WO2020202871A1 - 物理量計測装置 - Google Patents

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健悟 伊藤
博之 阿久澤
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Abstract

センサ凹部（６１）は、センサ裏面（２２ｂ）に設けられる。メンブレン部（６２）は、センサ凹部の底面であるセンサ凹底面（５０１）を形成し、検出素子（７１～７４）が設けられる。センサ支持部（５１）は、裏支持部（５２２）と、支持凹部（５３０）と、支持孔（５４０）と、支持凹内壁面（５３２）と、を有する。裏支持部は、センサ裏面に沿って延び、センサ凹部の開口であるセンサ凹開口（５０３）を覆う。支持凹部は、裏支持部において物理量センサとは反対側の面である支持裏面（５５ｆ）に設けられる。支持孔は、支持凹部の底面である支持凹底部（５３１）からセンサ凹部に向けて延びて裏支持部を貫通し、センサ凹開口に通じる。支持凹内壁面は、支持凹底部と共に支持凹部の内面に含まれ、支持凹底部から物理量センサとは反対側に向けて延び、物理量センサとは反対側を向くように支持孔の中心線（ＣＬ５２）に対して傾斜している。

Description

物理量計測装置 関連出願の相互参照
　本出願は、２０１９年４月４日に出願された日本出願番号２０１９－０７２２４４号に基づくもので、ここにその記載内容を援用する。
　本開示は、物理量計測装置に関する。
　流体の物理量を計測する物理量計測装置として、例えば特許文献１には、空気の流量を検出する流量検出部と、この流量検出部が搭載されたリードフレームと、流量検出部の一部などを封止する封止体と、を有する流量センサが開示されている。この流量検出部においては、薄肉化され且つ検出素子を搭載したダイヤフラムの裏面側に空隙が形成されており、この空隙を覆うように流量検出部の裏面にリードフレームが重ねられている。そして、空隙に通じ且つ太さが均一な連通孔がリードフレーム及び封止体のそれぞれに設けられており、これら連通孔を通じて、ダイヤフラム裏側の空隙と流量センサの外部空間とが連通されている。封止体に設けられた連通孔の内面は、封止体の裏面に対して直交する方向に延びている。上記特許文献１では、リードフレーム及び封止体の各連通孔を通じてダイヤフラム裏側の空隙に空気が出入りすることで、ダイヤフラム裏側の空隙の内部圧力と外部圧力とが等しくなる、としている。
特開２０１３－２１７７３１号公報
　しかしながら、上記特許文献１では、封止体の裏面と連通孔の内面とが直交しているため、封止体の裏面に沿って流れてきた空気が連通孔に流れ込むことで、ダイヤフラム裏側の空隙において過剰に大きな気流が発生することが懸念される。これは、空気が連通孔に流れ込む際に気流の剥離に伴って渦などの乱れが生じることや、空気が勢いよく連通孔に流れ込むことなどにより、ダイヤフラム裏側の空隙に気流が発生しやすくなるためだと考えられる。ダイヤフラム裏側の隙間において過剰に大きな気流が発生すると、この気流によってダイヤフラムの温度等が意図せずに変化して流量検出部の検出精度が低下しやすくなってしまう。このように、空気等の流体について流量等の物理量を検出する精度が低下すると、物理量計測装置に計測精度が低下してしまう。
　以上のように、空気等の流体について流量等の物理量を計測する精度が低下すると、物理量計測装置の計測精度が低下してしまう。
　本開示は、物理量の計測精度を高めることができる物理量計測装置を提供することを目的とする。
　本開示の第１の態様による、流体の物理量を計測する物理量計測装置は、流体が流れる計測流路と、計測流路に設けられ、流体の物理量を検出する物理量センサと、物理量センサを支持するセンサ支持部と、を備える。物理量センサは、物理量センサの一面であるセンサ裏面に設けられた凹部であるセンサ凹部と、センサ凹部の底面であるセンサ凹底面を形成し、流体の物理量を検出するための検出素子が設けられたメンブレン部と、を有する。センサ支持部は、センサ裏面に沿って延び、センサ凹部の開口であるセンサ凹開口を覆うように設けられた裏支持部と、裏支持部において物理量センサとは反対側の面である支持裏面に設けられた凹部である支持凹部と、支持凹部の底面である支持凹底部からセンサ凹部に向けて延びて裏支持部を貫通し、センサ凹開口に通じる支持孔と、支持凹底部と共に支持凹部の内面に含まれ、支持凹底部から物理量センサとは反対側に向けて延び、物理量センサとは反対側を向くように支持孔の中心線に対して傾斜している支持凹内壁面と、を有する。
　第１の態様によれば、センサ支持部の裏支持部において、支持凹内壁面が物理量センサとは反対側を向くように支持裏面に対して傾斜している。この構成では、支持裏面に沿って流れてきた気流が支持凹部に到達した際に支持凹内壁面に沿って流れやすい。この場合、支持凹内壁面からの気流の剥離が生じにくく、支持凹部の内部に渦流などの気流の乱れが生じにくくなる。このため、支持凹部の内部にて発生した気流に乱れによってセンサ凹部の内部に過剰に大きな気流が発生し、この気流によってメンブレン部での検出素子の動作精度が低下する、ということを抑制できる。したがって、物理量計測装置の計測精度を高めることができる。
　本開示の第２の態様による流体の物理量を計測する物理量計測装置は、流体が流れる計測流路と、計測流路に設けられ、流体の物理量を検出する物理量センサと、物理量センサを支持するセンサ支持部と、を備える。物理量センサは、物理量センサの一面であるセンサ裏面に設けられた凹部であるセンサ凹部と、センサ凹部の底面であるセンサ凹底面を形成し、流体の物理量を検出するための検出素子が設けられたメンブレン部と、を有する。センサ支持部は、センサ裏面に沿って延び、センサ凹部の開口であるセンサ凹開口を覆う裏支持部と、裏支持部において物理量センサとは反対側の面である支持裏面に設けられた凸部である支持凸部と、支持凸部の先端部である支持凸先端部からセンサ凹部に向けて延びて裏支持部を貫通し、センサ凹開口に通じる支持孔と、支持凸先端部と共に支持凸部の外面に含まれ、支持凸先端部から物理量センサ側に向けて延び、物理量センサとは反対側を向くように支持孔の中心線に対して傾斜している支持凸外壁面と、を有する。
　第２の態様によれば、センサ支持部の裏支持部において、支持孔の周囲に設けられた支持凸外壁面が物理量センサとは反対側を向くように支持裏面に対して傾斜している。この構成では、支持裏面に沿って流れてきた気流が支持凸外壁面に沿って流れやすい。この場合、センサ支持部の支持凸外壁面に沿って流れる流体が、支持孔の長さ方向において支持孔の裏側端部から遠ざかる向きに支持凸外壁面によって案内されるため、支持孔に流体が流れ込みにくくなっている。このため、支持裏面に沿って流れてきた空気が支持孔に勢いよく流れ込んでセンサ凹部の内部に過剰に大きな気流が発生し、この気流によってメンブレン部にて検出素子の動作精度が低下する、ということを抑制できる。したがって、物理量計測装置の計測精度を高めることができる。
　本開示についての上記目的およびその他の目的、特徴や利点は、添付の図面を参照しながら下記の詳細な記述により、より明確になる。その図面は、
第１実施形態における燃焼システムの構成を示す図。 吸気管に取り付けられた状態のエアフロメータの正面図。 吸気管に取り付けられた状態のエアフロメータの平面図。 通過入口側から見たエアフロメータの斜視図。 通過出口側から見たエアフロメータの斜視図。 エアフロメータをコネクタ部側から見た側面図。 エアフロメータをコネクタ部とは反対側から見た側面図。 図２のＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ線断面図。 構成群ＡにおけるセンサＳＡの斜視図。 モールド表面側から見たセンサＳＡの平面図。 モールド裏面側から見たセンサＳＡの平面図。 流量センサの斜視図。 メンブレン部の配線パターンを示す図。 エアフロメータの縦断面図。 図１４のＸＶ－ＸＶ線断面図。 図１４のＸＶＩ－ＸＶＩ線断面図。 構成群Ｂにおけるエアフロメータのハウジング仕切部周辺の縦断面図。 センサＳＡをハウジングに組み付ける前の状態を示す図。 センサＳＡを組み付ける前のハウジングの平面図。 センサＳＡがハウジング仕切部を変形させる前の状態を示す図。 センサＳＡがハウジング仕切部を変形させた後の状態を示す図。 構成群Ｄにおけるエアフロメータの縦断面図。 図２２のセンサ路周辺の拡大図。 図２２のＸＸＩＶ－ＸＸＩＶ線断面図。 図２４のセンサ路周辺の拡大図。 構成群Ｅにおけるエアフロメータの縦断面図であって、センサ路周辺の拡大図。 エアフロメータの横断面図であって、センサ路周辺の拡大図。 構成群Ｆにおける図１０のＸＸＶＩＩＩ－ＸＸＶＩＩＩ線断面図。 図２８のメンブレン部周辺の拡大図。 モールド裏側から見た流量センサのセンサ凹部周辺の拡大図。 図１０のＸＸＸＩ－ＸＸＸＩ線断面図。 計測流路にて生じる気流について説明するための図。 表型部と裏型部とを組み付ける前の状態を示す型装置の断面図。 型装置の断面図。 構成群Ｇにおけるエアフロメータの縦断面図であって、表リブ及び裏リブ周辺の拡大図。 図３５のＸＸＸＶＩ－ＸＸＸＶＩ線断面図。 センサＳＡの縦断面図。 流量センサ周辺の縦断面図。 センサＳＡを第１ハウジング部に取り付ける前の状態を示す図。 センサＳＡを第１ハウジング部に取り付けている途中の状態を示す図。 構成群Ｈにおけるエアフロメータの概略正面図。 接続ターミナルの斜視図。 接続ターミナルの平面図。 リード接続端子における端子凸部周辺の拡大図。 図４１のＸＬＶ－ＸＬＶ線断面図。 図４１のＸＬＶＩ－ＸＬＶＩ線断面図。 図６のＸＬＶＩＩ－ＸＬＶＩＩ線断面図。 センサＳＡ及び接続ターミナルが装着された状態の第１ハウジング部を通過入口側から見た図。 センサＳＡ及び接続ターミナルが装着された状態の第１ハウジング部を通過出口側から見た図。 センサＳＡ及び接続ターミナルが装着された状態の第１ハウジング部をハウジング裏側から見た図。 センサＳＡ及び接続ターミナルが装着された状態の第１ハウジング部をハウジング表側から見た図。 センサＳＡ及び接続ターミナルが装着された状態の第１ハウジング部をハウジング基端側から見た図。 センサＳＡ及び接続ターミナルが装着された状態の第１ハウジング部をハウジング先端側から見た図。 図５２のＬＩＶ－ＬＩＶ線断面図。 図５４においてセンサＳＡ及び接続ターミナルが装着されていない状態の第１ハウジング部を示す図。 図５５のＬＶＩ－ＬＶＩ線断面図。 図５５のＬＶＩＩ－ＬＶＩＩ線断面図。 第２実施形態における吸気管に取り付けられた状態のエアフロメータの側面図。図５２ エアフロメータの正面図。 図５８のＬＸ－ＬＸ線断面図。 構成群Ｂにおける図６０のＬＸＩ－ＬＸＩ線断面図。 図６０のセンサＳＡ周辺の拡大図。 図６０におけるベース部材とカバー部材とセンサＳＡとの分解断面図。 図６３のセンサＳＡ周辺の拡大図。 第３実施形態、構成群Ｃにおけるエアフロメータの縦断面図。 図６５の通過流路周辺の拡大図。 入口通路部の断面積について説明するための図。 通過流路に流れ込んだ主流について説明するための図。 通過流路に流れ込んだ下向き偏流について説明するための図。 通過流路に流れ込んだ上向き偏流について説明するための図。 主流線に対する入口天井面の傾斜角度とエアフロメータの出力変動との関係を示す図。 流量の変化態様を示す図。 脈動特性と振幅比との関係を示す図。 分岐角度が異なる構成について説明するための図。 分岐角度と脈動特性との関係を示す図。 第４実施形態、構成群Ｆにおける流量センサのメンブレン部周辺の断面図。 計測流路にて生じる気流について説明するための図。 変形例Ｂ１における第１実施形態についてのエアフロメータのハウジング仕切部周辺の縦断面図。 変形例Ｂ２における第２実施形態についてのエアフロメータのハウジング仕切部周辺の断面図。 ベース部材とカバー部材とセンサＳＡとの分解断面図。 変形例Ｂ４における第１実施形態についてのエアフロメータのハウジング仕切部周辺の縦断面図。 変形例Ｂ５における第２実施形態についてのエアフロメータのハウジング仕切部周辺の断面図。 ベース部材とカバー部材とセンサＳＡとの分解断面図。 変形例Ｂ６における第２実施形態についてのエアフロメータのハウジング仕切部周辺の断面図。 ベース部材とカバー部材とセンサＳＡとの分解断面図。 変形例Ｂ７における第１実施形態についてのエアフロメータのハウジング仕切部周辺の縦断面図。 変形例Ｃ１における第３実施形態についての通過流路周辺のエアフロメータの縦断面図。 変形例Ｃ２における第３実施形態についての通過流路周辺のエアフロメータの縦断面図。 変形例Ｃ３における第３実施形態についての通過流路周辺のエアフロメータの縦断面図。 変形例Ｄ１における第１実施形態についてのエアフロメータの縦断面図。 変形例Ｄ１４における第１実施形態についてのエアフロメータの横断面図。 変形例Ｆ１における第１実施形態についての流量センサのメンブレン部周辺の断面図。 変形例Ｆ２における第１実施形態についての流量センサのメンブレン部周辺の断面図。 変形例Ｆ３における第１実施形態についての流量センサのメンブレン部周辺の断面図。 変形例Ｆ４における第１実施形態についての流量センサのメンブレン部周辺の断面図。 変形例Ｆ５における第１実施形態についての流量センサのメンブレン部周辺の断面図。 変形例Ｆ６における第１実施形態についての流量センサのメンブレン部周辺の断面図。 変形例Ｆ７における第１実施形態についてのモールド裏側から見た流量センサのセンサ凹部周辺の拡大図。 変形例Ｆ１４における第４実施形態についての流量センサのメンブレン部周辺の断面図。 変形例Ｆ１５における第４実施形態についての流量センサのメンブレン部周辺の断面図。 変形例Ｆ１６における第４実施形態についての流量センサのメンブレン部周辺の断面図。 変形例Ｆ１７における第４実施形態についての流量センサのメンブレン部周辺の断面図。 変形例Ｆ１８における第４実施形態についての流量センサのメンブレン部周辺の断面図。 変形例Ｇ１における第１実施形態についてのセンサＳＡの縦断面図。 変形例Ｇ３における第１実施形態についてのセンサＳＡの側面図。 変形例Ｇ３における第１実施形態についてのセンサＳＡの流量センサ周辺の平面図。 変形例Ｇ４おける変形例Ｇ３についてのセンサＳＡの流量センサ周辺の平面図。 変形例Ｇ５における変形例Ｇ３についてのセンサＳＡの流量センサ周辺の平面図。
　以下、本開示の複数の実施形態を図面に基づいて説明する。尚、各実施形態において対応する構成要素には同一の符号を付すことにより、重複する説明を省略する場合がある。各実施形態において構成の一部分のみを説明している場合、当該構成の他の部分については、先行して説明した他の実施例の構成を適用することができる。また、各実施形態の説明において明示している構成の組み合わせばかりではなく、特に組み合わせに支障が生じなければ、明示していなくても複数の実施形態の構成同士を部分的に組み合わせることができる。そして、複数の実施形態及び変形例に記述された構成同士の明示されていない組み合わせも、以下の説明によって開示されているものとする。
　（第１実施形態）
　図１に示す燃焼システム１０は、ガソリンエンジン等の内燃機関１１、吸気通路１２、排気通路１３、エアフロメータ２０及びＥＣＵ１５を有しており、例えば車両に搭載されている。エアフロメータ２０は、吸気通路１２に設けられており、内燃機関１１に供給される吸入空気の流量や温度、湿度、圧力といった物理量を計測する。エアフロメータ２０は、空気の流量を計測する流量計測装置であって、吸入空気等の流体を計測対象とした物理量計測装置に相当する。吸入空気は、内燃機関１１の燃焼室１１ａに供給される気体である。燃焼室１１ａにおいては、吸入空気と燃料との混合気が点火プラグ１７により点火される。
　Ｅｎｇｉｎｅ　Ｃｏｎｔｒｏｌ　Ｕｎｉｔ（ＥＣＵ）１５は、燃焼システム１０の動作制御を行う制御装置である。ＥＣＵ１５は、プロセッサ、ＲＡＭ、ＲＯＭ及びフラッシュメモリ等の記憶媒体、並びに入出力部を含むマイクロコンピュータと、電源回路等と、によって構成された演算処理回路である。ＥＣＵ１５には、エアフロメータ２０から出力されるセンサ信号や、多数の車載センサから出力されるセンサ信号などが入力される。ＥＣＵ１５は、エアフロメータ２０による計測結果を用いて、インジェクタ１６の燃料噴射量やＥＧＲ量などについてエンジン制御を行う。ＥＣＵ１５は、内燃機関１１の運転制御を行う制御装置であり、燃焼システム１０をエンジン制御システムと称することもできる。また、ＥＣＵ１５は、外部装置に相当する。
　ＥＣＵ１５は、電子制御装置（Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ　Ｃｏｎｔｒｏｌ　Ｕｎｉｔ）とも呼ばれる場合がある。制御装置、または制御システムは、（ａ）ｉｆ－ｔｈｅｎ－ｅｌｓｅ形式と呼ばれる複数の論理としてのアルゴリズム、または（ｂ）機械学習によってチューニングされた学習済みモデル、例えばニューラルネットワークとしてのアルゴリズムによって提供される。
　制御装置は、少なくとも１つのコンピュータを含む制御システムによって提供される。制御システムは、データ通信装置によってリンクされた複数のコンピュータを含む場合がある。コンピュータは、ハードウェアである少なくとも１つのプロセッサ（ハードウェアプロセッサ）を含む。ハードウェアプロセッサは、下記（ｉ）、（ｉｉ）、または（ｉｉｉ）により提供することができる。
　（ｉ）ハードウェアプロセッサは、少なくとも１つのメモリに格納されたプログラムを実行する少なくとも１つのプロセッサコアである場合がある。この場合、コンピュータは、少なくとも１つのメモリと、少なくとも１つのプロセッサコアとによって提供される。プロセッサコアは、ＣＰＵ：Ｃｅｎｔｒａｌ　Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　Ｕｎｉｔ、ＧＰＵ：Ｇｒａｐｈｉｃｓ　Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　Ｕｎｉｔ、ＲＩＳＣ－ＣＰＵなどと呼ばれる。メモリは、記憶媒体とも呼ばれる。メモリは、プロセッサによって読み取り可能な「プログラムおよび／またはデータ」を非一時的に格納する非遷移的かつ実体的な記憶媒体である。記憶媒体は、半導体メモリ、磁気ディスク、または光学ディスクなどによって提供される。プログラムは、それ単体で、またはプログラムが格納された記憶媒体として流通する場合がある。
　（ｉｉ）ハードウェアプロセッサは、ハードウェア論理回路である場合がある。この場合、コンピュータは、プログラムされた多数の論理ユニット（ゲート回路）を含むデジタル回路によって提供される。デジタル回路は、ロジック回路アレイ、例えば、ＡＳＩＣ：Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ－Ｓｐｅｃｉｆｉｃ　Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ　Ｃｉｒｃｕｉｔ、ＦＰＧＡ：Ｆｉｅｌｄ　Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ　Ｇａｔｅ　Ａｒｒａｙ、ＰＧＡ：Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ　Ｇａｔｅ　Ａｒｒａｙ、ＣＰＬＤ：Ｃｏｍｐｌｅｘ　Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ　Ｌｏｇｉｃ　Ｄｅｖｉｃｅなどとも呼ばれる。デジタル回路は、プログラムおよび／またはデータを格納したメモリを備える場合がある。コンピュータは、アナログ回路によって提供される場合がある。コンピュータは、デジタル回路とアナログ回路との組み合わせによって提供される場合がある。
　（ｉｉｉ）ハードウェアプロセッサは、上記（ｉ）と上記（ｉｉ）との組み合わせである場合がある。（ｉ）と（ｉｉ）とは、異なるチップの上、または共通のチップの上に配置される。これらの場合、（ｉｉ）の部分は、アクセラレータとも呼ばれる。
　制御装置と信号源と制御対象物とは、多様な要素を提供する。それらの要素の少なくとも一部は、ブロック、モジュール、またはセクションと呼ぶことができる。さらに、制御システムに含まれる要素は、意図的な場合にのみ、機能的な手段と呼ばれる。
　この開示に記載の制御部及びその手法は、コンピュータプログラムにより具体化された一つ乃至は複数の機能を実行するようにプログラムされたプロセッサ及びメモリを構成することによって提供された専用コンピュータにより、実現されてもよい。代替的に、この開示に記載の制御部及びその手法は、一つ以上の専用ハードウェア論理回路によってプロセッサを構成することによって提供された専用コンピュータにより、実現されてもよい。代替的に、この開示に記載の制御部及びその手法は、一つ乃至は複数の機能を実行するようにプログラムされたプロセッサ及びメモリと一つ以上のハードウェア論理回路によって構成されたプロセッサとの組み合わせにより構成された一つ以上の専用コンピュータにより、実現されてもよい。また、コンピュータプログラムは、コンピュータにより実行されるインストラクションとして、コンピュータ読み取り可能な非遷移有形記録媒体に記憶されていてもよい。
　燃焼システム１０は、車載センサとして複数の計測部を有している。計測部としては、エアフロメータ２０の他に、スロットルセンサ１８ａや空燃比センサ１８ｂなどがある。これら計測部は、いずれもＥＣＵ１５に電気的に接続されており、ＥＣＵ１５に対して検出信号を出力する。エアフロメータ２０は、吸気通路１２において、エアクリーナ１９の下流側であって、スロットルセンサ１８ａが取り付けられたスロットルバルブの上流側に設けられている。エアクリーナ１９は、吸気通路１２の一部を形成するエアケースと、吸入空気からダスト等の異物を除去するエアフィルタとを有しており、エアフィルタがエアケースに取り付けられている。
　燃焼システム１０においては、ＥＣＵ１５とエアフロメータ２０等の計測部との通信を可能にする通信方式として、例えばＳＥＮＴ（Ｓｉｎｇｌｅ　Ｅｄｇｅ　Ｎｉｂｂｌｅ　Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ）通信が用いられている。ＳＥＮＴ通信は、デジタル通信の一種であり、エアフロメータ２０など計測部の計測信号をデジタル化する通信方式である。ＳＥＮＴ通信においては、単一の電気配線で複数チャンネル分の計測信号を送ることが可能になっている。このため、例えば、ＥＣＵ１５とエアフロメータ２０との通信を可能にする通信経路が単一の電気配線で形成されていても、ＥＣＵ１５とエアフロメータ２０との間での通信に要する時間が増加しにくくなっている。
　図２、図３、図８に示すように、エアフロメータ２０は、取り付け対象としての配管ユニット１４に取り付けられている。配管ユニット１４は、吸気管１４ａ、管フランジ１４ｃ、管ボス１４ｄを有しており、吸気通路１２を形成する形成部材である。配管ユニット１４は、例えばエアケースの少なくとも一部を形成している。配管ユニット１４がエアケースを形成している構成では、エアフロメータ２０に加えてエアフィルタが配管ユニット１４に取り付けられている。配管ユニット１４では、吸気管１４ａ、管フランジ１４ｃ及び管ボス１４ｄが樹脂材料等により形成されている。
　吸気管１４ａは、吸気通路１２を形成するダクト等の配管である。吸気管１４ａには、その外周部を貫通する貫通孔としてエアフロ挿入孔１４ｂが設けられている。管フランジ１４ｃは、円環状に形成されており、エアフロ挿入孔１４ｂの周縁部に沿って延びている。管フランジ１４ｃは、吸気管１４ａの外面から吸気通路１２とは反対側に向けて延びている。管ボス１４ｄは、柱状の部材であり、エアフロメータ２０を支持する支持部である。管ボス１４ｄは、吸気管１４ａの外面から管フランジ１４ｃに沿って延びており、吸気管１４ａに対して複数（例えば２つ）設けられている。本実施形態では、管フランジ１４ｃ及び管ボス１４ｄがいずれも吸気管１４ａから高さ方向Ｙに延びている。
　エアフロメータ２０は、管フランジ１４ｃ及びエアフロ挿入孔１４ｂに挿入されることで吸気通路１２に入り込んだ状態になっており、この状態でボルト等の固定具により管ボス１４ｄに固定されている。エアフロメータ２０は、管フランジ１４ｃの先端面に接触していない一方で、管ボス１４ｄの先端面に接触している。このため、配管ユニット１４に対するエアフロメータ２０の相対的な位置や角度は、管フランジ１４ｃではなく管ボス１４ｄによって設定されている。複数の管ボス１４ｄの先端面は、互いに面一になっている。なお、図８では、管ボス１４ｄの図示を省略している。
　本実施形態では、エアフロメータ２０について、幅方向Ｘ、高さ方向Ｙ及び奥行き方向Ｚを設定しており、これら方向Ｘ，Ｙ，Ｚは互いに直交している。エアフロメータ２０は高さ方向Ｙに延びており、吸気通路１２は奥行き方向Ｚに延びている。エアフロメータ２０は、吸気通路１２に入り込んだ入り込み部分２０ａと、吸気通路１２に入り込まずに管フランジ１４ｃから外部にはみ出したはみ出し部分２０ｂとを有しており、これら入り込み部分２０ａとはみ出し部分２０ｂとは高さ方向Ｙに並んでいる。
　図２、図４、図７、図８に示すように、エアフロメータ２０は、ハウジング２１と、吸入空気の流量を検出する流量センサ２２と、吸入空気の温度を検出する吸気温センサ２３とを有している。ハウジング２１は、例えば樹脂材料等により形成されている。流量センサ２２はハウジング２１の内部に収容されている。エアフロメータ２０においては、ハウジング２１が吸気管１４ａに取り付けられていることで、流量センサ２２が、吸気通路１２を流れる吸入空気と接触可能な状態になる。
　ハウジング２１は、取り付け対象としての配管ユニット１４に取り付けられている。ハウジング２１の外面においては、高さ方向Ｙに並んだ一対の端面２１ａ，２１ｂのうち、入り込み部分２０ａに含まれた方をハウジング先端面２１ａと称し、はみ出し部分２０ｂに含まれた方をハウジング基端面２１ｂと称する。ハウジング先端面２１ａ及びハウジング基端面２１ｂは高さ方向Ｙに直交している。管フランジ１４ｃの先端面も高さ方向Ｙに直交している。なお、エアフロメータ２０やハウジング２１が取り付けられる取り付け対象は、吸気通路１２を形成する形成部材であれば配管ユニット１４でなくてもよい。
　ハウジング２１の外面においては、吸気通路１２の上流側に配置される面をハウジング上流面２１ｃと称し、ハウジング上流面２１ｃとは反対側に配置される面をハウジング下流面２１ｄと称する。また、ハウジング上流面２１ｃ及びハウジング基端面２１ｂを介して対向する一対の面のうち一方をハウジング表面２１ｅと称し、他方をハウジング裏面２１ｆと称する。ハウジング表面２１ｅは、後述するセンサＳＡ５０において流量センサ２２が設けられた側の面である。
　なお、ハウジング２１については、高さ方向Ｙにおいて、ハウジング先端面２１ａ側をハウジング先端側と称し、ハウジング基端面２１ｂ側をハウジング基端側と称することもある。また、奥行き方向Ｚにおいて、ハウジング上流面２１ｃ側をハウジング上流側と称し、ハウジング下流面２１ｄ側をハウジング下流側と称することもある。さらに、幅方向Ｘにおいて、ハウジング表面２１ｅ側をハウジング表側と称し、ハウジング裏面２１ｆ側をハウジング裏側と称することもある。
　図２～図７に示すように、ハウジング２１は、シール保持部２５、フランジ部２７及びコネクタ部２８を有している。エアフロメータ２０はシール部材２６を有しており、シール部材２６はシール保持部２５に取り付けられている。
　シール保持部２５は、管フランジ１４ｃの内部に設けられており、シール部材２６を高さ方向Ｙに位置ずれしないように保持している。シール保持部２５は、エアフロメータ２０の入り込み部分２０ａに含まれている。シール保持部２５は、シール部材２６を保持する保持溝部２５ａを有している。保持溝部２５ａは、高さ方向Ｙに直交する方向Ｘ，Ｚに延びており、ハウジング２１の周りを環状に一周している。シール部材２６は、管フランジ１４ｃの内部において吸気通路１２を密閉するＯリング等の部材である。シール部材２６は、保持溝部２５ａの内部に入り込んだ状態になっており、保持溝部２５ａの内面と管フランジ１４ｃの内周面との両方に密着している。シール部材２６と保持溝部２５ａの内面とが密着した部分と、シール部材２６と管フランジ１４ｃの内周面とが密着した部分とは、いずれもハウジング２１の周りを環状に一周している。
　フランジ部２７には、ハウジング２１を吸気管１４ａに固定するネジ等の固定具を固定するネジ孔等の固定孔が形成されている。本実施形態では、固定孔が例えばフランジ孔６１１，６１２であり、固定具がネジである。なお、図３においては、フランジ孔６１１，６１２に挿通されたネジの図示を省略している。
　フランジ部２７において、ハウジング先端側の面が管ボス１４ｄの先端面に重ねられた状態で接触しており、この重ねられた部分を角度設定面２７ａと称する。角度設定面２７ａと管ボス１４ｄの先端面とは、いずれも高さ方向Ｙに直交する方向に延びており、幅方向Ｘ及び奥行き方向Ｚに延びている。管ボス１４ｄの先端面は、吸気管１４ａに対する角度設定面２７ａの相対的な位置や角度を設定している。角度設定面２７ａは、エアフロメータ２０において、吸気管１４ａに対するハウジング２１の相対的な位置や角度を設定している。
　配管ユニット１４の吸気管１４ａにおいては、吸気通路１２を流れる空気のうち主に流れる主流が奥行き方向Ｚに進む。主流の進む方向を主流方向と称すると、奥行き方向Ｚが主流方向になっている。ハウジング２１においては、フランジ部２７の角度設定面２７ａが主流方向及び奥行き方向Ｚに延びている。また、管ボス１４ｄの先端面も主流方向及び奥行き方向Ｚに延びている。
　コネクタ部２８は、流量センサ２２に電気的に接続されたコネクタ端子２８ａを保護する保護部である。コネクタ端子２８ａは、ＥＣＵ１５から延びた電気配線がプラグ部を介してコネクタ部２８に接続されることでＥＣＵ１５に電気的に接続される。フランジ部２７及びコネクタ部２８は、エアフロメータ２０のはみ出し部分２０ｂに含まれている。
　図２、図４、図７に示すように、吸気温センサ２３はハウジング２１の外側に設けられている。吸気温センサ２３は、吸入空気の温度を感知する感温素子であり、ハウジング裏面２１ｆ側に設けられている。吸気温センサ２３には、配線等により形成されたリード線２３ａが接続されている。ハウジング２１はリード支持部６１８を有している。リード支持部６１８は、ハウジング裏面２１ｆに設けられた凸部であり、幅方向Ｘにおいて吸気温センサ２３よりもハウジング裏側に向けて突出している。リード支持部６１８は、リード線２３ａを支持していることで吸気温センサ２３を支持している。リード支持部６１８は、高さ方向Ｙにおいて吸気温センサ２３よりもハウジング基端側に設けられている。リード線２３ａは、リード支持部６１８からハウジング先端側に向けて延びている。
　リード線２３ａは、リード支持部６１８を高さ方向Ｙに貫通している。エアフロメータ２０の製造時では、リード支持部６１８に、このリード支持部６１８を高さ方向Ｙに貫通する貫通孔を形成しておく。そして、この貫通孔にリード線２３ａを挿通した状態で、リード支持部６１８を幅方向Ｘに押し潰すことで貫通孔を押し潰し、貫通孔に挿通させておいたリード線２３ａをリード支持部６１８の内部に埋め込んだ状態にする。この場合、リード支持部６１８の先端面をヒータ等の加熱具で加熱しながら押し潰すことでリード支持部６１８を熱変形させ、リード支持部６１８のうち熱変形した部分でリード線２３ａを覆うように保持する。この作業を、熱かしめと称することもできる。
　図８に示すように、ハウジング２１は、バイパス流路３０を有している。バイパス流路３０は、ハウジング２１の内部に設けられており、ハウジング２１の内部空間の少なくとも一部により形成されている。ハウジング２１の内面は、バイパス流路３０を形成しており、形成面になっている。
　バイパス流路３０は、エアフロメータ２０の入り込み部分２０ａに配置されている。バイパス流路３０は、通過流路３１及び計測流路３２を有している。計測流路３２には、後述するセンサＳＡ５０のうち流量センサ２２とその周囲の部分とが入り込んだ状態になっている。通過流路３１は、ハウジング２１の内面により形成されている。計測流路３２は、ハウジング２１の内面に加えてセンサＳＡ５０の一部の外面により形成されている。なお、吸気通路１２を主通路と称し、バイパス流路３０を副通路と称することもできる。
　通過流路３１は、奥行き方向Ｚにハウジング２１を貫通している。通過流路３１は、その上流端部である通過入口３３と、下流端部である通過出口３４とを有している。計測流路３２は、通過流路３１の中間部分から分岐した分岐流路であり、この計測流路３２に流量センサ２２が設けられている。計測流路３２は、その上流端部である計測入口３５と、下流端部である計測出口３６とを有している。通過流路３１から計測流路３２が分岐した部分はこれら通過流路３１と計測流路３２との境界部になっており、この境界部に計測入口３５が含まれている。また、通過流路３１と計測流路３２との境界部を流路境界部と称することもできる。計測入口３５は、計測出口３６側を向くように傾斜した状態でハウジング先端側を向いている。
　計測流路３２は、通過流路３１からハウジング基端側に向けて延びている。計測流路３２は、通過流路３１とハウジング基端面２１ｂとの間に設けられている。計測流路３２は、計測入口３５と計測出口３６との間の部分がハウジング基端側に向けて膨らむように曲がっている。計測流路３２は、連続的に曲がるように湾曲した部分や、段階的に折れ曲がるように屈折した部分、高さ方向Ｙや奥行き方向Ｚに真っ直ぐに延びた部分などを有している。
　流量センサ２２は、ヒータ部を有する熱式の流量検出部である。流量センサ２２は、ヒータ部の発熱に伴って温度変化が生じた場合に、その温度変化に応じた検出信号を出力する。流量センサ２２は直方体状のチップ部品であり、流量センサ２２をセンサチップと称することもできる。センサＳＡは、流量センサ２２の全体が計測流路３２に収容される状態でハウジング２１に取り付けられている。なお、流量センサ２２が計測流路３２において流量を検出可能な状態であれば、流量センサ２２の一部が計測流路３２に収容されていてもよい。このように、流量センサ２２の少なくとも一部が計測流路３２に収容されていることで、この流量センサ２２が計測流路３２に設けられている。また、流量センサ２２を、吸入空気の流量を流体の物理量として検出する物理量センサや物理量検出部と称することもできる。
　エアフロメータ２０は、流量センサ２２を含んで構成されたセンササブアッセンブリを有しており、このセンササブアッセンブリをセンサＳＡ５０と称する。センサＳＡ５０は、センサＳＡ５０の一部が計測流路３２に入り込んだ状態でハウジング２１の内部に埋め込まれている。エアフロメータ２０においては、センサＳＡ５０とバイパス流路３０とが高さ方向Ｙに並べられている。具体的には、センサＳＡ５０と通過流路３１とが高さ方向に並べられている。なお、センサＳＡ５０が検出ユニットに相当する。また、センサＳＡ５０を計測ユニットやセンサパッケージと称することもできる。
　＜構成群Ａの説明＞
　図９、図１０、図１１に示すように、センサＳＡ５０は、流量センサ２２に加えてセンサ支持部５１を有している。センサ支持部５１は、ハウジング２１に取り付けられており、流量センサ２２を支持している。センサ支持部５１は、ＳＡ基板５３及びモールド部５５を有している。ＳＡ基板５３は、流量センサ２２が搭載された基板であり、モールド部５５は、流量センサ２２の少なくとも一部やＳＡ基板５３の少なくとも一部を覆っている。ＳＡ基板５３をリードフレームと称することもできる。
　モールド部５５は、全体として板状に形成されている。モールド部５５の外面においては、高さ方向Ｙに並んだ一対の端面５５ａ，５５ｂのうち、ハウジング先端側の方をモールド先端面５５ａと称し、ハウジング基端側の方をモールド基端面５５ｂと称する。なお、モールド先端面５５ａが、モールド部５５及びセンサ支持部５１の先端部になっており、支持先端部に相当する。また、モールド部５５が保護樹脂部に相当する。
　モールド部５５の外面においては、モールド先端面５５ａ及びモールド基端面５５ｂを挟んで設けられた一対の面のうち一方をモールド上流面５５ｃと称し、他方をモールド下流面５５ｄと称する。センサＳＡ５０は、図８において、モールド先端面５５ａがエアフロ先端側に配置され、且つモールド上流面５５ｃがモールド下流面５５ｄよりも計測流路３２の上流側に配置される向きで、ハウジング２１の内部に設置されている。センサ支持部５１においては、モールド上流面５５ｃが上流端部に相当し、モールド下流面５５ｄが下流端部に相当する。
　センサＳＡ５０のモールド上流面５５ｃは、計測流路３２においてモールド下流面５５ｄよりも上流側に配置されている。計測流路３２において流量センサ２２が設けられた部分においては、空気の流れる向きが吸気通路１２での空気の流れる向きとは反対になっている。このため、モールド上流面５５ｃは、吸気通路１２においてはモールド下流面５５ｄよりも下流側に配置されていることになる。なお、流量センサ２２に沿って流れる空気は奥行き方向Ｚに流れ、この奥行き方向Ｚを流れ方向と称することもできる。
　図９、図１０に示すように、センサＳＡ５０においては、流量センサ２２がセンサＳＡ５０の一面側に露出している。モールド部５５の外面においては、流量センサ２２が露出した側の板面をモールド表面５５ｅと称し、反対側の板面をモールド裏面５５ｆと称する。センサＳＡ５０の一方の板面がモールド表面５５ｅにより形成されており、このモールド表面５５ｅが支持表面に相当し、モールド裏面５５ｆが支持裏面に相当する。
　なお、モールド部５５については、高さ方向Ｙにおいて、モールド先端面５５ａ側をモールド側と称し、モールド基端面５５ｂ側をモールド基端側と称することもある。また、奥行き方向Ｚにおいて、モールド上流面５５ｃ側をモールド上流側と称し、モールド下流面５５ｄ側をモールド下流側と称することもある。さらに、幅方向Ｘにおいて、モールド表面５５ｅ側をモールド表側と称し、モールド裏面５５ｆ側をモールド裏側と称することもある。
　センサＳＡ５０は、周縁凹部５６を有している。周縁凹部５６は、モールド表面５５ｅに設けられた細長状の凹部であり、流量センサ２２の周縁部に沿って溝状に延びている。周縁凹部５６の底面は、モールド表面５５ｅからモールド裏側に離間した位置に設けられており、モールド部５５により形成されている。周縁凹部５６の一対の内壁面は底面を介して互いに対向しており、内周側の内壁面は流量センサ２２の外壁面により形成され、外周側の内壁面はモールド部５５により形成されている。
　周縁凹部５６においては、幅方向Ｘの深さ寸法が、幅方向Ｘに直交する方向Ｙ，Ｚの幅寸法よりも小さくなっている。周縁凹部５６は、後述する表計測段差面５５５よりもモールド先端側に設けられている。周縁凹部５６は、高さ方向Ｙに互いに平行に延びる一対の縦部分と、これら縦部分を接続するように奥行き方向Ｚに延びる横部分とを有しており、一対の縦部分は、表計測段差面５５５からモールド先端側に向けて延びている。周縁凹部５６は、幅方向Ｘに直交する方向Ｙ，Ｚにおいて、モールド表面５５ｅの外周縁から内側に離間した位置に設けられている。
　流量センサ２２は、幅方向Ｘにおいて、モールド表面５５ｅからモールド裏側に離間した位置に設けられている。流量センサ２２においては、後述するセンサ表面２２ａがモールド表面５５ｅよりもモールド裏側の位置に設けられている。周縁凹部５６の底面は、幅方向Ｘに直交する方向Ｙ，Ｚにおいて、センサ表面２２ａに平行に延びている。この場合、周縁凹部５６では、幅方向Ｘにおいて、底面からの内周側の内壁面の高さ寸法が、底面からの外周側の内壁面の高さ寸法よりも小さくなっている（図３４参照）。
　ＳＡ基板５３は、金属材料等により全体として板状に形成されており、導電性を有する基板である。ＳＡ基板５３の板面は、幅方向Ｘに直交しており、高さ方向Ｙ及び奥行き方向Ｚに延びている。ＳＡ基板５３には流量センサ２２が搭載されている。ＳＡ基板５３は、リード端子５３ａ、上流試験端子５３ｂ、下流試験端子５３ｃを有している。ＳＡ基板５３には、モールド部５５により覆われた部分と、モールド部５５によっては覆われていない部分とを有しており、覆われていない部分により端子５３ａ，５３ｂ，５３ｃが形成されている。なお、図８等においては、端子５３ａ，５３ｂ，５３ｃの図示を省略している。
　図１０、図１１に示すように、リード端子５３ａは、モールド基端面５５ｂから高さ方向Ｙに突出した端子であり、複数設けられている。複数のリード端子５３ａには、コネクタ端子２８ａに接続された端子６７１～６７３や、吸気温センサ２３に接続された端子６７４，６７５、流量センサ２２の検出精度等を調整するための調整端子６７６が含まれている。
　本実施形態では、センサＳＡ５０がリード端子５３ａを６つ有している。これら６つのリード端子５３ａには、コネクタ端子２８ａに接続された端子が３つ、吸気温センサ２３に接続された端子が２つ、調整端子が１つ含まれている。コネクタ端子２８ａに接続された３つの端子には、グランドに接地された流量グランド端子６７１と、５Ｖ等の所定電圧が印加される流量電源端子６７２と、流量センサ２２の検出結果に関する信号を出力する流量出力端子６７３とが含まれている。吸気温センサ２３に接続された２つの端子には、グランドに接続された吸気温グランド端子６７４と、吸気温センサ２３の検出結果に関する信号を出力する吸気温出力端子６７５とが含まれている。
　リード端子５３ａにおいては、端子６７１～６７６が奥行き方向Ｚに並べられている。奥行き方向Ｚにおいては、流量計測用の端子６７１～６７３が吸気温計測用の端子６７４，６７５と調整端子６７６との間に配置されている。流量計測用の端子６７１～６７３においては、流量グランド端子６７１が流量電源端子６７２と流量出力端子６７３との間に配置されている。流量電源端子６７２は、調整端子６７６の隣に配置されており、流量出力端子６７３は、吸気温グランド端子６７４の隣に配置されている。なお、端子６７１～６７６の並び順は上述した順でなくてもよい。
　センサＳＡ５０においては、ＳＥＮＴ通信を行うための通信経路が流量出力端子６７３や吸気温出力端子６７５により形成されている。流量計測についてのＳＥＮＴ通信は流量出力端子６７３を通じて行われ、吸気温計測についてのＳＥＮＴ通信は吸気温出力端子６７５を通じて行われる。
　下流試験端子５３ｃは、モールド下流面５５ｄから奥行き方向Ｚに突出した端子であり、複数設けられている。複数の下流試験端子５３ｃには、ＩＣテスト端子６９１，６９２やコンデンサチェック端子６９３，６９４、グランド端子６９５，６９６が含まれている。ＩＣテスト端子６９１，６９２は、流量センサ２２の動作確認等をするための端子である。コンデンサチェック端子６９３，６９４は、ＳＡ基板５３に搭載された内部コンデンサの動作確認等をするための端子である。グランド端子６９５，６９６は、グランドに接地するための端子である。
　下流試験端子５３ｃにおいては、端子６９１～６９６が高さ方向Ｙに並べられている。高さ方向Ｙにおいては、ＩＣテスト端子６９１，６９２とコンデンサチェック端子６９３，６９４との間に一方のグランド端子６９５が配置されている。他方のグランド端子６９６は、コンデンサチェック端子６９３，６９４を介して一方のグランド端子６９５の反対側に配置されている。グランド端子６９５，６９６のうち一方は、他方よりも短い端子になっている。例えば、グランド端子６９６がグランド端子６９５よりも短い端子になっている。グランド端子６９６は、ＩＣテスト端子６９１，６９２やコンデンサチェック端子６９３，６９４に比べても短い端子になっている。
　上流試験端子５３ｂは、モールド上流面５５ｃから奥行き方向Ｚに突出した端子であり、複数設けられている。複数の上流試験端子５３ｂには、ＩＣテスト端子６８１，６８２やコンデンサチェック端子６８３，６８４、グランド端子６８５が含まれている。ＩＣテスト端子６８１，６８２は、流量センサ２２の動作確認等をするための端子である。コンデンサチェック端子６８３，６８４は、内部コンデンサの動作確認等をするための端子である。グランド端子６８５は、グランドに接地するための端子である。
　上流試験端子５３ｂにおいては、端子６８１～６８５が高さ方向Ｙに並べられている。高さ方向Ｙにおいては、ＩＣテスト端子６８１，６８２とグランド端子６８５との間にコンデンサチェック端子６８３，６８４が配置されている。グランド端子６８５は、上流側のグランド端子６９６と同様に短い端子になっており、ＩＣテスト端子６８１，６８２やコンデンサチェック端子６８３，６８４に比べても短い。
　試験端子５３ｂ，５３ｃは、第１ハウジング部１５１の内面に接触していない。具体的には、上流試験端子５３ｂにおいて、上述したようにグランド端子６８５が他の端子６８１～６８４よりも短くなっている。このため、グランド端子６８５は、端子６８１～６８５の中で最もハウジング先端側の位置に配置されているにもかかわらず、第１ハウジング部１５１の内部において後述するハウジング段差面１３７（図１７参照）に接触しにくくなっている。同様に、下流試験端子５３ｃにおいて、上述したようにグランド端子６９６が他の端子６９１～６９５よりも短くなっている。このため、グランド端子６９６は、端子６９１～６９５の中で最もハウジング先端側の位置に配置されているにもかかわらず、第１ハウジング部１５１の内部においてハウジング段差面１３７に接触しにくくなっている。
　リード端子５３ａにはリード孔５４が設けられている。リード孔５４は、リード端子５３ａの厚さ方向にリード端子５３ａを貫通しており、各リード端子５３ａのそれぞれに設けられている。リード孔５４は、高さ方向Ｙにおいてリード端子５３ａでのモールド部５５寄りの位置に配置されている。エアフロメータ２０の製造工程には、流量センサ２２を製造した後、流量センサ２２を第１ハウジング部１５１に組み付ける前の段階で流量センサ２２の検査工程が含まれている。この検査工程では、流量センサ２２が正常に動作することを確認する作業や、流量センサ２２の検出精度を取得する作業、流量センサ２２の検出精度を調整する作業などが行われる。また、この検査工程では、作業台に流量センサ２２を固定した状態で、流量センサ２２の検査を行う。作業台には、ピン等の位置決め用の冶具が設けられており、リード孔５４に冶具を挿し入れるようにして流量センサ２２を作業台に対して位置決めする。これにより、作業台に流量センサ２２を位置ずれしないように固定する際の作業負担が低減される。
　リード端子５３ａにおいては、流量グランド端子６７１及び吸気温グランド端子６７４が処理搭載部８８２（図３７参照）に一体的に設けられている一方で、他の端子６７２，６７３，６７５，６７６は、処理搭載部８８２から独立した状態で設けられている。上流試験端子５３ｂにおいては、グランド端子６８５が処理搭載部８８２に一体的に設けられている一方で、他の端子６８１～６８４は、処理搭載部８８２から独立した状態で設けられている。下流試験端子５３ｃにおいては、グランド端子６９５，６９６が処理搭載部８８２に一体的に設けられている一方で、他の端子６９１～６９４は、処理搭載部８８２から独立した状態で設けられている。このように、グランド端子６７１，６７４，６８５，６９５，６９６は、処理搭載部８８２を介して互いに接続されている。
　なお、上流試験端子５３ｂ及び下流試験端子５３ｃのそれぞれにおいては、少なくとも１つの端子が短くなっていればよい。例えば、上流試験端子５３ｂにおいて、端子６８１～６８５のうち、ハウジング先端側から数えて複数の端子が最もハウジング基端側の位置に配置された端子よりも短くなっていてもよい。この場合、端子６８１～６８５がハウジング２１の内面に接触するということをより確実に回避できる。
　ＳＡ基板５３の外面には、基準面及び粗面が含まれている。粗面は、例えば０．５～１．０μｍの小さな凸部や凹部が多数設けられていることなどにより、基準面よりも粗い状態にされた面である。ＳＡ基板５３においては、リード端子５３ａの外面が基準面になっており、その他の部位の外面が粗面になっている。ＳＡ基板５３のうち粗面になっている部位には、モールド部５５の内部に埋め込まれた部位や、試験端子５３ｂ，５３ｃが含まれている。粗面は、基準面に比べて、表面積が大きくなることなどにより樹脂が密着しやすくなっている。このため、ＳＡ基板５３のうちモールド部５５の内部に埋め込まれた部位の外面が粗面になっていることで、モールド部５５とＳＡ基板５３との間に隙間が生じにくくなっており、モールド部５５の内部においてＳＡ基板５３等の腐食が抑制される。また、試験端子５３ｂ，５３ｃの外面が粗面になっていることで、試験端子５３ｂ，５３ｃと第２ハウジング部１５２との間に隙間が生じにくくなっており、第２ハウジング部１５２の内部において試験端子５３ｂ，５３ｃの腐食が生じにくくなっている。
　一方で、リード端子５３ａの外面が、粗面よりも滑らかな基準面になっている。このため、リード端子５３ａの板面とリード接続端子６２１の板面との接触面積が大きくなりやすいことなどにより、リード端子５３ａとリード接続端子６２１との接続部分での電気的な抵抗が小さくなりやすい。また、リード端子５３ａとリード接続端子６２１との溶接作業を容易化しやすくなっている。
　図１２に示すように、流量センサ２２は全体として板状に形成されている。流量センサ２２は、一面であるセンサ表面２２ａと、センサ表面２２ａとは反対のセンサ裏面２２ｂとを有している。流量センサ２２においては、センサ裏面２２ｂがＳＡ基板５３に重ねられており、センサ表面２２ａの一部がセンサＳＡ５０の外部に露出している。
　流量センサ２２は、センサ凹部６１及びメンブレン部６２を有している。センサ凹部６１はセンサ裏面２２ｂに対して設けられており、メンブレン部６２はセンサ表面２２ａに対して設けられている。メンブレン部６２は、センサ凹部６１の底面であるセンサ凹底面５０１を形成している。メンブレン部６２のうちセンサ凹底面５０１を形成している部分は、センサ凹部６１にとっての底部になっている。センサ凹部６１は、センサ裏面２２ｂがセンサ表面２２ａ側に向けて凹むことで形成されており、センサ裏面２２ｂに設けられたキャビティである。センサ凹部６１の開口部であるセンサ凹開口５０３はセンサ裏面２２ｂに設けられている。センサ凹部６１の内壁面であるセンサ凹内壁面５０２は、センサ凹底面５０１とセンサ凹開口５０３とにかけ渡されている。メンブレン部６２は、流量をセンシングするセンシング部になっている。
　流量センサ２２は、センサ基板６５及びセンサ膜部６６を有している。センサ基板６５は、流量センサ２２の母材であり、シリコン等の半導体材料により板状に形成されている。センサ基板６５は、一面であるセンサ基板表面６５ａと、センサ基板表面６５ａとは反対のセンサ基板裏面６５ｂとを有している。センサ基板６５には、センサ基板６５を幅方向Ｘに貫通する貫通孔が形成されており、この貫通孔によりセンサ凹部６１が形成されている。なお、センサ基板６５には、貫通孔ではなく、センサ凹部６１を形成する凹部が形成されていてもよい。この場合、センサ凹部６１の底面はメンブレン部６２により形成されるのではなく、センサ基板６５の凹部の底面により形成されることになる。
　センサ膜部６６は、センサ基板６５のセンサ基板表面６５ａに重ねられており、センサ基板表面６５ａに沿って膜状に延びている。流量センサ２２においては、センサ表面２２ａがセンサ膜部６６により形成され、センサ裏面２２ｂがセンサ基板６５により形成されている。この場合、センサ裏面２２ｂは、センサ基板６５のセンサ基板裏面６５ｂになっている。センサ膜部６６はセンサ基板６５の貫通孔を覆っており、センサ膜部６６のうちこの貫通孔を覆った部分がメンブレン部６２である。センサ凹部６１においては、センサ凹底面５０１がセンサ膜部６６の裏面により形成されている。
　センサ膜部６６は、絶縁層や導電層、保護層など複数の層を有しており、多層構造になっている。これらは、いずれも膜状に形成されており、センサ基板表面６５ａに沿って延びている。センサ膜部６６は、配線や抵抗体などの配線パターンを有しており、この配線パターンは導電層により形成されている。
　流量センサ２２においては、ウェットエッチングによりセンサ基板６５の一部を加工することでセンサ凹部６１が形成されている。流量センサ２２の製造工程においては、シリコン窒化膜等のマスクをセンサ基板６５のセンサ基板裏面６５ｂに装着し、エッチング液を用いてセンサ膜部６６が露出するまでセンサ基板裏面６５ｂに対して異方性エッチングを行う。なお、センサ基板６５に対してドライエッチングを行うことでセンサ凹部６１を形成してもよい。
　センサＳＡ５０は、空気の流量を検出する流量検出回路を有しており、この流量検出回路の少なくとも一部が流量センサ２２に含まれている。図１３に示すように、センサＳＡ５０は、流量検出回路に含まれる回路素子として、発熱抵抗体７１、測温抵抗体７２，７３、傍熱抵抗体７４、を有している。これら抵抗体７１～７４は、流量センサ２２に含まれており、センサ膜部６６の導電層により形成されている。この場合、センサ膜部６６が抵抗体７１～７４を有しており、これら抵抗体７１～７４は導電層の配線パターンに含まれている。抵抗体７１～７４が検出素子に相当する。なお、図１３においては、抵抗体７１～７４を含む配線パターンをドットハッチングで図示している。また、流量検出回路を、空気の流量を計測する流量計測部と称することもできる。
　発熱抵抗体７１は、発熱抵抗体７１への通電に伴って熱を発生させる抵抗素子である。発熱抵抗体７１は、発熱することでセンサ膜部６６を加熱し、ヒータ部に相当する。測温抵抗体７２，７３は、センサ膜部６６の温度を検出するための抵抗素子であり、温度検出部に相当する。測温抵抗体７２，７３の抵抗値は、センサ膜部６６の温度に応じて変化する。流量検出回路においては、測温抵抗体７２，７３の抵抗値を用いてセンサ膜部６６の温度を検出する。流量検出回路は、発熱抵抗体７１によりセンサ膜部６６及び測温抵抗体７２，７３の温度を上昇させ、計測流路３２にて空気の流れが生じた場合に、測温抵抗体７２，７３による検出温度の変化態様を用いて空気流量や流れの向きを検出する。
　発熱抵抗体７１は、高さ方向Ｙ及び奥行き方向Ｚのそれぞれについてメンブレン部６２のほぼ中央に配置されている。発熱抵抗体７１は、全体として高さ方向Ｙに延びる長方形状に形成されている。発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ１は、発熱抵抗体７１の中心ＣＯ１を通り、高さ方向Ｙに直線状に延びている。この中心線ＣＬ１は、メンブレン部６２の中心を通っている。発熱抵抗体７１は、メンブレン部６２の周縁部から内側に離間した位置に配置されている。発熱抵抗体７１においては、中心ＣＯ１に対する離間距離が、モールド先端側の端部とモールド基端側の端部とで同じになっている。
　測温抵抗体７２，７３は、いずれも全体として高さ方向Ｙに延びる長方形状に形成されており、奥行き方向Ｚに並べられている。これら測温抵抗体７２，７３の間に発熱抵抗体７１が設けられている。測温抵抗体７２，７３のうち、上流測温抵抗体７２は、発熱抵抗体７１からモールド上流側に離間した位置に設けられている。下流測温抵抗体７３は、発熱抵抗体７１からモールド下流側に離間した位置に設けられている。上流測温抵抗体７２の中心線ＣＬ２及び下流測温抵抗体７３の中心線ＣＬ３は、いずれも発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ１に平行に直線状に延びている。発熱抵抗体７１は、奥行き方向Ｚにおいて上流測温抵抗体７２と下流測温抵抗体７３との中間位置に設けられている。
　なお、本実施形態のセンサＳＡ５０については、図１０において、モールド上流面５５ｃ側をモールド上流側と称し、モールド下流面５５ｄ側をモールド下流側と称する。また、モールド先端面５５ａ側をモールド先端側と称し、モールド基端面５５ｂ側をモールド基端側と称する。
　図１３の説明に戻り、傍熱抵抗体７４は、発熱抵抗体７１の温度を検出するための抵抗素子である。傍熱抵抗体７４は、発熱抵抗体７１の周縁部に沿って延びている。傍熱抵抗体７４の抵抗値は、発熱抵抗体７１の温度に応じて変化する。流量検出回路においては、傍熱抵抗体７４の抵抗値を用いて発熱抵抗体７１の温度を検出する。
　センサＳＡ５０は、発熱配線７５、測温配線７６，７７を有している。これら配線７５～７７は、抵抗体７１～７４と同様に、センサ膜部６６の配線パターンに含まれている。発熱配線７５は、発熱抵抗体７１からモールド基端側に向けて高さ方向Ｙに延びている。上流測温配線７６は、上流測温抵抗体７２からモールド先端側に向けて高さ方向Ｙに延びている。下流測温配線７７は、下流測温抵抗体７３からモールド先端側に向けて高さ方向Ｙに延びている。
　上述したように、センサＳＡ５０においては、ＳＡ基板５３に内部コンデンサが搭載されている。センサＳＡ５０は、流量検出回路に含まれたブリッジ回路等に定電圧を印加する内部電源を有しており、内部コンデンサは、内部電源の電圧を安定化させる機能を有している。内部コンデンサはチップコンデンサ等の受動部品である。
　また、エアフロメータ２０においては、外部からの外部ノイズがセンサＳＡ５０に加えられることや、センサＳＡ５０にて発生したノイズが内部ノイズとして外部に放出されること、センサＳＡ５０に静電気が加えられることが懸念される。これに対して、内部コンデンサは、センサＳＡ５０が外部ノイズに耐えるための耐イミュニティ機能や、センサＳＡ５０からの内部ノイズを低減するエミッション低減機能、センサＳＡ５０が静電気に耐える耐静電気機能を有している。
　さらに、エアフロメータ２０においては、発熱抵抗体７１が発生する熱の温度を調整するためにフィードバック制御等のヒータ温度制御が行われる。内部コンデンサは、ヒータ温度制御において、発熱抵抗体７１のオン状態とオフ状態とが発振することを規制する機能を有している。この場合、内部コンデンサによりヒータ温度制御の安定化が図られる。
　図１４、図１５に示すように、計測流路３２の中心線ＣＬ４は、計測入口３５の中心ＣＯ２と計測出口３６の中心ＣＯ３とを通り、計測流路３２に沿って直線状に延びている。センサＳＡ５０は、計測流路３２において計測入口３５と計測出口３６との間に設けられている。センサＳＡ５０は、計測入口３５から上流側に離間した位置であって、計測出口３６から上流側に離間した位置に設けられている。なお、図１４においては、計測流路３２のうちＳＡ挿入孔１０７の内部空間を除いた領域の中心線を中心線ＣＬ４として図示している。
　通過流路３１においては、通過入口３３及び通過出口３４がいずれも矩形状であって、縦長形状になっている。通過入口３３及び通過出口３４のいずれにおいても、高さ方向Ｙの高さ寸法が幅方向Ｘの幅寸法よりも大きくなっている。通過出口３４の開口面積は通過入口３３の開口面積よりも小さくなっている。例えば、通過出口３４の開口面積は、通過入口３３の開口面積の１／２よりも小さくなっている。高さ方向Ｙについて通過出口３４の高さ寸法と通過入口３３の高さ寸法は同じになっている一方で、幅方向Ｘについて通過出口３４の幅寸法は通過入口３３の幅寸法より小さくなっている。通過入口３３の開口面積は、通過入口３３の中心ＣＯ２１を含む領域の面積であり、通過出口３４の開口面積は、通過出口３４の中心ＣＯ２４を含む領域の面積である。
　エアフロメータ２０においては、通過入口３３の中心が吸気通路１２の中心線に重なる位置に配置されている。通過入口３３の幅寸法は、バイパス流路３０にて生じる圧力損失が大きくなりすぎないように極力小さい値に設定されている。ただし、吸気通路１２に対して通過入口３３の幅寸法を小さくしすぎると、吸気通路１２の中央部分において空気が通過入口３３に流れ込む構成において、流量計測や流速計測についてロバスト性が低下することが懸念される。このため、通過入口３３の幅寸法は、バイパス流路３０での圧力損失や、計測のロバスト性が適正化されるように設定されることが好ましい。
　計測流路３２においては、計測出口３６が矩形状であって、縦長形状になっている。計測出口３６においては、高さ方向Ｙの高さ寸法が幅方向Ｘの幅寸法よりも大きくなっている。計測出口３６の開口面積は計測入口３５の開口面積よりも小さくなっている。一方で、複数の計測出口３６の各開口面積を合計した値は計測入口３５の開口面積よりも大きくなっている。計測入口３５の開口面積は、計測入口３５の中心ＣＯ２を含む領域の面積であり、計測出口３６の開口面積は、計測出口３６の中心ＣＯ３を含む領域の面積である。
　図１５、図１６に示すように、ハウジング２１は、計測流路３２を形成する形成面として、計測床面１０１、計測天井面１０２、表計測壁面１０３、裏計測壁面１０４を有している。これら計測床面１０１、計測天井面１０２、表計測壁面１０３及び裏計測壁面１０４は、いずれも計測流路３２の中心線ＣＬ４に沿って延びている。計測床面１０１、計測天井面１０２、表計測壁面１０３及び裏計測壁面１０４は、計測流路３２のうち奥行き方向Ｚに延びている部分を形成している。なお、計測床面１０１が床面に相当し、表計測壁面１０３が表壁面１０３相当し、裏計測壁面１０４が裏壁面に相当する。幅方向Ｘが、表壁面と裏壁面とが並んだ表裏方向に相当する。
　計測床面１０１及び計測天井面１０２は、表計測壁面１０３と裏計測壁面１０４との間に設けられている。計測床面１０１は、センサＳＡ５０のモールド先端面５５ａに対向しており、奥行き方向Ｚに真っ直ぐに延びている。計測床面１０１は、表側床面部１０１ａ，裏側床面部１０１ｂを有している。表側床面部１０１ａは、表計測壁面１０３から裏計測壁面１０４に向けて延びており、裏側床面部１０１ｂは、裏計測壁面１０４から表計測壁面１０３に向けて延びている。表側床面部１０１ａと裏側床面部１０１ｂとは幅方向Ｘに横並びに設けられており、幅方向Ｘにおいて、表側床面部１０１ａの長さ寸法は裏側床面部１０１ｂの長さ寸法よりも小さくなっている。表側床面部１０１ａは、幅方向Ｘにおいて表計測壁面１０３と裏側床面部１０１ｂとにかけ渡された状態になっている。表側床面部１０１ａは、幅方向Ｘに延びており、例えば、後述する発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ５に平行に延びている。裏側床面部１０１ｂは、裏計測壁面１０４側を向くように表側床面部１０１ａに対して傾斜している。
　計測天井面１０２は、高さ方向Ｙにおいて中心線ＣＬ４を介して計測床面１０１とは反対側に設けられている。ハウジング２１において計測天井面１０２を形成する部分には、センサＳＡ５０が挿入されたＳＡ挿入孔１０７が設けられている。このＳＡ挿入孔１０７は、センサＳＡ５０によって閉鎖されている。計測流路３２には、ＳＡ挿入孔１０７の内部空間のうちセンサＳＡ５０とハウジング２１との隙間も含まれている。
　表計測壁面１０３と裏計測壁面１０４とは、計測床面１０１や計測天井面１０２を介して互いに対向する一対の壁面である。表計測壁面１０３は、センサＳＡ５０のモールド表面５５ｅに対向しており、計測床面１０１のエアフロ表側の端部からハウジング基端側に向けて延びている。特に、表計測壁面１０３は、センサＳＡ５０の流量センサ２２に対向している。裏計測壁面１０４は、センサＳＡ５０のモールド裏面５５ｆに対向しており、計測床面１０１のエアフロ裏側の端部からハウジング基端側に向けて延びている。なお、図１５、図１６においては、センサＳＡ５０の内部構造について図示を簡略化し、モールド部５５及び流量センサ２２の図示にとどめている。
　ハウジング２１は、表絞り部１１１及び裏絞り部１１２を有している。これら絞り部１１１，１１２は、計測流路３２の断面積Ｓ４が計測入口３５等の上流から流量センサ２２に向けて徐々に小さくなるように計測流路３２を徐々に絞っている。また、絞り部１１１，１１２は、断面積Ｓ４が流量センサ２２から計測出口３６等の下流から流量センサ２２に向けて徐々に小さくなるように計測流路３２を徐々に絞っている。なお、計測流路３２については、中心線ＣＬ４に直交する領域の面積を断面積Ｓ４と称しており、この断面積Ｓ４を流路面積と称することもできる。
　表絞り部１１１は、表計測壁面１０３の一部が裏計測壁面１０４に向けて突出した凸部である。裏絞り部１１２は、裏計測壁面１０４の一部が表計測壁面１０３に向けて突出した凸部である。表絞り部１１１と裏絞り部１１２とは、高さ方向Ｙに並べられており、高さ方向Ｙにおいて互いに対向している。これら絞り部１１１，１１２は、計測天井面１０２と計測床面１０１とにかけ渡されている。絞り部１１１，１１２は、幅方向Ｘでの表計測壁面１０３と裏計測壁面１０４との離間距離である計測幅寸法Ｗ１を上流から流量センサ２２に向けて徐々に小さくしている。また、絞り部１１１，１１２は、計測幅寸法Ｗ１を下流から流量センサ２２に向けて徐々に小さくしている。
　絞り部１１１，１１２は、計測流路３２において上流側から流量センサ２２に向けて中心線ＣＬ４に徐々に近づいている。計測流路３２においては、幅方向Ｘでの絞り部１１１，１１２と中心線ＣＬ４との離間距離Ｗ２，Ｗ３が、上流から流量センサ２２に向けて徐々に小さくなっている。また、絞り部１１１，１１２は、計測流路３２において下流側から流量センサ２２に向けて中心線ＣＬ４に徐々に近づいている。計測流路３２においては、幅方向Ｘでの絞り部１１１，１１２と中心線ＣＬ４との離間距離Ｗ２，Ｗ３が、下流から流量センサ２２に向けて徐々に小さくなっている。
　絞り部１１１，１１２においては、中心線ＣＬ４に最も接近した部分が頂部１１１ａ，１１２ａになっている。この場合、絞り部１１１，１１２においては、中心線ＣＬ４との離間距離Ｗ２，Ｗ３が頂部１１１ａ，１１２ａにおいて最も小さくなっている。頂部１１１ａ，１１２ａのうち、表頂部１１１ａが表絞り部１１１の頂部であり、裏頂部１１２ａが裏絞り部１１２の頂部である。表頂部１１１ａと裏頂部１１２ａとは幅方向Ｘに並べられており、互いに対向している。
　流量センサ２２は、表絞り部１１１と裏絞り部１１２との間に設けられている。具体的には、流量センサ２２の発熱抵抗体７１の中心ＣＯ１が表頂部１１１ａと裏頂部１１２ａとの間に設けられている。発熱抵抗体７１について、中心ＣＯ１を通り、中心線ＣＬ１に直交し且つ幅方向Ｘに延びる直線状の仮想線を中心線ＣＬ５と称すると、表頂部１１１ａ及び裏頂部１１２ａはいずれもこの中心線ＣＬ５上に配置されている。この場合、発熱抵抗体７１の中心ＣＯ１と表頂部１１１ａとが幅方向Ｘに並べられており、発熱抵抗体７１の中心ＣＯ１と表頂部１１１ａとが幅方向Ｘにおいて互いに対向している。
　図１６に示すように、センサＳＡ５０のセンサ支持部５１は、幅方向Ｘにおいて裏絞り部１１２よりも表絞り部１１１に近い位置に設けられている。すなわち、センサ支持部５１は、裏計測壁面１０４よりも表計測壁面１０３に近い位置に配置に設けられている。発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ５上においては、幅方向Ｘでの流量センサ２２と表計測壁面１０３との離間距離である表距離Ｌ１が、幅方向Ｘでの流量センサ２２と裏計測壁面１０４との離間距離である裏距離Ｌ２よりも小さくなっている。すなわち、Ｌ１＜Ｌ２の関係が成り立っている。表距離Ｌ１は、発熱抵抗体７１の中心ＣＯ１と表絞り部１１１の表頂部１１１ａとの離間距離である。裏距離Ｌ２は、発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ５上でのモールド裏面５５ｆと裏絞り部１１２の裏頂部１１２ａとの離間距離である。
　センサ支持部５１のモールド先端面５５ａは、高さ方向Ｙにおいて計測天井面１０２よりも計測床面１０１に近い位置に配置されている。この場合、計測流路３２においては、床距離Ｌ３が表距離Ｌ１よりも小さくなっている。すなわち、Ｌ１＞Ｌ３の関係が成り立っている。床距離Ｌ３は、高さ方向Ｙでのモールド先端面５５ａと計測床面１０１との離間距離である。具体的には、計測床面１０１のうちモールド先端面５５ａに対向する部分において、モールド先端面５５ａに最も近い部位とモールド先端面５５ａとの離間距離である。
　計測流路３２において、ハウジング２１の内面とセンサＳＡ５０の外面とで囲まれた領域のうち、中心線ＣＬ４に直交し且つ発熱抵抗体７１の中心ＣＯ１を通る面状の領域をセンサ領域１２１と称する。計測流路３２において計測入口３５から計測出口３６に向けて流れる空気は、センサ領域１２１を通過する必要がある。
