JP2020106428A - 物理量計測装置 - Google Patents

物理量計測装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2020106428A
JP2020106428A JP2018246194A JP2018246194A JP2020106428A JP 2020106428 A JP2020106428 A JP 2020106428A JP 2018246194 A JP2018246194 A JP 2018246194A JP 2018246194 A JP2018246194 A JP 2018246194A JP 2020106428 A JP2020106428 A JP 2020106428A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
measurement
housing
downstream
sensor
upstream
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2018246194A
Other languages
English (en)
Inventor
健悟 伊藤
Kengo Ito
健悟 伊藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denso Corp
Original Assignee
Denso Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Denso Corp filed Critical Denso Corp
Priority to JP2018246194A priority Critical patent/JP2020106428A/ja
Priority to DE112019000709.2T priority patent/DE112019000709T5/de
Priority to DE112019000710.6T priority patent/DE112019000710T5/de
Priority to PCT/JP2019/003953 priority patent/WO2019156045A1/ja
Priority to PCT/JP2019/003947 priority patent/WO2019156044A1/ja
Priority to PCT/JP2019/003945 priority patent/WO2019156042A1/ja
Priority to PCT/JP2019/003955 priority patent/WO2019156046A1/ja
Priority to DE112019000711.4T priority patent/DE112019000711T9/de
Priority to PCT/JP2019/003942 priority patent/WO2019156041A1/ja
Priority to DE112019000696.7T priority patent/DE112019000696T5/de
Priority to DE112019000706.8T priority patent/DE112019000706T5/de
Publication of JP2020106428A publication Critical patent/JP2020106428A/ja
Priority to US16/985,322 priority patent/US11300434B2/en
Priority to US16/985,547 priority patent/US11255709B2/en
Priority to US16/985,496 priority patent/US11480455B2/en
Priority to US16/985,663 priority patent/US11313709B2/en
Priority to US16/985,416 priority patent/US20200370937A1/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

【課題】物理量の計測精度を高めることができる物理量計測装置を提供する。【解決手段】ハウジング２１において、計測流路３２はセンサ路４０５、上流曲がり路４０６、下流曲がり路４０７を有している。流量センサ２２はセンサ路４０５に設けられている。上流曲がり路４０６はセンサ路４０５から計測入口３５に向けて延びており、下流曲がり路４０７はセンサ路４０５から計測出口３６に向けて延びている。ハウジング２１の内面は、上流曲がり路４０６の曲がりを外側から形成する上流外曲がり面４１１と、下流曲がり路４０６の曲がりを外側から形成する下流外曲がり面４２１とを有している。計測流路３２においては、下流外曲がり面４２１の凹み度合いが上流外曲がり面４１１の凹み度合いよりも大きくなっている。【選択図】図２３

Description

この明細書による開示は、物理量計測装置に関する。
流体の物理量を計測する物理量計測装置として、例えば特許文献１には、サブバイパス流路を形成するハウジングと、サブバイパス流路を流れる空気の流量を検出する流量センサと、を備えた空気流量測定装置が開示されている。この空気流量測定装置では、サブバイパス流路は、空気が流れ込むサブ入口と、流れ込んだ空気を流出させるサブ出口とを有しており、これらサブ入口とサブ出口との間で空気の流れをＵターンさせる流路形状になっている。サブバイパス流路においては、サブ入口に向けて曲がった曲がり部分と、サブ出口に向けて曲がった曲がり部分との間に流量センサが設けられている。
特開２０１３−１９０４４７号公報
上記特許文献１では、流量センサとサブ出口との間に曲がり部分が設けられているため、サブバイパス流路での圧力損失がこの曲がり部分で増加するなどして、流量センサを通過した空気が曲がり部分を流れにくくなることが懸念される。この場合、流量センサを通過した空気が曲がり部分で詰まったような状態が発生することで、流量センサを通過する空気の量や流速が不足し、流量センサによる流量の検出精度が低下しやすくなる。したがって、空気等の流体について流量等の物理量を計測する精度が低下し、物理量計測装置の計測精度が低下してしまう。
本開示の主な目的は、物理量の計測精度を高めることができる物理量計測装置を提供することにある。
上記目的を達成するため、開示された態様は、
流体の物理量を計測する物理量計測装置（２０）であって、
流体が流入する計測入口（３５）と、計測入口から流入した流体が流出する計測出口（３６）とを有する計測流路（３２）と、
計測流路に設けられ、流体の物理量を検出する物理量センサ（２２）と、
計測流路を形成しているハウジング（２１）と、
を備え、
計測流路は、
物理量センサが設けられたセンサ路（４０５）と、
計測流路においてセンサ路と計測入口との間に設けられ、ハウジングにおいてセンサ路から計測入口に向けて延びるように曲がっている上流曲がり路（４０６）と、
計測流路においてセンサ路と計測出口との間に設けられ、ハウジングにおいてセンサ路から計測出口に向けて延びるように曲がっている下流曲がり路（４０７）と、
を有しており、
ハウジングの内面は、
上流曲がり路を曲がりの外側から形成する上流外曲がり面（４１１）と、
下流曲がり路を曲がりの外側から形成する下流外曲がり面（４２１）と、
を有しており、
計測流路を拡張する側への下流外曲がり面の凹み度合いが、計測流路を拡張する側への上流外曲がり面の凹み度合いよりも大きい、物理量計測装置である。
上記態様によれば、計測流路を拡張する側への下流外曲がり面の凹み度合いが、計測流路を拡張する側への上流外曲がり面の凹み度合いよりも大きくなっている。この構成では、下流曲がり路の断面積や容積を極力大きくすることが可能であるため、下流曲がり路での圧力損失を低減することができる。このように下流曲がり路での圧力損失を低減することで、物理量センサを通過した流体が下流曲がり路で詰まったような状態が発生しにくくなり、物理量センサを通過する流体の量や流速が不足するということが生じにくくなる。このため、物理量センサによる物理量の検出精度が低下するということを抑制でき、その結果、物理量計測装置による物理量の計測精度を高めることができる。
なお、特許請求の範囲およびこの項に記載した括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものにすぎず、本開示の技術的範囲を限定するものではない。
第１実施形態における燃焼システムの構成を示す図。 吸気管に取り付けられた状態のエアフロメータの正面図。 吸気管に取り付けられた状態のエアフロメータの平面図。 通過入口側から見たエアフロメータの斜視図。 通過出口側から見たエアフロメータの斜視図。 エアフロメータをコネクタ部側から見た側面図。 エアフロメータをコネクタ部とは反対側から見た側面図。 図２のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線断面図。 構成群ＡにおけるセンサＳＡの斜視図。 モールド表面側から見たセンサＳＡの平面図。 モールド裏面側から見たセンサＳＡの平面図。 流量センサの斜視図。 メンブレン部の配線パターンを示す図。 エアフロメータの縦断面図。 図１４のＸＶ−ＸＶ線断面図。 図１４のＸＶＩ−ＸＶＩ線断面図。 構成群Ｂにおけるハウジング仕切部周辺のエアフロメータの縦断面図。 センサＳＡをハウジングに組み付ける前の状態を示す図。 センサＳＡを組み付ける前のハウジングの平面図。 センサＳＡがハウジング仕切部を変形させる前の状態を示す図。 センサＳＡがハウジング仕切部を変形させた後の状態を示す図。 構成群Ｄにおけるエアフロメータの縦断面図。 図２２のセンサ路周辺の拡大図。 図２２のＸＸＩＶ−ＸＸＩＶ線断面図。 図２４のセンサ路周辺の拡大図。 構成群Ｅにおけるエアフロメータの縦断面図であって、センサ路周辺の拡大図。 エアフロメータの横断面図であって、センサ路周辺の拡大図。 構成群Ｈにおけるエアフロメータの概略正面図。 接続ターミナルの斜視図。 接続ターミナルの平面図。 図２８のＸＸＸＩ−ＸＸＸＩ線断面図。 図２８のＸＸＸＩＩ−ＸＸＸＩＩ線断面図。 第２実施形態における吸気管に取り付けられた状態のエアフロメータの側面図。 エアフロメータの正面図。 図３３のＸＸＸＶ−ＸＸＸＶ線断面図。 構成群Ｂにおける図３５のＸＸＸＶＩ−ＸＸＸＶＩ線断面図。 図３５のセンサＳＡ周辺の拡大図。 図３５におけるベース部材とカバー部材とセンサＳＡとの分解断面図。 ＢＨ６のセンサＳＡ周辺の拡大図。 第３実施形態、構成群Ｃにおけるエアフロメータの縦断面図。 図４０の通過流路周辺の拡大図。 入口通路部の断面積について説明するための図。 通過流路に流れ込んだ主流について説明するための図。 通過流路に流れ込んだ下向き偏流について説明するための図。 通過流路に流れ込んだ上向き偏流について説明するための図。 主流線に対する入口天井面の傾斜角度とエアフロメータの出力変動との関係を示す図。 流量の変化態様を示す図。 脈動特性と振幅比との関係を示す図。 分岐角度が異なる構成について説明するための図。 分岐角度と脈動特性との関係を示す図。 変形例Ｂ１における第１実施形態についてのハウジング仕切部周辺のエアフロメータの縦断面図。 変形例Ｂ２における第２実施形態についてのハウジング仕切部周辺のエアフロメータの断面図。 ベース部材とカバー部材とセンサＳＡとの分解断面図。 変形例Ｂ４における第１実施形態についてのハウジング仕切部周辺のエアフロメータの縦断面図。 変形例Ｂ５における第２実施形態についてのハウジング仕切部周辺のエアフロメータの断面図。 ベース部材とカバー部材とセンサＳＡとの分解断面図。 変形例Ｂ６における第２実施形態についてのハウジング仕切部周辺のエアフロメータの断面図。 ベース部材とカバー部材とセンサＳＡとの分解断面図。 変形例Ｂ７における第１実施形態についてのハウジング仕切部周辺のエアフロメータの縦断面図。 変形例Ｃ１における第３実施形態についての通過流路周辺のエアフロメータの縦断面図。 変形例Ｃ２における第３実施形態についての通過流路周辺のエアフロメータの縦断面図。 変形例Ｃ３における第３実施形態についての通過流路周辺のエアフロメータの縦断面図。 変形例Ｄ１における第１実施形態についてのエアフロメータの縦断面図。 変形例Ｄ１４における第１実施形態についてのエアフロメータの横断面図。
以下、本開示の複数の実施形態を図面に基づいて説明する。尚、各実施形態において対応する構成要素には同一の符号を付すことにより、重複する説明を省略する場合がある。各実施形態において構成の一部分のみを説明している場合、当該構成の他の部分については、先行して説明した他の実施例の構成を適用することができる。また、各実施形態の説明において明示している構成の組み合わせばかりではなく、特に組み合わせに支障が生じなければ、明示していなくても複数の実施形態の構成同士を部分的に組み合わせることができる。そして、複数の実施形態及び変形例に記述された構成同士の明示されていない組み合わせも、以下の説明によって開示されているものとする。
（第１実施形態）
図１に示す燃焼システム１０は、ガソリンエンジン等の内燃機関１１、吸気通路１２、排気通路１３、エアフロメータ２０及びＥＣＵ１５を有しており、例えば車両に搭載されている。エアフロメータ２０は、吸気通路１２に設けられており、内燃機関１１に供給される吸入空気の流量や温度、湿度、圧力といった物理量を計測する。エアフロメータ２０は、空気の流量を計測する流量計測装置であって、吸入空気等の流体を計測対象とした物理量計測装置に相当する。吸入空気は、内燃機関１１の燃焼室１１ａに供給される気体である。燃焼室１１ａにおいては、吸入空気と燃料との混合気が点火プラグ１７により点火される。
ＥＣＵ（Engine Control Unit）１５は、燃焼システム１０の動作制御を行う制御装置である。ＥＣＵ１５は、プロセッサ、ＲＡＭ、ＲＯＭ及びフラッシュメモリ等の記憶媒体、並びに入出力部を含むマイクロコンピュータと、電源回路等と、によって構成された演算処理回路である。ＥＣＵ１５には、エアフロメータ２０から出力されるセンサ信号や、多数の車載センサから出力されるセンサ信号などが入力される。ＥＣＵ１５は、エアフロメータ２０による計測結果を用いて、インジェクタ１６の燃料噴射量やＥＧＲ量などについてエンジン制御を行う。ＥＣＵ１５は、内燃機関１１の運転制御を行う制御装置であり、燃焼システム１０をエンジン制御システムと称することもできる。また、ＥＣＵ１５は、外部装置に相当する。
ＥＣＵ１５は、電子制御装置（Electronic Control Unit）とも呼ばれる場合がある。制御装置、または制御システムは、（ａ）ｉｆ−ｔｈｅｎ−ｅｌｓｅ形式と呼ばれる複数の論理としてのアルゴリズム、または（ｂ）機械学習によってチューニングされた学習済みモデル、例えばニューラルネットワークとしてのアルゴリズムによって提供される。
制御装置は、少なくとも１つのコンピュータを含む制御システムによって提供される。制御システムは、データ通信装置によってリンクされた複数のコンピュータを含む場合がある。コンピュータは、ハードウェアである少なくとも１つのプロセッサ（ハードウェアプロセッサ）を含む。ハードウェアプロセッサは、下記（ｉ）、（ｉｉ）、または（ｉｉｉ）により提供することができる。
（ｉ）ハードウェアプロセッサは、少なくとも１つのメモリに格納されたプログラムを実行する少なくとも１つのプロセッサコアである場合がある。この場合、コンピュータは、少なくとも１つのメモリと、少なくとも１つのプロセッサコアとによって提供される。プロセッサコアは、ＣＰＵ：Central Processing Unit、ＧＰＵ：Graphics Processing Unit、ＲＩＳＣ−ＣＰＵなどと呼ばれる。メモリは、記憶媒体とも呼ばれる。メモリは、プロセッサによって読み取り可能な「プログラムおよび／またはデータ」を非一時的に格納する非遷移的かつ実体的な記憶媒体である。記憶媒体は、半導体メモリ、磁気ディスク、または光学ディスクなどによって提供される。プログラムは、それ単体で、またはプログラムが格納された記憶媒体として流通する場合がある。
（ｉｉ）ハードウェアプロセッサは、ハードウェア論理回路である場合がある。この場合、コンピュータは、プログラムされた多数の論理ユニット（ゲート回路）を含むデジタル回路によって提供される。デジタル回路は、ロジック回路アレイ、例えば、ＡＳＩＣ：Application-Specific Integrated Circuit、ＦＰＧＡ：Field Programmable Gate Array、ＰＧＡ：Programmable Gate Array、ＣＰＬＤ：Complex Programmable Logic Deviceなどとも呼ばれる。デジタル回路は、プログラムおよび／またはデータを格納したメモリを備える場合がある。コンピュータは、アナログ回路によって提供される場合がある。コンピュータは、デジタル回路とアナログ回路との組み合わせによって提供される場合がある。
（ｉｉｉ）ハードウェアプロセッサは、上記（ｉ）と上記（ｉｉ）との組み合わせである場合がある。（ｉ）と（ｉｉ）とは、異なるチップの上、または共通のチップの上に配置される。これらの場合、（ｉｉ）の部分は、アクセラレータとも呼ばれる。
制御装置と信号源と制御対象物とは、多様な要素を提供する。それらの要素の少なくとも一部は、ブロック、モジュール、またはセクションと呼ぶことができる。さらに、制御システムに含まれる要素は、意図的な場合にのみ、機能的な手段と呼ばれる。
この開示に記載の制御部及びその手法は、コンピュータプログラムにより具体化された一つ乃至は複数の機能を実行するようにプログラムされたプロセッサ及びメモリを構成することによって提供された専用コンピュータにより、実現されてもよい。代替的に、この開示に記載の制御部及びその手法は、一つ以上の専用ハードウェア論理回路によってプロセッサを構成することによって提供された専用コンピュータにより、実現されてもよい。代替的に、この開示に記載の制御部及びその手法は、一つ乃至は複数の機能を実行するようにプログラムされたプロセッサ及びメモリと一つ以上のハードウェア論理回路によって構成されたプロセッサとの組み合わせにより構成された一つ以上の専用コンピュータにより、実現されてもよい。また、コンピュータプログラムは、コンピュータにより実行されるインストラクションとして、コンピュータ読み取り可能な非遷移有形記録媒体に記憶されていてもよい。
燃焼システム１０は、車載センサとして複数の計測部を有している。計測部としては、エアフロメータ２０の他に、スロットルセンサ１８ａや空燃比センサ１８ｂなどがある。これら計測部は、いずれもＥＣＵ１５に電気的に接続されており、ＥＣＵ１５に対して検出信号を出力する。エアフロメータ２０は、吸気通路１２において、エアクリーナ１９の下流側であって、スロットルセンサ１８ａが取り付けられたスロットルバルブの上流側に設けられている。エアクリーナ１９は、吸気通路１２の一部を形成するエアケースと、吸入空気からダスト等の異物を除去するエアフィルタとを有しており、エアフィルタがエアケースに取り付けられている。
図２、図３、図８に示すように、エアフロメータ２０は、取り付け対象としての配管ユニット１４に取り付けられている。配管ユニット１４は、吸気管１４ａ、管フランジ１４ｃ、管ボス１４ｄを有しており、吸気通路１２を形成する形成部材である。配管ユニット１４は、例えばエアケースの少なくとも一部を形成している。配管ユニット１４がエアケースを形成している構成では、エアフロメータ２０に加えてエアフィルタが配管ユニット１４に取り付けられている。配管ユニット１４では、吸気管１４ａ、管フランジ１４ｃ及び管ボス１４ｄが樹脂材料等により形成されている。
吸気管１４ａは、吸気通路１２を形成するダクト等の配管である。吸気管１４ａには、その外周部を貫通する貫通孔としてエアフロ挿入孔１４ｂが設けられている。管フランジ１４ｃは、円環状に形成されており、エアフロ挿入孔１４ｂの周縁部に沿って延びている。管フランジ１４ｃは、吸気管１４ａの外面から吸気通路１２とは反対側に向けて延びている。管ボス１４ｄは、柱状の部材であり、エアフロメータ２０を支持する支持部である。管ボス１４ｄは、吸気管１４ａの外面から管フランジ１４ｃに沿って延びており、吸気管１４ａに対して複数（例えば２つ）設けられている。本実施形態では、管フランジ１４ｃ及び管ボス１４ｄがいずれも吸気管１４ａから高さ方向Ｙに延びている。
エアフロメータ２０は、管フランジ１４ｃ及びエアフロ挿入孔１４ｂに挿入されることで吸気通路１２に入り込んだ状態になっており、この状態でボルト等の固定具により管ボス１４ｄに固定されている。エアフロメータ２０は、管フランジ１４ｃの先端面に接触していない一方で、管ボス１４ｄの先端面に接触している。このため、配管ユニット１４に対するエアフロメータ２０の相対的な位置や角度は、管フランジ１４ｃではなく管ボス１４ｄによって設定されている。複数の管ボス１４ｄの先端面は、互いに面一になっている。なお、図８では、管ボス１４ｄの図示を省略している。
本実施形態では、エアフロメータ２０について、幅方向Ｘ、高さ方向Ｙ及び奥行き方向Ｚを設定しており、これら方向Ｘ，Ｙ，Ｚは互いに直交している。エアフロメータ２０は高さ方向Ｙに延びており、吸気通路１２は奥行き方向Ｚに延びている。エアフロメータ２０は、吸気通路１２に入り込んだ入り込み部分２０ａと、吸気通路１２に入り込まずに管フランジ１４ｃから外部にはみ出したはみ出し部分２０ｂとを有しており、これら入り込み部分２０ａとはみ出し部分２０ｂとは高さ方向Ｙに並んでいる。
図２、図４、図７、図８に示すように、エアフロメータ２０は、ハウジング２１と、吸入空気の流量を検出する流量センサ２２と、吸入空気の温度を検出する吸気温センサ２３とを有している。ハウジング２１は、例えば樹脂材料等により形成されている。流量センサ２２はハウジング２１の内部に収容されている。エアフロメータ２０においては、ハウジング２１が吸気管１４ａに取り付けられていることで、流量センサ２２が、吸気通路１２を流れる吸入空気と接触可能な状態になる。
ハウジング２１は、取り付け対象としての配管ユニット１４に取り付けられている。ハウジング２１の外面においては、高さ方向Ｙに並んだ一対の端面２１ａ，２１ｂのうち、入り込み部分２０ａに含まれた方をハウジング先端面２１ａと称し、はみ出し部分２０ｂに含まれた方をハウジング基端面２１ｂと称する。ハウジング先端面２１ａ及びハウジング基端面２１ｂは高さ方向Ｙに直交している。管フランジ１４ｃの先端面も高さ方向Ｙに直交している。なお、エアフロメータ２０やハウジング２１が取り付けられる取り付け対象は、吸気通路１２を形成する形成部材であれば配管ユニット１４でなくてもよい。
ハウジング２１の外面においては、吸気通路１２の上流側に配置される面をハウジング上流面２１ｃと称し、ハウジング上流面２１ｃとは反対側に配置される面をハウジング下流面２１ｄと称する。また、ハウジング上流面２１ｃ及びハウジング基端面２１ｂを介して対向する一対の面のうち一方をハウジング表面２１ｅと称し、他方をハウジング裏面２１ｆと称する。ハウジング表面２１ｅは、後述するセンサＳＡ５０において流量センサ２２が設けられた側の面である。
なお、ハウジング２１については、高さ方向Ｙにおいて、ハウジング先端面２１ａ側をハウジング先端側と称し、ハウジング基端面２１ｂ側をハウジング基端側と称することもある。また、奥行き方向Ｚにおいて、ハウジング上流面２１ｃ側をハウジング上流側と称し、ハウジング下流面２１ｄ側をハウジング下流側と称することもある。さらに、幅方向Ｘにおいて、ハウジング表面２１ｅ側をハウジング表側と称し、ハウジング裏面２１ｆ側をハウジング裏側と称することもある。
図２〜図７に示すように、ハウジング２１は、シール保持部２５、フランジ部２７及びコネクタ部２８を有している。エアフロメータ２０はシール部材２６を有しており、シール部材２６はシール保持部２５に取り付けられている。
シール保持部２５は、管フランジ１４ｃの内部に設けられており、シール部材２６を高さ方向Ｙに位置ずれしないように保持している。シール保持部２５は、エアフロメータ２０の入り込み部分２０ａに含まれている。シール保持部２５は、シール部材２６を保持する保持溝部２５ａを有している。保持溝部２５ａは、高さ方向Ｙに直交する方向Ｘ，Ｚに延びており、ハウジング２１の周りを環状に一周している。シール部材２６は、管フランジ１４ｃの内部において吸気通路１２を密閉するＯリング等の部材である。シール部材２６は、保持溝部２５ａの内部に入り込んだ状態になっており、保持溝部２５ａの内面と管フランジ１４ｃの内周面との両方に密着している。シール部材２６と保持溝部２５ａの内面とが密着した部分と、シール部材２６とフランジ１４ｃの内周面とが密着した部分とは、いずれもハウジング２１の周りを環状に一周している。
フランジ部２７には、ハウジング２１を吸気管１４ａに固定するネジ等の固定具を固定するネジ孔等の固定孔が形成されている。本実施形態では、固定孔が例えばフランジ孔６１１，６１２であり、固定具がネジである。なお、図３においては、フランジ孔６１１，６１２に挿通されたネジの図示を省略している。
フランジ部２７において、ハウジング先端側の面が管ボス１４ｄの先端面に重ねられた状態で接触しており、この重ねられた部分を角度設定面２７ａと称する。角度設定面２７ａと管ボス１４ｄの先端面とは、いずれも高さ方向Ｙに直交する方向に延びており、幅方向Ｘ及び奥行き方向Ｚに延びている。管ボス１４ｄの先端面は、吸気管１４ａに対する角度設定面２７ａの相対的な位置や角度を設定している。角度設定面２７ａは、エアフロメータ２０において、吸気管１４ａに対するハウジング２１の相対的な位置や角度を設定している。
配管ユニット１４の吸気管１４ａにおいては、吸気通路１２を流れる空気のうち主に流れる主流が奥行き方向Ｚに進む。主流の進む方向を主流方向と称すると、奥行き方向Ｚが主流方向になっている。ハウジング２１においては、フランジ部２７の角度設定面２７ａが主流方向及び奥行き方向Ｚに延びている。また、管ボス１４ｄの先端面も主流方向及び奥行き方向Ｚに延びている。
コネクタ部２８は、流量センサ２２に電気的に接続されたコネクタ端子２８ａを保護する保護部である。コネクタ端子２８ａは、ＥＣＵ１５から延びた電気配線がプラグ部を介してコネクタ部２８に接続されることでＥＣＵ１５に電気的に接続される。フランジ部２７及びコネクタ部２８は、エアフロメータ２０のはみ出し部分２０ｂに含まれている。
図２、図４、図７に示すように、吸気温センサ２３はハウジング２１の外側に設けられている。吸気温センサ２３は、吸入空気の温度を感知する感温素子であり、ハウジング裏面２１ｆ側に設けられている。吸気温センサ２３には、配線等により形成されたリード線２３ａが接続されている。ハウジング２１は吸気温支持部６１８を有している。吸気温支持部６１８は、ハウジング裏面２１ｆに設けられた凸部であり、幅方向Ｘにおいて吸気温センサ２３よりもハウジング裏側に向けて突出している。吸気温支持部６１８は、リード線２３ａを支持していることで吸気温センサ２３を支持している。吸気温支持部６１８は、高さ方向Ｙにおいて吸気温センサ２３よりもハウジング基端側に設けられている。リード線２３ａは、吸気温支持部６１８からハウジング先端側に向けて延びている。
リード線２３ａは、吸気温支持部６１８を高さ方向Ｙに貫通している。エアフロメータ２０の製造時では、吸気温支持部６１８に、この吸気温支持部６１８を高さ方向Ｙに貫通する貫通孔を形成しておく。そして、この貫通孔にリード線２３ａを挿通した状態で、吸気温支持部６１８を幅方向Ｘに押し潰すことで貫通孔を押し潰し、貫通孔に挿通させておいたリード線２３ａを吸気温支持部６１８の内部に埋め込んだ状態にする。この場合、吸気温支持部６１８の先端面をヒータ等の加熱具で加熱しながら押し潰すことで吸気温支持部６１８を熱変形させ、吸気温支持部６１８のうち熱変形した部分でリード線２３ａを覆うように保持する。この作業を、熱かしめと称することもできる。
図８に示すように、ハウジング２１は、バイパス流路３０を有している。バイパス流路３０は、ハウジング２１の内部に設けられており、ハウジング２１の内部空間の少なくとも一部により形成されている。ハウジング２１の内面は、バイパス流路３０を形成しており、形成面になっている。
バイパス流路３０は、エアフロメータ２０の入り込み部分２０ａに配置されている。バイパス流路３０は、通過流路３１及び計測流路３２を有している。計測流路３２には、後述するセンサＳＡ５０のうち流量センサ２２とその周囲の部分とが入り込んだ状態になっている。通過流路３１は、ハウジング２１の内面により形成されている。計測流路３２は、ハウジング２１の内面に加えてセンサＳＡ５０の一部の外面により形成されている。なお、吸気通路１２を主通路と称し、バイパス流路３０を副通路と称することもできる。
通過流路３１は、奥行き方向Ｚにハウジング２１を貫通している。通過流路３１は、その上流端部である通過入口３３と、下流端部である通過出口３４とを有している。計測流路３２は、通過流路３１の中間部分から分岐した分岐流路であり、この計測流路３２に流量センサ２２が設けられている。計測流路３２は、その上流端部である計測入口３５と、下流端部である計測出口３６とを有している。通過流路３１から計測流路３２が分岐した部分はこれら通過流路３１と計測流路３２との境界部になっており、この境界部に計測入口３５が含まれている。また、通過流路３１と計測流路３２との境界部を流路境界部と称することもできる。計測入口３５は、計測出口３６側を向くように傾斜した状態でハウジング先端側を向いている。
計測流路３２は、通過流路３１からハウジング基端側に向けて延びている。計測流路３２は、通過流路３１とハウジング基端面２１ｂとの間に設けられている。計測流路３２は、計測入口３５と計測出口３６との間の部分がハウジング基端側に向けて膨らむように曲がっている。計測流路３２は、連続的に曲がるように湾曲した部分や、段階的に折れ曲がるように屈折した部分、高さ方向Ｙや奥行き方向Ｚに真っ直ぐに延びた部分などを有している。
流量センサ２２は、ヒータ部を有する熱式の流量検出部である。流量センサ２２は、ヒータ部の発熱に伴って温度変化が生じた場合に、その温度変化に応じた検出信号を出力する。流量センサ２２は直方体状のチップ部品であり、流量センサ２２をセンサチップと称することもできる。なお、流量センサ２２を、吸入空気の流量を流体の物理量として検出する物理量センサや物理量検出部と称することもできる。
エアフロメータ２０は、流量センサ２２を含んで構成されたセンササブアッセンブリを有しており、このセンササブアッセンブリをセンサＳＡ５０と称する。センサＳＡ５０は、センサＳＡ５０の一部が計測流路３２に入り込んだ状態でハウジング２１の内部に埋め込まれている。エアフロメータ２０においては、センサＳＡ５０とバイパス流路３０とが高さ方向Ｙに並べられている。具体的には、センサＳＡ５０と通過流路３１とが高さ方向に並べられている。なお、センサＳＡ５０が検出ユニットに相当する。また、センサＳＡ５０を計測ユニットやセンサパッケージと称することもできる。
＜構成群Ａの説明＞
図９、図１０、図１１に示すように、センサＳＡ５０は、流量センサ２２に加えてセンサ支持部５１を有している。センサ支持部５１は、ハウジング２１に取り付けられており、流量センサ２２を支持している。センサ支持部５１は、ＳＡ基板５３及びモールド部５５を有している。ＳＡ基板５３は、流量センサ２２が搭載された基板であり、モールド部５５は、流量センサ２２の少なくとも一部やＳＡ基板５３の少なくとも一部を覆っている。ＳＡ基板５３をリードフレームと称することもできる。
モールド部５５は、全体として板状に形成されている。モールド部５５の外面においては、高さ方向Ｙに並んだ一対の端面５５ａ，５５ｂのうち、ハウジング先端側の方をモールド先端面５５ａと称し、ハウジング基端側の方をモールド基端面５５ｂと称する。なお、モールド先端面５５ａが、モールド部５５及びセンサ支持部５１の先端部になっており、支持先端部に相当する。また、モールド部５５が保護樹脂部に相当する。
モールド部５５の外面においては、モールド先端面５５ａ及びモールド基端面５５ｂを挟んで設けられた一対の面のうち一方をモールド上流面５５ｃと称し、他方をモールド下流面５５ｄと称する。センサＳＡ５０は、図８において、モールド先端面５５ａがエアフロ先端側に配置され、且つモールド上流面５５ｃがモールド下流面５５ｄよりも計測流路３２の上流側に配置される向きで、ハウジング２１の内部に設置されている。センサ支持部５１においては、モールド上流面５５ｃが上流端部に相当し、モールド下流面５５ｄが下流端部に相当する。
センサＳＡ５０のモールド上流面５５ｃは、計測流路３２においてモールド下流面５５ｄよりも上流側に配置されている。計測流路３２において流量センサ２２が設けられた部分においては、空気の流れる向きが吸気通路１２での空気の流れる向きとは反対になっている。このため、モールド上流面５５ｃは、吸気通路１２においてはモールド下流面５５ｄよりも下流側に配置されていることになる。なお、流量センサ２２に沿って流れる空気は奥行き方向Ｚに流れ、この奥行き方向Ｚを流れ方向と称することもできる。
図９、図１０に示すように、センサＳＡ５０においては、流量センサ２２がセンサＳＡ５０の一面側に露出している。モールド部５５の外面においては、流量センサ２２が露出した側の板面をモールド表面５５ｅと称し、反対側の板面をモールド裏面５５ｆと称する。センサＳＡ５０の一方の板面がモールド表面５５ｅにより形成されており、このモールド表面５５ｅが支持表面に相当し、モールド裏面５５ｆが支持裏面に相当する。
なお、モールド部５５については、高さ方向Ｙにおいて、モールド先端面５５ａ側をモールド側と称し、モールド基端面５５ｂ側をモールド基端側と称することもある。また、奥行き方向Ｚにおいて、モールド上流面５５ｃ側をモールド上流側と称し、モールド下流面５５ｄ側をモールド下流側と称することもある。さらに、幅方向Ｘにおいて、モールド表面５５ｅ側をモールド表側と称し、モールド裏面５５ｆ側をモールド裏側と称することもある。
ＳＡ基板５３は、金属材料等により全体として板状に形成されており、導電性を有する基板である。ＳＡ基板５３の板面は、幅方向Ｘに直交しており、高さ方向Ｙ及び奥行き方向Ｚに延びている。ＳＡ基板５３には流量センサ２２が搭載されている。ＳＡ基板５３は、リード端子５３ａ、上流試験端子５３ｂ、下流試験端子５３ｃを有している。ＳＡ基板５３には、モールド部５５により覆われた部分と、モールド部５５によっては覆われていない部分とを有しており、覆われていない部分により端子５３ａ，５３ｂ，５３ｃが形成されている。なお、図８等においては、端子５３ａ，５３ｂ，５３ｃの図示を省略している。
リード端子５３ａは、モールド基端面５５ｂから高さ方向Ｙに突出した端子であり、複数設けられている。複数のリード端子５３ａには、コネクタ端子２８ａに接続された端子や、吸気温センサ２３に接続された端子、流量センサ２２の検出精度等を調整するための調整端子が含まれている。本実施形態では、センサＳＡ５０がリード端子５３ａを６つ有している。これら６つのリード端子５３ａには、コネクタ端子２８ａに接続された端子が３つ、吸気温センサ２３に接続された端子が２つ、調整端子が１つ含まれている。コネクタ端子２８ａに接続された３つの端子には、グランドに接地されたグランド端子と、５Ｖ等の所定電圧が印加される電源端子と、流量センサ２２の検出結果に関する信号を出力する出力端子とが含まれている。吸気温センサ２３に接続された２つの端子には、グランドに接続されたグランド端子と、吸気温センサ２３の検出結果に関する信号を出力する出力端子とが含まれている。
上流試験端子５３ｂは、モールド上流面５５ｃから奥行き方向Ｚに突出した端子であり、複数設けられている。複数の上流試験端子５３ｂには、ＳＡ基板５３に搭載されたコンデンサの動作確認等をするためのコンデンサチェック端子や、流量センサ２２の動作確認等をするためのＩＣテスト端子、グランドに接地するためのグランド端子が含まれている。
下流試験端子５３ｃは、モールド下流面５５ｄから奥行き方向Ｚに突出した端子であり、複数設けられている。複数の下流試験端子５３ｃには、上流試験端子５３ｂと同様に、コンデンサチェック端子やＩＣテスト端子、グランド端子が含まれている。
図１２に示すように、流量センサ２２は全体として板状に形成されている。流量センサ２２は、一面であるセンサ表面２２ａと、センサ表面２２ａとは反対のセンサ裏面２２ｂとを有している。流量センサ２２においては、センサ裏面２２ｂがＳＡ基板５３に重ねられており、センサ表面２２ａの一部がセンサＳＡ５０の外部に露出している。
流量センサ２２は、センサ凹部６１及びメンブレン部６２を有している。センサ凹部６１はセンサ裏面２２ｂに対して設けられており、メンブレン部６２はセンサ表面２２ａに対して設けられている。メンブレン部６２は、センサ凹部６１の底面であるセンサ凹底面５０１を形成している。メンブレン部６２のうちセンサ凹底面５０１を形成している部分は、センサ凹部６１にとっての底部になっている。センサ凹部６１は、センサ裏面２２ｂがセンサ表面２２ａ側に向けて凹むことで形成されている。センサ凹部６１の開口部であるセンサ凹開口５０３はセンサ裏面２２ｂに設けられている。センサ凹部６１の内壁面であるセンサ凹内壁面５０２は、センサ凹底面５０１とセンサ凹開口５０３とにかけ渡されている。メンブレン部６２は、流量をセンシングするセンシング部になっている。
流量センサ２２は、センサ基板６５及びセンサ膜部６６を有している。センサ基板６５は、流量センサ２２の母材であり、シリコン等の半導体材料により板状に形成されている。センサ基板６５は、一面であるセンサ基板表面６５ａと、センサ基板表面６５ａとは反対のセンサ基板裏面６５ｂとを有している。センサ基板６５には、センサ基板６５を幅方向Ｘに貫通する貫通孔が形成されており、この貫通孔によりセンサ凹部６１が形成されている。なお、センサ基板６５には、貫通孔ではなく、センサ凹部６１を形成する凹部が形成されていてもよい。この場合、センサ凹部６１の底面はメンブレン部６２により形成されるのではなく、センサ基板６５の凹部の底面により形成されることになる。
センサ膜部６６は、センサ基板６５のセンサ基板表面６５ａに重ねられており、センサ基板表面６５ａに沿って膜状に延びている。流量センサ２２においては、センサ表面２２ａがセンサ膜部６６により形成され、センサ裏面２２ｂがセンサ基板６５により形成されている。この場合、センサ裏面２２ｂは、センサ基板６５のセンサ基板裏面６５ｂになっている。
センサ膜部６６は、絶縁層や導電層、保護層など複数の層を有しており、多層構造になっている。これらは、いずれも膜状に形成されており、センサ基板表面６５ａに沿って延びている。センサ膜部６６は、配線や抵抗体などの配線パターンを有しており、この配線パターンは導電層により形成されている。
流量センサ２２においては、ウェットエッチングによりセンサ基板６５の一部を加工することでセンサ凹部６１が形成されている。流量センサ２２の製造工程においては、シリコン窒化膜等のマスクをセンサ基板６５のセンサ基板裏面６５ｂに装着し、エッチング液を用いてセンサ膜部６６が露出するまでセンサ基板裏面６５ｂに対して異方性エッチングを行う。なお、センサ基板６５に対してドライエッチング加工を行うことでセンサ凹部６１を形成してもよい。
センサＳＡ５０は、空気の流量を検出する流量検出回路を有しており、この流量検出回路の少なくとも一部が流量センサ２２に含まれている。図１３に示すように、センサＳＡ５０は、流量検出回路に含まれる回路素子として、発熱抵抗体７１、測温抵抗体７２，７３、傍熱抵抗体７４、を有している。これら抵抗体７１〜７４は、流量センサ２２に含まれており、センサ膜部６６の導電層により形成されている。この場合、センサ膜部６６が抵抗体７１〜７４を有しており、これら抵抗体７１〜７４は導電層の配線パターンに含まれている。抵抗体７１〜７４が検出素子に相当する。なお、図１３においては、抵抗体７１〜７４を含む配線パターンをドットハッチングで図示している。また、流量検出回路を、空気の流量を計測する流量計測部と称することもできる。
発熱抵抗体７１は、発熱抵抗体７１への通電に伴って熱を発生させる抵抗素子である。発熱抵抗体７１は、発熱することでセンサ膜部６６を加熱し、ヒータ部に相当する。測温抵抗体７２，７３は、センサ膜部６６の温度を検出するための抵抗素子であり、温度検出部に相当する。測温抵抗体７２，７３の抵抗値は、センサ膜部６６の温度に応じて変化する。流量検出回路においては、測温抵抗体７２，７３の抵抗値を用いてセンサ膜部６６の温度を検出する。流量検出回路は、発熱抵抗体７１によりセンサ膜部６６及び測温抵抗体７２，７３の温度を上昇させ、計測流路３２にて空気の流れが生じた場合に、測温抵抗体７２，７３による検出温度の変化態様を用いて空気流量や流れの向きを検出する。
発熱抵抗体７１は、高さ方向Ｙ及び奥行き方向Ｚのそれぞれについてメンブレン部６２のほぼ中央に配置されている。発熱抵抗体７１は、全体として高さ方向Ｙに延びる長方形状に形成されている。発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ１は、発熱抵抗体７１の中心ＣＯ１を通り、高さ方向Ｙに直線状に延びている。この中心線ＣＬ１は、メンブレン部６２の中心を通っている。発熱抵抗体７１は、メンブレン部６２の周縁部から内側に離間した位置に配置されている。発熱抵抗体７１においては、中心ＣＯ１に対する離間距離が、モールド先端側の端部とモールド基端側の端部とで同じになっている。
測温抵抗体７２，７３は、いずれも全体として高さ方向Ｙに延びる長方形状に形成されており、奥行き方向Ｚに並べられている。これら測温抵抗体７２，７３の間に発熱抵抗体７１が設けられている。測温抵抗体７２，７３のうち、上流測温抵抗体７２は、発熱抵抗体７１からモールド上流側に離間した位置に設けられている。下流測温抵抗体７３は、発熱抵抗体７１からモールド下流側に離間した位置に設けられている。上流測温抵抗体７２の中心線ＣＬ２及び下流測温抵抗体７３の中心線ＣＬ３は、いずれも発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ１に平行に直線状に延びている。発熱抵抗体７１は、奥行き方向Ｚにおいて上流測温抵抗体７２と下流測温抵抗体７３との中間位置に設けられている。
なお、本実施形態のセンサＳＡ５０については、図１０において、モールド上流面５５ｃ側をモールド上流側と称し、モールド下流面５５ｄ側をモールド下流側と称する。また、モールド先端面５５ａ側をモールド先端側と称し、モールド基端面５５ｂ側をモールド基端側と称する。
