DE112020001784T5

DE112020001784T5 - MESSVORRICHTUNG FÜR PHYSIKALISCHE GRÖßEN

Info

Publication number: DE112020001784T5
Application number: DE112020001784.2T
Authority: DE
Inventors: Takashi Enomoto; Kengo ITOU; Hiroyuki AKUZAWA; Hajime Mashita; Yasushi Kouno
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 2019-04-04
Filing date: 2020-02-20
Publication date: 2022-03-03
Also published as: JP2020169929A; WO2020202871A1; US20220018697A1

Abstract

Ein Sensoraussparungsabschnitt (61) ist auf einer Sensorrückfläche (22b) bereitgestellt. Ein Membranabschnitt (62) bildet eine Sensoraussparungsbodenfläche (501), die eine Bodenfläche des Sensoraussparungsabschnitts ist, und ist mit einem Erfassungselement (71 bis 74) bereitgestellt. Ein Sensorträgerabschnitt (51) enthält einen hinteren Trägerabschnitt (522), einen Trägeraussparungsabschnitt (530), ein Trägerloch (540) und eine Trägeraussparungsinnenwandfläche (532). Der hintere Trägerabschnitt erstreckt sich entlang einer Sensorrückfläche und deckt eine Sensoraussparungsöffnung (503) ab, die ein Öffnungsabschnitt des Sensoraussparungsabschnitts ist. Der Trägeraussparungsabschnitt ist auf einer hinteren Trägerrückfläche (55f) bereitgestellt, bei der es sich um eine Fläche des hinteren Trägerabschnitts auf einer Seite handelt, die einem Sensor für physikalische Größen gegenüberliegt. Das Trägerloch erstreckt sich von einem Trägeraussparungsbodenabschnitt (531), der eine Bodenfläche des Trägeraussparungsabschnitts ist, in Richtung des Sensoraussparungsabschnitts, durchdringt den hinteren Trägerabschnitt und kommuniziert mit der Sensoraussparungsöffnung. Die Trägeraussparungsinnenwandfläche ist in einer inneren Fläche des Trägeraussparungsabschnitts zusammen mit dem Trägeraussparungsbodenabschnitt enthalten, erstreckt sich von dem Trägeraussparungsbodenabschnitt in Richtung einer Seite, die dem Sensor für physikalische Größen gegenüberliegt, und ist in Bezug auf eine Mittellinie (CL52) des Trägerlochs so geneigt, dass sie einer Seite zugewandt ist, die dem Sensor für physikalische Größen gegenüberliegt.

Description

QUERVERWEIS AUF VERWANDTE ANMELDUNG
Die vorliegende Anmeldung beansprucht die Priorität der japanischen Patentanmeldung Nr. 2019-072244 , die am 4. April 2019 eingereicht wurde. Die gesamten Offenbarungen aller oben genannten Anmeldungen werden hier durch Bezugnahme aufgenommen.
HINTERGRUND
1. Technisches Gebiet
Die vorliegende Offenbarung bezieht sich auf eine Messvorrichtung für physikalische Größen.
2. Stand der Technik
Als Messvorrichtung für physikalische Größen, die eine physikalische Größe eines Fluids misst, ist in der Patentliteratur 1 beispielsweise ein Flusssensor offenbart, der eine Flusserfassungseinheit, die eine Flussrate von Luft erfasst, einen Leitungsrahmen, an dem die Flusserfassungseinheit befestigt ist, und einen Dichtungskörper, der einen Teil der Flusserfassungseinheit abdichtet, und dergleichen enthält. In dieser Flusserfassungseinheit ist an der hinteren Flächenseite einer verdünnten Membran, an der ein Erfassungselement befestigt ist, ein Spalt gebildet, und der Leitungsrahmen ist an der hinteren Fläche der Flusserfassungseinheit überlappt, um diesen Spalt abzudecken. Ein zum Spalt führendes Kommunikations- bzw. Verbindungsloch, das eine einheitliche Dicke hat, ist sowohl im Leitungsloch als auch im Dichtungskörper bereitgestellt, und der Spalt an der Rückseite der Membran und der Außenraum des Flusssensors kommunizieren miteinander durch diese Verbindungslöcher. Die innere Fläche des im Dichtungskörper bereitgestellten Verbindungslochs erstreckt sich in einer Richtung orthogonal zur hinteren Fläche des Dichtungskörpers. Die oben beschriebene Patentliteratur 1 beschreibt, dass Luft durch die Verbindungslöcher des Leitungslochs und des Dichtungskörpers in den Spalt an der Rückseite der Membran ein- und ausfließt, so dass der Innendruck und der Außendruck des Spalts an der Rückseite der Membran gleich werden.
LITERATURVERZEICHNIS
Patentliteratur 1: JP-2013-217731A
KURZFASSUNG
Da jedoch in der Patentliteratur 1 die Rückseite des Dichtungskörpers und die innere Fläche des Verbindungslochs orthogonal zueinander stehen, wird befürchtet, dass die entlang der Rückseite des Dichtungskörpers fließende Luft in das Verbindungsloch fließt, so dass ein zu großer Luftfluss in dem Spalt an der Rückseite der Membran erzeugt wird. Man geht davon aus, dass, wenn die Luft in das Verbindungsloch fließt, eine Störung wie ein Wirbel zusammen mit Trennung des Luftflusses auftritt, oder die Luft fließt kräftig in das Verbindungsloch, so dass der Luftfluss wahrscheinlich in dem Spalt an der Rückseite der Membran erzeugt wird. Wenn ein übermäßig großer Luftfluss in dem Spalt an der Rückseite der Membran erzeugt wird, wird die Temperatur oder ähnliches der Membran durch diesen Luftfluss unbeabsichtigt verändert, und die Erfassungsgenauigkeit der Flusserfassungseinheit wird wahrscheinlich verringert. Wie oben beschrieben, verringert sich die Messgenauigkeit der Messvorrichtung für physikalische Größen, wenn sich die Genauigkeit des Erfassens einer physikalischen Größe, wie z.B. einer Flussrate eines Fluids, wie z.B. Luft, verringert.
Wie oben beschrieben, verringert sich die Messgenauigkeit der Messvorrichtung für physikalische Größen, wenn sich die Genauigkeit des Messens einer physikalischen Größe, wie z. B. einer Flussrate eines Fluids, wie z. B. Luft, verringert.
Es ist ein Gegenstand der vorliegenden Offenbarung, eine Messvorrichtung für physikalische Größen bereitzustellen, die in der Lage ist, die Messgenauigkeit einer physikalischen Größe zu verbessern.
Eine Messvorrichtung für physikalische Größen, die konfiguriert ist, eine physikalische Größe eines Fluids gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Offenbarung zu messen, weist auf: einen Messflusspfad, der konfiguriert ist, Fluid hindurchfließen zu lassen; einen Sensor für physikalische Größen, der in einem Messflusspfad bereitgestellt ist und konfiguriert ist, eine physikalische Größe des Fluids zu erfassen; und einen Sensorträgerabschnitt, der den Sensor für physikalische Größen trägt. Der Sensor für physikalische Größen enthält einen Sensoraussparungsabschnitt, der ein Aussparungsabschnitt ist, der an einer Sensorrückfläche bereitgestellt ist, die eine Fläche des Sensors für physikalische Größen ist, und einen Membranabschnitt, der eine Sensoraussparungsbodenfläche bildet, die eine Bodenfläche des Sensoraussparungsabschnitts ist, und mit einem Erfassungselement bereitgestellt ist, das konfiguriert ist, eine physikalische Größe des Fluids zu erfassen. Der Sensorträgerabschnitt enthält einen hinteren Trägerabschnitt, der sich entlang der Sensorrückfläche erstreckt und so bereitgestellt ist, dass er eine Sensoraussparungsöffnung abdeckt, die eine Öffnung des Sensoraussparungsabschnitts ist, einen Trägeraussparungsabschnitt, der ein Aussparungsabschnitt ist, der an einer Trägerrückfläche bereitgestellt ist, die eine Fläche des hinteren Trägerabschnitts auf einer Seite gegenüber dem Sensor für physikalische Größen ist, ein Trägerloch, das sich von einer Sensoraussparungsbodenfläche erstreckt, die eine Bodenfläche des Trägeraussparungsabschnitts ist, in Richtung des Sensoraussparungsabschnitts erstreckt, den hinteren Trägerabschnitt durchdringt und mit der Sensoraussparungsöffnung kommuniziert, und eine Trägeraussparungsinnenwandfläche, die in einer inneren Fläche des Trägeraussparungsabschnitts zusammen mit dem Trägeraussparungsbodenabschnitt enthalten ist, sich von dem Trägeraussparungsbodenabschnitt in Richtung einer Seite erstreckt, die dem Sensor für physikalische Größen gegenüberliegt, und in Bezug auf eine Mittellinie des Trägerlochs so geneigt ist, dass sie einer Seite zugewandt ist, die dem Sensor für physikalische Größen gegenüberliegt.
Gemäß dem ersten Aspekt ist in einem hinteren Trägerabschnitt eines Sensorträgerabschnitts eine Trägeraussparungsinnenwandfläche in Bezug auf die Trägerrückfläche so geneigt, dass sie der dem Sensor für physikalische Größen gegenüberliegenden Seite zugewandt ist. In dieser Konfiguration fließt der Luftfluss entlang der hinteren Trägerrückfläche leicht an der Trägeraussparungsinnenwandfläche entlang, wenn er den Trägeraussparungsabschnitt erreicht. In diesem Fall ist es weniger wahrscheinlich, dass der Luftfluss von der Trägeraussparungsinnenwandfläche getrennt wird und eine Störung des Luftflusses, wie z.B. ein Wirbel, im Inneren des Trägeraussparungsabschnitts auftritt. Daher kann unterdrückt werden, dass innerhalb des Sensoraussparungsabschnitts aufgrund der Störung des Luftflusses, der innerhalb des Trägeraussparungsabschnitts erzeugt wird, ein übermäßig großer Luftfluss erzeugt wird, und dass die Operationsgenauigkeit des Erfassungselements in dem Membranabschnitt durch diesen Luftfluss verringert wird. Daher kann die Messgenauigkeit der Messvorrichtung für physikalische Größen verbessert werden.
Eine Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Offenbarung, die eine physikalische Größe eines Fluids misst, weist einen Messflusspfad auf, der konfiguriert ist, ein Fluid hindurchfließen zu lassen; einen Sensor für physikalische Größen, der in einem Messflusspfad bereitgestellt ist und konfiguriert ist, eine physikalische Größe des Fluids zu erfassen; und einen Sensorträgerabschnitt, der den Sensor für physikalische Größen trägt. Der Sensor für physikalische Größen enthält einen Sensoraussparungsabschnitt, der ein Aussparungsabschnitt ist, der an einer Sensorrückfläche bereitgestellt ist, die eine Fläche des Sensors für physikalische Größen ist, und einen Membranabschnitt, der eine Sensoraussparungsbodenfläche bildet, die eine Bodenfläche des Sensoraussparungsabschnitts ist, und mit einem Erfassungselement bereitgestellt ist, das konfiguriert ist, eine physikalische Größe des Fluids zu erfassen. Der Sensorträgerabschnitt enthält einen hinteren Trägerabschnitt, der sich entlang der Sensorrückfläche erstreckt und eine Sensoraussparungsöffnung abdeckt, die eine Öffnung des Sensoraussparungsabschnitts ist, einen Trägervorsprungsabschnitt, der ein Vorsprungsabschnitt ist, der an einer Trägerrückfläche bereitgestellt ist, die eine Fläche des hinteren Trägerabschnitts an einer Seite gegenüber dem Sensor für physikalische Größen ist, ein Trägerloch, das sich von einem Trägervorsprungspitzenendabschnitt, der ein Spitzenendabschnitt des Trägervorsprungsabschnitts ist, in Richtung des Sensoraussparungsabschnitts erstreckt, den hinteren Trägerabschnitt durchdringt und mit der Sensoraussparungsöffnung kommuniziert, und eine Trägervorsprungsaußenwandfläche, die in einer äußeren Fläche des Trägervorsprungsabschnitts zusammen mit dem Trägervorsprungspitzenendabschnitt enthalten ist, sich von dem Trägervorsprungspitzenendabschnitt in Richtung des Sensors für physikalische Größen erstreckt und in Bezug auf eine Mittellinie des Trägerlochs so geneigt ist, dass sie einer Seite gegenüber dem Sensor für physikalische Größen zugewandt ist.
Gemäß dem zweiten Aspekt ist in dem hinteren Trägerabschnitt des Sensorträgerabschnitts eine Trägervorsprungsaußenwandfläche, die um das Trägerloch herum bereitgestellt ist, in Bezug auf die Trägerrückfläche so geneigt, dass sie der Seite gegenüber dem Sensor für physikalische Größen zugewandt ist. In dieser Konfiguration fließt der Luftfluss, der entlang der Trägerrückfläche fließt, leicht entlang der Trägervorsprungsaußenwandfläche. In diesem Fall wird das Fluid, das entlang der Trägervorsprungsaußenwandfläche des Sensorträgerabschnitts fließt, durch die Trägervorsprungsaußenwandfläche in einer Richtung weg von dem hinteren Endabschnitt des Trägerlochs in der Längsrichtung des Trägerlochs geführt, und daher ist es weniger wahrscheinlich, dass das Fluid in das Trägerloch fließt. Daher ist es möglich, zu unterdrücken, dass die entlang der Trägerrückfläche fließende Luft kräftig in das Trägerloch fließt und ein übermäßig großer Luftfluss innerhalb des Sensoraussparungsabschnitts erzeugt wird, und die Operationsgenauigkeit des Erfassungselements in dem Membranabschnitt durch diesen Luftfluss verringert wird. Daher kann die Messgenauigkeit der Messvorrichtung für physikalische Größen verbessert werden.
Figurenliste
Die obigen und anderen Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Offenbarung werden aus der folgenden detaillierten Beschreibung, die unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen erfolgt, deutlicher. In den Zeichnungen

1 ist eine Ansicht, die die Konfiguration eines Verbrennungssystems in der ersten Ausführungsform zeigt.
2 ist eine Vorderansicht eines Luftflussmessers in einem Zustand, in dem er an einem Ansaugrohr angebracht ist.
3 ist eine Draufsicht auf den Luftflussmesser in einem Zustand, in dem er an dem Ansaugrohr befestigt ist.
4 ist eine perspektivische Ansicht des Luftflussmessers von einer Seite des Kanaleingangs aus gesehen.
5 ist eine perspektivische Ansicht des Luftflussmessers von der Seite des Kanalausgangs aus gesehen.
6 ist eine Seitenansicht des Luftflussmessers von der Seite eines Verbinderabschnitts aus gesehen.
7 ist eine Seitenansicht des Luftflussmessers von einer dem Verbinderabschnitt gegenüberliegenden Seite aus gesehen.
8 ist eine Querschnittsansicht entlang einer Linie VIII-VIII von 2.
9 ist eine perspektivische Ansicht eines Sensors SA in der Konfigurationsgruppe A.
10 ist eine Draufsicht auf den Sensor SA von der Seite einer Formvorderfläche aus gesehen.
11 ist eine Draufsicht auf den Sensor SA von einer Seite der Formrückfläche aus gesehen.
12 ist eine perspektivische Ansicht eines Flusssensors.
13 ist eine Ansicht, die ein Verdrahtungsmuster eines Membranabschnitts zeigt.
14 ist eine Längsschnittansicht des Luftflussmessers.
15 ist eine Querschnittsansicht entlang einer Linie XV-XV von 14.
16 ist eine Querschnittsansicht entlang einer Linie XVI-XVI von 14.
17 ist eine Längsschnittansicht um einen Gehäusetrennabschnitt des Luftflussmessers in der Konfigurationsgruppe B.
18 ist eine Ansicht, die den Zustand vor der Montage des Sensors SA am Gehäuse zeigt.
19 ist eine Draufsicht auf das Gehäuse vor der Montage des Sensors SA.
20 ist eine Ansicht, die einen Zustand vor der Verformung des Gehäusetrennabschnitts durch den Sensor SA zeigt.
21 ist eine Ansicht, die einen Zustand nach der Verformung des Gehäusetrennabschnitts durch den Sensor SA zeigt.
22 ist eine Längsschnittansicht des Luftflussmessers in der Konfigurationsgruppe D.
23 ist eine vergrößerte Ansicht um einen Sensorpfad von 22.
24 ist eine Querschnittsansicht entlang einer Linie XXIV-XXIV von 22.
25 ist eine vergrößerte Ansicht um den Sensorpfad von 24.
26 ist eine Längsschnittansicht des Luftflussmessers in der Konfigurationsgruppe E und ist eine vergrößerte Ansicht um den Sensorpfad.
27 ist eine Querschnittsansicht des Luftflussmessers und eine vergrößerte Ansicht um den Sensorpfad.
28 ist eine Querschnittsansicht entlang einer Linie XXVIII-XXVIII von 10 in der Konfigurationsgruppe F.
29 ist eine vergrößerte Ansicht um einen Membranabschnitt von 28.
30 ist eine vergrößerte Ansicht um den Sensoraussparungsabschnitt des Flusssensors von der Formrückseite aus gesehen.
31 ist eine Querschnittsansicht entlang einer Linie XXXI-XXXI in 10.
32 ist eine Ansicht zur Erläuterung eines Luftflusses, der in einem Messflusspfad erzeugt wird.
33 ist eine Querschnittsansicht einer Formvorrichtung, die einen Zustand vor der Montage eines vorderen Formabschnitts und eines hinteren Formabschnitts zeigt.
34 ist eine Querschnittsansicht der Formvorrichtung.
35 ist eine Längsschnittansicht des Luftflussmessers in der Konfigurationsgruppe G und ist eine vergrößerte Ansicht um eine vordere Rippe und eine hintere Rippe.
36 ist eine Querschnittsansicht entlang einer Linie XXXVI-XXXVI von 35.
37 ist eine Längsschnittansicht des Sensors SA.
38 ist eine Längsschnittansicht um den Flusssensor.
39 ist eine Ansicht, die den Zustand vor der Befestigung des Sensors SA an einem ersten Gehäuseabschnitt zeigt.
40 ist eine Ansicht, die einen Zustand in der Mitte der Befestigung des Sensors SA an dem ersten Gehäuseabschnitt zeigt.
41 ist eine schematische Vorderansicht des Luftflussmessers in der Konfigurationsgruppe H.
42 ist eine perspektivische Ansicht eines Verbindungsanschlusses.
43 ist eine Draufsicht auf den Verbindungsanschluss.
44 ist eine vergrößerte Ansicht um einen Anschlussvorsprungsabschnitt in einem Leitungsanschluss.
45 ist eine Querschnittsansicht entlang einer Linie XLV-XLV von 41.
46 ist eine Querschnittsansicht entlang einer Linie XLVI-XLVI von 41.
47 ist eine Querschnittsansicht entlang einer Linie XLVII-XLVII von 6.
48 ist eine Ansicht des ersten Gehäuseabschnitts in einem Zustand, in dem er mit dem Sensor SA und dem Verbindungsanschluss ausgestattet ist, von der Seite des Kanaleingangs aus gesehen.
49 ist eine Ansicht des ersten Gehäuseabschnitts in einem Zustand, in dem er mit dem Sensor SA und dem Verbindungsanschluss ausgestattet ist, von der Seite des Kanalausgangs aus gesehen.
50 ist eine Ansicht des ersten Gehäuseabschnitts in einem Zustand, in dem er mit dem Sensor SA und dem Verbindungsanschluss ausgestattet ist, von einer Gehäuserückseite aus gesehen.
51 ist eine Ansicht des ersten Gehäuseabschnitts in einem Zustand, in dem er mit dem Sensor SA und dem Verbindungsanschluss ausgestattet ist, von einer Gehäusevorderseite aus gesehen.
52 ist eine Ansicht des ersten Gehäuseabschnitts in einem Zustand, in dem er mit dem Sensor SA und dem Verbindungsanschluss ausgestattet ist, von einer Gehäusebasisendseite aus gesehen.
53 ist eine Ansicht des ersten Gehäuseabschnitts in einem Zustand, in dem er mit dem Sensor SA und dem Verbindungsanschluss ausgestattet ist, von einer Gehäusespitzenendseite aus gesehen.
54 ist eine Querschnittsansicht entlang einer Linie LIV-LIV von 52.
55 ist eine Ansicht des ersten Gehäuseabschnitts in einem Zustand, in dem er nicht mit dem Sensor SA und dem Verbindungsanschluss in 54 ausgestattet ist.
56 ist eine Querschnittsansicht entlang einer Linie LVI-LVI von 55.
57 ist eine Querschnittsansicht entlang einer Linie LVII-LVII von 55.
58 ist eine Seitenansicht des Luftflussmessers in einem Zustand, in dem er gemäß der zweiten Ausführungsform am Ansaugrohr befestigt ist. 52.
59 ist eine Vorderansicht des Luftflussmessers.
60 ist eine Querschnittsansicht entlang einer Linie LX-LX von 58.
61 ist eine Querschnittsansicht entlang einer Linie LXI-LXI von 60 in der Konfigurationsgruppe B.
62 ist eine vergrößerte Ansicht um den Sensor SA von 60.
63 ist eine explodierte Querschnittsansicht eines Basisabschnitts, eines Abdeckungselements und des Sensors SA in 60.
64 ist eine vergrößerte Ansicht um den Sensor SA aus 63.
65 ist eine Längsschnittansicht des Luftflussmessers in der Konfigurationsgruppe C in der dritten Ausführungsform.
66 ist eine vergrößerte Ansicht um einen Kanalflusspfad von 65.
67 ist eine Ansicht zur Erläuterung der Querschnittsfläche eines Eingangskanalabschnitts.
68 ist eine Ansicht zur Erläuterung eines Hauptflusses, der in den Kanalflusspfad fließt.
69 ist eine Ansicht zur Erläuterung des Abwärtsdriftflusses, der in den Kanalflusspfad fließt.
70 ist eine Ansicht zur Erläuterung des in den Kanalflusspfad fließenden Aufwärtsdriftflusses.
71 ist eine Ansicht, die eine Beziehung zwischen einem Neigungswinkel einer Eingangsdeckenfläche in Bezug auf eine Hauptflusslinie und der ausgegebenen Variation des Luftflussmessers zeigt.
72 ist eine Ansicht, die einen Modus zur Änderung einer Flussrate zeigt.
73 ist eine Ansicht, die eine Beziehung zwischen einer Pulsationseigenschaft und einem Amplitudenverhältnis zeigt.
74 ist eine Ansicht zur Erläuterung einer Konfiguration, bei der die Abzweigwinkel unterschiedlich sind.
75 ist eine Ansicht, die eine Beziehung zwischen einem Abzweigwinkel und einer Pulsationseigenschaft zeigt.
76 ist eine Querschnittsansicht um einen Membranabschnitt eines Flusssensors in der Konfigurationsgruppe F der vierten Ausführungsform.
77 ist eine Ansicht zur Erläuterung eines Luftflusses, der im Messflusspfad erzeugt wird.
78 ist eine Längsschnittansicht um den Gehäusetrennabschnitt des Luftflussmessers gemäß der ersten Ausführungsform in der Modifikation B1.
79 ist eine Querschnittsansicht um den Gehäusetrennabschnitt des Luftflussmessers gemäß der zweiten Ausführungsform in der Modifikation B2.
80 ist eine explodierte Querschnittsansicht des Basisabschnitts, des Abdeckungselements und des Sensors SA.
81 ist eine Längsschnittansicht um den Gehäusetrennabschnitt des Luftflussmessers gemäß der ersten Ausführungsform in der Modifikation B4.
82 ist eine Querschnittsansicht um den Gehäusetrennabschnitt des Luftflussmessers gemäß der zweiten Ausführungsform in der Modifikation B5.
83 ist eine explodierte Querschnittsansicht des Basisabschnitts, des Abdeckungselements und des Sensors SA.
84 ist eine Querschnittsansicht um den Gehäusetrennabschnitt des Luftflussmessers gemäß der zweiten Ausführungsform in der Modifikation B6.
85 ist eine explodierte Querschnittsansicht des Basisabschnitts, des Abdeckungselements und des Sensors SA.
86 ist eine Längsschnittansicht um den Gehäusetrennabschnitt des Luftflussmessers gemäß der ersten Ausführungsform in der Modifikation B7.
87 ist eine Längsschnittansicht des Luftflussmessers um den Kanalflusspfad gemäß der dritten Ausführungsform in der Modifikation C1.
88 ist eine Längsschnittansicht des Luftflussmessers um den Kanalflusspfad gemäß der dritten Ausführungsform in der Modifikation C2.
89 ist eine Längsschnittansicht des Luftflussmessers um den Kanalflusspfad gemäß der dritten Ausführungsform in der Modifikation C3.
90 ist eine Längsschnittansicht des Luftflussmessers gemäß der ersten Ausführungsform in der Modifikation D1.
91 ist eine Querschnittsansicht des Luftflussmessers gemäß der ersten Ausführungsform in der Modifikation D14.
92 ist eine Querschnittsansicht um den Membranabschnitt des Flusssensors gemäß der ersten Ausführungsform in der Modifikation F1.
93 ist eine Querschnittsansicht um den Membranabschnitt des Flusssensors gemäß der ersten Ausführungsform in der Modifikation F2.
94 ist eine Querschnittsansicht um den Membranabschnitt des Flusssensors gemäß der ersten Ausführungsform in der Modifikation F3.
95 ist eine Querschnittsansicht um den Membranabschnitt des Flusssensors gemäß der ersten Ausführungsform in der Modifikation F4.
96 ist eine Querschnittsansicht um den Membranabschnitt des Flusssensors gemäß der ersten Ausführungsform in der Modifikation F5.
97 ist eine Querschnittsansicht um den Membranabschnitt des Flusssensors gemäß der ersten Ausführungsform in der Modifikation F6.
98 ist eine vergrößerte Ansicht um den Sensoraussparungsabschnitt des Flusssensors von der Formrückseite aus gesehen gemäß der ersten Ausführungsform der Modifikation F7.
99 ist eine Querschnittsansicht um den Membranabschnitt des Flusssensors gemäß der vierten Ausführungsform in der Modifikation F14.
100 ist eine Querschnittsansicht um den Membranabschnitt des Flusssensors gemäß der vierten Ausführungsform in der Modifikation F15.
101 ist eine Querschnittsansicht um den Membranabschnitt des Flusssensors gemäß der vierten Ausführungsform in der Modifikation F16.
102 ist eine Querschnittsansicht um den Membranabschnitt des Flusssensors gemäß der vierten Ausführungsform in der Modifikation F17.
103 ist eine Querschnittsansicht um den Membranabschnitt des Flusssensors gemäß der vierten Ausführungsform in der Modifikation F18.
104 ist eine Längsschnittansicht des Sensors SA gemäß der ersten Ausführungsform in der Modifikation G1.
105 ist eine Seitenansicht des Sensors SA gemäß der ersten Ausführungsform in der Modifikation G3.
106 ist eine Draufsicht auf den Flusssensor des Sensors SA gemäß der ersten Ausführungsform in der Modifikation G3.
107 ist eine Draufsicht auf den Flusssensor des Sensors SA gemäß der Modifikation G3 in der Modifikation G4.
108 ist eine Draufsicht auf den Flusssensor des Sensors SA gemäß der Modifikation G3 in der Modifikation G5.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSFORMEN
Eine Mehrzahl von Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung wird im Folgenden unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben. Die gleichen Bezugszeichen sind für entsprechende Komponenten in jeder Ausführungsform gegeben, und redundante Beschreibung kann weggelassen werden. Wenn in jeder Ausführungsform nur ein Teil der Konfiguration beschrieben wird, kann die Konfiguration einer anderen zuvor beschriebenen Ausführungsform auf andere Teile der Konfiguration angewendet werden. Es ist möglich, nicht nur Konfigurationen zu kombinieren, die in der Beschreibung jeder Ausführungsform explizit beschrieben sind, sondern auch Konfigurationen aus einer Mehrzahl von Ausführungsformen teilweise zu kombinieren, auch wenn sie nicht explizit beschrieben sind, es sei denn, die Kombination ist besonders hinderlich. Kombinationen von Konfigurationen, die in einer Mehrzahl von Ausführungsformen beschrieben sind, und Modifikationen, die nicht explizit beschrieben sind, werden ebenfalls durch die folgende Beschreibung offenbart.
(Erste Ausführungsform)
Das in 1 dargestellte Verbrennungssystem 10 enthält einen Verbrennungsmotor 11, z.B. einen Ottomotor, einen Ansaugkanal 12, einen Auslasskanal 13, einen Luftflussmesser 20 und eine ECU 15 und ist beispielsweise in einem Fahrzeug eingebaut. Der Luftflussmesser 20 ist im Ansaugkanal 12 bereitgestellt und misst physikalische Größen wie Flussrate, Temperatur, Feuchtigkeit und Druck der dem Verbrennungsmotor 11 zugeführten Ansaugluft. Der Luftflussmesser 20 ist eine Flussmessvorrichtung, die die Flussrate von Luft misst, und entspricht einer Messvorrichtung für physikalische Größen, die ein Fluid wie die Ansaugluft misst. Die Ansaugluft ist Gas, das einer Brennkammer 11a des Verbrennungsmotors 11 zugeführt wird. In der Brennkammer 11a wird ein Luft-Kraftstoff-Gemisch aus Ansaugluft und Kraftstoff durch eine Zündkerze 17 gezündet.
Eine Motorsteuereinheit (ECU) 15 ist eine Steuervorrichtung, die den Betrieb des Verbrennungssystems 10 steuert. Die ECU 15 ist eine arithmetische Verarbeitungsschaltung, die einen Mikrocomputer mit einem Prozessor, einem Speichermedium wie einem RAM, einem ROM und einem Flash-Speicher sowie eine Eingangs-/Ausgangseinheit und eine Energieversorgung enthält. Die ECU 15 empfängt ein Sensorsignal, das von dem Luftflussmesser 20 ausgegeben wird, ein Sensorsignal, das von einer großen Anzahl von fahrzeuginternen Sensoren ausgegeben wird, und dergleichen. Unter Verwendung eines Messergebnisses des Luftflussmessers 20 führt die ECU 15 eine Motorsteuerung für eine Kraftstoffeinspritzmenge, eine EGR-Menge und dergleichen eines Einspritzers 16 aus. Die ECU 15 ist eine Vorrichtung, die die Operation des Verbrennungsmotors 11 steuert, und das Verbrennungssystem 10 kann auch als Motorsteuersystem bezeichnet werden. Die ECU 15 entspricht einer externen Vorrichtung.
Die ECU 15 kann auch als eine elektronische Steuereinheit bezeichnet werden.
Die Steuervorrichtung bzw. das Steuersystem wird bereitgestellt durch (a) einen Algorithmus in Form einer Mehrzahl von Logiken, die als Wenn-dann-Sonst-Format bezeichnet werden, oder (b) einen Algorithmus in Form eines gelernten Modells, das durch maschinelles Lernen abgestimmt wird, z. B. in Form eines neuronalen Netzwerks.
Die Steuervorrichtung wird durch ein Steuersystem bereitgestellt, das mindestens einen Computer enthält. Das Steuersystem kann eine Mehrzahl von Computern enthalten, die durch eine Datenkommunikationsvorrichtung verbunden sind. Der Computer enthält mindestens einen Prozessor (Hardwareprozessor), der eine Hardware ist. Der Hardwareprozessor kann durch die folgenden (i), (ii), oder (iii) bereitgestellt sein.

(i) Der Hardwareprozessor kann mindestens ein Prozessorkern sein, der ein in mindestens einem Speicher gespeichertes Programm ausführt. In diesem Fall wird der Computer durch mindestens einen Speicher und mindestens einen Prozessorkern bereitgestellt. Der Prozessorkern wird als zentrale Verarbeitungseinheit (CPU), als Grafikverarbeitungseinheit (GPU), als RISC-CPU oder ähnliches bezeichnet. Der Speicher wird auch als Speichermedium bezeichnet. Bei dem Speicher handelt es sich um ein nichttransitorisches, greifbares Speichermedium, das „ein Programm und/oder Daten“ speichert, die durch einen Prozessor lesbar sind. Das Speichermedium wird durch einen Halbleiterspeicher, eine Magnetplatte, eine optische Platte oder Ähnliches bereitgestellt. Das Programm kann allein oder als ein Speichermedium, das das Programm speichert, verteilt werden.
(ii) Der Prozessor kann eine logische Hardwareschaltung sein. In diesem Fall wird der Computer durch eine digitale Schaltung bereitgestellt, die eine große Anzahl von Logikeinheiten (Gatterschaltungen) enthält, die programmiert werden. Die digitale Schaltung wird auch als logische Schaltungsanordnung bezeichnet, z. B. eine anwendungsspezifische integrierte Schaltung (ASIC), ein Field Programmable Gate Array (FPGA), ein Programmable Gate Array (PGA), eine komplexe programmierbare logische Vorrichtung (CPLD) oder ähnliches. Die digitale Schaltung kann einen Speicher enthalten, der ein Programm und/oder Daten speichert. Der Computer kann durch eine analoge Schaltung bereitgestellt sein. Der Computer kann durch eine Kombination aus einer digitalen Schaltung und einer analogen Schaltung bereitgestellt sein.
(iii) Der Hardwareprozessor kann eine Kombination aus den obigen Punkten (i) und (ii) sein. (i) und (ii) sind auf verschiedenen Chips oder auf einem gemeinsamen Chip angeordnet. In diesen Fällen wird der Abschnitt von (ii) auch als Beschleuniger bezeichnet.

Die Steuervorrichtung, eine Signalquelle und das gesteuerte Objekt stellen verschiedene Elemente bereit. Zumindest einige dieser Elemente können als Block, Modul oder Abschnitt bezeichnet werden. Elemente, die in der Steuerung enthalten sind, werden nur dann als Funktionsmittel bezeichnet, wenn sie beabsichtigt sind.
Die Steuereinheit und das in dieser Offenbarung beschriebene Verfahren dafür können durch einen dedizierten Computer implementiert werden, der durch Konfigurieren eines Speichers und eines Prozessors bereitgestellt ist, der so programmiert ist, dass er eine oder eine Mehrzahl von Funktionen ausführt, die durch ein Computerprogramm ausgeführt werden. Alternativ können die Steuereinheit und das in dieser Offenbarung beschriebene Verfahren dafür durch einen dedizierten Computer implementiert werden, der durch Konfigurieren eines Prozessors durch eine oder mehrere dedizierte Hardware-Logikschaltungen bereitgestellt ist. Alternativ können die Steuereinheit und das in dieser Offenbarung beschriebene Verfahren dafür durch einen oder mehrere dedizierte Computer implementiert werden, die durch eine Kombination aus einem Speicher und einem Prozessor, der so programmiert ist, dass er eine oder eine Mehrzahl von Funktionen ausführt, und einem Prozessor, der durch eine oder mehrere Hardware-Logikschaltungen konfiguriert ist, konfiguriert sind. Das Computerprogramm kann in einem computerlesbaren, nicht übertragbaren, materiellen Aufzeichnungsmedium als ein Befehl gespeichert sein, der von einem Computer ausgeführt wird.
Das Verbrennungssystem 10 enthält eine Mehrzahl von Messeinheiten als bordeigene Sensoren. Die Messeinheiten enthalten beispielsweise einen Drosselklappensensor 18a und einen Luft-Kraftstoff-Verhältnissensor 18b zusätzlich zum Luftflussmesser 20. Jede dieser Messeinheiten ist elektrisch mit der ECU 15 verbunden und gibt ein Erfassungssignal an die ECU 15 aus. Der Luftflussmesser 20 ist im Ansaugkanal 12 auf der stromabwärtigen Seite eines Luftfilters 19 und auf der stromaufwärtigen Seite in Bezug auf eine Drosselklappe bereitgestellt, an der der Drosselklappensensor 18a angebracht ist. Der Luftfilter 19 enthält ein Luftgehäuse, das einen Teil des Ansaugkanals 12 bildet, und einen Luftfilter, der Fremdkörper wie Staub aus der Ansaugluft entfernt, und der Luftfilter ist an dem Luftgehäuse befestigt.
In dem Verbrennungssystem 10 wird beispielsweise die Single-Edge-Nibble-Übertragung (SENT) als ein Kommunikationsschema verwendet, das die Kommunikation zwischen der ECU 15 und einer Messeinheit wie dem Luftflussmesser 20 aktiviert. Die SENT-Kommunikation ist eine Art der digitalen Kommunikation und ein Verfahren zum Digitalisieren eines Messsignals einer Messeinheit wie dem Luftflussmesser 20. Bei der SENT-Kommunikation können die Messsignale für eine Mehrzahl von Kanälen durch eine einzige elektrische Verdrahtung gesendet werden. Daher erhöht sich beispielsweise auch dann, wenn der Pfad, der die Kommunikation zwischen der ECU 15 und dem Luftflussmesser 20 aktiviert, durch eine einzige elektrische Verdrahtung gebildet wird, die für die Kommunikation zwischen der ECU 15 und dem Luftflussmesser 20 benötigte Zeit weniger stark.
Wie in 2, 3 und 8 gezeigt, ist der Luftflussmesser 20 an einer Rohreinheit 14 als Befestigungsziel befestigt. Die Rohreinheit 14 enthält ein Ansaugrohr 14a, einen Rohrflansch 14c und eine Rohrmuffe 14d und ist ein formgebendes Element, das den Ansaugkanal 12 bildet. Die Rohreinheit 14 bildet z. B. mindestens einen Teil des Luftgehäuses. In der Konfiguration, in der die Rohreinheit 14 ein Luftgehäuse bildet, ist zusätzlich zu dem Luftflussmesser 20 ein Luftfilter an der Rohreinheit 14 angebracht. In der Rohreinheit 14 sind das Ansaugrohr 14a, der Rohrflansch 14c und die Rohrmuffe 14d aus einem Harzmaterial oder dergleichen gebildet.
Das Ansaugrohr 14a ist ein Rohr, wie z.B. ein Kanal, der den Ansaugkanal 12 bildet. Das Ansaugrohr 14a ist mit einem Luftflusseinführungsloch 14b als Durchgangsloch bereitgestellt, das den äußeren Umfangsrand davon durchdringt. Der Rohrflansch 14c ist ringförmig ausgebildet und erstreckt sich entlang des Umfangsrandabschnitts des Luftflusseinführungslochs 14b. Der Rohrflansch 14c erstreckt sich von der äußeren Fläche des Ansaugrohrs 14a in Richtung der Seite, die dem Ansaugkanal 12 gegenüberliegt. Die Rohrmuffe 14d ist ein säulenförmiges Element und ist ein Abschnitt, der den Luftflussmesser 20 trägt. Die Rohrmuffe 14d erstreckt sich von der äußeren Fläche des Ansaugrohrs 14a entlang des Rohrflansches 14c, und in Bezug auf das Ansaugrohr 14a ist eine Mehrzahl von (z. B. zwei) Rohrmuffen bereitgestellt. Bei der vorliegenden Ausführungsform erstrecken sich sowohl der Rohrflansch 14c als auch die Rohrmuffe 14d in einer Höhenrichtung Y von dem Ansaugrohr 14a.
Der Luftflussmesser 20 wird in den Rohrflansch 14c und das Luftflusseinführungsloch 14b eingeführt, um in den Ansaugkanal 12 einzutreten, und ist in diesem Zustand mit einem Befestigungswerkzeug, wie beispielsweise einer Schraube, an der Rohrmuffe 14d befestigt. Der Luftflussmesser 20 ist nicht in Kontakt mit der Spitzenendfläche des Rohrflansches 14c, sondern mit der Spitzenendfläche der Rohrmuffe 14d. Daher werden die relative Position und der Winkel des Luftflussmessers 20 in Bezug auf die Rohreinheit 14 nicht durch den Rohrflansch 14c, sondern durch die Rohrmuffe 14d festgelegt. Die Endflächen der Mehrzahl der Rohrmuffen 14d sind bündig zueinander. In 8 ist die Rohrmuffe 14d nicht veranschaulicht.
In der vorliegenden Ausführungsform sind für den Luftflussmesser 20 eine Breitenrichtung X, eine Höhenrichtung Y und eine Tiefenrichtung Z festgelegt, wobei diese Richtungen X, Y und Z orthogonal zueinander sind. Der Luftflussmesser 20 erstreckt sich in der Höhenrichtung Y, und der Ansaugkanal 12 erstreckt sich in der Tiefenrichtung Z. Der Luftflussmesser 20 hat einen eindringenden Abschnitt 20a, der in den Ansaugkanal 12 eintritt, und einen hervorstehenden Abschnitt 20b, der vom Rohrflansch 14c nach außen ragt, ohne in den Ansaugkanal 12 einzutreten. Der eindringende Abschnitt 20a und der hervorstehende Abschnitt 20b sind in der Höhenrichtung Y angeordnet.
Wie in 2, 4, 7 und 8 dargestellt, enthält der Luftflussmesser 20 ein Gehäuse 21, einen Flusssensor 22, der die Flussrate der Ansaugluft erfasst, und einen Ansauglufttemperatursensor 23, der die Temperatur der Ansaugluft erfasst. Das Gehäuse 21 ist z. B. aus einem Harzmaterial oder dergleichen gebildet. Der Flusssensor 22 ist in dem Gehäuse 21 untergebracht. Im Luftflussmesser 20 kann der Flusssensor 22 mit der durch den Ansaugkanal 12 fließenden Ansaugluft in Kontakt kommen, da das Gehäuse 21 am Ansaugrohr 14a befestigt ist.
Das Gehäuse 21 ist als Befestigungsziel an der Rohreinheit 14 angebracht. Auf der äußeren Fläche des Gehäuses 21 eines Paares von Endflächen 21a und 21b, die in der Höhenrichtung Y angeordnet sind, wird die in dem eindringenden Abschnitt 20a enthaltene Endfläche als Gehäusespitzenendfläche 21a bezeichnet, und die in dem hervorstehenden Abschnitt 20b enthaltene Endfläche als Gehäusebasisendfläche 21b. Die Gehäusespitzenendfläche 21a und die Gehäusebasisendfläche 21b stehen orthogonal zur Höhenrichtung Y. Die Spitzenendfläche des Rohrflansches 14c steht ebenfalls orthogonal zur Höhenrichtung Y. Das Befestigungsziel des Luftflussmessers 20 und des Gehäuses 21 kann nicht unbedingt die Rohreinheit 14 sein, solange es sich um ein Element handelt, das den Ansaugkanal 12 bildet.
Auf der äußeren Fläche des Gehäuses 21 wird eine auf der stromaufwärtigen Seite bezüglich des Ansaugkanals 12 angeordnete Fläche als Gehäuseaufwärtsfläche 21c bezeichnet, und eine auf der gegenüberliegenden Seite der Gehäuseaufwärtsfläche 21c angeordnete Fläche wird als Gehäuseabwärtsfläche 21d bezeichnet. Eine von zwei einander gegenüberliegenden Flächen, zwischen denen die Gehäuseaufwärtsfläche 21c und die Gehäusebasisendfläche 21b liegen, wird als Gehäusevorderfläche 21e bezeichnet, die andere als Gehäuserückfläche 21f. Die Gehäusevorderfläche 21e ist eine Fläche auf einer Seite, auf der der Flusssensor 22 in einem später zu beschreibenden Sensor SA50 bereitgestellt ist.
Was das Gehäuse 21 betrifft, so kann die Seite der Gehäusespitzenendfläche 21a in der Höhenrichtung Y als Gehäusespitzenendseite und die Seite der Gehäusebasisendfläche 21b als Gehäusebasisendseite bezeichnet werden. In einer Tiefenrichtung Z kann die Seite mit der Gehäuseaufwärtsfläche 21c als eine stromaufwärtige Seite des Gehäuses und die Seite mit der Gehäuseabwärtsfläche 21d als eine stromabwärtige Seite des Gehäuses bezeichnet werden. In einer Breitenrichtung X kann die Seite der Gehäusevorderfläche 21e als Gehäusevorderseite und die Seite der Gehäuserückfläche 21f als Gehäuserückseite bezeichnet werden.
Wie in 2 bis 7 dargestellt, enthält das Gehäuse 21 ein Dichtungshalteabschnitt 25, ein Flanschabschnitt 27 und ein Verbinderabschnitt 28. Der Luftflussmesser 20 enthält ein Dichtungselement 26, und das Dichtungselement 26 ist an dem Dichtungshalteabschnitt 25 befestigt.