　センサ領域１２１は、表領域１２２及び裏領域１２３を有している。表領域１２２は、幅方向Ｘにおいてモールド表面５５ｅよりも表計測壁面１０３側の領域である。裏領域１２３は、幅方向Ｘにおいてモールド裏面５５ｆよりも裏計測壁面１０４側の領域である。これら領域１２２，１２３は、高さ方向Ｙにおいて計測床面１０１から計測天井面１０２側に向けて延びている。計測流路３２においては、幅方向Ｘにおいて表領域１２２と裏領域１２３との間にセンサＳＡ５０が配置されている。
　表領域１２２は、床側領域１２２ａ及び天井側領域１２２ｂを有している。床側領域１２２ａは、表領域１２２において流量センサ２２の床側端部から計測床面１０１に向けて延びた領域である。床側領域１２２ａにおいては、ハウジング先端側の端部が計測床面１０１により形成されている。このため、床側領域１２２ａは、高さ方向Ｙにおいて流量センサ２２と計測床面１０１との間の領域になっている。天井側領域１２２ｂは、表領域１２２において流量センサ２２の天井側端部から計測天井面１０２に向けて延びた領域である。表領域１２２においては、ハウジング基端側の端部がハウジング２１の内面とセンサＳＡ５０の外面との境界部である天井側境界部により形成されている。このため、天井側領域１２２ｂは、高さ方向Ｙにおいて流量センサ２２と天井側境界部との間の領域になっている。
　センサ領域１２１の面積を領域面積Ｓ１と称すると、この領域面積Ｓ１は、計測流路３２において流量センサ２２が設けられた部分の断面積になっている。領域面積Ｓ１には、床側領域１２２ａの面積である床側面積Ｓ２と、天井側領域１２２ｂの面積である天井側面積Ｓ３とが含まれている。表領域１２２においては、天井側面積Ｓ３が床側面積Ｓ２よりも小さくなっている。すなわち、Ｓ３＜Ｓ２の関係が成り立っている。
　ここまで説明した本実施形態によれば、計測流路３２において表距離Ｌ１が床距離Ｌ３よりも大きくなっている。この構成では、計測床面１０１やモールド先端面５５ａに沿って流れる空気の量に比べて、表計測壁面１０３やモールド表面５５ｅに沿って流れる空気の量の方が多くなりやすい。この場合、モールド表面５５ｅの流量センサ２２に沿って空気が流れやすくなるため、流量センサ２２に沿って流れる空気の量が不足して流量センサ２２による流量の検出精度が低下するということが生じにくくなっている。したがって、流量センサ２２による流量の検出精度を高めることができ、その結果、エアフロメータ２０による空気流量の計測精度を高めることができる。
　床距離Ｌ３が表距離Ｌ１よりも小さい構成では、計測流路３２が計測床面１０１側から絞られた状態になって、センサ領域１２１の領域面積Ｓ１が不足することが懸念される。計測流路３２において、領域面積Ｓ１等の断面積が不足すると圧損が増加し、通過流路３１から計測流路３２に空気が流れ込みにくくなってしまう。この場合、計測流路３２での空気流量が不足して、計測流路３２において気流の剥離や乱れが生じやすくなり、これら剥離や乱れによって流量センサ２２の検出結果にノイズが含まれやすくなってしまう。
　これに対して、本実施形態によれば、計測流路３２において表距離Ｌ１が裏距離Ｌ２よりも小さくなっている。この場合、センサＳＡ５０のモールド先端面５５ａと計測床面１０１との間の領域が狭くても、モールド裏面５５ｆと裏計測壁面１０４との間の裏領域１２３が比較的広くなっている。この構成では、センサ領域１２１の領域面積Ｓ１が不足するということが裏領域１２３により抑制され、計測流路３２での空気流量が不足するということが生じにくくなる。この場合、計測流路３２において気流の剥離や乱れが生じにくくなり、流量センサ２２の検出結果にノイズが含まれることを抑制できる。また、この場合、計測流路３２での圧損が低減されて流量が増加しやすくなるため、流量センサ２２による流量検出の範囲を拡大できる。すなわち、エアフロメータ２０の出力が変動することが抑制され、エアフロメータ２０をダイナミックレンジ化できる。したがって、エアフロメータ２０について、出力変動抑制とダイナミックレンジとの両方を実現できる。
　また、表距離Ｌ１が裏距離Ｌ２よりも小さくなっている。この構成では、エアフロメータ２０の製造時に、ハウジング２１に対するセンサＳＡ５０の取り付け誤差によってハウジング２１に対するセンサＳＡ５０の相対位置が幅方向Ｘにずれたとしても、表距離Ｌ１が裏距離Ｌ２よりも小さいという関係を維持しやすい。このように、ハウジング２１に対するセンサＳＡ５０の取り付け誤差が生じたとしても、流量センサ２２の検出精度が低下しにくい構成を表距離Ｌ１と裏距離Ｌ２との関係によって実現できる。
　本実施形態によれば、ハウジング２１が表絞り部１１１を有している。この構成では、表絞り部１１１が計測入口３５側から流量センサ２２に向けて徐々に計測流路３２を絞っているため、空気の流れに剥離や乱れが生じていても、表絞り部１１１によって空気の流れが整流されることでこれら剥離や乱れが低減される。この場合、流量センサ２２に剥離や乱れが到達しにくくなるため、流量センサ２２の検出精度を高めることができる。しかも、表距離Ｌ１は表絞り部１１１と流量センサ２２との離間距離であるため、流量センサ２２に沿って流れる空気を表絞り部１１１により確実に整流することができる。
　本実施形態によれば、表距離Ｌ１が表絞り部１１１の表頂部１１１ａと流量センサ２２との離間距離である。表絞り部１１１においては、最も整流効果の高い部位が表頂部１１１ａになりやすいため、最も整流効果の高い部位を流量センサ２２に対向させることで、流量センサ２２に沿って流れる空気に剥離や乱れが含まれることを確実に抑制できる。これにより、流量センサ２２の検出精度を更に高めることができる。
　本実施形態によれば、ハウジング２１が裏絞り部１１２を有している。この構成では、裏絞り部１１２が計測入口３５側から流量センサ２２に向けて徐々に計測流路３２を絞っているため、空気の流れに剥離や乱れが生じても、裏絞り部１１２によって空気の流れが整流されることでこれら剥離や乱れが低減される。計測流路３２では、高さ方向Ｙにおいて流量センサ２２付近の高さ位置を流量センサ２２に向けて流れている空気は、センサ支持部５１の表側及び裏側のいずれも通りやすいと考えられる。このため、裏計測壁面１０４に沿って流れている空気についても裏絞り部１１２によって整流を行っておくことは、剥離や乱れが流量センサ２２に到達することを抑制する上で効果的である。
　本実施形態によれば、計測流路３２においては、天井側領域１２２ｂの天井側面積Ｓ３が床側領域１２２ａの床側面積Ｓ２よりも小さくなっている。この構成では、天井側領域１２２ｂの方が床側領域１２２ａよりも圧損が増加しやすく、空気が流れにくくなっている。このため、計測流路３２が、計測床面１０１に沿って流れる空気よりも計測天井面１０２に沿って流れる空気の方が速くなったり多くなったりしやすい構成だったとしても、天井側領域１２２ｂと床側領域１２２ａとで流れる空気の速さや量を均一化できる。これにより、センサ領域１２１に到達する気流に速い気流と遅い気流とが混ざっていることで流量センサ２２の検出精度が低下するということを抑制できる。
　本実施形態によれば、計測流路３２が、計測天井面１０２が外周側になるように且つ計測床面１０１が内周側になるように曲がっている。この構成では、遠心力等によって、計測床面１０１に沿って流れる空気よりも計測天井面１０２に沿って流れる空気の方が速くなったり多くなったりしやすい。このため、天井側領域１２２ｂと床側領域１２２ａとで流れる空気の速さや量を均一化する上で、天井側面積Ｓ３が床側面積Ｓ２よりも小さくなっていることが効果的である。
　本実施形態によれば、表距離Ｌ１が表計測壁面１０３と発熱抵抗体７１との離間距離である。流量センサ２２においては、発熱抵抗体７１に沿って流れる空気を対象として流量が検出されるため、発熱抵抗体７１と表計測壁面１０３との位置関係を管理することで、流量センサ２２の検出精度を高めることができる。
　本実施形態によれば、センサＳＡ５０においては、モールド表面５５ｅ及びモールド裏面５５ｆがいずれも樹脂製のモールド部５５により形成されている。この構成では、モールド表面５５ｅやモールド裏面５５ｆの滑らかさを管理しやすいため、これらモールド表面５５ｅやモールド裏面５５ｆに沿って流れる空気に剥離や乱れが生じにくくなっている。
　＜構成群Ｂの説明＞
　図８、図１７に示すように、ハウジング２１はＳＡ収容領域１５０を有している。ＳＡ収容領域１５０は、バイパス流路３０よりもハウジング基端側に設けられており、センサＳＡ５０の一部を収容している。ＳＡ収容領域１５０には、センサＳＡ５０の少なくともモールド基端面５５ｂが収容されている。計測流路３２とＳＡ収容領域１５０とは高さ方向Ｙに並べられている。センサＳＡ５０は、計測流路３２とＳＡ収容領域１５０との境界部を高さ方向Ｙに跨ぐ位置に配置されている。計測流路３２には、センサＳＡ５０の少なくともモールド先端面５５ａ及び流量センサ２２が収容されている。なお、ＳＡ収容領域１５０が収容領域に相当する。また、図１７、図１８においては、センサＳＡ５０の内部構造について図示を簡略化し、モールド部５５及び流量センサ２２の図示にとどめている。
　ハウジング２１は、第１ハウジング部１５１及び第２ハウジング部１５２を有している。これらハウジング部１５１，１５２は、互いに組み付けられて一体化されており、この状態でハウジング２１を形成している。第１ハウジング部１５１はＳＡ収容領域１５０を形成している。第１ハウジング部１５１は、ＳＡ収容領域１５０に加えてバイパス流路３０を形成している。第１ハウジング部１５１の内面は、ハウジング２１の内面として、ＳＡ収容領域１５０やバイパス流路３０を形成している。第１ハウジング部１５１の開放端にはハウジング開口部１５１ａ（図１９参照）が設けられている。ハウジング開口部１５１ａは、計測流路３２とは反対側に向けてＳＡ収容領域１５０を開口している。
　ＳＡ収容領域１５０及び計測流路３２にセンサＳＡ５０が収容された状態では、センサＳＡ５０の外面と第１ハウジング部１５１の内面との間に隙間が形成されている。第２ハウジング部１５２は、この隙間を埋めている。具体的には、第２ハウジング部１５２は、ＳＡ収容領域１５０においてセンサＳＡ５０の外面と第１ハウジング部１５１の内面との間に入り込んだ状態になっている。
　図１７に示すように、ハウジング２１はハウジング仕切部１３１を有している。ハウジング仕切部１３１は、第１ハウジング部１５１の内面に設けられた凸部であり、第１ハウジング部１５１からセンサＳＡ５０に向けて突出している。この場合、第１ハウジング部１５１がハウジング仕切部１３１を有していることになる。ハウジング仕切部１３１の先端部はセンサＳＡ５０の外面に接触している。ハウジング仕切部１３１は、センサＳＡ５０の外面と第１ハウジング部１５１の内面との間においてＳＡ収容領域１５０と計測流路３２とを仕切っている。
　第１ハウジング部１５１の内面は、ハウジング流路面１３５、ハウジング収容面１３６及びハウジング段差面１３７を有している。これらハウジング流路面１３５、ハウジング収容面１３６及びハウジング段差面１３７は、高さ方向Ｙに交差する方向に延びており、センサＳＡ５０の周りを環状に一周している。センサＳＡ５０においては、発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ１が高さ方向Ｙに延びており、ハウジング流路面１３５、ハウジング収容面１３６及びハウジング段差面１３７は、それぞれこの中心線ＣＬ１の周りを周方向に延びている。
　第１ハウジング部１５１においては、ハウジング先端面２１ａとハウジング基端面２１ｂとの間にハウジング段差面１３７が設けられている。ハウジング段差面１３７は、高さ方向Ｙにおいてハウジング基端側を向いている。ハウジング段差面１３７は、中心線ＣＬ１に対して傾斜しており、中心線ＣＬ１側である径方向内側を向いている。ハウジング段差面１３７は、高さ方向Ｙに交差しており、ハウジング交差面に相当する。第１ハウジング部１５１の内面においては、ハウジング流路面１３５とハウジング段差面１３７との出隅部分、及びハウジング収容面１３６とハウジング段差面１３７との入隅部分のそれぞれが面取りされている。なお、高さ方向Ｙが、計測流路と収容領域とが並んだ並び方向に相当する。
　ハウジング流路面１３５は、計測流路３２を形成しており、ハウジング段差面１３７の内周端部からハウジング先端側に向けて延びている。ハウジング流路面１３５は、ハウジング段差面１３７からＳＡ収容領域１５０とは反対側に向けて延びている。一方、ハウジング収容面１３６は、ＳＡ収容領域１５０を形成しており、ハウジング段差面１３７の外周端からハウジング基端側に向けて延びている。ハウジング収容面１３６は、ハウジング段差面１３７から計測流路３２とは反対側に向けて延びている。ハウジング段差面１３７は、ハウジング流路面１３５とハウジング収容面１３６との間に設けられており、第１ハウジング部１５１の内面に段差を形成している。ハウジング段差面１３７は、ハウジング流路面１３５とハウジング収容面１３６とを接続している。
　センサＳＡ５０の外面は、モールド部５５の外面により形成されている。センサＳＡ５０の外面は、ＳＡ流路面１４５、ＳＡ収容面１４６及びＳＡ段差面１４７を有している。これらＳＡ流路面１４５、ＳＡ収容面１４６及びＳＡ段差面１４７は、高さ方向Ｙに交差する方向に延びており、センサＳＡ５０の外面において環状に一周した部分である。これらＳＡ流路面１４５、ＳＡ収容面１４６及びＳＡ段差面１４７は、発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ１の周りを周方向に延びている。
　センサＳＡ５０においては、モールド先端面５５ａとモールド基端面５５ｂとの間にＳＡ段差面１４７が設けられている。ＳＡ段差面１４７は、高さ方向Ｙにおいてモールド先端面５５ａ側を向いている。ＳＡ段差面１４７は、中心線ＣＬ１に対して傾斜しており、中心線ＣＬ１とは反対側である径方向外側を向いている。ＳＡ段差面１４７は、高さ方向Ｙに交差しており、ユニット交差面に相当する。また、ＳＡ流路面１４５がユニット流路面に相当し、ＳＡ収容面１４６がユニット収容面に相当する。センサＳＡ５０の外面においては、ＳＡ流路面１４５とＳＡ段差面１４７との入隅部分、及びＳＡ収容面１４６とＳＡ段差面１４７との出隅部分のそれぞれが面取りされている。
　ＳＡ流路面１４５は、計測流路３２を形成しており、ＳＡ段差面１４７の内周端部からモールド先端側に向けて高さ方向Ｙに延びている。ＳＡ流路面１４５は、ＳＡ段差面１４７からＳＡ収容領域１５０とは反対側に向けて延びている。一方、ＳＡ収容面１４６は、ＳＡ収容領域１５０を形成しており、ＳＡ段差面１４７の外周端部からモールド基端側に向けて延びている。ＳＡ収容面１４６は、ＳＡ段差面１４７から計測流路３２とは反対側に向けて延びている。ＳＡ段差面１４７は、ＳＡ流路面１４５とＳＡ収容面１４６との間に設けられており、センサＳＡ５０の外面に段差を形成している。ＳＡ段差面１４７は、ＳＡ流路面１４５とＳＡ収容面１４６とを接続している。
　センサＳＡ５０においては、ＳＡ流路面１４５、ＳＡ収容面１４６及びＳＡ段差面１４７のそれぞれが、モールド上流面５５ｃ、モールド下流面５５ｄ、モールド表面５５ｅ及びモールド裏面５５ｆにより形成されている。
　エアフロメータ２０においては、ハウジング基端側を向いたハウジング段差面１３７とハウジング先端側を向いたＳＡ段差面１４７とが互いに対向している。また、内周側を向いたハウジング流路面１３５と、外周側を向いたＳＡ流路面１４５とが互いに対向している。同様に、内周側を向いたハウジング収容面１３６と、外周側を向いたＳＡ収容面１４６とが互いに対向している。
　ハウジング仕切部１３１は、ハウジング段差面１３７に設けられており、ハウジング基端側に向けて高さ方向Ｙに延びている。ハウジング仕切部１３１の中心線ＣＬ１１は、高さ方向Ｙに直線状に延びている。ハウジング仕切部１３１は、ハウジング段差面１３７と共にセンサＳＡ５０の周りを環状に一周している。この場合、図１９に示すように、ハウジング仕切部１３１は、幅方向Ｘに延びた部分と奥行き方向Ｚに延びた部分とを有しており、全体として略矩形枠状になっている。
　図１７の説明に戻り、ハウジング仕切部１３１の先端部は、センサＳＡ５０のＳＡ段差面１４７に接触している。ハウジング仕切部１３１とＳＡ段差面１４７とは、互いに密着しており、ＳＡ収容領域１５０と計測流路３２とを仕切っている部分のシール性を高めている。ＳＡ段差面１４７は、高さ方向Ｙに交差する方向に真っ直ぐに延びた平坦面になっている。本実施形態では、ハウジング段差面１３７とＳＡ段差面１４７とは平行に延びておらず、ＳＡ段差面１４７がハウジング段差面１３７に対して傾斜している。このようにＳＡ段差面１４７とハウジング段差面１３７とが平行になっていなくても、ハウジング仕切部１３１がＳＡ段差面１４７に接触していることで、センサＳＡ５０の外面と第１ハウジング部１５１の内面とが接触した部分でのシール性が高められている。なお、ハウジング段差面１３７とＳＡ段差面１４７とは平行に延びていてもよい。
　ハウジング仕切部１３１はハウジング段差面１３７に直交している。この場合、ハウジング仕切部１３１の中心線ＣＬ１１とハウジング段差面１３７とが直交している。ハウジング仕切部１３１は先細りした形状になっている。高さ方向Ｙに直交する方向Ｘ，Ｚがハウジング仕切部１３１にとっての幅方向であり、幅方向でのハウジング仕切部１３１の幅寸法は、ハウジング仕切部１３１の先端部に向けて徐々に小さくなっている。ハウジング仕切部１３１の一対の側面はいずれもハウジング段差面１３７から真っ直ぐに延びている。この場合、ハウジング仕切部１３１は、断面テーパ状になっている。
　ハウジング仕切部１３１は、ハウジング段差面１３７においてハウジング収容面１３６よりもハウジング流路面１３５に近い位置に配置されている。この場合、高さ方向Ｙに直交する方向Ｘ，Ｚにおいて、ハウジング仕切部１３１とハウジング収容面１３６との離間距離が、ハウジング仕切部１３１とハウジング流路面１３５との離間距離よりも小さくなっている。
　ハウジング段差面１３７のうち、ハウジング仕切部１３１よりもハウジング流路面１３５側の部分は、ハウジング流路面１３５と共に計測流路３２を形成している。ハウジング仕切部１３１よりもハウジング収容面１３６側の部分は、ハウジング収容面１３６と共にＳＡ収容領域１５０を形成している。
　ＳＡ段差面１４７のうち、ハウジング仕切部１３１よりもＳＡ流路面１４５側の部分は、ＳＡ流路面１４５と共に計測流路３２を形成している。ハウジング仕切部１３１よりもＳＡ収容面１４６側の部分は、ＳＡ収容面１４６と共にＳＡ収容領域１５０を形成している。
　次に、エアフロメータ２０の製造方法について、センサＳＡ５０をハウジング２１に装着する手順を中心に、図１８～図２１を参照しつつ説明する。
　エアフロメータ２０の製造工程には、センサＳＡ５０を製造する工程と、第１ハウジング部１５１を樹脂成型等により製造する工程とが含まれている。これら工程の後、センサＳＡ５０を第１ハウジング部１５１に組み付ける工程を行う。
　センサＳＡ５０を製造する工程では、後述するＳＡ型装置５８０（図３３、図３４参照）を用いて、センサＳＡ５０のモールド部５５を樹脂成型する。この工程では、モールド部５５を形成する樹脂材料として、エポキシ樹脂等のエポキシ系の熱硬化性樹脂を用いる。
　第１ハウジング部１５１を製造する工程では、ハウジング型装置等を用いて第１ハウジング部１５１を樹脂成型する。この工程では、第１ハウジング部１５１を形成する樹脂材料として、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）やポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）等の熱可塑性樹脂を用いる。このように熱可塑性樹脂により形成された第１ハウジング部１５１は、熱硬化性樹脂により形成されたモールド部５５に比べて軟らかくなっている。換言すれば、第１ハウジング部１５１は、モールド部５５に比べて硬度が低く、柔軟性が高くなっている。
　第１ハウジング部１５１の樹脂成型に伴って、計測出口３６の外周縁にバリが生じることが懸念される。これに対して、計測出口３６の形状及び大きさは、計測出口３６の外周縁の長さ寸法が極力小さくなるように設定されている。これにより、計測出口３６の外周縁にバリが生じる可能性を低減することや、計測出口３６の外周縁に生じるバリの量を低減することが可能になる。したがって、計測出口３６について、バリを除去する際の作業負担を低減することや、計測出口３６から流れ出る空気の流れがバリによって乱れにくくすること、を実現できる。また、計測出口３６の外周縁の長さ寸法が極力小さくなっていることで、計測出口３６から流れ出る空気の流速が高くなりやすい。この場合、吸気通路１２を流れる空気の勢いによって計測出口３６から空気が流出しにくくなるということが生じにくくなるため、計測流路３２での流速が低下しにくくなり、その結果、流量センサ２２の検出精度が向上しやすくなる。
　センサＳＡ５０を第１ハウジング部１５１に組み付ける工程では、図１８に示すように、センサＳＡ５０をハウジング開口部１５１ａ（図１９参照）から第１ハウジング部１５１の内部に挿入する。ここでは、図２０に示すように、ＳＡ段差面１４７がハウジング仕切部１３１の先端部に接触した後、更にセンサＳＡ５０をハウジング先端側に向けて第１ハウジング部１５１の内部に押し込む。この場合、第１ハウジング部１５１の硬度がモールド部５５の硬度よりも低いことに起因して、図２１に示すように、ハウジング仕切部１３１は、その先端部がＳＡ段差面１４７で押し潰されるように変形する。ハウジング仕切部１３１においては、先端部が押し潰されることで新たに形成された先端面がＳＡ段差面１４７に密着しやすくなり、ハウジング仕切部１３１とＳＡ段差面１４７とのシール性が高められる。なお、図１７においては、ハウジング仕切部１３１のうちセンサＳＡ５０によって押し潰された部分を仮想線として２点鎖線で図示している。
　センサＳＡ５０の組み付け工程では、ハウジング仕切部１３１の先端部がＳＡ段差面１４７で押し潰された際に、ハウジング仕切部１３１の破片等が潰れカスとして発生し、この潰れカスが計測流路３２に進入する、ということが懸念される。計測流路３２に進入した潰れカスが計測流路３２において異物として流量センサ２２に接触したり付着したりした場合、流量センサ２２の検出精度が低下することが想定される。
　これに対して、本実施形態では、潰れカスが計測流路３２に進入しにくい構成になっている。具体的には、図２０に示すように、ハウジング仕切部１３１の中心線ＣＬ１１とＳＡ段差面１４７との間の角度のうち、ＳＡ収容領域１５０を向いた収容側角度θ１２が、計測流路３２を向いた流路側角度θ１１よりも大きくなっている。すなわち、θ１２＞θ１１の関係が成り立っている。この構成では、ハウジング仕切部１３１の先端部が計測流路３２側よりもＳＡ収容領域１５０側に向けて倒れたり潰れたりしやすくなっている。このため、潰れカスが発生したとしても、この潰れカスが計測流路３２に進入しにくくなっている。
　流路側角度θ１１は、ハウジング仕切部１３１の外面のうち最もＳＡ段差面１４７に近い部分の角度であり、収容側角度θ１２は、中心線ＣＬ１１を挟んで流路側角度θ１１とは反対側の角度である。
　センサＳＡ５０を第１ハウジング部１５１に組み付けた後、ハウジング型装置等を用いて第２ハウジング部１５２を樹脂成型する工程を行う。この工程では、センサＳＡ５０と共に第１ハウジング部１５１にハウジング型装置を装着し、樹脂材料を溶融した溶融樹脂を射出成型機から射出してハウジング型装置の内部に圧入する。このように、ハウジング型装置の内部に溶融樹脂が注入されることで、第１ハウジング部１５１とセンサＳＡ５０との隙間に溶融樹脂が充填される。この場合、上述したようにハウジング仕切部１３１がセンサＳＡ５０の外面に密着しているため、溶融樹脂が第１ハウジング部１５１とセンサＳＡ５０との隙間を通じて計測流路３２に入り込むということが規制される。そして、ハウジング型装置の内部において溶融樹脂を固化させることで第２ハウジング部１５２を形成する。
　第２ハウジング部１５２を形成する樹脂材料としては、第１ハウジング部１５１と同様に、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）やポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）等の熱可塑性樹脂を用いる。これら第１ハウジング部１５１及び第２ハウジング部１５２のいずれにも、導電性を有するカーボン材料が含まれている。カーボン材料としては、カーボン粉やカーボン繊維、ナノカーボン、グラフェン、炭素マイクロ粒子などが挙げられる。
　第１ハウジング部１５１は、第２ハウジング部１５２に比べて、帯電した場合に放電しやすくなっている。例えば、第１ハウジング部１５１の方が、カーボン材料の含有率や含有量が第２ハウジング部１５２よりも大きくなっている。ハウジング２１において、放電時に電荷の通り道になりやすい部分を導電部と称すると、この導電部は第１ハウジング部１５１の方が第２ハウジング部１５２よりも多く含まれている。導電部には、カーボン粉、カーボン繊維、ナノカーボン、グラフェン及び炭素マイクロ粒子のうち複数が含まれており、ナノカーボンとしては、カーボンナノチューブやカーボンナノファイバー、フラーレンなどが挙げられる。
　ここまで説明した本実施形態によれば、ハウジング２１の内面から突出したハウジング仕切部１３１が、センサＳＡ５０とハウジング２１との間において計測流路３２とＳＡ収容領域１５０とを仕切っている。この構成では、ハウジング仕切部１３１の先端部とセンサＳＡ５０とが密着しやすいため、ハウジング２１の内面とセンサＳＡ５０の外面との間に隙間が生じにくくなっている。このため、溶融樹脂を第１ハウジング部１５１のＳＡ収容領域１５０に注入して第２ハウジング部１５２を形成する場合に、溶融樹脂が第１ハウジング部１５１とセンサＳＡ５０との隙間を通じて計測流路３２に入り込むということが規制される。
　この場合、第１ハウジング部１５１とセンサＳＡ５０との隙間を通じて計測流路３２に入り込んだ溶融樹脂が固化し、その固化部分によって計測流路３２の形状が意図せずに変化する、ということが生じにくくなっている。また、その固化部分が計測流路３２において第１ハウジング部１５１やセンサＳＡ５０から剥がれ落ちて、異物として流量センサ２２に接触したり付着したりする、ということが生じにくくなっている。したがって、ＳＡ収容領域１５０から計測流路３２に進入した溶融樹脂によって流量センサ２２の検出精度が低下するということを抑制できる。これにより、流量センサ２２による空気流量の検出精度を高めることができ、その結果、エアフロメータ２０による空気流量の計測精度を高めることができる。
　本実施形態によれば、ハウジング仕切部１３１がセンサＳＡ５０の周りを環状に一周している。この構成では、センサＳＡ５０の外面全周において、センサＳＡ５０の外面と第１ハウジング部１５１の内面とが密着した状態をハウジング仕切部１３１によりつくり出すことができる。このため、計測流路３２とＳＡ収容領域１５０との境界部全体でのシール性をハウジング仕切部１３１によって高めることができる。
　本実施形態によれば、ハウジング仕切部１３１は、ハウジング段差面１３７においてハウジング収容面１３６よりもハウジング流路面１３５に近い位置に設けられている。この構成では、計測流路３２側に極力寄せた位置でハウジング仕切部１３１により計測流路３２とＳＡ収容領域１５０とを仕切ることで、第１ハウジング部１５１とセンサＳＡ５０との隙間のうち計測流路３２に含まれる部分を極力小さくできる。ここで、計測流路３２においては、第１ハウジング部１５１とセンサＳＡ５０との隙間は、計測入口３５から計測出口３６に向けて流れる空気が流れ込むことなどにより空気の流れに乱れを生じさせやすい領域になっている。このため、第１ハウジング部１５１とセンサＳＡ５０との隙間が小さいほど計測流路３２において空気の流れに乱れが生じにくく、流量センサ２２の検出精度が向上しやすい。したがって、ハウジング仕切部１３１がハウジング流路面１３５に極力近い位置に設けられていることで、流量センサ２２の検出精度を高めることができる。
　本実施形態によれば、収容側角度θ１２が流路側角度θ１１よりも大きくなっている。この構成では、センサＳＡ５０を第１ハウジング部１５１のＳＡ収容領域１５０に挿入した場合に、ハウジング仕切部１３１がＳＡ収容領域１５０側に折れたり倒れたりするように潰れて変形する、ということが生じやすくなっている。このため、ハウジング仕切部１３１を変形させてセンサＳＡ５０の外面に密着させる際に、ハウジング仕切部１３１の潰れカスが計測流路３２に意図せずに入り込むということが生じにくくなっている。したがって、計測流路３２において潰れカスが流量センサ２２に接触したり付着したりして流量センサ２２の検出精度が低下するということを抑制できる。
　本実施形態によれば、ハウジング段差面１３７に設けられたハウジング仕切部１３１がＳＡ段差面１４７に接触している。この構成では、ハウジング段差面１３７とＳＡ段差面１４７とが、いずれも高さ方向Ｙに交差し且つ互いに対向しているため、センサＳＡ５０を第１ハウジング部１５１の内部に挿入した場合にＳＡ段差面１４７がハウジング仕切部１３１に引っ掛かった状態になる。このため、単にセンサＳＡ５０を計測流路３２に向けて第１ハウジング部１５１の内部に押し込むという作業を行うことで、ハウジング仕切部１３１をＳＡ段差面１４７に密着させることができる。これにより、計測流路３２とＳＡ収容領域１５０とをハウジング仕切部１３１により確実に仕切りつつ、センサＳＡ５０を第１ハウジング部１５１に組み付ける際の作業負担の増加を抑制できる。
　本実施形態では、第１ハウジング部１５１においてハウジング段差面１３７がハウジング開口部１５１ａ側を向いている。この構成では、ハウジング開口部１５１ａからＳＡ収容領域１５０に挿入したセンサＳＡ５０を単に計測流路３２に向けて奥に押し込むことで、センサＳＡ５０のＳＡ段差面１４７をハウジング段差面１３７に押し付けることができる。このため、ＳＡ段差面１４７のハウジング仕切部１３１をハウジング段差面１３７に密着しやすい構成を実現できる。
　＜構成群Ｄの説明＞
　図２２、図２３に示すように、計測流路３２は、計測入口３５と計測出口３６との間の部分が流量センサ２２に向けて膨らむように曲がっており、全体としてＵ字状になっている。計測流路３２においては、計測入口３５と計測出口３６とが奥行き方向Ｚに並んでいる。この場合、奥行き方向Ｚが並び方向に相当し、高さ方向Ｙが奥行き方向Ｚに直交している。計測流路３２においては、計測入口３５と計測出口３６との間の部分が、ハウジング基端側に向けて高さ方向Ｙに膨らむように曲がっている。
　ハウジング２１の内面は、外計測曲がり面４０１、内計測曲がり面４０２を有している。外計測曲がり面４０１及び内計測曲がり面４０２は、計測流路３２の中心線ＣＬ４に沿って延びている。ハウジング２１の内面は、これら外計測曲がり面４０１及び内計測曲がり面４０２に加えて、上述したように表計測壁面１０３及び裏計測壁面１０４を有している。外計測曲がり面４０１と内計測曲がり面４０２とは、幅方向Ｘに直交する方向Ｙ，Ｚに並べられており、表計測壁面１０３及び裏計測壁面１０４を介して対向している。
　外計測曲がり面４０１は、計測流路３２を曲がりの外側から形成しており、計測流路３２や流量センサ２２の外周側に設けられている。外計測曲がり面４０１は、計測入口３５と計測出口３６とにかけ渡されている。外計測曲がり面４０１は、計測入口３５と計測出口３６との間の部分が全体として流量センサ２２側に凹むように凹状に曲がっている。外計測曲がり面４０１には、計測天井面１０２が含まれており、ＳＡ挿入孔１０７が設けられている。
　内計測曲がり面４０２は、計測流路３２を曲がりの内側から形成しており、計測流路３２の内周側に設けられている。内計測曲がり面４０２は、計測入口３５と計測出口３６とにかけ渡されている。内計測曲がり面４０２は、計測入口３５と計測出口３６との間の部分が全体として流量センサ２２側に膨らむように曲がっている。内計測曲がり面４０２は、外計測曲がり面４０１とは反対側に向けて凹んだ部分を有しておらず、その全体が外計測曲がり面４０１に向けて膨らむように凸状に曲がっている。内計測曲がり面４０２には、計測床面１０１が含まれている。
　図２３に示すように、計測流路３２は、センサ路４０５、上流曲がり路４０６、下流曲がり路４０７を有している。センサ路４０５は、計測流路３２において流量センサ２２が設けられた部分である。センサ路４０５は、奥行き方向Ｚに真っ直ぐに延びており、フランジ部２７の角度設定面２７ａに平行に主流方向に延びている。上流曲がり路４０６と下流曲がり路４０７とは奥行き方向Ｚに並べられており、センサ路４０５は、上流曲がり路４０６と下流曲がり路４０７との間に設けられ、これら曲がり路４０６，４０７を接続している。
　ハウジング２１においてセンサ路４０５を形成する面には、計測床面１０１の少なくとも一部が含まれている。本実施形態では、奥行き方向Ｚでのセンサ路４０５の長さ寸法が計測床面１０１によって規定されている。具体的には、センサ路４０５の上流端部に計測床面１０１の上流端部が含まれており、センサ路４０５の下流端部に計測床面１０１の下流端部が含まれている。この場合、奥行き方向Ｚでのセンサ路４０５の長さ寸法は計測床面１０１の長さ寸法と同じになっている。また、ハウジング２１においてセンサ路４０５を形成する面には、計測床面１０１の少なくとも一部に加えて、計測天井面１０２の一部や、表計測壁面１０３の一部、裏計測壁面１０４の一部が含まれている。本実施形態では、計測床面１０１が奥行き方向Ｚに真っ直ぐに延びており、このように計測床面１０１が真っ直ぐに延びていることをセンサ路４０５が真っ直ぐに延びていると称する。
　上流曲がり路４０６は、計測流路３２においてセンサ路４０５から計測入口３５に向けて延びており、センサ路４０５と計測入口３５との間に設けられている。上流曲がり路４０６は、ハウジング２１においてセンサ路４０５から計測入口３５に向けて延びるように曲がっている。上流曲がり路４０６においては、その下流端部がセンサ路４０５に向けて奥行き方向Ｚに開放されている一方で、その上流端部が計測入口３５に向けて高さ方向Ｙに開放されている。このように、上流曲がり路４０６においては、上流端部の開放向きと下流端部の開放向きとが交差しており、この交差角度は例えば９０度になっている。上流曲がり路４０６の内面には、表計測壁面１０３の一部や裏計測壁面１０４の一部が含まれている。
　下流曲がり路４０７は、計測流路３２においてセンサ路４０５から計測出口３６に向けて延びており、センサ路４０５と計測出口３６との間に設けられている。下流曲がり路４０７は、ハウジング２１においてセンサ路４０５から計測出口３６に向けて延びるように曲がっている。下流曲がり路４０７においては、その上流端部がセンサ路４０５に向けて奥行き方向Ｚに開放されている一方で、その下流端部が計測出口３６に向けて高さ方向Ｙに開放されている。このように、下流曲がり路４０７においては、上流曲がり路４０６と同様に、上流端部の開放向きと下流端部の開放向きとが交差しており、この交差角度は例えば９０度になっている。下流曲がり路４０７の内面には、表計測壁面１０３の一部や裏計測壁面１０４の一部が含まれている。
　計測流路３２においては、センサ路４０５が検出計測路３５３に含まれている。上流曲がり路４０６は、案内計測路３５２と検出計測路３５３との境界部を高さ方向Ｙに跨ぐ位置に設けられている。この場合、上流曲がり路４０６は、案内計測路３５２の一部と検出計測路３５３の一部を有している。下流曲がり路４０７は、検出計測路３５３と排出計測路３５４との境界部を高さ方向Ｙに跨ぐ位置に設けられている。この場合、検出計測路３５３の一部と排出計測路３５４の一部とを有している。
　ハウジング２１の内面は、上流曲がり路４０６を形成する面として、上流外曲がり面４１１、上流内曲がり面４１５を有している。上流外曲がり面４１１は、上流曲がり路４０６を曲がりの外側から形成しており、上流曲がり路４０６の外周側に設けられている。上流外曲がり面４１１は、計測流路３２の中心線ＣＬ４に沿って凹むように延びており、この中心線ＣＬ４に沿って連続的に曲がるように湾曲している。上流外曲がり面４１１は、上流曲がり路４０６の上流端部と下流端部とにかけ渡されており、上流外湾曲面に相当する。
　上流内曲がり面４１５は、上流曲がり路４０６を曲がりの内側から形成しており、上流曲がり路４０６の内周側に設けられている。上流内曲がり面４１５は、計測流路３２の中心線ＣＬ４に沿って膨らむように延びており、この中心線ＣＬ４に沿って連続的に曲がるように湾曲している。上流内曲がり面４１５は、上流曲がり路４０６の上流端部と下流端部とにかけ渡されており、上流内湾曲面に相当する。なお、ハウジング２１の内面は、上流曲がり路４０６を形成する面として、上流外曲がり面４１１、上流内曲がり面４１５に加えて、表計測壁面１０３の一部と裏計測壁面１０４の一部とを有している。
　ハウジング２１の内面は、下流曲がり路４０７を形成する面として、下流外曲がり面４２１、下流内曲がり面４２５を有している。下流外曲がり面４２１は、下流曲がり路４０７を曲がりの外側から形成しており、下流曲がり路４０７の外周側に設けられている。下流外曲がり面４２１は、計測流路３２の中心線ＣＬ４に沿って延びており、この中心線ＣＬ４に沿って所定角度で折れ曲がっている。下流外曲がり面４２１の折れ曲がり角度は、例えば９０度になっている。
　下流外曲がり面４２１は、下流外横面４２２、下流外縦面４２３、下流外入隅部４２４を有している。下流外横面４２２は、下流曲がり路４０７の上流端部から下流側に向けて奥行き方向Ｚに真っ直ぐに延びている。下流外縦面４２３は、下流曲がり路４０７の下流端部から上流側に向けて高さ方向Ｙに真っ直ぐに延びている。下流外横面４２２と下流外縦面４２３とは、互いに接続されており、互いに内向きに入り合った入隅部分として下流外入隅部４２４を形成している。下流外入隅部４２４は、下流外曲がり面４２１がほぼ直角に折れ曲がった形状を形成している。
　下流内曲がり面４２５は、下流曲がり路４０７を曲がりの内側から形成しており、下流曲がり路４０７の内周側に設けられている。下流内曲がり面４２５は、計測流路３２の中心線ＣＬ４に沿って膨らむように延びており、この中心線ＣＬ４に沿って連続的に曲がるように湾曲している。下流内曲がり面４２５は、下流曲がり路４０７の上流端部と下流端部とにかけ渡されており、下流内湾曲面に相当する。なお、ハウジング２１の内面は、下流曲がり路４０７を形成する面として、下流外曲がり面４２１、下流内曲がり面４２５に加えて、表計測壁面１０３の一部と裏計測壁面１０４の一部とを有している。
　計測流路３２において、外計測曲がり面４０１には、上流外曲がり面４１１及び下流外曲がり面４２１が含まれている。これら上流外曲がり面４１１及び下流外曲がり面４２１のそれぞれには、計測天井面１０２の一部が含まれている。また、内計測曲がり面４０２には、上述した計測床面１０１に加えて、上流内曲がり面４１５及び下流内曲がり面４２５が含まれている。
　計測流路３２においては、計測流路３２を拡張する側への下流内曲がり面４２５の膨らみ度合いが、計測流路３２を拡張する側への上流内曲がり面４１５の膨らみ度合いよりも小さくなっている。具体的には、計測流路３２の中心線ＣＬ４が延びる方向において、下流内曲がり面４２５の長さ寸法が上流内曲がり面４１５の長さ寸法よりも大きくなっている。この場合、下流内曲がり面４２５の曲率半径Ｒ３２が上流内曲がり面４１５の曲率半径Ｒ３１よりも大きくなっている。すなわち、Ｒ３２＞Ｒ３１の関係が成り立っている。換言すれば、下流内曲がり面４２５の曲がりが上流内曲がり面４１５の曲がりよりもゆるい状態になっている。
　計測流路３２においては、計測流路３２を拡張する側への下流外曲がり面４２１の凹み度合いが、計測流路３２を拡張する側への上流外曲がり面４１１の凹み度合いよりも大きくなっている。具体的には、下流外曲がり面４２１が直角に折れ曲がっているのに対して、上流外曲がり面４１１は湾曲している。この場合、計測流路３２の中心線ＣＬ４が延びる方向において、下流外曲がり面４２１において折れ曲がった部分の長さ寸法は、非常に小さい値であり、上流外曲がり面４１１の長さ寸法よりも小さくなっている。ここで、下流外曲がり面４２１において折れ曲がった部分について曲率半径を算出できるとすると、この曲率半径は、ほぼゼロであり、上流外曲がり面４１１の曲率半径Ｒ３３よりも小さくなっている。この場合、下流外曲がり面４２１の曲がりが上流外曲がり面４１１の曲がりよりもきつい状態になっている。
　上流曲がり路４０６においては、計測流路３２を拡張する側への上流外曲がり面４１１の凹み度合いが、計測流路３２を拡張する側への上流内曲がり面４１５の膨らみ度合いよりも小さくなっている。具体的には、計測流路３２の中心線ＣＬ４が延びる方向において、上流外曲がり面４１１の長さ寸法が、上流内曲がり面４１５の長さ寸法よりも大きくなっている。この場合、上流外曲がり面４１１の曲率半径Ｒ３３は、上流内曲がり面４１５の曲率半径Ｒ３１よりも大きくなっている。すなわち、Ｒ３３＞Ｒ３１の関係が成り立っている。
　下流曲がり路４０７においては、計測流路３２を拡張する側への下流外曲がり面４２１の凹み度合いが、計測流路３２を拡張する側への下流内曲がり面４２５の膨らみ度合いよりも大きくなっている。具体的には、計測流路３２の中心線ＣＬ４が延びる方向において、下流外曲がり面４２１の長さ寸法が、下流内曲がり面４２５の長さ寸法よりも小さくなっている。
　下流曲がり路４０７においては、下流外曲がり面４２１の凹み度合いが下流内曲がり面４２５の膨らみ度合いよりも大きくなっていることで、計測流路３２の断面積Ｓ４において下流曲がり路４０７の断面積が極力大きくなっている。具体的には、計測流路３２の中心線ＣＬ４及び幅方向Ｘの両方に直交する方向において、下流外曲がり面４２１と下流内曲がり面４２５との離間距離Ｌ３５ｂが、上流外曲がり面４１１と上流内曲がり面４１５との離間距離Ｌ３５ａよりも大きくなっている。すなわち、Ｌ３５ｂ＞Ｌ３５ａの関係が成り立っている。
　下流外曲がり面４２１と下流内曲がり面４２５との離間距離Ｌ３５ｂは、下流曲がり路４０７において下流外曲がり面４２１と下流内曲がり面４２５とが最も離間した部分での離間距離である。下流外曲がり面４２１と下流内曲がり面４２５とが最も離間した部分は、例えば下流外曲がり面４２１の下流外入隅部４２４と下流内曲がり面４２５の中央部分とが対向する部分である。また、上流外曲がり面４１１と上流内曲がり面４１５との離間距離Ｌ３５ａは、上流曲がり路４０６において上流外曲がり面４１１と上流内曲がり面４１５とが最も離間した部分での離間距離である。上流外曲がり面４１１と上流内曲がり面４１５とが最も離間した部分は、例えば上流外曲がり面４１１の中央部分と上流内曲がり面４１５の中央部分とが対向する部分である。
　計測流路３２について、流量センサ２２を通り、奥行き方向Ｚに延びる仮想の直線として並び線ＣＬ３１を想定する。並び線ＣＬ３１は、流量センサ２２の発熱抵抗体７１の中心ＣＯ１を通り、発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ１，ＣＬ５のいずれにも直交している。並び線ＣＬ３１については、奥行き方向Ｚが上流曲がり路４０６と下流曲がり路４０７との並び方向に相当する。センサ路４０５においては、並び線ＣＬ３１と計測流路３２の中心線ＣＬ４とが平行に延びている。並び線ＣＬ３１は、ハウジング２１の角度設定面２７ａに平行に延びている。
　並び線ＣＬ３１は、センサ路４０５、上流曲がり路４０６、下流曲がり路４０７のそれぞれを通っており、上流外曲がり面４１１及び下流外曲がり面４２１のそれぞれに交差している。下流外曲がり面４２１においては、下流外縦面４２３に並び線ＣＬ３１が交差している。センサ路４０５は並び線ＣＬ３１に沿って真っ直ぐに延びている。並び線ＣＬ３１上において、流量センサ２２と下流外曲がり面４２１との離間距離Ｌ３１ｂは、流量センサ２２と上流外曲がり面４１１との離間距離Ｌ３１ａよりも大きくなっている。すなわち、Ｌ３１ｂ＞Ｌ３１ａの関係が成り立っている。このように、流量センサ２２は上流外曲がり面４１１寄りの位置に設けられている。なお、離間距離Ｌ３１ａ，Ｌ３１ｂは、発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ５までの距離としている。
　センサＳＡ５０においては、センサ支持部５１が上流外曲がり面４１１寄りの位置に設けられていることで、流量センサ２２が上流外曲がり面４１１寄りの位置に設けられている。並び線ＣＬ３１上において、センサ支持部５１と下流外曲がり面４２１との離間距離Ｌ３２ｂは、センサ支持部５１と上流外曲がり面４１１との離間距離Ｌ３２ａよりも大きくなっている。すなわち、Ｌ３２ｂ＞Ｌ３２ａの関係が成り立っている。なお、計測流路３２では、並び線ＣＬ３１上でない部分においても、奥行き方向Ｚでのセンサ支持部５１と上流外曲がり面４１１との離間距離が、奥行き方向Ｚでのセンサ支持部５１と下流外曲がり面４２１との離間距離よりも大きくなっている。
　図２３においては、センサ支持部５１のモールド上流面５５ｃのうち並び線ＣＬ３１が通る部分と上流外曲がり面４１１との離間距離を離間距離Ｌ３２ａとしている。また、センサ支持部５１のモールド下流面５５ｄのうち並び線ＣＬ３１が通る部分と下流外曲がり面４２１との離間距離を離間距離Ｌ３２ｂとしている。
　センサ路４０５は、上流外曲がり面４１１と下流外曲がり面４２１との間において、上流外曲がり面４１１寄りの位置に設けられている。この場合、並び線Ｌ３１上において、センサ路４０５と下流外曲がり面４２１との離間距離Ｌ３３ｂは、センサ路４０５と上流外曲がり面４１１との離間距離Ｌ３３ａよりも大きくなっている。すなわち、Ｌ３３ｂ＞Ｌ３３ａの関係が成り立っている。
　流量センサ２２は、センサ路４０５において上流曲がり路４０６寄りの位置に設けられている。この場合、並び線Ｌ３１上において、流量センサ２２と下流曲がり路４０７との離間距離Ｌ３４ｂは、流量センサ２２と上流曲がり路４０６との離間距離Ｌ３４ａよりも大きくなっている。すなわち、Ｌ３４ｂ＞Ｌ３４ａの関係が成り立っている。これら離間距離Ｌ３４ａと離間距離Ｌ３４ｂとの和が奥行き方向Ｚでのセンサ路４０５の長さ寸法になっている。
　上述したように、ハウジング２１は、図２４、図２５に示す絞り部１１１，１１２を有している。これら絞り部１１１，１１２は、計測壁面１０３，１０４に設けられており、計測壁面１０３，１０４の一部を形成している。図２４、図２５には並び断面ＣＳ４１を示している。並び断面ＣＳ４１は、並び線ＣＬ４１に沿って延び、且つ計測壁面１０３，１０４が並んだ方向に延びた断面である。また、並び断面ＣＳ４１は、高さ方向Ｙに直交している。
　表計測壁面１０３は、表絞り面４３１、表拡張面４３２、表絞り上流面４３３、表拡張下流面４３４を有している。表絞り面４３１及び表拡張面４３２は、表絞り部１１１により形成されており、表絞り部１１１の外面に含まれている。すなわち、表絞り部１１１が表絞り面４３１及び表拡張面４３２を有している。表絞り部１１１においては、表絞り面４３１が表頂部１１１ａから上流曲がり路４０６に向けて奥行き方向Ｚに延びており、表拡張面４３２が表頂部１１１ａから下流曲がり路４０７に向けて奥行き方向Ｚに延びている。表頂部１１１ａは、表絞り面４３１と表拡張面４３２との境界部である。
　表絞り面４３１は、検出計測路３５３において計測流路３２の中心線ＣＬ４に対して傾斜しており、上流外曲がり面４１１側を向いている。表絞り面４３１は、計測入口３５から流量センサ２２に向けて計測流路３２を徐々に縮小して絞っている。計測流路３２の断面積Ｓ４は、表絞り面４３１の上流端部から表頂部１１１ａに向けて徐々に小さくなっている。表絞り面４３１は、その上流端部と下流端部との間の部分が計測流路３２の中心線ＣＬ４に向けて膨らむように湾曲している。
　表拡張面４３２は、検出計測路３５３において計測流路３２の中心線ＣＬ４に対して傾斜しており、下流外曲がり面４２１側を向いている。表拡張面４３２は、流量センサ２２側から計測出口３６に向けて計測流路３２を徐々に拡張している。計測流路３２の断面積Ｓ４は、表頂部１１１ａから表拡張面４３２の下流端部に向けて徐々に大きくなっている。表拡張面４３２は、その上流端部と下流端部との間の部分が計測流路３２の中心線ＣＬ４に向けて膨らむように湾曲している。
　表絞り上流面４３３は、表絞り面４３１の上流端部から計測入口３５に向けて、並び線ＣＬ３１に平行に真っ直ぐに延びている。表絞り上流面４３３は、上流曲がり路４０６において上流外曲がり面４１１と表絞り面４３１との間に設けられており、これら上流外曲がり面４１１と表絞り面４３１とにかけ渡されている。表拡張下流面４３４は、表拡張面４３２の下流端部から計測出口３６に向けて、並び線ＣＬ３１に平行に真っ直ぐに延びている。表拡張下流面４３４は、下流曲がり路４０７において下流外曲がり面４２１と表拡張面４３２との間に設けられており、これら下流外曲がり面４２１と表拡張面４３２とにかけ渡されている。表絞り上流面４３３と表拡張下流面４３４とは奥行き方向Ｚに並べられており、幅方向Ｘの位置が重複していることで面一になっている。
　裏計測壁面１０４は、裏絞り面４４１、裏拡張面４４２、裏絞り上流面４４３、裏拡張下流面４４４を有している。裏絞り面４４１及び裏拡張面４４２は、裏絞り部１１２により形成されており、裏絞り部１１２の外面に含まれている。すなわち、裏絞り部１１２が裏絞り面４４１及び裏拡張面４４２を有している。裏絞り部１１２においては、裏絞り面４４１が裏頂部１１２ａから上流曲がり路４０６に向けて奥行き方向Ｚに延びており、裏拡張面４４２が裏頂部１１２ａから下流曲がり路４０７に向けて奥行き方向Ｚに延びている。裏頂部１１２ａは、裏絞り面４４１と裏拡張面４４２との境界部である。
　裏絞り面４４１は、検出計測路３５３において計測流路３２の中心線ＣＬ４に対して傾斜しており、上流外曲がり面４１１側を向いている。裏絞り面４４１は、計測入口３５から流量センサ２２に向けて計測流路３２を徐々に縮小して絞っている。計測流路３２の断面積Ｓ４は、裏絞り面４４１の上流端部から裏頂部１１２ａに向けて徐々に小さくなっている。裏絞り面４４１は、その上流端部と下流端部との間の部分が計測流路３２の中心線ＣＬ４に向けて膨らむように湾曲している。
　裏拡張面４４２は、検出計測路３５３において計測流路３２の中心線ＣＬ４に対して傾斜しており、下流外曲がり面４２１側を向いている。裏拡張面４４２は、流量センサ２２側から計測出口３６に向けて計測流路３２を徐々に拡張している。計測流路３２の断面積Ｓ４は、裏頂部１１２ａから裏拡張面４４２の下流端部に向けて徐々に大きくなっている。裏拡張面４４２は、その上流端部と下流端部との間の部分が計測流路３２の中心線ＣＬ４に向けて膨らむように湾曲している。
　裏絞り上流面４４３は、裏絞り面４４１の上流端部から計測入口３５に向けて、並び線ＣＬ３１に平行に真っ直ぐに延びている。裏絞り上流面４４３は、上流曲がり路４０６において上流外曲がり面４１１と表絞り面４３１との間に設けられており、これら上流外曲がり面４１１と表絞り面４３１とにかけ渡されている。裏拡張下流面４４４は、裏拡張面４４２の下流端部から計測出口３６に向けて、並び線ＣＬ３１に平行に真っ直ぐに延びている。裏拡張下流面４４４は、下流曲がり路４０７において下流外曲がり面４２１と裏拡張面４４２との間に設けられており、これら下流外曲がり面４２１と裏拡張面４４２とにかけ渡されている。裏絞り上流面４４３と裏拡張下流面４４４とは奥行き方向Ｚに並べられており、幅方向Ｘの位置が重複していることで面一になっている。
　なお、絞り部１１１，１１２が計測絞り部に相当する。また、表絞り面４３１及び裏絞り面４４１が計測絞り面に相当し、表拡張面４３２及び裏拡張面４４２が計測拡張面に相当する。上述したように、発熱抵抗体７１の中心ＣＯ１と表頂部１１１ａと裏頂部１１２ａとは幅方向Ｘに並べられており、発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ５上には、表頂部１１１ａ及び裏頂部１１２ａが配置されている。
　並び線ＣＬ３１が延びる奥行き方向Ｚにおいて、表絞り部１１１の長さ寸法Ｗ３１ａと、裏絞り部１１２の長さ寸法Ｗ３１ｂとは同じになっている。表絞り部１１１においては、奥行き方向Ｚでの表絞り面４３１の長さ寸法Ｗ３２ａが、奥行き方向Ｚでの表拡張面４３２の長さ寸法Ｗ３３ａよりも小さくなっている。裏絞り部１１２においては、奥行き方向Ｚでの裏絞り面４４１の長さ寸法Ｗ３２ｂが、奥行き方向Ｚでの裏拡張面４４２の長さ寸法Ｗ３３ｂよりも小さくなっている。絞り部１１１，１１２においては、表絞り面４３１の長さ寸法Ｗ３２ａと裏絞り面４４１の長さ寸法Ｗ３２ｂとが同じになっており、表拡張面４３２の長さ寸法Ｗ３３ａと裏拡張面４４２の長さ寸法Ｗ３３ｂとが同じになっている。
　表絞り部１１１は、奥行き方向Ｚにおいて上流曲がり路４０６寄りの位置に設けられている。この場合、並び線ＣＬ３１上において、表絞り部１１１と上流外曲がり面４１１との離間距離Ｗ３４ａが、表絞り部１１１と下流外曲がり面４２１との離間距離Ｗ３５ａよりも大きくなっている。裏絞り部１１２は、表絞り部１１１と同様に、奥行き方向Ｚにおいて上流曲がり路４０６寄りの位置に設けられている。この場合、並び線ＣＬ３１上において、裏絞り部１１２と上流外曲がり面４１１との離間距離Ｗ３４ｂが、裏絞り部１１２と下流外曲がり面４２１との離間距離Ｗ３５ｂよりも大きくなっている。
　上流外曲がり面４１１と絞り部１１１，１１２との位置関係としては、離間距離Ｗ３４ａと離間距離Ｗ３４ｂとが同じになっている。下流外曲がり面４２１と絞り部１１１，１１２との位置関係としては、離間距離Ｗ３５ａと離間距離Ｗ３５ｂとが同じになっている。
　計測流路３２においては、表計測壁面１０３と裏計測壁面１０４との計測幅寸法Ｗ１（図１５参照）が位置によって異なっている。この計測幅寸法Ｗ１は、センサ路４０５と上流曲がり路４０６と下流曲がり路４０７とで異なっており、これらセンサ路４０５、上流曲がり路４０６及び下流曲がり路４０７のそれぞれにおいても均一にはなっていない。ただし、上流曲がり路４０６での表絞り上流面４３３と裏絞り上流面４４３との離間距離Ｄ３４は、下流曲がり路４０７での表拡張下流面４３４と裏拡張下流面４４４との離間距離Ｄ３８と同じになっている。
　センサ支持部５１は、上流曲がり路４０６において表絞り上流面４３３と裏絞り上流面４４３との中央位置に設けられている。ここで、センサＳＡ５０の中心線ＣＬ３２を想定する。この中心線ＣＬ３２は、発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ５上において幅方向Ｘでのセンサ支持部５１の中心を通り、中心線ＣＬ５に直交し且つ奥行き方向Ｚに延びる直線状の仮想線である。また、この中心線ＣＬ３２は、並び線ＣＬ３１と平行に延びている。この場合、上流曲がり路４０６においては、中心線ＣＬ３２と表絞り上流面４３３との離間距離Ｄ３１ａが、中心線ＣＬ３２と裏絞り上流面４４３との離間距離Ｄ３１ｂと同じになっている。
　センサ支持部５１は、下流曲がり路４０７においても表拡張下流面４３４と裏拡張下流面４４４との中央位置に設けられている。下流曲がり路４０７においては、中心線ＣＬ３２と表拡張下流面４３４との離間距離Ｄ３５ａが、中心線ＣＬ３２と裏拡張下流面４４４との離間距離Ｄ３５ｂと同じになっている。また、表計測壁面１０３とセンサ支持部５１との位置関係としては、離間距離Ｄ３１ａと離間距離Ｄ３５ａとが同じになっている。裏計測壁面１０４とセンサ支持部５１との位置関係としては、離間距離Ｄ３１ｂと離間距離Ｄ３５ｂとが同じになっている。
　表計測壁面１０３においては、表絞り上流面４３３と表拡張下流面４３４とが面一になっているため、上流曲がり路４０６での表絞り部１１１の突出寸法と下流曲がり路４０７での表絞り部１１１の突出寸法とが同じになっている。具体的には、表絞り上流面４３３に対する表頂部１１１ａの突出寸法Ｄ３２ａと、表拡張下流面４３４に対する表頂部１１１ａの突出寸法Ｄ３６ａとが同じになっている。
　表絞り上流面４３３に対する表絞り面４３１の突出寸法は、表絞り上流面４３３から表頂部１１１ａに向けて徐々に増加している。この増加率が表絞り上流面４３３から表頂部１１１ａに向けて徐々に増加していることで、表絞り面４３１が湾曲面になっている。表拡張下流面４３４に対する表拡張面４３２の突出寸法は、表頂部１１１ａから表拡張下流面４３４に向けて徐々に減少している。この減少率が表頂部１１１ａから表拡張下流面４３４に向けて徐々に増加していることで、表拡張面４３２が湾曲面になっている。
　上述したように、表絞り部１１１においては、表拡張面４３２の長さ寸法Ｗ３３ａが表絞り面４３１の長さ寸法Ｗ３２ａよりも大きくなっている。この場合、表頂部１１１ａから表拡張下流面４３４に向けた表拡張面４３２の突出寸法の減少率が、表絞り上流面４３３から表頂部１１１ａに向けた表絞り面４３１の突出寸法の増加率よりも小さくなっている。表絞り面４３１と表拡張面４３２とは連続した湾曲面になっており、表頂部１１１ａにおいて表絞り面４３１の接線及び表拡張面４３２の接線は、いずれも並び線ＣＬ３１に平行に延びている。
　表絞り部１１１について、表絞り面４３１の長さ寸法Ｗ３２ａと表頂部１１１ａの絞り側の突出寸法Ｄ３２ａとの比を表絞り率と称し、表拡張面４３２の長さ寸法Ｗ３３ａと表頂部１１１ａの拡張側の突出寸法Ｄ３６ａとの比を表拡張率と称する。例えば、絞り側の突出寸法Ｄ３２ａを長さ寸法Ｗ３２ａで割った値を表絞り率として算出し、拡張側の突出寸法Ｄ３６ａを長さ寸法Ｗ３３ａで割った値を表拡張率として算出する。この場合、表拡張率が表絞り率よりも小さい値になる。
　裏計測壁面１０４においては、裏絞り上流面４４３と裏拡張下流面４４４とが面一になっているため、上流曲がり路４０６での裏絞り部１１２の突出寸法と下流曲がり路４０７での裏絞り部１１２の突出寸法とが同じになっている。具体的には、裏絞り上流面４４３に対する裏頂部１１２ａの突出寸法Ｄ３２ｂと、裏拡張下流面４４４に対する裏頂部１１２ａの突出寸法Ｄ３６ｂとが同じになっている。
　裏絞り上流面４４３に対する裏絞り面４４１の突出寸法は、裏絞り上流面４４３から裏頂部１１２ａに向けて徐々に増加している。この増加率が裏絞り上流面４４３から裏頂部１１２ａに向けて徐々に増加していることで、裏絞り面４４１が湾曲面になっている。裏拡張下流面４４４に対する裏拡張面４４２の突出寸法は、裏頂部１１２ａから裏拡張下流面４４４に向けて徐々に減少している。この減少率が裏頂部１１２ａから裏拡張下流面４４４に向けて徐々に増加していることで、裏拡張面４４２が湾曲面になっている。
　上述したように、裏絞り部１１２においては、裏拡張面４４２の長さ寸法Ｗ３３ｂが裏絞り面４４１の長さ寸法Ｗ３２ｂよりも大きくなっている。この場合、裏頂部１１２ａから裏拡張下流面４４４に向けた裏拡張面４４２の突出寸法の減少率が、裏絞り上流面４４３から裏頂部１１２ａに向けた裏絞り面４４１の突出寸法の増加率よりも小さくなっている。裏絞り面４４１と裏拡張面４４２とは連続した湾曲面になっており、裏頂部１１２ａにおいて裏絞り面４４１の接線及び裏拡張面４４２の接線は、いずれも並び線ＣＬ３１に平行に延びている。
　裏絞り部１１２について、裏絞り面４４１の長さ寸法Ｗ３２ｂと裏頂部１１２ａの絞り側の突出寸法Ｄ３２ｂとの比を表絞り率と称し、裏拡張面４４２の長さ寸法Ｗ３３ｂと裏頂部１１２ａの拡張側の突出寸法Ｄ３２ｂとの比を表拡張率と称する。例えば、絞り側の突出寸法Ｄ３２ｂを長さ寸法Ｗ３２ｂで割った値を裏絞り率として算出し、拡張側の突出寸法Ｄ３２ｂを長さ寸法Ｗ３３ｂで割った値を裏拡張率として算出する。この場合、裏拡張率が裏絞り率よりも小さい値になる。
　表絞り部１１１と裏絞り部１１２との関係では、表頂部１１１ａの突出寸法Ｄ３２ａ，Ｄ３６ａが裏頂部１１２ａの突出寸法Ｄ３２ｂ，Ｄ３６ｂよりも大きいことに起因して、表絞り率が裏絞り率よりも大きく、且つ表拡張率が裏拡張率よりも大きくなっている。
　絞り部１１１，１１２が計測流路３２を縮小する割合を縮小率と称すると、この縮小率は絞り率と比例する。このため、表絞り部１１１の表絞り率が大きいほど、表絞り部１１１が計測流路３２を縮小する表縮小率が大きくなる。例えば、表縮小率と表絞り率とは同じ値になっている。同様に、裏絞り部１１２の裏絞り率が大きいほど、裏絞り部１１２が計測流路３２を縮小する裏縮小率が大きくなる。したがって、本実施形態では、表絞り率が裏絞り率よりも大きいことに起因して、表縮小率が裏縮小率よりも大きくなっている。例えば、裏縮小率と裏絞り率とは同じ値になっている。
　センサ支持部５１は、上流曲がり路４０６及び下流曲がり路４０７において表計測壁面１０３と裏計測壁面１０４との中央位置に設けられているのに対して、センサ路４０５においては表計測壁面１０３寄りの位置に設けられている。これは、表計測壁面１０３での表絞り部１１１の突出寸法が、裏計測壁面１０４での裏絞り部１１２の突出寸法よりも大きいためである。具体的には、表絞り上流面４３３及び表拡張下流面４３４に対する表頂部１１１ａの突出寸法Ｄ３２ａ，Ｄ３６ａが、裏絞り上流面４４３及び裏拡張下流面４４４に対する裏頂部１１２ａの突出寸法Ｄ３２ｂ，Ｄ３６ｂよりも大きくなっている。これにより、センサ支持部５１の中心線ＣＬ３２と表頂部１１１ａとの離間距離Ｄ３３ａが、中心線ＣＬ３２と裏頂部１１２ａとの離間距離Ｄ３３ｂよりも小さくなっている。
　ハウジング２１は計測仕切部４５１を有している。計測仕切部４５１は、奥行き方向Ｚにおいて案内計測路３５２と排出計測路３５４との間に設けられており、これら案内計測路３５２と排出計測路３５４とを仕切っている。また、計測仕切部４５１は、高さ方向Ｙにおいて通過流路３１や分岐計測路３５１と検出計測路３５３との間に設けられており、これら通過流路３１や分岐計測路３５１と通過流路３１とを仕切っている。計測仕切部４５１は、幅方向Ｘにおいて表計測壁面１０３と裏計測壁面１０４とにかけ渡されており、内計測曲がり面４０２を形成している。計測仕切部４５１の外面には、計測床面１０１や上流内曲がり面４１５、下流内曲がり面４２５等の内計測曲がり面４０２が含まれている。
　絞り部１１１，１１２は、計測仕切部４５１から計測天井面１０２に向けて延びている。絞り部１１１，１１２は、奥行き方向Ｚにおいて計測仕切部４５１から上流外曲がり面４１１側及び下流外曲がり面４２１側のいずれにもはみ出していない。奥行き方向Ｚにおいて、計測仕切部４５１の幅寸法は、絞り部１１１，１１２の長さ寸法Ｗ３１ａ，Ｗ３１ｂと同じ又はそれよりも小さくなっている。絞り部１１１，１１２は、上流曲がり路４０６と下流曲がり路４０７との間に設けられている。本実施形態では、絞り部１１１，１１２の上流端部が上流曲がり路４０６に設けられ、下流端部が下流曲がり路４０７に設けられているが、この構成についても、絞り部１１１，１１２が上流曲がり路４０６と下流曲がり路４０７との間に設けられている、とする。
　図４～図７に示すように、通過入口３３はハウジング上流面２１ｃに設けられており、吸気通路１２での上流側に向けて開放されている。このため、吸気通路１２を主流方向に流れる主流が通過入口３３に流れ込みやすくなっている。通過出口３４はハウジング下流面２１ｄに設けられており、吸気通路１２での下流側に向けて開放されている。このため、通過出口３４から流れ出る空気は、吸気通路１２において主流と共に下流に向けて流れやすくなっている。
　計測出口３６は、ハウジング表面２１ｅ及びハウジング裏面２１ｆのそれぞれに設けられている。ハウジング表面２１ｅ及びハウジング裏面２１ｆは並び線ＣＬ３１に沿って延びており、計測出口３６は、並び線ＣＬ３１に直交する直交方向に向けて開放されている。このため、吸気通路１２を主流方向に流れる主流は計測出口３６に流れ込みにくくなっており、計測出口３６から流れ出る空気は、吸気通路１２において主流と共に下流に向けて流れやすくなっている。また、吸気通路１２において主流が計測出口３６の近くを通過すると、計測流路３２内にて計測出口３６の近くにある空気が主流に引っ張られるような状態になって、計測出口３６から空気が流れ出しやすくなる。これにより、計測流路３２内の空気が計測出口３６から流れ出しやすくなる。なお、幅方向Ｘが直交方向に相当する。
　次に、計測流路３２を流れる空気の流れ態様について説明する。
　図２３に示すように、通過流路３１から計測入口３５を通って計測流路３２に流れ込んだ空気には、外計測曲がり面４０１に沿って進む外曲がり流ＡＦ３１と、内計測曲がり面４０２に沿って進む内曲がり流ＡＦ３２とが含まれている。上述したように、計測流路３２においては、外計測曲がり面４０１が全体として凹むように曲がっているため、外曲がり流ＡＦ３１は、外計測曲がり面４０１に沿って進みやすくなっている。内計測曲がり面４０２が全体として膨らむように曲がっているため、内曲がり流ＡＦ３２は、内計測曲がり面４０２に沿って進みやすくなっている。また、外計測曲がり面４０１及び内計測曲がり面４０２が幅方向Ｘに直交する方向に曲がっているのに対して、絞り部１１１，１１２は計測流路３２を幅方向Ｘに絞っている。したがって、計測流路３２では、外曲がり流ＡＦ３１と内曲がり流ＡＦ３２とが混じり合うように気流の乱れが発生する、ということが生じにくくなっている。
　計測流路３２において上流曲がり路４０６に到達した外曲がり流ＡＦ３１は、上流外曲がり面４１１に沿って流れることで向きを変える。この場合、上流外曲がり面４１１の曲がりが下流外曲がり面４２１の曲がりよりもゆるくなっている構成により、上流外曲がり面４１１の曲がりが十分にゆるくなっているため、外曲がり流ＡＦ３１に渦等の乱れが生じにくくなっている。
　図２５に示すように、計測流路３２を流れる気流には、センサ支持部５１と表絞り面４３１との間に流れ込んでいく表寄り流ＡＦ３３と、センサ支持部５１と裏絞り面４４１との間に流れ込んでいく裏寄り流ＡＦ３４とが含まれている。なお、曲がり流ＡＦ３１，ＡＦ３２のうち、表計測壁面１０３に沿って流れて絞り部１１１，１１２に到達した空気が表寄り流ＡＦ３３に含まれやすく、裏計測壁面１０４に沿って流れて絞り部１１１，１１２に到達した空気が裏寄り流ＡＦ３４に含まれやすい。
　センサ支持部５１の表側については、表絞り面４３１の絞り度合いが表頂部１１１ａに向けて徐々に大きくなっているように、表寄り流ＡＦ３３の整流効果が表頂部１１１ａに向けて徐々に大きくなっている。しかも、表頂部１１１ａの突出寸法Ｄ３２ａ，Ｄ３６ａが裏頂部１１２ａの突出寸法Ｄ３２ｂ，Ｄ３６ｂよりも大きくなっていることで、表絞り面４３１の整流効果が十分に高められている。これらのことにより、表絞り面４３１とセンサ支持部５１とにより十分に整流された状態の表寄り流ＡＦ３３が流量センサ２２に到達するため、流量センサ２２による流量の検出精度が高くなりやすい。
　表寄り流ＡＦ３３は、表頂部１１１ａに向けて徐々に加速されていく。そして、表寄り流ＡＦ３３は、表絞り部１１１とセンサ支持部５１との間の領域が表拡張面４３２により拡張されていることに起因して、表頂部１１１ａとセンサ支持部５１との間から噴流として吹き出されるようにして下流曲がり路４０７に向けて進む。ここで、表拡張面４３２とセンサ支持部５１との間の領域が急激に拡張されていると、表寄り流ＡＦ３３が表拡張面４３２から剥離することなどにより渦等の乱れが生じやすくなることが懸念される。これに対して、表拡張面４３２の長さ寸法Ｗ３３ａが表絞り面４３１の長さ寸法Ｗ３２ａよりも大きくなっている構成により、表拡張面４３２とセンサ支持部５１との間の領域が緩やかに拡張されている。このため、表拡張面４３２からの表寄り流ＡＦ３３の剥離が生じにくく、表頂部１１１ａよりも下流側において渦流等の乱れが生じにくくなっている。
　センサ支持部５１の裏側については、裏絞り面４４１の絞り度合が裏頂部１１２ａに向けて徐々に大きくなっていることで、裏寄り流ＡＦ３４の整流効果が裏頂部１１２ａに向けて徐々に大きくなっている。この場合、裏絞り面４４１とセンサ支持部５１とにより十分に整流された状態の裏寄り流ＡＦ３４が裏頂部１１２ａに到達するため、この裏寄り流ＡＦ３４は、裏頂部１１２ａを通過した後にも乱れにくい。
　裏寄り流ＡＦ３４は、裏頂部１１２ａに向けて徐々に加速されていく。そして、裏寄り流ＡＦ３４は、裏絞り部１１２とセンサ支持部５１との間の領域が裏拡張面４４２により拡張されていることに起因して、裏頂部１１２ａとセンサ支持部５１との間から噴流として吹き出されるようにして下流曲がり路４０７に向けて進む。ここで、裏拡張面４４２とセンサ支持部５１との間の領域が急激に拡張されていると、裏寄り流ＡＦ３４が裏拡張面４４２から剥離することなどにより渦等の乱れが生じやすくなることが懸念される。これに対して、裏拡張面４４２の長さ寸法Ｗ３３ｂが裏絞り面４４１の長さ寸法Ｗ３２ｂよりも大きくなっている構成により、裏拡張面４４２とセンサ支持部５１との間の領域が緩やかに拡張されている。このため、裏拡張面４４２からの裏寄り流ＡＦ３４の剥離が生じにくく、裏頂部１１２ａよりも下流側において渦流等の乱れが生じにくくなっている。