図１３の説明に戻り、傍熱抵抗体７４は、発熱抵抗体７１の温度を検出するための抵抗素子である。傍熱抵抗体７４は、発熱抵抗体７１の周縁部に沿って延びている。傍熱抵抗体７４の抵抗値は、発熱抵抗体７１の温度に応じて変化する。流量検出回路においては、傍熱抵抗体７４の抵抗値を用いて発熱抵抗体７１の温度を検出する。
センサＳＡ５０は、発熱配線７５、測温配線７６，７７を有している。これら配線７５〜７７は、抵抗体７１〜７４と同様に、センサ膜部６６の配線パターンに含まれている。発熱配線７５は、発熱抵抗体７１からモールド基端側に向けて高さ方向Ｙに延びている。上流測温配線７６は、上流測温抵抗体７２からモールド先端側に向けて高さ方向Ｙに延びている。下流測温配線７７は、下流測温抵抗体７３からモールド先端側に向けて高さ方向Ｙに延びている。
図１４、図１５に示すように、計測流路３２の中心線ＣＬ４は、計測入口３５の中心ＣＯ２と計測出口３６の中心ＣＯ３とを通り、計測流路３２に沿って直線状に延びている。センサＳＡ５０は、計測流路３２において計測入口３５と計測出口３６との間に設けられている。センサＳＡ５０は、計測入口３５から上流側に離間した位置であって、計測出口３６から上流側に離間した位置に設けられている。なお、図１４においては、計測流路３２のうちＳＡ挿入孔１０７の内部空間を除いた領域の中心線を中心線ＣＬ４として図示している。
通過流路３１においては、通過出口３４の開口面積が通過入口３３の開口面積よりも小さくなっている。高さ方向Ｙについて通過出口３４の高さ寸法と通過入口３３の高さ寸法は同じになっている一方で、幅方向Ｘについて通過出口３４の幅寸法は通過入口３３の幅寸法より小さくなっている。通過入口３３の開口面積は、通過入口３３の中心ＣＯ２１を含む領域の面積であり、通過出口３４の開口面積は、通過出口３４の中心ＣＯ２４を含む領域の面積である。
計測流路３２においては、複数の計測出口３６の各開口面積を合計した値が計測入口３５の開口面積よりも小さくなっている。このことを単に、計測出口３６の開口面積が計測入口３５の開口面積よりも小さくなっている、と言うこともある。計測入口３５の開口面積は、計測入口３５の中心ＣＯ２を含む領域の面積であり、計測出口３６の開口面積は、計測出口３６の中心ＣＯ３を含む領域の面積である。
図１５、図１６に示すように、ハウジング２１は、計測流路３２を形成する形成面として、計測床面１０１、計測天井面１０２、表計測壁面１０３、裏計測壁面１０４を有している。これら計測床面１０１、計測天井面１０２、表計測壁面１０３及び裏計測壁面１０４は、いずれも計測流路３２の中心線ＣＬ４に沿って延びている。計測床面１０１、計測天井面１０２、表計測壁面１０３及び裏計測壁面１０４は、計測流路３２のうち奥行き方向Ｚに延びている部分を形成している。なお、計測床面１０１が床面に相当し、表計測壁面１０３が表壁面１０３相当し、裏計測壁面１０４が裏壁面に相当する。幅方向Ｘが、表壁面と裏壁面とが並んだ表裏方向に相当する。
計測床面１０１及び計測天井面１０２は、表計測壁面１０３と裏計測壁面１０４との間に設けられている。計測床面１０１は、センサＳＡ５０のモールド先端面５５ａに対向しており、奥行き方向Ｚに真っ直ぐに延びている。計測天井面１０２は、高さ方向Ｙにおいて中心線ＣＬ４を介して計測床面１０１とは反対側に設けられている。ハウジング２１において計測天井面１０２を形成する部分には、センサＳＡ５０が挿入されたＳＡ挿入孔１０７が設けられている。このＳＡ挿入孔１０７は、センサＳＡ５０によって閉鎖されている。計測流路３２には、ＳＡ挿入孔１０７の内部空間のうちセンサＳＡ５０とハウジング２１との隙間も含まれている。
表計測壁面１０３と裏計測壁面１０４とは、計測床面１０１や計測天井面１０２を介して互いに対向する一対の壁面である。表計測壁面１０３は、センサＳＡ５０のモールド表面５５ｅに対向しており、計測床面１０１のエアフロ表側の端部からハウジング基端側に向けて延びている。特に、表計測壁面１０３は、センサＳＡ５０の流量センサ２２に対向している。裏計測壁面１０４は、センサＳＡ５０のモールド裏面５５ｆに対向しており、計測床面１０１のエアフロ裏側の端部からハウジング基端側に向けて延びている。なお、図１５、図１６においては、センサＳＡ５０の内部構造について図示を簡略化し、モールド部５５及び流量センサ２２の図示にとどめている。
ハウジング２１は、表絞り部１１１及び裏絞り部１１２を有している。これら絞り部１１１，１１２は、計測流路３２の断面積Ｓ４が計測入口３５等の上流から流量センサ２２に向けて徐々に小さくなるように計測流路３２を徐々に絞っている。また、絞り部１１１，１１２は、断面積Ｓ４が流量センサ２２から計測出口３６等の下流から流量センサ２２に向けて徐々に小さくなるように計測流路３２を徐々に絞っている。なお、計測流路３２については、中心線ＣＬ４に直交する領域の面積を断面積Ｓ４と称しており、この断面積Ｓ４を流路面積と称することもできる。
表絞り部１１１は、表計測壁面１０３の一部が裏計測壁面１０４に向けて突出した凸部である。裏絞り部１１２は、裏計測壁面１０４の一部が表計測壁面１０３に向けて突出した凸部である。表絞り部１１１と裏絞り部１１２とは、高さ方向Ｙに並べられており、高さ方向Ｙにおいて互いに対向している。これら絞り部１１１，１１２は、計測天井面１０２と計測床面１０１とにかけ渡されている。絞り部１１１，１１２は、幅方向Ｘでの表計測壁面１０３と裏計測壁面１０４との離間距離である計測幅寸法Ｗ１を上流から流量センサ２２に向けて徐々に小さくしている。また、絞り部１１１，１１２は、計測幅寸法Ｗ１を下流から流量センサ２２に向けて徐々に小さくしている。
絞り部１１１，１１２は、計測流路３２において上流側から流量センサ２２に向けて中心線ＣＬ４に徐々に近づいている。計測流路３２においては、幅方向Ｘでの絞り部１１１，１１２と中心線ＣＬ４との離間距離Ｗ２，Ｗ３が、上流から流量センサ２２に向けて徐々に小さくなっている。また、絞り部１１１，１１２は、計測流路３２において下流側から流量センサ２２に向けて中心線ＣＬ４に徐々に近づいている。計測流路３２においては、幅方向Ｘでの絞り部１１１，１１２と中心線ＣＬ４との離間距離Ｗ２，Ｗ３が、下流から流量センサ２２に向けて徐々に小さくなっている。
絞り部１１１，１１２においては、中心線ＣＬ４に最も接近した部分が頂部１１１ａ，１１２ａになっている。この場合、絞り部１１１，１１２においては、中心線ＣＬ４との離間距離Ｗ２，Ｗ３が頂部１１１ａ，１１２ａにおいて最も小さくなっている。頂部１１１ａ，１１２ａのうち、表頂部１１１ａが表絞り部１１１の頂部であり、裏頂部１１２ａが裏絞り部１１２の頂部である。表頂部１１１ａと裏頂部１１２ａとは幅方向Ｘに並べられており、互いに対向している。
流量センサ２２は、表絞り部１１１と裏絞り部１１２との間に設けられている。具体的には、流量センサ２２の発熱抵抗体７１の中心ＣＯ１が表頂部１１１ａと裏頂部１１２ａとの間に設けられている。発熱抵抗体７１について、中心ＣＯ１を通り、中心線ＣＬ１に直交し且つ幅方向Ｘに延びる直線状の仮想線を中心線ＣＬ５と称すると、表頂部１１１ａ及び裏頂部１１２ａはいずれもこの中心線ＣＬ５上に配置されている。この場合、発熱抵抗体７１の中心ＣＯ１と表頂部１１１ａとが幅方向Ｘに並べられており、発熱抵抗体７１の中心ＣＯ１と表頂部１１１ａとが幅方向Ｘにおいて互いに対向している。
図１６に示すように、センサＳＡ５０のセンサ支持部５１は、幅方向Ｘにおいて裏絞り部１１２よりも表絞り部１１１に近い位置に設けられている。すなわち、センサ支持部５１は、裏計測壁面１０４よりも表計測壁面１０３に近い位置に配置に設けられている。発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ５上においては、幅方向Ｘでの流量センサ２２と表計測壁面１０３との離間距離である表距離Ｌ１が、幅方向Ｘでの流量センサ２２と裏計測壁面１０４との離間距離である裏距離Ｌ２よりも小さくなっている。すなわち、Ｌ１＜Ｌ２の関係が成り立っている。表距離Ｌ１は、発熱抵抗体７１の中心ＣＯ１と表絞り部１１１の表頂部１１１ａとの離間距離である。裏距離Ｌ２は、発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ５上でのモールド裏面５５ｆと裏絞り部１１２の裏頂部１１２ａとの離間距離である。
センサ支持部５１のモールド先端面５５ａは、高さ方向Ｙにおいて計測天井面１０２よりも計測床面１０１に近い位置に配置されている。この場合、計測流路３２においては、床距離Ｌ３が表距離Ｌ１よりも小さくなっている。すなわち、Ｌ１＞Ｌ３の関係が成り立っている。床距離Ｌ３は、高さ方向Ｙでのモールド先端面５５ａと計測床面１０１との離間距離である。具体的には、計測床面１０１のうちモールド先端面５５ａに対向する部分において、モールド先端面５５ａに最も近い部位とモールド先端面５５ａとの離間距離である。
計測流路３２において、ハウジング２１の内面とセンサＳＡ５０の外面とで囲まれた領域のうち、中心線ＣＬ４に直交し且つ発熱抵抗体７１の中心ＣＯ１を通る面状の領域をセンサ領域１２１と称する。計測流路３２において計測入口３５から計測出口３６に向けて流れる空気は、センサ領域１２１を通過する必要がある。
センサ領域１２１は、表領域１２２及び裏領域１２３を有している。表領域１２２は、幅方向Ｘにおいてモールド表面５５ｅよりも表計測壁面１０３側の領域である。裏領域１２３は、幅方向Ｘにおいてモールド裏面５５ｆよりも裏計測壁面１０４側の領域である。これら領域１２２，１２３は、高さ方向Ｙにおいて計測床面１０１から計測天井面１０２側に向けて延びている。計測流路３２においては、幅方向Ｘにおいて表領域１２２と裏領域１２３との間にセンサＳＡ５０が配置されている。
表領域１２２は、床側領域１２２ａ及び天井側領域１２２ｂを有している。床側領域１２２ａは、表領域１２２において流量センサ２２の床側端部から計測床面１０１に向けて延びた領域である。床側領域１２２ａにおいては、ハウジング先端側の端部が計測床面１０１により形成されている。このため、床側領域１２２ａは、高さ方向Ｙにおいて流量センサ２２と計測床面１０１との間の領域になっている。天井側領域１２２ｂは、表領域１２２において流量センサ２２の天井側端部から計測天井面１０２に向けて延びた領域である。表領域１２２においては、ハウジング基端側の端部がハウジング２１の内面とセンサＳＡ５０の外面との境界部である天井側境界部により形成されている。このため、天井側領域１２２ｂは、高さ方向Ｙにおいて流量センサ２２と天井側境界部との間の領域になっている。
センサ領域１２１の面積を領域面積Ｓ１と称すると、この領域面積Ｓ１は、計測流路３２において流量センサ２２が設けられた部分の断面積になっている。領域面積Ｓ１には、床側領域１２２ａの面積である床側面積Ｓ２と、天井側領域１２２ｂの面積である天井側面積Ｓ３とが含まれている。表領域１２２においては、天井側面積Ｓ３が床側面積Ｓ２よりも小さくなっている。すなわち、Ｓ３＜Ｓ２の関係が成り立っている。
ここまで説明した本実施形態によれば、計測流路３２において表距離Ｌ１が床距離Ｌ３よりも大きくなっている。この構成では、計測床面１０１やモールド先端面５５ａに沿って流れる空気の量に比べて、表計測壁面１０３やモールド表面５５ｅに沿って流れる空気の量の方が多くなりやすい。この場合、モールド表面５５ｅの流量センサ２２に沿って空気が流れやすくなるため、流量センサ２２に沿って流れる空気の量が不足して流量センサ２２による流量の検出精度が低下するということが生じにくくなっている。したがって、流量センサ２２による流量の検出精度を高めることができ、その結果、エアフロメータ２０による空気流量の計測精度を高めることができる。
床距離Ｌ３が表距離Ｌ１よりも小さい構成では、計測流路３２が計測床面１０１側から絞られた状態になって、センサ領域１２１の領域面積Ｓ１が不足することが懸念される。計測流路３２において、領域面積Ｓ１等の断面積が不足すると圧損が増加し、通過流路３１から計測流路３２に空気が流れ込みにくくなってしまう。この場合、計測流路３２での空気流量が不足して、計測流路３２において気流の剥離や乱れが生じやすくなり、これら剥離や乱れによって流量センサ２２の検出結果にノイズが含まれやすくなってしまう。
これに対して、本実施形態によれば、計測流路３２において表距離Ｌ１が裏距離Ｌ２よりも小さくなっている。この場合、センサＳＡ５０のモールド先端面５５ａと計測床面１０１との間の領域が狭くても、モールド裏面５５ｆと裏計測壁面１０４との間の裏領域１２３が比較的広くなっている。この構成では、センサ領域１２１の領域面積Ｓ１が不足するということが裏領域１２３により抑制され、計測流路３２での空気流量が不足するということが生じにくくなる。この場合、計測流路３２において気流の剥離や乱れが生じにくくなり、流量センサ２２の検出結果にノイズが含まれることを抑制できる。また、この場合、計測流路３２での圧損が低減されて流量が増加しやすくなるため、流量センサ２２による流量検出の範囲を拡大できる。すなわち、エアフロメータ２０の出力が変動することが抑制され、エアフロメータ２０をダイナミックレンジ化できる。したがって、エアフロメータ２０について、出力変動抑制とダイナミックレンジとの両方を実現できる。
また、表距離Ｌ１が裏距離Ｌ２よりも小さくなっている。この構成では、エアフロメータ２０の製造時に、ハウジング２１に対するセンサＳＡ５０の取り付け誤差によってハウジング２１に対するセンサＳＡ５０の相対位置が幅方向Ｘにずれたとしても、表距離Ｌ１が裏距離Ｌ２よりも小さいという関係を維持しやすい。このように、ハウジング２１に対するセンサＳＡ５０の取り付け誤差が生じたとしても、流量センサ２２の検出精度が低下しにくい構成を表距離Ｌ１と裏距離Ｌ２との関係によって実現できる。
本実施形態によれば、ハウジング２１が表絞り部１１１を有している。この構成では、表絞り部１１１が計測入口３５側から流量センサ２２に向けて徐々に計測流路３２を絞っているため、空気の流れに剥離や乱れが生じていても、表絞り部１１１によって空気の流れが整流されることでこれら剥離や乱れが低減される。この場合、流量センサ２２に剥離や乱れが到達しにくくなるため、流量センサ２２の検出精度を高めることができる。しかも、表距離Ｌ１は表絞り部１１１と流量センサ２２との離間距離であるため、流量センサ２２に沿って流れる空気を表絞り部１１１により確実に整流することができる。
本実施形態によれば、表距離Ｌ１が表絞り部１１１の表頂部１１１ａと流量センサ２２との離間距離である。表絞り部１１１においては、最も整流効果の高い部位が表頂部１１１ａになりやすいため、最も整流効果の高い部位を流量センサ２２に対向させることで、流量センサ２２に沿って流れる空気に剥離や乱れが含まれることを確実に抑制できる。これにより、流量センサ２２の検出精度を更に高めることができる。
本実施形態によれば、ハウジング２１が裏絞り部１１２を有している。この構成では、裏絞り部１１２が計測入口３５側から流量センサ２２に向けて徐々に計測流路３２を絞っているため、空気の流れに剥離や乱れが生じても、裏絞り部１１２によって空気の流れが整流されることでこれら剥離や乱れが低減される。計測流路３２では、高さ方向Ｙにおいて流量センサ２２付近の高さ位置を流量センサ２２に向けて流れている空気は、センサ支持部５１の表側及び裏側のいずれも通りやすいと考えられる。このため、裏計測壁面１０４に沿って流れている空気についても裏絞り部１１２によって整流を行っておくことは、剥離や乱れが流量センサ２２に到達することを抑制する上で効果的である。
本実施形態によれば、計測流路３２においては、天井側領域１２２ｂの天井側面積Ｓ３が床側領域１２２ａの床側面積Ｓ２よりも小さくなっている。この構成では、天井側領域１２２ｂの方が床側領域１２２ａよりも圧損が増加しやすく、空気が流れにくくなっている。このため、計測流路３２が、計測床面１０１に沿って流れる空気よりも計測天井面１０２に沿って流れる空気の方が速くなったり多くなったりしやすい構成だったとしても、天井側領域１２２ｂと床側領域１２２ａとで流れる空気の速さや量を均一化できる。これにより、センサ領域１２１に到達する気流に速い気流と遅い気流とが混ざっていることで流量センサ２２の検出精度が低下するということを抑制できる。
本実施形態によれば、計測流路３２が、計測天井面１０２が外周側になるように且つ計測床面１０１が内周側になるように曲がっている。この構成では、遠心力等によって、計測床面１０１に沿って流れる空気よりも計測天井面１０２に沿って流れる空気の方が速くなったり多くなったりしやすい。このため、天井側領域１２２ｂと床側領域１２２ａとで流れる空気の速さや量を均一化する上で、天井側面積Ｓ３が床側面積Ｓ２よりも小さくなっていることが効果的である。
本実施形態によれば、表距離Ｌ１が表計測壁面１０３と発熱抵抗体７１との離間距離である。流量センサ２２においては、発熱抵抗体７１に沿って流れる空気を対象として流量が検出されるため、発熱抵抗体７１と表計測壁面１０３との位置関係を管理することで、流量センサ２２の検出精度を高めることができる。
本実施形態によれば、センサＳＡ５０においては、モールド表面５５ｅ及びモールド裏面５５ｆがいずれも樹脂製のモールド部５５により形成されている。この構成では、モールド表面５５ｅやモールド裏面５５ｆの滑らかさを管理しやすいため、これらモールド表面５５ｅやモールド裏面５５ｆに沿って流れる空気に剥離や乱れが生じにくくなっている。
＜構成群Ｂの説明＞
図８、図１７に示すように、ハウジング２１はＳＡ収容領域１５０を有している。ＳＡ収容領域１５０は、バイパス流路３０よりもハウジング基端側に設けられており、センサＳＡ５０の一部を収容している。ＳＡ収容領域１５０には、センサＳＡ５０の少なくともモールド基端面５５ｂが収容されている。計測流路３２とＳＡ収容領域１５０とは高さ方向Ｙに並べられている。センサＳＡ５０は、計測流路３２とＳＡ収容領域１５０との境界部を高さ方向Ｙに跨ぐ位置に配置されている。計測流路３２には、センサＳＡ５０の少なくともモールド先端面５５ａ及び流量センサ２２が収容されている。なお、ＳＡ収容領域１５０が収容領域に相当する。また、図１７、図１８においては、センサＳＡ５０の内部構造について図示を簡略化し、モールド部５５及び流量センサ２２の図示にとどめている。
ハウジング２１は、第１ハウジング部１５１及び第２ハウジング部１５２を有している。これらハウジング部１５１，１５２は、互いに組み付けられて一体化されており、この状態でハウジング２１を形成している。第１ハウジング部１５１はＳＡ収容領域１５０を形成している。第１ハウジング部１５１は、ＳＡ収容領域１５０に加えてバイパス流路３０を形成している。第１ハウジング部１５１の内面は、ハウジング２１の内面として、ＳＡ収容領域１５０やバイパス流路３０を形成している。第１ハウジング部１５１の開放端にはハウジング開口部１５１ａ（図１９参照）が設けられている。ハウジング開口部１５１ａは、計測流路３２とは反対側に向けてＳＡ収容領域１５０を開口している。
ＳＡ収容領域１５０及び計測流路３２にセンサＳＡ５０が収容された状態では、センサＳＡ５０の外面と第１ハウジング部１５１の内面との間に隙間が形成されている。第２ハウジング部１５２は、この隙間を埋めている。具体的には、第２ハウジング部１５２は、ＳＡ収容領域１５０においてセンサＳＡ５０の外面と第１ハウジング部１５１の内面との間に入り込んだ状態になっている。
図１７に示すように、ハウジング２１はハウジング仕切部１３１を有している。ハウジング仕切部１３１は、第１ハウジング部１５１の内面に設けられた凸部であり、第１ハウジング部１５１からセンサＳＡ５０に向けて突出している。この場合、第１ハウジング部１５１がハウジング仕切部１３１を有していることになる。ハウジング仕切部１３１の先端部はセンサＳＡ５０の外面に接触している。ハウジング仕切部１３１は、センサＳＡ５０の外面と第１ハウジング部１５１の内面との間においてＳＡ収容領域１５０と計測流路３２とを仕切っている。
第１ハウジング部１５１の内面は、ハウジング流路面１３５、ハウジング収容面１３６及びハウジング段差面１３７を有している。これらハウジング流路面１３５、ハウジング収容面１３６及びハウジング段差面１３７は、高さ方向Ｙに交差する方向に延びており、センサＳＡ５０の周りを環状に一周している。センサＳＡ５０においては、発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ１が高さ方向Ｙに延びており、ハウジング流路面１３５、ハウジング収容面１３６及びハウジング段差面１３７は、それぞれこの中心線ＣＬ１の周りを周方向に延びている。
第１ハウジング部１５１においては、ハウジング先端面２１ａとハウジング基端面２１ｂとの間にハウジング段差面１３７が設けられている。ハウジング段差面１３７は、高さ方向Ｙにおいてハウジング基端側を向いている。ハウジング段差面１３７は、中心線ＣＬ１に対して傾斜しており、中心線ＣＬ１側である径方向内側を向いている。ハウジング段差面１３７は、高さ方向Ｙに交差しており、ハウジング交差面に相当する。第１ハウジング部１５１の内面においては、ハウジング流路面１３５とハウジング段差面１３７との出隅部分、及びハウジング収容面１３６とハウジング段差面１３７との入隅部分のそれぞれが面取りされている。なお、高さ方向Ｙが、計測流路と収容領域とが並んだ並び方向に相当する。
ハウジング流路面１３５は、計測流路３２を形成しており、ハウジング段差面１３７の内周端部からハウジング先端側に向けて延びている。ハウジング流路面１３５は、ハウジング段差面１３７からＳＡ収容領域１５０とは反対側に向けて延びている。一方、ハウジング収容面１３６は、ＳＡ収容領域１５０を形成しており、ハウジング段差面１３７の外周端からハウジング基端側に向けて延びている。ハウジング収容面１３６は、ハウジング段差面１３７から計測流路３２とは反対側に向けて延びている。ハウジング段差面１３７は、ハウジング流路面１３５とハウジング収容面１３６との間に設けられており、第１ハウジング部１５１の内面に段差を形成している。ハウジング段差面１３７は、ハウジング流路面１３５とハウジング収容面１３６とを接続している。
センサＳＡ５０の外面は、モールド部５５の外面により形成されている。センサＳＡ５０の外面は、ＳＡ流路面１４５、ＳＡ収容面１４６及びＳＡ段差面１４７を有している。これらＳＡ流路面１４５、ＳＡ収容面１４６及びＳＡ段差面１４７は、高さ方向Ｙに交差する方向に延びており、センサＳＡ５０の外面において環状に一周した部分である。これらＳＡ流路面１４５、ＳＡ収容面１４６及びＳＡ段差面１４７は、発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ１の周りを周方向に延びている。
センサＳＡ５０においては、モールド先端面５５ａとモールド基端面５５ｂとの間にＳＡ段差面１４７が設けられている。ＳＡ段差面１４７は、高さ方向Ｙにおいてモールド先端面５５ａ側を向いている。ＳＡ段差面１４７は、中心線ＣＬ１に対して傾斜しており、中心線ＣＬ１とは反対側である径方向外側を向いている。ＳＡ段差面１４７は、高さ方向Ｙに交差しており、ユニット交差面に相当する。また、ＳＡ流路面１４５がユニット流路面に相当し、ＳＡ収容面１４６がユニット収容面に相当する。センサＳＡ５０の外面においては、ＳＡ流路面１４５とＳＡ段差面１４７との入隅部分、及びＳＡ収容面１４６とＳＡ段差面１４７との出隅部分のそれぞれが面取りされている。
ＳＡ流路面１４５は、計測流路３２を形成しており、ＳＡ段差面１４７の内周端部からモールド先端側に向けて高さ方向Ｙに延びている。ＳＡ流路面１４５は、ＳＡ段差面１４７からＳＡ収容領域１５０とは反対側に向けて延びている。一方、ＳＡ収容面１４６は、ＳＡ収容領域１５０を形成しており、ＳＡ段差面１４７の外周端部からモールド基端側に向けて延びている。ＳＡ収容面１４６は、ＳＡ段差面１４７から計測流路３２とは反対側に向けて延びている。ＳＡ段差面１４７は、ＳＡ流路面１４５とＳＡ収容面１４６との間に設けられており、センサＳＡ５０の外面に段差を形成している。ＳＡ段差面１４７は、ＳＡ流路面１４５とＳＡ収容面１４６とを接続している。
センサＳＡ５０においては、ＳＡ流路面１４５、ＳＡ収容面１４６及びＳＡ段差面１４７のそれぞれが、モールド上流面５５ｃ、モールド下流面５５ｄ、モールド表面５５ｅ及びモールド裏面５５ｆにより形成されている。
エアフロメータ２０においては、ハウジング基端側を向いたハウジング段差面１３７とハウジング先端側を向いたＳＡ段差面１４７とが互いに対向している。また、内周側を向いたハウジング流路面１３５と、外周側を向いたＳＡ流路面１４５とが互いに対向している。同様に、内周側を向いたハウジング収容面１３６と、外周側を向いたＳＡ収容面１４６とが互いに対向している。
ハウジング仕切部１３１は、ハウジング段差面１３７に設けられており、ハウジング基端側に向けて高さ方向Ｙに延びている。ハウジング仕切部１３１の中心線ＣＬ１１は、高さ方向Ｙに直線状に延びている。ハウジング仕切部１３１は、ハウジング段差面１３７と共にセンサＳＡ５０の周りを環状に一周している。この場合、図１９に示すように、ハウジング仕切部１３１は、幅方向Ｘに延びた部分と奥行き方向Ｚに延びた部分とを有しており、全体として略矩形枠状になっている。
図１７の説明に戻り、ハウジング仕切部１３１の先端部は、センサＳＡ５０のＳＡ段差面１４７に接触している。ハウジング仕切部１３１とＳＡ段差面１４７とは、互いに密着しており、ＳＡ収容領域１５０と計測流路３２とを仕切っている部分のシール性を高めている。ＳＡ段差面１４７は、高さ方向Ｙに交差する方向に真っ直ぐに延びた平坦面になっている。本実施形態では、ハウジング段差面１３７とＳＡ段差面１４７とは平行に延びておらず、ＳＡ段差面１４７がハウジング段差面１３７に対して傾斜している。このようにＳＡ段差面１４７とハウジング段差面１３７とが平行になっていなくても、ハウジング仕切部１３１がＳＡ段差面１４７に接触していることで、センサＳＡ５０の外面と第１ハウジング部１５１の内面とが接触した部分でのシール性が高められている。なお、ハウジング段差面１３７とＳＡ段差面１４７とは平行に延びていてもよい。
ハウジング仕切部１３１はハウジング段差面１３７に直交している。この場合、ハウジング仕切部１３１の中心線ＣＬ１１とハウジング段差面１３７とが直交している。ハウジング仕切部１３１は先細りした形状になっている。高さ方向Ｙに直交する方向Ｘ，Ｚがハウジング仕切部１３１にとっての幅方向であり、幅方向でのハウジング仕切部１３１の幅寸法は、ハウジング仕切部１３１の先端部に向けて徐々に小さくなっている。ハウジング仕切部１３１の一対の側面はいずれもハウジング段差面１３７から真っ直ぐに延びている。この場合、ハウジング仕切部１３１は、断面テーパ状になっている。
ハウジング仕切部１３１は、ハウジング段差面１３７においてハウジング収容面１３６よりもハウジング流路面１３５に近い位置に配置されている。この場合、高さ方向Ｙに直交する方向Ｘ，Ｚにおいて、ハウジング仕切部１３１とハウジング収容面１３６との離間距離が、ハウジング仕切部１３１とハウジング流路面１３５との離間距離よりも小さくなっている。
ハウジング段差面１３７のうち、ハウジング仕切部１３１よりもハウジング流路面１３５側の部分は、ハウジング流路面１３５と共に計測流路３２を形成している。ハウジング仕切部１３１よりもハウジング収容面１３６側の部分は、ハウジング収容面１３６と共にＳＡ収容領域１５０を形成している。
ＳＡ段差面１４７のうち、ハウジング仕切部１３１よりもＳＡ流路面１４５側の部分は、ＳＡ流路面１４５と共に計測流路３２を形成している。ハウジング仕切部１３１よりもＳＡ収容面１４６側の部分は、ＳＡ収容面１４６と共にＳＡ収容領域１５０を形成している。
次に、エアフロメータ２０の製造方法について、センサＳＡ５０をハウジング２１に装着する手順を中心に、図１８〜図２１を参照しつつ説明する。
エアフロメータ２０の製造工程には、センサＳＡ５０を製造する工程と、第１ハウジング部１５１を樹脂成型等により製造する工程とが含まれている。これら工程の後、センサＳＡ５０を第１ハウジング部１５１に組み付ける工程を行う。
センサＳＡ５０を製造する工程では、射出成型機や型装置を有する射出成型装置等を用いて、センサＳＡ５０のモールド部５５を樹脂成型等により製造する。この工程では、樹脂材料を溶融した溶融樹脂を射出成型機から射出して型装置の内部に圧入する。また、この工程では、モールド部５５を形成する樹脂材料として、エポキシ樹脂等のエポキシ系の熱硬化性樹脂を用いる。
第１ハウジング部１５１を製造する工程では、射出成型装置等を用いて第１ハウジング部１５１を樹脂成型等により製造する。この工程では、第１ハウジング部１５１を形成する樹脂材料として、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）やポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）等の熱可塑性樹脂を用いる。このように熱可塑性樹脂により形成された第１ハウジング部１５１は、熱硬化性樹脂により形成されたモールド部５５に比べて軟らかくなっている。換言すれば、第１ハウジング部１５１は、モールド部５５に比べて硬度が低く、柔軟性が高くなっている。
センサＳＡ５０を第１ハウジング部１５１に組み付ける工程では、図１８に示すように、センサＳＡ５０をハウジング開口部１５１ａから第１ハウジング部１５１の内部に挿入する。ここでは、図２０に示すように、ＳＡ段差面１４７がハウジング仕切部１３１の先端部に接触した後、更にセンサＳＡ５０をハウジング先端側に向けて第１ハウジング部１５１の内部に押し込む。この場合、第１ハウジング部１５１の硬度がモールド部５５の硬度よりも低いことに起因して、図２１に示すように、ハウジング仕切部１３１は、その先端部がＳＡ段差面１４７で押し潰されるように変形する。ハウジング仕切部１３１においては、先端部が押し潰されることで新たに形成された先端面がＳＡ段差面１４７に密着しやすくなり、ハウジング仕切部１３１とＳＡ段差面１４７とのシール性が高められる。なお、図１７においては、ハウジング仕切部１３１のうちセンサＳＡ５０によって押し潰された部分を仮想線として２点鎖線で図示している。
センサＳＡ５０の組み付け工程では、ハウジング仕切部１３１の先端部がＳＡ段差面１４７で押し潰された際に、ハウジング仕切部１３１の破片等が潰れカスとして発生し、この潰れカスが計測流路３２に進入する、ということが懸念される。計測流路３２に進入した潰れカスが計測流路３２において異物として流量センサ２２に接触したり付着したりした場合、流量センサ２２の検出精度が低下することが想定される。
これに対して、本実施形態では、潰れカスが計測流路３２に進入しにくい構成になっている。具体的には、図２０に示すように、ハウジング仕切部１３１の中心線ＣＬ１１とＳＡ段差面１４７との間の角度のうち、ＳＡ収容領域１５０を向いた収容側角度θ１２が、計測流路３２を向いた流路側角度θ１１よりも大きくなっている。すなわち、θ１２＞θ１１の関係が成り立っている。この構成では、ハウジング仕切部１３１の先端部が計測流路３２側よりもＳＡ収容領域１５０側に向けて倒れたり潰れたりしやすくなっている。このため、潰れカスが発生したとしても、この潰れカスが計測流路３２に進入しにくくなっている。
流路側角度θ１１は、ハウジング仕切部１３１の外面のうち最もＳＡ段差面１４７に近い部分の角度であり、収容側角度θ１２は、中心線ＣＬ１１を挟んで流路側角度θ１１とは反対側の角度である。
センサＳＡ５０を第１ハウジング部１５１に組み付けた後、射出成型装置等を用いて第２ハウジング部１５２を樹脂成型等により製造する工程を行う。この工程では、センサＳＡ５０と共に第１ハウジング部１５１に型装置を装着し、樹脂材料を溶融した溶融樹脂を射出成型機から射出して型装置の内部に圧入する。このように、型装置の内部に溶融樹脂が注入されることで、第１ハウジング部１５１とセンサＳＡ５０との隙間に溶融樹脂が充填される。この場合、上述したようにハウジング仕切部１３１がセンサＳＡ５０の外面に密着しているため、溶融樹脂が第１ハウジング部１５１とセンサＳＡ５０との隙間を通じて計測流路３２に入り込むということが規制される。そして、型装置の内部において溶融樹脂を固化させることで第２ハウジング部１５２を形成する。
第２ハウジング部１５２を形成する樹脂材料としては、第１ハウジング部１５１と同様に、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）やポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）等の熱可塑性樹脂を用いる。これら第１ハウジング部１５１及び第２ハウジング部１５２のいずれにも、導電性を有するカーボン材料が含まれている。カーボン材料としては、カーボン粉やカーボン繊維、ナノカーボン、グラフェン、炭素マイクロ粒子などが挙げられる。
第１ハウジング部１５１は、第２ハウジング部１５２に比べて、帯電した場合に放電しやすくなっている。例えば、第１ハウジング部１５１の方が、カーボン材料の含有率や含有量が第２ハウジング部１５２よりも大きくなっている。ハウジング２１において、放電時に電荷の通り道になりやすい部分を導電部と称すると、この導電部は第１ハウジング部１５１の方が第２ハウジング部１５２よりも多く含まれている。導電部には、カーボン粉、カーボン繊維、ナノカーボン、グラフェン及び炭素マイクロ粒子のうち複数が含まれており、ナノカーボンとしては、カーボンナノチューブやカーボンナノファイバー、フラーレンなどが挙げられる。
ここまで説明した本実施形態によれば、ハウジング２１の内面から突出したハウジング仕切部１３１が、センサＳＡ５０とハウジング２１との間において計測流路３２とＳＡ収容領域１５０とを仕切っている。この構成では、ハウジング仕切部１３１の先端部とセンサＳＡ５０とが密着しやすいため、ハウジング２１の内面とセンサＳＡ５０の外面との間に隙間が生じにくくなっている。このため、溶融樹脂を第１ハウジング部１５１のＳＡ収容領域１５０に注入して第２ハウジング部１５２を形成する場合に、溶融樹脂が第１ハウジング部１５１とセンサＳＡ５０との隙間を通じて計測流路３２に入り込むということが規制される。
この場合、第１ハウジング部１５１とセンサＳＡ５０との隙間を通じて計測流路３２に入り込んだ溶融樹脂が固化し、その固化部分によって計測流路３２の形状が意図せずに変化する、ということが生じにくくなっている。また、その固化部分が計測流路３２において第１ハウジング部１５１やセンサＳＡ５０から剥がれ落ちて、異物として流量センサ２２に接触したり付着したりする、ということが生じにくくなっている。したがって、ＳＡ収容領域１５０から計測流路３２に進入した溶融樹脂によって流量センサ２２の検出精度が低下するということを抑制できる。これにより、流量センサ２２による空気流量の検出精度を高めることができ、その結果、エアフロメータ２０による空気流量の計測精度を高めることができる。
本実施形態によれば、ハウジング仕切部１３１がセンサＳＡ５０の周りを環状に一周している。この構成では、センサＳＡ５０の外面全周において、センサＳＡ５０の外面と第１ハウジング部１５１の内面とが密着した状態をハウジング仕切部１３１によりつくり出すことができる。このため、計測流路３２とＳＡ収容領域１５０との境界部全体でのシール性をハウジング仕切部１３１によって高めることができる。
本実施形態によれば、ハウジング仕切部１３１は、ハウジング段差面１３７においてハウジング収容面１３６よりもハウジング流路面１３５に近い位置に設けられている。この構成では、計測流路３２側に極力寄せた位置でハウジング仕切部１３１により計測流路３２とＳＡ収容領域１５０とを仕切ることで、第１ハウジング部１５１とセンサＳＡ５０との隙間のうち計測流路３２に含まれる部分を極力小さくできる。ここで、計測流路３２においては、第１ハウジング部１５１とセンサＳＡ５０との隙間は、計測入口３５から計測出口３６に向けて流れる空気が流れ込むことなどにより空気の流れに乱れを生じさせやすい領域になっている。このため、第１ハウジング部１５１とセンサＳＡ５０との隙間が小さいほど計測流路３２において空気の流れに乱れが生じにくく、流量センサ２２の検出精度が向上しやすい。したがって、ハウジング仕切部１３１がハウジング流路面１３５に極力近い位置に設けられていることで、流量センサ２２の検出精度を高めることができる。
本実施形態によれば、収容側角度θ１２が流路側角度θ１１よりも大きくなっている。この構成では、センサＳＡ５０を第１ハウジング部１５１のＳＡ収容領域１５０に挿入した場合に、ハウジング仕切部１３１がＳＡ収容領域１５０側に折れたり倒れたりするように潰れて変形する、ということが生じやすくなっている。このため、ハウジング仕切部１３１を変形させてセンサＳＡ５０の外面に密着させる際に、ハウジング仕切部１３１の潰れカスが計測流路３２に意図せずに入り込むということが生じにくくなっている。したがって、計測流路３２において潰れカスが流量センサ２２に接触したり付着したりして流量センサ２２の検出精度が低下するということを抑制できる。
本実施形態によれば、ハウジング段差面１３７に設けられたハウジング仕切部１３１がＳＡ段差面１４７に接触している。この構成では、ハウジング段差面１３７とＳＡ段差面１４７とが、いずれも高さ方向Ｙに交差し且つ互いに対向しているため、センサＳＡ５０を第１ハウジング部１５１の内部に挿入した場合にＳＡ段差面１４７がハウジング仕切部１３１に引っ掛かった状態になる。このため、単にセンサＳＡ５０を計測流路３２に向けて第１ハウジング部１５１の内部に押し込むという作業を行うことで、ハウジング仕切部１３１をＳＡ段差面１４７に密着させることができる。これにより、計測流路３２とＳＡ収容領域１５０とをハウジング仕切部１３１により確実に仕切りつつ、センサＳＡ５０を第１ハウジング部１５１に組み付ける際の作業負担の増加を抑制できる。
本実施形態では、第１ハウジング部１５１においてハウジング段差面１３７がハウジング開口部１５１ａ側を向いている。この構成では、ハウジング開口部１５１ａからＳＡ収容領域１５０に挿入したセンサＳＡ５０を単に計測流路３２に向けて奥に押し込むことで、センサＳＡ５０のＳＡ段差面１４７をハウジング段差面１３７に押し付けることができる。このため、ＳＡ段差面１４７のハウジング仕切部１３１をハウジング段差面１３７に密着しやすい構成を実現できる。
＜構成群Ｄの説明＞
図２２、図２３に示すように、計測流路３２は、計測入口３５と計測出口３６との間の部分が流量センサ２２に向けて膨らむように曲がっており、全体としてＵ字状になっている。計測流路３２においては、計測入口３５と計測出口３６とが奥行き方向Ｚに並んでいる。この場合、奥行き方向Ｚが並び方向に相当し、高さ方向Ｙが奥行き方向Ｚに直交している。計測流路３２においては、計測入口３５と計測出口３６との間の部分が、ハウジング基端側に向けて高さ方向Ｙに膨らむように曲がっている。
ハウジング２１の内面は、外計測曲がり面４０１、内計測曲がり面４０２を有している。外計測曲がり面４０１及び内計測曲がり面４０２は、計測流路３２の中心線ＣＬ４に沿って延びている。ハウジング２１の内面は、これら外計測曲がり面４０１及び内計測曲がり面４０２に加えて、上述したように表計測壁面１０３及び裏計測壁面１０４を有している。外計測曲がり面４０１と内計測曲がり面４０２とは、幅方向Ｘに直交する方向Ｙ，Ｚに並べられており、表計測壁面１０３及び裏計測壁面１０４を介して対向している。
外計測曲がり面４０１は、計測流路３２を曲がりの外側から形成しており、計測流路３２や流量センサ２２の外周側に設けられている。外計測曲がり面４０１は、計測入口３５と計測出口３６とにかけ渡されている。外計測曲がり面４０１は、計測入口３５と計測出口３６との間の部分が全体として流量センサ２２側に凹むように凹状に曲がっている。外計測曲がり面４０１には、計測天井面１０２が含まれており、ＳＡ挿入孔１０７が設けられている。
内計測曲がり面４０２は、計測流路３２を曲がりの内側から形成しており、計測流路３２の内周側に設けられている。内計測曲がり面４０２は、計測入口３５と計測出口３６とにかけ渡されている。内計測曲がり面４０２は、計測入口３５と計測出口３６との間の部分が全体として流量センサ２２側に膨らむように曲がっている。内計測曲がり面４０２は、外計測曲がり面４０１とは反対側に向けて凹んだ部分を有しておらず、その全体が外計測曲がり面４０１に向けて膨らむように凸状に曲がっている。内計測曲がり面４０２には、計測床面１０１が含まれている。
図２３に示すように、計測流路３２は、センサ路４０５、上流曲がり路４０６、下流曲がり路４０７を有している。センサ路４０５は、計測流路３２において流量センサ２２が設けられた部分である。センサ路４０５は、奥行き方向Ｚに真っ直ぐに延びており、フランジ部２７の角度設定面２７ａに平行に主流方向に延びている。上流曲がり路４０６と下流曲がり路４０７とは奥行き方向Ｚに並べられており、センサ路４０５は、上流曲がり路４０６と下流曲がり路４０７との間に設けられ、これら曲がり路４０６，４０７を接続している。
ハウジング２１においてセンサ路４０５を形成する面には、計測床面１０１の少なくとも一部が含まれている。本実施形態では、奥行き方向Ｚでのセンサ路４０５の長さ寸法が計測床面１０１によって規定されている。具体的には、センサ路４０５の上流端部に計測床面１０１の上流端部が含まれており、センサ路４０５の下流端部に計測床面１０１の下流端部が含まれている。この場合、奥行き方向Ｚでのセンサ路４０５の長さ寸法は計測床面１０１の長さ寸法と同じになっている。また、ハウジング２１においてセンサ路４０５を形成する面には、計測床面１０１の少なくとも一部に加えて、計測天井面１０２の一部や、表計測壁面１０３の一部、裏計測壁面１０４の一部が含まれている。本実施形態では、計測床面１０１が奥行き方向Ｚに真っ直ぐに延びており、このように計測床面１０１が真っ直ぐに延びていることをセンサ路４０５が真っ直ぐに延びていると称する。
上流曲がり路４０６は、計測流路３２においてセンサ路４０５から計測入口３５に向けて延びており、センサ路４０５と計測入口３５との間に設けられている。上流曲がり路４０６は、ハウジング２１においてセンサ路４０５から計測入口３５に向けて延びるように曲がっている。上流曲がり路４０６においては、その下流端部がセンサ路４０５に向けて奥行き方向Ｚに開放されている一方で、その上流端部が計測入口３５に向けて高さ方向Ｙに開放されている。このように、上流曲がり路４０６においては、上流端部の開放向きと下流端部の開放向きとが交差しており、この交差角度は例えば９０度になっている。上流曲がり路４０６の内面には、表計測壁面１０３の一部や裏計測壁面１０４の一部が含まれている。