Der Dichtungshalteabschnitt 25 ist innerhalb des Rohrflansches 14c bereitgestellt und hält das Dichtungselement 26 so, dass es nicht in der Höhenrichtung Y verschoben wird. Der Dichtungshalteabschnitt 25 ist im eindringenden Abschnitt 20a des Luftflussmessers 20 enthalten. Der Dichtungshalteabschnitt 25 hat ein Halterillenabschnitt 25a, in dem das Dichtungselement 26 gehalten wird. Der Halterillenabschnitt 25a erstreckt sich in den Richtungen X und Z orthogonal zur Höhenrichtung Y und umgibt das Gehäuse 21 ringförmig. Das Dichtungselement 26 ist ein Element, wie z. B. ein O-Ring, das den Ansaugkanal 12 im Inneren des Rohrflansches 14c abdichtet. Das Dichtungselement 26 befindet sich in einem Zustand, in dem es in den Halterillenabschnitt 25a eindringt und in engem Kontakt sowohl mit der inneren Fläche des Halterillenabschnitts 25a als auch mit der inneren Umfangsfläche des Rohrflansches 14c steht. Sowohl der Abschnitt, in dem das Dichtungselement 26 und die innere Fläche des Halterillenabschnitts 25a in engem Kontakt zueinander stehen, als auch der Abschnitt, in dem das Dichtungselement 26 und die innere Umfangsfläche des Rohrflansches 14c in engem Kontakt zueinander stehen, umgeben das Gehäuse 21 ringförmig.
In dem Flanschabschnitt 27 ist ein Befestigungsloch, wie z.B. ein Schraubenloch zur Befestigung eines Befestigungswerkzeugs, wie z.B. einer Schraube zur Befestigung des Gehäuses 21 an dem Ansaugrohr 14a, gebildet. In der vorliegenden Ausführungsform handelt es sich bei dem Befestigungsloch beispielsweise um die Flanschlöcher 611 und 612, und das Befestigungswerkzeug ist eine Schraube. In 3 ist die Darstellung einer in die Flanschlöcher 611 und 612 eingesetzten Schraube weggelassen.
In dem Flanschabschnitt 27 liegt die Fläche an der Gehäusespitzenendseite in einem Zustand der Überlappung an der Spitzenendfläche der Rohrmuffe 14d an, und dieser überlappende Abschnitt wird als Winkeleinstellfläche 27a bezeichnet. Die Winkeleinstellfläche 27a und die Spitzenendfläche der Rohrmuffe 14d erstrecken sich beide in einer Richtung orthogonal zur Höhenrichtung Y und erstrecken sich in der Breitenrichtung X und in der Tiefenrichtung Z. Die Spitzenendfläche der Rohrmuffe 14d legt die relative Position und den Winkel der Winkeleinstellfläche 27a in Bezug auf das Ansaugrohr 14a fest. Die Winkeleinstellfläche 27a legt die relative Position und den Winkel des Gehäuses 21 in Bezug auf das Ansaugrohr 14a im Luftflussmesser 20 fest.
Im Ansaugrohr 14a der Rohreinheit 14 verläuft ein Hauptfluss der hauptsächlich durch den Ansaugkanal 12 fließenden Luft in der Tiefenrichtung Z. Wenn die Richtung, in der der Hauptfluss verläuft, als Hauptflussrichtung bezeichnet wird, ist die Tiefenrichtung Z die Hauptflussrichtung. Im Gehäuse 21 erstreckt sich die Winkeleinstellfläche 27a des Flanschabschnitts 27 in die Hauptflussrichtung und die Tiefenrichtung Z. Die Spitzenendfläche der Rohrmuffen 14d erstreckt sich ebenfalls in die Hauptflussrichtung und die Tiefenrichtung Z.
Der Verbinderabschnitt 28 ist ein Schutzabschnitt, der einen Verbinderanschluss 28a schützt, der elektrisch mit dem Flusssensor 22 verbunden ist. Der Verbinderanschluss 28a ist elektrisch mit der ECU 15 verbunden, indem eine elektrische Verdrahtung, die sich von der ECU 15 erstreckt, über einen Steckerabschnitt mit dem Verbinderabschnitt 28 verbunden wird. Der Flanschabschnitt 27 und der Verbinderabschnitt 28 sind in dem hervorstehenden Abschnitt 20b des Luftflussmessers 20 enthalten.
Wie in 2, 4 und 7 dargestellt, ist der Ansauglufttemperatursensor 23 außerhalb des Gehäuses 21 bereitgestellt. Der Ansauglufttemperatursensor 23, der ein temperaturempfindliches Element ist, das die Temperatur der Ansaugluft erkennt, ist auf der Seite der Gehäuserückfläche 21f bereitgestellt. Ein durch Verdrahtung oder dergleichen gebildeter Leitungsdraht 23a ist mit dem Ansauglufttemperatursensor 23 verbunden. Das Gehäuse 21 hat ein Leitungsträgerabschnitt 618. Der Leitungsträgerabschnitt 618 ist ein Vorsprungsabschnitt, der an der Gehäuserückfläche 21f bereitgestellt ist und in Richtung der Gehäuserückseite relativ zum Ansauglufttemperatursensor 23 in Breitenrichtung X vorsteht. Der Leitungsträgerabschnitt 618 trägt den Ansauglufttemperatursensor 23 durch Tragen des Leitungsdrahts 23a. Der Leitungsträgerabschnitt 618 ist auf der Gehäusebasisendseite relativ zum Ansauglufttemperatursensor 23 in der Höhenrichtung Y bereitgestellt. Der Leitungsdraht 23a erstreckt sich von dem Leitungsträgerabschnitt 618 in Richtung der Gehäusespitzenendseite.
Der Leitungsdraht 23a durchdringt den Leitungsträgerabschnitt 618 in der Höhenrichtung Y. Zum Zeitpunkt der Herstellung des Luftflussmessers 20 wird in dem Leitungsträgerabschnitt 618 ein Durchgangsloch gebildet, das diesen Leitungsträgerabschnitt 618 in der Höhenrichtung Y durchdringt. In einem Zustand, in dem der Leitungsdraht 23a in dieses Durchgangsloch eingeführt wird, wird das Durchgangsloch durch Zerdrücken des Leitungsträgerabschnitts 618 in Breitenrichtung X zerdrückt, und der in das Durchgangsloch eingeführte Leitungsdraht 23a wird in den Leitungsträgerabschnitt 618 eingebettet. In diesem Fall wird der Leitungsträgerabschnitt 618 durch Zerdrücken der Spitzenendfläche des Leitungsträgerabschnitts 618 thermisch verformt, während die Spitzenendfläche mit einem Heizwerkzeug, wie z.B. einem Heizer, erhitzt wird, und der Leitungsträgerabschnitt 618 wird so gehalten, dass der thermisch verformte Abschnitt des Leitungsträgerabschnitts 618 den Leitungsdraht 23a abdeckt. Diese Operation kann auch als thermisches Fügen oder Abdichten bezeichnet werden.
Wie in 8 dargestellt, hat das Gehäuse 21 einen Bypass-Flusspfad 30. Der Bypass-Flusspfad 30 ist im Inneren des Gehäuses 21 bereitgestellt und wird durch mindestens einen Teil des Innenraums des Gehäuses 21 gebildet. Die innere Fläche des Gehäuses 21 bildet den Bypass-Flusspfad 30 und ist eine Formationsfläche.
Der Bypass-Flusspfad 30 ist in dem eindringenden Abschnitt 20a des Luftflussmessers 20 angeordnet. Der Bypass-Flusspfad 30 enthält einen Kanalflusspfad 31 und einen Messflusspfad 32. Der Messflusspfad 32 befindet sich in einem Zustand, in dem der Flusssensor 22 des später beschriebenen Sensors SA50 und ein Abschnitt um den Flusssensor 22 herum eintreten. Der Kanalflusspfad 31 wird durch die innere Fläche des Gehäuses 21 gebildet. Der Messflusspfad 32 wird durch die äußere Fläche eines Teils des Sensors SA50 zusätzlich zur inneren Fläche des Gehäuses 21 gebildet. Der Ansaugkanal 12 kann als Hauptkanal bezeichnet werden und der Bypass-Flusspfad 30 kann als Unterkanal bezeichnet werden.
Der Kanalflusspfad 31 durchdringt das Gehäuse 21 in der Tiefenrichtung Z. Der Kanalflusspfad 31 hat einen Kanaleingang 33, der ein stromaufwärtiger Endabschnitt davon ist, und einen Kanalausgang 34, der ein stromabwärtiger Endabschnitt davon ist. Der Messflusspfad 32 ist ein Zweigflusspfad, der von einem Zwischenabschnitt des Kanalflusspfads 31 abzweigt, und der Flusssensor 22 ist in diesem Messflusspfad 32 bereitgestellt. Der Messflusspfad 32 hat einen Messeingang 35, der ein stromaufwärtiger Endabschnitt davon ist, und einen Messausgang 36, der ein stromabwärtiger Endabschnitt davon ist. Der Abschnitt, in dem der Messflusspfad 32 von dem Kanalflusspfad 31 abzweigt, ist ein Grenzabschnitt zwischen dem Kanalflusspfad 31 und dem Messflusspfad 32, und der Messeingang 35 ist in diesem Grenzabschnitt enthalten. Der Abschnitt zwischen dem Kanalflusspfad 31 und dem Messflusspfad 32 kann auch als Grenzabschnitt des Flusspfads bezeichnet werden. Der Messeingang 35 ist der Gehäusespitzenendseite in einem Zustand zugewandt, in dem er geneigt ist, um der Seite des Messausgangs 36 zugewandt zu sein.
Der Messflusspfad 32 erstreckt sich von dem Kanalflusspfad 31 in Richtung der Gehäusebasisendseite. Der Messflusspfad 32 ist zwischen dem Kanalflusspfad 31 und der Gehäusebasisendfläche 21b bereitgestellt. Der Messflusspfad 32 ist so gekrümmt, dass sich ein Abschnitt zwischen dem Messeingang 35 und dem Messausgang 36 zur Gehäusebasisendseite hin wölbt. Der Messflusspfad 32 hat einen Abschnitt, der gekrümmt ist, so dass er kontinuierlich gekrümmt ist, einen Abschnitt, der abgelenkt ist, so dass er stufenweise gekrümmt ist, einen Abschnitt, der sich gerade in die Höhenrichtung Y und die Tiefenrichtung Z erstreckt, und dergleichen.
Der Flusssensor 22 ist eine thermische Flusserfassungseinheit, die eine Heizeinheit hat. Wenn eine Temperaturänderung aufgrund der Wärmeerzeugung der Heizeinheit auftritt, gibt der Flusssensor 22 ein Erfassungssignal aus, das der Temperaturänderung entspricht. Der Flusssensor 22 ist eine rechteckige, parallelepipedische Komponente, und der Flusssensor 22 kann auch als Sensorchip bezeichnet werden. Der Sensor SA ist in einem Zustand am Gehäuse 21 angebracht, in dem der gesamte Flusssensor 22 im Messflusspfad 32 untergebracht ist. Ein Teil des Flusssensors 22 kann in dem Messflusspfad 32 untergebracht werden, solange der Flusssensor 22 die Flussrate in dem Messflusspfad 32 erfassen kann. Da, wie oben beschrieben, mindestens ein Teil des Flusssensors 22 im Messflusspfad 32 untergebracht ist, wird dieser Flusssensor 22 im Messflusspfad 32 bereitgestellt. Der Flusssensor 22 kann auch als Sensor für physikalische Größen oder als Erfassungseinheit für physikalische Größen bezeichnet werden, der/die die Flussrate der angesaugten Luft als physikalische Größe des Fluids erfasst.
Der Luftflussmesser 20 hat eine Sensor-Unterbaugruppe, die so konfiguriert ist, dass sie den Flusssensor 22 enthält, und diese Sensor-Unterbaugruppe wird als Sensor SA50 bezeichnet. Der Sensor SA50 ist im Gehäuse 21 in einem Zustand eingebettet, in dem ein Teil des Sensors SA50 in den Messflusspfad 32 eintritt. Im Luftflussmesser 20 sind der Sensor SA50 und der Bypass-Flusspfad 30 in der Höhenrichtung Y angeordnet. Konkret sind der Sensor SA50 und der Kanalflusspfad 31 in der Höhenrichtung angeordnet. Der Sensor SA50 entspricht der Erfassungseinheit. Der Sensor SA50 kann auch als Messeinheit oder als Sensorpaket bezeichnet werden.
<Beschreibung der Konfigurationsgruppe A>
Wie in den 9, 10 und 11 gezeigt, enthält der Sensor SA50 zusätzlich zum Flusssensor 22 ein Sensorträgerabschnitt 51. Der Sensorträgerabschnitt 51 ist an dem Gehäuse 21 befestigt und trägt den Flusssensor 22. Der Sensorträgerabschnitt 51 enthält ein SA-Substrat 53 und einen Formabschnitt 55. Das SA-Substrat 53 ist ein Substrat, an dem der Flusssensor 22 befestigt ist, und der Formabschnitt 55 deckt mindestens einen Teil des Flusssensors 22 und mindestens einen Teil des SA-Substrats 53 ab. Das SA-Substrat 53 kann auch als Leitungsrahmen bezeichnet werden.
Der Formabschnitt 55 ist insgesamt plattenförmig ausgebildet. Auf der äußeren Fläche des Formabschnitts 55 eines Paares von Endflächen 55a und 55b, die in der Höhenrichtung Y angeordnet sind, wird die Endfläche auf der Gehäusespitzenendseite als Formspitzenendfläche 55a und die Endfläche auf der Gehäusebasisendseite als Formbasisendfläche 55b bezeichnet. Die Formspitzenendfläche 55a ist ein Spitzenendabschnitt des Formabschnitts 55 und des Sensorträgerabschnitts 51 und entspricht einem Trägerspitzenendabschnitt. Der Formabschnitt 55 entspricht einem Schutzharzabschnitt.
Auf der äußeren Fläche des Formabschnitts 55 wird eine von einem Paar von Flächen, die mit der Formspitzenendfläche 55a und der dazwischen angeordneten Formbasisendfläche 55b bereitgestellt sind, als Formaufwärtsfläche 55c bezeichnet, und die andere wird als Formabwärtsfläche 55d bezeichnet. In 8 ist der Sensor SA50 innerhalb des Gehäuses 21 in einer Richtung installiert, in der die Formspitzenendfläche 55a auf der Seite des Luftflussendes und die Formaufwärtsfläche 55c auf der stromaufwärtigen Seite relativ zum Messflusspfad 32 in Bezug auf die Formabwärtsfläche 55d angeordnet ist. In dem Sensorträgerabschnitt 51 entspricht die Formaufwärtsfläche 55c dem stromaufwärtigen Endabschnitt, und die Formabwärtsfläche 55d entspricht dem stromabwärtigen Endabschnitt.
Die Formaufwärtsfläche 55c des Sensors SA50 ist auf der stromaufwärtigen Seite relativ zu der Formabwärtsfläche 55d im Messflusspfad 32 angeordnet. In dem Abschnitt, in dem der Flusssensor 22 im Messflusspfad 32 bereitgestellt ist, ist die Flussrichtung der Luft der Flussrichtung der Luft im Ansaugkanal 12 entgegengesetzt. Daher ist die Formaufwärtsfläche 55c auf der stromabwärtigen Seite relativ zur Formabwärtsfläche 55d im Ansaugkanal 12 angeordnet. Die entlang des Flusssensors 22 fließende Luft fließt in der Tiefenrichtung Z, wobei diese Tiefenrichtung Z auch als Flussrichtung bezeichnet werden kann.
Wie in 9 und 10 gezeigt, ist der Flusssensor 22 im Sensor SA50 auf einer Seite der Fläche des Sensors SA50 angeordnet. Auf der äußeren Fläche des Formabschnitts 55 wird die Plattenfläche auf der Seite, auf der der Flusssensor 22 exponiert ist, als Formvorderfläche 55e bezeichnet, und die Plattenfläche auf der gegenüberliegenden Seite wird als Formrückfläche 55f bezeichnet. Eine Plattenfläche des Sensors SA50 wird durch die Formvorderfläche 55e gebildet, und diese Formvorderfläche 55e entspricht der Trägervorderfläche und die Formrückfläche 55f entspricht der Trägerrückfläche.
In Bezug auf den Formabschnitt 55 kann in der Höhenrichtung Y die Seite der Formspitzenendfläche 55a als eine Formseite und die Seite der Formbasisendfläche 55b als eine Formbasisendseite bezeichnet werden. In der Tiefenrichtung Z kann die Seite der Formaufwärtsfläche 55c als eine Formaufwärtsseite und die Seite der Formabwärtsfläche 55d als eine Formabwärtsseite bezeichnet werden. In Breitenrichtung X kann die Seite der Formvorderfläche 55e als Formvorderseite und die Seite der Formrückfläche 55f als Formrückseite bezeichnet werden.
Der Sensor SA50 hat einen Umfangsrandaussparungsabschnitt 56. Der Umfangsrandaussparungsabschnitt 56 ist ein länglicher Aussparungsabschnitt, der auf der Formvorderfläche 55e bereitgestellt ist und sich in einer Rillenform entlang des Umfangsrandaussparungsabschnitts des Flusssensors 22 erstreckt. Die Bodenfläche des Umfangsrandaussparungsabschnitts 56 ist an einer von der Formvorderfläche 55e in Richtung der Formrückseite getrennten Position bereitgestellt und wird durch den Formabschnitt 55 gebildet. Die beiden inneren Wandflächen des Umfangsrandaussparungsabschnitts 56 sind einander zugewandt, wobei die Bodenfläche dazwischen liegt, die innere Wandfläche auf der inneren Umfangsseite durch die äußere Wandfläche des Flusssensors 22 gebildet wird, und die innere Wandfläche auf der äußeren Umfangsseite durch den Formabschnitt 55 gebildet wird.
In dem Umfangsrandaussparungsabschnitt 56 ist die Tiefendimension in Breitenrichtung X kleiner als die Breitendimensionen in den Richtungen Y und Z orthogonal zur Breitenrichtung X. Der Umfangsrandaussparungsabschnitt 56 ist an der Formspitzenendseite in Bezug auf eine später beschriebene vordere Messstufenfläche 555 bereitgestellt. Der Umfangsrandaussparungsabschnitt 56 hat ein Paar von vertikalen Abschnitten, die sich parallel zueinander in der Höhenrichtung Y erstrecken, und einen seitlichen Abschnitt, der sich in der Tiefenrichtung Z erstreckt, um diese vertikalen Abschnitte zu verbinden, und das Paar von vertikalen Abschnitten erstreckt sich von der vorderen Messstufenfläche 555 in Richtung der Formspitzenendseite. Der Umfangsrandaussparungsabschnitt 56 ist an einer Position bereitgestellt, die nach innen von dem äußeren Umfangsrand der Formvorderfläche 55e in den Richtungen Y und Z orthogonal zu der Breitenrichtung X getrennt ist.
Der Flusssensor 22 ist an einer von der Formvorderfläche 55e in Richtung der Formrückseite in Breitenrichtung X beabstandeten Position bereitgestellt. In dem Flusssensor 22 ist eine Sensorvorderfläche 22a, die später beschrieben wird, an einer Position auf der Formrückseite in Bezug auf die Formvorderfläche 55e bereitgestellt. Die Bodenfläche des Umfangsrandaussparungsabschnitts 56 erstreckt sich parallel zur Sensorvorderfläche 22a in den Richtungen Y und Z orthogonal zur Breitenrichtung X. In diesem Fall ist in dem Umfangsrandaussparungsabschnitt 56 die Höhendimension der inneren Wandfläche auf der inneren Umfangsseite von der Bodenfläche aus kleiner als die Höhendimension der inneren Wandfläche auf der äußeren Umfangsseite von der Bodenfläche aus in der Breitenrichtung X (siehe 34).
Das SA-Substrat 53 ist ein aus einem metallischen Material oder dergleichen gebildetes Substrat, das insgesamt plattenförmig ist und Leitfähigkeit hat. Die Fläche des SA-Substrats 53 ist orthogonal zur Breitenrichtung X und erstreckt sich in die Höhenrichtung Y und die Tiefenrichtung Z. Der Flusssensor 22 ist auf dem SA-Substrat 53 befestigt. Das SA-Substrat 53 enthält einen Leitungsanschluss 53a, einen stromaufwärtigen Prüfanschluss 53b und einen stromabwärtigen Prüfanschluss 53c. Das SA-Substrat 53 hat einen Abschnitt, der mit dem Formabschnitt 55 abgedeckt ist, und einen Abschnitt, der nicht mit dem Formabschnitt 55 abgedeckt ist, und die Anschlüsse 53a, 53b und 53c werden durch den nicht abgedeckten Abschnitt gebildet. In 8 und dergleichen wird die Darstellung der Anschlüsse 53a, 53b und 53c weggelassen.
Wie in 10 und 11 gezeigt, ist der Leitungsanschluss 53a ein Anschluss, der von der Formbasisendfläche 55b in der Höhenrichtung Y absteht, und es wird eine Mehrzahl von Leitungsanschlüssen 53a bereitgestellt. Die Mehrzahl der Leitungsanschlüsse 53a enthält Anschlüsse 671 bis 673, die mit dem Verbinderanschluss 28a verbunden sind, Anschlüsse 674 und 675, die mit dem Ansauglufttemperatursensor 23 verbunden sind, und einen Einstellungsanschluss 676 zum Einstellen der Erfassungsgenauigkeit und dergleichen des Flusssensors 22.
In der vorliegenden Ausführungsform hat der Sensor SA50 sechs Leitungsanschlüsse 53a. Diese sechs Leitungsanschlüsse 53a enthalten drei Anschlüsse, die mit dem Verbinderanschluss 28a verbunden sind, zwei Anschlüsse, die mit dem Ansauglufttemperatursensor 23 verbunden sind, und einen Einstellungsanschluss. Die drei Anschlüsse, die mit dem Verbinderanschluss 28a verbunden sind, enthalten einen Flussmasseanschluss 671, der geerdet ist, einen Flussenergieversorgungsanschluss 672, auf den eine vorbestimmte Spannung, z. B. 5 V, angewendet wird, und einen Flussausgangsanschluss 673, der ein Signal ausgibt, das sich auf ein Erfassungsergebnis des Flusssensors 22 bezieht. Die beiden Anschlüsse, die mit dem Ansauglufttemperatursensor 23 verbunden sind, enthalten einen Masseanschluss 674 für die Ansauglufttemperatur, der mit der Masse verbunden ist, und einen Ansauglufttemperaturausgangsanschluss 675, der ein Signal ausgibt, das mit einem Erfassungsergebnis des Ansauglufttemperatursensors 23 zusammenhängt.
In dem Leitungsanschluss 53a sind die Anschlüsse 671 bis 676 in der Tiefenrichtung Z angeordnet. In der Tiefenrichtung Z sind die Flussmessanschlüsse 671 bis 673 zwischen den Ansauglufttemperaturmessanschlüssen 674 und 675 und dem Einstellungsanschluss 676 angeordnet. In den Flussmessanschlüssen 671 bis 673 ist der Flussmasseanschluss 671 zwischen dem Flussenergieversorgungsanschluss 672 und dem Flussausgangsanschluss 673 angeordnet. Der Flussenergieversorgungsanschluss 672 ist neben dem Einstellungsanschluss 676 angeordnet, und der Flussausgangsanschluss 673 ist neben dem Masseanschluss 674 für die Ansauglufttemperatur angeordnet. Die Reihenfolge der Anordnung der Anschlüsse 671 bis 676 kann von der oben beschriebenen Reihenfolge abweichen.
Im Sensor SA50 wird durch den Flussausgangsanschluss 673 und den Ansauglufttemperaturausgangsanschluss 675 ein Pfad zum Ausführen einer SENT-Kommunikation gebildet. Die SENT-Kommunikation für die Flussmessung wird über den Flussausgangsanschluss 673 ausgeführt, und die SENT-Kommunikation für die Ansauglufttemperaturmessung wird über den Ansauglufttemperaturausgangsanschluss 675 ausgeführt.
Der stromabwärtige Prüfanschluss 53c ist ein Anschluss, der von der Formabwärtsfläche 55d in der Tiefenrichtung Z vorsteht, und es ist eine Mehrzahl der stromabwärtigen Prüfanschlüsse 53c bereitgestellt. Die Mehrzahl der stromabwärtigen Prüfanschlüsse 53c enthält IC-Prüfanschlüsse 691 und 692, Kondensatorprüfanschlüsse 693 und 694 sowie Masseanschlüsse 695 und 696. Die IC-Prüfanschlüsse 691 und 692 sind Anschlüsse zum Ausführen von Operationen und Ähnlichem des Flusssensors 22. Die Kondensatorprüfanschlüsse 693 und 694 sind Anschlüsse zum Prüfen der Operation und dergleichen eines internen Kondensators, der auf dem SA-Substrat 53 befestigt ist. Die Masseanschlüsse 695 und 696 sind Anschlüsse für die Erdung.
In dem stromabwärtigen Prüfanschluss 53c sind die Anschlüsse 691 bis 696 in der Höhenrichtung Y angeordnet. In der Höhenrichtung Y ist ein Masseanschluss 695 zwischen den IC-Prüfanschlüssen 691 und 692 und den Kondensatorprüfanschlüssen 693 und 694 angeordnet. Der andere Masseanschluss 696 ist auf der gegenüberliegenden Seite des einen Masseanschlusses 695 angeordnet, wobei die Kondensatorprüfanschlüsse 693 und 694 dazwischen angeordnet sind. Einer der Masseanschlüsse 695 und 696 ist ein kürzerer Anschluss als der andere. Zum Beispiel ist der Masseanschluss 696 kürzer als der Masseanschluss 695. Der Masseanschluss 696 ist auch ein kürzerer Anschluss als die IC-Prüfanschlüsse 691 und 692 und die Kondensatorprüfanschlüsse 693 und 694.
Der stromaufwärtige Prüfanschluss 53b ist ein Anschluss, der von der Formaufwärtsfläche 55c in der Tiefenrichtung Z absteht, und es ist eine Mehrzahl von stromaufwärtigen Prüfanschlüssen 53b bereitgestellt. Die Mehrzahl der stromaufwärtigen Prüfanschlüsse 53b enthält IC-Prüfanschlüsse 681 und 682, Kondensatorprüfanschlüsse 683 und 684 sowie einen Masseanschluss 685. Die IC-Prüfanschlüsse 681 und 682 sind Anschlüsse zum Ausführen von Operationen und Ähnlichem des Flusssensors 22. Die Kondensatorprüfanschlüsse 683 und 684 sind Anschlüsse zum Prüfen der Operation und dergleichen eines internen Kondensators. Der Masseanschluss 685 ist ein Anschluss für die Erdung.
In dem stromaufwärtigen Prüfanschluss 53b sind die Anschlüsse 681 bis 685 in der Höhenrichtung Y angeordnet. In der Höhenrichtung Y sind die Kondensatorprüfanschlüsse 683 und 684 zwischen den IC-Prüfanschlüssen 681 und 682 und dem Masseanschluss 685 angeordnet. Der Masseanschluss 685 ist ähnlich wie der Masseanschluss 696 auf der stromaufwärtigen Seite ein kurzer Anschluss, der sogar noch kürzer ist als die IC-Prüfanschlüsse 681 und 682 und die Kondensatorprüfanschlüsse 683 und 684.
Die Prüfanschlüsse 53b und 53c sind nicht in Kontakt mit der inneren Fläche eines ersten Gehäuseabschnitts 151. Insbesondere ist in dem stromaufwärtigen Prüfanschluss 53b der Masseanschluss 685 kürzer als die anderen Anschlüsse 681 bis 684, wie oben beschrieben. Aus diesem Grund ist es, obwohl der Masseanschluss 685 unter den Anschlüssen 681 bis 685 an der Position angeordnet ist, die der Gehäusespitzenendseite am nächsten liegt, für den Masseanschluss 685 schwierig, mit einer Gehäusestufenfläche 137 (siehe 17), die später im Inneren des ersten Gehäuseabschnitts 151 beschrieben wird, in Kontakt zu kommen. In ähnlicher Weise ist in dem stromabwärtigen Prüfanschluss 53c der Masseanschluss 696 kürzer als die anderen Anschlüsse 691 bis 695, wie oben beschrieben. Obwohl der Masseanschluss 696 unter den Anschlüssen 691 bis 695 an der Position angeordnet ist, die der Gehäusespitzenendseite am nächsten liegt, ist es daher für den Masseanschluss 696 schwierig, mit der Gehäusestufenfläche 137 innerhalb des ersten Gehäuseabschnitts 151 in Kontakt zu kommen.
Der Leitungsanschluss 53a ist mit einem Leitungsloch 54 bereitgestellt. Das Leitungsloch 54 durchdringt den Leitungsanschluss 53a in der Dickenrichtung des Leitungsanschlusses 53a und ist in jedem der Leitungsanschlüsse 53a bereitgestellt. Das Leitungsloch 54 ist an einer Position näher am Formabschnitt 55 im Leitungsanschluss 53a in der Höhenrichtung Y angeordnet. Der Herstellungsprozess des Luftflussmessers 20 enthält einen Inspektionsprozess des Flusssensors 22 in einem Stadium nach der Herstellung des Flusssensors 22 und vor der Montage des Flusssensors 22 am ersten Gehäuseabschnitt 151. Dieser Prozess enthält die Prüfung, ob der Flusssensor 22 normal operiert, die Erfassung der Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 und die Einstellung der Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22. In diesem Prozess wird der Flusssensor 22 in einem Zustand geprüft, in dem der Flusssensor 22 an einer Werkbank fest angebracht ist. Die Werkbank ist mit einer Positioniervorrichtung, z. B. einem Pin, bereitgestellt, und der Flusssensor 22 wird in Bezug auf die Werkbank durch Einführen der Positioniervorrichtung in das Leitungsloch 54 positioniert. Dies reduziert den Arbeitsaufwand, wenn der Flusssensor 22 fest an der Werkbank angebracht ist, so dass er nicht verschoben werden kann.
Im Leitungsanschluss 53a sind der Masseanschluss 671 für die Flussmasse und der Masseanschluss 674 für die Ansauglufttemperatur integral in einem Verarbeitungsbefestigungsabschnitt 882 (siehe 37) befestigt, während die anderen Anschlüsse 672, 673, 675 und 676 unabhängig von dem Verarbeitungsbefestigungsabschnitt 882 bereitgestellt sind. In dem stromaufwärtigen Prüfanschluss 53b ist der Masseanschluss 685 integral mit dem Verarbeitungsbefestigungsabschnitt 882 bereitgestellt, während die anderen Anschlüsse 681 bis 684 unabhängig von dem Verarbeitungsbefestigungsabschnitt 882 bereitgestellt sind. Im stromabwärtigen Prüfanschluss 53c sind die Masseanschlüsse 695 und 696 einstückig mit dem Verarbeitungsbefestigungsabschnitt 882 befestigt, während die anderen Anschlüsse 691 bis 694 unabhängig vom Verarbeitungsbefestigungsabschnitt 882 bereitgestellt sind. Auf diese Weise sind die Masseanschlüsse 671, 674, 685, 695 und 696 miteinander verbunden, wobei der Verarbeitungsbefestigungsabschnitt 882 dazwischen angeordnet ist.
In dem stromaufwärtigen Prüfanschluss 53b und dem stromabwärtigen Prüfanschluss 53c muss jeweils mindestens ein Anschluss nur kurz sein. Zum Beispiel kann in dem stromaufwärtigen Prüfanschluss 53b unter den Anschlüssen 681 bis 685 eine Mehrzahl von Anschlüssen, die von der Gehäusespitzenendseite am nächsten an der Gehäusebasisendseite liegen, mit Ausnahme desjenigen, der am nächsten an der Gehäusebasisendseite liegt, kürzer sein als der Anschluss, der an der Position angeordnet ist, die am nächsten an der Gehäusebasisendseite liegt. In diesem Fall kann zuverlässiger vermieden werden, dass die Anschlüsse 681 bis 685 mit der inneren Fläche des Gehäuses 21 in Kontakt kommen.
Die äußere Fläche des SA-Substrats 53 enthält eine Bezugsfläche und eine raue Fläche. Die raue Fläche ist eine gegenüber der Bezugsfläche aufgeraute Fläche durch Bereitstellen einer großen Anzahl von kleinen Vorsprungsabschnitten und Aussparungsabschnitten von z.B. 0,5 bis 1,0 µm. Bei dem SA-Substrat 53 ist die äußere Fläche des Leitungsanschlusses 53a eine Bezugsfläche, und die äußeren Flächen der anderen Abschnitte sind raue Flächen. Die Abschnitte, die raue Flächen des SA-Substrats 53 sind, enthalten einen Abschnitt, der in den Formabschnitt 55 und die Prüfanschlüsse 53b und 53c eingebettet ist. Die raue Fläche hat eine größere Fläche als die Bezugsfläche, so dass das Harz leicht an der rauen Fläche haftet. Da die äußere Fläche des Abschnitts des SA-Substrats 53, der in den Formabschnitt 55 eingebettet ist, eine raue Fläche ist, ist es daher weniger wahrscheinlich, dass ein Spalt zwischen dem Formabschnitt 55 und dem SA-Substrat 53 entsteht, und Korrosion des SA-Substrats 53 und dergleichen im Formabschnitt 55 wird unterdrückt. Da die äußeren Flächen der Prüfanschlüsse 53b und 53c raue Flächen sind, ist es weniger wahrscheinlich, dass ein Spalt zwischen den Prüfanschlüssen 53b und 53c und einem zweiten Gehäuseabschnitt 152 entsteht, und es ist weniger wahrscheinlich, dass Korrosion der Prüfanschlüsse 53b und 53c innerhalb des zweiten Gehäuseabschnitts 152 auftritt.
Andererseits ist die äußere Fläche des Leitungsanschlusses 53a eine Bezugsfläche, die glatter ist als die raue Fläche. Da die Kontaktfläche zwischen der Fläche des Leitungsanschlusses 53a und der Fläche eines Leitungsverbindungsanschlusses 621 tendenziell groß ist, ist der elektrische Widerstand an dem Verbindungsabschnitt zwischen dem Leitungsanschluss 53a und dem Leitungsverbindungsanschluss 621 tendenziell klein. Schweißarbeiten zwischen dem Leitungsanschluss 53a und dem Leitungsverbindungsanschluss 621 sind leicht zu bewerkstelligen.
Wie in 12 dargestellt, ist der Flusssensor 22 insgesamt plattenförmig ausgebildet. Der Flusssensor 22 hat die Sensorvorderfläche 22a als eine Fläche und eine Sensorrückfläche 22b, die der Sensorvorderfläche 22a gegenüberliegt. In dem Flusssensor 22 ist die Sensorrückfläche 22b auf dem SA-Substrat 53 überlappt, und ein Teil der Sensorvorderfläche 22a liegt zur Außenseite des Sensors SA50 frei.
Der Flusssensor 22 enthält einen Sensoraussparungsabschnitt 61 und einen Membranabschnitt 62. Der Sensoraussparungsabschnitt 61 ist in Bezug auf die Sensorrückfläche 22b bereitgestellt, und der Membranabschnitt 62 ist in Bezug auf die Sensorvorderfläche 22a bereitgestellt. Der Membranabschnitt 62 bildet eine Sensoraussparungsbodenfläche 501, die eine Bodenfläche des Sensoraussparungsabschnitts 61 ist. Der Abschnitt des Membranabschnitts 62, der die Sensoraussparungsbodenfläche 501 bildet, ist eine Bodenfläche für den Sensoraussparungsabschnitt 61. Der Sensoraussparungsabschnitt 61 wird durch die Sensorrückfläche 22b gebildet, die zur Seite der Sensorvorderfläche 22a hin ausgespart ist, und ist ein auf der Sensorrückfläche 22b bereitgestellter Aussparungsabschnitt. Eine Sensoraussparungsöffnung 503, die ein Öffnungsabschnitt des Sensoraussparungsabschnitts 61 ist, wird auf der Sensorrückfläche 22b bereitgestellt. Eine Sensoraussparungsinnenwandfläche 502, die eine innere Wandfläche des Sensoraussparungsabschnitts 61 ist, erstreckt sich zwischen der Sensoraussparungsbodenfläche 501 und der Sensoraussparungsöffnung 503. Der Membranabschnitt 62 ist eine Erfassungseinheit, die die Flussrate erkennt.
Der Flusssensor 22 enthält ein Sensorsubstrat 65 und einen Sensormembranabschnitt 66. Das Sensorsubstrat 65 ist ein Basismaterial des Flusssensors 22 und wird durch ein Halbleitermaterial, wie z.B. Silizium, in einer Plattenform gebildet. Das Sensorsubstrat 65 hat eine Sensorvorderfläche 65a, die eine Fläche ist, und eine Sensorsubstratrückfläche 65b, die der Sensorvorderfläche 65a gegenüberliegt. Ein das Sensorsubstrat 65 in Breitenrichtung X Durchgangsloch ist im Sensorsubstrat 65 gebildet, und der Sensoraussparungsabschnitt 61 wird durch dieses Durchgangsloch gebildet. Im Sensorsubstrat 65 kann anstelle des Durchgangslochs ein Aussparungsabschnitt gebildet werden, der den Sensoraussparungsabschnitt 61 bildet. In diesem Fall wird die Bodenfläche des Sensoraussparungsabschnitts 61 nicht durch den Membranabschnitt 62 gebildet, sondern durch die Bodenfläche des Aussparungsabschnitts des Sensorsubstrats 65.
Der Sensormembranabschnitt 66 ist auf der Sensorvorderfläche 65a des Sensorsubstrats 65 aufgeschichtet und erstreckt sich filmförmig entlang der Sensorvorderfläche 65a. Im Flusssensor 22 wird die Sensorvorderfläche 22a durch den Sensormembranabschnitt 66 gebildet, und die Sensorrückfläche 22b wird durch das Sensorsubstrat 65 gebildet. In diesem Fall ist die Sensorrückfläche 22b die Sensorsubstratrückfläche 65b des Sensorsubstrats 65. Der Sensormembranabschnitt 66 deckt das Durchgangsloch des Sensorsubstrats 65 ab, und ein Abschnitt des Sensormembranabschnitts 66, der das Durchgangsloch abdeckt, ist der Membranabschnitt 62. In dem Sensoraussparungsabschnitt 61 wird die Sensoraussparungsbodenfläche 501 durch die hintere Fläche des Sensormembranabschnitts 66 gebildet.
Der Sensormembranabschnitt 66 hat eine Mehrzahl von Schichten, wie z.B. eine Isolierschicht, eine leitende Schicht und eine Schutzschicht, und weist einen mehrschichtigen Aufbau auf. Diese sind alle in Form eines Films ausgebildet und erstrecken sich entlang der Sensorvorderfläche 65a des Sensorsubstrats. Der Sensormembranabschnitt 66 hat ein Verdrahtungsmuster wie eine Verdrahtung und ein Widerstandselement, und dieses Verdrahtungsmuster ist aus einer leitenden Schicht gebildet.
In dem Flusssensor 22 wird der Sensoraussparungsabschnitt 61 durch Verarbeiten eines Teils des Sensorsubstrats 65 durch Nassätzen gebildet. Im Herstellungsprozess des Flusssensors 22 wird eine Maske, wie z.B. ein Film aus Siliziumnitrid, auf der Sensorsubstratrückfläche 65b des Sensorsubstrats 65 angebracht und ein anisotropes Ätzen auf der Sensorsubstratrückfläche 65b unter Verwendung einer Ätzlösung ausgeführt, bis das Sensorsubstrat 65 freigelegt ist. Der Sensoraussparungsabschnitt 61 kann durch Ausführen einer Trockenätzung auf dem Sensorsubstrat 65 gebildet werden.
Der Sensor SA50 enthält eine Flusserfassungsschaltung zum Erfassen der Flussrate von Luft, und mindestens ein Teil dieser Flusserfassungsschaltung ist in dem Flusssensor 22 enthalten. Wie in 13 dargestellt, enthält der Sensor SA50 als Schaltungselemente, die in der Flusserfassungsschaltung enthalten sind, ein Wärmewiderstandselement 71, Widerstandsthermometer 72 und 73 sowie ein indirektes thermisches Widerstandselement 74. Diese Widerstandselemente 71 bis 74 sind in dem Flusssensor 22 enthalten und werden durch die leitende Schicht des Sensormembranabschnitts 66 gebildet. In diesem Fall enthält der Sensormembranabschnitt 66 die Widerstandselemente 71 bis 74, und diese Widerstandselemente 71 bis 74 sind in dem Verdrahtungsmuster der leitenden Schicht enthalten. Die Widerstandselemente 71 bis 74 entsprechen den Erfassungselementen. In 13 ist ein Verdrahtungsmuster, das die Widerstandselemente 71 bis 74 enthält, durch eine Punktschraffur angegeben. Die Flusserfassungsschaltung kann auch als Flussmesseinheit bezeichnet werden, die die Flussrate der Luft misst.
Das Wärmewiderstandselement 71 ist ein Widerstandselement, das Wärme erzeugt, wenn das Wärmewiderstandselement 71 unter Strom gesetzt wird. Das Wärmewiderstandselement 71 erwärmt den Sensormembranabschnitt 66 durch Erzeugung von Wärme und entspricht dem Heizabschnitt. Die Widerstandsthermometer 72 und 73 sind Widerstandselemente zur Erfassung der Temperatur des Sensormembranabschnitts 66 und entsprechen den Temperaturerfassungseinheiten. Die Widerstandswerte der Widerstandsthermometer 72 und 73 ändern sich gemäß der Temperatur des Sensormembranabschnitts 66. Unter Verwendung der Widerstandswerte der Widerstandsthermometer 72 und 73 erfasst die Flusserfassungsschaltung die Temperatur des Sensormembranabschnitts 66. Wenn das Wärmewiderstandselement 71 die Temperatur des Sensormembranabschnitts 66 und der Widerstandsthermometer 72 und 73 erhöht und ein Luftfluss im Messflusspfad 32 auftritt, erfasst die Flusserfassungsschaltung die Flussrate der Luft und die Richtung des Flusses unter Verwendung des Modus der Änderung der Erfassungstemperatur durch die Widerstandsthermometer 72 und 73.
Das Wärmewiderstandselement 71 ist im Wesentlichen in der Mitte des Membranabschnitts 62 sowohl in der Höhenrichtung Y als auch in der Tiefenrichtung Z angeordnet. Das Wärmewiderstandselement 71 ist in einer rechteckigen Form gebildet, die sich in der Höhenrichtung Y insgesamt erstreckt. Eine Mittellinie CL1 des Wärmewiderstandselements 71 verläuft durch eine Mitte CO1 des Wärmewiderstandselements 71 und erstreckt sich linear in der Höhenrichtung Y. Diese Mittellinie CL1 verläuft durch die Mitte des Membranabschnitts 62. Das Wärmewiderstandselement 71 ist an einer Position angeordnet, die von dem Umfangsrandabschnitt des Membranabschnitts 62 nach innen beabstandet ist. In dem Wärmewiderstandselement 71 ist die Trennungsdistanz in Bezug auf die Mitte CO1 zwischen dem Endabschnitt auf der Formspitzenendseite und dem Endabschnitt auf der Formbasisendseite gleich.
Jedes der Widerstandsthermometer 72 und 73 ist in einer rechteckigen Form gebildet, die sich in der Höhenrichtung Y insgesamt erstreckt und in der Tiefenrichtung Z angeordnet ist. Das Wärmewiderstandselement 71 ist zwischen diesen Widerstandsthermometern 72 und 73 bereitgestellt. Unter den Widerstandsthermometern 72 und 73 ist das stromaufwärtige Widerstandsthermometer 72 an einer von den Wärmewiderstandselementen 71 getrennten Position auf der Formaufwärtsseite bereitgestellt. Das stromabwärtige Widerstandsthermometer 73 ist in einer von den Wärmewiderstandselementen 71 entfernten Position auf der Formabwärtsseite bereitgestellt. Eine Mittellinie CL2 des stromaufwärtigen Widerstandsthermometers 72 und eine Mittellinie CL3 des stromabwärtigen Widerstandsthermometers 73 erstrecken sich beide geradlinig parallel zur Mittellinie CL1 des Wärmewiderstandselements 71. Das Wärmewiderstandselement 71 ist in einer Zwischenposition zwischen dem stromaufwärtigen Widerstandsthermometer 72 und dem stromabwärtigen Widerstandsthermometer 73 in Tiefenrichtung Z bereitgestellt.
Bei dem Sensor SA50 der vorliegenden Ausführungsform wird in 10 die Seite der Formeaufwärtsfläche 55c als Formaufwärtsseite und die Seite der Formabwärtsfläche 55d als Formabwärtsseite bezeichnet. Die Seite der Formspitzenendfläche 55a wird als Formspitzenendseite bezeichnet, und die Seite der Formbasisendfläche 55b als Formbasisendseite.