　表寄り流ＡＦ３３と裏寄り流ＡＦ３４とは、センサ支持部５１を通過した後にセンサ路４０５や下流曲がり路４０７にて合流すると考えられる。例えば、裏寄り流ＡＦ３４の流れが乱れていると、センサ支持部５１よりも下流側において気流の乱れが生じ、表寄り流ＡＦ３３が表絞り部１１１とセンサ支持部５１との間を通過しにくくなりやすい。この場合、流量センサ２２を通過する表寄り流ＡＦ３３の流量や流速が不足して、流量センサ２２による流量の検出精度が低下することが懸念される。これに対して、本実施形態では、裏寄り流ＡＦ３４が裏絞り部１１２により整流されるため、センサ支持部５１を通過した裏寄り流ＡＦ３４が乱れていることでセンサ支持部５１よりも下流側において気流の乱れが生じるということが抑制される。
　表寄り流ＡＦ３３及び裏寄り流ＡＦ３４が、センサ支持部５１と絞り部１１１，１１２との間から下流曲がり路４０７に向けて吹き出された場合、これら寄り流ＡＦ３３，ＡＦ３４は、並び線ＣＬ３１に沿って下流外曲がり面４２１に向けて順流として進む。寄り流ＡＦ３３，ＡＦ３４が下流外曲がり面４２１に当たった場合、この寄り流ＡＦ３３，ＡＦ３４は、下流外曲がり面４２１にて跳ね返って流量センサ２２側に戻る向きに計測流路３２を逆流することが懸念される。特に、下流外縦面４２３に当たった場合には、寄り流ＡＦ３３，ＡＦ３４が並び線ＣＬ３１に沿って流量センサ２２に向けて逆流しやすいと考えられる。逆流が順流に抗して流量センサ２２に到達した場合には、流量センサ２２が検出する空気の流れの向きが実際の流れとは逆になるなど、流量センサ２２の検出精度が低下してしまう。また、逆流が流量センサ２２に到達しなくても、逆流によって順流が流れにくくなることで、流量センサ２２の検出流量が実際の流量よりも小さくなるなど、流量センサ２２の検出精度が低下してしまう。
　これに対して、本実施形態では、流量センサ２２が下流外曲がり面４２１よりも上流外曲がり面４１１に近い位置に設けられていることで、流量センサ２２が下流外曲がり面４２１から極力離れた位置にある。この構成では、センサ支持部５１と絞り部１１１，１１２との間から吹き出された寄り流ＡＦ３３，ＡＦ３４が下流外曲がり面４２１に到達するまでにこの寄り流ＡＦ３３，ＡＦ３４の勢いが低下しやすい。このため、寄り流ＡＦ３３，ＡＦ３４が下流外曲がり面４２１にて跳ね返って逆流になったとしても、この逆流の勢いがなくて流量センサ２２までは到達しにくい。また、流量センサ２２が下流外曲がり面４２１から離れているほど、逆流が流量センサ２２に到達するまでの距離も長くなるため、逆流が流量センサ２２に到達することが確実に抑制される。
　流量センサ２２を通る仮想線を並び線ＣＬ３１としているため、表寄り流ＡＦ３３のうち流量センサ２２を通過した空気は並び線ＣＬ３１に沿って流れやすい。このため、並び線ＣＬ３１上での流量センサ２２と下流外曲がり面４２１との離間距離Ｌ３１ｂを極力大きくすることで、表寄り流ＡＦ３３のうち流量センサ２２を通過した空気が下流外曲がり面４２１に到達するまでの距離を極力大きくできる。ここで、本実施形態のように、並び線ＣＬ３１が下流外縦面４２３を通っている構成では、流量センサ２２を通過した空気が下流外縦面４２３に当たって跳ね返ると、そのまま流量センサ２２に戻るように逆流しやすいと考えられる。このため、並び線ＣＬ３１が下流外縦面４２３を通っている構成では、並び線ＣＬ３１での流量センサ２２と下流外曲がり面４２１との離間距離Ｌ３１ｂを極力大きい値にすることは、流量センサ２２に逆流が到達しにくくする上で効果的である。
　ここまで説明した本実施形態によれば、下流外曲がり面４２１の凹み度合いが上流外曲がり面４１１の凹み度合いよりも大きくなっている。この構成では、下流外曲がり面４２１の凹み度合いを極力大きくすることで、下流曲がり路４０７の断面積や容積を極力大きくすることが可能であるため、下流曲がり路４０７を空気が流れる際の圧力損失を低減することができる。このように、下流曲がり路４０７での圧力損失を低減することで、流量センサ２２を通過した空気が下流曲がり路４０７で詰まったような状態が発生しにくくなり、流量センサ２２を通過する空気の量や流速が不足するということが生じにくくなる。このため、流量センサ２２による流量の検出精度が低下することができ、その結果、エアフロメータ２０による流量の計測精度を高めることができる。
　ここで、下流曲がり路４０７の断面積や容積を極力大きくするには、下流曲がり路４０７を幅方向Ｘや奥行き方向Ｚに拡張する方法が考えられる。ところが、この方法では、ハウジング２１が幅方向Ｘや奥行き方向Ｚに大型化することが懸念される。この場合、吸気通路１２での空気の流れがハウジング２１によって乱れ、流量センサ２２の検出精度が低下しやすくなる。また、この場合、ハウジング２１の成型に必要な樹脂材料が増加し、ハウジング２１の製造コストが増加しやすくなる。
　これに対して、本実施形態では、下流外曲がり面４２１の凹み度合いを極力大きくすることで、下流曲がり路４０７の断面積や容積を極力大きくしているため、ハウジング２１の大型化を回避できる。この場合、吸気通路１２での空気の流れがハウジング２１によって乱れるということが生じにくくなるため、流量センサ２２の検出精度を高めることができる。また、この場合、ハウジング２１の成型に必要な樹脂材料を低減しやすくなるため、ハウジング２１を製造する際のコスト増加を抑制できる。
　本実施形態によれば、下流外曲がり面４２１の曲がり部分が下流外入隅部４２４により形成されている。この構成では、下流外曲がり面４２１が遠回りしない範囲で下流外曲がり面４２１の凹み度合いを最も大きくすることができる。すなわち、下流外曲がり面４２１の形状によって下流曲がり路４０７を拡張できる範囲のうち、下流曲がり路４０７の断面積や容積が最も大きい構成を実現できる。
　本実施形態によれば、下流外曲がり面４２１と下流内曲がり面４２５との離間距離Ｌ３５ｂが、上流外曲がり面４１１と上流内曲がり面４１５との離間距離Ｌ３５ａよりも大きくなっている。この構成では、計測流路３２の中心線ＣＬ４に直交した方向において、下流外曲がり面４２１と下流内曲がり面４２５とが互いに極力離れた構成を実現できる。このため、下流曲がり路４０７やハウジング２１を幅方向Ｘに拡張しなくても、下流外曲がり面４２１と下流内曲がり面４２５との位置関係によって、下流曲がり路４０７の断面積や容積を極力大きくすることができる。
　本実施形態によれば、下流内曲がり面４２５の膨らみ度合いが上流内曲がり面４１５の膨らみ度合いよりも小さくなっている。このため、下流曲がり路４０７やハウジング２１を幅方向Ｘに拡張しなくても、下流内曲がり面４２５の形状によって、下流曲がり路４０７の断面積や容積を極力大きくすることができる。
　本実施形態によれば、下流内曲がり面４２５の曲率半径Ｒ３２が上流内曲がり面４１５の曲率半径Ｒ３１よりも大きいことで、下流内曲がり面４２５の膨らみ度合いが上流内曲がり面４１５の膨らみ度合いよりも小さい構成が実現されている。この構成では、下流内曲がり面４２５の膨らみ度合いを極力小さくしつつ、流量センサ２２側から下流曲がり路４０７に到達した空気が下流内曲がり面４２５の湾曲に沿って計測出口３６に向けて流れやすくなる。このため、下流曲がり路４０７に空気が留まって下流曲がり路４０７での圧力損失が増加するということを、下流内曲がり面４２５の形状によって抑制できる。
　本実施形態によれば、並び線ＣＬ３１上において、流量センサ２２と下流外曲がり面４２１との離間距離Ｌ３１ｂが、流量センサ２２と上流外曲がり面４１１との離間距離Ｌ３１ａよりも大きくなっている。この構成では、上流外曲がり面４１１と下流外曲がり面４２１との間において、流量センサ２２を下流外曲がり面４２１から極力離れた位置に配置することができる。このため、仮に、計測流路３２において流量センサ２２を通過した空気が下流外曲がり面４２１に当たって流量センサ２２側に戻る向きに逆流したとしても、その逆流が流量センサ２２に届きにくくなっている。また、逆流に伴う気流の乱れが下流曲がり路４０７にて生じたとしても、この乱れが流量センサ２２に届きにくくなっている。したがって、流量センサ２２による流量検出の精度低下を抑制できる。この結果、エアフロメータ２０による流量の計測精度を高めることができる。
　ここで、流量センサ２２と下流外曲がり面４２１との離間距離Ｌ３１ｂを極力大きくするには、検出計測路３５３を奥行き方向Ｚに伸ばすことなどにより下流外曲がり面４２１を流量センサ２２から離間させる方法が考えられる。ところが、この方法では、ハウジング２１が奥行き方向Ｚに大型化することが懸念される。これに対して、本実施形態では、検出計測路３５３での流量センサ２２の位置を上流外曲がり面４１１寄りの位置に設定することで、流量センサ２２と下流外曲がり面４２１との離間距離Ｌ３１ｂを極力大きくしているため、ハウジング２１の大型化を回避できる。
　本実施形態によれば、流量センサ２２が設置されたセンサ路４０５が並び線ＣＬ３１に沿って延びている。この構成では、流量センサ２２に沿って流れる空気が並び線ＣＬ３１に沿って真っ直ぐに進みやすくなるため、流量センサ２２周辺において気流の乱れが生じにくくなる。この場合、流量センサ２２周辺での空気の流速が安定しやすくなるため、流量センサ２２の検出精度を高めることができる。しかも、流量センサ２２が下流外曲がり面４２１から極力離れた位置に配置されていることで、下流曲がり路４０７での気流の乱れが流量センサ２２に付与されにくくなっているため、流量センサ２２周辺での気流の乱れをより確実に抑制できる。この場合、流量センサ２２周辺での空気の流速が更に安定しやすくなるため、流量センサ２２の検出精度を更に高めることができる。
　本実施形態によれば、並び線ＣＬ３１に沿って延びているセンサ路４０５において、流量センサ２２が下流曲がり路４０７よりも上流曲がり路４０６に近い位置に設けられている。この構成では、センサ路４０５において、流量センサ２２周辺での空気の乱れを抑制し且つ空気の流速を安定化させた上で、流量センサ２２を下流外曲がり面４２１から極力離れた位置に配置できる。
　本実施形態によれば、並び線ＣＬ３１上において、センサ支持部５１が下流曲がり路４０７よりも上流外曲がり面４１１に近い位置に設けられている。この構成では、センサ支持部５１を下流曲がり路４０７から極力離れた位置に配置することができるため、下流曲がり路４０７に流れ込んだ気流がセンサ支持部５１の存在によって乱れやすくなってしまうということを抑制できる。
　本実施形態によれば、並び線ＣＬ３１が下流外曲がり面４２１の下流外縦面４２３を通っている。この構成では、下流外縦面４２３が下流曲がり路４０７の下流端部から上流側に向けて真っ直ぐに延びていることに起因して、下流外曲がり面４２１のうち最も流量センサ２２から遠い部分を並び線ＣＬ３１が通っていることになる。このように、流量センサ２２を通った空気が下流外曲がり面４２１に到達するまでに要する距離を極力大きくすることで、流量センサ２２を通った空気が下流外曲がり面４２１で跳ね返って逆流として流量センサ２２まで戻るということを確実に抑制できる。
　本実施形態によれば、下流内曲がり面４２５が湾曲しているため、下流曲がり路４０７において下流外曲がり面４２１と下流内曲がり面４２５との離間距離Ｌ３５ｂを極力大きくできる。この構成では、下流内曲がり面４２５が湾曲していることで下流曲がり路４０７の断面積が極力大きくされていることで、下流曲がり路４０７の容積が極力大きくなっている。このため、仮に下流外曲がり面４２１での空気の跳ね返り等により下流曲がり路４０７にて気流の乱れが生じたとしても、この乱れごと下流曲がり路４０７の空気が計測出口３６に向けて流れやすくなっている。したがって、下流曲がり路４０７から流量センサ２２に逆流が到達するということをより確実に抑制できる。
　本実施形態によれば、計測流路３２を徐々に絞った後に徐々に拡張する絞り部１１１，１１２が上流曲がり路４０６の上流端部と下流曲がり路４０７の下流端部との間に設けられている。この構成では、絞り部１１１，１１２を通過した空気が噴流として下流曲がり路４０７に向けて勢いよく吹き出され、下流外曲がり面４２１にて跳ね返りやすくなることが懸念される。このため、下流外曲がり面４２１にて跳ね返った空気が流量センサ２２に到達することを抑制する上で、流量センサ２２を下流外曲がり面４２１から極力離間した位置に設けることは効果的である。
　本実施形態によれば、絞り部１１１，１１２においては、拡張面４３２，４４２の長さ寸法Ｗ３３ａ，Ｗ３３ｂが絞り面４３１，４４１の長さ寸法Ｗ３２ａよりも大きくなっている。この構成では、計測流路３２の急激な拡張によって気流の剥離などの乱れが生じないように、拡張面４３２，４４２による計測流路３２の拡張度合いや拡張率が穏やかになっている。これにより、絞り部１１１，１１２を通過した空気によって下流曲がり路４０７での流れが乱れるということを抑制できる。
　本実施形態によれば、絞り部１１１，１１２が下流外曲がり面４２１よりも上流外曲がり面４１１に近い位置に設けられている。この構成では、上流外曲がり面４１１と下流外曲がり面４２１との間において、絞り部１１１，１１２を下流外曲がり面４２１から極力離れた位置に配置することができる。このため、ハウジング２１を大型化させることなく、絞り部１１１，１１２を通過した空気が下流外曲がり面４２１に当たる勢いを低減させることができる。
　本実施形態によれば、表計測壁面１０３と裏計測壁面１０４とが上流曲がり路４０６を挟んで対向しており、これら計測壁面１０３，１０４に絞り部１１１，１１２が設けられている。この構成では、上流曲がり路４０６にて空気が曲がる向きと、絞り部１１１，１１２によって空気が絞られる向きとがほぼ直交している。このため、上流外曲がり面４１１に沿って流れる外曲がり流ＡＦ３１等の気流と、上流内曲がり面４１５に沿って流れる内曲がり流ＡＦ３２等の気流とが、絞り部１１１，１１２を通過する際に混じり合うようにして乱れが発生する、ということが生じにくい。したがって、絞り部１１１，１１２による気流の整流効果を高めることができる。
　本実施形態によれば、上流外曲がり面４１１が湾曲している。この構成では、外計測曲がり面４０１に沿って流れる外曲がり流ＡＦ３１等の気流の向きが上流外曲がり面４１１によって徐々に変わるため、上流外曲がり面４１１に沿って流れる気流が乱れにくくなっている。このため、流量センサ２２に到達する外曲がり流ＡＦ３１等の空気が乱れにくく、下流曲がり路４０７に向けて吹き出される空気も乱れにくい。
　本実施形態によれば、計測流路３２に沿って延びる内計測曲がり面４０２が全体として流量センサ２２に向けて膨らむように曲がっている。この構成では、内計測曲がり面４０２に凹部が形成されていないため、内計測曲がり面４０２に沿って流れる内曲がり流ＡＦ３２等の空気が凹部に入り込んで渦等の乱れが生じるということが生じにくくなっている。このため、流量センサ２２に到達する内曲がり流ＡＦ３２等の空気が乱れにくく、下流曲がり路４０７に向けて吹き出される空気も乱れにくい。
　本実施形態によれば、ハウジング２１の外面のうちハウジング表面２０１ｅ及びハウジング裏面２１ｆに計測出口３６が設けられている。この構成では、吸気通路１２においてハウジング表面２１ｅやハウジング裏面２１ｆに沿って計測出口３６に沿って空気が流れると、この空気に引っ張られるようにして計測流路３２内の空気が計測出口３６から流れ出す、という事象が生じやすくなっている。このため、仮に下流曲がり路４０７において空気の跳ね返り等によって気流の乱れが生じても、吸気通路１２においてハウジング２１の外部を流れる空気を利用して、気流の乱れごと下流曲がり路４０７から計測出口３６に向けて空気が流れやすくできる。
　＜構成群Ｅの説明＞
　図１０、図１１、図２６に示すように、センサＳＡ５０のモールド上流面５５ｃはモールド上流傾斜面４７１を有している。モールド上流傾斜面４７１は、モールド先端面５５ａの上流端部からモールド基端面５５ｂに向けて斜めに真っ直ぐに延びており、高さ方向Ｙに対して傾斜した上流傾斜部に相当する。また、モールド下流面５５ｄはモールド下流傾斜面４７２を有している。モールド下流傾斜面４７２は、モールド先端面５５ａの下流端部からモールド基端面５５ｂに向けて斜めに延びており、高さ方向Ｙに対して傾斜した下流傾斜部に相当する。モールド上流傾斜面４７１及びモールド下流傾斜面４７２は、いずれも並び断面ＣＳ４１に対して傾斜しており、この並び断面ＣＳ４１を高さ方向Ｙに跨いだ状態になっている。
　図２６、図２７に示すように、表絞り部１１１の上流端部である表上流端部１１１ｂは、表絞り面４３１と表絞り上流面４３３との境界部に配置されている。表絞り部１１１の下流端部である表下流端部１１１ｃは、表拡張面４３２と表拡張下流面４３４との境界部に配置されている。また、裏絞り部１１２の上流端部である裏上流端部１１２ｂは、裏絞り面４４１と裏絞り上流面４４３との境界部に配置されている。裏絞り部１１２の０下流端部である裏下流端部１１２ｃは、裏拡張面４４２と裏拡張下流面４４４との境界部に配置されている。
　センサＳＡ５０のモールド上流傾斜面４７１は、表絞り部１１１の表上流端部１１１ｂと裏絞り部１１２の裏上流端部１１２ｂとの両方を奥行き方向Ｚに跨ぐ位置に配置されている。ここで、モールド上流傾斜面４７１のモールド先端側の端部を先端側端部４７１ａと称し、モールド基端側の端部を基端側端部４７１ｂと称する。この場合先端側端部４７１ａは、奥行き方向Ｚにおいて絞り部１１１，１１２の上流端部１１１ｂ，１１２ｂよりも下流側に設けられている。また、モールド上流傾斜面４７１の基端側端部４７１ｂは、奥行き方向Ｚにおいて絞り部１１１，裏絞り部１１２よりも上流側に設けられている。絞り部１１１，１１２の上流端部１１１ｂ，１１２ｂは、奥行き方向Ｚにおいて、モールド上流傾斜面４７１の基端側端部４７１ｂよりも先端側端部４７１ａに近い位置に設けられている。
　モールド下流傾斜面４７２は、表絞り部１１１の表下流端部１１１ｃと裏絞り部１１２の裏下流端部１１２ｃとの両方を奥行き方向Ｚに跨ぐ位置に配置されている。ここで、モールド下流傾斜面４７２のモールド先端側の端部を先端側端部４７２ａと称し、モールド基端側の端部を基端側端部４７２ｂと称する。この場合、先端側端部４７２ａは、奥行き方向Ｚにおいて絞り部１１１，１１２の下流端部１１１ｃ，１１２ｃよりも上流側に設けられている。また、モールド下流傾斜面４７２の基端側端部４７２ｂは、奥行き方向Ｚにおいて絞り部１１１，１１２よりも下流側に設けられている。絞り部１１１，１１２の下流端部１１１ｃ，１１２ｃは、奥行き方向Ｚにおいて、モールド下流傾斜面４７２の先端側端部４７２ａよりも基端側端部４７１ｂに近い位置に設けられている。
　図２７に示すように、エアフロメータ２０の並び断面ＣＳ４１では、モールド上流面５５ｃのモールド上流傾斜面４７１が、絞り部１１１，１１２よりも上流側に設けられている。この場合、モールド上流傾斜面４７１は、絞り部１１１，１１２の上流端部１１１ｂ，１１２ｂと上流外曲がり面４１１との間に設けられている。並び断面ＣＳ４１においては、奥行き方向Ｚでのモールド上流傾斜面４７１と表絞り部１１１との離間距離Ｗ４１ａが、モールド上流傾斜面４７１と裏絞り部１１２との離間距離Ｗ４１ｂと同じになっている。また、離間距離Ｗ４１ａは表絞り面４３１の長さ寸法Ｗ３２ａよりも小さく、離間距離Ｗ４１ｂは裏絞り面４４１の長さ寸法Ｗ３２ｂよりも小さくなっている。
　また、並び断面ＣＳ４１では、モールド下流面５５ｄのモールド下流傾斜面４７２が、絞り部１１１，１１２の下流端部１１１ｃ，１１２ｃよりも上流側に設けられている。この場合、奥行き方向Ｚにおいて、モールド下流面５５ｄのモールド下流傾斜面４７２が、絞り部１１１，１１２の頂部１１１ａ，１１２ａと下流端部１１１ｃ，１１２ｃとの間に設けられている。並び断面ＣＳ４１においては、奥行き方向Ｚでのモールド下流傾斜面４７２と表絞り部１１１の表下流端部１１１ｃとの離間距離Ｗ４２ａが、モールド下流傾斜面４７２と裏絞り部１１２の裏下流端部１１２ｃとの離間距離Ｗ４２ｂと同じになっている。離間距離Ｗ４２ａは表拡張面４３２の長さ寸法Ｗ３３ａよりも小さく、離間距離Ｗ４２ｂは裏拡張面４４２の長さ寸法Ｗ３３ｂよりも小さくなっている。
　センサ支持部５１のモールド上流傾斜面４７１のうち並び断面ＣＳ４１に配置された部分は、案内計測路３５２と高さ方向Ｙに並ぶ位置にある。この部分は、上流曲がり路４０６において、上流内曲がり面４１５よりもハウジング下流側に設けられている。なお、計測流路３２においては、案内計測路３５２を第１区間と称し、検出計測路３５３を第２区間と称し、排出計測路３５４を第３区間と称することもできる。また、排出計測路３５４は、高さ方向Ｙに真っ直ぐに延びた部分と、計測出口３６から高さ方向Ｙに傾斜した方向に延びた部分とを有している。
　流量センサ２２は、計測流路３２を流れる空気の流速が最も大きくなる位置に合わせて配置されている。具体的には、流量センサ２２は、空気の流速が最も大きくなる位置に設けられている。本実施形態では、計測流路３２において空気の流速が最も大きくなる位置が表頂部１１１ａの設けられた位置であり、流量センサ２２は、表頂部１１１ａに対向する位置に設けられている。
　ここまで説明した本実施形態によれば、計測流路３２に絞り部１１１が設けられているため、計測流路３２を流れる空気を整流することができる。しかも、並び断面ＣＳ４１において、センサ支持部５１のモールド上流面５５ｃが絞り部１１１，１１２よりも上流側に設けられている。この構成では、並び断面ＣＳ４１に沿ってモールド上流面５５ｃを通過した空気は、並び断面ＣＳ４１において絞り部１１１，１１２の全体で整流される。この場合、計測流路３２を流れる空気がセンサ支持部５１に到達することで気流の乱れが発生したとしても、この気流の乱れを絞り部１１１，１１２の全体で低減することができる。すなわち、絞り部１１１，１１２による整流効果がセンサ支持部５１の存在によって低下するということが生じにくい。このため、流量センサ２２による流量の検出精度が低下するということを抑制でき、その結果、エアフロメータ２０による流量の計測精度を高めることができる。
　本実施形態によれば、モールド上流傾斜面４７１が絞り部１１１，１１２の上流端部１１１ｂ，１１２ｂを奥行き方向Ｚに跨ぐ位置に配置されている。この構成では、計測流路３２において、モールド上流傾斜面４７１の全体やモールド上流面５５ｃの全体を絞り部１１１，１１２よりも上流側に配置するという必要がないため、センサ支持部５１やモールド部５５を小型化することができる。このため、上流側へのセンサ支持部５１の大型化によって計測流路３２での気流が乱れる、ということを抑制できる。
　また、計測流路３２の断面積Ｓ４を計測入口３５側から流量センサ２２に向けて減少させていく構成を、計測流路３２を絞る構成と称すると、絞り面４３１，４４１と共にセンサ支持部５１も計測流路３２を絞る構成に含まれることになる。このため、モールド上流傾斜面４７１が絞り部１１１，１１２の上流端部１１１ｂ，１１２ｂを奥行き方向Ｚに跨ぐ位置に設けられていることで、センサ支持部５１と絞り部１１１，１１２とが計測流路３２を流量センサ２２に向けて連続的に絞ることができる。これにより、計測流路３２の断面積Ｓ４が計測入口３５側から流量センサ２２に向けて増加したり減少したりして、センサ支持部５１や絞り部１１１，１１２による整流効果が低下する、ということを抑制できる。
　これに対して、例えば、計測流路３２が延びる方向において、例えばセンサ支持部５１と絞り部１１１，１１２とが互いに離間した位置に設けられた構成では、センサ支持部５１と絞り部１１１，１１２との間で流量センサ２２の断面積Ｓ４が増加してしまう。すなわち、センサ支持部５１と絞り部１１１，１１２とで計測流路３２を流量センサ２２に向けて連続的に絞ることができない。この場合、計測流路３２の断面積Ｓ４が計測入口３５側から流量センサ２２に向けて増加したり減少したりして、センサ支持部５１や絞り部１１１，１１２による整流効果が低下する、ということが懸念される。
　しかも、モールド上流傾斜面４７１が絞り部１１１，１１２の上流端部１１１ｂ，１１２ｂを奥行き方向Ｚに跨ぐ位置に設けられた構成では、計測流路３２でのセンサ支持部５１の体積が計測入口３５側から流量センサ２２に向けて徐々に増加している。この場合、センサ支持部５１は、計測入口３５側から流量センサ２２に向けて計測流路３２の断面積Ｓ４が徐々に減少させることで、計測流路３２を徐々に絞ることができる。このため、センサ支持部５１による絞り度合いが急すぎて計測流路３２においてかえって気流の乱れが生じる、ということを抑制することができる。
　本実施形態によれば、並び断面ＣＳ４１において、センサ支持部５１のモールド下流面５５ｄが絞り部１１１，１１２の下流端部１１１ｃ，１１２ｃよりも上流側に設けられている。この構成では、センサ支持部５１の下流端部１１１ｃ，１１２ｃを通過した空気が乱れることを、絞り部１１１，１１２の整流効果によって抑制することができる。絞り部１１１，１１２の整流効果は、頂部１１１ａ，１１２ａよりも下流側であっても拡張面４３２，４４２よって発揮される。しかも、この構成では、例えば、並び断面ＣＳ４１においてモールド下流面５５ｄが絞り部１１１，１１２よりも下流側に配置された構成に比べて、センサ支持部５１を小型化することができる。これにより、絞り部１１１，１１２による整流効果がセンサ支持部５１の大型化によって低下するということが生じにくい。
　本実施形態によれば、モールド下流傾斜面４７２が絞り部１１１，１１２の下流端部１１１ｃ，１１２ｃを奥行き方向Ｚに跨ぐ位置に配置されている。この構成では、計測流路３２において、モールド下流傾斜面４７２の全体やモールド下流面５５ｄの全体を絞り部１１１，１１２の下流端部１１１ｃ，１１２ｃよりも上流側に配置するという必要がないため、センサ支持部５１やモールド部５５を小型化できる。このため、下流側へのセンサ支持部５１の大型化によって計測流路３２での気流が乱れる、ということを抑制できる。
　また、計測流路３２の断面積Ｓ４を流量センサ２２から計測出口３６に向けて増加させていく構成を、計測流路３２を拡張する構成と称すると、拡張面４３２，４４２と共にセンサ支持部５１も計測流路３２を拡張する構成に含まれることになる。このため、モールド下流傾斜面４７２が絞り部１１１，１１２の下流端部１１１ｃ，１１２ｃを奥行き方向Ｚに跨ぐ位置に設けられていることで、センサ支持部５１と絞り部１１１，１１２とが計測流路３２を計測出口３６に向けて連続的に拡張できる。これにより、計測流路３２の断面積Ｓ４が流量センサ２２から計測出口３６に向けて増加したり減少したりして、センサ支持部５１や絞り部１１１，１１２による整流効果が低下する、ということを抑制できる。
　本実施形態によれば、並び断面ＣＳ４１においてセンサ支持部５１のモールド先端面５５ａよりも下流側に設けられた絞り部１１１，１１２では、拡張面４３２，４４２の長さ寸法Ｗ３３ａ，Ｗ３３ｂが絞り面４３１，４４１の長さ寸法Ｗ３２ａよりも大きい。この構成では、モールド先端面５５ａを通過して絞り部１１１，１１２に到達した気流について、絞り部１１１，１１２による計測流路３２の急激な拡張によって剥離などの乱れが生じないように、計測流路３２が計測出口３６に向けて緩やかに拡張されている。このため、センサ支持部５１や絞り部１１１，１１２を通過した気流が乱れるということを抑制できる。
　本実施形態によれば、表計測壁面１０３において流量センサ２２に対向する位置に表絞り部１１１が設けられている。このため、並び断面ＣＳ４１でモールド上流面５５ｃを表絞り部１１１よりも上流側に配置して表絞り部１１１の整流効果を高めた構成において、流量センサ２２に沿って流れる空気を表絞り部１１１により更に効果的に整流することができる。
　本実施形態によれば、流量センサ２２を介して表絞り部１１１とは反対側に裏絞り部１１２が設けられている。このため、並び断面ＣＳ４１でモールド上流面５５ｃを表絞り部１１１よりも上流側に配置して表絞り部１１１の整流効果を高めた構成において、センサ支持部５１と裏計測壁面１０４との間を流れる空気についても裏絞り部１１２により整流することができる。したがって、センサ支持部５１と裏計測壁面１０４との間を流れる空気が乱れることで、流量センサ２２に沿って流れる空気が乱れて流量センサ２２の検出精度が低下する、ということを抑制できる。
　本実施形態によれば、幅方向Ｘにおいて、センサ支持部５１が裏絞り部１１２よりも表絞り部１１１に近い位置に設けられている。このため、並び断面ＣＳ４１でモールド上流面５５ｃを表絞り部１１１よりも上流側に配置して表絞り部１１１の整流効果を高めた構成において、流量センサ２２に沿って流れる空気を対象とした表絞り部１１１による整流効果を更に高めることができる。
　本実施形態によれば、表絞り部１１１による計測流路３２の縮小率が、裏絞り部１１２による計測流路３２の縮小率よりも大きくなっている。このため、並び断面ＣＳ４１でモールド上流面５５ｃを表絞り部１１１よりも上流側に配置して表絞り部１１１の整流効果を高めた構成において、表絞り部１１１による整流効果を裏絞り部１１２による整流効果よりも高めることができる。しかも、流量センサ２２に向けて流れる空気に含まれたダスト等の異物が、センサ支持部５１と表絞り部１１１との間よりもセンサ支持部５１と裏絞り部１１２との間に進入しやすい構成を実現できる。
　本実施形態によれば、計測流路３２において最も流速が大きくなる位置に合わせて流量センサ２２が配置されている。このため、並び断面ＣＳ４１でモールド上流面５５ｃを表絞り部１１１よりも上流側に配置して表絞り部１１１の整流効果を高めた構成において、流量センサ２２に沿って流れる空気の量や速度が不足することを抑制できる。
　本実施形態によれば、センサ支持部５１のモールド上流面５５ｃのうち並び断面ＣＳ４１に配置された部分は、上流曲がり路４０６に含まれている。このため、並び断面ＣＳ４１でモールド上流面５５ｃを表絞り部１１１よりも上流側に配置して表絞り部１１１の整流効果を高めた構成において、仮に上流曲がり路４０６において気流の乱れが生じたとしても、この乱れを絞り部１１１，１１２により低減できる。
　本実施形態によれば、計測出口３６の開口面積が計測入口３５の開口面積よりも小さくなっている。このように、計測出口３６が計測入口３５よりも絞られていることで、計測流路３２の全体が計測出口３６に向けて絞られたような構成を実現できる。このため、並び断面ＣＳ４１でモールド上流面５５ｃを表絞り部１１１よりも上流側に配置して表絞り部１１１の整流効果を高めた構成において、計測流路３２の全体で更に整流効果を高めることができる。
　本実施形態によれば、通過出口３４の開口面積が通過入口３３の開口面積よりも小さくなっている。このように、通過出口３４が通過入口３３よりも絞られていることで、通過流路３１の全体が計測入口３５や通過出口３４に向けて絞られたような構成を実現できる。このため、並び断面ＣＳ４１でモールド上流面５５ｃを表絞り部１１１よりも上流側に配置して表絞り部１１１の整流効果を高めた構成において、通過流路３１の全体で更に整流効果を高めることができる。
　＜構成群Ｆの説明＞
　図１２、図２８、図２９に示すように、流量センサ２２のセンサ凹部６１は、センサ凹底面５０１、センサ凹内壁面５０２、センサ凹開口５０３を有している。センサ凹底面５０１及びセンサ凹内壁面５０２は、センサ凹部６１の内面に含まれている。センサ凹部６１の中心線ＣＬ５１は、幅方向Ｘに延びており、センサ凹底面５０１の中心とセンサ凹開口５０３の中心とをそれぞれ通っている。この中心線ＣＬ５１は、発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ５（図１５参照）と平行になっている。
　センサ凹底面５０１は、メンブレン部６２の裏面であり、センサ凹部６１の中心線ＣＬ５１に直交している。センサ凹底面５０１及びメンブレン部６２は、略矩形状に形成されている。なお、メンブレン部６２の表面は、流量センサ２２のセンサ表面２２ａに含まれている。
　センサ凹内壁面５０２は、センサ凹底面５０１からセンサ裏面２２ｂに向けて延びている。センサ凹部６１がウェットエッチングにより形成されたことに起因して、センサ凹内壁面５０２は、メンブレン部６２の中心線ＣＬ５１に対して所定角度（例えば５４．７度）だけ傾斜しており、モールド裏側を向いている。なお、センサ凹内壁面５０２は、中心線ＣＬ５１に対して傾斜していなくてもよい。例えば、センサ凹部６１がドライエッチングにより形成された場合には、中心線ＣＬ５１に対するセンサ凹内壁面５０２の角度がほぼ９０度になる。
　センサ凹開口５０３は、センサ凹部６１の開放端であり、センサ凹部６１のモールド裏側の端部としてセンサ裏面２２ｂに設けられている。センサ凹開口５０３は、センサ凹内壁面５０２のモールド裏側の端部により形成されており、矩形状又は略矩形状になっている。センサ凹開口５０３は、センサ凹部６１の中心線ＣＬ５１が延びる方向に開放されている。センサ凹開口５０３の外周縁は、センサ凹部６１の中心線ＣＬ５１に直交する方向Ｙ，Ｚにおいて、メンブレン部６２及びセンサ凹底面５０１から外側に離間した位置に配置されている。
　図２８に示すように、センサＳＡ５０は、流量センサ２２等に加えて、流量処理部５１１、ボンディングワイヤ５１２を有している。流量処理部５１１は、流量センサ２２と共にＳＡ基板５３に搭載されている。ＳＡ基板５３の両板面のうち一方をＳＡ基板表面５４５と称し、他方をＳＡ基板裏面５４６と称すると、流量センサ２２及び流量処理部５１１は、いずれもＳＡ基板表面５４５に設けられている。流量処理部５１１は、ボンディングワイヤ５１２を介して流量センサ２２に電気的に接続されており、流量センサ２２からの検出信号に関する各種処理を行う。流量処理部５１１は、直方体状のチップ部品であり、流量処理部５１１を回路チップと称することもできる。
　ボンディングワイヤ５１２は、ＳＡ基板５３や流量センサ２２、流量処理部５１１に接続されている。モールド部５５は、センサＳＡ５０において少なくともボンディングワイヤ５１２を覆っており、少なくともボンディングワイヤ５１２を保護している。例えば、ボンディングワイヤ５１２と流量処理部５１１との接続部分や、ボンディングワイヤ５１２と流量センサ２２との接続部分、ボンディングワイヤ５１２とＳＡ基板５３との接続部分などがモールド部５５により覆われた状態で保護されている。
　図２８、図２９、図３１に示すように、センサ支持部５１は、表支持部５２１、裏支持部５２２を有している。ここでは、センサ支持部５１のうち、流量センサ２２のセンサ裏面２２ｂ側に設けられた部分を裏支持部５２２と称し、裏支持部５２２よりもモールド表側に設けられた部分を表支持部５２１と称する。この場合、表支持部５２１には、後述するモールド表部５５０や流量処理部５１１が含まれており、裏支持部５２２には、後述するモールド裏部５６０やＳＡ基板５３が含まれている。
　裏支持部５２２は、センサ裏面２２ｂに沿って延びており、センサ凹開口５０３をモールド裏側から覆っている。裏支持部５２２は、支持凹部５３０、支持孔５４０を有している。裏支持部５２２の裏面はモールド裏面５５ｆであり、支持凹部５３０は、モールド裏面５５ｆに設けられた凹部である。支持凹部５３０は、モールド裏面５５ｆがモールド表側に向けて凹むことで形成されている。
　支持凹部５３０は、支持凹底面５３１、支持凹内壁面５３２、支持凹開口５３３を有している。支持凹底面５３１及び支持凹内壁面５３２は、支持凹部５３０の内面に含まれている。支持凹部５３０の中心線ＣＬ５３は、幅方向Ｘに延びており、支持凹底面５３１の中心と支持凹開口５３３の中心とをそれぞれ通っている。この中心線ＣＬ５３は、センサ凹部６１の中心線ＣＬ５１と平行に延びており、センサ凹部６１の中心線ＣＬ５１と高さ方向Ｙに並んでいる。図２９、図３０に示すように、支持凹部５３０の中心線ＣＬ５３は、高さ方向Ｙにおいてセンサ凹部６１の中心線ＣＬ５１からモールド基端側にずれた位置に配置されている。中心線ＣＬ５３に直交する方向での支持凹部５３０の断面形状は、円状や略円状になっている。
　図２８、図２９、図３１に示すように、支持凹底面５３１は、ＳＡ基板５３のＳＡ基板裏面５４６に含まれている。支持凹底面５３１は、支持凹部５３０の中心線ＣＬ５３に直交しており、円状や略円状に形成されている。支持凹底面５３１の外周縁は、支持凹部５３０の中心線ＣＬ５３に直交する方向Ｙ，Ｚにおいて、センサ凹開口５０３から外側に離間した位置に設けられている。なお、支持凹底面５３１が支持凹底部に相当する。
　支持凹内壁面５３２は、支持凹底面５３１からモールド裏側に向けて延びている。支持凹内壁面５３２は、支持凹部５３０の中心線ＣＬ５３に対して傾斜しており、モールド裏側を向いている。支持凹部５３０は幅方向Ｘにおいてモールド裏側に向けて徐々に拡張されている。換言すれば、支持凹部５３０の内部空間は幅方向Ｘにおいて流量センサ２２に向けて徐々に絞られている。支持凹内壁面５３２は、支持凹底面５３１の外周縁に沿って環状に延びている。
　図２８、図２９、図３１に示すように、支持凹開口５３３は、支持凹部５３０の開放端であり、支持凹部５３０のモールド裏側の端部としてモールド裏面５５ｆに設けられている。支持凹開口５３３は、支持凹内壁面５３２のモールド裏側の端部により形成されており、円状や略円状になっている。支持凹開口５３３は、支持凹部５３０の中心線ＣＬ５３が延びる方向に開放されている。支持凹開口５３３の外周縁は、支持凹部５３０の中心線ＣＬ５３に直交する方向Ｙ，Ｚにおいて、支持凹底面５３１及びセンサ凹開口５０３のいずれからも外側に離間した位置に設けられている。
　支持凹内壁面５３２は、内壁傾斜面５３４、底面取り面５３５、開口面取り面５３６を有している。内壁傾斜面５３４は、支持凹部５３０の中心線ＣＬ５３に対して傾斜した方向に真っ直ぐに延びており、この中心線ＣＬ５３に対する傾斜角度が例えば４５度よりも大きくなっている。底面取り面５３５は、支持凹底面５３１と内壁傾斜面５３４との入隅部分を面取りする面であり、支持凹部５３０の外側に向けて凹むように湾曲している。開口面取り面５３６は、内壁傾斜面５３４とモールド裏面５５ｆとの出隅部分を面取りする面であり、支持凹部５３０の内側に向けて膨らむように湾曲している。
　図３１に示すように、支持凹内壁面５３２の周方向全体において、幅方向Ｘに直交する方向Ｙ，Ｚでの支持凹内壁面５３２の長さ寸法Ｌ５１は、幅方向Ｘでの支持凹内壁面５３２の長さ寸法Ｌ５２よりも大きくなっている。長さ寸法Ｌ５１は、方向Ｙ，Ｚでの底面取り面５３５の内周縁と開口面取り面５３６の外周縁との離間距離である。長さ寸法Ｌ５２は、支持凹部５３０の深さ寸法であり、幅方向Ｘでの底面取り面５３５の内周縁と開口面取り面５３６の外周縁との離間距離である。また、長さ寸法Ｌ５２は、モールド裏部５６０のうち支持凹部５３０が設けられた部分の厚さ寸法であり、ＳＡ基板５３の厚さ寸法Ｌ５４よりも大きくなっている。すなわち、モールド裏部５６０のうち支持凹部５３０が設けられた部分はＳＡ基板５３よりも肉厚になっている。
　図２８、図２９、図３１に示すように、支持孔５４０は、支持凹部５３０の支持凹底面５３１から流量センサ２２に向けて延びており、センサ凹開口５０３に通じている。支持孔５４０は、裏支持部５２２を幅方向Ｘに貫通している。裏支持部５２２においては、支持凹底面５３１がＳＡ基板５３により形成されており、支持孔５４０は、ＳＡ基板５３を幅方向Ｘに貫通した貫通孔である。支持孔５４０をＳＡ基板孔と称することもできる。ＳＡ基板５３においては、その厚さ方向が幅方向Ｘになっている。支持孔５４０の中心線ＣＬ５２は、幅方向Ｘに延びており、センサ凹部６１の中心線ＣＬ５１及び支持凹部５３０の中心線ＣＬ５３と平行に延びている。支持孔５４０の中心線ＣＬ５２は、中心線ＣＬ５１，ＣＬ５３と高さ方向Ｙに並んでいる。図２９、図３０に示すように、支持孔５４０の中心線ＣＬ５２は、中心線ＣＬ５１，ＣＬ５３のいずれからもモールド先端側にずれた位置に配置されている。
　センサ凹部６１の中心線ＣＬ５１は、支持凹部５３０の中心線ＣＬ５３よりも支持孔５４０の中心線ＣＬ５２に近い位置に配置されている。この場合、高さ方向Ｙにおいて中心線ＣＬ５１，ＣＬ５２の離間距離が中心線ＣＬ５１，ＣＬ５３の離間距離よりも小さくなっている。
　支持孔５４０は、断面円状や断面略円状になっており、その中心線ＣＬ５２が延びる方向において太さが均一になっている。支持孔５４０において、モールド表側の端部を表端部５４１と称し、モールド裏側の端部を裏端部５４２と称すると、表端部５４１及び裏端部５４２はいずれも円状や略円状になっている。図２９、図３０に示すように、表端部５４１は、ＳＡ基板表面５４５に含まれており、支持孔５４０の中心線ＣＬ５２に直交する方向Ｙ，Ｚにおいて、センサ凹開口５０３の外周縁及びセンサ凹底面５０１の外周縁のいずれからも内側に離間した位置にある。このため、支持凹底面５３１は、裏端部５４２の外周縁に沿って環状に延びている。また、裏端部５４２は、ＳＡ基板裏面５４６に含まれており、支持孔５４０の中心線ＣＬ５２に直交する方向Ｙ，Ｚにおいて、支持凹開口５３３の外周縁から内側に離間した位置に配置されている。
　図２８、図２９、図３１に示すように、モールド部５５は、モールド表部５５０、モールド裏部５６０を有している。モールド表部５５０は、表支持部５２１に含まれており、モールド部５５のうちＳＡ基板５３よりもモールド表側に設けられた部分である。モールド表部５５０は、ＳＡ基板表面５４５に沿って延びた状態でこのＳＡ基板表面５４５に重ねられている。モールド表部５５０は、流量処理部５１１やボンディングワイヤ５１２をモールド表側から覆い隠している。また、モールド表部５５０は、メンブレン部６２がモールド表側に露出する状態で、流量センサ２２の一部をモールド表側から覆っている。
　モールド裏部５６０は、裏支持部５２２に含まれており、モールド部５５のうちＳＡ基板５３よりもモールド裏側に設けられた部分である。モールド裏部５６０は、ＳＡ基板裏面５４６に沿って延びた状態でこのＳＡ基板裏面５４６に重ねられている。モールド裏部５６０には、凹形成孔５７１が設けられている。凹形成孔５７１は、モールド裏部５６０を幅方向Ｘに貫通した貫通孔であり、ＳＡ基板５３と共に支持凹部５３０を形成している。支持凹部５３０においては、凹形成孔５７１の内面が支持凹内壁面５３２を形成しており、ＳＡ基板５３が支持凹底面５３１を形成している。この場合、凹形成孔５７１の中心線は支持凹部５３０の中心線ＣＬ５３と一致している。
　図２８に示すように、モールド部５５は、モールド基端面５５ｂからモールド先端面５５ａに向けて段階的に薄くなっている。すなわち、幅方向Ｘでのモールド部５５の厚さ寸法が、モールド先端面５５ａに向けて段階的に小さくなっている。このモールド部５５においては、モールド表部５５０が表計測部５５１、表ベース部５５２、表中間部５５３を有し、モールド裏部５６０が裏計測部５６１、裏ベース部５６２、裏中間部５６３を有している。
　モールド表部５５０では、高さ方向Ｙにおいて表計測部５５１と表ベース部５５２との間に表中間部５５３が設けられている。これら表計測部５５１、表ベース部５５２及び表中間部５５３は、いずれもＳＡ基板表面５４５に沿って延びている。表計測部５５１は、モールド先端面５５ａを形成しており、表ベース部５５２は、モールド基端面５５ｂを形成している。表計測部５５１の表面と、表ベース部５５２の表面と、表中間部５５３の表面とは、いずれもＳＡ基板表面５４５に平行に延びており、いずれもモールド表面５５ｅに含まれている。
　表計測部５５１、表ベース部５５２及び表中間部５５３においては、それぞれの厚さがほぼ均一になっている。幅方向Ｘでの厚さ寸法は、表計測部５５１が最も小さく、表ベース部５５２が最も大きくなっている。例えば、表中間部５５３の厚さ寸法は、表計測部５５１の厚さ寸法のほぼ２倍になっており、表ベース部５５２の厚さ寸法は、表計測部５５１の厚さ寸法のほぼ３倍になっている。図３１に示すように、表計測部５５１の厚さ寸法Ｌ５３は、ＳＡ基板５３の厚さ寸法Ｌ５４よりも大きくなっている。幅方向Ｘにおいて、表計測部５５１は流量センサ２２よりもモールド表側には突出していない。
　図３１では、流量センサ２２のセンサ表面２２ａが、表計測部５５１の表面よりもモールド表側に突出した位置に図示されているが、実際には、センサ表面２２ａは、表計測部５５１の表面よりもモールド裏側の位置に設けられている。この場合、センサ表面２２ａは、モールド表面５５ｅからモールド裏側に凹んだ凹部の底面の一部を形成した状態になっている。また、表計測部５５１においては、上述した周縁凹部５６（図１０参照）がセンサ表面２２ａの外周縁に沿って延びているが、図３１では、周縁凹部５６の図示を省略している。
　図１０において、周縁凹部５６は、その底面と内周側の内壁面とにより形成された入隅部分と、底面と外周側の内壁面とにより形成された入隅部分とを有している（図３４参照）。これら入隅部分は、いずれもセンサ表面２２ａの周縁部に沿って延びている。周縁凹部５６の入隅部分のうちモールド上流側を向いた部位には、空気と共に計測流路３２を下流側に向けて流れてきた異物が溜まりやすいと考えられる。これら部位に溜まった異物が入隅部分から剥がれると、塊になって下流側に流れていくことになる。周縁凹部５６においては、内周側の入隅部分及び外周側の入隅部分のいずれにも、モールド上流側を向いた部位が含まれている。特に、内周側の入隅部分のうちモールド上流側を向いた部位は、メンブレン部６２よりも上流側に存在するため、この部位から異物が剥がれた場合、この異物が塊になってメンブレン部６２に付着したり接近したりする。この場合、この異物によってメンブレン部６２での抵抗体７１～７３等の動作精度が低下して、流量センサ２２の検出精度が低下する、ということが懸念される。
　これに対して、周縁凹部５６においては、幅方向Ｘでの内周側の内壁面の高さ寸法が、幅方向Ｘでの外周側の内壁面の高さ寸法よりも小さくなっている。すなわち、周縁凹部５６においては、内周側の入隅部分が外周側の入隅部分よりも幅方向Ｘについて小さくなっている。このため、内周側の入隅部分のうちモールド上流側を向いた部位には、外周側の入隅部分のうちモールド上流側を向いた部位に比べて、異物が溜まりにくくなっている。この場合、本実施形態とは異なり、例えば内周側の内壁面の高さ寸法が外周側の内壁面の高さ寸法よりも大きい周縁凹部に比べて、内周側の入隅部分のうちモールド上流側を向いた部位に異物が溜まりにくくなっている。このため、この部位に溜まった異物によって流量センサ２２の検出精度が低下するということが生じにくくなっている。
　図２８に示すように、モールド表面５５ｅは、表計測段差面５５５、表ベース段差面５５６を有している。表計測段差面５５５は、表計測部５５１と表中間部５５３との境界部に設けられており、表ベース段差面５５６は、表中間部５５３と表ベース部５５２との境界部に設けられている。表計測段差面５５５及び表ベース段差面５５６は、いずれもモールド先端側を向いており、いずれもモールド表面５５ｅに含まれている。これら表計測段差面５５５及び表ベース段差面５５６は、支持凹部５３０の中心線ＣＬ５３に対して傾斜しており、モールド裏面５５ｆとは反対側を向いている。高さ方向Ｙにおいては、表計測部５５１と表中間部５５３との境界部が表計測段差面５５５の中央に配置されており、表中間部５５３と表ベース部５５２との境界部が表ベース段差面５５６の中央に配置されている。なお、表計測段差面５５５はＳＡ段差面１４７（図１８参照）に含まれている。
　モールド表部５５０においては、表計測段差面５５５がセンサ表面２２ａに対してモールド表側に延びた状態になっている。この構成では、吸気通路１２において表計測段差面５５５に沿って流れる空気がセンサ表面２２ａに沿って流れる。この場合、センサ表面２２ａに沿って流れる空気の量や速度が表計測段差面５５５の位置に応じた値になる。また、この場合、センサ表面２２ａに沿って流れる気流の乱れやすさは表計測段差面５５５の平坦度合いに応じて変化する。したがって、センサＳＡ５０の製造に際して、表計測段差面５５５の位置や形状の精度が高いほど流量センサ２２の検出精度が高くなる。
　これに対して、本実施形態とは異なり、例えばセンサ表面２２ａに対してモールド表側に延びた段差面が、表計測段差面５５５に加えて、センサ表面２２ａよりもモールド先端側に設けられた構成を想定する。この段差面を先端側段差面と称すると、モールド表面５５ｅにおいては、この先端側段差面と表計測段差面５５５との間を流れる空気がセンサ表面２２ａに沿って流れる。この場合、センサ表面２２ａに沿って流れる空気の量や速度は、表計測段差面５５５及び先端側段差面のそれぞれの一に応じた値になる。また、この場合、センサ表面２２ａに沿って流れる気流の乱れやすさは表計測段差面５５５及び先端側段差面のそれぞれの平坦度合いに応じて変化する。したがって、センサＳＡ５０の製造に際して、表計測段差面５５５及び先端側段差面のそれぞれの位置や形状の精度が高いほど流量センサ２２の検出精度が高くなる。
　このように、モールド表部５５０に先端側段差面が設けられた構成では、流量センサ２２の検出精度を高めるために、表計測段差面５５５及び先端側段差面の両方について位置や形状の精度を高める必要がある。これに対して、本実施形態では、モールド表部５５０に先端側段差面が設けられていないため、流量センサ２２の検出精度を高めるために、表計測段差面５５５の位置や形状の精度を高めればよい。したがって、先端側段差面が設けられていない本実施形態では、モールド表部５５０に先端側段差面が設けられた構成に比べて、流量センサ２２の検出精度が向上しやすくなっている。
　モールド裏部５６０では、高さ方向Ｙにおいて裏計測部５６１と裏ベース部５６２との間に裏中間部５６３が設けられている。これら裏計測部５６１、裏ベース部５６２及び裏中間部５６３は、いずれもＳＡ基板裏面５４６に沿って延びている。裏計測部５６１は、モールド先端面５５ａを形成しており、裏ベース部５６２は、モールド基端面５５ｂを形成している。裏計測部５６１の裏面と、裏ベース部５６２の裏面と、裏中間部５６３の裏面とは、いずれもＳＡ基板裏面５４６に平行に延びており、いずれもモールド裏面５５ｆに含まれている。
　裏計測部５６１、裏ベース部５６２及び裏中間部５６３においては、それぞれの厚さがほぼ均一になっている。幅方向Ｘでの厚さ寸法は、裏計測部５６１が最も小さく、裏ベース部５６２が最も大きくなっている。例えば、裏中間部５６３の厚さ寸法は、裏計測部５６１の厚さ寸法のほぼ２倍になっており、裏ベース部５６２の厚さ寸法は、裏計測部５６１の厚さ寸法のほぼ３倍になっている。図３１に示すように、裏計測部５６１の厚さ寸法である長さ寸法Ｌ５２は、ＳＡ基板５３の厚さ寸法Ｌ５４よりも大きくなっている。
　図２８に示すように、モールド裏面５５ｆは、裏計測段差面５６５、裏ベース段差面５６６を有している。裏計測段差面５６５は、裏計測部５６１と裏中間部５６３との境界部に設けられており、裏ベース段差面５６６は、裏中間部５６３と裏ベース部５６２との境界部に設けられている。裏計測段差面５６５及び裏ベース段差面５６６は、いずれもモールド先端側を向いており、いずれもモールド裏面５５ｆに含まれている。これら裏計測段差面５６５及び裏ベース段差面５６６は、支持凹部５３０の中心線ＣＬ５３に対して傾斜しており、モールド表面５５ｅとは反対側を向いている。高さ方向Ｙにおいては、裏計測部５６１と裏中間部５６３との境界部が裏計測段差面５６５の中央に配置されており、裏中間部５６３と裏ベース部５６２との境界部が裏ベース段差面５６６の中央に配置されている。なお、裏計測段差面５６５はＳＡ段差面１４７（図１８参照）に含まれている。
　上述したように、計測部５５１，５６１の厚さがほぼ均一になっていることに起因して、モールド部５５において計測部５５１，５６１が幅方向Ｘに重複した部位である重複部位の厚さがほぼ均一になっている。この構成では、モールド部５５の重複部位が熱変形などにより変形したとしても、この重複部位においてモールド先端側の部位とモールド基端側の部位とで変形度合いが異なる、ということが生じにくい。この場合、モールド部５５の重複部位が幅方向Ｘや奥行き方向Ｚに曲がるように変形するということが生じにくいため、重複部位の変形に伴って流量センサ２２がモールド表側やモールド裏側に向けて曲がるように変形する、ということが生じにくい。したがって、メンブレン部６２や抵抗体７１～７４が意図せずに変形するということが抑制される。
　また、モールド部５５においては、表計測部５５１と裏計測部５６１とで厚さ寸法が同じ又はほぼ同じになっている。この構成では、モールド部５５の重複部位が熱変形などにより変形したとしても、この重複部位において表計測部５５１と裏計測部５６１とで変形度合いが異なる、ということが生じにくい。この場合でも、モールド部５５の重複部位が幅方向Ｘにおいてモールド表側やモールド裏側に曲がるように変形するということが生じにくい。したがって、モールド部５５の重複部位の厚さがほぼ均一になっていることと同様に、メンブレン部６２や抵抗体７１～７４が意図せずに変形するということが抑制される。
　裏中間部５６３は、中間凹部５７２を有している。中間凹部５７２は、奥行き方向Ｚにおいてモールド上流面５５ｃとモールド下流面５５ｄとの間に設けられており、裏計測段差面５６５から裏ベース部５６２に向けて延びた切り欠きになっている。中間凹部５７２の底面は裏計測部５６１の裏面と面一になっている。ここで、支持凹部５３０は、裏計測段差面５６５を高さ方向Ｙに跨いだ位置に設けられている。この場合、支持凹開口５３３の周縁部は、裏計測部５６１の外面と中間凹部５７２の底面とにより形成された同一平面により形成されている。
　図２５、図３２に示すように、計測流路３２を流れる空気には表寄り流ＡＦ３３、裏寄り流ＡＦ３４が含まれている。表寄り流ＡＦ３３は、モールド表面５５ｅに沿って流れる気流であり、裏寄り流ＡＦ３４は、モールド裏面５５ｆに沿って流れる気流である。流量センサ２２は、センサ表面２２ａのメンブレン部６２に沿って流れる表寄り流ＡＦ３３を対象として流量を検出する。このため、表寄り流ＡＦ３３に含まれる乱れが小さいほど流量センサ２２の検出精度が高くなりやすい。
　流量センサ２２においては、センサ凹部６１の内部で気流が生じることがある。この気流をキャビティ流ＡＦ５１と称すると、このキャビティ流ＡＦ５１は、支持凹部５３０及び支持孔５４０を通じてセンサ凹部６１の内部に空気が出入りすることで生じる。例えば、吸気通路１２において吸入空気の圧力である吸気圧力が増加した場合には、裏寄り流ＡＦ３４等の空気が支持凹部５３０及び支持孔５４０を通じてセンサ凹部６１に流れ込み、キャビティ流ＡＦ５１が生じる。また、吸気通路１２において吸気圧力が低下した場合には、センサ凹部６１の内部空気が支持凹部５３０及び支持孔５４０を通じて流れ出し、キャビティ流ＡＦ５１が生じる。これらの場合、センサ凹部６１の内部圧力が吸気通路１２の圧力に応じて増減し、メンブレン部６２の内側と外側とで圧力差が生じにくくなっている。なお、メンブレン部６２の内側の圧力はセンサ凹部６１の内部圧力である。メンブレン部６２の外側の圧力はセンサＳＡ５０の外部圧力であり、吸気通路１２の吸気圧力である。
　吸気通路１２での吸気圧力が増減しなくても、モールド裏面５５ｆに沿って流れていた裏寄り流ＡＦ３４が支持凹部５３０及び支持孔５４０を通じてセンサ凹部６１の内部に流れ込むことがある。裏寄り流ＡＦ３４がセンサ凹部６１の内部に流れ込むとセンサ凹部６１ではキャビティ流ＡＦ５１が生じやすくなる。キャビティ流ＡＦ５１が生じると、表寄り流ＡＦ３３を対象として流量を検出する流量センサ２２の検出結果に誤差が生じやすくなることが懸念される。
　流量センサ２２では、発熱抵抗体７１によりメンブレン部６２を加熱し、このメンブレン部６２の温度を測温抵抗体７２，７３にて検出することで、センサ表面２２ａに沿って流れる表寄り流ＡＦ３３等の空気の流量を検出する。例えば、センサ表面２２ａに沿って流れる表寄り流ＡＦ３３の量が少ない場合や表寄り流ＡＦ３３の流れが遅い場合は、上流測温抵抗体７２の検出温度と下流測温抵抗体７３の検出温度との差である温度差が小さくなりやすい。これは、メンブレン部６２において、上流測温抵抗体７２の周辺温度が表寄り流ＡＦ３３によっては低下しにくく、表寄り流ＡＦ３３が発熱抵抗体７１の熱を下流測温抵抗体７３の周辺部位に伝えにくいためである。換言すれば、センサ表面２２ａに沿って流れる表寄り流ＡＦ３３の量が多い場合や表寄り流ＡＦ３３の流れが速い場合は、測温抵抗体７２，７３の温度差が大きくなりやすい。これは、メンブレン部６２のうち上流測温抵抗体７２の周辺温度が表寄り流ＡＦ３３により低下しやすく、表寄り流ＡＦ３３が発熱抵抗体７１の熱を下流測温抵抗体７３の周辺部位に伝えやすいためである。
　ところが、キャビティ流ＡＦ５１が生じている場合、メンブレン部６２の温度は、メンブレン部６２の表面に沿って流れる表寄り流ＡＦ３３だけでなく、メンブレン部６２の裏面に沿って流れるキャビティ流ＡＦ５１によっても変化することがある。例えば、キャビティ流ＡＦ５１の流れが表寄り流ＡＦ３３の流れよりも早い場合、キャビティ流ＡＦ５１が生じていない場合に比べて測温抵抗体７２，７３の温度差が大きくなりやすい。この場合、流量センサ２２の検出結果は、表寄り流ＡＦ３３について実際の流量よりも多い流量を示すことになる。このように、キャビティ流ＡＦ５１が生じていると、流量センサ２２の検出精度が低下することが懸念される。
　例えば、図３２に示すように、支持凹部５３０の内部に流れ込む裏寄り流ＡＦ３４は、支持凹内壁面５３２のうちモールド上流側の部分に沿って幅方向Ｘに対して斜めに支持凹底面５３１に向けて進む。支持凹底面５３１に到達した裏寄り流ＡＦ３４は、今度はこの支持凹底面５３１に沿って奥行き方向Ｚに進み、支持孔５４０の裏端部５４２を通過して支持凹内壁面５３２のうちモールド下流側の部分に到達する。そして、この裏寄り流ＡＦ３４は、支持凹内壁面５３２に沿って幅方向Ｘに対して斜めに支持凹開口５３３に向けて進み、この支持凹開口５３３から外部に流れ出す。
　これに対して、センサＳＡ５０では、上述したように支持凹内壁面５３２が支持凹部５３０の内部空間を支持孔５４０に向けて徐々に絞った形状になっている。このため、裏寄り流ＡＦ３４が支持凹部５３０の内部に流れ込んだとしても、この裏寄り流ＡＦ３４は、支持凹内壁面５３２や支持凹底面５３１にて跳ね返されるような状態になって支持凹開口５３３から流れ出しやすくなっている。換言すれば、裏寄り流ＡＦ３４は、支持凹部５３０の内部において支持孔５４０の裏端部５４２に流れ込みにくくなっている。また、モールド裏面５５ｆに対して支持凹内壁面５３２が傾斜しているため、支持凹部５３０に到達した裏寄り流ＡＦ３４が支持凹内壁面５３２から剥離しにくくなっている。このため、裏寄り流ＡＦ３４が支持凹部５３０に到達しても、支持凹部５３０の内部において剥離に伴う渦等の乱れが生じにくくなっている。
　また、上述したように、支持凹部５３０の内部においては、支持凹内壁面５３２の内周縁が支持孔５４０の裏端部５４２から奥行き方向Ｚに離間している。この構成では、支持凹部５３０の内部において支持凹内壁面５３２に沿ってモールド表側に向けて進む裏寄り流ＡＦ３４が、支持孔５４０の裏端部５４２よりも支持凹底面５３１に到達しやすくなっている。このため、支持凹内壁面５３２に沿って進む裏寄り流ＡＦ３４が支持孔５４０の裏端部５４２に直接的に流れ込むことが生じにくくなっている。また、この裏寄り流ＡＦ３４は、支持凹底面５３１にて跳ね返された状態になってハウジング裏側に向けて進むことで、支持凹開口５３３から外部に流れ出やすくなる。
　本実施形態とは異なり、例えば、支持凹部５３０及び支持孔５４０のうち支持孔５４０だけが裏支持部５２２に設けられ、支持凹部５３０の支持凹開口５３３ではなく支持孔５４０の裏端部５４２がモールド裏面５５ｆに配置された構成を想定する。この構成では、支持孔５４０の内部空間が支持凹部５３０に向けて絞られてはおらず、裏寄り流ＡＦ３４が支持孔５４０の裏端部５４２に流れ込んだ場合には、この裏寄り流ＡＦ３４が支持孔５４０を通じてセンサ凹部６１の内部に流れ込みやすいと考えられる。この場合、センサ凹部６１の内部に流れ込んだ裏寄り流ＡＦ３４によってセンサ凹部６１にてキャビティ流ＡＦ５１が発生しやすくなることが懸念される。
　次に、エアフロメータ２０の製造方法として、センサＳＡ５０の製造方法について、図３３、図３４を参照しつつ説明する。なお、エアフロメータ２０の製造方法が物理量計測装置に製造方法に相当する。
　まず、流量センサ２２や流量処理部５１１、ＳＡ基板５３を製造する。そして、流量センサ２２や流量処理部５１１をＳＡ基板５３に搭載し、ボンディングワイヤ５１２を流量センサ２２や流量処理部５１１、ＳＡ基板５３に接続する。ボンディングワイヤ５１２を流量センサ２２等に接続するためのワイヤボンディングを行う場合、ＳＡ基板５３が振動することが考えられる。ＳＡ基板５３が振動した場合、ＳＡ基板５３の振動にボンディングワイヤ５１２が共振してボンディングワイヤ５１２の切断が生じることが懸念される。そこで、粘着テープ等でボンディングワイヤ５１２を作業台等に仮で固定する。これにより、ボンディングワイヤ５１２がＳＡ基板５３の振動に共振するということが生じにくくなる。そして、流量センサ２２とボンディングワイヤ５１２との接続部分などを樹脂材料で覆うことにより、接続部分を保護する。
　なお、ＳＡ基板５３を形成する板状の基材においては、複数のＳＡ基板５３が互いに接続された状態のまま、各ＳＡ基板５３に流量センサ２２や流量処理部５１１を搭載し、後述するように各ＳＡ基板５３にモールド部５５を設ける。また、ＳＡ基板５３には、流量センサ２２や流量処理部５１１に加えて、チップコンデンサ等の受動部品を搭載する。
　続いて、モールド部５５を成型する成型工程を、金型等のＳＡ型装置５８０を用いて行う。この成型工程では、ＳＡ基板５３にＳＡ型装置５８０を装着し、このＳＡ型装置５８０によりモールド部５５を成型する。なお、ＳＡ型装置５８０は、射出成型装置に含まれており、この射出成型装置は、ＳＡ型装置５８０に加えて、射出成型機やホッパを有している。ホッパは、ペレット等の樹脂材料を射出成型機に供給する。射出成型機は、ホッパから供給された樹脂材料を加熱して溶融樹脂を生成し、この溶融樹脂をＳＡ型装置５８０に圧入して供給する。
　図３３、図３４に示すように、ＳＡ型装置５８０は、表型部５８１、裏型部５９１を有しており、全体として板状になっている。表型部５８１及び裏型部５９１は、それぞれ樹脂材料や金属材料により全体として板状に形成されている。表型部５８１及び裏型部５９１は、それぞれの板面を互いに対向させた状態で互いに組み付けられている。ＳＡ型装置５８０の内部空間には、モールド部５５を成型するための成型空間が含まれており、この成型空間は表型部５８１及び裏型部５９１により形成されている。
　表型部５８１は、モールド表側からモールド部５５を成型する型部である。表型部５８１は表型凹部５８２を有している。表型凹部５８２は、表型部５８１の外面のうち裏型部５９１に対向する板面に設けられた凹部であり、モールド表部５５０の少なくとも一部を成型する。
　裏型部５９１は、モールド裏側からモールド部５５を成型する型部である。裏型部５９１は裏型凹部５９２を有している。裏型凹部５９２は、裏型部５９１の外面のうち表型部５８１に対向する板面に設けられた凹部であり、モールド裏部５６０の少なくとも一部を成型する。裏型部５９１は支持凹成型部５９２ａを有している。支持凹成型部５９２ａは、裏型部５９１において、モールド裏部５６０に支持凹部５３０を成型する部位である。支持凹成型部５９２ａは、裏型部５９１の内面に設けられた凸部であり、幅方向Ｘにおいて裏型部５９１の内面から表型部５８１に向けて突出している。支持凹成型部５９２ａの先端面は、ＳＡ型装置５８０がＳＡ基板５３に装着された状態でＳＡ基板５３の支持凹底面５３１に重ねられている。
　ＳＡ型装置５８０は、表型部５８１及び裏型部５９１に加えて、可動型部５８５及び可動バネ５８６を有している。可動型部５８５は、樹脂材料や金属材料により全体として板状に形成されており、表型部５８１の内部空間に露出した状態で設けられた型部である。可動型部５８５は、ＳＡ型装置５８０がＳＡ基板５３に装着された状態で少なくとも流量センサ２２のセンサ表面２２ａに対向する位置に設けられている。可動型部５８５は、可動バネ５８６の付勢力によって流量センサ２２のセンサ表面２２ａに押し付けられた状態になっている。可動型部５８５において裏型部５９１側の板面を可動面５８５ｂと称すると、この可動面５８５ｂは、可動バネ５８６によって流量センサ２２に押し付けられる。
　可動型部５８５は、表型部５８１に対して幅方向Ｘに相対的に移動可能になっている。表型部５８１は可動収容部５８２ａを有している。可動収容部５８２ａは、表型部５８１の内面に設けられた凹部であり、幅方向Ｘにおいて表型部５８１の内面から裏型部５９１とは反対側に向けて凹んでいる。可動型部５８５は、可動収容部５８２ａから裏型部５９１に向けて突出した状態で、可動収容部５８２ａに入り込んだ状態になっている。
　可動バネ５８６は、金属材料等により形成されたバネ部材であり、可動型部５８５を裏型部５９１に向けて付勢する付勢部材である。可動バネ５８６は、可動収容部５８２ａの内部に設けられている。ＳＡ型装置５８０においては、可動収容部５８２ａの底面と可動型部５８５とが離間しており、この離間部分に可動バネ５８６が設けられている。なお、ＳＡ型装置５８０は、可動型部５８５を付勢する付勢部材として、可動バネ５８６に代えて又は加えて、ゴムや樹脂材料により形成された部材を有していてもよい。
　可動型部５８５は回避凹部５８５ａを有している。回避凹部５８５ａは、可動型部５８５の可動面５８５ｂに設けられた凹部であり、ＳＡ型装置５８０がＳＡ基板５３に装着された状態で少なくともメンブレン部６２に対向する位置に設けられている。このように可動型部５８５が回避凹部５８５ａを有していることで、可動型部５８５が可動バネ５８６によって流量センサ２２に押し付けられていても、可動面５８５ｂはメンブレン部６２に押し付けられないようになっている。その一方で、センサ表面２２ａのうちメンブレン部６２とは異なる部分には、可動バネ５８６によって可動面５８５ｂが押し付けられる。
　モールド部５５の成型工程では、表型部５８１及び可動型部５８５と裏型部５９１との間に成型フィルム５９５を挟み込んだ状態で、表型部５８１と裏型部５９１とを互いに組み付ける。成型フィルム５９５は、樹脂材料等によりフィルム状に形成され、変形可能になっている。成型フィルム５９５は、例えば外力が加えられた場合に、外力が加えられていない場合に比べて薄肉になることが可能である。
　ＳＡ型装置５８０においては、成型フィルム５９５のうち、流量センサ２２と可動型部５８５との間に挟み込まれた部位が薄くなった場合、それに伴って、成型フィルム５９５のうち、流量センサ２２の外周縁から外側にはみ出した部位が厚肉化されやすくなる。成型フィルム５９５のうち、この厚肉化された部位は、流量センサ２２のセンサ表面２２ａの外周縁に沿って延びており、モールド部５５に周縁凹部５６を形成することになる。なお、図３４は、ＳＡ型装置５８０においてモールド部５５が樹脂成型される前の状態を図示しているため、周縁凹部５６を仮想線として示している。
　成型フィルム５９５は、可動型部５８５を裏型部５９１側から覆った状態で、表型部５８１の内面に沿って延びている。ＳＡ型装置５８０は、射出成型機から溶融樹脂が供給される供給通路としてのゲートを有している。このゲートは、ＳＡ型装置５８０の成型空間に通じており、幅方向Ｘにおいて成型フィルム５９５と裏型部５９１との間に配置されている。このため、射出成型機からＳＡ型装置５８０に供給される溶融樹脂は、成型空間において成型フィルム５９５と裏型部５９１との間に圧入される。
　成型フィルム５９５のうち、少なくとも可動型部５８５の回避凹部５８５ａに対向する部分は、回避凹部５８５ａの内部に入り込んだ状態になっている。このため、表型部５８１と裏型部５９１とを組み付けた状態において、成型フィルム５９５がセンサ表面２２ａのうちメンブレン部６２の表面に接触しないようになっている。したがって、メンブレン部６２が成型フィルム５９５によって変形するということや、メンブレン部６２において抵抗体７１～７４の抵抗値が意図せずに変化するということが抑制される。