下流曲がり路４０７は、計測流路３２においてセンサ路４０５から計測出口３６に向けて延びており、センサ路４０５と計測出口３６との間に設けられている。下流曲がり路４０７は、ハウジング２１においてセンサ路４０５から計測出口３６に向けて延びるように曲がっている。下流曲がり路４０７においては、その上流端部がセンサ路４０５に向けて奥行き方向Ｚに開放されている一方で、その下流端部が計測出口３６に向けて高さ方向Ｙに開放されている。このように、下流曲がり路４０７においては、上流曲がり路４０６と同様に、上流端部の開放向きと下流端部の開放向きとが交差しており、この交差角度は例えば９０度になっている。下流曲がり路４０７の内面には、表計測壁面１０３の一部や裏計測壁面１０４の一部が含まれている。
計測流路３２においては、センサ路４０５が検出計測路３５３に含まれている。上流曲がり路４０６は、案内計測路３５２と検出計測路３５３との境界部を高さ方向Ｙに跨ぐ位置に設けられている。この場合、上流曲がり路４０６は、案内計測路３５２の一部と検出計測路３５３の一部を有している。下流曲がり路４０７は、検出計測路３５３と排出計測路３５４との境界部を高さ方向Ｙに跨ぐ位置に設けられている。この場合、検出計測路３５３の一部と排出計測路３５４の一部とを有している。
ハウジング２１の内面は、上流曲がり路４０６を形成する面として、上流外曲がり面４１１、上流内曲がり面４１５を有している。上流外曲がり面４１１は、上流曲がり路４０６を曲がりの外側から形成しており、上流曲がり路４０６の外周側に設けられている。上流外曲がり面４１１は、計測流路３２の中心線ＣＬ４に沿って凹むように延びており、この中心線ＣＬ４に沿って連続的に曲がるように湾曲している。上流外曲がり面４１１は、上流曲がり路４０６の上流端部と下流端部とにかけ渡されており、上流外湾曲面に相当する。
上流内曲がり面４１５は、上流曲がり路４０６を曲がりの内側から形成しており、上流曲がり路４０６の内周側に設けられている。上流内曲がり面４１５は、計測流路３２の中心線ＣＬ４に沿って膨らむように延びており、この中心線ＣＬ４に沿って連続的に曲がるように湾曲している。上流内曲がり面４１５は、上流曲がり路４０６の上流端部と下流端部とにかけ渡されており、上流内湾曲面に相当する。なお、ハウジング２１の内面は、上流曲がり路４０６を形成する面として、上流外曲がり面４１１、上流内曲がり面４１５に加えて、表計測壁面１０３の一部と裏計測壁面１０４の一部とを有している。
ハウジング２１の内面は、下流曲がり路４０７を形成する面として、下流外曲がり面４２１、下流内曲がり面４２５を有している。下流外曲がり面４２１は、下流曲がり路４０７を曲がりの外側から形成しており、下流曲がり路４０７の外周側に設けられている。下流外曲がり面４２１は、計測流路３２の中心線ＣＬ４に沿って延びており、この中心線ＣＬ４に沿って所定角度で折れ曲がっている。下流外曲がり面４２１の折れ曲がり角度は、例えば９０度になっている。
下流外曲がり面４２１は、下流外横面４２２、下流外縦面４２３、下流外入隅部４２４を有している。下流外横面４２２は、下流曲がり路４０７の上流端部から下流側に向けて奥行き方向Ｚに真っ直ぐに延びている。下流外縦面４２３は、下流曲がり路４０７の下流端部から上流側に向けて高さ方向Ｙに真っ直ぐに延びている。下流外横面４２２と下流外縦面４２３とは、互いに接続されており、互いに内向きに入り合った入隅部分として下流外入隅部４２４を形成している。下流外入隅部４２４は、下流外曲がり面４２１がほぼ直角に折れ曲がった形状を形成している。
下流内曲がり面４２５は、下流曲がり路４０７を曲がりの内側から形成しており、下流曲がり路４０７の内周側に設けられている。下流内曲がり面４２５は、計測流路３２の中心線ＣＬ４に沿って膨らむように延びており、この中心線ＣＬ４に沿って連続的に曲がるように湾曲している。下流内曲がり面４２５は、下流曲がり路４０７の上流端部と下流端部とにかけ渡されており、下流内湾曲面に相当する。なお、ハウジング２１の内面は、下流曲がり路４０７を形成する面として、下流外曲がり面４２１、下流内曲がり面４２５に加えて、表計測壁面１０３の一部と裏計測壁面１０４の一部とを有している。
計測流路３２において、外計測曲がり面４０１には、上流外曲がり面４１１及び下流外曲がり面４２１が含まれている。これら上流外曲がり面４１１及び下流外曲がり面４２１のそれぞれには、計測天井面１０２の一部が含まれている。また、内計測曲がり面４０２には、上述した計測床面１０１に加えて、上流内曲がり面４１５及び下流内曲がり面４２５が含まれている。
計測流路３２においては、計測流路３２を拡張する側への下流内曲がり面４２５の膨らみ度合いが、計測流路３２を拡張する側への上流内曲がり面４１５の膨らみ度合いよりも小さくなっている。具体的には、計測流路３２の中心線ＣＬ４が延びる方向において、下流内曲がり面４２５の長さ寸法が上流内曲がり面４１５の長さ寸法よりも大きくなっている。この場合、下流内曲がり面４２５の曲率半径Ｒ３２が上流内曲がり面４１５の曲率半径Ｒ３１よりも大きくなっている。すなわち、Ｒ３２＞Ｒ３１の関係が成り立っている。換言すれば、下流内曲がり面４２５の曲がりが上流内曲がり面４１５の曲がりよりもゆるい状態になっている。
計測流路３２においては、計測流路３２を拡張する側への下流外曲がり面４２１の凹み度合いが、計測流路３２を拡張する側への上流外曲がり面４１１の凹み度合いよりも大きくなっている。具体的には、下流外曲がり面４２１が直角に折れ曲がっているのに対して、上流外曲がり面４１１は湾曲している。この場合、計測流路３２の中心線ＣＬ４が延びる方向において、下流外曲がり面４２１において折れ曲がった部分の長さ寸法は、非常に小さい値であり、上流外曲がり面４１１の長さ寸法よりも小さくなっている。ここで、下流外曲がり面４２１において折れ曲がった部分について曲率半径を算出できるとすると、この曲率半径は、ほぼゼロであり、上流外曲がり面４１１の曲率半径Ｒ３３よりも小さくなっている。この場合、下流外曲がり面４２１の曲がりが上流外曲がり面４１１の曲がりよりもきつい状態になっている。
上流曲がり路４０６においては、計測流路３２を拡張する側への上流外曲がり面４１１の凹み度合いが、計測流路３２を拡張する側への上流内曲がり面４１５の膨らみ度合いよりも小さくなっている。具体的には、計測流路３２の中心線ＣＬ４が延びる方向において、上流外曲がり面４１１の長さ寸法が、上流内曲がり面４１５の長さ寸法よりも大きくなっている。この場合、上流外曲がり面４１１の曲率半径Ｒ３３は、上流内曲がり面４１５の曲率半径Ｒ３１よりも大きくなっている。すなわち、Ｒ３３＞Ｒ３１の関係が成り立っている。
下流曲がり路４０７においては、計測流路３２を拡張する側への下流外曲がり面４２１の凹み度合いが、計測流路３２を拡張する側への下流内曲がり面４２５の膨らみ度合いよりも大きくなっている。具体的には、計測流路３２の中心線ＣＬ４が延びる方向において、下流外曲がり面４２１の長さ寸法が、下流内曲がり面４２５の長さ寸法よりも小さくなっている。
下流曲がり路４０７においては、下流外曲がり面４２１の凹み度合いが下流内曲がり面４２５の膨らみ度合いよりも大きくなっていることで、計測流路３２の断面積Ｓ４において下流曲がり路４０７の断面積が極力大きくなっている。具体的には、計測流路３２の中心線ＣＬ４及び幅方向Ｘの両方に直交する方向において、下流外曲がり面４２１と下流内曲がり面４２５との離間距離Ｌ３５ｂが、上流外曲がり面４１１と上流内曲がり面４１５との離間距離Ｌ３５ａよりも大きくなっている。すなわち、Ｌ３５ｂ＞Ｌ３５ａの関係が成り立っている。
下流外曲がり面４２１と下流内曲がり面４２５との離間距離Ｌ３５ｂは、下流曲がり路４０７において下流外曲がり面４２１と下流内曲がり面４２５とが最も離間した部分での離間距離である。下流外曲がり面４２１と下流内曲がり面４２５とが最も離間した部分は、例えば下流外曲がり面４２１の下流外入隅部４２４と下流内曲がり面４２５の中央部分とが対向する部分である。また、上流外曲がり面４１１と上流内曲がり面４１５との離間距離Ｌ３５ａは、上流曲がり路４０６において上流外曲がり面４１１と上流内曲がり面４１５とが最も離間した部分での離間距離である。上流外曲がり面４１１と上流内曲がり面４１５とが最も離間した部分は、例えば上流外曲がり面４１１の中央部分と上流内曲がり面４１５の中央部分とが対向する部分である。
計測流路３２について、流量センサ２２を通り、奥行き方向Ｚに延びる仮想の直線として並び線ＣＬ３１を想定する。並び線ＣＬ３１は、流量センサ２２の発熱抵抗体７１の中心ＣＯ１を通り、発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ１，ＣＬ５のいずれにも直交している。並び線ＣＬ３１については、奥行き方向Ｚが上流曲がり路４０６と下流曲がり路４０７との並び方向に相当する。センサ路４０５においては、並び線ＣＬ３１と計測流路３２の中心線ＣＬ４とが平行に延びている。並び線ＣＬ３１は、ハウジング２１の角度設定面２７ａに平行に延びている。
並び線ＣＬ３１は、センサ路４０５、上流曲がり路４０６、下流曲がり路４０７のそれぞれを通っており、上流外曲がり面４１１及び下流外曲がり面４２１のそれぞれに交差している。下流外曲がり面４２１においては、下流外縦面４２３に並び線ＣＬ３１が交差している。センサ路４０５は並び線ＣＬ３１に沿って真っ直ぐに延びている。並び線ＣＬ３１上において、流量センサ２２と下流外曲がり面４２１との離間距離Ｌ３１ｂは、流量センサ２２と上流外曲がり面４１１との離間距離Ｌ３１ａよりも大きくなっている。すなわち、Ｌ３１ｂ＞Ｌ３１ａの関係が成り立っている。このように、流量センサ２２は上流外曲がり面４１１寄りの位置に設けられている。なお、離間距離Ｌ３１ａ，Ｌ３１ｂは、発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ５までの距離としている。
センサＳＡ５０においては、センサ支持部５１が上流外曲がり面４１１寄りの位置に設けられていることで、流量センサ２２が上流外曲がり面４１１寄りの位置に設けられている。並び線ＣＬ３１上において、センサ支持部５１と下流外曲がり面４２１との離間距離Ｌ３２ｂは、センサ支持部５１と上流外曲がり面４１１との離間距離Ｌ３２ａよりも大きくなっている。すなわち、Ｌ３２ｂ＞Ｌ３２ａの関係が成り立っている。なお、計測流路３２では、並び線ＣＬ３１上でない部分においても、奥行き方向Ｚでのセンサ支持部５１と上流外曲がり面４１１との離間距離が、奥行き方向Ｚでのセンサ支持部５１と下流外曲がり面４２１との離間距離よりも大きくなっている。
図２３においては、センサ支持部５１のモールド上流面５５ｃのうち並び線ＣＬ３１が通る部分と上流外曲がり面４１１との離間距離を離間距離Ｌ３２ａとしている。また、センサ支持部５１のモールド下流面５５ｄのうち並び線ＣＬ３１が通る部分と下流外曲がり面４２１との離間距離を離間距離Ｌ３２ｂとしている。
センサ路４０５は、上流外曲がり面４１１と下流外曲がり面４２１との間において、上流外曲がり面４１１寄りの位置に設けられている。この場合、並び線Ｌ３１上において、センサ路４０５と下流外曲がり面４２１との離間距離Ｌ３３ｂは、センサ路４０５と上流外曲がり面４１１との離間距離Ｌ３３ａよりも大きくなっている。すなわち、Ｌ３３ｂ＞Ｌ３３ａの関係が成り立っている。
流量センサ２２は、センサ路４０５において上流曲がり路４０６寄りの位置に設けられている。この場合、並び線Ｌ３１上において、流量センサ２２と下流曲がり路４０７との離間距離Ｌ３４ｂは、流量センサ２２と上流曲がり路４０６との離間距離Ｌ３４ａよりも大きくなっている。すなわち、Ｌ３４ｂ＞Ｌ３４ａの関係が成り立っている。これら離間距離Ｌ３４ａと離間距離Ｌ３４ｂとの和が奥行き方向Ｚでのセンサ路４０５の長さ寸法になっている。
上述したように、ハウジング２１は、図２４、図２５に示す絞り部１１１，１１２を有している。これら絞り部１１１，１１２は、計測壁面１０３，１０４に設けられており、計測壁面１０３，１０４の一部を形成している。図２４、図２５には並び断面ＣＳ４１を示している。並び断面ＣＳ４１は、並び線ＣＬ４１に沿って延び、且つ計測壁面１０３，１０４が並んだ方向に延びた断面である。また、並び断面ＣＳ４１は、高さ方向Ｙに直交している。
表計測壁面１０３は、表絞り面４３１、表拡張面４３２、表絞り上流面４３３、表拡張下流面４３４を有している。表絞り面４３１及び表拡張面４３２は、表絞り部１１１により形成されており、表絞り部１１１の外面に含まれている。すなわち、表絞り部１１１が表絞り面４３１及び表拡張面４３２を有している。表絞り部１１１においては、表絞り面４３１が表頂部１１１ａから上流曲がり路４０６に向けて奥行き方向Ｚに延びており、表拡張面４３２が表頂部１１１ａから下流曲がり路４０７に向けて奥行き方向Ｚに延びている。表頂部１１１ａは、表絞り面４３１と表拡張面４３２との境界部である。
表絞り面４３１は、検出計測路３５３において計測流路３２の中心線ＣＬ４に対して傾斜しており、上流外曲がり面４１１側を向いている。表絞り面４３１は、計測入口３５から流量センサ２２に向けて計測流路３２を徐々に縮小して絞っている。計測流路３２の断面積Ｓ４は、表絞り面４３１の上流端部から表頂部１１１ａに向けて徐々に小さくなっている。表絞り面４３１は、その上流端部と下流端部との間の部分が計測流路３２の中心線ＣＬ４に向けて膨らむように湾曲している。
表拡張面４３２は、検出計測路３５３において計測流路３２の中心線ＣＬ４に対して傾斜しており、下流外曲がり面４２１側を向いている。表拡張面４３２は、流量センサ２２側から計測出口３６に向けて計測流路３２を徐々に拡張している。計測流路３２の断面積Ｓ４は、表頂部１１１ａから表拡張面４３２の下流端部に向けて徐々に大きくなっている。表拡張面４３２は、その上流端部と下流端部との間の部分が計測流路３２の中心線ＣＬ４に向けて膨らむように湾曲している。
表絞り上流面４３３は、表絞り面４３１の上流端部から計測入口３５に向けて、並び線ＣＬ３１に平行に真っ直ぐに延びている。表絞り上流面４３３は、上流曲がり路４０６において上流外曲がり面４１１と表絞り面４３１との間に設けられており、これら上流外曲がり面４１１と表絞り面４３１とにかけ渡されている。表拡張下流面４３４は、表拡張面４３２の下流端部から計測出口３６に向けて、並び線ＣＬ３１に平行に真っ直ぐに延びている。表拡張下流面４３４は、下流曲がり路４０７において下流外曲がり面４２１と表拡張面４３２との間に設けられており、これら下流外曲がり面４２１と表拡張面４３２とにかけ渡されている。表絞り上流面４３３と表拡張下流面４３４とは奥行き方向Ｚに並べられており、幅方向Ｘの位置が重複していることで面一になっている。
裏計測壁面１０４は、裏絞り面４４１、裏拡張面４４２、裏絞り上流面４４３、裏拡張下流面４４４を有している。裏絞り面４４１及び裏拡張面４４２は、裏絞り部１１２により形成されており、裏絞り部１１２の外面に含まれている。すなわち、裏絞り部１１２が裏絞り面４４１及び裏拡張面４４２を有している。裏絞り部１１２においては、裏絞り面４４１が裏頂部１１２ａから上流曲がり路４０６に向けて奥行き方向Ｚに延びており、裏拡張面４４２が裏頂部１１２ａから下流曲がり路４０７に向けて奥行き方向Ｚに延びている。裏頂部１１２ａは、裏絞り面４４１と裏拡張面４４２との境界部である。
裏絞り面４４１は、検出計測路３５３において計測流路３２の中心線ＣＬ４に対して傾斜しており、上流外曲がり面４１１側を向いている。裏絞り面４４１は、計測入口３５から流量センサ２２に向けて計測流路３２を徐々に縮小して絞っている。計測流路３２の断面積Ｓ４は、裏絞り面４４１の上流端部から裏頂部１１２ａに向けて徐々に小さくなっている。裏絞り面４４１は、その上流端部と下流端部との間の部分が計測流路３２の中心線ＣＬ４に向けて膨らむように湾曲している。
裏拡張面４４２は、検出計測路３５３において計測流路３２の中心線ＣＬ４に対して傾斜しており、下流外曲がり面４２１側を向いている。裏拡張面４４２は、流量センサ２２側から計測出口３６に向けて計測流路３２を徐々に拡張している。計測流路３２の断面積Ｓ４は、裏頂部１１２ａから裏拡張面４４２の下流端部に向けて徐々に大きくなっている。裏拡張面４４２は、その上流端部と下流端部との間の部分が計測流路３２の中心線ＣＬ４に向けて膨らむように湾曲している。
裏絞り上流面４４３は、裏絞り面４４１の上流端部から計測入口３５に向けて、並び線ＣＬ３１に平行に真っ直ぐに延びている。裏絞り上流面４４３は、上流曲がり路４０６において上流外曲がり面４１１と表絞り面４３１との間に設けられており、これら上流外曲がり面４１１と表絞り面４３１とにかけ渡されている。裏拡張下流面４４４は、裏拡張面４４２の下流端部から計測出口３６に向けて、並び線ＣＬ３１に平行に真っ直ぐに延びている。裏拡張下流面４４４は、下流曲がり路４０７において下流外曲がり面４２１と裏拡張面４４２との間に設けられており、これら下流外曲がり面４２１と裏拡張面４４２とにかけ渡されている。裏絞り上流面４４３と裏拡張下流面４４４とは奥行き方向Ｚに並べられており、幅方向Ｘの位置が重複していることで面一になっている。
なお、絞り部１１１，１１２が計測絞り部に相当する。また、表絞り面４３１及び裏絞り面４４１が計測絞り面に相当し、表拡張面４３２及び裏拡張面４４２が計測拡張面に相当する。上述したように、発熱抵抗体７１の中心ＣＯ１と表頂部１１１ａと裏頂部１１２ａとは幅方向Ｘに並べられており、発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ５上には、表頂部１１１ａ及び裏頂部１１２ａが配置されている。
並び線ＣＬ３１が延びる奥行き方向Ｚにおいて、表絞り部１１１の長さ寸法Ｗ３１ａと、裏絞り部１１２の長さ寸法Ｗ３１ｂとは同じになっている。表絞り部１１１においては、奥行き方向Ｚでの表絞り面４３１の長さ寸法Ｗ３２ａが、奥行き方向Ｚでの表拡張面４３２の長さ寸法Ｗ３３ａよりも小さくなっている。裏絞り部１１２においては、奥行き方向Ｚでの裏絞り面４４１の長さ寸法Ｗ３２ｂが、奥行き方向Ｚでの裏拡張面４４２の長さ寸法Ｗ３３ｂよりも小さくなっている。絞り部１１１，１１２においては、表絞り面４３１の長さ寸法Ｗ３２ａと裏絞り面４４１の長さ寸法Ｗ３２ｂとが同じになっており、表拡張面４３２の長さ寸法Ｗ３３ａと裏拡張面４４２の長さ寸法Ｗ３３ｂとが同じになっている。
表絞り部１１１は、奥行き方向Ｚにおいて上流曲がり路４０６寄りの位置に設けられている。この場合、並び線ＣＬ３１上において、表絞り部１１１と上流外曲がり面４１１との離間距離Ｗ３４ａが、表絞り部１１１と下流外曲がり面４２１との離間距離Ｗ３５ａよりも大きくなっている。裏絞り部１１２は、表絞り部１１１と同様に、奥行き方向Ｚにおいて上流曲がり路４０６寄りの位置に設けられている。この場合、並び線ＣＬ３１上において、裏絞り部１１２と上流外曲がり面４１１との離間距離Ｗ３４ｂが、裏絞り部１１２と下流外曲がり面４２１との離間距離Ｗ３５ｂよりも大きくなっている。
上流外曲がり面４１１と絞り部１１１，１１２との位置関係としては、離間距離Ｗ３４ａと離間距離Ｗ３４ｂとが同じになっている。下流外曲がり面４２１と絞り部１１１，１１２との位置関係としては、離間距離Ｗ３５ａと離間距離Ｗ３５ｂとが同じになっている。
計測流路３２においては、表計測壁面１０３と裏計測壁面１０４との計測幅寸法Ｗ１（図１５参照）が位置によって異なっている。この計測幅寸法Ｗ１は、センサ路４０５と上流曲がり路４０６と下流曲がり路４０７とで異なっており、これらセンサ路４０５、上流曲がり路４０６及び下流曲がり路４０７のそれぞれにおいても均一にはなっていない。ただし、上流曲がり路４０６での表絞り上流面４３３と裏絞り上流面４４３との離間距離Ｄ３４は、下流曲がり路４０７での表拡張下流面４３４と裏拡張下流面４４４との離間距離Ｄ３８と同じになっている。
センサ支持部５１は、上流曲がり路４０６において表絞り上流面４３３と裏絞り上流面４４３との中央位置に設けられている。ここで、センサＳＡ５０の中心線ＣＬ３２を想定する。この中心線ＣＬ３２は、発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ５上において幅方向Ｘでのセンサ支持部５１の中心を通り、中心線ＣＬ５に直交し且つ奥行き方向Ｚに延びる直線状の仮想線である。また、この中心線ＣＬ３２は、並び線ＣＬ３１と平行に延びている。この場合、上流曲がり路４０６においては、中心線ＣＬ３２と表絞り上流面４３３との離間距離Ｄ３１ａが、中心線ＣＬ３２と裏絞り上流面４４３との離間距離Ｄ３１ｂと同じになっている。
センサ支持部５１は、下流曲がり路４０７においても表拡張下流面４３４と裏拡張下流面４４４との中央位置に設けられている。下流曲がり路４０７においては、中心線ＣＬ３２と表拡張下流面４３４との離間距離Ｄ３５ａが、中心線ＣＬ３２と裏拡張下流面４４４との離間距離Ｄ３５ｂと同じになっている。また、表計測壁面１０３とセンサ支持部５１との位置関係としては、離間距離Ｄ３１ａと離間距離Ｄ３５ａとが同じになっている。裏計測壁面１０４とセンサ支持部５１との位置関係としては、離間距離Ｄ３１ｂと離間距離Ｄ３５ｂとが同じになっている。
表計測壁面１０３においては、表絞り上流面４３３と表拡張下流面４３４とが面一になっているため、上流曲がり路４０６での表絞り部１１１の突出寸法と下流曲がり路４０７での表絞り部１１１の突出寸法とが同じになっている。具体的には、表絞り上流面４３３に対する表頂部１１１ａの突出寸法Ｄ３２ａと、表拡張下流面４３４に対する表頂部１１１ａの突出寸法Ｄ３６ａとが同じになっている。
表絞り上流面４３３に対する表絞り面４３１の突出寸法は、表絞り上流面４３３から表頂部１１１ａに向けて徐々に増加している。この増加率が表絞り上流面４３３から表頂部１１１ａに向けて徐々に増加していることで、表絞り面４３１が湾曲面になっている。表拡張下流面４３４に対する表拡張面４３２の突出寸法は、表頂部１１１ａから表拡張下流面４３４に向けて徐々に減少している。この減少率が表頂部１１１ａから表拡張下流面４３４に向けて徐々に増加していることで、表拡張面４３２が湾曲面になっている。
上述したように、表絞り部１１１においては、表拡張面４３２の長さ寸法Ｗ３３ａが表絞り面４３１の長さ寸法Ｗ３２ａよりも大きくなっている。この場合、表頂部１１１ａから表拡張下流面４３４に向けた表拡張面４３２の突出寸法の減少率が、表絞り上流面４３３から表頂部１１１ａに向けた表絞り面４３１の突出寸法の増加率よりも小さくなっている。表絞り面４３１と表拡張面４３２とは連続した湾曲面になっており、表頂部１１１ａにおいて表絞り面４３１の接線及び表拡張面４３２の接線は、いずれも並び線ＣＬ３１に平行に延びている。
表絞り部１１１について、表絞り面４３１の長さ寸法Ｗ３２ａと表頂部１１１ａの絞り側の突出寸法Ｄ３２ａとの比を表絞り率と称し、表拡張面４３２の長さ寸法Ｗ３３ａと表頂部１１１ａの拡張側の突出寸法Ｄ３６ａとの比を表拡張率と称する。例えば、絞り側の突出寸法Ｄ３２ａを長さ寸法Ｗ３２ａで割った値を表絞り率として算出し、拡張側の突出寸法Ｄ３６ａを長さ寸法Ｗ３３ａで割った値を表拡張率として算出する。この場合、表拡張率が表絞り率よりも小さい値になる。
裏計測壁面１０４においては、裏絞り上流面４４３と裏拡張下流面４４４とが面一になっているため、上流曲がり路４０６での裏絞り部１１２の突出寸法と下流曲がり路４０７での裏絞り部１１２の突出寸法とが同じになっている。具体的には、裏絞り上流面４４３に対する裏頂部１１２ａの突出寸法Ｄ３２ｂと、裏拡張下流面４４４に対する裏頂部１１２ａの突出寸法Ｄ３６ｂとが同じになっている。
裏絞り上流面４４３に対する裏絞り面４４１の突出寸法は、裏絞り上流面４４３から裏頂部１１２ａに向けて徐々に増加している。この増加率が裏絞り上流面４４３から裏頂部１１２ａに向けて徐々に増加していることで、裏絞り面４４１が湾曲面になっている。裏拡張下流面４４４に対する裏拡張面４４２の突出寸法は、裏頂部１１２ａから裏拡張下流面４４４に向けて徐々に減少している。この減少率が裏頂部１１２ａから裏拡張下流面４４４に向けて徐々に増加していることで、裏拡張面４４２が湾曲面になっている。
上述したように、裏絞り部１１２においては、裏拡張面４４２の長さ寸法Ｗ３３ｂが裏絞り面４４１の長さ寸法Ｗ３２ｂよりも大きくなっている。この場合、裏頂部１１２ａから裏拡張下流面４４４に向けた裏拡張面４４２の突出寸法の減少率が、裏絞り上流面４４３から裏頂部１１２ａに向けた裏絞り面４４１の突出寸法の増加率よりも小さくなっている。裏絞り面４４１と裏拡張面４４２とは連続した湾曲面になっており、裏頂部１１２ａにおいて裏絞り面４４１の接線及び裏拡張面４４２の接線は、いずれも並び線ＣＬ３１に平行に延びている。
裏絞り部１１２について、裏絞り面４４１の長さ寸法Ｗ３２ｂと裏頂部１１２ａの絞り側の突出寸法Ｄ３２ｂとの比を表絞り率と称し、裏拡張面４４２の長さ寸法Ｗ３３ｂと裏頂部１１２ａの拡張側の突出寸法Ｄ３２ｂとの比を表拡張率と称する。例えば、絞り側の突出寸法Ｄ３２ｂを長さ寸法Ｗ３２ｂで割った値を裏絞り率として算出し、拡張側の突出寸法Ｄ３２ｂを長さ寸法Ｗ３３ｂで割った値を裏拡張率として算出する。この場合、裏拡張率が裏絞り率よりも小さい値になる。
表絞り部１１１と裏絞り部１１２との関係では、表頂部１１１ａの突出寸法Ｄ３２ａ，Ｄ３６ａが裏頂部１１２ａの突出寸法Ｄ３２ｂ，Ｄ３６ｂよりも大きいことに起因して、表絞り率が裏絞り率よりも大きく、且つ表拡張率が裏拡張率よりも大きくなっている。
絞り部１１１，１１２が計測流路３２を縮小する割合を縮小率と称すると、この縮小率は絞り率と比例する。このため、表絞り部１１１の表絞り率が大きいほど、表絞り部１１１が計測流路３２を縮小する表縮小率が大きくなる。例えば、表縮小率と表絞り率とは同じ値になっている。同様に、裏絞り部１１２の裏絞り率が大きいほど、裏絞り部１１２が計測流路３２を縮小する裏縮小率が大きくなる。したがって、本実施形態では、表絞り率が裏絞り率よりも大きいことに起因して、表縮小率が裏縮小率よりも大きくなっている。例えば、裏縮小率と裏絞り率とは同じ値になっている。
センサ支持部５１は、上流曲がり路４０６及び下流曲がり路４０７において表計測壁面１０３と裏計測壁面１０４との中央位置に設けられているのに対して、センサ路４０５においては表計測壁面１０３寄りの位置に設けられている。これは、表計測壁面１０３での表絞り部１１１の突出寸法が、裏計測壁面１０４での裏絞り部１１２の突出寸法よりも大きいためである。具体的には、表絞り上流面４３３及び表拡張下流面４３４に対する表頂部１１１ａの突出寸法Ｄ３２ａ，Ｄ３６ａが、裏絞り上流面４４３及び裏拡張下流面４４４に対する裏頂部１１２ａの突出寸法Ｄ３２ｂ，Ｄ３６ｂよりも大きくなっている。これにより、センサ支持部５１の中心線ＣＬ３２と表頂部１１１ａとの離間距離Ｄ３３ａが、中心線ＣＬ３２と裏頂部１１２ａとの離間距離Ｄ３３ｂよりも小さくなっている。
ハウジング２１は計測仕切部４５１を有している。計測仕切部４５１は、奥行き方向Ｚにおいて案内計測路３５２と排出計測路３５４との間に設けられており、これら案内計測路３５２と排出計測路３５４とを仕切っている。また、計測仕切部４５１は、高さ方向Ｙにおいて通過流路３１や分岐計測路３５１と検出計測路３５３との間に設けられており、これら通過流路３１や分岐計測路３５１と通過流路３１とを仕切っている。計測仕切部４５１は、幅方向Ｘにおいて表計測壁面１０３と裏計測壁面１０４とにかけ渡されており、内計測曲がり面４０２を形成している。計測仕切部４５１の外面には、計測床面１０１や上流内曲がり面４１５、下流内曲がり面４２５等の内計測曲がり面４０２が含まれている。
絞り部１１１，１１２は、計測仕切部４５１から計測天井面１０２に向けて延びている。絞り部１１１，１１２は、奥行き方向Ｚにおいて計測仕切部４５１から上流外曲がり面４１１側及び下流外曲がり面４２１側のいずれにもはみ出していない。奥行き方向Ｚにおいて、計測仕切部４５１の幅寸法は、絞り部１１１，１１２の長さ寸法Ｗ３１ａ，Ｗ３１ｂと同じ又はそれよりも小さくなっている。絞り部１１１，１１２は、上流曲がり路４０６と下流曲がり路４０７との間に設けられている。本実施形態では、絞り部１１１，１１２の上流端部が上流曲がり路４０６に設けられ、下流端部が下流曲がり路４０７に設けられているが、この構成についても、絞り部１１１，１１２が上流曲がり路４０６と下流曲がり路４０７との間に設けられている、とする。
図４〜図７に示すように、通過入口３３はハウジング上流面２１ｃに設けられており、吸気通路１２での上流側に向けて開放されている。このため、吸気通路１２を主流方向に流れる主流が通過入口３３に流れ込みやすくなっている。通過出口３４はハウジング下流面２１ｄに設けられており、吸気通路１２での下流側に向けて開放されている。このため、通過出口３４から流れ出る空気は、吸気通路１２において主流と共に下流に向けて流れやすくなっている。
計測出口３６は、ハウジング表面２１ｅ及びハウジング裏面２１ｆのそれぞれに設けられている。ハウジング表面２１ｅ及びハウジング裏面２１ｆは並び線ＣＬ３１に沿って延びており、計測出口３６は、並び線ＣＬ３１に直交する直交方向に向けて開放されている。このため、吸気通路１２を主流方向に流れる主流は計測出口３６に流れ込みにくくなっており、計測出口３６から流れ出る空気は、吸気通路１２において主流と共に下流に向けて流れやすくなっている。また、吸気通路１２において主流が計測出口３６の近くを通過すると、計測流路３２内にて計測出口３６の近くにある空気が主流に引っ張られるような状態になって、計測出口３６から空気が流れ出しやすくなる。これにより、計測流路３２内の空気が計測出口３６から流れ出しやすくなる。なお、幅方向Ｘが直交方向に相当する。
次に、計測流路３２を流れる空気の流れ態様について説明する。
図２３に示すように、通過流路３１から計測入口３５を通って計測流路３２に流れ込んだ空気には、外計測曲がり面４０１に沿って進む外曲がり流ＡＦ３１と、内計測曲がり面４０２に沿って進む内曲がり流ＡＦ３２とが含まれている。上述したように、計測流路３２においては、外計測曲がり面４０１が全体として凹むように曲がっているため、外曲がり流ＡＦ３１は、外計測曲がり面４０１に沿って進みやすくなっている。内計測曲がり面４０２が全体として膨らむように曲がっているため、内曲がり流ＡＦ３２は、内計測曲がり面４０２に沿って進みやすくなっている。また、外計測曲がり面４０１及び内計測曲がり面４０２が幅方向Ｘに直交する方向に曲がっているのに対して、絞り部１１１，１１２は計測流路３２を幅方向Ｘに絞っている。したがって、計測流路３２では、外曲がり流ＡＦ３１と内曲がり流ＡＦ３２とが混じり合うように気流の乱れが発生する、ということが生じにくくなっている。
計測流路３２において上流曲がり路４０６に到達した外曲がり流ＡＦ３１は、上流外曲がり面４１１に沿って流れることで向きを変える。この場合、上流外曲がり面４１１の曲がりが下流外曲がり面４２１の曲がりよりもゆるくなっている構成により、上流外曲がり面４１１の曲がりが十分にゆるくなっているため、外曲がり流ＡＦ３１に渦等の乱れが生じにくくなっている。
図２５に示すように、計測流路３２を流れる気流には、センサ支持部５１と表絞り面４３１との間に流れ込んでいく表寄り流ＡＦ３３と、センサ支持部５１と裏絞り面４４１との間に流れ込んでいく裏寄り流ＡＦ３４とが含まれている。なお、曲がり流ＡＦ３１，ＡＦ３２のうち、表計測壁面１０３に沿って流れて絞り部１１１，１１２に到達した空気が表寄り流ＡＦ３３に含まれやすく、裏計測壁面１０４に沿って流れて絞り部１１１，１１２に到達した空気が裏寄り流ＡＦ３４に含まれやすい。
センサ支持部５１の表側については、表絞り面４３１の絞り度合いが表頂部１１１ａに向けて徐々に大きくなっているように、表寄り流ＡＦ３３の整流効果が表頂部１１１ａに向けて徐々に大きくなっている。しかも、表頂部１１１ａの突出寸法Ｄ３２ａ，Ｄ３６ａが裏頂部１１２ａの突出寸法Ｄ３２ｂ，Ｄ３６ｂよりも大きくなっていることで、表絞り面４３１の整流効果が十分に高められている。これらのことにより、表絞り面４３１とセンサ支持部５１とにより十分に整流された状態の表寄り流ＡＦ３３が流量センサ２２に到達するため、流量センサ２２による流量の検出精度が高くなりやすい。
表寄り流ＡＦ３３は、表頂部１１１ａに向けて徐々に加速されていく。そして、表寄り流ＡＦ３３は、表絞り部１１１とセンサ支持部５１との間の領域が表拡張面４３２により拡張されていることに起因して、表頂部１１１ａとセンサ支持部５１との間から噴流として吹き出されるようにして下流曲がり路４０７に向けて進む。ここで、表拡張面４３２とセンサ支持部５１との間の領域が急激に拡張されていると、表寄り流ＡＦ３３が表拡張面４３２から剥離することなどにより渦等の乱れが生じやすくなることが懸念される。これに対して、表拡張面４３２の長さ寸法Ｗ３３ａが表絞り面４３１の長さ寸法Ｗ３２ａよりも大きくなっている構成により、表拡張面４３２とセンサ支持部５１との間の領域が緩やかに拡張されている。このため、表拡張面４３２からの表寄り流ＡＦ３３の剥離が生じにくく、表頂部１１１ａよりも下流側において渦流等の乱れが生じにくくなっている。
センサ支持部５１の裏側については、裏絞り面４４１の絞り度合が裏頂部１１２ａに向けて徐々に大きくなっていることで、裏寄り流ＡＦ３４の整流効果が裏頂部１１２ａに向けて徐々に大きくなっている。この場合、裏絞り面４４１とセンサ支持部５１とにより十分に整流された状態の裏寄り流ＡＦ３４が裏頂部１１２ａに到達するため、この裏寄り流ＡＦ３４は、裏頂部１１２ａを通過した後にも乱れにくい。
裏寄り流ＡＦ３４は、裏頂部１１２ａに向けて徐々に加速されていく。そして、裏寄り流ＡＦ３４は、裏絞り部１１２とセンサ支持部５１との間の領域が裏拡張面４４２により拡張されていることに起因して、裏頂部１１２ａとセンサ支持部５１との間から噴流として吹き出されるようにして下流曲がり路４０７に向けて進む。ここで、裏拡張面４４２とセンサ支持部５１との間の領域が急激に拡張されていると、裏寄り流ＡＦ３４が裏拡張面４４２から剥離することなどにより渦等の乱れが生じやすくなることが懸念される。これに対して、裏拡張面４４２の長さ寸法Ｗ３３ｂが裏絞り面４４１の長さ寸法Ｗ３２ｂよりも大きくなっている構成により、裏拡張面４４２とセンサ支持部５１との間の領域が緩やかに拡張されている。このため、裏拡張面４４２からの裏寄り流ＡＦ３４の剥離が生じにくく、裏頂部１１２ａよりも下流側において渦流等の乱れが生じにくくなっている。
表寄り流ＡＦ３３と裏寄り流ＡＦ３４とは、センサ支持部５１を通過した後にセンサ路４０５や下流曲がり路４０７にて合流すると考えられる。例えば、裏寄り流ＡＦ３４の流れが乱れていると、センサ支持部５１よりも下流側において気流の乱れが生じ、表寄り流ＡＦ３３が表絞り部１１１とセンサ支持部５１との間を通過しにくくなりやすい。この場合、流量センサ２２を通過する表寄り流ＡＦ３３の流量や流速が不足して、流量センサ２２による流量の検出精度が低下することが懸念される。これに対して、本実施形態では、裏寄り流ＡＦ３４が裏絞り部１１２により整流されるため、センサ支持部５１を通過した裏寄り流ＡＦ３４が乱れていることでセンサ支持部５１よりも下流側において気流の乱れが生じるということが抑制される。
表寄り流ＡＦ３３及び裏寄り流ＡＦ３４が、センサ支持部５１と絞り部１１１，１１２との間から下流曲がり路４０７に向けて吹き出された場合、これら寄り流ＡＦ３３，ＡＦ３４は、並び線ＣＬ３１に沿って下流外曲がり面４２１に向けて順流として進む。寄り流ＡＦ３３，ＡＦ３４が下流外曲がり面４２１に当たった場合、この寄り流ＡＦ３３，ＡＦ３４は、下流外曲がり面４２１にて跳ね返って流量センサ２２側に戻る向きに計測流路３２を逆流することが懸念される。特に、下流外縦面４２３に当たった場合には、寄り流ＡＦ３３，ＡＦ３４が並び線ＣＬ３１に沿って流量センサ２２に向けて逆流しやすいと考えられる。逆流が順流に抗して流量センサ２２に到達した場合には、流量センサ２２が検出する空気の流れの向きが実際の流れとは逆になるなど、流量センサ２２の検出精度が低下してしまう。また、逆流が流量センサ２２に到達しなくても、逆流によって順流が流れにくくなることで、流量センサ２２の検出流量が実際の流量よりも小さくなるなど、流量センサ２２の検出精度が低下してしまう。
これに対して、本実施形態では、流量センサ２２が下流外曲がり面４２１よりも上流外曲がり面４１１に近い位置に設けられていることで、流量センサ２２が下流外曲がり面４２１から極力離れた位置にある。この構成では、センサ支持部５１と絞り部１１１，１１２との間から吹き出された寄り流ＡＦ３３，ＡＦ３４が下流外曲がり面４２１に到達するまでにこの寄り流ＡＦ３３，ＡＦ３４の勢いが低下しやすい。このため、寄り流ＡＦ３３，ＡＦ３４が下流外曲がり面４２１にて跳ね返って逆流になったとしても、この逆流の勢いがなくて流量センサ２２までは到達しにくい。また、流量センサ２２が下流外曲がり面４２１から離れているほど、逆流が流量センサ２２に到達するまでの距離も長くなるため、逆流が流量センサ２２に到達することが確実に抑制される。
流量センサ２２を通る仮想線を並び線ＣＬ３１としているため、表寄り流ＡＦ３３のうち流量センサ２２を通過した空気は並び線ＣＬ３１に沿って流れやすい。このため、並び線ＣＬ３１上での流量センサ２２と下流外曲がり面４２１との離間距離Ｌ３１ｂを極力大きくすることで、表寄り流ＡＦ３３のうち流量センサ２２を通過した空気が下流外曲がり面４２１に到達するまでの距離を極力大きくできる。ここで、本実施形態のように、並び線ＣＬ３１が下流外縦面４２３を通っている構成では、流量センサ２２を通過した空気が下流外縦面４２３に当たって跳ね返ると、そのまま流量センサ２２に戻るように逆流しやすいと考えられる。このため、並び線ＣＬ３１が下流外縦面４２３を通っている構成では、並び線ＣＬ３１での流量センサ２２と下流外曲がり面４２１との離間距離Ｌ３１ｂを極力大きい値にすることは、流量センサ２２に逆流が到達しにくくする上で効果的である。
ここまで説明した本実施形態によれば、下流外曲がり面４２１の凹み度合いが上流外曲がり面４１１の凹み度合いよりも大きくなっている。この構成では、下流外曲がり面４２１の凹み度合いを極力大きくすることで、下流曲がり路４０７の断面積や容積を極力大きくすることが可能であるため、下流曲がり路４０７を空気が流れる際の圧力損失を低減することができる。このように、下流曲がり路４０７での圧力損失を低減することで、流量センサ２２を通過した空気が下流曲がり路４０７で詰まったような状態が発生しにくくなり、流量センサ２２を通過する空気の量や流速が不足するということが生じにくくなる。このため、流量センサ２２による流量の検出精度が低下することができ、その結果、エアフロメータ２０による流量の計測精度を高めることができる。
ここで、下流曲がり路４０７の断面積や容積を極力大きくするには、下流曲がり路４０７を幅方向Ｘや奥行き方向Ｚに拡張する方法が考えられる。ところが、この方法では、ハウジング２１が幅方向Ｘや奥行き方向Ｚに大型化することが懸念される。この場合、吸気通路１２での空気の流れがハウジング２１によって乱れ、流量センサ２２の検出精度が低下しやすくなる。また、この場合、ハウジング２１の成型に必要な樹脂材料が増加し、ハウジング２１の製造コストが増加しやすくなる。
これに対して、本実施形態では、下流外曲がり面４２１の凹み度合いを極力大きくすることで、下流曲がり路４０７の断面積や容積を極力大きくしているため、ハウジング２１の大型化を回避できる。この場合、吸気通路１２での空気の流れがハウジング２１によって乱れるということが生じにくくなるため、流量センサ２２の検出精度を高めることができる。また、この場合、ハウジング２１の成型に必要な樹脂材料を低減しやすくなるため、ハウジング２１を製造する際のコスト増加を抑制できる。
本実施形態によれば、下流外曲がり面４２１の曲がり部分が下流外入隅部４２４により形成されている。この構成では、下流外曲がり面４２１が遠回りしない範囲で下流外曲がり面４２１の凹み度合いを最も大きくすることができる。すなわち、下流外曲がり面４２１の形状によって下流曲がり路４０７を拡張できる範囲のうち、下流曲がり路４０７の断面積や容積が最も大きい構成を実現できる。
本実施形態によれば、下流外曲がり面４２１と下流内曲がり面４２５との離間距離Ｌ３５ｂが、上流外曲がり面４１１と上流内曲がり面４１５との離間距離Ｌ３５ａよりも大きくなっている。この構成では、計測流路３２の中心線ＣＬ４に直交した方向において、下流外曲がり面４２１と下流内曲がり面４２５とが互いに極力離れた構成を実現できる。このため、下流曲がり路４０７やハウジング２１を幅方向Ｘに拡張しなくても、下流外曲がり面４２１と下流内曲がり面４２５との位置関係によって、下流曲がり路４０７の断面積や容積を極力大きくすることができる。
本実施形態によれば、下流内曲がり面４２５の膨らみ度合いが上流内曲がり面４１５の膨らみ度合いよりも小さくなっている。このため、下流曲がり路４０７やハウジング２１を幅方向Ｘに拡張しなくても、下流内曲がり面４２５の形状によって、下流曲がり路４０７の断面積や容積を極力大きくすることができる。
本実施形態によれば、下流内曲がり面４２５の曲率半径Ｒ３２が上流内曲がり面４１５の曲率半径Ｒ３１よりも大きいことで、下流内曲がり面４２５の膨らみ度合いが上流内曲がり面４１５の膨らみ度合いよりも小さい構成が実現されている。この構成では、下流内曲がり面４２５の膨らみ度合いを極力小さくしつつ、流量センサ２２側から下流曲がり路４０７に到達した空気が下流内曲がり面４２５の湾曲に沿って計測出口３６に向けて流れやすくなる。このため、下流曲がり路４０７に空気が留まって下流曲がり路４０７での圧力損失が増加するということを、下流内曲がり面４２５の形状によって抑制できる。
本実施形態によれば、並び線ＣＬ３１上において、流量センサ２２と下流外曲がり面４２１との離間距離Ｌ３１ｂが、流量センサ２２と上流外曲がり面４１１との離間距離Ｌ３１ａよりも大きくなっている。この構成では、上流外曲がり面４１１と下流外曲がり面４２１との間において、流量センサ２２を下流外曲がり面４２１から極力離れた位置に配置することができる。このため、仮に、計測流路３２において流量センサ２２を通過した空気が下流外曲がり面４２１に当たって流量センサ２２側に戻る向きに逆流したとしても、その逆流が流量センサ２２に届きにくくなっている。また、逆流に伴う気流の乱れが下流曲がり路４０７にて生じたとしても、この乱れが流量センサ２２に届きにくくなっている。したがって、流量センサ２２による流量検出の精度低下を抑制できる。この結果、エアフロメータ２０による流量の計測精度を高めることができる。
ここで、流量センサ２２と下流外曲がり面４２１との離間距離Ｌ３１ｂを極力大きくするには、検出計測路３５３を奥行き方向Ｚに伸ばすことなどにより下流外曲がり面４２１を流量センサ２２から離間させる方法が考えられる。ところが、この方法では、ハウジング２１が奥行き方向Ｚに大型化することが懸念される。これに対して、本実施形態では、検出計測路３５３での流量センサ２２の位置を上流外曲がり面４１１寄りの位置に設定することで、流量センサ２２と下流外曲がり面４２１との離間距離Ｌ３１ｂを極力大きくしているため、ハウジング２１の大型化を回避できる。
