路に流れ込んだ空気が、流量センサを通過した後に、サブバイパス流路においてサブ出口に向けて曲がった部分の壁面に当たり、サブバイパス流路での空気の流れが乱れることが懸念される。例えば、壁面に当たった空気がサブバイパス流路を逆流して流量センサまで戻ることなどが懸念される。この場合、サブバイパス流路において流量センサを通過する空気の流れが乱れ、流量センサによる流量の検出精度が低下しやすくなる。したがって、空気等の流体について流量等の物理量を計測する精度が低下し、物理量計測装置の計測精度が低下してしまう。

本開示の主な目的は、物理量の計測精度を高めることができる物理量計測装置を提供することにある。

上記目的を達成するため、開示された態様は、
流体の物理量を計測する物理量計測装置（２０）であって、
流体が流入する計測入口（３５）と、計測入口から流入した流体が流出する計測出口（３６）とを有する計測流路（３２）と、
計測流路に設けられ、流体の物理量を検出する物理量センサ（２２）と、
計測流路を形成しているハウジング（２１）と、
を備え、
計測流路は、
物理量センサが設けられたセンサ路（４０５）と、
計測流路においてセンサ路と計測入口との間に設けられ、ハウジングにおいてセンサ路から計測入口に向けて延びるように曲がっている上流曲がり路（４０６）と、
計測流路においてセンサ路と計測出口との間に設けられ、ハウジングにおいてセンサ路から計測出口に向けて延びるように曲がっている下流曲がり路（４０７）と、
を有しており、
ハウジングの内面は、
上流曲がり路を曲がりの外側から形成する上流外曲がり面（４１１）と、
下流曲がり路を曲がりの外側から形成する下流外曲がり面（４２１）と、
を有しており、
物理量センサを通り且つ上流曲がり路と下流曲がり路との並び方向（Ｚ）に延びた仮想の直線として並び線（ＣＬ３１）を想定し、
並び線上での下流外曲がり面と物理量センサとの離間距離（Ｌ３１ｂ）が、並び線上での上流外曲がり面と物理量センサとの離間距離（Ｌ３１ａ）よりも大きい、物理量計測装置である。

上記態様によれば、並び線上において、下流外曲がり面と物理量センサとの離間距離が、上流外曲がり面と物理量センサとの離間距離よりも大きくなっている。この構成では、上流外曲がり面と下流外曲がり面との間において、物理量センサを下流外曲がり面から極力離れた位置に配置することができる。このため、仮に、計測流路において物理量センサを通過した流体が下流外曲がり面に当たって物理量センサ側に戻る向きに逆流したとしても、その逆流が物理量センサに届きにくくなっている。また、逆流に伴う気流の乱れが下流外曲がり面の周辺に生じたとしても、この乱れが物理量センサに届きにくくなっている。したがって、計測流路での気流の乱れによって物理量センサの検出精度が低下するということを抑制できる。このように物理量センサによる物理量の計測精度を高めることで、物理量計測装置による物理量の計測精度を高めることができる。

なお、特許請求の範囲およびこの項に記載した括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものにすぎず、本開示の技術的範囲を限定するものではない。

第１実施形態における燃焼システムの構成を示す図。 吸気管に取り付けられた状態のエアフロメータの正面図。 吸気管に取り付けられた状態のエアフロメータの平面図。 通過入口側から見たエアフロメータの斜視図。 通過出口側から見たエアフロメータの斜視図。 エアフロメータをコネクタ部側から見た側面図。 エアフロメータをコネクタ部とは反対側から見た側面図。 図２のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線断面図。 センサＳＡの斜視図。 モールド表面側から見たセンサＳＡの平面図。 モールド裏面側から見たセンサＳＡの平面図。 流量センサの斜視図。 メンブレン部の配線パターンを示す図。 エアフロメータの縦断面図。 図１４のセンサ路周辺の拡大図。 図１４のＸＶＩ−ＸＶＩ線断面図。 図１６のセンサ路周辺の拡大図。 第２実施形態におけるエアフロメータでのセンサ路周辺の縦断面図。 第３実施形態におけるエアフロメータの横断面図。

以下、本開示の複数の実施形態を図面に基づいて説明する。尚、各実施形態において対応する構成要素には同一の符号を付すことにより、重複する説明を省略する場合がある。各実施形態において構成の一部分のみを説明している場合、当該構成の他の部分については、先行して説明した他の実施例の構成を適用することができる。また、各実施形態の説明において明示している構成の組み合わせばかりではなく、特に組み合わせに支障が生じなければ、明示していなくても複数の実施形態の構成同士を部分的に組み合わせることができる。そして、複数の実施形態及び変形例に記述された構成同士の明示されていない組み合わせも、以下の説明によって開示されているものとする。

（第１実施形態）
図１に示す燃焼システム１０は、ガソリンエンジン等の内燃機関１１、吸気通路１２、排気通路１３、エアフロメータ２０及びＥＣＵ１５を有しており、例えば車両に搭載されている。エアフロメータ２０は、吸気通路１２に設けられており、内燃機関１１に供給される吸入空気の流量や温度、湿度、圧力といった物理量を計測する。エアフロメータ２０は、空気の流量を計測する流量計測装置であって、吸入空気等の流体を計測対象とした物理量計測装置に相当する。吸入空気は、内燃機関１１の燃焼室１１ａに供給される気体である。燃焼室１１ａにおいては、吸入空気と燃料との混合気が点火プラグ１７により点火される。

ＥＣＵ（Engine Control Unit）１５は、燃焼システム１０の動作制御を行う制御装置である。ＥＣＵ１５は、プロセッサ、ＲＡＭ、ＲＯＭ及びフラッシュメモリ等の記憶媒体、並びに入出力部を含むマイクロコンピュータと、電源回路等と、によって構成された演算処理回路である。ＥＣＵ１５には、エアフロメータ２０から出力されるセンサ信号や、多数の車載センサから出力されるセンサ信号などが入力される。ＥＣＵ１５は、エアフロメータ２０による計測結果を用いて、インジェクタ１６の燃料噴射量やＥＧＲ量などについてエンジン制御を行う。ＥＣＵ１５は、内燃機関１１の運転制御を行う制御装置であり、燃焼システム１０をエンジン制御システムと称することもできる。また、ＥＣＵ１５は、外部装置に相当する。

ＥＣＵ１５は、電子制御装置（Electronic Control Unit）とも呼ばれる場合がある。制御装置、または制御システムは、（ａ）ｉｆ−ｔｈｅｎ−ｅｌｓｅ形式と呼ばれる複数の論理としてのアルゴリズム、または（ｂ）機械学習によってチューニングされた学習済みモデル、例えばニューラルネットワークとしてのアルゴリズムによって提供される。

制御装置は、少なくとも１つのコンピュータを含む制御システムによって提供される。制御システムは、データ通信装置によってリンクされた複数のコンピュータを含む場合がある。コンピュータは、ハードウェアである少なくとも１つのプロセッサ（ハードウェアプロセッサ）を含む。ハードウェアプロセッサは、下記（ｉ）、（ｉｉ）、または（ｉｉｉ）により提供することができる。

（ｉ）ハードウェアプロセッサは、少なくとも１つのメモリに格納されたプログラムを実行する少なくとも１つのプロセッサコアである場合がある。この場合、コンピュータは、少なくとも１つのメモリと、少なくとも１つのプロセッサコアとによって提供される。プロセッサコアは、ＣＰＵ：Central Processing Unit、ＧＰＵ：Graphics Processing Unit、ＲＩＳＣ−ＣＰＵなどと呼ばれる。メモリは、記憶媒体とも呼ばれる。メモリは、プロセッサによって読み取り可能な「プログラムおよび／またはデータ」を非一時的に格納する非遷移的かつ実体的な記憶媒体である。記憶媒体は、半導体メモリ、磁気ディスク、または光学ディスクなどによって提供される。プログラムは、それ単体で、またはプログラムが格納された記憶媒体として流通する場合がある。

（ｉｉ）ハードウェアプロセッサは、ハードウェア論理回路である場合がある。この場合、コンピュータは、プログラムされた多数の論理ユニット（ゲート回路）を含むデジタル回路によって提供される。デジタル回路は、ロジック回路アレイ、例えば、ＡＳＩＣ：Application-Specific Integrated Circuit、ＦＰＧＡ：Field Programmable Gate Array、ＰＧＡ：Programmable Gate Array、ＣＰＬＤ：Complex Programmable Logic Deviceなどとも呼ばれる。デジタル回路は、プログラムおよび／またはデータを格納したメモリを備える場合がある。コンピュータは、アナログ回路によって提供される場合がある。コンピュータは、デジタル回路とアナログ回路との組み合わせによって提供される場合がある。

（ｉｉｉ）ハードウェアプロセッサは、上記（ｉ）と上記（ｉｉ）との組み合わせである場合がある。（ｉ）と（ｉｉ）とは、異なるチップの上、または共通のチップの上に配置される。これらの場合、（ｉｉ）の部分は、アクセラレータとも呼ばれる。

制御装置と信号源と制御対象物とは、多様な要素を提供する。それらの要素の少なくとも一部は、ブロック、モジュール、またはセクションと呼ぶことができる。さらに、制御システムに含まれる要素は、意図的な場合にのみ、機能的な手段と呼ばれる。

この開示に記載の制御部及びその手法は、コンピュータプログラムにより具体化された一つ乃至は複数の機能を実行するようにプログラムされたプロセッサ及びメモリを構成することによって提供された専用コンピュータにより、実現されてもよい。代替的に、この開示に記載の制御部及びその手法は、一つ以上の専用ハードウェア論理回路によってプロセッサを構成することによって提供された専用コンピュータにより、実現されてもよい。代替的に、この開示に記載の制御部及びその手法は、一つ乃至は複数の機能を実行するようにプログラムされたプロセッサ及びメモリと一つ以上のハードウェア論理回路によって構成されたプロセッサとの組み合わせにより構成された一つ以上の専用コンピュータにより、実現されてもよい。また、コンピュータプログラムは、コンピュータにより実行されるインストラクションとして、コンピュータ読み取り可能な非遷移有形記録媒体に記憶されていてもよい。

燃焼システム１０は、車載センサとして複数の計測部を有している。計測部としては、エアフロメータ２０の他に、スロットルセンサ１８ａや空燃比センサ１８ｂなどがある。これら計測部は、いずれもＥＣＵ１５に電気的に接続されており、ＥＣＵ１５に対して検出信号を出力する。エアフロメータ２０は、吸気通路１２において、エアクリーナ１９の下流側であって、スロットルセンサ１８ａが取り付けられたスロットルバルブの上流側に設けられている。

図２、図３、図８に示すように、エアフロメータ２０は、取り付け対象としての配管ユニット１４に取り付けられている。配管ユニット１４は、吸気管１４ａ、管フランジ１４ｃ、管ボス１４ｄを有しており、吸気通路１２を形成する形成部材である。吸気管１４ａ、管フランジ１４ｃ及び管ボス１４ｄは、樹脂材料等により形成されている。

吸気管１４ａは、吸気通路１２を形成するダクト等の配管である。吸気管１４ａには、その外周部を貫通する貫通孔としてエアフロ挿入孔１４ｂが設けられている。管フランジ１４ｃは、円環状に形成されており、エアフロ挿入孔１４ｂの周縁部に沿って延びている。管フランジ１４ｃは、吸気管１４ａの外面から吸気通路１２とは反対側に向けて延びている。管ボス１４ｄは、柱状の部材であり、エアフロメータ２０を支持する支持部である。管ボス１４ｄは、吸気管１４ａの外面から管フランジ１４ｃに沿って延びており、吸気管１４ａに対して複数（例えば２つ）設けられている。本実施形態では、管フランジ１４ｃ及び管ボス１４ｄがいずれも吸気管１４ａから高さ方向Ｙに延びている。

エアフロメータ２０は、管フランジ１４ｃ及びエアフロ挿入孔１４ｂに挿入されることで吸気通路１２に入り込んだ状態になっており、この状態でボルト等の固定具により管ボス１４ｄに固定されている。エアフロメータ２０は、管フランジ１４ｃの先端面に接触していない一方で、管ボス１４ｄの先端面に接触している。このため、配管ユニット１４に対するエアフロメータ２０の相対的な位置や角度は、管フランジ１４ｃではなく管ボス１４ｄによって設定されている。複数の管ボス１４ｄの先端面は、互いに面一になっている。なお、図８では、管ボス１４ｄの図示を省略している。

本実施形態では、エアフロメータ２０について、幅方向Ｘ、高さ方向Ｙ及び奥行き方向Ｚを設定しており、これら方向Ｘ，Ｙ，Ｚは互いに直交している。エアフロメータ２０は高さ方向Ｙに延びており、吸気通路１２は奥行き方向Ｚに延びている。エアフロメータ２０は、吸気通路１２に入り込んだ入り込み部分２０ａと、吸気通路１２に入り込まずに管フランジ１４ｃから外部にはみ出したはみ出し部分２０ｂとを有しており、これら入り込み部分２０ａとはみ出し部分２０ｂとは高さ方向Ｙに並んでいる。

図２、図４、図７、図８に示すように、エアフロメータ２０は、ハウジング２１と、吸入空気の流量を検出する流量センサ２２と、吸入空気の温度を検出する吸気温センサ２３とを有している。ハウジング２１は、例えば樹脂材料等により形成されている。流量センサ２２はハウジング２１の内部に収容されている。エアフロメータ２０においては、ハウジング２１が吸気管１４ａに取り付けられていることで、流量センサ２２が、吸気通路１２を流れる吸入空気と接触可能な状態になる。

ハウジング２１は、取り付け対象としての配管ユニット１４に取り付けられている。ハウジング２１の外面においては、高さ方向Ｙに並んだ一対の端面２１ａ，２１ｂのうち、入り込み部分２０ａに含まれた方をハウジング先端面２１ａと称し、はみ出し部分２０ｂに含まれた方をハウジング基端面２１ｂと称する。ハウジング先端面２１ａ及びハウジング基端面２１ｂは高さ方向Ｙに直交している。管フランジ１４ｃの先端面も高さ方向Ｙに直交している。なお、エアフロメータ２０やハウジング２１が取り付けられる取り付け対象は、吸気通路１２を形成する形成部材であれば配管ユニット１４でなくてもよい。

ハウジング２１の外面においては、吸気通路１２の上流側に配置される面をハウジング上流面２１ｃと称し、ハウジング上流面２１ｃとは反対側に配置される面をハウジング下流面２１ｄと称する。また、ハウジング上流面２１ｃ及びハウジング基端面２１ｂを介して対向する一対の面のうち一方をハウジング表面２１ｅと称し、他方をハウジング裏面２１ｆと称する。ハウジング表面２１ｅは、後述するセンサＳＡ５０において流量センサ２２が設けられた側の面である。