Zurückkommend auf die Beschreibung von 13 ist das indirekte thermische Widerstandselement 74 ein Widerstandselement zur Erfassung der Temperatur des Wärmewiderstandselements 71. Das indirekte thermische Widerstandselement 74 erstreckt sich entlang des Umfangsrandabschnitts des Wärmewiderstandselements 71. Der Widerstandswert des indirekten thermischen Widerstandselements 74 ändert sich gemäß der Temperatur des Wärmewiderstandselements 71. In der Flusserfassungsschaltung wird die Temperatur des Wärmewiderstandselements 71 unter Verwendung des Widerstandswerts des indirekten thermischen Widerstandselements 74 erfasst.
Der Sensor SA50 enthält eine Heizverdrahtung 75 und Temperaturmessverdrahtungen 76 und 77. Ähnlich wie die Widerstandselemente 71 bis 74 sind auch diese Verdrahtungen 75 bis 77 im Verdrahtungsmuster des Sensormembranabschnitts 66 enthalten. Die Heizverdrahtung 75 erstreckt sich in der Höhenrichtung Y vom Wärmewiderstandselement 71 in Richtung der Formbasisendseite. Die stromaufwärtige Temperaturmessverdrahtung 76 erstreckt sich in der Höhenrichtung Y von dem stromaufwärtigen Widerstandsthermometer 72 zur Formspitzenendseite hin. Die stromabwärtige Temperaturmessverdrahtung 77 erstreckt sich in der Höhenrichtung Y von dem stromabwärtigen Widerstandsthermometer 73 in Richtung der Formspitzenendseite.
Wie oben beschrieben, ist im Sensor SA50 der interne Kondensator auf dem SA-Substrat 53 befestigt. Der Sensor SA50 hat eine interne Energieversorgung, die eine konstante Spannung auf eine Brückenschaltung oder ähnliches anwendet, die in der Flusserfassungsschaltung enthalten ist, und der interne Kondensator hat eine Funktion zur Stabilisierung der Spannung der internen Energieversorgung. Der interne Kondensator ist eine passive Komponente wie z.B. ein Chipkondensator.
Beim Luftflussmesser 20 ist zu befürchten, dass von außen Geräusche auf den Sensor SA50 angewendet werden, dass im Sensor SA50 erzeugte Geräusche als interne Geräusche nach außen abgestrahlt werden und dass statische Elektrizität auf den Sensor SA50 angewendet wird. Andererseits hat der interne Kondensator eine Funktion des Immunitätswiderstandes für den Sensor SA50, um externem Rauschen zu widerstehen, eine Funktion der Emissionsreduzierung, um internes Rauschen von dem Sensor SA50 zu reduzieren, und eine Funktion des elektrostatischen Widerstandes für den Sensor SA50, um statischer Elektrizität zu widerstehen.
Im Luftflussmesser 20 wird eine Steuerung der Heizungstemperatur, z. B. eine Rückkopplungssteuerung, ausgeführt, um die Temperatur der durch das Wärmewiderstandselement 71 erzeugten Wärme einzustellen. Der interne Kondensator hat die Funktion, die Oszillation des Wärmewiderstandselements 71 zwischen dem eingeschalteten Zustand und dem ausgeschalteten Zustand bei der Steuerung der Heizungstemperatur zu begrenzen. In diesem Fall stabilisiert der interne Kondensator die Steuerung der Heizungstemperatur.
Wie in 14 und 15 gezeigt, verläuft eine Mittellinie CL4 des Messflusspfads 32 durch eine Mitte CO2 des Messeingangs 35 und eine Mitte CO3 des Messausgangs 36 und erstreckt sich linear entlang des Messflusspfads 32. Der Sensor SA50 ist zwischen dem Messeingang 35 und dem Messausgang 36 im Messflusspfad 32 bereitgestellt. Der Sensor SA50 ist an einer Position bereitgestellt, die auf der stromaufwärtigen Seite von dem Messeingang 35 und auf der stromaufwärtigen Seite von dem Messausgang 36 getrennt ist. 14 veranschaulicht als Mittellinie CL4 eine Mittellinie eines Bereichs des Messflusspfads 32 mit Ausnahme des Innenraums eines SA-Einführungslochs 107.
In dem Kanalflusspfad 31 haben sowohl der Kanaleingang 33 als auch der Kanalausgang 34 eine rechteckige Form und eine vertikal lange Form. Sowohl im Kanaleingang 33 als auch im Kanalausgang 34 ist die Höhenrichtung Y größer als die Breitenrichtung X. Die Öffnungsfläche des Kanalausgangs 34 ist kleiner als die Öffnungsfläche des Kanaleingangs 33. Zum Beispiel ist die Öffnungsfläche des Kanalausgangs 34 kleiner als die Hälfte der Öffnungsfläche des Kanaleingangs 33. Die Höhendimension des Kanalausgangs 34 und die Höhendimension des Kanaleingangs 33 sind in der Höhenrichtung Y gleich, während die Breitendimension des Kanalausgangs 34 kleiner ist als die Breitendimension des Kanaleingangs 33 in der Breitenrichtung X. Die Öffnungsfläche des Kanaleingangs 33 ist die Fläche des Bereichs, der eine Mitte CO21 des Kanaleingangs 33 enthält, und die Öffnungsfläche des Kanalausgangs 34 ist die Fläche des Bereichs, der eine Mitte CO24 des Kanalausgangs 34 enthält.
Bei dem Luftflussmesser 20 ist die Mitte des Kanaleingangs 33 an einer Position angeordnet, die die Mittellinie des Ansaugkanals 12 überlappt. Die Breitendimension des Kanaleingangs 33 ist auf einen möglichst kleinen Wert festgelegt, damit der im Bypass-Flusspfad 30 erzeugte Druckverlust nicht zu groß wird. Wenn jedoch die Breite des Kanaleingangs 33 in Bezug auf den Ansaugkanal 12 zu klein gewählt wird, besteht die Sorge, dass in der Konfiguration, in der die Luft in den Kanaleingang 33 im mittigen Abschnitt des Ansaugkanals 12 einfließt, die Robustheit der Flussratenmessung und der Messung der Flussgeschwindigkeit beeinträchtigt wird. Daher wird die Breite des Kanaleingangs 33 vorzugsweise so festgelegt, dass der Druckverlust im Bypass-Flusspfad 30 und die Robustheit der Messung optimiert werden.
Im Messflusspfad 32 hat der Messausgang 36 eine rechteckige Form und eine vertikale Längsform. Im Messausgang 36 ist die Höhendimension der Höhenrichtung Y größer als die Breitendimension der Breitenrichtung X. Der Öffnungsbereich des Messausgangs 36 ist kleiner als der Öffnungsbereich des Messeingangs 35. Andererseits ist der Gesamtwert der Öffnungsflächen der Mehrzahl der Messausgänge 36 größer als die Öffnungsfläche des Messeingangs 35. Die Öffnungsfläche des Messeingangs 35 ist eine Fläche eines Bereichs, der die Mitte CO2 des Messeingangs 35 enthält, und die Öffnungsfläche des Messausgangs 36 ist eine Fläche eines Bereichs, der die Mitte CO3 des Messausgangs 36 enthält.
Wie in 15 und 16 gezeigt, enthält das Gehäuse 21 eine Messbodenfläche 101, eine Messdeckenfläche 102, eine vordere Messwandfläche 103 und eine hintere Messwandfläche 104 als Formationsflächen, die den Messflusspfad 32 bilden. Die Messbodenfläche 101, die Messdeckenfläche 102, die vordere Messwandfläche 103 und die hintere Messwandfläche 104 erstrecken sich alle entlang der Mittellinie CL4 des Messflusspfads 32. Die Messbodenfläche 101, die Messdeckenfläche 102, die vordere Messwandfläche 103 und die hintere Messwandfläche 104 bilden einen Abschnitt, der sich in Tiefenrichtung Z des Messflusspfads 32 erstreckt. Die Messbodenfläche 101 entspricht einer Bodenfläche, die vordere Messwandfläche 103 entspricht einer vorderen Wandfläche 103, und die hintere Messwandfläche 104 entspricht einer hinteren Wandfläche. Die Breitenrichtung X entspricht der vorderen und hinteren Richtung, in der die vordere Wandfläche und die hintere Wandfläche nebeneinander angeordnet sind.
Die Messbodenfläche 101 und die Messdeckenfläche 102 sind zwischen der vorderen Messwandfläche 103 und der hinteren Messwandfläche 104 bereitgestellt. Die Messbodenfläche 101 ist der Formspitzenendfläche 55a des Sensors SA50 zugewandt und erstreckt sich geradlinig in der Tiefenrichtung Z. Die Messbodenfläche 101 weist einen Vorderseitenbodenflächenabschnitt 101a und einen Rückseitenbodenflächenabschnitt 101b auf. Der Vorderseitenbodenflächenabschnitt 101a erstreckt sich von der vorderen Messwandfläche 103 in Richtung der hinteren Messwandfläche 104, und der Rückseitenbodenflächenabschnitt 101b erstreckt sich von der hinteren Messwandfläche 104 in Richtung der vorderen Messwandfläche 103. Der Vorderseitenbodenflächenabschnitt 101a und der Rückseitenbodenflächenabschnitt 101b sind in Breitenrichtung X nebeneinander bereitgestellt, und die Längendimension des Vorderseitenbodenflächenabschnitts 101a ist kleiner als die Längendimension des Rückseitenbodenflächenabschnitt 101b in Breitenrichtung X. Der Vorderseitenbodenflächenabschnitt 101a erstreckt sich zwischen der vorderen Messwandfläche 103 und dem Rückseitenbodenflächenabschnitt 101b in Richtung X. Der Vorderseitenbodenflächenabschnitt 101a erstreckt sich in Richtung X und verläuft beispielsweise parallel zu einer Mittellinie CL5 des später beschriebenen Wärmewiderstandselements 71. Der Rückseitenbodenflächenabschnitt 101b ist in Bezug auf den Vorderseitenbodenflächenabschnitt 101a geneigt, so dass er der Seite der Messwandfläche 104 zugewandt ist.
Die Messdeckenfläche 102 ist auf der von der Messbodenfläche 101 abgewandten Seite über die Mittellinie CL4 in der Höhenrichtung Y bereitgestellt. In einem Abschnitt, der die Messdeckenfläche 102 im Gehäuse 21 bildet, ist das SA-Einführungsloch 107 bereitgestellt, in das der Sensor SA50 eingeführt wird. Dieses SA-Einführungsloch 107 wird durch den Sensor SA50 geschlossen. Der Messflusspfad 32 enthält auch einen Spalt zwischen dem Sensor SA50 und dem Gehäuse 21 des Innenraums des SA-Einführungslochs 107.
Die vordere Messwandfläche 103 und die hintere Messwandfläche 104 sind ein Paar von einander zugewandten Wandflächen, zwischen denen die Messbodenfläche 101 und die Messdeckenfläche 102 angeordnet sind. Die vordere Messwandfläche 103 ist der Formvorderfläche 55e des Sensors SA50 zugewandt und erstreckt sich von dem Endabschnitt auf einer Luftfluss-Vorderseite der Messbodenfläche 101 in Richtung der Gehäusebasisendseite. Insbesondere ist die vordere Messwandfläche 103 dem Flusssensor 22 des Sensors SA50 zugewandt. Die hintere Messwandfläche 104 ist der Formrückfläche 55f des Sensors SA50 zugewandt und erstreckt sich von dem Endabschnitt auf einer Luftfluss-Rückseite der Messbodenfläche 101 in Richtung der Gehäusebasisendseite. In 15 und 16 ist die Darstellung des inneren Aufbaus des Sensors SA50 vereinfacht, und nur der Formabschnitt 55 und der Flusssensor 22 sind veranschaulicht.
Das Gehäuse 21 enthält einen vorderen Verengungsabschnitt 111 und einen hinteren Verengungsabschnitt 112. Diese Verengungsabschnitte 111 und 112 verengen graduell den Messflusspfad 32, so dass sich eine Querschnittsfläche S4 des Messflusspfads 32 graduell stromaufwärts von dem Messeingangs 35 und dergleichen in Richtung des Flusssensors 22 verringert. Die Verengungsabschnitte 111 und 112 verengen den Messflusspfad 32 graduell, so dass sich die Querschnittsfläche S4 von dem Flusssensor 22 aus von dem stromabwärtigen Messausgang 36 und dergleichen in Richtung des Flusssensors 22 graduell verringert. In Bezug auf den Messflusspfad 32 wird die Fläche eines Bereichs orthogonal zur Mittellinie CL4 als die Querschnittsfläche S4 bezeichnet, und diese Querschnittsfläche S4 kann auch als eine Flusspfadfläche bezeichnet werden.
Der vordere Verengungsabschnitt 111 ist ein Vorsprungsabschnitt, bei dem ein Teil der vorderen Messwandfläche 103 in Richtung der hinteren Messwandfläche 104 vorsteht. Der hintere Verengungsabschnitt 112 ist ein Vorsprungsabschnitt, bei dem ein Teil der hinteren Messwandfläche 104 in Richtung der vorderen Messwandfläche 103 vorsteht. Der vordere Verengungsabschnitt 111 und der hintere Verengungsabschnitt 112 sind in der Höhenrichtung Y angeordnet und in der Höhenrichtung Y zugewandt. Diese Verengungsabschnitte 111 und 112 erstrecken sich zwischen der Messdeckenfläche 102 und der Messbodenfläche 101. Die Verengungsabschnitte 111 und 112 verringern graduell eine Messbreitendimension W1, die eine Distanz zwischen der vorderen Messwandfläche 103 und der hinteren Messwandfläche 104 in Richtung X von stromaufwärts zum Flusssensor 22 ist. Die Verengungsabschnitte 111 und 112 verringern graduell die Messbreitendimension W1 von stromabwärts in Richtung des Flusssensors 22.
Die Verengungsabschnitte 111 und 112 nähern sich graduell der Mittellinie CL4 von der stromaufwärtigen Seite zum Flusssensor 22 im Messflusspfad 32. Im Messflusspfad 32 verringern sich die Trennungsdistanzen W2 und W3 zwischen den Verengungsabschnitten 111 und 112 und der Mittellinie CL4 in Richtung X graduell von stromaufwärts zum Flusssensor 22. Die Verengungsabschnitte 111 und 112 nähern sich graduell der Mittellinie CL4 von der stromabwärtigen Seite zum Flusssensor 22 im Messflusspfad 32. Im Messflusspfad 32 verringern sich die Trennungsdistanzen W2 und W3 zwischen den Verengungsabschnitten 111 und 112 und der Mittellinie CL4 in Breitenrichtung X graduell von stromabwärts zum Flusssensor 22.
In den Verengungsabschnitten 111 und 112 werden die der Mittellinie CL4 am nächsten liegenden Abschnitte zu den oberen Abschnitten 111a und 112a. In diesem Fall sind in den Verengungsabschnitten 111 und 112 die Trennungsdistanzen W2 und W3 von der Mittellinie CL4 an den oberen Abschnitten lila und 112a am kleinsten. Von den oberen Abschnitten lila und 112a ist der vordere obere Abschnitt lila der obere Abschnitt des vorderen Verengungsabschnitts 111, und der hintere obere Abschnitt 112a ist der obere Abschnitt des hinteren Verengungsabschnitts 112. Der vordere obere Abschnitt lila und der hintere obere Abschnitt 112a sind in der Breitenrichtung X angeordnet und einander zugewandt.
Der Flusssensor 22 ist zwischen dem vorderen Verengungsabschnitt 111 und dem hinteren Verengungsabschnitt 112 bereitgestellt. Insbesondere ist die Mitte CO1 des Wärmewiderstandselements 71 des Flusssensors 22 zwischen dem vorderen oberen Abschnitt lila und dem hinteren oberen Abschnitt 112a bereitgestellt. Wenn in Bezug auf das Wärmewiderstandselement 71 eine lineare imaginäre Linie, die durch die Mitte CO1 verläuft, orthogonal zur Mittellinie CL1 ist und sich in Breitenrichtung X erstreckt, als Mittellinie CL5 bezeichnet wird, sind sowohl der vordere obere Abschnitt 111a als auch der hintere obere Abschnitt 112a auf dieser Mittellinie CL5 angeordnet. In diesem Fall sind die Mitte CO1 des Wärmewiderstandselements 71 und der vordere obere Abschnitt lila in Breitenrichtung X angeordnet, und die Mitte CO1 des Wärmewiderstandselements 71 und der vordere obere Abschnitt lila sind sich in Breitenrichtung X zugewandt.
Wie in 16 gezeigt, ist der Sensorträgerabschnitt 51 des Sensors SA50 an einer Position bereitgestellt, die näher an dem vorderen Verengungsabschnitt 111 als an dem hinteren Verengungsabschnitt 112 in der Breitenrichtung X ist. Das heißt, der Sensorträgerabschnitt 51 ist an einer Position bereitgestellt, die näher an der vorderen Messwandfläche 103 als an der hinteren Messwandfläche 104 liegt. Auf der Mittellinie CL5 des Wärmewiderstandselements 71 ist eine vordere Distanz LI, die der Trennungsdistanz zwischen dem Flusssensor 22 und der vorderen Messwandfläche 103 in Breitenrichtung X entspricht, kleiner als eine hintere Distanz L2, die der Trennungsdistanz zwischen dem Flusssensor 22 und der hinteren Messwandfläche 104 in Breitenrichtung X entspricht, d.h. es besteht die Beziehung L1 < L2. Die vordere Distanz L1 ist eine Trennungsdistanz zwischen der Mitte CO1 des Wärmewiderstandselements 71 und dem vorderen oberen Abschnitt lila des vorderen Verengungsabschnitts 111. Die hintere Distanz L2 ist eine Trennungsdistanz auf der Mittellinie CL5 des Wärmewiderstandselements 71 zwischen der Formrückfläche 55f und dem hinteren oberen Abschnitt 112a des hinteren Verengungsabschnitts 112.
Die Formspitzenendfläche 55a des Sensorträgerabschnitts 51 ist an einer Position angeordnet, die näher an der Messbodenfläche 101 als an der Messdeckenfläche 102 in der Höhenrichtung Y liegt. In diesem Fall ist im Messflusspfad 32 eine Bodendistanz L3 kleiner als die vordere Distanz L1. Das heißt, die Beziehung L1 > L3 ist gegeben. Die Bodendistanz L3 ist eine Trennungsdistanz zwischen der Formspitzenendfläche 55a und der Messbodenfläche 101 in der Höhenrichtung Y. Insbesondere ist die Bodendistanz L3 eine Trennungsdistanz zwischen einem Abschnitt, der der Formspitzenendfläche 55a am nächsten liegt, und der Formspitzenendfläche 55a in einem Abschnitt der Messbodenfläche 101, der der Formspitzenendfläche 55a gegenüberliegt.
Im Messflusspfad 32 eines Bereichs, der von der inneren Fläche des Gehäuses 21 und der äußeren Fläche des Sensors SA50 umgeben ist, wird ein ebener Bereich, der orthogonal zur Mittellinie CL4 verläuft und durch die Mitte CO1 des Wärmewiderstandselements 71 verläuft, als Sensorbereich 121 bezeichnet. Die von dem Messeingang 35 in Richtung des Messausgangs 36 in dem Messflusspfad 32 fließende Luft muss den Sensorbereich 121 durchfließen.
Der Sensorbereich 121 hat einen vorderen Bereich 122 und einen hinteren Bereich 123. Der vordere Bereich 122 ist ein Bereich auf der Seite der vorderen Messwandfläche 103 relativ zur Formvorderfläche 55e in der Breitenrichtung X. Der hintere Bereich 123 ist ein Bereich auf der Seite der hinteren Messwandfläche 104 relativ zur Formrückfläche 55f in der Breitenrichtung X. Diese Bereiche 122 und 123 erstrecken sich von der Messbodenfläche 101 zur Messdeckenfläche 102 in der Höhenrichtung Y. Im Messflusspfad 32 ist der Sensor SA50 zwischen dem vorderen Bereich 122 und dem hinteren Bereich 123 in der Breitenrichtung X angeordnet.
Der vordere Bereich 122 hat einen Bodenseitenbereich 122a und einen Deckenseitenbereich 122b. Der Bodenseitenbereich 122a ist ein Bereich im vorderen Bereich 122, der sich von dem bodenseitigen Endabschnitt des Flusssensors 22 in Richtung der Messbodenfläche 101 erstreckt. In dem Bodenseitenbereich 122a wird der Endabschnitt an der Gehäusespitzenendseite durch die Messbodenfläche 101 gebildet. Daher ist der Bodenseitenbereich 122a ein Bereich zwischen dem Flusssensor 22 und der Messbodenfläche 101 in der Höhenrichtung Y. Der Deckenseitenbereich 122b ist ein Bereich im vorderen Bereich 122, der sich vom deckenseitigen Endabschnitt des Flusssensors 22 in Richtung der Messdeckenfläche 102 erstreckt. Im vorderen Bereich 122 wird der Endabschnitt an der Gehäusebasisendseite durch einen deckenseitigen Endabschnitt gebildet, der ein Grenzabschnitt zwischen der inneren Fläche des Gehäuses 21 und der äußeren Fläche des Sensors SA50 ist. Daher ist der Deckenseitenbereich 122b ein Bereich zwischen dem Flusssensor 22 und dem deckenseitigen Grenzabschnitt in der Höhenrichtung Y.
Wenn die Fläche des Sensorbereichs 121 als Bereichsfläche S1 bezeichnet wird, ist diese Bereichsfläche S1 eine Querschnittsfläche eines Abschnitts, in dem der Flusssensor 22 im Messflusspfad 32 bereitgestellt ist. Die Bereichsfläche S1 enthält eine Bodenseitenfläche S2, der die Fläche des Bodenseitenbereichs 122a ist, und eine Deckenseitenfläche S3, der die Fläche des Deckenseitenbereichs 122b ist. Im vorderen Bereich 122 ist die Deckenseitenfläche S3 kleiner als die Bodenseitenfläche S2. Das heißt, die Beziehung S3 < S2 ist hergestellt.
Gemäß der bisher beschriebenen Ausführungsform ist im Messflusspfad 32 die vordere Distanz L1 größer als die Bodendistanz L3. In dieser Konfiguration ist die Luftmenge, die entlang der vorderen Messwandfläche 103 und der Formvorderfläche 55e fließt, tendenziell größer als die Luftmenge, die entlang der Messbodenfläche 101 und der Formspitzenendfläche 55a fließt. Da die Luft in diesem Fall leicht am Flusssensor 22 der Formvorderfläche 55e vorbeifließt, ist eine Verringerung der Erfassungsgenauigkeit der Flussrate durch den Flusssensor 22 aufgrund einer unzureichenden Luftmenge, die am Flusssensor 22 vorbeifließt, weniger wahrscheinlich. Daher kann die Erfassungsgenauigkeit der Flussrate durch den Flusssensor 22 verbessert werden, und infolgedessen kann die Messgenauigkeit der Luftflussrate durch den Luftflussmesser 20 verbessert werden.
In der Konfiguration, in der die Bodendistanz L3 kleiner ist als die Distanz L1 vom vorderen Bereich, besteht das Problem, dass der Messflusspfad 32 von der Seite der Messbodenfläche 101 aus verengt ist und die Bereichsfläche S1 des Sensorbereichs 121 nicht ausreicht. Im Messflusspfad 32 erhöht sich der Druckverlust von dem Kanalflusspfad 31 in den Messflusspfad 32, wenn die Querschnittsfläche, z. B. die Bereichsfläche S1, unzureichend ist. In diesem Fall ist die Flussrate des Luftflusses im Messflusspfad 32 unzureichend, eine Trennung oder Störung des Luftflusses im Messflusspfad 32 ist wahrscheinlich, und das Rauschen ist wahrscheinlich im Erfassungsergebnis des Flusssensors 22 aufgrund der Trennung oder Störung enthalten.
Andererseits ist gemäß der vorliegenden Ausführungsform die vordere Distanz L1 kleiner als die hintere Distanz L2 im Messflusspfad 32. In diesem Fall ist der hintere Bereich 123 zwischen der Formspitzenendfläche 55a des Sensors SA50 und der hinteren Messbodenfläche 101 relativ breit, auch wenn der Bereich zwischen der Formrückfläche 55f und der hinteren Messwandfläche 104 schmal ist. In dieser Konfiguration unterdrückt der hintere Bereich 123 die Verknappung der Bereichsfläche S1 des Sensorbereichs 121, und die Verknappung der Flussrate der Luft im Messflusspfad 32 tritt kaum auf. In diesem Fall ist es weniger wahrscheinlich, dass eine Trennung oder Störung des Luftflusses im Messflusspfad 32 auftritt, und es ist möglich, das Rauschen zu unterdrücken, das im Erfassungsergebnis des Flusssensors 22 enthalten ist. Da in diesem Fall der Druckverlust im Messflusspfad 32 reduziert wird und die Flussrate tendenziell erhöht wird, kann der Bereich der Erfassung des Flusses durch den Flusssensor 22 erweitert werden. Das heißt, die Variation des Ausgangs des Luftflussmessers 20 wird unterdrückt, und der Luftflussmesser 20 kann auf den dynamischen Bereich festgelegt werden. Daher kann sowohl die Unterdrückung der Variation des Ausgangs als auch der dynamische Bereich für den Luftflussmesser 20 erreicht werden.
Die vordere Distanz L1 ist kleiner als die hintere Distanz L2. In dieser Konfiguration ist es bei der Herstellung des Luftflussmessers 20 selbst dann, wenn die relative Position des Sensors SA50 in Bezug auf das Gehäuse 21 in Breitenrichtung X aufgrund eines Befestigungsfehlers des Sensors SA50 in Bezug auf das Gehäuse 21 verschoben ist, einfach, ein Verhältnis zu halten, in dem die vordere Distanz L1 kleiner als die hintere Distanz L2 ist. Wie oben beschrieben, kann selbst bei einem Befestigungsfehler des Sensors SA50 in Bezug auf das Gehäuse 21 durch das Verhältnis zwischen der vorderen Distanz L1 und der hinteren Distanz L2 eine Konfiguration erreicht werden, bei der die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 weniger wahrscheinlich verringert wird.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform enthält das Gehäuse 21 den vorderen Verengungsabschnitt 111. In dieser Konfiguration, da der vordere Verengungsabschnitt 111 graduell den Messflusspfad 32 von der Seite des Messeingangs 35 in Richtung des Flusssensors 22 verengt, wird der Luftfluss durch den vorderen Verengungsabschnitt 111 begradigt, selbst wenn eine Trennung oder Störung im Luftfluss auftritt, so dass die Trennung oder die Störung reduziert wird. Da in diesem Fall die Trennung oder Störung den Flusssensor 22 kaum erreicht, kann die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 verbessert werden. Da die vordere Distanz L1 die Trennungsdistanz zwischen dem vorderen Verengungsabschnitt 111 und dem Flusssensor 22 ist, kann die entlang des Flusssensors 22 fließende Luft außerdem durch den vorderen Verengungsabschnitt 111 zuverlässig begradigt werden.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist die vordere Distanz L1 die Trennungsdistanz zwischen dem vorderen oberen Abschnitt lila des vorderen Verengungsabschnitts 111 und dem Flusssensor 22. Da in dem vorderen Verengungsabschnitt 111 der Abschnitt mit dem höchsten Begradigungseffekt dazu neigt, der vordere obere Abschnitt 111a zu werden, ist es möglich, zuverlässig zu unterdrücken, dass Trennungen oder Störungen von der Luft, die entlang des Flusssensors 22 fließt, enthalten sind, indem der Abschnitt mit dem höchsten Begradigungseffekt dem Flusssensor 22 zugewandt wird. Dadurch kann die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 ferner verbessert werden.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform enthält das Gehäuse 21 den hinteren Verengungsabschnitt 112. In dieser Konfiguration, da der hintere Verengungsabschnitt 112 graduell den Messflusspfad 32 von der Seite des Messeingangs 35 in Richtung des Flusssensors 22 verengt, wird der Luftfluss durch den hinteren Verengungsabschnitt 112 begradigt, selbst wenn eine Trennung oder Störung im Luftfluss auftritt, so dass die Trennung oder die Störung reduziert wird. Im Messflusspfad 32 wird davon ausgegangen, dass die Luft, die in Richtung des Flusssensors 22 an der Höhenposition in der Nähe des Flusssensors 22 in der Höhenrichtung Y fließt, sowohl die Vorderseite als auch die Rückseite des Sensorträgerabschnitts 51 leicht durchfließt. Daher wird durch den hinteren Verengungsabschnitt 112 auch die Luft, die entlang der hinteren Messwandfläche 104 fließt, begradigt, um eine Trennung oder Störung von dem Erreichen des Flusssensors 22 zu verhindern.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist im Messflusspfad 32 die Deckenseitenfläche S3 des Deckenseitenbereichs 122b kleiner als die Bodenseitenfläche S2 des Bodenseitenbereichs 122a. Bei dieser Konfiguration erhöht sich der Druckverlust im Deckenseitenbereich 122b eher als im Bodenseitenbereich 122a, und die Luft fließt weniger wahrscheinlich. Selbst wenn der Messflusspfad 32 so konfiguriert ist, dass die Luft, die entlang der Messdeckenfläche 102 fließt, wahrscheinlich schneller oder stärker fließt als die Luft, die entlang der Messbodenfläche 101 fließt, können daher die Geschwindigkeit und Flussrate der Luft, die durch den Deckenseitenbereich 122b und den Bodenseitenbereich 122a fließt, ausgeglichen werden. Dadurch kann unterdrückt werden, dass sich die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 aufgrund der Mischung aus schnellem Luftfluss und langsamem Luftfluss in dem Luftfluss, der den Sensorbereich 121 erreicht, verschlechtert.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist der Messflusspfad 32 so gekrümmt, dass die Messdeckenfläche 102 auf der äußeren Umfangsseite und die Messbodenfläche 101 auf der inneren Umfangsseite liegt. In dieser Konfiguration neigt die Luft, die entlang der Messdeckenfläche 102 fließt, aufgrund einer Zentrifugalkraft oder ähnlichem dazu, schneller oder stärker zu fließen als die Luft, die entlang der Messbodenfläche 101 fließt. Daher ist es wirksam, dass die Deckenseitenfläche S3 kleiner ist als die Bodenseitenfläche S2, um die Geschwindigkeit und die Rate des Luftflusses im Deckenseitenbereich 122b und im Bodenseitenbereich 122a auszugleichen.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist die vordere Distanz L1 die Trennungsdistanz zwischen der vorderen Messwandfläche 103 und dem Wärmewiderstandselement 71. Da in dem Flusssensor 22 die Flussrate für die entlang des Wärmewiderstandselements 71 fließende Luft erfasst wird, kann die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 durch die Verwaltung der Positionsbeziehung zwischen dem Wärmewiderstandselement 71 und der vorderen Messwandfläche 103 verbessert werden.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform sind bei dem Sensor SA50 sowohl die Formvorderfläche 55e als auch die Formrückfläche 55f aus dem Formabschnitt 55 gebildet. In dieser Konfiguration, da die Glätte der Formvorderfläche 55e und der Formrückfläche 55f leicht zu handhaben ist, ist es weniger wahrscheinlich, dass eine Trennung oder Störung in der Luft, die entlang der Formvorderfläche 55e und der Formrückfläche 55f fließt, auftritt.
<Beschreibung der Konfigurationsgruppe B>
Wie in 8 und 17 dargestellt, hat das Gehäuse 21 einen SA-Aufnahmebereich 150. Der SA-Aufnahmebereich 150 ist auf der Gehäusebasisendseite relativ zum Bypass-Flusspfad 30 bereitgestellt und nimmt einen Teil des Sensors SA50 auf. Mindestens die Formbasisendfläche 55b des Sensors SA50 ist in dem SA-Aufnahmebereich 150 untergebracht. Der Messflusspfad 32 und der SA-Aufnahmebereich 150 sind in der Höhenrichtung Y angeordnet. Der Sensor SA50 ist an einer Position gegenüber dem Grenzabschnitt zwischen dem Messflusspfad 32 und dem SA-Aufnahmebereich 150 in der Höhenrichtung Y angeordnet. Mindestens die Formspitzenendfläche 55a des Sensors SA50 und der Flusssensor 22 sind in dem Messflusspfad 32 untergebracht. Der SA-Aufnahmebereich 150 entspricht einem Aufnahmebereich. In 17 und 18 ist die Darstellung des inneren Aufbaus des Sensors SA50 vereinfacht und nur der Formabschnitt 55 und der Flusssensor 22 veranschaulicht.
Das Gehäuse 21 enthält den ersten Gehäuseabschnitt 151 und den zweiten Gehäuseabschnitt 152. Diese Gehäuseabschnitte 151 und 152 sind montiert und miteinander integriert und bilden in diesem Zustand das Gehäuse 21. Der erste Gehäuseabschnitt 151 bildet den SA-Aufnahmebereich 150. Der erste Gehäuseabschnitt 151 bildet zusätzlich zum SA-Aufnahmebereich 150 den Bypass-Flusspfad 30. Die innere Fläche des ersten Gehäuseabschnitts 151 bildet den SA-Aufnahmebereich 150 und den Bypass-Flusspfad 30 als innere Fläche des Gehäuses 21. Ein Gehäuseöffnungsabschnitt 151a (siehe 19) ist an einem offenen Ende des ersten Gehäuseabschnitts 151 bereitgestellt. Der Gehäuseöffnungsabschnitt 151a öffnet den SA-Aufnahmebereich 150 in Richtung der Seite, die dem Messflusspfad 32 gegenüberliegt.
In einem Zustand, in dem der Sensor SA50 in dem SA-Aufnahmebereich 150 und dem Messflusspfad 32 untergebracht ist, wird ein Spalt zwischen der äußeren Fläche des Sensors SA50 und der inneren Fläche des ersten Gehäuseabschnitts 151 gebildet. Der zweite Gehäuseabschnitt 152 füllt diesen Spalt aus. Insbesondere befindet sich der zweite Gehäuseabschnitt 152 in einem Zustand, in dem er zwischen die äußere Fläche des Sensors SA50 und die innere Fläche des ersten Gehäuseabschnitts 151 im SA-Aufnahmebereich 150 eintritt.
Wie in 17 dargestellt, hat das Gehäuse 21 ein Gehäusetrennabschnitt 131. Bei dem Gehäusetrennabschnitt 131 handelt es sich um einen Vorsprungsabschnitt, der an der inneren Fläche des ersten Gehäuseabschnitts 151 bereitgestellt ist und von dem ersten Gehäuseabschnitt 151 in Richtung des Sensors SA50 vorsteht. In diesem Fall hat der erste Gehäuseabschnitt 151 den Gehäusetrennabschnitt 131. Der Spitzenendabschnitt des Gehäusetrennabschnitts 131 ist in Kontakt mit der äußeren Fläche des Sensors SA50. Der Gehäusetrennabschnitt 131 teilt den SA-Aufnahmebereich 150 und den Messflusspfad 32 zwischen der äußeren Fläche des Sensors SA50 und der inneren Fläche des ersten Gehäuseabschnitts 151.
Die innere Fläche des ersten Gehäuseabschnitts 151 hat eine Gehäuseflusspfadfläche 135, eine Gehäuseaufnahmefläche 136, und die Gehäusestufenfläche 137. Die Gehäuseflusspfadfläche 135, die Gehäuseaufnahmefläche 136 und die Gehäusestufenfläche 137 erstrecken sich in einer Richtung, die die Höhenrichtung Y schneidet, und umgeben den Sensor SA50 ringförmig. In dem Sensor SA50 erstreckt sich die Mittellinie CL1 des Wärmewiderstandselements 71 in der Höhenrichtung Y, und die Gehäuseflusspfadfläche 135, die Gehäuseaufnahmefläche 136 und die Gehäusestufenfläche 137 erstrecken sich jeweils in der Umfangsrichtung um diese Mittellinie CL1.
In dem ersten Gehäuseabschnitt 151 ist die Gehäusestufenfläche 137 zwischen der Gehäusespitzenendfläche 21a und der Gehäusebasisendfläche 21b bereitgestellt. Die Gehäusestufenfläche 137 ist der Gehäusebasisendseite in der Höhenrichtung Y zugewandt. Die Gehäusestufenfläche 137 ist in Bezug auf die Mittellinie CL1 geneigt und weist auf die radiale Innenseite, d.h. die Seite der Mittellinie CL1. Die Gehäusestufenfläche 137 schneidet die Höhenrichtung Y und entspricht einer Gehäuseschnittfläche. An der inneren Fläche des ersten Gehäuseabschnitts 151 sind ein äußerer Eckabschnitt zwischen der Gehäuseflusspfadfläche 135 und der Gehäusestufenfläche 137 und ein innerer Eckabschnitt zwischen der Gehäuseaufnahmefläche 136 und der Gehäusestufenfläche 137 abgeschrägt. Die Höhenrichtung Y entspricht einer Anordnungsrichtung, in der der Messflusspfad und der Aufnahmebereich angeordnet sind.
Die Gehäuseflusspfadfläche 135 bildet den Messflusspfad 32 und erstreckt sich von dem inneren Umfangsendabschnitt der Gehäusestufenfläche 137 in Richtung der Gehäusespitzenendseite. Die Gehäuseflusspfadfläche 135 erstreckt sich von der Gehäusestufenfläche 137 in Richtung der Seite, die dem SA-Aufnahmebereich 150 gegenüberliegt. Andererseits bildet die Gehäuseaufnahmefläche 136 den SA-Aufnahmebereich 150 und erstreckt sich von dem äußeren Umfangsendabschnitt der Gehäusestufenfläche 137 in Richtung der Seite, die der Gehäusebasisendseite gegenüberliegt. Die Gehäuseaufnahmefläche 136 erstreckt sich von der Gehäusestufenfläche 137 in Richtung der Seite, die dem Messflusspfad 32 gegenüberliegt. Die Gehäusestufenfläche 137 ist zwischen der Gehäuseflusspfadfläche 135 und der Gehäuseaufnahmefläche 136 bereitgestellt und bildet eine Stufe auf der inneren Fläche des ersten Gehäuseabschnitts 151. Die Gehäusestufenfläche 137 verbindet die Gehäuseflusspfadfläche 135 und die Gehäuseaufnahmefläche 136.
Die äußere Fläche des Sensors SA50 wird durch die äußere Fläche des Formabschnitts 55 gebildet. Die äußere Fläche des Sensors SA50 hat eine SA-Flusspfadfläche 145, eine SA-Aufnahmefläche 146 und eine SA-Stufenfläche 147. Die SA-Flusspfadfläche 145, die SA-Aufnahmefläche 146 und die SA-Stufenfläche 147 erstrecken sich in einer Richtung, die die Höhenrichtung Y schneidet, und sind Abschnitte, die die äußere Fläche des Sensors SA50 ringförmig umgeben. Die SA-Flusspfadfläche 145, die SA-Aufnahmefläche 146 und die SA-Stufenfläche 147 erstrecken sich in der Umfangsrichtung um die Mittellinie CL1 des Wärmewiderstandselements 71.
In dem Sensor SA50 ist die SA-Stufenfläche 147 zwischen der Formspitzenendfläche 55a und der Formbasisendfläche 55b bereitgestellt. Die SA-Stufenfläche 147 ist der Seite der Formspitzenendfläche 55a in der Höhenrichtung Y zugewandt. Die SA-Stufenfläche 147 ist in Bezug auf die Mittellinie CL1 geneigt und der radialen Außenseite zugewandt, d. h. der Seite, die der Mittellinie CL1 gegenüberliegt. Die SA-Stufenfläche 147 schneidet die Höhenrichtung Y und entspricht einer Einheitsschnittfläche. Die SA-Flusspfadfläche 145 entspricht einer Einheitsflusspfadfläche, und die SA-Aufnahmefläche 146 entspricht einer Einheitsaufnahmefläche. An der äußeren Fläche des Sensors SA50 sind ein inneres Eckabschnitt zwischen der SA-Flusspfadfläche 145 und der SA-Stufenfläche 147 und ein äußeres inneres Eckabschnitt zwischen der SA-Aufnahmefläche 146 und der SA-Stufenfläche 147 abgeschrägt.
Die SA-Flusspfadfläche 145 bildet den Messflusspfad 32 und erstreckt sich in der Höhenrichtung Y von dem inneren Umfangsendabschnitt der SA-Stufenfläche 147 in Richtung der Formspitzenendseite. Die SA-Flusspfadfläche 145 erstreckt sich von der SA-Stufenfläche 147 in Richtung der Seite, die dem SA-Aufnahmebereich 150 gegenüberliegt. Andererseits bildet die SA-Aufnahmefläche 146 den SA-Aufnahmebereich 150 und erstreckt sich von dem äußeren Umfangsendabschnitt der SA-Stufenfläche 147 in Richtung der Formbasisendseite. Die SA-Aufnahmefläche 146 erstreckt sich von der SA-Stufenfläche 147 in Richtung der Seite, die dem Messflusspfad 32 gegenüberliegt. Die SA-Stufenfläche 147 ist zwischen der SA-Flusspfadfläche 145 und der SA-Aufnahmefläche 146 bereitgestellt und bildet eine Stufe auf der äußeren Fläche des Sensors SA50. Die SA-Stufenfläche 147 verbindet die SA-Flusspfadfläche 145 und die SA-Aufnahmefläche 146.
Im Sensor SA50 werden die SA-Flusspfadfläche 145, die SA-Aufnahmefläche 146 und die SA-Stufenfläche 147 jeweils durch die Formaufwärtsfläche 55c, die Formabwärtsfläche 55d, die Formvorderfläche 55e und die Formrückfläche 55f gebildet.
Im Luftflussmesser 20 stehen sich die der Gehäusebasisendseite zugewandte Gehäusestufenfläche 137 und die der Gehäusespitzenendseite zugewandte SA-Stufenfläche 147 gegenüber. Die Gehäuseflusspfadfläche 135, die der inneren Umfangsseite zugewandt ist, und die SA-Flusspfadfläche 145, die der äußeren Umfangsseite zugewandt ist, stehen einander gegenüber. In ähnlicher Weise sind die Gehäuseaufnahmefläche 136, die der inneren Umfangsseite zugewandt ist, und die SA-Aufnahmefläche 146, die der äußeren Umfangsseite zugewandt ist, einander zugewandt.
Der Gehäusetrennabschnitt 131 ist an der Gehäusestufenfläche 137 bereitgestellt und erstreckt sich in der Höhenrichtung Y in Richtung der Gehäusebasisendseite. Eine Mittellinie CL11 des Gehäusetrennabschnitts 131 erstreckt sich linear in der Höhenrichtung Y. Der Gehäusetrennabschnitt 131 umgibt den Sensor SA50 ringförmig zusammen mit der Gehäusestufenfläche 137. In diesem Fall, wie in 19 gezeigt, hat der Gehäusetrennabschnitt 131 einen Abschnitt, der sich in der Breitenrichtung X erstreckt, und einen Abschnitt, der sich in der Tiefenrichtung Z erstreckt, und hat insgesamt eine im Wesentlichen rechteckige Rahmenform.
Zurückkommend auf die Beschreibung von 17, ist der Spitzenendabschnitt des Gehäusetrennabschnitts 131 in Kontakt mit der SA-Stufenfläche 147 des Sensors SA50. Der Gehäusetrennabschnitt 131 und die SA-Stufenfläche 147 stehen in engem Kontakt miteinander, um die Dichtheit des Abschnitts zu verbessern, der den SA-Aufnahmebereich 150 und den Messflusspfad 32 trennt. Die SA-Stufenfläche 147 ist eine ebene Fläche, die sich gerade in eine Richtung erstreckt, die die Höhenrichtung Y schneidet. In der vorliegenden Ausführungsform verlaufen die Gehäusestufenfläche 137 und die SA-Stufenfläche 147 nicht parallel, und die SA-Stufenfläche 147 ist in Bezug auf die Gehäusestufenfläche 137 geneigt. Selbst wenn die SA-Stufenfläche 147 und die Gehäusestufenfläche 137 nicht parallel zueinander verlaufen, wie oben beschrieben, ist der Gehäusetrennabschnitt 131 in Kontakt mit der SA-Stufenfläche 147, wodurch die Dichtheit in dem Abschnitt verbessert wird, in dem die äußere Fläche des Sensors SA50 und die innere Fläche des ersten Gehäuseabschnitts 151 miteinander in Kontakt sind. Die Gehäusestufenfläche 137 und die SA-Stufenfläche 147 können sich parallel erstrecken.