　ＳＡ型装置５８０においては、表型部５８１と裏型部５９１との組み付けに際して、表型部５８１と裏型部５９１とを密着させる向きに外力を加える型締めを行う。型締めを行うことで、ＳＡ型装置５８０の成型空間から溶融樹脂が表型部５８１と裏型部５９１との隙間を通じて外部に流れ出すことを阻止する。
　本実施形態とは異なり、例えば、ＳＡ型装置５８０が可動型部５８５を有さず、ＳＡ型装置５８０において表型部５８１の内面が流量センサ２２に対向する構成では、表型部５８１から流量センサ２２への荷重が過剰になったり不足したりすることが考えられる。表型部５８１から流量センサ２２への荷重が過剰になった場合は、この荷重によって流量センサ２２が変形したり破損したりすることが懸念される。一方、表型部５８１から流量センサ２２への荷重が不足した場合は、ＳＡ型装置５８０の成型空間に圧入されてきた溶融樹脂が表型部５８１と流量センサ２２との間に進入し、流量センサ２２のセンサ表面２２ａに溶融樹脂が付着することが懸念される。いずれの場合でも、流量センサ２２の検出精度が低下しやすくなってしまう。
　これに対して、本実施形態では、ＳＡ型装置５８０において可動型部５８５が可動バネ５８６により付勢されているため、表型部５８１から流量センサ２２への荷重が過剰になったり不足したりすることが生じにくくなっている。
　例えば、流量センサ２２やＳＡ基板５３を製造する際の製造誤差等により流量センサ２２やＳＡ基板５３の厚さ寸法が設計値よりも大きくなっている場合には、表型部５８１からの可動型部５８５の突出寸法が可動バネ５８６により小さくされる。この場合、可動型部５８５から流量センサ２２への荷重が過剰に大きくなるということが生じにくくなる。このため、可動型部５８５からの荷重によって流量センサ２２が変形したり破損したりすることが抑制される。なお、この場合は、モールド部５５のモールド表面５５ｅのうち可動型部５８５によって成型された部分が、表型部５８１によって成型された部分よりもモールド表側に突出した状態になることがある。
　一方、製造誤差等により流量センサ２２やＳＡ基板５３の厚さ寸法が設計値よりも小さくなっている場合には、表型部５８１からの可動型部５８５の突出寸法が可動バネ５８６により大きくされる。この場合、可動型部５８５から流量センサ２２への荷重が不足するということが生じにくくなる。このため、可動型部５８５と流量センサ２２との間に溶融樹脂が進入しにくくなり、流量センサ２２のセンサ表面２２ａに溶融樹脂が付着するということが抑制される。なお、この場合は、モールド部５５のモールド表面５５ｅのうち可動型部５８５によって成型された部分が、表型部５８１によって成型された部分もモールド裏側に凹んだ状態になることがある。
　上述したように、可動型部５８５の可動面５８５ｂは、回避凹部５８５ａによってメンブレン部６２に接触しないようになっている。このため、可動型部５８５から流量センサ２２への荷重の過不足に関係なく、可動型部５８５からメンブレン部６２への荷重によってメンブレン部６２が変形したり抵抗体７１～７４の抵抗値が変化したりすることが抑制される。
　ＳＡ型装置５８０では、可動型部５８５及び可動バネ５８６に加えて、成型フィルム５９５によっても、流量センサ２２の変形や破損を抑制したり、センサ表面２２ａへの溶融樹脂の付着を抑制したりできる。例えば、成型フィルム５９５がセンサ表面２２ａに重ねられていることで、ＳＡ型装置５８０がセンサ表面２２ａに接触してセンサ表面２２ａが変形したり破損したりすることが抑制される。また、ＳＡ基板５３及び流量センサ２２へのＳＡ型装置５８０の装着に伴って成型フィルム５９５が変形してセンサ表面２２ａに密着することで、溶融樹脂が成型フィルム５９５とセンサ表面２２ａとの間に進入するということが抑制される。さらに、センサ表面２２ａに異物が付着していたとしても、成型フィルム５９５が異物を包み込むようにしてその異物の周囲でセンサ表面２２ａに密着しやすくなっている。このため、異物により生じた隙間を通じて成型フィルム５９５とセンサ表面２２ａとの間に溶融樹脂が進入する、ということが抑制される。このように、溶融樹脂がセンサ表面２２ａに付着するということがより確実に抑制される。
　また、可動型部５８５から成型フィルム５９５への荷重が過剰である場合には、成型フィルム５９５のうち可動型部５８５と流量センサ２２との間に挟まった部分が薄肉になるように変形することで、可動型部５８５から流量センサ２２への荷重が低減される。すなわち、表型部５８１と裏型部５９１とを型締めに伴って流量センサ２２に加えられる外力である型締め力が緩和される。これにより、可動型部５８５から流量センサ２２への荷重が過剰になることで流量センサ２２が変形したり破損したりするということが、可動型部５８５及び可動バネ５８６に加えて成型フィルム５９５によっても抑制される。
　ここまで説明した本実施形態によれば、センサ支持部５１の裏支持部５２２において、支持凹内壁面５３２が流量センサ２２とは反対側を向くように傾斜している。この構成では、モールド裏面５５ｆに沿って流れてきた裏寄り流ＡＦ３４が支持凹部５３０に到達した際に支持凹内壁面５３２に沿って流れやすくなっている。この場合、支持凹内壁面５３２からの裏寄り流ＡＦ３４の剥離が生じにくく、支持凹部５３０の内部に渦流などの気流の乱れが生じにくくなる。このため、支持凹部５３０の内部にて発生した気流に乱れによってセンサ凹部６１の内部においてキャビティ流ＡＦ５１の量や速度が過剰に大きくなる、ということが抑制される。したがって、過剰に大きくなったキャビティ流ＡＦ５１によってメンブレン部６２での抵抗体７１～７４等の動作精度が低下する、ということが生じにくいため、エアフロメータ２０の計測精度を高めることができる。
　また、幅方向Ｘにおいて支持凹部５３０の内部空間は支持孔５４０に向けて徐々に絞られている。この構成では、モールド裏面５５ｆに沿って流れる裏寄り流ＡＦ３４は、支持凹開口５３３から支持凹部５３０の内部に進入したとしても、支持凹内壁面５３２にて跳ね返るなどしてこの支持凹開口５３３から外部に流れ出やすくなっている。このように、仮に支持凹開口５３３から支持凹部５３０の内部に裏寄り流ＡＦ３４等の空気が流れ込んだとしても、この空気が支持孔５４０を通じてセンサ凹部６１に流れ込んでセンサ凹部６１の内部にてキャビティ流ＡＦ５１が発生するということを抑制できる。
　本実施形態とは異なり、例えば、センサ支持部５１のモールド裏部５６０に支持凹部５３０が設けられておらず、モールド裏部５６０を貫通する支持孔５４０の長さ寸法がモールド裏部５６０の厚さ寸法と同じ、という構成を想定する。この構成では、支持孔５４０が長いことに起因して、支持孔５４０での圧力損失が増加しやすく、支持孔５４０を通じてセンサ凹部６１の内部に対して空気が出入りしにくくなっている。このため、吸気通路１２での吸気圧力が増減した場合に、この吸気圧力の増減にセンサ凹部６１の内部圧力が追従しにくく、メンブレン部６２の内側と外側とで圧力差が生じやすくなることが懸念される。
　これに対して、本実施形態では、センサ支持部５１において支持凹部５３０の支持凹底面５３１からセンサ凹部６１に向けて支持孔５４０が延びているため、支持孔５４０の長さ寸法が支持凹部５３０の長さ寸法の分だけ小さくなっている。この構成では、支持孔５４０の圧力損失が増加しにくく、支持孔５４０を通じてセンサ凹部６１の内部に対して空気が出入りしやすくなっている。このため、吸気通路１２での吸気圧力が増減した場合でも、この吸気圧力の増減にセンサ凹部６１の内部圧力が追従しやすく、メンブレン部６２の内側と外側とで圧力差が生じにくくなっている。したがって、この圧力差によってメンブレン部６２や抵抗体７１～７４が意図せずに変形して流量センサ２２の検出精度が低下する、ということを抑制できる。
　また、本実施形態とは異なり、例えば、センサ支持部５１のモールド裏部５６０に支持凹部５３０が設けられておらず、モールド裏部５６０の全体が薄肉化されることで支持孔５４０の長さ寸法が小さくされた構成を想定する。この構成では、モールド裏部５６０の全体が薄肉になることで、裏支持部５２２の強度が不足することが懸念される。この場合、ハウジング２１へのセンサＳＡ５０の取り付けなどに際して、裏支持部５２２が変形しやすくなることが考えられる。裏支持部５２２が変形すると、流量センサ２２やメンブレン部６２、抵抗体７１～７４が変形して流量センサ２２の検出精度が低下しやすくなってしまう。
　これに対して、本実施形態では、モールド裏部５６０に支持凹部５３０及び支持孔５４０の両方が設けられている。この構成では、モールド裏部５６０の全体を薄肉化しないことでモールド裏部５６０の強度低下を回避しつつ、支持孔５４０の長さ寸法を低減できる。このため、裏支持部５２２の強度が不足して流量センサ２２の検出精度が低下するということ、及びメンブレン部６２の内側と外側とで圧力差が生じて流量センサ２２の検出精度が低下するということの両方を抑制できる。
　本実施形態によれば、幅方向Ｘに直交する方向Ｙ，Ｚにおいて、支持凹底面５３１の外周縁が支持孔５４０の裏端部５４２から外側に離間した位置に設けられている。この構成では、支持凹内壁面５３２から剥離せずにこの支持凹内壁面５３２に沿って進んだ裏寄り流ＡＦ３４は、支持凹底面５３１に沿って流れることで支持孔５４０を通過し、支持凹開口５３３から外部に流れ出しやすくなる。このため、裏寄り流ＡＦ３４が支持孔５４０に流れ込むということを支持凹底面５３１により抑制できる。
　本実施形態によれば、幅方向Ｘに直交する方向Ｙ，Ｚにおいて、支持凹底面５３１の外周縁がセンサ凹開口５０３から外側に離間した位置に設けられているほどに、支持凹底面５３１が大きくなっている。このため、支持凹部５３０の内部において支持凹内壁面５３２に沿ってモールド表側に向けて進む裏寄り流ＡＦ３４を、支持凹底面５３１にてより確実に跳ね返すことができる。
　本実施形態によれば、幅方向Ｘに直交する方向Ｙ，Ｚでの支持凹内壁面５３２の長さ寸法Ｌ５１が、幅方向Ｘでの支持凹内壁面５３２の長さ寸法Ｌ５２よりも大きくなっている。この構成では、支持凹内壁面５３２が支持凹部５３０の内部空間を支持凹開口５３３から支持凹底面５３１に向けて徐々に絞る度合いが極力緩やかになっている。このため、裏寄り流ＡＦ３４が支持凹開口５３３から流れ込んで支持凹内壁面５３２に沿って進む際に、進行方向の変化が抑制されることで渦流等の乱れが生じにくくなっている。また、この場合、支持凹部５３０内に流れ込んだ裏寄り流ＡＦ３４が支持凹内壁面５３２にて支持凹開口５３３に向けて跳ね返されやすくなっている。したがって、支持凹開口５３３から支持凹部５３０の内部に流れ込んだ裏寄り流ＡＦ３４が支持孔５４０に到達するということを抑制できる。
　本実施形態によれば、幅方向Ｘにおいて支持孔５４０の長さ寸法が支持凹部５３０の深さ寸法よりも小さくなるほどに、センサ支持部５１では支持凹部５３０によって支持孔５４０が短くされている。この構成では、支持凹部５３０が深くなっている分だけ、支持孔５４０を通じてセンサ凹部６１の内部に対して空気が出入りしやすくなっているため、メンブレン部６２の内側と外側とで圧力差が生じることを抑制できる。
　＜構成群Ｇの説明＞
　図３５、図３６に示すように、第１ハウジング部１５１はリブ８０１～８０３を有している。リブ８０１～８０３は、第１ハウジング部１５１の内面に設けられた凸部であり、第１ハウジング部１５１の内面から高さ方向Ｙに直交する方向Ｘ，Ｚに突出している。リブ８０１～８０３は、ハウジング２１の内面のうち少なくともハウジング流路面１３５に設けられている。
　リブ８０１～８０３は、ハウジング仕切部１３１（図１７参照）からハウジング先端側に向けてハウジング流路面１３５に沿って高さ方向Ｙに細長状に延びている。このため、ハウジング仕切部１３１がハウジング流路面１３５とハウジング段差面１３７との境界部から離間した位置にあれば、リブ８０１～８０３はハウジング段差面１３７とハウジング流路面１３５とにかけ渡された状態になっている。すなわち、リブ８０１～８０３は、ハウジング流路面１３５及びハウジング段差面１３７の両方に設けられている。一方、ハウジング仕切部１３１がハウジング流路面１３５とハウジング段差面１３７との境界部にあれば、リブ８０１～８０３は、ハウジング段差面１３７に設けられずに、ハウジング流路面１３５に設けられている。なお、図３５においては、ハウジング仕切部１３１の図示を省略しており、図３６においては、第２ハウジング部１５２の図示を省略している。
　ハウジング流路面１３５には、表計測壁面１０３、裏計測壁面１０４、上流計測壁面８０５及び下流計測壁面８０６が含まれている。表計測壁面１０３は、ハウジング流路面１３５のうちハウジング裏側を向いた部分であり、裏計測壁面１０４は、ハウジング表側を向いた部分である。表計測壁面１０３と裏計測壁面１０４とは、幅方向ＸにおいてセンサＳＡ５０を介して互いに対向している。表計測壁面１０３はセンサＳＡ５０のモールド表面５５ｅに対向しており、裏計測壁面１０４はセンサＳＡ５０のモールド裏面５５ｆに対向している。
　上流計測壁面８０５及び下流計測壁面８０６は、それぞれ表計測壁面１０３と裏計測壁面１０４とにかけ渡されており、奥行き方向ＺにおいてセンサＳＡ５０を介して互いに対向している。上流計測壁面８０５は、下流計測壁面８０６よりも計測流路３２での上流側に設けられている。ハウジング流路面１３５においては、上流計測壁面８０５が計測流路３２での下流側を向いており、下流計測壁面８０６が計測流路３２での上流側を向いている。上流計測壁面８０５はセンサＳＡ５０のモールド上流面５５ｃに対向しており、下流計測壁面８０６はセンサＳＡ５０のモールド下流面５５ｄに対向している。
　なお、上述したように、通過流路３１と検出計測路３５３とでは空気の流れる向きが逆になっているため、上流計測壁面８０５は、下流計測壁面８０６よりもハウジング下流面２１ｄに近い位置に設けられている。この場合、上流計測壁面８０５はハウジング上流側を向いており、下流計測壁面８０６はハウジング下流側を向いている。
　リブ８０１～８０３のうち表リブ８０１は、表計測壁面１０３に設けられており、裏計測壁面１０４に向けて幅方向Ｘに延びている。表リブ８０１の中心線は幅方向Ｘに平行に延びている。表リブ８０１の先端部は、センサＳＡ５０の表中間部５５３に接触している。表リブ８０１の先端部は、センサＳＡ５０のモールド表面５５ｅに沿って延びた先端面になっており、モールド表面５５ｅに重なっている。表リブ８０１は、奥行き方向Ｚに複数（例えば２つ）並べて設けられている。これら表リブ８０１は互いに平行に高さ方向Ｙに延びている。表リブ８０１のハウジング基端側の端部は、センサＳＡ５０の表ベース段差面５５６に接触している。すなわち、表リブ８０１は、表中間部５５３に加えて表ベース部５５２にも接触している。
　裏リブ８０２は、裏計測壁面１０４に設けられており、表計測壁面１０３に向けて幅方向Ｘに延びている。裏リブ８０２の中心線は幅方向Ｘに平行に延びている。裏リブ８０２の先端部は、センサＳＡ５０の裏中間部５６３に接触している。裏リブ８０２の先端部は、センサＳＡ５０のモールド裏面５５ｆに沿って延びた先端面になっており、モールド裏面５５ｆに重なっている。裏リブ８０２は、奥行き方向Ｚに複数（例えば２つ）並べて設けられている。これら裏リブ８０２は互いに平行に高さ方向Ｙに延びている。裏リブ８０２のハウジング基端側の端部は、センサＳＡ５０の裏ベース段差面５６６に接触している。すなわち、裏リブ８０２は、裏中間部５６３に加えて裏ベース部５６２にも接触している。
　下流リブ８０３は、下流計測壁面８０６に設けられており、上流計測壁面８０５に向けて奥行き方向Ｚに延びている。下流リブ８０３の中心線は奥行き方向Ｚに対して傾斜している。下流リブ８０３は、幅方向Ｘにおいて表計測壁面１０３よりも裏計測壁面１０４に近い位置に設けられており、下流リブ８０３の先端部は、センサＳＡ５０の裏中間部５６３に接触している。下流リブ８０３の先端部は、センサＳＡ５０のモールド下流面５５ｄに沿って延びた先端面になっており、モールド下流面５５ｄに重なっている。下流リブ８０３と表リブ８０１と裏リブ８０２とは、互いに平行に高さ方向Ｙに延びている。下流リブ８０３のハウジング基端側の端部は、センサＳＡ５０の裏ベース段差面５６６に接触している。すなわち、下流リブ８０３は、裏中間部５６３に加えて裏ベース部５６２にも接触している。
　高さ方向Ｙの長さ寸法は、表リブ８０１と裏リブ８０２と下流リブ８０３とでほぼ同じになっている。高さ方向Ｙにおいて、表リブ８０１の長さ寸法はセンサＳＡ５０の表中間部５５３の長さ寸法とほぼ同じになっている。裏リブ８０２の長さ寸法及び下流リブ８０３の長さ寸法は、センサＳＡ５０の裏中間部５６３の長さ寸法とほぼ同じになっている。
　第１ハウジング部１５１は、センサＳＡ５０のモールド部５５を支持しており、流路ハウジング部に相当する。第１ハウジング部１５１においては、リブ８０１～８０３やハウジング仕切部１３１（図１７参照）、ハウジング段差面１３７がセンサＳＡ５０を支持している。エアフロメータ２０の製造時においては、第１ハウジング部１５１に対するセンサＳＡ５０の幅方向Ｘや奥行き方向Ｚへの位置ずれを規制するように、リブ８０１～８０３やハウジング仕切部１３１、ハウジング段差面１３７がセンサＳＡ５０を固定している。リブ８０１～８０３やハウジング仕切部１３１、ハウジング段差面１３７は、センサＳＡ５０のモールド部５５に接触している。なお、センサＳＡ５０は、ハウジング段差面１３７に必ずしも接触していなくてもよい。このため、本実施形態では、センサＳＡ５０がハウジング段差面１３７に接している部分についての説明は基本的に省略する。
　第２ハウジング部１５２は、固定面８１０，８２０，８３０，８４０よりもハウジング基端側において、第１ハウジング部１５１とセンサＳＡ５０との隙間を埋めた状態になっている。このため、第２ハウジング部１５２は、センサＳＡ５０が第１ハウジング部１５１に対して幅方向Ｘや奥行き方向Ｚに位置ずれすることを規制している。また、第２ハウジング部１５２は、センサＳＡ５０をハウジング基端側から覆った状態になっている。このため、第２ハウジング部１５２は、センサＳＡ５０が第１ハウジング部１５１に対して高さ方向Ｙでのハウジング基端側に位置ずれすることを規制している。
　モールド部５５の外面のうち、リブ８０１～８０３やハウジング仕切部１３１など第１ハウジング部１５１に固定された部分を固定面８１０，８２０，８３０，８４０と称する。これら固定面８１０，８２０，８３０，８４０は、いずれもリブ８０１～８０３やハウジング仕切部１３１など第１ハウジング部１５１に接触している。このため、固定面８１０，８２０，８３０，８４０を接触面と称することもできる。
　固定面８１０，８２０，８３０，８４０のうち表固定面８１０は、モールド表面５５ｅに含まれており、モールド先端面５５ａからモールド基端側に離間した位置に設けられている。表固定面８１０は、第１ハウジング部１５１の内面に固定されており、表固定部に相当する。表固定面８１０は、表中間接触面８１１及び表段差接触面８１２を有している。表段差接触面８１２は、モールド表面５５ｅの表ベース段差面５５６のうち、第１ハウジング部１５１に接触した部分であり、奥行き方向Ｚに延びている。表段差接触面８１２は、第１ハウジング部１５１のハウジング仕切部１３１に接触している。なお、表段差接触面８１２は、ハウジング段差面１３７に接触していてもよい。
　表中間接触面８１１は、モールド表面５５ｅにおいて表中間部５５３うち、第１ハウジング部１５１に接触した部分であり、表段差接触面８１２からハウジング先端側に向けて高さ方向Ｙに延びている。表中間接触面８１１は、第１ハウジング部１５１の表リブ８０１の先端面に接触している。表中間接触面８１１は、表リブ８０１と同じ数だけあり、これら表中間接触面８１１は、奥行き方向Ｚに離間した位置において互いに平行に高さ方向Ｙに延びている。
　表固定面８１０は、表固定先端部８１３及び表固定基端部８１４を有している。表固定基端部８１４は、表固定面８１０におけるモールド基端側の端部であり、表段差接触面８１２のモールド基端側の端部により形成されている。表固定先端部８１３は、表固定面８１０におけるモールド先端側の端部であり、表中間接触面８１１のモールド先端側の端部により形成されている。複数の表中間接触面８１１においては、それぞれのモールド先端側の端部とモールド先端面５５ａとの離間距離が同じになっており、それぞれのモールド先端側の端部が表固定先端部８１３になっている。なお、複数の表中間接触面８１１が有するモールド先端側の端部のうち、モールド先端面５５ａに最も近いモールド先端側の端部だけが表固定先端部８１３になっていてもよい。
　表固定先端部８１３は、表計測段差面５５５におけるモールド基端側の端部に配置されている。表固定基端部８１４は、表ベース段差面５５６におけるモールド先端側の端部とモールド基端側の端部との間に設けられている。
　固定面８１０，８２０，８３０，８４０のうち裏固定面８２０は、モールド裏面５５ｆに含まれており、モールド先端面５５ａからモールド基端側に離間した位置に設けられている。裏固定面８２０は、第１ハウジング部１５１の内面に固定されており、裏固定部に相当する。裏固定面８２０は、裏中間接触面８２１及び裏段差接触面８２２を有している。裏段差接触面８２２は、モールド裏面５５ｆの裏ベース段差面５６６のうち、第１ハウジング部１５１に接触した部分であり、奥行き方向Ｚに延びている。裏段差接触面８２２は、第１ハウジング部１５１のハウジング仕切部１３１に接触している。なお、裏段差接触面８２２は、ハウジング段差面１３７に接触していてもよい。
　裏中間接触面８２１は、モールド裏面５５ｆにおいて裏中間部５６３のうち、第１ハウジング部１５１に接触した部分であり、裏段差接触面８２２からハウジング先端側に向けて高さ方向Ｙに延びている。裏中間接触面８２１は、第１ハウジング部１５１の裏リブ８０２の先端面に接触している。裏中間接触面８２１は、裏リブ８０２と同じ数だけあり、これら裏中間接触面８２１は、奥行き方向Ｚに離間した位置において互いに平行に高さ方向Ｙに延びている。
　裏固定面８２０は、裏固定先端部８２３及び裏固定基端部８２４を有している。裏固定基端部８２４は、裏固定面８２０におけるモールド基端側の端部であり、裏段差接触面８２２のモールド基端側の端部により形成されている。裏固定先端部８２３は、裏固定面８２０におけるモールド先端側の端部であり、裏中間接触面８２１のモールド先端側の端部により形成されている。複数の裏中間接触面８２１においては、それぞれのモールド先端側の端部とモールド先端面５５ａとの離間距離が同じになっており、それぞれのモールド先端側の端部が裏固定先端部８２３になっている。なお、複数の裏中間接触面８２１が有するモールド先端側の端部のうち、モールド先端面５５ａに最も近いモールド先端側の端部だけが裏固定先端部８２３になっていてもよい。
　裏固定先端部８２３は、裏計測段差面５６５におけるモールド基端側の端部に配置されている。裏固定基端部８２４は、裏ベース段差面５６６におけるモールド先端側の端部とモールド基端側の端部との間に設けられている。
　図３６に示すように、固定面８１０，８２０，８３０，８４０のうち、上流固定面８３０は、上流中間接触面８３１及び上流段差接触面８３２（図２６参照）を有している。上流段差接触面８３２は、モールド上流面５５ｃの上流ベース段差面８５１（図２６参照）のうち、第１ハウジング部１５１に接触した部分であり、幅方向Ｘに延びている。上流ベース段差面８５１は、モールド上流面５５ｃの一部であり、モールド先端側を向いた段差面である。上流ベース段差面８５１は、モールド表部５５０において表中間部５５３と表ベース部５５２との境界部に設けられ、且つモールド裏部５６０において裏中間部５６３と裏ベース部５６２との境界部に設けられている。上流段差接触面８３２は、第１ハウジング部１５１のハウジング仕切部１３１に接触している。なお、上流段差接触面８３２は、ハウジング段差面１３７に接触していてもよい。
　上流中間接触面８３１におけるモールド先端側の端部は、裏計測段差面５６５におけるモールド基端側の端部に配置されている。上流中間接触面８３１におけるモールド基端側の端部は、裏ベース段差面５６６におけるモールド先端側の端部とモールド基端側の端部との間に設けられている。
　上流中間接触面８３１は、モールド上流面５５ｃにおいて表中間部５５３及び裏中間部５６３のうち、第１ハウジング部１５１に接触した部分であり、上流段差接触面８３２からハウジング先端側に向けて高さ方向Ｙに延びている。上流中間接触面８３１は、第１ハウジング部１５１の上流計測壁面８０５に接触している。
　固定面８１０，８２０，８３０，８４０のうち、下流固定面８４０は、下流中間接触面８４１及び下流段差接触面８４２（図２６参照）を有している。下流段差接触面８４２は、モールド下流面５５ｄの下流ベース段差面８５２（図２６参照）のうち、第１ハウジング部１５１に接触した部分であり、幅方向Ｘに延びている。下流ベース段差面８５２は、モールド下流面５５ｄの一部であり、モールド先端側を向いた段差面である。下流ベース段差面８５２は、モールド表部５５０において表中間部５５３と表ベース部５５２との境界部に設けられ、且つモールド裏部５６０において裏中間部５６３と裏ベース部５６２との境界部に設けられている。下流段差接触面８４２は、第１ハウジング部１５１のハウジング仕切部１３１に接触している。なお、下流段差接触面８４２は、ハウジング段差面１３７に接触していてもよい。
　下流中間接触面８４１におけるモールド先端側の端部は、表計測段差面５５５におけるモールド基端側の端部に配置されている。下流中間接触面８４１におけるモールド基端側の端部は、表ベース段差面５５６におけるモールド先端側の端部とモールド基端側の端部との間に設けられている。
　下流中間接触面８４１は、モールド下流面５５ｄにおいて表中間部５５３及び裏中間部５６３のうち、第１ハウジング部１５１に接触した部分であり、下流段差接触面８４２からハウジング先端側に向けて高さ方向Ｙに延びている。下流中間接触面８４１は、第１ハウジング部１５１の下流計測壁面８０６に接触している。
　図３５、図３７に示すように、流量センサ２２においては、モールド先端側の端部をセンサ先端部８６１と称し、モールド基端側の端部をセンサ基端部８６２と称する。センサ先端部８６１は、モールド表部５５０の表計測部５５１からモールド表側に露出している。一方、センサ基端部８６２は、モールド表部５５０の表中間部５５３によりモールド表側から覆われた状態になっており、モールド表側には露出していない。
　流量センサ２２はセンサ露出面８７０を有している。センサ露出面８７０は、センサ表面２２ａのうち、モールド表面５５ｅから露出した部分である。センサ露出面８７０は、センサ表面２２ａのモールド先端側の端部からモールド基端側に向けて延びている。センサ露出面８７０におけるモールド先端側の端部を露出先端部８７１と称すると、露出先端部８７１は、センサ表面２２ａのモールド先端側の端部であり、センサ先端部８６１に含まれている。センサ露出面８７０におけるモールド基端側の端部を露出基端部８７２と称すると、露出先端部８７１は、センサ基端部８６２が表計測部５５１により覆われていることに起因して、センサ基端部８６２からモールド先端側に離間した位置に設けられている。露出基端部８７２は、高さ方向Ｙにおいてセンサ先端部８６１とセンサ基端部８６２との間に設けられており、センサ先端部８６１よりもセンサ基端部８６２に近い位置に配置されている。
　図３７に示すように、センサＳＡ５０のＳＡ基板５３は、センサ搭載部８８１、処理搭載部８８２及び端子延出部８８３を有している。センサ搭載部８８１、処理搭載部８８２及び端子延出部８８３は、いずれも板状に形成されており、それぞれの板面を幅方向Ｘに向けた状態でモールド部５５の内部に設けられている。センサ搭載部８８１、処理搭載部８８２及び端子延出部８８３は、幅方向Ｘに直交する方向Ｙ，Ｚに並べられており、これら方向Ｙ，Ｚに互いに離間している。なお、センサ搭載部８８１の一部は、支持凹部５３０を通じてモールド裏側に露出している。
　センサ搭載部８８１は、流量センサ２２を搭載した部分であり、表ベース段差面５５６、裏ベース段差面５６６、上流ベース段差面８５１及び下流ベース段差面８５２とモールド先端面５５ａとの間に設けられている。処理搭載部８８２は、流量処理部５１１を搭載した部分であり、ベース段差面５５６，５６６，８５１，８５２を高さ方向Ｙに跨ぐ位置に設けられている。端子延出部８８３は、リード端子５３ａや上流試験端子５３ｂ、下流試験端子５３ｃから延びた部分であり、モールド部５５の内部に埋め込まれていることでこれらリード端子５３ａや試験端子５３ｂ，５３ｃを支持している。
　センサＳＡ５０は、流量センサ２２と流量処理部５１１とを電気的に接続するボンディングワイヤ５１２ａを有している。このボンディングワイヤ５１２ａは、その一端が流量センサ２２に接続され、他端が流量処理部５１１に接続されていることで、流量センサ２２と流量処理部５１１とを直接的に接続している。
　センサＳＡ５０は、流量処理部５１１と端子延出部８８３とを電気的に接続するボンディングワイヤ５１２ｂを有している。このボンディングワイヤ５１２ａにおいては、その一端が流量処理部５１１に直接的に接続され、他端が端子延出部８８３に接続されている。これにより、ボンディングワイヤ５１２ａが、端子延出部８８３を介して流量処理部５１１とリード端子５３ａや上流試験端子５３ｂ、下流試験端子５３ｃとを間接的に接続している。
　センサＳＡ５０のモールド部５５においては、表ベース段差面５５６、裏ベース段差面５６６、上流ベース段差面８５１及び下流ベース段差面８５２が、モールド基端面５５ｂよりもモールド先端面５５ａに近い位置に設けられている。上述したように、センサＳＡ５０では、流量センサ２２と流量処理部５１１とがボンディングワイヤ５１２ａにより直接的に接続されている。このため、ＳＡ基板５３では、流量センサ２２と流量処理部５１１との電気的な接続を中継する中継部を設ける必要がない。このため、センサＳＡ５０においては、ベース段差面５５６，５６６，８５１，８５２とモールド先端面５５ａとの離間距離が極力小さくなる。換言すれば、高さ方向Ｙにおいて、表計測部５５１や表中間部５５３、裏計測部５６１、裏中間部５６３の長さ寸法が極力小さくされることで、モールド部５５の長さ寸法が小さくされている。
　本実施形態とは異なり、例えば、ＳＡ基板５３において、ベース段差面５５６，５６６，８５１，８５２とモールド先端面５５ａとの間に中継部が設置され、この中継部を介して流量センサ２２と流量処理部５１１とが電気的に接続された構成を想定する。この構成では、本実施形態のように中継部がない構成に比べて、ベース段差面５５６，５６６，８５１，８５２とモールド先端面５５ａとの離間距離が中継部の分だけ大きくなる。
　センサＳＡ５０の表側では、高さ方向Ｙにおいて、流量センサ２２の露出基端部８７２とモールド部５５の表固定基端部８１４との離間距離Ｌ６２ａが、露出基端部８７２とモールド先端面５５ａとの離間距離Ｌ６１ａよりも小さくなっている。すなわち、Ｌ６２ａ＜Ｌ６１ａの関係が成り立っている。この場合、高さ方向Ｙにおいて、露出基端部８７２はモールド先端面５５ａよりも表固定基端部８１４に近い位置に設けられている。これは、高さ方向Ｙにおいて、モールド部５５の表固定面８１０が表計測段差面５５５やモールド先端面５５ａに極力近い位置に配置されたことを示している。なお、離間距離Ｌ６１ａは、モールド先端面５５ａのうち露出基端部８７２から最も遠い部分であるモールド先端部と露出基端部８７２との離間距離である。
　高さ方向Ｙにおいて、表固定面８１０の長さ寸法は、露出基端部８７２と表固定基端部８１４との離間距離Ｌ６２ａよりも小さくなっている。このため、高さ方向Ｙでの表固定面８１０の長さ寸法は、露出基端部８７２とモールド先端面５５ａとの離間距離Ｌ６１ａよりも小さくなっている。
　モールド表部５５０の表固定先端部８１３は、高さ方向Ｙにおいて、流量センサ２２のセンサ基端部８６２とモールド先端面５５ａとの間に設けられている。この場合、表固定先端部８１３は、高さ方向Ｙにおいてセンサ先端部８６１とセンサ基端部８６２との間に設けられている。モールド表部５５０においては、表計測段差面５５５が露出基端部８７２からモールド基端側に向けて延びているため、表固定先端部８１３は、高さ方向Ｙにおいて露出基端部８７２からモールド基端側に離間した位置に設けられている。この場合、表固定先端部８１３は、高さ方向Ｙにおいてセンサ基端部８６２と露出基端部８７２との間にある。
　高さ方向Ｙにおいて、モールド先端面５５ａと表固定基端部８１４との離間距離Ｌ６３ａは、モールド基端面５５ｂと表固定基端部８１４との離間距離Ｌ６４ａよりも小さくなっている。すなわち、Ｌ６３ａ＜Ｌ６４ａという関係が成り立っている。リード端子５３ａにおいてモールド部５５とは反対側の端部をリード基端部８８５と称すると、このリード基端部８８５は、センサ支持部５１においてモールド先端面５５ａとは反対側の端部であり、支持基端部に相当する。そして、離間距離Ｌ６３ａは、高さ方向Ｙにおいてリード基端部８８５と表固定基端部８１４との離間距離Ｌ６５ａよりも小さくなっている。すなわち、Ｌ６３ａ＜Ｌ６５ａという関係が成り立っている。
　離間距離Ｌ６３ａは、離間距離Ｌ６１ａ，Ｌ６２ａの合計であり、Ｌ６３ａ＝Ｌ６１ａ＋Ｌ６２ａという関係が成り立っている。離間距離Ｌ６４ａは、高さ方向Ｙにおいて、モールド基端面５５ｂのうち表固定基端部８１４から最も遠い部分であるモールド基端部と表固定基端部８１４との離間距離である。
　センサＳＡ５０の裏側では、高さ方向Ｙにおいて、流量センサ２２の露出基端部８７２とモールド部５５の裏固定基端部８２４との離間距離Ｌ６２ｂが、表側の離間距離Ｌ６１ａよりも小さくなっている。すなわち、Ｌ６２ｂ＜Ｌ６１ａの関係が成り立っている。この場合、高さ方向Ｙにおいて、露出基端部８７２はモールド先端面５５ａよりも裏固定基端部８２４に近い位置に設けられている。これは、高さ方向Ｙにおいて、モールド部５５の裏固定面８２０が裏計測段差面５６５やモールド先端面５５ａに極力近い位置に配置されたことを示している。
　高さ方向Ｙにおいて、裏固定面８２０の長さ寸法は、露出基端部８７２と裏固定基端部８２４との離間距離Ｌ６２ｂよりも小さくなっている。このため、高さ方向Ｙでの裏固定面８２０の長さ寸法は、露出基端部８７２とモールド先端面５５ａとの離間距離Ｌ６１ａよりも小さくなっている。
　モールド裏部５６０の裏固定先端部８２３は、表固定先端部８１３と同様に、高さ方向Ｙにおいて、センサ基端部８６２とモールド先端面５５ａとの間に設けられている。裏固定先端部８２３は、高さ方向Ｙにおいて流量センサ２２の露出基端部８７２からモールド基端側に離間した位置に設けられている。この場合、裏固定先端部８２３は、高さ方向Ｙにおいてセンサ基端部８６２と露出基端部８７２との間にある。
　高さ方向Ｙにおいて、モールド先端面５５ａと裏固定基端部８２４との離間距離Ｌ６３ｂは、モールド基端面５５ｂと裏固定基端部８２４との離間距離Ｌ６４ｂよりも小さくなっている。すなわち、Ｌ６３ｂ＜Ｌ６４ｂという関係が成り立っている。また、離間距離Ｌ６３ｂは、高さ方向Ｙにおいてリード基端部８８５と裏固定基端部８２４との離間距離Ｌ６５ｂよりも小さくなっている。すなわち、Ｌ６３ｂ＜Ｌ６５ｂという関係が成り立っている。離間距離Ｌ６３ｂは、離間距離Ｌ６１ｂ，Ｌ６２ｂの合計であり、Ｌ６３ｂ＝Ｌ６１ｂ＋Ｌ６２ｂという関係が成り立っている。離間距離Ｌ６４ｂは、高さ方向Ｙにおいて、モールド基端部と裏固定基端部８２４との離間距離である。
　モールド部５５では、高さ方向Ｙにおいて、裏固定面８２０が表固定面８１０よりもモールド先端面５５ａに近い位置に設けられている。具体的には、裏固定基端部８２４が表固定基端部８１４よりもモールド先端面５５ａに近い位置に設けられている。このため、露出基端部８７２と裏固定基端部８２４との離間距離Ｌ６２ｂが、露出基端部８７２と表固定基端部８１４との離間距離Ｌ６２ａよりも小さくなっている。すなわち、Ｌ６２ｂ＜Ｌ６２ａという関係が成り立っている。また、裏固定先端部８２３が表固定先端部８１３よりもモールド先端面５５ａに近い位置に設けられている。さらに、Ｌ６２ｂ＜Ｌ６１ａという関係が成り立っているということは、Ｌ６４ｂ＞Ｌ６４ａという関係、及びＬ６５ｂ＞Ｌ６５ａという関係が成り立っていることになる。モールド部５５では、高さ方向Ｙにおいて、表固定面８１０の長さ寸法と裏固定面８２０の長さ寸法とがほぼ同じになっている。
　モールド部５５のモールド上流面５５ｃでは、モールド表面５５ｅ及びモールド裏面５５ｆと同様に、高さ方向Ｙにおいて、流量センサ２２の露出基端部８７２がモールド先端面５５ａよりも上流固定面８３０のモールド基端側の端部に近い位置に設けられている。また、モールド部５５のモールド下流面５５ｄでも、高さ方向Ｙにおいて、流量センサ２２の露出基端部８７２がモールド先端面５５ａよりも下流固定面８４０のモールド基端側の端部に近い位置に設けられている。
　図３８に示すように、流量センサ２２のセンサ膜部６６は、絶縁層６６ａ、導電層６６ｂ、保護層６６ｃを有している。絶縁層６６ａ、導電層６６ｂ及び保護層６６ｃは、いずれもセンサ基板６５のセンサ基板表面６５ａに沿って延びている。センサ基板表面６５ａには絶縁層６６ａが重ねられ、この絶縁層６６ａには導電層６６ｂが重ねられ、この導電層６６ｂには保護層６６ｃが重ねられている。流量センサ２２においては、保護層６６ｃの外面がセンサ表面２２ａになっている。また、メンブレン部６２は、絶縁層６６ａ、導電層６６ｂ及び保護層６６ｃを含んで形成されている。センサ凹底面５０１は絶縁層６６ａにより形成されている。なお、図３８においては、モールド部５５の図示を省略している。
　絶縁層６６ａは、樹脂材料等の絶縁材料により膜状に形成されており、絶縁性を有している。絶縁層６６ａは、センサ基板６５と導電層６６ｂとの間に設けられており、これらセンサ基板６５と導電層６６ｂとを電気的に絶縁している。保護層６６ｃは、絶縁層６６ａと同様に、樹脂材料等の絶縁材料により膜状に形成されており、絶縁性を有している。保護層６６ｃは、導電層６６ｂや絶縁層６６ａを覆っており、これら導電層６６ｂや絶縁層６６ａを保護している。
　導電層６６ｂは、金属材料等の材料により膜状や薄板状に形成されており、導電性を有している。導電層６６ｂは、センサ膜部６６の配線パターンを形成している。導電層６６ｂは例えば白金により形成されている。この場合、導電層６６ｂを形成する材料の主成分が白金である。導電層６６ｂは、例えばシリコンが主成分の材料で形成された導電層に比べて、ゲージ率が低くなっており、導電層６６ｂの厚さ方向である幅方向Ｘに変形しにくくなっている。また、導電層６６ｂは、絶縁層６６ａ及び保護層６６ｃのいずれよりも、ゲージ率が低く、幅方向Ｘに変形しにくくなっている。このため、導電層６６ｂは、センサ膜部６６が幅方向Ｘに変形するということを規制しており、この結果、センサ基板６５や流量センサ２２が幅方向Ｘに変形するということを規制する。また、導電層６６ｂは、主成分がシリコンの導電層に比べて、強度や硬度、剛性が高くなっている。なお、幅方向Ｘは、流量センサ２２のセンサ露出面８７０に直交する方向に相当する。
　流量センサ２２は、センサ接着部６７によりＳＡ基板５３に固定されている。センサ接着部６７は、流量センサ２２とＳＡ基板５３との間に設けられており、これら流量センサ２２とＳＡ基板５３とを接着している。センサ接着部６７は、センサ裏面２２ｂとセンサ基板表面６５ａとの間に設けられた接着層であり、これらセンサ裏面２２ｂ及びセンサ基板表面６５ａに沿って延びている。センサ接着部６７は、センサＳＡ５０に含まれており、接着部に相当する。また、ＳＡ基板５３が支持板部に相当する。
　センサ接着部６７は、接着剤が固化することで膜状に形成されており、絶縁性を有している。センサ接着部６７は例えばシリコン系接着剤により形成されている。シリコン系接着剤は、シリコン樹脂を主成分をとする接着剤である。センサ接着部６７は、例えばアクリル樹脂を主成分とするアクリル系接着剤により形成された接着部や、エポキシ樹脂を主成分とするエポキシ系接着剤により形成された接着部に比べて、柔軟性が高く、変形しやすくなっている。また、センサ接着部６７は、流量センサ２２に比べて、柔軟性が高く、変形しやすい。例えばＳＡ基板５３が幅方向Ｘに変形した場合、ＳＡ基板５３の変形に合わせてセンサ接着部６７が変形するため、ＳＡ基板５３の変形に合わせて流量センサ２２が変形するということが生じにくくなっている。この場合、センサ接着部６７は、ＳＡ基板５３の変形に伴って変形することで流量センサ２２の変形を規制する。また、センサ接着部６７は、アクリル系接着剤やエポキシ系接着剤で形成された接着部に比べて、ＳＡ基板５３の変形への追従性が高くなっている。なお、センサ接着部６７が変形しやすいことを「弾性が高い」と称してもよい。
　エアフロメータ２０においては、流量センサ２２とモールド部５５とハウジング２１とで熱伝導率が異なっている。これら流量センサ２２、モールド部５５及びハウジング２１においては、流量センサ２２の熱伝導率が最も大きく、ハウジング２１の熱伝導率が最も小さい。流量センサ２２の熱伝導率は例えば１．４Ｗ／ｍＫであり、モールド部５５の熱伝導率は例えば０．６７Ｗ／ｍＫであり、ハウジング２１の熱伝導率は例えば０．２５Ｗ／ｍＫである。このため、流量センサ２２、モールド部５５及びハウジング２１においては、流量センサ２２が最も熱を伝えやすく、ハウジング２１が最も熱を伝えにくくなっている。
　エアフロメータ２０においては、ハウジング２１の熱伝導率が極力小さい値になっていることで、外部の熱がハウジング２１を介してセンサＳＡ５０に伝わるということが生じにくくなっている。また、センサＳＡ５０において、モールド部５５の熱伝導率が流量センサ２２の熱伝導率よりも小さくなっていることで、外部の熱がモールド部５５を介して流量センサ２２に伝わるということが生じにくくなっている。したがって、外部の熱が流量センサ２２のメンブレン部６２や測温抵抗体７２，７３に伝わって測温抵抗体７２，７３の動作精度が低下し、流量センサ２２の検出精度が低下する、ということが抑制される。
　センサＳＡのモールド部５５を形成する樹脂材料は、上述したように熱硬化性樹脂であるとともに、ガラスエポキシ樹脂を含む材料である。エアフロメータ２０においては、モールド部５５とハウジング２１とで線膨張係数が異なっている。モールド部５５の線膨張係数はハウジング２１の線膨張係数よりも小さくなっている。モールド部５５の線膨張係数は例えば１５ｐｐｍであり、ハウジング２１の線膨張係数は例えば５０ｐｐｍである。このため、モールド部５５はハウジング２１に比べて熱変形しにくくなっている。
　エアフロメータ２０においては、モールド部５５の線膨張係数が極力小さい値になっていることで、モールド部５５が熱によって変形するということが生じにくくなっている。このため、外部の熱がモールド部５５に加えられたとしても、モールド部５５が変形しにくくなっている。したがって、モールド部５５の変形に伴って流量センサ２２が変形してメンブレン部６２の発熱抵抗体７１や測温抵抗体７２，７３が変形し、これら抵抗体７１～７３の動作精度が低下して流量センサ２２の検出精度が低下する、ということが抑制される。
　図３７に示すモールド部５５においては、モールド表部５５０の体積とモールド裏部５６０の体積とがほぼ同じになっている。センサＳＡ５０の製造工程において、ＳＡ型装置５８０に溶融樹脂が圧入される際に、ＳＡ型装置５８０の内部においてＳＡ基板５３の表側に充填される溶融樹脂の圧力と、ＳＡ基板５３の裏側に充填される溶融樹脂の圧力とが均等化しやすくなる。このため、モールド部５５の樹脂成型に際して、ＳＡ型装置５８０の内部での溶融樹脂の充填状態が適正にならずに、意図しない凹部などがモールド部５５に発生する、ということが抑制される。
　本実施形態とは異なり、例えばモールド表部の体積がモールド裏部の体積よりも著しく大きいモールド部を樹脂成型する場合、ＳＡ型装置においては、体積が大きいモールド表部を形成するための溶融樹脂の圧力が意図せずに低下することが懸念される。この場合、ＳＡ基板５３の表側においては溶融樹脂の充填状態が適正にならずに、意図しない凹部などがモールド表部に発生しやすくなってしまう。
　モールド部５５においては、モールド表部５５０の形状及び大きさとモールド裏部５６０の形状及び大きさとは全体としてほぼ同じになっている。例えば、幅方向Ｘにおいて、上述したように表計測部５５１と裏計測部５６１とで厚さ寸法が同じ又はほぼ同じになっており、表ベース部５５２と裏ベース部５６２とで厚さ寸法が同じ又はほぼ同じになっている。
　また、幅方向Ｘにおいて、表中間部５５３と裏中間部５６３とで厚さ寸法が同じ又はほぼ同じになっている。上述したように、裏中間部５６３には中間凹部５７２が設けられており、この中間凹部５７２の分だけモールド裏部５６０の体積が小さくなっている。これに対して、上述したように、Ｌ６２ｂ＜Ｌ６１ａの関係が成り立つように裏ベース段差面５６６が表ベース段差面５５６よりもモールド先端面５５ａに近い位置に配置されている。このため、高さ方向Ｙにおいて裏ベース部５６２の長さ寸法が表ベース部５５２の長さ寸法よりも大きくなっており、裏ベース部５６２が表ベース部５５２よりも長い分だけモールド裏部５６０の体積が大きくなっている。このように、裏中間部５６３の体積が小さい分だけ裏ベース部５６２の体積が大きくされているため、裏中間部５６３に中間凹部５７２があっても、モールド表部５５０とモールド裏部５６０とで体積の均等化が図られている。
　次に、エアフロメータ２０の製造工程において、センサＳＡ５０を第１ハウジング部１５１に組み付ける工程について、図３５、図３９、図４０等を参照しつつ説明する。
　センサＳＡ５０を第１ハウジング部１５１に組み付ける工程では、図１８、図３９に示すように、センサＳＡ５０をハウジング開口部１５１ａ（図１９参照）から第１ハウジング部１５１の内部に挿入する。ここでは、第１ハウジング部１５１の内面のうち、幅方向Ｘにおいては表リブ８０１の先端面を基準とし、奥行き方向Ｚにおいては上流計測壁面８０５を基準として、第１ハウジング部１５１に対するセンサＳＡ５０の位置を調整する。この場合、センサＳＡ５０の表中間部５５３においては、モールド表面５５ｅを表リブ８０１の先端面に重ねるとともに、モールド上流面５５ｃを上流計測壁面８０５に重ねる。
　センサＳＡ５０が組み付けられる前の第１ハウジング部１５１においては、図３６に二点鎖線で示すように、裏リブ８０２及び下流リブ８０３の突出寸法が、センサＳＡ５０が組み付けられた後に比べて大きくなっている。センサＳＡ５０の組み付け前においては、裏リブ８０２及び下流リブ８０３は頂部を有しており、断面テーパ状になっている。このため、図３９に示すように、センサＳＡ５０を第１ハウジング部１５１の内部に挿入していった場合、センサＳＡ５０の裏計測段差面５６５が裏リブ８０２の先端部や下流リブ８０３の先端部にハウジング基端側から引っ掛かった状態になる。
　このようにセンサＳＡ５０が裏リブ８０２や下流リブ８０３に引っ掛かった状態になっても、図４０に示すように、センサＳＡ５０を第１ハウジング部１５１の内部の奥側に向けて更に挿入する。この場合、上述したように、第１ハウジング部１５１の硬度や剛性がモールド部５５の硬度や剛性よりも低いため、裏リブ８０２及び下流リブ８０３は、それぞれの先端部がセンサＳＡ５０の裏計測段差面５６５で押し潰されるように変形する。裏リブ８０２及び下流リブ８０３においては、それぞれの先端部が押し潰されることで新たに形成された先端面が裏中間部５６３のモールド裏面５５ｆに密着しやすくなる。
　図３５に示すように、作業者は、ＳＡ段差面１４７がハウジング仕切部１３１やハウジング段差面１３７に密着するまで、センサＳＡ５０を第１ハウジング部１５１の内部に押し込む。この状態では、第１ハウジング部１５１の内部において、高さ方向Ｙに直交する方向Ｘ，ＺにセンサＳＡ５０が位置ずれするということがリブ８０１～８０３により規制されている。幅方向Ｘにおいては、センサＳＡ５０が表リブ８０１と裏リブ８０２との間に挟まれた状態になっており、これら表リブ８０１及び裏リブ８０２によってセンサＳＡ５０の位置が保持されている。奥行き方向Ｚにおいては、センサＳＡ５０が下流リブ８０３と上流計測壁面８０５との間に挟まれた状態になっており、これら下流リブ８０３及び上流計測壁面８０５によってセンサＳＡ５０の位置が保持されている。
　上述したように、センサＳＡ５０の外面のうち、リブ８０１～８０３や上流計測壁面８０５、ハウジング仕切部１３１、ハウジング段差面１３７に接触した部分が固定面８１０，８２０，８３０，８４０になっている。
　ここまで説明した本実施形態では、エアフロメータ２０の製造時において、第１ハウジング部１５１の内部にセンサＳＡ５０を挿入した状態で、第１ハウジング部１５１に対するセンサＳＡ５０の姿勢が設計上の姿勢に対してずれることが懸念される。例えば、センサ支持部５１の表固定面８１０が支点になって、モールド先端面５５ａが幅方向Ｘや奥行き方向Ｚに移動するようにセンサＳＡ５０が第１ハウジング部１５１に対して回転すると、センサＳＡ５０の姿勢がずれてしまう。この場合、メンブレン部６２が幅方向Ｘや奥行き方向Ｚに位置ずれして測温抵抗体７２，７３の動作精度が低下し、流量センサ２２の検出精度が低下しやすくなってしまう。
　これに対して、流量センサ２２の露出基端部８７２とセンサ支持部５１の表固定基端部８１４との離間距離Ｌ６２ａが、露出基端部８７２とモールド先端面５５ａとの離間距離Ｌ６１ａよりも小さくなっている。この構成では、センサＳＡ５０においては、露出基端部８７２がモールド先端面５５ａよりも表固定基端部８１４に近い位置に設けられている。このため、センサ支持部５１の表固定面８１０が第１ハウジング部１５１に対するセンサＳＡ５０の回転の支点になったとしても、この支点から流量センサ２２やメンブレン部６２までの回転半径を極力小さくできる。この場合、センサＳＡ５０の姿勢のずれに伴う流量センサ２２やメンブレン部６２の位置ずれが大きくなりにくいため、流量センサ２２の検出精度が低下することを抑制できる。したがって、エアフロメータ２０の計測精度を高めることができる。
　本実施形態によれば、高さ方向Ｙにおいて、センサＳＡ５０の表固定先端部８１３は流量センサ２２のセンサ先端部８６１とセンサ基端部８６２との間に設けられている。この構成では、高さ方向Ｙに直交する方向Ｘ，Ｚにおいて、表固定先端部８１３が流量センサ２２に重複している。このため、エアフロメータ２０の製造時において、表固定面８１０がセンサＳＡ５０の回転の支点になったとしても、この支点と流量センサ２２とが幅方向Ｘに重複する。したがって、第１ハウジング部１５１に対する流量センサ２２の姿勢がずれたとしても、そのずれを極力低減することができる。
　本実施形態では、エアフロメータ２０の製造時において、センサ支持部５１の表固定面８１０ではなく裏固定面８２０が支点になった場合でも、センサＳＡ５０が第１ハウジング部１５１に対して回転すると、センサＳＡ５０の姿勢がずれてしまう。
　これに対して、本実施形態によれば、流量センサ２２の露出基端部８７２とセンサ支持部５１の裏固定基端部８２４との離間距離Ｌ６２ｂが、露出基端部８７２とモールド先端面５５ａとの離間距離Ｌ６１ａよりも小さくなっている。この構成では、センサＳＡ５０においては、センサ支持部５１のモールド表側に加えてモールド裏側についても、露出基端部８７２がモールド先端面５５ａよりも裏固定基端部８２４に近い位置に設けられている。このため、センサ支持部５１の裏固定面８２０がセンサＳＡ５０の回転の支点になったとしても、この支点から流量センサ２２やメンブレン部６２までの回転半径を極力小さくできる。このように、裏固定面８２０がセンサＳＡ５０の回転の支点になった場合でも、センサＳＡ５０の姿勢のずれに伴う流量センサ２２やメンブレン部６２の位置ずれが大きくなりにくいため、流量センサ２２の検出精度が低下することを抑制できる。
　本実施形態によれば、センサ支持部５１においては、表固定基端部８１４と裏固定基端部８２４とで流量センサ２２の露出基端部８７２に対する離間距離が異なっている。すなわち、露出基端部８７２と表固定基端部８１４との離間距離Ｌ６２ａと、露出基端部８７２と裏固定基端部８２４との離間距離Ｌ６２ｂとが互いに異なっている。この構成では、エアフロメータ２０の製造工程において、第１ハウジング部１５１に対するセンサＳＡ５０の姿勢がずれる向きを管理することができる。
　例えば、本実施形態でのＬ６２ｂ＜Ｌ６２ａという関係によれば、高さ方向Ｙにおいて表固定基端部８１４が裏固定基端部８２４よりも流量センサ２２に近い位置に配置されている。このため、センサ支持部５１において、モールド裏側よりもモールド表側の方がセンサＳＡ５０の姿勢のずれが小さくなりやすいという観点で、流量センサ２２の検出結果を対象とした補正などの処理をセンサＳＡ５０の姿勢に合わせて行うことができる。したがって、エアフロメータ２０による流量の計測精度を高めることができる。
　本実施形態では、センサＳＡ５０の製造工程でモールド部５５を樹脂成型する際に、ＳＡ型装置５８０の内部においてＳＡ基板５３の表側と裏側とで溶融樹脂の圧力が異なることなどに起因して、モールド部５５が意図せずに変形することが懸念される。意図しないモールド部５５の変形としては、例えばモールド部５５が幅方向Ｘに撓んだり曲がったりすることが考えられる。
　これに対して、本実施形態によれば、センサ支持部５１においては、表固定基端部８１４と裏固定基端部８２４とで流量センサ２２の露出基端部８７２に対する離間距離が異なっている。この構成では、センサ支持部５１のモールド部５５において、表計測部５５１及び表中間部５５３の合計体積と、裏計測部５６１及び裏中間部５６３の合計体積とが異なりやすい。このため、エアフロメータ２０の製造工程でモールド部５５を樹脂成型する際に、モールド部５５が幅方向Ｘに変形する態様を管理することができる。
　例えば、本実施形態でのＬ６２ｂ＜Ｌ６２ａという関係によれば、裏計測部５６１及び裏中間部５６３の合計体積が表計測部５５１及び表中間部５５３の合計体積に比べて小さくなりやすい。また、モールド部５５のうち、裏固定基端部８２４と流量センサ２２との間に存在する部位の体積が、表固定基端部８１４と流量センサ２２との間に存在する部位の体積よりも小さくなりやすい。したがって、モールド部５５がモールド表側及びモールド裏側のうち一方に向けて変形しやすくなるため、モールド部５５の変形に伴うメンブレン部６２や抵抗体７１～７３の変形が伸縮のうち一方に制限されやすくなる。このため、真値に対する流量センサ２２の検出結果の誤差が正負のうち一方に制限されやすくなり、その結果、流量センサ２２の検出結果を対象とした補正など計測精度を高めるための処理を適正に行うことができる。
　本実施形態によれば、導電層６６ｂは、流量センサ２２が幅方向Ｘに変形することを規制している。このため、エアフロメータ２０の製造時や製造後にモールド部５５に熱変形などの変形が生じても、モールド部５５の変形に伴って流量センサ２２が変形するということを導電層６６ｂにより規制できる。したがって、メンブレン部６２や抵抗体７１～７３が変形して流量センサ２２の検出精度が低下するということを導電層６６ｂにより抑制できる。
　本実施形態によれば、導電層６６ｂが白金により形成されているため、導電層６６ｂが変形しにくい構成を実現できる。したがって、導電層６６ｂの形状や大きさなど流量センサ２２の構造を大幅に変更するという設計変更を行わなくても、導電層６６ｂを形成する材料を変更することで、流量センサ２２が意図せずに変形するということを抑制できる。
　本実施形態によれば、センサＳＡ５０においては、ＳＡ基板５３の変形に伴ってセンサ接着部６７が変形することで、流量センサ２２の変形がセンサ接着部６７により規制される。このため、エアフロメータ２０の製造時や製造後にモールド部５５に熱変形などの変形に伴ってＳＡ基板５３が変形しても、ＳＡ基板５３の変形に伴って流量センサ２２が変形するということをセンサ接着部６７により規制できる。したがって、メンブレン部６２や抵抗体７１～７３が変形して流量センサ２２の検出精度が低下するということをセンサ接着部６７により抑制できる。
　本実施形態によれば、センサ接着部６７はシリコン樹脂を含んで形成されているため、ＳＡ基板５３の変形に合わせてセンサ接着部６７が変形しやすいという構成を実現できる。したがって、ＳＡ基板５３と流量センサ２２との位置関係などセンサＳＡ５０の構造を大幅に変更するという設計変更を行わなくても、センサ接着部６７を形成する材料を変更することで、流量センサ２２が意図せずに変形するということを抑制できる。
　＜構成群Ｈの説明＞
　図３に示すように、ハウジング２１は、フランジ孔６１１，６１２を有している。フランジ孔６１１，６１２は、フランジ部２７に設けられており、このフランジ部２７を高さ方向Ｙに貫通した貫通孔である。フランジ孔６１１，６１２は、幅方向Ｘ及び奥行き方向Ｚのそれぞれについて互いに離間した位置に設けられている。幅方向Ｘにおいて、これらフランジ孔６１１，６１２の間に通過流路３１が配置されている。フランジ孔６１１，６１２のうち、第１フランジ孔６１１は、幅方向Ｘにおいてコネクタ部２８と通過流路３１との間に設けられており、第２フランジ孔６１２は、幅方向Ｘにおいて通過流路３１を介して第１フランジ孔６１１とは反対側に設けられている。
　第１フランジ孔６１１の中心ＣＯ６１と第２フランジ孔６１２の中心ＣＯ６２とを通る直線状の仮想線としてフランジ孔線ＣＬ６１を想定すると、このフランジ孔線ＣＬ６１は通過流路３１の通過入口３３に重複する。換言すれば、エアフロメータ２０をハウジング基端側から見た場合の平面視において、通過入口３３が第１フランジ孔６１１と第２フランジ孔６１２との間に設けられている。フランジ孔６１１，６１２に挿通されたネジの中心線は、高さ方向Ｙに延びており、フランジ孔６１１，６１２の中心ＣＯ６１，ＣＯ６２を通っている。
　ネジによりハウジング２１を管ボス１４ｄに固定する場合に、フランジ孔６１１，６１２に対してネジが位置ずれするなどして、ネジの中心線がフランジ孔６１１，６１２の中心ＣＯ６１，ＣＯ６２からずれることが想定される。この場合、ハウジング２１は、ネジを軸に幅方向Ｘや奥行き方向Ｚに位置ずれすることになるが、ハウジング２１のうち、平面視でフランジ孔線ＣＬ６１に重複する部分は、他の部分に比べて幅方向Ｘや奥行き方向Ｚに位置ずれしにくくなっている。上述したように、通過入口３３の一部が平面視でフランジ孔線ＣＬ６１に重複しているため、吸気通路１２において通過入口３３の位置ずれが生じにくくなっている。このため、吸気通路１２での通過入口３３の位置について製品誤差が生じにくくなっており、吸気通路１２での通過入口３３への空気の流れ込みやすさが製品ごとに異なるということを抑制できる。これにより、エアフロメータ２０による流量の計測精度を高めることができる。
　なお、通過入口３３は、奥行き方向Ｚに直交する方向Ｘ，Ｙにおいて吸気通路１２の中央又は中央に近い位置に配置されていることが好ましい。これは、吸気通路１２の中央が、流量や流速が最も大きくなりやすく且つ空気の流れが最も安定しやすい位置であるためである。
　フランジ孔６１１，６１２には、金属製のブッシュが設けられていない。この構成では、フランジ部２７のうちフランジ孔６１１，６１２を形成する部分にネジが直接的に接触しやすい。なお、フランジ孔６１１，６１２には金属製のブッシュが設けられていてもよい。この構成では、フランジ部２７のうちフランジ孔６１１，６１２を形成する部分よりもブッシュにネジが接触しやすい。
　図４１に示すように、ハウジング２１は、コネクタガイド部６１３を有している。コネクタガイド部６１３は、コネクタ部２８の外面に設けられており、コネクタ部２８の開放方向に延びている。コネクタガイド部６１３は、プラグ部がコネクタ部２８に装着される際にコネクタ部２８に対するプラグ部の位置を案内し、且つプラグ部の差し込み方向を案内する部位である。コネクタガイド部６１３は、例えば、コネクタ部２８のうちハウジング基端面２１ｂを形成する部分に設けられており、ハウジング２１において最もハウジング基端側に突出した部位になっている。
　図３、図４、図５に示すように、ハウジング２１は、コネクタガイド部６１３に加えてコネクタ係合部６１４を有している。コネクタ係合部６１４は、コネクタガイド部６１３と同様に、コネクタ部２８の外面に設けられている。コネクタ係合部６１４は、プラグ部がコネクタ部２８に装着された状態で、プラグ部がコネクタ部２８から抜けるように外れることを規制する外れ規制部になっている。コネクタ係合部６１４を抜け止め部と称することもできる。コネクタ係合部６１４は、コネクタガイド部６１３と同様に、例えば、コネクタ部２８のうちハウジング基端面２１ｂを形成する部分に設けられている。図６、図７に示すように、コネクタガイド部６１３は、幅方向Ｘに２つ並べて設けられており、コネクタ係合部６１４は、これらコネクタガイド部６１３の間に設けられている。各コネクタガイド部６１３とコネクタ係合部６１４とは互いに平行に奥行き方向Ｚに延びている。
　図４１に示すように、ハウジング２１は、コネクタ凹部２８ｂを有している。コネクタ凹部２８ｂは、コネクタ部２８の先端面に設けられた凹部である。ハウジング２１においては、コネクタ部２８がフランジ部２７から幅方向Ｘに延びており、コネクタ凹部２８ｂは、コネクタ部２８の先端面からフランジ部２７側に向けて幅方向Ｘに延びている。コネクタ端子２８ａはコネクタ凹部２８ｂの底面から幅方向Ｘに延びている。この場合、コネクタ端子２８ａの少なくとも先端部がコネクタ凹部２８ｂの内部に配置されている。プラグ部がコネクタ部２８に装着された状態では、プラグ部の少なくとも一部がコネクタ凹部２８ｂの内部に入り込んだ状態になる。
　フランジ部２７の角度設定面２７ａは、高さ方向ＹにおいてセンサＳＡ５０のモールド部５５よりもハウジング基端側に設けられている。この構成では、角度設定面２７ａが管ボス１４ｄに引っ掛かっていることに起因してフランジ部２７が変形したとしても、この変形によってモールド部５５の位置が意図せずに変化するということが生じにくくなっている。このため、計測流路３２での流量センサ２２が意図せずに変化するということを抑制できる。
　コネクタ部２８のコネクタ端子２８ａは、高さ方向ＹにおいてセンサＳＡ５０のモールド部５５よりもハウジング基端側に設けられている。この構成では、コネクタ部２８へのプラグ部の装着に伴ってプラグ端子がコネクタ端子２８ａに接続されたことに起因してコネクタ端子２８ａが変形したとしても、この変形によってモールド部５５の位置が意図せずに変化するということが生じにくくなっている。
　コネクタ端子２８ａは、高さ方向Ｙにおいて角度設定面２７ａよりもハウジング基端側に設けられている。この場合、高さ方向Ｙでのコネクタ端子２８ａとモールド部５５との離間距離Ｈ６２が、高さ方向Ｙでの角度設定面２７ａとモールド部５５との離間距離Ｈ６１よりも大きくなっている。なお、コネクタ端子２８ａは、角度設定面２７ａよりもハウジング基端側に設けられていなくてもよい。
　ハウジング２１では、高さ方向Ｙに直交する方向Ｘ，Ｚにおいてコネクタ部２８とフランジ部２７とが横並びに設けられている。コネクタ部２８におけるハウジング基端側の端部は、フランジ部２７におけるハウジング基端側の端部よりもハウジング基端側に設けられている。一方で、コネクタ部２８におけるハウジング先端側の端部は、フランジ部２７におけるハウジング先端側の端部よりもハウジング先端側に設けられている。このように、コネクタ部２８がフランジ部２７と幅方向Ｘや奥行き方向Ｚに並べられているため、高さ方向Ｙにおいてはみ出し部分２０ｂの高さ寸法がフランジ部２７によって大きくなるということが生じにくくなっている。この構成では、エアフロメータ２０が吸気管１４ａ等と共にエンジンルーム等に収容された車両において、車体の内部においてエアフロメータ２０と車体との離間距離を適正に確保できる。したがって、例えばこの車両に他の車両などが接触することなどによりボンネットなど車体の一部が凹むように変形したとしても、この変形した部分がエアフロメータ２０に接触するということを抑制できる。
　シール保持部２５の保持溝部２５ａは、ハウジング２１のハウジング仕切部１３１よりもハウジング基端側に設けられている。この構成では、シール部材２６が保持溝部２５ａの内面と管フランジ１４ｃの内面との両方に密着していることに起因して保持溝部２５ａが変形したとしても、この変形によってハウジング仕切部１３１が意図せずに変形するということが生じにくくなっている。このため、ハウジング仕切部１３１がＳＡ収容領域１５０と計測流路３２とを仕切っている状態が意図せずに解除されるということを抑制できる。
　ハウジング２１は、先端保護凸部６１５、上流保護凸部６１６、下流保護凸部６１７を有している。これら保護凸部６１５～６１７は、いずれもハウジング裏面２１ｆに設けられた凸部である。先端保護凸部６１５は、高さ方向Ｙにおいて吸気温センサ２３よりもハウジング先端側に設けられており、幅方向Ｘにおいて吸気温センサ２３よりもハウジング裏側に突出していない。
　上流保護凸部６１６は、奥行き方向Ｚにおいて吸気温センサ２３よりもハウジング上流側に設けられている。下流保護凸部６１７は、奥行き方向Ｚにおいて吸気温センサ２３よりもハウジング下流側に設けられている。上流保護凸部６１６及び下流保護凸部６１７は、幅方向Ｘにおいて吸気温センサ２３よりもハウジング裏側に突出しており、高さ方向Ｙにおいて吸気温センサ２３よりもハウジング基端側に設けられている。
　保護凸部６１６，６１７は、吸気温センサ２３と共にハウジング表側に設けられている。ハウジング表面２１ｅからの上流保護凸部６１６の突出寸法は、ハウジング表面２１ｅからの下流保護凸部６１７の突出寸法よりも小さくなっている。この場合、上流保護凸部６１６の先端部が下流保護凸部６１７の先端部よりもハウジング表面２１ｅに近い位置に配置されている。この構成では、上流保護凸部６１６が、吸気温センサ２３に到達する空気の流れが大きくなりにくいように極力短くされている。このため、吸気温センサ２３による温度検出の精度が向上しやすくなっている。
　高さ方向Ｙにおいて、保持溝部２５ａとハウジング仕切部１３１との離間距離Ｈ６３は、先端保護凸部６１５のハウジング先端側の端部と吸気温センサ２３との離間距離Ｈ６４よりも大きくなっている。また、離間距離Ｈ６３は、離間距離Ｈ６１，Ｈ６２，Ｈ６４のいずれよりも大きくなっている。
　ハウジング２１には、コネクタ端子２８ａを有する接続ターミナル６２０が設けられている。図４２、図４３に示すように、接続ターミナル６２０は、ターミナル部材６４１～６４６を有している。ターミナル部材６４１は、互いに独立した部材であり、互いに離間していることで電気的に絶縁された状態になっている。ターミナル部材６４１～６４６は、導電性を有しており、金属材料により形成された細長状の板材である。ターミナル部材６４１～６４６は例えば黄銅により形成されている。
　なお、ターミナル部材６４１～６４６は、黄銅とは異なるリン青銅等の金属材料により形成されていてもよい。ただし、黄銅がリン青銅よりも安価であれば、本実施形態のようにターミナル部材６４１～６４６を形成する材料として黄銅が用いられていることでターミナル部材６４１～６４６の製造コストを低減しやすくなる。また、接続ターミナル６２０は、ターミナル部材６４１～６４６を接続する接続部材を有していてもよい。この接続部材は、樹脂材料等により形成されることで絶縁性を有していることが好ましい。
　ターミナル部材６４１～６４６は、それぞれセンサＳＡ５０のリード端子５３ａに接続されている。ターミナル部材６４１～６４６は、それぞれリード接続端子６２１及びターミナル中間部６２４を有している。リード接続端子６２１は、リード端子５３ａに溶接等により接続されている。ターミナル中間部６２４は、リード接続端子６２１からリード接続端子６２１とは異なる方向に延びている。具体的には、リード接続端子６２１が高さ方向Ｙに延びている一方で、ターミナル中間部６２４は、高さ方向Ｙに直交する方向Ｘ，Ｚに延びている。複数のリード接続端子６２１は奥行き方向Ｚに並べられている。
　ターミナル部材６４１～６４６のうち、第１ターミナル部材６４１は、リード端子５３ａのうち吸気温出力端子６７５に接続されている。第２ターミナル部材６４２は、リード端子５３ａのうち吸気温グランド端子６７４に接続されている。ターミナル部材６４１，６４２は、それぞれ吸気温接続端子６２２を有している。ターミナル部材６４１，６４２においては、一方の端部がリード接続端子６２１に含まれ、他方の端部が吸気温接続端子６２２に含まれている。