なお、ハウジング２１については、高さ方向Ｙにおいて、ハウジング先端面２１ａ側をハウジング先端側と称し、ハウジング基端面２１ｂ側をハウジング基端側と称する。また、奥行き方向Ｚにおいて、ハウジング上流面２１ｃ側をハウジング上流側と称し、ハウジング下流面２１ｄ側をハウジング下流側と称する。さらに、幅方向Ｘにおいて、ハウジング表面２１ｅ側をハウジング表側と称し、ハウジング裏面２１ｆ側をハウジング裏側と称する。

図２〜図７に示すように、ハウジング２１は、シール保持部２５、フランジ部２７及びコネクタ部２８を有している。エアフロメータ２０はシール部材２６を有しており、シール部材２６はシール保持部２５に取り付けられている。

シール保持部２５は、管フランジ１４ｃの内部に設けられており、シール部材２６を高さ方向Ｙに位置ずれしないように保持している。シール保持部２５は、エアフロメータ２０の入り込み部分２０ａに含まれている。シール部材２６は、管フランジ１４ｃの内部において吸気通路１２を密閉するＯリング等の部材であり、シール保持部２５の外周面と管フランジ１４ｃの内周面との両方に密着している。

フランジ部２７には、ハウジング２１を吸気管１４ａに固定するネジ等の固定具を固定するネジ孔等の固定孔が形成されている。フランジ部２７において、ハウジング先端側の面が管ボス１４ｄの先端面に重ねられた状態で接触しており、この重ねられた部分を角度設定面２７ａと称する。角度設定面２７ａと管ボス１４ｄの先端面とは、いずれも高さ方向Ｙに直交する方向に延びており、幅方向Ｘ及び奥行き方向Ｚに延びている。管ボス１４ｄの先端面は、吸気管１４ａに対する角度設定面２７ａの相対的な位置や角度を設定している。角度設定面２７ａは、エアフロメータ２０において、吸気管１４ａに対するハウジング２１の相対的な位置や角度を設定している。

配管ユニット１４の吸気管１４ａにおいては、吸気通路１２を流れる空気のうち主に流れる主流が奥行き方向Ｚに進む。主流の進む方向を主流方向と称すると、奥行き方向Ｚが主流方向になっている。ハウジング２１においては、フランジ部２７の角度設定面２７ａが主流方向及び奥行き方向Ｚに延びている。また、管ボス１４ｄの先端面も主流方向及び奥行き方向Ｚに延びている。

コネクタ部２８は、流量センサ２２に電気的に接続されたコネクタターミナル２８ａを保護する保護部である。コネクタターミナル２８ａは、ＥＣＵ１５から延びた電気配線がプラグ部等を介してコネクタ部２８に接続されることでＥＣＵ１５に電気的に接続される。フランジ部２７及びコネクタ部２８は、エアフロメータ２０のはみ出し部分２０ｂに含まれている。

図８に示すように、吸気温センサ２３はハウジング２１の外側に設けられている。吸気温センサ２３は、吸入空気の温度を感知する感温素子や、感温素子から延びたリード線、リード線に接続された吸気温ターミナルを有している。ハウジング２１は、吸気温センサ２３を支持する支持部を有しており、この支持部は、ハウジング２１の外周側に設けられている。

ハウジング２１は、バイパス流路３０を有している。バイパス流路３０は、ハウジング２１の内部に設けられており、ハウジング２１の内部空間の少なくとも一部により形成されている。ハウジング２１の内面は、バイパス流路３０を形成しており、形成面になっている。

バイパス流路３０は、エアフロメータ２０の入り込み部分２０ａに配置されている。バイパス流路３０は、通過流路３１及び計測流路３２を有している。計測流路３２には、後述するセンサＳＡ５０のうち流量センサ２２とその周囲の部分とが入り込んだ状態になっている。通過流路３１は、ハウジング２１の内面により形成されている。計測流路３２は、ハウジング２１の内面に加えてセンサＳＡ５０の一部の外面により形成されている。なお、吸気通路１２を主通路と称し、バイパス流路３０を副通路と称することもできる。

通過流路３１は、奥行き方向Ｚにハウジング２１を貫通している。通過流路３１は、その上流端部である通過入口３３と、下流端部である通過出口３４とを有している。計測流路３２は、通過流路３１の中間部分から分岐した分岐流路であり、この計測流路３２に流量センサ２２が設けられている。計測流路３２は、その上流端部である計測入口３５と、下流端部である計測出口３６とを有している。通過流路３１から計測流路３２が分岐した部分はこれら通過流路３１と計測流路３２との境界部になっており、この境界部に計測入口３５が含まれている。また、通過流路３１と計測流路３２との境界部を流路境界部と称することもできる。計測入口３５は、計測出口３６側を向くように傾斜した状態でハウジング先端側を向いている。

計測流路３２は、通過流路３１からハウジング基端側に向けて延びている。計測流路３２は、通過流路３１とハウジング基端面２１ｂとの間に設けられている。計測流路３２は、計測入口３５と計測出口３６との間の部分がハウジング基端側に向けて膨らむように曲がっている。計測流路３２は、連続的に曲がるように湾曲した部分や、段階的に折れ曲がるように屈折した部分、高さ方向Ｙや奥行き方向Ｚに真っ直ぐに延びた部分などを有している。

流量センサ２２は、ヒータ部を有する熱式の流量検出部である。流量センサ２２は、ヒータ部の発熱に伴って温度変化が生じた場合に、その温度変化に応じた検出信号を出力する。流量センサ２２は直方体状のチップ部品であり、流量センサ２２をセンサチップと称することもできる。なお、流量センサ２２を、吸入空気の流量を流体の物理量として検出する物理量センサや物理量検出部と称することもできる。

エアフロメータ２０は、流量センサ２２を含んで構成されたセンササブアッセンブリを有しており、このセンササブアッセンブリをセンサＳＡ５０と称する。センサＳＡ５０は、センサＳＡ５０の一部が計測流路３２に入り込んだ状態でハウジング２１の内部に埋め込まれている。エアフロメータ２０においては、センサＳＡ５０とバイパス流路３０とが高さ方向Ｙに並べられている。具体的には、センサＳＡ５０と通過流路３１とが高さ方向に並べられている。なお、センサＳＡ５０が検出ユニットに相当する。また、センサＳＡ５０を計測ユニットやセンサパッケージと称することもできる。

図９、図１０、図１１に示すように、センサＳＡ５０は、流量センサ２２に加えてセンサ支持部５１を有している。センサ支持部５１は、ハウジング２１に取り付けられており、流量センサ２２を支持している。センサ支持部５１は、ＳＡ基板５３及びモールド部５５を有している。ＳＡ基板５３は、流量センサ２２が搭載された基板であり、モールド部５５は、流量センサ２２の少なくとも一部やＳＡ基板５３の少なくとも一部を覆っている。ＳＡ基板５３をリードフレームと称することもできる。

モールド部５５は、全体として板状に形成されている。モールド部５５の外面においては、高さ方向Ｙに並んだ一対の端面５５ａ，５５ｂのうち、ハウジング先端側の方をモールド先端面５５ａと称し、ハウジング基端側の方をモールド基端面５５ｂと称する。なお、モールド先端面５５ａが、モールド部５５及びセンサ支持部５１の先端部になっており、支持先端部に相当する。また、モールド部５５が保護樹脂部に相当する。

モールド部５５の外面においては、モールド先端面５５ａ及びモールド基端面５５ｂを挟んで設けられた一対の面のうち一方をモールド上流面５５ｃと称し、他方をモールド下流面５５ｄと称する。センサＳＡ５０は、図８において、モールド先端面５５ａがエアフロ先端側に配置され、且つモールド上流面５５ｃがモールド下流面５５ｄよりも計測流路３２の上流側に配置される向きで、ハウジング２１の内部に設置されている。

センサＳＡ５０のモールド上流面５５ｃは、計測流路３２においてモールド下流面５５ｄよりも上流側に配置されている。計測流路３２において流量センサ２２が設けられた部分においては、空気の流れる向きが吸気通路１２での空気の流れる向きとは反対になっている。このため、モールド上流面５５ｃは、吸気通路１２においてはモールド下流面５５ｄよりも下流側に配置されていることになる。なお、流量センサ２２に沿って流れる空気は奥行き方向Ｚに流れ、この奥行き方向Ｚを流れ方向と称することもできる。

図９、図１０に示すように、センサＳＡ５０においては、流量センサ２２がセンサＳＡ５０の一面側に露出している。モールド部５５の外面においては、流量センサ２２が露出した側の板面をモールド表面５５ｅと称し、反対側の板面をモールド裏面５５ｆと称する。センサＳＡ５０の一方の板面がモールド表面５５ｅにより形成されており、このモールド表面５５ｅが支持表面に相当し、モールド裏面５５ｆが支持裏面に相当する。

ＳＡ基板５３は、金属材料等により全体として板状に形成されており、導電性を有する基板である。ＳＡ基板５３の板面は、幅方向Ｘに直交しており、高さ方向Ｙ及び奥行き方向Ｚに延びている。ＳＡ基板５３には流量センサ２２が搭載されている。ＳＡ基板５３は、コネクタターミナル２８ａに接続されたリードターミナル５３ａを形成している。ＳＡ基板５３は、モールド部５５により覆われた部分と、モールド部５５により覆われていない部分とを有しており、覆われていない部分がリードターミナル５３ａになっている。リードターミナル５３ａは、モールド基端面５５ｂから高さ方向Ｙに突出している。なお、図８においては、リードターミナル５３ａの図示を省略している。

図１２に示すように、流量センサ２２は全体として板状に形成されている。流量センサ２２は、一面であるセンサ表面２２ａと、センサ表面２２ａとは反対のセンサ裏面２２ｂとを有している。流量センサ２２においては、センサ裏面２２ｂがＳＡ基板５３に重ねられており、センサ表面２２ａの一部がセンサＳＡ５０の外部に露出している。

流量センサ２２は、センサ凹部６１及びメンブレン部６２を有している。センサ凹部６１はセンサ裏面２２ｂに対して設けられており、メンブレン部６２はセンサ表面２２ａに対して設けられている。メンブレン部６２は、センサ凹部６１の底面を形成している。メンブレン部６２のうちセンサ凹部６１の底面を形成している部分は、センサ凹部６１にとっての底部になっている。センサ凹部６１は、センサ裏面２２ｂがセンサ表面２２ａ側に向けて凹むことで形成されている。センサ凹部６１の開口部はセンサ裏面２２ｂに設けられている。メンブレン部６２は、流量をセンシングするセンシング部になっている。

流量センサ２２は、センサ基板６５及びセンサ膜部６６を有している。センサ基板６５は、流量センサ２２の母材であり、シリコン等の半導体材料により板状に形成されている。センサ基板６５は、一面である基板表面６５ａと、基板表面６５ａとは反対の基板裏面６５ｂとを有している。センサ基板６５には、センサ基板６５を幅方向Ｘに貫通する貫通孔が形成されており、この貫通孔によりセンサ凹部６１が形成されている。なお、センサ基板６５には、貫通孔ではなく、センサ凹部６１を形成する凹部が形成されていてもよい。この場合、センサ凹部６１の底面はメンブレン部６２により形成されるのではなく、センサ基板６５の凹部の底面により形成されることになる。

センサ膜部６６は、センサ基板６５の基板表面６５ａに重ねられており、基板表面６５ａに沿って膜状に延びている。流量センサ２２においては、センサ表面２２ａがセンサ膜部６６により形成され、センサ裏面２２ｂがセンサ基板６５により形成されている。この場合、センサ裏面２２ｂは、センサ基板６５の基板裏面６５ｂになっている。

センサ膜部６６は、絶縁層や導電層、保護層など複数の層を有しており、多層構造になっている。これらは、いずれも膜状に形成されており、基板表面６５ａに沿って延びている。センサ膜部６６は、配線や抵抗体などの配線パターンを有しており、この配線パターンは導電層により形成されている。

流量センサ２２においては、ウェットエッチングによりセンサ基板６５の一部を加工することでセンサ凹部６１が形成されている。流量センサ２２の製造工程においては、シリコン窒化膜等のマスクをセンサ基板６５の基板裏面６５ｂに装着し、エッチング液を用いてセンサ膜部６６が露出するまで基板裏面６５ｂに対して異方性エッチングを行う。なお、センサ基板６５に対してドライエッチング加工を行うことでセンサ凹部６１を形成してもよい。

センサＳＡ５０は、空気の流量を検出する流量検出回路を有しており、この流量検出回路の少なくとも一部が流量センサ２２に含まれている。図１３に示すように、センサＳＡ５０は、流量検出回路に含まれる回路素子として、発熱抵抗体７１、測温抵抗体７２，７３、傍熱抵抗体７４、を有している。これら抵抗体７１〜７４は、流量センサ２２に含まれており、センサ膜部６６の導電層により形成されている。この場合、センサ膜部６６が抵抗体７１〜７４を有しており、これら抵抗体７１〜７４は導電層の配線パターンに含まれている。なお、図１３においては、抵抗体７１〜７４を含む配線パターンをドットハッチングで図示している。また、流量検出回路を、空気の流量を計測する流量計測部と称することもできる。

発熱抵抗体７１は、発熱抵抗体７１への通電に伴って熱を発生させる抵抗素子である。発熱抵抗体７１は、発熱することでセンサ膜部６６を加熱し、ヒータ部に相当する。測温抵抗体７２，７３は、センサ膜部６６の温度を検出するための抵抗素子であり、温度検出部に相当する。測温抵抗体７２，７３の抵抗値は、センサ膜部６６の温度に応じて変化する。流量検出回路においては、測温抵抗体７２，７３の抵抗値を用いてセンサ膜部６６の温度を検出する。流量検出回路は、発熱抵抗体７１によりセンサ膜部６６及び測温抵抗体７２，７３の温度を上昇させ、計測流路３２にて空気の流れが生じた場合に、測温抵抗体７２，７３による検出温度の変化態様を用いて空気流量や流れの向きを検出する。

発熱抵抗体７１は、高さ方向Ｙ及び奥行き方向Ｚのそれぞれについてメンブレン部６２のほぼ中央に配置されている。発熱抵抗体７１は、全体として高さ方向Ｙに延びる長方形状に形成されている。発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ１は、発熱抵抗体７１の中心ＣＯ１を通り、高さ方向Ｙに直線状に延びている。この中心線ＣＬ１は、メンブレン部６２の中心を通っている。発熱抵抗体７１は、メンブレン部６２の周縁部から内側に離間した位置に配置されている。発熱抵抗体７１においては、中心ＣＯ１に対する離間距離が、モールド先端側の端部とモールド基端側の端部とで同じになっている。