Der Gehäusetrennabschnitt 131 ist orthogonal zur Gehäusestufenfläche 137. In diesem Fall verlaufen die Mittellinie CL11 des Gehäusetrennabschnitts 131 und die Gehäusestufenfläche 137 orthogonal zueinander. Der Gehäusetrennabschnitt 131 hat eine sich verjüngende Form. Die Richtungen X und Z, die orthogonal zur Höhenrichtung Y verlaufen, sind die Breitenrichtungen für den Gehäusetrennabschnitt 131. Die Breitendimension des Gehäusetrennabschnitts 131 in Breitenrichtung verringert sich graduell in Richtung des Spitzenendabschnitts des Gehäusetrennabschnitts 131. Die beiden Seitenflächen des Gehäusetrennabschnitts 131 erstrecken sich gerade von der Gehäusestufenfläche 137. In diesem Fall hat der Gehäusetrennabschnitt 131 einen sich verjüngenden Querschnitt.
Der Gehäusetrennabschnitt 131 ist an einer Position auf der Seite der Gehäuseflusspfadfläche 135 relativ zu der Gehäuseaufnahmefläche 136 auf der Gehäusestufenfläche 137 angeordnet. In diesem Fall ist in den zur Höhenrichtung Y orthogonalen Richtungen X und Z die Trennungsdistanz zwischen dem Gehäusetrennabschnitt 131 und der Gehäuseaufnahmefläche 136 kleiner als die Trennungsdistanz zwischen dem Gehäusetrennabschnitt 131 und der Gehäuseflusspfadfläche 135.
Ein Abschnitt der Gehäusestufenfläche 137 auf der Seite der Gehäuseflusspfadfläche 135 relativ zu dem Gehäusetrennabschnitt 131 bildet zusammen mit der Gehäuseflusspfadfläche 135 den Messflusspfad 32. Ein Abschnitt auf der Seite der Gehäuseaufnahmefläche 136 relativ zum Gehäusetrennabschnitt 131 bildet zusammen mit der Gehäuseaufnahmefläche 136 den SA-Aufnahmebereich 150.
Ein Abschnitt der SA-Stufenfläche 147 auf der Seite der SA-Flusspfadfläche 145 relativ zu dem Gehäusetrennabschnitt 131 bildet zusammen mit der SA-Flusspfadfläche 145 den Messflusspfad 32. Ein Abschnitt auf der Seite der SA-Aufnahmefläche 146 relativ zum Gehäusetrennabschnitt 131 bildet zusammen mit der SA-Aufnahmefläche 146 den SA-Aufnahmebereich 150.
Als nächstes wird das Herstellungsverfahren des Luftflussmessers 20 unter Bezugnahme auf die 18 bis 21 beschrieben, wobei der Schwerpunkt auf einem Vorgang zur Befestigung des Sensors SA50 am Gehäuse 21 liegt.
Der Herstellungsprozess des Luftflussmessers 20 enthält einen Herstellungsprozess des Sensors SA50 und einen Herstellungsprozess des ersten Gehäuseabschnitts 151 durch Harzformung oder dergleichen. Nach diesen Prozessen wird ein Montageprozess des Sensors SA50 mit dem ersten Gehäuseabschnitt 151 ausgeführt.
Bei dem Herstellungsprozess des Sensors SA50 wird der Formabschnitt 55 des Sensors SA50 unter Verwendung einer SA-Formvorrichtung 580 (siehe 33 und 34), die später beschrieben wird, mit Harz geformt. In diesem Prozess wird ein wärmehärtendes Harz auf Epoxidbasis, wie z.B. ein Epoxidharz, als Harzmaterial zur Bildung des Formabschnitts 55 verwendet.
Im Herstellungsprozess des ersten Gehäuseabschnitts 151 wird der erste Gehäuseabschnitt 151 unter Verwendung einer Gehäuseformvorrichtung oder dergleichen mit Harz ausgeformt. In diesem Prozess wird ein thermoplastisches Harz wie Polybutylenterephthalat (PBT) oder Polyphenylensulfid (PPS) als Harzmaterial verwendet, das den ersten Gehäuseabschnitt 151 bildet. Der erste Gehäuseabschnitt 151, der auf diese Weise aus dem thermoplastischen Harz gebildet wird, ist weicher als der Formabschnitt 55, der aus dem wärmehärtenden Harz gebildet wird. Mit anderen Worten, der erste Gehäuseabschnitt 151 hat eine geringere Härte und eine höhere Flexibilität als der Formabschnitt 55.
Es besteht die Befürchtung, dass am äußeren Umfangsrand des Messausgangs 36 aufgrund des Harzformens des ersten Gehäuseabschnitts 151 ein Grat erzeugt wird. Andererseits wird die Form und Größe des Messausgangs 36 so festgelegt, dass die Längendimension des äußeren Umfangsrands des Messausgangs 36 so klein wie möglich wird. Dies ermöglicht es, die Möglichkeit der Erzeugung eines Grates am äußeren Umfangsrand des Messausgangs 36 zu reduzieren und die Menge der am äußeren Umfangsrand des Messausgangs 36 erzeugten Grate zu verringern. Daher ist es für den Messausgang 36 möglich, den Arbeitsaufwand für das Entfernen des Grats zu reduzieren und den aus dem Messausgang 36 austretenden Luftfluss weniger wahrscheinlich durch den Grat zu stören. Da die Längendimension des äußeren Umfangsrandes des Messausgangs 36 so klein wie möglich ist, ist die Flussgeschwindigkeit der aus dem Messausgang 36 ausfließenden Luft tendenziell hoch. In diesem Fall ist es weniger wahrscheinlich, dass die Luft aufgrund der Kraft der durch den Ansaugkanal 12 fließenden Luft Schwierigkeiten hat, aus dem Messausgang 36 zu fließen. Daher ist es unwahrscheinlicher, dass sich die Flussgeschwindigkeit im Messflusspfad 32 verringert, so dass die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 verbessert wird.
Im Montageprozess des Sensors SA50 am ersten Gehäuseabschnitt 151, wie in 18 gezeigt, wird der Sensor SA50 in den ersten Gehäuseabschnitt 151 von dem Gehäuseöffnungsabschnitt 151a aus eingesetzt (siehe 19). Wie in 20 dargestellt, wird der Sensor SA50, nachdem die SA-Stufenfläche 147 mit dem Spitzenendabschnitt des Gehäusetrennabschnitts 131 in Kontakt gekommen ist, ferner in den ersten Gehäuseabschnitt 151 in Richtung der Gehäusespitzenendseite geschoben. In diesem Fall wird der Gehäusetrennabschnitt 131 aufgrund der geringeren Härte des ersten Gehäuseabschnitts 151 gegenüber der Härte des Formabschnitts 55, wie in 21 gezeigt, so verformt, dass sein Endabschnitt an der SA-Stufenfläche 147 zerdrückt wird. In dem Gehäusetrennabschnitt 131 wird der Spitzenendabschnitt zerdrückt, so dass eine neu gebildete Spitzenendfläche leicht in engen Kontakt mit der SA-Stufenfläche 147 kommt, wodurch die Dichtheit zwischen dem Gehäusetrennabschnitt 131 und der SA-Stufenfläche 147 verbessert wird. In 17 ist ein Abschnitt des Gehäusetrennabschnitts 131, der durch den Sensor SA50 zerdrückt wird, durch eine Zweipunkt-Kettenlinie als imaginäre Linie angegeben.
Bei der Montage des Sensors SA50 besteht die Sorge, dass, wenn der Spitzenendabschnitt des Gehäusetrennabschnitts 131 durch die SA-Stufenfläche 147 zerdrückt wird, ein Fragment oder ähnliches des Gehäusetrennabschnitts 131 als zerdrückter Rückstand erzeugt wird und dieser zerdrückte Rückstand in den Messflusspfad 32 eintritt. In einem Fall, in dem der zerdrückte Rückstand, der in den Messflusspfad 32 eingetreten ist, mit dem Flusssensor 22 in Kontakt kommt oder an diesem als Fremdkörper im Messflusspfad 32 haftet, wird angenommen, dass sich die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 verringert.
Andererseits ist es in der vorliegenden Ausführungsform weniger wahrscheinlich, dass der zerdrückte Rückstand in den Messflusspfad 32 gelangt. Insbesondere ist, wie in 20 gezeigt, von den Winkeln zwischen der Mittellinie CL11 des Gehäusetrennabschnitts 131 und der SA-Stufenfläche 147 ein dem SA-Aufnahmebereich 150 zugewandter Aufnahmeseitenwinkel 012 größer als ein dem Messflusspfad 32 zugewandter Flusspfadseitenwinkel θ11. Das heißt, die Beziehung 012 > 011 ist hergestellt. In dieser Konfiguration fällt der Spitzenendabschnitt des Gehäusetrennabschnitts 131 leicht in Richtung der Seite des SA-Aufnahmebereichs 150 relativ zur Seite des Messflusspfads 32 oder wird zerdrückt. Aus diesem Grund gelangt der zerdrückte Rückstand, selbst wenn er erzeugt wird, kaum in den Messflusspfad 32.
Der Flusspfadseitenwinkel 011 ist ein Winkel eines Abschnitts, der der SA-Stufenfläche 147 in der äußeren Fläche des Gehäusetrennabschnitts 131 am nächsten ist, und der Aufnahmeseitenwinkel θ12 ist ein Winkel, der dem Flusspfadseitenwinkel θ11 über die Mittellinie CL11 entgegengesetzt ist.
Nachdem der Sensor SA50 mit dem ersten Gehäuseabschnitt 151 montiert ist, wird ein Formungsprozess des zweiten Gehäuseabschnitts 152 mit Harz unter Verwendung einer Gehäuseformvorrichtung oder dergleichen ausgeführt. In diesem Prozess wird die Gehäuseformvorrichtung an dem ersten Gehäuseabschnitt 151 zusammen mit dem Sensor SA50 befestigt, und ein geschmolzenes Harz, das durch Schmelzen eines Harzmaterials erhalten wurde, wird von einer Spritzformmaschine eingespritzt und in die Gehäuseformvorrichtung eingepresst. Auf diese Weise wird durch Einspritzen des geschmolzenen Harzes in die Gehäuseformvorrichtung ein Spalt zwischen dem ersten Gehäuseabschnitt 151 und dem Sensor SA50 mit dem geschmolzenen Harz gefüllt. Da in diesem Fall der Gehäusetrennabschnitt 131 in engem Kontakt mit der äußeren Fläche des Sensors SA50 steht, wie oben beschrieben, wird das geschmolzene Harz daran gehindert, durch den Spalt zwischen dem ersten Gehäuseabschnitt 151 und dem Sensor SA50 in den Messflusspfad 32 einzudringen. Der zweite Gehäuseabschnitt 152 wird durch Verfestigung des geschmolzenen Harzes innerhalb der Gehäuseformvorrichtung gebildet.
Ähnlich wie beim ersten Gehäuseabschnitt 151 wird ein thermoplastisches Harz wie Polybutylenterephthalat (PBT) oder Polyphenylensulfid (PPS) als Harzmaterial verwendet, das den zweiten Gehäuseabschnitt 152 bildet. Sowohl der erste Gehäuseabschnitt 151 als auch der zweite Gehäuseabschnitt 152 enthalten ein leitendes Kohlenstoffmaterial. Beispiele für das Kohlenstoffmaterial enthalten Kohlenstoffpulver, Kohlenstofffasern, Nanokohlenstoff, Graphen und Kohlenstoffmikropartikel.
Der erste Gehäuseabschnitt 151 lässt sich beim Aufladen leichter entladen als der zweite Gehäuseabschnitt 152. Zum Beispiel sind der Anteil und die Menge des Kohlenstoffmaterials in dem ersten Gehäuseabschnitt 151 größer als in dem zweiten Gehäuseabschnitt 152. Wenn im Gehäuse 21 ein Abschnitt, der zum Zeitpunkt des Entladens wahrscheinlich zu einem Pfad von Ladungen wird, als leitender Abschnitt bezeichnet wird, enthält der erste Gehäuseabschnitt 151 mehr leitende Abschnitte als der zweite Gehäuseabschnitt 152. Der leitende Abschnitt enthält eine Mehrzahl von Kohlenstoffpulver, Kohlenstofffasern, Nanokohlenstoff, Graphen und Kohlenstoffmikropartikeln, und Beispiele für den Nanokohlenstoff enthalten Kohlenstoffnanoröhren, Kohlenstoffnanofasern und Fulleren.
Gemäß der bisher beschriebenen Ausführungsform trennt der von der inneren Fläche des Gehäuses 21 vorstehende Gehäusetrennabschnitt 131 den Messflusspfad 32 und den SA-Aufnahmebereich 150 zwischen dem Sensor SA50 und dem Gehäuse 21. Da in dieser Konfiguration der Spitzenendabschnitt des Gehäusetrennabschnitts 131 und der Sensor SA50 leicht in engen Kontakt miteinander gebracht werden können, ist es weniger wahrscheinlich, dass ein Spalt zwischen der inneren Fläche des Gehäuses 21 und der äußeren Fläche des Sensors SA50 erzeugt wird. Daher wird, wenn der zweite Gehäuseabschnitt 152 durch Einspritzen des geschmolzenen Harzes in den SA-Aufnahmebereich 150 des ersten Gehäuseabschnitts 151 gebildet wird, das geschmolzene Harz daran gehindert, durch den Spalt zwischen dem ersten Gehäuseabschnitt 151 und dem Sensor SA50 in den Messflusspfad 32 einzudringen.
In diesem Fall ist es weniger wahrscheinlich, dass das geschmolzene Harz, das durch den Spalt zwischen dem ersten Gehäuseabschnitt 151 und dem Sensor SA50 in den Messflusspfad 32 eindringt, verfestigt wird und sich die Form des Messflusspfads 32 aufgrund des verfestigten Abschnitts ungewollt ändert. Es ist weniger wahrscheinlich, dass sich der verfestigte Abschnitt von dem ersten Gehäuseabschnitt 151 und dem Sensor SA50 im Messflusspfad 32 trennt und als Fremdkörper mit dem Flusssensor 22 in Kontakt kommt oder an diesem haftet. Daher kann unterdrückt werden, dass sich die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 verringert, wenn das geschmolzene Harz aus dem SA-Aufnahmebereich 150 in den Messflusspfad 32 gelangt. Dadurch kann die Erfassungsgenauigkeit der Flussrate durch den Flusssensor 22 und folglich die Messgenauigkeit der Flussrate durch den Luftflussmesser 20 verbessert werden.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform umgibt der Gehäusetrennabschnitt 131 ringförmig den Sensor SA50. In dieser Konfiguration kann der Gehäusetrennabschnitt 131 einen Zustand schaffen, in dem die äußere Fläche des Sensors SA50 und die innere Fläche des ersten Gehäuseabschnitts 151 über den gesamten Umfang der äußeren Fläche des Sensors SA50 in engem Kontakt zueinander stehen. Daher kann der Gehäusetrennabschnitt 131 die Dichtheit des gesamten Grenzbereichs zwischen dem Messflusspfad 32 und dem SA-Aufnahmebereich 150 verbessern.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist der Gehäusetrennabschnitt 131 an der Gehäusestufenfläche 137 an einer Position bereitgestellt, die näher an der Seite der Gehäuseflusspfadfläche 135 liegt als an der Gehäuseaufnahmefläche 136. In dieser Konfiguration ist es durch Teilen des Messflusspfads 32 und des SA-Aufnahmebereichs 150 durch den Gehäusetrennabschnitt 131 an einer Position möglichst nahe an der Seite des Messflusspfads 32 möglich, einen Abschnitt des Spalts zwischen dem ersten Gehäuseabschnitt 151 und dem Sensor SA50, der in den Messflusspfad 32 eingeschlossen ist, so klein wie möglich zu machen. Hier, im Messflusspfad 32, ist der Spalt zwischen dem ersten Gehäuseabschnitt 151 und dem Sensor SA50 ein Bereich, in dem Störungen im Luftfluss durch die Luft, die vom Messeingang 35 in Richtung des Messausgangs 36 einfließt, erzeugt werden können. Je kleiner der Spalt zwischen dem ersten Gehäuseabschnitt 151 und dem Sensor SA50 ist, desto weniger Störungen werden daher wahrscheinlich im Luftfluss im Messflusspfad 32 erzeugt, und die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 wird wahrscheinlich verbessert. Durch Bereitstellen des Gehäusetrennabschnitts 131 an einer Position, die so nahe wie möglich an der Gehäuseflusspfadfläche 135 liegt, kann daher die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 verbessert werden.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist der Aufnahmeseitenwinkel 012 größer als der Flusspfadseitenwinkel 011. In dieser Konfiguration ist es wahrscheinlich, dass, wenn der Sensor SA50 in den SA-Aufnahmebereich 150 des ersten Gehäuseabschnitts 151 eingeführt wird, der Gehäusetrennabschnitt 131 zerdrückt und verformt wird, so dass er auf der Seite des SA-Aufnahmebereichs 150 gefaltet wird oder fällt. Daher ist es weniger wahrscheinlich, dass, wenn der Gehäusetrennabschnitt 131 verformt und in engen Kontakt mit der äußeren Fläche des Sensors SA50 gebracht wird, der zerdrückte Rückstand des Gehäusetrennabschnitts 131 unbeabsichtigt in den Messflusspfad 32 gelangt. Daher kann unterdrückt werden, dass sich die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 aufgrund des Kontakts oder des Anhaftens des zerdrückten Rückstands am Flusssensor 22 im Messflusspfad 32 verringert.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist der auf der Gehäusestufenfläche 137 bereitgestellte Gehäusetrennabschnitt 131 in Kontakt mit der SA-Stufenfläche 147. Da sich in dieser Konfiguration die Gehäusestufenfläche 137 und die SA-Stufenfläche 147 in der Höhenrichtung Y schneiden und einander zugewandt sind, wird die SA-Stufenfläche 147 an dem Gehäusetrennabschnitt 131 eingehakt, wenn der Sensor SA50 in den ersten Gehäuseabschnitt 151 eingesetzt wird. Daher kann der Gehäusetrennabschnitt 131 durch einfaches Einschieben des Sensors SA50 in den ersten Gehäuseabschnitt 151 in Richtung des Messflusspfads 32 in engen Kontakt mit der SA-Stufenfläche 147 gebracht werden. Auf diese Weise kann eine Erhöhung der Arbeitsbelastung bei der Montage des Sensors SA50 in den ersten Gehäuseabschnitt 151 unterdrückt werden, während der Messflusspfad 32 und der SA-Aufnahmebereich durch den Gehäusetrennabschnitt 131 zuverlässig geteilt werden.
In der vorliegenden Ausführungsform ist die Gehäusestufenfläche 137 im ersten Gehäuseabschnitt 151 der Seite des Gehäuseöffnungsabschnitts 151a zugewandt. In dieser Konfiguration kann die SA-Stufenfläche 147 des Sensors SA50 gegen die Gehäusestufenfläche 137 gedrückt werden, indem der in den SA-Aufnahmebereich 150 eingeführte Sensor SA50 einfach von dem Gehäuseöffnungsabschnitt 151a in Richtung des Messflusspfads 32 geschoben wird. Somit ist es möglich, eine Konfiguration zu erreichen, bei der der Gehäusetrennabschnitt 131 der SA-Stufenfläche 147 leicht in engen Kontakt mit der Gehäusestufenfläche 137 gebracht werden kann.
<Beschreibung der Konfigurationsgruppe D>
Wie in 22 und 23 gezeigt, ist der Messflusspfad 32 so gekrümmt, dass sich ein Abschnitt zwischen dem Messeingang 35 und dem Messausgang 36 in Richtung des Flusssensors 22 wölbt und insgesamt eine U-Form hat. Im Messflusspfad 32 sind der Messeingang 35 und der Messausgang 36 in der Tiefenrichtung Z angeordnet. In diesem Fall entspricht die Tiefenrichtung Z der Anordnungsrichtung, und die Höhenrichtung Y ist orthogonal zur Tiefenrichtung Z. Im Messflusspfad 32 ist ein Abschnitt zwischen dem Messeingang 35 und dem Messausgang 36 so gekrümmt, dass er sich in der Höhenrichtung Y zur Gehäusebasisendseite hin wölbt.
Die innere Fläche des Gehäuses 21 hat eine äußere Messkrümmungsfläche 401 und eine innere Messkrümmungsfläche 402. Die äußere Messkrümmungsfläche 401 und die innere Messkrümmungsfläche 402 erstrecken sich entlang der Mittellinie CL4 des Messflusspfads 32. Die innere Fläche des Gehäuses 21 hat zusätzlich zu der äußeren Messkrümmungsfläche 401 und der inneren Messkrümmungsfläche 402 die vordere Messwandfläche 103 und die hintere Messwandfläche 104, wie oben beschrieben. Die äußere Messkrümmungsfläche 401 und die innere Messkrümmungsfläche 402 sind in den Richtungen Y und Z orthogonal zur Breitenrichtung X angeordnet und liegen einander gegenüber, wobei die vordere Messwandfläche 103 und die hintere Messwandfläche 104 dazwischen angeordnet sind.
Die äußere Messkrümmungsfläche 401 bildet den Messflusspfad 32 von der Außenseite der Krümmung aus und ist an der äußeren Umfangsseite des Messflusspfads 32 und des Flusssensors 22 bereitgestellt. Die äußere Messkrümmungsfläche 401 erstreckt sich zwischen dem Messeingang 35 und dem Messausgang 36. Die äußere Messkrümmungsfläche 401 ist so gekrümmt, dass ein Abschnitt zwischen dem Messeingang 35 und dem Messausgang 36 zur Seite des Flusssensors 22 hin insgesamt ausgespart ist. Die äußere Messkrümmungsfläche 401 enthält die Messdeckenfläche 102 und ist mit dem SA-Einführungsloch 107 bereitgestellt.
Die innere Messkrümmungsfläche 402 bildet den Messflusspfad 32 von der Innenseite der Krümmung aus und ist an der inneren Umfangsseite des Messflusspfads 32 bereitgestellt. Die innere Messkrümmungsfläche 402 erstreckt sich zwischen dem Messeingang 35 und dem Messausgang 36. Die innere Messkrümmungsfläche 402 ist so gekrümmt, dass ein Abschnitt zwischen dem Messeingang 35 und dem Messausgang 36 sich insgesamt zur Seite des Flusssensors 22 hin wölbt. Die innere Messkrümmungsfläche 402 hat keinen Abschnitt, der zu der Seite hin ausgespart ist, die der Messkrümmungsfläche 401 gegenüberliegt, und ihre gesamte Fläche ist in einer Vorsprungsform gekrümmt, so dass sie sich zu der äußeren Messkrümmungsfläche 401 hin wölbt. Die innere Messkrümmungsfläche 402 enthält die Messbodenfläche 101.
Wie in 23 gezeigt, enthält der Messflusspfad 32 einen Sensorpfad 405, einen stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 und einen stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407. Der Sensorpfad 405 ist ein Abschnitt, in dem der Flusssensor 22 im Messflusspfad 32 bereitgestellt ist. Der Sensorpfad 405 erstreckt sich gerade in der Tiefenrichtung Z und erstreckt sich in der Hauptflussrichtung parallel zur Winkeleinstellfläche 27a des Flanschabschnitts 27. Der stromaufwärtige gekrümmte Pfad 406 und der stromabwärtige gekrümmte Pfad 407 sind in der Tiefenrichtung Z angeordnet, und der Sensorpfad 405 ist zwischen dem stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 und dem stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 bereitgestellt und verbindet diese gekrümmten Pfade 406 und 407.
Eine den Sensorpfad 405 bildende Fläche im Gehäuse 21 enthält mindestens einen Teil der Messbodenfläche 101. In der vorliegenden Ausführungsform wird die Längendimension des Sensorpfads 405 in Tiefenrichtung Z durch die Messbodenfläche 101 definiert. Insbesondere enthält der stromaufwärtige Endabschnitt des Sensorpfads 405 den stromaufwärtigen Endabschnitt der Messbodenfläche 101, und der stromabwärtige Endabschnitt des Sensorpfads 405 enthält den stromabwärtigen Endabschnitt der Messbodenfläche 101. In diesem Fall entspricht die Längendimension des Sensorpfads 405 in Tiefenrichtung Z der Längendimension der Messbodenfläche 101. Die den Sensorpfad 405 im Gehäuse 21 bildende Fläche enthält neben mindestens einem Teil der Messbodenfläche 101 einen Teil der Messdeckenfläche 102, einen Teil der vorderen Messwandfläche 103 und einen Teil der hinteren Messwandfläche 104. In der vorliegenden Ausführungsform erstreckt sich die Messbodenfläche 101 gerade in der Tiefenrichtung Z, und die Tatsache, dass sich die Messbodenfläche 101 auf diese Weise gerade erstreckt, wird als gerader Verlauf des Sensorpfads 405 bezeichnet.
Der stromaufwärtige gekrümmte Pfad 406 erstreckt sich von dem Sensorpfad 405 in Richtung des Messeingangs 35 im Messflusspfad 32 und ist zwischen dem Sensorpfad 405 und dem Messeingang 35 bereitgestellt. Der stromaufwärtige gekrümmte Pfad 406 ist so gekrümmt, dass er sich von dem Sensorpfad 405 in Richtung des Messeingangs 35 im Gehäuse 21 erstreckt. In dem stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 ist ein stromabwärtiger Endabschnitt davon in Tiefenrichtung Z zum Sensorpfad 405 hin geöffnet, und ein stromaufwärtiger Endabschnitt davon ist in Höhenrichtung Y zum Messeingang 35 hin geöffnet. Wie oben beschrieben, schneiden sich im stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 die Öffnungsrichtung des stromaufwärtigen Endabschnitts und die Öffnungsrichtung des stromabwärtigen Endabschnitts, und der Schnittwinkel beträgt beispielsweise 90 Grad. Die innere Fläche des stromaufwärtigen gekrümmten Pfads 406 enthält einen Teil der vorderen Messwandfläche 103 und einen Teil der hinteren Messwandfläche 104.
Der stromabwärtige gekrümmte Pfad 407 erstreckt sich von dem Sensorpfad 405 in Richtung des Messausgangs 36 im Messflusspfad 32 und ist zwischen dem Sensorpfad 405 und dem Messausgang 36 bereitgestellt. Der stromabwärtige gekrümmte Pfad 407 ist so gekrümmt, dass er sich von dem Sensorpfad 405 in Richtung des Messausgangs 36 im Gehäuse 21 erstreckt. In dem stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 407 ist ein stromaufwärtiger Endabschnitt davon in Tiefenrichtung Z zum Sensorpfad 405 hin geöffnet, und ein stromabwärtiger Endabschnitt davon ist in Höhenrichtung Y zum Messausgang 36 hin geöffnet. Wie oben beschrieben, ähnlich zu dem stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406, schneiden sich im stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 die Öffnungsrichtung des stromaufwärtigen Endabschnitts und die Öffnungsrichtung des stromabwärtigen Endabschnitts, und der Schnittwinkel beträgt beispielsweise 90 Grad. Die innere Fläche des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407 enthält einen Teil der vorderen Messwandfläche 103 und einen Teil der hinteren Messwandfläche 104.
In dem Messflusspfad 32 ist der Sensorpfad 405 in einem Erfassungsmesspfad 353 enthalten. Der stromaufwärtige gekrümmte Pfad 406 ist an einer Position gegenüber dem Grenzabschnitt zwischen einem Führungsmesspfad 352 und dem Erfassungsmesspfad 353 in der Höhenrichtung Y bereitgestellt. In diesem Fall hat der stromaufwärtige gekrümmte Pfad 406 einen Teil des Führungsmesspfads 352 und einen Teil des Erfassungsmesspfads 353. Der stromabwärtige gekrümmte Pfad 407 ist an einer Position gegenüber dem Grenzabschnitt zwischen dem Erfassungsmesspfad 353 und einem Entlademesspfad 354 in der Höhenrichtung Y bereitgestellt. In diesem Fall hat der stromabwärtige gekrümmte Pfad 407 einen Teil des Erfassungsmesspfads 353 und einen Teil des Entlademesspfads 354.
Die innere Fläche des Gehäuses 21 hat eine stromaufwärtige äußere gekrümmte Fläche 411 und eine stromaufwärtige innere gekrümmte Fläche 415 als Flächen, die den stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 bilden. Die stromaufwärtige äußere gekrümmte Fläche 411 bildet den stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 von der Außenseite der Krümmung her und ist auf der äußeren Umfangsseite des stromaufwärtigen gekrümmten Pfads 406 bereitgestellt. Die stromaufwärtige äußere gekrümmte Fläche 411 erstreckt sich ausgespart entlang der Mittellinie CL4 des Messflusspfads 32 und ist so gekrümmt, dass sie sich kontinuierlich entlang dieser Mittellinie CL4 krümmt. Die stromaufwärtige äußere gekrümmte Fläche 411 erstreckt sich zwischen dem stromaufwärtigen Endabschnitt und dem stromabwärtigen Endabschnitt des stromaufwärtigen gekrümmten Pfads 406 und entspricht einer stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche.
Die stromaufwärtige innere gekrümmte Fläche 415 bildet den stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 von der Innenseite der Krümmung aus und ist auf der inneren Umfangsseite des stromaufwärtigen gekrümmten Pfads 406 bereitgestellt. Die stromaufwärtige innere gekrümmte Fläche 415 erstreckt sich so, dass sie sich entlang der Mittellinie CL4 des Messflusspfads 32 wölbt, und ist so gekrümmt, dass sie sich kontinuierlich entlang dieser Mittellinie CL4 krümmt. Die stromaufwärtige innere gekrümmte Fläche 415 erstreckt sich zwischen dem stromaufwärtigen Endabschnitt und dem stromabwärtigen Endabschnitt des stromaufwärtigen gekrümmten Pfads 406 und entspricht einer stromaufwärtigen inneren gekrümmten Fläche. Die innere Fläche des Gehäuses 21 hat neben der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 und der stromaufwärtigen inneren gekrümmten Fläche 415 als den stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 bildende Flächen einen Teil der vorderen Messwandfläche 103 und einen Teil der hinteren Messwandfläche 104.
Die innere Fläche des Gehäuses 21 hat eine stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 421 und eine stromabwärtige innere gekrümmte Fläche 425 als Flächen, die den stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 bilden. Die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 421 bildet den stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 von der Außenseite der Krümmung aus und ist auf der äußeren Umfangsseite des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407 bereitgestellt. Die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 421 erstreckt sich entlang der Mittellinie CL4 des Messflusspfads 32 und ist in einem vorbestimmten Winkel entlang dieser Mittellinie CL4 gekrümmt. Der Krümmungswinkel der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 beträgt z.B. 90 Grad.
Die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 421 hat eine stromabwärtige äußere Seitenfläche 422, eine stromabwärtige äußere Längsfläche 423 und einen stromabwärtigen äußeren inneren Eckabschnitt 424. Die stromabwärtige äußere Seitenfläche 422 erstreckt sich gerade in der Tiefenrichtung Z von dem stromaufwärtigen Endabschnitt des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407 zur stromabwärtigen Seite. Die stromabwärtige äußere Längsfläche 423 erstreckt sich gerade in der Höhenrichtung Y von dem stromabwärtigen Endabschnitt des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407 zur stromaufwärtigen Seite hin. Die stromabwärtige äußere Seitenfläche 422 und die stromabwärtige äußere Längsfläche 423 sind miteinander verbunden und bilden den stromabwärtigen äußeren inneren Eckabschnitt 424 als ein nach innen ineinander übergehendes inneres Eckabschnitt. Der stromabwärtige äußere innere Eckabschnitt 424 hat eine Form, bei der die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 421 im Wesentlichen rechtwinklig gekrümmt ist.
Die stromabwärtige innere gekrümmte Fläche 425 bildet den stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 von der Innenseite der Krümmung aus und ist an der inneren Umfangsseite des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407 bereitgestellt. Die stromabwärtige innere Fläche 425 erstreckt sich wulstartig entlang der Mittellinie CL4 des Messflusspfads 32 und ist so gekrümmt, dass sie sich kontinuierlich entlang dieser Mittellinie CL4 krümmt. Die stromabwärtige innere gekrümmte Fläche 425 erstreckt sich zwischen dem stromaufwärtigen Endabschnitt und dem stromabwärtigen Endabschnitt des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407 und entspricht einer stromabwärtigen inneren gekrümmten Fläche. Die innere Fläche des Gehäuses 21 hat neben der stromabwärtigen äußeren Messwandfläche 421 und der stromabwärtigen inneren gekrümmten Fläche 425 einen Teil der vorderen Messwandfläche 103 und einen Teil der hinteren Messwandfläche 104 als Flächen, die den stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 bilden.
Im Messflusspfad 32 enthält die äußere Messkrümmungsfläche 401 die stromaufwärtige äußere gekrümmte Fläche 411 und die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 421. Die stromaufwärtige äußere gekrümmte Fläche 411 und die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 421 enthalten jeweils einen Teil der Messdeckenfläche 102. Die innere Messkrümmungsfläche 402 enthält zusätzlich zu der oben beschriebenen Messbodenfläche 101 die stromaufwärtige innere gekrümmte Fläche 415 und die stromabwärtige innere gekrümmte Fläche 425.
Im Messflusspfad 32 ist der Wölbungsgrad der stromabwärtigen inneren gekrümmten Fläche 425 in Richtung der Seite, an der der Messflusspfad 32 erweitert ist, kleiner als der Wölbungsgrad der stromaufwärtigen inneren gekrümmten Fläche 415 in Richtung der Seite, an der der Messflusspfad 32 erweitert ist. Insbesondere in der Richtung, in der sich die Mittellinie CL4 des Messflusspfads 32 erstreckt, ist die Längendimension der stromabwärtigen inneren gekrümmten Fläche 425 größer als die Längendimension der stromaufwärtigen inneren gekrümmten Fläche 415. In diesem Fall ist ein Krümmungsradius R32 der stromabwärtigen inneren gekrümmten Fläche 425 größer als ein Krümmungsradius R31 der stromaufwärtigen inneren gekrümmten Fläche 415. Das heißt, die Beziehung R32 > R31 ist gegeben. Mit anderen Worten, die Krümmung der stromabwärtigen inneren Fläche 425 ist geringer als die Krümmung der stromaufwärtigen inneren Fläche 415.
Im Messflusspfad 32 ist der Aussparungsgrad der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 zu der Seite hin, an der der Messflusspfad 32 erweitert ist, größer als der Aussparungsgrad der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 zu der Seite hin, an der der Messflusspfad 32 erweitert ist. Insbesondere ist die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 421 in einem rechten Winkel gekrümmt, während die stromaufwärtige äußere gekrümmte Fläche 411 gekrümmt ist. In diesem Fall ist in der Richtung, in der sich die Mittellinie CL4 des Messflusspfads 32 erstreckt, die Längendimension des gekrümmten Abschnitts der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 sehr klein und kleiner als die Längendimension der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411. Angenommen, der Krümmungsradius kann für den gekrümmten Abschnitt in der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 berechnet werden, so ist dieser Krümmungsradius im Wesentlichen Null und kleiner als der Krümmungsradius R33 der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411. In diesem Fall ist die Krümmung der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 schärfer als die Krümmung der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411.
Im stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 ist der Aussparungsgrad der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 in Richtung der Seite, an der der Messflusspfad 32 erweitert ist, kleiner als der Wölbungsgrad der stromaufwärtigen inneren gekrümmten Fläche 415 in Richtung der Seite, an der der Messflusspfad 32 erweitert ist. Insbesondere in der Richtung, in der sich die Mittellinie CL4 des Messflusspfads 32 erstreckt, ist die Längendimension der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 größer als die Längendimension der stromaufwärtigen inneren gekrümmten Fläche 415. In diesem Fall ist der Krümmungsradius R33 der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 größer als ein Krümmungsradius R31 der stromaufwärtigen inneren gekrümmten Fläche 415. Das heißt, die Beziehung R33 > R31 ist gegeben.
In dem stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 ist der Aussparungsgrad der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 in Richtung der Seite, an der der Messflusspfad 32 erweitert ist, größer als der Wölbungsgrad der stromabwärtigen inneren gekrümmten Fläche 425 in Richtung der Seite, an der der Messflusspfad 32 erweitert ist. Insbesondere ist in der Richtung, in der sich die Mittellinie CL4 des Messflusspfads 32 erstreckt, die Längendimension der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 kleiner als die Längendimension der stromabwärtigen inneren gekrümmten Fläche 425.
Da im stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 der Aussparungsgrad der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 größer ist als der Wölbungsgrad der stromabwärtigen inneren gekrümmten Fläche 425, ist die Querschnittsfläche des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407 in der Querschnittsfläche S4 des Messflusspfads 32 so groß wie möglich. Insbesondere ist in der Richtung orthogonal sowohl zur Mittellinie CL4 als auch zur Breitenrichtung X des Messflusspfads 32 eine Trennungsdistanz L35b zwischen der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 und der stromabwärtigen inneren gekrümmten Fläche 425 größer als eine Trennungsdistanz L35a zwischen der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 und der stromaufwärtigen inneren gekrümmten Fläche 415. Das heißt, die Beziehung L35b > L35a ist gegeben.
Die Trennungsdistanz L35b zwischen der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 und der stromabwärtigen inneren gekrümmten Fläche 425 ist eine Trennungsdistanz in einem Abschnitt, in dem die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 421 und die stromabwärtige innere gekrümmte Fläche 425 in dem stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 am weitesten voneinander getrennt sind. Der Abschnitt, in dem die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 421 und die stromabwärtige innere gekrümmte Fläche 425 am weitesten voneinander getrennt sind, ist beispielsweise ein Abschnitt, in dem der stromabwärtige äußere innere Eckabschnitt 424 der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 und der mittige Abschnitt der stromabwärtigen inneren gekrümmten Fläche 425 einander gegenüberliegen. Die Trennungsdistanz L35a zwischen der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 und der stromaufwärtigen inneren gekrümmten Fläche 415 ist eine Trennungsdistanz in einem Abschnitt, in dem die stromaufwärtige äußere gekrümmte Fläche 411 und die stromaufwärtige innere gekrümmte Fläche 415 im stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 am weitesten voneinander entfernt sind. Der Abschnitt, in dem die stromaufwärtige äußere gekrümmte Fläche 411 und die stromaufwärtige innere gekrümmte Fläche 415 am weitesten voneinander getrennt sind, ist beispielsweise ein Abschnitt, in dem der mittige Abschnitt der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 und der mittige Abschnitt der stromaufwärtigen inneren gekrümmten Fläche 415 einander gegenüberliegen.
Bezüglich des Messflusspfads 32 wird eine Anordnungslinie CL31 als eine imaginäre Gerade angenommen, die durch den Flusssensor 22 verläuft und sich in Tiefenrichtung Z erstreckt. Die Anordnungslinie CL31 verläuft durch die Mitte CO1 des Wärmewiderstandselements 71 des Flusssensors 22 und ist orthogonal zu den beiden Mittellinien CL1 und CL5 des Wärmewiderstandselements 71. Bezüglich der Anordnungslinie CL31 entspricht die Tiefenrichtung Z der Anordnungsrichtung des stromaufwärtigen gekrümmten Pfads 406 und des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407. Im Sensorpfad 405 erstrecken sich die Anordnungslinie CL31 und die Mittellinie CL4 des Messflusspfads 32 parallel. Die Anordnungslinie CL31 erstreckt sich parallel zu der Winkeleinstellfläche 27a des Gehäuses 21.
Die Anordnungslinie CL31 verläuft jeweils durch den Sensorpfad 405, den stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 und den stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 und schneidet jeweils die stromaufwärtige äußere gekrümmte Fläche 411 und die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 421. In der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 schneidet die Anordnungslinie CL31 die stromabwärtige äußere Längsfläche 423. Der Sensorpfad 405 erstreckt sich gerade entlang der Anordnungslinie CL31. Auf der Anordnungslinie CL31 ist eine Trennungsdistanz L31b zwischen dem Flusssensor 22 und der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 größer als eine Trennungsdistanz L31a zwischen dem Flusssensor 22 und der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411. Das heißt, die Beziehung L31b > L31a ist gegeben. Auf diese Weise wird der Flusssensor 22 an einer Position bereitgestellt, die näher an der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 liegt. Die Trennungsdistanzen L31a und L31b sind Distanzen zur Mittellinie CL5 des Wärmewiderstandselements 71.
Da im Sensor SA50 der Sensorträgerabschnitt 51 an einer Position näher an der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 bereitgestellt ist, ist der Flusssensor 22 an einer Position näher an der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 bereitgestellt. Auf der Anordnungslinie CL31 ist eine Trennungsdistanz L32b zwischen dem Sensorträgerabschnitt 51 und der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 größer als eine Trennungsdistanz L32a zwischen dem Sensorträgerabschnitt 51 und der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411. Das heißt, die Beziehung L32b > L32a ist gegeben. Im Messflusspfad 32 ist die Trennungsdistanz zwischen dem Sensorträgerabschnitt 51 und der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 in der Tiefenrichtung Z größer als die Trennungsdistanz zwischen dem Sensorträgerabschnitt 51 und der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 in der Tiefenrichtung Z auch in einem anderen Abschnitt als dem auf der Anordnungslinie CL31.
In 23 ist die Trennungsdistanz zwischen einem Abschnitt der Formaufwärtsfläche 55c des Sensorträgerabschnitts 51, durch den die Anordnungslinie CL31 verläuft, und der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 als Trennungsdistanz L32a definiert. Die Trennungsdistanz zwischen einem Abschnitt der Formabwärtsfläche 55d des Sensorträgerabschnitts 51, durch den die Anordnungslinie CL31 verläuft, und der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 ist als Trennungsdistanz L32b definiert.
Der Sensorpfad 405 ist an einer Position näher an der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 zwischen der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 und der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 bereitgestellt. In diesem Fall ist auf der Anordnungslinie L31 eine Trennungsdistanz L33b zwischen dem Sensorpfad 405 und der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 größer als eine Trennungsdistanz L33a zwischen dem Sensorpfad 405 und der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411. Das heißt, die Beziehung L33b > L33a ist gegeben.
Der Flusssensor 22 ist an einer Position näher am stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 im Sensorpfad 405 bereitgestellt. In diesem Fall ist auf der Anordnungslinie L31 eine Trennungsdistanz L34b zwischen dem Flusssensor 22 und dem stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 größer als eine Trennungsdistanz L34a zwischen dem Flusssensor 22 und dem stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406. Das heißt, die Beziehung L34b > L34a ist gegeben. Die Summe aus der Trennungsdistanz L34a und der Trennungsdistanz L34b ist die Längendimension des Sensorpfads 405 in Tiefenrichtung Z.
Wie oben beschrieben, enthält das Gehäuse 21 die in 24 und 25 dargestellten Verengungsabschnitte 111 und 112. Diese Verengungsabschnitte 111 und 112 sind an den Messwandflächen 103 und 104 bereitgestellt und bilden einen Teil der Messwandflächen 103 und 104. 24 und 25 veranschaulichen einen Anordnungsquerschnitt CS41. Der Anordnungsquerschnitt CS41 ist ein Querschnitt, der sich entlang der Anordnungslinie CL41 erstreckt und sich in eine Richtung erstreckt, in der die Messwandflächen 103 und 104 angeordnet sind. Der Anordnungsquerschnitt CS41 ist orthogonal zur Höhenrichtung Y.
Die vordere Messwandfläche 103 enthält eine vordere Verengungsfläche 431, eine vordere Ausdehnungsfläche 432, eine vordere Verengungsaufwärtsfläche 433 und eine vordere Ausdehnungsabwärtsfläche 434. Die vordere Verengungsfläche 431 und die vordere Ausdehnungsfläche 432 werden durch den vorderen Verengungsabschnitt 111 gebildet und sind in der äußeren Fläche des vorderen Verengungsabschnitts 111 enthalten. Das heißt, der vordere Verengungsabschnitt 111 hat die vordere Verengungsfläche 431 und die vordere Ausdehnungsfläche 432. In dem vorderen Verengungsabschnitt 111 erstreckt sich die vordere Verengungsfläche 431 in der Tiefenrichtung Z von dem vorderen oberen Abschnitt lila in Richtung des stromaufwärtigen gekrümmten Pfads 406, und die vordere Ausdehnungsfläche 432 erstreckt sich in der Tiefenrichtung Z von dem vorderen oberen Abschnitt lila in Richtung des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407. Der vordere obere Abschnitt 111a ist ein Grenzabschnitt zwischen der vorderen Verengungsfläche 431 und der vorderen Ausdehnungsfläche 432.