　吸気温接続端子６２２は、吸気温センサ２３のリード線２３ａに電気的に接続された端子である。吸気温接続端子６２２は、接続ターミナル６２０に複数（例えば２つ）含まれている。これら吸気温接続端子６２２は、ターミナル中間部６２４からハウジング基端側に向けて高さ方向Ｙに延びており、互いに平行になっている。これら吸気温接続端子６２２は、奥行き方向Ｚに並べられている。ターミナル部材６４１，６４２においては、吸気温接続端子６２２がターミナル中間部６２４を介してリード接続端子６２１に接続されている。これらターミナル部材６４１，６４２は、それぞれの全体がハウジング２１の内部に埋め込まれた状態になっている。高さ方向Ｙにおいて、ターミナル部材６４１～６４６でのターミナル中間部６２４からのリード接続端子６２１の延び寸法は、ターミナル部材６４１，６４２でのターミナル中間部６２４からの吸気温接続端子６２２の延び寸法よりも大きくなっている。なお、リード接続端子６２１の延び寸法は、吸気温接続端子６２２の延び寸法よりも大きくなっていなくてもよい。
　ターミナル部材６４１～６４６のうち、第３ターミナル部材６４３は、リード端子５３ａのうち流量出力端子６７３に接続されている。第４ターミナル部材６４４は、リード端子５３ａのうち流量グランド端子６７１に接続されている。第５ターミナル部材６４５は、リード端子５３ａのうち流量電源端子６７２に接続されている。これらターミナル部材６４３～６４５は、それぞれコネクタ端子２８ａを有している。ターミナル部材６４３～６４５においては、一方の端部がリード接続端子６２１に含まれ、他方の端部がコネクタ端子２８ａに含まれている。
　コネクタ端子２８ａは、コネクタ部２８においてコネクタ凹部２８ｂの内部に露出した状態で設けられた端子である。コネクタ端子２８ａは、接続ターミナル６２０に複数（例えば３つ）含まれている。これらコネクタ端子２８ａは、ターミナル中間部６２４からリード接続端子６２１とは反対側に向けて幅方向Ｘに延びており、互いに平行になっている。これらコネクタ端子２８ａは、奥行き方向Ｚに並べられており、幅方向Ｘにおいてリード接続端子６２１を介して吸気温接続端子６２２とは反対側に配置されている。ターミナル部材６４３～６４５においては、コネクタ端子２８ａがターミナル中間部６２４を介してリード接続端子６２１に接続されている。ターミナル部材６４３～６４５は、それぞれのコネクタ端子２８ａの少なくとも先端部がハウジング２１からコネクタ凹部２８ｂの内部に向けて突出した状態で、ハウジング２１の内部に埋め込まれている。
　ターミナル部材６４１～６４６のうち、第６ターミナル部材６４６は、リード端子５３ａのうち調整端子６７６に接続されている。第６ターミナル部材６４６は、調整接続端子６２３を有している。第６ターミナル部材６４６においては、一方の端部がリード接続端子６２１に含まれ、他方の端部が調整接続端子６２３に含まれている。
　調整接続端子６２３は、コネクタ部２８においてコネクタ凹部２８ｂの内部に露出した状態で設けられた端子であって、エアフロメータ２０の製造時等においてコネクタ端子２８ａからの出力信号などを調整するための端子である。調整接続端子６２３は、ターミナル中間部６２４からリード接続端子６２１とは反対側に向けて幅方向Ｘに延びており、各コネクタ端子２８ａに平行になっている。調整接続端子６２３は、奥行き方向Ｚにおいて各コネクタ端子２８ａに横並びに設けられている。第６ターミナル部材６４６においては、調整接続端子６２３がターミナル中間部６２４を介してリード接続端子６２１に接続されている。第６ターミナル部材６４６は、調整接続端子６２３の少なくとも先端部がハウジング２１からコネクタ凹部２８ｂの内部に向けて突出した状態で、ハウジング２１の内部に埋め込まれている。
　ターミナル部材６４１～６４６において、ターミナル中間部６２４は、横延び部６２４ａ、縦延び部６２４ｂ、傾斜延び部６２４ｃの少なくとも一部を有している。横延び部６２４ａは幅方向Ｘに延びた部位であり、縦延び部６２４ｂは奥行き方向Ｚに延びた部位である。傾斜延び部６２４ｃは、高さ方向Ｙに直交する方向Ｘ，Ｚに延びているという観点では横延び部６２４ａ及び縦延び部６２４ｂと同じである一方で、これら横延び部６２４ａ及び縦延び部６２４ｂのいずれに対しても傾斜した方向に延びている。
　第１ターミナル部材６４１は、横延び部６２４ａ、縦延び部６２４ｂ及び傾斜延び部６２４ｃを有している。第１ターミナル部材６４１においては、リード接続端子６２１及び吸気温接続端子６２２のそれぞれからコネクタ端子２８ａ側に向けて横延び部６２４ａが延びている。これら横延び部６２４ａは、１つの横延び部６２４ａと２つの縦延び部６２４ｂとを介して互いに接続されている。第１ターミナル部材６４１においては、横延び部６２４ａと縦延び部６２４ｂとが傾斜延び部６２４ｃを介して接続された部位が少なくとも１つ含まれている。
　第２ターミナル部材６４２は、第１ターミナル部材６４１と同様に、横延び部６２４ａ、縦延び部６２４ｂ及び傾斜延び部６２４ｃを有している。第２ターミナル部材６４２においては、第１ターミナル部材６４１と同様に、リード接続端子６２１及び吸気温接続端子６２２のそれぞれからコネクタ端子２８ａ側に向けて横延び部６２４ａが延びている。これら横延び部６２４ａは、１つの縦延び部６２４ｂを介して互いに接続されている。第２ターミナル部材６４２においては、横延び部６２４ａと縦延び部６２４ｂとが傾斜延び部６２４ｃを介して接続されている。
　第３ターミナル部材６４３、第４ターミナル部材６４４及び第５ターミナル部材６４５は、縦延び部６２４ｂを有しておらず、横延び部６２４ａ及び傾斜延び部６２４ｃを有している。これらターミナル部材６４３～６４５では、リード接続端子６２１からコネクタ端子２８ａ側に向けて延びた横延び部６２４ａと、コネクタ端子２８ａからリード接続端子６２１側に向けて延びた横延び部６２４ａとが、傾斜延び部６２４ｃを介して接続されている。第６ターミナル部材６４６は、第３ターミナル部材６４３と同様に、縦延び部６２４ｂを有しておらず、横延び部６２４ａ及び傾斜延び部６２４ｃを有している。第６ターミナル部材６４６では、第３ターミナル部材６４３と同様に、リード接続端子６２１から延びた横延び部６２４ａと、コネクタ端子２８ａから延びた横延び部６２４ａとが、傾斜延び部６２４ｃを介して接続されている。
　ターミナル部材６４３～６４６では、コネクタ端子２８ａ及び調整接続端子６２３の奥行き方向Ｚでの幅寸法が、これらコネクタ端子２８ａ又は調整接続端子６２３から延びた横延び部６２４ａの奥行き方向Ｚでの幅寸法よりも小さくなっている。この場合、コネクタ端子２８ａ及び調整接続端子６２３は、横延び部６２４ａよりも細くなっている。３つ並べられているターミナル部材６４３～６４５のうち真ん中に配置された第４ターミナル部材６４４においては、コネクタ端子２８ａの中心線と、このコネクタ端子２８ａから延びた横延び部６２４ａの中心線とが一致している。この場合、第４ターミナル部材６４４においては、コネクタ端子２８ａが、横延び部６２４ａの真ん中から延びている。一方、第３ターミナル部材６４３及び第５ターミナル部材６４５においては、各コネクタ端子２８ａの中心線が、各コネクタ端子２８ａから延びた横延び部６２４ａの中心線よりも第４ターミナル部材６４４から遠い位置に配置されている。この場合、第３ターミナル部材６４３及び第５ターミナル部材６４５においては、コネクタ端子２８ａが、横延び部６２４ａにおいて第４ターミナル部材６４４とは反対側の側面から延びている。
　第６ターミナル部材６４６は、奥行き方向Ｚにおいて第５ターミナル部材６４５を介して第４ターミナル部材６４４とは反対側の位置において、第５ターミナル部材６４５の隣に配置されている。第６ターミナル部材６４６においては、調整接続端子６２３の中心線が、この調整接続端子６２３から延びた横延び部６２４ａの中心線よりも第５ターミナル部材６４５に近い位置に配置されている。この場合、第６ターミナル部材６４６においては、調整接続端子６２３が、横延び部６２４ａにおいて第５ターミナル部材６４５側の側面から延びている。
　ターミナル部材６４１～６４６のそれぞれにおいて厚さ寸法が均一になっている。例えば、第１ターミナル部材６４１においては、高さ方向Ｙでのリード接続端子６２１の厚さ寸法と、高さ方向Ｙでのターミナル中間部６２４の厚さ寸法と、幅方向Ｘでの吸気温接続端子６２２の厚さ寸法とが互いに同じになっている。また、ターミナル部材６４１～６４６の各厚さ寸法は互いに同じになっている。
　接続ターミナル６２０では、奥行き方向Ｚにおいて、全ての吸気温接続端子６２２が設置された領域の長さ寸法が、全てのリード接続端子６２１が設置された領域の長さ寸法よりも大きくなっている。一方で、奥行き方向Ｚにおいて、全てのコネクタ端子２８ａと調整接続端子６２３とが設置された領域の長さ寸法が、全てのリード接続端子６２１が設置された領域の長さ寸法よりも小さくなっている。接続ターミナル６２０では、奥行き方向Ｚにおいて、リード接続端子６２１やコネクタ端子２８ａ、調整接続端子６２３が吸気温接続端子６２２よりも外側にはみ出さない位置に配置されている。
　エアフロメータ２０の製造工程においては、金属材料により形成された板材を打ち抜き加工などにより加工することで、タイバー付きの接続ターミナル６２０の母材を形成する。この母材においては、タイバーに連結部と枠部とが含まれている。この連結部には、ターミナル部材６４１～６４６を互いに連結する連結部と、ターミナル部材６４１～６４６の少なくとも１つを枠部に連結する連結部とが含まれている。そして、母材を厚さ方向に折り曲げることで、吸気温接続端子６２２及びリード接続端子６２１を形成する。上述したように、ターミナル部材６４１～６４６においては、吸気温接続端子６２２及びリード接続端子６２１が、ターミナル中間部６２４からハウジング基端側という同じ向きに延びている。このため、母材を折り曲げて吸気温接続端子６２２及びリード接続端子６２１を形成する場合に、折り曲げる向きを変更するという手間を省くことが可能になる。
　ターミナル部材６４１～６４６にはターミナル凹部６２７及びターミナル凸部６２８が設けられている。ターミナル凹部６２７は、ターミナル部材６４１～６４６の側面に設けられた凹部であり、ターミナル部材６４１～６４６の側面から高さ方向Ｙに直交する方向Ｘ，Ｚに延びている。ターミナル凸部６２８は、ターミナル部材６４１～６４６の側面に設けられた凸部であり、ターミナル部材６４１～６４６の側面から高さ方向Ｙに直交する方向Ｘ，Ｚに延びている。ターミナル凹部６２７及びターミナル凸部６２８は、ターミナル部材６４１～６４６のそれぞれにおいてターミナル中間部６２４に設けられている。具体的には、ターミナル凹部６２７及びターミナル凸部６２８は、ターミナル中間部６２４のうち横延び部６２４ａに設けられている一方で、縦延び部６２４ｂ及び傾斜延び部６２４ｃには設けられていない。また、ターミナル凹部６２７及びターミナル凸部６２８は、ターミナル部材６４１～６４６のうちハウジング２１の内部に埋め込まれる部位に設けられている一方で、ハウジング２１から外部に露出する部位には設けられていない。
　ターミナル凸部６２８は、ターミナル部材６４１～６４６からタイバーを切り離した痕跡であるダイバー跡である。エアフロメータ２０の製造工程においては、タイバー付きの接続ターミナル６２０を形成した後、接続ターミナル６２０を移動可能な状態で保持する冶具で接続ターミナル６２０を保持する。そして、この冶具で接続ターミナル６２０を保持した状態のまま、ターミナル部材６４１～６４６からタイバーを切り離し、ターミナル部材６４１～６４６を第１ハウジング部１５１に装着する。
　本実施形態では、吸気温センサ２３の検出結果が接続ターミナル６２０を介してセンサＳＡ５０に入力される。この場合、吸気温センサ２３は、接続ターミナル６２０を介してセンサＳＡ５０のリード端子５３ａに電気的に接続されている。そして、吸気温センサ２３の検出結果に関する情報は、センサＳＡ５０からコネクタ端子２８ａを介してＥＣＵ１５に対して出力される。なお、吸気温センサ２３の検出結果がセンサＳＡ５０を介さずにＥＣＵ１５に対して出力されてもよい。例えば、吸気温センサ２３が、センサＳＡ５０のリード端子５３ａではなく、コネクタ端子２８ａに接続ターミナル６２０を介して接続された構成とする。この構成では、接続ターミナル６２０において、吸気温接続端子６２２がリード接続端子６２１ではなくコネクタ端子２８ａにターミナル中間部６２４を介して接続されている。
　図４２、図４４に示すように、リード接続端子６２１がセンサＳＡ５０のリード端子５３ａに接続される前の状態では、リード接続端子６２１に、端子凸部６２１ａ及び端子凹部６２１ｂが設けられている。端子凸部６２１ａは、リード接続端子６２１の一方の板面に設けられた凸部であり、例えばリード接続端子６２１において吸気温接続端子６２２側の板面に設けられている。端子凸部６２１ａは、リード接続端子６２１の板面の外周縁から内側に離間した位置に設けられている。端子凹部６２１ｂは、リード接続端子６２１において端子凸部６２１ａとは反対側の板面に設けられた凹部であり、例えばリード接続端子６２１から端子凸部６２１ａに向けて延びている。端子凹部６２１ｂは、リード接続端子６２１の板面の外周縁から内側に離間した位置に設けられている。端子凸部６２１ａと端子凹部６２１ｂとはリード接続端子６２１の厚さ方向に並べられており、端子凸部６２１ａの中心線と端子凹部６２１ｂの中心線とが一致している。
　リード接続端子６２１は、端子凸部６２１ａがセンサＳＡ５０のリード端子５３ａに接触した状態で溶接が行われることにより、リード端子５３ａに接続される。例えば、端子凸部６２１ａの先端部とリード端子５３ａの一方の板面とを接触させた状態で、溶接具等の治具を用いて端子凹部６２１ｂ側から端子凸部６２１ａに熱を加えて、端子凸部６２１ａの少なくとも一部とリード端子５３ａの少なくとも一部とを溶かす。このようにして、リード接続端子６２１とリード端子５３ａとを溶接によって接合した場合、端子凸部６２１ａや端子凹部６２１ｂは、リード接続端子６２１において変形したり消失したりすることになる。溶接方法としては、スポット溶接やアーク溶接、レーザ溶接が用いられる。
　なお、吸気温接続端子６２２がリード線２３ａに接続される前の状態では、吸気温接続端子６２２に、端子凸部６２１ａと同様の凸部や、端子凹部６２１ｂと同様の凹部が設けられていてもよい。吸気温接続端子６２２は、この吸気温接続端子６２２と吸気温センサ２３のリード線２３ａとの接触部分に対して溶接が行われることで、リード線２３ａに接続される。
　吸気温接続端子６２２には、端子孔６２２ａが設けられている。端子孔６２２ａは、吸気温接続端子６２２においてリード線２３ａが接続される位置から奥行き方向Ｚにずれた位置に設けられており、吸気温接続端子６２２を幅方向Ｘに貫通している。端子孔６２２ａは、吸気温接続端子６２２とターミナル中間部６２４との境界部に対して高さ方向Ｙに並ぶ位置であって、この境界部から高さ方向Ｙに離間した位置に設けられている。端子孔６２２ａには、細長状の板材を折り曲げてターミナル部材６４１～６４６を製造する場合や、ターミナル部材６４１～６４６を第１ハウジング部１５１に対して位置合わせする場合に、ターミナル部材６４１～６４６を保持するための冶具が挿し入れられる。これにより、治具によるターミナル部材６４１～６４６の位置保持を容易化できる。
　図４６に示すように、ハウジング２１の内面は、通過流路３１を形成する形成面として、通過天井面３４１、通過床面３４５に加えて、表通過壁面６３１、裏通過壁面６３２を有している。表通過壁面６３１と裏通過壁面６３２とは、通過天井面３４１や通過床面３４５を介して互いに対向する一対の壁面であり、これら通過天井面３４１と通過床面３４５とにかけ渡されている。表通過壁面６３１は、表計測壁面１０３からハウジング先端側に向けて延びており、裏通過壁面６３２は、裏計測壁面１０４からハウジング先端側に向けて延びている。
　ハウジング２１の内面は、表通過絞り面６３５及び裏通過絞り面６３６を有している。表通過絞り面６３５は表通過壁面６３１に含まれており、裏通過絞り面６３６は裏通過壁面６３２に含まれている。これら通過絞り面６３５，６３６は、通過流路３１の断面積が通過入口３３側から通過出口３４に向けて徐々に小さくなるように通過流路３１を徐々に絞っている。通過絞り面６３５，６３６は、通過流路３１において計測入口３５と通過出口３４との間に設けられている。通過絞り面６３５，６３６は、出口天井面３４３と通過床面３４５とにかけ渡されており、幅方向Ｘでの表通過壁面６３１と裏通過壁面６３２との離間距離を計測入口３５から通過出口３４に向けて徐々に小さくしている。通過絞り面６３５，６３６は、通過流路３１の中心線が延びる方向である奥行き方向Ｚに対して傾斜しており、いずれも通過入口３３側を向いている。
　通過絞り面６３５，６３６は、計測入口３５における通過出口３４側の端部から通過出口３４に向けて延びている。このため、第１ハウジング部１５１を樹脂成型する場合に、通過絞り面６３５，６３６における通過入口３３側の端部の位置が、製品ごとに奥行き方向Ｚにばらつくということが生じにくくなっている。この場合、通過流路３１や計測流路３２を流れる空気の量や速度が通過絞り面６３５，６３６によって製品ごとにばらつくということが生じにくいため、流量センサ２２の検出精度が製品ごとにばらつくということが抑制される。
　ハウジング２１の内面は、表絞り頂部６３７及び裏絞り頂部６３８を有している。表絞り頂部６３７は、表通過壁面６３１に含まれており、表通過絞り面６３５と通過出口３４とにかけ渡された面である。裏絞り頂部６３８は、裏通過壁面６３２に含まれており、裏通過絞り面６３６と通過出口３４とにかけ渡された面である。これら絞り頂部６３７，６３８は、通過流路３１の中心線と平行に奥行き方向Ｚに延びており、互いに対向している。
　図４６に示すように、ハウジング２１はハウジング外壁６５１を有している。ハウジング外壁６５１は、ハウジング２１の外面を形成しており、高さ方向Ｙに延びる筒状の部位になっている。ハウジング外壁６５１の外面は、ハウジング上流面２１ｃやハウジング下流面２１ｄ、ハウジング表面２１ｅ、ハウジング裏面２１ｆを形成している。ハウジング表面２１ｅ及びハウジング裏面２１ｆには、奥行き方向Ｚに真っ直ぐに延びた平坦面と、ハウジング上流側を向くようにこの平坦面に対して傾斜した傾斜面とが含まれている。計測出口３６は、ハウジング表面２１ｅ及びハウジング裏面２１ｆのそれぞれにおいて、平坦面と傾斜面との境界部を奥行き方向Ｚに跨ぐ位置に設けられている。
　ハウジング外壁６５１には、計測孔部６５２が設けられている。計測孔部６５２は、ハウジング表面２１ｅ及びハウジング裏面２１ｆのそれぞれに対して設けられており、これら計測孔部６５２の外側端部が計測出口３６をそれぞれ形成している。計測孔部６５２は、計測出口３６から幅方向Ｘに延びている。ハウジング表側に設けられた計測孔部６５２は、ハウジング表面２１ｅに設けられた計測出口３６と表計測壁面１０３とにかけ渡されている。ハウジング裏側に設けられた計測孔部６５２は、ハウジング裏面２１ｆに設けられた計測出口３６と裏計測壁面１０４とにかけ渡されている。
　計測孔部６５２の内面は、上流形成面６６１、下流形成面６６２を有している。上流形成面６６１は、計測孔部６５２のハウジング上流側の端部を形成しており、ハウジング下流側を向いている。下流形成面６６２は、計測孔部６５２のハウジング下流側の端部を形成しており、ハウジング上流側を向いている。これら上流形成面６６１及び下流形成面６６２は、幅方向Ｘにおいて計測出口３６と計測壁面１０３，１０４とにかけ渡されている。
　下流形成面６６２は、下流傾斜面６６２ａ、下流対向面６６２ｂを有している。下流傾斜面６６２ａは、幅方向Ｘに対して傾斜した方向に延び、且つ斜め外側を向いた状態で高さ方向Ｙに延びている。下流対向面６６２ｂは、幅方向Ｘに延びており、上流形成面６６１と平行に対向している。幅方向Ｘでの下流傾斜面６６２ａの幅寸法は、幅方向Ｘでの上流形成面６６１の幅寸法よりも小さくなっている。一方で、幅方向Ｘでの下流傾斜面６６２ａの幅寸法は、幅方向Ｘでの下流対向面６６２ｂの幅寸法よりも大きくなっている。
　計測孔部６５２においては、下流形成面６６２の下流傾斜面６６２ａが斜め外側を向いているため、計測出口３６から流れ出る空気が、計測流路３２において下流傾斜面６６２ａに沿ってハウジング下流側に向けて斜めに進むことになる。この場合、計測出口３６から流れ出た空気は、幅方向Ｘに対して傾斜してハウジング下流側に向けて進むことで、吸気通路１２を主流方向に流れる空気に合流しやすくなっている。このため、例えば、計測出口３６から幅方向Ｘに空気が流れ出る場合に比べて、計測出口３６の周辺において気流の乱れが生じにくくなっている。
　図６に示すように、ハウジング２１にはゲート跡７７１が設けられている。ゲート跡７７１は、少なくとも第１ハウジング部１５１のハウジング裏面２１ｆに設けられている。エアフロメータ２０の製造工程においては、射出成型機や型装置を用いて第１ハウジング部１５１の樹脂成型を行う。この型装置には、射出成型機から溶融樹脂が供給される供給通路としてのゲートが設けられており、このゲートは型装置の成型空間に通じている。このため、この型装置を用いて第１ハウジング部１５１を樹脂成型した場合、ゲート内で固化した樹脂がゲート部として第１ハウジング部１５１に接続されており、第１ハウジング部１５１からゲート部を切り離す。このように、第１ハウジング部１５１から切り離されたゲート部の痕跡がゲート跡７７１になっている。ゲート跡７７１は、例えばハウジング２１の外面に設けられた凸部等により形成されている。
　ゲート跡７７１は、高さ方向Ｙにおいてハウジング先端面２１ａよりもハウジング基端面２１ｂに設けられている。この場合、ゲート跡７７１は、ハウジング２１の入り込み部分２０ａ（図８参照）に設けられている。また、ゲート跡７７１は、奥行き方向Ｚにおいて、ハウジング上流面２１ｃよりもハウジング下流面２１ｄに近い位置に設けられている。なお、ゲート跡７７１は、ハウジング上流面２１ｃとハウジング下流面２１ｄとの中央又は中央付近に設けられていてもよい。この場合、第１ハウジング部１５１を成型する型装置の成型空間においては、幅方向Ｘでの中心又は中心付近にゲートが配置されていることになるため、ハウジング上流側とハウジング下流側とで溶融樹脂の圧力が均等になりやすい。このため、成型空間での溶融樹脂の流れが安定しやすくなり、この溶融樹脂が固化した状態の第１ハウジング部１５１が意図せずに変形したり破損したりするということが抑制される。
　図６、図７に示すように、ハウジング２１の外面には押さえ部７７２～７７４が設けられている。押さえ部７７２～７７４は、ハウジング表面２１ｅ及びハウジング裏面２１ｆのそれぞれに設けられた凹部である。押さえ部７７２～７７４は、第１ハウジング部１５１に設けられており、第１ハウジング部１５１の樹脂成型に際して型装置により押さえるようにして形成されている。このため、押さえ部７７２～７７４を型押さえ部と称することもできる。また、押さえ部７７２～７７４を肉盗み部と称することもできる。
　押さえ部７７２～７７４のうち上流押さえ部７７２は、ハウジング表面２１ｅ及びハウジング裏面２１ｆのそれぞれに複数ずつ（例えば３つずつ）設けられている。上流押さえ部７７２は、奥行き方向Ｚにおいてハウジング下流面２１ｄよりもハウジング上流面２１ｃに近い位置に配置されている。各上流押さえ部７７２は、高さ方向Ｙに細長状に延びており、ハウジング表面２１ｅ及びハウジング裏面２１ｆのそれぞれにおいてハウジング上流面２１ｃに沿って高さ方向Ｙに直列に並べられている。ハウジング表面２１ｅ及びハウジング裏面２１ｆのそれぞれにおいて、複数の上流押さえ部７７２を１つの集合体と称すると、これら集合体は、高さ方向Ｙにおいてハウジング先端面２１ａとハウジング基端面２１ｂとの中央又は中央付近に配置されている。
　押さえ部７７２～７７４のうち下流押さえ部７７３は、ハウジング表面２１ｅ及びハウジング裏面２１ｆのそれぞれに複数ずつ（例えば３つずつ）設けられている。下流押さえ部７７３は、奥行き方向Ｚにおいてハウジング上流面２１ｃよりもハウジング下流面２１ｄに近い位置に配置されている。各下流押さえ部７７３は、高さ方向Ｙに細長状に延びており、ハウジング表面２１ｅ及びハウジング裏面２１ｆのそれぞれにおいてハウジング下流面２１ｄに沿って高さ方向Ｙに直列に並べられている。ハウジング表面２１ｅ及びハウジング裏面２１ｆのそれぞれにおいて、複数の下流押さえ部７７３を１つの集合体と称すると、これら集合体は、高さ方向Ｙにおいてハウジング先端面２１ａとハウジング基端面２１ｂとの中央又は中央付近に配置されている。
　押さえ部７７２～７７４のうち先端押さえ部７７４は、ハウジング表面２１ｅ及びハウジング裏面２１ｆのそれぞれに複数ずつ（例えば２つずつ）設けられている。先端押さえ部７７４は、高さ方向Ｙにおいてハウジング基端面２１ｂよりもハウジング先端面２１ａに近い位置に配置されている。各先端押さえ部７７４は、奥行き方向Ｚに細長状に延びており、ハウジング表面２１ｅ及びハウジング裏面２１ｆのそれぞれにおいてハウジング先端面２１ａに沿って奥行き方向Ｚに直列に並べられている。ハウジング表面２１ｅ及びハウジング裏面２１ｆのそれぞれにおいて、複数の先端押さえ部７７４を１つの集合体と称すると、これら集合体は、奥行き方向Ｚにおいてハウジング下流面２１ｄよりもハウジング上流面２１ｃに近い位置に配置されている。なお、これら集合体は、ハウジング上流面２１ｃとハウジング下流面２１ｄとの中央又は中央付近に配置されている。
　ハウジング２１の成型工程においては、ＤＳＩ（ダイスライドインジェクション）成形技術が用いられている。具体的には、型装置を用いて第１ハウジング部１５１を成型し、その後、この型装置を用いて第１ハウジング部１５１と第２ハウジング部１５２とを接合する２次成型を連続して行う。この型装置においては、ＤＳＩ成型を行う際に、型装置による第１ハウジング部１５１の型押さえを押さえ部７７２～７７４を用いて確実に行うことができるため、第１ハウジング部１５１と第２ハウジング部１５２とを確実に結合できる。また、第１ハウジング部１５１と第２ハウジング部１５２との相対的な位置関係が意図せずにずれるということが押さえ部７７２～７７４により規制されるため、バイパス流路３０の形状や大きさが設計上の形状や大きさからずれることを抑制できる。この場合、計測流路３２を流れる空気の流量と流量センサ２２との出力結果との関係に誤差が含まれにくくなるため、流量センサ２２の検出精度が向上する。
　ハウジング２１の外面には外溝部７７５が設けられている。外溝部７７５は、ハウジング表面２１ｅ及びハウジング裏面２１ｆのそれぞれに設けられた溝部である。ハウジング表面２１ｅに設けられた外溝部７７５と、ハウジング裏面２１ｆに設けられた外溝部７７５とは、基本的には同じ形状及び同じ大きさになっている。外溝部７７５は、第１ハウジング部１５１に設けられており、基本的に高さ方向Ｙに延びている。ハウジング裏面２１ｆにおいては、外溝部７７５の底面から先端保護凸部６１５が幅方向Ｘに延びている。なお、外溝部７７５を肉盗み部と称することもできる。
　外溝部７７５におけるハウジング基端側の端部は、高さ方向Ｙにおいて計測出口３６とシール保持部２５との間に設けられており、高さ方向Ｙにおいてシール保持部２５よりも計測出口３６に近い位置に配置されている。また、この端部は、奥行き方向Ｚにおいて、ハウジング上流面２１ｃとハウジング下流面２１ｄとの中央又は中央付近に配置されており、この端部には先端保護凸部６１５が設けられている。
　外溝部７７５は、ハウジング基端側の端部から計測出口３６とハウジング下流面２１ｄとの間を通ってハウジング先端側に向けて延び、且つ高さ方向Ｙにおいて計測出口３６とハウジング先端面２１ａとの間をハウジング上流面２１ｃに向けて延びている。外溝部７７５におけるハウジング先端側の端部は、高さ方向Ｙにおいて計測出口３６とハウジング先端面２１ａとの間に設けられており、高さ方向Ｙにおいてハウジング先端面２１ａよりも計測出口３６に近い位置に配置されている。また、この端部は、奥行き方向Ｚにおいて、ハウジング下流面２１ｄよりもハウジング上流面２１ｃに近い位置に設けられている。
　外溝部７７５は、縦溝部７７５ａ、傾斜溝部７７５ｂ及び横溝部７７５ｃを有している。縦溝部７７５ａは、外溝部７７５におけるハウジング基端側の端部を形成しており、高さ方向Ｙに延びている。横溝部７７５ｃは、外溝部におけるハウジング先端側の端部を形成しており、奥行き方向Ｚに延びている。傾斜溝部７７５ｂは、縦溝部７７５ａのハウジング先端側の端部と、横溝部７７５ｃにおけるハウジング下流側の端部とを接続しており、高さ方向Ｙ及び奥行き方向Ｚのいずれに対しても傾斜した方向に延びている。
　ハウジング表面２１ｅ及びハウジング裏面２１ｆのそれぞれにおいて計測出口３６の周辺に外溝部７７５が設けられていることで、吸気通路１２を空気と共に流れる異物が、外溝部７７５に沿って流れやすくなり、計測出口３６に進入しにくくなる。また、計測出口３６の周辺においては、外溝部７７５が設けられていることで空気の流れが速くなりにくい。このため、計測流路３２から計測出口３６を通じて流れ出る空気が乱れにくくなっている。
　ハウジング上流面２１ｃは、上流突出部７８１、上流中間部７８２、入口形成部７８３を有している。上流突出部７８１は、奥行き方向Ｚにおいて上流中間部７８２及び入口形成部７８３のいずれよりもハウジング上流側に突出している。幅方向Ｘでの上流突出部７８１の幅寸法はハウジング上流側に向けて徐々に小さくなっており、上流突出部７８１の上流端部は高さ方向Ｙに稜線状に延びている。上流突出部７８１は、高さ方向Ｙにおいて入口形成部７８３とシール保持部２５との間に設けられている。高さ方向Ｙにおいては、上流突出部７８１の長さ寸法が、上流中間部７８２及び入口形成部７８３の各長さ寸法のいずれよりも大きくなっている。
　上流押さえ部７７２は、上流突出部７８１とハウジング表面２１ｅ及びハウジング裏面２１ｆとの境界部を奥行き方向Ｚに跨ぐ位置に設けられている。ハウジング上流面２１ｃのうち上流突出部７８１は、吸気通路１２において斜め上流側を向いているため、上流押さえ部７７２も通過流路３１において斜め上流側に向けて開放されている。この場合、ハウジング２１を上流側から見た場合に、上流押さえ部７７２の内部の一部が見える。このように、上流押さえ部７７２が斜め上流側に向けて開放されていることで、各上流押さえ部７７２にて小さい乱流が発生しやすくなっており、この小さい乱流によって大きな乱流が発生するということが抑制される。
　上流中間部７８２は、高さ方向Ｙにおいて入口形成部７８３と上流突出部７８１との間に設けられており、奥行き方向Ｚに直交する方向に平坦状に延びている。上流中間部７８２は、奥行き方向Ｚにおいて、上流突出部７８１と入口形成部７８３との間に設けられている。具体的には、上流中間部７８２は、奥行き方向Ｚにおいて上流突出部７８１と入口形成部７８３との間に設けられている。高さ方向Ｙにおいては、上流中間部７８２の長さ寸法が、上流突出部７８１及び入口形成部７８３の各長さ寸法のいずれよりも小さくなっている。
　入口形成部７８３は、ハウジング上流面２１ｃのうち、ハウジング先端面２１ａからハウジング基端側に向けて延びた細長状の面であり、奥行き方向Ｚに直交している。入口形成部７８３には通過入口３３が設けられている。
　上述したように、ハウジング上流面２１ｃにおいては、平坦面状である上流中間部７８２が通過入口３３よりもハウジング上流側に設けられている。このため、通過入口３３に流れ込む空気の量や速度のばらつきが生じにくくなることなどにより、流量センサ２２の検出精度がばらつきにくくなる。また、空気と共に吸気通路１２を下流側に向けて流れてきた異物が、上流中間部７８２に当たって跳ね返されることなどにより、通過入口３３に進入しにくくなっている。このため、流量センサ２２の検出精度が異物により低下するということが抑制される。
　ハウジング下流面２１ｄは、下流突出部７８５、出口形成部７８６を有している。下流突出部７８５は、奥行き方向Ｚにおいて出口形成部７８６よりもハウジング上流側に突出している。幅方向Ｘでの下流突出部７８５の幅寸法はハウジング下流側に向けて徐々に小さくなっており、下流突出部７８５の下流端部は高さ方向Ｙに延びた細長状になっている。下流突出部７８５は、高さ方向Ｙにおいて出口形成部７８６とシール保持部２５との間に設けられている。高さ方向Ｙにおいては、下流突出部７８５の長さ寸法が出口形成部７８６の長さ寸法よりも大きくなっている。
　出口形成部７８６は、ハウジング下流面２１ｄのうち、ハウジング先端面２１ａからハウジング基端側に向けて延びた細長状の面であり、奥行き方向Ｚに直交している。出口形成部７８６には通過出口３４が設けられている。
　ハウジング下流面２１ｄにおいては、下流突出部７８５と出口形成部７８６との境界部に下流段差面７８７が設けられている。下流段差面７８７は、出口形成部７８６からハウジング下流側に向けて延びており、ハウジング先端側を向いている。
　後述するように、ハウジング２１の内面において通過流路３１を形成する面には、出口天井面３４３（図６５参照）が含まれている。出口天井面３４３は、通過出口３４から通過入口３３に向けて奥行き方向Ｚに延びている。下流段差面７８７は、通過出口３４のハウジング基端側の端部からハウジング下流側に向けて延びている。すなわち、下流段差面７８７は、出口天井面３４３からハウジング下流側に向けて延びている。下流段差面７８７と出口天井面３４３とは奥行き方向Ｚに連続した面になっており、これら下流段差面７８７と出口天井面３４３との境界部に段差面が生じないようになっている。
　上述したように、出口天井面３４３と下流段差面７８７とが互いに連続した状態になっている。このため、空気と共に通過流路３１を通過出口３４に向けて流れる異物が、出口天井面３４３を通過して通過出口３４から流出した後に下流段差面７８７に当たって跳ね返るようにして再び通過流路３１の内部に戻る、ということが生じにくくなっている。したがって、通過出口３４の周辺で気流の乱れが生じて計測入口３５から計測流路３２に異物が進入する、ということが抑制される。
　ハウジング２１において、通過出口３４の下流側に下流段差面７８７が設けられているため、奥行き方向Ｚでの通過流路３１の長さ寸法が下流段差面７８７の分だけ小さくなっている。すなわち、下流段差面７８７によって通過流路３１が短尺化されている。このため、通過流路３１を流れる空気に対して圧力損失や摩擦損失が生じている場合に、これら圧力損失や摩擦損失を低減できる。
　ハウジング２１の製造工程において、ハウジング２１の樹脂成型には、絶縁性を有する絶縁材料に、導電性を有する導電材料が混ぜられた樹脂材料が用いられている。この場合、導電材料は絶縁材料に比べて少ない量が用いられる。このため、ハウジング２１においては、絶縁材料により形成された絶縁部が主要部を形成しており、導電材料により形成された導電部が絶縁部に点在するように含まれた状態になっている。絶縁材料としては、ポリブチレンテレフタレート樹脂であるＰＢＴ樹脂や、ポリフェニレンサルファイド樹脂であるＰＰＳ樹脂などが用いられている。導電材料としてはカーボン材料などが用いられている。カーボン材料には、カーボン粉やカーボン繊維、ナノカーボン、グラフェン、炭素マイクロ粒子などが含まれている。
　ハウジング２１においては、絶縁部に含まれている導電部の割合が、第２ハウジング部１５２よりも第１ハウジング部１５１の方が大きくなっている。この構成では、第１ハウジング部１５１では、第２ハウジング部１５２に比べて、導電部同士の離間距離が近くなりやすいことなどにより絶縁部の絶縁破壊が生じやすくなっている。このため、吸気通路１２において第１ハウジング部１５１にマイナス電荷が溜まるなどして第１ハウジング部１５１が帯電したとしても、マイナス電荷が絶縁破壊を伴って複数の導電部を移動して吸気管１４ａ等からグランドに放出されやすくなっている。したがって、第１ハウジング部１５１に溜まったマイナス電荷が流量センサ２２に移動し、流量センサ２２がマイナス電荷で帯電することで流量センサ２２の検出精度が低下する、ということが生じにくくなっている。
　一方で、第２ハウジング部１５２では、第１ハウジング部１５１に比べて、絶縁部に対する導電部の割合が小さいことにより帯電しにくくなっている。ハウジング２１においては、吸気管１４ａの外側に第２ハウジング部１５２がはみ出した状態になっていることなどに起因して、ユーザ等の人がエアフロメータ２０に手等で触れる場合に、触れる部位が第２ハウジング部１５２になりやすい。このため、人からマイナス電荷等の電荷が第２ハウジング部１５２に移動して第２ハウジング部１５２が帯電することが懸念される。これに対して、第２ハウジング部１５２が第１ハウジング部１５１に比べて帯電しにくいため、人が第２ハウジング部１５２に触れても、第２ハウジング部１５２に電荷が溜まってその電荷が流量センサ２２に到達する、ということが生じにくくなっている。
　また、第２ハウジング部１５２について、絶縁部に対する導電部の割合を第１ハウジング部１５１ほど大きくする必要がない。このため、導電材料が絶縁材料よりも安価であれば、第２ハウジング部１５２の製造コストを低減しやすくなる。
　図４７に示すように、ハウジング２１においては、第１ハウジング部１５１と第２ハウジング部１５２とが互いに噛み合った状態になっている。図１９、図４７、図５２、図５４、図５５に示すように、第１ハウジング部１５１は、基端凹部７９２及び基端凸部７９３を有しており、第２ハウジング部１５２は、これら基端凹部７９２及び基端凸部７９３に噛み合った形状になっている。第１ハウジング部１５１においては、ハウジング先端面２１ａとは反対側の端部に第１基端面７９１が含まれており、基端凹部７９２及び基端凸部７９３は、第１基端面７９１に複数ずつ設けられている。第１基端面７９１は、高さ方向Ｙに直交する方向Ｘ，Ｚにおいてコネクタ凹部２８ｂに横並びに設けられている。なお、第１ハウジング部１５１においては、ハウジング先端面２１ａを第１先端面と称することもできる。
　基端凹部７９２は、第１基端面７９１からハウジング先端面２１ａ側に向けて高さ方向Ｙに延びている。ＳＡ収容領域１５０は、基端凹部７９２と同様に、第１基端面７９１からハウジング先端側に向けて高さ方向Ｙに延びている。第１基端面７９１には、基端凹部７９２の開口と、ＳＡ収容領域１５０の開口であるハウジング開口部１５１ａとがそれぞれ設けられている。基端凹部７９２は、幅方向Ｘ及び奥行き方向Ｚのいずれにおいても複数並べられている。この場合、複数の基端凹部７９２は、幅方向Ｘ及び奥行き方向ＺのいずれにおいてもＳＡ収容領域１５０に並んだ状態になっており、さらに、第１基端面７９１の外周縁に沿って複数並べられた状態になっている。
　第１ハウジング部１５１は、凹仕切部７９４及び凹外周部７９５を有している。凹外周部７９５は、幅方向Ｘや奥行き方向Ｚにおいて、複数の基端凹部７９２よりも外側において第１ハウジング部１５１の外面を形成しており、複数の基端凹部７９２が設けられた領域の外周縁に沿って延びている。凹仕切部７９４は、凹外周部７９５から幅方向Ｘや奥行き方向Ｚに延びた状態で、凹外周部７９５と共に基端凹部７９２を形成している。凹仕切部７９４は、幅方向Ｘや奥行き方向Ｚに隣り合う基端凹部７９２の境界部に設けられている。基端凹部７９２は凹仕切部７９４及び凹外周部７９５の少なくとも凹仕切部７９４により形成されている。ＳＡ収容領域１５０は、幅方向Ｘ及び奥行き方向Ｚのいずれにおいても凹外周部７９５から離間した位置に設けられており、凹仕切部７９４により形成されている。
　凹仕切部７９４及び凹外周部７９５のハウジング基端側の端面は、それぞれ第１基端面７９１に含まれている。凹仕切部７９４及び凹外周部７９５は、基端凹部７９２と同様に、第１基端面７９１からハウジング先端面２１ａ側に向けて高さ方向Ｙに延びている。第１ハウジング部１５１においては、基端凹部７９２が幅方向Ｘや奥行き方向Ｚに複数並べられていることで、幅方向Ｘや奥行き方向Ｚにおける凹仕切部７９４や凹外周部７９５の肉厚が大きすぎないようになっている。すなわち、第１ハウジング部１５１に基端凹部７９２が設けられていることで、第１ハウジング部１５１が１つの樹脂の塊にならないようになっている。このように、基端凹部７９２は、第１ハウジング部１５１において肉盗み部としての役割を果たしている。このため、第１ハウジング部１５１を樹脂成型する場合に第１ハウジング部１５１が意図せずに変形することや、第１ハウジング部１５１にボイド等の気泡が生じること、などが生じにくくなっている。
　複数の基端凹部７９２において、凹外周部７９５に近い基端凹部７９２ほど高さ方向Ｙでの深さ寸法が小さくなっている。この場合、ＳＡ収容領域１５０に近い基端凹部７９２ほど深さ寸法が大きくなっている。高さ方向Ｙにおいて、ＳＡ収容領域１５０の深さ寸法は、書く基端凹部７９２の深さ寸法のいずれよりも大きくなっている。なお、複数の基端凹部７９２の深さ寸法は均一になっていてもよい。また、ＳＡ収容領域１５０の深さ寸法は、少なくとも１つの基端凹部７９２の深さ寸法よりも小さくなっていてもよい。
　基端凸部７９３は、第１基端面７９１からハウジング先端面２１ａとは反対側に向けて高さ方向Ｙに延びている。すなわち、基端凸部７９３は、第１基端面７９１から基端凹部７９２とは反対側に向けて延びている。基端凸部７９３は、凹仕切部７９４及び凹外周部７９５の少なくとも凹外周部７９５からハウジング基端側に向けて延びている。複数の基端凸部７９３は、第１基端面７９１の外周縁に沿って並べられている。
　図４７に示すように、第２ハウジング部１５２は、第２ベース部７９７及び第２延出部７９８を有している。第２ベース部７９７は、ハウジング基端面２１ｂを形成しており、第１ハウジング部１５１の第１基端面７９１に重ねられた部位である。高さ方向Ｙにおいて、第２ベース部７９７の厚さ寸法は、コネクタ部２８の高さ寸法よりも小さくなっている。第２延出部７９８は、第２ベース部７９７からハウジング先端側に向けて高さ方向Ｙに延びている。第２ハウジング部１５２は、第２延出部７９８を複数有しており、各第２延出部７９８は、それぞれ基端凹部７９２の内部に入り込んだ状態になっている。
　第２ハウジング部１５２の製造工程において、基端凹部７９２の内部に充填された溶融樹脂が固化することで第２延出部７９８が形成される。このように、第２延出部７９８が基端凹部７９２に応じた形状や大きさになっているため、第１ハウジング部１５１と同様に、第２ハウジング部１５２はが１つの樹脂の塊にならないようになっている。このため、第２ハウジング部１５２を樹脂成型する場合に、第２ハウジング部１５２が意図せずに変形することや、第２ハウジング部１５２にボイド等の気泡が生じること、などが生じにくくなっている。なお、第１ハウジング部１５１や第２ハウジング部１５２にボイド等の気泡が生じた場合、この気泡を通じて外気や水等が接続ターミナル６２０やリード端子５３ａに触れることで、これら接続ターミナル６２０やリード端子５３ａが腐食することが懸念される。
　第１ハウジング部１５１と第２ハウジング部１５２とは、基端凹部７９２や第２延出部７９８によって互いの接触面積が拡大されていることで、互いに密着しやすくなっている。図４７～図５１、図５４～図５７に示すように、第１ハウジング部１５１は、外壁凸部７９６を有しており、この外壁凸部７９６によっても、第１ハウジング部１５１と第２ハウジング部１５２との接触面積が拡大されている。外壁凸部７９６は、凹外周部７９５の外壁面に設けられた凸部であり、高さ方向Ｙに直交する方向Ｘ，Ｚに延びている。外壁凸部７９６は、凹外周部７９５の周りを一周していることで環状になっており、高さ方向Ｙに複数並べられている。このように、外壁凸部７９６が幅方向Ｘや奥行き方向Ｚに突出しているため、第１ハウジング部１５１が第２ハウジング部１５２から高さ方向Ｙに離脱するということに対して抑止力が発揮される。
　図４７、図４８、図４９に示すように、第１ハウジング部１５１は、表側部材９４１及び裏側部材９４２を有している。第１ハウジング部１５１は、バイパス流路３０を形成している流路形成部であり、表側部材９４１はバイパス流路３０をハウジング表側から形成し、裏側部材９４２はバイパス流路３０をハウジング裏側から形成している。表側部材９４１の外面には、ハウジング表面２１ｅを形成する部位が含まれており、裏側部材９４２の外面には、ハウジング裏面２１ｆを形成する部位が含まれている。表側部材９４１の内面及び裏側部材９４２の内面には、バイパス流路３０を形成する形成面が含まれている。
　表側部材９４１は、領域形成部９４１ａ及び流路形成部９４１ｂを有している。領域形成部９４１ａはＳＡ収容領域１５０を形成しており、流路形成部９４１ｂはバイパス流路３０を形成している。流路形成部９４１ｂは、領域形成部９４１ａからハウジング先端側に向けて延びている。流路形成部９４１ｂには、先端保護凸部６１５、上流保護凸部６１６、下流保護凸部６１７、リード支持部６１８及びシール保持部２５が含まれている。裏側部材９４２は、領域形成部９４１ａのハウジング先端側において、流路形成部９４１ｂに幅方向Ｘに横並びに設けられている。上述したように、裏側部材９４２は、流路形成部９４１ｂと共にバイパス流路３０を形成しているため、裏側部材９４２を流路形成部と称することができる。表側部材９４１の流路形成部９４１ｂと裏側部材９４２とは、第１ハウジング部１５１のうち領域形成部９４１ａよりもハウジング先端側の部位を幅方向に分割する状態になっている。
　領域形成部９４１ａには、シール保持部２５や上流保護凸部６１６、下流保護凸部６１７、凹仕切部７９４、凹外周部７９５が含まれている。領域形成部９４１ａにおいては、凹外周部７９５によりシール保持部２５が形成されている。
　なお、表側部材９４１ではなく裏側部材９４２がＳＡ収容領域１５０を形成していてもよい。例えば、ＳＡ収容領域１５０を形成する領域形成部が裏側部材９４２に含まれていてもよい。また、この領域形成部は、表側部材９４１及び裏側部材９４２のいずれからも独立した部材になっており、この部材と表側部材９４１と裏側部材９４２とが互いに組み付けられることで第１ハウジング部１５１が形成されていてもよい。
　図４７、図５４、図５５に示すように、ハウジング２１はリード挿通孔６１９を有している。リード挿通孔６１９は、第１ハウジング部１５１に設けられており、リード支持部６１８から第１基端面７９１に向けて高さ方向Ｙに延びている。リード挿通孔６１９は第１基端面７９１においてハウジング基端側に向けて開放されている。この場合、リード挿通孔６１９におけるハウジング基端側の端部は第１基端面７９１に設けられている。リード挿通孔６１９には、吸気温センサ２３から延びたリード線２３ａが挿通されている。リード挿通孔６１９は、リード支持部６１８において閉鎖されている。
　図５５に示すように、第１ハウジング部１５１に吸気温センサ２３及びリード線２３ａが組み付けられる前の状態では、リード挿通孔６１９が、少なくともリード支持部６１８を高さ方向Ｙに貫通している。この状態では、リード挿通孔６１９は、第１ハウジング部１５１を高さ方向Ｙに貫通しており、リード支持部６１８を介してハウジング先端側に向けて開放されている。リード線２３ａがリード支持部６１８側の端部から挿通された状態で、上述した熱かしめがリード支持部６１８に対して行われることで、リード挿通孔６１９がリード支持部６１８にて閉鎖され、且つリード支持部６１８に対してリード線２３ａが固定される。このように、リード支持部６１８は、リード線２３ａを支持する機能に加えて、リード挿通孔６１９を閉鎖する閉鎖部としての機能を有している。
　リード支持部６１８がリード挿通孔６１９を閉鎖している。このため、第２ハウジング部１５２の樹脂成型に伴って溶融樹脂がリード挿通孔６１９に流れ込んだ場合に、この溶融樹脂がリード支持部６１８においてリード挿通孔６１９から漏れ出すということが規制される。また、エアフロメータ２０が吸気通路１２に設置された状態では、吸気通路１２から空気や水等がリード挿通孔６１９に進入するということがリード支持部６１８によって規制される。このため、ハウジング２１の内部においてリード線２３ａや接続ターミナル６２０、リード端子５３ａが腐食するということが生じにくくなっている。
　本実施形態とは異なり、例えば、リード挿通孔６１９にシール材を注入することでリード支持部６１８においてリード挿通孔６１９が閉鎖された構成を想定する。この構成では、シール材として、エポキシ系接着剤やシリコン系接着剤を用いることができる。これに対して、本実施形態のように、リード挿通孔６１９が熱かしめによって閉鎖された構成では、リード挿通孔６１９を塞ぐためにシール材を用いる必要がない。このため、材料費に関してシール材の分だけコスト低減を図ることができる。
　図４７、図５４、図５５に示すように、ハウジング２１はハウジング膨出部９４５を有している。ハウジング膨出部９４５は、シール保持部２５からハウジング先端側に向けて膨らむように突出した部位である。ハウジング膨出部９４５は、ハウジング表面２１ｅからハウジング表側に向けて突出した部位と、ハウジング裏面２１ｆからハウジング裏側に向けて突出した部位とを有している。ハウジング表面２１ｅ及びハウジング裏面２１ｆは、ハウジング膨出部９４５からハウジング先端側に向けて延びている。ＳＡ収容領域１５０は、ハウジング膨出部９４５を高さ方向Ｙに貫通している。ハウジング膨出部９４５は、表側部材９４１及び裏側部材９４２の両方により形成されている。ハウジング膨出部９４５には、リード支持部６１８及びゲート跡７７１（図５０参照）が設けられている。
　図５２、図５４に示すように、接続ターミナル６２０は、第１基端面７９１に沿って延びた状態になっている。この状態では、図５２、図５３、図５４に示すように、接続ターミナル６２０のコネクタ端子２８ａ及び調整接続端子６２３が、高さ方向Ｙに直交する方向Ｘ，Ｚにおいて第１基端面７９１から側方に突出している。具体的には、コネクタ端子２８ａ及び調整接続端子６２３は、第１基端面７９１からハウジング表側に突出している。この場合、高さ方向Ｙに直交する方向Ｘ，Ｚにおいて、ターミナル部材６４３～６４６が第１基端面７９１から幅方向Ｘに突出している一方で、第１ターミナル部材６４１及び第２ターミナル部材６４２は第１基端面７９１から幅方向Ｘに突出していない。ターミナル部材６４３～６４６においては、コネクタ端子２８ａ及び調整接続端子６２３に加えて、それぞれのターミナル中間部６２４が第１基端面７９１から幅方向Ｘに突出している。
　図５２、図５４において、ハウジング２１の製造工程では、接続ターミナル６２０を第１基端面７９１に設置し、接続ターミナル６２０をリード端子５３ａやリード線２３ａに溶接等で接続する。そして、接続ターミナル６２０が第１基端面７９１に載せられた状態で第２ハウジング部１５２を樹脂成型する。この樹脂成型においては、コネクタ端子２８ａがコネクタ凹部２８ｂに露出するように、接続ターミナル６２０を第１ハウジング部１５１及び第２ハウジング部１５２で封止する。
　図１９、図５２に示すように、第１ハウジング部１５１は、ターミナル保持部９４７を有している。ターミナル保持部９４７は第１基端面７９１に複数設けられている。ターミナル保持部９４７は、第１基端面７９１の上に接続ターミナル６２０が載せられた状態で、この接続ターミナル６２０の位置を保持する部位である。ターミナル保持部９４７は、第１基端面７９１に設けられた凸部であり、接続ターミナル６２０が第１基端面７９１に対して相対的に位置ずれすることを規制する。ターミナル保持部９４７は、凹仕切部７９４及び凹外周部７９５のいずれにも設けられており、これら凹仕切部７９４及び凹外周部７９５からハウジング基端側に向けて延びている。ターミナル保持部９４７は、少なくとも幅方向Ｘ及び奥行き方向Ｚについて接続ターミナル６２０の移動を規制している。
　ターミナル部材６４１～６４６は、第１ハウジング部１５１においてターミナル保持部９４７によって位置保持されている。ターミナル保持部９４７は、ターミナル部材６４１～６４６のターミナル凹部６２７の内部に入り込んだ状態になっており、この状態で、ターミナル保持部９４７とターミナル凹部６２７とが互いに引っ掛かった状態になっている。例えば、ターミナル部材６４１～６４６は、奥行き方向Ｚに並べられた２つのターミナル保持部９４７の間に入り込んだ状態になっていることで、これらターミナル保持部９４７により奥行き方向Ｚへの移動が規制されている。また、ターミナル凹部６２７の内部にターミナル保持部９４７が入り込んだ状態になっていることで、幅方向Ｘへのターミナル中間部６２４の移動がターミナル保持部９４７により規制される。
　第１ハウジング部１５１において、凹仕切部７９４にはターミナル沿い部７９４ａが含まれている。ターミナル沿い部７９４ａは、ターミナル中間部６２４に沿って幅方向Ｘや奥行き方向Ｚに延びており、ターミナル沿い部７９４ａのハウジング先端側の端面は第１基端面７９１に含まれている。ターミナル中間部６２４は、ターミナル沿い部７９４ａに載せられた状態になっている。この場合、ターミナル沿い部７９４ａは、ターミナル中間部６２４をハウジング先端側から支持した状態になっている。例えば、ターミナル沿い部７９４ａは、凹外周部７９５からハウジング開口部１５１ａに向けて延びている。
　図５６、図５７に示すように、第１ハウジング部１５１にセンサＳＡ５０が装着されていない状態では、計測流路３２がＳＡ挿入孔１０７やＳＡ収容領域１５０、ハウジング開口部１５１ａを介してハウジング基端側に向けて開放されている。
　（第２実施形態）
　上記第１実施形態では、ＳＡ収容領域１５０に通じるハウジング開口部１５１ａが第１ハウジング部１５１のハウジング基端側に設けられていた。これに対して、第２実施形態では、ＳＡ収容領域２９０に通じるベース開口部２９１ａがベース部材２９１のハウジング表側に設けられている。本実施形態では、物理量計測装置としてエアフロメータ２０に代えてエアフロメータ２００が燃焼システム１０に含まれている。本実施形態において、第１実施形態での図面と同一符号を付した構成部品及び説明しない構成は、上記第１実施形態と同様であり、同様の作用効果を奏するものである。本実施形態では、上記第１実施形態との相違点を中心に説明する。
　図５８、図５９に示すように、エアフロメータ２００が吸気通路１２に設けられている。エアフロメータ２００は、上記第１実施形態のエアフロメータ２０と同様に、物理量を計測する物理量計測装置であり、配管ユニット１４（図２、図８参照）に取り付けられている。
　エアフロメータ２００は、吸気通路１２に入り込んだ入り込み部分２００ａと、吸気通路１２に入り込まずに管フランジ１４ｃから外部にはみ出したはみ出し部分２００ｂとを有している。これら入り込み部分２００ａとはみ出し部分２００ｂとは高さ方向Ｙに並んでいる。
　エアフロメータ２００は、ハウジング２０１と、吸入空気の流量を検出する流量センサ２０２とを有している。ハウジング２０１は、例えば樹脂材料等により形成されている。流量センサ２０２はハウジング２０１の内部に収容されている。エアフロメータ２００においては、ハウジング２０１が吸気管１４ａに取り付けられていることで、流量センサ２０２が、吸気通路１２を流れる吸入空気と接触可能な状態になる。
　ハウジング２１は、取り付け対象としての配管ユニット１４に取り付けられている。ハウジング２０１の外面においては、高さ方向Ｙに並んだ一対の端面２０１ａ，２０１ｂのうち、入り込み部分２００ａに含まれた方をハウジング先端面２０１ａと称し、はみ出し部分２００ｂに含まれた方をハウジング基端面２０１ｂと称する。ハウジング先端面２０１ａ及びハウジング基端面２０１ｂは高さ方向Ｙに直交している。
　ハウジング２０１の外面においては、吸気通路１２の上流側に配置される面をハウジング上流面２０１ｃと称し、ハウジング上流面２０１ｃとは反対側に配置される面をハウジング下流面２０１ｄと称する。また、ハウジング上流面２０１ｃ及びハウジング基端面２０１ｂを介して対向する一対の面のうち一方をハウジング表面２０１ｅと称し、他方をハウジング裏面２０１ｆと称する。ハウジング表面２０１ｅは、後述するセンサＳＡ２２０において流量センサ２０２が設けられた側の面である。
　なお、ハウジング２０１については、高さ方向Ｙにおいて、ハウジング先端面２０１ａ側をハウジング先端側と称し、ハウジング基端面２０１ｂ側をハウジング基端側と称する。また、奥行き方向Ｚにおいて、ハウジング上流面２０１ｃ側をハウジング上流側と称し、ハウジング下流面２０１ｄ側をハウジング下流側と称する。さらに、幅方向Ｘにおいて、ハウジング表面２０１ｅ側をハウジング表側と称し、ハウジング裏面２０１ｆをハウジング裏側と称する。
　図５８、図５９、図６０に示すように、ハウジング２０１は、シール保持部２０５、フランジ部２０７及びコネクタ部２０８を有している。エアフロメータ２００はシール部材２０６を有しており、シール部材２０６はシール保持部２５に取り付けられている。
　シール保持部２０５は、管フランジ１４ｃの内部に設けられており、シール部材２０６を高さ方向Ｙに位置ずれしないように保持している。シール保持部２０５は、エアフロメータ２００の入り込み部分２００ａに含まれている。シール部材２０６は、管フランジ１４ｃの内部において吸気通路１２を密閉するＯリング等の部材であり、シール保持部２０５の外周面と管フランジ１４ｃの内周面との両方に密着している。コネクタ部２０８は、流量センサ２０２に電気的に接続されたコネクタ端子２０８ａを保護する保護部である。コネクタ端子２０８ａは、ＥＣＵ１５から延びた電気配線がプラグ部を介してコネクタ部２０８に接続されることでＥＣＵ１５に電気的に接続される。例えば、コネクタ端子２０８ａは、プラグ部のプラグ端子に電気的に且つ機械的に接続される。フランジ部２０７及びコネクタ部２０８は、エアフロメータ２００のはみ出し部分２００ｂに含まれている。
　ハウジング２０１は、バイパス流路２１０を有している。バイパス流路２１０は、ハウジング２０１の内部に設けられており、ハウジング２０１の内部空間の少なくとも一部により形成されている。ハウジング２０１の内面は、バイパス流路２１０を形成しており、形成面になっている。
　バイパス流路２１０は、エアフロメータ２００の入り込み部分２００ａに配置されている。バイパス流路２１０は、通過流路２１１及び計測流路２１２を有している。計測流路２１２には、後述するセンサＳＡ２２０のうち流量センサ２０２とその周囲の部分とが入り込んだ状態になっている。通過流路２１１は、ハウジング２０１の内面により形成されている。計測流路２１２は、ハウジング２０１の内面に加えてセンサＳＡ２２０の一部の外面により形成されている。なお、吸気通路１２を主通路と称し、バイパス流路２１０を副通路と称することもできる。
　通過流路２１１は、奥行き方向Ｚにハウジング２０１を貫通している。通過流路２１１は、その上流端部である通過入口２１３と、下流端部である通過出口２１４とを有している。計測流路２１２は、通過流路２１１の中間部分から分岐した分岐流路であり、この計測流路２１２に流量センサ２０２が設けられている。計測流路２１２は、その上流端部である計測入口２１５と、下流端部である計測出口２１６とを有している。通過流路２１１から計測流路２１２が分岐した部分はこれら通過流路２１１と計測流路２１２との境界部になっており、この境界部に計測入口２１５が含まれている。また、通過流路２１１と計測流路２１２との境界部を流路境界部と称することもできる。
　計測流路２１２は、通過流路２１１からハウジング基端側に向けて延びている。計測流路２１２は、通過流路２１１とハウジング基端面２０１ｂとの間に設けられている。計測流路２１２は、計測入口２１５と計測出口２１６との間の部分がハウジング基端側に向けて膨らむように曲がっている。計測流路２１２は、連続的に曲がるように湾曲した部分や、段階的に折れ曲がるように屈折した部分、高さ方向Ｙや奥行き方向Ｚに真っ直ぐに延びた部分などを有している。
　エアフロメータ２００は、流量センサ２０２を含んで構成されたセンササブアッセンブリを有しており、このセンササブアッセンブリをセンサＳＡ２２０と称する。センサＳＡ２２０は、センサＳＡ２２０の一部が計測流路２１２に入り込んだ状態でハウジング２０１の内部に埋め込まれている。エアフロメータ２００においては、センサＳＡ２２０とバイパス流路２１０とが高さ方向Ｙに並べられている。具体的には、センサＳＡ２２０と通過流路２１１とが高さ方向に並べられている。なお、センサＳＡ２２０が検出ユニットに相当する。また、センサＳＡ２２０を計測ユニットやセンサパッケージと称することもできる。
　ハウジング２０１は、上流壁部２３１、下流壁部２３２、表壁部２３３、裏壁部２３４、先端壁部２３５を有している。上流壁部２３１はハウジング上流面２０１ｃを形成しており、下流壁部２３２はハウジング下流面２０１ｄを形成している。表壁部２３３はハウジング表面２０１ｅを形成しており、裏壁部２３４はハウジング裏面２０１ｆを形成している。上流壁部２３１と下流壁部２３２とは奥行き方向Ｚに互いに離間した位置に設けられており、表壁部２３３と裏壁部２３４とは幅方向Ｘに互いに離間した位置に設けられている。計測流路２１２と後述するＳＡ収容領域２９０とは、上流壁部２３１と下流壁部２３２との間であって、表壁部２３３と裏壁部２３４との間に設けられている。先端壁部２３５は、ハウジング先端面２０１ａを形成しており、高さ方向Ｙにおいてシール保持部２０５から離間した位置に設けられている。
　ハウジング２０１は第１中間壁部２３６、第２中間壁部２３７を有している。中間壁部２３６，２３７は、先端壁部２３５と同様に高さ方向Ｙに直交する方向Ｘ，Ｚに板状に延びており、高さ方向Ｙにおいて先端壁部２３５とシール保持部２０５との間に設けられている。第１中間壁部２３６は、先端壁部２３５と第２中間壁部２３７との間に設けられており、第１中間壁部２３６と先端壁部２３５との間にはバイパス流路２１０が設けられている。第１中間壁部２３６は、計測流路３２とＳＡ収容領域２９０との間に設けられており、これら計測流路２１２とＳＡ収容領域２９０とを高さ方向Ｙに仕切っている。第２中間壁部２３７は、第１中間壁部２３６とシール保持部２０５との間に設けられており、ＳＡ収容領域２９０を高さ方向Ｙに仕切っている。
　第１中間壁部２３６には第１中間孔２３６ａが設けられている。第１中間孔２３６ａは、第１中間壁部２３６を高さ方向Ｙに貫通している。第１中間壁部２３６の内周面は、ハウジング２０１の内面に含まれており、第１中間孔２３６ａの周縁部に沿って環状に延びている。センサＳＡ２２０においては、流量センサ２０２側の部分が第１中間孔２３６ａを高さ方向Ｙに貫通している。これにより、センサＳＡ２２０においては、モールド先端面２２５ａ及び流量センサ２０２が計測流路３２に設置され、モールド基端面２２５ｂがＳＡ収容領域２９０に設置されている。
　第２中間壁部２３７には第２中間孔２３７ａが設けられている。第２中間孔２３７ａは、第２中間壁部２３７を高さ方向Ｙに貫通している。センサＳＡ２２０においては、後述するリード端子５３ａが第２中間孔２３７ａを高さ方向Ｙに貫通している。これにより、センサＳＡ２２０においては、後述するモールド部２２５が第２中間壁部２３７よりもハウジング先端側に配置され、リード端子５３ａの少なくとも先端部が第２中間壁部２３７よりもハウジング基端側に配置されている。
　ＳＡ収容領域２９０においては、ハウジング２０１とセンサＳＡ２２０との隙間に図示しない充填部が充填されている。充填部は、エポキシ樹脂やウレタン樹脂、シリコン樹脂などの熱硬化性樹脂により形成されている。ここでは、熱硬化性樹脂を溶融させた状態の溶融樹脂をポッティングによりＳＡ収容領域２９０に充填し、この溶融樹脂がポッティング樹脂として固化することで充填部が形成される。充填部をポッティング部やポッティング樹脂部と称することもできる。
　＜構成群Ａの説明＞
　センサＳＡ２２０は、流量センサ２０２に加えてセンサ支持部２２１を有している。センサ支持部２２１は、ハウジング２０１に取り付けられており、流量センサ２０２を支持している。センサ支持部２２１は、ＳＡ基板２２３及びモールド部２２５を有している。ＳＡ基板２２３は、流量センサ２０２が搭載された基板であり、モールド部２２５は、流量センサ２０２の少なくとも一部やＳＡ基板２２３の少なくとも一部を覆っている。ＳＡ基板２２３をリードフレームと称することもできる。
　モールド部２２５は、全体として板状に形成されている。モールド部２２５においては、高さ方向Ｙに並んだ一対の端面２２５ａ，２２５ｂのうち、ハウジング先端側の方をモールド先端面２２５ａと称し、ハウジング基端側の方をモールド基端面２２５ｂと称する。なお、モールド先端面２２５ａが、モールド部２２５及びセンサ支持部２２１の先端部になっており、支持先端部に相当する。また、モールド部２２５が保護樹脂部に相当する。
　モールド部２２５においては、モールド先端面２２５ａ及びモールド基端面２２５ｂを挟んで設けられた一対の面のうち一方をモールド上流面２２５ｃと称し、他方をモールド下流面２２５ｄと称する。センサＳＡ２２０は、モールド先端面２２５ａがエアフロ先端側に配置され、且つモールド上流面２２５ｃがモールド下流面２２５ｄよりも計測流路２１２の上流側に配置される向きで、ハウジング２０１の内部に設置されている。
　センサＳＡ２２０のモールド上流面２２５ｃは、計測流路２１２においてモールド下流面２２５ｄよりも上流側に配置されている。計測流路２１２において流量センサ２０２が設けられた部分においては、空気の流れる向きが吸気通路１２での空気の流れる向きとは反対になっている（図８参照）。このため、モールド上流面２２５ｃは、吸気通路１２においてはモールド下流面２２５ｄよりも下流側に配置されていることになる。なお、流量センサ２０２に沿って流れる空気は奥行き方向Ｚに流れ、この奥行き方向Ｚを流れ方向と称することもできる。
　センサＳＡ２２０においては、流量センサ２０２がセンサＳＡ２２０の一面側に露出している。モールド部２２５においては、流量センサ２０２が露出した側の板面をモールド表面２２５ｅと称し、反対側の板面をモールド裏面２２５ｆと称する。センサＳＡ２２０の一方の板面がモールド表面２２５ｅにより形成されており、このモールド表面２２５ｅが支持表面に相当し、モールド裏面２２５ｆが支持裏面に相当する。
　ＳＡ基板２２３は、金属材料等により全体として板状に形成されており、導電性を有する基板である。ＳＡ基板２２３の板面は、幅方向Ｘに直交しており、高さ方向Ｙ及び奥行き方向Ｚに延びている。ＳＡ基板２２３には流量センサ２０２が搭載されている。ＳＡ基板２２３は、コネクタ端子２０８ａに接続されたリード端子２２３ａを形成している。ＳＡ基板２２３は、モールド部２２５により覆われた部分と、モールド部２２５により覆われていない部分とを有しており、覆われていない部分がリード端子２２３ａになっている。リード端子２２３ａは、モールド基端面２２５ｂから高さ方向Ｙに突出している。なお、図５８、図５９においては、リード端子２２３ａの図示を省略している。
　流量センサ２０２は、上記第１実施形態の流量センサ２２と同様の構成になっている。流量センサ２０２は、例えば、流量センサ２２のセンサ凹部６１やメンブレン部６２、センサ基板６５、センサ膜部６６、発熱抵抗体７１、測温抵抗体７２，７３、傍熱抵抗体７４、配線７５～７７のそれぞれに対応する部位や部材を有している。
　＜構成群Ｂの説明＞
　図５８、図５９に示すように、ハウジング２０１はＳＡ収容領域２９０を有している。ＳＡ収容領域２９０は、バイパス流路２１０よりもハウジング基端側に設けられており、センサＳＡ２２０の一部を収容している。ＳＡ収容領域２９０には、センサＳＡ２２０の少なくともモールド基端面２２５ｂが収容されている。計測流路２１２とＳＡ収容領域２９０とは高さ方向Ｙに並べられている。センサＳＡ２２０は、計測流路２１２とＳＡ収容領域２９０との境界部を高さ方向Ｙに跨ぐ位置に配置されている。計測流路２１２には、センサＳＡ２２０の少なくともモールド先端面２２５ａ及び流量センサ２０２が収容されている。なお、ＳＡ収容領域２９０が収容領域に相当する。
　図６１、図６２に示すように、ハウジング２０１はハウジング仕切部２７１を有している。ハウジング仕切部２７１は、第１中間壁部２３６の内周面に設けられた凸部であり、第１中間壁部２３６からセンサＳＡ２２０に向けて突出している。ハウジング仕切部２７１の先端部はセンサＳＡ２２０の外面に接触している。ハウジング仕切部２７１は、センサＳＡ２２０の外面とハウジング２０１の内面との間においてＳＡ収容領域２９０と計測流路２１２とを仕切っている。