測温抵抗体７２，７３は、いずれも全体として高さ方向Ｙに延びる長方形状に形成されており、奥行き方向Ｚに並べられている。これら測温抵抗体７２，７３の間に発熱抵抗体７１が設けられている。測温抵抗体７２，７３のうち、上流測温抵抗体７２は、発熱抵抗体７１からモールド上流側に離間した位置に設けられている。下流測温抵抗体７３は、発熱抵抗体７１からモールド下流側に離間した位置に設けられている。上流測温抵抗体７２の中心線ＣＬ２及び下流測温抵抗体７３の中心線ＣＬ３は、いずれも発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ１に平行に直線状に延びている。発熱抵抗体７１は、奥行き方向Ｚにおいて上流測温抵抗体７２と下流測温抵抗体７３との中間位置に設けられている。

なお、本実施形態のセンサＳＡ５０については、図１０において、モールド上流面５５ｃ側をモールド上流側と称し、モールド下流面５５ｄ側をモールド下流側と称する。また、モールド先端面５５ａ側をモールド先端側と称し、モールド基端面５５ｂ側をモールド基端側と称する。

図１３の説明に戻り、傍熱抵抗体７４は、発熱抵抗体７１の温度を検出するための抵抗素子である。傍熱抵抗体７４は、発熱抵抗体７１の周縁部に沿って延びている。傍熱抵抗体７４の抵抗値は、発熱抵抗体７１の温度に応じて変化する。流量検出回路においては、傍熱抵抗体７４の抵抗値を用いて発熱抵抗体７１の温度を検出する。

センサＳＡ５０は、発熱配線７５、測温配線７６，７７を有している。これら配線７５〜７７は、抵抗体７１〜７４と同様に、センサ膜部６６の配線パターンに含まれている。発熱配線７５は、発熱抵抗体７１からモールド基端側に向けて高さ方向Ｙに延びている。上流測温配線７６は、上流測温抵抗体７２からモールド先端側に向けて高さ方向Ｙに延びている。下流測温配線７７は、下流測温抵抗体７３からモールド先端側に向けて高さ方向Ｙに延びている。

図１４、図１５に示すように、計測流路３２の中心線ＣＬ４は、計測入口３５の中心ＣＯ２と計測出口３６の中心ＣＯ３とを通り、計測流路３２に沿って直線状に延びている。センサＳＡ５０は、計測流路３２において計測入口３５と計測出口３６との間に設けられている。センサＳＡ５０は、計測入口３５から上流側に離間した位置であって、計測出口３６から上流側に離間した位置に設けられている。なお、図１４、図１５においては、計測流路３２のうちＳＡ挿入孔１０７の内部空間を除いた領域の中心線を中心線ＣＬ４として図示している。

図１５〜図１７に示すように、ハウジング２１は、計測流路３２を形成する形成面として、計測床面１０１、計測天井面１０２、表計測壁面１０３、裏計測壁面１０４を有している。これら計測床面１０１、計測天井面１０２、表計測壁面１０３及び裏計測壁面１０４は、いずれも計測流路３２の中心線ＣＬ４に沿って延びている。計測床面１０１、計測天井面１０２、表計測壁面１０３及び裏計測壁面１０４は、計測流路３２のうち奥行き方向Ｚに延びている部分を形成している。なお、計測床面１０１が床面に相当し、表計測壁面１０３が表壁面に相当し、裏計測壁面１０４が裏壁面に相当する。幅方向Ｘが、表壁面と裏壁面とが並んだ表裏方向に相当する。

計測床面１０１及び計測天井面１０２は、表計測壁面１０３と裏計測壁面１０４との間に設けられている。計測床面１０１は、センサＳＡ５０のモールド先端面５５ａに対向しており、奥行き方向Ｚに真っ直ぐに延びている。計測天井面１０２は、高さ方向Ｙにおいて中心線ＣＬ４を介して計測床面１０１とは反対側に設けられている。ハウジング２１において計測天井面１０２を形成する部分には、センサＳＡ５０が挿入されたＳＡ挿入孔１０７が設けられている。このＳＡ挿入孔１０７は、センサＳＡ５０によって閉鎖されている。計測流路３２には、ＳＡ挿入孔１０７の内部空間のうちセンサＳＡ５０とハウジング２１との隙間も含まれている。

表計測壁面１０３と裏計測壁面１０４とは、計測床面１０１や計測天井面１０２を介して互いに対向する一対の壁面である。表計測壁面１０３は、センサＳＡ５０のモールド表面５５ｅに対向しており、計測床面１０１のエアフロ表側の端部からハウジング基端側に向けて延びている。特に、表計測壁面１０３は、センサＳＡ５０の流量センサ２２に対向している。裏計測壁面１０４は、センサＳＡ５０のモールド裏面５５ｆに対向しており、計測床面１０１のエアフロ裏側の端部からハウジング基端側に向けて延びている。なお、図１６、図１７においては、センサＳＡ５０の内部構造について図示を簡略化し、モールド部５５及び流量センサ２２の図示にとどめている。

ハウジング２１は、表絞り部１１１及び裏絞り部１１２を有している。これら絞り部１１１，１１２は、計測流路３２の断面積が計測入口３５等の上流から流量センサ２２に向けて徐々に小さくなるように計測流路３２を徐々に絞っている。また、絞り部１１１，１１２は、断面積が流量センサ２２から計測出口３６等の下流から流量センサ２２に向けて徐々に小さくなるように計測流路３２を徐々に絞っている。なお、計測流路３２については、中心線ＣＬ４に直交する領域の面積を断面積と称しており、この断面積を流路面積と称することもできる。

表絞り部１１１は、表計測壁面１０３の一部が裏計測壁面１０４に向けて突出した凸部である。裏絞り部１１２は、裏計測壁面１０４の一部が表計測壁面１０３に向けて突出した凸部である。表絞り部１１１と裏絞り部１１２とは、高さ方向Ｙに並べられており、高さ方向Ｙにおいて互いに対向している。これら絞り部１１１，１１２は、計測天井面１０２と計測床面１０１とにかけ渡されている。絞り部１１１，１１２は、幅方向Ｘでの表計測壁面１０３と裏計測壁面１０４との離間距離である計測幅寸法Ｗ１（図１７参照）を上流から流量センサ２２に向けて徐々に小さくしている。また、絞り部１１１，１１２は、計測幅寸法Ｗ１を下流から流量センサ２２に向けて徐々に小さくしている。

絞り部１１１，１１２は、計測流路３２において上流側から流量センサ２２に向けて中心線ＣＬ４に徐々に近づいている。計測流路３２においては、幅方向Ｘでの絞り部１１１，１１２と中心線ＣＬ４との離間距離Ｗ２，Ｗ３が、上流から流量センサ２２に向けて徐々に小さくなっている。また、絞り部１１１，１１２は、計測流路３２において下流側から流量センサ２２に向けて中心線ＣＬ４に徐々に近づいている。計測流路３２においては、幅方向Ｘでの絞り部１１１，１１２と中心線ＣＬ４との離間距離Ｗ２，Ｗ３が、下流から流量センサ２２に向けて徐々に小さくなっている。

絞り部１１１，１１２においては、中心線ＣＬ４に最も接近した部分が頂部１１１ａ，１１２ａになっている。この場合、絞り部１１１，１１２においては、中心線ＣＬ４との離間距離Ｗ２，Ｗ３が頂部１１１ａ，１１２ａにおいて最も小さくなっている。頂部１１１ａ，１１２ａのうち、表頂部１１１ａが表絞り部１１１の頂部であり、裏頂部１１２ａが裏絞り部１１２の頂部である。表頂部１１１ａと裏頂部１１２ａとは幅方向Ｘに並べられており、互いに対向している。

流量センサ２２は、表絞り部１１１と裏絞り部１１２との間に設けられている。具体的には、流量センサ２２の発熱抵抗体７１の中心ＣＯ１が表頂部１１１ａと裏頂部１１２ａとの間に設けられている。発熱抵抗体７１について、中心ＣＯ１を通り、中心線ＣＬ１に直交し且つ幅方向Ｘに延びる直線状の仮想線を中心線ＣＬ５と称すると、表頂部１１１ａ及び裏頂部１１２ａはいずれもこの中心線ＣＬ５上に配置されている。この場合、発熱抵抗体７１の中心ＣＯ１と表頂部１１１ａとが幅方向Ｘに並べられており、発熱抵抗体７１の中心ＣＯ１と表頂部１１１ａとが幅方向Ｘにおいて互いに対向している。

図８、図１４に示すように、ハウジング２１はＳＡ収容領域１５０を有している。ＳＡ収容領域１５０は、バイパス流路３０よりもハウジング基端側に設けられており、センサＳＡ５０の一部を収容している。ＳＡ収容領域１５０には、センサＳＡ５０の少なくともモールド基端面５５ｂが収容されている。計測流路３２とＳＡ収容領域１５０とは高さ方向Ｙに並べられている。センサＳＡ５０は、計測流路３２とＳＡ収容領域１５０との境界部を高さ方向Ｙに跨ぐ位置に配置されている。計測流路３２には、センサＳＡ５０の少なくともモールド先端面５５ａ及び流量センサ２２が収容されている。なお、ＳＡ収容領域１５０が収容領域に相当する。

ハウジング２１は、第１ハウジング部１５１及び第２ハウジング部１５２を有している。これらハウジング部１５１，１５２は、互いに組み付けられて一体化されており、この状態でハウジング２１を形成している。第１ハウジング部１５１はＳＡ収容領域１５０を形成している。第１ハウジング部１５１は、ＳＡ収容領域１５０に加えてバイパス流路３０を形成している。第１ハウジング部１５１の内面は、ハウジング２１の内面として、ＳＡ収容領域１５０やバイパス流路３０を形成している。

図１４、図１５に示すように、計測流路３２は、計測入口３５と計測出口３６との間の部分が流量センサ２２に向けて膨らむように曲がっており、全体としてＵ字状になっている。計測流路３２においては、計測入口３５と計測出口３６とが奥行き方向Ｚに並んでいる。この場合、奥行き方向Ｚが並び方向に相当し、高さ方向Ｙが奥行き方向Ｚに直交している。計測流路３２においては、計測入口３５と計測出口３６との間の部分が、ハウジング基端側に向けて高さ方向Ｙに膨らむように曲がっている。

ハウジング２１の内面は、外計測曲がり面４０１、内計測曲がり面４０２を有している。外計測曲がり面４０１及び内計測曲がり面４０２は、計測流路３２の中心線ＣＬ４に沿って延びている。ハウジング２１の内面は、これら外計測曲がり面４０１及び内計測曲がり面４０２に加えて、上述したように表計測壁面１０３及び裏計測壁面１０４を有している。外計測曲がり面４０１と内計測曲がり面４０２とは、幅方向Ｘに直交する方向Ｙ，Ｚに並べられており、表計測壁面１０３及び裏計測壁面１０４を介して対向している。

外計測曲がり面４０１は、計測流路３２を曲がりの外側から形成しており、計測流路３２や流量センサ２２の外周側に設けられている。外計測曲がり面４０１は、計測入口３５と計測出口３６とにかけ渡されている。外計測曲がり面４０１は、計測入口３５と計測出口３６との間の部分が全体として流量センサ２２側に凹むように凹状に曲がっている。外計測曲がり面４０１には、計測天井面１０２が含まれており、ＳＡ挿入孔１０７が設けられている。

内計測曲がり面４０２は、計測流路３２を曲がりの内側から形成しており、計測流路３２の内周側に設けられている。内計測曲がり面４０２は、計測入口３５と計測出口３６とにかけ渡されている。内計測曲がり面４０２は、計測入口３５と計測出口３６との間の部分が全体として流量センサ２２側に膨らむように曲がっている。内計測曲がり面４０２は、外計測曲がり面４０１とは反対側に向けて凹んだ部分を有しておらず、その全体が外計測曲がり面４０１に向けて膨らむように凸状に曲がっている。内計測曲がり面４０２には、計測床面１０１が含まれている。

図１５に示すように、計測流路３２は、センサ路４０５、上流曲がり路４０６、下流曲がり路４０７を有している。センサ路４０５は、計測流路３２において流量センサ２２が設けられた部分である。センサ路４０５は、奥行き方向Ｚに真っ直ぐに延びており、フランジ部２７の角度設定面２７ａに平行に主流方向に延びている。上流曲がり路４０６と下流曲がり路４０７とは奥行き方向Ｚに並べられており、センサ路４０５は、上流曲がり路４０６と下流曲がり路４０７との間に設けられ、これら曲がり路４０６，４０７を接続している。

ハウジング２１においてセンサ路４０５を形成する面には、計測床面１０１の少なくとも一部が含まれている。本実施形態では、奥行き方向Ｚでのセンサ路４０５の長さ寸法が計測床面１０１によって規定されている。具体的には、センサ路４０５の上流端部に計測床面１０１の上流端部が含まれており、センサ路４０５の下流端部に計測床面１０１の下流端部が含まれている。この場合、奥行き方向Ｚでのセンサ路４０５の長さ寸法は計測床面１０１の長さ寸法と同じになっている。また、ハウジング２１においてセンサ路４０５を形成する面には、計測床面１０１の少なくとも一部に加えて、計測天井面１０２の一部や、表計測壁面１０３の一部、裏計測壁面１０４の一部が含まれている。本実施形態では、計測床面１０１が奥行き方向Ｚに真っ直ぐに延びており、このように計測床面１０１が真っ直ぐに延びていることをセンサ路４０５が真っ直ぐに延びていると称する。

上流曲がり路４０６は、計測流路３２においてセンサ路４０５から計測入口３５に向けて延びており、センサ路４０５と計測入口３５との間に設けられている。上流曲がり路４０６は、ハウジング２１においてセンサ路４０５から計測入口３５に向けて延びるように曲がっている。上流曲がり路４０６においては、その下流端部がセンサ路４０５に向けて奥行き方向Ｚに開放されている一方で、その上流端部が計測入口３５に向けて高さ方向Ｙに開放されている。このように、上流曲がり路４０６においては、上流端部の開放向きと下流端部の開放向きとが交差しており、この交差角度は例えば９０度になっている。上流曲がり路４０６の内面には、表計測壁面１０３の一部や裏計測壁面１０４の一部が含まれている。

下流曲がり路４０７は、計測流路３２においてセンサ路４０５から計測出口３６に向けて延びており、センサ路４０５と計測出口３６との間に設けられている。下流曲がり路４０７は、ハウジング２１においてセンサ路４０５から計測出口３６に向けて延びるように曲がっている。下流曲がり路４０７においては、その上流端部がセンサ路４０５に向けて奥行き方向Ｚに開放されている一方で、その下流端部が計測出口３６に向けて高さ方向Ｙに開放されている。このように、下流曲がり路４０７においては、上流曲がり路４０６と同様に、上流端部の開放向きと下流端部の開放向きとが交差しており、この交差角度は例えば９０度になっている。下流曲がり路４０７の内面には、表計測壁面１０３の一部や裏計測壁面１０４の一部が含まれている。