Die vordere Verengungsfläche 431 ist in Bezug auf die Mittellinie CL4 des Messflusspfads 32 im Erfassungsmesspfad 353 geneigt und ist der Seite der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 zugewandt. Die vordere Verengungsfläche 431 reduziert und verengt graduell den Messflusspfad 32 von dem Messeingang 35 in Richtung des Flusssensors 22. Die Querschnittsfläche S4 des Messflusspfads 32 verringert sich graduell von dem stromaufwärtigen Endabschnitt der vorderen Verengungsfläche 431 in Richtung des vorderen oberen Abschnitts lila. Die vordere Verengungsfläche 431 ist so gekrümmt, dass sich der Abschnitt zwischen dem stromaufwärtigen Endabschnitt und dem stromabwärtigen Endabschnitt davon in Richtung der Mittellinie CL4 des Messflusspfads 32 wölbt.
Die vordere Ausdehnungsfläche 432 ist in Bezug auf die Mittellinie CL4 des Messflusspfads 32 im Erfassungsmesspfad 353 geneigt und ist der Seite der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 zugewandt. Die vordere Ausdehnungsfläche 432 erweitert graduell den Messflusspfad 32 von der Seite des Flusssensors 22 in Richtung des Messausgangs 36. Die Querschnittsfläche S4 des Messflusspfads 32 vergrößert sich graduell von dem vorderen oberen Abschnitt 111a in Richtung des stromabwärtigen Endabschnitts der vorderen Ausdehnungsfläche 432. Die vordere Ausdehnungsfläche 432 ist so gekrümmt, dass sich der Abschnitt zwischen dem stromaufwärtigen Endabschnitt und dem stromabwärtigen Endabschnitt davon in Richtung der Mittellinie CL4 des Messflusspfads 32 wölbt.
Die vordere Verengungsaufwärtsfläche 433 erstreckt sich geradlinig parallel zur Anordnungslinie CL31 von dem stromaufwärtigen Endabschnitt der vorderen Verengungsfläche 431 in Richtung des Messeingangs 35. Die vordere Verengungsaufwärtsfläche 433 ist zwischen der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 und der vorderen Verengungsfläche 431 im stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 bereitgestellt und erstreckt sich zwischen der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 und der vorderen Verengungsfläche 431. Die vordere Ausdehnungsabwärtsfläche 434 erstreckt sich von dem vorderen stromabwärtigen Endabschnitt der vorderen Ausdehnungsfläche 432 geradlinig parallel zu der Anordnungslinie CL31 in Richtung des Messausgangs 36. Die vordere Ausdehnungsabwärtsfläche 434 ist zwischen der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 und der vorderen Ausdehnungsfläche 432 im stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 bereitgestellt und erstreckt sich zwischen der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 und der vorderen Ausdehnungsfläche 432. Die vordere Verengungsaufwärtsfläche 433 und die vordere Ausdehnungsabwärtsfläche 434 sind in der Tiefenrichtung Z angeordnet und sind durch überlappende Positionen in der Breitenrichtung X bündig zueinander.
Die hintere Messwandfläche 104 hat eine hintere Verengungsfläche 441, eine hintere Ausdehnungsfläche 442, eine hintere Verengungsaufwärtsfläche 443 und eine hintere Ausdehnungsabwärtsfläche 444. Die hintere Verengungsfläche 441 und die hintere Ausdehnungsfläche 442 werden durch den hinteren Verengungsabschnitt 112 gebildet und sind in der äußeren Fläche des hinteren Verengungsabschnitts 112 enthalten. Das heißt, der hintere Verengungsabschnitt 112 hat die hintere Verengungsfläche 441 und die hintere Ausdehnungsfläche 442. In dem hinteren Verengungsabschnitt 112 erstreckt sich die hintere Verengungsfläche 441 in der Tiefenrichtung Z von dem hinteren oberen Abschnitt 112a in Richtung des stromaufwärtigen gekrümmten Pfads 406, und die hintere Ausdehnungsfläche 442 erstreckt sich in der Tiefenrichtung Z von dem hinteren oberen Abschnitt 112a in Richtung des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407. Der hintere obere Abschnitt 112a ist ein Grenzabschnitt zwischen der hinteren Verengungsfläche 441 und der hinteren Ausdehnungsfläche 442.
Die hintere Verengungsfläche 441 ist in Bezug auf die Mittellinie CL4 des Messflusspfads 32 im Erfassungsmesspfad 353 geneigt und ist der Seite der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 zugewandt. Die hintere Verengungsfläche 441 reduziert und verengt graduell den Messflusspfad 32 vom Messeingang 35 in Richtung des Flusssensors 22. Die Querschnittsfläche S4 des Messflusspfads 32 verringert sich graduell vom hinteren Endabschnitt der hinteren Verengungsfläche 441 in Richtung des hinteren oberen Abschnitts 112a. Die hintere Verengungsfläche 441 ist so gekrümmt, dass sich der Abschnitt zwischen dem stromaufwärtigen Endabschnitt und dem stromabwärtigen Endabschnitt davon in Richtung der Mittellinie CL4 des Messflusspfads 32 wölbt.
Die hintere Ausdehnungsfläche 442 ist in Bezug auf die Mittellinie CL4 des Messflusspfads 32 im Erfassungsmesspfad 353 geneigt und ist der Seite der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 zugewandt. Die hintere Ausdehnungsfläche 442 erweitert graduell den Messflusspfad 32 von der Seite des Flusssensors 22 in Richtung des Messausgangs 36. Die Querschnittsfläche S4 des Messflusspfads 32 vergrößert sich graduell von dem hinteren oberen Abschnitt 112a in Richtung des stromabwärtigen Endabschnitts der hinteren Ausdehnungsfläche 442. Die hintere Ausdehnungsfläche 442 ist so gekrümmt, dass sich der Abschnitt zwischen dem stromaufwärtigen Endabschnitt und dem stromabwärtigen Endabschnitt davon in Richtung der Mittellinie CL4 des Messflusspfads 32 wölbt.
Die hintere Verengungsaufwärtsfläche 443 erstreckt sich vom stromaufwärtigen Endabschnitt der hinteren Verengungsfläche 441 geradlinig parallel zu der Anordnungslinie CL31 in Richtung des Messeingangs 35. Die hintere Verengungsaufwärtsfläche 443 ist zwischen der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 und der vorderen Verengungsfläche 431 im stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 bereitgestellt und erstreckt sich zwischen der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 und der vorderen Verengungsfläche 431. Die hintere Ausdehnungsabwärtsfläche 444 erstreckt sich geradlinig parallel zu der Anordnungslinie CL31 von dem stromabwärtigen Endabschnitt der hinteren Ausdehnungsfläche 442 in Richtung des Messausgangs 36. Die hintere Ausdehnungsabwärtsfläche 444 ist zwischen der äußeren gekrümmten Fläche 421 und der hinteren Ausdehnungsfläche 442 in dem stromabwärtigen Pfad 407 bereitgestellt und erstreckt sich zwischen der äußeren gekrümmten Fläche 421 und der hinteren Ausdehnungsfläche 442. Die hintere Verengungsaufwärtsfläche 443 und die hintere Ausdehnungsabwärtsfläche 444 sind in der Tiefenrichtung Z angeordnet und sind durch überlappende Positionen in der Breitenrichtung X bündig zueinander.
Die Verengungsabschnitte 111 und 112 entsprechen den Messverengungsabschnitten. Die vordere Verengungsfläche 431 und die hintere Verengungsfläche 441 entsprechen Messverengungsflächen, und die vordere Ausdehnungsfläche 432 und die hintere Ausdehnungsfläche 442 entsprechen Messausdehnungsflächen. Wie oben beschrieben, sind die Mitte CO1, der vordere obere Abschnitt 111a und der hintere obere Abschnitt 112a des Wärmewiderstandselements 71 in der Breitenrichtung X angeordnet, und der vordere obere Abschnitt 111a und der hintere obere Abschnitt 112a sind auf der Mittellinie CL5 des Wärmewiderstandselements 71 angeordnet.
In der Tiefenrichtung Z, in der sich die Anordnungslinie CL31 erstreckt, sind eine Längendimension W31a des vorderen Verengungsabschnitts 111 und eine Längendimension W31b des hinteren Verengungsabschnitts 112 gleich. In dem vorderen Verengungsabschnitt 111 ist eine Längendimension W32a der vorderen Verengungsfläche 431 in der Tiefenrichtung Z kleiner als eine Längendimension W33a der vorderen Ausdehnungsfläche 432 in der Tiefenrichtung Z. In dem hinteren Verengungsabschnitt 112 ist eine Längendimension W32b der hinteren Verengungsfläche 441 in der Tiefenrichtung Z kleiner als eine Längendimension W33b der hinteren Ausdehnungsfläche 442 in der Tiefenrichtung Z. In den Verengungsabschnitten 111 und 112 sind die Längendimension W32a der vorderen Verengungsfläche 431 und die Längendimension W32b der hinteren Verengungsfläche 441 gleich, und die Längendimension W33a der vorderen Ausdehnungsfläche 432 und die Längendimension W33b der hinteren Ausdehnungsfläche 442 sind gleich.
Der vordere Verengungsabschnitt 111 ist an einer Position bereitgestellt, die näher an dem stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 in der Tiefenrichtung Z liegt. In diesem Fall ist auf der Anordnungslinie CL31 eine Trennungsdistanz W34a zwischen dem vorderen Verengungsabschnitt 111 und der stromaufwärtigen äußeren Verengungsfläche 411 größer als eine Trennungsdistanz W35a zwischen dem vorderen Verengungsabschnitt 111 und der stromabwärtigen äußeren Verengungsfläche 421. Ähnlich wie der vordere Verengungsabschnitt 111 ist der hintere Verengungsabschnitt 112 an einer Position näher am stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 in der Tiefenrichtung Z bereitgestellt. In diesem Fall ist auf der Anordnungslinie CL31 eine Trennungsdistanz W34b zwischen dem hinteren Verengungsabschnitt 112 und der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 größer als eine Trennungsdistanz W35b zwischen dem hinteren Verengungsabschnitt 112 und der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421.
Als Positionsbeziehung zwischen der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 und den Verengungsabschnitten 111 und 112 sind die Trennungsdistanz W34a und die Trennungsdistanz W34b gleich. Als Positionsbeziehung zwischen der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 und den Verengungsabschnitten 111 und 112 sind die Trennungsdistanz W35a und die Trennungsdistanz W35b gleich.
Im Messflusspfad 32 variiert die Messbreitendimension W1 (siehe 15) der vorderen Messwandfläche 103 und der hinteren Messwandfläche 104 in Abhängigkeit von der Position. Diese Messbreitendimension W1 ist unter dem Sensorpfad 405, dem stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 und dem stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 unterschiedlich und nicht in jedem der Sensorpfade 405, dem stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 und dem stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 gleich. Eine Trennungsdistanz D34 zwischen der vorderen Verengungsaufwärtsfläche 433 und der hinteren Verengungsaufwärtsfläche 443 im stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 ist jedoch die gleiche wie eine Trennungsdistanz D38 zwischen der vorderen Ausdehnungsabwärtsfläche 434 und der hinteren Ausdehnungsabwärtsfläche 444 im stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407.
Der Sensorträgerabschnitt 51 ist an einer mittigen Position zwischen der vorderen Verengungsaufwärtsfläche 433 und der hinteren Verengungsaufwärtsfläche 443 im stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 bereitgestellt. Hier wird eine Mittellinie CL32 des Sensors SA50 angenommen. Diese Mittellinie CL32 ist eine gerade imaginäre Linie, die durch die Mitte des Sensorträgerabschnitts 51 in der Breitenrichtung X auf der Mittellinie CL5 des Wärmewiderstandselements 71 verläuft, orthogonal zur Mittellinie CL5 ist und sich in der Tiefenrichtung Z erstreckt. Diese Mittellinie CL32 erstreckt sich parallel zur Anordnungslinie CL31. In diesem Fall ist im stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 eine Trennungsdistanz D31a zwischen der Mittellinie CL32 und der vorderen Verengungsaufwärtsfläche 433 gleich einer Trennungsdistanz D31b zwischen der Mittellinie CL32 und der hinteren Verengungsaufwärtsfläche 443.
Der Sensorträgerabschnitt 51 ist auch an der mittigen Position zwischen der vorderen Ausdehnungsabwärtsfläche 434 und der hinteren Ausdehnungsabwärtsfläche 444 in dem stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 bereitgestellt. In dem stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 ist eine Trennungsdistanz D35a zwischen der Mittellinie CL32 und der vorderen Ausdehnungsabwärtsfläche 434 gleich einer Trennungsdistanz D35b zwischen der Mittellinie CL32 und der hinteren Ausdehnungsabwärtsfläche 444. Als Positionsbeziehung zwischen der vorderen Messwandfläche 103 und dem Sensorträgerabschnitt 51 sind die Trennungsdistanz D31a und die Trennungsdistanz D35a gleich. Als Positionsbeziehung zwischen der hinteren Messwandfläche 104 und dem Sensorträgerabschnitt 51 sind die Trennungsdistanz D31b und die Trennungsdistanz D35b gleich.
An der vorderen Messwandfläche 103 sind, da die vordere Verengungsaufwärtsfläche 433 und die vordere Ausdehnungsabwärtsfläche 434 bündig zueinander sind, die Vorsprungdimension des vorderen Verengungsabschnitts 111 im stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 und die Vorsprungdimension des vorderen Verengungsabschnitts 111 im stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 gleich. Insbesondere sind eine Vorsprungdimension D32a des vorderen oberen Abschnitts lila in Bezug auf die vordere Verengungsaufwärtsfläche 433 und eine Vorsprungdimension D36a des vorderen oberen Abschnitts lila in Bezug auf die vordere Ausdehnungsabwärtsfläche 434 gleich groß.
Die Vorsprungdimension der vorderen Verengungsfläche 431 in Bezug auf die vordere Verengungsaufwärtsfläche 433 erhöht sich graduell von der vorderen Verengungsaufwärtsfläche 433 in Richtung des vorderen oberen Abschnitts lila. Diese Erhöhungsrate erhöht sich graduell von der vorderen Verengungsaufwärtsfläche 433 in Richtung des vorderen oberen Abschnitts lila, und daher ist die vordere Verengungsfläche 431 eine gekrümmte Fläche. Die Vorsprungdimension der vorderen Ausdehnungsfläche 432 in Bezug auf die vordere Ausdehnungsabwärtsfläche 434 verringert sich graduell von dem vorderen oberen Abschnitt lila in Richtung der vorderen Ausdehnungsabwärtsfläche 434. Diese Verringerungsrate erhöht sich graduell von dem vorderen oberen Abschnitt 111a in Richtung der vorderen Ausdehnungsabwärtsfläche 434, und daher ist die vordere Ausdehnungsfläche 432 eine gekrümmte Fläche.
Wie oben beschrieben, ist im vorderen Verengungsabschnitt 111 die Längendimension W33a der vorderen Ausdehnungsfläche 432 größer als die Längendimension W32a der vorderen Verengungsfläche 431. In diesem Fall ist die Verringerungsrate der Vorsprungdimension der vorderen Ausdehnungsfläche 432 von dem vorderen oberen Abschnitt lila in Richtung der vorderen Ausdehnungsabwärtsfläche 434 kleiner als die Erhöhungsrate der Vorsprungdimension der vorderen Verengungsfläche 431 von der vorderen Verengungsaufwärtsfläche 433 in Richtung des vorderen oberen Abschnitts lila. Die vordere Verengungsfläche 431 und die vordere Ausdehnungsfläche 432 sind kontinuierlich gekrümmte Flächen, und eine tangentiale Linie der vorderen Verengungsfläche 431 und eine tangentiale Linie der vorderen Ausdehnungsfläche 432 erstrecken sich beide parallel zu der Anordnungslinie CL31 im vorderen oberen Abschnitt 111a.
In Bezug auf den vorderen Verengungsabschnitt 111 wird ein Verhältnis zwischen der Längendimension W32a der vorderen Verengungsfläche 431 und einer Vorsprungdimension D32a auf der verengenden Seite des vorderen oberen Abschnitts lila als eine vordere Verengungsrate bezeichnet, und ein Verhältnis zwischen der Längendimension W33a der vorderen Ausdehnungsfläche 432 und einer Vorsprungdimension D36a auf der Ausdehnungsseite des vorderen oberen Abschnitts 111a wird als eine vordere Ausdehnungsrate bezeichnet. Beispielsweise wird ein Wert, der durch Division der Vorsprungdimension D32a auf der Verengungsseite durch die Längendimension W32a erhalten wird, als vordere Verengungsrate berechnet, und ein Wert, der durch Division der Vorsprungdimension D36a auf der Ausdehnungsseite durch die Längendimension W33a erhalten wird, wird als vordere Ausdehnungsrate berechnet. In diesem Fall ist die vordere Ausdehnungsrate kleiner als die vordere Verengungsrate.
An der hinteren Messwandfläche 104 sind, da die hintere Verengungsaufwärtsfläche 443 und die hintere Ausdehnungsabwärtsfläche 444 bündig zueinander sind, die Vorsprungdimension des hinteren Verengungsabschnitts 112 im stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 und die Vorsprungdimension des hinteren Verengungsabschnitts 112 im stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 gleich. Insbesondere sind eine Vorsprungdimension D32b des hinteren oberen Abschnitts 112a in Bezug auf die hintere Verengungsaufwärtsfläche 443 und eine Vorsprungdimension D36b des hinteren oberen Abschnitts 112a in Bezug auf die hintere Ausdehnungsabwärtsfläche 444 gleich.
Die Vorsprungdimension der hinteren Verengungsfläche 441 in Bezug auf die hintere Verengungsaufwärtsfläche 443 erhöht sich graduell von der hinteren Verengungsaufwärtsfläche 443 in Richtung des hinteren oberen Abschnitts 112a. Diese Erhöhungsrate erhöht sich graduell von der hinteren Verengungsaufwärtsfläche 443 in Richtung des hinteren oberen Abschnitts 112a, so dass die hintere Verengungsfläche 441 eine gekrümmte Fläche ist. Die Vorsprungdimension der hinteren Ausdehnungsfläche 442 in Bezug auf die hintere Ausdehnungsabwärtsfläche 444 verringert sich graduell von dem hinteren oberen Abschnitt 112a in Richtung der hinteren Ausdehnungsabwärtsfläche 444. Diese Verringerungsrate erhöht sich graduell von dem hinteren oberen Abschnitt 112a in Richtung der hinteren Ausdehnungsabwärtsfläche 444, und daher ist die hintere Ausdehnungsfläche 442 eine gekrümmte Fläche.
Wie oben beschrieben, ist im hinteren Verengungsabschnitt 112 die Längendimension W33b der hinteren Ausdehnungsfläche 442 größer als die Längendimension W32b der hinteren Verengungsfläche 441. In diesem Fall ist die Verringerungsrate der Vorsprungdimension der hinteren Ausdehnungsfläche 442 von dem hinteren oberen Abschnitt 112a in Richtung der hinteren Ausdehnungsabwärtsfläche 444 kleiner als die Erhöhungsrate der Vorsprungdimension der hinteren Verengungsfläche 441 von der hinteren Verengungsaufwärtsfläche 443 in Richtung des hinteren oberen Abschnitts 112a. Die hintere Verengungsfläche 441 und die hintere Ausdehnungsfläche 442 sind kontinuierlich gekrümmte Flächen, und eine tangentiale Linie der hinteren Verengungsfläche 441 und eine tangentiale Linie der hinteren Ausdehnungsfläche 442 erstrecken sich beide parallel zu der Anordnungslinie CL31 im hinteren oberen Abschnitt 112a.
In Bezug auf den hinteren Verengungsabschnitt 112 wird ein Verhältnis zwischen der Längendimension W32b der hinteren Verengungsfläche 441 und der Vorsprungdimension D32b auf der verengenden Seite des hinteren oberen Abschnitts 112a als vordere Verengungsrate bezeichnet, und ein Verhältnis zwischen der Längendimension W33b der hinteren Ausdehnungsfläche 442 und der Vorsprungdimension D32b auf der Ausdehnungsseite des hinteren oberen Abschnitts 112a wird als Ausdehnungsrate bezeichnet. Beispielsweise wird ein Wert, der durch Division der Vorsprungdimension D32b auf der Verengungsseite durch die Längendimension W32b erhalten wird, als hintere Verengungsrate berechnet, und ein Wert, der durch Division der Vorsprungdimension D32b auf der Ausdehnungsseite durch die Längendimension W33b erhalten wird, wird als hintere Ausdehnungsrate berechnet. In diesem Fall ist die hintere Ausdehnungsrate kleiner als die hintere Verengungsrate.
In der Beziehung zwischen dem vorderen Verengungsabschnitt 111 und dem hinteren Verengungsabschnitt 112 ist die vordere Verengungsrate größer als die hintere Verengungsrate und die vordere Ausdehnungsrate größer als die hintere Ausdehnungsrate, weil die Vorsprungdimensionen D32a und D36a des vorderen oberen Abschnitts lila größer sind als die Vorsprungdimensionen D32b und D36b des hinteren oberen Abschnitts 112a.
Wenn eine Rate, mit der die Verengungsabschnitte 111 und 112 den Messflusspfad 32 reduzieren, als Reduktionsrate bezeichnet wird, ist diese Reduktionsrate proportional zur Verengungsrate. Je größer also die vordere Verengungsrate des vorderen Verengungsabschnitts 111 ist, desto größer wird die vordere Reduktionsrate, mit der der vordere Verengungsabschnitt 111 den Messflusspfad 32 reduziert. Zum Beispiel haben die vordere Reduktionsrate und die vordere Verengungsrate den gleichen Wert. Je größer die hintere Verengungsrate des hinteren Verengungsabschnitts 112 ist, desto größer ist auch die hintere Reduktionsrate, mit der der hintere Verengungsabschnitt 112 den Messflusspfad 32 reduziert. Daher ist in der vorliegenden Ausführungsform die vordere Reduktionsrate größer als die hintere Reduktionsrate, weil die vordere Verengungsrate größer ist als die hintere Verengungsrate. Zum Beispiel haben die hintere Reduktionsrate und die hintere Verengungsrate den gleichen Wert.
Der Sensorträgerabschnitt 51 ist an einer mittigen Position zwischen der vorderen Messwandfläche 103 und der hinteren Messwandfläche 104 in dem stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 und dem stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 bereitgestellt, während er an einer Position näher an der vorderen Messwandfläche 103 in dem Sensorpfad 405 bereitgestellt ist. Dies liegt daran, dass die Vorsprungdimension des vorderen Verengungsabschnitts 111 an der vorderen Messwandfläche 103 größer ist als die Vorsprungdimension des hinteren Verengungsabschnitts 112 an der hinteren Messwandfläche 104. Insbesondere sind die Vorsprungdimensionen D32a und D36a des vorderen oberen Abschnitts lila in Bezug auf die vordere Verengungsaufwärtsfläche 433 und die vordere Ausdehnungsabwärtsfläche 434 größer als die Vorsprungdimensionen D32b und D36b des hinteren oberen Abschnitts 112a in Bezug auf die hintere Verengungsaufwärtsfläche 443 und die hintere Ausdehnungsabwärtsfläche 444. Infolgedessen ist die Trennungsdistanz D33a zwischen der Mittellinie CL32 des Sensorträgerabschnitts 51 und dem vorderen oberen Abschnitt lila kleiner als die Trennungsdistanz D33b zwischen der Mittellinie CL32 und dem hinteren oberen Abschnitt 112a.
Das Gehäuse 21 hat einen Messtrennabschnitt 451. Der Messtrennabschnitt 451 ist zwischen dem Führungsmesspfad 352 und dem Entlademesspfad 354 in der Tiefenrichtung Z bereitgestellt und teilt den Führungsmesspfad 352 und den Entlademesspfad 354. Der Messtrennabschnitt 451 ist zwischen dem Kanalflusspfad 31 oder einem Zweigmesspfad 351 und dem Erfassungsmesspfad 353 in der Höhenrichtung Y bereitgestellt und teilt den Kanalflusspfad 31 oder den Zweigmesspfad 351 und den Kanalflusspfad 31. Der Messtrennabschnitt 451 erstreckt sich zwischen der vorderen Messwandfläche 103 und der hinteren Messwandfläche 104 in Breitenrichtung X, um die innere Messkrümmungsfläche 402 zu bilden. Die äußere Fläche des Messtrennabschnitts 451 enthält die Messbodenfläche 101 und die innere Messkrümmungsfläche 402, wie die stromaufwärtige innere gekrümmte Fläche 415 und die stromabwärtige innere gekrümmte Fläche 425.
Die Verengungsabschnitte 111 und 112 erstrecken sich von dem Messtrennabschnitt 451 in Richtung der Messdeckenfläche 102. Die Verengungsabschnitte 111 und 112 ragen von dem Messtrennabschnitt 451 weder auf die Seite der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 noch auf die Seite der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 in Tiefenrichtung Z. In Tiefenrichtung Z ist die Breitendimension des Messtrennabschnitts 451 gleich oder kleiner als die Längendimensionen W31a und W31b der Verengungsabschnitte 111 und 112. Die Verengungsabschnitte 111 und 112 sind zwischen dem stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 und dem stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 bereitgestellt. In der vorliegenden Ausführungsform sind die stromaufwärtigen Endabschnitte der Verengungsabschnitte 111 und 112 in dem stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 und die stromabwärtigen Endabschnitte in dem stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 bereitgestellt. Jedoch sind auch in dieser Konfiguration die Verengungsabschnitte 111 und 112 zwischen dem stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 und dem stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 bereitgestellt.
Wie in 4 bis 7 gezeigt, ist der Kanaleingang 33 an der Gehäuseaufwärtsfläche 21c bereitgestellt und zur stromaufwärtigen Seite im Ansaugkanal 12 geöffnet. Daher kann der Hauptfluss, der in der Hauptflussrichtung durch den Ansaugkanal 12 fließt, leicht in den Kanaleingang 33 einfließen. Der Kanalausgang 34 ist an der Gehäuseabwärtsfläche 21d bereitgestellt und wird zur stromabwärtigen Seite im Ansaugkanal 12 geöffnet. Die aus dem Kanalausgang 34 ausfließende Luft fließt daher leicht stromabwärts zusammen mit dem Hauptfluss im Ansaugkanal 12.
Der Messausgang 36 ist jeweils an der Gehäusevorderfläche 21e und der Gehäuserückfläche 21f bereitgestellt. Die Gehäusevorderfläche 21e und die Gehäuserückfläche 21f erstrecken sich entlang der Anordnungslinie CL31, und der Messausgang 36 ist in einer orthogonalen Richtung orthogonal zur Anordnungslinie CL31 geöffnet. Daher ist es weniger wahrscheinlich, dass der Hauptfluss, der durch den Ansaugkanal 12 in der Hauptflussrichtung fließt, in den Messausgang 36 fließt, und die Luft, die aus dem Messausgang 36 fließt, fließt leicht stromabwärts zusammen mit dem Hauptfluss im Ansaugkanal 12. Wenn der Hauptfluss in der Nähe des Messausgangs 36 im Ansaugkanal 12 vorbeifließt, befindet sich die Luft in der Nähe des Messausgangs 36 im Messflusspfad 32 in einem Zustand, in dem sie von dem Hauptfluss mitgerissen wird, und die Luft fließt leicht von dem Messausgang 36 aus. Dadurch kann die Luft im Messflusspfad 32 leicht von dem Messausgang 36 abfließen. Die Breitenrichtung X entspricht der orthogonalen Richtung.
Als nächstes wird ein Flussmodus der durch den Messflusspfad 32 fließenden Luft beschrieben.
Wie in 23 gezeigt, enthält die Luft, die von dem Kanalflusspfad 31 durch den Messeingang 35 in den Messflusspfad 32 fließt, einen äußeren gekrümmten Fluss AF31, der entlang der äußeren Messkrümmungsfläche 401 verläuft, und einen inneren gekrümmten Fluss AF32, der entlang der inneren Messkrümmungsfläche 402 verläuft. Wie oben beschrieben, verläuft im Messflusspfad 32 der äußere gekrümmte Fluss AF31 leicht entlang der äußeren Messkrümmungsfläche 401, da die äußere Messkrümmungsfläche 401 so gekrümmt ist, dass sie insgesamt ausgespart ist. Da die innere Messkrümmungsfläche 402 so gekrümmt ist, dass sie sich insgesamt wölbt, kann der innere gekrümmte Fluss AF32 leicht entlang der inneren Messkrümmungsfläche 402 verlaufen. Während die äußere Messkrümmungsfläche 401 und die innere Messkrümmungsfläche 402 in der Richtung orthogonal zur Breitenrichtung X gekrümmt sind, verengen die Verengungsabschnitte 111 und 112 den Messflusspfad 32 in der Breitenrichtung X. Daher ist es in dem Messflusspfad 32 weniger wahrscheinlich, dass die Störung des Luftflusses so auftritt, dass der äußere gekrümmte Fluss AF31 und der innere gekrümmte Fluss AF32 vermischt werden.
Der äußere gekrümmte Fluss AF31, der den stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 im Messflusspfad 32 erreicht hat, ändert die Richtung, indem er entlang der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 fließt. In diesem Fall ist die Krümmung der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 aufgrund der Konfiguration, bei der die Krümmung der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 geringer ist als die Krümmung der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421, ausreichend gering geworden, und daher ist es weniger wahrscheinlich, dass eine Störung wie ein Wirbel in dem äußeren gekrümmten Fluss AF31 auftritt.
Wie in 25 gezeigt, enthält der durch den Messflusspfad 32 fließende Luftfluss einen vorderen Schließfluss AF33, der zwischen dem Sensorträgerabschnitt 51 und der vorderen Verengungsfläche 431 einfließt, und einen hinteren Schließfluss AF34, der zwischen dem Sensorträgerabschnitt 51 und der hinteren Verengungsfläche 441 einfließt. Von den gekrümmten Flüssen AF31 und AF32 ist Luft, die entlang der vorderen Messwandfläche 103 geflossen ist und die Verengungsabschnitte 111 und 112 erreicht hat, wahrscheinlich in dem vorderen Schließfluss AF33 enthalten, und Luft, die entlang der hinteren Messwandfläche 104 geflossen ist und die Verengungsabschnitte 111 und 112 erreicht hat, wahrscheinlich in dem hinteren Schließfluss AF34 enthalten.
Was die Vorderseite des Sensorträgerabschnitts 51 betrifft, erhöht sich der Begradigungseffekt des vorderen Schließflusses AF33 graduell in Richtung des vorderen oberen Abschnitts 111a, so dass sich der Verengungsgrad der vorderen Verengungsfläche 431 graduell in Richtung des vorderen oberen Abschnitts lila erhöht. Da die Vorsprungdimensionen D32a und D36a des vorderen oberen Abschnitts 111a größer sind als die Vorsprungdimensionen D32b und D36b des hinteren oberen Abschnitts 112a, wird der Begradigungseffekt der vorderen Verengungsfläche 431 ausreichend verbessert. Aufgrund dessen erreicht der vordere Schließfluss AF33 in einem Zustand, in dem er durch die vordere Verengungsfläche 431 und den Sensorträgerabschnitt 51 ausreichend begradigt ist, den Flusssensor 22, und somit ist die Erfassungsgenauigkeit der Flussrate durch den Flusssensor 22 tendenziell hoch.
Der vordere Schließfluss AF33 wird graduell in Richtung des vorderen oberen Abschnitts lila beschleunigt. Da der Bereich zwischen dem vorderen Verengungsabschnitt 111 und dem Sensorträgerabschnitt 51 durch die vordere Ausdehnungsfläche 432 erweitert ist, bewegt sich der vordere Schließfluss AF33 in Richtung des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407, um als Strahl von dem vorderen oberen Abschnitt 111a und dem Sensorträgerabschnitt 51 ausgeblasen zu werden. Wenn sich hier der Bereich zwischen der vorderen Ausdehnungsfläche 432 und dem Sensorträgerabschnitt 51 schnell ausdehnt, ist zu befürchten, dass eine Störung, wie z. B. ein Wirbel, aufgrund der Trennung des vorderen Schließflusses AF33 von der vorderen Ausdehnungsfläche 432 auftreten kann. Andererseits wird aufgrund der Konfiguration, bei der die Längendimension W33a der vorderen Ausdehnungsfläche 432 größer ist als die Längendimension W32a der vorderen Verengungsfläche 431, der Bereich zwischen der vorderen Ausdehnungsfläche 432 und dem Sensorträgerabschnitt 51 sanft expandiert. Aus diesem Grund ist es weniger wahrscheinlich, dass eine Trennung des vorderen Schließflusses AF33 von der vorderen Ausdehnungsfläche 432 auftritt, und es ist weniger wahrscheinlich, dass eine Störung wie ein Wirbel auf der stromabwärtigen Seite relativ zum vorderen oberen Abschnitt 111a auftritt.
Was die Rückseite des Sensorträgerabschnitts 51 betrifft, so erhöht sich, da der Verengungsgrad der hinteren Verengungsfläche 441 graduell in Richtung des hinteren oberen Abschnitts 112a zunimmt, der Begradigungseffekt des hinteren Schließflusses AF34 graduell in Richtung des hinteren oberen Abschnitts 112a. In diesem Fall erreicht der hintere Schließfluss AF34 in einem Zustand, in dem er durch die hintere Verengungsfläche 441 und den Sensorträgerabschnitt 51 ausreichend begradigt ist, den hinteren oberen Abschnitt 112a, und somit ist es weniger wahrscheinlich, dass dieser hintere Schließfluss AF34 auch nach dem Durchgang durch den hinteren oberen Abschnitt 112a gestört wird.
Der hintere Schließfluss AF34 wird graduell in Richtung des hinteren oberen Abschnitts 112a beschleunigt. Da der Bereich zwischen dem hinteren Verengungsabschnitt 112 und dem Sensorträgerabschnitt 51 durch die hintere Ausdehnungsfläche 442 erweitert ist, bewegt sich der hintere Schließfluss AF34 in Richtung des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407, um als Strahl von dem hinteren oberen Abschnitt 112a und dem Sensorträgerabschnitt 51 ausgeblasen zu werden. Wenn sich hier der Bereich zwischen der hinteren Ausdehnungsfläche 442 und dem Sensorträgerabschnitt 51 schnell ausdehnt, ist zu befürchten, dass eine Störung, wie z. B. ein Wirbel, aufgrund der Trennung des hinteren Schließflusses AF34 von der hinteren Ausdehnungsfläche 442 auftreten kann. Andererseits wird aufgrund der Konfiguration, bei der die Längendimension W33b der hinteren Ausdehnungsfläche 442 größer ist als die Längendimension W32b der hinteren Verengungsfläche 441, der Bereich zwischen der hinteren Ausdehnungsfläche 442 und dem Sensorträgerabschnitt 51 sanft expandiert. Aus diesem Grund ist es weniger wahrscheinlich, dass eine Trennung des hinteren Schließflusses AF34 von der hinteren Ausdehnungsfläche 442 auftritt, und es ist weniger wahrscheinlich, dass eine Störung wie ein Wirbel auf der stromabwärtigen Seite relativ zum hinteren oberen Abschnitt 112a auftritt.
Es wird davon ausgegangen, dass der vordere Schließfluss AF33 und der hintere Schließfluss AF34 im Sensorpfad 405 und im stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 zusammenfließen, nachdem sie den Sensorträgerabschnitt 51 durchlaufen haben. Wenn beispielsweise der Fluss des hinteren Schließflusses AF34 gestört ist, kommt es auf der stromabwärtigen Seite relativ zum Sensorträgerabschnitt 51 zu einer Störung des Luftflusses, und es wird unwahrscheinlicher, dass der vordere Schließfluss AF33 zwischen dem vorderen Verengungsabschnitt 111 und dem Sensorträgerabschnitt 51 passiert. In diesem Fall besteht die Sorge, dass die Flussrate und die Flussgeschwindigkeit des vorderen Schließflusses AF33, der durch den Flusssensor 22 fließt, unzureichend sind und die Erfassungsgenauigkeit der Flussrate durch den Flusssensor 22 verringert wird. Andererseits ist es in der vorliegenden Ausführungsform, da der hintere Schließfluss AF34 durch den hinteren Verengungsabschnitt 112 begradigt wird, möglich, die Störung des Luftflusses auf der stromabwärtigen Seite relativ zum Sensorträgerabschnitt 51 zu unterdrücken, da die Störung des hinteren Schließflusses AF34 den Sensorträgerabschnitt 51 durchflossen hat.
Wenn der vordere Schließfluss AF33 und der hintere Schließfluss AF34 von zwischen dem Sensorträgerabschnitt 51 und den Verengungsabschnitten 111 und 112 in Richtung des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407 ausgeblasen werden, bewegen sich die vorderen Schließflüsse AF33 und AF34 als Vorwärtsflüsse in Richtung der stromabwärtigen äußeren Verengungsfläche 421 entlang der Anordnungslinie CL31. Wenn die Schließflüsse AF33 und AF34 auf die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 421 treffen, ist zu befürchten, dass die Schließflüsse AF33 und AF34 an der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 zurückprallen und im Messflusspfad 32 in einer zur Seite des Flusssensors 22 zurückkehrenden Richtung zurückfließen. Insbesondere wird davon ausgegangen, dass in einem Fall, in dem die Schließflüsse AF33 und AF34 auf die stromabwärtige äußere Längsfläche 423 treffen, die Schließflüsse AF33 und AF34 wahrscheinlich entlang der Anordnungslinie CL31 in Richtung des Flusssensors 22 zurückfließen werden. Wenn der Rückfluss den Flusssensor 22 entgegen des Vorwärtsflusses erreicht, verringert sich die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22, z. B. wird die Richtung des vom Flusssensor 22 erfassten Luftflusses entgegengesetzt zum tatsächlichen Fluss. Selbst wenn der Rückfluss den Flusssensor 22 nicht erreicht, wird der Vorwärtsfluss aufgrund des Rückflusses unwahrscheinlicher, und somit verringert sich die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22, z. B. wird die erfasste Flussrate des Flusssensors 22 kleiner als die tatsächliche Flussrate.
Andererseits ist in der vorliegenden Ausführungsform, da der Flusssensor 22 an einer Position bereitgestellt ist, die näher an der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 als an der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 liegt, der Flusssensor 22 an einer Position, die so weit wie möglich von der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 entfernt ist. Bei dieser Konfiguration wird das Momentum der Schließflüsse AF33 und AF34 wahrscheinlich verringert, bis die Schließflüsse AF33 und AF34, die zwischen dem Sensorträgerabschnitt 51 und den Verengungsabschnitten 111 und 112 ausgeblasen werden, die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 421 erreichen. Selbst wenn die Schließflüsse AF33 und AF34 auf die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 421 zurückprallen und zu Rückflüssen werden, gibt es kein Momentum des Rückflusses und es ist daher unwahrscheinlich, dass dieser Rückfluss den Flusssensor 22 erreicht. Je weiter der Flusssensor 22 von der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 entfernt ist, desto länger ist die Distanz, in der der Rückfluss den Flusssensor 22 erreicht, und somit wird der Rückfluss zuverlässig davon abgehalten, den Flusssensor 22 zu erreichen.
Da die imaginäre Linie, die durch den Flusssensor 22 verläuft, die Anordnungslinie CL31 ist, fließt die Luft des vorderen Schließflusses AF33, die den Flusssensor 22 durchflossen hat, leicht entlang der Anordnungslinie CL31. Dadurch, dass die Trennungsdistanz L31b zwischen dem Flusssensor 22 und der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 auf der Anordnungslinie CL31 so weit wie möglich vergrößert wird, kann die Distanz, in der die Luft des vorderen Schließflusses AF33, die den Flusssensor 22 durchflossen hat, die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 421 erreicht, so weit wie möglich vergrößert werden. Dabei wird berücksichtigt, dass in der Ausführungsform, in der die Anordnungslinie CL31 durch die stromabwärtige äußere Längsfläche 423 verläuft, wenn die Luft, die durch den Flusssensor 22 hindurchgetreten ist, auf die stromabwärtige äußere Längsfläche 423 trifft und zurückprallt, die Luft dazu neigt, zurück zu fließen, um zum Flusssensor 22 zurückzukehren, wie sie ist. Daher ist es in der Konfiguration, in der die Anordnungslinie CL31 durch die stromabwärtige äußere Längsfläche 423 verläuft, wirksam, um es dem Rückfluss zu erschweren, den Flusssensor 22 zu erreichen, die Trennungsdistanz L31b zwischen dem Flusssensor 22 und der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 an der Anordnungslinie CL31 auf einen Wert festzulegen, der so groß wie möglich ist.
Gemäß der bisher beschriebenen Ausführungsform ist der Aussparungsgrad der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 größer als der Aussparungsgrad der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411. Da in dieser Konfiguration die Querschnittsfläche und das Volumen des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407 durch Erhöhen des Aussparungsgrades der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 so weit wie möglich erhöht werden kann, kann der Druckverlust beim Durchfließen des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407 reduziert werden. Wie oben beschrieben, ist es durch die Reduzierung des Druckverlustes im stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 weniger wahrscheinlich, dass ein Zustand eintritt, in dem die Luft, die den Flusssensor 22 durchflossen hat, im stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 verstopft ist, und es ist weniger wahrscheinlich, dass die Flussrate und die Flussgeschwindigkeit der Luft, die den Flusssensor 22 durchflossen hat, unzureichend werden. Daher kann die Erfassungsgenauigkeit der Flussrate durch den Flusssensor 22 gesenkt werden, und als Ergebnis kann die Messgenauigkeit der Flussrate durch den Luftflussmesser 20 verbessert werden.
Um die Querschnittsfläche und das Volumen des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407 möglichst zu erhöhen, wird hier ein Verfahren zur Erweiterung des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407 in Breitenrichtung X und in Tiefenrichtung Z in Betracht gezogen. Bei diesem Verfahren besteht jedoch die Gefahr, dass sich das Gehäuse 21 in Breitenrichtung X und Tiefenrichtung Z vergrößert. In diesem Fall wird der Luftfluss im Ansaugkanal 12 durch das Gehäuse 21 gestört, und die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 wird wahrscheinlich verringert. In diesem Fall erhöht sich das zum Formen des Gehäuses 21 erforderliche Harzmaterial, und die Herstellungskosten des Gehäuses 21 erhöhen sich tendenziell.
Andererseits kann bei der vorliegenden Ausführungsform, da die Querschnittsfläche und das Volumen des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407 durch Erhöhung des Aussparungsgrades der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 so weit wie möglich erhöht werden, eine Vergrößerung des Gehäuses 21 vermieden werden. Da in diesem Fall der Luftfluss im Ansaugkanal 12 durch das Gehäuse 21 weniger gestört wird, kann die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 verbessert werden. Da in diesem Fall das zum Formen des Gehäuses 21 erforderliche Harzmaterial leicht reduziert werden kann, kann eine Erhöhung der Kosten bei der Herstellung des Gehäuses 21 unterdrückt werden.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform wird der gekrümmte Abschnitt der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 durch den stromabwärtigen äußeren inneren Eckabschnitt 424 gebildet. Bei dieser Konfiguration kann der Aussparungsgrad der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 in einem Bereich maximiert werden, in dem die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 421 nicht abweicht. Das heißt, es ist möglich, eine Konfiguration zu erreichen, in der die Querschnittsfläche und das Volumen des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407 in dem Bereich am größten sind, in dem der stromabwärtige gekrümmte Pfad 407 durch die Form der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 erweitert werden kann.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist die Trennungsdistanz L35b zwischen der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 und der stromabwärtigen inneren gekrümmten Fläche 425 größer als die Trennungsdistanz L35a zwischen der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 und der stromaufwärtigen inneren gekrümmten Fläche 415. Mit dieser Konfiguration kann die Anordnung erreicht werden, bei der die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 421 und die stromabwärtige innere gekrümmte Fläche 425 in einer Richtung orthogonal zur Mittellinie CL4 des Messflusspfads 32 so weit wie möglich voneinander getrennt sind. Somit ist es auch ohne eine Erweiterung des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407 und des Gehäuses 21 in Breitenrichtung X möglich, die Querschnittsfläche und das Volumen des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407 in Abhängigkeit von der Position der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 und der stromabwärtigen inneren gekrümmten Fläche 425 so weit wie möglich zu erhöhen.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist der Wölbungsgrad der stromabwärtigen inneren gekrümmten Fläche 425 kleiner als der Wölbungsgrad der stromaufwärtigen inneren gekrümmten Fläche 415. Daher ist es auch ohne Erweiterung des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407 und des Gehäuses 21 in Breitenrichtung X möglich, die Querschnittsfläche und das Volumen des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407 so weit zu erhöhen, wie es der Form der stromabwärtigen inneren gekrümmten Fläche 425 entspricht.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform wird die Konfiguration erreicht, bei der, da der Krümmungsradius R32 der stromabwärtigen inneren gekrümmten Fläche 425 größer ist als der Krümmungsradius R31 der stromaufwärtigen inneren gekrümmten Fläche 415, der Wölbungsgrad der stromabwärtigen inneren gekrümmten Fläche 425 kleiner ist als der Wölbungsgrad der stromaufwärtigen inneren gekrümmten Fläche 415. Bei dieser Konfiguration fließt die Luft, die den stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 von der Seite des Flusssensors 22 erreicht, leicht in Richtung des Messausgangs 36 entlang der Krümmung der stromabwärtigen inneren gekrümmten Fläche 425, wobei der Wölbungsgrad der stromabwärtigen inneren gekrümmten Fläche 425 minimiert wird. Durch die Form der stromabwärtigen inneren gekrümmten Fläche 425 kann daher unterdrückt werden, dass die Luft in dem stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 verbleibt und der Druckverlust in dem stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 erhöht wird.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist auf der Anordnungslinie CL31 die Trennungsdistanz L31b zwischen dem Flusssensor 22 und der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 größer als die Trennungsdistanz L31a zwischen dem Flusssensor 22 und der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411. In dieser Konfiguration kann der Flusssensor 22 zwischen der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 und der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 an einer Position angeordnet werden, die so weit wie möglich von der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 entfernt ist. Selbst wenn die Luft, die den Flusssensor 22 im Messflusspfad 32 durchflossen hat, auf die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 421 trifft und in einer zur Seite des Flusssensors 22 zurückkehrenden Richtung zurückfließt, ist es daher weniger wahrscheinlich, dass der Rückfluss den Flusssensor 22 erreicht. Selbst wenn die Störung des Luftflusses aufgrund des Rückflusses im stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 auftritt, erreicht diese Störung den Flusssensor 22 kaum. Daher ist es möglich, eine Verringerung der Genauigkeit der Erfassung des Flusses durch den Flusssensor 22 zu unterdrücken. Dadurch kann die Messgenauigkeit der Flussrate durch den Luftflussmesser 20 verbessert werden.