本実施形態によれば、流量センサ２２が設置されたセンサ路４０５が並び線ＣＬ３１に沿って延びている。この構成では、流量センサ２２に沿って流れる空気が並び線ＣＬ３１に沿って真っ直ぐに進みやすくなるため、流量センサ２２周辺において気流の乱れが生じにくくなる。この場合、流量センサ２２周辺での空気の流速が安定しやすくなるため、流量センサ２２の検出精度を高めることができる。しかも、流量センサ２２が下流外曲がり面４２１から極力離れた位置に配置されていることで、下流曲がり路４０７での気流の乱れが流量センサ２２に付与されにくくなっているため、流量センサ２２周辺での気流の乱れをより確実に抑制できる。この場合、流量センサ２２周辺での空気の流速が更に安定しやすくなるため、流量センサ２２の検出精度を更に高めることができる。
本実施形態によれば、並び線ＣＬ３１に沿って延びているセンサ路４０５において、流量センサ２２が下流曲がり路４０７よりも上流曲がり路４０６に近い位置に設けられている。この構成では、センサ路４０５において、流量センサ２２周辺での空気の乱れを抑制し且つ空気の流速を安定化させた上で、流量センサ２２を下流外曲がり面４２１から極力離れた位置に配置できる。
本実施形態によれば、並び線ＣＬ３１上において、センサ支持部５１が下流曲がり路４０７よりも上流外曲がり面４１１に近い位置に設けられている。この構成では、センサ支持部５１を下流曲がり路４０７から極力離れた位置に配置することができるため、下流曲がり路４０７に流れ込んだ気流がセンサ支持部５１の存在によって乱れやすくなってしまうということを抑制できる。
本実施形態によれば、並び線ＣＬ３１が下流外曲がり面４２１の下流外縦面４２３を通っている。この構成では、下流外縦面４２３が下流曲がり路４０７の下流端部から上流側に向けて真っ直ぐに延びていることに起因して、下流外曲がり面４２１のうち最も流量センサ２２から遠い部分を並び線ＣＬ３１が通っていることになる。このように、流量センサ２２を通った空気が下流外曲がり面４２１に到達するまでに要する距離を極力大きくすることで、流量センサ２２を通った空気が下流外曲がり面４２１で跳ね返って逆流として流量センサ２２まで戻るということを確実に抑制できる。
本実施形態によれば、下流内曲がり面４２５が湾曲しているため、下流曲がり路４０７において下流外曲がり面４２１と下流内曲がり面４２５との離間距離Ｌ３５ｂを極力大きくできる。この構成では、下流内曲がり面４２５が湾曲していることで下流曲がり路４０７の断面積が極力大きくされていることで、下流曲がり路４０７の容積が極力大きくなっている。このため、仮に下流外曲がり面４２１での空気の跳ね返り等により下流曲がり路４０７にて気流の乱れが生じたとしても、この乱れごと下流曲がり路４０７の空気が計測出口３６に向けて流れやすくなっている。したがって、下流曲がり路４０７から流量センサ２２に逆流が到達するということをより確実に抑制できる。
本実施形態によれば、計測流路３２を徐々に絞った後に徐々に拡張する絞り部１１１，１１２が上流曲がり路４０６の上流端部と下流曲がり路４０７の下流端部との間に設けられている。この構成では、絞り部１１１，１１２を通過した空気が噴流として下流曲がり路４０７に向けて勢いよく吹き出され、下流外曲がり面４２１にて跳ね返りやすくなることが懸念される。このため、下流外曲がり面４２１にて跳ね返った空気が流量センサ２２に到達することを抑制する上で、流量センサ２２を下流外曲がり面４２１から極力離間した位置に設けることは効果的である。
本実施形態によれば、絞り部１１１，１１２においては、拡張面４３２，４４２の長さ寸法Ｗ３３ａ，Ｗ３３ｂが絞り面４３１，４４１の長さ寸法Ｗ３２ａよりも大きくなっている。この構成では、計測流路３２の急激な拡張によって気流の剥離などの乱れが生じないように、拡張面４３２，４４２による計測流路３２の拡張度合いや拡張率が穏やかになっている。これにより、絞り部１１１，１１２を通過した空気によって下流曲がり路４０７での流れが乱れるということを抑制できる。
本実施形態によれば、絞り部１１１，１１２が下流外曲がり面４２１よりも上流外曲がり面４１１に近い位置に設けられている。この構成では、上流外曲がり面４１１と下流外曲がり面４２１との間において、絞り部１１１，１１２を下流外曲がり面４２１から極力離れた位置に配置することができる。このため、ハウジング２１を大型化させることなく、絞り部１１１，１１２を通過した空気が下流外曲がり面４２１に当たる勢いを低減させることができる。
本実施形態によれば、表計測壁面１０３と裏計測壁面１０４とが上流曲がり路４０６を挟んで対向しており、これら計測壁面１０３，１０４に絞り部１１１，１１２が設けられている。この構成では、上流曲がり路４０６にて空気が曲がる向きと、絞り部１１１，１１２によって空気が絞られる向きとがほぼ直交している。このため、上流外曲がり面４１１に沿って流れる外曲がり流ＡＦ３１等の気流と、上流内曲がり面４１５に沿って流れる内曲がり流ＡＦ３２等の気流とが、絞り部１１１，１１２を通過する際に混じり合うようにして乱れが発生する、ということが生じにくい。したがって、絞り部１１１，１１２による気流の整流効果を高めることができる。
本実施形態によれば、上流外曲がり面４１１が湾曲している。この構成では、外計測曲がり面４０１に沿って流れる外曲がり流ＡＦ３１等の気流の向きが上流外曲がり面４１１によって徐々に変わるため、上流外曲がり面４１１に沿って流れる気流が乱れにくくなっている。このため、流量センサ２２に到達する外曲がり流ＡＦ３１等の空気が乱れにくく、下流曲がり路４０７に向けて吹き出される空気も乱れにくい。
本実施形態によれば、計測流路３２に沿って延びる内計測曲がり面４０２が全体として流量センサ２２に向けて膨らむように曲がっている。この構成では、内計測曲がり面４０２に凹部が形成されていないため、内計測曲がり面４０２に沿って流れる内曲がり流ＡＦ３２等の空気が凹部に入り込んで渦等の乱れが生じるということが生じにくくなっている。このため、流量センサ２２に到達する内曲がり流ＡＦ３２等の空気が乱れにくく、下流曲がり路４０７に向けて吹き出される空気も乱れにくい。
本実施形態によれば、ハウジング２１の外面のうちハウジング表面２０１ｅ及びハウジング裏面２１ｆに計測出口３６が設けられている。この構成では、吸気通路１２においてハウジング表面２１ｅやハウジング裏面２１ｆに沿って計測出口３６に沿って空気が流れると、この空気に引っ張られるようにして計測流路３２内の空気が計測出口３６から流れ出す、という事象が生じやすくなっている。このため、仮に下流曲がり路４０７において空気の跳ね返り等によって気流の乱れが生じても、吸気通路１２においてハウジング２１の外部を流れる空気を利用して、気流の乱れごと下流曲がり路４０７から計測出口３６に向けて空気が流れやすくできる。
＜構成群Ｅの説明＞
図１０、図１１、図２６に示すように、センサＳＡ５０のモールド上流面５５ｃはモールド上流傾斜面４７１を有している。モールド上流傾斜面４７１は、モールド先端面５５ａの上流端部からモールド基端面５５ｂに向けて斜めに真っ直ぐに延びており、高さ方向Ｙに対して傾斜した上流傾斜部に相当する。また、モールド下流面５５ｄはモールド下流傾斜面４７２を有している。モールド下流傾斜面４７２は、モールド先端面５５ａの下流端部からモールド基端面５５ｂに向けて斜めに延びており、高さ方向Ｙに対して傾斜した下流傾斜部に相当する。モールド上流傾斜面４７１及びモールド下流傾斜面４７２は、いずれも並び断面ＣＳ４１に対して傾斜しており、この並び断面ＣＳ４１を高さ方向Ｙに跨いだ状態になっている。
図２６、図２７に示すように、表絞り部１１１の上流端部である表上流端部１１１ｂは、表絞り面４３１と表絞り上流面４３３との境界部に配置されている。表絞り部１１１の下流端部である表下流端部１１１ｃは、表拡張面４３２と表拡張下流面４３４との境界部に配置されている。また、裏絞り部１１２の上流端部である裏上流端部１１２ｂは、裏絞り面４４１と裏絞り上流面４４３との境界部に配置されている。裏絞り部１１２の０下流端部である裏下流端部１１２ｃは、裏拡張面４４２と裏拡張下流面４４４との境界部に配置されている。
センサＳＡ５０のモールド上流傾斜面４７１は、表絞り部１１１の表上流端部１１１ｂと裏絞り部１１２の裏上流端部１１２ｂとの両方を奥行き方向Ｚに跨ぐ位置に配置されている。ここで、モールド上流傾斜面４７１のモールド先端側の端部を先端側端部４７１ａと称し、モールド基端側の端部を基端側端部４７１ｂと称する。この場合先端側端部４７１ａは、奥行き方向Ｚにおいて絞り部１１１，１１２の上流端部１１１ｂ，１１２ｂよりも下流側に設けられている。また、モールド上流傾斜面４７１の基端側端部４７１ｂは、奥行き方向Ｚにおいて絞り部１１１，裏絞り部１１２よりも上流側に設けられている。絞り部１１１，１１２の上流端部１１１ｂ，１１２ｂは、奥行き方向Ｚにおいて、モールド上流傾斜面４７１の基端側端部４７１ｂよりも先端側端部４７１ａに近い位置に設けられている。
モールド下流傾斜面４７２は、表絞り部１１１の表下流端部１１１ｃと裏絞り部１１２の裏下流端部１１２ｃとの両方を奥行き方向Ｚに跨ぐ位置に配置されている。ここで、モールド下流傾斜面４７２のモールド先端側の端部を先端側端部４７２ａと称し、モールド基端側の端部を基端側端部４７２ｂと称する。この場合、先端側端部４７２ａは、奥行き方向Ｚにおいて絞り部１１１，１１２の下流端部１１１ｃ，１１２ｃよりも上流側に設けられている。また、モールド下流傾斜面４７２の基端側端部４７２ｂは、奥行き方向Ｚにおいて絞り部１１１，１１２よりも下流側に設けられている。絞り部１１１，１１２の下流端部１１１ｃ，１１２ｃは、奥行き方向Ｚにおいて、モールド下流傾斜面４７２の先端側端部４７２ａよりも基端側端部４７１ｂに近い位置に設けられている。
図２７に示すように、エアフロメータ２０の並び断面ＣＳ４１では、モールド上流面５５ｃのモールド上流傾斜面４７１が、絞り部１１１，１１２よりも上流側に設けられている。この場合、モールド上流傾斜面４７１は、絞り部１１１，１１２の上流端部１１１ｂ，１１２ｂと上流外曲がり面４１１との間に設けられている。並び断面ＣＳ４１においては、奥行き方向Ｚでのモールド上流傾斜面４７１と表絞り部１１１との離間距離Ｗ４１ａが、モールド上流傾斜面４７１と裏絞り部１１２との離間距離Ｗ４１ｂと同じになっている。また、離間距離Ｗ４１ａは表絞り面４３１の長さ寸法Ｗ３２ａよりも小さく、離間距離Ｗ４１ｂは裏絞り面４４１の長さ寸法Ｗ３２ｂよりも小さくなっている。
また、並び断面ＣＳ４１では、モールド下流面５５ｄのモールド下流傾斜面４７２が、絞り部１１１，１１２の下流端部１１１ｃ，１１２ｃよりも上流側に設けられている。この場合、奥行き方向Ｚにおいて、モールド下流面５５ｄのモールド下流傾斜面４７２が、絞り部１１１，１１２の頂部１１１ａ，１１２ａと下流端部１１１ｃ，１１２ｃとの間に設けられている。並び断面ＣＳ４１においては、奥行き方向Ｚでのモールド下流傾斜面４７２と表絞り部１１１の表下流端部１１１ｃとの離間距離Ｗ４２ａが、モールド下流傾斜面４７２と裏絞り部１１２の裏下流端部１１２ｃとの離間距離Ｗ４２ｂと同じになっている。離間距離Ｗ４２ａは表拡張面４３２の長さ寸法Ｗ３３ａよりも小さく、離間距離Ｗ４２ｂは裏拡張面４４２の長さ寸法Ｗ３３ｂよりも小さくなっている。
センサ支持部５１のモールド上流傾斜面４７１のうち並び断面ＣＳ４１に配置された部分は、案内計測路３５２と高さ方向Ｙに並ぶ位置にある。この部分は、上流曲がり路４０６において、上流内曲がり面４１５よりもハウジング下流側に設けられている。なお、計測流路３２においては、案内計測路３５２を第１区間と称し、検出計測路３５３を第２区間と称し、排出計測路３５４を第３区間と称することもできる。また、排出計測路３５４は、高さ方向Ｙに真っ直ぐに延びた部分と、計測出口３６から高さ方向Ｙに傾斜した方向に延びた部分とを有している。
流量センサ２２は、計測流路３２を流れる空気の流速が最も大きくなる位置に合わせて配置されている。具体的には、流量センサ２２は、空気の流速が最も大きくなる位置に設けられている。本実施形態では、計測流路３２において空気の流速が最も大きくなる位置が表頂部１１１ａが設けられた位置であり、流量センサ２２は、表頂部１１１ａに対向する位置に設けられている。
ここまで説明した本実施形態によれば、計測流路３２に絞り部１１１が設けられているため、計測流路３２を流れる空気を整流することができる。しかも、並び断面ＣＳ４１において、センサ支持部５１のモールド上流面５５ｃが絞り部１１１，１１２よりも上流側に設けられている。この構成では、並び断面ＣＳ４１に沿ってモールド上流面５５ｃを通過した空気は、並び断面ＣＳ４１において絞り部１１１，１１２の全体で整流される。この場合、計測流路３２を流れる空気がセンサ支持部５１に到達することで気流の乱れが発生したとしても、この気流の乱れを絞り部１１１，１１２の全体で低減することができる。すなわち、絞り部１１１，１１２による整流効果がセンサ支持部５１の存在によって低下するということが生じにくい。このため、流量センサ２２による流量の検出精度が低下するということを抑制でき、その結果、エアフロメータ２０による流量の計測精度を高めることができる。
本実施形態によれば、モールド上流傾斜面４７１が絞り部１１１，１１２の上流端部１１１ｂ，１１２ｂを奥行き方向Ｚに跨ぐ位置に配置されている。この構成では、計測流路３２において、モールド上流傾斜面４７１の全体やモールド上流面５５ｃの全体を絞り部１１１，１１２よりも上流側に配置するという必要がないため、センサ支持部５１やモールド部５５を小型化することができる。このため、上流側へのセンサ支持部５１の大型化によって計測流路３２での気流が乱れる、ということを抑制できる。
また、計測流路３２の断面積Ｓ４を計測入口３５側から流量センサ２２に向けて減少させていく構成を、計測流路３２を絞る構成と称すると、絞り面４３１，４４１と共にセンサ支持部５１も計測流路３２を絞る構成に含まれることになる。このため、モールド上流傾斜面４７１が絞り部１１１，１１２の上流端部１１１ｂ，１１２ｂを奥行き方向Ｚに跨ぐ位置に設けられていることで、センサ支持部５１と絞り部１１１，１１２とが計測流路３２を流量センサ２２に向けて連続的に絞ることができる。これにより、計測流路３２の断面積Ｓ４が計測入口３５側から流量センサ２２に向けて増加したり減少したりして、センサ支持部５１や絞り部１１１，１１２による整流効果が低下する、ということを抑制できる。
これに対して、例えば、計測流路３２が延びる方向において、例えばセンサ支持部５１と絞り部１１１，１１２とが互いに離間した位置に設けられた構成では、センサ支持部５１と絞り部１１１，１１２との間で流量センサ２２の断面積Ｓ４が増加してしまう。すなわち、センサ支持部５１と絞り部１１１，１１２とで計測流路３２を流量センサ２２に向けて連続的に絞ることができない。この場合、計測流路３２の断面積Ｓ４が計測入口３５側から流量センサ２２に向けて増加したり減少したりして、センサ支持部５１や絞り部１１１，１１２による整流効果が低下する、ということが懸念される。
しかも、モールド上流傾斜面４７１が絞り部１１１，１１２の上流端部１１１ｂ，１１２ｂを奥行き方向Ｚに跨ぐ位置に設けられた構成では、計測流路３２でのセンサ支持部５１の体積が計測入口３５側から流量センサ２２に向けて徐々に増加している。この場合、センサ支持部５１は、計測入口３５側から流量センサ２２に向けて計測流路３２の断面積Ｓ４が徐々に減少させることで、計測流路３２を徐々に絞ることができる。このため、センサ支持部５１による絞り度合いが急すぎて計測流路３２においてかえって気流の乱れが生じる、ということを抑制することができる。
本実施形態によれば、並び断面ＣＳ４１において、センサ支持部５１のモールド下流面５５ｄが絞り部１１１，１１２の下流端部１１１ｃ，１１２ｃよりも上流側に設けられている。この構成では、センサ支持部５１の下流端部１１１ｃ，１１２ｃを通過した空気が乱れることを、絞り部１１１，１１２の整流効果によって抑制することができる。絞り部１１１，１１２の整流効果は、頂部１１１ａ，１１２ａよりも下流側であっても拡張面４３２，４４２よって発揮される。しかも、この構成では、例えば、並び断面ＣＳ４１においてモールド下流面５５ｄが絞り部１１１，１１２よりも下流側に配置された構成に比べて、センサ支持部５１を小型化することができる。これにより、絞り部１１１，１１２による整流効果がセンサ支持部５１の大型化によって低下するということが生じにくい。
本実施形態によれば、モールド下流傾斜面４７２が絞り部１１１，１１２の下流端部１１１ｃ，１１２ｃを奥行き方向Ｚに跨ぐ位置に配置されている。この構成では、計測流路３２において、モールド下流傾斜面４７２の全体やモールド下流面５５ｄの全体を絞り部１１１，１１２の下流端部１１１ｃ，１１２ｃよりも上流側に配置するという必要がないため、センサ支持部５１やモールド部５５を小型化できる。このため、下流側へのセンサ支持部５１の大型化によって計測流路３２での気流が乱れる、ということを抑制できる。
また、計測流路３２の断面積Ｓ４を流量センサ２２から計測出口３６に向けて増加させていく構成を、計測流路３２を拡張する構成と称すると、拡張面４３２，４４２と共にセンサ支持部５１も計測流路３２を拡張する構成に含まれることになる。このため、モールド下流傾斜面４７２が絞り部１１１，１１２の下流端部１１１ｃ，１１２ｃを奥行き方向Ｚに跨ぐ位置に設けられていることで、センサ支持部５１と絞り部１１１，１１２とが計測流路３２を計測出口３６に向けて連続的に拡張できる。これにより、計測流路３２の断面積Ｓ４が流量センサ２２から計測出口３６に向けて増加したり減少したりして、センサ支持部５１や絞り部１１１，１１２による整流効果が低下する、ということを抑制できる。
本実施形態によれば、並び断面ＣＳ４１においてセンサ支持部５１のモールド先端面５５ａよりも下流側に設けられた絞り部１１１，１１２では、拡張面４３２，４４２の長さ寸法Ｗ３３ａ，Ｗ３３ｂが絞り面４３１，４４１の長さ寸法Ｗ３２ａよりも大きい。この構成では、モールド先端面５５ａを通過して絞り部１１１，１１２に到達した気流について、絞り部１１１，１１２による計測流路３２の急激な拡張によって剥離などの乱れが生じないように、計測流路３２が計測出口３６に向けて緩やかに拡張されている。このため、センサ支持部５１や絞り部１１１，１１２を通過した気流が乱れるということを抑制できる。
本実施形態によれば、表計測壁面１０３において流量センサ２２に対向する位置に表絞り部１１１が設けられている。このため、並び断面ＣＳ４１でモールド上流面５５ｃを表絞り部１１１よりも上流側に配置して表絞り部１１１の整流効果を高めた構成において、流量センサ２２に沿って流れる空気を表絞り部１１１により更に効果的に整流することができる。
本実施形態によれば、流量センサ２２を介して表絞り部１１１とは反対側に裏絞り部１１２が設けられている。このため、並び断面ＣＳ４１でモールド上流面５５ｃを表絞り部１１１よりも上流側に配置して表絞り部１１１の整流効果を高めた構成において、センサ支持部５１と裏計測壁面１０４との間を流れる空気についても裏絞り部１１２により整流することができる。したがって、センサ支持部５１と裏計測壁面１０４との間を流れる空気が乱れることで、流量センサ２２に沿って流れる空気が乱れて流量センサ２２の検出精度が低下する、ということを抑制できる。
本実施形態によれば、幅方向Ｘにおいて、センサ支持部５１が裏絞り部１１２よりも表絞り部１１１に近い位置に設けられている。このため、並び断面ＣＳ４１でモールド上流面５５ｃを表絞り部１１１よりも上流側に配置して表絞り部１１１の整流効果を高めた構成において、流量センサ２２に沿って流れる空気を対象とした表絞り部１１１による整流効果を更に高めることができる。
本実施形態によれば、表絞り部１１１による計測流路３２の縮小率が、裏絞り部１１２による計測流路３２の縮小率よりも大きくなっている。このため、並び断面ＣＳ４１でモールド上流面５５ｃを表絞り部１１１よりも上流側に配置して表絞り部１１１の整流効果を高めた構成において、表絞り部１１１による整流効果を裏絞り部１１２による整流効果よりも高めることができる。しかも、流量センサ２２に向けて流れる空気に含まれたダスト等の異物が、センサ支持部５１と表絞り部１１１との間よりもセンサ支持部５１と裏絞り部１１２との間に進入しやすい構成を実現できる。
本実施形態によれば、計測流路３２において最も流速が大きくなる位置に合わせて流量センサ２２が配置されている。このため、並び断面ＣＳ４１でモールド上流面５５ｃを表絞り部１１１よりも上流側に配置して表絞り部１１１の整流効果を高めた構成において、流量センサ２２に沿って流れる空気の量や速度が不足することを抑制できる。
本実施形態によれば、センサ支持部５１のモールド上流面５５ｃのうち並び断面ＣＳ４１に配置された部分は、上流曲がり路４０６に含まれている。このため、並び断面ＣＳ４１でモールド上流面５５ｃを表絞り部１１１よりも上流側に配置して表絞り部１１１の整流効果を高めた構成において、仮に上流曲がり路４０６において気流の乱れが生じたとしても、この乱れを絞り部１１１，１１２により低減できる。
本実施形態によれば、計測出口３６の開口面積が計測入口３５の開口面積よりも小さくなっている。このように、計測出口３６が計測入口３５よりも絞られていることで、計測流路３２の全体が計測出口３６に向けて絞られたような構成を実現できる。このため、並び断面ＣＳ４１でモールド上流面５５ｃを表絞り部１１１よりも上流側に配置して表絞り部１１１の整流効果を高めた構成において、計測流路３２の全体で更に整流効果を高めることができる。
本実施形態によれば、通過出口３４の開口面積が通過入口３３の開口面積よりも小さくなっている。このように、通過出口３４が通過入口３３よりも絞られていることで、通過流路３１の全体が計測入口３５や通過出口３４に向けて絞られたような構成を実現できる。このため、並び断面ＣＳ４１でモールド上流面５５ｃを表絞り部１１１よりも上流側に配置して表絞り部１１１の整流効果を高めた構成において、通過流路３１の全体で更に整流効果を高めることができる。
＜構成群Ｈの説明＞
図３に示すように、ハウジング２１は、フランジ孔６１１，６１２を有している。フランジ孔６１１，６１２は、フランジ部２７に設けられており、このフランジ部２７を高さ方向Ｙに貫通した貫通孔である。フランジ孔６１１，６１２は、幅方向Ｘ及び奥行き方向Ｚのそれぞれについて互いに離間した位置に設けられている。幅方向Ｘにおいて、これらフランジ孔６１１，６１２の間に通過流路３１が配置されている。フランジ孔６１１，６１２のうち、第１フランジ孔６１１は、幅方向Ｘにおいてコネクタ部２８と通過流路３１との間に設けられており、第２フランジ孔６１２は、幅方向Ｘにおいて通過流路３１を介して第１フランジ孔６１１とは反対側に設けられている。
第１フランジ孔６１１の中心ＣＯ６１と第２フランジ孔６１２の中心ＣＯ６２とを通る直線状の仮想線としてフランジ孔線ＣＬ６１を想定すると、このフランジ孔線ＣＬ６１は通過流路３１の通過入口３３に重複する。換言すれば、エアフロメータ２０をハウジング基端側から見た場合の平面視において、通過入口３３が第１フランジ孔６１１と第２フランジ孔６１２との間に設けられている。フランジ孔６１１，６１２に挿通されたネジの中心線は、高さ方向Ｙに延びており、フランジ孔６１１，６１２の中心ＣＯ６１，ＣＯ６２を通っている。
ネジによりハウジング２１を管ボス１４ｄに固定する場合に、フランジ孔６１１，６１２に対してネジが位置ずれするなどして、ネジの中心線がフランジ孔６１１，６１２の中心ＣＯ６１，ＣＯ６２からずれることが想定される。この場合、ハウジング２１は、ネジを軸に幅方向Ｘや奥行き方向Ｚに位置ずれすることになるが、ハウジング２１のうち、平面視でフランジ孔線ＣＬ６１に重複する部分は、他の部分に比べて幅方向Ｘや奥行き方向Ｚに位置ずれしにくくなっている。上述したように、通過入口３３の一部が平面視でフランジ孔線ＣＬ６１に重複しているため、吸気通路１２において通過入口３３の位置ずれが生じにくくなっている。このため、吸気通路１２での通過入口３３の位置について製品誤差が生じにくくなっており、吸気通路１２での通過入口３３への空気の流れ込みやすさが製品ごとに異なるということを抑制できる。これにより、エアフロメータ２０による流量の計測精度を高めることができる。
なお、通過入口３３は、奥行き方向Ｚに直交する方向Ｘ，Ｙにおいて吸気通路１２の中央又は中央に近い位置に配置されていることが好ましい。これは、吸気通路１２の中央が、流量や流速が最も大きくなりやすく且つ空気の流れが最も安定しやすい位置であるためである。
フランジ孔６１１，６１２には、金属製のブッシュが設けられていない。この構成では、フランジ部２７のうちフランジ孔６１１，６１２を形成する部分にネジが直接的に接触しやすい。なお、フランジ孔６１１，６１２には金属製のブッシュが設けられていてもよい。この構成では、フランジ部２７のうちフランジ孔６１１，６１２を形成する部分よりもブッシュにネジが接触しやすい。
図２８に示すように、ハウジング２１は、コネクタガイド部６１３を有している。コネクタガイド部６１３は、コネクタ部２８の外面に設けられており、コネクタ部２８の開放方向に延びている。コネクタガイド部６１３は、プラグ部がコネクタ部２８に装着される際にコネクタ部２８に対するプラグ部の位置を案内し、且つプラグ部の差し込み方向を案内する部位である。コネクタガイド部６１３は、例えば、コネクタ部２８のうちハウジング基端面２１ｂを形成する部分に設けられており、ハウジング２１において最もハウジング基端側に突出した部位になっている。
フランジ部２７の角度設定面２７ａは、高さ方向ＹにおいてセンサＳＡ５０のモールド部５５よりもハウジング基端側に設けられている。この構成では、角度設定面２７ａが管ボス１４ｄに引っ掛かっていることに起因してフランジ部２７が変形したとしても、この変形によってモールド部５５の位置が意図せずに変化するということが生じにくくなっている。このため、計測流路３２での流量センサ２２が意図せずに変化するということを抑制できる。
コネクタ部２８のコネクタ端子２８ａは、高さ方向ＹにおいてセンサＳＡ５０のモールド部５５よりもハウジング基端側に設けられている。この構成では、コネクタ部２８へのプラグ部の装着に伴ってプラグ端子がコネクタ端子２８ａに接続されたことに起因してコネクタ端子２８ａが変形したとしても、この変形によってモールド部５５の位置が意図せずに変化するということが生じにくくなっている。
コネクタ端子２８ａは、高さ方向Ｙにおいて角度設定面２７ａよりもハウジング基端側に設けられている。この場合、高さ方向Ｙでのコネクタ端子２８ａとモールド部５５との離間距離Ｈ６２が、高さ方向Ｙでの角度設定面２７ａとモールド部５５との離間距離Ｈ６１よりも大きくなっている。なお、コネクタ端子２８ａは、角度設定面２７ａよりもハウジング基端側に設けられていなくてもよい。
シール保持部２５の保持溝部２５ａは、ハウジング２１のハウジング仕切部１３１よりもハウジング基端側に設けられている。この構成では、シール部材２６が保持溝部２５ａの内面と管フランジ１４ｃの内面との両方に密着していることに起因して保持溝部２５ａが変形したとしても、この変形によってハウジング仕切部１３１が意図せずに変形するということが生じにくくなっている。このため、ハウジング仕切部１３１がＳＡ収容領域１５０と計測流路３２とを仕切っている状態が意図せずに解除されるということを抑制できる。
ハウジング２１は、先端保護凸部６１５、上流保護凸部６１６、下流保護凸部６１７を有している。これら保護凸部６１５〜６１７は、いずれもハウジング裏面２１ｆに設けられた凸部である。先端保護凸部６１５は、高さ方向Ｙにおいて吸気温センサ２３よりもハウジング先端側に設けられており、幅方向Ｘにおいて吸気温センサ２３よりもハウジング裏側に突出していない。上流保護凸部６１６は、奥行き方向Ｚにおいて吸気温センサ２３よりもハウジング上流側に設けられている。下流保護凸部６１７は、奥行き方向Ｚにおいて吸気温センサ２３よりもハウジング下流側に設けられている。上流保護凸部６１６及び下流保護凸部６１７は、幅方向Ｘにおいて吸気温センサ２３よりもハウジング裏側に突出しており、高さ方向Ｙにおいて吸気温センサ２３よりもハウジング基端側に設けられている。
高さ方向Ｙにおいて、保持溝部２５ａとハウジング仕切部１３１との離間距離Ｈ６３は、先端保護凸部６１５のハウジング先端側の端部と吸気温センサ２３との離間距離Ｈ６４よりも大きくなっている。また、離間距離Ｈ６３は、離間距離Ｈ６１，Ｈ６２，Ｈ６４のいずれよりも大きくなっている。
ハウジング２１には、コネクタ端子２８ａを有する接続ターミナル６２０が取り付けられている。図２９、図３０に示すように、接続ターミナル６２０は、コネクタ端子２８ａに加えて、リード接続端子６２１、吸気温接続端子６２２、調整接続端子６２３を有している。リード接続端子６２１は、接続ターミナル６２０に複数設けられており、高さ方向Ｙに延びている。複数のリード接続端子６２１には、コネクタ端子２８ａに接続された端子と、吸気温接続端子６２２に接続された端子と、調整接続端子６２３に接続された端子とが含まれている。
コネクタ端子２８ａ、吸気温接続端子６２２及び調整接続端子６２３は、リード接続端子６２１から高さ方向Ｙに直交する方向Ｘ，Ｚに延びている。吸気温接続端子６２２は、吸気温センサ２３のリード線２３ａに電気的に接続された端子である。吸気温接続端子６２２は、自由端が折り曲げられており、リード接続端子６２１と同様に高さ方向Ｙに延びている。吸気温接続端子６２２において折り曲げられた端部が延びる向きと、リード接続端子６２１が延びる向きとは同じになっている。このため、接続ターミナル６２０の母材を単に同じ向きに折り曲げるという作業を行うことで、吸気温接続端子６２２とリード接続端子６２１とを形成することができる。調整接続端子６２３は、エアフロメータ２０の製造時等においてコネクタ端子２８ａからの出力信号などを調整するための端子である。
コネクタ端子２８ａは、コネクタベース部６２５、コネクタ接続部６２６を有している。コネクタベース部６２５は、コネクタ端子２８ａのうちリード接続端子６２１から延びた部分であり、コネクタ端子２８ａの基端部を形成している。コネクタ接続部６２６は、コネクタ端子２８ａのうちコネクタベース部６２５から延びた部分であり、コネクタ端子２８ａの先端部を形成している。コネクタベース部６２５とコネクタ接続部６２６とは、高さ方向Ｙの厚さ寸法が同じになっている一方で、コネクタベース部６２５は、奥行き方向Ｚの幅寸法がコネクタ接続部６２６よりも大きくなっている。すなわち、コネクタベース部６２５の方がコネクタ接続部６２６よりも太くなっている。
本実施形態では、コネクタ端子２８ａが３つ設けられており、これらコネクタ端子２８ａは、互いに平行な状態で奥行き方向Ｚに並べられている。３つのコネクタ端子２８ａのうち、真ん中に配置されたコネクタ端子２８ａにおいては、奥行き方向Ｚにおいてコネクタベース部６２５の中央位置からコネクタ接続部６２６が延びている。一方の端部に配置されたコネクタ端子２８ａにおいては、コネクタベース部６２５において隣のコネクタ端子２８ａから遠い側の端部からコネクタ接続部６２６が延びている。このコネクタ端子２８ａにおいては、コネクタベース部６２５がコネクタ接続部６２６から隣のコネクタ端子２８ａ側に向けて突出した状態になっている。他方の端部に配置されたコネクタ端子２８ａにおいても、コネクタベース部６２５において隣のコネクタ端子２８ａから遠い側の端部からコネクタ接続部６２６が延びている。
接続ターミナル６２０においては、奥行き方向Ｚの幅寸法が吸気温接続端子６２２により規定されている。接続ターミナル６２０は吸気温接続端子６２２を２つ有しており、これら接続ターミナル６２０は奥行き方向Ｚに並べられている。また、接続ターミナル６２０はリード接続端子６２１を６つ有しており、これらリード接続端子６２１は奥行き方向Ｚに並べられている。吸気温接続端子６２２とリード接続端子６２１とは幅方向Ｘに並べられており、奥行き方向Ｚにおいて、２つの接続ターミナル６２０が設置された領域の幅寸法は、６つのリード接続端子６２１が設置された領域の幅寸法よりも大きくなっている。この場合、奥行き方向Ｚにおいて、６つのリード接続端子６２１が設置された領域は、２つの接続ターミナル６２０が設置された領域よりも小さくなっており、はみ出していない。
図３２に示すように、ハウジング２１の内面は、通過流路３１を形成する形成面として、通過天井面３４１、通過床面３４５に加えて、表通過壁面６３１、裏通過壁面６３２を有している。表通過壁面６３１と裏通過壁面６３２とは、通過天井面３４１や通過床面３４５を介して互いに対向する一対の壁面であり、これら通過天井面３４１と通過床面３４５とにかけ渡されている。表通過壁面６３１は、表計測壁面１０３からハウジング先端側に向けて延びており、裏通過壁面６３２は、裏計測壁面１０４からハウジング先端側に向けて延びている。
ハウジング２１の内面は、表通過絞り面６３５及び裏通過絞り面６３６を有している。表通過絞り面６３５は表通過壁面６３１に含まれており、裏通過絞り面６３６は裏通過壁面６３２に含まれている。これら通過絞り面６３５，６３６は、通過流路３１の断面積が通過入口３３側から通過出口３４に向けて徐々に小さくなるように通過流路３１を徐々に絞っている。通過絞り面６３５，６３６は、通過流路３１において計測入口３５と通過出口３４との間に設けられている。通過絞り面６３５，６３６は、出口天井面３４３と通過床面３４５とにかけ渡されており、幅方向Ｘでの表通過壁面６３１と裏通過壁面６３２との離間距離を計測入口３５から通過出口３４に向けて徐々に小さくしている。通過絞り面６３５，６３６は、通過流路３１の中心線が延びる方向である奥行き方向Ｚに対して傾斜しており、いずれも通過入口３３側を向いている。
ハウジング２１の内面は、表絞り頂部６３７及び裏絞り頂部６３８を有している。表絞り頂部６３７は、表通過壁面６３１に含まれており、表通過絞り面６３５と通過出口３４とにかけ渡された面である。裏絞り頂部６３８は、裏通過壁面６３２に含まれており、裏通過絞り面６３６と通過出口３４とにかけ渡された面である。これら絞り頂部６３７，６３８は、通過流路３１の中心線と平行に奥行き方向Ｚに延びており、互いに対向している。
図３２に示すように、ハウジング２１はハウジング外壁６５１を有している。ハウジング外壁６５１は、ハウジング２１の外面を形成しており、高さ方向Ｙに延びる筒状の部位になっている。ハウジング外壁６５１の外面は、ハウジング上流面２１ｃやハウジング下流面２１ｄ、ハウジング表面２１ｅ、ハウジング裏面２１ｆを形成している。ハウジング表面２１ｅ及びハウジング裏面２１ｆには、奥行き方向Ｚに真っ直ぐに延びた平坦面と、ハウジング上流側を向くようにこの平坦面に対して傾斜した傾斜面とが含まれている。計測出口３６は、ハウジング表面２１ｅ及びハウジング裏面２１ｆのそれぞれにおいて、平坦面と傾斜面との境界部を奥行き方向Ｚに跨ぐ位置に設けられている。
ハウジング外壁６５１には、計測孔部６５２が設けられている。計測孔部６５２は、ハウジング表面２１ｅ及びハウジング裏面２１ｆのそれぞれに対して設けられており、これら計測孔部６５２の外側端部が計測出口３６をそれぞれ形成している。計測孔部６５２は、計測出口３６から幅方向Ｘに延びている。ハウジング表側に設けられた計測孔部６５２は、ハウジング表面２１ｅに設けられた計測出口３６と表計測壁面１０３とにかけ渡されている。ハウジング裏側に設けられた計測孔部６５２は、ハウジング裏面２１ｆに設けられた計測出口３６と裏計測壁面１０４とにかけ渡されている。
計測孔部６５２の内面は、上流形成面６６１、下流形成面６６２を有している。上流形成面６６１は、計測孔部６５２のハウジング上流側の端部を形成しており、ハウジング下流側を向いている。下流形成面６６２は、計測孔部６５２のハウジング下流側の端部を形成しており、ハウジング上流側を向いている。これら上流形成面６６１及び下流形成面６６２は、幅方向Ｘにおいて計測出口３６と計測壁面１０３，１０４とにかけ渡されている。
下流形成面６６２は、下流傾斜面６６２ａ、下流対向面６６２ｂを有している。下流傾斜面６６２ａは、幅方向Ｘに対して傾斜した方向に延び、且つ斜め外側を向いた状態で高さ方向Ｙに延びている。下流対向面６６２ｂは、幅方向Ｘに延びており、上流形成面６６１と平行に対向している。幅方向Ｘでの下流傾斜面６６２ａの幅寸法は、幅方向Ｘでの上流形成面６６１の幅寸法よりも小さくなっている。一方で、幅方向Ｘでの下流傾斜面６６２ａの幅寸法は、幅方向Ｘでの下流対向面６６２ｂの幅寸法よりも大きくなっている。
計測孔部６５２においては、下流形成面６６２の下流傾斜面６６２ａが斜め外側を向いているため、計測出口３６から流れ出る空気が、計測流路３２において下流傾斜面６６２ａに沿ってハウジング下流側に向けて斜めに進むことになる。この場合、計測出口３６から流れ出た空気は、幅方向Ｘに対して傾斜してハウジング下流側に向けて進むことで、吸気通路１２を主流方向に流れる空気に合流しやすくなっている。このため、例えば、計測出口３６から幅方向Ｘに空気が流れ出る場合に比べて、計測出口３６の周辺において気流の乱れが生じにくくなっている。
（第２実施形態）
上記第１実施形態では、ＳＡ収容領域１５０に通じるハウジング開口部１５１ａが第１ハウジング部１５１のハウジング基端側に設けられていた。これに対して、第２実施形態では、ＳＡ収容領域２９０に通じるベース開口部２９１ａがベース部材２９１のハウジング表側に設けられている。本実施形態では、物理量計測装置としてエアフロメータ２０に代えてエアフロメータ２００が燃焼システム１０に含まれている。本実施形態において、第１実施形態での図面と同一符号を付した構成部品及び説明しない構成は、上記第１実施形態と同様であり、同様の作用効果を奏するものである。本実施形態では、上記第１実施形態との相違点を中心に説明する。
図３３、図３４に示すように、エアフロメータ２００が吸気通路１２に設けられている。エアフロメータ２００は、上記第１実施形態のエアフロメータ２０と同様に、物理量を計測する物理量計測装置であり、配管ユニット１４（図２、図８参照）に取り付けられている。
エアフロメータ２００は、吸気通路１２に入り込んだ入り込み部分２００ａと、吸気通路１２に入り込まずに管フランジ１４ｃから外部にはみ出したはみ出し部分２００ｂとを有している。これら入り込み部分２００ａとはみ出し部分２００ｂとは高さ方向Ｙに並んでいる。
エアフロメータ２００は、ハウジング２０１と、吸入空気の流量を検出する流量センサ２０２とを有している。ハウジング２０１は、例えば樹脂材料等により形成されている。流量センサ２０２はハウジング２０１の内部に収容されている。エアフロメータ２００においては、ハウジング２０１が吸気管１４ａに取り付けられていることで、流量センサ２０２が、吸気通路１２を流れる吸入空気と接触可能な状態になる。
ハウジング２１は、取り付け対象としての配管ユニット１４に取り付けられている。ハウジング２０１の外面においては、高さ方向Ｙに並んだ一対の端面２０１ａ，２０１ｂのうち、入り込み部分２００ａに含まれた方をハウジング先端面２０１ａと称し、はみ出し部分２００ｂに含まれた方をハウジング基端面２０１ｂと称する。ハウジング先端面２０１ａ及びハウジング基端面２０１ｂは高さ方向Ｙに直交している。
ハウジング２０１の外面においては、吸気通路１２の上流側に配置される面をハウジング上流面２０１ｃと称し、ハウジング上流面２０１ｃとは反対側に配置される面をハウジング下流面２０１ｄと称する。また、ハウジング上流面２０１ｃ及びハウジング基端面２０１ｂを介して対向する一対の面のうち一方をハウジング表面２０１ｅと称し、他方をハウジング裏面２０１ｆと称する。ハウジング表面２０１ｅは、後述するセンサＳＡ２２０において流量センサ２０２が設けられた側の面である。
なお、ハウジング２０１については、高さ方向Ｙにおいて、ハウジング先端面２０１ａ側をハウジング先端側と称し、ハウジング基端面２０１ｂ側をハウジング基端側と称する。また、奥行き方向Ｚにおいて、ハウジング上流面２０１ｃ側をハウジング上流側と称し、ハウジング下流面２０１ｄ側をハウジング下流側と称する。さらに、幅方向Ｘにおいて、ハウジング表面２０１ｅ側をハウジング表側と称し、ハウジング裏面２０１ｆをハウジング裏側と称する。
図３３、図３４、図３５に示すように、ハウジング２０１は、シール保持部２０５、フランジ部２０７及びコネクタ部２０８を有している。エアフロメータ２００はシール部材２０６を有しており、シール部材２０６はシール保持部２５に取り付けられている。
シール保持部２０５は、管フランジ１４ｃの内部に設けられており、シール部材２０６を高さ方向Ｙに位置ずれしないように保持している。シール保持部２０５は、エアフロメータ２００の入り込み部分２００ａに含まれている。シール部材２０６は、管フランジ１４ｃの内部において吸気通路１２を密閉するＯリング等の部材であり、シール保持部２０５の外周面と管フランジ１４ｃの内周面との両方に密着している。コネクタ部２０８は、流量センサ２０２に電気的に接続されたコネクタ端子２０８ａを保護する保護部である。コネクタ端子２０８ａは、ＥＣＵ１５から延びた電気配線がプラグ部を介してコネクタ部２０８に接続されることでＥＣＵ１５に電気的に接続される。例えば、コネクタ端子２０８ａは、プラグ部のプラグ端子に電気的に且つ機械的に接続される。フランジ部２０７及びコネクタ部２０８は、エアフロメータ２００のはみ出し部分２００ｂに含まれている。
ハウジング２０１は、バイパス流路２１０を有している。バイパス流路２１０は、ハウジング２０１の内部に設けられており、ハウジング２０１の内部空間の少なくとも一部により形成されている。ハウジング２０１の内面は、バイパス流路２１０を形成しており、形成面になっている。
バイパス流路２１０は、エアフロメータ２００の入り込み部分２００ａに配置されている。バイパス流路２１０は、通過流路２１１及び計測流路２１２を有している。計測流路２１２には、後述するセンサＳＡ２２０のうち流量センサ２０２とその周囲の部分とが入り込んだ状態になっている。通過流路２１１は、ハウジング２０１の内面により形成されている。計測流路２１２は、ハウジング２０１の内面に加えてセンサＳＡ２２０の一部の外面により形成されている。なお、吸気通路１２を主通路と称し、バイパス流路２１０を副通路と称することもできる。
通過流路２１１は、奥行き方向Ｚにハウジング２０１を貫通している。通過流路２１１は、その上流端部である通過入口２１３と、下流端部である通過出口２１４とを有している。計測流路２１２は、通過流路２１１の中間部分から分岐した分岐流路であり、この計測流路２１２に流量センサ２０２が設けられている。計測流路２１２は、その上流端部である計測入口２１５と、下流端部である計測出口２１６とを有している。通過流路２１１から計測流路２１２が分岐した部分はこれら通過流路２１１と計測流路２１２との境界部になっており、この境界部に計測入口２１５が含まれている。また、通過流路２１１と計測流路２１２との境界部を流路境界部と称することもできる。