計測流路３２においては、センサ路４０５が検出計測路３５３に含まれている。上流曲がり路４０６は、案内計測路３５２と検出計測路３５３との境界部を高さ方向Ｙに跨ぐ位置に設けられている。この場合、上流曲がり路４０６は、案内計測路３５２の一部と検出計測路３５３の一部を有している。下流曲がり路４０７は、検出計測路３５３と排出計測路３５４との境界部を高さ方向Ｙに跨ぐ位置に設けられている。この場合、検出計測路３５３の一部と排出計測路３５４の一部とを有している。

ハウジング２１の内面は、上流曲がり路４０６を形成する面として、上流外曲がり面４１１、上流内曲がり面４１５を有している。上流外曲がり面４１１は、上流曲がり路４０６を曲がりの外側から形成しており、上流曲がり路４０６の外周側に設けられている。上流外曲がり面４１１は、計測流路３２の中心線ＣＬ４に沿って凹むように延びており、この中心線ＣＬ４に沿って連続的に曲がるように湾曲している。上流外曲がり面４１１は、上流曲がり路４０６の上流端部と下流端部とにかけ渡されており、上流外湾曲面に相当する。

上流内曲がり面４１５は、上流曲がり路４０６を曲がりの内側から形成しており、上流曲がり路４０６の内周側に設けられている。上流内曲がり面４１５は、計測流路３２の中心線ＣＬ４に沿って凹むように延びており、この中心線ＣＬ４に沿って連続的に曲がるように湾曲している。上流内曲がり面４１５は、上流曲がり路４０６の上流端部と下流端部とにかけ渡されており、上流内湾曲面に相当する。なお、ハウジング２１の内面は、上流曲がり路４０６を形成する面として、上流外曲がり面４１１、上流内曲がり面４１５に加えて、表計測壁面１０３の一部と裏計測壁面１０４の一部とを有している。

ハウジング２１の内面は、下流曲がり路４０７を形成する面として、下流外曲がり面４２１、下流内曲がり面４２５を有している。下流外曲がり面４２１は、下流曲がり路４０７を曲がりの外側から形成しており、下流曲がり路４０７の外周側に設けられている。下流外曲がり面４２１は、計測流路３２の中心線ＣＬ４に沿って延びており、この中心線ＣＬ４に沿って所定角度で折れ曲がっている。下流外曲がり面４２１の折れ曲がり角度は、例えば９０度になっている。

下流外曲がり面４２１は、下流外横面４２２、下流外縦面４２３、下流外入隅部４２４を有している。下流外横面４２２は、下流曲がり路４０７の上流端部から下流側に向けて奥行き方向Ｚに真っ直ぐに延びている。下流外縦面４２３は、下流曲がり路４０７の下流端部から上流側に向けて高さ方向Ｙに真っ直ぐに延びている。下流外横面４２２と下流外縦面４２３とは、互いに接続されており、互いに内向きに入り合った部分として入隅部分である下流外入隅部４２４を形成している。下流外入隅部４２４は、下流外曲がり面４２１がほぼ直角に折れ曲がった形状を形成している。

下流内曲がり面４２５は、下流曲がり路４０７を曲がりの内側から形成しており、下流曲がり路４０７の内周側に設けられている。下流内曲がり面４２５は、計測流路３２の中心線ＣＬ４に沿って膨らむように延びており、この中心線ＣＬ４に沿って連続的に曲がるように湾曲している。下流内曲がり面４２５は、下流曲がり路４０７の上流端部と下流端部とにかけ渡されており、下流内湾曲面に相当する。なお、ハウジング２１の内面は、下流曲がり路４０７を形成する面として、下流外曲がり面４２１、下流内曲がり面４２５に加えて、表計測壁面１０３の一部と裏計測壁面１０４の一部とを有している。

計測流路３２において、外計測曲がり面４０１には、上流外曲がり面４１１及び下流外曲がり面４２１が含まれている。これら上流外曲がり面４１１及び下流外曲がり面４２１のそれぞれには、計測天井面１０２の一部が含まれている。また、内計測曲がり面４０２には、上述した計測床面１０１に加えて、上流内曲がり面４１５及び下流内曲がり面４２５が含まれている。

計測流路３２においては、計測流路３２を拡張する側への下流内曲がり面４２５の突出度合いが、計測流路３２を拡張する側への上流内曲がり面４１５の突出度合いよりも小さくなっている。具体的には、計測流路３２の中心線ＣＬ４が延びる方向において、下流内曲がり面４２５の長さ寸法が上流内曲がり面４１５の長さ寸法よりも大きくなっている。この場合、下流内曲がり面４２５の曲率半径Ｒ３２が上流内曲がり面４１５の曲率半径Ｒ３１よりも大きくなっている。すなわち、Ｒ３２＞Ｒ３１の関係が成り立っている。換言すれば、下流内曲がり面４２５の曲がりが上流内曲がり面４１５の曲がりよりもゆるい状態になっている。

計測流路３２においては、計測流路３２を拡張する側への下流外曲がり面４２１の凹み度合いが、計測流路３２を拡張する側への上流外曲がり面４１１の凹み度合いよりも大きくなっている。具体的には、下流外曲がり面４２１が直角に折れ曲がっているのに対して、上流外曲がり面４１１は湾曲している。この場合、計測流路３２の中心線ＣＬ４が延びる方向において、下流外曲がり面４２１において折れ曲がった部分の長さ寸法は、非常に小さい値であり、上流外曲がり面４１１の長さ寸法よりも小さくなっている。ここで、下流外曲がり面４２１において折れ曲がった部分について曲率半径を算出できるとすると、この曲率半径は、ほぼゼロであり、上流外曲がり面４１１の曲率半径Ｒ３３よりも小さくなっている。この場合、下流外曲がり面４２１の曲がりが上流外曲がり面４１１の曲がりよりもきつい状態になっている。

上流曲がり路４０６においては、計測流路３２を拡張する側への上流外曲がり面４１１の凹み度合いが、計測流路３２を拡張する側への上流内曲がり面４１５の突出度合いよりも小さくなっている。具体的には、計測流路３２の中心線ＣＬ４が延びる方向において、上流外曲がり面４１１の長さ寸法が、上流内曲がり面４１５の長さ寸法よりも大きくなっている。この場合、上流外曲がり面４１１の曲率半径Ｒ３３は、上流内曲がり面４１５の曲率半径Ｒ３１よりも大きくなっている。すなわち、Ｒ３３＞Ｒ３１の関係が成り立っている。

下流曲がり路４０７においては、計測流路３２を拡張する側への下流外曲がり面４２１の凹み度合いが、計測流路３２を拡張する側への下流内曲がり面４２５の突出度合いよりも大きくなっている。具体的には、計測流路３２の中心線ＣＬ４が延びる方向において、下流外曲がり面４２１の長さ寸法が、下流内曲がり面４２５の長さ寸法よりも小さくなっている。この場合、下流外曲がり面４２１の曲率半径Ｒ３４が、下流内曲がり面４２５の曲率半径Ｒ３２よりも小さくなっている。すなわち、Ｒ３４＜Ｒ３２の関係が成り立っている。

下流曲がり路４０７においては、下流外曲がり面４２１の凹み度合いが下流内曲がり面４２５の突出度合いよりも大きくなっていることで、計測流路３２の断面積において下流曲がり路４０７の断面積が極力大きくなっている。具体的には、計測流路３２の中心線ＣＬ４及び幅方向Ｘの両方に直交する方向において、下流外曲がり面４２１と下流内曲がり面４２５との離間距離Ｌ３５ｂが、上流外曲がり面４１１と上流内曲がり面４１５との離間距離Ｌ３５ａよりも大きくなっている。すなわち、Ｌ３５ｂ＞Ｌ３５ａの関係が成り立っている。

下流外曲がり面４２１と下流内曲がり面４２５との離間距離Ｌ３５ｂは、下流曲がり路４０７において下流外曲がり面４２１と下流内曲がり面４２５とが最も離間した部分での離間距離である。下流外曲がり面４２１と下流内曲がり面４２５とが最も離間した部分は、例えば下流外曲がり面４２１の下流外入隅部４２４と下流内曲がり面４２５の中央部分とが対向する部分である。また、上流外曲がり面４１１と上流内曲がり面４１５との離間距離Ｌ３５ａは、上流曲がり路４０６において上流外曲がり面４１１と上流内曲がり面４１５とが最も離間した部分での離間距離である。上流外曲がり面４１１と上流内曲がり面４１５とが最も離間した部分は、例えば上流外曲がり面４１１の中央部分と上流内曲がり面４１５の中央部分とが対向する部分である。

計測流路３２について、流量センサ２２を通り、奥行き方向Ｚに延びる仮想の直線として並び線ＣＬ３１を想定する。並び線ＣＬ３１は、流量センサ２２の発熱抵抗体７１の中心ＣＯ１を通り、発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ１，ＣＬ５のいずれにも直交している。並び線ＣＬ３１については、奥行き方向Ｚが上流曲がり路４０６と下流曲がり路４０７との並び方向に相当する。センサ路４０５においては、並び線ＣＬ３１と計測流路３２の中心線ＣＬ４とが平行に延びている。並び線ＣＬ３１は、ハウジング２１の角度設定面２７ａに平行に延びている。

並び線ＣＬ３１は、センサ路４０５、上流曲がり路４０６、下流曲がり路４０７のそれぞれを通っており、上流外曲がり面４１１及び下流外曲がり面４２１のそれぞれに交差している。下流外曲がり面４２１においては、下流外縦面４２３に並び線ＣＬ３１が交差している。センサ路４０５は並び線ＣＬ３１に沿って真っ直ぐに延びている。並び線ＣＬ３１上において、流量センサ２２と下流外曲がり面４２１との離間距離Ｌ３１ｂは、流量センサ２２と上流外曲がり面４１１との離間距離Ｌ３１ａよりも大きくなっている。すなわち、Ｌ３１ｂ＞Ｌ３１ａの関係が成り立っている。このように、流量センサ２２は上流外曲がり面４１１寄りの位置に設けられている。なお、離間距離Ｌ３１ａ，Ｌ３１ｂは、発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ５までの距離としている。

センサＳＡ５０においては、センサ支持部５１が上流外曲がり面４１１寄りの位置に設けられていることで、流量センサ２２が上流外曲がり面４１１寄りの位置に設けられている。並び線ＣＬ３１上において、センサ支持部５１と下流外曲がり面４２１との離間距離Ｌ３２ｂは、センサ支持部５１と上流外曲がり面４１１との離間距離Ｌ３２ａよりも大きくなっている。すなわち、Ｌ３２ｂ＞Ｌ３２ａの関係が成り立っている。なお、計測流路３２では、並び線ＣＬ３１上でない部分においても、奥行き方向Ｚでのセンサ支持部５１と上流外曲がり面４１１との離間距離が、奥行き方向Ｚでのセンサ支持部５１と下流外曲がり面４２１との離間距離よりも大きくなっている。

センサ路４０５は、上流外曲がり面４１１と下流外曲がり面４２１との間において、上流外曲がり面４１１寄りの位置に設けられている。この場合、並び線Ｌ３１上において、センサ路４０５と下流外曲がり面４２１との離間距離Ｌ３３ｂは、センサ路４０５と上流外曲がり面４１１との離間距離Ｌ３３ａよりも大きくなっている。すなわち、Ｌ３３ｂ＞Ｌ３３ａの関係が成り立っている。

流量センサ２２は、センサ路４０５において上流曲がり路４０６寄りの位置に設けられている。この場合、並び線Ｌ３１上において、流量センサ２２と下流曲がり路４０７との離間距離Ｌ３４ｂは、流量センサ２２と上流曲がり路４０６との離間距離Ｌ３４ａよりも大きくなっている。すなわち、Ｌ３４ｂ＞Ｌ３４ａの関係が成り立っている。これら離間距離Ｌ３４ａと離間距離Ｌ３４ｂとの和が奥行き方向Ｚでのセンサ路４０５の長さ寸法になっている。

上述したように、ハウジング２１は、図１６、図１７に示す絞り部１１１，１１２を有している。これら絞り部１１１，１１２は、計測壁面１０３，１０４に設けられており、計測壁面１０３，１０４の一部を形成している。

表計測壁面１０３は、表絞り面４３１、表拡張面４３２、表絞り上流面４３３、表拡張下流面４３４を有している。表絞り面４３１及び表拡張面４３２は、表絞り部１１１により形成されており、表絞り部１１１の外面に含まれている。すなわち、表絞り部１１１が表絞り面４３１及び表拡張面４３２を有している。表絞り部１１１においては、表絞り面４３１が表頂部１１１ａから上流曲がり路４０６に向けて奥行き方向Ｚに延びており、表拡張面４３２が表頂部１１１ａから下流曲がり路４０７に向けて奥行き方向Ｚに延びている。表頂部１１１ａは、表絞り面４３１と表拡張面４３２との境界部である。

表絞り面４３１は、検出計測路３５３において計測流路３２の中心線ＣＬ４に対して傾斜しており、上流外曲がり面４１１側を向いている。表絞り面４３１は、計測入口３５から流量センサ２２に向けて計測流路３２を徐々に縮小して絞っている。計測流路３２の断面積は、表絞り面４３１の上流端部から表頂部１１１ａに向けて徐々に小さくなっている。表絞り面４３１は、その上流端部と下流端部との間の部分が計測流路３２の中心線ＣＬ４に向けて膨らむように湾曲している。

表拡張面４３２は、検出計測路３５３において計測流路３２の中心線ＣＬ４に対して傾斜しており、下流外曲がり面４２１側を向いている。表拡張面４３２は、流量センサ２２側から計測出口３６に向けて計測流路３２を徐々に拡張している。計測流路３２の断面積は、表頂部１１１ａから表拡張面４３２の下流端部に向けて徐々に大きくなっている。表拡張面４３２は、その上流端部と下流端部との間の部分が計測流路３２の中心線ＣＬ４に向けて膨らむように湾曲している。

表絞り上流面４３３は、表絞り面４３１の上流端部から計測入口３５に向けて、並び線ＣＬ３１に平行に真っ直ぐに延びている。表絞り上流面４３３は、上流曲がり路４０６において上流外曲がり面４１１と表絞り面４３１との間に設けられており、これら上流外曲がり面４１１と表絞り面４３１とにかけ渡されている。表拡張下流面４３４は、表拡張面４３２の下流端部から計測出口３６に向けて、並び線ＣＬ３１に平行に真っ直ぐに延びている。表拡張下流面４３４は、下流曲がり路４０７において下流外曲がり面４２１と表拡張面４３２との間に設けられており、これら下流外曲がり面４２１と表拡張面４３２とにかけ渡されている。表絞り上流面４３３と表拡張下流面４３４とは奥行き方向Ｚに並べられており、幅方向Ｘの位置が重複していることで面一になっている。