Um die Trennungsdistanz L31b zwischen dem Flusssensor 22 und der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 zu maximieren, wird hier ein Verfahren in Betracht gezogen, bei dem die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 421 von dem Flusssensor 22 getrennt wird, indem der Erfassungsmesspfad 353 in die Tiefenrichtung Z oder dergleichen erstreckt wird. Bei diesem Verfahren ist jedoch zu befürchten, dass das Gehäuse 21 in Tiefenrichtung Z an Größe zunimmt. Andererseits wird in der vorliegenden Ausführungsform durch Festlegen der Position des Flusssensors 22 im Erfassungsmesspfad 353 auf die Position näher an der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 die Trennungsdistanz L31b zwischen dem Flusssensor 22 und der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 maximiert, so dass eine Vergrößerung des Gehäuses 21 vermieden werden kann.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform erstreckt sich der Sensorpfad 405, auf dem der Flusssensor 22 installiert ist, entlang der Anordnungslinie CL31. Bei dieser Konfiguration verläuft der Luftfluss entlang des Flusssensors 22 problemlos gerade entlang der Anordnungslinie CL31, so dass Störungen des Luftflusses um den Flusssensor 22 herum weniger wahrscheinlich sind. In diesem Fall kann die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 verbessert werden, da die Flussgeschwindigkeit der Luft um den Flusssensor 22 herum leicht stabilisiert wird. Da der Flusssensor 22 an einer Position angeordnet ist, die so weit wie möglich von der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 entfernt ist, ist es weniger wahrscheinlich, dass die Störung des Luftflusses im stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 auf den Flusssensor 22 übertragen wird, so dass die Störung des Luftflusses um den Flusssensor 22 zuverlässiger unterdrückt werden kann. In diesem Fall kann die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 ferner verbessert werden, da die Flussgeschwindigkeit der Luft um den Flusssensor 22 eher stabilisiert werden kann.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist in dem Sensorpfad 405, der sich entlang der Anordnungslinie CL31 erstreckt, der Flusssensor 22 an einer Position bereitgestellt, die näher an dem stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 liegt als an dem stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407. In dieser Konfiguration kann der Flusssensor 22 im Sensorpfad 405 nach Unterdrückung der Störung der Luft um den Flusssensor 22 und Stabilisierung der Flussgeschwindigkeit der Luft an einer Position angeordnet werden, die so weit wie möglich von der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 entfernt ist.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist der Sensorträgerabschnitt 51 in der Anordnungslinie CL31 an einer Position bereitgestellt, die näher an der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 liegt als an dem stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407. Da in dieser Konfiguration der Sensorträgerabschnitt 51 an einer möglichst weit vom stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 entfernten Position angeordnet werden kann, ist es möglich, den in den stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 einfließenden Luftfluss durch das Vorhandensein des Sensorträgerabschnitts 51 nicht leicht zu stören.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform verläuft die Anordnungslinie CL31 durch die stromabwärtige äußere Längsfläche 423 der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421. Da sich die stromabwärtige äußere Längsfläche 423 gerade vom stromabwärtigen Endabschnitt des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407 in Richtung der stromaufwärtigen Seite erstreckt, verläuft die Anordnungslinie CL31 in dieser Konfiguration durch den Abschnitt der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421, der am weitesten vom Sensor 22 entfernt ist. Auf diese Weise kann durch die Maximierung der Distanz, die die Luft, die den Flusssensor 22 durchflossen hat, benötigt, um die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 421 zu erreichen, zuverlässig verhindert werden, dass die Luft, die den Flusssensor 22 durchflossen hat, an der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 zurückprallt und als Rückfluss zum Flusssensor 22 zurückkehrt.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform kann, da die stromabwärtige innere gekrümmte Fläche 425 gekrümmt ist, die Trennungsdistanz L35b zwischen der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 und der stromabwärtigen inneren gekrümmten Fläche 425 im stromabwärtigen Pfad 407 maximiert werden. Da in dieser Konfiguration die Querschnittsfläche des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407 durch die stromabwärtige innere gekrümmte Fläche 425 maximiert wird, wird das Volumen des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407 maximiert. Daher kann die Luft im stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 zusammen mit dieser Störung leicht zum Messausgang 36 fließen, selbst wenn die Störung des Luftflusses im stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 aufgrund des Aufpralls der Luft an der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 oder Ähnlichem auftritt. Es kann daher zuverlässiger verhindert werden, dass Rückflüsse von dem stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 zum Flusssensor 22 gelangen.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform sind zwischen dem stromaufwärtigen Endabschnitt des stromaufwärtigen gekrümmten Pfads 406 und dem stromabwärtigen Endabschnitt des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407 die Verengungsabschnitte 111 und 112 bereitgestellt, die sich nach gradueller Verengung des Messflusspfads 32 graduell ausdehnen. Bei dieser Konfiguration besteht die Sorge, dass die Luft, die durch die Verengungsabschnitte 111 und 112 hindurchgetreten ist, kräftig als Strahlfluss in Richtung des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407 ausgeblasen wird und leicht an der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 zurückprallt. Um daher zu verhindern, dass die Luft, die an der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 zurückprallt, den Flusssensor 22 erreicht, ist es effektiv, den Flusssensor 22 an einer Position bereitzustellen, die so weit wie möglich von der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 entfernt ist.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform sind in den Verengungsabschnitten 111 und 112 die Längendimensionen W33a und W33b der Ausdehnungsflächen 432 und 442 größer als die Längendimension W32a der Verengungsflächen 431 und 441. Bei dieser Konfiguration sind der Wölbungsgrad und die Flussrate des Messflusspfads 32 durch die Ausdehnungsflächen 432 und 442 moderat, so dass Störungen wie die Trennung des Luftflusses aufgrund einer schnellen Ausdehnung des Messflusspfads 32 nicht auftreten. Infolgedessen ist es möglich, zu unterdrücken, dass der Fluss in dem stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 gestört wird durch die Luft, die die Verengungsabschnitte 111 und 112 durchflossen hat.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform sind die Verengungsabschnitte 111 und 112 an Positionen bereitgestellt, die näher an der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 liegen als an der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421. Bei dieser Konfiguration können die Verengungsabschnitte 111 und 112 zwischen der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 und der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 in einer Position angeordnet sein, die so weit wie möglich von der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 entfernt ist. Ohne die Größe des Gehäuses 21 zu erhöhen, ist es daher möglich, das Momentum zu reduzieren, mit dem die Luft, die die Verengungsabschnitte 111 und 112 durchflossen hat, auf die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 421 trifft.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform sind die vordere Messwandfläche 103 und die hintere Messwandfläche 104 über den stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 einander zugewandt, und diese Messwandflächen 103 und 104 sind mit den Verengungsabschnitten 111 und 112 bereitgestellt. Bei dieser Konfiguration sind die Richtung, in der die Luft im stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 gekrümmt wird, und die Richtung, in der die Luft durch die Verengungsabschnitte 111 und 112 verengt wird, im Wesentlichen orthogonal zueinander. Aus diesem Grund ist es weniger wahrscheinlich, dass der Luftfluss, wie der äußere gekrümmte Fluss AF31, der entlang der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 fließt, und der Luftfluss, wie der innere gekrümmte Fluss AF32, der entlang der stromaufwärtigen inneren gekrümmten Fläche 415 fließt, miteinander vermischt werden, wenn sie die Verengungsabschnitte 111 und 112 durchfließen, und Störungen erzeugt werden. Daher kann der Begradigungseffekt des Luftflusses durch die Verengungsabschnitte 111 und 112 verbessert werden.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist die stromaufwärtige äußere gekrümmte Fläche 411 gekrümmt. In dieser Konfiguration, da die Richtung des Luftflusses, wie der äußere gekrümmte Fluss AF31, der entlang der äußeren Messkrümmungsfläche 401 fließt, graduell durch die stromaufwärtige äußere gekrümmte Fläche 411 geändert wird, ist der Luftfluss, der entlang der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 fließt, weniger wahrscheinlich gestört zu werden. Daher ist es weniger wahrscheinlich, dass die Luft, wie der äußere gekrümmte Fluss AF31, die den Flusssensor 22 erreicht, gestört wird, und es ist auch weniger wahrscheinlich, dass die Luft, die in Richtung des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407 ausgeblasen wird, gestört wird.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist die innere Messkrümmungsfläche 402, die sich entlang des Messflusspfads 32 erstreckt, so gekrümmt, dass sie sich in Richtung des Flusssensors 22 insgesamt wölbt. Da in dieser Konfiguration kein Aussparungsabschnitt in der inneren Messkrümmungsfläche 402 gebildet wird, kommt es kaum vor, dass Luft wie der innere gekrümmte Fluss AF32, die entlang der inneren Messkrümmungsfläche 402 fließt, in den Aussparungsabschnitt eintritt und eine Störung wie ein Wirbel erzeugt wird. Daher wird die Luft, wie der innere gekrümmte Fluss AF32, die den Flusssensor 22 erreicht, kaum gestört, und die Luft, die in Richtung des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407 ausgeblasen wird, wird ebenfalls kaum gestört.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist der Messausgang 36 an der Gehäusevorderfläche 201e und der Gehäuserückfläche 21f der äußeren Fläche des Gehäuses 21 bereitgestellt. In dieser Konfiguration ist es wahrscheinlich, dass, wenn Luft entlang des Messausgangs 36 entlang der Gehäusevorderfläche 21e und der Gehäuserückfläche 21f im Ansaugkanal 12 fließt, die Luft im Messflusspfad 32 aus dem Messausgang 36 ausfließt, so dass sie von dieser Luft angezogen wird. Daher kann die Luft, selbst wenn die Störung des Luftflusses aufgrund des Rückpralls der Luft oder dergleichen in dem stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 auftritt, unter Verwendung der außerhalb des Gehäuses 21 im Ansaugkanal 12 fließenden Luft leicht von dem stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 in Richtung des Messausgangs 36 zusammen mit der Störung des Luftflusses fließen.
<Beschreibung der Konfigurationsgruppe E>
Wie in 10, 11 und 26 gezeigt, hat die Formaufwärtsfläche 55c des Sensors SA50 eine Formaufwärtsschrägfläche 471. Die Formaufwärtsschrägfläche 471 erstreckt sich schräg und gerade vom stromaufwärtigen Endabschnitt der Formspitzenendfläche 55a in Richtung der Formbasisendfläche 55b und entspricht einem stromaufwärtigen geneigten Abschnitt in Bezug auf die Höhenrichtung Y. Die Formabwärtsfläche 55d weist eine Formabwärtsschrägfläche 472 auf. Die Formabwärtsschrägfläche 472 erstreckt sich schräg vom stromabwärtigen Endabschnitt der Formspitzenendfläche 55a zur Formbasisendfläche 55b und entspricht einem stromabwärtigen Abschnitt, der in Richtung Y geneigt ist. Sowohl die Formaufwärtsschrägfläche 471 als auch die Formabwärtsschrägfläche 472 sind in Bezug auf den Anordnungsquerschnitt CS41 geneigt und befinden sich in einem Zustand, in dem sie gegenüber dem Anordnungsquerschnitt CS41 in Höhenrichtung Y liegen.
Wie in 26 und 27 gezeigt, ist ein vorderer stromaufwärtiger Endabschnitt 111b, der der vordere Endabschnitt des vorderen Verengungsabschnitts 111 ist, an dem Grenzabschnitt zwischen der vorderen Verengungsfläche 431 und der vorderen Verengungsaufwärtsfläche 433 angeordnet. Ein vorderer stromabwärtiger Endabschnitt 111c, der der stromabwärtige Endabschnitt des vorderen Verengungsabschnitts 111 ist, ist am Grenzabschnitt zwischen der vorderen Ausdehnungsfläche 432 und der vorderen Ausdehnungsabwärtsfläche 434 angeordnet. Ein hinterer stromaufwärtiger Endabschnitt 112b, der der stromaufwärtige Endabschnitt des hinteren Verengungsabschnitts 112 ist, ist an dem Grenzabschnitt zwischen der hinteren Verengungsfläche 441 und der hinteren Verengungsaufwärtsfläche 443 angeordnet. Ein hinterer stromabwärtiger Endabschnitt 112c, der der hintere Endabschnitt des hinteren Verengungsabschnitts 112 ist, ist an dem Grenzabschnitt zwischen der hinteren Ausdehnungsfläche 442 und der hinteren Ausdehnungsabwärtsfläche 444 angeordnet.
Die Formaufwärtsschrägfläche 471 des Sensors SA50 ist an einer Position angeordnet, die sowohl den vorderen stromaufwärtigen Endabschnitt 111b des vorderen Verengungsabschnitts 111 als auch den hinteren stromaufwärtigen Endabschnitt 112b des hinteren Verengungsabschnitts 112 in der Tiefenrichtung Z kreuzt. Hier wird der Endabschnitt auf der Formspitzenendseite der Formaufwärtsschrägfläche 471 als spitzenendseitiger Endabschnitt 471a bezeichnet, und der Endabschnitt auf der Formbasisendseite wird als basisendseitiger Endabschnitt 471b bezeichnet. In diesem Fall ist der spitzenendseitige Endabschnitt 471a auf der stromabwärtigen Seite relativ zu den stromaufwärtigen Endabschnitten 111b und 112b der Verengungsabschnitte 111 und 112 in der Tiefenrichtung Z bereitgestellt. Der basisendseitige Endabschnitt 471b der Formaufwärtsschrägfläche 471 ist auf der stromabwärtigen Seite relativ zu dem Verengungsabschnitt 111 und dem hinteren Verengungsabschnitt 112 in der Tiefenrichtung Z bereitgestellt. Die stromaufwärtigen Endabschnitte 111b und 112b der Verengungsabschnitte 111 und 112 sind an Positionen bereitgestellt, die näher an dem spitzenendseitigen Endabschnitt 471a liegen als an dem basisendseitigen Endabschnitt 471b der Formaufwärtsschrägfläche 471 in der Tiefenrichtung Z.
Die Formabwärtsschrägfläche 472 ist an einer Position angeordnet, die in der Tiefenrichtung Z sowohl den vorderen stromabwärtigen Endabschnitt 111c des vorderen Verengungsabschnitts 111 als auch den hinteren stromabwärtigen Endabschnitt 112c des hinteren Verengungsabschnitts 112 kreuzt. Hier werden der Endabschnitt auf der Formspitzenendseite der Formabwärtsschrägfläche 472 als Spitzenendseitenendabschnitt 472a bezeichnet, und der Endabschnitt auf der Formbasisendseite als Basisendseitenendabschnitt 472b. In diesem Fall ist der Spitzenendseitenendabschnitt 472a auf der stromaufwärtigen Seite relativ zu den stromabwärtigen Endabschnitten 111c und 112c der Verengungsabschnitte 111 und 112 in der Tiefenrichtung Z bereitgestellt. Der Basisendseitenendabschnitt 472b der Formabwärtsschrägfläche 472 ist auf der stromabwärtigen Seite relativ zu den Verengungsabschnitten 111 und 112 in der Tiefenrichtung Z bereitgestellt. Die stromabwärtigen Endabschnitte 111c und 112c der Verengungsabschnitte 111 und 112 sind an Positionen bereitgestellt, die näher an dem basisendseitigen Endabschnitt 471b liegen als an dem Spitzenendseitenendabschnitt 472a der Formabwärtsschrägfläche 472 in der Tiefenrichtung Z.
Wie in 27 gezeigt, ist in dem Anordnungsquerschnitt CS41 des Luftflussmessers 20 die Formaufwärtsschrägfläche 471 der Formaufwärtsfläche 55c auf der stromaufwärtigen Seite relativ zu den Verengungsabschnitten 111 und 112 bereitgestellt. In diesem Fall ist die Formaufwärtsschrägfläche 471 zwischen den stromaufwärtigen Endabschnitten 111b und 112b der Verengungsabschnitte 111 und 112 und der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 bereitgestellt. Im Anordnungsquerschnitt CS41 ist eine Trennungsdistanz W41a zwischen der Formaufwärtsschrägfläche 471 und dem vorderen Verengungsabschnitt 111 in der Tiefenrichtung Z gleich einer Trennungsdistanz W41b zwischen der Formaufwärtsschrägfläche 471 und dem hinteren Verengungsabschnitt 112. Die Trennungsdistanz W41a ist kleiner als die Längendimension W32a der vorderen Verengungsfläche 431, und die Trennungsdistanz W41b ist kleiner als die Längendimension W32b der hinteren Verengungsfläche 441.
In dem Anordnungsquerschnitt CS41 ist die Formabwärtsschrägfläche 472 der Formabwärtsfläche 55d auf der stromaufwärtigen Seite relativ zu den stromabwärtigen Endabschnitten 111c und 112c der Verengungsabschnitte 111 und 112 bereitgestellt. In diesem Fall ist die Formabwärtsschrägfläche 472 der Formabwärtsfläche 55d in der Tiefenrichtung Z zwischen den oberen Abschnitten 111a und 112a der Verengungsabschnitte 111 und 112 und den stromabwärtigen Endabschnitten 111c und 112c bereitgestellt. Im Anordnungsquerschnitt CS41 ist eine Distanz W42a zwischen der Formabwärtsschrägfläche 472 und dem vorderen stromabwärtigen Endabschnitt 111c des vorderen Verengungsabschnitts 111 in der Tiefenrichtung Z gleich einer Distanz W42b zwischen der Formabwärtsschrägfläche 472 und dem hinteren stromabwärtigen Endabschnitt 112c des hinteren Verengungsabschnitts 112. Die Trennungsdistanz W42a ist kleiner als die Längendimension W33a der vorderen Ausdehnungsfläche 432, und die Trennungsdistanz W42b ist kleiner als die Längendimension W33b der hinteren Ausdehnungsfläche 442.
Ein Abschnitt der im Anordnungsquerschnitt CS41 angeordneten Formaufwärtsschrägfläche 471 des Sensorträgerabschnitts 51 befindet sich an einer Position, die in Höhenrichtung Y neben dem Führungsmesspfad 352 angeordnet ist. Dieser Abschnitt ist auf der stromabwärtigen Seite des Gehäuses relativ zur stromaufwärtigen inneren gekrümmten Fläche 415 im stromaufwärtigen Pfad 406 bereitgestellt. Im Messflusspfad 32 kann der Führungsmesspfad 352 als ein erster Abschnitt, der Erfassungsmesspfad 353 als ein zweiter Abschnitt und der Entlademesspfad 354 als ein dritter Abschnitt bezeichnet werden. Der Entlademesspfad 354 hat einen Abschnitt, der sich gerade in die Höhenrichtung Y erstreckt, und einen Abschnitt, der sich vom Messausgang 36 in eine in die Höhenrichtung Y geneigte Richtung erstreckt.
Der Flusssensor 22 ist in Übereinstimmung mit der Position angeordnet, in der die Flussgeschwindigkeit der durch den Messflusspfad 32 fließenden Luft maximal wird. Insbesondere wird der Flusssensor 22 an einer Position bereitgestellt, an der die Flussgeschwindigkeit der Luft maximal wird. In der vorliegenden Ausführungsform ist die Position, an der die Flussgeschwindigkeit der Luft im Messflusspfad 32 maximal wird, die Position, an der der vordere obere Abschnitt 111a bereitgestellt ist, und der Flusssensor 22 ist an einer Position bereitgestellt, die dem vorderen oberen Abschnitt 111a gegenüberliegt.
Gemäß der bisher beschriebenen Ausführungsform kann, da der Verengungsabschnitt 111 im Messflusspfad 32 bereitgestellt ist, die durch den Messflusspfad 32 fließende Luft begradigt werden. In dem Anordnungsquerschnitt CS41 ist die Formaufwärtsfläche 55c des Sensorträgerabschnitts 51 auf der stromaufwärtigen Seite relativ zu den Verengungsabschnitten 111 und 112 bereitgestellt. In dieser Konfiguration wird die Luft, die die Formaufwärtsfläche 55c entlang des Anordnungsquerschnitts CS41 durchflossen hat, in den gesamten Verengungsabschnitten 111 und 112 im Anordnungsquerschnitt CS41 begradigt. In diesem Fall kann die Störung des Luftflusses in den gesamten Verengungsabschnitten 111 und 112 reduziert werden, selbst wenn die Störung des Luftflusses durch die Luft erzeugt wird, die durch den Messflusspfad 32 fließt und den Sensorträgerabschnitt 51 erreicht. Das heißt, es ist weniger wahrscheinlich, dass sich der Begradigungseffekt durch die Verengungsabschnitte 111 und 112 aufgrund der Anwesenheit des Sensorträgerabschnitts 51 verringert. Daher ist es möglich, eine Verringerung der Erfassungsgenauigkeit der Flussrate durch den Flusssensor 22 zu unterdrücken, und infolgedessen ist es möglich, die Messgenauigkeit der Flussrate durch den Luftflussmesser 20 zu verbessern.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist die Formaufwärtsschrägfläche 471 an einer Position gegenüber den stromaufwärtigen Endabschnitten 111b und 112b der Verengungsabschnitte 111 und 112 in der Tiefenrichtung Z angeordnet. In dieser Konfiguration ist es nicht notwendig, die gesamte Formaufwärtsschrägfläche 471 und die gesamte Formaufwärtsfläche 55c auf der stromaufwärtigen Seite relativ zu den Verengungsabschnitten 111 und 112 im Messflusspfad 32 anzuordnen, so dass der Sensorträgerabschnitt 51 und der Formabschnitt 55 verkleinert werden können. Daher ist es möglich, zu unterdrücken, dass der Luftfluss im Messflusspfad 32 durch die Erhöhung der Größe des Sensorträgerabschnitts 51 zur stromaufwärtigen Seite hin gestört wird.
Wenn eine Konfiguration, in der die Querschnittsfläche S4 des Messflusspfads 32 von der Seite des Messeingangs 35 in Richtung des Flusssensors 22 verringert wird, als eine Konfiguration zur Verengung des Messflusspfads 32 bezeichnet wird, ist der Sensorträgerabschnitt 51 sowie die Verengungsflächen 431 und 441 in der Konfiguration zur Verengung des Messflusspfads 32 enthalten. Da die Formaufwärtsschrägfläche 471 an einer Position gegenüber den stromaufwärtigen Endabschnitten 111b und 112b der Verengungsabschnitte 111 und 112 in der Tiefenrichtung Z bereitgestellt ist, können der Sensorträgerabschnitt 51 und die Verengungsabschnitte 111 und 112 den Messflusspfad 32 in Richtung des Flusssensors 22 kontinuierlich verengen. Dadurch kann unterdrückt werden, dass sich der Begradigungseffekt durch den Sensorträgerabschnitt 51 und die Verengungsabschnitte 111 und 112 verringert, indem sich die Querschnittsfläche S4 des Messflusspfads 32 von der Seite des Messeingangs 35 zum Flusssensor 22 hin erhöht oder verringert.
Andererseits erhöht sich beispielsweise in einer Konfiguration, in der der Sensorträgerabschnitt 51 und die Verengungsabschnitte 111 und 112 an Positionen bereitgestellt sind, die in der Richtung, in der sich der Messflusspfad 32 erstreckt, voneinander getrennt sind, die Querschnittsfläche S4 des Flusssensors 22 zwischen dem Sensorträgerabschnitt 51 und den Verengungsabschnitten 111 und 112. Das heißt, der Messflusspfad 32 kann durch den Sensorträgerabschnitt 51 und die Verengungsabschnitte 111 und 112 nicht kontinuierlich in Richtung des Flusssensors 22 verengt werden. In diesem Fall ist zu befürchten, dass der Begradigungseffekt durch den Sensorträgerabschnitt 51 und die Verengungsabschnitte 111 und 112 abnimmt, indem sich die Querschnittsfläche S4 des Messflusspfads 32 von der Seite des Messeingangs 35 zum Flusssensor 22 hin erhöht oder verringert.
In der Konfiguration, in der die Formaufwärtsschrägfläche 471 an einer Position gegenüber den stromaufwärtigen Endabschnitten 111b und 112b der Verengungsabschnitte 111 und 112 in der Tiefenrichtung Z bereitgestellt ist, nimmt das Volumen des Sensorträgerabschnitts 51 im Messflusspfad 32 von der Seite des Messeingangs 35 in Richtung des Flusssensors 22 graduell zu. In diesem Fall kann der Sensorträgerabschnitt 51 den Messflusspfad 32 graduell verengen, indem es die Querschnittsfläche S4 des Messflusspfads 32 von der Seite des Messeingangs 35 in Richtung des Flusssensors 22 graduell verkleinert. Aus diesem Grund ist es möglich, die Störung des Luftflusses im Messflusspfad 32 durch den Sensorträgerabschnitt 51 zu unterdrücken, die durch einen zu starken Verengungsgrad entsteht.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist in dem Anordnungsquerschnitt CS41 die Formabwärtsfläche 55d des Sensorträgerabschnitts 51 auf der stromaufwärtigen Seite relativ zu den stromabwärtigen Endabschnitten 111c und 112c der Verengungsabschnitte 111 und 112 bereitgestellt. In dieser Konfiguration kann der Begradigungseffekt der Verengungsabschnitte 111 und 112 verhindern, dass die Luft, die durch die stromabwärtigen Endabschnitte 111c und 112c des Sensorträgerabschnitts 51 gelangt ist, gestört wird. Der Begradigungseffekt der Verengungsabschnitte 111 und 112 wird durch die Ausdehnungsflächen 432 und 442 auch auf der stromabwärtigen Seite relativ zu den oberen Abschnitten 111a und 112a ausgeübt. In dieser Konfiguration kann beispielsweise der Sensorträgerabschnitt 51 im Vergleich zu einer Konfiguration, in der die Formabwärtsfläche 55d auf der stromabwärtigen Seite relativ zu den Verengungsabschnitten 111 und 112 im Anordnungsquerschnitt CS41 angeordnet ist, verkleinert werden. Infolgedessen ist es weniger wahrscheinlich, dass sich der Begradigungseffekt durch die Verengungsabschnitte 111 und 112 aufgrund der erhöhten Größe des Sensorträgerabschnitts 51 verringert.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist die Formabwärtsschrägfläche 472 an einer Position gegenüber den stromabwärtigen Endabschnitten 111c und 112c der Verengungsabschnitte 111 und 112 in der Tiefenrichtung Z angeordnet. In dieser Konfiguration ist es im Messflusspfad 32 nicht erforderlich, die gesamte Formabwärtsschrägfläche 472 oder die gesamte Formabwärtsfläche 55d auf der stromaufwärtigen Seite relativ zu den stromabwärtigen Endabschnitten 111c und 112c der Verengungsabschnitte 111 und 112 anzuordnen, so dass der Sensorträgerabschnitt 51 und der Formabschnitt 55 verkleinert werden können. Daher ist es möglich, zu unterdrücken, dass der Luftfluss im Messflusspfad 32 durch eine Erhöhung der Größe des Sensorträgerabschnitts 51 zur stromabwärtigen Seite hin gestört wird.
Wenn eine Konfiguration, in der die Querschnittsfläche S4 des Messflusspfads 32 von dem Flusssensor 22 in Richtung des Messausgangs 36 erhöht wird, als eine Konfiguration zur Erweiterung des Messflusspfads 32 bezeichnet wird, ist der Sensorträgerabschnitt 51 sowie die Ausdehnungsflächen 432 und 442 in der Konfiguration zur Erweiterung des Messflusspfads 32 enthalten. Da die Formabwärtsschrägfläche 472 an einer Position gegenüber den stromabwärtigen Endabschnitten 111c und 112c der Verengungsabschnitte 111 und 112 in der Tiefenrichtung Z bereitgestellt ist, können der Sensorträgerabschnitt 51 und die Verengungsabschnitte 111 und 112 den Messflusspfad 32 in Richtung des Messausgangs 36 kontinuierlich erweitern. Dadurch kann unterdrückt werden, dass sich der Begradigungseffekt durch den Sensorträgerabschnitt 51 und die Verengungsabschnitte 111 und 112 verringert, indem sich die Querschnittsfläche S4 des Messflusspfads 32 von dem Flusssensor 22 zum Messausgang 36 hin erhöht oder verringert.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform sind in den Verengungsabschnitten 111 und 112, die auf der stromabwärtigen Seite relativ zur Formspitzenendfläche 55a des Sensorträgerabschnitts 51 im Anordnungsquerschnitt CS41 bereitgestellt sind, die Längendimensionen W33a und W33b der Ausdehnungsflächen 432 und 442 größer als die Längendimension W32a der Verengungsflächen 431 und 441. Bei dieser Konfiguration wird der Messflusspfad 32 in Richtung des Messausgangs 36 sanft erweitert, so dass Störungen, wie z. B. eine Trennung, aufgrund einer schnellen Ausdehnung des Messflusspfads 32 durch die Verengungsabschnitte 111 und 112 in Bezug auf den Luftfluss, der die Formspitzenendfläche 55a durchflossen und die Verengungsabschnitte 111 und 112 erreicht hat, nicht auftreten. Daher ist es möglich, den Luftfluss, der den Sensorträgerabschnitt 51 und die Verengungsabschnitte 111 und 112 durchflossen hat, von einer Störung abzuhalten.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist der vordere Verengungsabschnitt 111 an einer dem Flusssensor 22 zugewandten Position an der vorderen Messwandfläche 103 bereitgestellt. Daher kann in der Konfiguration, in der die Formaufwärtsfläche 55c auf der stromaufwärtigen Seite relativ zu dem vorderen Verengungsabschnitt 111 in dem Anordnungsquerschnitt CS41 angeordnet ist, um den Begradigungseffekt des vorderen Verengungsabschnitts 111 zu verbessern, die entlang des Flusssensors 22 fließende Luft durch den vorderen Verengungsabschnitt 111 effektiver begradigt werden.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist der hintere Verengungsabschnitt 112 auf der dem vorderen Verengungsabschnitt 111 gegenüberliegenden Seite über den Flusssensor 22 bereitgestellt. Daher kann in der Konfiguration, in der die Formaufwärtsfläche 55c auf der stromaufwärtigen Seite relativ zu dem vorderen Verengungsabschnitt 111 im Anordnungsquerschnitt CS41 angeordnet ist, um den Begradigungseffekt des vorderen Verengungsabschnitts 111 zu verstärken, die zwischen dem Sensorträgerabschnitt 51 und der hinteren Messwandfläche 104 fließende Luft auch durch den hinteren Verengungsabschnitt 112 begradigt werden. Daher ist es möglich, zu unterdrücken, dass aufgrund der zwischen dem Sensorträgerabschnitt 51 und der hinteren Messwandfläche 104 fließenden Luft die entlang des Flusssensors 22 fließende Luft gestört wird und die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 gesenkt wird.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist der Sensorträgerabschnitt 51 an einer Position bereitgestellt, die näher an dem vorderen Verengungsabschnitt 111 als an dem hinteren Verengungsabschnitt 112 in der Breitenrichtung X ist. Daher kann in der Konfiguration, in der die Formaufwärtsfläche 55c auf der stromaufwärtigen Seite relativ zu dem vorderen Verengungsabschnitt 111 in dem Anordnungsquerschnitt CS41 angeordnet ist, um den Begradigungseffekt des vorderen Verengungsabschnitts 111 zu verbessern, der Begradigungseffekt durch den vorderen Verengungsabschnitt 111 für die entlang des Flusssensors 22 fließende Luft weiter verbessert werden.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist die Reduktionsrate des Messflusspfads 32 durch den vorderen Verengungsabschnitt 111 größer als die Reduktionsrate des Messflusspfads 32 durch den hinteren Verengungsabschnitt 112. Daher kann in der Konfiguration, in der die Formaufwärtsfläche 55c auf der stromaufwärtigen Seite relativ zum vorderen Verengungsabschnitt 111 im Anordnungsquerschnitt CS41 angeordnet ist, um den Begradigungseffekt des vorderen Verengungsabschnitts 111 zu verbessern, der Begradigungseffekt durch den vorderen Verengungsabschnitt 111 stärker verbessert werden als der Begradigungseffekt durch den hinteren Verengungsabschnitt 112. Es ist möglich, eine Konfiguration zu erreichen, bei der ein Fremdkörper, wie z.B. Staub, der in der zum Flusssensor 22 fließenden Luft enthalten ist, leichter zwischen dem Sensorträgerabschnitt 51 und dem hinteren Verengungsabschnitt 112 eindringt als zwischen dem Sensorträgerabschnitt 51 und dem vorderen Verengungsabschnitt 111.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist der Flusssensor 22 in Übereinstimmung mit der Position angeordnet, in der die Flussgeschwindigkeit im Messflusspfad 32 maximal wird. Daher ist es in der Konfiguration, in der die Formaufwärtsfläche 55c auf der stromaufwärtigen Seite relativ zum vorderen Verengungsabschnitt 111 im Anordnungsquerschnitt CS41 angeordnet ist, um den Begradigungseffekt des vorderen Verengungsabschnitts 111 zu verbessern, möglich, eine Unzulänglichkeit der Rate und Geschwindigkeit der entlang des Flusssensors 22 fließenden Luft zu unterdrücken.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist der Abschnitt der Formaufwärtsfläche 55c des Sensorträgerabschnitts 51, der in dem Anordnungsquerschnitt CS41 angeordnet ist, in dem stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 enthalten. Daher kann in der Konfiguration, in der die Formaufwärtsfläche 55c auf der stromaufwärtigen Seite relativ zu dem vorderen Verengungsabschnitt 111 in dem Anordnungsquerschnitt CS41 angeordnet ist, um den Begradigungseffekt des vorderen Verengungsabschnitts 111 zu verbessern, die Störung durch die Verengungsabschnitte 111 und 112 reduziert werden, selbst wenn die Luftflussstörung in dem stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 auftritt.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist die Öffnungsfläche des Messausgangs 36 kleiner als die Öffnungsfläche des Messeingangs 35. Da der Messausgang 36 auf diese Weise schmaler ist als der Messeingang 35, ist es möglich, eine Konfiguration zu erreichen, bei der der gesamte Messflusspfad 32 in Richtung des Messausgangs 36 schmaler ist. Daher kann in der Konfiguration, in der die Formaufwärtsfläche 55c auf der stromaufwärtigen Seite relativ zum vorderen Verengungsabschnitt 111 im Anordnungsquerschnitt CS41 angeordnet ist, um den Begradigungseffekt des vorderen Verengungsabschnitts 111 zu verbessern, der Begradigungseffekt im gesamten Messflusspfad 32 weiter verbessert werden.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist die Öffnungsfläche des Kanalausgangs 34 kleiner als die Öffnungsfläche des Kanaleingangs 33. Da, wie oben beschrieben, der Kanalausgang 34 schmaler ist als der Kanaleingang 33, ist es möglich, eine Konfiguration zu erreichen, in der der gesamte Kanalflusspfad 31 in Richtung des Messeingangs 35 und des Kanalausgangs 34 schmaler ist. Daher kann in der Konfiguration, in der die Formaufwärtsfläche 55c auf der stromaufwärtigen Seite relativ zu dem vorderen Verengungsabschnitt 111 in dem Anordnungsquerschnitt CS41 angeordnet ist, um den Begradigungseffekt des vorderen Verengungsabschnitts 111 zu verbessern, der Begradigungseffekt in dem gesamten Kanalflusspfad 31 weiter verbessert werden.
<Beschreibung der Konfigurationsgruppe F>
Wie in 12, 28 und 29 gezeigt, enthält der Sensoraussparungsabschnitt 61 des Flusssensors 22 die Sensoraussparungsbodenfläche 501, die Sensoraussparungsinnenwandfläche 502 und die Sensoraussparungsöffnung 503. Die Sensoraussparungsbodenfläche 501 und die Sensoraussparungsinnenwandfläche 502 sind in der inneren Fläche des Sensoraussparungsabschnitts 61 enthalten. Eine Mittellinie CL51 des Sensoraussparungsabschnitts 61 erstreckt sich in Breitenrichtung X und verläuft durch die Mitte der Sensoraussparungsbodenfläche 501 und die Mitte der Sensoraussparungsöffnung 503. Die Mittellinie CL51 ist parallel zur Mittellinie CL5 (siehe 15) des Wärmewiderstandselements 71.
Die Sensoraussparungsbodenfläche 501 ist eine hintere Fläche des Membranabschnitts 62 und verläuft orthogonal zur Mittellinie CL51 des Sensoraussparungsabschnitts 61. Die Sensoraussparungsbodenfläche 501 und der Membranabschnitt 62 sind im Wesentlichen rechteckig geformt. Die Fläche des Membranabschnitts 62 ist in der Sensorvorderfläche 22a des Flusssensors 22 enthalten.
Die Sensoraussparungsinnenwandfläche 502 erstreckt sich von der Sensoraussparungsbodenfläche 501 in Richtung der Sensorrückfläche 22b. Da der Sensoraussparungsabschnitt 61 durch Nassätzung gebildet wird, ist die Sensoraussparungsinnenwandfläche 502 um einen vorbestimmten Winkel (z. B. 54,7 Grad) in Bezug auf die Mittellinie CL51 des Membranabschnitts 62 geneigt und weist zur Formrückseite. Die Sensoraussparungsinnenwandfläche 502 kann in Bezug auf die Mittellinie CL51 nicht geneigt sein. Wenn beispielsweise der Sensoraussparungsabschnitt 61 durch Trockenätzen gebildet wird, beträgt der Winkel der Sensoraussparungsinnenwandfläche 502 in Bezug auf die Mittellinie CL51 etwa 90 Grad.
Die Sensoraussparungsöffnung 503 ist ein offenes Ende des Sensoraussparungsabschnitts 61 und wird auf der Sensorrückfläche 22b als ein Endabschnitt auf der Formrückseite des Sensoraussparungsabschnitts 61 bereitgestellt. Die Sensoraussparungsöffnung 503 wird durch einen Endabschnitt der Formrückseite an der Sensoraussparungsinnenwandfläche 502 gebildet und ist rechteckig oder im Wesentlichen rechteckig. Die Sensoraussparungsöffnung 503 ist in einer Richtung geöffnet, in der sich die Mittellinie CL51 des Sensoraussparungsabschnitts 61 erstreckt. Der äußere Umfangsrand der Sensoraussparungsöffnung 503 ist an einer Position angeordnet, die nach außen von dem Membranabschnitt 62 und der Sensoraussparungsbodenfläche 501 in den Richtungen Y und Z orthogonal zu der Mittellinie CL51 des Sensoraussparungsabschnitts 61 getrennt ist.
Wie in 28 gezeigt, enthält der Sensor SA50 zusätzlich zum Flusssensor 22 und dergleichen eine Flussverarbeitungseinheit 511 und einen Bonddraht 512. Die Flussverarbeitungseinheit 511 ist zusammen mit dem Flusssensor 22 auf dem SA-Substrat 53 befestigt. Wenn eine der beiden Plattenflächen des SA-Substrats 53 als SA-Substratvorderfläche 545 und die andere als SA-Substratrückfläche 546 bezeichnet wird, sind sowohl der Flusssensor 22 als auch die Flussverarbeitungseinheit 511 auf der SA-Substratvorderfläche 545 bereitgestellt. Die Flussverarbeitungseinheit 511 ist über den Bonddraht 512 elektrisch mit dem Flusssensor 22 verbunden und führt verschiedene Prozesse im Zusammenhang mit dem Erfassungssignal von dem Flusssensor 22 aus. Die Flussverarbeitungseinheit 511 ist eine rechteckige parallelepipedische Komponente, und die Flussverarbeitungseinheit 511 kann auch als ein Schaltungschip bezeichnet werden.
Der Bonddraht 512 ist mit dem SA-Substrat 53, dem Flusssensor 22 und der Flussverarbeitungseinheit 511 verbunden. Der Formabschnitt 55 deckt mindestens den Bonddraht 512 im Sensor SA50 ab und schützt mindestens den Bonddraht 512. Zum Beispiel sind ein Kontaktierungsabschnitt zwischen dem Bonddraht 512 und der Flussverarbeitungseinheit 511, ein Verbindungsabschnitt zwischen dem Bonddraht 512 und dem Flusssensor 22, ein Verbindungsabschnitt zwischen dem Bonddraht 512 und dem SA-Substrat 53 und dergleichen in einem Zustand geschützt, in dem sie durch den Formabschnitt 55 abgedeckt sind.
Wie in 28, 29 und 31 gezeigt, enthält den Sensorträgerabschnitt 51 einen vorderen Trägerabschnitt 521 und einen hinteren Trägerabschnitt 522. Hier wird ein Abschnitt des Sensorträgerabschnitts 51, der auf der Seite der Sensorrückfläche 22b des Flusssensors 22 bereitgestellt ist, als hinterer Trägerabschnitt 522 bezeichnet, und ein Abschnitt, der auf der Formvorderseite relativ zum hinteren Trägerabschnitt 522 bereitgestellt ist, wird als vorderer Trägerabschnitt 521 bezeichnet. In diesem Fall enthält der vordere Trägerabschnitt 521 einen Formvorderabschnitt 550, das später beschrieben wird, und die Flussverarbeitungseinheit 511, und der hintere Trägerabschnitt 522 enthält einen Formrückabschnitt 560 und das SA-Substrat 53, das später beschrieben wird.
Der hintere Trägerabschnitt 522 erstreckt sich entlang der Sensorrückfläche 22b und deckt die Sensoraussparungsöffnung 503 von der Formrückseite her ab. Der hintere Trägerabschnitt 522 hat einen Trägeraussparungsabschnitt 530 und ein Trägerloch 540. Die hintere Fläche des hinteren Trägerabschnitts 522 ist die Formrückfläche 55f, und der Trägeraussparungsabschnitt 530 ist ein Aussparungsabschnitt, der auf der Formrückfläche 55f bereitgestellt ist. Der Trägeraussparungsabschnitt 530 wird durch die Formrückfläche 55f gebildet, die zur Formvorderseite hin ausgespart ist.
Der Trägeraussparungsabschnitt 530 enthält eine Trägeraussparungsbodenfläche 531, eine Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 und eine Trägeraussparungsöffnung 533. Die Trägeraussparungsbodenfläche 531 und die Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 sind in der inneren Fläche des Trägeraussparungsabschnitts 530 enthalten. Eine Mittellinie CL53 des Trägeraussparungsabschnitts 530 erstreckt sich in Breitenrichtung X und verläuft durch die Mitte der Trägeraussparungsbodenfläche 531 und die Mitte der Trägeraussparungsöffnung 533. Die Mittellinie CL53 erstreckt sich parallel zu der Mittellinie CL51 des Sensoraussparungsabschnitts 61 und ist mit der Mittellinie CL51 des Sensoraussparungsabschnitts 61 in der Höhenrichtung Y angeordnet. Wie in 29 und 30 gezeigt, ist die Mittellinie CL53 des Trägeraussparungsabschnitts 530 an einer Position angeordnet, die von der Mittellinie CL51 des Sensoraussparungsabschnitts 61 in Höhenrichtung Y zur Formbasisendseite verschoben ist. Die Querschnittsform des Trägeraussparungsabschnitts 530 in der Richtung orthogonal zur Mittellinie CL53 ist kreisförmig oder im Wesentlichen kreisförmig.