計測流路２１２は、通過流路２１１からハウジング基端側に向けて延びている。計測流路２１２は、通過流路２１１とハウジング基端面２０１ｂとの間に設けられている。計測流路２１２は、計測入口２１５と計測出口２１６との間の部分がハウジング基端側に向けて膨らむように曲がっている。計測流路２１２は、連続的に曲がるように湾曲した部分や、段階的に折れ曲がるように屈折した部分、高さ方向Ｙや奥行き方向Ｚに真っ直ぐに延びた部分などを有している。
エアフロメータ２００は、流量センサ２０２を含んで構成されたセンササブアッセンブリを有しており、このセンササブアッセンブリをセンサＳＡ２２０と称する。センサＳＡ２２０は、センサＳＡ２２０の一部が計測流路２１２に入り込んだ状態でハウジング２０１の内部に埋め込まれている。エアフロメータ２００においては、センサＳＡ２２０とバイパス流路２１０とが高さ方向Ｙに並べられている。具体的には、センサＳＡ２２０と通過流路２１１とが高さ方向に並べられている。なお、センサＳＡ２２０が検出ユニットに相当する。また、センサＳＡ２２０を計測ユニットやセンサパッケージと称することもできる。
ハウジング２０１は、上流壁部２３１、下流壁部２３２、表壁部２３３、裏壁部２３４、先端壁部２３５を有している。上流壁部２３１はハウジング上流面２０１ｃを形成しており、下流壁部２３２はハウジング下流面２０１ｄを形成している。表壁部２３３はハウジング表面２０１ｅを形成しており、裏壁部２３４はハウジング裏面２０１ｆを形成している。上流壁部２３１と下流壁部２３２とは奥行き方向Ｚに互いに離間した位置に設けられており、表壁部２３３と裏壁部２３４とは幅方向Ｘに互いに離間した位置に設けられている。計測流路２１２と後述するＳＡ収容領域２９０とは、上流壁部２３１と下流壁部２３２との間であって、表壁部２３３と裏壁部２３４との間に設けられている。先端壁部２３５は、ハウジング先端面２０１ａを形成しており、高さ方向Ｙにおいてシール保持部２０５から離間した位置に設けられている。
ハウジング２０１は第１中間壁部２３６、第２中間壁部２３７を有している。中間壁部２３６，２３７は、先端壁部２３５と同様に高さ方向Ｙに直交する方向Ｘ，Ｚに板状に延びており、高さ方向Ｙにおいて先端壁部２３５とシール保持部２０５との間に設けられている。第１中間壁部２３６は、先端壁部２３５と第２中間壁部２３７との間に設けられており、第１中間壁部２３６と先端壁部２３５との間にはバイパス流路２１０が設けられている。第１中間壁部２３６は、計測流路３２とＳＡ収容領域２９０との間に設けられており、これら計測流路２１２とＳＡ収容領域２９０とを高さ方向Ｙに仕切っている。第２中間壁部２３７は、第１中間壁部２３６とシール保持部２０５との間に設けられており、ＳＡ収容領域２９０を高さ方向Ｙに仕切っている。
第１中間壁部２３６には第１中間孔２３６ａが設けられている。第１中間孔２３６ａは、第１中間壁部２３６を高さ方向Ｙに貫通している。第１中間壁部２３６の内周面は、ハウジング２０１の内面に含まれており、第１中間孔２３６ａの周縁部に沿って環状に延びている。センサＳＡ２２０においては、流量センサ２０２側の部分が第１中間孔２３６ａを高さ方向Ｙに貫通している。これにより、センサＳＡ２２０においては、モールド先端面２２５ａ及び流量センサ２０２が計測流路３２に設置され、モールド基端面２２５ｂがＳＡ収容領域２９０に設置されている。
第２中間壁部２３７には第２中間孔２３７ａが設けられている。第２中間孔２３７ａは、第２中間壁部２３７を高さ方向Ｙに貫通している。センサＳＡ２２０においては、後述するリード端子５３ａが第２中間孔２３７ａを高さ方向Ｙに貫通している。これにより、センサＳＡ２２０においては、後述するモールド部２２５が第２中間壁部２３７よりもハウジング先端側に配置され、リード端子５３ａの少なくとも先端部が第２中間壁部２３７よりもハウジング基端側に配置されている。
ＳＡ収容領域２９０においては、ハウジング２０１とセンサＳＡ２２０との隙間に図示しない充填部が充填されている。充填部は、エポキシ樹脂やウレタン樹脂、シリコン樹脂などの熱硬化性樹脂により形成されている。ここでは、熱硬化性樹脂を溶融させた状態の溶融樹脂をポッティングによりＳＡ収容領域２９０に充填し、この溶融樹脂がポッティング樹脂として固化することで充填部が形成される。充填部をポッティング部やポッティング樹脂部と称することもできる。
＜構成群Ａの説明＞
センサＳＡ２２０は、流量センサ２０２に加えてセンサ支持部２２１を有している。センサ支持部２２１は、ハウジング２０１に取り付けられており、流量センサ２０２を支持している。センサ支持部２２１は、ＳＡ基板２２３及びモールド部２２５を有している。ＳＡ基板２２３は、流量センサ２０２が搭載された基板であり、モールド部２２５は、流量センサ２０２の少なくとも一部やＳＡ基板２２３の少なくとも一部を覆っている。ＳＡ基板２２３をリードフレームと称することもできる。
モールド部２２５は、全体として板状に形成されている。モールド部２２５においては、高さ方向Ｙに並んだ一対の端面２２５ａ，２２５ｂのうち、ハウジング先端側の方をモールド先端面２２５ａと称し、ハウジング基端側の方をモールド基端面２２５ｂと称する。なお、モールド先端面２２５ａが、モールド部２２５及びセンサ支持部２２１の先端部になっており、支持先端部に相当する。また、モールド部２２５が保護樹脂部に相当する。
モールド部２２５においては、モールド先端面２２５ａ及びモールド基端面２２５ｂを挟んで設けられた一対の面のうち一方をモールド上流面２２５ｃと称し、他方をモールド下流面２２５ｄと称する。センサＳＡ２２０は、モールド先端面２２５ａがエアフロ先端側に配置され、且つモールド上流面２２５ｃがモールド下流面２２５ｄよりも計測流路２１２の上流側に配置される向きで、ハウジング２０１の内部に設置されている。
センサＳＡ２２０のモールド上流面２２５ｃは、計測流路２１２においてモールド下流面２２５ｄよりも上流側に配置されている。計測流路２１２において流量センサ２０２が設けられた部分においては、空気の流れる向きが吸気通路１２での空気の流れる向きとは反対になっている（図８参照）。このため、モールド上流面２２５ｃは、吸気通路１２においてはモールド下流面２２５ｄよりも下流側に配置されていることになる。なお、流量センサ２０２に沿って流れる空気は奥行き方向Ｚに流れ、この奥行き方向Ｚを流れ方向と称することもできる。
センサＳＡ２２０においては、流量センサ２０２がセンサＳＡ２２０の一面側に露出している。モールド部２２５においては、流量センサ２０２が露出した側の板面をモールド表面２２５ｅと称し、反対側の板面をモールド裏面２２５ｆと称する。センサＳＡ２２０の一方の板面がモールド表面２２５ｅにより形成されており、このモールド表面２２５ｅが支持表面に相当し、モールド裏面２２５ｆが支持裏面に相当する。
ＳＡ基板２２３は、金属材料等により全体として板状に形成されており、導電性を有する基板である。ＳＡ基板２２３の板面は、幅方向Ｘに直交しており、高さ方向Ｙ及び奥行き方向Ｚに延びている。ＳＡ基板２２３には流量センサ２０２が搭載されている。ＳＡ基板２２３は、コネクタ端子２０８ａに接続されたリード端子２２３ａを形成している。ＳＡ基板２２３は、モールド部２２５により覆われた部分と、モールド部２２５により覆われていない部分とを有しており、覆われていない部分がリード端子２２３ａになっている。リード端子２２３ａは、モールド基端面２２５ｂから高さ方向Ｙに突出している。なお、図３３、図３４においては、リード端子２２３ａの図示を省略している。
流量センサ２０２は、上記第１実施形態の流量センサ２２と同様の構成になっている。流量センサ２０２は、例えば、流量センサ２２のセンサ凹部６１やメンブレン部６２、センサ基板６５、センサ膜部６６、発熱抵抗体７１、測温抵抗体７２，７３、傍熱抵抗体７４、配線７５〜７７のそれぞれに対応する部位や部材を有している。
＜構成群Ｂの説明＞
図３３、図３４に示すように、ハウジング２０１はＳＡ収容領域２９０を有している。ＳＡ収容領域２９０は、バイパス流路２１０よりもハウジング基端側に設けられており、センサＳＡ２２０の一部を収容している。ＳＡ収容領域２９０には、センサＳＡ２２０の少なくともモールド基端面２２５ｂが収容されている。計測流路２１２とＳＡ収容領域２９０とは高さ方向Ｙに並べられている。センサＳＡ２２０は、計測流路２１２とＳＡ収容領域２９０との境界部を高さ方向Ｙに跨ぐ位置に配置されている。計測流路２１２には、センサＳＡ２２０の少なくともモールド先端面２２５ａ及び流量センサ２０２が収容されている。なお、ＳＡ収容領域２９０が収容領域に相当する。
図３６、図３７に示すように、ハウジング２０１はハウジング仕切部２７１を有している。ハウジング仕切部２７１は、第１中間壁部２３６の内周面に設けられた凸部であり、第１中間壁部２３６からセンサＳＡ２２０に向けて突出している。ハウジング仕切部２７１の先端部はセンサＳＡ２２０の外面に接触している。ハウジング仕切部２７１は、センサＳＡ２２０の外面とハウジング２０１の内面との間においてＳＡ収容領域２９０と計測流路２１２とを仕切っている。
ハウジング２０１の内面は、ハウジング流路面２７５、ハウジング収容面２７６及びハウジング段差面２７７を有している。これらハウジング流路面２７５、ハウジング収容面２７６及びハウジング段差面２７７は、高さ方向Ｙに交差する方向に延びており、センサＳＡ２２０の周りを環状に一周している。センサＳＡ２２０においては、上記第１実施形態と同様に発熱抵抗体の中心線ＣＬ１ａが高さ方向Ｙに直線状に延びており、ハウジング流路面２７５、ハウジング収容面２７６及びハウジング段差面２７７は、それぞれこの中心線の周りを周方向に延びている。
ハウジング段差面２７７は、第１中間壁部２３６のハウジング基端側の壁面であり、高さ方向Ｙにおいてハウジング基端側を向いている。ハウジング段差面２７７は、中心線ＣＬ１ａに対して傾斜しており、中心線ＣＬ１ａ側である径方向内側を向いている。ハウジング段差面２７７は、高さ方向Ｙに交差しており、ハウジング交差面に相当する。本実施形態では、ハウジング段差面２７７が中心線ＣＬ１ａに直交している。ハウジング２０１の内面においては、ハウジング流路面２７５とハウジング段差面２７７との出隅部分、及びハウジング収容面２７６とハウジング段差面２７７との入隅部分のそれぞれが面取りされている。
ハウジング流路面２７５は、第１中間壁部２３６の内周面である。ハウジング流路面２７５は、計測流路２１２を形成しており、ハウジング段差面２７７の内周端部からハウジング先端側に向けて延びている。ハウジング流路面２７５は、ハウジング段差面２７７からＳＡ収容領域２９０とは反対側に向けて延びている。
一方、ハウジング収容面２７６は、上流壁部２３１、下流壁部２３２、表壁部２３３及び裏壁部２３４のそれぞれの内面である。ハウジング収容面２７６は、ＳＡ収容領域２９０を形成しており、ハウジング段差面２７７の外周端からハウジング基端側に向けて延びている。ハウジング収容面２７６は、ハウジング段差面２７７から計測流路２１２とは反対側に向けて延びている。ハウジング段差面２７７は、ハウジング流路面２７５とハウジング収容面２７６との間に設けられており、ハウジング２０１の内面に段差を形成している。ハウジング段差面２７７は、ハウジング流路面２７５とハウジング収容面２７６とを接続している。
センサＳＡ２２０の外面は、モールド部２２５の外面により形成されている。センサＳＡ２２０の外面は、ＳＡ流路面２８５、ＳＡ収容面２８６及びＳＡ段差面２８７を有している。これらＳＡ流路面２８５、ＳＡ収容面２８６及びＳＡ段差面２８７は、高さ方向Ｙに交差する方向に延びており、センサＳＡ２２０の外面において環状に一周した部分である。これらＳＡ流路面２８５、ＳＡ収容面２８６及びＳＡ段差面２８７は、発熱抵抗体の中心線ＣＬ１ａの周りを周方向に延びている。
センサＳＡ２２０においては、モールド先端面２２５ａとモールド基端面２２５ｂとの間にＳＡ段差面２８７が設けられている。ＳＡ段差面２８７は、高さ方向Ｙにおいてモールド先端面２２５ａ側を向いている。ＳＡ段差面２８７は、中心線ＣＬ１ａに対して傾斜しており、中心線ＣＬ１ａとは反対側である径方向外側を向いている。ＳＡ段差面２８７は、高さ方向Ｙに交差しており、ユニット交差面に相当する。また、ＳＡ流路面２８５がユニット流路面に相当し、ＳＡ収容面２８６がユニット収容面に相当する。本実施形態では、ＳＡ段差面２８７が中心線ＣＬ１ａに直交している。センサＳＡ２２０の外面においては、ＳＡ流路面２８５とＳＡ段差面２８７との入隅部分、及びＳＡ収容面２８６とＳＡ段差面２８７との出隅部分のそれぞれが面取りされている。
ＳＡ流路面２８５は、計測流路２１２を形成しており、ＳＡ段差面２８７の内周端部からモールド先端側に向けて高さ方向Ｙに延びている。ＳＡ流路面２８５は、ＳＡ段差面２８７からＳＡ収容領域２９０とは反対側に向けて延びている。一方、ＳＡ収容面２８６は、ＳＡ収容領域２９０を形成しており、ＳＡ段差面２８７の外周端部からモールド基端側に向けて延びている。ＳＡ収容面２８６は、ＳＡ段差面２８７から計測流路２１２とは反対側に向けて延びている。ＳＡ段差面２８７は、ＳＡ流路面２８５とＳＡ収容面２８６との間に設けられており、センサＳＡ２２０の外面に段差を形成している。ＳＡ段差面２８７は、ＳＡ流路面２８５とＳＡ収容面２８６とを接続している。
センサＳＡ２２０においては、ＳＡ流路面２８５、ＳＡ収容面２８６及びＳＡ段差面２８７のそれぞれが、モールド上流面２２５ｃ、モールド下流面２２５ｄ、モールド表面２２５ｅ及びモールド裏面２２５ｆにより形成されている。
エアフロメータ２００においては、ハウジング基端側を向いたハウジング段差面２７７とハウジング先端側を向いたＳＡ段差面２８７とが互いに対向している。また、内周側を向いたハウジング流路面２７５と、外周側を向いたＳＡ流路面２８５とが互いに対向している。同様に、内周側を向いたハウジング収容面２７６と、外周側を向いたＳＡ収容面２８６とが互いに対向している。
本実施形態のハウジング仕切部２７１は、上記第１実施形態のようにハウジング段差面２７７に設けられているのではなく、ハウジング流路面２７５に設けられている。この場合、ハウジング仕切部２７１は、第１中間孔２３６ａに向けて高さ方向Ｙに交差する方向Ｘ，Ｚｂに延びている。ハウジング仕切部２７１の中心線ＣＬ１２は、高さ方向Ｙに交差する方向に直線状に延びている。本実施形態では、中心線ＣＬ１２が高さ方向Ｙに直交している。ハウジング仕切部２７１は、ハウジング流路面２７５と共にセンサＳＡ２２０の周りを環状に一周している。この場合、ハウジング仕切部２７１の先端部が第１中間孔２３６ａを形成しており、ハウジング仕切部２７１の先端面が第１中間孔２３６ａの内周面になっている。また、ハウジング仕切部２７１は、幅方向Ｘに延びた部分と奥行き方向Ｚに延びた部分とを有しており、全体として略矩形枠状になっている。
ハウジング仕切部２７１の先端部は、センサＳＡ２２０のＳＡ流路面２８５に接触している。ハウジング仕切部２７１とＳＡ流路面２８５とは、互いに密着しており、ＳＡ収容領域２９０と計測流路２１２とを仕切っている部分のシール性を高めている。ＳＡ流路面２８５は、高さ方向Ｙに交差する方向に真っ直ぐに延びた平坦面になっている。本実施形態では、ハウジング流路面２７５とＳＡ流路面２８５とが互いに平行に延びている。この場合、ハウジング仕切部２７１がＳＡ流路面２８５に接触していることで、センサＳＡ２２０の外面とハウジング２０１の内面とが接触した部分でのシール性が高められている。なお、ハウジング流路面２７５とＳＡ流路面２８５とは平行ではなく、相対的に傾斜していてもよい。
ハウジング仕切部２７１はハウジング流路面２７５に直交している。この場合、ハウジング仕切部２７１の中心線ＣＬ１２とハウジング流路面２７５とが直交している。ハウジング仕切部２７１は先細りした形状になっている。本実施形態では、高さ方向Ｙがハウジング仕切部２７１にとっての幅方向であり、幅方向でのハウジング仕切部２７１の幅寸法は、ハウジング仕切部２７１の先端部に向けて徐々に小さくなっている。ハウジング仕切部２７１の一対の側面はいずれもハウジング流路面２７５から真っ直ぐに延びている。この場合、ハウジング仕切部２７１は、断面テーパ状になっている。
ハウジング仕切部２７１は、高さ方向Ｙにおいてハウジング流路面２７５の中央に設けられている。この場合、ハウジング流路面２７５のハウジング先端側端部とハウジング仕切部２７１との離間距離が、ハウジング流路面２７５のハウジング基端側端部とハウジング仕切部２７１との離間距離と同じになっている。なお、ハウジング仕切部２７１は、ハウジング流路面２７５においてハウジング先端側に寄った位置に設けられていてもよく、ハウジング基端側に寄った位置に設けられていてもよい。
ハウジング段差面２７７のうち、ハウジング仕切部２７１よりもハウジング流路面２７５側の部分は、ハウジング流路面２７５と共に計測流路２１２を形成している。ハウジング仕切部２７１よりもハウジング収容面２７６側の部分は、ハウジング収容面２７６と共にＳＡ収容領域２９０を形成している。
ＳＡ段差面２８７のうち、ハウジング仕切部２７１よりもＳＡ流路面２８５側の部分は、ＳＡ流路面２８５と共に計測流路２１２を形成している。ハウジング仕切部２７１よりもＳＡ収容面２８６側の部分は、ＳＡ収容面２８６と共にＳＡ収容領域２９０を形成している。
図３８に示すように、ハウジング２０１は、ベース部材２９１、カバー部材２９２を有している。これらベース部材２９１とカバー部材２９２とは、互いに組み付けられて一体化されており、この状態でハウジング２０１を形成している。ベース部材２９１は、ハウジング２０１において上流壁部２３１、下流壁部２３２、裏壁部２３４、先端壁部２３５、シール保持部２０５、フランジ部２０７及びコネクタ部２０８を形成している。ベース部材２９１は、全体として、ハウジング表側に開放された箱状の部材になっている。ベース部材２９１においては、表側端部である開放端にベース開口部２９１ａが設けられている。ベース開口部２９１ａは、上流壁部２３１、下流壁部２３２、先端壁部２３５及びシール保持部２０５の各ハウジング表側端部により形成されており、バイパス流路２１０及びＳＡ収容領域２９０をハウジング表側に向けて開口している。
カバー部材２９２は、ハウジング２０１において表壁部２３３を形成しており、全体として板状の部材になっている。カバー部材２９２は、ベース部材２９１の開放端に取り付けられており、ベース開口部２９１ａを閉鎖している。ハウジング２０１においては、ベース部材２９１とカバー部材２９２との間に通過流路２１１、計測流路２１２及びＳＡ収容領域２９０が設けられている。
ハウジング２０１においては、第１中間壁部２３６が第１ベース凸部２９５及び第１カバー凸部２９７を有している。第１ベース凸部２９５は、ベース部材２９１の裏壁部２３４からカバー部材２９２に向けて突出した突出部である。第１ベース凸部２９５は、第１凹部２９５ａを有している。第１凹部２９５ａは、第１ベース凸部２９５の先端面に設けられた凹部であり、第１ベース凸部２９５を高さ方向Ｙに貫通している。第１カバー凸部２９７は、カバー部材２９２の表壁部２３３からベース部材２９１に向けて突出した突出部である。第１カバー凸部２９７は、第１凹部２９５ａの内部に入り込んでいる。第１中間壁部２３６においては、第１カバー凸部２９７の先端面と第１凹部２９５ａの底面とが互いに離間しており、この離間部分が第１中間孔２３６ａになっている。
ハウジング２０１においては、第２中間壁部２３７が第２ベース凸部２９６及び第２カバー凸部２９８を有している。第２ベース凸部２９６は、ベース部材２９１の裏壁部２３４からカバー部材２９２に向けて突出した突出部である。第２ベース凸部２９６は、第２凹部２９６ａを有している。第２凹部２９６ａは、第２ベース凸部２９６の先端面に設けられた凹部であり、第２ベース凸部２９６を高さ方向Ｙに貫通している。第２カバー凸部２９８は、カバー部材２９２の表壁部２３３からベース部材２９１に向けて突出した突出部である。第２カバー凸部２９８は、第２凹部２９６ａの内部に入り込んでいる。第２中間壁部２３７においては、第２カバー凸部２９８の先端面と第２凹部２９６ａの底面とが互いに離間しており、この離間部分が第２中間孔２３７ａになっている。
第１ベース凸部２９５、第２ベース凸部２９６はベース部材２９１に含まれている。これらベース凸部２９５，２９６は、ベース部材２９１の裏壁部２３４からカバー部材２９２に向けて突出している。ベース凸部２９５，２９６の先端面には凹部２９５ａ，２９６ａが設けられている。第１凹部２９５ａは、奥行き方向Ｚにおいて第１ベース凸部２９５の中間位置に設けられている。第２凹部２９６ａは、奥行き方向Ｚにおいて第２ベース凸部２９６の中間位置に設けられている。
第１カバー凸部２９７、第２カバー凸部２９８はカバー部材２９２に含まれている。これらカバー凸部２９７，２９８は、カバー部材２９２の表壁部２３３からベース部材２９１に向けて突出している。
ハウジング仕切部２７１は、ベース突起２７１ａ、カバー突起２７１ｂを有している。ベース突起２７１ａは、ベース部材２９１に含まれている。ベース突起２７１ａは、第１ベース凸部２９５において第１凹部２９５ａの内周面に設けられた突起である。第１凹部２９５ａの底面に設けられたベース突起２７１ａは、カバー部材２９２に向けて幅方向Ｘに延びている。第１凹部２９５ａの一対の壁面のそれぞれに設けられたベース突起２７１ａは、互いに対向した状態で奥行き方向Ｚに延びている。一対の壁面のそれぞれに設けられていることで互いに対向したベース突起２７１ａの離間距離は、センサＳＡ２２０のうち第１凹部２９５ａに差し入れられる部分の奥行き方向Ｚでの幅寸法よりも若干小さくなっている。
カバー突起２７１ｂは、カバー部材２９２に含まれている。カバー突起２７１ｂは、第１ベース凸部２９５の先端面に設けられた突起であり、ベース部材２９１に向けて幅方向Ｘに延びている。
次に、エアフロメータ２００の製造方法について、センサＳＡ２２０をハウジング２０１に装着する手順を中心に、図３８、図３９を参照しつつ説明する。
エアフロメータ２００の製造工程には、センサＳＡ２２０を製造する工程と、ベース部材２９１を製造する工程と、カバー部材２９２を製造する工程とが含まれている。これら工程の後、センサＳＡ２２０とベース部材２９１とカバー部材２９２とを互いに組み付ける工程を行う。
センサＳＡ２２０を製造する工程では、射出成型機や型装置を有する射出成型装置等を用いて、センサＳＡ２２０のモールド部２２５を樹脂成型等により製造する。この工程は、上記第１実施形態のモールド部５５を製造する工程と同様に、樹脂材料を溶融した溶融樹脂を射出成型機から射出して型装置の内部に圧入する。また、この工程では、モールド部２２５を形成する樹脂材料として、エポキシ樹脂等のエポキシ系の熱硬化性樹脂を用いる。
ベース部材２９１を製造する工程では、射出成型装置等を用いてベース部材２９１を樹脂成型等により製造する。また、カバー部材２９２を製造する工程では、射出成型装置等を用いてカバー部材２９２を樹脂成型等により製造する。これら工程では、ベース部材２９１及びカバー部材２９２を形成する樹脂材料として、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）やポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）等の熱可塑性樹脂を用いる。このように熱可塑性樹脂により形成されたベース部材２９１及びカバー部材２９２は、熱硬化性樹脂により形成されたモールド部２２５に比べて軟らかくなっている。換言すれば、ベース部材２９１及びカバー部材２９２は、モールド部２２５に比べて硬度が低く、柔軟性が高くなっている。
センサＳＡ２２０とベース部材２９１とカバー部材２９２とを組み付ける工程では、図３８、ＢＨ７において、まず、センサＳＡ２２０をベース開口部２９１ａからベース部材２９１の内部に挿入する作業を行う。この作業では、センサＳＡ２２０のＳＡ流路面１４５を第１凹部２９５ａの内部に挿入しつつ、リード端子２２３ａを第２凹部２９６ａの内部に挿入することで、センサＳＡ２２０を第１ベース凸部２９５と第２ベース凸部２９６との間に嵌め込む。ここでは、センサＳＡ２２０のＳＡ流路面２８５が第１ベース凸部２９５のベース突起２７１ａに接触した後、更にセンサＳＡ２２０を裏壁部２３４に向けてベース部材２９１の内部に押し込む。この場合、ベース部材２９１の硬度がモールド部２２５の硬度よりも低いことに起因して、ベース突起２７１ａは、その先端部がＳＡ流路面２８５でハウジング裏側に向けて押し潰されるように変形する。
上述したように、ベース部材２９１の第１凹部２９５ａの内周面においては、互いに対向する一対の壁面のそれぞれにベース突起２７１ａが設けられている。この構成では、一対の壁面の間に単にセンサＳＡ２２０を嵌め込むことで、センサＳＡ２２０がＳＡ流路面２８５で壁面のベース突起２７１ａの先端部を削る状態になり、壁面のベース突起２７１ａが変形する。これにより、ベース突起２７１ａにおいて先端部が削られることで新たに形成された先端面がセンサＳＡ２２０のＳＡ流路面２８５に密着しやすくなる。
また、第１凹部２９５ａの内部にセンサＳＡ２２０を押し込んだ場合、センサＳＡ２２０のＳＡ流路面２８５が第１凹部２９５ａの内周面のうち底面のベース突起２７１ａを裏壁部２３４に向けて押し潰すことになる。この場合、底面のベース突起２７１ａの先端部がＳＡ流路面２８５によって押し潰されるように変形し、ベース突起２７１ａにおいては先端部が押し潰されることで新たに形成された先端面がセンサＳＡ２２０のＳＡ流路面２８５に密着しやすくなる。
さらに、上述したように、カバー部材２９２において第１カバー凸部２９７の先端面にはカバー突起２７１ｂが設けられている。この構成では、カバー部材２９２をベース部材２９１に組み付ける場合に、カバー部材２９２のカバー突起２７１ｂをセンサＳＡ２２０のＳＡ流路面２８５に押し付けることになる。このため、カバー部材２９２を単にベース部材２９１に押し付けることで、第１カバー凸部２９７のカバー突起２７１ｂの先端部がＳＡ流路面２８５によって押し潰されるように変形する。この場合、カバー突起２７１ｂにおいては先端部が押し潰されることで新たに形成された先端面がセンサＳＡ２２０のＳＡ流路面２８５に密着しやすくなる。
そして、カバー部材２９２がベース開口部２９１ａ及びセンサＳＡ２２０を覆うように、カバー部材２９２をベース部材２９１に取り付ける作業を行う。この作業では、カバー部材２９２の第１カバー凸部２９７を第１凹部２９５ａの内部に挿入する。ここでは、第１カバー凸部２９７の先端面にあるカバー突起２７１ｂがセンサＳＡ２２０のＳＡ流路面２８５に接触した後、更にカバー部材２９２をベース部材２９１の内部に向けてセンサＳＡ２２０に押し付ける。この場合、カバー部材２９２の硬度がモールド部２２５の硬度よりも低いことに起因して、カバー突起２７１ｂは、その先端部がＳＡ流路面２８５でハウジング表側に向けて押し潰されるように変形する。これにより、押し潰された状態のカバー突起２７１ｂの先端面がＳＡ流路面２８５に密着しやすくなり、カバー突起２７１ｂとＳＡ流路面２８５とのシール性が高められる。
なお、上記第１実施形態では、ハウジング仕切部１３１の潰れた部分を２点鎖線で図１７に図示していたが、本実施形態では、ベース突起２７１ａ及びカバー突起２７１ｂのうちセンサＳＡ２２０により押し潰された部分を２点鎖線で図示することはしていない。
その後、ベース部材２９１とカバー部材２９２との接触部分を接着材等により接合することで、センサＳＡ２２０とベース部材２９１とカバー部材２９２とを互いに固定する。この場合、ベース部材２９１とカバー部材２９２とを一体化することでハウジング２０１が形成される。また、この場合、ベース突起２７１ａ及びカバー突起２７１ｂによりハウジング仕切部２７１が形成される。
ここまで説明した本実施形態によれば、ハウジング２０１の内面から突出したハウジング仕切部２７１が、センサＳＡ２２０とハウジング２０１との間において計測流路２１２とＳＡ収容領域２９０とを仕切っている。この構成では、ハウジング仕切部２７１の先端部とセンサＳＡ２２０とが密着しやすいため、ハウジング２０１の内面とセンサＳＡ２２０の外面との間に隙間が生じにくくなっている。このため、溶融状態のポッティング樹脂をハウジング２０１のＳＡ収容領域２９０に注入して充填部を形成する場合に、このポッティング樹脂がハウジング２０１とセンサＳＡ２２０との隙間を通じて計測流路２１２に入り込むということが規制される。
この場合、ハウジング２０１とセンサＳＡ２２０との隙間を通じて計測流路２１２に入り込んだ溶融樹脂が固化し、その固化部分によって計測流路２１２の形状が意図せずに変化する、ということが生じにくくなっている。また、その固化部分が計測流路２１２においてハウジング２０１やセンサＳＡ２２０から剥がれ落ちて、異物として流量センサ２０２に接触したり付着したりする、ということが生じにくくなっている。したがって、ＳＡ収容領域２９０から計測流路２１２に進入した溶融樹脂によって流量センサ２０２の検出精度が低下するということを抑制できる。これにより、流量センサ２０２による空気流量の検出精度を高めることができ、その結果、エアフロメータ２００による空気流量の計測精度を高めることができる。
本実施形態によれば、ハウジング仕切部２７１がセンサＳＡ２２０の周りを環状に一周している。この構成では、センサＳＡ２２０の外面全周において、センサＳＡ２２０の外面とハウジング２０１の内面とが密着した状態をハウジング仕切部２７１によりつくり出すことができる。このため、計測流路２１２とＳＡ収容領域２９０との境界部全体でのシール性をハウジング仕切部２７１によって高めることができる。
本実施形態では、ハウジング仕切部２７１は、ハウジング流路面２７５に設けられている。この構成では、計測流路２１２側に極力寄せた位置でハウジング仕切部２７１により計測流路２１２とＳＡ収容領域２９０とを仕切ることで、ハウジング２０１とセンサＳＡ２２０との隙間のうち計測流路３２に含まれる部分を極力小さくできる。ここで、計測流路２１２においては、ハウジング２０１とセンサＳＡ２２０との隙間は、計測入口２１５から計測出口２１６に向けて流れる空気が流れ込むことなどにより空気の流れに乱れを生じさせやすい領域になっている。このため、ハウジング２０１とセンサＳＡ２２０との隙間が小さいほど計測流路２１２において空気の流れに乱れが生じにくく、流量センサ２０２の検出精度が向上しやすい。したがって、ハウジング仕切部２７１がハウジング流路面２７５に設けられていることで、流量センサ２０２の検出精度を高めることができる。
（第３実施形態）
上記第１実施形態では、通過入口３３から計測入口３５に向けて通過流路３１が高さ方向Ｙにほぼ絞られていない構成になっていたが、第３実施形態では、通過入口３３から計測入口３５に向けて通過流路３１が高さ方向Ｙに絞られた構成になっている。本実施形態において、第１実施形態での図面と同一符号を付した構成部品及び説明しない構成は、上記第１実施形態と同様であり、同様の作用効果を奏するものである。本実施形態では、上記第１実施形態との相違点を中心に説明する。
＜構成群Ｃの説明＞
図４０、図４１に示すように、通過流路３１は、入口通過路３３１、出口通過路３３２、分岐通過路３３３を有している。入口通過路３３１は、通過入口３３から通過出口３４に向けて延びており、通過入口３３と計測入口３５の上流端部とにかけ渡されている。出口通過路３３２は、通過出口３４から通過入口３３に向けて延びており、通過出口３４と計測入口３５の下流端部とにかけ渡されている。分岐通過路３３３は、入口通過路３３１と出口通過路３３２との間に設けられており、これら入口通過路３３１と出口通過路３３２とを接続している。分岐通過路３３３は、計測入口３５に沿って奥行き方向Ｚに延びており、通過流路３１のうち計測流路３２を分岐させた部分である。分岐通過路３３３は、計測入口３５からハウジング先端側に向けて延びている。
ハウジング２１の内面は、通過流路３１を形成する形成面として、通過天井面３４１、通過床面３４５を有している。通過天井面３４１と通過床面３４５とは高さ方向Ｙに並べられており、これら通過天井面３４１と通過床面３４５との間に通過流路３１が設けられている。通過天井面３４１及び通過床面３４５は、通過入口３３と通過出口３４とにかけ渡されている。通過天井面３４１及び通過床面３４５は、いずれも高さ方向Ｙに交差しており、幅方向Ｘ及び奥行き方向Ｚに延びている。通過天井面３４１には、計測出口３６が設けられている。
通過天井面３４１は、入口天井面３４２及び出口天井面３４３を有している。入口天井面３４２は、入口通過路３３１の天井面を形成しており、奥行き方向Ｚにおいて通過入口３３と計測入口３５の上流端部とにかけ渡されている。この場合、奥行き方向Ｚが通過入口３３と通過出口３４とが並んだ方向に相当する。入口天井面３４２は、通過入口３３から計測入口３５の上流端部に向けて真っ直ぐに延びている。出口天井面３４３は、出口通過路３３２の天井面を形成しており、通過出口３４と計測入口３５の下流端部とにかけ渡されている。出口天井面３４３は、通過出口３４から計測入口３５の下流端部に向けて真っ直ぐに延びている。
通過床面３４５は、入口床面３４６、出口床面３４７、分岐床面３４８を有している。入口床面３４６は、入口通過路３３１の床面を形成しており、通過入口３３から通過出口３４に向けて延びている。入口床面３４６と入口天井面３４２とは、入口通過路３３１及び通過入口３３を介して互いに対向している。出口床面３４７は、出口通過路３３２の床面を形成しており、通過出口３４から通過入口３３に向けて延びている。出口床面３４７と出口天井面３４３とは、出口通過路３３２及び通過出口３４を介して互いに対向している。分岐床面３４８は、分岐通過路３３３の床面を形成している。分岐床面３４８は、入口床面３４６と出口床面３４７との間に設けられており、これら入口床面３４６と出口床面３４７とを接続している。分岐床面３４８は、分岐通過路３３３を介して計測入口３５に対向している。
入口天井面３４２と出口天井面３４３とは、いずれも奥行き方向Ｚに真っ直ぐに延びており、互いに平行になっている。また、これら天井面３４２，３４３は、いずれも幅方向Ｘに真っ直ぐに延びており、互いに平行になっている。通過床面３４５は、奥行き方向Ｚに真っ直ぐに延びており、天井面３４２，３４３と平行になっている。また、通過床面３４５は、幅方向Ｘに真っ直ぐに延びており、天井面３４２，３４３と平行になっている。このように、天井面３４２，３４３及び通過床面３４５が幅方向Ｘに真っ直ぐに延びていること、および後述する通過壁面６３１，６３２（図３１参照）が高さ方向Ｙに真っ直ぐに延びていることに起因して、通過入口３３及び通過出口３４が矩形状になっている。
なお、入口天井面３４２や出口天井面３４３、通過床面３４５は、奥行き方向Ｚにおいてそれぞれの上流端部と下流端部との間の部分が凹んだり膨らんだりするように曲がっていてもよい。また、入口天井面３４２や出口天井面３４３、通過床面３４５は、幅方向Ｘにおいて通過壁面６３１，６３２の間の部分が凹んだり膨らんだりするように曲がっていてもよい。これらのように、通過入口３３や通過出口３４は、少なくとも１つの辺が凹んだり膨らんだりするように曲がっていてもよい。すなわち、これら通過入口３３や通過出口３４は、矩形状になっていなくてもよい。例えば、入口天井面３４２、出口天井面３４３及び通過床面３４５が、通過壁面６３１，６３２の間の部分が膨らむように湾曲していることで、通過入口３３や通過出口３４において幅方向Ｘに延びる各辺が膨らむように湾曲した形状になっていてもよい。
入口天井面３４２は、通過入口３３側を向くように入口床面３４６に対して傾斜している。入口床面３４６に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２１は、１０度以上になっている。すなわち、傾斜角度θ２１は、１０度と同じ値又は１０度よりも大きい値になっており、θ２１≧１０という関係が成り立っている。図４１に示すように、入口床面３４６と平行に延びる仮想の直線として床平行線ＣＬ２１を想定すると、傾斜角度θ２１は、入口天井面３４２と床平行線ＣＬ２１との間であって通過入口３３側を向いた部分の角度である。通過天井面３４１においては、床平行線ＣＬ２１に対する傾斜角度が入口天井面３４２と出口天井面３４３とで異なっている。具体的には、床平行線ＣＬ２１に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２１は、床平行線ＣＬ２１に対する出口天井面３４３の傾斜角度よりも大きい。
なお、入口天井面３４２が天井傾斜面に相当する。また、入口天井面３４２が通過入口３３側を向いていること以外の構成については、基本的に本実施形態の構成が上記第１実施形態の構成と同じであり、この構成についての本実施形態の説明は上記第１実施形態の説明でもある。
入口通過路３３１においては、高さ方向Ｙでの入口天井面３４２と入口床面３４６との離間距離Ｈ２１が、通過入口３３から通過出口３４に向けて徐々に小さくなっている。ここでの高さ方向Ｙは、主流線ＣＬ２２に直交する方向になっている。この離間距離Ｈ２１の減少率は、入口通過路３３１において一定の値になっている。
通過床面３４５は、奥行き方向Ｚに真っ直ぐに延びている。通過床面３４５においては、入口床面３４６、出口床面３４７及び分岐床面３４８が同一平面を形成している。図４１に示すように、主流方向である奥行き方向Ｚに延びる仮想の直線として主流線ＣＬ２２を想定すると、通過床面３４５は、通過入口３３側を向くように主流線ＣＬ２２に対して傾斜している。この場合、入口床面３４６、出口床面３４７及び分岐床面３４８のそれぞれが主流線ＣＬ２２に対して傾斜している。上述したように、フランジ部２７の角度設定面２７ａが主流方向に延びていることに起因して、主流線ＣＬ２２は角度設定面２７ａに平行に延びている。
入口天井面３４２は、入口床面３４６に加えて、主流線ＣＬ２２に対しても傾斜している。主流線ＣＬ２２に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２２は、傾斜角度θ２１と同様に１０度以上になっている。すなわち、傾斜角度θ２２は、１０度同じ値又は１０度よりも大きい値になっており、θ２２≧１０という関係が成り立っている。本実施形態では、傾斜角度θ２２は例えば１０度に設定されている。図４１に示すように、傾斜角度θ２２は、入口天井面３４２と主流線ＣＬ２２との間であった通過入口３３側を向いた部分の角度である。主流線ＣＬ２２に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２２は、入口床面３４６に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２１よりも小さくなっている。
入口通過路３３１は、通過入口３３から通過出口３４に向けて少なくとも入口天井面３４２及び入口床面３４６によって徐々に絞られた形状になっている。この場合、図４２に示すように、主流線ＣＬ２２に直交する方向Ｘ，Ｙでの入口通過路３３１の断面積Ｓ２１が、通過入口３３から通過出口３４に向けて徐々に小さくなっている。この断面積Ｓ２１は、入口通過路３３１の上流端部である通過入口３３において最も大きい値になっており、入口通過路３３１の下流端部において最も小さい値になっている。断面積Ｓ２１の減少率は、入口通過路３３１において一定の値になっており、入口通過路３３１での断面積Ｓ２１の値を示すグラフは、図４２に示すように直線的に延びている。
なお、出口通過路３３２は、出口通過路３３２の上流端部から通過出口３４に向けて徐々に絞られた形状になっている。この場合、主流線ＣＬ２２に直交する方向Ｘ，Ｙでの出口通過路３３２の断面積が、出口通過路３３２の上流端部から通過出口３４に向けて徐々に小さくなっている。また、入口通過路３３１の断面積を、入口通過路３３１の流路面積と称することもできる。
図４０に示すように、計測流路３２は、計測入口３５と計測出口３６との間にて折り返された折り返し形状になっている。計測流路３２は、分岐計測路３５１、案内計測路３５２、検出計測路３５３、排出計測路３５４を有している。計測流路３２においては、計測入口３５側から分岐計測路３５１、案内計測路３５２、検出計測路３５３、排出計測路３５４、の順で計測出口３６に向けて並べられている。
分岐計測路３５１は、計測入口３５からハウジング基端側に向けて延びており、計測流路３２のうち通過流路３１から分岐した部分である。分岐計測路３５１が計測入口３５を形成しており、分岐計測路３５１の上流端部が計測入口３５になっている。分岐計測路３５１は、高さ方向Ｙ及び奥行き方向Ｚの両方に対して傾斜している。また、分岐計測路３５１は、通過流路３１に対して傾斜している。
案内計測路３５２は、分岐計測路３５１の下流端部から通過流路３１とは反対側に向けて高さ方向Ｙに延びている。案内計測路３５２は、分岐計測路３５１から流れ込んできた空気を流量センサ２２に向けて案内する。
検出計測路３５３は、案内計測路３５２の下流端部から奥行き方向Ｚに延びており、案内計測路３５２を介して分岐計測路３５１とは反対側に設けられている。検出計測路３５３には、流量センサ２２が設けられている。
排出計測路３５４は、検出計測路３５３の下流端部から通過流路３１側に向けて高さ方向Ｙに延びており、案内計測路３５２と平行に設けられている。排出計測路３５４が計測出口３６を形成しており、排出計測路３５４の下流端部が計測出口３６になっている。この場合、排出計測路３５４は、検出計測路３５３から流れ込んだ空気を計測出口３６から排出する。
図４１に示すように、分岐計測路３５１は、計測入口３５から案内計測路３５２に向けて真っ直ぐに延びた部分を有している。この部分の中心線を分岐計測線ＣＬ２３と称すると、この分岐計測線ＣＬ２３は、入口天井面３４２に対して傾斜した状態で直線状に延びている。分岐計測線ＣＬ２３は、計測入口３５から分岐計測路３５１の下流側に向けて通過入口３３とは反対側に斜めに延びている。換言すれば、分岐計測線ＣＬ２３は、計測入口３５から分岐計測路３５１の下流側に向けて通過出口３４側に斜めに延びている。
なお、図４１では、通過流路３１と計測流路３２との分岐部分においてハウジング２１の内面が面取りされているが、この面取りがない構成を想定して分岐計測線ＣＬ２３を設定している。また、分岐計測線ＣＬ２３は、計測入口３５での分岐計測路３５１の中心線を通過流路３１側に向けて延長した延長線にもなっている。
分岐計測線ＣＬ２３は、入口床面３４６に対して傾斜している。入口床面３４６に対する分岐計測線ＣＬ２３の傾斜角度θ２３は、９０度以上になっている。すなわち、傾斜角度θ２３は、９０度と同じ値又は９０度よりも大きい値になっており、θ２３≧９０という関係が成り立っている。傾斜角度θ２３は、床平行線ＣＬ２１と分岐計測線ＣＬ２３との間であって通過入口３３側を向いた部分の角度である。なお、θ２３は、９０度以上の範囲において、１５０度以下であることが好ましく、更には１２０度以下であることが好ましい。