裏計測壁面１０４は、裏絞り面４４１、裏拡張面４４２、裏絞り上流面４４３、裏拡張下流面４４４を有している。裏絞り面４４１及び裏拡張面４４２は、裏絞り部１１２により形成されており、裏絞り部１１２の外面に含まれている。すなわち、裏絞り部１１２が裏絞り面４４１及び裏拡張面４４２を有している。裏絞り部１１２においては、裏絞り面４４１が裏頂部１１２ａから上流曲がり路４０６に向けて奥行き方向Ｚに延びており、裏拡張面４４２が裏頂部１１２ａから下流曲がり路４０７に向けて奥行き方向Ｚに延びている。裏頂部１１２ａは、裏絞り面４４１と裏拡張面４４２との境界部である。

裏絞り面４４１は、検出計測路３５３において計測流路３２の中心線ＣＬ４に対して傾斜しており、上流外曲がり面４１１側を向いている。裏絞り面４４１は、計測入口３５から流量センサ２２に向けて計測流路３２を徐々に縮小して絞っている。計測流路３２の断面積は、裏絞り面４４１の上流端部から裏頂部１１２ａに向けて徐々に小さくなっている。裏絞り面４４１は、その上流端部と下流端部との間の部分が計測流路３２の中心線ＣＬ４に向けて膨らむように湾曲している。

裏拡張面４４２は、検出計測路３５３において計測流路３２の中心線ＣＬ４に対して傾斜しており、下流外曲がり面４２１側を向いている。裏拡張面４４２は、流量センサ２２側から計測出口３６に向けて計測流路３２を徐々に拡張している。計測流路３２の断面積は、裏頂部１１２ａから裏拡張面４４２の下流端部に向けて徐々に大きくなっている。裏拡張面４４２は、その上流端部と下流端部との間の部分が計測流路３２の中心線ＣＬ４に向けて膨らむように湾曲している。

裏絞り上流面４４３は、裏絞り面４４１の上流端部から計測入口３５に向けて、並び線ＣＬ３１に平行に真っ直ぐに延びている。裏絞り上流面４４３は、上流曲がり路４０６において上流外曲がり面４１１と表絞り面４３１との間に設けられており、これら上流外曲がり面４１１と表絞り面４３１とにかけ渡されている。裏拡張下流面４４４は、裏拡張面４４２の下流端部から計測出口３６に向けて、並び線ＣＬ３１に平行に真っ直ぐに延びている。裏拡張下流面４４４は、下流曲がり路４０７において下流外曲がり面４２１と裏拡張面４４２との間に設けられており、これら下流外曲がり面４２１と裏拡張面４４２とにかけ渡されている。裏絞り上流面４４３と裏拡張下流面４４４とは奥行き方向Ｚに並べられており、幅方向Ｘの位置が重複していることで面一になっている。

なお、絞り部１１１，１１２が計測絞り部に相当する。また、表絞り面４３１及び裏絞り面４４１が計測絞り面に相当し、表拡張面４３２及び裏拡張面４４２が計測拡張面に相当する。上述したように、発熱抵抗体７１の中心ＣＯ１と表頂部１１１ａと裏頂部１１２ａとは幅方向Ｘに並べられており、発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ５上には、表頂部１１１ａ及び裏頂部１１２ａが配置されている。

並び線ＣＬ３１が延びる奥行き方向Ｚにおいて、表絞り部１１１の長さ寸法Ｗ３１ａと、裏絞り部１１２の長さ寸法Ｗ３１ｂとは同じになっている。表絞り部１１１においては、奥行き方向Ｚでの表絞り面４３１の長さ寸法Ｗ３２ａが、奥行き方向Ｚでの表拡張面４３２の長さ寸法Ｗ３３ａよりも小さくなっている。すなわち、Ｗ３２ａ＜Ｗ３３ａの関係が成り立っている。裏絞り部１１２においては、奥行き方向Ｚでの裏絞り面４４１の長さ寸法Ｗ３２ｂが、奥行き方向Ｚでの裏拡張面４４２の長さ寸法Ｗ３３ｂよりも小さくなっている。すなわち、Ｗ３２ｂ＜Ｗ３３ｂの関係が成り立っている。絞り部１１１，１１２においては、表絞り面４３１の長さ寸法Ｗ３２ａと裏絞り面４４１の長さ寸法Ｗ３２ｂとが同じになっており、表拡張面４３２の長さ寸法Ｗ３３ａと裏拡張面４４２の長さ寸法Ｗ３３ｂとが同じになっている。

表絞り部１１１は、奥行き方向Ｚにおいて上流曲がり路４０６寄りの位置に設けられている。この場合、並び線ＣＬ３１上において、表絞り部１１１と上流外曲がり面４１１との離間距離Ｗ３４ａが、表絞り部１１１と下流外曲がり面４２１との離間距離Ｗ３５ａよりも大きくなっている。すなわち、Ｗ３４ａ＞Ｗ３５ａの関係が成り立っている。裏絞り部１１２は、表絞り部１１１と同様に、奥行き方向Ｚにおいて上流曲がり路４０６寄りの位置に設けられている。この場合、並び線ＣＬ３１上において、裏絞り部１１２と上流外曲がり面４１１との離間距離Ｗ３４ｂが、裏絞り部１１２と下流外曲がり面４２１との離間距離Ｗ３５ｂよりも大きくなっている。すなわち、Ｗ３４ｂ＞Ｗ３５ｂの関係が成り立っている。

上流外曲がり面４１１と絞り部１１１，１１２との位置関係としては、離間距離Ｗ３４ａと離間距離Ｗ３４ｂとが同じになっている。下流外曲がり面４２１と絞り部１１１，１１２との位置関係としては、離間距離Ｗ３５ａと離間距離Ｗ３５ｂとが同じになっている。

計測流路３２においては、表計測壁面１０３と裏計測壁面１０４との計測幅寸法Ｗ１（図１６参照）が位置によって異なっている。この計測幅寸法Ｗ１は、センサ路４０５と上流曲がり路４０６と下流曲がり路４０７とで異なっており、これらセンサ路４０５、上流曲がり路４０６及び下流曲がり路４０７のそれぞれにおいても均一にはなっていない。ただし、上流曲がり路４０６での表絞り上流面４３３と裏絞り上流面４４３との離間距離Ｄ３４は、下流曲がり路４０７での表拡張下流面４３４と裏拡張下流面４４４との離間距離Ｄ３８と同じになっている。

センサ支持部５１は、上流曲がり路４０６において表絞り上流面４３３と裏絞り上流面４４３との中央位置に設けられている。ここで、センサＳＡ５０の中心線ＣＬ３２を想定する。この中心線ＣＬ３２は、発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ５上において幅方向Ｘでのセンサ支持部５１の中心を通り、中心線ＣＬ５に直交し且つ奥行き方向Ｚに延びる直線状の仮想線である。また、この中心線ＣＬ３２は、並び線ＣＬ３１と平行に延びている。この場合、上流曲がり路４０６においては、中心線ＣＬ３２と表絞り上流面４３３との離間距離Ｄ３１ａが、中心線ＣＬ３２と裏絞り上流面４４３との離間距離Ｄ３１ｂと同じになっている。

センサ支持部５１は、下流曲がり路４０７においても表拡張下流面４３４と裏拡張下流面４４４との中央位置に設けられている。下流曲がり路４０７においては、中心線ＣＬ３２と表拡張下流面４３４との離間距離Ｄ３５ａが、中心線ＣＬ３２と裏拡張下流面４４４との離間距離Ｄ３５ｂと同じになっている。また、表計測壁面１０３とセンサ支持部５１との位置関係としては、離間距離Ｄ３１ａと離間距離Ｄ３５ａとが同じになっている。裏計測壁面１０４とセンサ支持部５１との位置関係としては、離間距離Ｄ３１ｂと離間距離Ｄ３５ｂとが同じになっている。

表計測壁面１０３においては、表絞り上流面４３３と表拡張下流面４３４とが面一になっているため、上流曲がり路４０６での表絞り部１１１の突出寸法と下流曲がり路４０７での表絞り部１１１の突出寸法とが同じになっている。具体的には、表絞り上流面４３３に対する表頂部１１１ａの突出寸法Ｄ３２ａと、表拡張下流面４３４に対する表頂部１１１ａの突出寸法Ｄ３６ａとが同じになっている。

表絞り上流面４３３に対する表絞り面４３１の突出寸法は、表絞り上流面４３３から表頂部１１１ａに向けて徐々に増加している。この増加率が表絞り上流面４３３から表頂部１１１ａに向けて徐々に増加していることで、表絞り面４３１が湾曲面になっている。表拡張下流面４３４に対する表拡張面４３２の突出寸法は、表頂部１１１ａから表拡張下流面４３４に向けて徐々に減少している。この減少率が表頂部１１１ａから表拡張下流面４３４に向けて徐々に増加していることで、表拡張面４３２が湾曲面になっている。

上述したように、表絞り部１１１においては、表拡張面４３２の長さ寸法Ｗ３３ａが表絞り面４３１の長さ寸法Ｗ３２ａよりも大きくなっている。この場合、表頂部１１１ａから表拡張下流面４３４に向けた表拡張面４３２の突出寸法の減少率が、表絞り上流面４３３から表頂部１１１ａに向けた表絞り面４３１の突出寸法の増加率よりも小さくなっている。表絞り面４３１と表拡張面４３２とは連続した湾曲面になっており、表頂部１１１ａにおいて表絞り面４３１の接線及び表拡張面４３２の接線は、いずれも並び線ＣＬ３１に平行に延びている。

裏計測壁面１０４においては、裏絞り上流面４４３と裏拡張下流面４４４とが面一になっているため、上流曲がり路４０６での裏絞り部１１２の突出寸法と下流曲がり路４０７での裏絞り部１１２の突出寸法とが同じになっている。具体的には、裏絞り上流面４４３に対する裏頂部１１２ａの突出寸法Ｄ３２ｂと、裏拡張下流面４４４に対する裏頂部１１２ａの突出寸法Ｄ３６ｂとが同じになっている。

裏絞り上流面４４３に対する裏絞り面４４１の突出寸法は、裏絞り上流面４４３から裏頂部１１２ａに向けて徐々に増加している。この増加率が裏絞り上流面４４３から裏頂部１１２ａに向けて徐々に増加していることで、裏絞り面４４１が湾曲面になっている。裏拡張下流面４４４に対する裏拡張面４４２の突出寸法は、裏頂部１１２ａから裏拡張下流面４４４に向けて徐々に減少している。この減少率が裏頂部１１２ａから裏拡張下流面４４４に向けて徐々に増加していることで、裏拡張面４４２が湾曲面になっている。

上述したように、裏絞り部１１２においては、裏拡張面４４２の長さ寸法Ｗ３３ｂが裏絞り面４４１の長さ寸法Ｗ３２ｂよりも大きくなっている。この場合、裏頂部１１２ａから裏拡張下流面４４４に向けた裏拡張面４４２の突出寸法の減少率が、裏絞り上流面４４３から裏頂部１１２ａに向けた裏絞り面４４１の突出寸法の増加率よりも小さくなっている。裏絞り面４４１と裏拡張面４４２とは連続した湾曲面になっており、裏頂部１１２ａにおいて裏絞り面４４１の接線及び裏拡張面４４２の接線は、いずれも並び線ＣＬ３１に平行に延びている。

センサ支持部５１は、上流曲がり路４０６及び下流曲がり路４０７において表計測壁面１０３と裏計測壁面１０４との中央位置に設けられているのに対して、センサ路４０５においては表計測壁面１０３寄りの位置に設けられている。これは、表計測壁面１０３での表絞り部１１１の突出寸法が、裏計測壁面１０４での裏絞り部１１２の突出寸法よりも大きいためである。具体的には、表絞り上流面４３３及び表拡張下流面４３４に対する表頂部１１１ａの突出寸法Ｄ３２ａ，Ｄ３６ａが、裏絞り上流面４４３及び裏拡張下流面４４４に対する裏頂部１１２ａの突出寸法Ｄ３２ｂ，Ｄ３６ｂよりも大きくなっている。これにより、センサ支持部５１の中心線ＣＬ３２と表頂部１１１ａとの離間距離Ｄ３３ａが、中心線ＣＬ３２と裏頂部１１２ａとの離間距離Ｄ３３ｂよりも小さくなっている。

ハウジング２１は計測仕切部４５１を有している。計測仕切部４５１は、奥行き方向Ｚにおいて案内計測路３５２と排出計測路３５４との間に設けられており、これら案内計測路３５２と排出計測路３５４とを仕切っている。また、計測仕切部４５１は、高さ方向Ｙにおいて通過流路３１や分岐計測路３５１と検出計測路３５３との間に設けられており、これら通過流路３１や分岐計測路３５１と通過流路３１とを仕切っている。計測仕切部４５１は、幅方向Ｘにおいて表計測壁面１０３と裏計測壁面１０４とにかけ渡されており、内計測曲がり面４０２を形成している。計測仕切部４５１の外面には、計測床面１０１や上流内曲がり面４１５、下流内曲がり面４２５等の内計測曲がり面４０２が含まれている。

絞り部１１１，１１２は、計測仕切部４５１から計測天井面１０２に向けて延びている。絞り部１１１，１１２は、奥行き方向Ｚにおいて計測仕切部４５１から上流外曲がり面４１１側及び下流外曲がり面４２１側のいずれにもはみ出していない。奥行き方向Ｚにおいて、計測仕切部４５１の幅寸法は、絞り部１１１，１１２の長さ寸法Ｗ３１ａ，Ｗ３１ｂと同じ又はそれよりも小さくなっている。絞り部１１１，１１２は、上流曲がり路４０６と下流曲がり路４０７との間に設けられている。本実施形態では、絞り部１１１，１１２の上流端部が上流曲がり路４０６に設けられ、下流端部が下流曲がり路４０７に設けられているが、この構成についても、絞り部１１１，１１２が上流曲がり路４０６と下流曲がり路４０７との間に設けられている、とする。

図４〜図７に示すように、通過入口３３はハウジング上流面２１ｃに設けられており、吸気通路１２での上流側に向けて開放されている。このため、吸気通路１２を主流方向に流れる主流が通過入口３３に流れ込みやすくなっている。通過出口３４はハウジング下流面２１ｄに設けられており、吸気通路１２での下流側に向けて開放されている。このため、通過出口３４から流れ出る空気は、吸気通路１２において主流と共に下流に向けて流れやすくなっている。

計測出口３６は、ハウジング表面２１ｅ及びハウジング裏面２１ｆのそれぞれに設けられている。ハウジング表面２１ｅ及びハウジング裏面２１ｆは並び線ＣＬ３１に沿って延びており、計測出口３６は、並び線ＣＬ３１に直交する直交方向に向けて開放されている。このため、吸気通路１２を主流方向に流れる主流は計測出口３６に流れ込みにくくなっており、計測出口３６から流れ出る空気は、吸気通路１２において主流と共に下流に向けて流れやすくなっている。また、吸気通路１２において主流が計測出口３６の近くを通過すると、計測流路３２内にて計測出口３６の近くにある空気が主流に引っ張られるような状態になって、計測出口３６から空気が流れ出しやすくなる。これにより、計測流路３２内の空気が計測出口３６から流れ出しやすくなる。なお、幅方向Ｘが直交方向に相当する。 次に、計測流路３２を流れる空気の流れ態様について説明する。