Wie in den 28, 29 und 31 gezeigt, ist die Trägeraussparungsbodenfläche 531 in der SA-Substratrückfläche 546 des SA-Substrats 53 enthalten. Die Trägeraussparungsbodenfläche 531 verläuft orthogonal zur Mittellinie CL53 des Trägeraussparungsabschnitts 530 und ist kreisförmig oder im Wesentlichen kreisförmig ausgebildet. Der äußere Umfangsrand der Trägeraussparungsbodenfläche 531 ist an einer Position bereitgestellt, die nach außen von der Sensoraussparungsöffnung 503 in den Richtungen Y und Z orthogonal zur Mittellinie CL53 des Trägeraussparungsabschnitts 530 getrennt ist. Die Trägeraussparungsbodenfläche 531 entspricht einem Trägeraussparungsbodenabschnitt.
Die Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 erstreckt sich von der Trägeraussparungsbodenfläche 531 in Richtung der Formrückseite. Die Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 ist in Bezug auf die Mittellinie CL53 des Trägeraussparungsabschnitts 530 geneigt und weist zur Formrückseite. Der Trägeraussparungsabschnitt 530 ist graduell in Richtung der Formrückseite in Breitenrichtung X erweitert. Mit anderen Worten, der Innenraum des Trägeraussparungsabschnitts 530 wird graduell in Richtung des Flusssensors 22 in Breitenrichtung X verengt. Die Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 erstreckt sich ringförmig entlang des äußeren Umfangsrandes der Trägeraussparungsbodenfläche 531.
Wie in 28, 29 und 31 gezeigt, ist die Trägeraussparungsöffnung 533 ein offenes Ende des Trägeraussparungsabschnitts 530 und wird auf der Formrückfläche 55f als ein Endabschnitt der Formrückseite des Trägeraussparungsabschnitts 530 bereitgestellt. Die Öffnung Trägeraussparungsöffnung 533 wird durch einen Endabschnitt der Formrückseite der Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 gebildet und ist kreisförmig oder im Wesentlichen kreisförmig. Die Trägeraussparungsöffnung 533 wird in einer Richtung geöffnet, in der sich die Mittellinie CL53 des Trägeraussparungsabschnitts 530 erstreckt. Der äußere Umfangsrand der Trägeraussparungsöffnung 533 ist an einer Position bereitgestellt, die nach außen hin sowohl von der Trägeraussparungsbodenfläche 531 als auch von der Sensoraussparungsöffnung 503 in den Richtungen Y und Z orthogonal zur Mittellinie CL53 des Trägeraussparungsabschnitts 530 getrennt ist.
Die Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 hat eine Innenwandschrägfläche 534, eine abgeschrägte Bodenfläche 535 und eine abgeschrägte Öffnungsfläche 536. Die Innenwandschrägfläche 534 erstreckt sich gerade in eine Richtung, die in Bezug auf die Mittellinie CL53 des Trägeraussparungsabschnitts 530 geneigt ist, und ein Neigungswinkel in Bezug auf die Mittellinie CL53 ist beispielsweise größer als 45 Grad. Die abgeschrägte Bodenfläche 535 ist eine Fläche, die den inneren Eckabschnitt zwischen der Trägeraussparungsbodenfläche 531 und der Innenwandschrägfläche 534 abschrägt und so gekrümmt ist, dass sie nach außen in den Trägeraussparungsabschnitt 530 ausgespart ist. Die abgeschrägte Öffnungsfläche 536 ist eine Fläche, die den äußeren Eckabschnitt zwischen der Innenwandschrägfläche 534 und der Formrückfläche 55f abschrägt und so gekrümmt ist, dass sie den Trägeraussparungsabschnitt 530 nach innen wölbt.
Wie in 31 gezeigt, ist in der gesamten Umfangsrichtung der Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 eine Längendimension L51 der Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 in den Richtungen Y und Z orthogonal zur Breitenrichtung X größer als eine Längendimension L52 der Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 in der Breitenrichtung X. Die Längendimension L51 ist eine Trennungsdistanz zwischen dem inneren Umfangsrand der abgeschrägten Bodenfläche 535 und dem äußeren Umfangsrand der abgeschrägten Öffnungsfläche 536 in den Richtungen Y und Z. Die Längendimension L52 ist eine Tiefendimension des Trägeraussparungsabschnitt 530 und ist eine Distanz zwischen dem inneren Umfangsrand der abgeschrägten Bodenfläche 535 und dem äußeren Umfangsrand der abgeschrägten Öffnungsfläche 536 in der Richtung X. Die Längendimension L52 ist eine Dickendimension eines Abschnitts des Formrückabschnitts 560, in dem der Trägeraussparungsabschnitt 530 bereitgestellt ist, und ist größer als die Dickendimension L54 des SA-Substrats 53. Das heißt, der Abschnitt des Formrückabschnitts 560, in dem der Trägeraussparungsabschnitt 530 bereitgestellt ist, ist dicker als das SA-Substrat 53.
Wie in 28, 29 und 31 gezeigt, erstreckt sich das Trägerloch 540 von der Trägeraussparungsbodenfläche 531 des Trägeraussparungsabschnitts 530 in Richtung des Flusssensors 22 und führt zu der Sensoraussparungsöffnung 503. Das Trägerloch 540 durchdringt den hinteren Trägerabschnitt 522 in Breitenrichtung X. Im hinteren Trägerabschnitt 522 wird die Trägeraussparungsbodenfläche 531 durch das SA-Substrat 53 gebildet, und das Trägerloch 540 ist ein Durchgangsloch, das das SA-Substrat 53 in Breitenrichtung X durchdringt. Im SA-Substrat 53 ist die Dickenrichtung die Breitenrichtung X. Die Mittellinie CL52 des Trägerlochs 540 erstreckt sich in der Breitenrichtung X und verläuft parallel zur Mittellinie CL51 des Sensoraussparungsabschnitts 61 und der Mittellinie CL53 des Trägeraussparungsabschnitts 530. Die Mittellinie CL52 des Trägerlochs 540 ist mit den Mittellinien CL51 und CL53 in der Höhenrichtung Y angeordnet. Wie in 29 und 30 gezeigt, befindet sich die Mittellinie CL52 des Trägerlochs 540 in einer Position, die von den beiden Mittellinien CL51 und CL53 zur Formspitzenendseite hin verschoben ist.
Die Mittellinie CL51 des Sensoraussparungsabschnitts 61 ist in einer Position angeordnet, die näher an der Mittellinie CL52 des Trägerlochs 540 liegt als die Mittellinie CL53 des Trägeraussparungsabschnitts 530. In diesem Fall ist die Trennungsdistanz zwischen den Mittellinien CL51 und CL52 in der Höhenrichtung Y kleiner als die Trennungsdistanz zwischen den Mittellinien CL51 und CL53.
Das Trägerloch 540 hat einen kreisförmigen Querschnitt oder einen im Wesentlichen kreisförmigen Querschnitt und hat eine gleichmäßige Dicke in der Richtung, in der sich die Mittellinie CL52 erstreckt. Wenn im Trägerloch 540 ein Endabschnitt auf der Formvorderseite als vorderer Endabschnitt 541 und ein Endabschnitt auf der Formrückseite als hinterer Endabschnitt 542 bezeichnet wird, sind sowohl der vordere Endabschnitt 541 als auch der hintere Endabschnitt 542 kreisförmig oder im Wesentlichen kreisförmig. Wie in 29 und 30 gezeigt, ist der vordere Endabschnitt 541 in der SA-Substratvorderfläche 545 enthalten und befindet sich an einer Position, die sowohl von dem äußeren Umfangsrand der Sensoraussparungsöffnung 503 als auch von dem äußeren Umfangsrand der Sensoraussparungsbodenfläche 501 in den Richtungen Y und Z orthogonal zur Mittellinie CL52 des Trägerlochs 540 nach innen getrennt ist. Daher erstreckt sich die Trägeraussparungsbodenfläche 531 ringförmig entlang des äußeren Umfangsrandes des hinteren Endabschnitts 542. Der hintere Endabschnitt 542 ist in der SA-Substratrückfläche 546 enthalten und ist an einer Position angeordnet, die vom äußeren Umfangsrand der Trägeraussparungsöffnung 533 in den Richtungen Y und Z orthogonal zur Mittellinie CL52 des Trägerlochs 540 nach innen versetzt ist.
Wie in 28, 29 und 31 gezeigt, enthält der Formabschnitt 55 den Formvorderabschnitt 550 und den Formrückabschnitt 560. Der Formvorderabschnitt 550 ist in dem vorderen Trägerabschnitt 521 enthalten und ist ein Abschnitt des Formabschnitts 55, der auf der Formvorderseite des SA-Substrats 53 bereitgestellt ist. Der Formvorderabschnitt 550 überlappt auf der SA-Substratvorderfläche 545 in einem Zustand, in dem er sich entlang der SA-Substratvorderfläche 545 erstreckt. Der Formvorderabschnitt 550 deckt die Flussverarbeitungseinheit 511 und den Bonddraht 512 von der Formvorderseite her ab. Der Formvorderabschnitt 550 deckt einen Teil des Flusssensors 22 von der Formvorderseite in einem Zustand ab, in dem der Membranabschnitt 62 der Formvorderseite ausgesetzt ist.
Der Formrückabschnitt 560 ist in dem hinteren Trägerabschnitt 522 enthalten und ist ein Abschnitt des Formabschnitts 55, der auf der Formrückseite relativ zu dem SA-Substrat 53 bereitgestellt ist. Der Formrückabschnitt 560 ist auf der SA-Substratrückfläche 546 in einem Zustand überlappt, in dem er sich entlang der SA-Substratrückfläche 546 erstreckt. Der Formrückabschnitt 560 ist mit einem Aussparungsformationsloch 571 bereitgestellt. Das Aussparungsformationsloch 571 ist ein Durchgangsloch, das den Formrückabschnitt 560 in Breitenrichtung X durchdringt und zusammen mit dem SA-Substrat 53 den Trägeraussparungsabschnitt 530 bildet. In dem Trägeraussparungsabschnitt 530 bildet die innere Fläche des Aussparungsformationslochs 571 die Trägeraussparungsinnenwandfläche 532, und das SA-Substrat 53 bildet die Trägeraussparungsbodenfläche 531. In diesem Fall fällt die Mittellinie des Aussparungsformationslochs 571 mit der Mittellinie CL53 des Trägeraussparungsabschnitts 530 zusammen.
Wie in 28 gezeigt, wird der Formabschnitt 55 von der Formbasisendfläche 55b zur Formspitzenendfläche 55a schrittweise verdünnt. Das heißt, die Dicke des Formabschnitts 55 in Breitenrichtung X verringert sich schrittweise in Richtung der Formspitzenendfläche 55a. In dem Formabschnitt 55 enthält der Formvorderabschnitt 550 einen vorderen Messabschnitt 551, einen vorderen Basisabschnitt 552 und einen vorderen Zwischenabschnitt 553, und der Formrückabschnitt 560 enthält einen hinteren Messabschnitt 561, einen hinteren Basisabschnitt 562 und einen hinteren Zwischenabschnitt 563.
In dem Formvorderabschnitt 550 ist der vordere Zwischenabschnitt 553 zwischen dem vorderen Messabschnitt 551 und dem vorderen Basisabschnitt 552 in der Höhenrichtung Y bereitgestellt. Der vordere Messabschnitt 551, der vordere Basisabschnitt 552 und der vordere Zwischenabschnitt 553 erstrecken sich alle entlang der SA-Substratvorderfläche 545. Der vordere Messabschnitt 551 bildet die Formspitzenendfläche 55a, und der vordere Basisabschnitt 552 bildet die Formbasisendfläche 55b. Die vordere Fläche des vorderen Messabschnitts 551, die vordere Fläche des vorderen Basisabschnitts 552 und die vordere Fläche des vorderen Zwischenabschnitts 553 erstrecken sich alle parallel zu der SA-Substratvorderfläche 545 und sind in der Formvorderfläche 55e enthalten.
Die Dicke des vorderen Messabschnitts 551, des vorderen Basisabschnitts 552 und des vorderen Zwischenabschnitts 553 ist im Wesentlichen gleichmäßig. Die Dickendimension in Breitenrichtung X ist im vorderen Messabschnitt 551 am kleinsten und im vorderen Basisabschnitt 552 am größten. Zum Beispiel ist die Dickendimension des vorderen Zwischenabschnitts 553 im Wesentlichen doppelt so groß wie die Dickendimension des vorderen Messabschnitts 551, und die Dickendimension des vorderen Basisabschnitts 552 ist im Wesentlichen dreimal so groß wie die Dickendimension des vorderen Messabschnitts 551. Wie in 31 dargestellt, ist eine Dickendimension L53 des vorderen Messabschnitts 551 größer als eine Dickendimension L54 des SA-Substrats 53. In Breitenrichtung X ragt der vordere Messabschnitt 551 nicht auf die Formvorderseite relativ zum Flusssensor 22.
In 31 ist die Sensorvorderfläche 22a des Flusssensors 22 an einer Position dargestellt, die relativ zur Fläche des vorderen Messabschnitts 551 auf die Formvorderseite ragt, tatsächlich ist die Sensorvorderfläche 22a aber an einer Position auf der Formrückseite relativ zur Fläche des vorderen Messabschnitts 551 bereitgestellt. In diesem Fall bildet die Sensorvorderfläche 22a einen Teil der Bodenfläche des Aussparungsabschnitts, der von der Formvorderfläche 55e zur Formrückseite hin ausgespart ist. In dem vorderen Messabschnitt 551 erstreckt sich der Umfangsrandaussparungsabschnitt 56 (siehe 10) entlang des äußeren Umfangsrandes der Sensorvorderfläche 22a, aber der Umfangsrandaussparungsabschnitt 56 ist in 31 nicht veranschaulicht.
In 10 hat der Umfangsrandaussparungsabschnitt 56 einen inneren Eckabschnitt, der durch die Bodenfläche des Umfangsrandaussparungsabschnitts 56 und die innere Wandfläche auf der inneren Umfangsseite gebildet wird, und einen inneren Eckabschnitt, der durch die Bodenfläche und die innere Wandfläche auf der äußeren Umfangsseite gebildet wird (siehe 34). Jedes dieser inneren Eckabschnitte erstreckt sich entlang des Umfangsrandabschnitts der Sensorvorderfläche 22a. Es wird davon ausgegangen, dass die durch den Messflusspfad 32 in Richtung der stromabwärtigen Seite fließenden Fremdkörper zusammen mit der Luft dazu neigen, sich in einem Abschnitt des inneren Eckabschnitts des Umfangsrandaussparungsabschnitts 56, der der stromaufwärtigen Formseite zugewandt ist, zu sammeln. Wenn die in diesen Abschnitten angesammelten Fremdkörper von dem inneren Eckabschnitt getrennt werden, fließen die Fremdkörper in Klumpen zur stromabwärtigen Seite. In dem Umfangsrandaussparungsabschnitt 56 ist ein Abschnitt, der der stromaufwärtigen Formseite zugewandt ist, sowohl im inneren Eckabschnitt der inneren Umfangsseite als auch im inneren Eckabschnitt der äußeren Umfangsseite enthalten. Da insbesondere ein der stromaufwärtigen Formseite zugewandter Abschnitt im inneren Eckabschnitt der inneren Umfangsseite auf der stromaufwärtigen Seite in Bezug auf den Membranabschnitt 62 vorhanden ist, haftet der Fremdkörper, wenn er sich von diesem Abschnitt trennt, an dem Membranabschnitt 62 oder nähert sich diesem in Klumpen. In diesem Fall ist zu befürchten, dass die Operationsgenauigkeit der Widerstandselemente 71 bis 73 und dergleichen in dem Membranabschnitt 62 aufgrund des Fremdkörpers verringert wird und die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 abnimmt.
Andererseits ist in dem Umfangsrandaussparungsabschnitt 56 die Höhendimension der inneren Wandfläche auf der inneren Umfangsseite in der Breitenrichtung X kleiner als die Höhendimension der inneren Wandfläche auf der äußeren Umfangsseite in der Breitenrichtung X. Das heißt, in dem Umfangsrandaussparungsabschnitt 56 ist der innere Eckabschnitt der inneren Umfangsseite kleiner als der innere Eckabschnitt der äußeren Umfangsseite in Breitenrichtung X. Aus diesem Grund ist es weniger wahrscheinlich, dass sich die Fremdkörper in dem Abschnitt im inneren Eckabschnitt der inneren Umfangsseite, der der stromaufwärtigen Formseite zugewandt ist, ansammeln als in dem Abschnitt im inneren Eckabschnitt der äußeren Umfangsseite, der der stromaufwärtigen Formseite zugewandt ist. In diesem Fall ist es, anders als bei der vorliegenden Ausführungsform, zum Beispiel im Vergleich zu dem Umfangsrandaussparungsabschnitt, bei dem die Höhendimension der inneren Fläche auf der inneren Umfangsseite größer ist als die Höhendimension der inneren Wandfläche auf der äußeren Umfangsseite, weniger wahrscheinlich, dass sich die Fremdkörper in dem Abschnitt im inneren Eckabschnitt auf der inneren Umfangsseite, die der Formaufwärtsfläche gegenüberliegt, ansammeln. Daher ist es weniger wahrscheinlich, dass sich die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 aufgrund der in diesem Abschnitt angesammelten Fremdkörper verringert.
Wie in 28 dargestellt, hat die Formvorderfläche 55e die vordere Messstufenfläche 555 und eine vordere Basisstufenfläche 556. Die vordere Messstufenfläche 555 ist an einem Grenzabschnitt zwischen dem vorderen Messabschnitt 551 und dem vorderen Zwischenabschnitt 553 bereitgestellt, und die vordere Basisstufenfläche 556 ist an einem Grenzabschnitt zwischen dem vorderen Zwischenabschnitt 553 und dem vorderen Basisabschnitt 552 bereitgestellt. Sowohl die vordere Messstufenfläche 555 als auch die vordere Basisstufenfläche 556 sind der Formspitzenendseite zugewandt und sind in der Formvorderfläche 55e enthalten. Die vordere Messstufenfläche 555 und die vordere Basisstufenfläche 556 sind in Bezug auf die Mittellinie CL53 des Trägeraussparungsabschnitts 530 geneigt und weisen auf die der Formrückfläche 55f gegenüberliegende Seite. In der Höhenrichtung Y ist der Abschnitt zwischen dem vorderen Messabschnitt 551 und dem vorderen Zwischenabschnitt 553 in der Mitte der vorderen Messstufenfläche 555 angeordnet, und der Abschnitt zwischen dem vorderen Zwischenabschnitt 553 und dem vorderen Basisabschnitt 552 ist in der Mitte der vorderen Basisstufenfläche 556 angeordnet. Die vordere Messstufenfläche 555 ist in der SA-Stufenfläche 147 enthalten (siehe 18).
In dem Formvorderabschnitt 550 befindet sich die vordere Messstufenfläche 555 in einem Zustand, in dem sie sich in Bezug auf die Sensorvorderfläche 22a auf die Formvorderseite erstreckt. In dieser Konfiguration fließt die im Ansaugkanal 12 entlang der vorderen Messstufenfläche 555 fließende Luft an der Sensorvorderfläche 22a entlang. In diesem Fall werden die Rate und die Geschwindigkeit der entlang der Sensorvorderfläche 22a fließenden Luft zu Werten, die der Position der vorderen Messstufenfläche 555 entsprechen. In diesem Fall ändert sich der Grad der Störungswahrscheinlichkeit des Luftflusses, der entlang der Sensorvorderfläche 22a fließt, gemäß dem Grad der Ebenheit der vorderen Messstufenfläche 555. Daher wird bei der Herstellung des Sensors SA50 die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 höher, wenn die Genauigkeit der Position und der Form der vorderen Messstufenfläche 555 höher ist.
Andererseits wird im Gegensatz zur vorliegenden Ausführungsform beispielsweise eine Konfiguration angenommen, bei der an der Formspitzenendseite in Bezug auf die Sensorvorderfläche 22a zusätzlich zu der vorderen Messstufenfläche 555 eine sich zur Formvorderseite erstreckende Stufenfläche bereitgestellt ist. Wenn diese Stufenfläche als spitzenendenseitige Stufenfläche bezeichnet wird, fließt die Luft, die zwischen der spitzenendenseitigen Stufenfläche und der vorderen Messstufenfläche 555 fließt, entlang der Sensorvorderfläche 22a an der Formvorderfläche 55e. In diesem Fall werden die Rate und die Geschwindigkeit der Luft, die entlang der Sensorvorderfläche 22a fließt, zu Werten, die der Position der vorderen Messstufenfläche 555 und der spitzenendenseitigen Stufenfläche entsprechen. In diesem Fall ändert sich die Wahrscheinlichkeit einer Störung des Luftflusses, der entlang der Sensorvorderfläche 22a fließt, gemäß dem Grad der Ebenheit von jeder der vorderen Messstufenfläche 555 und der spitzenendenseitigen Stufenfläche. Daher wird bei der Herstellung des Sensors SA50 die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 umso höher, je genauer die Position und die Form von jeder der vorderen Messstufenfläche 555 und der spitzenendenseitigen Stufenfläche.
Wie oben beschrieben, ist es in der Konfiguration, in der die spitzenendenseitige Stufenfläche am Formvorderabschnitt 550 bereitgestellt ist, notwendig, die Genauigkeit der Position und Form sowohl der vorderen Messstufenfläche 555 als auch der spitzenendenseitigen Stufenfläche zu verbessern, um die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 zu verbessern. Andererseits ist es in der vorliegenden Ausführungsform, da die spitzenendenseitige Stufenfläche nicht im Formvorderabschnitt 550 bereitgestellt ist, nur notwendig, die Genauigkeit der Position und Form der vorderen Messstufenfläche 555 zu verbessern, um die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 zu verbessern. Daher ist in der vorliegenden Ausführungsform, in der die spitzenendenseitige Stufenfläche nicht bereitgestellt ist, die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 im Vergleich zu der Konfiguration, in der die spitzenendenseitige Stufenfläche am Formvorderabschnitt 550 bereitgestellt ist, leicht verbessert.
In dem Formrückabschnitt 560 ist der hintere Zwischenabschnitt 563 zwischen dem hinteren Messabschnitt 561 und dem hinteren Basisabschnitt 562 in der Höhenrichtung Y bereitgestellt. Der hintere Messabschnitt 561, der hintere Basisabschnitt 562 und der hintere Zwischenabschnitt 563 erstrecken sich alle entlang der SA-Substratrückfläche 546. Der hintere Messabschnitt 561 bildet die Formspitzenendfläche 55a, und der hintere Basisabschnitt 562 bildet die Formbasisendfläche 55b. Die hintere Fläche des hinteren Messabschnitts 561, die hintere Fläche des hinteren Basisabschnitts 562 und die hintere Fläche des hinteren Zwischenabschnitts 563 erstrecken sich alle parallel zur SA-Substratrückfläche 546 und sind in der Formrückfläche 55f enthalten.
Die Dicke des hinteren Messabschnitts 561, des hinteren Basisabschnitts 562 und des hinteren Zwischenabschnitts 563 ist im Wesentlichen gleichmäßig. Die Dickendimension in Breitenrichtung X ist im hinteren Messabschnitt 561 am kleinsten und im hinteren Basisabschnitt 562 am größten. Zum Beispiel ist die Dickendimension des hinteren Zwischenabschnitts 563 im Wesentlichen doppelt so groß wie die Dickendimension des hinteren Messabschnitts 561, und die Dickendimension des hinteren Basisabschnitts 562 ist im Wesentlichen dreimal so groß wie die Dickendimension des hinteren Messabschnitts 561. Wie in 31 gezeigt, ist eine Längendimension L52, die eine Dickendimension des hinteren Messabschnitts 561 ist, größer als die Dickendimension L54 des SA-Substrats 53.
Wie in 28 gezeigt, hat die Formrückfläche 55f eine hintere Messstufenfläche 565 und eine hintere Basisstufenfläche 566. Die hintere Messstufenfläche 565 ist an einem Grenzabschnitt zwischen dem hinteren Messabschnitt 561 und dem hinteren Zwischenabschnitt 563 bereitgestellt, und die hintere Basisstufenfläche 566 ist an einem Grenzabschnitt zwischen dem hinteren Zwischenabschnitt 563 und dem hinteren Basisabschnitt 562 bereitgestellt. Sowohl die hintere Messstufenfläche 565 als auch die hintere Basisstufenfläche 566 sind der Formspitzenendseite zugewandt und in der Formrückfläche 55f enthalten. Die hintere Messstufenfläche 565 und die hintere Basisstufenfläche 566 sind in Bezug auf die Mittellinie CL53 des Trägeraussparungsabschnitts 530 geneigt und weisen auf die der Formvorderfläche 55e gegenüberliegende Seite. In der Höhenrichtung Y ist der Grenzabschnitt zwischen dem hinteren Messabschnitt 561 und dem hinteren Zwischenabschnitt 563 in der Mitte der hinteren Messstufenfläche 565 angeordnet, und der Grenzabschnitt zwischen dem hinteren Zwischenabschnitt 563 und dem hinteren Basisabschnitt 562 ist in der Mitte der hinteren Basisstufenfläche 566 angeordnet. Die hintere Messstufenfläche 565 ist in der SA-Stufenfläche 147 enthalten (siehe 18).
Da, wie oben beschrieben, die Dicke der Messabschnitte 551 und 561 im Wesentlichen gleichmäßig ist, ist die Dicke des überlappenden Abschnitts, d.h. des Abschnitts, in dem sich die Messabschnitte 551 und 561 in Breitenrichtung X im Formabschnitt 55 überlappen, im Wesentlichen gleichmäßig. In dieser Konfiguration ist es selbst dann, wenn der überlappende Abschnitt des Formabschnitts 55 aufgrund von thermischer Verformung oder ähnlichem verformt wird, weniger wahrscheinlich, dass sich der Grad der Verformung zwischen dem Abschnitt an der Formspitzenendseite und dem Abschnitt an der Formbasisendseite im überlappenden Abschnitt unterscheidet. In diesem Fall ist es weniger wahrscheinlich, dass der überlappende Abschnitt des Formabschnitts 55 so verformt wird, dass er sich in Breitenrichtung X und der Tiefenrichtung Z krümmt, und somit ist es weniger wahrscheinlich, dass sich der Flusssensor 22 so verformt, dass er sich zusammen mit der Verformung des überlappenden Abschnitts in Richtung der Formvorderseite und der Formrückseite krümmt. Daher wird eine ungewollte Verformung des Membranabschnitts 62 und der Widerstandselemente 71 bis 74 unterdrückt.
In dem Formabschnitt 55 haben der vordere Messabschnitt 551 und der hintere Messabschnitt 561 die gleiche oder im Wesentlichen die gleiche Dickendimension. In dieser Konfiguration ist es weniger wahrscheinlich, dass sich der vordere Messabschnitt 551 und der hintere Messabschnitt 561 am überlappenden Abschnitt unterscheiden, selbst wenn der überlappende Abschnitt des Formabschnitts 55 aufgrund von thermischer Verformung oder ähnlichem verformt wird. Selbst in diesem Fall wird der überlappende Abschnitt des Formabschnitts 55 kaum so verformt, dass er sich in Richtung der Formvorderseite oder der Formrückseite in Breitenrichtung X krümmt. Daher werden der Membranabschnitt 62 und die Widerstandselemente 71 bis 74 ähnlich wie in dem Fall, in dem die Dicke des überlappenden Abschnitts des Formabschnitts 55 im Wesentlichen gleichmäßig ist, vor einer unbeabsichtigten Verformung geschützt.
Der hintere Zwischenabschnitt 563 hat einen Zwischenaussparungsabschnitt 572. Der Zwischenaussparungsabschnitt 572 ist zwischen der Formaufwärtsfläche 55c und der Formabwärtsfläche 55d in Tiefenrichtung Z bereitgestellt und ist eine Kerbe, die sich von der hinteren Messstufenfläche 565 in Richtung des hinteren Basisabschnitts 562 erstreckt. Die Bodenfläche des Zwischenaussparungsabschnitts 572 ist bündig mit der hinteren Fläche des hinteren Messabschnitts 561. Hier ist der Trägeraussparungsabschnitt 530 an einer Position gegenüber der hinteren Messstufenfläche 565 in Höhenrichtung Y bereitgestellt. In diesem Fall wird der Umfangsrandabschnitt der Trägeraussparungsöffnung 533 durch die gleiche Ebene gebildet, die durch die äußere Fläche des hinteren Messabschnitts 561 und die Bodenfläche des Zwischenaussparungsabschnitts 572 gebildet wird.
Wie in 25 und 32 gezeigt, enthält die durch den Messflusspfad 32 fließende Luft den vorderen Schließfluss AF33 und den hinteren Schließfluss AF34. Der vordere Schließfluss AF33 ist ein Luftfluss, der entlang der Formvorderfläche 55e fließt, und der hintere Schließfluss AF34 ist ein Luftfluss, der entlang der Formrückfläche 55f fließt. Der Flusssensor 22 erfasst die Flussrate des vorderen Schließflusses AF33, der entlang des Membranabschnitts 62 der Sensorvorderfläche 22a fließt, als Ziel. Daher ist die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 tendenziell höher, da die in dem vorderen Schließfluss AF33 enthaltene Störung kleiner ist.
In dem Flusssensor 22 kann ein Luftfluss innerhalb des Sensoraussparungsabschnitts 61 erzeugt werden. Wenn dieser Luftfluss als Hohlraumfluss AF51 bezeichnet wird, wird dieser Hohlraumfluss AF51 durch Luft erzeugt, die durch den Trägeraussparungsabschnitt 530 und das Trägerloch 540 in den Sensoraussparungsabschnitt 61 hinein und aus ihm heraus fließt. Wenn beispielsweise der Ansaugdruck, d. h. der Druck der Ansaugluft, im Ansaugkanal 12 erhöht wird, fließt Luft, wie der hintere Schließfluss AF34, durch den Trägeraussparungsabschnitt 530 und das Trägerloch 540 in den Sensoraussparungsabschnitt 61, und der Hohlraumfluss AF51 wird erzeugt. Wenn der Ansaugdruck im Ansaugkanal 12 verringert wird, fließt die Innenluft des Sensoraussparungsabschnitts 61 durch den Trägeraussparungsabschnitt 530 und das Trägerloch 540 aus, und es wird der Hohlraumfluss AF51 erzeugt. In diesen Fällen erhöht oder verringert sich der Innendruck des Sensoraussparungsabschnitts 61 gemäß dem Druck im Ansaugkanal 12, und zwischen der Innenseite und der Außenseite des Membranabschnitts 62 entsteht kaum eine Druckdifferenz. Der Druck im Inneren des Membranabschnitts 62 ist der Innendruck des Sensoraussparungsabschnitts 61. Der Druck außerhalb des Membranabschnitts 62 ist der Außendruck des Sensors SA50 und ist der Ansaugdruck des Ansaugkanals 12.
Selbst wenn der Ansaugdruck im Ansaugkanal 12 nicht ansteigt oder abfällt, kann der entlang der Formrückfläche 55f fließende hintere Schließfluss AF34 durch den Trägeraussparungsabschnitt 530 und das Trägerloch 540 in den Sensoraussparungsabschnitt 61 fließen. Wenn der hintere Schließfluss AF34 in den Sensoraussparungsabschnitt 61 fließt, ist es wahrscheinlich, dass im Sensoraussparungsabschnitt 61 der Hohlraumfluss AF51 auftritt. Wenn der Hohlraumfluss AF51 erzeugt wird, ist zu befürchten, dass ein Fehler im Erfassungsergebnis des Flusssensors 22 auftritt, der die Flussrate für der vordere Schließfluss AF33 erfasst.
In dem Flusssensor 22 wird der Membranabschnitt 62 durch das Wärmewiderstandselement 71 erwärmt, und die Temperatur des Membranabschnitts 62 wird durch die Widerstandsthermometer 72 und 73 erfasst, um die Flussrate der Luft, wie der vordere Schließfluss AF33, die entlang der Sensorvorderfläche 22a fließt, zu erfassen. Wenn beispielsweise die Menge des entlang der Sensorvorderfläche 22a fließenden vorderen Schließflusses AF33 gering ist oder wenn der Fluss des vorderen Schließflusses AF33 langsam ist, ist die Temperaturdifferenz, d. h. die Differenz zwischen der erfassten Temperatur des stromaufwärtigen Widerstandsthermometers 72 und der erfassten Temperatur des stromabwärtigen Widerstandsthermometers 73, tendenziell gering. Dies liegt daran, dass im Membranabschnitt 62 die Umgebungstemperatur des stromaufwärtigen Widerstandsthermometers 72 durch den vorderen Schließfluss AF33 weniger wahrscheinlich verringert wird und der vordere Schließfluss AF33 die Wärme der Wärmewiderstandselemente 71 weniger wahrscheinlich auf den Umfangsabschnitt des stromabwärtigen Widerstandsthermometers 73 überträgt. Mit anderen Worten: Wenn die Menge des an der Sensorvorderfläche 22a vorbeifließenden vorderen Schließflusses AF33 groß ist oder wenn der vordere Schließfluss AF33 schnell fließt, ist die Temperaturdifferenz zwischen den Widerstandsthermometern 72 und 73 tendenziell groß. Dies liegt daran, dass die Umgebungstemperatur des stromaufwärtigen Widerstandsthermometers 72 des Membranabschnitts 62 wahrscheinlich durch den vorderen Schließfluss AF33 verringert wird, und dass der vordere Schließfluss AF33 wahrscheinlich die Wärme der Wärmewiderstandselemente 71 auf den Umfangsabschnitt des stromabwärtigen Widerstandsthermometers 73 überträgt.
Wenn jedoch der Hohlraumfluss AF51 erzeugt wird, kann die Temperatur des Membranabschnitts 62 nicht nur durch den vorderen Schließfluss AF33, der entlang der vorderen Fläche des Membranabschnitts 62 fließt, sondern auch durch den Hohlraumfluss AF51, der entlang der hinteren Fläche des Membranabschnitts 62 fließt, verändert werden. Wenn beispielsweise der Hohlraumfluss AF51 schneller fließt als der vordere Schließfluss AF33, ist die Temperaturdifferenz zwischen den Widerstandsthermometern 72 und 73 tendenziell größer als wenn der Hohlraumfluss AF51 nicht erzeugt wird. In diesem Fall gibt das Erfassungsergebnis des Flusssensors 22 eine Flussrate an, die größer ist als die tatsächliche Flussrate des vorderen Schließflusses AF33. Wenn der Hohlraumfluss AF51 wie oben beschrieben erzeugt wird, besteht die Sorge, dass die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 verschlechtert wird.
Wie in 32 gezeigt, fließt beispielsweise der hintere Schließfluss AF34, der in den Trägeraussparungsabschnitt 530 fließt, in Richtung der Trägeraussparungsbodenfläche 531 schräg in Breitenrichtung X entlang eines Abschnitts der Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 auf der stromaufwärtigen Formseite. Der hintere Schließfluss AF34, der die Trägeraussparungsbodenfläche 531 erreicht hat, bewegt sich dann in Tiefenrichtung Z entlang der Trägeraussparungsbodenfläche 531, durchquert den hinteren Endabschnitt 542 des Trägerlochs 540 und erreicht einen Abschnitt der Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 der Formabwärtsseite. Der hintere Schließfluss AF34 verläuft in Richtung der Trägeraussparungsöffnung 533 schräg in Bezug auf die Richtung X entlang der Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 und fließt aus der Trägeraussparungsöffnung 533 nach außen.
Andererseits hat beim Sensor SA50, wie oben beschrieben, die Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 eine Form, bei der der Innenraum des Trägeraussparungsabschnitts 530 graduell zum Trägerloch 540 hin verengt ist. Daher wird der hintere Schließfluss AF34, selbst wenn er in das Innere des Trägeraussparungsabschnitts 530 fließt, durch die Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 und die Trägeraussparungsbodenfläche 531 zurückgeworfen und fließt leicht aus der Trägeraussparungsöffnung 533 heraus. Mit anderen Worten, der hintere Schließfluss AF34 fließt kaum in den hinteren Endabschnitt 542 des Trägerlochs 540 innerhalb des Trägeraussparungsabschnitts 530. Da die Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 in Bezug auf die Formrückfläche 55f geneigt ist, ist es weniger wahrscheinlich, dass der hintere Schließfluss AF34, der den Trägeraussparungsabschnitt 530 erreicht hat, von der Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 getrennt wird. Daher ist es selbst dann, wenn der hintere Schließfluss AF34 den Trägeraussparungsabschnitt 530 erreicht, weniger wahrscheinlich, dass innerhalb des Trägeraussparungsabschnitts 530 eine Störung wie z. B. ein Wirbel auftritt, der die Trennung begleitet.
Wie oben beschrieben, ist innerhalb des Trägeraussparungsabschnitts 530 der innere Umfangsrand der Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 von dem hinteren Endabschnitt 542 des Trägerlochs 540 in der Tiefenrichtung Z getrennt. In dieser Konfiguration erreicht der hintere Schließfluss AF34, der entlang der Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 innerhalb des Trägeraussparungsabschnitts 530 in Richtung der Formvorderseite fortschreitet, leichter die Trägeraussparungsbodenfläche 531 als den hinteren Endabschnitt 542 des Trägerlochs 540. Daher ist es weniger wahrscheinlich, dass der hintere Schließfluss AF34, der entlang der Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 verläuft, direkt in den hinteren Endabschnitt 542 des Trägerlochs 540 fließt. Der hintere Schließfluss AF34 wird durch die Trägeraussparungsbodenfläche 531 zurückgeworfen und bewegt sich in Richtung der Gehäuserückseite, so dass der hintere Schließfluss AF34 leicht von der Trägeraussparungsöffnung 533 nach außen abfließt.
Im Gegensatz zur vorliegenden Ausführungsform wird beispielsweise eine Konfiguration angenommen, bei der nur das Trägerloch 540 des Trägeraussparungsabschnitts 530 und das Trägerloch 540 im hinteren Trägerabschnitt 522 bereitgestellt ist und nicht die Trägeraussparungsöffnung 533 des Trägeraussparungsabschnitts 530, sondern der hintere Endabschnitt 542 des Trägerlochs 540 an der Formrückfläche 55f angeordnet ist. Bei dieser Konfiguration wird der Innenraum des Trägerlochs 540 nicht in Richtung des Trägeraussparungsabschnitts 530 verengt, und es wird davon ausgegangen, dass, wenn der hintere Schließfluss AF34 in den hinteren Endabschnitt 542 des Trägerlochs 540 fließt, der hintere Schließfluss AF34 leicht in das Innere des Sensoraussparungsabschnitts 61 durch das Trägerloch 540 fließt. In diesem Fall ist zu befürchten, dass der Hohlraumfluss AF51 in dem Sensoraussparungsabschnitt 61 aufgrund des in den Sensoraussparungsabschnitt 61 fließenden Rückflusses AF34 auftreten wird.
Als nächstes wird als Herstellungsverfahren des Luftflussmessers 20 ein Herstellungsverfahren des Sensors SA50 unter Bezugnahme auf 33 und 34 beschrieben. Das Herstellungsverfahren des Luftflussmessers 20 entspricht einem Herstellungsverfahren einer Messvorrichtung für physikalische Größen.
Zunächst werden der Flusssensor 22, die Flussverarbeitungseinheit 511 und das SA-Substrat 53 hergestellt. Der Flusssensor 22 und die Flussverarbeitungseinheit 511 werden auf dem SA-Substrat 53 befestigt, und der Bonddraht 512 wird mit dem Flusssensor 22, der Flussverarbeitungseinheit 511 und dem SA-Substrat 53 verbunden. Wenn das Drahtbonden zum Verbinden des Bonddrahtes 512 mit dem Flusssensor 22 oder dergleichen ausgeführt wird, kann das SA-Substrat 53 vibrieren. Wenn das SA-Substrat 53 vibriert, besteht die Gefahr, dass der Bonddraht 512 in Resonanz mit der Vibration des SA-Substrats 53 gerät und der Bonddraht 512 durchtrennt wird. Daher wird der Bonddraht 512 vorübergehend mit einem Klebeband oder dergleichen an einer Werkbank oder dergleichen festgemacht. Infolgedessen schwingt der Bonddraht 512 kaum mit den Vibrationen des SA-Substrats 53 mit. Der Kontaktierungsabschnitt zwischen dem Flusssensor 22 und dem Bonddraht 512 ist zum Schutz des Verbindungsabschnitts mit einem Harzmaterial abgedeckt.
In dem plattenförmigen Basismaterial, das das SA-Substrat 53 bildet, sind der Flusssensor 22 und die Flussverarbeitungseinheit 511 auf jedem SA-Substrat 53 befestigt, während die Mehrzahl der SA-Substrate 53 miteinander verbunden sind, und der Formabschnitt 55 ist auf jedem SA-Substrat 53 bereitgestellt, wie später beschrieben. Zusätzlich zu dem Flusssensor 22 und der Flussverarbeitungseinheit 511 sind passive Komponenten, wie z.B. ein Chipkondensator, auf dem SA-Substrat 53 befestigt.
Anschließend wird unter Verwendung der SA-Formvorrichtung 580, z. B. eine Form, ein Formungsprozess des Formabschnitts 55 ausgeführt. Bei diesem Formungsprozess wird die SA-Formvorrichtung 580 an dem SA-Substrat 53 befestigt, und der Formabschnitt 55 wird durch die SA-Formvorrichtung 580 geformt. Die SA-Formvorrichtung 580 ist in einer Spritzformvorrichtung enthalten, und die Spritzformvorrichtung enthält zusätzlich zur SA-Formvorrichtung 580 eine Spritzformmaschine und einen Trichter. Der Trichter liefert ein Harzmaterial, wie z. B. Pellets, an eine Spritzformmaschine. Die Spritzformmaschine erhitzt das von dem Trichter zugeführte Harzmaterial, um ein geschmolzenes Harz zu erzeugen, und führt das geschmolzene Harz durch Einpressen des geschmolzenen Harzes in die SA-Formvorrichtung 580 zu.
Wie in 33 und 34 gezeigt, hat die SA-Formvorrichtung 580 einen vorderen Formabschnitt 581 und einen hinteren Formabschnitt 591 und hat insgesamt eine Plattenform. Der vordere Formabschnitt 581 und der hintere Formabschnitt 591 sind jeweils durch ein Harzmaterial oder ein Metallmaterial in einer Plattenform insgesamt gebildet. Der vordere Formabschnitt 581 und der hintere Formabschnitt 591 sind mit ihren einander zugewandten Flächen aneinander montiert. Der Innenraum der SA-Formvorrichtung 580 enthält einen Formraum zum Formen des Formabschnitts 55, und der Formraum wird durch den vorderen Formabschnitt 581 und den hinteren Formabschnitt 591 gebildet.
Der vordere Formabschnitt 581 ist ein Formabschnitt zum Formen des Formabschnitts 55 von der Formvorderseite aus. Der vordere Formabschnitt 581 hat einen vorderen Formaussparungsabschnitt 582. Der vordere Formaussparungsabschnitt 582 ist ein Aussparungsabschnitt, der auf einer dem hinteren Formabschnitt 591 zugewandten Fläche in der äußeren Fläche des vorderen Formabschnitts 581 bereitgestellt ist und mindestens einen Teil des Formvorderabschnitts 550 formt.
Der hintere Formabschnitt 591 ist ein Formabschnitt zum Abformen des Formabschnitts 55 von der Formrückseite. Der hintere Formabschnitt 591 hat einen hinteren Formaussparungsabschnitt 592. Der hintere Formaussparungsabschnitt 592 ist ein Aussparungsabschnitt, der auf einer dem vorderen Formabschnitt 581 zugewandten Fläche in der äußeren Fläche des hinteren Formabschnitts 591 bereitgestellt ist und mindestens einen Teil des Formrückabschnitts 560 formt. Der hintere Formabschnitt 591 enthält einen Trägeraussparungsformabschnitt 592a. Der Trägeraussparungsformabschnitt 592a ist ein Abschnitt zum Anformen des Trägeraussparungsabschnitts 530 an den Formrückabschnitt 560 im hinteren Formabschnitt 591. Der Trägeraussparungsformabschnitt 592a ist ein Vorsprungsabschnitt, der an der inneren Fläche des hinteren Formabschnitts 591 bereitgestellt ist und von der inneren Fläche des hinteren Formabschnitts 591 in Richtung des vorderen Formabschnitts 581 in Breitenrichtung X vorsteht. Die vordere Endfläche des Trägeraussparungsformabschnitts 592a überlappt die Trägeraussparungsbodenfläche 531 des SA-Substrats 53 in einem Zustand, in dem die SA-Formvorrichtung 580 an dem SA-Substrat 53 befestigt ist.