分岐計測線ＣＬ２３は、入口床面３４６に加えて、主流線ＣＬ２２に対して傾斜している。主流線ＣＬ２２に対する分岐計測線ＣＬ２３の傾斜角度θ２４は、傾斜角度θ２３と同様に９０度以上になっている。すなわち、傾斜角度θ２４は、９０度と同じ値又は９０度よりも大きい値になっており、θ２４≧９０という関係が成り立っている。傾斜角度θ２４は、主流線ＣＬ２２と分岐計測線ＣＬ２３との間であって通過入口３３側を向いた部分の角度である。なお、傾斜角度θ２４は鈍角に含まれる。また、θ２４は、９０度以上の範囲において、１５０度以下であることが好ましく、更には１２０度以下であることが好ましい。
なお、傾斜角度θ２３，θ２４は鈍角に含まれる。また、分岐計測線ＣＬ２３は、入口床面３４６及び主流線ＣＬ２２に加えて、入口天井面３４２に対して傾斜している。入口天井面３４２に対する分岐計測線ＣＬ２３の傾斜角度は、傾斜角度θ２３，θ２４と同様に１０度以上になっている。
分岐計測路３５１は、入口通過路３３１に対して傾斜している。この場合、分岐計測路３５１の中心線である分岐計測線ＣＬ２３は、入口通過路３３１の中心線である入口通過線ＣＬ２４に対して傾斜している。入口通過線ＣＬ２４に対する分岐計測線ＣＬ２３の傾斜角度θ２５は、９０度以上になっている。すなわち、傾斜角度θ２５は、９０度と同じ値又は９０度よりも大きい値になっており、θ２５≧９０という関係が成り立っている。傾斜角度θ２５は、分岐計測線ＣＬ２３と入口通過線ＣＬ２４との間であって通過入口３３側を向いた部分の角度である。入口通過線ＣＬ２４は、入口通過路３３１の上流端部である計測入口３５の中心ＣＯ２１と、入口通過路３３１の下流端部の中心ＣＯ２２とを通る直線状の仮想線である。
分岐計測路３５１は、出口通過路３３２に対して傾斜している。この場合、分岐計測線ＣＬ２３は、出口通過路３３２の中心線である出口通過線ＣＬ２５に対して傾斜している。出口通過線ＣＬ２５に対する分岐計測線ＣＬ２３の傾斜角度θ２６は、６０度以下になっている。すなわち、傾斜角度θ２６は、６０度と同じ値は又は６０度よりも小さい値になっており、θ２６≦６０という関係が成り立っている。傾斜角度θ２６は例えば６０度に設定されている。出口通過線ＣＬ２５は、出口通過路３３２の上流端部の中心ＣＯ２３と、出口通過路３３２の下流端部である通過出口３４の中心ＣＯ２４とを通る直線状の仮想線である。また、出口通過線ＣＬ２５が入口通過線ＣＬ２４に対して傾斜している。
なお、出口通過線ＣＬ２５に対する分岐計測線ＣＬ２３の傾斜角度θ２６は、分岐通過路３３３に対する分岐計測路３５１の傾斜角度であり、通過流路３１から計測流路３２が分岐した角度を示す分岐角度に相当する。
次に、バイパス流路３０での空気の流れ態様について、図４３〜図４６を参照しつつ説明する。吸気通路１２を流れる気流には、主流ＡＦ２１，ＡＦ２２、偏流ＡＦ２３〜ＡＦ２６が含まれている。
図４３に示すように、主流ＡＦ２１，ＡＦ２２は、吸気通路１２を主流線ＣＬ２２に沿って主流方向に流れており、その流れの向きのまま通過入口３３から入口通過路３３１に流れ込む。主流ＡＦ２１，ＡＦ２２のうち、通過入口３３から入口天井面３４２側に流れ込んだ主流ＡＦ２１は、入口天井面３４２に向かって進み、その入口天井面３４２に接近すると入口天井面３４２によって進む向きが変化する。この場合、入口天井面３４２が、主流ＡＦ２１の進む向きを通過床面３４５に向かう向きに変化させることになる。このため、ダスト等の異物が主流ＡＦ２１と共に通過入口３３から進入したとしても、この異物は通過床面３４５に向かって進みやすく、この異物が計測入口３５に進入するということが生じにくくなる。
一方、通過入口３３から入口床面３４６側に流れ込んだ主流ＡＦ２２は、入口床面３４６や分岐床面３４８などの通過床面３４５に向かって進み、その通過床面３４５に接近すると通過床面３４５によって進む向きが変化する。この場合、通過床面３４５が、主流ＡＦ２２の進む向きを通過出口３４に向かう向きに変化させることになる。このため、異物が主流ＡＦ２２と共に通過入口３３から進入したとしても、この異物は通過床面３４５に沿って通過出口３４に向けて進みやすく、異物が計測入口３５に進入するということが生じにくくなる。
図４４、図４５に示すように、偏流ＡＦ２３〜ＡＦ２６は、吸気通路１２を主流線ＣＬ２２及び主流方向に対して傾いた向きに流れており、その流れの向きのまま通過入口３３から入口通過路３３１に流れ込む。
図４４に示すように、偏流ＡＦ２３〜ＡＦ２６のうち、下向き偏流ＡＦ２３，ＡＦ２４は、ハウジング２１の周辺においてハウジング基端側からハウジング先端側に向かうように吸気通路１２を斜めに進む気流である。ここでは、主流線ＣＬ２２に対する傾斜角度が入口天井面３４２よりも小さい気流を下向き偏流ＡＦ２３，ＡＦ２４としている。
下向き偏流ＡＦ２３，ＡＦ２４のうち、通過入口３３から入口天井面３４２側に流れ込んだ下向き偏流ＡＦ２３は、入口天井面３４２に沿って通過床面３４５に向かって進みやすい。特に、主流方向に対する傾斜角度が下向き偏流ＡＦ２３と入口天井面３４２とでほぼ同じであれば、下向き偏流ＡＦ２３の進む向きが入口天井面３４２によって変化するということが生じにくい。これらの場合、異物が下向き偏流ＡＦ２３と共に通過入口３３から進入したとしても、この異物は通過床面３４５に向かって進みやすく、この異物が計測入口３５に進入するということが生じにくくなる。
一方、通過入口３３から入口床面３４６側に流れ込んだ下向き偏流ＡＦ２４は、通過床面３４５に向かって進み、その通過床面３４５に接近すると通過床面３４５によって進む向きが変化する。この場合、通過床面３４５が、下向き偏流ＡＦ２４の進む向きを通過出口３４に向かう向きに変化させることになる。この場合、異物が下向き偏流ＡＦ２４と共に通過入口３３から進入したとしても、この異物は通過床面３４５に沿って通過出口３４に向けて進みやすく、異物が計測入口３５に進入するということが生じにくくなる。
図４５に示すように、偏流ＡＦ２３〜ＡＦ２６のうち、上向き偏流ＡＦ２５，ＡＦ２６は、ハウジング２１の周辺においてハウジング先端側からハウジング基端側に向かうように吸気通路１２を斜めに進む気流である。ここでは、主流線ＣＬ２２に対する傾斜角度が入口床面３４６よりも大きい気流を上向き偏流ＡＦ２５，ＡＦ２６としている。
上向き偏流ＡＦ２５，ＡＦ２６のうち、通過入口３３から入口天井面３４２側に流れ込んだ上向き偏流ＡＦ２５は、入口天井面３４２に向かって進み、その入口天井面３４２に接近すると入口天井面３４２によって進む向きが変化する。この場合、入口天井面３４２が、上向き偏流ＡＦ２５の進む向きを通過床面３４５に向かう向きに変化させることになる。このため、ダスト等の異物が上向き偏流ＡＦ２５と共に通過入口３３から進入したとしても、この異物は通過床面３４５に向かって進みやすく、この異物が計測入口３５に進入するということが生じにくくなる。
一方、通過入口３３から入口床面３４６側に流れ込んだ上向き偏流ＡＦ２６は、入口天井面３４２や計測入口３５に向けて進みやすい。すなわち、上向き偏流ＡＦ２６は、通過入口３３から入口通過路３３１に流れ込んだ後、入口床面３４６等の通過床面３４５から離間する向きに進みやすい。この場合、上向き偏流ＡＦ２６について通過床面３４５からの剥離が生じることで、通過床面３４５側に巻き込むように流れる渦流ＡＦ２７が発生するなどして上向き偏流ＡＦ２６の流れが乱れやすくなる。このように上向き偏流ＡＦ２６の流れが乱れた場合、上向き偏流ＡＦ２６の乱れによって入口天井面３４２側の上向き偏流ＡＦ２５の流れも乱れることなどにより通過流路３１全体で気流が乱れやすくなってしまう。この場合、乱れた気流が計測入口３５から計測流路３２に流れ込むことで、流量センサ２２による流量の検出精度が低下することが懸念される。
これに対して、入口天井面３４２によって向きが変えられた上向き偏流ＡＦ２５が通過床面３４５に向かって進んでいるため、この上向き偏流ＡＦ２５が、上向き偏流ＡＦ２６を通過床面３４５に向けて押し付けるような状態になる。この場合、通過床面３４５に向かって進む上向き偏流ＡＦ２５が、入口床面３４６側の上向き偏流ＡＦ２６の進む向きを通過床面３４５に向かう向きに変化させることになる。このため、上向き偏流ＡＦ２６が通過床面３４５から剥離するということが生じにくくなり、その結果、剥離に伴う渦流ＡＦ２７も発生しにくくなる。したがって、渦流ＡＦ２７が発生するなどして通過流路３１での気流が乱れるということが抑制される。
エアフロメータ２０においては、流量計測に関する出力の変動態様と、入口床面３４６に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２１とが相関している。具体的には、吸気通路１２での真の空気流量に対するエアフロメータ２０の計測値の変動態様を出力変動として算出した場合、この出力変動は、入口床面３４６に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２１が１０度以上である構成で適正に管理されている。例えば、傾斜角度θ２１が０度より大きく且つ１０度よりも小さい範囲では、傾斜角度θ２１が１０度に近い値であるほどエアフロメータ２０の出力変動が小さくなる。そして、傾斜角度θ２１が１０度以上にある範囲では、エアフロメータ２０の出力変動が適正に小さい値に保たれる。なお、傾斜角度θ２１は、１０度以上の範囲において、６０度以下であることが好ましく、更には３０度以下であることが好ましい。
また、エアフロメータ２０の出力変動は、主流線ＣＬ２２に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２２とも相関している。この出力変動は、主流線ＣＬ２２に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２２が１０度以上である構成で適正に管理されている。例えば、図４６に示すように、傾斜角度θ２２が０度より大きく且つ１０度よりも小さい範囲では、傾斜角度θ２２が１０度に近い値であるほどエアフロメータ２０の出力変動が小さくなっている。そして、傾斜角度θ２２が１０度以上にある範囲では、エアフロメータ２０の出力変動が適正に小さい値に保たれる。なお、傾斜角度θ２２は、１０度以上の範囲において、６０度以下であることが好ましく、更には３０度以下であることが好ましい。
図４１に示す吸気通路１２において、エンジンの運転状態などに起因して吸入空気の流れに脈動が生じた場合、この脈動に伴って、上流側から流れる順流に加えて、下流側から順流とは逆向きに流れる逆流が発生することがある。順流は通過入口３３から通過流路３１に流入するのに対して、逆流は通過出口３４から通過流路３１に流入することが懸念される。例えば、順流が通過入口３３から流入し、更に通過流路３１から計測流路３２に流れ込んだ場合、この順流の流量が流量センサ２２により検出される。一方、吸気通路１２にて発生した逆流が通過出口３４から流入し、更に通過流路３１から計測流路３２に流れ込んだ場合、この逆流の流量が流量センサ２２により検出される。
流量センサ２２は、計測流路３２での空気の流量に加えて、計測流路３２での空気の流れを検出することが可能になっている。しかしながら、通過出口３４から流入した逆流が計測流路３２に流れ込んだ場合、この逆流は、通過入口３３から流入した順流と同様に計測流路３２を計測入口３５から計測出口３６に向けて流れることになる。このように、計測流路３２においては、通過出口３４から流入した逆流が流れる向きと通過入口３３から流入した順流が流れる向きとが同じになるため、流量センサ２２は順流と逆流とを区別して検出することができない。このため、実際には計測流路３２を流れる空気に逆流が含まれているにもかかわらず、計測流路３２を流れる空気の全てが順流であるとして、エアフロメータ２０が空気の流量を計測することになってしまう。この結果、エアフロメータ２０の計測精度が低下することが懸念される。
また、吸気通路１２においては、空気がエアフロメータ２０の周囲を通過することに伴って渦流やよどみなど気流の乱れが生じることがある。例えば、吸気通路１２を順流として流れている空気が、ハウジング表面２１ｅやハウジング裏面２１ｆを通り過ぎる場合、そのまま主流方向に進もうとする流れと、ハウジング下流面２１ｄに沿って進もうとする流れとが混在して気流の乱れが生じることがある。この気流の乱れが、ハウジング下流面２１ｄの下流側など通過出口３４の周辺に存在している場合、吸気通路１２で逆流が生じると、この逆流が気流の乱れを含んで不安定になり、この不安定な逆流が通過出口３４から通過流路３１に進入することが懸念される。
そこで、エアフロメータ２０では、通過出口３４から通過流路３１に逆流が流入したとしても、分岐計測路３５１が通過流路３１から通過出口３４側に向けて延びていることで、この逆流が通過流路３１から分岐計測路３５１に流れ込みにくくなっている。特に、上述したように、出口通過線ＣＬ２５に対する分岐計測線ＣＬ２３の傾斜角度θ２６が６０度以下になっているため、通過流路３１から分岐計測路３５１に逆流が流れ込むということが更に生じにくくなっている。
バイパス流路３０においては、上述したように計測入口３５が通過入口３３側を向いていない。このため、通過入口３３から流入した順流の動圧が計測入口３５に付与されにくく、計測流路３２での空気の流速が大きくなりやすい。また、この構成では、砂塵やダスト、水滴、油滴等の異物が順流と共に通過入口３３から通過流路３１に進入しても、この異物が通過流路３１から分岐計測路３５１に進入しにくくなっている。この場合、計測流路３２において流量センサ２２に到達した異物が流量センサ２２を破損させることや流量センサ２２に付着することが生じにくくなっているため、流量センサ２２の検出精度が異物により低下するということが抑制される。
通過出口３４の全体と通過入口３３の少なくとも一部とが、主流方向である奥行き方向Ｚに重複している。この構成では、吸気通路１２において、通過入口３３のうち通過出口３４に奥行き方向Ｚに重複した部分に流れ込んだ主流に異物が含まれている場合に、この異物は主流と共にそのまま主流方向に真っ直ぐ進むことで通過出口３４から外部に排出される。このため、異物が計測入口３５に進入しにくくなっている。
吸気通路１２において発生した脈動の状態を脈動特性と称すると、流量センサ２２の検出結果を用いてエアフロメータ２０が計測した脈動特性には、吸気通路１２において実際に発生した脈動の脈動特性に対して誤差が含まれていることがある。エアフロメータ２０が計測した脈動特性に誤差が含まれる場合としては、通過出口３４から流入した逆流が通過流路３１から計測流路３２に進入した場合が挙げられる。
ここで、エアフロメータ２０が計測した流量を流量計測値ＧＡと称し、この流量計測値ＧＡの平均値を計測平均値ＧＡａｖｅと称し、吸気通路１２を流れる吸入空気の実際の流量を実流量ＧＢと称し、この実流量ＧＢの平均値を実平均値ＧＢａｖｅと称する。図４７に示すように、流量計測値ＧＡに誤差が含まれていることで流量計測値ＧＡが実流量ＧＢより小さい値になった場合、計測平均値ＧＡａｖｅも実平均値ＧＢａｖｅより小さくなる。
計測平均値ＧＡａｖｅと実平均値ＧＢａｖｅとの差を実平均値ＧＢａｖｅで除した値で脈動特性を数値化することができる。この場合、脈動特性を算出する数式を（ＧＡａｖｅ−ＧＢａｖｅ）／ＧＢａｖｅと示すことができる。脈動特性の数値は、脈動の振幅が増加することに伴って増加しやすい。例えば、実流量ＧＢの最大値ＧＢｍａｘと実平均値ＧＢａｖｅとの差を実平均値ＧＢａｖｅで除した値を振幅比と称すると、図４８に示すように、振幅比の増加に伴って脈動特性の数値が増加する。特に、振幅比が１より大きい領域においては、振幅比の増加に伴う脈動特性の増加率が大きくなっている。ここで、振幅比が大きいほど通過出口３４からの逆流の量が大きいことになる。なお、振幅比を算出する数式を（ＧＢｍａｘ−ＧＢａｖｅ）／ＧＢａｖｅと示すことができる。
本実施形態では、主流線ＣＬ２２に対する分岐計測線ＣＬ２３の傾斜角度θ２６が例えば６０度に設定されているが、脈動特性の数値は傾斜角度θ２６に応じて変化しやすくなっている。例えば、図４９に示すように、傾斜角度θ２６が３０度、４５度、６０度、９０度の構成について、通過出口３４から通過流路３１に逆流を流入させると、傾斜角度θ２６が３０度、４５度、６０度の構成では、逆流が計測流路３２に流れ込みにくくなっている。一方、傾斜角度θ２６が９０度の構成では、逆流が計測流路３２に流れ込みやすくなっている。この場合、エアフロメータ２０による脈動特性の検出精度が低下しやすい。
エアフロメータ２０においては、傾斜角度θ２６に応じて計測流路３２への逆流の流れ込みやすさが異なり、この結果、脈動特性の数値が異なると考えられる。例えば、図５０に示すように、傾斜角度θ２６が６０度以下の構成では、脈動特性の数値が比較的小さい値になっている。これは、傾斜角度θ２６が６０度以下だと逆流が計測流路３２に流れ込みにくくなる、という事象に起因していると考えられる。一方、傾斜角度θ２６が６０度より大きい構成では、脈動特性の数値が比較的大きい値になっている。これは、傾斜角度θ２６が６０度より大きいと逆流が計測流路３２に流れ込みやすくなる、という事象に起因していると考えられる。しかも、この構成では、傾斜角度θ２６が大きくなるほど脈動特性の数値が増加している。これは、傾斜角度θ２６が６０度より大きい範囲では傾斜角度θ２６が大きくなるほど逆流が計測流路３２に流れ込みやすくなる、という事象に起因していると考えられる。
ここまで説明した本実施形態によれば、入口天井面３４２が入口床面３４６に対して傾斜している。この構成では、通過入口３３から入口通過路３３１に流れ込んだ空気のうち、入口天井面３４２側に流れ込んだ上向き偏流ＡＦ２５等の空気が、入口天井面３４２によって進む向きが変えられて入口天井面３４２に沿って入口床面３４６に向けて進みやすくなる。このため、仮に上向き偏流ＡＦ２６等の空気が入口床面３４６から剥離したり剥離しそうになったりしても、この剥離する空気が、入口天井面３４２に沿って入口床面３４６に向けて進む上向き偏流ＡＦ２５等の空気によって入口床面３４６に押し付けられる。この場合、入口床面３４６から空気が剥離して渦等の乱れが生じることが、入口天井面３４２に沿って流れる流体により規制され、その結果、入口通過路３３１において空気の乱れが生じにくくなる。したがって、流量センサ２２による流量の検出精度を高めることができ、ひいては、エアフロメータ２０による流量の計測精度を高めることができる。
本実施形態によれば、入口床面３４６に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２１が１０度以上である。この構成では、入口天井面３４２によって進む向きが変えられた上向き偏流ＡＦ２５等の空気が、通過出口３４ではなく入口床面３４６に向けて進むように、傾斜角度θ２１がある程度大きい値に設定されている。このため、傾斜角度θ２１が例えば１０度より小さい値に設定された構成に比べて、入口天井面３４２によって進む向きが変えられた上向き偏流ＡＦ２５等の空気により、入口床面３４６付近にて空気の剥離が生じることを確実に抑制できる。
本実施形態によれば、入口天井面３４２が通過入口３３側を向くように入口床面３４６に対して傾斜している。この構成では、通過入口３３から入口天井面３４２側に流れ込んだ主流ＡＦ２１や下向き偏流ＡＦ２３等の空気が、入口天井面３４２から剥離するということが生じにくくなっている。このため、通過入口３３から入口天井面３４２側に流れ込んだ空気に渦流等の乱れが生じるということを抑制できる。
例えば、入口天井面３４２が通過出口３４側を向くように入口床面３４６に対して傾斜した構成では、通過入口３３から入口天井面３４２側に流れ込んだ主流ＡＦ２１が、通過出口３４に向けて進むほど入口天井面３４２から離間し、剥離しやすくなる。この場合、主流ＡＦ２１によって渦流等が発生することなどにより通過流路３１にて気流の乱れが生じやすくなってしまう。
本実施形態によれば、主流線ＣＬ２２が延びる主流方向に対して、入口天井面３４２が通過入口３３を向くように傾斜している。この構成では、主流方向に流れる主流ＡＦ２１等の空気が通過入口３３から入口天井面３４２側に流れ込んだ場合に、この空気を入口天井面３４２によって入口床面３４６側に案内することができる。このため、仮に、主流方向に流れる主流ＡＦ２２等の空気が、通過入口３３から入口床面３４６側に流れ込んで剥離したり剥離しそうになったりしても、この空気を入口天井面３４２から入口床面３４６に向けて進む空気で入口床面３４６に押し付けることができる。したがって、入口床面３４６周辺で気流に渦流ＡＦ２７等の乱れが発生することを抑制できる。
本実施形態によれば、主流方向に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２２が１０度以上である。この構成では、ハウジング２１の周辺においてハウジング基端側からハウジング先端側に向けて斜めに進む下向きの偏流のうち、主流線ＣＬ２２に対する傾斜角度が入口天井面３４２よりも小さい下向き偏流ＡＦ２３，ＡＦ２４が極力多くなっている。これにより、通過入口３３から入口天井面３４２側に流れ込む下向きの偏流等の空気が入口天井面３４２から剥離することで気流に渦流等の乱れが生じるということを抑制できる。
これに対して、例えば、主流方向に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２２が１０度より小さい構成では、ハウジング２１の周辺においてハウジング基端側からハウジング先端側に向けて進む下向きの偏流の傾斜角度が、傾斜角度θ２２よりも大きくなりやすい。このため、通過入口３３から入口天井面３４２側に流れ込む下向きの偏流等の空気が、入口天井面３４２から剥離して気流に渦流等の乱れが生じる、ということが懸念される。
本実施形態によれば、主流線ＣＬ２２が延びる主流方向は、ハウジング２１の角度設定面２７ａが延びている方向である。このため、配管ユニット１４に対するハウジング２１の取り付け角度を設定する場合に角度設定面２７ａを利用することで、吸気通路１２の周流方向に合わせてハウジング２１を適正な向きで配管ユニット１４に取り付けることができる。すなわち、入口天井面３４２が剥離抑制効果を発揮できる向きでハウジング２１を配管ユニット１４に取り付けることができる。
本実施形態によれば、入口通過路３３１の断面積Ｓ２１は、通過入口３３から通過出口３４に向けて徐々に小さくなっている。この構成では、通過入口３３から入口通過路３３１に流れ込んだ空気が通過出口３４に向けて進むほど、入口通過路３３１の絞り度合いが大きくなるため、この空気がハウジング２１の内面によって整流されやすい。このため、入口天井面３４２によって進む向きが変えられた上向き偏流ＡＦ２５等の空気が、入口床面３４６よりもハウジング表側やハウジング裏側に広がらずに入口床面３４６に向けて進みやすくなり、入口床面３４６付近での空気の乱れを抑制できる。このように、入口通過路３３１を、入口天井面３４２の剥離抑制効果が発揮されやすい形状にすることができる。
本実施形態によれば、入口通過線ＣＬ２４に対する分岐計測線ＣＬ２３の傾斜角度θ２５が９０度以上である。この構成では、通過入口３３から入口通過路３３１に流れ込んで入口通過線ＣＬ２４に沿って流れている空気は、その進む向きを鋭角的に急激に変化させなくても鈍角的に穏やかに変化させることで、入口通過路３３１から計測流路３２に流れ込むことができる。したがって、通過流路３１を流れる空気が計測流路３２に流れ込む際に、進む向きの急激な変化によって気流の乱れが生じる、ということを抑制できる。
本実施形態によれば、主流線ＣＬ２２に対する分岐計測線ＣＬ２３の傾斜角度θ２６が６０度以下になっている。この構成では、通過流路３１に対する計測流路３２の分岐角度が６０度以下であるため、通過入口３３から入口通過路３３１に流れ込んだ空気について、その進む向きを急激に変化させなくても、入口通過路３３１から計測流路３２に流れ込ませることができる。したがって、通過流路３１を流れる空気が計測流路３２に流れ込む際に気流の乱れが生じにくくなっている。
また、この構成では、通過出口３４から流入した逆流が通過流路３１から分岐計測路３５１に流れ込むには鋭角的に急旋回する必要がある。このため、逆流が分岐計測路３５１に流れ込みにくいという事象が生じやすくなり、逆流が流量センサ２２に到達するということを抑制できる。この場合、実際には通過出口３４から流入した逆流が流量センサ２２に到達したにもかかわらず、通過入口３３から流入した順流が流量センサ２２に到達したとしてエアフロメータ２０が流量の計測を行ってしまう、ということが生じにくくなる。したがって、エアフロメータ２０による吸入空気の流量の計測精度を高めることができる。
さらに、この構成では、順流が通過流路３１から分岐計測路３５１に流れ込む場合に、その順流の流れの向きが分岐計測路３５１に向けて徐々に変わればよい。この場合では、上述したように逆流が分岐計測路３５１に流れ込みにくくなっている一方で、順流は分岐計測路３５１に流れ込みやすくなっている。このように、計測流路３２に流れ込む順流の流速が不足するということが抑制されるため、通過入口３３から流入した順流について、流量センサ２２による流量の検出精度を高めることができる。
本実施形態によれば、通過出口３４の開口面積が通過入口３３の開口面積より小さいため、吸気通路１２にて発生した逆流が通過出口３４に流れ込みにくくなっている。したがって、分岐計測路３５１への逆流の流れ込みをより確実に抑制することができる。
（他の実施形態）
以上、本開示による複数の実施形態について説明したが、本開示は、上記実施形態に限定して解釈されるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲内において種々の実施形態及び組み合わせに適用することができる。
＜構成群Ａの変形例＞
変形例Ａ１として、計測流路３２において表頂部１１１ａと裏頂部１１２ａとは、幅方向Ｘに並べられていなくてもよい。例えば、頂部１１１ａ，１１２ａのうち表頂部１１１ａだけが発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ５上に配置されていてもよい。この場合、裏頂部１１２ａは、中心線ＣＬ５に対して高さ方向Ｙ及び奥行き方向Ｚの少なくとも一方にずれた位置に配置されていることになる。
変形例Ａ２として、表絞り部１１１の表頂部１１１ａは、発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ５上に配置されていなくてもよい。例えば、表頂部１１１ａが、発熱抵抗体７１の一部と幅方向Ｘに並び、発熱抵抗体７１の一部と対向していればよい。また、表頂部１１１ａが、メンブレン部６２の一部と幅方向Ｘに並び、メンブレン部６２の一部と対向していればよい。さらに、表頂部１１１ａが、流量センサ２２の一部と幅方向Ｘに並び、流量センサ２２の一部と対向していればよい。
変形例Ａ３として、表絞り部１１１や裏絞り部１１２等の絞り部は、計測流路３２において計測天井面１０２や計測床面１０１に設けられていてもよい。例えば、計測流路３２において、計測床面１０１、計測天井面１０２、表計測壁面１０３及び裏計測壁面１０４のうち少なくとも１つに絞り部が設けられていればよい。
変形例Ａ４として、吸入空気の流量とは異なる物理量を検出する物理量センサが計測流路に設けられていてもよい。計測流路に設けられる物理量センサとしては、流量センサ２２，２０２の他に、温度を検出する検出部や、湿度を検出する検出部、圧力を検出する検出部などが挙げられる。これら検出部は、検出ユニットとしてのセンサＳＡ５０，２２０に搭載されていてもよく、センサＳＡ５０，２２０とは別体として設けられていてもよい。
変形例Ａ５として、エアフロメータ２０，２００は通過流路３１，２１１を有していなくてもよい。すなわち、バイパス流路３０，２１０は分岐していなくてもよい。例えば、計測流路３２，２１２の計測入口３５，２１５がハウジング２１，２０１の外面に設けられた構成とする。この構成では、計測入口３５，２１５からハウジング２１，２０１の内部に流れ込んだ空気の全てが計測出口３６，２１６から流出する。
＜構成群Ｂの変形例＞
変形例Ｂ１として、ハウジング仕切部はハウジング収容面に設けられていてもよい。例えば、上記第１実施形態において、図５１に示すように、ハウジング仕切部１３１がハウジング収容面１３６に設けられた構成とする。この構成では、ハウジング仕切部１３１がセンサＳＡ５０のＳＡ収容面１４６に向けて延びている。ハウジング仕切部１３１の中心線ＣＬ１１は、高さ方向Ｙに交差する方向に延びている。ハウジング仕切部１３１は、高さ方向Ｙに直交する方向Ｘ，Ｙに延びているのではなく、ハウジング基端側に向けてハウジング収容面１３６から斜めに延びている。このため、ハウジング仕切部１３１の中心線ＣＬ１１もハウジング収容面１３６に直交せずに斜めに交差している。
本変形例では、ハウジング仕切部１３１がハウジング収容面１３６に設けられている。このため、単にセンサＳＡ５０をＳＡ収容領域１５０の奥側に向けて押し込むことで、ハウジング段差面１３７とハウジング収容面１３６との出隅部分でハウジング仕切部１３１の先端部を削るように変形させることができる。これにより、ハウジング仕切部１３１がハウジング収容面１３６に密着しやすくなる。なお、図５１では、ハウジング仕切部１３１のうちセンサＳＡ５０によって削り取られるように変形した部分を２点鎖線で図示している。
変形例Ｂ２として、上記第１実施形態と同様に、上記第２実施形態でもハウジング仕切部がハウジング段差面に設けられていてもよい。例えば、図５２に示すように、ハウジング仕切部２７１がハウジング段差面２７７に設けられた構成とする。この構成では、第１中間壁部２３６の第１中間孔２３６ａが、ハウジング仕切部２７１の先端部ではなく第１中間壁部２３６の先端面により形成されている。なお、図５２においては、ハウジング仕切部２７１のうちセンサＳＡ２２０によって押し潰された部分を２点鎖線で図示している。
また、図５３に示すように、ベース部材２９１においては、ベース突起２７１ａが第１ベース凸部２９５のハウジング基端側の壁面に設けられている。カバー部材２９２においては、カバー突起２７１ｂが第１カバー凸部２９７のハウジング基端側の面に設けられている。
変形例Ｂ３として、上記第２実施形態と同様に、上記第１実施形態でもハウジング仕切部がハウジング流路面に設けられていてもよい。例えば、ハウジング仕切部１３１がハウジング流路面１３５に設けられた構成とする。
変形例Ｂ４として、ハウジング仕切部が入り込むユニット凹部が検出ユニットに設けられていてもよい。例えば、図５４に示すように、上記第１実施形態において、センサＳＡ５０のＳＡ段差面１４７にユニット凹部としてのＳＡ凹部１６１が設けられた構成とする。この構成では、センサＳＡ５０が第１ハウジング部１５１に装着された状態では、ハウジング仕切部１３１がＳＡ凹部１６１の内部に入り込んでいる。ＳＡ段差面１４７からのＳＡ凹部１６１の凹み方向は、ハウジング段差面１３７からのハウジング仕切部１３１の突出方向と同じになっている。すなわち、ＳＡ凹部１６１の中心線はハウジング仕切部１３１の中心線ＣＬ１１に一致している。
この構成では、ハウジング仕切部１３１とＳＡ凹部１６１の内面とが密着しやすくなっている。具体的には、ＳＡ段差面１４７からの凹み寸法であるＳＡ凹部１６１の深さ寸法が、ハウジング段差面１３７からのハウジング仕切部１３１の突出寸法よりも小さくなっている。この場合、センサＳＡ５０をハウジング開口部１５１ａから挿入してハウジング仕切部１３１をＳＡ凹部１６１の内部に入り込ませた後、更にセンサＳＡ５０を押し込むことでハウジング仕切部１３１がＳＡ凹部１６１の内面に接触して潰れるように変形する。これにより、ハウジング仕切部１３１がＳＡ凹部１６１の内面に密着しやすくなる。
仮に、ハウジング仕切部１３１がＳＡ凹部１６１の内面に接触していなくても、ハウジング仕切部１３１の外面とＳＡ凹部１６１の内面との隙間が曲がった形状になっているため、この隙間を異物や空気が通過するということが生じにくくなっている。したがって、第２ハウジング部１５２の製造に際して、溶融樹脂が第１ハウジング部１５１とセンサＳＡ５０との隙間を通じて計測流路３２に進入するということを、ハウジング仕切部１３１がＳＡ凹部１６１の内部に入り込んでいることで抑制できる。
変形例Ｂ５として、検出ユニットが有するユニット仕切部によりハウジングと検出ユニットとの隙間が仕切られていてもよい。例えば、図５５に示すように、上記第２実施形態において、検出ユニットとしてのセンサＳＡ２２０がユニット仕切部としてのＳＡ仕切部３０２を有している。ＳＡ仕切部３０２は、センサＳＡ２２０の外面に設けられた凸部であり、センサＳＡ２２０からハウジング２０１に向けて突出している。ＳＡ仕切部３０２の先端部はハウジング２０１の内面に接触している。ＳＡ仕切部３０２は、センサＳＡ２２０の外面とハウジング２０１の内面との間においてＳＡ収容領域２９０と計測流路２１２とを仕切っている。
ＳＡ仕切部３０２は、センサＳＡ２２０のＳＡ流路面２８５に設けられている。ＳＡ仕切部３０２は、ＳＡ流路面２８５のうちハウジング２０１のハウジング流路面２７５に対向する部分に設けられており、高さ方向Ｙに交差する方向においてハウジング流路面２７５に向けて外側に突出している。ＳＡ仕切部３０２の中心線ＣＬ１４は、高さ方向Ｙに直交する方向Ｘ，Ｚに直線状に延びている。ＳＡ仕切部３０２は、ＳＡ流路面２８５と共にセンサＳＡ２２０の外周を環状に一周している。この場合、ＳＡ仕切部３０２は、幅方向Ｘに延びた部分と奥行き方向Ｚに延びた部分とを有しており、全体として略矩形枠状になっている。
ＳＡ仕切部３０２は、上記第１実施形態のハウジング仕切部１３１と同様に先細りした形状になっている。ハウジング２０１において、第１中間壁部２３６の先端面は平坦面になっており、この平坦面にＳＡ仕切部３０２の先端部が接触している。
エアフロメータ２００の製造工程において、図５６に示すようにセンサＳＡ２２０をベース部材２９１に組み付ける場合、上記第１実施形態のベース突起２７１ａが変形するのと同様に、ＳＡ仕切部３０２が変形する。具体的には、センサＳＡ２２０をベース開口部２９１ａからベース部材２９１の内部に押し込むことで、ＳＡ仕切部３０２の先端部がベース部材２９１の第１ベース凸部２９５により押し潰されたり削られたりして変形する。また、カバー部材２９２をベース部材２９１に組み付ける場合、上記第１実施形態のカバー突起２７１ｂが変形するのと同様に、ＳＡ仕切部３０２が変形する。具体的には、カバー部材２９２をセンサＳＡ２２０及びベース部材２９１に押し付けることで、ＳＡ仕切部３０２の先端部がカバー部材２９２の第１カバー凸部２９７により押し潰されて変形する。これらの場合、ＳＡ仕切部３０２においては、先端部が押し潰されたり削られたりすることで新たに形成された先端面がハウジング２０１のハウジング流路面２７５に密着しやすくなり、ＳＡ仕切部３０２とハウジング流路面２７５とのシール性が高められる。
変形例Ｂ６として、上記変形例Ｂ５において、図５７に示すように、ＳＡ仕切部３０２がセンサＳＡ２２０のＳＡ段差面２８７に設けられていてもよい。ＳＡ仕切部３０２は、ハウジング段差面２７７に向けて高さ方向Ｙに延びている。ＳＡ仕切部３０２の中心線ＣＬ４は高さ方向Ｙに延びている。ＳＡ仕切部３０２は、ＳＡ段差面２８７と共にセンサＳＡ２２０の外周を環状に一周している。
エアフロメータ２００の製造工程において、図５８に示すようにセンサＳＡ２２０をベース部材２９１に組み付ける場合、上記変形例Ｂ５と同様に、ベース部材２９１やカバー部材２９２の凸部２９５，２９７によりＳＡ仕切部３０２が変形する。これにより、ＳＡ仕切部３０２の新たな先端面がハウジング流路面２７５に密着しやすくなる。
図５８に示すように、ＳＡ仕切部３０２は、ＳＡ段差面２８７においてＳＡ収容面２８６よりもＳＡ流路面２８５に近い位置に設けられている。この構成では、計測流路２１２側に極力寄せた位置でＳＡ仕切部３０２により計測流路２１２とＳＡ収容領域２９０とを仕切ることで、ハウジング２０１とセンサＳＡ２２０との隙間のうち計測流路２１２に含まれる部分を極力小さくできる。このため、ＳＡ仕切部３０２がＳＡ流路面２８５に極力近い位置に設けられていることで、流量センサ２０２の検出精度を高めることができる。
図５７、図５８のように、ＳＡ段差面２８７に設けられたＳＡ仕切部３０２がハウジング段差面２７７に接触している構成では、ＳＡ段差面２８７とハウジング段差面２７７とが、いずれも高さ方向Ｙに交差し且つ互いに対向している。このため、センサＳＡ２２０を第１中間壁部２３６の第１中間孔２３６ａに挿入した場合に、ＳＡ仕切部３０２がハウジング段差面２７７に引っ掛かった状態になる。このため、単にセンサＳＡ２２０を計測流路２１２に向けてハウジング２０１の内部に押し込むという作業を行うことで、ＳＡ仕切部３０２をハウジング段差面２７７に密着させることができる。
変形例Ｂ７として、上記変形例Ｂ４とＢ５とを組み合わせて、ユニット仕切部が入り込むハウジング凹部がハウジングに設けられていてもよい。例えば、図５９に示すように、上記第１実施形態において、検出ユニットとしてのセンサＳＡ５０がユニット仕切部としてのＳＡ仕切部１６２を有し、ハウジング２１がハウジング凹部１６３を有している構成とする。この構成では、ＳＡ仕切部１６２は、センサＳＡ５０の外面に設けられた凸部であり、センサＳＡ５０からハウジング２１に向けて突出している。ＳＡ仕切部１６２はハウジング凹部１６３の内部に入り込んだ状態になっている。
ＳＡ仕切部１６２は、センサＳＡ５０のＳＡ段差面１４７に設けられている。ＳＡ仕切部１６２は高さ方向Ｙに延びており、ＳＡ仕切部１６２の中心線ＣＬ１３は、ＳＡ段差面１４７及びハウジング段差面１３７の両方に対して傾斜した状態で直線状に延びている。ＳＡ仕切部１６２は、ＳＡ段差面１４７と共にセンサＳＡ５０の外周を環状に一周している。この場合、ＳＡ仕切部１６２は、幅方向Ｘに延びた部分と奥行き方向Ｚに延びた部分とを有しており、全体として略矩形枠状になっている。ＳＡ仕切部１６２は、上記第１実施形態のハウジング仕切部１３１と同様に先細りした形状になっている。
ハウジング凹部１６３は、ハウジング段差面１３７に設けられている。ハウジング段差面１３７からのハウジング凹部１６３の凹み方向は、ＳＡ段差面１４７からのＳＡ仕切部１６２の突出方向と同じになっている。すなわち、ハウジング凹部１６３の中心線はＳＡ仕切部１６２の中心線ＣＬ１３に一致している。
ＳＡ仕切部１６２はハウジング凹部１６３の内部に入り込んでいる。この構成では、ＳＡ仕切部１６２とハウジング凹部１６３の内面とが密着しやすくなっている。具体的には、ハウジング凹部１６３の深さ寸法がＳＡ仕切部１６２の突出寸法よりも小さくなっている。この場合、センサＳＡ５０をハウジング開口部１５１ａから挿入してＳＡ仕切部１６２をハウジング凹部１６３の内部に入り込ませた後、更にセンサＳＡ５０を押し込むことでＳＡ仕切部１６２がハウジング凹部１６３の内面に接触して潰れるように変形する。これにより、ＳＡ仕切部１６２がハウジング凹部１６３の内面に密着しやすくなる。また、仮にＳＡ仕切部１６２がハウジング凹部１６３の内面に接触していなくても、ＳＡ仕切部１６２の外面とハウジング凹部１６３との隙間が曲がった形状になっているため、この隙間を異物や空気が通過するということが生じにくくなっている。
図５９では、ＳＡ仕切部１６２の中心線ＣＬ１３とハウジング段差面１３７との間の角度のうち、ＳＡ収容領域１５０を向いた収容側角度θ１４が、計測流路３２を向いた流路側角度θ１３よりも大きくなっている。すなわち、θ１４＞θ１３の関係が成り立っている。この構成では、ＳＡ仕切部１６２の先端部がハウジング段差面１３７に接触した場合に、ＳＡ仕切部１６２の先端部が計測流路３２側よりもＳＡ収容領域１５０側に向けて倒れたり潰れたりしやすくなっている。このため、ＳＡ仕切部１６２がハウジング段差面１３７により押し潰されることで破片等の潰れカスが発生したとしても、この潰れカスが計測流路３２に進入しにくくなっている。
図５９のように、ＳＡ段差面１４７に設けられたＳＡ仕切部１６２がハウジング段差面１３７に接触している構成では、ＳＡ段差面１４７とハウジング段差面１３７とがいずれも高さ方向Ｙに交差し且つ互いに対向している。このため、センサＳＡ５０を第１ハウジング部１５１の内部に挿入した場合に、ＳＡ仕切部１６２がハウジング段差面１３７に引っ掛かった状態になる。この場合、単にセンサＳＡ５０を計測流路３２に向けて第１ハウジング部１５１の内部に押し込むという作業を行うことで、ＳＡ仕切部１６２をハウジング段差面１３７に密着させることができる。
変形例Ｂ８として、ハウジング段差面に設けられたハウジング仕切部の設置位置は、ハウジング収容面よりもハウジング流路面に近い位置でなくてもよい。例えば、上記第２実施形態において、ハウジング仕切部２７１がハウジング段差面２７７においてハウジング流路面２７５よりもハウジング収容面２７６に近い位置に設けられた構成とする。また、ハウジング段差面１３７において、ハウジング仕切部１３１までの離間距離がハウジング流路面１３５とハウジング収容面１３６とで同じになっていてもよい。
変形例Ｂ９として、ユニット段差面に設けられたユニット仕切部の設置位置は、ユニット収容面よりもユニット流路面に近い位置でなくてもよい。例えば、上記変形例Ｂ６において、ＳＡ仕切部３０２がＳＡ段差面２８７においてＳＡ流路面２８５よりもＳＡ収容面２８６に近い位置に設けられた構成とする。また、ＳＡ段差面２８７において、ＳＡ仕切部３０２までの離間距離がＳＡ流路面２８５とＳＡ収容面２８６とで同じになっていてもよい。
変形例Ｂ１０として、ハウジング仕切部は、ハウジング段差面、ハウジング流路面及びハウジング収容面のうち複数の面に設けられていてもよい。この構成では、複数の面のそれぞれに設けられたハウジング仕切部が、互いに接続されていてもよく、互いに独立していてもよい。例えば、上記第１実施形態において、ハウジング段差面１３７及びハウジング流路面１３５のそれぞれに設けられたハウジング仕切部１３１が、互いに独立した状態で高さ方向Ｙに並べられた構成とする。
変形例Ｂ１１として、ユニット仕切部は、ユニット段差面、ユニット流路面及びユニット収容面のうち複数の面に設けられていてもよい。この構成では、複数の面のそれぞれに設けられたユニット仕切部が、互いに接続されていてもよく、互いに独立していてもよい。例えば、上記変形例Ｂ７において、ＳＡ段差面１４７及びＳＡ流路面１４５のそれぞれに設けられたＳＡ仕切部１６２が、互いに独立した状態で高さ方向Ｙに並べられた構成とする。