　ハウジング２０１の内面は、ハウジング流路面２７５、ハウジング収容面２７６及びハウジング段差面２７７を有している。これらハウジング流路面２７５、ハウジング収容面２７６及びハウジング段差面２７７は、高さ方向Ｙに交差する方向に延びており、センサＳＡ２２０の周りを環状に一周している。センサＳＡ２２０においては、上記第１実施形態と同様に発熱抵抗体の中心線ＣＬ１ａが高さ方向Ｙに直線状に延びており、ハウジング流路面２７５、ハウジング収容面２７６及びハウジング段差面２７７は、それぞれこの中心線の周りを周方向に延びている。
　ハウジング段差面２７７は、第１中間壁部２３６のハウジング基端側の壁面であり、高さ方向Ｙにおいてハウジング基端側を向いている。ハウジング段差面２７７は、中心線ＣＬ１ａに対して傾斜しており、中心線ＣＬ１ａ側である径方向内側を向いている。ハウジング段差面２７７は、高さ方向Ｙに交差しており、ハウジング交差面に相当する。本実施形態では、ハウジング段差面２７７が中心線ＣＬ１ａに直交している。ハウジング２０１の内面においては、ハウジング流路面２７５とハウジング段差面２７７との出隅部分、及びハウジング収容面２７６とハウジング段差面２７７との入隅部分のそれぞれが面取りされている。
　ハウジング流路面２７５は、第１中間壁部２３６の内周面である。ハウジング流路面２７５は、計測流路２１２を形成しており、ハウジング段差面２７７の内周端部からハウジング先端側に向けて延びている。ハウジング流路面２７５は、ハウジング段差面２７７からＳＡ収容領域２９０とは反対側に向けて延びている。
　一方、ハウジング収容面２７６は、上流壁部２３１、下流壁部２３２、表壁部２３３及び裏壁部２３４のそれぞれの内面である。ハウジング収容面２７６は、ＳＡ収容領域２９０を形成しており、ハウジング段差面２７７の外周端からハウジング基端側に向けて延びている。ハウジング収容面２７６は、ハウジング段差面２７７から計測流路２１２とは反対側に向けて延びている。ハウジング段差面２７７は、ハウジング流路面２７５とハウジング収容面２７６との間に設けられており、ハウジング２０１の内面に段差を形成している。ハウジング段差面２７７は、ハウジング流路面２７５とハウジング収容面２７６とを接続している。
　センサＳＡ２２０の外面は、モールド部２２５の外面により形成されている。センサＳＡ２２０の外面は、ＳＡ流路面２８５、ＳＡ収容面２８６及びＳＡ段差面２８７を有している。これらＳＡ流路面２８５、ＳＡ収容面２８６及びＳＡ段差面２８７は、高さ方向Ｙに交差する方向に延びており、センサＳＡ２２０の外面において環状に一周した部分である。これらＳＡ流路面２８５、ＳＡ収容面２８６及びＳＡ段差面２８７は、発熱抵抗体の中心線ＣＬ１ａの周りを周方向に延びている。
　センサＳＡ２２０においては、モールド先端面２２５ａとモールド基端面２２５ｂとの間にＳＡ段差面２８７が設けられている。ＳＡ段差面２８７は、高さ方向Ｙにおいてモールド先端面２２５ａ側を向いている。ＳＡ段差面２８７は、中心線ＣＬ１ａに対して傾斜しており、中心線ＣＬ１ａとは反対側である径方向外側を向いている。ＳＡ段差面２８７は、高さ方向Ｙに交差しており、ユニット交差面に相当する。また、ＳＡ流路面２８５がユニット流路面に相当し、ＳＡ収容面２８６がユニット収容面に相当する。本実施形態では、ＳＡ段差面２８７が中心線ＣＬ１ａに直交している。センサＳＡ２２０の外面においては、ＳＡ流路面２８５とＳＡ段差面２８７との入隅部分、及びＳＡ収容面２８６とＳＡ段差面２８７との出隅部分のそれぞれが面取りされている。
　ＳＡ流路面２８５は、計測流路２１２を形成しており、ＳＡ段差面２８７の内周端部からモールド先端側に向けて高さ方向Ｙに延びている。ＳＡ流路面２８５は、ＳＡ段差面２８７からＳＡ収容領域２９０とは反対側に向けて延びている。一方、ＳＡ収容面２８６は、ＳＡ収容領域２９０を形成しており、ＳＡ段差面２８７の外周端部からモールド基端側に向けて延びている。ＳＡ収容面２８６は、ＳＡ段差面２８７から計測流路２１２とは反対側に向けて延びている。ＳＡ段差面２８７は、ＳＡ流路面２８５とＳＡ収容面２８６との間に設けられており、センサＳＡ２２０の外面に段差を形成している。ＳＡ段差面２８７は、ＳＡ流路面２８５とＳＡ収容面２８６とを接続している。
　センサＳＡ２２０においては、ＳＡ流路面２８５、ＳＡ収容面２８６及びＳＡ段差面２８７のそれぞれが、モールド上流面２２５ｃ、モールド下流面２２５ｄ、モールド表面２２５ｅ及びモールド裏面２２５ｆにより形成されている。
　エアフロメータ２００においては、ハウジング基端側を向いたハウジング段差面２７７とハウジング先端側を向いたＳＡ段差面２８７とが互いに対向している。また、内周側を向いたハウジング流路面２７５と、外周側を向いたＳＡ流路面２８５とが互いに対向している。同様に、内周側を向いたハウジング収容面２７６と、外周側を向いたＳＡ収容面２８６とが互いに対向している。
　本実施形態のハウジング仕切部２７１は、上記第１実施形態のようにハウジング段差面２７７に設けられているのではなく、ハウジング流路面２７５に設けられている。この場合、ハウジング仕切部２７１は、第１中間孔２３６ａに向けて高さ方向Ｙに交差する方向Ｘ，Ｚｂに延びている。ハウジング仕切部２７１の中心線ＣＬ１２は、高さ方向Ｙに交差する方向に直線状に延びている。本実施形態では、中心線ＣＬ１２が高さ方向Ｙに直交している。ハウジング仕切部２７１は、ハウジング流路面２７５と共にセンサＳＡ２２０の周りを環状に一周している。この場合、ハウジング仕切部２７１の先端部が第１中間孔２３６ａを形成しており、ハウジング仕切部２７１の先端面が第１中間孔２３６ａの内周面になっている。また、ハウジング仕切部２７１は、幅方向Ｘに延びた部分と奥行き方向Ｚに延びた部分とを有しており、全体として略矩形枠状になっている。
　ハウジング仕切部２７１の先端部は、センサＳＡ２２０のＳＡ流路面２８５に接触している。ハウジング仕切部２７１とＳＡ流路面２８５とは、互いに密着しており、ＳＡ収容領域２９０と計測流路２１２とを仕切っている部分のシール性を高めている。ＳＡ流路面２８５は、高さ方向Ｙに交差する方向に真っ直ぐに延びた平坦面になっている。本実施形態では、ハウジング流路面２７５とＳＡ流路面２８５とが互いに平行に延びている。この場合、ハウジング仕切部２７１がＳＡ流路面２８５に接触していることで、センサＳＡ２２０の外面とハウジング２０１の内面とが接触した部分でのシール性が高められている。なお、ハウジング流路面２７５とＳＡ流路面２８５とは平行ではなく、相対的に傾斜していてもよい。
　ハウジング仕切部２７１はハウジング流路面２７５に直交している。この場合、ハウジング仕切部２７１の中心線ＣＬ１２とハウジング流路面２７５とが直交している。ハウジング仕切部２７１は先細りした形状になっている。本実施形態では、高さ方向Ｙがハウジング仕切部２７１にとっての幅方向であり、幅方向でのハウジング仕切部２７１の幅寸法は、ハウジング仕切部２７１の先端部に向けて徐々に小さくなっている。ハウジング仕切部２７１の一対の側面はいずれもハウジング流路面２７５から真っ直ぐに延びている。この場合、ハウジング仕切部２７１は、断面テーパ状になっている。
　ハウジング仕切部２７１は、高さ方向Ｙにおいてハウジング流路面２７５の中央に設けられている。この場合、ハウジング流路面２７５のハウジング先端側端部とハウジング仕切部２７１との離間距離が、ハウジング流路面２７５のハウジング基端側端部とハウジング仕切部２７１との離間距離と同じになっている。なお、ハウジング仕切部２７１は、ハウジング流路面２７５においてハウジング先端側に寄った位置に設けられていてもよく、ハウジング基端側に寄った位置に設けられていてもよい。
　ハウジング段差面２７７のうち、ハウジング仕切部２７１よりもハウジング流路面２７５側の部分は、ハウジング流路面２７５と共に計測流路２１２を形成している。ハウジング仕切部２７１よりもハウジング収容面２７６側の部分は、ハウジング収容面２７６と共にＳＡ収容領域２９０を形成している。
　ＳＡ段差面２８７のうち、ハウジング仕切部２７１よりもＳＡ流路面２８５側の部分は、ＳＡ流路面２８５と共に計測流路２１２を形成している。ハウジング仕切部２７１よりもＳＡ収容面２８６側の部分は、ＳＡ収容面２８６と共にＳＡ収容領域２９０を形成している。
　図６３に示すように、ハウジング２０１は、ベース部材２９１、カバー部材２９２を有している。これらベース部材２９１とカバー部材２９２とは、互いに組み付けられて一体化されており、この状態でハウジング２０１を形成している。ベース部材２９１は、ハウジング２０１において上流壁部２３１、下流壁部２３２、裏壁部２３４、先端壁部２３５、シール保持部２０５、フランジ部２０７及びコネクタ部２０８を形成している。ベース部材２９１は、全体として、ハウジング表側に開放された箱状の部材になっている。ベース部材２９１においては、表側端部である開放端にベース開口部２９１ａが設けられている。ベース開口部２９１ａは、上流壁部２３１、下流壁部２３２、先端壁部２３５及びシール保持部２０５の各ハウジング表側端部により形成されており、バイパス流路２１０及びＳＡ収容領域２９０をハウジング表側に向けて開口している。
　カバー部材２９２は、ハウジング２０１において表壁部２３３を形成しており、全体として板状の部材になっている。カバー部材２９２は、ベース部材２９１の開放端に取り付けられており、ベース開口部２９１ａを閉鎖している。ハウジング２０１においては、ベース部材２９１とカバー部材２９２との間に通過流路２１１、計測流路２１２及びＳＡ収容領域２９０が設けられている。
　ハウジング２０１においては、第１中間壁部２３６が第１ベース凸部２９５及び第１カバー凸部２９７を有している。第１ベース凸部２９５は、ベース部材２９１の裏壁部２３４からカバー部材２９２に向けて突出した突出部である。第１ベース凸部２９５は、第１凹部２９５ａを有している。第１凹部２９５ａは、第１ベース凸部２９５の先端面に設けられた凹部であり、第１ベース凸部２９５を高さ方向Ｙに貫通している。第１カバー凸部２９７は、カバー部材２９２の表壁部２３３からベース部材２９１に向けて突出した突出部である。第１カバー凸部２９７は、第１凹部２９５ａの内部に入り込んでいる。第１中間壁部２３６においては、第１カバー凸部２９７の先端面と第１凹部２９５ａの底面とが互いに離間しており、この離間部分が第１中間孔２３６ａになっている。
　ハウジング２０１においては、第２中間壁部２３７が第２ベース凸部２９６及び第２カバー凸部２９８を有している。第２ベース凸部２９６は、ベース部材２９１の裏壁部２３４からカバー部材２９２に向けて突出した突出部である。第２ベース凸部２９６は、第２凹部２９６ａを有している。第２凹部２９６ａは、第２ベース凸部２９６の先端面に設けられた凹部であり、第２ベース凸部２９６を高さ方向Ｙに貫通している。第２カバー凸部２９８は、カバー部材２９２の表壁部２３３からベース部材２９１に向けて突出した突出部である。第２カバー凸部２９８は、第２凹部２９６ａの内部に入り込んでいる。第２中間壁部２３７においては、第２カバー凸部２９８の先端面と第２凹部２９６ａの底面とが互いに離間しており、この離間部分が第２中間孔２３７ａになっている。
　第１ベース凸部２９５、第２ベース凸部２９６はベース部材２９１に含まれている。これらベース凸部２９５，２９６は、ベース部材２９１の裏壁部２３４からカバー部材２９２に向けて突出している。ベース凸部２９５，２９６の先端面には凹部２９５ａ，２９６ａが設けられている。第１凹部２９５ａは、奥行き方向Ｚにおいて第１ベース凸部２９５の中間位置に設けられている。第２凹部２９６ａは、奥行き方向Ｚにおいて第２ベース凸部２９６の中間位置に設けられている。
　第１カバー凸部２９７、第２カバー凸部２９８はカバー部材２９２に含まれている。これらカバー凸部２９７，２９８は、カバー部材２９２の表壁部２３３からベース部材２９１に向けて突出している。
　ハウジング仕切部２７１は、ベース突起２７１ａ、カバー突起２７１ｂを有している。ベース突起２７１ａは、ベース部材２９１に含まれている。ベース突起２７１ａは、第１ベース凸部２９５において第１凹部２９５ａの内周面に設けられた突起である。第１凹部２９５ａの底面に設けられたベース突起２７１ａは、カバー部材２９２に向けて幅方向Ｘに延びている。第１凹部２９５ａの一対の壁面のそれぞれに設けられたベース突起２７１ａは、互いに対向した状態で奥行き方向Ｚに延びている。一対の壁面のそれぞれに設けられていることで互いに対向したベース突起２７１ａの離間距離は、センサＳＡ２２０のうち第１凹部２９５ａに差し入れられる部分の奥行き方向Ｚでの幅寸法よりも若干小さくなっている。
　カバー突起２７１ｂは、カバー部材２９２に含まれている。カバー突起２７１ｂは、第１ベース凸部２９５の先端面に設けられた突起であり、ベース部材２９１に向けて幅方向Ｘに延びている。
　次に、エアフロメータ２００の製造方法について、センサＳＡ２２０をハウジング２０１に装着する手順を中心に、図６３、図６４を参照しつつ説明する。
　エアフロメータ２００の製造工程には、センサＳＡ２２０を製造する工程と、ベース部材２９１を製造する工程と、カバー部材２９２を製造する工程とが含まれている。これら工程の後、センサＳＡ２２０とベース部材２９１とカバー部材２９２とを互いに組み付ける工程を行う。
　センサＳＡ２２０を製造する工程では、射出成型機や型装置を有する射出成型装置等を用いて、センサＳＡ２２０のモールド部２２５を樹脂成型等により製造する。この工程は、上記第１実施形態のモールド部５５を製造する工程と同様に、樹脂材料を溶融した溶融樹脂を射出成型機から射出して型装置の内部に圧入する。また、この工程では、モールド部２２５を形成する樹脂材料として、エポキシ樹脂等のエポキシ系の熱硬化性樹脂を用いる。
　ベース部材２９１を製造する工程では、射出成型装置等を用いてベース部材２９１を樹脂成型等により製造する。また、カバー部材２９２を製造する工程では、射出成型装置等を用いてカバー部材２９２を樹脂成型等により製造する。これら工程では、ベース部材２９１及びカバー部材２９２を形成する樹脂材料として、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）やポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）等の熱可塑性樹脂を用いる。このように熱可塑性樹脂により形成されたベース部材２９１及びカバー部材２９２は、熱硬化性樹脂により形成されたモールド部２２５に比べて軟らかくなっている。換言すれば、ベース部材２９１及びカバー部材２９２は、モールド部２２５に比べて硬度が低く、柔軟性が高くなっている。
　センサＳＡ２２０とベース部材２９１とカバー部材２９２とを組み付ける工程では、図６３、図６４において、まず、センサＳＡ２２０をベース開口部２９１ａからベース部材２９１の内部に挿入する作業を行う。この作業では、センサＳＡ２２０のＳＡ流路面１４５を第１凹部２９５ａの内部に挿入しつつ、リード端子２２３ａを第２凹部２９６ａの内部に挿入することで、センサＳＡ２２０を第１ベース凸部２９５と第２ベース凸部２９６との間に嵌め込む。ここでは、センサＳＡ２２０のＳＡ流路面２８５が第１ベース凸部２９５のベース突起２７１ａに接触した後、更にセンサＳＡ２２０を裏壁部２３４に向けてベース部材２９１の内部に押し込む。この場合、ベース部材２９１の硬度がモールド部２２５の硬度よりも低いことに起因して、ベース突起２７１ａは、その先端部がＳＡ流路面２８５でハウジング裏側に向けて押し潰されるように変形する。
　上述したように、ベース部材２９１の第１凹部２９５ａの内周面においては、互いに対向する一対の壁面のそれぞれにベース突起２７１ａが設けられている。この構成では、一対の壁面の間に単にセンサＳＡ２２０を嵌め込むことで、センサＳＡ２２０がＳＡ流路面２８５で壁面のベース突起２７１ａの先端部を削る状態になり、壁面のベース突起２７１ａが変形する。これにより、ベース突起２７１ａにおいて先端部が削られることで新たに形成された先端面がセンサＳＡ２２０のＳＡ流路面２８５に密着しやすくなる。
　また、第１凹部２９５ａの内部にセンサＳＡ２２０を押し込んだ場合、センサＳＡ２２０のＳＡ流路面２８５が第１凹部２９５ａの内周面のうち底面のベース突起２７１ａを裏壁部２３４に向けて押し潰すことになる。この場合、底面のベース突起２７１ａの先端部がＳＡ流路面２８５によって押し潰されるように変形し、ベース突起２７１ａにおいては先端部が押し潰されることで新たに形成された先端面がセンサＳＡ２２０のＳＡ流路面２８５に密着しやすくなる。
　さらに、上述したように、カバー部材２９２において第１カバー凸部２９７の先端面にはカバー突起２７１ｂが設けられている。この構成では、カバー部材２９２をベース部材２９１に組み付ける場合に、カバー部材２９２のカバー突起２７１ｂをセンサＳＡ２２０のＳＡ流路面２８５に押し付けることになる。このため、カバー部材２９２を単にベース部材２９１に押し付けることで、第１カバー凸部２９７のカバー突起２７１ｂの先端部がＳＡ流路面２８５によって押し潰されるように変形する。この場合、カバー突起２７１ｂにおいては先端部が押し潰されることで新たに形成された先端面がセンサＳＡ２２０のＳＡ流路面２８５に密着しやすくなる。
　そして、カバー部材２９２がベース開口部２９１ａ及びセンサＳＡ２２０を覆うように、カバー部材２９２をベース部材２９１に取り付ける作業を行う。この作業では、カバー部材２９２の第１カバー凸部２９７を第１凹部２９５ａの内部に挿入する。ここでは、第１カバー凸部２９７の先端面にあるカバー突起２７１ｂがセンサＳＡ２２０のＳＡ流路面２８５に接触した後、更にカバー部材２９２をベース部材２９１の内部に向けてセンサＳＡ２２０に押し付ける。この場合、カバー部材２９２の硬度がモールド部２２５の硬度よりも低いことに起因して、カバー突起２７１ｂは、その先端部がＳＡ流路面２８５でハウジング表側に向けて押し潰されるように変形する。これにより、押し潰された状態のカバー突起２７１ｂの先端面がＳＡ流路面２８５に密着しやすくなり、カバー突起２７１ｂとＳＡ流路面２８５とのシール性が高められる。
　なお、上記第１実施形態では、ハウジング仕切部１３１の潰れた部分を２点鎖線で図１７に図示していたが、本実施形態では、ベース突起２７１ａ及びカバー突起２７１ｂのうちセンサＳＡ２２０により押し潰された部分を２点鎖線で図示することはしていない。
　その後、ベース部材２９１とカバー部材２９２との接触部分を接着材等により接合することで、センサＳＡ２２０とベース部材２９１とカバー部材２９２とを互いに固定する。この場合、ベース部材２９１とカバー部材２９２とを一体化することでハウジング２０１が形成される。また、この場合、ベース突起２７１ａ及びカバー突起２７１ｂによりハウジング仕切部２７１が形成される。
　ここまで説明した本実施形態によれば、ハウジング２０１の内面から突出したハウジング仕切部２７１が、センサＳＡ２２０とハウジング２０１との間において計測流路２１２とＳＡ収容領域２９０とを仕切っている。この構成では、ハウジング仕切部２７１の先端部とセンサＳＡ２２０とが密着しやすいため、ハウジング２０１の内面とセンサＳＡ２２０の外面との間に隙間が生じにくくなっている。このため、溶融状態のポッティング樹脂をハウジング２０１のＳＡ収容領域２９０に注入して充填部を形成する場合に、このポッティング樹脂がハウジング２０１とセンサＳＡ２２０との隙間を通じて計測流路２１２に入り込むということが規制される。
　この場合、ハウジング２０１とセンサＳＡ２２０との隙間を通じて計測流路２１２に入り込んだ溶融樹脂が固化し、その固化部分によって計測流路２１２の形状が意図せずに変化する、ということが生じにくくなっている。また、その固化部分が計測流路２１２においてハウジング２０１やセンサＳＡ２２０から剥がれ落ちて、異物として流量センサ２０２に接触したり付着したりする、ということが生じにくくなっている。したがって、ＳＡ収容領域２９０から計測流路２１２に進入した溶融樹脂によって流量センサ２０２の検出精度が低下するということを抑制できる。これにより、流量センサ２０２による空気流量の検出精度を高めることができ、その結果、エアフロメータ２００による空気流量の計測精度を高めることができる。
　本実施形態によれば、ハウジング仕切部２７１がセンサＳＡ２２０の周りを環状に一周している。この構成では、センサＳＡ２２０の外面全周において、センサＳＡ２２０の外面とハウジング２０１の内面とが密着した状態をハウジング仕切部２７１によりつくり出すことができる。このため、計測流路２１２とＳＡ収容領域２９０との境界部全体でのシール性をハウジング仕切部２７１によって高めることができる。
　本実施形態では、ハウジング仕切部２７１は、ハウジング流路面２７５に設けられている。この構成では、計測流路２１２側に極力寄せた位置でハウジング仕切部２７１により計測流路２１２とＳＡ収容領域２９０とを仕切ることで、ハウジング２０１とセンサＳＡ２２０との隙間のうち計測流路３２に含まれる部分を極力小さくできる。ここで、計測流路２１２においては、ハウジング２０１とセンサＳＡ２２０との隙間は、計測入口２１５から計測出口２１６に向けて流れる空気が流れ込むことなどにより空気の流れに乱れを生じさせやすい領域になっている。このため、ハウジング２０１とセンサＳＡ２２０との隙間が小さいほど計測流路２１２において空気の流れに乱れが生じにくく、流量センサ２０２の検出精度が向上しやすい。したがって、ハウジング仕切部２７１がハウジング流路面２７５に設けられていることで、流量センサ２０２の検出精度を高めることができる。
　（第３実施形態）
　上記第１実施形態では、通過入口３３から計測入口３５に向けて通過流路３１が高さ方向Ｙにほぼ絞られていない構成になっていたが、第３実施形態では、通過入口３３から計測入口３５に向けて通過流路３１が高さ方向Ｙに絞られた構成になっている。本実施形態において、第１実施形態での図面と同一符号を付した構成部品及び説明しない構成は、上記第１実施形態と同様であり、同様の作用効果を奏するものである。本実施形態では、上記第１実施形態との相違点を中心に説明する。
　＜構成群Ｃの説明＞
　図６５、図６６に示すように、通過流路３１は、入口通過路３３１、出口通過路３３２、分岐通過路３３３を有している。入口通過路３３１は、通過入口３３から通過出口３４に向けて延びており、通過入口３３と計測入口３５の上流端部とにかけ渡されている。出口通過路３３２は、通過出口３４から通過入口３３に向けて延びており、通過出口３４と計測入口３５の下流端部とにかけ渡されている。分岐通過路３３３は、入口通過路３３１と出口通過路３３２との間に設けられており、これら入口通過路３３１と出口通過路３３２とを接続している。分岐通過路３３３は、計測入口３５に沿って奥行き方向Ｚに延びており、通過流路３１のうち計測流路３２を分岐させた部分である。分岐通過路３３３は、計測入口３５からハウジング先端側に向けて延びている。
　ハウジング２１の内面は、通過流路３１を形成する形成面として、通過天井面３４１、通過床面３４５を有している。通過天井面３４１と通過床面３４５とは高さ方向Ｙに並べられており、これら通過天井面３４１と通過床面３４５との間に通過流路３１が設けられている。通過天井面３４１及び通過床面３４５は、通過入口３３と通過出口３４とにかけ渡されている。通過天井面３４１及び通過床面３４５は、いずれも高さ方向Ｙに交差しており、幅方向Ｘ及び奥行き方向Ｚに延びている。通過天井面３４１には、計測出口３６が設けられている。
　通過天井面３４１は、入口天井面３４２及び出口天井面３４３を有している。入口天井面３４２は、入口通過路３３１の天井面を形成しており、奥行き方向Ｚにおいて通過入口３３と計測入口３５の上流端部とにかけ渡されている。この場合、奥行き方向Ｚが通過入口３３と通過出口３４とが並んだ方向に相当する。入口天井面３４２は、通過入口３３から計測入口３５の上流端部に向けて真っ直ぐに延びている。出口天井面３４３は、出口通過路３３２の天井面を形成しており、通過出口３４と計測入口３５の下流端部とにかけ渡されている。出口天井面３４３は、通過出口３４から計測入口３５の下流端部に向けて真っ直ぐに延びている。
　通過床面３４５は、入口床面３４６、出口床面３４７、分岐床面３４８を有している。入口床面３４６は、入口通過路３３１の床面を形成しており、通過入口３３から通過出口３４に向けて延びている。入口床面３４６と入口天井面３４２とは、入口通過路３３１及び通過入口３３を介して互いに対向している。出口床面３４７は、出口通過路３３２の床面を形成しており、通過出口３４から通過入口３３に向けて延びている。出口床面３４７と出口天井面３４３とは、出口通過路３３２及び通過出口３４を介して互いに対向している。分岐床面３４８は、分岐通過路３３３の床面を形成している。分岐床面３４８は、入口床面３４６と出口床面３４７との間に設けられており、これら入口床面３４６と出口床面３４７とを接続している。分岐床面３４８は、分岐通過路３３３を介して計測入口３５に対向している。
　入口天井面３４２と出口天井面３４３とは、いずれも奥行き方向Ｚに真っ直ぐに延びており、互いに平行になっている。また、これら天井面３４２，３４３は、いずれも幅方向Ｘに真っ直ぐに延びており、互いに平行になっている。通過床面３４５は、奥行き方向Ｚに真っ直ぐに延びており、天井面３４２，３４３と平行になっている。また、通過床面３４５は、幅方向Ｘに真っ直ぐに延びており、天井面３４２，３４３と平行になっている。このように、天井面３４２，３４３及び通過床面３４５が幅方向Ｘに真っ直ぐに延びていること、および後述する通過壁面６３１，６３２（図４５参照）が高さ方向Ｙに真っ直ぐに延びていることに起因して、通過入口３３及び通過出口３４が矩形状になっている。
　なお、入口天井面３４２や出口天井面３４３、通過床面３４５は、奥行き方向Ｚにおいてそれぞれの上流端部と下流端部との間の部分が凹んだり膨らんだりするように曲がっていてもよい。また、入口天井面３４２や出口天井面３４３、通過床面３４５は、幅方向Ｘにおいて通過壁面６３１，６３２の間の部分が凹んだり膨らんだりするように曲がっていてもよい。これらのように、通過入口３３や通過出口３４は、少なくとも１つの辺が凹んだり膨らんだりするように曲がっていてもよい。すなわち、これら通過入口３３や通過出口３４は、矩形状になっていなくてもよい。例えば、入口天井面３４２、出口天井面３４３及び通過床面３４５が、通過壁面６３１，６３２の間の部分が膨らむように湾曲していることで、通過入口３３や通過出口３４において幅方向Ｘに延びる各辺が膨らむように湾曲した形状になっていてもよい。
　入口天井面３４２は、通過入口３３側を向くように入口床面３４６に対して傾斜している。入口床面３４６に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２１は、１０度以上になっている。すなわち、傾斜角度θ２１は、１０度と同じ値又は１０度よりも大きい値になっており、θ２１≧１０という関係が成り立っている。図６６に示すように、入口床面３４６と平行に延びる仮想の直線として床平行線ＣＬ２１を想定すると、傾斜角度θ２１は、入口天井面３４２と床平行線ＣＬ２１との間であって通過入口３３側を向いた部分の角度である。通過天井面３４１においては、床平行線ＣＬ２１に対する傾斜角度が入口天井面３４２と出口天井面３４３とで異なっている。具体的には、床平行線ＣＬ２１に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２１は、床平行線ＣＬ２１に対する出口天井面３４３の傾斜角度よりも大きい。
　なお、入口天井面３４２が天井傾斜面に相当する。また、入口天井面３４２が通過入口３３側を向いていること以外の構成については、基本的に本実施形態の構成が上記第１実施形態の構成と同じであり、この構成についての本実施形態の説明は上記第１実施形態の説明でもある。
　入口通過路３３１においては、高さ方向Ｙでの入口天井面３４２と入口床面３４６との離間距離Ｈ２１が、通過入口３３から通過出口３４に向けて徐々に小さくなっている。ここでの高さ方向Ｙは、主流線ＣＬ２２に直交する方向になっている。この離間距離Ｈ２１の減少率は、入口通過路３３１において一定の値になっている。
　通過床面３４５は、奥行き方向Ｚに真っ直ぐに延びている。通過床面３４５においては、入口床面３４６、出口床面３４７及び分岐床面３４８が同一平面を形成している。図６６に示すように、主流方向である奥行き方向Ｚに延びる仮想の直線として主流線ＣＬ２２を想定すると、通過床面３４５は、通過入口３３側を向くように主流線ＣＬ２２に対して傾斜している。この場合、入口床面３４６、出口床面３４７及び分岐床面３４８のそれぞれが主流線ＣＬ２２に対して傾斜している。上述したように、フランジ部２７の角度設定面２７ａが主流方向に延びていることに起因して、主流線ＣＬ２２は角度設定面２７ａに平行に延びている。
　入口天井面３４２は、入口床面３４６に加えて、主流線ＣＬ２２に対しても傾斜している。主流線ＣＬ２２に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２２は、傾斜角度θ２１と同様に１０度以上になっている。すなわち、傾斜角度θ２２は、１０度同じ値又は１０度よりも大きい値になっており、θ２２≧１０という関係が成り立っている。本実施形態では、傾斜角度θ２２は例えば１０度に設定されている。図６６に示すように、傾斜角度θ２２は、入口天井面３４２と主流線ＣＬ２２との間であった通過入口３３側を向いた部分の角度である。主流線ＣＬ２２に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２２は、入口床面３４６に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２１よりも小さくなっている。
　入口通過路３３１は、通過入口３３から通過出口３４に向けて少なくとも入口天井面３４２及び入口床面３４６によって徐々に絞られた形状になっている。この場合、図６７に示すように、主流線ＣＬ２２に直交する方向Ｘ，Ｙでの入口通過路３３１の断面積Ｓ２１が、通過入口３３から通過出口３４に向けて徐々に小さくなっている。この断面積Ｓ２１は、入口通過路３３１の上流端部である通過入口３３において最も大きい値になっており、入口通過路３３１の下流端部において最も小さい値になっている。断面積Ｓ２１の減少率は、入口通過路３３１において一定の値になっており、入口通過路３３１での断面積Ｓ２１の値を示すグラフは、図６７に示すように直線的に延びている。
　なお、出口通過路３３２は、出口通過路３３２の上流端部から通過出口３４に向けて徐々に絞られた形状になっている。この場合、主流線ＣＬ２２に直交する方向Ｘ，Ｙでの出口通過路３３２の断面積が、出口通過路３３２の上流端部から通過出口３４に向けて徐々に小さくなっている。また、入口通過路３３１の断面積を、入口通過路３３１の流路面積と称することもできる。
　図６５に示すように、計測流路３２は、計測入口３５と計測出口３６との間にて折り返された折り返し形状になっている。計測流路３２は、分岐計測路３５１、案内計測路３５２、検出計測路３５３、排出計測路３５４を有している。計測流路３２においては、計測入口３５側から分岐計測路３５１、案内計測路３５２、検出計測路３５３、排出計測路３５４、の順で計測出口３６に向けて並べられている。
　分岐計測路３５１は、計測入口３５からハウジング基端側に向けて延びており、計測流路３２のうち通過流路３１から分岐した部分である。分岐計測路３５１が計測入口３５を形成しており、分岐計測路３５１の上流端部が計測入口３５になっている。分岐計測路３５１は、高さ方向Ｙ及び奥行き方向Ｚの両方に対して傾斜している。また、分岐計測路３５１は、通過流路３１に対して傾斜している。
　案内計測路３５２は、分岐計測路３５１の下流端部から通過流路３１とは反対側に向けて高さ方向Ｙに延びている。案内計測路３５２は、分岐計測路３５１から流れ込んできた空気を流量センサ２２に向けて案内する。
　検出計測路３５３は、案内計測路３５２の下流端部から奥行き方向Ｚに延びており、案内計測路３５２を介して分岐計測路３５１とは反対側に設けられている。検出計測路３５３には、流量センサ２２が設けられている。
　排出計測路３５４は、検出計測路３５３の下流端部から通過流路３１側に向けて高さ方向Ｙに延びており、案内計測路３５２と平行に設けられている。排出計測路３５４が計測出口３６を形成しており、排出計測路３５４の下流端部が計測出口３６になっている。この場合、排出計測路３５４は、検出計測路３５３から流れ込んだ空気を計測出口３６から排出する。
　排出計測路３５４は、縦延び路３５４ａ及び横延び路３５４ｂを有している。縦延び路３５４ａは、検出計測路３５３からハウジング先端側に向けて縦に延びている。横延び路３５４ｂは、縦延び路３５４ａのハウジング先端側の端部からハウジング下流側に向けて延びている。縦延び路３５４ａと横延び路３５４ｂとは奥行き方向Ｚに並べられており、これら縦延び路３５４ａと横延び路３５４ｂとの境界部は高さ方向Ｙに延びている。この場合、横延び路３５４ｂは、奥行き方向Ｚにおいて案内計測路３５２と縦延び路３５４ａとの間に配置されている。このため、ハウジング２１においては、案内計測路３５２と縦延び路３５４ａとの間の部位を、横延び路３５４ｂを設置するための部位として有効に活用しつつ、計測流路３２の全長を極力大きくすることができる。
　計測出口３６は、縦延び路３５４ａと横延び路３５４ｂとの境界部を奥行き方向Ｚに跨ぐ位置に配置されている。計測出口３６は、奥行き方向Ｚにおいて、横延び路３５４ｂにおけるハウジング下流側の端部からハウジング上流側に向けて延びている。この場合、流量センサ２２と計測出口３６との離間距離を横延び路３５４ｂの分だけ大きくできるため、仮に計測出口３６から異物が逆向きに進入したとしても、この異物が流量センサ２２に到達するということが生じにくくなっている。
　排出計測路３５４において、外計測曲がり面４０１には計測傾斜面３５４ｃが含まれている。計測傾斜面３５４ｃは、外計測曲がり面４０１において、縦延び路３５４ａと横延び路３５４ｂとの出隅部分を面取りした面取り面であり、高さ方向Ｙ及び奥行き方向Ｚにいずれに対しても傾斜している。この計測傾斜面３５４ｃは、結露水等の水が縦延び路３５４ａの内面をハウジング先端側に向けて流れる場合に、この水を計測出口３６に向けて案内する。このように排出計測路３５４内の水が計測傾斜面３５４ｃを流れて計測出口３６から外部に排出されることで、車体が傾斜している場合などでも水が縦延び路３５４ａと横延び路３５４ｂとの出隅部分に溜まることが抑制される。なお、計測傾斜面３５４ｃを水抜き傾斜面と称することもできる。
　ハウジング２１において、排出計測路３５４と通過流路３１との間には空洞部３５６が設けられている。空洞部３５６は、ハウジング２１の内部において通過流路３１や計測流路３２に通じておらず、閉鎖された空間になっている。空洞部３５６を肉盗み部と称することもできる。
　図６６に示すように、分岐計測路３５１は、計測入口３５から案内計測路３５２に向けて真っ直ぐに延びた部分を有している。この部分の中心線を分岐計測線ＣＬ２３と称すると、この分岐計測線ＣＬ２３は、入口天井面３４２に対して傾斜した状態で直線状に延びている。分岐計測線ＣＬ２３は、計測入口３５から分岐計測路３５１の下流側に向けて通過入口３３とは反対側に斜めに延びている。換言すれば、分岐計測線ＣＬ２３は、計測入口３５から分岐計測路３５１の下流側に向けて通過出口３４側に斜めに延びている。
　なお、図６６では、通過流路３１と計測流路３２との分岐部分においてハウジング２１の内面が面取りされているが、この面取りがない構成を想定して分岐計測線ＣＬ２３を設定している。また、分岐計測線ＣＬ２３は、計測入口３５での分岐計測路３５１の中心線を通過流路３１側に向けて延長した延長線にもなっている。
　分岐計測線ＣＬ２３は、入口床面３４６に対して傾斜している。入口床面３４６に対する分岐計測線ＣＬ２３の傾斜角度θ２３は、９０度以上になっている。すなわち、傾斜角度θ２３は、９０度と同じ値又は９０度よりも大きい値になっており、θ２３≧９０という関係が成り立っている。傾斜角度θ２３は、床平行線ＣＬ２１と分岐計測線ＣＬ２３との間であって通過入口３３側を向いた部分の角度である。なお、θ２３は、９０度以上の範囲において、１５０度以下であることが好ましく、更には１２０度以下であることが好ましい。
　分岐計測線ＣＬ２３は、入口床面３４６に加えて、主流線ＣＬ２２に対して傾斜している。主流線ＣＬ２２に対する分岐計測線ＣＬ２３の傾斜角度θ２４は、傾斜角度θ２３と同様に９０度以上になっている。すなわち、傾斜角度θ２４は、９０度と同じ値又は９０度よりも大きい値になっており、θ２４≧９０という関係が成り立っている。傾斜角度θ２４は、主流線ＣＬ２２と分岐計測線ＣＬ２３との間であって通過入口３３側を向いた部分の角度である。なお、傾斜角度θ２４は鈍角に含まれる。また、θ２４は、９０度以上の範囲において、１５０度以下であることが好ましく、更には１２０度以下であることが好ましい。
　なお、傾斜角度θ２３，θ２４は鈍角に含まれる。また、分岐計測線ＣＬ２３は、入口床面３４６及び主流線ＣＬ２２に加えて、入口天井面３４２に対して傾斜している。入口天井面３４２に対する分岐計測線ＣＬ２３の傾斜角度は、傾斜角度θ２３，θ２４と同様に１０度以上になっている。
　分岐計測路３５１は、入口通過路３３１に対して傾斜している。この場合、分岐計測路３５１の中心線である分岐計測線ＣＬ２３は、入口通過路３３１の中心線である入口通過線ＣＬ２４に対して傾斜している。入口通過線ＣＬ２４に対する分岐計測線ＣＬ２３の傾斜角度θ２５は、９０度以上になっている。すなわち、傾斜角度θ２５は、９０度と同じ値又は９０度よりも大きい値になっており、θ２５≧９０という関係が成り立っている。傾斜角度θ２５は、分岐計測線ＣＬ２３と入口通過線ＣＬ２４との間であって通過入口３３側を向いた部分の角度である。入口通過線ＣＬ２４は、入口通過路３３１の上流端部である計測入口３５の中心ＣＯ２１と、入口通過路３３１の下流端部の中心ＣＯ２２とを通る直線状の仮想線である。
　分岐計測路３５１は、出口通過路３３２に対して傾斜している。この場合、分岐計測線ＣＬ２３は、出口通過路３３２の中心線である出口通過線ＣＬ２５に対して傾斜している。出口通過線ＣＬ２５に対する分岐計測線ＣＬ２３の傾斜角度θ２６は、６０度以下になっている。すなわち、傾斜角度θ２６は、６０度と同じ値は又は６０度よりも小さい値になっており、θ２６≦６０という関係が成り立っている。傾斜角度θ２６は例えば６０度に設定されている。出口通過線ＣＬ２５は、出口通過路３３２の上流端部の中心ＣＯ２３と、出口通過路３３２の下流端部である通過出口３４の中心ＣＯ２４とを通る直線状の仮想線である。また、出口通過線ＣＬ２５が入口通過線ＣＬ２４に対して傾斜している。
　なお、出口通過線ＣＬ２５に対する分岐計測線ＣＬ２３の傾斜角度θ２６は、分岐通過路３３３に対する分岐計測路３５１の傾斜角度であり、通過流路３１から計測流路３２が分岐した角度を示す分岐角度に相当する。
　次に、バイパス流路３０での空気の流れ態様について、図６８～図７１を参照しつつ説明する。吸気通路１２を流れる気流には、主流ＡＦ２１，ＡＦ２２、偏流ＡＦ２３～ＡＦ２６が含まれている。
　図６８に示すように、主流ＡＦ２１，ＡＦ２２は、吸気通路１２を主流線ＣＬ２２に沿って主流方向に流れており、その流れの向きのまま通過入口３３から入口通過路３３１に流れ込む。主流ＡＦ２１，ＡＦ２２のうち、通過入口３３から入口天井面３４２側に流れ込んだ主流ＡＦ２１は、入口天井面３４２に向かって進み、その入口天井面３４２に接近すると入口天井面３４２によって進む向きが変化する。この場合、入口天井面３４２が、主流ＡＦ２１の進む向きを通過床面３４５に向かう向きに変化させることになる。このため、ダスト等の異物が主流ＡＦ２１と共に通過入口３３から進入したとしても、この異物は通過床面３４５に向かって進みやすく、この異物が計測入口３５に進入するということが生じにくくなる。
　一方、通過入口３３から入口床面３４６側に流れ込んだ主流ＡＦ２２は、入口床面３４６や分岐床面３４８などの通過床面３４５に向かって進み、その通過床面３４５に接近すると通過床面３４５によって進む向きが変化する。この場合、通過床面３４５が、主流ＡＦ２２の進む向きを通過出口３４に向かう向きに変化させることになる。このため、異物が主流ＡＦ２２と共に通過入口３３から進入したとしても、この異物は通過床面３４５に沿って通過出口３４に向けて進みやすく、異物が計測入口３５に進入するということが生じにくくなる。
　図６９、図７０に示すように、偏流ＡＦ２３～ＡＦ２６は、吸気通路１２を主流線ＣＬ２２及び主流方向に対して傾いた向きに流れており、その流れの向きのまま通過入口３３から入口通過路３３１に流れ込む。
　図６９に示すように、偏流ＡＦ２３～ＡＦ２６のうち、下向き偏流ＡＦ２３，ＡＦ２４は、ハウジング２１の周辺においてハウジング基端側からハウジング先端側に向かうように吸気通路１２を斜めに進む気流である。ここでは、主流線ＣＬ２２に対する傾斜角度が入口天井面３４２よりも小さい気流を下向き偏流ＡＦ２３，ＡＦ２４としている。
　下向き偏流ＡＦ２３，ＡＦ２４のうち、通過入口３３から入口天井面３４２側に流れ込んだ下向き偏流ＡＦ２３は、入口天井面３４２に沿って通過床面３４５に向かって進みやすい。特に、主流方向に対する傾斜角度が下向き偏流ＡＦ２３と入口天井面３４２とでほぼ同じであれば、下向き偏流ＡＦ２３の進む向きが入口天井面３４２によって変化するということが生じにくい。これらの場合、異物が下向き偏流ＡＦ２３と共に通過入口３３から進入したとしても、この異物は通過床面３４５に向かって進みやすく、この異物が計測入口３５に進入するということが生じにくくなる。
　一方、通過入口３３から入口床面３４６側に流れ込んだ下向き偏流ＡＦ２４は、通過床面３４５に向かって進み、その通過床面３４５に接近すると通過床面３４５によって進む向きが変化する。この場合、通過床面３４５が、下向き偏流ＡＦ２４の進む向きを通過出口３４に向かう向きに変化させることになる。この場合、異物が下向き偏流ＡＦ２４と共に通過入口３３から進入したとしても、この異物は通過床面３４５に沿って通過出口３４に向けて進みやすく、異物が計測入口３５に進入するということが生じにくくなる。
　図７０に示すように、偏流ＡＦ２３～ＡＦ２６のうち、上向き偏流ＡＦ２５，ＡＦ２６は、ハウジング２１の周辺においてハウジング先端側からハウジング基端側に向かうように吸気通路１２を斜めに進む気流である。ここでは、主流線ＣＬ２２に対する傾斜角度が入口床面３４６よりも大きい気流を上向き偏流ＡＦ２５，ＡＦ２６としている。
　上向き偏流ＡＦ２５，ＡＦ２６のうち、通過入口３３から入口天井面３４２側に流れ込んだ上向き偏流ＡＦ２５は、入口天井面３４２に向かって進み、その入口天井面３４２に接近すると入口天井面３４２によって進む向きが変化する。この場合、入口天井面３４２が、上向き偏流ＡＦ２５の進む向きを通過床面３４５に向かう向きに変化させることになる。このため、ダスト等の異物が上向き偏流ＡＦ２５と共に通過入口３３から進入したとしても、この異物は通過床面３４５に向かって進みやすく、この異物が計測入口３５に進入するということが生じにくくなる。
　一方、通過入口３３から入口床面３４６側に流れ込んだ上向き偏流ＡＦ２６は、入口天井面３４２や計測入口３５に向けて進みやすい。すなわち、上向き偏流ＡＦ２６は、通過入口３３から入口通過路３３１に流れ込んだ後、入口床面３４６等の通過床面３４５から離間する向きに進みやすい。この場合、上向き偏流ＡＦ２６について通過床面３４５からの剥離が生じることで、通過床面３４５側に巻き込むように流れる渦流ＡＦ２７が発生するなどして上向き偏流ＡＦ２６の流れが乱れやすくなる。このように上向き偏流ＡＦ２６の流れが乱れた場合、上向き偏流ＡＦ２６の乱れによって入口天井面３４２側の上向き偏流ＡＦ２５の流れも乱れることなどにより通過流路３１全体で気流が乱れやすくなってしまう。この場合、乱れた気流が計測入口３５から計測流路３２に流れ込むことで、流量センサ２２による流量の検出精度が低下することが懸念される。
　これに対して、入口天井面３４２によって向きが変えられた上向き偏流ＡＦ２５が通過床面３４５に向かって進んでいるため、この上向き偏流ＡＦ２５が、上向き偏流ＡＦ２６を通過床面３４５に向けて押し付けるような状態になる。この場合、通過床面３４５に向かって進む上向き偏流ＡＦ２５が、入口床面３４６側の上向き偏流ＡＦ２６の進む向きを通過床面３４５に向かう向きに変化させることになる。このため、上向き偏流ＡＦ２６が通過床面３４５から剥離するということが生じにくくなり、その結果、剥離に伴う渦流ＡＦ２７も発生しにくくなる。したがって、渦流ＡＦ２７が発生するなどして通過流路３１での気流が乱れるということが抑制される。
　エアフロメータ２０においては、流量計測に関する出力の変動態様と、入口床面３４６に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２１とが相関している。具体的には、吸気通路１２での真の空気流量に対するエアフロメータ２０の計測値の変動態様を出力変動として算出した場合、この出力変動は、入口床面３４６に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２１が１０度以上である構成で適正に管理されている。例えば、傾斜角度θ２１が０度より大きく且つ１０度よりも小さい範囲では、傾斜角度θ２１が１０度に近い値であるほどエアフロメータ２０の出力変動が小さくなる。そして、傾斜角度θ２１が１０度以上にある範囲では、エアフロメータ２０の出力変動が適正に小さい値に保たれる。なお、傾斜角度θ２１は、１０度以上の範囲において、６０度以下であることが好ましく、更には３０度以下であることが好ましい。
　また、エアフロメータ２０の出力変動は、主流線ＣＬ２２に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２２とも相関している。この出力変動は、主流線ＣＬ２２に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２２が１０度以上である構成で適正に管理されている。例えば、図７１に示すように、傾斜角度θ２２が０度より大きく且つ１０度よりも小さい範囲では、傾斜角度θ２２が１０度に近い値であるほどエアフロメータ２０の出力変動が小さくなっている。そして、傾斜角度θ２２が１０度以上にある範囲では、エアフロメータ２０の出力変動が適正に小さい値に保たれる。なお、傾斜角度θ２２は、１０度以上の範囲において、６０度以下であることが好ましく、更には３０度以下であることが好ましい。
　図６６に示す吸気通路１２において、エンジンの運転状態などに起因して吸入空気の流れに脈動が生じた場合、この脈動に伴って、上流側から流れる順流に加えて、下流側から順流とは逆向きに流れる逆流が発生することがある。順流は通過入口３３から通過流路３１に流入するのに対して、逆流は通過出口３４から通過流路３１に流入することが懸念される。例えば、順流が通過入口３３から流入し、更に通過流路３１から計測流路３２に流れ込んだ場合、この順流の流量が流量センサ２２により検出される。一方、吸気通路１２にて発生した逆流が通過出口３４から流入し、更に通過流路３１から計測流路３２に流れ込んだ場合、この逆流の流量が流量センサ２２により検出される。
　流量センサ２２は、計測流路３２での空気の流量に加えて、計測流路３２での空気の流れを検出することが可能になっている。しかしながら、通過出口３４から流入した逆流が計測流路３２に流れ込んだ場合、この逆流は、通過入口３３から流入した順流と同様に計測流路３２を計測入口３５から計測出口３６に向けて流れることになる。このように、計測流路３２においては、通過出口３４から流入した逆流が流れる向きと通過入口３３から流入した順流が流れる向きとが同じになるため、流量センサ２２は順流と逆流とを区別して検出することができない。このため、実際には計測流路３２を流れる空気に逆流が含まれているにもかかわらず、計測流路３２を流れる空気の全てが順流であるとして、エアフロメータ２０が空気の流量を計測することになってしまう。この結果、エアフロメータ２０の計測精度が低下することが懸念される。
　また、吸気通路１２においては、空気がエアフロメータ２０の周囲を通過することに伴って渦流やよどみなど気流の乱れが生じることがある。例えば、吸気通路１２を順流として流れている空気が、ハウジング表面２１ｅやハウジング裏面２１ｆを通り過ぎる場合、そのまま主流方向に進もうとする流れと、ハウジング下流面２１ｄに沿って進もうとする流れとが混在して気流の乱れが生じることがある。この気流の乱れが、ハウジング下流面２１ｄの下流側など通過出口３４の周辺に存在している場合、吸気通路１２で逆流が生じると、この逆流が気流の乱れを含んで不安定になり、この不安定な逆流が通過出口３４から通過流路３１に進入することが懸念される。
　そこで、エアフロメータ２０では、通過出口３４から通過流路３１に逆流が流入したとしても、分岐計測路３５１が通過流路３１から通過出口３４側に向けて延びていることで、この逆流が通過流路３１から分岐計測路３５１に流れ込みにくくなっている。特に、上述したように、出口通過線ＣＬ２５に対する分岐計測線ＣＬ２３の傾斜角度θ２６が６０度以下になっているため、通過流路３１から分岐計測路３５１に逆流が流れ込むということが更に生じにくくなっている。
　バイパス流路３０においては、上述したように計測入口３５が通過入口３３側を向いていない。このため、通過入口３３から流入した順流の動圧が計測入口３５に付与されにくく、計測流路３２での空気の流速が大きくなりやすい。また、この構成では、砂塵やダスト、水滴、油滴等の異物が順流と共に通過入口３３から通過流路３１に進入しても、この異物が通過流路３１から分岐計測路３５１に進入しにくくなっている。この場合、計測流路３２において流量センサ２２に到達した異物が流量センサ２２を破損させることや流量センサ２２に付着することが生じにくくなっているため、流量センサ２２の検出精度が異物により低下するということが抑制される。
　通過出口３４の全体と通過入口３３の少なくとも一部とが、主流方向である奥行き方向Ｚに重複している。この構成では、吸気通路１２において、通過入口３３のうち通過出口３４に奥行き方向Ｚに重複した部分に流れ込んだ主流に異物が含まれている場合に、この異物は主流と共にそのまま主流方向に真っ直ぐ進むことで通過出口３４から外部に排出される。このため、異物が計測入口３５に進入しにくくなっている。
　吸気通路１２において発生した脈動の状態を脈動特性と称すると、流量センサ２２の検出結果を用いてエアフロメータ２０が計測した脈動特性には、吸気通路１２において実際に発生した脈動の脈動特性に対して誤差が含まれていることがある。エアフロメータ２０が計測した脈動特性に誤差が含まれる場合としては、通過出口３４から流入した逆流が通過流路３１から計測流路３２に進入した場合が挙げられる。
　ここで、エアフロメータ２０が計測した流量を流量計測値ＧＡと称し、この流量計測値ＧＡの平均値を計測平均値ＧＡａｖｅと称し、吸気通路１２を流れる吸入空気の実際の流量を実流量ＧＢと称し、この実流量ＧＢの平均値を実平均値ＧＢａｖｅと称する。図７２に示すように、流量計測値ＧＡに誤差が含まれていることで流量計測値ＧＡが実流量ＧＢより小さい値になった場合、計測平均値ＧＡａｖｅも実平均値ＧＢａｖｅより小さくなる。
　計測平均値ＧＡａｖｅと実平均値ＧＢａｖｅとの差を実平均値ＧＢａｖｅで除した値で脈動特性を数値化することができる。この場合、脈動特性を算出する数式を（ＧＡａｖｅ－ＧＢａｖｅ）／ＧＢａｖｅと示すことができる。脈動特性の数値は、脈動の振幅が増加することに伴って増加しやすい。例えば、実流量ＧＢの最大値ＧＢｍａｘと実平均値ＧＢａｖｅとの差を実平均値ＧＢａｖｅで除した値を振幅比と称すると、図７３に示すように、振幅比の増加に伴って脈動特性の数値が増加する。特に、振幅比が１より大きい領域においては、振幅比の増加に伴う脈動特性の増加率が大きくなっている。ここで、振幅比が大きいほど通過出口３４からの逆流の量が大きいことになる。なお、振幅比を算出する数式を（ＧＢｍａｘ－ＧＢａｖｅ）／ＧＢａｖｅと示すことができる。
　本実施形態では、主流線ＣＬ２２に対する分岐計測線ＣＬ２３の傾斜角度θ２６が例えば６０度に設定されているが、脈動特性の数値は傾斜角度θ２６に応じて変化しやすくなっている。例えば、図７４に示すように、傾斜角度θ２６が３０度、４５度、６０度、９０度の構成について、通過出口３４から通過流路３１に逆流を流入させると、傾斜角度θ２６が３０度、４５度、６０度の構成では、逆流が計測流路３２に流れ込みにくくなっている。一方、傾斜角度θ２６が９０度の構成では、逆流が計測流路３２に流れ込みやすくなっている。この場合、エアフロメータ２０による脈動特性の検出精度が低下しやすい。
　エアフロメータ２０においては、傾斜角度θ２６に応じて計測流路３２への逆流の流れ込みやすさが異なり、この結果、脈動特性の数値が異なると考えられる。例えば、図７５に示すように、傾斜角度θ２６が６０度以下の構成では、脈動特性の数値が比較的小さい値になっている。これは、傾斜角度θ２６が６０度以下だと逆流が計測流路３２に流れ込みにくくなる、という事象に起因していると考えられる。一方、傾斜角度θ２６が６０度より大きい構成では、脈動特性の数値が比較的大きい値になっている。これは、傾斜角度θ２６が６０度より大きいと逆流が計測流路３２に流れ込みやすくなる、という事象に起因していると考えられる。しかも、この構成では、傾斜角度θ２６が大きくなるほど脈動特性の数値が増加している。これは、傾斜角度θ２６が６０度より大きい範囲では傾斜角度θ２６が大きくなるほど逆流が計測流路３２に流れ込みやすくなる、という事象に起因していると考えられる。
　ここまで説明した本実施形態によれば、入口天井面３４２が入口床面３４６に対して傾斜している。この構成では、通過入口３３から入口通過路３３１に流れ込んだ空気のうち、入口天井面３４２側に流れ込んだ上向き偏流ＡＦ２５等の空気が、入口天井面３４２によって進む向きが変えられて入口天井面３４２に沿って入口床面３４６に向けて進みやすくなる。このため、仮に上向き偏流ＡＦ２６等の空気が入口床面３４６から剥離したり剥離しそうになったりしても、この剥離する空気が、入口天井面３４２に沿って入口床面３４６に向けて進む上向き偏流ＡＦ２５等の空気によって入口床面３４６に押し付けられる。この場合、入口床面３４６から空気が剥離して渦等の乱れが生じることが、入口天井面３４２に沿って流れる流体により規制され、その結果、入口通過路３３１において空気の乱れが生じにくくなる。したがって、流量センサ２２による流量の検出精度を高めることができ、ひいては、エアフロメータ２０による流量の計測精度を高めることができる。
　本実施形態によれば、入口床面３４６に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２１が１０度以上である。この構成では、入口天井面３４２によって進む向きが変えられた上向き偏流ＡＦ２５等の空気が、通過出口３４ではなく入口床面３４６に向けて進むように、傾斜角度θ２１がある程度大きい値に設定されている。このため、傾斜角度θ２１が例えば１０度より小さい値に設定された構成に比べて、入口天井面３４２によって進む向きが変えられた上向き偏流ＡＦ２５等の空気により、入口床面３４６付近にて空気の剥離が生じることを確実に抑制できる。
　本実施形態によれば、入口天井面３４２が通過入口３３側を向くように入口床面３４６に対して傾斜している。この構成では、通過入口３３から入口天井面３４２側に流れ込んだ主流ＡＦ２１や下向き偏流ＡＦ２３等の空気が、入口天井面３４２から剥離するということが生じにくくなっている。このため、通過入口３３から入口天井面３４２側に流れ込んだ空気に渦流等の乱れが生じるということを抑制できる。
　例えば、入口天井面３４２が通過出口３４側を向くように入口床面３４６に対して傾斜した構成では、通過入口３３から入口天井面３４２側に流れ込んだ主流ＡＦ２１が、通過出口３４に向けて進むほど入口天井面３４２から離間し、剥離しやすくなる。この場合、主流ＡＦ２１によって渦流等が発生することなどにより通過流路３１にて気流の乱れが生じやすくなってしまう。
　本実施形態によれば、主流線ＣＬ２２が延びる主流方向に対して、入口天井面３４２が通過入口３３を向くように傾斜している。この構成では、主流方向に流れる主流ＡＦ２１等の空気が通過入口３３から入口天井面３４２側に流れ込んだ場合に、この空気を入口天井面３４２によって入口床面３４６側に案内することができる。このため、仮に、主流方向に流れる主流ＡＦ２２等の空気が、通過入口３３から入口床面３４６側に流れ込んで剥離したり剥離しそうになったりしても、この空気を入口天井面３４２から入口床面３４６に向けて進む空気で入口床面３４６に押し付けることができる。したがって、入口床面３４６周辺で気流に渦流ＡＦ２７等の乱れが発生することを抑制できる。
　本実施形態によれば、主流方向に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２２が１０度以上である。この構成では、ハウジング２１の周辺においてハウジング基端側からハウジング先端側に向けて斜めに進む下向きの偏流のうち、主流線ＣＬ２２に対する傾斜角度が入口天井面３４２よりも小さい下向き偏流ＡＦ２３，ＡＦ２４が極力多くなっている。これにより、通過入口３３から入口天井面３４２側に流れ込む下向きの偏流等の空気が入口天井面３４２から剥離することで気流に渦流等の乱れが生じるということを抑制できる。
　これに対して、例えば、主流方向に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２２が１０度より小さい構成では、ハウジング２１の周辺においてハウジング基端側からハウジング先端側に向けて進む下向きの偏流の傾斜角度が、傾斜角度θ２２よりも大きくなりやすい。このため、通過入口３３から入口天井面３４２側に流れ込む下向きの偏流等の空気が、入口天井面３４２から剥離して気流に渦流等の乱れが生じる、ということが懸念される。
　本実施形態によれば、主流線ＣＬ２２が延びる主流方向は、ハウジング２１の角度設定面２７ａが延びている方向である。このため、配管ユニット１４に対するハウジング２１の取り付け角度を設定する場合に角度設定面２７ａを利用することで、吸気通路１２の周流方向に合わせてハウジング２１を適正な向きで配管ユニット１４に取り付けることができる。すなわち、入口天井面３４２が剥離抑制効果を発揮できる向きでハウジング２１を配管ユニット１４に取り付けることができる。
　本実施形態によれば、入口通過路３３１の断面積Ｓ２１は、通過入口３３から通過出口３４に向けて徐々に小さくなっている。この構成では、通過入口３３から入口通過路３３１に流れ込んだ空気が通過出口３４に向けて進むほど、入口通過路３３１の絞り度合いが大きくなるため、この空気がハウジング２１の内面によって整流されやすい。このため、入口天井面３４２によって進む向きが変えられた上向き偏流ＡＦ２５等の空気が、入口床面３４６よりもハウジング表側やハウジング裏側に広がらずに入口床面３４６に向けて進みやすくなり、入口床面３４６付近での空気の乱れを抑制できる。このように、入口通過路３３１を、入口天井面３４２の剥離抑制効果が発揮されやすい形状にすることができる。
　本実施形態によれば、入口通過線ＣＬ２４に対する分岐計測線ＣＬ２３の傾斜角度θ２５が９０度以上である。この構成では、通過入口３３から入口通過路３３１に流れ込んで入口通過線ＣＬ２４に沿って流れている空気は、その進む向きを鋭角的に急激に変化させなくても鈍角的に穏やかに変化させることで、入口通過路３３１から計測流路３２に流れ込むことができる。したがって、通過流路３１を流れる空気が計測流路３２に流れ込む際に、進む向きの急激な変化によって気流の乱れが生じる、ということを抑制できる。
　本実施形態によれば、主流線ＣＬ２２に対する分岐計測線ＣＬ２３の傾斜角度θ２６が６０度以下になっている。この構成では、通過流路３１に対する計測流路３２の分岐角度が６０度以下であるため、通過入口３３から入口通過路３３１に流れ込んだ空気について、その進む向きを急激に変化させなくても、入口通過路３３１から計測流路３２に流れ込ませることができる。したがって、通過流路３１を流れる空気が計測流路３２に流れ込む際に気流の乱れが生じにくくなっている。
　また、この構成では、通過出口３４から流入した逆流が通過流路３１から分岐計測路３５１に流れ込むには鋭角的に急旋回する必要がある。このため、逆流が分岐計測路３５１に流れ込みにくいという事象が生じやすくなり、逆流が流量センサ２２に到達するということを抑制できる。この場合、実際には通過出口３４から流入した逆流が流量センサ２２に到達したにもかかわらず、通過入口３３から流入した順流が流量センサ２２に到達したとしてエアフロメータ２０が流量の計測を行ってしまう、ということが生じにくくなる。したがって、エアフロメータ２０による吸入空気の流量の計測精度を高めることができる。
　さらに、この構成では、順流が通過流路３１から分岐計測路３５１に流れ込む場合に、その順流の流れの向きが分岐計測路３５１に向けて徐々に変わればよい。この場合では、上述したように逆流が分岐計測路３５１に流れ込みにくくなっている一方で、順流は分岐計測路３５１に流れ込みやすくなっている。このように、計測流路３２に流れ込む順流の流速が不足するということが抑制されるため、通過入口３３から流入した順流について、流量センサ２２による流量の検出精度を高めることができる。
　本実施形態によれば、通過出口３４の開口面積が通過入口３３の開口面積より小さいため、吸気通路１２にて発生した逆流が通過出口３４に流れ込みにくくなっている。したがって、分岐計測路３５１への逆流の流れ込みをより確実に抑制することができる。
　（第４実施形態）
　上記第１実施形態では、モールド裏面５５ｆに対して支持凹部５３０が設けられていたが、第４実施形態では、モールド裏面５５ｆに対して支持凸部が設けられている。本実施形態において、第１実施形態での図面と同一符号を付した構成部品及び説明しない構成は、上記第１実施形態と同様であり、同様の作用効果を奏するものである。本実施形態では、上記第１実施形態との相違点を中心に説明する。
　＜構成群Ｆの説明＞
　図７６に示すように、裏支持部５２２は、支持凹部５３０及び支持孔５４０に代えて支持凸部７１０及び支持孔７２０を有している。支持凸部７１０は、モールド裏面５５ｆに設けられた凸部であり、モールド裏部５６０の一部がモールド裏側に向けて突出することで形成されている。
　支持凸部７１０は、支持凸先端面７１１、支持凸外壁面７１２を有している。支持凸部７１０の中心線ＣＬ１５３は、幅方向Ｘに延びており、支持凸先端面７１１の中心を通っている。この中心線ＣＬ１５３は、センサ凹部６１の中心線ＣＬ５１と平行に延びており、センサ凹部６１の中心線ＣＬ５１と高さ方向に並んでいる。支持凸部７１０の中心線ＣＬ１５３は、上記第１実施形態の支持凹部５３０の中心線ＣＬ５３と同様に、高さ方向Ｙにおいてセンサ凹部６１の中心線ＣＬ５１からモールド基端側にずれた位置に配置されている。
　支持凸先端面７１１は、支持凸部７１０の中心線ＣＬ１５３に直交しており、ＳＡ基板５３と平行に延びている。支持凸先端面７１１は円状や略円状に形成されている。支持凸先端面７１１の外周縁は、支持凸部７１０の中心線ＣＬ１５３に直交する方向Ｙ，Ｚにおいて、支持凸部７１０の基端部から内側に離間した位置に設けられている。なお、支持凸先端面７１１が支持凸先端部に相当する。
　支持凸外壁面７１２は、支持凸先端面７１１からモールド表側に向けて延びている。支持凸外壁面７１２は、支持凸部７１０の中心線ＣＬ１５３に対して傾斜しており、モールド裏側を向いている。支持凸部７１０は幅方向Ｘにおいてモールド裏側に向けて徐々に縮小されており、全体としてテーパ形状になっている。支持凸外壁面７１２は、支持凸先端面７１１の外周縁に沿って環状に延びている。
　支持凸外壁面７１２は、外壁傾斜面７１４、先端面取り面７１５、基端面取り面７１６を有している。外壁傾斜面７１４は、支持凸部７１０の中心線ＣＬ１５３に対して傾斜した方向に真っ直ぐに延びており、この中心線ＣＬ１５３に対する傾斜角度が例えば４５度よりも大きくなっている。先端面取り面７１５は、支持凸先端面７１１と外壁傾斜面７１４とを出隅部分を面取りする面であり、支持凸部７１０の外側に向けて膨らむように湾曲している。基端面取り面７１６は、外壁傾斜面７１４とモールド裏面５５ｆとの入隅部分を面取りする面であり、支持凸部７１０の内側に向けて凹むように湾曲している。
　幅方向Ｘに直交する方向Ｙ，Ｚでの支持凸外壁面７１２の長さ寸法Ｌ１５１は、幅方向Ｘでの支持凸外壁面７１２の長さ寸法Ｌ１５２よりも大きくなっている。長さ寸法Ｌ１５１は、方向Ｙ，Ｚにおいて、支持凸外壁面７１２の内周縁と外周縁との離間距離であり、基端面取り面７１６の外周縁と先端面取り面７１５の内周縁との離間距離である。長さ寸法Ｌ１５２は、モールド裏面５５ｆからの支持凸部７１０の突出寸法である。長さ寸法Ｌ１５２は、幅方向Ｘにおいて、支持凸外壁面７１２の先端部と基端部との離間距離であり、基端面取り面７１６の外周縁と先端面取り面７１５の内周縁との離間距離である。長さ寸法Ｌ１５２は、モールド裏部５６０のうち支持凸部７１０が設けられた部分の厚さ寸法Ｌ１５３、及びＳＡ基板５３の厚さ寸法Ｌ５４のいずれよりも小さくなっている。なお、支持凸外壁面７１２においては、先端部が内周縁になっており、基端部が外周縁になっている。
　支持孔７２０は、支持凸部７１０の支持凸先端面７１１から流量センサ２２に向けて延びており、センサ凹開口５０３に通じている。支持孔７２０は裏支持部５２２を幅方向Ｘに貫通している。支持孔７２０の中心線ＣＬ１５２は幅方向Ｘに延びており、センサ凹部６１の中心線ＣＬ５１及び支持凸部７１０の中心線ＣＬ１５３と平行に延びている。支持孔７２０の中心線ＣＬ１５２は、中心線ＣＬ５１，ＣＬ１５２と高さ方向Ｙに並んでいる。支持孔７２０の中心線ＣＬ１５２は、中心線ＣＬ５１，ＣＬ１５３のいずれからもモールド先端側にずれた位置に配置されている。なお、幅方向Ｘが支持孔７２０の長さ方向に相当する。
　支持孔７２０は、モールド裏孔７２５、ＳＡ基板孔７２６を有している。モールド裏孔７２５は、モールド裏部５６０を幅方向Ｘに貫通した貫通孔である。ＳＡ基板孔７２６は、ＳＡ基板５３を幅方向Ｘに貫通した貫通孔である。ＳＡ基板孔７２６は、モールド裏孔７２５よりもモールド表側に設けられており、これらＳＡ基板孔７２６とモールド裏孔７２５とは互いに連通している。モールド裏孔７２５の中心線とＳＡ基板孔７２６の中心線とは互いに一致しており、支持孔７２０の中心線ＣＬ１５２にも一致している。ＳＡ基板孔７２６とモールド裏孔７２５とは、中心線ＣＬ１５２に直交する断面において同じ大きさ及び形状を有している。例えば、ＳＡ基板孔７２６及びモールド裏孔７２５はいずれも断面円状や断面略円状になっており、同じ内径を有している。なお、本実施形態では、上記第１実施形態の支持孔５４０をＳＡ基板孔７２６と称している。
　支持孔７２０は、断面円状や断面略円状になっており、その中心線ＣＬ１５２が延びる方向において太さが均一になっている。支持孔７２０において、モールド表側の端部を表端部７２１と称し、モールド裏側の端部を裏端部７２２と称すると、表端部７２１及び裏端部７２２はいずれも円状や略円状になっている。表端部７２１は、ＳＡ基板孔７２６のモールド表側の端部であり、ＳＡ基板表面５４５に含まれている。裏端部７２２は、モールド裏孔７２５のモールド裏側の端部であり、支持凸先端面７１１に含まれている。裏端部７２２は、支持孔７２０の中心線ＣＬ５２に直交する方向Ｙ，Ｚにおいて、支持凸先端面７１１の外周縁から内側に離間した位置に配置されている。このため、支持凸先端面７１１は、裏端部７２２の外周縁に沿って環状に延びている。
　図７７に示すように、モールド裏面５５ｆに沿って流れる裏寄り流ＡＦ３４は、支持凸部７１０に到達して支持凸外壁面７１２に沿って流れることで、モールド裏側に向けて斜めに進むことになる。このため、支持凸外壁面７１２に沿って進んだ後に支持孔７２０の裏端部７２２を通過する裏寄り流ＡＦ３４は、この裏端部７２２からモールド裏側に離間した位置を通りやすい。したがって、裏寄り流ＡＦ３４が裏端部７２２から支持孔７２０に流れ込むということが生じにくくなっている。