図１５に示すように、通過流路３１から計測入口３５を通って計測流路３２に流れ込んだ空気には、外計測曲がり面４０１に沿って進む外曲がり流ＡＦ３１と、内計測曲がり面４０２に沿って進む内曲がり流ＡＦ３２とが含まれている。上述したように、計測流路３２においては、外計測曲がり面４０１が全体として凹むように曲がっているため、外曲がり流ＡＦ３１は、外計測曲がり面４０１に沿って進みやすくなっている。内計測曲がり面４０２が全体として膨らむように曲がっているため、内曲がり流ＡＦ３２は、内計測曲がり面４０２に沿って進みやすくなっている。また、外計測曲がり面４０１及び内計測曲がり面４０２が幅方向Ｘに直交する方向に曲がっているのに対して、絞り部１１１，１１２は計測流路３２を幅方向Ｘに絞っている。したがって、計測流路３２では、外曲がり流ＡＦ３１と内曲がり流ＡＦ３２とが混じり合うように気流の乱れが発生する、ということが生じにくくなっている。

計測流路３２において上流曲がり路４０６に到達した外曲がり流ＡＦ３１は、上流外曲がり面４１１に沿って流れることで向きを変える。この場合、上流外曲がり面４１１の曲がりが下流外曲がり面４２１の曲がりよりもゆるくなっている構成により、上流外曲がり面４１１の曲がりが十分にゆるくなっているため、外曲がり流ＡＦ３１に渦等の乱れが生じにくくなっている。

図１７に示すように、計測流路３２を流れる気流には、センサ支持部５１と表絞り面４３１との間に流れ込んでいく表寄り流ＡＦ３３と、センサ支持部５１と裏絞り面４４１との間に流れ込んでいく裏寄り流ＡＦ３４とが含まれている。なお、曲がり流ＡＦ３１，ＡＦ３２のうち、表計測壁面１０３に沿って流れて絞り部１１１，１１２に到達した空気が表寄り流ＡＦ３３に含まれやすく、裏計測壁面１０４に沿って流れて絞り部１１１，１１２に到達した空気が裏寄り流ＡＦ３４に含まれやすい。

センサ支持部５１の表側については、表絞り面４３１の絞り度合いが表頂部１１１ａに向けて徐々に大きくなっているように、表寄り流ＡＦ３３の整流効果が表頂部１１１ａに向けて徐々に大きくなっている。しかも、表頂部１１１ａの突出寸法Ｄ３２ａ，Ｄ３６ａが裏頂部１１２ａの突出寸法Ｄ３２ｂ，Ｄ３６ｂよりも大きくなっていることで、表絞り面４３１の整流効果が十分に高められている。これらのことにより、表絞り面４３１とセンサ支持部５１とにより十分に整流された状態の表寄り流ＡＦ３３が流量センサ２２に到達するため、流量センサ２２による流量の検出精度が高くなりやすい。

表寄り流ＡＦ３３は、表頂部１１１ａに向けて徐々に加速されていく。そして、表寄り流ＡＦ３３は、表絞り部１１１とセンサ支持部５１との間の領域が表拡張面４３２により拡張されていることに起因して、表頂部１１１ａとセンサ支持部５１との間から噴流として吹き出されるようにして下流曲がり路４０７に向けて進む。ここで、表拡張面４３２とセンサ支持部５１との間の領域が急激に拡張されていると、表寄り流ＡＦ３３が表拡張面４３２から剥離することなどにより渦等の乱れが生じやすくなることが懸念される。これに対して、表拡張面４３２の長さ寸法Ｗ３３ａが表絞り面４３１の長さ寸法Ｗ３２ａよりも大きくなっている構成により、表拡張面４３２とセンサ支持部５１との間の領域が緩やかに拡張されている。このため、表拡張面４３２からの表寄り流ＡＦ３３の剥離が生じにくく、表頂部１１１ａよりも下流側において渦流等の乱れが生じにくくなっている。

センサ支持部５１の裏側については、裏絞り面４４１の絞り度合が裏頂部１１２ａに向けて徐々に大きくなっていることで、裏寄り流ＡＦ３４の整流効果が裏頂部１１２ａに向けて徐々に大きくなっている。この場合、裏絞り面４４１とセンサ支持部５１とにより十分に整流された状態の裏寄り流ＡＦ３４が裏頂部１１２ａに到達するため、この裏寄り流ＡＦ３４は、裏頂部１１２ａを通過した後にも乱れにくい。

裏寄り流ＡＦ３４は、裏頂部１１２ａに向けて徐々に加速されていく。そして、裏寄り流ＡＦ３４は、裏絞り部１１２とセンサ支持部５１との間の領域が裏拡張面４４２により拡張されていることに起因して、裏頂部１１２ａとセンサ支持部５１との間から噴流として吹き出されるようにして下流曲がり路４０７に向けて進む。ここで、裏拡張面４４２とセンサ支持部５１との間の領域が急激に拡張されていると、裏寄り流ＡＦ３４が裏拡張面４４２から剥離することなどにより渦等の乱れが生じやすくなることが懸念される。これに対して、裏拡張面４４２の長さ寸法Ｗ３３ｂが裏絞り面４４１の長さ寸法Ｗ３２ｂよりも大きくなっている構成により、裏拡張面４４２とセンサ支持部５１との間の領域が緩やかに拡張されている。このため、裏拡張面４４２からの裏寄り流ＡＦ３４の剥離が生じにくく、裏頂部１１２ａよりも下流側において渦流等の乱れが生じにくくなっている。

表寄り流ＡＦ３３と裏寄り流ＡＦ３４とは、センサ支持部５１を通過した後にセンサ路４０５や下流曲がり路４０７にて合流すると考えられる。例えば、裏寄り流ＡＦ３４の流れが乱れていると、センサ支持部５１よりも下流側において気流の乱れが生じ、表寄り流ＡＦ３３が表絞り部１１１とセンサ支持部５１との間を通過しにくくなりやすい。この場合、流量センサ２２を通過する表寄り流ＡＦ３３の流量や流速が不足して、流量センサ２２による流量の検出精度が低下することが懸念される。これに対して、本実施形態では、裏寄り流ＡＦ３４が裏絞り部１１２により整流されるため、センサ支持部５１を通過した裏寄り流ＡＦ３４が乱れていることでセンサ支持部５１よりも下流側において気流の乱れが生じるということが抑制される。

表寄り流ＡＦ３３及び裏寄り流ＡＦ３４が、センサ支持部５１と絞り部１１１，１１２との間から下流曲がり路４０７に向けて吹き出された場合、これら寄り流ＡＦ３３，ＡＦ３４は、並び線ＣＬ３１に沿って下流外曲がり面４２１に向けて順流として進む。寄り流ＡＦ３３，ＡＦ３４が下流外曲がり面４２１に当たった場合、この寄り流ＡＦ３３，ＡＦ３４は、下流外曲がり面４２１にて跳ね返って流量センサ２２側に戻る向きに計測流路３２を逆流することが懸念される。特に、下流外縦面４２３に当たった場合には、寄り流ＡＦ３３，ＡＦ３４が並び線ＣＬ３１に沿って流量センサ２２に向けて逆流しやすいと考えられる。逆流が順流に抗して流量センサ２２に到達した場合には、流量センサ２２が検出する空気の流れの向きが実際の流れとは逆になるなど、流量センサ２２の検出精度が低下してしまう。また、逆流が流量センサ２２に到達しなくても、逆流によって順流が流れにくくなることで、流量センサ２２の検出流量が実際の流量よりも小さくなるなど、流量センサ２２の検出精度が低下してしまう。

これに対して、本実施形態では、流量センサ２２が下流外曲がり面４２１よりも上流外曲がり面４１１に近い位置に設けられていることで、流量センサ２２が下流外曲がり面４２１から極力離れた位置にある。この構成では、センサ支持部５１と絞り部１１１，１１２との間から吹き出された寄り流ＡＦ３３，ＡＦ３４が下流外曲がり面４２１に到達するまでにこの寄り流ＡＦ３３，ＡＦ３４の勢いが低下しやすい。このため、寄り流ＡＦ３３，ＡＦ３４が下流外曲がり面４２１にて跳ね返って逆流になったとしても、この逆流の勢いがなくて流量センサ２２までは到達しにくい。また、流量センサ２２が下流外曲がり面４２１から離れているほど、逆流が流量センサ２２に到達するまでの距離も長くなるため、逆流が流量センサ２２に到達することが確実に抑制される。

流量センサ２２を通る仮想線を並び線ＣＬ３１としているため、表寄り流ＡＦ３３のうち流量センサ２２を通過した空気は並び線ＣＬ３１に沿って流れやすい。このため、並び線ＣＬ３１上での流量センサ２２と下流外曲がり面４２１との離間距離Ｌ３１ｂを極力大きくすることで、表寄り流ＡＦ３３のうち流量センサ２２を通過した空気が下流外曲がり面４２１に到達するまでの距離を極力大きくできる。ここで、本実施形態のように、並び線ＣＬ３１が下流外縦面４２３を通っている構成では、流量センサ２２を通過した空気が下流外縦面４２３に当たって跳ね返ると、そのまま流量センサ２２に戻るように逆流しやすいと考えられる。このため、並び線ＣＬ３１が下流外縦面４２３を通っている構成では、並び線ＣＬ３１での流量センサ２２と下流外曲がり面４２１との離間距離Ｌ３１ｂを極力大きい値にすることは、流量センサ２２に逆流が到達しにくくする上で効果的である。

ここまで説明した本実施形態によれば、並び線ＣＬ３１上において、流量センサ２２と下流外曲がり面４２１との離間距離Ｌ３１ｂが、流量センサ２２と上流外曲がり面４１１との離間距離Ｌ３１ａよりも大きくなっている。この構成では、上流外曲がり面４１１と下流外曲がり面４２１との間において、流量センサ２２を下流外曲がり面４２１から極力離れた位置に配置することができる。このため、仮に、計測流路３２において流量センサ２２を通過した空気が下流外曲がり面４２１に当たって流量センサ２２側に戻る向きに逆流したとしても、その逆流が流量センサ２２に届きにくくなっている。また、逆流に伴う気流の乱れが下流曲がり路４０７にて生じたとしても、この乱れが流量センサ２２に届きにくくなっている。したがって、流量センサ２２による流量検出の精度低下を抑制できる。この結果、エアフロメータ２０による流量の計測精度を高めることができる。

ここで、流量センサ２２と下流外曲がり面４２１との離間距離Ｌ３１ｂを極力大きくするには、検出計測路３５３を奥行き方向Ｚに伸ばすことなどにより下流外曲がり面４２１を流量センサ２２から離間させる方法が考えられる。ところが、この方法では、ハウジング２１が奥行き方向Ｚに大型化することが懸念される。この場合、吸気通路１２での空気の流れがハウジング２１によって乱れ、流量センサ２２の検出精度が低下しやすくなる。また、この場合、ハウジング２１の成型に必要な樹脂材料が増加し、ハウジング２１の製造コストが増加しやすくなる。

これに対して、本実施形態では、検出計測路３５３での流量センサ２２の位置を上流外曲がり面４１１寄りの位置に設定することで、流量センサ２２と下流外曲がり面４２１との離間距離Ｌ３１ｂを極力大きくしているため、ハウジング２１の大型化を回避できる。この場合、吸気通路１２での空気の流れがハウジング２１によって乱れるということが生じにくくなるため、流量センサ２２の検出精度を高めることができる。また、この場合、ハウジング２１の成型に必要な樹脂材料を低減しやすくなるため、ハウジング２１を製造する際のコスト増加を抑制できる。

本実施形態によれば、流量センサ２２が設置されたセンサ路４０５が並び線ＣＬ３１に沿って延びている。この構成では、流量センサ２２に沿って流れる空気が並び線ＣＬ３１に沿って真っ直ぐに進みやすくなるため、流量センサ２２周辺において気流の乱れが生じにくくなる。この場合、流量センサ２２周辺での空気の流速が安定しやすくなるため、流量センサ２２の検出精度を高めることができる。しかも、流量センサ２２が下流外曲がり面４２１から極力離れた位置に配置されていることで、下流曲がり路４０７での気流の乱れが流量センサ２２に付与されにくくなっているため、流量センサ２２周辺での気流の乱れをより確実に抑制できる。この場合、流量センサ２２周辺での空気の流速が更に安定しやすくなるため、流量センサ２２の検出精度を更に高めることができる。

本実施形態によれば、並び線ＣＬ３１に沿って延びているセンサ路４０５において、流量センサ２２が下流曲がり路４０７よりも上流曲がり路４０６に近い位置に設けられている。この構成では、センサ路４０５において、流量センサ２２周辺での空気の乱れを抑制し且つ空気の流速を安定化させた上で、流量センサ２２を下流外曲がり面４２１から極力離れた位置に配置できる。

本実施形態によれば、並び線ＣＬ３１上において、センサ支持部５１が下流曲がり路４０７よりも上流外曲がり面４１１に近い位置に設けられている。この構成では、センサ支持部５１を下流曲がり路４０７から極力離れた位置に配置することができるため、下流曲がり路４０７に流れ込んだ気流がセンサ支持部５１の存在によって乱れやすくなってしまうということを抑制できる。

本実施形態によれば、並び線ＣＬ３１が下流外曲がり面４２１の下流外縦面４２３を通っている。この構成では、下流外縦面４２３が下流曲がり路４０７の下流端部から上流側に向けて真っ直ぐに延びていることに起因して、下流外曲がり面４２１のうち最も流量センサ２２から遠い部分を並び線ＣＬ３１が通っていることになる。このように、流量センサ２２を通った空気が下流外曲がり面４２１に到達するまでに要する距離を極力大きくすることで、流量センサ２２を通った空気が下流外曲がり面４２１で跳ね返って逆流として流量センサ２２まで戻るということを確実に抑制できる。

本実施形態によれば、下流内曲がり面４２５が湾曲しているため、下流曲がり路４０７において下流外曲がり面４２１と下流内曲がり面４２５との離間距離Ｌ３５ｂを極力大きくできる。この構成では、下流内曲がり面４２５が湾曲していることで下流曲がり路４０７の断面積が極力大きくされていることで、下流曲がり路４０７の容積が極力大きくなっている。このため、仮に下流外曲がり面４２１での空気の跳ね返り等により下流曲がり路４０７にて気流の乱れが生じたとしても、この乱れごと下流曲がり路４０７の空気が計測出口３６に向けて流れやすくなっている。したがって、下流曲がり路４０７から流量センサ２２に逆流が到達するということをより確実に抑制できる。