変形例Ｂ１２として、ハウジング仕切部やユニット仕切部は、検出ユニットの周りを環状に一周していなくてもよい。例えば、上記第１実施形態のハウジング段差面１３７において、高さ方向Ｙでの高さ位置が高い部分と低い部分とが周方向に並べられた構成とする。この構成では、高い部分と低い部分とのうち低い部分にだけハウジング仕切部１３１が設けられている。この場合、ハウジング段差面１３７のうち高い部分とハウジング仕切部１３１とがＳＡ段差面１４７に接触していることで、第１ハウジング部１５１の内面とセンサＳＡ５０との間に隙間が生じないようになっている。なお、このハウジング仕切部１３１は、幅方向Ｘや奥行き方向Ｚに延びていても、環状にはなっていない。
変形例Ｂ１３として、物理量計測装置はハウジング仕切部及びユニット仕切部の両方を有していてもよい。例えば、ハウジング仕切部とユニット仕切部とが高さ方向Ｙに並べられた構成とする。この構成では、ハウジング段差面、ハウジング流路面及びハウジング収容面のうちハウジング仕切部が設けられた面とは対向しない面にユニット仕切部が設けられていてもよく、対向する面にユニット仕切部が設けられていてもよい。また、ハウジング仕切部とユニット仕切部とが互いに接触する構成としてもよい。この構成では、ハウジングの内部への検出ユニットの挿入に伴ってハウジング仕切部とユニット仕切部とが互いに押し付けられることで、これらハウジング仕切部及びユニット仕切部の少なくとも一方が変形しやすくなる。この場合、ハウジング仕切部とユニット仕切部とが互いに密着しやすくなるため、計測流路と収容領域との境界部でのシール性がハウジング仕切部及びユニット仕切部の両方により高められる。
変形例Ｂ１４として、ハウジング仕切部は検出ユニットの外面に接触していれば、ハウジングへの検出ユニットの装着前後で形状が変化していなくてもよい。同様に、ユニット仕切部はハウジングの内面に接触していれば、ハウジングへの検出ユニットの装着前後で形状が変化していなくてもよい。
変形例Ｂ１５として、ハウジングの内面からハウジング仕切部が延びている向きは上記各実施形態に制限されない。例えば、上記第１実施形態において、収容側角度θ１２が流路側角度θ１１に比べて大きくなっていなくてもよい。同様に、検出ユニットの外面からユニット仕切部が延びている向きは上記各実施形態に制限されない。例えば、上記変形例Ｂ７において、収容側角度θ１４が流路側角度θ１１に比べて大きくなっていなくてもよい。
変形例Ｂ１６として、ハウジング仕切部やユニット仕切部は先細りの形状になっていなくてもよい。例えば、上記第１実施形態において、ハウジング仕切部１３１が縦断面矩形状になっていてもよい。この場合、高さ方向Ｙに直交する方向Ｘ，Ｚにおいて、ハウジング仕切部１３１の幅寸法は、ハウジング仕切部１３１の基端部と先端部とで同じになっている。
変形例Ｂ１７として、ハウジングの内部において収容領域は空気等の気体が存在する空間になっていてもよい。この構成では、収容領域と計測流路との境界部でのシール性がハウジング仕切部やユニット仕切部により高められていることで、収容領域と計測流路との間で空気の行き来が阻止される。このため、計測流路から収容領域に空気が漏れることや、収容領域から計測流路に空気が進入すること、に起因して計測流路において流量センサによる流量の検出精度が低下する、ということを抑制できる。
＜構成群Ｃの変形例＞
変形例Ｃ１として、入口床面は、通過入口側を向いていなくてもよい。例えば、上記第３実施形態において、図６０に示すように、入口床面３４６が通過出口３４側を向いた構成とする。この構成では、入口床面３４６が、奥行き方向Ｚにおいて通過入口３３とは反対側を向くように、主流線ＣＬ２２、出口床面３４７及び分岐床面３４８のいずれに対しても傾斜している。また、入口床面３４６は、図６１に示すように、主流線ＣＬ２２と平行に延びていてもよい。さらに、通過床面３４５の全体が、通過出口３４側を向いていてもよく、図６１に示すように主流線ＣＬ２２と平行に延びていてもよい。いずれの構成であっても、入口天井面３４２が入口床面３４６に対して傾斜していればよい。
変形例Ｃ２として、計測入口が通過出口側を向いていなくてもよい。例えば、上記第３実施形態において、図６１に示すように、計測入口３５が通過入口３３側及び通過出口３４側のいずれにも向いていない構成とする。この計測入口３５は、主流線ＣＬ２２と平行に延びており、通過床面３４５側を向いている。この構成では、通過床面３４５が主流線ＣＬ２２と平行に延びている一方で、出口天井面３４３が主流線ＣＬ２２に対して傾斜している。この出口天井面３４３は、通過出口３４側を向くように出口床面３４７にたいして傾斜している。
変形例Ｃ３として、入口天井面の一部が天井傾斜面になっていてもよい。例えば、上記第３実施形態において、図６２に示すように、入口天井面３４２が天井傾斜面３４２ａ及び天井接続面３４２ｂを有する構成とする。この構成において、天井傾斜面３４２ａは、通過入口３３から通過出口３４に向けて延びており、入口床面３４６に対して傾斜している。天井傾斜面３４２ａは、通過入口３３側を向いており、入口床面３４６に加えて主流線ＣＬ２２に対して傾斜している。奥行き方向Ｚにおいて、天井傾斜面３４２ａの長さ寸法は入口床面３４６の長さ寸法よりも小さくなっている。天井接続面３４２ｂは、天井傾斜面３４２ａの下流端部と奥行き方向Ｚでの計測入口３５の上流端部とを接続しており、主流方向に延びる主流線ＣＬ２２と平行に延びている。奥行き方向Ｚにおいて、例えば、天井傾斜面３４２ａの長さ寸法は天井接続面３４２ｂの長さ寸法よりも大きくなっている。
本変形例では、天井傾斜面３４２ａが上記第３実施形態の入口天井面３４２に対応する部位である。このため、入口床面３４６に対する天井傾斜面３４２ａの傾斜角度が傾斜角度θ２１であり、主流線ＣＬ２２に対する天井傾斜面３４２ａの傾斜角度が傾斜角度θ２２である。また、高さ方向Ｙにおいて天井傾斜面３４２ａと入口床面３４６との離間距離が離間距離Ｈ２１である。
変形例Ｃ４として、上記第３実施形態において、入口床面３４６に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２１が、主流線ＣＬ２２に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２２以下の値であってもよい。例えば、上記変形例Ｃ１のように、入口床面３４６が通過出口３４側を向くように主流線ＣＬ２２に対して傾斜した構成とする。
変形例Ｃ５として、上記第３実施形態において、入口床面３４６に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２１が１０度以上の値であれば、主流線ＣＬ２２に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２２は１０度以上の値でなくてもよい。例えば、入口天井面３４２が通過出口３４を向いた構成とする。この構成では、主流線ＣＬ２２に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２２が０度より小さい値になっている一方で、入口床面３４６に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２１が１０度以上になっている。この場合、入口床面３４６は、通過入口３３側を向くように主流線ＣＬ２２に対して大きく傾斜している。
変形例Ｃ６として、上記第３実施形態において、入口床面３４６に対する分岐計測線ＣＬ２３の傾斜角度θ２３が、主流線ＣＬ２２に対する分岐計測線ＣＬ２３の傾斜角度θ２４以上の値であってもよい。例えば、上記変形例Ｃ４と同様に、入口床面３４６が通過出口３４側を向くように主流線ＣＬ２２に対して傾斜した構成とする。
変形例Ｃ７として、上記第３実施形態において、入口床面３４６に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２１は、０度より大きく且つ１０度より小さい範囲の値になっていてもよい。また、主流線ＣＬ２２に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２２は、０度より大きく且つ１０度より小さい範囲の値になっていてもよい。
変形例Ｃ８として、上記第３実施形態において、入口床面３４６に対する分岐計測線ＣＬ２３の傾斜角度θ２３は、０度より大きく且つ９０度より小さい範囲の値になっていてもよい。また、主流線ＣＬ２２に対する分岐計測線ＣＬ２３の傾斜角度θ２４は、０度より大きく且つ９０度より小さい範囲の値になっていてもよい。
変形例Ｃ９として、上記第３実施形態において、入口天井面３４２や入口床面３４６がハウジング先端側に向けて膨らんだり凹んだりするように曲がっていてもよい。この構成では、例えば、入口天井面３４２の上流端部と下流端部とを通る直線状の仮想線を想定し、入口床面３４６や主流線ＣＬ２２に対するこの仮想線の傾斜態様を入口天井面３４２の傾斜態様とする。また、入口床面３４６の上流端部と下流端部とを通る直線状の仮想線を想定し、入口天井面３４２や分岐計測線ＣＬ２３に対するこの仮想線の傾斜態様を入口床面３４６の傾斜態様とする。
変形例Ｃ１０として、上記第３実施形態において、通過流路３１は、入口通過路３３１及び分岐通過路３３３を有していれば、出口通過路３３２を有していなくてもよい。この構成では、分岐通過路３３３の下流端部が通過出口３４になる。また、この構成では、通過天井面３４１が、入口天井面３４２を有している一方で、出口天井面３４３を有していないことになる。さらに、この構成では、通過床面３４５が、入口床面３４６及び分岐床面３４８を有している一方で、出口床面３４７を有していないことになる。
変形例Ｃ１１として、上記第３実施形態において、入口通過路３３１の断面積Ｓ２１の減少率は、入口通過路３３１の上流端部と下流端部との間において一定の値でなくてもよい。例えば、断面積Ｓ２１の減少率が通過入口３３から通過出口３４に向けて徐々に小さくなっていく構成とする。この構成では、入口通過路３３１での断面積Ｓ２１の値を示すグラフが、図４２とは異なり下方に向けて膨らんだような形状になる。また、断面積Ｓ２１の減少率が通過入口３３から通過出口３４に向けて徐々に大きくなっていく構成とする。この構成では、入口通過路３３１での断面積Ｓ２１の値を示すグラフが、図４２とは異なり上方に向けて膨らんだような形状になる。
変形例Ｃ１２として、上記第３実施形態において、入口通過路３３１の断面積Ｓ２１は、主流線ＣＬ２２に直交する方向での断面積ではなく、入口通過線ＣＬ２４に直交する方向での断面積であってもよい。
変形例Ｃ１３として、上記第３実施形態において、分岐計測路３５１は計測入口３５から真っ直ぐに延びずに曲がっていてもよい。すなわち、分岐計測路３５１の中心線が真っ直ぐに延びずに曲がっていてもよい。分岐計測路３５１の中心線が曲がっている構成については、分岐計測路３５１の中心線について計測入口３５での接線を想定し、この接線を分岐計測線ＣＬ２３とする。
変形例Ｃ１４として、上記第３実施形態において、出口通過線ＣＬ２５に対する分岐計測線ＣＬ２３の傾斜角度θ２６は、０度より大きく且つ６０度より小さい範囲の値になっていてもよい。
変形例Ｃ１５として、計測流路３２においては、流量センサ２２が分岐計測路３５１や案内計測路３５２、排出計測路３５４に設けられていてもよい。
変形例Ｃ１６として、エアフロメータ２０においては、吸気通路１２に対するハウジング２１の設置角度を設定する角度設定面２７ａを有する部位がフランジ部２７でなくてもよい。例えば、ハウジング２１の一部が配管ユニット１４の管フランジ１４ｃの先端面に引っかかった状態で、ハウジング２１が管フランジ１４ｃに対してボルト等により固定された構成とする。この構成では、ハウジング２１において管フランジ１４ｃの先端面に重なっている面が角度設定面になっており、この角度設定面が管フランジ１４ｃの先端面に重なっていることで、吸気通路１２に対するハウジング２１の設置角度が設定されている。
＜構成群Ｄの変形例＞
変形例Ｄ１として、下流外曲がり面４２１は湾曲した部分を有していてもよい。例えば、図６３に示すように、下流外曲がり面４２１が下流外横面４２２及び下流外縦面４２３に加えて下流外湾曲面４６１を有する構成とする。下流外湾曲面４６１は、計測流路３２の中心線ＣＬ４に沿って膨らむように延びており、この中心線ＣＬ４に沿って連続的に曲がるように湾曲している。下流外湾曲面４６１は、中心線ＣＬ４が延びる方向において下流外横面４２２と下流外縦面４２３との間に設けられており、これら下流外横面４２２と下流外縦面４２３とを接続している。
下流外湾曲面４６１の曲率半径Ｒ３４は、上流外曲がり面４１１の曲率半径Ｒ３３よりも小さくなっている。このため、上記第１実施形態と同様に、下流外曲がり面４２１の曲がりは上流外曲がり面４１１の曲がりよりもきつい状態になっている。一方で、下流外湾曲面４６１の曲率半径Ｒ３４は、下流内曲がり面４２５の曲率半径Ｒ３２よりも大きくなっている。このため、下流外曲がり面４２１の曲がりは下流内曲がり面４２５の曲がりよりもゆるい状態になっている。
並び線ＣＬ３１は、下流外曲がり面４２１において下流外縦面４２３ではなく下流外湾曲面４６１を通っている。この構成では、流量センサ２２を通過して並び線ＣＬ３１に沿って進んだ空気は、下流外湾曲面４６１に当たることで向きが変わり、下流曲がり路４０７の下流側に向けて進みやすくなる。
本変形例によれば、下流外曲がり面４２１が下流外湾曲面４６１を有しているため、センサ支持部５１と絞り部１１１，１１２との間から下流曲がり路４０７に向けて吹き出された空気が下流外湾曲面４６１に沿って流れやすくなる。この場合、流量センサ２２を通過した空気が下流曲がり路４０７にてとどまりにくくなるため、流量センサ２２を通過する空気の流量や流速が低下するということを抑制できる。
また、下流外湾曲面４６１の曲率半径Ｒ３４が上流外曲がり面４１１の曲率半径Ｒ３３よりも小さいことで、下流外曲がり面４２１の凹み度合いが上流外曲がり面４１１の凹み度合いよりも大きくなっていることが好ましい。この構成では、下流外曲がり面４２１の凹み度合いを極力大きくしつつ、流量センサ２２側から下流曲がり路４０７に到達した空気が下流外湾曲面４６１に沿って計測出口３６に向けて流れやすくなる。このため、下流曲がり路４０７に空気が留まって下流曲がり路４０７での圧力損失が増加するということを、下流外曲がり面４２１の形状によって抑制できる。
変形例Ｄ２として、上記変形例Ｄ１において、下流外曲がり面４２１は、下流外湾曲面４６１を有している一方で、下流外横面４２２及び下流外縦面４２３の少なくとも一方を有していなくてもよい。例えば、下流外曲がり面４２１が下流外横面４２２及び下流外縦面４２３の両方を有していない構成とする。この構成では、下流外湾曲面４６１が下流曲がり路４０７の上流端部と下流端部とにかけ渡されている。この場合、下流外曲がり面４２１の全体が下流外湾曲面４６１になっており、下流外曲がり面４２１が下流外湾曲面に相当する。
変形例Ｄ３として、上流外曲がり面４１１は、上流曲がり路４０６の上流端部から真っ直ぐに延びた上流外縦面と、上流曲がり路４０６の下流端部から真っ直ぐに延びた上流外横面と、のうち少なくとも一方を有していてもよい。この構成では、上流外曲がり面４１１の全体が上流外湾曲面になっているのではなく、上流外曲がり面４１１が、上流外縦面及び上流外横面の少なくとも一方に加えて、上流外湾曲面を有していることになる。例えば、上流外曲がり面４１１が上流外縦面及び上流外湾曲面を有している構成では、並び線ＣＬ３１が上流外縦面を通っていてもよい。また、上流外曲がり面４１１においては、上流外縦面と上流外横面とが互いに内向きに入り合った入隅部分として上流外入隅部が形成されていてもよい。
変形例Ｄ４として、上流内曲がり面４１５は、上流曲がり路４０６の上流端部から真っ直ぐに延びた上流内縦面と、上流曲がり路４０６の下流端部から真っ直ぐに延びた上流内横面と、のうち少なくとも一方を有していてもよい。この構成では、上流内曲がり面４１５の全体が上流内湾曲面になっているのではなく、上流内曲がり面４１５が、上流内縦面及び上流内横面の少なくとも一方に加えて、上流内湾曲面を有していることになる。また、上流内曲がり面４１５においては、上流内縦面と上流内横面とが外向きに出合った出隅部分として上流内出隅部が形成されていてもよい。
変形例Ｄ５として、下流内曲がり面４２５は、下流曲がり路４０７の上流端部から真っ直ぐに延びた下流内縦面と、下流曲がり路４０７の下流端部から真っ直ぐに延びた下流内横面と、のうち少なくとも一方を有していてもよい。この構成では、下流内曲がり面４２５の全体が下流内湾曲面になっているのではなく、下流内曲がり面４２５が、下流内縦面及び下流内横面の少なくとも一方に加えて、下流内湾曲面を有していることになる。また、下流内曲がり面４２５においては、下流内縦面と下流内横面とが外向きに出合った出隅部分として下流内出隅部が形成されていてもよい。
変形例Ｄ６として、外曲がり面４１１，４２１や内曲がり面４１５，４２５は、並び線ＣＬ３１に対して傾斜した傾斜面を少なくとも１つ有していることで、連続的ではなく段階的に曲がっていてもよい。例えば、下流外曲がり面４２１が並び線ＣＬ３１に対して傾斜した方向に真っ直ぐに延びた傾斜面として下流外傾斜面を有している構成とする。この構成では、下流外横面４２２と下流外縦面４２３との接続部分が下流外傾斜面により面取りされた状態になっており、下流外曲がり面４２１が下流外入隅部４２４を有していない。また、計測流路３２の中心線ＣＬ４に沿って下流外傾斜面が複数並べられていてもよく、この構成では、下流外曲がり面４２１が複数の下流外傾斜面により段階的に曲がった形状になる。
変形例Ｄ７として、下流外曲がり面４２１の凹み度合いが上流外曲がり面４１１の凹み度合いよりも大きい構成は、曲率半径に関係なく実現されていてもよい。例えば、下流外曲がり面４２１全体が下流外湾曲面であり、上流外曲がり面４１１全体が上流外湾曲面であり、下流外曲がり面４２１の曲率半径Ｒ３４が上流外曲がり面４１１の曲率半径Ｒ３３よりも大きい構成を想定する。この構成でも、計測流路３２の中心線ＣＬ４が延びる方向において、下流外曲がり面４２１の長さ寸法が上流外曲がり面４１１の長さ寸法よりも小さければ、下流外曲がり面４２１の凹み度合いが上流外曲がり面４１１の凹み度合いよりも大きくなっている。
変形例Ｄ８として、センサ路４０５においては、少なくとも計測床面１０１が並び線ＣＬ３１に沿って真っ直ぐに延びていればよい。また、センサ路４０５の上流端部に流量センサ２２の上流端部が設けられていてもよく、センサ路４０５の下流端部に流量センサ２２の下流端部が設けられていてもよい。例えば、奥行き方向Ｚにおいてセンサ路４０５の長さ寸法と流量センサ２２の長さ寸法とが同じになっていてもよい。
変形例Ｄ９として、奥行き方向Ｚにおいて、上流外曲がり面４１１の下流端部が上流内曲がり面４１５の下流端部よりも流量センサ２２に近い位置に設けられていてもよい。この場合、センサ路４０５の上流端部は、上流内曲がり面４１５の下流端部ではなく、上流外曲がり面４１１の下流端部により規定されることになる。また、奥行き方向Ｚにおいて、下流外曲がり面４２１の上流端部が下流内曲がり面４２５の上流端部よりも流量センサ２２に近い位置に設けられていてもよい。この場合、センサ路４０５の下流端部は、下流内曲がり面４２５の上流端部ではなく、下流外曲がり面４２１の上流端部により規定されることになる。
変形例Ｄ１０として、並び線ＣＬ３１は、流量センサ２２を通っていればよい。並び線ＣＬ３１は、例えば、発熱抵抗体７１の中心ＣＯ１でなくても発熱抵抗体７１の一部を通っていればよい。また、並び線ＣＬ３１は、メンブレン部６２の中心や一部を通っていてもよく、流量センサ２２の中心や一部を通っていてもよい。さらに、並び線ＣＬ３１は、上流曲がり路４０６と下流曲がり路４０７との並び方向に延びていれば、ハウジング２１の角度設定面２７ａや、奥行き方向Ｚ、主流方向に対して傾斜していてもよい。
変形例Ｄ１１として、並び線ＣＬ３１上で、流量センサ２２が下流外曲がり面４２１よりも上流外曲がり面４１１に近い位置に配置されていれば、センサ支持部５１は下流外曲がり面４２１よりも上流外曲がり面４１１に近い位置に配置されていなくてもよい。この場合、センサ支持部５１において、並び線ＣＬ３１上では、流量センサ２２がモールド下流面５５ｄよりもモールド上流面５５ｃに近い位置に配置されている。
変形例Ｄ１２として、並び線ＣＬ３１上において、流量センサ２２は、下流外曲がり面４２１よりも上流外曲がり面４１１に近い位置に配置されていれば、センサ路４０５の下流端部よりも上流端部に近い位置に配置されていなくてもよい。この場合、並び線ＣＬ３１上において、下流曲がり路４０７の上流端部と下流外曲がり面４２１との離間距離が、上流曲がり路４０６の下流端部と上流外曲がり面４１１との離間距離よりも大きくなっている。
変形例Ｄ１３として、計測流路３２においては、上流曲がり路４０６と下流曲がり路４０７とがセンサ路４０５に対して反対向きに曲がっていてもよい。例えば、上流曲がり路４０６及び下流曲がり路４０７がいずれもセンサ路４０５からハウジング先端側に向けて延びるのではなく、一方がハウジング先端側に向けて延び、他方がハウジング基端側に向けて延びた構成とする。仮に、上流曲がり路４０６がセンサ路４０５からハウジング先端側に向けて延び、下流曲がり路４０７がセンサ路４０５からハウジング基端側に向けて延びていれば、下流外曲がり面４２１は、計測床面１０１ではなく計測天井面１０２から延びることになる。また、下流内曲がり面４２５は、計測天井面１０２ではなく計測床面１０１から延びることになる。
変形例Ｄ１４として、計測絞り部の計測絞り面や計測拡張面は凹むように湾曲していてもよく、湾曲せずに真っ直ぐに延びていてもよい。例えば、図６４に示すように、絞り部１１１，１１２において、絞り面４３１，４４１が頂部１１１ａ，１１２ａから上流側に向けて真っ直ぐに延び、拡張面４３２，４４２が頂部１１１ａ，１１２ａから下流側に向けて真っ直ぐに延びた構成とする。絞り面４３１，４４１は、計測流路３２の上流側を向くように並び線ＣＬ３１に対して傾斜しており、拡張面４３２，４４２は、計測流路３２の下流側を向くように並び線ＣＬ３１に対して傾斜している。絞り面４３１，４４１の突出寸法の増加率は、絞り上流面４３３，４４３から頂部１１１ａ，１１２ａに向けて均一になっている。また、拡張面４３２，４４２の突出寸法の減少率は、頂部１１１ａ，１１２ａから拡張下流面４３４，４４４に向けて均一になっている。
絞り部１１１，１１２は、並び線ＣＬ１に沿って延びた先端面を有しており、これら先端面が頂部１１１ａ，１１２ａになっている。奥行き方向Ｚでの頂部１１１ａ，１１２ａの中心は、発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ５よりも下流曲がり路４０７寄りの位置に配置されている。
本変形例によれば、表絞り面４３１や裏絞り面４４１が真っ直ぐに延びているため、これら絞り面４３１，４４１による気流の整流効果を高めることができる。また、表拡張面４３２や裏拡張面４４２が真っ直ぐに延びているため、流量センサ２２の検出精度を低下させない程度に、これら拡張面４３２，４４２からの気流の剥離が生じることなどにより気流が乱れやすくなっている。この場合、センサ支持部５１と拡張面４３２，４４２との間から下流曲がり路４０７に向けて噴流として吹き出される空気の勢いを弱めることができる。このため、噴流が下流外曲がり面４２１で跳ね返って逆流として流量センサ２２まで戻るということを抑制できる。
なお、計測絞り部においては、計測絞り面及び計測拡張面のうち一方だけが真っ直ぐに延びていてもよい。具体的には、表絞り面４３１、表拡張面４３２、裏絞り面４４１及び裏拡張面４４２の少なくとも１つが真っ直ぐに延びていてもよい。また、表頂部１１１ａや裏頂部１１２ａは、膨らむように湾曲していてもよく、凹むように湾曲していてもよい。
変形例Ｄ１５として、絞り部１１１，１１２の形状や大きさは上記第１実施形態の構成とは異なっていてもよい。例えば、絞り部１１１，１１２において、絞り面４３１，４４１の長さ寸法Ｗ３２ａ，Ｗ３２ｂが拡張面４３２，４４２の長さ寸法Ｗ３３ａ，Ｗ３３ｂよりも小さくなくてもよい。また、表絞り上流面４３３と表拡張下流面４３４とが面一になっていなくてもよい。この場合、表絞り上流面４３３からの表絞り面４３１の突出寸法と、表拡張下流面４３４からの表拡張面４３２の突出寸法とが異なる。裏絞り部１１２についても、表絞り部１１１と同様に、裏絞り上流面４４３と裏拡張下流面４４４とが面一になっていなくてもよい。この場合、裏絞り上流面４４３からの裏絞り面４４１の突出寸法と、裏拡張下流面４４４からの裏拡張面４４２の突出寸法とが異なる。
変形例Ｄ１６として、表絞り部１１１と裏絞り部１１２とで形状や大きさが異なっていてもよい。例えば、表絞り部１１１の長さ寸法Ｗ３１ａが裏絞り部１１２の長さ寸法Ｗ３１ｂよりも大きくなっていてもよく、小さくなっていてもよい。表絞り面４３１の長さ寸法Ｗ３２ａが裏絞り面４４１の長さ寸法Ｗ３２ｂよりも大きくなっていてもよく、小さくなっていてもよい。また、表拡張面４３２の長さ寸法Ｗ３３ａが裏拡張面４４２の長さ寸法Ｗ３３ｂよりも大きくなっていてもよく、小さくなっていてもよい。表頂部１１１ａの突出寸法Ｄ３２ａ，Ｄ３６ａが裏頂部１１２ａの突出寸法Ｄ３２ｂ，Ｄ３６ｂと同じ又はそれよりも小さくなっていてもよい。
変形例Ｄ１７として、絞り部１１１，１１２は、奥行き方向Ｚにおいて計測仕切部４５１から外側にはみ出していてもよい。また、絞り部１１１，１１２は、上流曲がり路４０６や下流曲がり路４０７の内部に入り込まない位置に設けられていてもよい。例えば、絞り部１１１，１１２がセンサ路４０５、上流曲がり路４０６及び下流曲がり路４０７のうちセンサ路４０５だけに設けられた構成とする。さらに、絞り部１１１，１１２は、計測天井面１０２と計測床面１０１とにかけ渡されていなくてもよい。例えば、絞り部１１１，１１２が計測天井面１０２及び計測床面１０１のうち一方だけから延びた構成とする。また、絞り部１１１，１１２が計測天井面１０２及び計測床面１０１の間において、これら計測天井面１０２及び計測床面１０１のいずれからも離間した位置に設けられた構成とする。
変形例Ｄ１８として、絞り部１１１，１１２等の計測絞り部は、計測流路３２において表計測壁面１０３、裏計測壁面１０４、外計測曲がり面４０１及び内計測曲がり面４０２の少なくとも１つに設けられていればよい。例えば、表絞り部１１１及び裏絞り部１１２の少なくとも一方が設けられた構成とする。また、計測壁面１０３，１０４及び計測曲がり面４０１，４０２のそれぞれに計測絞り部が設けられた構成とする。
変形例Ｄ１９として、下流内曲がり面４２５の膨らみ度合いは、上流内曲がり面４１５の膨らみ度合いより小さくなくてもよい。また、下流外曲がり面４２１の凹み度合いが下流内曲がり面４２５の膨らみ度合いよりも小さくてもよい。さらに、上流外曲がり面４１１の凹み度合いが上流内曲がり面４１５の膨らみ度合いよりも大きくてもよい。いずれの構成でも、計測流路３２においてＬ３５ｂ＞Ｌ３５ａの関係が成り立っていることが好ましい。
変形例Ｄ２０として、計測流路３２においてＬ３５ｂ＞Ｌ３５ａの関係が成り立っていなくてもよい。すなわち、下流外曲がり面４２１と下流内曲がり面４２５との離間距離Ｌ３５ｂが、上流外曲がり面４１１と上流内曲がり面４１５との離間距離Ｌ３５ａよりも大きくなっていなくてもよい。
変形例Ｄ２１として、下流外曲がり面４２１の凹み度合いは上流外曲がり面４１１の凹み度合いよりも大きくなくてもよい。
変形例Ｄ２２として、並び線ＣＬ３１上において、流量センサ２２が下流外曲がり面４２１よりも上流外曲がり面４１１に近い位置に配置されていなくてもよい。
＜構成群Ｅの変形例＞
変形例Ｅ１として、センサ支持部５１のモールド上流面５５ｃのうち、計測流路３２に設けられた部分の全体が絞り部１１１，１１２よりも上流側に配置されていてもよい。すなわち、計測流路３２においては、モールド上流面５５ｃのうち並び断面ＣＳ４１に含まれた部分が絞り部１１１，１１２よりも上流側に設けられていれば、他の部分は絞り部１１１，１１２よりも上流側に設けられていなくてもよい。
変形例Ｅ２として、並び断面ＣＳ４１では、モールド上流面５５ｃが表絞り部１１１及び裏絞り部１１２の少なくとも一方よりも上流側に配置されていればよい。例えば、裏絞り部１１２が並び断面ＣＳ４１においてモールド上流面５５ｃよりも下流側に配置された構成とする。
変形例Ｅ３として、センサ支持部５１において、モールド上流傾斜面４７１は、モールド基端面５５ｂに向けてモールド下流面５５ｄに徐々に近づくように高さ方向Ｙに対して傾斜していてもよい。また、モールド上流傾斜面４７１は、奥行き方向Ｚに膨らんだり凹んだりするように曲がった湾曲面等の曲がり面になっていてもよい。
変形例Ｅ４として、センサ支持部５１のモールド上流面５５ｃがモールド上流傾斜面４７１を有していなくてもよい。例えば、モールド上流面５５ｃが高さ方向Ｙに対して傾斜せずにモールド先端面５５ａからモールド基端面５５ｂに向けて延びた構成とする。
変形例Ｅ５として、センサ支持部５１のモールド上流面５５ｃの少なくとも一部が上流曲がり路４０６に設けられていてもよい。例えば、モールド上流傾斜面４７１の全体が上流曲がり路４０６に設けられた構成とする。また、センサ支持部５１は上流曲がり路４０６から離間した位置に設けられていてもよい。
変形例Ｅ６として、センサ支持部５１のモールド下流面５５ｄのうち、計測流路３２に設けられた部分の全体が絞り部１１１，１１２の下流端部１１１ｃ，１１２ｃよりも上流側に配置されていてもよい。すなわち、計測流路３２では、モールド下流面５５ｄのうち並び断面ＣＳ４１に含まれた部分が絞り部１１１，１１２の下流端部１１１ｃ，１１２ｃよりも上流側にあれば、他の部分は下流端部１１１ｃ，１１２ｃよりも上流側に設けられていなくてもよい。
変形例Ｅ７として、並び断面ＣＳ４１では、モールド下流面５５ｄが表絞り部１１１の表下流端部１１１ｃ及び裏絞り部１１２の裏下流端部１１２ｃの少なくとも一方よりも上流側に配置されていればよい。例えば、裏絞り部１１２の裏下流端部１１２ｃが並び断面ＣＳ４１においてモールド下流面５５ｄよりも下流側に配置された構成とする。
変形例Ｅ８として、センサ支持部５１において、モールド下流傾斜面４７２は、モールド基端面５５ｂに向けてモールド上流面５５ｃに徐々に近づくように高さ方向Ｙに対して傾斜していてもよい。また、モールド下流傾斜面４７２は、奥行き方向Ｚに膨らんだり凹んだりするように曲がった湾曲面等の曲がり面になっていてもよい。
変形例Ｅ９として、センサ支持部５１のモールド下流面５５ｄがモールド下流傾斜面４７２を有していてなくてもよい。例えば、モールド下流面５５ｄが高さ方向Ｙに対して傾斜せずにモールド先端面５５ａからモールド基端面５５ｂに向けて延びた構成とする。
変形例Ｅ１０として、センサ支持部５１のモールド下流面５５ｄの少なくとも一部が下流曲がり路４０７に設けられていてもよい。例えば、モールド下流傾斜面４７２の全体が下流曲がり路４０７に設けられた構成とする。また、センサ支持部５１は下流曲がり路４０７から離間した位置に設けられていてもよい。
変形例Ｅ１１として、センサ支持部５１のモールド下流面５５ｄのうち、計測流路３２に設けられた部分の全体が絞り部１１１，１１２よりも下流側に配置されていてもよい。
変形例Ｅ１２として、流量センサ２２は、計測流路３２において最も流速が大きくなる位置であれば、表頂部１１１ａや裏頂部１１２ａよりも下流側や上流側に設けられていてもよい。また、流量センサ２２は、計測流路３２において最も流速が大きくなる位置とは異なる位置に設けられていてもよい。
変形例Ｅ１３として、計測出口３６の開口面積は計測入口３５の開口面積よりも小さくなくてもよい。また、通過出口３４の開口面積は通過入口３３の開口面積よりも小さくなくてもよい。
＜構成群Ａの特徴＞
本明細書にて開示された構成には、下記のように構成群Ａの特徴が含まれている。
［特徴Ａ１］
流体の物理量を計測する物理量計測装置（２０）であって、
流体が流れる計測流路（３２）と、
計測流路を形成しているハウジング（２１）と、
計測流路において流体の物理量を検出する物理量センサ（２２）と、物理量センサを支持する板状のセンサ支持部（５１）とを有し、センサ支持部の先端部である支持先端部（５５ａ）と物理量センサとが計測流路に収容されるようにハウジングに取り付けられた検出ユニット（５０）と、
を備え、
センサ支持部は、
センサ支持部の一方の板面であり、物理量センサが設けられた支持表面（５５ｅ）と、
支持表面とは反対の支持裏面（５５ｆ）と、
を有しており、
ハウジングは、
支持先端部に対向する床面（１０１）と、
支持表面に対向する表壁面（１０３）と、
床面を介して表壁面とは反対側に設けられ、支持裏面に対向する裏壁面（１０４）と、
を計測流路を形成する形成面として有しており、
表壁面と裏壁面とが並んだ表裏方向（Ｘ）での表壁面と物理量センサとの離間距離である表距離（Ｌ１）は、表裏方向に直交し且つ床面と支持先端部とが並んだ高さ方向（Ｙ）での床面と支持先端部との離間距離である床距離（Ｌ３）よりも大きい、物理量計測装置。
［特徴Ａ２］
表距離は、表裏方向での裏壁面と支持裏面との離間距離である裏距離（Ｌ２）よりも小さい、特徴Ａ１に記載の物理量計測装置。
［特徴Ａ３］
ハウジングは、
表壁面を形成し、表裏方向において裏壁面に向けて膨らんでおり、表裏方向での表壁面と裏壁面との離間距離である計測幅寸法（Ｗ１）が上流側から物理量センサに向けて徐々に小さくなるように計測流路を絞っている表絞り部（１１１）を有しており、
表距離は、表裏方向での表絞り部と物理量センサとの離間距離である、特徴Ａ１又はＡ２に記載の物理量計測装置。
［特徴Ａ４］
計測流路は、
計測流路の上流端部であり、流体が流れ込む計測入口（３５）と、
計測流路の下流端部であり、流体が流れ出す計測出口（３６）と、
を有しており、
計測流路の中心線（ＣＬ４）は、計測入口の中心（ＣＯ２）と計測出口の中心（ＣＯ３）とを通り、計測流路に沿って延びており、
表絞り部は、表絞り部と計測流路の中心線との離間距離（Ｗ２）が最も小さい頂部である表頂部（１１１ａ）を有しており、表裏方向において表頂部と物理量センサとが対向する位置に設けられており、
表距離は、表頂部と物理量センサとの離間距離である、特徴Ａ３に記載の物理量計測装置。
［特徴Ａ５］
ハウジングは、
裏壁面を形成し、表裏方向において表壁面に向けて膨らんでおり、計測幅寸法が上流側から物理量センサに向けて徐々に小さくなるように計測流路を絞っている裏絞り部（１１２）を有している、特徴Ａ３又はＡ４に記載の物理量計測装置。
［特徴Ａ６］
計測流路は、
表裏方向において表壁面と支持表面との間の領域である表領域（１２２）を有しており、
表領域は、
高さ方向において物理量センサと床面との間の床側領域（１２２ａ）と、
高さ方向において物理量センサを介して床側領域とは反対側の天井側領域（１２２ｂ）と、
を有しており、
計測流路において物理量センサが設けられた部分の断面積（Ｓ１）には、
床側領域の面積である床側面積（Ｓ２）と、
天井側領域の面積である天井側面積（Ｓ３）と、
が含まれており、
天井側面積が床側面積よりも小さい、特徴Ａ１〜Ａ５のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
［特徴Ａ７］
計測流路は、床面が内周側になるように曲がっており、
表領域においては、床側領域が天井側領域よりも内周側に設けられている、特徴Ａ６に記載の物理量計測装置。
［特徴Ａ８］
物理量センサは、
発熱するヒータ部（７１）と、
物理量センサの一面（６５ａ）に沿ってヒータ部に沿って並べられ、温度を検出する温度検出部（７２，７３）と、
を有しており、
表距離は、表壁面とヒータ部との離間距離である、特徴Ａ１〜Ａ７のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
［特徴Ａ９］
センサ支持部は、
物理量センサを搭載した基板であるセンサ基板（６５）と、
樹脂材料により形成され、センサ基板及び物理量センサを保護する保護樹脂部（５５）と、
を有しており、
支持表面及び支持裏面は保護樹脂部により形成されている、特徴Ａ１〜Ａ７のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
＜構成群Ｂの特徴＞
本明細書にて開示された構成には、下記のように構成群Ｂの特徴が含まれている。
［特徴Ｂ１］
流体の物理量を計測する物理量計測装置（２０，２００）であって、
流体が流れる計測流路（３２，２１２）と、
計測流路に設けられ流体の物理量を検出する物理量センサ（２２，２０２）と、物理量センサを支持するセンサ支持部（５１，２２１）とを有する検出ユニット（５０，２２０）と、
計測流路と、検出ユニットの一部を収容している収容領域（１５０，２９０）と、を形成しているハウジング（２１，２０１）と、
を備え、
ハウジングの内面は、
計測流路と収容領域とが並んだ並び方向（Ｙ）に交差しているハウジング交差面（１３７，２７７）と、
ハウジング交差面から計測流路側に向けて延びたハウジング流路面（１３５，２７５）と、
ハウジング交差面から収容領域側に向けて延びたハウジング収容面（１３６，２７６）と、
を有しており、
ハウジングは、
ハウジング交差面、ハウジング流路面及びハウジング収容面の少なくとも１つに設けられ、検出ユニットに向けて突出し、検出ユニットに接触した状態でハウジングと検出ユニットとの間において計測流路と収容領域とを仕切っているハウジング仕切部（１３１，２７１）を有している、物理量計測装置。
［特徴Ｂ２］
ハウジング仕切部は、検出ユニットの周りを環状に一周している、特徴Ｂ１に記載の物理量計測装置。
［特徴Ｂ３］
ハウジング仕切部は、ハウジング交差面においてハウジング収容面よりもハウジング流路面に近い位置に設けられている、特徴Ｂ１又はＢ２に記載の物理量計測装置。
［特徴Ｂ４］
ハウジング交差面に設けられたハウジング仕切部の中心線（ＣＬ１１）とハウジング交差面とが交差する部分において、収容領域を向いた収容側角度（θ１２）が計測流路を向いた流路側角度（θ１１）よりも大きくなっている、特徴Ｂ１〜Ｂ３のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
［特徴Ｂ５］
検出ユニットは、検出ユニットに設けられた凹部であるユニット凹部（１６１）を有しており、
ハウジング仕切部は、ユニット凹部に入り込んでユニット凹部の内面に接触している、特徴Ｂ１〜Ｂ４のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
［特徴Ｂ６］
検出ユニットの外面は、
計測流路と収容領域とが並んだ並び方向（Ｙ）に交差しているユニット交差面（１４７，２８７）と、
ユニット交差面から計測流路側に向けて延びたユニット流路面（１４５，２８５）と、
ユニット交差面から収容領域側に向けて延びたユニット収容面（１４６，２８６）と、
を検出ユニットの外面として有しており、
ハウジング仕切部は、ユニット交差面、ユニット流路面及びユニット収容面の少なくとも１つに接触している、特徴Ｂ１〜Ｂ５のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
［特徴Ｂ７］
ハウジング仕切部は、ハウジング交差面に設けられ、ユニット交差面に接触している、特徴Ｂ６に記載の物理量計測装置。
［特徴Ｂ８］
流体の物理量を計測する物理量計測装置（２０，２００）であって、
流体が流れる計測流路（３２，２１２）と、
計測流路に設けられ流体の物理量を検出する物理量センサ（２２，２０２）と、物理量センサを支持するセンサ支持部（５１，２２１）とを有する検出ユニット（５０，２２０）と、
計測流路と、検出ユニットの一部を収容している収容領域（１５０，２９０）と、を形成しているハウジング（２１，２０１）と、
を備え、
検出ユニットの外面は、
計測流路と収容領域とが並んだ並び方向（Ｙ）に交差しているユニット交差面（１４７，２８７）と、
ユニット交差面から計測流路側に向けて延びたユニット流路面（１４５，２８５）と、
ユニット交差面から収容領域側に向けて延びたユニット収容面（１４６，２８６）と、
を有しており、
検出ユニットは、
ユニット交差面、ユニット流路面及びユニット収容面の少なくとも１つに設けられ、ハウジングに向けて突出し、ハウジングに接触した状態でハウジングと検出ユニットとの間において計測流路と収容領域とを仕切っているユニット仕切部（１６２，３０２）を有している、物理量計測装置。
［特徴Ｂ９］
ユニット仕切部は、検出ユニットの周りを環状に一周している、特徴Ｂ８に記載の物理量計測装置。
［特徴Ｂ１０］
ユニット仕切部は、ユニット交差面においてユニット収容面よりもユニット流路面に近い位置に設けられている、特徴Ｂ８又はＢ９に記載の物理量計測装置。
［特徴Ｂ１１］
ユニット交差面に設けられたユニット仕切部の中心線（ＣＬ１３）とユニット交差面とが交差する部分において、収容領域を向いた収容側角度（θ１４）が計測流路を向いた流路側角度（θ１３）よりも大きくなっている、特徴Ｂ８〜Ｂ１０のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
［特徴Ｂ１２］
ハウジングは、ハウジングに設けられた凹部であるハウジング凹部（１６３）を有しており、
ユニット仕切部は、ハウジング凹部に入り込んでハウジング凹部の内面に接触している、特徴Ｂ８〜Ｂ１１のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
［特徴Ｂ１４］
ハウジングの内面は、
計測流路と収容領域とが並んだ並び方向（Ｙ）に交差しているハウジング交差面（１３７，２７７）と、
ハウジング交差面から計測流路側に向けて延びたハウジング流路面（１３５，２７５）と、
ハウジング交差面から収容領域側に向けて延びたハウジング収容面（１３６，２７６）と、
を有しており、
ユニット仕切部は、ハウジング交差面、ハウジング流路面及びハウジング収容面の少なくとも１つに接触している、特徴Ｂ８〜Ｂ１３のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
［特徴Ｂ１５］
ユニット仕切部は、ユニット交差面に設けられ、ハウジング交差面に接触している、特徴Ｂ１４に記載の物理量計測装置。
＜構成群Ｃの特徴＞
本明細書にて開示された構成には、下記のように構成群Ｃの特徴が含まれている。
［特徴Ｃ１］
流体の物理量を計測する物理量計測装置（２０）であって、
流体が流入する通過入口（３３）と、通過入口から流入した流体が流出する通過出口（３４）とを有する通過流路（３１）と、
通過流路から分岐し、流体の物理量を計測するための計測流路（３２）であって、通過入口と通過出口との間に設けられ通過流路から流体が流入する計測入口（３５）と、計測入口から流入した流体が流出する計測出口（３６）とを有する計測流路（３２）と、
計測流路に設けられ、流体の物理量を検出する物理量センサ（２２）と、
通過流路及び計測流路を形成しているハウジング（２１）と、
を備え、
ハウジングの内面は、