　ここまで説明した本実施形態によれば、センサ支持部５１の裏支持部５２２において、支持孔７２０の周囲に設けられた支持凸外壁面７１２が流量センサ２２とは反対側を向くように傾斜している。この構成では、センサ支持部５１の支持凸外壁面７１２に沿って流れる裏寄り流ＡＦ３４が、支持孔７２０の長さ方向において支持孔７２０からモールド裏側に向けて遠ざかるように進みやすいため、支持孔７２０に裏寄り流ＡＦ３４が流れ込みにくくなっている。このため、センサ支持部５１のモールド裏面５５ｆに沿って流れる裏寄り流ＡＦ３４が支持孔７２０を通じてセンサ凹部６１に勢いよく流れ込み、センサ凹部６１の内部にて量や速度が過剰に大きいキャビティ流ＡＦ５１が発生する、ということを抑制できる。この場合、上記第１実施形態と同様に、キャビティ流ＡＦ５１によってメンブレン部６２での抵抗体７１～７４等の動作精度が低下するということが生じにくいため、エアフロメータ２０の計測精度を高めることができる。
　本実施形態によれば、幅方向Ｘに直交する方向Ｙ，Ｚにおいて、支持凸先端面７１１の外周縁が支持孔７２０の裏端部７２２から外側に離間した位置に設けられている。この構成では、支持凸外壁面７１２に沿って支持孔７２０に向けて流れる裏寄り流ＡＦ３４が、支持凸先端面７１１の外周縁に到達しても、支持孔７２０の裏端部７２２からモールド上流側に離間した位置を通りやすい。また、この裏寄り流ＡＦ３４が奥行き方向Ｚにおいて裏端部７２２に到達した場合には、この裏寄り流ＡＦ３４は、裏端部７２２からモールド裏側に離間した位置を通りやすい。以上のように、支持凸先端面７１１に沿って流れる裏寄り流ＡＦ３４が支持孔７２０の裏端部７２２から離間した位置を通りやすいため、裏寄り流ＡＦ３４が裏端部７２２から支持孔７２０に流れ込むということを抑制できる。
　本実施形態によれば、幅方向Ｘに直交する方向Ｙ，Ｚにおいて、支持凸先端面７１１の外周縁がセンサ凹開口５０３から外側に離間した位置に設けられているほどに、支持凸先端面７１１が大きくなっている。このため、支持凸先端面７１１の外周縁が支持孔７２０の裏端部７２２から外側に離間した構成と実現することができる。
　本実施形態によれば、幅方向Ｘに直交する方向Ｙ，Ｚでの支持凸外壁面７１２の長さ寸法Ｌ１５１が、幅方向Ｘでの支持凸外壁面７１２の長さ寸法Ｌ１５２よりも大きくなっている。この構成では、支持凸外壁面７１２が支持凸部７１０をモールド裏側に向けて徐々に絞る度合いが極力穏やかになっている。このため、裏寄り流ＡＦ３４が支持凸外壁面７１２に到達して進む方向が変化する際に、進行方向の変化が抑制されることで渦流等の乱れが生じにくくなっている。したがって、支持孔７２０の裏端部７２２周辺において気流の乱れが生じ、この乱れに伴って裏端部７２２から支持孔７２０の内部に空気が流れ込む、ということを抑制できる。
　（他の実施形態）
　以上、本開示による複数の実施形態について説明したが、本開示は、上記実施形態に限定して解釈されるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲内において種々の実施形態及び組み合わせに適用することができる。
　＜構成群Ａの変形例＞
　変形例Ａ１として、計測流路３２において表頂部１１１ａと裏頂部１１２ａとは、幅方向Ｘに並べられていなくてもよい。例えば、頂部１１１ａ，１１２ａのうち表頂部１１１ａだけが発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ５上に配置されていてもよい。この場合、裏頂部１１２ａは、中心線ＣＬ５に対して高さ方向Ｙ及び奥行き方向Ｚの少なくとも一方にずれた位置に配置されていることになる。
　変形例Ａ２として、表絞り部１１１の表頂部１１１ａは、発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ５上に配置されていなくてもよい。例えば、表頂部１１１ａが、発熱抵抗体７１の一部と幅方向Ｘに並び、発熱抵抗体７１の一部と対向していればよい。また、表頂部１１１ａが、メンブレン部６２の一部と幅方向Ｘに並び、メンブレン部６２の一部と対向していればよい。さらに、表頂部１１１ａが、流量センサ２２の一部と幅方向Ｘに並び、流量センサ２２の一部と対向していればよい。
　変形例Ａ３として、表絞り部１１１や裏絞り部１１２等の絞り部は、計測流路３２において計測天井面１０２や計測床面１０１に設けられていてもよい。例えば、計測流路３２において、計測床面１０１、計測天井面１０２、表計測壁面１０３及び裏計測壁面１０４のうち少なくとも１つに絞り部が設けられていればよい。
　変形例Ａ４として、吸入空気の流量とは異なる物理量を検出する物理量センサが計測流路に設けられていてもよい。計測流路に設けられる物理量センサとしては、流量センサ２２，２０２の他に、温度を検出する検出部や、湿度を検出する検出部、圧力を検出する検出部などが挙げられる。これら検出部は、検出ユニットとしてのセンサＳＡ５０，２２０に搭載されていてもよく、センサＳＡ５０，２２０とは別体として設けられていてもよい。
　変形例Ａ５として、エアフロメータ２０，２００は通過流路３１，２１１を有していなくてもよい。すなわち、バイパス流路３０，２１０は分岐していなくてもよい。例えば、計測流路３２，２１２の計測入口３５，２１５がハウジング２１，２０１の外面に設けられた構成とする。この構成では、計測入口３５，２１５からハウジング２１，２０１の内部に流れ込んだ空気の全てが計測出口３６，２１６から流出する。
　変形例Ａ６として、計測流路３２には、表絞り部１１１や裏絞り部１１２等の絞り部が設けられていなくてもよい。この場合、計測流路３２の形状が単純化されるため、計測流路３２の形状や大きさが、複数のエアフロメータ２０においてばらつくということが生じにくくなる。すなわち、計測流路３２の形状や大きさが、製品ごとにばらつくということが生じにくくなる。このため、流量センサ２２の検出精度やエアフロメータ２０の計測精度が製品ごとにばらつくということが抑制され、これら検出精度や計測精度を高めることができる。
　＜構成群Ｂの変形例＞
　変形例Ｂ１として、ハウジング仕切部はハウジング収容面に設けられていてもよい。例えば、上記第１実施形態において、図７８に示すように、ハウジング仕切部１３１がハウジング収容面１３６に設けられた構成とする。この構成では、ハウジング仕切部１３１がセンサＳＡ５０のＳＡ収容面１４６に向けて延びている。ハウジング仕切部１３１の中心線ＣＬ１１は、高さ方向Ｙに交差する方向に延びている。ハウジング仕切部１３１は、高さ方向Ｙに直交する方向Ｘ，Ｙに延びているのではなく、ハウジング基端側に向けてハウジング収容面１３６から斜めに延びている。このため、ハウジング仕切部１３１の中心線ＣＬ１１もハウジング収容面１３６に直交せずに斜めに交差している。
　本変形例では、ハウジング仕切部１３１がハウジング収容面１３６に設けられている。このため、単にセンサＳＡ５０をＳＡ収容領域１５０の奥側に向けて押し込むことで、ハウジング段差面１３７とハウジング収容面１３６との出隅部分でハウジング仕切部１３１の先端部を削るように変形させることができる。これにより、ハウジング仕切部１３１がハウジング収容面１３６に密着しやすくなる。なお、図７８では、ハウジング仕切部１３１のうちセンサＳＡ５０によって削り取られるように変形した部分を２点鎖線で図示している。
　変形例Ｂ２として、上記第１実施形態と同様に、上記第２実施形態でもハウジング仕切部がハウジング段差面に設けられていてもよい。例えば、図７９に示すように、ハウジング仕切部２７１がハウジング段差面２７７に設けられた構成とする。この構成では、第１中間壁部２３６の第１中間孔２３６ａが、ハウジング仕切部２７１の先端部ではなく第１中間壁部２３６の先端面により形成されている。なお、図７９においては、ハウジング仕切部２７１のうちセンサＳＡ２２０によって押し潰された部分を２点鎖線で図示している。
　また、図８０に示すように、ベース部材２９１においては、ベース突起２７１ａが第１ベース凸部２９５のハウジング基端側の壁面に設けられている。カバー部材２９２においては、カバー突起２７１ｂが第１カバー凸部２９７のハウジング基端側の面に設けられている。
　変形例Ｂ３として、上記第２実施形態と同様に、上記第１実施形態でもハウジング仕切部がハウジング流路面に設けられていてもよい。例えば、ハウジング仕切部１３１がハウジング流路面１３５に設けられた構成とする。
　変形例Ｂ４として、ハウジング仕切部が入り込むユニット凹部が検出ユニットに設けられていてもよい。例えば、図８１に示すように、上記第１実施形態において、センサＳＡ５０のＳＡ段差面１４７にユニット凹部としてのＳＡ凹部１６１が設けられた構成とする。この構成では、センサＳＡ５０が第１ハウジング部１５１に装着された状態では、ハウジング仕切部１３１がＳＡ凹部１６１の内部に入り込んでいる。ＳＡ段差面１４７からのＳＡ凹部１６１の凹み方向は、ハウジング段差面１３７からのハウジング仕切部１３１の突出方向と同じになっている。すなわち、ＳＡ凹部１６１の中心線はハウジング仕切部１３１の中心線ＣＬ１１に一致している。
　この構成では、ハウジング仕切部１３１とＳＡ凹部１６１の内面とが密着しやすくなっている。具体的には、ＳＡ段差面１４７からの凹み寸法であるＳＡ凹部１６１の深さ寸法が、ハウジング段差面１３７からのハウジング仕切部１３１の突出寸法よりも小さくなっている。この場合、センサＳＡ５０をハウジング開口部１５１ａから挿入してハウジング仕切部１３１をＳＡ凹部１６１の内部に入り込ませた後、更にセンサＳＡ５０を押し込むことでハウジング仕切部１３１がＳＡ凹部１６１の内面に接触して潰れるように変形する。これにより、ハウジング仕切部１３１がＳＡ凹部１６１の内面に密着しやすくなる。
　仮に、ハウジング仕切部１３１がＳＡ凹部１６１の内面に接触していなくても、ハウジング仕切部１３１の外面とＳＡ凹部１６１の内面との隙間が曲がった形状になっているため、この隙間を異物や空気が通過するということが生じにくくなっている。したがって、第２ハウジング部１５２の製造に際して、溶融樹脂が第１ハウジング部１５１とセンサＳＡ５０との隙間を通じて計測流路３２に進入するということを、ハウジング仕切部１３１がＳＡ凹部１６１の内部に入り込んでいることで抑制できる。
　変形例Ｂ５として、検出ユニットが有するユニット仕切部によりハウジングと検出ユニットとの隙間が仕切られていてもよい。例えば、図８２に示すように、上記第２実施形態において、検出ユニットとしてのセンサＳＡ２２０がユニット仕切部としてのＳＡ仕切部３０２を有している。ＳＡ仕切部３０２は、センサＳＡ２２０の外面に設けられた凸部であり、センサＳＡ２２０からハウジング２０１に向けて突出している。ＳＡ仕切部３０２の先端部はハウジング２０１の内面に接触している。ＳＡ仕切部３０２は、センサＳＡ２２０の外面とハウジング２０１の内面との間においてＳＡ収容領域２９０と計測流路２１２とを仕切っている。
　ＳＡ仕切部３０２は、センサＳＡ２２０のＳＡ流路面２８５に設けられている。ＳＡ仕切部３０２は、ＳＡ流路面２８５のうちハウジング２０１のハウジング流路面２７５に対向する部分に設けられており、高さ方向Ｙに交差する方向においてハウジング流路面２７５に向けて外側に突出している。ＳＡ仕切部３０２の中心線ＣＬ１４は、高さ方向Ｙに直交する方向Ｘ，Ｚに直線状に延びている。ＳＡ仕切部３０２は、ＳＡ流路面２８５と共にセンサＳＡ２２０の外周を環状に一周している。この場合、ＳＡ仕切部３０２は、幅方向Ｘに延びた部分と奥行き方向Ｚに延びた部分とを有しており、全体として略矩形枠状になっている。
　ＳＡ仕切部３０２は、上記第１実施形態のハウジング仕切部１３１と同様に先細りした形状になっている。ハウジング２０１において、第１中間壁部２３６の先端面は平坦面になっており、この平坦面にＳＡ仕切部３０２の先端部が接触している。
　エアフロメータ２００の製造工程において、図８３に示すようにセンサＳＡ２２０をベース部材２９１に組み付ける場合、上記第１実施形態のベース突起２７１ａが変形するのと同様に、ＳＡ仕切部３０２が変形する。具体的には、センサＳＡ２２０をベース開口部２９１ａからベース部材２９１の内部に押し込むことで、ＳＡ仕切部３０２の先端部がベース部材２９１の第１ベース凸部２９５により押し潰されたり削られたりして変形する。また、カバー部材２９２をベース部材２９１に組み付ける場合、上記第１実施形態のカバー突起２７１ｂが変形するのと同様に、ＳＡ仕切部３０２が変形する。具体的には、カバー部材２９２をセンサＳＡ２２０及びベース部材２９１に押し付けることで、ＳＡ仕切部３０２の先端部がカバー部材２９２の第１カバー凸部２９７により押し潰されて変形する。これらの場合、ＳＡ仕切部３０２においては、先端部が押し潰されたり削られたりすることで新たに形成された先端面がハウジング２０１のハウジング流路面２７５に密着しやすくなり、ＳＡ仕切部３０２とハウジング流路面２７５とのシール性が高められる。
　変形例Ｂ６として、上記変形例Ｂ５において、図８４に示すように、ＳＡ仕切部３０２がセンサＳＡ２２０のＳＡ段差面２８７に設けられていてもよい。ＳＡ仕切部３０２は、ハウジング段差面２７７に向けて高さ方向Ｙに延びている。ＳＡ仕切部３０２の中心線ＣＬ４は高さ方向Ｙに延びている。ＳＡ仕切部３０２は、ＳＡ段差面２８７と共にセンサＳＡ２２０の外周を環状に一周している。
　エアフロメータ２００の製造工程において、図８５に示すようにセンサＳＡ２２０をベース部材２９１に組み付ける場合、上記変形例Ｂ５と同様に、ベース部材２９１やカバー部材２９２の凸部２９５，２９７によりＳＡ仕切部３０２が変形する。これにより、ＳＡ仕切部３０２の新たな先端面がハウジング流路面２７５に密着しやすくなる。
　図８５に示すように、ＳＡ仕切部３０２は、ＳＡ段差面２８７においてＳＡ収容面２８６よりもＳＡ流路面２８５に近い位置に設けられている。この構成では、計測流路２１２側に極力寄せた位置でＳＡ仕切部３０２により計測流路２１２とＳＡ収容領域２９０とを仕切ることで、ハウジング２０１とセンサＳＡ２２０との隙間のうち計測流路２１２に含まれる部分を極力小さくできる。このため、ＳＡ仕切部３０２がＳＡ流路面２８５に極力近い位置に設けられていることで、流量センサ２０２の検出精度を高めることができる。
　図８４、図８５のように、ＳＡ段差面２８７に設けられたＳＡ仕切部３０２がハウジング段差面２７７に接触している構成では、ＳＡ段差面２８７とハウジング段差面２７７とが、いずれも高さ方向Ｙに交差し且つ互いに対向している。このため、センサＳＡ２２０を第１中間壁部２３６の第１中間孔２３６ａに挿入した場合に、ＳＡ仕切部３０２がハウジング段差面２７７に引っ掛かった状態になる。このため、単にセンサＳＡ２２０を計測流路２１２に向けてハウジング２０１の内部に押し込むという作業を行うことで、ＳＡ仕切部３０２をハウジング段差面２７７に密着させることができる。
　変形例Ｂ７として、上記変形例Ｂ４とＢ５とを組み合わせて、ユニット仕切部が入り込むハウジング凹部がハウジングに設けられていてもよい。例えば、図８６に示すように、上記第１実施形態において、検出ユニットとしてのセンサＳＡ５０がユニット仕切部としてのＳＡ仕切部１６２を有し、ハウジング２１がハウジング凹部１６３を有している構成とする。この構成では、ＳＡ仕切部１６２は、センサＳＡ５０の外面に設けられた凸部であり、センサＳＡ５０からハウジング２１に向けて突出している。ＳＡ仕切部１６２はハウジング凹部１６３の内部に入り込んだ状態になっている。
　ＳＡ仕切部１６２は、センサＳＡ５０のＳＡ段差面１４７に設けられている。ＳＡ仕切部１６２は高さ方向Ｙに延びており、ＳＡ仕切部１６２の中心線ＣＬ１３は、ＳＡ段差面１４７及びハウジング段差面１３７の両方に対して傾斜した状態で直線状に延びている。ＳＡ仕切部１６２は、ＳＡ段差面１４７と共にセンサＳＡ５０の外周を環状に一周している。この場合、ＳＡ仕切部１６２は、幅方向Ｘに延びた部分と奥行き方向Ｚに延びた部分とを有しており、全体として略矩形枠状になっている。ＳＡ仕切部１６２は、上記第１実施形態のハウジング仕切部１３１と同様に先細りした形状になっている。
　ハウジング凹部１６３は、ハウジング段差面１３７に設けられている。ハウジング段差面１３７からのハウジング凹部１６３の凹み方向は、ＳＡ段差面１４７からのＳＡ仕切部１６２の突出方向と同じになっている。すなわち、ハウジング凹部１６３の中心線はＳＡ仕切部１６２の中心線ＣＬ１３に一致している。
　ＳＡ仕切部１６２はハウジング凹部１６３の内部に入り込んでいる。この構成では、ＳＡ仕切部１６２とハウジング凹部１６３の内面とが密着しやすくなっている。具体的には、ハウジング凹部１６３の深さ寸法がＳＡ仕切部１６２の突出寸法よりも小さくなっている。この場合、センサＳＡ５０をハウジング開口部１５１ａから挿入してＳＡ仕切部１６２をハウジング凹部１６３の内部に入り込ませた後、更にセンサＳＡ５０を押し込むことでＳＡ仕切部１６２がハウジング凹部１６３の内面に接触して潰れるように変形する。これにより、ＳＡ仕切部１６２がハウジング凹部１６３の内面に密着しやすくなる。また、仮にＳＡ仕切部１６２がハウジング凹部１６３の内面に接触していなくても、ＳＡ仕切部１６２の外面とハウジング凹部１６３との隙間が曲がった形状になっているため、この隙間を異物や空気が通過するということが生じにくくなっている。
　図８６では、ＳＡ仕切部１６２の中心線ＣＬ１３とハウジング段差面１３７との間の角度のうち、ＳＡ収容領域１５０を向いた収容側角度θ１４が、計測流路３２を向いた流路側角度θ１３よりも大きくなっている。すなわち、θ１４＞θ１３の関係が成り立っている。この構成では、ＳＡ仕切部１６２の先端部がハウジング段差面１３７に接触した場合に、ＳＡ仕切部１６２の先端部が計測流路３２側よりもＳＡ収容領域１５０側に向けて倒れたり潰れたりしやすくなっている。このため、ＳＡ仕切部１６２がハウジング段差面１３７により押し潰されることで破片等の潰れカスが発生したとしても、この潰れカスが計測流路３２に進入しにくくなっている。
　図８６のように、ＳＡ段差面１４７に設けられたＳＡ仕切部１６２がハウジング段差面１３７に接触している構成では、ＳＡ段差面１４７とハウジング段差面１３７とがいずれも高さ方向Ｙに交差し且つ互いに対向している。このため、センサＳＡ５０を第１ハウジング部１５１の内部に挿入した場合に、ＳＡ仕切部１６２がハウジング段差面１３７に引っ掛かった状態になる。この場合、単にセンサＳＡ５０を計測流路３２に向けて第１ハウジング部１５１の内部に押し込むという作業を行うことで、ＳＡ仕切部１６２をハウジング段差面１３７に密着させることができる。
　変形例Ｂ８として、ハウジング段差面に設けられたハウジング仕切部の設置位置は、ハウジング収容面よりもハウジング流路面に近い位置でなくてもよい。例えば、上記第２実施形態において、ハウジング仕切部２７１がハウジング段差面２７７においてハウジング流路面２７５よりもハウジング収容面２７６に近い位置に設けられた構成とする。また、ハウジング段差面１３７において、ハウジング仕切部１３１までの離間距離がハウジング流路面１３５とハウジング収容面１３６とで同じになっていてもよい。
　変形例Ｂ９として、ユニット段差面に設けられたユニット仕切部の設置位置は、ユニット収容面よりもユニット流路面に近い位置でなくてもよい。例えば、上記変形例Ｂ６において、ＳＡ仕切部３０２がＳＡ段差面２８７においてＳＡ流路面２８５よりもＳＡ収容面２８６に近い位置に設けられた構成とする。また、ＳＡ段差面２８７において、ＳＡ仕切部３０２までの離間距離がＳＡ流路面２８５とＳＡ収容面２８６とで同じになっていてもよい。
　変形例Ｂ１０として、ハウジング仕切部は、ハウジング段差面、ハウジング流路面及びハウジング収容面のうち複数の面に設けられていてもよい。この構成では、複数の面のそれぞれに設けられたハウジング仕切部が、互いに接続されていてもよく、互いに独立していてもよい。例えば、上記第１実施形態において、ハウジング段差面１３７及びハウジング流路面１３５のそれぞれに設けられたハウジング仕切部１３１が、互いに独立した状態で高さ方向Ｙに並べられた構成とする。
　変形例Ｂ１１として、ユニット仕切部は、ユニット段差面、ユニット流路面及びユニット収容面のうち複数の面に設けられていてもよい。この構成では、複数の面のそれぞれに設けられたユニット仕切部が、互いに接続されていてもよく、互いに独立していてもよい。例えば、上記変形例Ｂ７において、ＳＡ段差面１４７及びＳＡ流路面１４５のそれぞれに設けられたＳＡ仕切部１６２が、互いに独立した状態で高さ方向Ｙに並べられた構成とする。
　変形例Ｂ１２として、ハウジング仕切部やユニット仕切部は、検出ユニットの周りを環状に一周していなくてもよい。例えば、上記第１実施形態のハウジング段差面１３７において、高さ方向Ｙでの高さ位置が高い部分と低い部分とが周方向に並べられた構成とする。この構成では、高い部分と低い部分とのうち低い部分にだけハウジング仕切部１３１が設けられている。この場合、ハウジング段差面１３７のうち高い部分とハウジング仕切部１３１とがＳＡ段差面１４７に接触していることで、第１ハウジング部１５１の内面とセンサＳＡ５０との間に隙間が生じないようになっている。なお、このハウジング仕切部１３１は、幅方向Ｘや奥行き方向Ｚに延びていても、環状にはなっていない。
　変形例Ｂ１３として、物理量計測装置はハウジング仕切部及びユニット仕切部の両方を有していてもよい。例えば、ハウジング仕切部とユニット仕切部とが高さ方向Ｙに並べられた構成とする。この構成では、ハウジング段差面、ハウジング流路面及びハウジング収容面のうちハウジング仕切部が設けられた面とは対向しない面にユニット仕切部が設けられていてもよく、対向する面にユニット仕切部が設けられていてもよい。また、ハウジング仕切部とユニット仕切部とが互いに接触する構成としてもよい。この構成では、ハウジングの内部への検出ユニットの挿入に伴ってハウジング仕切部とユニット仕切部とが互いに押し付けられることで、これらハウジング仕切部及びユニット仕切部の少なくとも一方が変形しやすくなる。この場合、ハウジング仕切部とユニット仕切部とが互いに密着しやすくなるため、計測流路と収容領域との境界部でのシール性がハウジング仕切部及びユニット仕切部の両方により高められる。
　変形例Ｂ１４として、ハウジング仕切部は検出ユニットの外面に接触していれば、ハウジングへの検出ユニットの装着前後で形状が変化していなくてもよい。同様に、ユニット仕切部はハウジングの内面に接触していれば、ハウジングへの検出ユニットの装着前後で形状が変化していなくてもよい。
　変形例Ｂ１５として、ハウジングの内面からハウジング仕切部が延びている向きは上記各実施形態に制限されない。例えば、上記第１実施形態において、収容側角度θ１２が流路側角度θ１１に比べて大きくなっていなくてもよい。同様に、検出ユニットの外面からユニット仕切部が延びている向きは上記各実施形態に制限されない。例えば、上記変形例Ｂ７において、収容側角度θ１４が流路側角度θ１１に比べて大きくなっていなくてもよい。
　変形例Ｂ１６として、ハウジング仕切部やユニット仕切部は先細りの形状になっていなくてもよい。例えば、上記第１実施形態において、ハウジング仕切部１３１が縦断面矩形状になっていてもよい。この場合、高さ方向Ｙに直交する方向Ｘ，Ｚにおいて、ハウジング仕切部１３１の幅寸法は、ハウジング仕切部１３１の基端部と先端部とで同じになっている。
　変形例Ｂ１７として、ハウジングの内部において収容領域は空気等の気体が存在する空間になっていてもよい。この構成では、収容領域と計測流路との境界部でのシール性がハウジング仕切部やユニット仕切部により高められていることで、収容領域と計測流路との間で空気の行き来が阻止される。このため、計測流路から収容領域に空気が漏れることや、収容領域から計測流路に空気が進入すること、に起因して計測流路において流量センサによる流量の検出精度が低下する、ということを抑制できる。
　＜構成群Ｃの変形例＞
　変形例Ｃ１として、入口床面は、通過入口側を向いていなくてもよい。例えば、上記第３実施形態において、図８７に示すように、入口床面３４６が通過出口３４側を向いた構成とする。この構成では、入口床面３４６が、奥行き方向Ｚにおいて通過入口３３とは反対側を向くように、主流線ＣＬ２２、出口床面３４７及び分岐床面３４８のいずれに対しても傾斜している。また、入口床面３４６は、図８８に示すように、主流線ＣＬ２２と平行に延びていてもよい。さらに、通過床面３４５の全体が、通過出口３４側を向いていてもよく、図８９に示すように主流線ＣＬ２２と平行に延びていてもよい。いずれの構成であっても、入口天井面３４２が入口床面３４６に対して傾斜していればよい。
　変形例Ｃ２として、計測入口が通過出口側を向いていなくてもよい。例えば、上記第３実施形態において、図８８に示すように、計測入口３５が通過入口３３側及び通過出口３４側のいずれにも向いていない構成とする。この計測入口３５は、主流線ＣＬ２２と平行に延びており、通過床面３４５側を向いている。この構成では、通過床面３４５が主流線ＣＬ２２と平行に延びている一方で、出口天井面３４３が主流線ＣＬ２２に対して傾斜している。この出口天井面３４３は、通過出口３４側を向くように出口床面３４７にたいして傾斜している。
　変形例Ｃ３として、入口天井面の一部が天井傾斜面になっていてもよい。例えば、上記第３実施形態において、図８９に示すように、入口天井面３４２が天井傾斜面３４２ａ及び天井接続面３４２ｂを有する構成とする。この構成において、天井傾斜面３４２ａは、通過入口３３から通過出口３４に向けて延びており、入口床面３４６に対して傾斜している。天井傾斜面３４２ａは、通過入口３３側を向いており、入口床面３４６に加えて主流線ＣＬ２２に対して傾斜している。奥行き方向Ｚにおいて、天井傾斜面３４２ａの長さ寸法は入口床面３４６の長さ寸法よりも小さくなっている。天井接続面３４２ｂは、天井傾斜面３４２ａの下流端部と奥行き方向Ｚでの計測入口３５の上流端部とを接続しており、主流方向に延びる主流線ＣＬ２２と平行に延びている。奥行き方向Ｚにおいて、例えば、天井傾斜面３４２ａの長さ寸法は天井接続面３４２ｂの長さ寸法よりも大きくなっている。
　本変形例では、天井傾斜面３４２ａが上記第３実施形態の入口天井面３４２に対応する部位である。このため、入口床面３４６に対する天井傾斜面３４２ａの傾斜角度が傾斜角度θ２１であり、主流線ＣＬ２２に対する天井傾斜面３４２ａの傾斜角度が傾斜角度θ２２である。また、高さ方向Ｙにおいて天井傾斜面３４２ａと入口床面３４６との離間距離が離間距離Ｈ２１である。
　変形例Ｃ４として、上記第３実施形態において、入口床面３４６に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２１が、主流線ＣＬ２２に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２２以下の値であってもよい。例えば、上記変形例Ｃ１のように、入口床面３４６が通過出口３４側を向くように主流線ＣＬ２２に対して傾斜した構成とする。
　変形例Ｃ５として、上記第３実施形態において、入口床面３４６に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２１が１０度以上の値であれば、主流線ＣＬ２２に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２２は１０度以上の値でなくてもよい。例えば、入口天井面３４２が通過出口３４を向いた構成とする。この構成では、主流線ＣＬ２２に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２２が０度より小さい値になっている一方で、入口床面３４６に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２１が１０度以上になっている。この場合、入口床面３４６は、通過入口３３側を向くように主流線ＣＬ２２に対して大きく傾斜している。
　変形例Ｃ６として、上記第３実施形態において、入口床面３４６に対する分岐計測線ＣＬ２３の傾斜角度θ２３が、主流線ＣＬ２２に対する分岐計測線ＣＬ２３の傾斜角度θ２４以上の値であってもよい。例えば、上記変形例Ｃ４と同様に、入口床面３４６が通過出口３４側を向くように主流線ＣＬ２２に対して傾斜した構成とする。
　変形例Ｃ７として、上記第３実施形態において、入口床面３４６に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２１は、０度より大きく且つ１０度より小さい範囲の値になっていてもよい。また、主流線ＣＬ２２に対する入口天井面３４２の傾斜角度θ２２は、０度より大きく且つ１０度より小さい範囲の値になっていてもよい。
　変形例Ｃ８として、上記第３実施形態において、入口床面３４６に対する分岐計測線ＣＬ２３の傾斜角度θ２３は、０度より大きく且つ９０度より小さい範囲の値になっていてもよい。また、主流線ＣＬ２２に対する分岐計測線ＣＬ２３の傾斜角度θ２４は、０度より大きく且つ９０度より小さい範囲の値になっていてもよい。
　変形例Ｃ９として、上記第３実施形態において、入口天井面３４２や入口床面３４６がハウジング先端側に向けて膨らんだり凹んだりするように曲がっていてもよい。この構成では、例えば、入口天井面３４２の上流端部と下流端部とを通る直線状の仮想線を想定し、入口床面３４６や主流線ＣＬ２２に対するこの仮想線の傾斜態様を入口天井面３４２の傾斜態様とする。また、入口床面３４６の上流端部と下流端部とを通る直線状の仮想線を想定し、入口天井面３４２や分岐計測線ＣＬ２３に対するこの仮想線の傾斜態様を入口床面３４６の傾斜態様とする。
　変形例Ｃ１０として、上記第３実施形態において、通過流路３１は、入口通過路３３１及び分岐通過路３３３を有していれば、出口通過路３３２を有していなくてもよい。この構成では、分岐通過路３３３の下流端部が通過出口３４になる。また、この構成では、通過天井面３４１が、入口天井面３４２を有している一方で、出口天井面３４３を有していないことになる。さらに、この構成では、通過床面３４５が、入口床面３４６及び分岐床面３４８を有している一方で、出口床面３４７を有していないことになる。
　変形例Ｃ１１として、上記第３実施形態において、入口通過路３３１の断面積Ｓ２１の減少率は、入口通過路３３１の上流端部と下流端部との間において一定の値でなくてもよい。例えば、断面積Ｓ２１の減少率が通過入口３３から通過出口３４に向けて徐々に小さくなっていく構成とする。この構成では、入口通過路３３１での断面積Ｓ２１の値を示すグラフが、図６７とは異なり下方に向けて膨らんだような形状になる。また、断面積Ｓ２１の減少率が通過入口３３から通過出口３４に向けて徐々に大きくなっていく構成とする。この構成では、入口通過路３３１での断面積Ｓ２１の値を示すグラフが、図６７とは異なり上方に向けて膨らんだような形状になる。
　変形例Ｃ１２として、上記第３実施形態において、入口通過路３３１の断面積Ｓ２１は、主流線ＣＬ２２に直交する方向での断面積ではなく、入口通過線ＣＬ２４に直交する方向での断面積であってもよい。
　変形例Ｃ１３として、上記第３実施形態において、分岐計測路３５１は計測入口３５から真っ直ぐに延びずに曲がっていてもよい。すなわち、分岐計測路３５１の中心線が真っ直ぐに延びずに曲がっていてもよい。分岐計測路３５１の中心線が曲がっている構成については、分岐計測路３５１の中心線について計測入口３５での接線を想定し、この接線を分岐計測線ＣＬ２３とする。
　変形例Ｃ１４として、上記第３実施形態において、出口通過線ＣＬ２５に対する分岐計測線ＣＬ２３の傾斜角度θ２６は、０度より大きく且つ６０度より小さい範囲の値になっていてもよい。
　変形例Ｃ１５として、計測流路３２においては、流量センサ２２が分岐計測路３５１や案内計測路３５２、排出計測路３５４に設けられていてもよい。
　変形例Ｃ１６として、エアフロメータ２０においては、吸気通路１２に対するハウジング２１の設置角度を設定する角度設定面２７ａを有する部位がフランジ部２７でなくてもよい。例えば、ハウジング２１の一部が配管ユニット１４の管フランジ１４ｃの先端面に引っかかった状態で、ハウジング２１が管フランジ１４ｃに対してボルト等により固定された構成とする。この構成では、ハウジング２１において管フランジ１４ｃの先端面に重なっている面が角度設定面になっており、この角度設定面が管フランジ１４ｃの先端面に重なっていることで、吸気通路１２に対するハウジング２１の設置角度が設定されている。
　＜構成群Ｄの変形例＞
　変形例Ｄ１として、下流外曲がり面４２１は湾曲した部分を有していてもよい。例えば、図９０に示すように、下流外曲がり面４２１が下流外横面４２２及び下流外縦面４２３に加えて下流外湾曲面４６１を有する構成とする。下流外湾曲面４６１は、計測流路３２の中心線ＣＬ４に沿って膨らむように延びており、この中心線ＣＬ４に沿って連続的に曲がるように湾曲している。下流外湾曲面４６１は、中心線ＣＬ４が延びる方向において下流外横面４２２と下流外縦面４２３との間に設けられており、これら下流外横面４２２と下流外縦面４２３とを接続している。
　下流外湾曲面４６１の曲率半径Ｒ３４は、上流外曲がり面４１１の曲率半径Ｒ３３よりも小さくなっている。このため、上記第１実施形態と同様に、下流外曲がり面４２１の曲がりは上流外曲がり面４１１の曲がりよりもきつい状態になっている。一方で、下流外湾曲面４６１の曲率半径Ｒ３４は、下流内曲がり面４２５の曲率半径Ｒ３２よりも大きくなっている。このため、下流外曲がり面４２１の曲がりは下流内曲がり面４２５の曲がりよりもゆるい状態になっている。
　並び線ＣＬ３１は、下流外曲がり面４２１において下流外縦面４２３ではなく下流外湾曲面４６１を通っている。この構成では、流量センサ２２を通過して並び線ＣＬ３１に沿って進んだ空気は、下流外湾曲面４６１に当たることで向きが変わり、下流曲がり路４０７の下流側に向けて進みやすくなる。
　本変形例によれば、下流外曲がり面４２１が下流外湾曲面４６１を有しているため、センサ支持部５１と絞り部１１１，１１２との間から下流曲がり路４０７に向けて吹き出された空気が下流外湾曲面４６１に沿って流れやすくなる。この場合、流量センサ２２を通過した空気が下流曲がり路４０７にてとどまりにくくなるため、流量センサ２２を通過する空気の流量や流速が低下するということを抑制できる。
　また、下流外湾曲面４６１の曲率半径Ｒ３４が上流外曲がり面４１１の曲率半径Ｒ３３よりも小さいことで、下流外曲がり面４２１の凹み度合いが上流外曲がり面４１１の凹み度合いよりも大きくなっていることが好ましい。この構成では、下流外曲がり面４２１の凹み度合いを極力大きくしつつ、流量センサ２２側から下流曲がり路４０７に到達した空気が下流外湾曲面４６１に沿って計測出口３６に向けて流れやすくなる。このため、下流曲がり路４０７に空気が留まって下流曲がり路４０７での圧力損失が増加するということを、下流外曲がり面４２１の形状によって抑制できる。
　変形例Ｄ２として、上記変形例Ｄ１において、下流外曲がり面４２１は、下流外湾曲面４６１を有している一方で、下流外横面４２２及び下流外縦面４２３の少なくとも一方を有していなくてもよい。例えば、下流外曲がり面４２１が下流外横面４２２及び下流外縦面４２３の両方を有していない構成とする。この構成では、下流外湾曲面４６１が下流曲がり路４０７の上流端部と下流端部とにかけ渡されている。この場合、下流外曲がり面４２１の全体が下流外湾曲面４６１になっており、下流外曲がり面４２１が下流外湾曲面に相当する。
　変形例Ｄ３として、上流外曲がり面４１１は、上流曲がり路４０６の上流端部から真っ直ぐに延びた上流外縦面と、上流曲がり路４０６の下流端部から真っ直ぐに延びた上流外横面と、のうち少なくとも一方を有していてもよい。この構成では、上流外曲がり面４１１の全体が上流外湾曲面になっているのではなく、上流外曲がり面４１１が、上流外縦面及び上流外横面の少なくとも一方に加えて、上流外湾曲面を有していることになる。例えば、上流外曲がり面４１１が上流外縦面及び上流外湾曲面を有している構成では、並び線ＣＬ３１が上流外縦面を通っていてもよい。また、上流外曲がり面４１１においては、上流外縦面と上流外横面とが互いに内向きに入り合った入隅部分として上流外入隅部が形成されていてもよい。
　変形例Ｄ４として、上流内曲がり面４１５は、上流曲がり路４０６の上流端部から真っ直ぐに延びた上流内縦面と、上流曲がり路４０６の下流端部から真っ直ぐに延びた上流内横面と、のうち少なくとも一方を有していてもよい。この構成では、上流内曲がり面４１５の全体が上流内湾曲面になっているのではなく、上流内曲がり面４１５が、上流内縦面及び上流内横面の少なくとも一方に加えて、上流内湾曲面を有していることになる。また、上流内曲がり面４１５においては、上流内縦面と上流内横面とが外向きに出合った出隅部分として上流内出隅部が形成されていてもよい。
　変形例Ｄ５として、下流内曲がり面４２５は、下流曲がり路４０７の上流端部から真っ直ぐに延びた下流内縦面と、下流曲がり路４０７の下流端部から真っ直ぐに延びた下流内横面と、のうち少なくとも一方を有していてもよい。この構成では、下流内曲がり面４２５の全体が下流内湾曲面になっているのではなく、下流内曲がり面４２５が、下流内縦面及び下流内横面の少なくとも一方に加えて、下流内湾曲面を有していることになる。また、下流内曲がり面４２５においては、下流内縦面と下流内横面とが外向きに出合った出隅部分として下流内出隅部が形成されていてもよい。
　変形例Ｄ６として、外曲がり面４１１，４２１や内曲がり面４１５，４２５は、並び線ＣＬ３１に対して傾斜した傾斜面を少なくとも１つ有していることで、連続的ではなく段階的に曲がっていてもよい。例えば、下流外曲がり面４２１が並び線ＣＬ３１に対して傾斜した方向に真っ直ぐに延びた傾斜面として下流外傾斜面を有している構成とする。この構成では、下流外横面４２２と下流外縦面４２３との接続部分が下流外傾斜面により面取りされた状態になっており、下流外曲がり面４２１が下流外入隅部４２４を有していない。また、計測流路３２の中心線ＣＬ４に沿って下流外傾斜面が複数並べられていてもよく、この構成では、下流外曲がり面４２１が複数の下流外傾斜面により段階的に曲がった形状になる。
　変形例Ｄ７として、下流外曲がり面４２１の凹み度合いが上流外曲がり面４１１の凹み度合いよりも大きい構成は、曲率半径に関係なく実現されていてもよい。例えば、下流外曲がり面４２１全体が下流外湾曲面であり、上流外曲がり面４１１全体が上流外湾曲面であり、下流外曲がり面４２１の曲率半径Ｒ３４が上流外曲がり面４１１の曲率半径Ｒ３３よりも大きい構成を想定する。この構成でも、計測流路３２の中心線ＣＬ４が延びる方向において、下流外曲がり面４２１の長さ寸法が上流外曲がり面４１１の長さ寸法よりも小さければ、下流外曲がり面４２１の凹み度合いが上流外曲がり面４１１の凹み度合いよりも大きくなっている。
　変形例Ｄ８として、センサ路４０５においては、少なくとも計測床面１０１が並び線ＣＬ３１に沿って真っ直ぐに延びていればよい。また、センサ路４０５の上流端部に流量センサ２２の上流端部が設けられていてもよく、センサ路４０５の下流端部に流量センサ２２の下流端部が設けられていてもよい。例えば、奥行き方向Ｚにおいてセンサ路４０５の長さ寸法と流量センサ２２の長さ寸法とが同じになっていてもよい。
　変形例Ｄ９として、奥行き方向Ｚにおいて、上流外曲がり面４１１の下流端部が上流内曲がり面４１５の下流端部よりも流量センサ２２に近い位置に設けられていてもよい。この場合、センサ路４０５の上流端部は、上流内曲がり面４１５の下流端部ではなく、上流外曲がり面４１１の下流端部により規定されることになる。また、奥行き方向Ｚにおいて、下流外曲がり面４２１の上流端部が下流内曲がり面４２５の上流端部よりも流量センサ２２に近い位置に設けられていてもよい。この場合、センサ路４０５の下流端部は、下流内曲がり面４２５の上流端部ではなく、下流外曲がり面４２１の上流端部により規定されることになる。
　変形例Ｄ１０として、並び線ＣＬ３１は、流量センサ２２を通っていればよい。並び線ＣＬ３１は、例えば、発熱抵抗体７１の中心ＣＯ１でなくても発熱抵抗体７１の一部を通っていればよい。また、並び線ＣＬ３１は、メンブレン部６２の中心や一部を通っていてもよく、流量センサ２２の中心や一部を通っていてもよい。さらに、並び線ＣＬ３１は、上流曲がり路４０６と下流曲がり路４０７との並び方向に延びていれば、ハウジング２１の角度設定面２７ａや、奥行き方向Ｚ、主流方向に対して傾斜していてもよい。
　変形例Ｄ１１として、並び線ＣＬ３１上で、流量センサ２２が下流外曲がり面４２１よりも上流外曲がり面４１１に近い位置に配置されていれば、センサ支持部５１は下流外曲がり面４２１よりも上流外曲がり面４１１に近い位置に配置されていなくてもよい。この場合、センサ支持部５１において、並び線ＣＬ３１上では、流量センサ２２がモールド下流面５５ｄよりもモールド上流面５５ｃに近い位置に配置されている。
　変形例Ｄ１２として、並び線ＣＬ３１上において、流量センサ２２は、下流外曲がり面４２１よりも上流外曲がり面４１１に近い位置に配置されていれば、センサ路４０５の下流端部よりも上流端部に近い位置に配置されていなくてもよい。この場合、並び線ＣＬ３１上において、下流曲がり路４０７の上流端部と下流外曲がり面４２１との離間距離が、上流曲がり路４０６の下流端部と上流外曲がり面４１１との離間距離よりも大きくなっている。
　変形例Ｄ１３として、計測流路３２においては、上流曲がり路４０６と下流曲がり路４０７とがセンサ路４０５に対して反対向きに曲がっていてもよい。例えば、上流曲がり路４０６及び下流曲がり路４０７がいずれもセンサ路４０５からハウジング先端側に向けて延びるのではなく、一方がハウジング先端側に向けて延び、他方がハウジング基端側に向けて延びた構成とする。仮に、上流曲がり路４０６がセンサ路４０５からハウジング先端側に向けて延び、下流曲がり路４０７がセンサ路４０５からハウジング基端側に向けて延びていれば、下流外曲がり面４２１は、計測床面１０１ではなく計測天井面１０２から延びることになる。また、下流内曲がり面４２５は、計測天井面１０２ではなく計測床面１０１から延びることになる。
　変形例Ｄ１４として、計測絞り部の計測絞り面や計測拡張面は凹むように湾曲していてもよく、湾曲せずに真っ直ぐに延びていてもよい。例えば、図９１に示すように、絞り部１１１，１１２において、絞り面４３１，４４１が頂部１１１ａ，１１２ａから上流側に向けて真っ直ぐに延び、拡張面４３２，４４２が頂部１１１ａ，１１２ａから下流側に向けて真っ直ぐに延びた構成とする。絞り面４３１，４４１は、計測流路３２の上流側を向くように並び線ＣＬ３１に対して傾斜しており、拡張面４３２，４４２は、計測流路３２の下流側を向くように並び線ＣＬ３１に対して傾斜している。絞り面４３１，４４１の突出寸法の増加率は、絞り上流面４３３，４４３から頂部１１１ａ，１１２ａに向けて均一になっている。また、拡張面４３２，４４２の突出寸法の減少率は、頂部１１１ａ，１１２ａから拡張下流面４３４，４４４に向けて均一になっている。
　絞り部１１１，１１２は、並び線ＣＬ１に沿って延びた先端面を有しており、これら先端面が頂部１１１ａ，１１２ａになっている。奥行き方向Ｚでの頂部１１１ａ，１１２ａの中心は、発熱抵抗体７１の中心線ＣＬ５よりも下流曲がり路４０７寄りの位置に配置されている。
　本変形例によれば、表絞り面４３１や裏絞り面４４１が真っ直ぐに延びているため、これら絞り面４３１，４４１による気流の整流効果を高めることができる。また、表拡張面４３２や裏拡張面４４２が真っ直ぐに延びているため、流量センサ２２の検出精度を低下させない程度に、これら拡張面４３２，４４２からの気流の剥離が生じることなどにより気流が乱れやすくなっている。この場合、センサ支持部５１と拡張面４３２，４４２との間から下流曲がり路４０７に向けて噴流として吹き出される空気の勢いを弱めることができる。このため、噴流が下流外曲がり面４２１で跳ね返って逆流として流量センサ２２まで戻るということを抑制できる。
　なお、計測絞り部においては、計測絞り面及び計測拡張面のうち一方だけが真っ直ぐに延びていてもよい。具体的には、表絞り面４３１、表拡張面４３２、裏絞り面４４１及び裏拡張面４４２の少なくとも１つが真っ直ぐに延びていてもよい。また、表頂部１１１ａや裏頂部１１２ａは、膨らむように湾曲していてもよく、凹むように湾曲していてもよい。
　変形例Ｄ１５として、絞り部１１１，１１２の形状や大きさは上記第１実施形態の構成とは異なっていてもよい。例えば、絞り部１１１，１１２において、絞り面４３１，４４１の長さ寸法Ｗ３２ａ，Ｗ３２ｂが拡張面４３２，４４２の長さ寸法Ｗ３３ａ，Ｗ３３ｂよりも小さくなくてもよい。また、表絞り上流面４３３と表拡張下流面４３４とが面一になっていなくてもよい。この場合、表絞り上流面４３３からの表絞り面４３１の突出寸法と、表拡張下流面４３４からの表拡張面４３２の突出寸法とが異なる。裏絞り部１１２についても、表絞り部１１１と同様に、裏絞り上流面４４３と裏拡張下流面４４４とが面一になっていなくてもよい。この場合、裏絞り上流面４４３からの裏絞り面４４１の突出寸法と、裏拡張下流面４４４からの裏拡張面４４２の突出寸法とが異なる。
　変形例Ｄ１６として、表絞り部１１１と裏絞り部１１２とで形状や大きさが異なっていてもよい。例えば、表絞り部１１１の長さ寸法Ｗ３１ａが裏絞り部１１２の長さ寸法Ｗ３１ｂよりも大きくなっていてもよく、小さくなっていてもよい。表絞り面４３１の長さ寸法Ｗ３２ａが裏絞り面４４１の長さ寸法Ｗ３２ｂよりも大きくなっていてもよく、小さくなっていてもよい。また、表拡張面４３２の長さ寸法Ｗ３３ａが裏拡張面４４２の長さ寸法Ｗ３３ｂよりも大きくなっていてもよく、小さくなっていてもよい。表頂部１１１ａの突出寸法Ｄ３２ａ，Ｄ３６ａが裏頂部１１２ａの突出寸法Ｄ３２ｂ，Ｄ３６ｂと同じ又はそれよりも小さくなっていてもよい。
　変形例Ｄ１７として、絞り部１１１，１１２は、奥行き方向Ｚにおいて計測仕切部４５１から外側にはみ出していてもよい。また、絞り部１１１，１１２は、上流曲がり路４０６や下流曲がり路４０７の内部に入り込まない位置に設けられていてもよい。例えば、絞り部１１１，１１２がセンサ路４０５、上流曲がり路４０６及び下流曲がり路４０７のうちセンサ路４０５だけに設けられた構成とする。さらに、絞り部１１１，１１２は、計測天井面１０２と計測床面１０１とにかけ渡されていなくてもよい。例えば、絞り部１１１，１１２が計測天井面１０２及び計測床面１０１のうち一方だけから延びた構成とする。また、絞り部１１１，１１２が計測天井面１０２及び計測床面１０１の間において、これら計測天井面１０２及び計測床面１０１のいずれからも離間した位置に設けられた構成とする。
　変形例Ｄ１８として、絞り部１１１，１１２等の計測絞り部は、計測流路３２において表計測壁面１０３、裏計測壁面１０４、外計測曲がり面４０１及び内計測曲がり面４０２の少なくとも１つに設けられていればよい。例えば、表絞り部１１１及び裏絞り部１１２の少なくとも一方が設けられた構成とする。また、計測壁面１０３，１０４及び計測曲がり面４０１，４０２のそれぞれに計測絞り部が設けられた構成とする。
　変形例Ｄ１９として、下流内曲がり面４２５の膨らみ度合いは、上流内曲がり面４１５の膨らみ度合いより小さくなくてもよい。また、下流外曲がり面４２１の凹み度合いが下流内曲がり面４２５の膨らみ度合いよりも小さくてもよい。さらに、上流外曲がり面４１１の凹み度合いが上流内曲がり面４１５の膨らみ度合いよりも大きくてもよい。いずれの構成でも、計測流路３２においてＬ３５ｂ＞Ｌ３５ａの関係が成り立っていることが好ましい。
　変形例Ｄ２０として、計測流路３２においてＬ３５ｂ＞Ｌ３５ａの関係が成り立っていなくてもよい。すなわち、下流外曲がり面４２１と下流内曲がり面４２５との離間距離Ｌ３５ｂが、上流外曲がり面４１１と上流内曲がり面４１５との離間距離Ｌ３５ａよりも大きくなっていなくてもよい。
　変形例Ｄ２１として、下流外曲がり面４２１の凹み度合いは上流外曲がり面４１１の凹み度合いよりも大きくなくてもよい。
　変形例Ｄ２２として、並び線ＣＬ３１上において、流量センサ２２が下流外曲がり面４２１よりも上流外曲がり面４１１に近い位置に配置されていなくてもよい。
　＜構成群Ｅの変形例＞
　変形例Ｅ１として、センサ支持部５１のモールド上流面５５ｃのうち、計測流路３２に設けられた部分の全体が絞り部１１１，１１２よりも上流側に配置されていてもよい。すなわち、計測流路３２においては、モールド上流面５５ｃのうち並び断面ＣＳ４１に含まれた部分が絞り部１１１，１１２よりも上流側に設けられていれば、他の部分は絞り部１１１，１１２よりも上流側に設けられていなくてもよい。
　変形例Ｅ２として、並び断面ＣＳ４１では、モールド上流面５５ｃが表絞り部１１１及び裏絞り部１１２の少なくとも一方よりも上流側に配置されていればよい。例えば、裏絞り部１１２が並び断面ＣＳ４１においてモールド上流面５５ｃよりも下流側に配置された構成とする。
　変形例Ｅ３として、センサ支持部５１において、モールド上流傾斜面４７１は、モールド基端面５５ｂに向けてモールド下流面５５ｄに徐々に近づくように高さ方向Ｙに対して傾斜していてもよい。また、モールド上流傾斜面４７１は、奥行き方向Ｚに膨らんだり凹んだりするように曲がった湾曲面等の曲がり面になっていてもよい。
　変形例Ｅ４として、センサ支持部５１のモールド上流面５５ｃがモールド上流傾斜面４７１を有していなくてもよい。例えば、モールド上流面５５ｃが高さ方向Ｙに対して傾斜せずにモールド先端面５５ａからモールド基端面５５ｂに向けて延びた構成とする。
　変形例Ｅ５として、センサ支持部５１のモールド上流面５５ｃの少なくとも一部が上流曲がり路４０６に設けられていてもよい。例えば、モールド上流傾斜面４７１の全体が上流曲がり路４０６に設けられた構成とする。また、センサ支持部５１は上流曲がり路４０６から離間した位置に設けられていてもよい。
　変形例Ｅ６として、センサ支持部５１のモールド下流面５５ｄのうち、計測流路３２に設けられた部分の全体が絞り部１１１，１１２の下流端部１１１ｃ，１１２ｃよりも上流側に配置されていてもよい。すなわち、計測流路３２では、モールド下流面５５ｄのうち並び断面ＣＳ４１に含まれた部分が絞り部１１１，１１２の下流端部１１１ｃ，１１２ｃよりも上流側にあれば、他の部分は下流端部１１１ｃ，１１２ｃよりも上流側に設けられていなくてもよい。
　変形例Ｅ７として、並び断面ＣＳ４１では、モールド下流面５５ｄが表絞り部１１１の表下流端部１１１ｃ及び裏絞り部１１２の裏下流端部１１２ｃの少なくとも一方よりも上流側に配置されていればよい。例えば、裏絞り部１１２の裏下流端部１１２ｃが並び断面ＣＳ４１においてモールド下流面５５ｄよりも下流側に配置された構成とする。
　変形例Ｅ８として、センサ支持部５１において、モールド下流傾斜面４７２は、モールド基端面５５ｂに向けてモールド上流面５５ｃに徐々に近づくように高さ方向Ｙに対して傾斜していてもよい。また、モールド下流傾斜面４７２は、奥行き方向Ｚに膨らんだり凹んだりするように曲がった湾曲面等の曲がり面になっていてもよい。
　変形例Ｅ９として、センサ支持部５１のモールド下流面５５ｄがモールド下流傾斜面４７２を有していてなくてもよい。例えば、モールド下流面５５ｄが高さ方向Ｙに対して傾斜せずにモールド先端面５５ａからモールド基端面５５ｂに向けて延びた構成とする。
　変形例Ｅ１０として、センサ支持部５１のモールド下流面５５ｄの少なくとも一部が下流曲がり路４０７に設けられていてもよい。例えば、モールド下流傾斜面４７２の全体が下流曲がり路４０７に設けられた構成とする。また、センサ支持部５１は下流曲がり路４０７から離間した位置に設けられていてもよい。
　変形例Ｅ１１として、センサ支持部５１のモールド下流面５５ｄのうち、計測流路３２に設けられた部分の全体が絞り部１１１，１１２よりも下流側に配置されていてもよい。
　変形例Ｅ１２として、流量センサ２２は、計測流路３２において最も流速が大きくなる位置であれば、表頂部１１１ａや裏頂部１１２ａよりも下流側や上流側に設けられていてもよい。また、流量センサ２２は、計測流路３２において最も流速が大きくなる位置とは異なる位置に設けられていてもよい。
　変形例Ｅ１３として、計測出口３６の開口面積は計測入口３５の開口面積よりも小さくなくてもよい。また、通過出口３４の開口面積は通過入口３３の開口面積よりも小さくなくてもよい。
　＜構成群Ｆの変形例＞
　変形例Ｆ１として、上記第１実施形態において、支持凹内壁面５３２が底面取り面５３５及び開口面取り面５３６の少なくとも一方を有していなくてもよい。例えば、図９２に示すように、支持凹内壁面５３２が底面取り面５３５及び開口面取り面５３６の両方を有していない構成とする。この構成では、支持凹内壁面５３２の全体が内壁傾斜面５３４になっている。この内壁傾斜面５３４は、支持凹底面５３１と支持凹開口５３３とにかけ渡された状態になっている。
　変形例Ｆ２として、上記第１実施形態において、支持凹内壁面５３２が内壁傾斜面５３４を有しておらず、支持凹内壁面５３２の全体が曲がっていてもよい。例えば、図９３に示すように、支持凹内壁面５３２が底湾曲面７３１及び開口湾曲面７３２を有している構成とする。底湾曲面７３１は、支持凹底面５３１からモールド裏側に向けて延びており、支持凹内壁面５３２の内周縁を形成している。底湾曲面７３１は、支持凹部５３０の外側に向けて凹むように湾曲している。開口湾曲面７３２は、モールド裏面５５ｆからモールド表側に向けて延びており、支持凹開口５３３を形成している。開口湾曲面７３２は、支持凹部５３０の内側に向けて膨らむように湾曲している。底湾曲面７３１と開口湾曲面７３２とは、いずれも支持凹部５３０の中心線ＣＬ５３の周りを一周するように環状に延びており、幅方向Ｘにおいて支持凹底面５３１と支持凹開口５３３との間において互いに接続されている。
　変形例Ｆ３として、上記第１実施形態において、裏支持部５２２のうちＳＡ基板５３ではなくモールド裏部５６０が流量センサ２２のセンサ凹開口５０３を覆うように閉鎖していてもよい。例えば、図９４に示すように、モールド裏部５６０が流量センサ２２のセンサ裏面２２ｂに重ねられた構成とする。この構成では、裏支持部５２２のモールド裏部５６０に支持凹部５３０及び支持孔５４０の両方が設けられている。支持凹部５３０においては、支持凹内壁面５３２に加えて支持凹底面５３１もモールド裏部５６０により形成されている。
　なお、本変形例においては、流量センサ２２がＳＡ基板５３に搭載されていても搭載されていなくてもよい。流量センサ２２がＳＡ基板５３に搭載されている構成としては、例えば、流量センサ２２において支持凹部５３０よりもモールド基端側の部分がＳＡ基板５３に搭載された構成が挙げられる。また、流量センサ２２がＳＡ基板５３に搭載されていない構成としては、センサＳＡ５０がＳＡ基板５３を有していない構成が挙げられる。
　変形例Ｆ４として、上記変形例Ｆ３において、上記変形例Ｆ１と同様に、支持凹内壁面５３２が底面取り面５３５及び開口面取り面５３６の少なくとも一方を有していなくてもよい。例えば、図９５に示すように、支持凹内壁面５３２が底面取り面５３５及び開口面取り面５３６の両方を有していない構成とする。
　変形例Ｆ５として、上記変形例Ｆ３において、上記変形例Ｆ２と同様に、支持凹内壁面５３２が内壁傾斜面５３４を有しておらず、支持凹内壁面５３２の全体が曲がっていてもよい。例えば、図９６に示すように、支持凹内壁面５３２が底湾曲面７３１及び開口湾曲面７３２を有している構成とする。
　変形例Ｆ６として、上記第１実施形態において、ＳＡ基板５３のＳＡ基板裏面５４６が平坦面でなくてもよい。例えば、図９７に示すように、ＳＡ基板５３が基板凸部７５０を有している構成とする。この基板凸部７５０は、ＳＡ基板裏面５４６に設けられた凸部であり、ＳＡ基板５３の一部がモールド裏側に向けて突出することで形成されている。基板凸部７５０の中心線は、幅方向Ｘに延びており、基板凸先端部７６１の中心を通っている。基板凸部７５０の中心線は、支持孔５４０の中心線ＣＬ５１に一致している。
　基板凸部７５０は、基板凸先端部７６１、基板凸外壁面７６２を有している。基板凸先端部７６１は、基板凸部７５０の先端部であり、支持孔５４０は、基板凸先端部７６１から流量センサ２２に向けて延びている。このため、支持孔５４０の裏端部５４２は、基板凸先端部７６１に設けられている。基板凸先端部７６１は、裏端部５４２の外周縁に沿って環状に延びている。
　基板凸外壁面７６２は、基板凸先端部７６１からモールド表側に向けて延びている。基板凸外壁面７６２は、支持孔５４０の中心線ＣＬ５１に対して傾斜しており、モールド裏側を向いている。基板凸部７５０は、幅方向Ｘにおいてモールド裏側に向けて徐々に縮小されており、全体としてテーパ形状になっている。基板凸外壁面７６２は、基板凸先端部７６１に沿って環状に延びている。基板凸外壁面７６２は、支持孔５４０の裏端部５４２から延びており、基板凸先端部７６１は、基板凸外壁面７６２と裏端部５４２との境界部に沿って線状に延びている。
　ＳＡ基板５３は、板状の基材に対して打ち抜き加工等の加工を行うことで製造される。基材を切断してＳＡ基板５３を製造する際に、ＳＡ基板裏面５４６からモールド裏側に延びたバリが支持孔５４０の裏端部５４２の周縁部に生じた場合には、このバリを利用して基板凸部７５０が形成されることがある。基板凸部７５０がバリにより形成された構成では、この基板凸部７５０が環状に形成されているとは限らず、ＳＡ基板裏面５４６からの基板凸部７５０の突出寸法が基板凸部７５０の周方向において均一になっているとは限らない。
　次に、支持凹部５３０の内部での空気の流れについて説明する。図９７に示すように、支持凹開口５３３から流れ込んで支持凹内壁面５３２に沿ってモールド表側に向けて進んでいる裏寄り流ＡＦ３４は、基板凸部７５０に到達して基板凸外壁面７６２に沿って流れることで、モールド裏側に向けて斜めに進むことになる。このため、基板凸外壁面７６２に沿って進んだ後に支持孔５４０の裏端部５４２を通過する裏寄り流ＡＦ３４は、支持凹部５３０の内部において裏端部５４２からモールド裏側に離間した位置を通りやすい。したがって、支持凹部５３０の内部において裏寄り流ＡＦ３４が裏端部５４２から支持孔５４０に流れ込むということを基板凸部７５０により抑制できる。
　変形例Ｆ７として、上記第１実施形態において、モールド裏部５６０は、底面取り面５３５の内周縁から更に内側に延びていてもよい。例えば、図９８に示すように、モールド裏部５６０がモールド延び部７５５を有している構成とする。モールド延び部７５５は、モールド裏部５６０において、底面取り面５３５の内周縁からＳＡ基板裏面５４６に沿って内側に延びた部分である。この場合、底面取り面５３５は、内壁傾斜面５３４とモールド延び部７５５との入隅部分を面取りする面になっている。モールド延び部７５５は、支持凹底面５３１の外周縁や底面取り面５３５の内周縁に沿って環状に延びている。
　上述したように、モールド裏部５６０は、モールド部５５の一部として樹脂成型により製造される。モールド部５５の製造に際して、裏型部５９１の支持凹成型部５９２ａとＳＡ基板５３との間に溶融樹脂が進入した場合には、この進入した部分を利用してモールド延び部７５５が形成されることがある。溶融樹脂の進入部分によりモールド延び部７５５が形成された構成では、このモールド延び部７５５が環状になっているとは限らず、底面取り面５３５からのモールド延び部７５５の延び寸法が支持凹部５３０の周方向において均一になっているとは限らない。
　なお、上記変形例Ｆ１のように支持凹内壁面５３２が底面取り面５３５を有していない構成では、モールド延び部７５５は内壁傾斜面５３４の内周縁から内側に延びていてもよい。また、上記変形例Ｆ２のように支持凹内壁面５３２が底湾曲面７３１を有している構成では、モールド延び部７５５は底湾曲面７３１の内周縁から内側に延びていてもよい。
　変形例Ｆ８として、上記第１実施形態において、支持凹内壁面５３２の内周縁の少なくとも一部が支持孔５４０の裏端部５４２から外側に離間しない位置に設けられていてもよい。例えば、支持凹内壁面５３２の内周縁全体が裏端部５４２から外側に離間しない位置に設けられた構成とする。この構成では、支持凹部５３０の底部である支持凹底部が、支持凹内壁面５３２と裏端部５４２との境界部に沿って線状に延びることになる。
　変形例Ｆ９として、上記第１実施形態にといて、支持凹部５３０の中心線ＣＬ５３に対する支持凹内壁面５３２の傾斜度合いは、支持凹内壁面５３２の周方向において均一になっていなくてもよい。例えば、支持凹内壁面５３２のうち支持凹底面５３１に奥行き方向Ｚに並んだ部分の傾斜度合いが、支持凹内壁面５３２のうち支持凹底面５３１に高さ方向Ｙに並んだ部分の傾斜度合いよりも大きい構成とする。この構成では、奥行き方向Ｚでの支持凹内壁面５３２の長さ寸法Ｌ５１が、高さ方向Ｙでの支持凹内壁面５３２の長さ寸法Ｌ５１よりも大きくなっている。
　変形例Ｆ１０として、上記第１実施形態において、支持凹内壁面５３２の少なくとも一部において、高さ方向Ｙや奥行き方向Ｚでの長さ寸法Ｌ５１は、幅方向Ｘでの長さ寸法Ｌ５２よりも大きくなくてもよい。例えば、支持凹内壁面５３２の周方向全体において、方向Ｙ，Ｚでの長さ寸法Ｌ５１が幅方向Ｘでの長さ寸法Ｌ５２よりも小さい構成とする。
　変形例Ｆ１１として、センサ凹部６１の中心線ＣＬ５１と支持孔５４０の中心線ＣＬ５２と支持凹部５３０の中心線ＣＬ５３との位置関係は、上記第１実施形態の構成に限られない。例えば、センサ凹部６１の中心線ＣＬ５１は、支持孔５４０の中心線ＣＬ５２よりも支持凹部５３０の中心線ＣＬ５３に近い位置に配置されていてもよい。また、高さ方向Ｙでの並び順は、センサ凹部６１の中心線ＣＬ５１が支持孔５４０の中心線ＣＬ５２と支持凹部５３０の中心線ＣＬ５３との間に配置された順でなくてもよい。さらに、これら中心線ＣＬ５１，ＣＬ５２，ＣＬ５３は、奥行き方向Ｚにずれた位置に配置されていてもよい。例えば、これら中心線ＣＬ５１，ＣＬ５２，ＣＬ５３が奥行き方向Ｚに並べられた構成とする。加えて、これら中心線ＣＬ５１，ＣＬ５２，ＣＬ５３は互いに一致していてもよい。
　変形例Ｆ１２として、上記第１実施形態において、支持孔５４０の長さ寸法は支持凹部５３０の深さ寸法よりも小さくなくてもよい。例えば、支持孔５４０の長さ寸法が支持凹部５３０の深さ寸法よりも大きい構成とする。この構成では、ＳＡ基板５３の厚さ寸法Ｌ５４が裏計測部５６１の厚さ寸法Ｌ５２よりも大きくなっている。
　変形例Ｆ１３として、上記第１実施形態において、モールド部５５を貫通する凹形成孔５７１により支持凹部５３０が形成されているのではなく、モールド部５５に設けられた凹部により支持凹部５３０が形成されていてもよい。この構成では、支持凹部５３０の支持凹底面５３１がモールド裏部５６０により形成されており、支持孔５４０は、ＳＡ基板５３に加えてモールド裏部５６０を貫通している。
　変形例Ｆ１４として、上記第４実施形態において、支持凸外壁面７１２が先端面取り面７１５及び基端面取り面７１６の少なくとも一方を有していなくてもよい。例えば、図９９に示すように、支持凸外壁面７１２が先端面取り面７１５及び基端面取り面７１６の両方を有していない構成とする。この構成では、支持凸外壁面の全体が外壁傾斜面７１４になっている。この外壁傾斜面７１４は、支持凸先端面７１１とモールド裏面５５ｆとにかけ渡された状態になっている。
　変形例Ｆ１５として、上記第４実施形態において、支持凸外壁面７１２が外壁傾斜面７１４を有しておらず、支持凸外壁面７１２の全体が曲がっていてもよい。例えば、図１００に示すように、支持凸外壁面７１２が基端湾曲面７４１及び先端湾曲面７４２を有している構成とする。基端湾曲面７４１は、モールド裏面５５ｆからモールド裏側に向けて延びており、支持凸外壁面７１２の外周縁を形成している。基端湾曲面７４１は、支持凸部７１０の内側に向けて凹むように湾曲している。先端湾曲面７４２は、支持凸先端面７１１からモールド表側に向けて延びており、支持凸外壁面７１２の内周縁を形成している。先端湾曲面７４２は、支持凸部７１０の外側に向けて膨らむように湾曲している。基端湾曲面７４１と先端湾曲面７４２とは、いずれも支持凸部７１０の中心線ＣＬ１５３の周りを一周するように環状に延びており、幅方向Ｘにおいて支持凸先端面７１１とモールド裏面５５ｆとの間において互いに接続されている。
　変形例Ｆ１６として、上記第４実施形態において、裏支持部５２２のうちＳＡ基板５３ではなくモールド裏部５６０が流量センサ２２のセンサ凹開口５０３を覆うように閉鎖していてもよい。例えば、図１０１に示すように、モールド裏部５６０が流量センサ２２のセンサ裏面２２ｂに重ねられた構成とする。この構成では、モールド裏部５６０のうち幅方向Ｘにおいてセンサ凹開口５０３に重複している部分を、センサ凹開口５０３を覆ったモールド覆い部７４５と称すると、このモールド覆い部７４５に支持孔７２０が設けられている。モールド覆い部７４５の外周縁は幅方向Ｘにおいて支持凸外壁面７１２に重複する位置に設けられている。この場合、モールド覆い部７４５の外周縁は、幅方向Ｘに直交する方向Ｙ，Ｚにおいて、支持凸先端面７１１よりも外側に配置され、モールド裏面５５ｆよりも内側に配置されている。また、上記第４実施形態とは異なり、モールド裏孔７２５が支持孔７２０の全体を形成している。
　なお、本変形例においては、上記変形例Ｆ３と同様に、流量センサ２２がＳＡ基板５３に搭載されていても搭載されていなくてもよい。流量センサ２２がＳＡ基板５３に搭載されている構成としては、例えば、流量センサ２２において支持凸部７１０よりもモールド基端側の部分がＳＡ基板５３に搭載された構成が挙げられる。
　変形例Ｆ１７として、上記変形例Ｆ８において、上記変形例Ｆ６と同様に、支持凸外壁面７１２が先端面取り面７１５及び基端面取り面７１６の少なくとも一方を有していなくてもよい。例えば、図１０２に示すように、支持凸外壁面７１２が先端面取り面７１５及び基端面取り面７１６の両方を有していない構成とする。
　変形例Ｆ１８として、上記変形例Ｆ８において、上記変形例Ｆ７と同様に、支持凸外壁面７１２が外壁傾斜面７１４を有しておらず、支持凸外壁面７１２の全体が曲がっていてもよい。例えば、図１０３に示すように、支持凸外壁面７１２が基端湾曲面７４１及び先端湾曲面７４２を有している構成とする。
　変形例Ｆ１９として、上記第４実施形態において、支持凸外壁面７１２の内周縁の少なくとも一部が支持孔７２０の裏端部７２２から外側に離間しない位置に設けられていてもよい。例えば、支持凸外壁面７１２の内周縁全体が裏端部７２２から外側に離間しない位置に設けられた構成とする。この構成では、支持凸部７１０の先端である支持凸部７１０の支持凸先端部が、支持凸外壁面７１２と裏端部７２２との境界部に沿って線状に延びることになる。
　変形例Ｆ２０として、上記第４実施形態において、支持凸部７１０の中心線ＣＬ１５３に対する支持凸外壁面７１２の傾斜度合いは、支持凸外壁面７１２の周方向において均一になっていなくてもよい。例えば、支持凸外壁面７１２のうち支持凸先端面７１１に奥行き方向Ｚに並んだ部分の傾斜度合いが、支持凸外壁面７１２のうち支持凸先端面７１１に高さ方向Ｙに並んだ部分の傾斜度合いよりも大きい構成とする。この構成では、奥行き方向Ｚでの支持凸外壁面７１２の長さ寸法Ｌ１５１が、高さ方向Ｙでの支持凸外壁面７１２の長さ寸法Ｌ１５１よりも大きくなっている。
　変形例Ｆ２１として、上記第４実施形態において、支持凸外壁面７１２の少なくとも一部において、高さ方向Ｙや奥行き方向Ｚでの長さ寸法Ｌ１５１は、幅方向Ｘでの長さ寸法Ｌ１５２よりも大きくなくてもよい。例えば、支持凸外壁面７１２の周方向全体において、方向Ｙ，Ｚでの長さ寸法Ｌ１５１が幅方向Ｘでの長さ寸法Ｌ１５２よりも小さい構成とする。
　変形例Ｆ２２として、センサ凹部６１の中心線ＣＬ５１と支持孔７２０の中心線ＣＬ５２と支持凹部５３０の中心線ＣＬ１５３との位置関係は、上記第４実施形態の構成に限られない。例えば、センサ凹部６１の中心線ＣＬ５１は、支持孔７２０の中心線ＣＬ１５２よりも支持凸部７１０の中心線ＣＬ１５３に近い位置に配置されていてもよい。また、高さ方向Ｙでの並び順は、センサ凹部６１の中心線ＣＬ５１が支持孔７２０の中心線ＣＬ１５２と支持凸部７１０の中心線ＣＬ１５３との間に配置された並び順でなくてもよい。さらに、これら中心線ＣＬ５１，ＣＬ１５２，ＣＬ１５３は、奥行き方向Ｚにずれた位置に配置されていてもよい。例えば、これら中心線ＣＬ５１，ＣＬ１５２，ＣＬ１５３が奥行き方向Ｚに並べられた構成とする。加えて、これら中心線ＣＬ５１，ＣＬ１５２，ＣＬ１５３は互いに一致していてもよい。