本実施形態によれば、計測流路３２を徐々に絞った後に徐々に拡張する絞り部１１１，１１２が、上流曲がり路４０６の上流端部と下流曲がり路４０７の下流端部との間に設けられている。この構成では、絞り部１１１，１１２を通過した空気が噴流として下流曲がり路４０７に向けて勢いよく吹き出され、下流外曲がり面４２１にて跳ね返りやすくなることが懸念される。このため、下流外曲がり面４２１にて跳ね返った空気が流量センサ２２に到達することを抑制する上で、流量センサ２２を下流外曲がり面４２１から極力離間した位置に設けることは効果的である。

本実施形態によれば、絞り部１１１，１１２においては、拡張面４３２，４４２の長さ寸法Ｗ３３ａ，Ｗ３３ｂが絞り面４３１，４４１の長さ寸法Ｗ３２ａよりも大きくなっている。この構成では、計測流路３２の急激な拡張によって気流の剥離などの乱れが生じないように、拡張面４３２，４４２による計測流路３２の拡張度合いや拡張率が穏やかになっている。これにより、絞り部１１１，１１２を通過した空気によって下流曲がり路４０７での流れが乱れるということを抑制できる。

本実施形態によれば、絞り部１１１，１１２が下流外曲がり面４２１よりも上流外曲がり面４１１に近い位置に設けられている。この構成では、上流外曲がり面４１１と下流外曲がり面４２１との間において、絞り部１１１，１１２を下流外曲がり面４２１から極力離れた位置に配置することができる。このため、ハウジング２１を大型化させることなく、絞り部１１１，１１２を通過した空気が下流外曲がり面４２１に当たる勢いを低減させることができる。

本実施形態によれば、表計測壁面１０３と裏計測壁面１０４とが上流曲がり路４０６を挟んで対向しており、これら計測壁面１０３，１０４に絞り部１１１，１１２が設けられている。この構成では、上流曲がり路４０６にて空気が曲がる向きと、絞り部１１１，１１２によって空気が絞られる向きとがほぼ直交している。このため、上流外曲がり面４１１に沿って流れる外曲がり流ＡＦ３１等の気流と、上流内曲がり面４１５に沿って流れる内曲がり流ＡＦ３２等の気流とが、絞り部１１１，１１２を通過する際に混じり合うようにして乱れが発生する、ということが生じにくい。したがって、絞り部１１１，１１２による気流の整流効果を高めることができる。

本実施形態によれば、上流外曲がり面４１１が湾曲している。この構成では、外計測曲がり面４０１に沿って流れる外曲がり流ＡＦ３１等の気流の向きが上流外曲がり面４１１によって徐々に変わるため、上流外曲がり面４１１に沿って流れる気流が乱れにくくなっている。このため、流量センサ２２に到達する外曲がり流ＡＦ３１等の空気が乱れにくく、下流曲がり路４０７に向けて吹き出される空気も乱れにくい。

本実施形態によれば、計測流路３２に沿って延びる内計測曲がり面４０２が全体として流量センサ２２に向けて膨らむように曲がっている。この構成では、内計測曲がり面４０２に凹部が形成されていないため、内計測曲がり面４０２に沿って流れる内曲がり流ＡＦ３２等の空気が凹部に入り込んで渦等の乱れが生じるということが生じにくくなっている。このため、流量センサ２２に到達する内曲がり流ＡＦ３２等の空気が乱れにくく、下流曲がり路４０７に向けて吹き出される空気も乱れにくい。

本実施形態によれば、ハウジング２１の外面のうちハウジング表面２１ｅ及びハウジング裏面２１ｆに計測出口３６が設けられている。この構成では、吸気通路１２においてハウジング表面２１ｅやハウジング裏面２１ｆに沿って計測出口３６に沿って空気が流れると、この空気に引っ張られるようにして計測流路３２内の空気が計測出口３６から流れ出す、という事象が生じやすくなっている。このため、仮に下流曲がり路４０７において空気の跳ね返り等によって気流の乱れが生じても、吸気通路１２においてハウジング２１の外部を流れる空気を利用して、気流の乱れごと下流曲がり路４０７から計測出口３６に向けて空気が流れやすくできる。

本実施形態によれば、センサＳＡ５０においては、モールド表面５５ｅ及びモールド裏面５５ｆがいずれも樹脂製のモールド部５５により形成されている。この構成では、モールド表面５５ｅやモールド裏面５５ｆの滑らかさを管理しやすいため、これらモールド表面５５ｅやモールド裏面５５ｆに沿って流れる空気に剥離や乱れが生じにくくなっている。

（第２実施形態）
上記第１実施形態では、下流外曲がり面４２１が下流外入隅部４２４を有していたが、第２実施形態では、下流外曲がり面４２１が湾曲した部分を有している。本実施形態において、第１実施形態での図面と同一符号を付した構成部品及び説明しない構成は、上記第１実施形態と同様であり、同様の作用効果を奏するものである。本実施形態では、上記第１実施形態との相違点を中心に説明する。

図１８に示すように、下流外曲がり面４２１が下流外横面４２２及び下流外縦面４２３に加えて下流外湾曲面４６１を有する構成とする。下流外湾曲面４６１は、計測流路３２の中心線ＣＬ４に沿って膨らむように延びており、この中心線ＣＬ４に沿って連続的に曲がるように湾曲している。下流外湾曲面４６１は、中心線ＣＬ４が延びる方向において下流外横面４２２と下流外縦面４２３との間に設けられており、これら下流外横面４２２と下流外縦面４２３とを接続している。

下流外湾曲面４６１の曲率半径Ｒ３４は、上流外曲がり面４１１の曲率半径Ｒ３３よりも小さくなっている。このため、上記第１実施形態と同様に、下流外曲がり面４２１の曲がりは上流外曲がり面４１１の曲がりよりもきつい状態になっている。一方で、下流外湾曲面４６１の曲率半径Ｒ３４は、下流内曲がり面４２５の曲率半径Ｒ３２よりも大きくなっている。このため、下流外曲がり面４２１の曲がりは下流内曲がり面４２５の曲がりよりもゆるい状態になっている。

並び線ＣＬ３１は、下流外曲がり面４２１において下流外縦面４２３ではなく下流外湾曲面４６１を通っている。この構成では、流量センサ２２を通過して並び線ＣＬ３１に沿って進んだ空気は、下流外湾曲面４６１に当たることで向きが変わり、下流曲がり路４０７の下流側に向けて進みやすくなる。

本変形例によれば、下流外曲がり面４２１が下流外湾曲面４６１を有しているため、センサ支持部５１と絞り部１１１，１１２との間から下流曲がり路４０７に向けて吹き出された空気が下流外湾曲面４６１に沿って流れやすくなる。この場合、流量センサ２２を通過した空気が下流曲がり路４０７にてとどまりにくくなるため、流量センサ２２を通過する空気の流量や流速が低下するということを抑制できる。

（第３実施形態）
上記第１実施形態では、絞り部１１１，１１２において絞り面４３１，４４１及び拡張面４３２，４４２が膨らむように湾曲していたが、第３実施形態では、絞り面４３１，４４１や拡張面４３２，４４２が湾曲していない。本実施形態において、第１実施形態での図面と同一符号を付した構成部品及び説明しない構成は、上記第１実施形態と同様であり、同様の作用効果を奏するものである。本実施形態では、上記第１実施形態との相違点を中心に説明する。

図１９に示すように、絞り部１１１，１１２において、絞り面４３１，４４１が頂部１１１ａ，１１２ａから上流側に向けて真っ直ぐに延び、拡張面４３２，４４２が頂部１１１ａ，１１２ａから下流側に向けて真っ直ぐに延びた構成とする。絞り面４３１，４４１は、計測流路３２の上流側を向くように並び線ＣＬ３１に対して傾斜しており、拡張面４３２，４４２は、計測流路３２の下流側を向くように並び線ＣＬ３１に対して傾斜している。絞り面４３１，４４１の突出寸法の増加率は、絞り上流面４３３，４４３から頂部１１１ａ，１１２ａに向けて均一になっている。また、拡張面４３２，４４２の突出寸法の減少率は、頂部１１１ａ，１１２ａから拡張下流面４３４，４４４に向けて均一になっている。

絞り部１１１，１１２は、並び線ＣＬ１に沿って延びた先端面を有しており、これら先端面が頂部１１１ａ，１１２ａになっている。奥行き方向Ｚでの頂部１１１ａ，１１２ａの中心は、発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ５よりも下流曲がり路４０７寄りの位置に配置されている。

本変形例によれば、表絞り面４３１や裏絞り面４４１が真っ直ぐに延びているため、これら絞り面４３１，４４１による気流の整流効果を高めることができる。また、表拡張面４３２や裏拡張面４４２が真っ直ぐに延びているため、流量センサ２２の検出精度を低下させない程度に、これら拡張面４３２，４４２からの気流の剥離が生じることなどにより気流が乱れやすくなっている。この場合、センサ支持部５１と拡張面４３２，４４２との間から下流曲がり路４０７に向けて噴流として吹き出される空気の勢いを弱めることができる。このため、噴流が下流外曲がり面４２１で跳ね返って逆流として流量センサ２２まで戻るということを抑制できる。

（他の実施形態）
以上、本開示による複数の実施形態について説明したが、本開示は、上記実施形態に限定して解釈されるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲内において種々の実施形態及び組み合わせに適用することができる。

変形例１として、下流外曲がり面４２１全体が下流外湾曲面になっていてもよい。例えば、上記第２実施形態において、下流外曲がり面４２１は、下流外湾曲面４６１を有している一方で、下流外横面４２２及び下流外縦面４２３の少なくとも一方を有していなくてもよい。例えば、下流外曲がり面４２１が下流外横面４２２及び下流外縦面４２３の両方を有していない構成とする。この構成では、下流外湾曲面４６１が下流曲がり路４０７の上流端部と下流端部とにかけ渡されている。この場合、下流外曲がり面４２１の全体が下流外湾曲面４６１になっており、下流外曲がり面４２１が下流外湾曲面に相当する。

変形例２として、上流外曲がり面４１１は、上流曲がり路４０６の上流端部から真っ直ぐに延びた上流外縦面と、上流曲がり路４０６の下流端部から真っ直ぐに延びた上流外横面と、のうち少なくとも一方を有していてもよい。この構成では、上流外曲がり面４１１の全体が上流外湾曲面になっているのではなく、上流外曲がり面４１１が、上流外縦面及び上流外横面の少なくとも一方に加えて、上流外湾曲面を有していることになる。例えば、上流外曲がり面４１１が上流外縦面及び上流外湾曲面を有している構成では、並び線ＣＬ３１が上流外縦面を通っていてもよい。また、上流外曲がり面４１１においては、上流外縦面と上流外横面とが互いに内向きに入り合った入隅部分として上流外入隅部が形成されていてもよい。

変形例３として、上流内曲がり面４１５は、上流曲がり路４０６の上流端部から真っ直ぐに延びた上流内縦面と、上流曲がり路４０６の下流端部から真っ直ぐに延びた上流内横面と、のうち少なくとも一方を有していてもよい。この構成では、上流内曲がり面４１５の全体が上流内湾曲面になっているのではなく、上流内曲がり面４１５が、上流内縦面及び上流内横面の少なくとも一方に加えて、上流内湾曲面を有していることになる。また、上流内曲がり面４１５においては、上流内縦面と上流内横面とが外向きに出合った出隅部分として上流内出隅部が形成されていてもよい。

変形例４として、下流内曲がり面４２５は、下流曲がり路４０７の上流端部から真っ直ぐに延びた下流内縦面と、下流曲がり路４０７の下流端部から真っ直ぐに延びた下流内横面と、のうち少なくとも一方を有していてもよい。この構成では、下流内曲がり面４２５の全体が下流内湾曲面になっているのではなく、下流内曲がり面４２５が、下流内縦面及び下流内横面の少なくとも一方に加えて、下流内湾曲面を有していることになる。また、下流内曲がり面４２５においては、下流内縦面と下流内横面とが外向きに出合った出隅部分として下流内出隅部が形成されていてもよい。

変形例５として、外曲がり面４１１，４２１や内曲がり面４１５，４２５は、並び線ＣＬ３１に対して傾斜した傾斜面を少なくとも１つ有していることで、連続的ではなく段階的に曲がっていてもよい。例えば、下流外曲がり面４２１が並び線ＣＬ３１に対して傾斜した方向に真っ直ぐに延びた傾斜面として下流外傾斜面を有している構成とする。この構成では、下流外横面４２２と下流外縦面４２３との接続部分が下流外傾斜面により面取りされた状態になっており、下流外曲がり面４２１が下流外入隅部４２４を有していない。また、計測流路３２の中心線ＣＬ４に沿って下流外傾斜面が複数並べられていてもよく、この構成では、下流外曲がり面４２１が複数の下流外傾斜面により段階的に曲がった形状になる。

変形例６として、下流外曲がり面４２１の凹み度合いが上流外曲がり面４１１の凹み度合いよりも大きい構成は、曲率半径に関係なく実現されていてもよい。例えば、下流外曲がり面４２１全体が下流外湾曲面であり、上流外曲がり面４１１全体が上流外湾曲面であり、下流外曲がり面４２１の曲率半径Ｒ３４が上流外曲がり面４１１の曲率半径Ｒ３３よりも大きい構成を想定する。この構成でも、計測流路３２の中心線ＣＬ４が延びる方向において、下流外曲がり面４２１の長さ寸法が上流外曲がり面４１１の長さ寸法よりも小さければ、下流外曲がり面４２１の凹み度合いが上流外曲がり面４１１の凹み度合いよりも大きくなっている。

変形例７として、センサ路４０５においては、少なくとも計測床面１０１が並び線ＣＬ３１に沿って真っ直ぐに延びていればよい。また、センサ路４０５の上流端部に流量センサ２２の上流端部が設けられていてもよく、センサ路４０５の下流端部に流量センサ２２の下流端部が設けられていてもよい。例えば、奥行き方向Ｚにおいてセンサ路４０５の長さ寸法と流量センサ２２の長さ寸法とが同じになっていてもよい。

変形例８として、奥行き方向Ｚにおいて、上流外曲がり面４１１の下流端部が上流内曲がり面４１５の下流端部よりも流量センサ２２に近い位置に設けられていてもよい。この場合、センサ路４０５の上流端部は、上流内曲がり面４１５の下流端部ではなく、上流外曲がり面４１１の下流端部により規定されることになる。また、奥行き方向Ｚにおいて、下流外曲がり面４２１の上流端部が下流内曲がり面４２５の上流端部よりも流量センサ２２に近い位置に設けられていてもよい。この場合、センサ路４０５の下流端部は、下流内曲がり面４２５の上流端部ではなく、下流外曲がり面４２１の上流端部により規定されることになる。