通過流路のうち通過入口と計測入口とにかけ渡された入口通過路（３３１）を形成し、通過入口と通過出口とが並んだ方向（Ｚ）において通過入口と計測入口とにかけ渡された入口天井面（３４２）と、
入口通過路を形成し、入口通過路を介して入口天井面に対向する入口床面（３４６）と、
を有しており、
入口天井面は、
入口床面との離間距離（Ｈ２１）が通過入口から通過出口に向けて徐々に小さくなるように入口床面に対して傾斜し、通過入口から計測入口に向けて延びた天井傾斜面（３４２，３４２ａ）を有している、物理量計測装置。
［特徴Ｃ２］
入口床面に対する天井傾斜面の傾斜角度（θ２１）は１０度以上である、特徴Ｃ１に記載の物理量計測装置。
［特徴Ｃ３］
天井傾斜面は、通過入口側を向くように入口床面に対して傾斜している、特徴Ｃ１又はＣ２に記載の物理量計測装置。
［特徴Ｃ４］
天井傾斜面は、流体のうち通過入口に主に流れ込む主流が進む方向である主流方向（Ｚ）に対して、通過入口側を向くように傾斜している、特徴Ｃ１〜Ｃ３のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
［特徴Ｃ５］
主流方向に対する天井傾斜面の傾斜角度（θ２２）は１０度以上である、特徴Ｃ４に記載の物理量計測装置。
［特徴Ｃ６］
ハウジングは、
ハウジングが取り付けられる取り付け対象（１４）に対するハウジングの取り付け角度を設定する角度設定面（２７ａ）を有しており、
主流方向は、角度設定面が延びている方向である、特徴Ｃ４又はＣ５に記載の物理量計測装置。
［特徴Ｃ７］
入口通過路の断面積（Ｓ２１）は、通過入口から計測入口に向けて徐々に小さくなっている、特徴Ｃ１〜Ｃ６のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
［特徴Ｃ８］
入口通過路の中心線である入口通過線（ＣＬ２４）に対する計測入口での計測流路の中心線（ＣＬ２３）の傾斜角度（θ２５）が９０度以上である、特徴Ｃ１〜Ｃ７のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
［特徴Ｃ９］
通過流路に対する計測流路の分岐角度（θ２６）が６０度以下である、特徴Ｃ１〜Ｃ８のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
＜構成群Ｄの特徴＞
本明細書にて開示された構成には、下記のように構成群Ｄの特徴が含まれている。
［特徴Ｄ１］
流体の物理量を計測する物理量計測装置（２０）であって、
流体が流入する計測入口（３５）と、計測入口から流入した流体が流出する計測出口（３６）とを有する計測流路（３２）と、
計測流路に設けられ、流体の物理量を検出する物理量センサ（２２）と、
計測流路を形成しているハウジング（２１）と、
を備え、
計測流路は、
物理量センサが設けられたセンサ路（４０５）と、
計測流路においてセンサ路と計測入口との間に設けられ、ハウジングにおいてセンサ路から計測入口に向けて延びるように曲がっている上流曲がり路（４０６）と、
計測流路においてセンサ路と計測出口との間に設けられ、ハウジングにおいてセンサ路から計測出口に向けて延びるように曲がっている下流曲がり路（４０７）と、
を有しており、
ハウジングの内面は、
上流曲がり路を曲がりの外側から形成する上流外曲がり面（４１１）と、
下流曲がり路を曲がりの外側から形成する下流外曲がり面（４２１）と、
を有しており、
計測流路を拡張する側への下流外曲がり面の凹み度合いが、計測流路を拡張する側への上流外曲がり面の凹み度合いよりも大きい、物理量計測装置。
［特徴Ｄ２］
上流外曲がり面は、上流曲がり路に沿って湾曲した上流外湾曲面（４１１）を有しており、
下流外曲がり面は、下流曲がり路に沿って湾曲した下流外湾曲面（４６１）を有しており、
下流外湾曲面の曲率半径（Ｒ３４）が上流外湾曲面の曲率半径（Ｒ３３）よりも小さいことで、下流外曲がり面の凹み度合いが上流外曲がり面の凹み度合いよりも大きくなっている、特徴Ｄ１に記載の物理量計測装置。
［特徴Ｄ３］
上流外曲がり面は、上流曲がり路に沿って湾曲した上流外湾曲面（４１１）を有しており、
下流外曲がり面は、下流外曲がり面の凹み度合いが上流外曲がり面の凹み度合いよりも大きくなるように、下流曲がり路において内向きに入り合うように凹んだ入隅部（４２４）を形成している、特徴Ｄ１に記載の物理量計測装置。
［特徴Ｄ４］
ハウジングの内面は、
上流曲がり路を曲がりの内側から形成する上流内曲がり面（４１５）と、
下流曲がり路を曲がりの内側から形成する下流内曲がり面（４２５）と、
を有しており、
計測流路の中心線（ＣＬ４）に直交する方向において、下流外曲がり面と下流内曲がり面とが最も離間した部分の離間距離（Ｌ３５ｂ）が、上流外曲がり面と上流内曲がり面とが最も離間した部分の離間距離（Ｌ３５ａ）よりも大きい、特徴Ｄ１〜Ｄ３のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
［特徴Ｄ５］
計測流路を拡張する側への下流内曲がり面の膨らみ度合いが、計測流路を拡張する側への上流内曲がり面の膨らみ度合いよりも小さい、特徴Ｄ４に記載の物理量計測装置。
［特徴Ｄ６］
上流内曲がり面は、上流曲がり路に沿って湾曲した上流内湾曲面（４１５）を有しており、
下流内曲がり面は、下流曲がり路に沿って湾曲した下流内湾曲面（４２５）を有しており、
下流内湾曲面の曲率半径（Ｒ３２）が上流内湾曲面の曲率半径（Ｒ３１）よりも大きいことで、下流内曲がり面の膨らみ度合いが上流内曲がり面の膨らみ度合いよりも小さくなっている、特徴Ｄ４又はＤ５に記載の物理量計測装置。
［特徴Ｄ７］
センサ路は上流曲がり路と下流曲がり路との並び方向（Ｚ）に延びている、特徴Ｄ１〜Ｄ６のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
［特徴Ｄ８］
ハウジングは、
計測入口側から物理量センサに向けて計測流路を徐々に縮小して絞っていき、且つ物理量センサ側から計測出口に向けて計測流路を徐々に拡張していく計測絞り部（１１１，１１２）を有しており、
計測絞り部は、計測流路において上流曲がり路の上流端部と下流曲がり路の下流端部との間に設けられている、特徴Ｄ１〜Ｄ７のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
［特徴Ｄ９］
計測絞り部は、
ハウジングの内面を形成し、計測入口側から物理量センサに向けて計測流路を徐々に縮小して絞っていく計測絞り面（４３１，４４１）と、
物理量センサ側から計測出口に向けて計測流路を徐々に拡張していく計測拡張面（４３２，４４２）と、
を有しており、
上流曲がり路と下流曲がり路との並び方向（Ｚ）において、計測拡張面の長さ寸法（Ｗ３３ａ，Ｗ３３ｂ）が計測絞り面の長さ寸法（Ｗ３２ａ，Ｗ３２ｂ）よりも大きい、特徴Ｄ８に記載の物理量計測装置。
［特徴Ｄ１０］
計測拡張面は、物理量センサ側から計測出口に向けて真っ直ぐに向けて延びている、特徴Ｄ８又はＤ９に記載の物理量計測装置。
［特徴Ｄ１１］
上流曲がり路と下流曲がり路との並び方向（Ｚ）での下流外曲がり面と計測絞り部との離間距離（Ｗ３４ａ，Ｗ３５ａ）は、並び方向での上流外曲がり面と計測絞り部との離間距離（Ｗ３４ｂ，Ｗ３５ｂ）よりも大きい、特徴Ｄ８〜Ｄ１０のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
［特徴Ｄ１２］
ハウジングの内面は、
計測流路を形成し、上流外曲がり面及び下流外曲がり面を挟んで対向する一対の計測壁面（１０３，１０４）を有しており、
計測絞り部は、一対の計測壁面の少なくとも一方に設けられている、特徴Ｄ８〜Ｄ１１のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
［特徴Ｄ１３］
ハウジングの内面は、
計測流路を形成し、上流外曲がり面及び下流外曲がり面を挟んで対向する一対の壁面（１０３，１０４）を有しており、
計測出口は、一対の壁面が並んだ方向（Ｘ）に計測流路を開放する向きで、一対の壁面の少なくとも一方に設けられている、特徴Ｄ１〜Ｄ１２のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
［特徴Ｄａ１］
流体の物理量を計測する物理量計測装置（２０）であって、
流体が流入する計測入口（３５）と、計測入口から流入した流体が流出する計測出口（３６）とを有する計測流路（３２）と、
計測流路に設けられ、流体の物理量を検出する物理量センサ（２２）と、
計測流路を形成しているハウジング（２１）と、
を備え、
計測流路は、
物理量センサが設けられたセンサ路（４０５）と、
計測流路においてセンサ路と計測入口との間に設けられ、ハウジングにおいてセンサ路から計測入口に向けて延びるように曲がっている上流曲がり路（４０６）と、
計測流路においてセンサ路と計測出口との間に設けられ、ハウジングにおいてセンサ路から計測出口に向けて延びるように曲がっている下流曲がり路（４０７）と、
を有しており、
ハウジングの内面は、
上流曲がり路を曲がりの外側から形成する上流外曲がり面（４１１）と、
下流曲がり路を曲がりの外側から形成する下流外曲がり面（４２１）と、
を有しており、
物理量センサを通り且つ上流曲がり路と下流曲がり路との並び方向（Ｚ）に延びた仮想の直線として並び線（ＣＬ３１）を想定し、
並び線上での下流外曲がり面と物理量センサとの離間距離（Ｌ３１ｂ）が、並び線上での上流外曲がり面と物理量センサとの離間距離（Ｌ３１ａ）よりも大きい、物理量計測装置。
［特徴Ｄａ２］
センサ路は並び線に沿って延びている、特徴Ｄａ１に記載の物理量計測装置。
［特徴Ｄａ３］
センサ路において、物理量センサと下流曲がり路との離間距離（Ｌ３４ｂ）は、物理量センサと上流曲がり路との離間距離（Ｌ３４ａ）よりも大きい、特徴Ｄａ１又はＤａ２に記載の物理量計測装置。
［特徴Ｄａ４］
計測流路において物理量センサを支持しているセンサ支持部（５１）を備え、
並び線上での下流外曲がり面とセンサ支持部との離間距離（Ｌ３２ｂ）が、並び線上での上流外曲がり面とセンサ支持部との離間距離（Ｌ３２ａ）よりも大きい、特徴Ｄａ１〜Ｄａ３のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
［特徴Ｄａ５］
下流外曲がり面は、
並び線が通る位置に設けられ、下流曲がり路の下流端部から上流側に向けて真っ直ぐに延びた下流外縦面（４２３）を有している、
特徴Ｄａ１〜Ｄａ４のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
［特徴Ｄａ６］
ハウジングの内面は、
下流曲がり路を曲がりの内側から形成する下流内曲がり面（４２５）を有しており、
下流内曲がり面は、
下流曲がり路に沿って湾曲した下流内湾曲面（４２５）を有している、特徴Ｄａ１〜Ｄａ５のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
［特徴Ｄａ７］
ハウジングは、
計測入口側から物理量センサに向けて計測流路を徐々に縮小して絞っていき、且つ物理量センサ側から計測出口に向けて計測流路を徐々に拡張していく計測絞り部（１１１，１１２）を有しており、
計測絞り部は、計測流路において上流曲がり路の上流端部と下流曲がり路の下流端部との間に設けられている、特徴Ｄａ１〜Ｄａ６のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
［特徴Ｄａ８］
計測絞り部は、
ハウジングの内面を形成し、計測入口側から物理量センサに向けて計測流路を徐々に縮小して絞っていく計測絞り面（４３１，４４１）と、
物理量センサ側から計測出口に向けて計測流路を徐々に拡張していく計測拡張面（４３２，４４２）と、
を有しており、
並び方向において、計測拡張面の長さ寸法（Ｗ３３ａ，Ｗ３３ｂ）が計測絞り面の長さ寸法（Ｗ３２ａ，Ｗ３２ｂ）よりも大きい、特徴Ｄａ７に記載の物理量計測装置。
［特徴Ｄａ９］
計測拡張面は、物理量センサ側から計測出口に向けて真っ直ぐに向けて延びている、特徴Ｄａ８に記載の物理量計測装置。
［特徴Ｄａ１０］
並び線上での下流外曲がり面と計測絞り部との離間距離（Ｗ３４ａ，Ｗ３５ａ）は、並び線上での上流外曲がり面と計測絞り部との離間距離（Ｗ３４ｂ，Ｗ３５ｂ）よりも大きい、特徴Ｄａ７〜Ｄａ９のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
［特徴Ｄａ１１］
ハウジングの内面は、
計測流路を形成し、上流外曲がり面及び下流外曲がり面を挟んで対向する一対の計測壁面（１０３，１０４）を有しており、
計測絞り部は、一対の計測壁面の少なくとも一方に設けられている、特徴Ｄａ７〜Ｄａ１０のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
［特徴Ｄａ１２］
上流外曲がり面は、
上流曲がり路の上流端部と下流端部とにかけ渡され、上流曲がり路に沿って湾曲した上流外湾曲面（４１１）を有している、特徴Ｄａ１〜Ｄａ１１のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
［特徴Ｄａ１３］
ハウジングの内面は、
計測入口と計測出口とにかけ渡された状態で物理量センサに向けて膨らむように曲がっており、計測流路を曲がりの内側から形成する内計測曲がり面（４０２）を有している、特徴Ｄａ１〜Ｄａ１２のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
［特徴Ｄａ１４］
ハウジングの内面は、
計測流路を形成し、上流外曲がり面及び下流外曲がり面を挟んで対向する一対の壁面（１０３，１０４）を有しており、
計測出口は、一対の壁面が並び且つ並び線に直交する直交方向（Ｘ）に計測流路を開放する向きで、一対の壁面の少なくとも一方に設けられている、特徴Ｄａ１〜Ｄａ１３のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
＜構成群Ｅの特徴＞
本明細書にて開示された構成には、下記のように構成群Ｅの特徴が含まれている。
［特徴Ｅ１］
流体の物理量を計測する物理量計測装置（２０）であって、
流体が流入する計測入口（３５）と、計測入口から流入した流体が流出する計測出口（３６）とを有する計測流路（３２）と、
計測流路に設けられ、流体の物理量を検出する物理量センサ（２２）と、
計測流路において物理量センサを支持しているセンサ支持部（５１）と、
計測流路を形成しているハウジング（２１）と、
を備え、
計測流路は、
物理量センサが設けられたセンサ路（４０５）と、
計測流路においてセンサ路と計測入口との間に設けられ、ハウジングにおいてセンサ路から計測入口に向けて延びるように曲がっている上流曲がり路（４０６）と、
計測流路においてセンサ路と計測出口との間に設けられ、ハウジングにおいてセンサ路から計測出口に向けて延びるように曲がっている下流曲がり路（４０７）と、
を有しており、
ハウジングは、
計測入口側から物理量センサに向けて計測流路を徐々に縮小して絞っていく計測絞り部（１１１，１１２）を有しており、
物理量センサを通り且つ上流曲がり路と下流曲がり路との並び方向（Ｚ）に延びた仮想の直線として並び線（ＣＬ３１）を想定すると、並び線に沿って延びる並び断面（ＣＳ４１）では、センサ支持部の上流端部（５５ｃ，４７１）が計測絞り部よりも上流側に設けられている、物理量計測装置。
［特徴Ｅ２］
センサ支持部の上流端部は、
並び断面に対して傾斜し、計測絞り部の上流端部を並び方向に跨ぐ上流傾斜部（４７１）を有している、特徴Ｅ１に記載の物理量計測装置。
［特徴Ｅ３］
並び断面では、センサ支持部の下流端部（５５ｄ，４７２）が計測絞り部の下流端部（１１１ｃ，１１２ｃ）よりも上流側に設けられている、特徴Ｅ１又はＥ２に記載の物理量計測装置。
［特徴Ｅ４］
センサ支持部の下流端部は、
並び断面に対して傾斜し、計測絞り部の下流端部を並び方向に跨ぐ下流傾斜部（４７２）を有している、特徴Ｅ３に記載の物理量計測装置。
［特徴Ｅ５］
計測絞り部は、
ハウジングの内面を形成し、計測入口側から物理量センサに向けて計測流路を徐々に縮小して絞っていく計測絞り面（４３１，４４１）と、
物理量センサ側から計測出口に向けて計測流路を徐々に拡張していく計測拡張面（４３２，４４２）と、
を有しており、
並び方向において、計測拡張面の長さ寸法（Ｗ３３ａ，Ｗ３３ｂ）が計測絞り面の長さ寸法（Ｗ３２ａ，Ｗ３２ｂ）よりも大きい、特徴Ｅ１〜Ｅ４のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
［特徴Ｅ６］
物理量センサは、センサ支持部の一面である表面（５５ｅ）に搭載されており、
ハウジングの内面は、
センサ支持部の表面に対向する表計測壁面（１０３）と、
センサ支持部の表面とは反対の裏面（５５ｆ）に対向する裏計測壁面（１０４）と、
を、計測流路を形成し且つセンサ支持部を挟んで対向する一対の壁面として有しており、
ハウジングは、
計測絞り部として、表計測壁面において物理量センサに対向する位置に設けられた表絞り部（１１１）を有している、特徴Ｅ１〜Ｅ５のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
［特徴Ｅ７］
ハウジングは、
計測絞り部として、裏計測壁面において物理量センサを介して表絞り部とは反対側の位置に設けられた裏絞り部（１１２）を有している、特徴Ｅ６に記載の物理量計測装置。
［特徴Ｅ８］
並び断面では、センサ支持部と表絞り部との離間距離（Ｄ３３ａ）がセンサ支持部と裏絞り部との離間距離（Ｄ３３ｂ）よりも小さい、特徴Ｅ７に記載の物理量計測装置。
［特徴Ｅ９］
計測流路の中心線（ＣＬ４）は、計測入口の中心（ＣＯ２）と計測出口の中心（ＣＯ３）とを通り、計測流路に沿って延びており、
表絞り部は、表絞り部と計測流路の中心線との離間距離（Ｗ２）が最も小さくなる頂部として表頂部（１１１ａ）を有しており、
裏絞り部は、裏絞り部と計測流路の中心線との離間距離（Ｗ３）が最も小さくなる頂部として裏頂部（１１２ａ）を有しており、
表絞り部が計測流路を縮小する縮小率が、裏絞り部が計測流路を縮小する縮小率よりも大きい、特徴Ｅ７又はＥ８に記載の物理量計測装置。
［特徴Ｅ１０］
計測流路では、計測絞り部が計測流路を絞ることで最も流速が大きくなる位置に合わせて物理量センサが設けられている、特徴Ｅ１〜Ｅ９のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
［特徴Ｅ１１］
並び断面においては、センサ支持部の上流端部が上流曲がり路に設けられている、特徴Ｅ１〜Ｅ１０のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
［特徴Ｅ１２］
計測出口の開口面積は計測入口の開口面積よりも小さい、特徴Ｅ１〜Ｅ１１のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
［特徴Ｅ１３］
流体が流入する通過入口（３３）と、通過入口から流入した流体が流出する通過出口（３４）とを有する通過流路（３１）を備え、
計測流路は、通過流路から分岐した分岐流路であり、
通過出口の開口面積は通過入口の開口面積よりも小さい、特徴Ｅ１〜Ｅ１２のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
＜構成群Ｚの特徴＞
本明細書にて開示された構成には、下記のように構成群Ｚの特徴が含まれている。
［特徴Ｚ１］
流体の物理量を計測する物理量計測装置（２０）であって、
流体が流入する計測入口（３５）と、計測入口から流入した流体が流出する計測出口（３６）とを有する計測流路（３２）と、
計測流路に設けられ、流体の物理量を検出する物理量センサ（２２）と、
計測流路を形成しているハウジング（２１）と、
を備えている物理量計測装置。
この特徴Ｚ１によれば、計測入口から計測流路に流れ込んだ流体を対象として、物理量センサにより物理量を検出することができる。なお、本明細書にて開示された構成のうち、特徴Ｚ１に含まれていない構成は必須の構成ではない。本明細書ではいくつかの課題が存在しているが、これら課題を解決する上で特徴Ｚ１は必須の構成である。
＜構成群Ａの符号＞
２０…物理量計測装置としてのエアフロメータ、２１…ハウジング、２２…物理量センサとしての流量センサ、３２…計測流路、３５…計測入口、３６…計測出口、５０…検出ユニットとしてのセンサＳＡ、５１…センサ支持部、５５…保護樹脂部としてのモールド部、５５ａ…支持先端部としてのモールド先端面、５５ｅ…支持表面としてのモールド表面、５５ｆ…支持裏面としてのモールド裏面、６５…センサ基板、６５ａ…一面としてのセンサ基板表面、７１…ヒータ部としての発熱抵抗体、７２…温度検出部としての上流測温抵抗体、７３…温度検出部としての下流測温抵抗体、１０１…床面としての計測床面、１０３…表壁面としての表計測壁面、１０４…裏壁面としての裏計測壁面、１１１…表絞り部、１１１ａ…表頂部、１１２…裏絞り部、１２２…表領域、１２２ａ…床側領域、１２２ｂ…天井側領域、ＣＯ１…計測入口の中心、ＣＯ２…計測出口の中心、ＣＬ４…計測流路の中心線、Ｌ１…表距離、Ｌ２…裏距離、Ｌ３…床距離、Ｓ１…断面積、Ｓ２…床側面積、Ｓ３…天井側面積、Ｗ１…計測幅寸法、Ｗ２…離間距離、Ｘ…表裏方向としての幅方向、Ｙ…高さ方向。
＜構成群Ｂの符号＞
２０…物理量計測装置としてのエアフロメータ、２１…ハウジング、２２…物理量センサとしての流量センサ、３２…計測流路、５０…検出ユニットとしてのセンサＳＡ、５１…センサ支持部、１３１…ハウジング仕切部、１３５…ハウジング流路面、１３６…ハウジング収容面、１３７…ハウジング交差面としてのハウジング段差面、１４５…ユニット流路面としてのＳＡ流路面、１４６…ユニット収容面としてのＳＡ収容面、１４７…ユニット交差面としてのＳＡ段差面、１５０…収容領域としてのＳＡ収容領域、１６１…ユニット凹部としてのＳＡ凹部、１６２…ユニット仕切部としてのＳＡ仕切部、１６３…ハウジング凹部、２００…物理量計測装置としてのエアフロメータ、２０１…ハウジング、２０２…物理量センサとしての流量センサ、２１２…計測流路、２２０…検出ユニットとしてのセンサＳＡ、２２１…センサ支持部、２７１…ハウジング仕切部、２７５…ハウジング流路面、２７６…ハウジング収容面、２７７…ハウジング交差面としてのハウジング段差面、２８５…ユニット流路面としてのＳＡ流路面、２８６…ユニット収容面としてのＳＡ収容面、２８７…ユニット交差面としてのＳＡ段差面、２９０…収容領域としてのＳＡ収容領域、３０２…ユニット仕切部としてのＳＡ仕切部、ＣＬ１１，ＣＬ１３…中心線、Ｙ…並び方向としての高さ方向、θ１１…流路側角度、θ１２…収容側角度、θ１３…流路側角度、θ１４…収容側角度。
＜構成群Ｃの符号＞
１４…取り付け対象としての配管ユニット、２０…物理量計測装置としてのエアフロメータ、２１…ハウジング、２２…物理量センサとしての流量センサ、２７ａ…角度設定面、３１…通過流路、３２…計測流路、３３…通過入口、３４…通過出口、３５…計測入口、３６…計測出口、３３１…入口通過路、３４２…天井傾斜面としての入口天井面、３４２ａ…天井傾斜面、３４６…入口床面、ＣＬ２３…中心線、ＣＬ２４…入口通過線、Ｈ２１…離間距離、Ｓ２１…断面積、Ｚ…並んだ方向及び主流方向としての奥行き方向、θ２１，θ２２，θ２５，θ２６…傾斜角度。
＜構成群Ｄの符号＞
２０…物理量計測装置としてのエアフロメータ、２１…ハウジング、２２…物理量センサとしての流量センサ、３２…計測流路、３５…計測入口、３６…計測出口、５１…センサ支持部、１０３…計測壁面及び壁面としての表計測壁面、１０４…計測壁面及び壁面としての裏計測壁面、１１１…計測絞り部としての表絞り部、１１２…計測絞り部としての裏絞り部、４０２…内計測曲がり面、４０５…センサ路、４０６…上流曲がり路、４０７…下流曲がり路、４１１…上流外湾曲面としての上流外曲がり面、４１５…上流内湾曲面としての上流内曲がり面、４２１…下流外曲がり面、４２４…入隅部としての下流外入隅部、４２５…下流内湾曲面としての下流内曲がり面、４３１…計測絞り面としての表絞り面、４３２…計測拡張面としての表拡張面、４４１…計測絞り面としての裏絞り面、４４２…計測拡張面としての裏拡張面、４６１…下流外湾曲面、ＣＬ４…中心線、Ｌ３５ａ，Ｌ３５ｂ…離間距離、Ｒ３１，Ｒ３２，Ｒ３３，Ｒ３４…曲率半径、Ｗ３２ａ，Ｗ３２ｂ，Ｗ３３ａ，Ｗ３３ｂ…長さ寸法、Ｗ３４ａ，Ｗ３４ｂ，Ｗ３５ａ，Ｗ３５ｂ…離間距離、Ｘ…幅方向、Ｚ…並び方向としての奥行き方向。
＜構成群Ｅの符号＞
２０…物理量計測装置としてのエアフロメータ、２１…ハウジング、２２…物理量センサとしての流量センサ、３１…通過流路、３２…計測流路、３３…通過入口、３４…通過出口、３５…計測入口、３６…計測出口、５１…センサ支持部、５５ｃ…上流端部としてのモールド上流面、５５ｄ…下流端部としてのモールド下流面、５５ｅ…表面としてのモールド表面、５５ｆ…裏面としてのモールド裏面、１０３…壁面としての表計測壁面、１０４…壁面としての裏計測壁面、１１１…計測絞り部としての表絞り部、１１１ａ…表頂部、１１１ｃ…下流端部としての表下流端部、１１２…計測絞り部としての裏絞り部、１１２ａ…裏頂部、１１２ｃ…下流端部としての裏下流端部、４０２…内計測曲がり面、４０５…センサ路、４０６…上流曲がり路、４０７…下流曲がり路、４１１…上流外湾曲面としての上流外曲がり面、４１５…上流内湾曲面としての上流内曲がり面、４２１…下流外曲がり面、４３１…計測絞り面としての表絞り面、４３２…計測拡張面としての表拡張面、４４１…計測絞り面としての裏絞り面、４４２…計測拡張面としての裏拡張面、４７１…上流端部及び上流傾斜部としてのモールド上流傾斜面、４７２…下流端部及び下流傾斜部としてのモールド下流傾斜面、ＣＬ３１…並び線、ＣＳ…並び断面、ＣＯ２，ＣＯ３…中心、ＣＬ４…中心線、Ｄ３３ａ，Ｄ３３ｂ…離間距離、Ｗ２，Ｗ３…離間距離、Ｗ３２ａ，Ｗ３２ｂ，Ｗ３３ａ，Ｗ３３ｂ…長さ寸法、Ｚ…並び方向としての奥行き方向。

Claims (13)

  1. 流体の物理量を計測する物理量計測装置（２０）であって、
    前記流体が流入する計測入口（３５）と、前記計測入口から流入した前記流体が流出する計測出口（３６）とを有する計測流路（３２）と、
    前記計測流路に設けられ、前記流体の物理量を検出する物理量センサ（２２）と、
    前記計測流路を形成しているハウジング（２１）と、
    を備え、
    前記計測流路は、
    前記物理量センサが設けられたセンサ路（４０５）と、
    前記計測流路において前記センサ路と前記計測入口との間に設けられ、前記ハウジングにおいて前記センサ路から前記計測入口に向けて延びるように曲がっている上流曲がり路（４０６）と、
    前記計測流路において前記センサ路と前記計測出口との間に設けられ、前記ハウジングにおいて前記センサ路から前記計測出口に向けて延びるように曲がっている下流曲がり路（４０７）と、
    を有しており、
    前記ハウジングの内面は、
    前記上流曲がり路を曲がりの外側から形成する上流外曲がり面（４１１）と、
    前記下流曲がり路を曲がりの外側から形成する下流外曲がり面（４２１）と、
    を有しており、
    前記計測流路を拡張する側への前記下流外曲がり面の凹み度合いが、前記計測流路を拡張する側への前記上流外曲がり面の凹み度合いよりも大きい、物理量計測装置。
  2. 前記上流外曲がり面は、前記上流曲がり路に沿って湾曲した上流外湾曲面（４１１）を有しており、
    前記下流外曲がり面は、前記下流曲がり路に沿って湾曲した下流外湾曲面（４６１）を有しており、
    前記下流外湾曲面の曲率半径（Ｒ３４）が前記上流外湾曲面の曲率半径（Ｒ３３）よりも小さいことで、前記下流外曲がり面の前記凹み度合いが前記上流外曲がり面の前記凹み度合いよりも大きくなっている、請求項１に記載の物理量計測装置。
  3. 前記上流外曲がり面は、前記上流曲がり路に沿って湾曲した上流外湾曲面（４１１）を有しており、
    前記下流外曲がり面は、前記下流外曲がり面の前記凹み度合いが前記上流外曲がり面の前記凹み度合いよりも大きくなるように、前記下流曲がり路において内向きに入り合うように凹んだ入隅部（４２４）を形成している、請求項１に記載の物理量計測装置。
  4. 前記ハウジングの内面は、
    前記上流曲がり路を曲がりの内側から形成する上流内曲がり面（４１５）と、
    前記下流曲がり路を曲がりの内側から形成する下流内曲がり面（４２５）と、
    を有しており、
    前記計測流路の中心線（ＣＬ４）に直交する方向において、前記下流外曲がり面と前記下流内曲がり面とが最も離間した部分の離間距離（Ｌ３５ｂ）が、前記上流外曲がり面と前記上流内曲がり面とが最も離間した部分の離間距離（Ｌ３５ａ）よりも大きい、請求項１〜３のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
  5. 前記計測流路を拡張する側への前記下流内曲がり面の膨らみ度合いが、前記計測流路を拡張する側への前記上流内曲がり面の膨らみ度合いよりも小さい、請求項４に記載の物理量計測装置。
  6. 前記上流内曲がり面は、前記上流曲がり路に沿って湾曲した上流内湾曲面（４１５）を有しており、
    前記下流内曲がり面は、前記下流曲がり路に沿って湾曲した下流内湾曲面（４２５）を有しており、
    前記下流内湾曲面の曲率半径（Ｒ３２）が前記上流内湾曲面の曲率半径（Ｒ３１）よりも大きいことで、前記下流内曲がり面の前記膨らみ度合いが前記上流内曲がり面の前記膨らみ度合いよりも小さくなっている、請求項５に記載の物理量計測装置。
  7. 前記センサ路は前記上流曲がり路と前記下流曲がり路との並び方向（Ｚ）に延びている、請求項１〜６のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
  8. 前記ハウジングは、
    前記計測入口側から前記物理量センサに向けて前記計測流路を徐々に縮小して絞っていき、且つ前記物理量センサ側から前記計測出口に向けて前記計測流路を徐々に拡張していく計測絞り部（１１１，１１２）を有しており、
    前記計測絞り部は、前記計測流路において前記上流曲がり路の上流端部と前記下流曲がり路の下流端部との間に設けられている、請求項１〜７のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
  9. 前記計測絞り部は、
    前記ハウジングの前記内面を形成し、前記計測入口側から前記物理量センサに向けて前記計測流路を徐々に縮小して絞っていく計測絞り面（４３１，４４１）と、
    前記物理量センサ側から前記計測出口に向けて前記計測流路を徐々に拡張していく計測拡張面（４３２，４４２）と、
    を有しており、
    前記上流曲がり路と前記下流曲がり路との並び方向（Ｚ）において、前記計測拡張面の長さ寸法（Ｗ３３ａ，Ｗ３３ｂ）が前記計測絞り面の長さ寸法（Ｗ３２ａ，Ｗ３２ｂ）よりも大きい、請求項８に記載の物理量計測装置。
  10. 前記計測拡張面は、前記物理量センサ側から前記計測出口に向けて真っ直ぐに向けて延びている、請求項９に記載の物理量計測装置。
  11. 前記上流曲がり路と前記下流曲がり路との並び方向（Ｚ）での前記下流外曲がり面と前記計測絞り部との離間距離（Ｗ３４ａ，Ｗ３５ａ）は、前記並び方向での前記上流外曲がり面と前記計測絞り部との離間距離（Ｗ３４ｂ，Ｗ３５ｂ）よりも大きい、請求項８〜１０のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
  12. 前記ハウジングの内面は、
    前記計測流路を形成し、前記上流外曲がり面及び前記下流外曲がり面を挟んで対向する一対の計測壁面（１０３，１０４）を有しており、
    前記計測絞り部は、一対の前記計測壁面の少なくとも一方に設けられている、請求項８〜１１のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
  13. 前記ハウジングの内面は、
    前記計測流路を形成し、前記上流外曲がり面及び前記下流外曲がり面を挟んで対向する一対の壁面（１０３，１０４）を有しており、
    前記計測出口は、一対の前記壁面が並んだ方向（Ｘ）に前記計測流路を開放する向きで、一対の前記壁面の少なくとも一方に設けられている、請求項１〜１２のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
JP2018246194A 2018-02-07 2018-12-27 物理量計測装置 Pending JP2020106428A (ja)

Priority Applications (16)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018246194A JP2020106428A (ja) 2018-12-27 2018-12-27 物理量計測装置
DE112019000711.4T DE112019000711T9 (de) 2018-02-07 2019-02-05 Vorrichtung zur Messung einer physikalischen Größe
DE112019000706.8T DE112019000706T5 (de) 2018-02-07 2019-02-05 Vorrichtung zur Messung einer physikalischen Größe
PCT/JP2019/003953 WO2019156045A1 (ja) 2018-02-07 2019-02-05 物理量計測装置
PCT/JP2019/003947 WO2019156044A1 (ja) 2018-02-07 2019-02-05 物理量計測装置
PCT/JP2019/003945 WO2019156042A1 (ja) 2018-02-07 2019-02-05 物理量計測装置
PCT/JP2019/003955 WO2019156046A1 (ja) 2018-02-07 2019-02-05 物理量計測装置
DE112019000709.2T DE112019000709T5 (de) 2018-02-07 2019-02-05 Vorrichtung zur Messung einer physikalischen Größe
PCT/JP2019/003942 WO2019156041A1 (ja) 2018-02-07 2019-02-05 物理量計測装置
DE112019000696.7T DE112019000696T5 (de) 2018-02-07 2019-02-05 Vorrichtung zur Messung einer physikalischen Größe
DE112019000710.6T DE112019000710T5 (de) 2018-02-07 2019-02-05 Vorrichtung zur Messung einer physikalischen Größe
US16/985,322 US11300434B2 (en) 2018-02-07 2020-08-05 Physical quantity measurement device
US16/985,547 US11255709B2 (en) 2018-02-07 2020-08-05 Physical quantity measurement device having inlet with inclined ceiling
US16/985,496 US11480455B2 (en) 2018-02-07 2020-08-05 Physical quantity measurement device
US16/985,663 US11313709B2 (en) 2018-02-07 2020-08-05 Physical quantity measurement device for fluid with narrowed flow path
US16/985,416 US20200370937A1 (en) 2018-02-07 2020-08-05 Physical quantity measurement device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018246194A JP2020106428A (ja) 2018-12-27 2018-12-27 物理量計測装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2020106428A true JP2020106428A (ja) 2020-07-09

Family

ID=71448857

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018246194A Pending JP2020106428A (ja) 2018-02-07 2018-12-27 物理量計測装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2020106428A (ja)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006501452A (ja) * 2002-09-30 2006-01-12 ローベルト　ボツシユ　ゲゼルシヤフト　ミツト　ベシユレンクテル　ハフツング 管路内を流れる媒体の少なくとも１つのパラメータを測定する装置
JP2010101889A (ja) * 2008-10-21 2010-05-06 Continental Automotive Gmbh 質量流量センサ装置の製造方法および質量流量センサ装置
JP2010525347A (ja) * 2007-04-24 2010-07-22 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング 流動媒体を測定する装置
JP2011075361A (ja) * 2009-09-30 2011-04-14 Hitachi Automotive Systems Ltd 熱式流量測定装置
JP2014119439A (ja) * 2012-12-19 2014-06-30 Denso Corp 流量測定装置
US20170003154A1 (en) * 2014-01-23 2017-01-05 Robert Bosch Gmbh Sensor system for determining at least one parameter of a fluid medium flowing through a channel structure
JP2017053787A (ja) * 2015-09-11 2017-03-16 株式会社デンソー 空気流量測定装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006501452A (ja) * 2002-09-30 2006-01-12 ローベルト　ボツシユ　ゲゼルシヤフト　ミツト　ベシユレンクテル　ハフツング 管路内を流れる媒体の少なくとも１つのパラメータを測定する装置
JP2010525347A (ja) * 2007-04-24 2010-07-22 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング 流動媒体を測定する装置
JP2010101889A (ja) * 2008-10-21 2010-05-06 Continental Automotive Gmbh 質量流量センサ装置の製造方法および質量流量センサ装置
JP2011075361A (ja) * 2009-09-30 2011-04-14 Hitachi Automotive Systems Ltd 熱式流量測定装置
JP2014119439A (ja) * 2012-12-19 2014-06-30 Denso Corp 流量測定装置
US20170003154A1 (en) * 2014-01-23 2017-01-05 Robert Bosch Gmbh Sensor system for determining at least one parameter of a fluid medium flowing through a channel structure
JP2017053787A (ja) * 2015-09-11 2017-03-16 株式会社デンソー 空気流量測定装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2019156045A1 (ja) 物理量計測装置
JP4929335B2 (ja) 熱式流量測定装置
US20060137444A1 (en) Flow-velocity measuring device
JPH06194199A (ja) 空気流量測定装置
WO2018190066A1 (ja) 物理量計測装置
US7124626B2 (en) Device for determining at least one parameter of a medium flowing in a line
US20200363249A1 (en) Physical quantity measurement device
JP2022084957A (ja) 物理量計測装置
JP2020106427A (ja) 物理量計測装置
US6810730B2 (en) Device for measuring air flow, comprising a device for separating foreign particles
WO2020202872A1 (ja) 物理量計測装置
WO2020202871A1 (ja) 物理量計測装置
JP2020106428A (ja) 物理量計測装置
JP2020106430A (ja) 物理量計測装置
JP2020106429A (ja) 物理量計測装置
JP2020106431A (ja) 物理量計測装置
CN111980836A (zh) 整流构造体
JP2020106320A (ja) 物理量計測装置
JP2020003312A (ja) 物理量検出装置
JP7095507B2 (ja) 物理量計測装置
JP2020098179A (ja) 物理量測定装置
JPH116750A (ja) 空気流量測定装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20211007

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20220524

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20221122