　変形例Ｆ２３として、長さ寸法Ｌ１５１，Ｌ１５２、厚さ寸法Ｌ１５３，Ｌ５４の関係は、上記第４実施形態の構成に限られない。例えば、幅方向Ｘでの支持凸外壁面７１２の長さ寸法Ｌ１５２は、モールド裏部５６０のうち支持凸部７１０が設けられた部分の厚さ寸法Ｌ１５３や、ＳＡ基板５３の厚さ寸法Ｌ５４よりも小さくなくてもよい。例えば、幅方向Ｘにおいて、モールド裏面５５ｆからの支持凸部７１０の突出寸法が厚さ寸法Ｌ１５３よりも大きい構成とする。また、長さ寸法Ｌ１５２は、幅方向Ｘに直交する方向Ｙ，Ｚでの支持凸外壁面７１２の長さ寸法Ｌ１５１より小さくなくてもよい。
　変形例Ｆ２４として、流量センサ２２は、センサ凹部６１の内部への異物の進入を規制するセンサフィルタを有していてもよい。例えば、上記第１実施形態において、センサフィルタがセンサ裏面２２ｂに重ねられていることで、このセンサフィルタによりセンサ凹開口５０３が覆われた構成とする。この構成では、裏寄り流ＡＦ３４が支持孔５４０に流れ込んだとしても、この裏寄り流ＡＦ３４はセンサフィルタを通過してからセンサ凹部６１の内部に流れ込む。このため、裏寄り流ＡＦ３４に異物が含まれていたとしても、この異物がセンサフィルタにより除去される。
　変形例Ｆ２５として、支持凹部５３０等の支持凹部の断面形状は、円状や略円状でなくてもよい。例えば、上記第１実施形態において、支持凹部５３０が断面矩形状になっていてもよく、支持凹底面５３１や支持凹開口５３３が矩形状になっていてもよい。
　変形例Ｆ２６として、支持孔５４０，７２０等の支持孔の断面形状は、円状や楕円状でなくてもよい。例えば、上記第１実施形態において、支持孔５４０が断面矩形状になっていてもよく、表端部５４１や裏端部５４２が矩形状になっていてもよい。また、上記第４実施形態において、支持孔７２０において、ＳＡ基板孔７２６やモールド裏孔７２５が断面矩形状になっていてもよく、表端部７２１や裏端部７２２が矩形状になっていてもよい。
　変形例２７として、流量センサ２２のセンサ表面２２ａは、モールド表面５５ｅよりもモールド表側の位置や、モールド表面５５ｅに面一の位置に設けられていてもよい。
　変形例２８として、モールド部５５の周縁凹部５６は上記第１実施形態の形状や大きさに限られない。例えば、周縁凹部５６は、流量センサ２２の外周縁全体に沿って延びていることで環状に形成されていてもよく、流量センサ２２よりもモールド上流側及びモールド下流側のうち一方だけに設けられていてもよい。また、周縁凹部５６においては、内周側の内壁面の高さ寸法が外周側の内壁面の高さ寸法よりも小さくなくてもよい。例えば、流量センサ２２のセンサ表面２２ａがモールド表面５５ｅよりもモールド表側の位置に設けられた構成では、内周側の内壁面の高さ寸法が外周側の内壁面の高さ寸法よりも大きくなる。また、センサ表面２２ａがモールド表面５５ｅと面一に設けられた構成では、内周側の内壁面の高さ寸法が存在しないことになる。この構成では、センサ表面２２ａを底面の一部として有する１つの凹部が、周縁凹部５６を含んで形成された状態になる。さらに、モールド表面５５ｅには、周縁凹部５６が設けられていなくてもよい。
　＜構成群Ｇの変形例＞
　変形例Ｇ１として、上記第１実施形態において、露出基端部８７２と表固定基端部８１４との離間距離Ｌ６２ａが、露出基端部８７２と裏固定基端部８２４との離間距離Ｌ６２ｂとは異なっていれば、Ｌ６２ｂ＜Ｌ６２ａという関係が成り立っていなくてもよい。例えば、図１０４に示すように、露出基端部８７２と裏固定基端部８２４との離間距離Ｌ６２ｂが、露出基端部８７２と表固定基端部８１４との離間距離Ｌ６２ａより大きい構成とする。すなわち、Ｌ６２ｂ＞Ｌ６２ａという関係が成り立つ構成とする。この構成でも、離間距離Ｌ６２ａ，６２ａが互いに異なっているため、上記第１実施形態と同様に、エアフロメータ２０の製造工程において、第１ハウジング部１５１に対するセンサＳＡ５０の姿勢がずれる向きを管理することができる。
　変形例Ｇ２として、上記第１実施形態において、第１ハウジング部１５１に固定された固定面８１０，８２０，８３０，８４０は、モールド部５５ではなくＳＡ基板５３により形成されていてもよい。例えば、センサＳＡ５０において、ＳＡ基板５３のＳＡ基板表面５４５の一部やＳＡ基板裏面５４６の一部がモールド表面５５ｅやモールド裏面５５ｆから露出しており、この露出部分が第１ハウジング部１５１に接触した構成とする。
　変形例Ｇ３として、上記第１実施形態において、流量センサ２２の少なくとも一部が、ＳＡ基板５３等の基板に設けられた凹部の内部に収容されていてもよい。例えば、図１０５、図１０６に示すように、センサＳＡ５０の流量センサ２２がモールド部５５によっては覆われていない構成とする。
　この構成では、センサＳＡ５０がＳＡ基板９００を有しており、センサ支持部５１がこのＳＡ基板９００により形成されている。ＳＡ基板９００は、ガラスエポキシ樹脂等の材料により形成された回路基板である。センサＳＡ５０においては、基本的にＳＡ基板９００の外面がセンサ支持部５１の外面になっている。ＳＡ基板９００は、一方の板面であるＳＡ基板表面９０１と、他方の板面であるＳＡ基板裏面９０２とを有している。ＳＡ基板９００においては、計測流路３２に設けられた端部を基板先端部９００ａと称し、高さ方向Ｙにおいて基板先端部９００ａとは反対側の端部を基板基端部９００ｂと称する。なお、図１０５、図１０６においては、流量処理部５１１等の図示を省略している。
　センサＳＡ５０は、ＳＡ基板９００がハウジング２１の内面に接触した状態でハウジング２１に固定されている。ＳＡ基板９００の外面のうちハウジング２１の内面に接触した部分を固定面と称すると、この固定面には、表固定面９１０、裏固定面９２０、上流固定面及び下流固定面が含まれている。表固定面９１０はＳＡ基板表面９０１に含まれており、裏固定面９２０はＳＡ基板裏面９０２に含まれている。
　表固定面９１０と裏固定面９２０とは、幅方向Ｘに重複する位置に設けられている。例えば、表固定面９１０のうち基板先端部９００ａ側の端部である表固定先端部９１３と、裏固定面９２０のうち基板先端部９００ａ側の端部である裏固定先端部９２３とは、幅方向Ｘに並べて設けられている。また、表固定面９１０のうち基板基端部９００ｂ側の端部である表固定基端部９１４と、裏固定面９２０のうち基板基端部９００ｂ側の端部である裏固定基端部９２４とは、幅方向Ｘに並べて設けられている。
　ＳＡ基板９００においては、ＳＡ基板表面９０１側に流量センサ２２及びリード端子５３ａが設けられている。リード端子５３ａは、ＳＡ基板表面９０１において基板先端部９００ａよりも基板基端部９００ｂに近い位置に設けられている。
　ＳＡ基板９００はセンサ収容凹部９３１を有しており、流量センサ２２の少なくとも一部がこのセンサ収容凹部９３１の内部に収容されている。センサ収容凹部９３１は、ＳＡ基板表面９０１に設けられた凹部であり、高さ方向Ｙにおいて基板基端部９００ｂよりも基板先端部９００ａに近い位置に配置されている。幅方向Ｘにおいて、センサ収容凹部９３１の深さ寸法は流量センサ２２の厚さ寸法よりも大きくなっており、流量センサ２２は、センサ収容凹部９３１の開口部から外部にはみ出していない。センサ収容凹部９３１の底面と流量センサ２２との間にはセンサ接着部６７が設けられており、このセンサ接着部６７により流量センサ２２がセンサ収容凹部９３１の底面に接着されている。
　流量センサ２２においては、センサ表面２２ａの全体がＳＡ基板表面９０１から露出しており、センサ表面２２ａ全体がセンサ露出面８７０になっている。すなわち、センサ表面２２ａがセンサ露出面に相当する。センサ表面２２ａにおいては、基板先端部９００ａ側の端部が露出先端部８７１であり、基板基端部９００ｂ側の端部が露出基端部８７２である。流量センサ２２においては、露出先端部８７１がセンサ先端部８６１に含まれており、露出基端部８７２がセンサ基端部８６２に含まれている。
　センサＳＡ５０では、高さ方向Ｙにおいて、流量センサ２２の露出基端部８７２とＳＡ基板９００の表固定基端部９１４との離間距離Ｌ７２ａが、露出基端部８７２と基板先端部９００ａとの離間距離Ｌ７１ａよりも小さくなっている。すなわち、Ｌ７２ａ＜Ｌ７１ａの関係が成り立っている。また、高さ方向Ｙにおいて、基板先端部９００ａと表固定基端部９１４との離間距離Ｌ７３ａは、表固定基端部９１４と基板基端部９００ｂとの離間距離Ｌ７５ａよりも小さくなっている。すなわち、Ｌ７３ａ＜Ｌ７５ａという関係が成り立っている。
　センサＳＡ５０の表側と同様に、高さ方向Ｙにおいて、流量センサ２２の露出基端部８７２とＳＡ基板９００の裏固定基端部９２４との離間距離Ｌ９２ｂが、表側の離間距離Ｌ７１ａよりも小さくなっている。すなわち、Ｌ７２ｂ＜Ｌ７１ａという関係が成り立っている。また、高さ方向Ｙにおいて、基板先端部９００ａと裏固定基端部９２４との離間距離Ｌ７３ｂは、裏固定基端部９２４と基板基端部９００ｂとの離間距離Ｌ７５ｂよりも小さくなっている。すなわち、Ｌ７３ｂ＜Ｌ７５ｂという関係が成り立っている。
　センサＳＡ５０の表側と裏側とでは、露出基端部８７２と表固定基端部９１４との離間距離Ｌ７２ａが、露出基端部８７２と裏固定基端部９２４との離間距離Ｌ７２ｂと同じになっている。なお、基板先端部９００ａが支持先端部に相当し、基板基端部９００ｂが支持基端部に相当する。表固定面９１０が表固定部に相当し、裏固定面９２０が裏固定部に相当する。ＳＡ基板表面９０１が支持表面に相当し、ＳＡ基板裏面９０２が支持裏面に相当する。
　ＳＡ基板９００は底規制部９３２を有し、流量センサ２２はセンサ受け部９３５を有しており、これら底規制部９３２とセンサ受け部９３５とが互いに引っ掛かった状態になっている。センサＳＡ５０においては、幅方向Ｘに直交する方向Ｙ，Ｚにおいて、ＳＡ基板９００に対して流量センサ２２が位置ずれすることが規制されている。底規制部９３２は、センサ収容凹部９３１の底面９３１ａに設けられた凸部である。センサ受け部９３５は、流量センサ２２のセンサ裏面２２ｂに設けられた凹部である。底規制部９３２は、センサ裏面２２ｂ側からセンサ受け部９３５の内部に入り込んだ状態になっており、センサ収容凹部９３１の内部において流量センサ２２が高さ方向Ｙや奥行き方向Ｚに移動することを規制している。
　センサＳＡ５０の製造工程においては、底規制部９３２をセンサ受け部９３５の内部に入り込ませることで、高さ方向Ｙ及び奥行き方向Ｚについて、センサ収容凹部９３１での流量センサ２２の位置決めを行う。このため、ＳＡ基板９００での流量センサ２２の設置位置が設計上の位置からずれるということが生じにくくなっている。
　変形例Ｇ４として、上記変形例Ｇ３において、ＳＡ基板９００は底規制部９３２を有していなくてもよい。例えば、図１０７に示すように、流量センサ２２が、センサ基端部８６２等の端部がセンサ収容凹部９３１の壁面９３１ｂに接触する位置に設けられた構成とする。この構成では、ＳＡ基板９００が底規制部９３２を有していなくても、センサ収容凹部９３１の内部において流量センサ２２が高さ方向Ｙや奥行き方向Ｚに位置ずれすることが壁面９３１ｂにより規制される。また、センサＳＡ５０の製造工程においては、流量センサ２２の外周縁のうち互いに交差する２つの方向に延びた端部を壁面９３１ｂに接触させることで、センサ収容凹部９３１での流量センサ２２の位置決めを行う。
　変形例Ｇ５として、上記変形例Ｇ３において、図１０８に示すように、ＳＡ基板９００が壁規制部９３３を有していてもよい。壁規制部９３３は、壁面９３１ｂに設けられた凸部であり、壁面９３１ｂからセンサ収容凹部９３１の内側に向けて突出している。例えば、センサ収容凹部９３１の壁面９３１ｂにおいて、基板先端部９００ａ側の部位と、基板基端部９００ｂ側の部位と、計測流路３２での上流側の部位と、計測流路３２での下流側の部位とのそれぞれに壁規制部９３３が設けられた構成とする。この構成では、センサ収容凹部９３１の内部において流量センサ２２が高さ方向Ｙや奥行き方向Ｚに位置ずれすることが壁規制部９３３により規制される。また、センサＳＡ５０の製造工程においては、流量センサ２２を壁規制部９３３の先端部に接触させることで、センサ収容凹部９３１での流量センサ２２の位置決めを行う。
　変形例Ｇ６として、上記第１実施形態において、センサＳＡ５０のモールド表側について、Ｌ６２ａ＜Ｌ６１ａであれば、Ｌ６３ａ≧Ｌ６４ａやＬ６３ａ≧Ｌ６５ａ、Ｌ６１ａ≧Ｌ６４ａ、Ｌ６１ａ≧Ｌ６５ａという関係が成り立っていてもよい。同様に、モールド裏側について、Ｌ６２ｂ＜Ｌ６１ａであれば、Ｌ６３ｂ≧Ｌ６４ｂやＬ６３ｂ≧Ｌ６５ｂ、Ｌ６１ｂ≧Ｌ６４ｂ、Ｌ６１ｂ≧Ｌ６５ｂという関係が成り立っていてもよい。
　変形例Ｇ７として、上記第１実施形態において、モールド表側のＬ６２ａ＜Ｌ６１ａという関係、及びモールド裏側のＬ６２ｂ＜Ｌ６１ａという関係の少なくとも一方が成り立っていなくてもよい。例えば、モールド表側のＬ６２ａ＜Ｌ６１ａという関係が成り立っていれば、モールド裏側のＬ６２ｂ＜Ｌ６１ａという関係は成り立っていなくてもよい。
　変形例Ｇ８として、上記第１実施形態において、モールド部５５では、高さ方向Ｙにおいて固定面８１０，８２０，８３０，８４０の長さ寸法が互いに同じでもよく、互いに異なっていてもよい。例えば、図１０４に示すように、高さ方向Ｙにおいて、表固定面８１０の長さ寸法が裏固定面８２０の長さ寸法に比べて小さくなっていてもよい。
　変形例Ｇ９として、上記第１実施形態において、センサＳＡ５０における固定面８１０，８２０，８３０，８４０は、表中間部５５３、裏中間部５６３及びＳＡ段差面１４７のそれぞれに含まれているのではなく、少なくとも１つに含まれていてもよい。また、固定面８１０，８２０，８３０，８４０は、表ベース部５５２や裏ベース部５６２、表計測段差面５５５、裏計測段差面５６５、表計測部５５１、裏計測部５６１に含まれていてもよい。すなわち、センサＳＡ５０においては、センサ支持部５１の少なくとも一部が第１ハウジング部１５１の内面に接触して固定されていればよい。
　変形例Ｇ１０として、上記第１実施形態において、固定面８１０，８２０，８３０，８４０の少なくとも１つは、高さ方向Ｙにおいて、流量センサ２２からモールド基端側に離間した位置に設けられていてもよい。例えば、高さ方向Ｙにおいて、固定面８１０，８２０，８３０，８４０が流量センサ２２と流量処理部５１１との間に設けられた構成とする。
　変形例Ｇ１１として、第１ハウジング部１５１におけるリブ８０１～８０３の形状や大きさに関する形状は、上記第１実施形態の構成に限られない。例えば、リブ８０１～８０３は、互いに同じ長さになっていてもよく、互いに異なる長さになっていてもよい。また、リブ８０１～８０３は、表計測段差面５５５や裏計測段差面５６５におけるモールド基端側の端部よりもモールド先端側まで延びていてもよく、この端部からモールド基端側に離間した位置に設けられていてもよい。さらに、リブ８０１～８０３は、高さ方向Ｙに対して傾斜した方向に延びていてもよい。
　本変形例は、センサＳＡ５０の中間接触面８１１，８２１，８３１，８４１の形状や大きさに関する態様が上記第１実施形態の構成に限られない、と言い換えることができる。例えば、固定面８１０，８２０，８３０，８４０の中間接触面８１１，８２１，８３１，８４１は、互いに同じ長さになっていてもよく、互いに異なる長さになっていてもよい。また、中間接触面８１１，８２１，８３１，８４１は、表計測段差面５５５や裏計測段差面５６５におけるモールド基端側の端部からモールド基端側に離間した位置に設けられていてもよい。さらに、中間接触面８１１，８２１，８３１，８４１は、高さ方向Ｙに対して傾斜した方向に延びていてもよい。
　変形例Ｇ１２として、第１ハウジング部１５１におけるリブ８０１～８０３の設置位置に関する態様は、上記第１実施形態の構成に限られない。例えば、表リブ８０１や裏リブ８０２、下流リブ８０３は、それぞれ１つずつ設けられていてもよく、いずれかが３つ以上設けられていてもよい。また、第１ハウジング部１５１において上流計測壁面８０５にリブが設けられていてもよい。さらに、第１ハウジング部１５１においては、表計測壁面１０３、裏計測壁面１０４、上流計測壁面８０５及び下流計測壁面８０６の少なくとも１つにリブが設けられていてもよく、それぞれにリブが設けられていなくてもよい。これら壁面１０３，１０４，８０５，８０６の全てにリブが設けられていない構成としては、例えばセンサＳＡ５０の表中間部５５３及び裏中間部５６３が第１ハウジング部１５１の内面に接触していない構成が挙げられる。また、これら中間部５５３，５６３の外面全体が第１ハウジング部１５１の内面に接触した構成が挙げられる。
　本変形例は、センサＳＡ５０の中間接触面８１１，８２１，８３１，８４１の設置位置に関する態様が上記第１実施形態の構成に限られない、と言い換えることができる。例えば、固定面８１０，８２０，８３０，８４０の中間接触面８１１，８２１，８３１，８４１は、それぞれ１つずつ設けられていてもよく、少なくとも一方が３つ以上設けられていてもよい。また、固定面８１０，８２０，８３０，８４０は、中間接触面８１１，８２１，８３１，８４１を有していなくてもよい。
　変形例Ｇ１３として、上記第１実施形態において、ハウジング２１は、１回の樹脂成型により製造された部材により形成されていてもよく、３回以上の樹脂成型により製造された部材により形成されていてもよい。例えば、ハウジング２１において、第１ハウジング部１５１とセンサＳＡ５０との隙間に設けられた部位と、フランジ部２７やコネクタ部２８を含む部位とは、異なる構成で樹脂成型されていてもよい。仮に、第１ハウジング部１５１とセンサＳＡ５０との隙間を埋める部位を第２ハウジング部だとすれば、フランジ部２７やコネクタ部２８を含む部位を第３ハウジング部と称することができる。また、ハウジング２１において、第１ハウジング部１５１とセンサＳＡ５０との隙間を埋める部位を、モールド成型ではなく、ポッティングにより形成してもよい。
　変形例Ｇ１４として、上記第１実施形態において、導電層６６ｂは、シリコンが主成分の材料で形成された導電層に比べてゲージ率が低くなっていれば、白金とは異なる材料により形成されていてもよい。例えば、導電層６６ｂがモリブデンにより形成されていてもよい。すなわち、導電層６６ｂを形成する材料の主成分がモリブデンであってもよい。また、導電層６６ｂは、シリコンにより形成されていてもよい。すなわち、導電層６６ｂを形成する材料の主成分がシリコンであってもよい。
　変形例Ｇ１５として、上記第１実施形態において、センサ接着部６７は、アクリル系接着剤やエポキシ系接着剤により形成された接着部に比べて変形しやすくなっていれば、シリコン系接着剤とは異なる接着剤により形成されていてもよい。例えば、センサ接着部６７がウレタン系接着剤により形成されていてもよい。ウレタン系接着剤はウレタン樹脂を主成分とする接着剤である。また、センサ接着部６７は、アクリル系接着剤やエポキシ系接着剤により形成されていてもよい。
　変形例Ｇ１６として、上記第１実施形態において、センサ接着部６７は、必ずしもＳＡ基板５３と流量センサ２２との間に設けられていなくてもよい。例えば、ＳＡ基板５３のＳＡ基板表面５４５と流量センサ２２の端面とで形成された入隅部分にセンサ接着部６７が設けられた構成とする。この構成でも、センサ接着部６７が流量センサ２２の外周縁に沿って延び、且つＳＡ基板表面５４５と流量センサ２２の端面とに接着されていれば、ＳＡ基板５３と流量センサ２２とをセンサ接着部６７により接着できる。この構成でも、ＳＡ基板５３の変形に伴ってセンサ接着部６７が変形しやすくなっていることで、ＳＡ基板５３の変形に伴って流量センサ２２が変形するということをセンサ接着部６７により抑制できる。
　変形例Ｇ１７として、上記第１実施形態において、流量センサ２２では、少なくともメンブレン部６２が計測流路３２に設けられていればよい。また、流量センサ２２のセンサ表面２２ａにおいては、少なくともメンブレン部６２の外面を含む部分が計測流路３２に露出していればよい。
　変形例Ｇ１８として、上記第１実施形態において、ボンディングワイヤ５１２ａは、流量センサ２２と流量処理部５１１とをＳＡ基板５３を介して電気的に接続していてもよい。例えば、図１０４に示すように、ボンディングワイヤ５１２ａがセンサ搭載部８８１を介して流量センサ２２と流量処理部５１１とを間接的に接続した構成とする。この構成では、ボンディングワイヤ５１２ａの一端がセンサ搭載部８８１に接続され、他端が流量処理部５１１に直接的に接続されている。
　＜構成群Ａの特徴＞
　本明細書にて開示された構成には、下記のように構成群Ａの特徴が含まれている。
　［特徴Ａ１］
　流体の物理量を計測する物理量計測装置（２０）であって、
　流体が流れる計測流路（３２）と、
　計測流路を形成しているハウジング（２１）と、
　計測流路において流体の物理量を検出する物理量センサ（２２）と、物理量センサを支持する板状のセンサ支持部（５１）とを有し、センサ支持部の先端部である支持先端部（５５ａ）と物理量センサとが計測流路に収容されるようにハウジングに取り付けられた検出ユニット（５０）と、
を備え、
　センサ支持部は、
　センサ支持部の一方の板面であり、物理量センサが設けられた支持表面（５５ｅ）と、
　支持表面とは反対の支持裏面（５５ｆ）と、
を有しており、
　ハウジングは、
　支持先端部に対向する床面（１０１）と、
　支持表面に対向する表壁面（１０３）と、
　床面を介して表壁面とは反対側に設けられ、支持裏面に対向する裏壁面（１０４）と、を計測流路を形成する形成面として有しており、
　表壁面と裏壁面とが並んだ表裏方向（Ｘ）での表壁面と物理量センサとの離間距離である表距離（Ｌ１）は、表裏方向に直交し且つ床面と支持先端部とが並んだ高さ方向（Ｙ）での床面と支持先端部との離間距離である床距離（Ｌ３）よりも大きい、物理量計測装置。
　［特徴Ａ２］
　表距離は、表裏方向での裏壁面と支持裏面との離間距離である裏距離（Ｌ２）よりも小さい、特徴Ａ１に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ａ３］
　ハウジングは、
　表壁面を形成し、表裏方向において裏壁面に向けて膨らんでおり、表裏方向での表壁面と裏壁面との離間距離である計測幅寸法（Ｗ１）が上流側から物理量センサに向けて徐々に小さくなるように計測流路を絞っている表絞り部（１１１）を有しており、
　表距離は、表裏方向での表絞り部と物理量センサとの離間距離である、特徴Ａ１又はＡ２に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ａ４］
　計測流路は、
　計測流路の上流端部であり、流体が流れ込む計測入口（３５）と、
　計測流路の下流端部であり、流体が流れ出す計測出口（３６）と、
を有しており、
　計測流路の中心線（ＣＬ４）は、計測入口の中心（ＣＯ２）と計測出口の中心（ＣＯ３）とを通り、計測流路に沿って延びており、
　表絞り部は、表絞り部と計測流路の中心線との離間距離（Ｗ２）が最も小さい頂部である表頂部（１１１ａ）を有しており、表裏方向において表頂部と物理量センサとが対向する位置に設けられており、
　表距離は、表頂部と物理量センサとの離間距離である、特徴Ａ３に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ａ５］
　ハウジングは、
　裏壁面を形成し、表裏方向において表壁面に向けて膨らんでおり、計測幅寸法が上流側から物理量センサに向けて徐々に小さくなるように計測流路を絞っている裏絞り部（１１２）を有している、特徴Ａ３又はＡ４に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ａ６］
　計測流路は、
　表裏方向において表壁面と支持表面との間の領域である表領域（１２２）を有しており、
　表領域は、
　高さ方向において物理量センサと床面との間の床側領域（１２２ａ）と、
　高さ方向において物理量センサを介して床側領域とは反対側の天井側領域（１２２ｂ）と、
を有しており、
　計測流路において物理量センサが設けられた部分の断面積（Ｓ１）には、
　床側領域の面積である床側面積（Ｓ２）と、
　天井側領域の面積である天井側面積（Ｓ３）と、
が含まれており、
　天井側面積が床側面積よりも小さい、特徴Ａ１～Ａ５のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　［特徴Ａ７］
　計測流路は、床面が内周側になるように曲がっており、
　表領域においては、床側領域が天井側領域よりも内周側に設けられている、特徴Ａ６に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ａ８］
　物理量センサは、
　発熱するヒータ部（７１）と、
　物理量センサの一面（６５ａ）に沿ってヒータ部に沿って並べられ、温度を検出する温度検出部（７２，７３）と、
を有しており、
　表距離は、表壁面とヒータ部との離間距離である、特徴Ａ１～Ａ７のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　［特徴Ａ９］
　センサ支持部は、
　物理量センサを搭載した基板であるセンサ基板（６５）と、
　樹脂材料により形成され、センサ基板及び物理量センサを保護する保護樹脂部（５５）と、
を有しており、
　支持表面及び支持裏面は保護樹脂部により形成されている、特徴Ａ１～Ａ７のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　＜構成群Ｂの特徴＞
　本明細書にて開示された構成には、下記のように構成群Ｂの特徴が含まれている。
　［特徴Ｂ１］
　流体の物理量を計測する物理量計測装置（２０，２００）であって、
　流体が流れる計測流路（３２，２１２）と、
　計測流路に設けられ流体の物理量を検出する物理量センサ（２２，２０２）と、物理量センサを支持するセンサ支持部（５１，２２１）とを有する検出ユニット（５０，２２０）と、
　計測流路と、検出ユニットの一部を収容している収容領域（１５０，２９０）と、を形成しているハウジング（２１，２０１）と、
を備え、
　ハウジングの内面は、
　計測流路と収容領域とが並んだ並び方向（Ｙ）に交差しているハウジング交差面（１３７，２７７）と、
　ハウジング交差面から計測流路側に向けて延びたハウジング流路面（１３５，２７５）と、
　ハウジング交差面から収容領域側に向けて延びたハウジング収容面（１３６，２７６）と、
を有しており、
　ハウジングは、
　ハウジング交差面、ハウジング流路面及びハウジング収容面の少なくとも１つに設けられ、検出ユニットに向けて突出し、検出ユニットに接触した状態でハウジングと検出ユニットとの間において計測流路と収容領域とを仕切っているハウジング仕切部（１３１，２７１）を有している、物理量計測装置。
　［特徴Ｂ２］
　ハウジング仕切部は、検出ユニットの周りを環状に一周している、特徴Ｂ１に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｂ３］
　ハウジング仕切部は、ハウジング交差面においてハウジング収容面よりもハウジング流路面に近い位置に設けられている、特徴Ｂ１又はＢ２に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｂ４］
　ハウジング交差面に設けられたハウジング仕切部の中心線（ＣＬ１１）とハウジング交差面とが交差する部分において、収容領域を向いた収容側角度（θ１２）が計測流路を向いた流路側角度（θ１１）よりも大きくなっている、特徴Ｂ１～Ｂ３のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｂ５］
　検出ユニットは、検出ユニットに設けられた凹部であるユニット凹部（１６１）を有しており、
　ハウジング仕切部は、ユニット凹部に入り込んでユニット凹部の内面に接触している、特徴Ｂ１～Ｂ４のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｂ６］
　検出ユニットの外面は、
　計測流路と収容領域とが並んだ並び方向（Ｙ）に交差しているユニット交差面（１４７，２８７）と、　ユニット交差面から計測流路側に向けて延びたユニット流路面（１４５，２８５）と、
　ユニット交差面から収容領域側に向けて延びたユニット収容面（１４６，２８６）と、を検出ユニットの外面として有しており、
　ハウジング仕切部は、ユニット交差面、ユニット流路面及びユニット収容面の少なくとも１つに接触している、特徴Ｂ１～Ｂ５のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｂ７］
　ハウジング仕切部は、ハウジング交差面に設けられ、ユニット交差面に接触している、特徴Ｂ６に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｂ８］
　流体の物理量を計測する物理量計測装置（２０，２００）であって、
　流体が流れる計測流路（３２，２１２）と、
　計測流路に設けられ流体の物理量を検出する物理量センサ（２２，２０２）と、物理量センサを支持するセンサ支持部（５１，２２１）とを有する検出ユニット（５０，２２０）と、
　計測流路と、検出ユニットの一部を収容している収容領域（１５０，２９０）と、を形成しているハウジング（２１，２０１）と、
を備え、
　検出ユニットの外面は、
　計測流路と収容領域とが並んだ並び方向（Ｙ）に交差しているユニット交差面（１４７，２８７）と、
　ユニット交差面から計測流路側に向けて延びたユニット流路面（１４５，２８５）と、
　ユニット交差面から収容領域側に向けて延びたユニット収容面（１４６，２８６）と、を有しており、
　検出ユニットは、
　ユニット交差面、ユニット流路面及びユニット収容面の少なくとも１つに設けられ、ハウジングに向けて突出し、ハウジングに接触した状態でハウジングと検出ユニットとの間において計測流路と収容領域とを仕切っているユニット仕切部（１６２，３０２）を有している、物理量計測装置。
　［特徴Ｂ９］
　ユニット仕切部は、検出ユニットの周りを環状に一周している、特徴Ｂ８に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｂ１０］
　ユニット仕切部は、ユニット交差面においてユニット収容面よりもユニット流路面に近い位置に設けられている、特徴Ｂ８又はＢ９に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｂ１１］
　ユニット交差面に設けられたユニット仕切部の中心線（ＣＬ１３）とユニット交差面とが交差する部分において、収容領域を向いた収容側角度（θ１４）が計測流路を向いた流路側角度（θ１３）よりも大きくなっている、特徴Ｂ８～Ｂ１０のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｂ１２］
　ハウジングは、ハウジングに設けられた凹部であるハウジング凹部（１６３）を有しており、
　ユニット仕切部は、ハウジング凹部に入り込んでハウジング凹部の内面に接触している、特徴Ｂ８～Ｂ１１のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｂ１３］
　ハウジングの内面は、
　計測流路と収容領域とが並んだ並び方向（Ｙ）に交差しているハウジング交差面（１３７，２７７）と、
　ハウジング交差面から計測流路側に向けて延びたハウジング流路面（１３５，２７５）と、
　ハウジング交差面から収容領域側に向けて延びたハウジング収容面（１３６，２７６）と、
を有しており、
　ユニット仕切部は、ハウジング交差面、ハウジング流路面及びハウジング収容面の少なくとも１つに接触している、特徴Ｂ８～Ｂ１３のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｂ１４］
　ユニット仕切部は、ユニット交差面に設けられ、ハウジング交差面に接触している、特徴Ｂ１４に記載の物理量計測装置。
　＜構成群Ｃの特徴＞
　本明細書にて開示された構成には、下記のように構成群Ｃの特徴が含まれている。
　［特徴Ｃ１］
　流体の物理量を計測する物理量計測装置（２０）であって、
　流体が流入する通過入口（３３）と、通過入口から流入した流体が流出する通過出口（３４）とを有する通過流路（３１）と、
　通過流路から分岐し、流体の物理量を計測するための計測流路（３２）であって、通過入口と通過出口との間に設けられ通過流路から流体が流入する計測入口（３５）と、計測入口から流入した流体が流出する計測出口（３６）とを有する計測流路（３２）と、
　計測流路に設けられ、流体の物理量を検出する物理量センサ（２２）と、
　通過流路及び計測流路を形成しているハウジング（２１）と、
を備え、
　ハウジングの内面は、
　通過流路のうち通過入口と計測入口とにかけ渡された入口通過路（３３１）を形成し、通過入口と通過出口とが並んだ方向（Ｚ）において通過入口と計測入口とにかけ渡された入口天井面（３４２）と、
　入口通過路を形成し、入口通過路を介して入口天井面に対向する入口床面（３４６）と、
を有しており、
　入口天井面は、
　入口床面との離間距離（Ｈ２１）が通過入口から通過出口に向けて徐々に小さくなるように入口床面に対して傾斜し、通過入口から計測入口に向けて延びた天井傾斜面（３４２，３４２ａ）を有している、物理量計測装置。
　［特徴Ｃ２］
　入口床面に対する天井傾斜面の傾斜角度（θ２１）は１０度以上である、特徴Ｃ１に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｃ３］
　天井傾斜面は、通過入口側を向くように入口床面に対して傾斜している、特徴Ｃ１又はＣ２に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｃ４］
　天井傾斜面は、流体のうち通過入口に主に流れ込む主流が進む方向である主流方向（Ｚ）に対して、通過入口側を向くように傾斜している、特徴Ｃ１～Ｃ３のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｃ５］
　主流方向に対する天井傾斜面の傾斜角度（θ２２）は１０度以上である、特徴Ｃ４に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｃ６］
　ハウジングは、
　ハウジングが取り付けられる取り付け対象（１４）に対するハウジングの取り付け角度を設定する角度設定面（２７ａ）を有しており、
　主流方向は、角度設定面が延びている方向である、特徴Ｃ４又はＣ５に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｃ７］
　入口通過路の断面積（Ｓ２１）は、通過入口から計測入口に向けて徐々に小さくなっている、特徴Ｃ１～Ｃ６のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｃ８］
　入口通過路の中心線である入口通過線（ＣＬ２４）に対する計測入口での計測流路の中心線（ＣＬ２３）の傾斜角度（θ２５）が９０度以上である、特徴Ｃ１～Ｃ７のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｃ９］
　通過流路に対する計測流路の分岐角度（θ２６）が６０度以下である、特徴Ｃ１～Ｃ８のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　＜構成群Ｄの特徴＞
　本明細書にて開示された構成には、下記のように構成群Ｄの特徴が含まれている。
　［特徴Ｄ１］
　流体の物理量を計測する物理量計測装置（２０）であって、
　流体が流入する計測入口（３５）と、計測入口から流入した流体が流出する計測出口（３６）とを有する計測流路（３２）と、
　計測流路に設けられ、流体の物理量を検出する物理量センサ（２２）と、
　計測流路を形成しているハウジング（２１）と、
を備え、
　計測流路は、
　物理量センサが設けられたセンサ路（４０５）と、
　計測流路においてセンサ路と計測入口との間に設けられ、ハウジングにおいてセンサ路から計測入口に向けて延びるように曲がっている上流曲がり路（４０６）と、
　計測流路においてセンサ路と計測出口との間に設けられ、ハウジングにおいてセンサ路から計測出口に向けて延びるように曲がっている下流曲がり路（４０７）と、
を有しており、
　ハウジングの内面は、
　上流曲がり路を曲がりの外側から形成する上流外曲がり面（４１１）と、
　下流曲がり路を曲がりの外側から形成する下流外曲がり面（４２１）と、
を有しており、　計測流路を拡張する側への下流外曲がり面の凹み度合いが、計測流路を拡張する側への上流外曲がり面の凹み度合いよりも大きい、物理量計測装置。
　［特徴Ｄ２］
　上流外曲がり面は、上流曲がり路に沿って湾曲した上流外湾曲面（４１１）を有しており、
　下流外曲がり面は、下流曲がり路に沿って湾曲した下流外湾曲面（４６１）を有しており、
　下流外湾曲面の曲率半径（Ｒ３４）が上流外湾曲面の曲率半径（Ｒ３３）よりも小さいことで、下流外曲がり面の凹み度合いが上流外曲がり面の凹み度合いよりも大きくなっている、特徴Ｄ１に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｄ３］
　上流外曲がり面は、上流曲がり路に沿って湾曲した上流外湾曲面（４１１）を有しており、
　下流外曲がり面は、下流外曲がり面の凹み度合いが上流外曲がり面の凹み度合いよりも大きくなるように、下流曲がり路において内向きに入り合うように凹んだ入隅部（４２４）を形成している、特徴Ｄ１に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｄ４］
　ハウジングの内面は、
　上流曲がり路を曲がりの内側から形成する上流内曲がり面（４１５）と、
　下流曲がり路を曲がりの内側から形成する下流内曲がり面（４２５）と、
を有しており、
　計測流路の中心線（ＣＬ４）に直交する方向において、下流外曲がり面と下流内曲がり面とが最も離間した部分の離間距離（Ｌ３５ｂ）が、上流外曲がり面と上流内曲がり面とが最も離間した部分の離間距離（Ｌ３５ａ）よりも大きい、特徴Ｄ１～Ｄ３のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｄ５］
　計測流路を拡張する側への下流内曲がり面の膨らみ度合いが、計測流路を拡張する側への上流内曲がり面の膨らみ度合いよりも小さい、特徴Ｄ４に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｄ６］
　上流内曲がり面は、上流曲がり路に沿って湾曲した上流内湾曲面（４１５）を有しており、
　下流内曲がり面は、下流曲がり路に沿って湾曲した下流内湾曲面（４２５）を有しており、
　下流内湾曲面の曲率半径（Ｒ３２）が上流内湾曲面の曲率半径（Ｒ３１）よりも大きいことで、下流内曲がり面の膨らみ度合いが上流内曲がり面の膨らみ度合いよりも小さくなっている、特徴Ｄ４又はＤ５に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｄ７］
　センサ路は上流曲がり路と下流並び路との並び方向（Ｚ）に延びている、特徴Ｄ１～Ｄ６のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｄ８］
　ハウジングは、
　計測入口側から物理量センサに向けて計測流路を徐々に縮小して絞っていき、且つ物理量センサ側から計測出口に向けて計測流路を徐々に拡張していく計測絞り部（１１１，１１２）を有しており、
　計測絞り部は、計測流路において上流曲がり路の上流端部と下流曲がり路の下流端部との間に設けられている、特徴Ｄ１～Ｄ７のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｄ９］
　計測絞り部は、
　ハウジングの内面を形成し、計測入口側から物理量センサに向けて計測流路を徐々に縮小して絞っていく計測絞り面（４３１，４４１）と、
　物理量センサ側から計測出口に向けて計測流路を徐々に拡張していく計測拡張面（４３２，４４２）と、
を有しており、
　上流曲がり路と下流曲がり路との並び方向（Ｚ）において、計測拡張面の長さ寸法（Ｗ３３ａ，Ｗ３３ｂ）が計測絞り面の長さ寸法（Ｗ３２ａ，Ｗ３２ｂ）よりも大きい、特徴Ｄ８に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｄ１０］
　計測拡張面は、物理量センサ側から計測出口に向けて真っ直ぐに向けて延びている、特徴Ｄ８又はＤ９に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｄ１１］
　並び線上での下流外曲がり面と計測絞り部との離間距離（Ｗ３４ａ，Ｗ３５ａ）は、上流曲がり路と下流曲がり路との並び方向（Ｚ）において上流外曲がり面と計測絞り部との離間距離（Ｗ３４ｂ，Ｗ３５ｂ）よりも大きい、特徴Ｄ８～Ｄ１０のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｄ１２］
　ハウジングの内面は、
　計測流路を形成し、上流外曲がり面及び下流外曲がり面を挟んで対向する一対の計測壁面（１０３，１０４）を有しており、
　計測絞り部は、一対の計測壁面の少なくとも一方に設けられている、特徴Ｄ８～Ｄ１１のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｄ１３］
　ハウジングの内面は、
　計測流路を形成し、上流外曲がり面及び下流外曲がり面を挟んで対向する一対の壁面（１０３，１０４）を有しており、
　計測出口は、一対の壁面が並んだ方向（Ｘ）に計測流路を開放する向きで、一対の壁面の少なくとも一方に設けられている、特徴Ｄ１～Ｄ１２のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｄａ１］
　流体の物理量を計測する物理量計測装置（２０）であって、
　流体が流入する計測入口（３５）と、計測入口から流入した流体が流出する計測出口（３６）とを有する計測流路（３２）と、
　計測流路に設けられ、流体の物理量を検出する物理量センサ（２２）と、
　計測流路を形成しているハウジング（２１）と、
を備え、
　計測流路は、
　物理量センサが設けられたセンサ路（４０５）と、
　計測流路においてセンサ路と計測入口との間に設けられ、ハウジングにおいてセンサ路から計測入口に向けて延びるように曲がっている上流曲がり路（４０６）と、
　計測流路においてセンサ路と計測出口との間に設けられ、ハウジングにおいてセンサ路から計測出口に向けて延びるように曲がっている下流曲がり路（４０７）と、
を有しており、
　ハウジングの内面は、
　上流曲がり路を曲がりの外側から形成する上流外曲がり面（４１１）と、
　下流曲がり路を曲がりの外側から形成する下流外曲がり面（４２１）と、
を有しており、
　物理量センサを通り且つ上流曲がり路と下流曲がり路との並び方向（Ｚ）に延びた仮想の直線として並び線（ＣＬ３１）を想定し、
　並び線上での下流外曲がり面と物理量センサとの離間距離（Ｌ３１ｂ）が、並び線上での上流外曲がり面と物理量センサとの離間距離（Ｌ３１ａ）よりも大きい、物理量計測装置。
　［特徴Ｄａ２］
　センサ路は並び線に沿って延びている、特徴Ｄａ１に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｄａ３］
　センサ路において、物理量センサと下流曲がり路との離間距離（Ｌ３４ｂ）は、物理量センサと上流曲がり路との離間距離（Ｌ３４ａ）よりも大きい、特徴Ｄａ１又はＤａ２に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｄａ４］
　計測流路において物理量センサを支持しているセンサ支持部（５１）を備え、
　並び線上での下流外曲がり面とセンサ支持部との離間距離（Ｌ３２ｂ）が、並び線上での上流外曲がり面とセンサ支持部との離間距離（Ｌ３２ａ）よりも大きい、特徴Ｄａ１～Ｄａ３のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｄａ５］
　下流外曲がり面は、
　並び線が通る位置に設けられ、下流曲がり路の下流端部から上流側に向けて真っ直ぐに延びた下流外縦面（４２３）を有している、
特徴Ｄａ１～Ｄａ４のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｄａ６］
　ハウジングの内面は、
　下流曲がり路を曲がりの内側から形成する下流内曲がり面（４２５）を有しており、
　下流内曲がり面は、
　下流曲がり路に沿って湾曲した下流内湾曲面（４２５）を有している、特徴Ｄａ１～Ｄａ５のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｄａ７］
　ハウジングは、
　計測入口側から物理量センサに向けて計測流路を徐々に縮小して絞っていき、且つ物理量センサ側から計測出口に向けて計測流路を徐々に拡張していく計測絞り部（１１１，１１２）を有しており、
　計測絞り部は、計測流路において上流曲がり路の上流端部と下流曲がり路の下流端部との間に設けられている、特徴Ｄａ１～Ｄａ６のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｄａ８］　計測絞り部は、
　ハウジングの内面を形成し、計測入口側から物理量センサに向けて計測流路を徐々に縮小して絞っていく計測絞り面（４３１，４４１）と、
　物理量センサ側から計測出口に向けて計測流路を徐々に拡張していく計測拡張面（４３２，４４２）と、
を有しており、
　並び方向において、計測拡張面の長さ寸法（Ｗ３３ａ，Ｗ３３ｂ）が計測絞り面の長さ寸法（Ｗ３２ａ，Ｗ３２ｂ）よりも大きい、特徴Ｄａ７に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｄａ９］
　計測拡張面は、物理量センサ側から計測出口に向けて真っ直ぐに向けて延びている、特徴Ｄａ８に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｄａ１０］
　並び線上での下流外曲がり面と計測絞り部との離間距離（Ｗ３４ａ，Ｗ３５ａ）は、並び線上での上流外曲がり面と計測絞り部との離間距離（Ｗ３４ｂ，Ｗ３５ｂ）よりも大きい、特徴Ｄａ７～Ｄａ９のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｄａ１１］
　ハウジングの内面は、
　計測流路を形成し、上流外曲がり面及び下流外曲がり面を挟んで対向する一対の計測壁面（１０３，１０４）を有しており、
　計測絞り部は、一対の計測壁面の少なくとも一方に設けられている、特徴Ｄａ７～Ｄａ１０のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｄａ１２］
　上流外曲がり面は、
　上流曲がり路の上流端部と下流端部とにかけ渡され、上流曲がり路に沿って湾曲した上流外湾曲面（４１１）を有している、特徴Ｄａ１～Ｄａ１１のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｄａ１３］
　ハウジングの内面は、
　計測入口と計測出口とにかけ渡された状態で物理量センサに向けて膨らむように曲がっており、計測流路を曲がりの内側から形成する内計測曲がり面（４０２）を有している、特徴Ｄａ１～Ｄａ１２のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｄａ１４］
　ハウジングの内面は、
　計測流路を形成し、上流外曲がり面及び下流外曲がり面を挟んで対向する一対の壁面（１０３，１０４）を有しており、
　計測出口は、一対の壁面が並び且つ並び線に直交する直交方向（Ｘ）に計測流路を開放する向きで、一対の壁面の少なくとも一方に設けられている、特徴Ｄａ１～Ｄａ１３のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　＜構成群Ｅの特徴＞
　本明細書にて開示された構成には、下記のように構成群Ｅの特徴が含まれている。
　［特徴Ｅ１］
　流体の物理量を計測する物理量計測装置（２０）であって、　流体が流入する計測入口（３５）と、計測入口から流入した流体が流出する計測出口（３６）とを有する計測流路（３２）と、
　計測流路に設けられ、流体の物理量を検出する物理量センサ（２２）と、
　計測流路において物理量センサを支持しているセンサ支持部（５１）と、
　計測流路を形成しているハウジング（２１）と、
を備え、
　計測流路は、
　物理量センサが設けられたセンサ路（４０５）と、
　計測流路においてセンサ路と計測入口との間に設けられ、ハウジングにおいてセンサ路から計測入口に向けて延びるように曲がっている上流曲がり路（４０６）と、
　計測流路においてセンサ路と計測出口との間に設けられ、ハウジングにおいてセンサ路から計測出口に向けて延びるように曲がっている下流曲がり路（４０７）と、
を有しており、
　ハウジングは、
　計測入口側から物理量センサに向けて計測流路を徐々に縮小して絞っていく計測絞り部（１１１，１１２）を有しており、
　物理量センサを通り且つ上流曲がり路と下流曲がり路との並び方向（Ｚ）に延びた仮想の直線として並び線（ＣＬ３１）を想定すると、並び線に沿って延びる並び断面（ＣＳ４１）では、センサ支持部の上流端部（５５ｃ，４７１）が計測絞り部よりも上流側に設けられている、物理量計測装置。
　［特徴Ｅ２］
　センサ支持部の上流端部は、
　並び断面に対して傾斜し、計測絞り部の上流端部を並び方向に跨ぐ上流傾斜部（４７１）を有している、特徴Ｅ１に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｅ３］
　並び断面では、センサ支持部の下流端部（５５ｄ，４７２）が計測絞り部の下流端部（１１１ｃ，１１２ｃ）よりも上流側に設けられている、特徴Ｅ１又はＥ２に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｅ４］
　センサ支持部の下流端部は、
　並び断面に対して傾斜し、計測絞り部の下流端部を並び方向に跨ぐ下流傾斜部（４７２）を有している、特徴Ｅ３に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｅ５］
　計測絞り部は、
　ハウジングの内面を形成し、計測入口側から物理量センサに向けて計測流路を徐々に縮小して絞っていく計測絞り面（４３１，４４１）と、
　物理量センサ側から計測出口に向けて計測流路を徐々に拡張していく計測拡張面（４３２，４４２）と、
を有しており、
　並び方向において、計測拡張面の長さ寸法（Ｗ３３ａ，Ｗ３３ｂ）が計測絞り面の長さ寸法（Ｗ３２ａ，Ｗ３２ｂ）よりも大きい、特徴Ｅ１～Ｅ４のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｅ６］
　物理量センサは、センサ支持部の一面である表面（５５ｅ）に搭載されており、
　ハウジングの内面は、　センサ支持部の表面に対向する表計測壁面（１０３）と、
　センサ支持部の表面とは反対の裏面（５５ｆ）に対向する裏計測壁面（１０４）と、
を、計測流路を形成し且つセンサ支持部を挟んで対向する一対の壁面として有しており、
　ハウジングは、
　計測絞り部として、表計測壁面において物理量センサに対向する位置に設けられた表絞り部（１１１）を有している、特徴Ｅ１～Ｅ５のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｅ７］
　ハウジングは、
　計測絞り部として、裏計測壁面において物理量センサを介して表絞り部とは反対側の位置に設けられた裏絞り部（１１２）を有している、特徴Ｅ６に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｅ８］
　並び断面では、センサ支持部と表絞り部との離間距離（Ｄ３３ａ）がセンサ支持部と裏絞り部との離間距離（Ｄ３３ｂ）よりも小さい、特徴Ｅ７に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｅ９］
　計測流路の中心線（ＣＬ４）は、計測入口の中心（ＣＯ２）と計測出口の中心（ＣＯ３）とを通り、計測流路に沿って延びており、
　表絞り部は、表絞り部と計測流路の中心線との離間距離（Ｗ２）が最も小さくなる頂部として表頂部（１１１ａ）を有しており、
　裏絞り部は、裏絞り部と計測流路の中心線との離間距離（Ｗ３）が最も小さくなる頂部として裏頂部（１１２ａ）を有しており、
　表絞り部が計測流路を縮小する縮小率が、裏絞り部が計測流路を縮小する縮小率よりも大きい、特徴Ｅ７又はＥ８に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｅ１０］
　計測流路では、計測絞り部が計測流路を絞ることで最も流速が大きくなる位置に合わせて物理量センサが設けられている、特徴Ｅ１～Ｅ９のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｅ１１］
　並び断面においては、センサ支持部の上流端部が上流曲がり路に設けられている、特徴Ｅ１～Ｅ１０のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｅ１２］
　計測出口の開口面積は計測入口の開口面積よりも小さい、特徴Ｅ１～Ｅ１１のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｅ１３］
　流体が流入する通過入口（３３）と、通過入口から流入した流体が流出する通過出口（３４）とを有する通過流路（３１）を備え、
　計測流路は、通過流路から分岐した分岐流路であり、
　通過出口の開口面積は通過入口の開口面積よりも小さい、特徴Ｅ１～Ｅ１２のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　＜構成群Ｆの特徴＞
　本明細書にて開示された構成には、下記のように構成群Ｆの特徴が含まれている。
　［特徴Ｆ１］　流体の物理量を計測する物理量計測装置（２０）であって、
　流体が流れる計測流路（３２）と、
　計測流路に設けられ、流体の物理量を検出する物理量センサ（２２）と、
　物理量センサを支持するセンサ支持部（５１）と、
を備え、
　物理量センサは、
　物理量センサの一面であるセンサ裏面（２２ｂ）に設けられた凹部であるセンサ凹部（６１）と、
　センサ凹部の底面であるセンサ凹底面（５０１）を形成し、流体の物理量を検出するための検出素子（７１～７４）が設けられたメンブレン部（６２）と、
を有しており、
　センサ支持部は、
　センサ裏面に沿って延び、センサ凹部の開口であるセンサ凹開口（５０３）を覆うように設けられた裏支持部（５２２）と、
　裏支持部において物理量センサとは反対側の面である支持裏面（５５ｆ）に設けられた凹部である支持凹部（５３０）と、
　支持凹部の底面である支持凹底部（５３１）からセンサ凹部に向けて延びて裏支持部を貫通し、センサ凹開口に通じる支持孔（５４０）と、
　支持凹底部と共に支持凹部の内面に含まれ、支持凹底部から物理量センサとは反対側に向けて延び、物理量センサとは反対側を向くように支持孔の中心線（ＣＬ５２）に対して傾斜している支持凹内壁面（５３２）と、
を有している、物理量計測装置。
　［特徴Ｆ２］
　支持凹底部の外周縁は、支持孔における物理量センサとは反対側の端部である裏端部（５４２）から外側に離間した位置に設けられている、特徴Ｆ１に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｆ３］
　支持凹底部の外周縁は、支持孔の中心線に直交する方向（Ｙ，Ｚ）において、センサ凹開口から外側に離間した位置に設けられている、特徴Ｆ１又はＦ２に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｆ４］
　支持孔の中心線に直交する方向（Ｙ，Ｚ）での支持凹内壁面の長さ寸法（Ｌ５１）が、支持孔の中心線が延びる方向（Ｘ）での支持凹内壁面の長さ寸法（Ｌ５２）よりも大きい、特徴Ｆ１～Ｆ３のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｆ５］
　支持孔の中心線が延びる方向（Ｘ）において、支持孔の長さ寸法（Ｌ５４）は、支持凹部の深さ寸法（Ｌ５２）よりも小さい、特徴Ｆ１～Ｆ４のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｆ６］
　流体の物理量を計測する物理量計測装置（２０）であって、
　流体が流れる計測流路（３２）と、
　計測流路に設けられ、流体の物理量を検出する物理量センサ（２２）と、
　物理量センサを支持するセンサ支持部（５１）と、
を備え、
　物理量センサは、
　物理量センサの一面であるセンサ裏面（２２ｂ）に設けられた凹部であるセンサ凹部（６１）と、
　センサ凹部の底面であるセンサ凹底面（５０１）を形成し、流体の物理量を検出するための検出素子（７１～７４）が設けられたメンブレン部（６２）と、
を有しており、
　センサ支持部は、
　センサ裏面に沿って延び、センサ凹部の開口であるセンサ凹開口（５０３）を覆う裏支持部（５２２）と、
　裏支持部において物理量センサとは反対側の面である支持裏面（５５ｆ）に設けられた凸部である支持凸部（７１０）と、
　支持凸部の先端部である支持凸先端部（７１１）からセンサ凹部に向けて延びて裏支持部を貫通し、センサ凹開口に通じる支持孔（７２０）と、
　支持凸先端部と共に支持凸部の外面に含まれ、支持凸先端部から物理量センサ側に向けて延び、物理量センサとは反対側を向くように支持孔の中心線（ＣＬ１５２）に対して傾斜している支持凸外壁面（７１２）と、
を有している、物理量計測装置。
　［特徴Ｆ７］
　支持凸先端部の外周縁は、支持孔における物理量センサとは反対側の端部である裏端部（７２２）から外側に離間した位置に設けられている、特徴Ｆ６に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｆ８］
　支持凸先端部の外周縁は、支持孔の中心線に直交する方向（Ｙ，Ｚ）において、センサ凹開口から外側に離間した位置に設けられている、特徴Ｆ６又はＦ７に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｆ９］
　支持孔の中心線に直交する方向（Ｙ，Ｚ）での支持凸外壁面の長さ寸法（Ｌ１５１）が、支持孔の中心線が延びる方向（Ｘ）での支持凸外壁面の長さ寸法（Ｌ１５２）よりも大きい、特徴Ｆ６～Ｆ８のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　＜構成群Ｇの特徴＞
　本明細書にて開示された構成には、下記のように構成群Ｇの特徴が含まれている。
　［特徴Ｇ１］
　流体の物理量を計測する物理量計測装置（２０）であって、
　流体が流れる計測流路（３２）と、
　計測流路において流体の物理量を検出する物理量センサ（２２）と、
　物理量センサを支持するセンサ支持部（５１）と、
　計測流路を形成し、センサ支持部を支持する流路ハウジング部（１５１）と、
を備え、
　センサ支持部は、
　計測流路に設けられた一の端部である支持先端部（５５ａ，９００ａ）と、
　支持先端部から離間した位置に設けられ且つ流路ハウジング部の内面に固定される表固定部（８１０，９１０）を含み、物理量センサが露出した側の面である支持表面（５５ｅ，９０１）と、
を有しており、
　物理量センサは、支持表面から露出したセンサ露出面（８７０）を有しており、
　支持先端部と表固定部とが並んだ高さ方向（Ｙ）において、表固定部における支持先端部とは反対側の端部である表固定基端部（８１４，９１４）と、センサ露出面における支持先端部とは反対側の端部である露出基端部（８７２）との離間距離（Ｌ６２ａ，Ｌ７２ａ）が、露出基端部と支持先端部との離間距離（Ｌ６１ａ，Ｌ７１ａ）よりも小さい、物理量計測装置。
　［特徴Ｇ２］
　高さ方向において、表固定部における支持先端部側の端部である表固定先端部（８１３，９１３）は、物理量センサにおける支持先端部側の端部であるセンサ先端部（８６１）と、物理量センサにおけるセンサ先端部とは反対側の端部であるセンサ基端部（８６２）との間に設けられている、特徴Ｇ１に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｇ３］
　センサ支持部は、
　支持先端部から離間した位置に設けられ且つ流路ハウジング部の内面に固定された裏固定部（８２０，９２０）を含み、支持表面とは反対の面である支持裏面（５５ｆ）、を有しており、
　高さ方向において、裏固定部における支持先端部とは反対側の端部である裏固定基端部（８２４，９２４）と露出基端部との離間距離（Ｌ６２ｂ，Ｌ７２ｂ）が、露出基端部と支持先端部との離間距離（Ｌ６１ａ，Ｌ７１ａ）よりも小さい、特徴Ｇ１又はＧ２に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｇ４］
　表固定基端部と露出基端部との離間距離（Ｌ６２ａ）が、裏固定基端部と露出基端部との離間距離（Ｌ６２ｂ）とは異なっている、特徴Ｇ３に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｇ５］
　物理量センサは、
　導電性を有し、センサ露出面に沿って延び、センサ露出面に直交する方向（Ｘ）に物理量センサが変形することを規制する導電層（６６ｂ）、を有している特徴Ｇ１～Ｇ４のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｇ６］
　導電層は白金により形成されている、特徴Ｇ５に記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｇ７］
　物理量センサにおいてセンサ露出面とは反対側のセンサ裏面（２２ｂ）に重ねられた状態で物理量センサを支持する支持板部（５３）と、
　物理量センサと支持板部とを接着し、支持板部の変形に伴って変形することで物理量センサの変形を規制する接着部（６７）と、
を備えている特徴Ｇ１～Ｇ６のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　［特徴Ｇ８］
　接着部はシリコン樹脂を含んで形成されている、特徴Ｇ７に記載の物理量計測装置。
　＜構成群Ｚの特徴＞
　本明細書にて開示された構成には、下記のように構成群Ｚの特徴が含まれている。
　［特徴Ｚ１］
　流体の物理量を計測する物理量計測装置（２０）であって、
　流体が流入する計測入口（３５）と、計測入口から流入した流体が流出する計測出口（３６）とを有する計測流路（３２）と、　計測流路に設けられ、流体の物理量を検出する物理量センサ（２２）と、
　計測流路を形成しているハウジング（２１）と、
を備えている物理量計測装置。
　この特徴Ｚ１によれば、計測入口から計測流路に流れ込んだ流体を対象として、物理量センサにより物理量を検出することができる。なお、本明細書にて開示された構成のうち、特徴Ｚ１に含まれていない構成は必須の構成ではない。本明細書ではいくつかの課題が存在しているが、これら課題を解決する上で構成群Ｚは必須の構成である。
　本開示は、実施例に準拠して記述されたが、本開示は当該実施例や構造に限定されるものではないと理解される。本開示は、様々な変形例や均等範囲内の変形をも包含する。加えて、様々な組み合わせや形態、さらには、それらに一要素のみ、それ以上、あるいはそれ以下、を含む他の組み合わせや形態をも、本開示の範疇や思想範囲に入るものである。

Claims (9)

  1. 　流体の物理量を計測する物理量計測装置（２０）であって、
    　前記流体が流れる計測流路（３２）と、
    　前記計測流路に設けられ、前記流体の物理量を検出する物理量センサ（２２）と、
    　前記物理量センサを支持するセンサ支持部（５１）と、
    を備え、
    　前記物理量センサは、
    　前記物理量センサの一面であるセンサ裏面（２２ｂ）に設けられた凹部であるセンサ凹部（６１）と、
    　前記センサ凹部の底面であるセンサ凹底面（５０１）を形成し、前記流体の物理量を検出するための検出素子（７１～７４）が設けられたメンブレン部（６２）と、
    を有しており、
    　前記センサ支持部は、
    　前記センサ裏面に沿って延び、前記センサ凹部の開口であるセンサ凹開口（５０３）を覆うように設けられた裏支持部（５２２）と、
    　前記裏支持部において前記物理量センサとは反対側の面である支持裏面（５５ｆ）に設けられた凹部である支持凹部（５３０）と、
    　前記支持凹部の底面である支持凹底部（５３１）から前記センサ凹部に向けて延びて前記裏支持部を貫通し、前記センサ凹開口に通じる支持孔（５４０）と、
    　前記支持凹底部と共に前記支持凹部の内面に含まれ、前記支持凹底部から前記物理量センサとは反対側に向けて延び、前記物理量センサとは反対側を向くように前記支持孔の中心線（ＣＬ５２）に対して傾斜している支持凹内壁面（５３２）と、
    を有している、物理量計測装置。
  2. 　前記支持凹底部の外周縁は、前記支持孔における前記物理量センサとは反対側の端部である裏端部（５４２）から外側に離間した位置に設けられている、請求項１に記載の物理量計測装置。
  3. 　前記支持凹底部の外周縁は、前記支持孔の前記中心線に直交する方向（Ｙ，Ｚ）において、前記センサ凹開口から外側に離間した位置に設けられている、請求項１又は２に記載の物理量計測装置。
  4. 　前記支持孔の前記中心線に直交する方向（Ｙ，Ｚ）での前記支持凹内壁面の長さ寸法（Ｌ５１）が、前記支持孔の前記中心線が延びる方向（Ｘ）での前記支持凹内壁面の長さ寸法（Ｌ５２）よりも大きい、請求項１～３のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
  5. 　前記支持孔の前記中心線が延びる方向（Ｘ）において、前記支持孔の長さ寸法（Ｌ５４）は、前記支持凹部の深さ寸法（Ｌ５２）よりも小さい、請求項１～４のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
  6. 　流体の物理量を計測する物理量計測装置（２０）であって、
    　前記流体が流れる計測流路（３２）と、
    　前記計測流路に設けられ、前記流体の物理量を検出する物理量センサ（２２）と、
    　前記物理量センサを支持するセンサ支持部（５１）と、
    を備え、
    　前記物理量センサは、
    　前記物理量センサの一面であるセンサ裏面（２２ｂ）に設けられた凹部であるセンサ凹部（６１）と、
    　前記センサ凹部の底面であるセンサ凹底面（５０１）を形成し、前記流体の物理量を検出するための検出素子（７１～７４）が設けられたメンブレン部（６２）と、
    を有しており、
    　前記センサ支持部は、
    　前記センサ裏面に沿って延び、前記センサ凹部の開口であるセンサ凹開口（５０３）を覆う裏支持部（５２２）と、
    　前記裏支持部において前記物理量センサとは反対側の面である支持裏面（５５ｆ）に設けられた凸部である支持凸部（７１０）と、
    　前記支持凸部の先端部である支持凸先端部（７１１）から前記センサ凹部に向けて延びて前記裏支持部を貫通し、前記センサ凹開口に通じる支持孔（７２０）と、
    　前記支持凸先端部と共に前記支持凸部の外面に含まれ、前記支持凸先端部から前記物理量センサ側に向けて延び、前記物理量センサとは反対側を向くように前記支持孔の中心線（ＣＬ１５２）に対して傾斜している支持凸外壁面（７１２）と、
    を有している、物理量計測装置。
  7. 　前記支持凸先端部の外周縁は、前記支持孔における前記物理量センサとは反対側の端部である裏端部（７２２）から外側に離間した位置に設けられている、請求項６に記載の物理量計測装置。
  8. 　前記支持凸先端部の外周縁は、前記支持孔の前記中心線に直交する方向（Ｙ，Ｚ）において、前記センサ凹開口から外側に離間した位置に設けられている、請求項６又は７に記載の物理量計測装置。
  9. 　前記支持孔の前記中心線に直交する方向（Ｙ，Ｚ）での前記支持凸外壁面の長さ寸法（Ｌ１５１）が、前記支持孔の前記中心線が延びる方向（Ｘ）での前記支持凸外壁面の長さ寸法（Ｌ１５２）よりも大きい、請求項６～８のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
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