変形例９として、並び線ＣＬ３１は、流量センサ２２を通っていればよい。並び線ＣＬ３１は、例えば、発熱抵抗体７１の中心ＣＯ１でなくても発熱抵抗体７１の一部を通っていればよい。また、並び線ＣＬ３１は、メンブレン部６２の中心や一部を通っていてもよく、流量センサ２２の中心や一部を通っていてもよい。さらに、並び線ＣＬ３１は、上流曲がり路４０６と下流曲がり路４０７との並び方向に延びていれば、ハウジング２１の角度設定面２７ａや、奥行き方向Ｚ、主流方向に対して傾斜していてもよい。

変形例１０として、並び線ＣＬ３１上において、流量センサ２２が下流外曲がり面４２１よりも上流外曲がり面４１１に近い位置に配置されていれば、センサ支持部５１は下流外曲がり面４２１よりも上流外曲がり面４１１に近い位置に配置されていなくてもよい。この場合、センサ支持部５１において、並び線ＣＬ３１上では、流量センサ２２がモールド下流面５５ｄよりもモールド上流面５５ｃに近い位置に配置されている。

変形例１１として、並び線ＣＬ３１上において、流量センサ２２は、下流外曲がり面４２１よりも上流外曲がり面４１１に近い位置に配置されていれば、センサ路４０５の下流端部よりも上流端部に近い位置に配置されていなくてもよい。この場合、並び線ＣＬ３１上において、下流曲がり路４０７の上流端部と下流外曲がり面４２１との離間距離が、上流曲がり路４０６の下流端部と上流外曲がり面４１１との離間距離よりも大きくなっている。

変形例１２として、計測流路３２においては、上流曲がり路４０６と下流曲がり路４０７とがセンサ路４０５に対して反対向きに曲がっていてもよい。例えば、上流曲がり路４０６及び下流曲がり路４０７がいずれもセンサ路４０５からハウジング先端側に向けて延びるのではなく、一方がハウジング先端側に向けて延び、他方がハウジング基端側に向けて延びた構成とする。仮に、上流曲がり路４０６がセンサ路４０５からハウジング先端側に向けて延び、下流曲がり路４０７がセンサ路４０５からハウジング基端側に向けて延びていれば、下流外曲がり面４２１は、計測床面１０１ではなく計測天井面１０２から延びることになる。また、下流内曲がり面４２５は、計測天井面１０２ではなく計測床面１０１から延びることになる。

変形例１３として、計測絞り部の計測絞り面及び計測拡張面のうち一方だけが真っ直ぐに延びていてもよい。例えば、上記第３実施形態において、表絞り面４３１、表拡張面４３２、裏絞り面４４１及び裏拡張面４４２の少なくとも１つが真っ直ぐに延びていてもよい。また、表頂部１１１ａや裏頂部１１２ａは、膨らむように湾曲していてもよく、凹むように湾曲していてもよい。

変形例１４として、絞り部１１１，１１２の形状や大きさは上記第１実施形態の構成とは異なっていてもよい。例えば、絞り部１１１，１１２において、絞り面４３１，４４１の長さ寸法Ｗ３２ａ，Ｗ３２ｂが拡張面４３２，４４２の長さ寸法Ｗ３３ａ，Ｗ３３ｂよりも小さくなくてもよい。また、表絞り上流面４３３と表拡張下流面４３４とが面一になっていなくてもよい。この場合、表絞り上流面４３３からの表絞り面４３１の突出寸法と、表拡張下流面４３４からの表拡張面４３２の突出寸法とが異なる。裏絞り部１１２についても、表絞り部１１１と同様に、裏絞り上流面４４３と裏拡張下流面４４４とが面一になっていなくてもよい。この場合、裏絞り上流面４４３からの裏絞り面４４１の突出寸法と、裏拡張下流面４４４からの裏拡張面４４２の突出寸法とが異なる。

変形例１５として、表絞り部１１１と裏絞り部１１２とで形状や大きさが異なっていてもよい。例えば、表絞り部１１１の長さ寸法Ｗ３１ａが裏絞り部１１２の長さ寸法Ｗ３１ｂよりも大きくなっていてもよく、小さくなっていてもよい。表絞り面４３１の長さ寸法Ｗ３２ａが裏絞り面４４１の長さ寸法Ｗ３２ｂよりも大きくなっていてもよく、小さくなっていてもよい。また、表拡張面４３２の長さ寸法Ｗ３３ａが裏拡張面４４２の長さ寸法Ｗ３３ｂよりも大きくなっていてもよく、小さくなっていてもよい。表頂部１１１ａの突出寸法Ｄ３２ａ，Ｄ３６ａが裏頂部１１２ａの突出寸法Ｄ３２ｂ，Ｄ３６ｂと同じ又はそれよりも小さくなっていてもよい。

変形例１６として、絞り部１１１，１１２は、奥行き方向Ｚにおいて計測仕切部４５１から外側にはみ出していてもよい。また、絞り部１１１，１１２は、上流曲がり路４０６や下流曲がり路４０７の内部に入り込まない位置に設けられていてもよい。例えば、絞り部１１１，１１２がセンサ路４０５、上流曲がり路４０６及び下流曲がり路４０７のうちセンサ路４０５だけに設けられた構成とする。さらに、絞り部１１１，１１２は、計測天井面１０２と計測床面１０１とにかけ渡されていなくてもよい。例えば、絞り部１１１，１１２が計測天井面１０２及び計測床面１０１のうち一方だけから延びた構成とする。また、絞り部１１１，１１２が計測天井面１０２及び計測床面１０１の間において、これら計測天井面１０２及び計測床面１０１のいずれからも離間した位置に設けられた構成とする。

変形例１７として、絞り部１１１，１１２等の計測絞り部は、計測流路３２において表計測壁面１０３、裏計測壁面１０４、外計測曲がり面４０１及び内計測曲がり面４０２の少なくとも１つに設けられていればよい。例えば、表絞り部１１１及び裏絞り部１１２の少なくとも一方が設けられた構成とする。また、計測壁面１０３，１０４及び計測曲がり面４０１，４０２のそれぞれに計測絞り部が設けられた構成とする。

変形例１８として、計測流路３２において表頂部１１１ａと裏頂部１１２ａとは、幅方向Ｘに並べられていなくてもよい。例えば、頂部１１１ａ，１１２ａのうち表頂部１１１ａだけが発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ５上に配置されていてもよい。この場合、裏頂部１１２ａは、中心線ＣＬ５に対して高さ方向Ｙ及び奥行き方向Ｚの少なくとも一方にずれた位置に配置されていることになる。

変形例１９として、表絞り部１１１の表頂部１１１ａは、発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ５上に配置されていなくてもよい。例えば、表頂部１１１ａが、発熱抵抗体７１の一部と幅方向Ｘに並び、発熱抵抗体７１の一部と対向していればよい。また、表頂部１１１ａが、メンブレン部６２の一部と幅方向Ｘに並び、メンブレン部６２の一部と対向していればよい。さらに、表頂部１１１ａが、流量センサ２２の一部と幅方向Ｘに並び、流量センサ２２の一部と対向していればよい。

変形例２０として、下流外曲がり面４２１の凹み度合いは上流外曲がり面４１１の凹み度合いよりも大きくなくてもよい。

変形例２１として、吸入空気の流量とは異なる物理量を検出する物理量センサが計測流路に設けられていてもよい。計測流路に設けられる物理量センサとしては、流量センサ２２の他に、温度を検出する検出部や、湿度を検出する検出部、圧力を検出する検出部などが挙げられる。これら検出部は、検出ユニットとしてのセンサＳＡ５０に搭載されていてもよく、センサＳＡ５０とは別体として設けられていてもよい。

変形例２２として、エアフロメータ２０は通過流路３１を有していなくてもよい。すなわち、バイパス流路３０は分岐していなくてもよい。例えば、計測流路３２の計測入口３５がハウジング２１の外面に設けられた構成とする。この構成では、計測入口３５からハウジング２１の内部に流れ込んだ空気の全てが計測出口３６から流出する。

２０…物理量計測装置としてのエアフロメータ、２１…ハウジング、２２…物理量センサとしての流量センサ、３２…計測流路、３５…計測入口、３６…計測出口、５１…センサ支持部、１０３…計測壁面及び壁面としての表計測壁面、１０４…計測壁面及び壁面としての裏計測壁面、１１１…計測絞り部としての表絞り部、１１２…計測絞り部としての裏絞り部、４０２…内計測曲がり面、４０５…センサ路、４０６…上流曲がり路、４０７…下流曲がり路、４１１…上流外湾曲面としての上流外曲がり面、４２１…下流外曲がり面、４２３…下流外縦面、４２５…下流内湾曲面としての下流内曲がり面、４３１…計測絞り面としての表絞り面、４３２…計測拡張面としての表拡張面、４４１…計測絞り面としての裏絞り面、４４２…計測拡張面としての裏拡張面、Ｘ…直交方向としての幅方向、ＣＬ３１…並び線、Ｌ３１ａ，Ｌ３１ｂ，Ｌ３２ａ，Ｌ３２ｂ，Ｌ３４ａ，Ｌ３４ｂ…離間距離、Ｗ３２ａ，Ｗ３２ｂ，Ｗ３３ａ，Ｗ３３ｂ…長さ寸法、Ｗ３４ａ，Ｗ３４ｂ，Ｗ３５ａ，Ｗ３５ｂ…離間距離、Ｘ…直交方向としての幅方向、Ｚ…並び方向としての奥行き方向。

Claims (14)

1. 流体の物理量を計測する物理量計測装置（２０）であって、
   前記流体が流入する計測入口（３５）と、前記計測入口から流入した前記流体が流出する計測出口（３６）とを有する計測流路（３２）と、
   前記計測流路に設けられ、前記流体の物理量を検出する物理量センサ（２２）と、
   前記計測流路を形成しているハウジング（２１）と、
   を備え、
   前記計測流路は、
   前記物理量センサが設けられたセンサ路（４０５）と、
   前記計測流路において前記センサ路と前記計測入口との間に設けられ、前記ハウジングにおいて前記センサ路から前記計測入口に向けて延びるように曲がっている上流曲がり路（４０６）と、
   前記計測流路において前記センサ路と前記計測出口との間に設けられ、前記ハウジングにおいて前記センサ路から前記計測出口に向けて延びるように曲がっている下流曲がり路（４０７）と、
   を有しており、
   前記ハウジングの内面は、
   前記上流曲がり路を曲がりの外側から形成する上流外曲がり面（４１１）と、
   前記下流曲がり路を曲がりの外側から形成する下流外曲がり面（４２１）と、
   を有しており、
   前記物理量センサを通り且つ前記上流曲がり路と前記下流曲がり路との並び方向（Ｚ）に延びた仮想の直線として並び線（ＣＬ３１）を想定し、
   前記並び線上での前記下流外曲がり面と前記物理量センサとの離間距離（Ｌ３１ｂ）が、前記並び線上での前記上流外曲がり面と前記物理量センサとの離間距離（Ｌ３１ａ）よりも大きい、物理量計測装置。
2. 前記センサ路は前記並び線に沿って延びている、請求項１に記載の物理量計測装置。
3. 前記センサ路において、前記物理量センサと前記下流曲がり路との離間距離（Ｌ３４ｂ）は、前記物理量センサと前記上流曲がり路との離間距離（Ｌ３４ａ）よりも大きい、請求項１又は２に記載の物理量計測装置。
4. 前記計測流路において前記物理量センサを支持しているセンサ支持部（５１）を備え、
   前記並び線上での前記下流外曲がり面と前記センサ支持部との離間距離（Ｌ３２ｂ）が、前記並び線上での前記上流外曲がり面と前記センサ支持部との離間距離（Ｌ３２ａ）よりも大きい、請求項１〜３のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
5. 前記下流外曲がり面は、
   前記並び線が通る位置に設けられ、前記下流曲がり路の下流端部から上流側に向けて真っ直ぐに延びた下流外縦面（４２３）を有している、
   請求項１〜４のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
6. 前記ハウジングの内面は、
   前記下流曲がり路を曲がりの内側から形成する下流内曲がり面（４２５）を有しており、
   前記下流内曲がり面は、
   前記下流曲がり路に沿って湾曲した下流内湾曲面（４２５）を有している、請求項１〜５のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
7. 前記ハウジングは、
   前記計測入口側から前記物理量センサに向けて前記計測流路を徐々に縮小して絞っていき、且つ前記物理量センサ側から前記計測出口に向けて前記計測流路を徐々に拡張していく計測絞り部（１１１，１１２）を有しており、
   前記計測絞り部は、前記計測流路において前記上流曲がり路の上流端部と前記下流曲がり路の下流端部との間に設けられている、請求項１〜６のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
8. 前記計測絞り部は、
   前記ハウジングの前記内面を形成し、前記計測入口側から前記物理量センサに向けて前記計測流路を徐々に縮小して絞っていく計測絞り面（４３１，４４１）と、
   前記物理量センサ側から前記計測出口に向けて前記計測流路を徐々に拡張していく計測拡張面（４３２，４４２）と、
   を有しており、
   前記並び方向において、前記計測拡張面の長さ寸法（Ｗ３３ａ，Ｗ３３ｂ）が前記計測絞り面の長さ寸法（Ｗ３２ａ，Ｗ３２ｂ）よりも大きい、請求項７に記載の物理量計測装置。
9. 前記計測拡張面は、前記物理量センサ側から前記計測出口に向けて真っ直ぐに向けて延びている、請求項８に記載の物理量計測装置。
10. 前記並び線上での前記下流外曲がり面と前記計測絞り部との離間距離（Ｗ３４ａ，Ｗ３５ａ）は、前記並び線上での前記上流外曲がり面と前記計測絞り部との離間距離（Ｗ３４ｂ，Ｗ３５ｂ）よりも大きい、請求項７〜９のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
11. 前記ハウジングの内面は、
    前記計測流路を形成し、前記上流外曲がり面及び前記下流外曲がり面を挟んで対向する一対の計測壁面（１０３，１０４）を有しており、
    前記計測絞り部は、一対の前記計測壁面の少なくとも一方に設けられている、請求項７〜１０のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
12. 前記上流外曲がり面は、
    前記上流曲がり路の上流端部と下流端部とにかけ渡され、前記上流曲がり路に沿って湾曲した上流外湾曲面（４１１）を有している、請求項１〜１１のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
13. 前記ハウジングの内面は、
    前記計測入口と前記計測出口とにかけ渡された状態で前記物理量センサに向けて膨らむように曲がっており、前記計測流路を曲がりの内側から形成する内計測曲がり面（４０２）を有している、請求項１〜１２のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
14. 前記ハウジングの内面は、
    前記計測流路を形成し、前記上流外曲がり面及び前記下流外曲がり面を挟んで対向する一対の壁面（１０３，１０４）を有しており、
    前記計測出口は、一対の前記壁面が並び且つ前記並び線に直交する直交方向（Ｘ）に前記計測流路を開放する向きで、一対の前記壁面の少なくとも一方に設けられている、請求項１〜１３のいずれか１つに記載の物理量計測装置。

Images