Die SA-Formvorrichtung 580 enthält zusätzlich zu dem vorderen Formabschnitt 581 und dem hinteren Formabschnitt 591 ein bewegliches Formabschnitt 585 und eine bewegliche Feder 586. Bei dem beweglichen Formabschnitt 585 handelt es sich um einen Formabschnitt, der durch ein Harzmaterial oder ein Metallmaterial insgesamt plattenförmig gebildet wird und in einem Zustand bereitgestellt ist, in dem es dem Innenraum des vorderen Formabschnitts 581 ausgesetzt ist. Der bewegliche Formabschnitt 585 ist mindestens an einer Position bereitgestellt, die der Sensorvorderfläche 22a des Flusssensors 22 in einem Zustand zugewandt ist, in dem die SA-Formvorrichtung 580 an dem SA-Substrat 53 angebracht ist. Der bewegliche Formabschnitt 585 wird durch die Vorspannkraft der beweglichen Feder 586 gegen die Sensorvorderfläche 22a des Flusssensors 22 gedrückt. Wenn die Plattenfläche des beweglichen Formabschnitts 585 auf der Seite des hinteren Formabschnitts 591 als bewegliche Fläche 585b bezeichnet wird, wird die bewegliche Fläche 585b durch die bewegliche Feder 586 gegen den Flusssensor 22 gedrückt.
Der bewegliche Formabschnitt 585 ist relativ zu dem vorderen Formabschnitt 581 in Breitenrichtung X beweglich. Der vordere Formabschnitt 581 hat ein bewegliches Aufnahmeabschnitt 582a. Der bewegliche Aufnahmeabschnitt 582a ist ein Aussparungsabschnitt, der an der inneren Fläche des vorderen Formabschnitts 581 bereitgestellt ist und von der inneren Fläche des vorderen Formabschnitts 581 in Richtung der Seite, die dem hinteren Formabschnitt 591 in der Breitenrichtung X gegenüberliegt, ausgespart ist. Der bewegliche Formabschnitt 585 befindet sich in einem Zustand, in dem er in den beweglichen Aufnahmeabschnitt 582a eintritt und von diesem in Richtung des hinteren Formabschnitts 591 vorsteht.
Die bewegliche Feder 586 ist ein Federelement, das aus einem Metallmaterial oder dergleichen gebildet ist, und ist ein Vorspannelement, das den beweglichen Formabschnitt 585 in Richtung des hinteren Formabschnitts 591 vorspannt. Die bewegliche Feder 586 ist innerhalb des beweglichen Aufnahmeabschnitts 582a bereitgestellt. In der SA-Formvorrichtung 580 sind die Bodenfläche des beweglichen Aufnahmeabschnitts 582a und der bewegliche Formabschnitt 585 von einander getrennt, und die bewegliche Feder 586 ist in diesem getrennten Abschnitt bereitgestellt. Die SA-Formvorrichtung 580 kann anstelle der beweglichen Feder 586 oder zusätzlich zu dieser ein Element aus Gummi oder einem Harzmaterial als Vorspannelement enthalten, das den beweglichen Formabschnitt 585 vorspannt.
Der bewegliche Formabschnitt 585 hat einen Vermeidungsaussparungsabschnitt 585a. Der Vermeidungsaussparungsabschnitt 585a ist ein Aussparungsabschnitt, der auf der beweglichen Fläche 585b des beweglichen Formabschnitts 585 bereitgestellt ist und an einer Position bereitgestellt ist, die mindestens dem Membranabschnitt 62 in einem Zustand zugewandt ist, in dem die SA-Formvorrichtung 580 an dem SA-Substrat 53 angebracht ist. Da der bewegliche Formabschnitt 585 den oben beschriebenen Vermeidungsaussparungsabschnitt 585a hat, wird die bewegliche Fläche 585b nicht gegen den Membranabschnitt 62 gedrückt, selbst wenn der bewegliche Formabschnitt 585 durch die bewegliche Feder 586 gegen den Flusssensor 22 gedrückt wird. Andererseits wird die bewegliche Fläche 585b durch die bewegliche Feder 586 gegen einen Abschnitt der Sensorvorderfläche 22a gedrückt, der sich von dem Membranabschnitt 62 unterscheidet.
Bei dem Formungsprozess des Formabschnitts 55 werden der vordere Formabschnitt 581 und der hintere Formabschnitt 591 mit einem Formfilm 595, der zwischen dem vorderen Formabschnitt 581, dem beweglichen Formabschnitt 585 und dem hinteren Formabschnitt 591 gehalten wird, aneinandergefügt. Der Formfilm 595 wird durch ein Harzmaterial oder ähnliches in eine Filmform gebildet und ist verformbar. Wenn beispielsweise eine äußere Kraft angewendet wird, kann der Formfilm 595 im Vergleich zu einem Fall, in dem keine äußere Kraft angewendet wird, verdünnt werden.
Wenn in der SA-Formvorrichtung 580 ein Abschnitt des Formfilms 595, der zwischen dem Flusssensor 22 und dem beweglichen Formabschnitt 585 gehalten wird, dünn wird, neigt ein Abschnitt des Formfilms 595, der von dem äußeren Umfangsrand des Flusssensors 22 nach außen ragt, dazu, entsprechend verdickt zu werden. Der verdickte Abschnitt des Formfilms 595 erstreckt sich entlang des äußeren Umfangsrandes der Sensorvorderfläche 22a des Flusssensors 22 und bildet den Umfangsrandaussparungsabschnitt 56 im Formabschnitt 55. 34 veranschaulicht einen Zustand, bevor der Formabschnitt 55 in der SA-Formvorrichtung 580 einer Harzformung unterzogen wird, und veranschaulicht somit den Umfangsrandaussparungsabschnitt 56 als eine imaginäre Linie.
Der Formfilm 595 erstreckt sich entlang der inneren Fläche des vorderen Formabschnitts 581 in einem Zustand der Abdeckung des beweglichen Formabschnitts 585 von der Seite des hinteren Formabschnitts 591. Die SA-Formvorrichtung 580 hat ein Anguss als Zufuhrkanal, durch den das geschmolzene Harz von der Spritzformmaschine zugeführt wird. Dieser Anguss kommuniziert mit dem Formraum der SA-Formvorrichtung 580 und ist zwischen dem Formfilm 595 und dem hinteren Formabschnitt 591 in Breitenrichtung X angeordnet. Daher wird das geschmolzene Harz, das der SA-Formvorrichtung 580 von der Spritzformmaschine zugeführt wird, zwischen dem Formfilm 595 und dem hinteren Formabschnitt 591 in den Formraum eingepresst.
Mindestens ein Abschnitt des Formfilms 595, der dem Vermeidungsaussparungsabschnitt 585a des beweglichen Formabschnitts 585 gegenüberliegt, befindet sich in einem Zustand, in dem er in den Vermeidungsaussparungsabschnitt 585a eintritt. Daher wird der Formfilm 595 in einem Zustand, in dem der vordere Formabschnitt 581 und der hintere Formabschnitt 591 montiert sind, nicht in Kontakt mit der Fläche des Membranabschnitts 62 der Sensorvorderfläche 22a gebracht. Daher werden eine Verformung des Membranabschnitts 62 durch den Formfilm 595 und eine unbeabsichtigte Änderung des Widerstandswerts der Widerstandselemente 71 bis 74 im Membranabschnitt 62 unterdrückt.
In der SA-Formvorrichtung 580 wird bei der Montage des vorderen Formabschnitts 581 und des hinteren Formabschnitts 591 eine Klemmung ausgeführt, bei der eine äußere Kraft in einer Richtung angewendet wird, bei der der vordere Formabschnitt 581 und der hintere Formabschnitt 591 in engen Kontakt miteinander gebracht werden. Durch das Ausführen der Klemmung wird verhindert, dass das geschmolzene Harz von dem Formraum der SA-Formvorrichtung 580 nach außen durch den Spalt zwischen dem vorderen Formabschnitt 581 und dem hinteren Formabschnitt 591 fließt.
Im Gegensatz zur vorliegenden Ausführungsform ist es beispielsweise in einer Konfiguration, in der die SA-Formvorrichtung 580 den beweglichen Formabschnitt 585 nicht hat und die innere Fläche des vorderen Formabschnitts 581 dem Flusssensor 22 in der SA-Formvorrichtung 580 zugewandt ist, denkbar, dass die Belastung von dem vorderen Formabschnitt 581 zum Flusssensor 22 zu groß oder zu klein wird. Wenn die Belastung von dem vorderen Formabschnitt 581 auf den Flusssensor 22 zu groß wird, besteht die Sorge, dass der Flusssensor 22 durch diese Belastung verformt oder beschädigt wird. Wenn andererseits die Belastung von dem vorderen Formabschnitt 581 auf den Flusssensor 22 unzureichend ist, besteht die Gefahr, dass das geschmolzene Harz, das in den Formraum der SA-Formvorrichtung 580 gepresst wird, zwischen den vorderen Formabschnitt 581 und den Flusssensor 22 eindringt und das geschmolzene Harz an der Sensorvorderfläche 22a des Flusssensors 22 haftet. In beiden Fällen wird sich die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 wahrscheinlich verringern.
Andererseits ist bei der vorliegenden Ausführungsform, da der bewegliche Formabschnitt 585 durch die bewegliche Feder 586 in der SA-Formvorrichtung 580 vorgespannt ist, die Belastung von dem vorderen Formabschnitt 581 auf den Flusssensor 22 weniger wahrscheinlich übermäßig oder unzureichend.
Wenn beispielsweise die Dickendimension des Flusssensors 22 oder des SA-Substrats 53 aufgrund eines Herstellungsfehlers oder dergleichen zum Zeitpunkt der Herstellung des Flusssensors 22 oder des SA-Substrats 53 größer als der Konstruktionswert ist, wird die Vorsprungdimension des beweglichen Formabschnitts 585 vom vorderen Formabschnitt 581 durch die bewegliche Feder 586 reduziert. In diesem Fall ist es weniger wahrscheinlich, dass die Belastung von dem beweglichen Formabschnitt 585 auf den Flusssensor 22 übermäßig groß wird. Daher wird verhindert, dass der Flusssensor 22 durch die Belastung von dem beweglichen Formabschnitt 585 verformt oder beschädigt wird. In diesem Fall kann der Abschnitt, der durch den beweglichen Formabschnitt 585 auf der Formvorderfläche 55e des Formabschnitts 55 geformt wird, in einem Zustand sein, in dem er relativ zu dem Abschnitt, der durch den vorderen Formabschnitt 581 geformt wird, mehr in Richtung der Formvorderseite vorsteht.
Andererseits, wenn die Dickendimension des Flusssensors 22 oder des SA-Substrats 53 aufgrund eines Herstellungsfehlers oder dergleichen kleiner als der Konstruktionswert ist, wird die Vorsprungdimension des beweglichen Formabschnitts 585 von dem vorderen Formabschnitt 581 durch die bewegliche Feder 586 erhöht. In diesem Fall ist es weniger wahrscheinlich, dass die Belastung von dem beweglichen Formabschnitt 585 auf den Flusssensor 22 unzureichend ist. Daher ist es weniger wahrscheinlich, dass das geschmolzene Harz zwischen den beweglichen Formabschnitt 585 und den Flusssensor 22 eindringt, und das Anhaften des geschmolzenen Harzes an der Sensorvorderfläche 22a des Flusssensors 22 wird unterdrückt. In diesem Fall kann der Abschnitt der Formvorderfläche 55e des Formabschnitts 55, der durch den beweglichen Formabschnitt 585 geformt wird, und der Abschnitt, der durch den vorderen Formabschnitt 581 geformt wird, auch in einem Zustand sein, in dem er in Richtung der Formrückseite ausgespart ist.
Wie oben beschrieben, wird die bewegliche Fläche 585b des beweglichen Formabschnitts 585 durch den Vermeidungsaussparungsabschnitt 585a nicht in Kontakt mit dem Membranabschnitt 62 gebracht. Daher wird unabhängig von der übermäßigen oder unzureichenden Last von dem beweglichen Formabschnitt 585 auf den Flusssensor 22 verhindert, dass der Membranabschnitt 62 durch die Last von dem beweglichen Formabschnitt 585 auf den Membranabschnitt 62 verformt wird, und der Widerstandswert der Widerstandselemente 71 bis 74 wird vor einer Änderung bewahrt.
In der SA-Formvorrichtung 580 können nicht nur der bewegliche Formabschnitt 585 und die bewegliche Feder 586, sondern auch der Formfilm 595 die Verformung und den Bruch des Flusssensors 22 und das Anhaften des geschmolzenen Harzes an der Sensorvorderfläche 22a unterdrücken. Da der Formfilm 595 auf der Sensorvorderfläche 22a gestapelt ist, wird beispielsweise verhindert, dass die SA-Formvorrichtung 580 mit der Sensorvorderfläche 22a in Kontakt kommt und die Sensorvorderfläche 22a verformt oder bricht. Der Formfilm 595 wird verformt und in engen Kontakt mit der Sensorvorderfläche 22a gebracht, wenn die SA-Formvorrichtung 580 an dem SA-Substrat 53 und dem Flusssensor 22 angebracht wird, so dass das Eindringen von geschmolzenem Harz zwischen den Formfilm 595 und die Sensorvorderfläche 22a verhindert wird. Selbst wenn ein Fremdkörper an der Sensorvorderfläche 22a haftet, haftet der Formfilm 595 leicht an der Sensorvorderfläche 22a um den Fremdkörper herum, so dass er den Fremdkörper umhüllt. Daher wird das geschmolzene Harz daran gehindert, zwischen den Formfilm 595 und die Sensorvorderfläche 22a durch den von dem Fremdkörper erzeugten Spalt einzudringen. Auf diese Weise wird das Anhaften des geschmolzenen Harzes an der Sensorvorderfläche 22a zuverlässiger unterdrückt.
Wenn die Belastung von dem beweglichen Formabschnitt 585 auf den Formfilm 595 zu groß ist, wird der Abschnitt des Formfilms 595, der zwischen dem beweglichen Formabschnitt 585 und dem Flusssensor 22 gehalten wird, so verformt, dass er dünn ist, so dass die Belastung von dem beweglichen Formabschnitt 585 auf den Flusssensor 22 reduziert wird. Das heißt, die Klemmkraft, die eine äußere Kraft ist, die auf den Flusssensor 22 angewendet wird, wenn der vordere Formabschnitt 581 und der hintere Formabschnitt 591 geklemmt sind, ist entspannt. Infolgedessen verhindert nicht nur der bewegliche Formabschnitt 585 und die bewegliche Feder 586, sondern auch der Formfilm 595, dass der Flusssensor 22 aufgrund einer übermäßigen Belastung, die von dem beweglichen Formabschnitt 585 auf den Flusssensor 22 angewendet wird, verformt oder beschädigt wird.
Gemäß der bisher beschriebenen Ausführungsform ist in dem hinteren Trägerabschnitt 522 des Sensorträgerabschnitts 51 die Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 so geneigt, dass sie der Seite gegenüber dem Flusssensor 22 zugewandt ist. In dieser Konfiguration fließt der hintere Schließfluss AF34, der entlang der Formrückfläche 55f fließt, leicht entlang der Trägeraussparungsinnenwandfläche 532, wenn er den Trägeraussparungsabschnitt 530 erreicht. In diesem Fall kommt es kaum zu einer Trennung des Luftflusses AF34 von der Trägeraussparungsinnenwandfläche 532, und Störungen des Luftflusses, wie z. B. ein Wirbel, treten innerhalb des Trägeraussparungsabschnitts 530 kaum auf. Daher ist es möglich, eine übermäßige Erhöhung der Rate und Geschwindigkeit des Hohlraumflusses AF51 innerhalb des Sensoraussparungsabschnitts 61 aufgrund einer Störung des Luftflusses, die innerhalb des Trägeraussparungsabschnitts 530 erzeugt wird, zu unterdrücken. Da es daher unwahrscheinlich ist, dass die Operationsgenauigkeit der Widerstandselemente 71 bis 74 und dergleichen in dem Membranabschnitt 62 durch den übermäßig großen Hohlraumfluss AF51 verringert wird, kann die Messgenauigkeit des Luftflussmessers 20 verbessert werden.
Der Innenraum des Trägeraussparungsabschnitts 530 ist graduell in Richtung des Trägerlochs 540 in der Breitenrichtung X verengt. In dieser Konfiguration, selbst wenn der hintere Schließfluss AF34, der entlang der Formrückfläche 55f fließt, in das Innere des Trägeraussparungsabschnitts 530 von der Trägeraussparungsöffnung 533 eintritt, prallt der hintere Schließfluss AF34 leicht von der Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 ab und fließt aus der Trägeraussparungsöffnung 533 nach außen. Wie oben beschrieben, ist es selbst dann, wenn Luft wie der hintere Schließfluss AF34 von der Trägeraussparungsöffnung 533 in den Trägeraussparungsabschnitt 530 fließt, möglich zu unterdrücken, dass die Luft durch das Trägerloch 540 in den Sensoraussparungsabschnitt 61 fließt und der Hohlraumfluss AF51 innerhalb des Sensoraussparungsabschnitts 61 erzeugt wird.
Im Gegensatz zur vorliegenden Ausführungsform wird beispielsweise eine Konfiguration angenommen, bei der der Trägeraussparungsabschnitt 530 nicht in dem Formrückabschnitt 560 des Sensorträgerabschnitts 51 bereitgestellt ist und die Längendimension des den Formrückabschnitt 560 durchdringenden Trägerlochs 540 gleich der Dickendimension des Formrückabschnitts 560 ist. Bei dieser Konfiguration ist der Druckverlust im Trägerloch 540 aufgrund der Länge des Trägerlochs 540 wahrscheinlich erhöht, und Luft tritt kaum in das Innere des Sensoraussparungsabschnitts 61 durch das Trägerloch 540 ein und aus. Daher besteht die Sorge, dass, wenn der Ansaugdruck im Ansaugkanal 12 erhöht oder verringert wird, der Innendruck des Sensoraussparungsabschnitts 61 kaum dem Anstieg oder der Verringerung des Ansaugdrucks folgt, und dass eine Druckdifferenz zwischen der Innenseite und der Außenseite des Membranabschnitts 62 auftreten kann.
Andererseits ist bei der vorliegenden Ausführungsform, da sich das Trägerloch 540 von der Trägeraussparungsbodenfläche 531 des Trägeraussparungsabschnitts 530 in Richtung des Sensoraussparungsabschnitts 61 im Sensorträgerabschnitt 51 erstreckt, die Längendimension des Trägerlochs 540 um die Längendimension des Trägeraussparungsabschnitts 530 reduziert. Bei dieser Konfiguration ist es weniger wahrscheinlich, dass sich der Druckverlust des Trägerlochs 540 erhöht, und die Luft kann leicht durch das Trägerloch 540 in das Innere des Sensoraussparungsabschnitts 61 ein- und ausfließen. Daher folgt der Innendruck des Sensoraussparungsabschnitts 61 selbst dann, wenn der Ansaugdruck im Ansaugkanal 12 erhöht oder verringert wird, problemlos dem Anstieg oder der Verringerung des Ansaugdrucks, und es tritt kaum eine Differenz zwischen der Innenseite und der Außenseite des Membranabschnitts 62 auf. Daher kann unterdrückt werden, dass der Membranabschnitt 62 und die Widerstandselemente 71 bis 74 aufgrund dieser Differenz unbeabsichtigt verformt werden und die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 verringert wird.
Im Gegensatz zur vorliegenden Ausführungsform wird beispielsweise eine Konfiguration angenommen, bei der der Trägeraussparungsabschnitt 530 im Formrückabschnitt 560 des Sensorträgerabschnitts 51 nicht bereitgestellt ist und die Längendimension des Trägerlochs 540 durch Ausdünnen des gesamten Formrückabschnitts 560 reduziert wird. Da bei dieser Konfiguration der gesamte Formrückabschnitt 560 dünn wird, besteht die Sorge, dass die Festigkeit des hinteren Trägerabschnitts 522 unzureichend wird. In diesem Fall ist es denkbar, dass der hintere Trägerabschnitt 522 leicht verformt wird, wenn der Sensor SA50 am Gehäuse 21 angebracht wird. Wenn der hintere Trägerabschnitt 522 verformt wird, werden der Flusssensor 22, der Membranabschnitt 62 und die Widerstandselemente 71 bis 74 verformt, und die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 wird wahrscheinlich verringert.
Andererseits sind in der vorliegenden Ausführungsform sowohl der Trägeraussparungsabschnitt 530 als auch das Trägerloch 540 in dem Formrückabschnitt 560 bereitgestellt. In dieser Konfiguration ist es durch das Nichtausdünnen des gesamten Formrückabschnitts 560 möglich, die Längendimension des Trägerlochs 540 zu reduzieren und gleichzeitig eine Verringerung der Festigkeit des Formrückabschnitts 560 zu vermeiden. Daher ist es möglich, sowohl eine Verringerung der Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 aufgrund einer unzureichenden Festigkeit des hinteren Trägerabschnitts 522 als auch eine Verringerung der Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 aufgrund einer zwischen der Innenseite und der Außenseite des Membranabschnitts 62 auftretenden Druckdifferenz zu unterdrücken.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist der äußere Umfangsrand der Trägeraussparungsbodenfläche 531 in den Richtungen Y und Z orthogonal zur Breitenrichtung X an einer Position bereitgestellt, die nach außen von dem hinteren Endabschnitt 542 des Trägerlochs 540 getrennt ist. In dieser Konfiguration fließt der hintere Schließfluss AF34, der sich entlang der Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 fortbewegt hat, ohne von der Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 getrennt zu werden, durch das Trägerloch 540, indem er entlang der Trägeraussparungsbodenfläche 531 fließt, und fließt leicht aus der Trägeraussparungsöffnung 533 nach außen. Daher kann die Trägeraussparungsbodenfläche 531 den hinteren Schließfluss AF34 davon abhalten, in das Trägerloch 540 zu fließen.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform wird die Trägeraussparungsbodenfläche 531 so groß, dass der äußere Umfangsrand der Trägeraussparungsbodenfläche 531 an einer Position bereitgestellt ist, die von der Sensoraussparungsöffnung 503 in den Richtungen Y und Z orthogonal zur Breitenrichtung X nach außen hin getrennt ist. Daher kann der hintere Schließfluss AF34, der entlang der Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 im Inneren des Trägeraussparungsabschnitts 530 zur Formvorderseite hin fließt, zuverlässiger an der Trägeraussparungsbodenfläche 531 zurückgeworfen werden.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist die Längendimension L51 der Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 in den zur Breitenrichtung X orthogonalen Richtungen Y und Z größer als die Längendimension L52 der Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 in der Breitenrichtung X. In dieser Konfiguration ist das Ausmaß, in dem die Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 den Innenraum des Trägeraussparungsabschnitts 530 von der Trägeraussparungsöffnung 533 in Richtung der Trägeraussparungsbodenfläche 531 graduell verengt, so sanft wie möglich. Wenn der hintere Schließfluss AF34 von der Trägeraussparungsöffnung 533 einfließt und sich entlang der Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 fortbewegt, wird die Änderung der Richtung unterdrückt, so dass Störungen, wie z. B. ein Wirbel, weniger wahrscheinlich auftreten. In diesem Fall wird der in den Trägeraussparungsabschnitt 530 fließende hintere Schließfluss AF34 durch die Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 leicht zur Trägeraussparungsöffnung 533 zurückgedrückt. Daher ist es möglich, den in den Trägeraussparungsabschnitt 530 von der Trägeraussparungsöffnung 533 einfließenden Rückfluss AF34 daran zu hindern, das Trägerloch 540 zu erreichen.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform wird das Trägerloch 540 durch den Trägeraussparungsabschnitt 530 im Sensorträgerabschnitt 51 so verkürzt, dass die Längendimension des Trägerlochs 540 in Breitenrichtung X kleiner wird als die Tiefendimension des Trägeraussparungsabschnitts 530. Da bei dieser Konfiguration die Luft durch die Tiefe des Trägeraussparungsabschnitts 530 von der Innenseite des Sensoraussparungsabschnitts 61 durch das Trägerloch 540 leicht ein- und austritt, kann das Auftreten der Druckdifferenz zwischen der Innenseite und der Außenseite des Membranabschnitts 62 unterdrückt werden.
<Beschreibung der Konfigurationsgruppe G>
Wie in 35 und 36 gezeigt, hat der erste Gehäuseabschnitt 151 Rippen 801 bis 803. Die Rippen 801 bis 803 sind Vorsprungsabschnitte, die auf der inneren Fläche des ersten Gehäuseabschnitts 151 bereitgestellt sind und von der inneren Fläche des ersten Gehäuseabschnitts 151 in Richtungen X und Z orthogonal zur Höhenrichtung Y vorstehen. Die Rippen 801 bis 803 sind mindestens auf der Gehäuseflusspfadfläche 135 der inneren Fläche des Gehäuses 21 bereitgestellt.
Die Rippen 801 bis 803 sind in der Höhenrichtung Y entlang der Gehäuseflusspfadfläche 135 von dem Gehäusetrennabschnitt 131 (siehe 17) in Richtung der Gehäusespitzenendseite verlängert. Daher befinden sich die Rippen 801 bis 803 in einem Zustand, in dem sie zwischen der Gehäusestufenfläche 137 und der Gehäuseflusspfadfläche 135 gestreckt sind, wenn sich der Gehäusetrennabschnitt 131 in einer Position befindet, die von dem Grenzabschnitt zwischen der Gehäuseflusspfadfläche 135 und der Gehäusestufenfläche 137 getrennt ist. Das heißt, die Rippen 801 bis 803 sind sowohl auf der Gehäuseflusspfadfläche 135 als auch auf der Gehäusestufenfläche 137 bereitgestellt. Andererseits werden die Rippen 801 bis 803 auf der Gehäuseflusspfadfläche 135 bereitgestellt, ohne dass sie auf der Gehäusestufenfläche 137 bereitgestellt sind, wenn sich der Gehäusetrennabschnitt 131 an dem Grenzabschnitt zwischen der Gehäuseflusspfadfläche 135 und der Gehäusestufenfläche 137 befindet. In 35 ist der Gehäusetrennabschnitt 131 nicht veranschaulicht, und in 36 ist der zweite Gehäuseabschnitt 152 nicht veranschaulicht.
Die Gehäuseflusspfadfläche 135 enthält die vordere Messwandfläche 103, die hintere Messwandfläche 104, eine stromaufwärtige Messwandfläche 805 und eine stromabwärtige Messwandfläche 806. Die vordere Messwandfläche 103 ist ein Abschnitt der Gehäuseflusspfadfläche 135, der der Gehäuserückseite zugewandt ist, und die hintere Messwandfläche 104 ist ein Abschnitt, der der Gehäusevorderseite zugewandt ist. Die vordere Messwandfläche 103 und die hintere Messwandfläche 104 sind einander in Breitenrichtung X zugewandt, wobei der Sensor SA50 dazwischen angeordnet ist. Die vordere Messwandfläche 103 ist der Formvorderfläche 55e des Sensors SA50 zugewandt, und die hintere Messwandfläche 104 ist der Formrückfläche 55f des Sensors SA50 zugewandt.
Die stromaufwärtige Messwandfläche 805 und die stromabwärtige Messwandfläche 806 erstrecken sich auf die vordere Messwandfläche 103 bzw. die hintere Messwandfläche 104 und stehen sich in der Tiefenrichtung Z gegenüber, wobei der Sensor SA50 dazwischen angeordnet ist. Die stromaufwärtige Messwandfläche 805 ist auf der stromaufwärtigen Seite im Messflusspfad 32 relativ zur stromabwärtigen Messwandfläche 806 bereitgestellt. Auf der Gehäuseflusspfadfläche 135 ist die stromaufwärtige Messwandfläche 805 der stromabwärtigen Seite im Messflusspfad 32 zugewandt, und die stromabwärtige Messwandfläche 806 ist der stromaufwärtigen Seite im Messflusspfad 32 zugewandt. Die stromaufwärtige Messwandfläche 805 ist der Formaufwärtsfläche 55c des Sensors SA50 zugewandt, und die stromabwärtige Messwandfläche 806 ist der Formabwärtsfläche 55d des Sensors SA50 zugewandt.
Da, wie oben beschrieben, die Luftflussrichtungen zwischen dem Kanalflusspfad 31 und dem Erfassungsmesspfad 353 entgegengesetzt sind, ist die stromaufwärtige Messwandfläche 805 an einer Position bereitgestellt, die näher an der Gehäuseabwärtsfläche 21d liegt als die stromabwärtige Messwandfläche 806. In diesem Fall ist die stromaufwärtige Messwandfläche 805 der stromaufwärtigen Seite des Gehäuses zugewandt, und die stromabwärtige Messwandfläche 806 der stromabwärtigen Seite des Gehäuses.
Von den Rippen 801 bis 803 ist die vordere Rippe 801 an der vorderen Messwandfläche 103 bereitgestellt und erstreckt sich in Breitenrichtung X in Richtung der hinteren Messwandfläche 104. Die Mittellinie der vorderen Rippe 801 erstreckt sich parallel zur Breitenrichtung X. Der Spitzenendabschnitt der vorderen Rippe 801 steht in Kontakt mit dem vorderen Zwischenabschnitt 553 des Sensors SA50. Der Spitzenendabschnitt der vorderen Rippe 801 ist eine Spitzenendfläche, die sich entlang der Formvorderfläche 55e des Sensors SA50 erstreckt und die Formvorderfläche 55e überlappt. Eine Mehrzahl von (z.B. zwei) vorderen Rippen 801 sind nebeneinander in der Tiefenrichtung Z bereitgestellt. Diese vorderen Rippen 801 erstrecken sich parallel zueinander in der Höhenrichtung Y. Der Endabschnitt der vorderen Rippe 801 an der Gehäusebasisendseite ist in Kontakt mit der vorderen Basisstufenfläche 556 des Sensors SA50. Das heißt, dass die vordere Rippe 801 neben dem vorderen Zwischenabschnitt 553 auch mit dem vorderen Basisabschnitt 552 in Kontakt steht.
Die hintere Rippe 802 ist an der hinteren Messwandfläche 104 bereitgestellt und erstreckt sich in Breitenrichtung X in Richtung der vorderen Messwandfläche 103. Die Mittellinie der hinteren Rippe 802 erstreckt sich parallel zur Breitenrichtung X. Der Spitzenendabschnitt der hinteren Rippe 802 ist in Kontakt mit dem hinteren Zwischenabschnitt 563 des Sensors SA50. Der Spitzenendabschnitt der hinteren Rippe 802 ist eine Spitzenendfläche, die sich entlang der Formrückfläche 55f des Sensors SA50 erstreckt und die Formrückfläche 55f überlappt. Eine Mehrzahl von (z. B. zwei) hinteren Rippen 802 ist in der Tiefenrichtung Z nebeneinander bereitgestellt. Diese hinteren Rippen 802 erstrecken sich parallel zueinander in der Höhenrichtung Y. Der Endabschnitt der hinteren Rippe 802 an der Gehäusebasisendseite ist in Kontakt mit der hinteren Basisstufenfläche 566 des Sensors SA50. Das heißt, dass die hintere Rippe 802 neben dem hinteren Zwischenabschnitt 563 auch mit dem hinteren Basisabschnitt 562 in Kontakt steht.
Die stromabwärtige Rippe 803 ist an der stromabwärtigen Messwandfläche 806 bereitgestellt und erstreckt sich in der Tiefenrichtung Z in Richtung der stromaufwärtigen Messwandfläche 805. Die Mittellinie der stromabwärtigen Rippe 803 ist in Bezug auf die Tiefenrichtung Z geneigt. Die stromabwärtige Rippe 803 ist an einer Position bereitgestellt, die näher an der hinteren Messwandfläche 104 als an der vorderen Messwandfläche 103 in der Breitenrichtung X liegt, und der Spitzenendabschnitt der stromabwärtigen Rippe 803 ist in Kontakt mit dem hinteren Zwischenabschnitt 563 des Sensors SA50. Der Spitzenendabschnitt der stromabwärtigen Rippe 803 ist eine Spitzenendfläche, die sich entlang der Formabwärtsfläche 55d des Sensors SA50 erstreckt und die Formabwärtsfläche 55d überlappt. Die stromabwärtige Rippe 803, die vordere Rippe 801 und die hintere Rippe 802 erstrecken sich parallel zueinander in der Höhenrichtung Y. Der Endabschnitt der stromabwärtigen Rippe 803 an der Gehäusebasisendseite ist in Kontakt mit der hinteren Basisstufenfläche 566 des Sensors SA50. Das heißt, dass die stromabwärtige Rippe 803 neben dem hinteren Zwischenabschnitt 563 auch mit dem hinteren Basisabschnitt 562 in Kontakt steht.
Die Längendimension in der Höhenrichtung Y ist unter der vorderen Rippe 801, der hinteren Rippe 802 und der stromabwärtigen Rippe 803 im Wesentlichen gleich. In der Höhenrichtung Y ist die Längendimension der vorderen Rippe 801 im Wesentlichen die gleiche wie die Längendimension des vorderen Zwischenabschnitts 553 des Sensors SA50. Die Längendimension der hinteren Rippe 802 und die Längendimension der stromabwärtigen Rippe 803 sind im Wesentlichen gleich der Längendimension des hinteren Zwischenabschnitts 563 des Sensors SA50.
Der erste Gehäuseabschnitt 151 trägt den Formabschnitt 55 des Sensors SA50 und entspricht einem Flusspfadgehäuse. Im ersten Gehäuseabschnitt 151 tragen die Rippen 801 bis 803, der Gehäusetrennabschnitt 131 (siehe 17) und die Gehäusestufenfläche 137 den Sensor SA50. Bei der Herstellung des Luftflussmessers 20 fixieren die Rippen 801 bis 803, der Gehäusetrennabschnitt 131 und die Gehäusestufenfläche 137 den Sensor SA50 so, dass die Verschiebung des Sensors SA50 in Bezug auf den ersten Gehäuseabschnitt 151 in Breitenrichtung X und der Tiefenrichtung Z begrenzt wird. Die Rippen 801 bis 803, der Gehäusetrennabschnitt 131 und die Gehäusestufenfläche 137 sind in Kontakt mit dem Formabschnitt 55 des Sensors SA50. Der Sensor SA50 ist nicht unbedingt in Kontakt mit der Gehäusestufenfläche 137. Daher wird in der vorliegenden Ausführungsform die Beschreibung des Abschnitts, in dem der Sensor SA50 in Kontakt mit der Gehäusestufenfläche 137 ist, im Wesentlichen weggelassen.
Der zweite Gehäuseabschnitt 152 füllt den Spalt zwischen dem ersten Gehäuseabschnitt 151 und dem Sensor SA50 auf der Gehäusebasisendseite in Bezug auf die festen Flächen 810, 820, 830 und 840 aus. Aus diesem Grund begrenzt der zweite Gehäuseabschnitt 152 die Positionsverschiebung des Sensors SA50 in Breitenrichtung X und der Tiefenrichtung Z in Bezug auf den ersten Gehäuseabschnitt 151. Der zweite Gehäuseabschnitt 152 deckt den Sensor SA50 von der Gehäusebasisendseite aus ab. Daher verhindert der zweite Gehäuseabschnitt 152, dass der Sensor SA50 von der Gehäusebasisendseite in Höhenrichtung Y in Bezug auf den ersten Gehäuseabschnitt 151 verschoben werden kann.
Von der äußeren Fläche des Formabschnitts 55 wird ein an dem ersten Gehäuseabschnitt 151 befestigter Abschnitt, wie die Rippen 801 bis 803 und der Gehäusetrennabschnitt 131, als feste Flächen 810, 820, 830 und 840 bezeichnet. Jede dieser festen Flächen 810, 820, 830 und 840 ist in Kontakt mit dem ersten Gehäuseabschnitt 151, wie den Rippen 801 bis 803 und dem Gehäusetrennabschnitt 131. Daher können die festen Flächen 810, 820, 830 und 840 auch als Kontaktflächen bezeichnet werden.
Die vordere feste Fläche 810 der festen Flächen 810, 820, 830 und 840 ist in der Formvorderfläche 55e enthalten und wird an einer von der Formspitzenendfläche 55a getrennten Position in Richtung der Formbasisendseite bereitgestellt. Die vordere feste Fläche 810 ist an der inneren Fläche des ersten Gehäuseabschnitts 151 befestigt und entspricht einem vorderen festen Abschnitt. Die vordere feste Fläche 810 hat eine vordere Zwischenkontaktfläche 811 und eine vordere Stufenkontaktfläche 812. Die vordere Stufenkontaktfläche 812 ist ein Abschnitt der vorderen Basisstufenfläche 556 der Formvorderfläche 55e, die mit dem ersten Gehäuseabschnitt 151 in Kontakt steht und sich in Tiefenrichtung Z erstreckt. Die vordere Stufenkontaktfläche 812 kann in Kontakt mit der Gehäusestufenfläche 137 stehen.
Die vordere Zwischenkontaktfläche 811 ist ein Abschnitt in Kontakt mit dem ersten Gehäuseabschnitt 151 in dem vorderen Zwischenabschnitt 553 auf der Formvorderfläche 55e und erstreckt sich in der Höhenrichtung Y von der vorderen Stufenkontaktfläche 812 in Richtung der Gehäusespitzenendseite. Die vordere Zwischenkontaktfläche 811 ist in Kontakt mit der Spitzenendfläche der vorderen Rippe 801 des ersten Gehäuseabschnitts 151. Die vorderen Zwischenkontaktflächen 811 haben die gleiche Anzahl wie die vorderen Rippen 801, und diese vorderen Zwischenkontaktflächen 811 erstrecken sich in Höhenrichtung Y parallel zueinander an in Tiefenrichtung Z getrennten Positionen.
Die vordere feste Fläche 810 hat einen vorderen festen Spitzenendabschnitt 813 und einen vorderen festen Basisendabschnitt 814. Der vordere feste Basisendabschnitt 814 ist ein Endabschnitt der vorderen festen Fläche 810 auf der Formbasisendseite und wird durch den Endabschnitt der vorderen Stufenkontaktfläche 812 auf der Formbasisendseite gebildet. Der vordere feste Spitzenendabschnitt 813 ist ein Endabschnitt der vorderen festen Fläche 810 an der Formspitzenendseite und wird durch den Endabschnitt der vorderen Zwischenkontaktflächen 811 an der Formspitzenendseite gebildet. Bei der Mehrzahl der vorderen Zwischenkontaktflächen 811 ist die Trennungsdistanz zwischen dem Endabschnitt auf der Formspitzenendseite und der Formspitzenendfläche 55a gleich, und der Endabschnitt auf der Formspitzenendseite ist der vordere feste Spitzenendabschnitt 813. Unter den Endabschnitten auf der Formspitzenendseite der Mehrzahl von vorderen Zwischenkontaktflächen 811 kann nur der Endabschnitt auf der Formspitzenendseite, der der Formspitzenendfläche 55a am nächsten liegt, der vordere feste Spitzenendabschnitt 813 sein.
Der vordere feste Spitzenendabschnitt 813 ist an einem Endabschnitt der vorderen Messstufenfläche 555 auf der Formbasisendseite angeordnet. Der vordere feste Basisendabschnitt 814 ist zwischen dem Endabschnitt der vorderen Basisstufenfläche 556 auf der Formspitzenendseite und dem Endabschnitt davon auf der Formbasisendseite angeordnet.
Die hintere feste Fläche 820 der festen Flächen 810, 820, 830 und 840 ist in der Formrückfläche 55f enthalten und wird an einer Position bereitgestellt, die von der Formspitzenendfläche 55a in Richtung der Formbasisendseite getrennt ist. Die hintere feste Fläche 820 ist an der inneren Fläche des ersten Gehäuseabschnitts 151 befestigt und entspricht einem hinteren festen Abschnitt. Die hintere feste Fläche 820 hat eine hintere Zwischenkontaktfläche 821 und eine hintere Stufenkontaktfläche 822. Die hintere Stufenkontaktfläche 822 ist ein Abschnitt der hinteren Basisstufenfläche 566 der Formrückfläche 55f, die mit dem ersten Gehäuseabschnitt 151 in Kontakt steht und sich in Tiefenrichtung Z erstreckt. Die hintere Stufenkontaktfläche 822 steht mit dem Gehäusetrennabschnitt 131 des ersten Gehäuseabschnitts 151 in Kontakt. Die hintere Stufenkontaktfläche 822 kann in Kontakt mit der Gehäusestufenfläche 137 stehen.
Die hintere Zwischenkontaktfläche 821 ist ein Abschnitt des hinteren Zwischenabschnitts 563 in der Formrückfläche 55f, der in Kontakt mit dem ersten Gehäuseabschnitt 151 steht und sich in der Höhenrichtung Y von der hinteren Stufenkontaktfläche 822 zur Gehäusespitzenendseite hin erstreckt. Die hintere Zwischenkontaktfläche 821 ist in Kontakt mit der Spitzenendfläche der hinteren Rippe 802 des ersten Gehäuseabschnitts 151. Die hinteren Zwischenkontaktflächen 821 haben die gleiche Anzahl wie die hinteren Rippen 802, und diese hinteren Zwischenkontaktflächen 821 erstrecken sich in der Höhenrichtung Y parallel zueinander an Positionen, die in der Tiefenrichtung Z getrennt sind.
Die hintere feste Fläche 820 hat einen hinteren festen Spitzenendabschnitt 823 und einen hinteren festen Basisendabschnitt 824. Der hintere feste Basisendabschnitt 824 ist ein Endabschnitt der hinteren festen Fläche 820 an der Formbasisendseite und wird durch einen Abschnitt der hinteren Stufenkontaktfläche 822 an der Formbasisendseite gebildet. Der hintere feste Spitzenendabschnitt 823 ist ein Endabschnitt der hinteren festen Fläche 820 auf der Formspitzenendseite und wird durch einen Endabschnitt der hinteren Zwischenkontaktfläche 821 auf der Formspitzenendseite gebildet. In der Mehrzahl der hinteren Zwischenkontaktflächen 821 ist die Trennungsdistanz zwischen dem Endabschnitt auf der Formspitzenendseite und der Formspitzenendfläche 55a gleich, und der Endabschnitt auf der Formspitzenendseite ist der hintere feste Spitzenendabschnitt 823. Unter den Endabschnitten auf der Formspitzenendseite der Mehrzahl von hinteren Zwischenkontaktfläche 821 kann nur der Endabschnitt an der Formspitzenendseite, der der Formspitzenendfläche 55a am nächsten liegt, der hintere feste Spitzenendabschnitt 823 sein.
Der hintere feste Spitzenendabschnitt 823 ist an einem Endabschnitt der hinteren Messstufenfläche 565 an der Formbasisendseite angeordnet. Der hintere feste Basisendabschnitt 824 ist zwischen einem Endabschnitt der hinteren Basisstufenfläche 566 auf der Formspitzenendseite und einem Abschnitt davon auf der Formbasisendseite angeordnet.
Wie in 36 gezeigt, hat die stromaufwärtige feste Fläche 830 der festen Flächen 810, 820, 830, und 840 eine stromaufwärtige Zwischenkontaktfläche 831 und eine stromaufwärtige Stufenkontaktfläche 832 (siehe 26). Die stromaufwärtige Stufenkontaktfläche 832 ist ein Abschnitt, der mit dem ersten Gehäuseabschnitt 151 der stromaufwärtigen Basisstufenfläche 851 (siehe 26) der Formaufwärtsfläche 55c in Kontakt steht, und erstreckt sich in Breitenrichtung X. Die stromaufwärtige Basisstufenfläche 851 ist ein Teil der Formaufwärtsfläche 55c und ist eine Stufenfläche, die der Formspitzenendseite zugewandt ist. Die stromaufwärtige Basisstufenfläche 851 ist an einem Grenzabschnitt zwischen dem vorderen Zwischenabschnitt 553 und dem vorderen Basisabschnitt 552 im Formvorderabschnitt 550 bereitgestellt, und sie ist an einem Grenzabschnitt zwischen dem hinteren Zwischenabschnitt 563 und dem hinteren Basisabschnitt 562 im Formrückabschnitt 560 bereitgestellt. Die stromaufwärtige Stufenkontaktfläche 832 ist in Kontakt mit dem Gehäusetrennabschnitt 131 des ersten Gehäuseabschnitts 151. Die stromaufwärtige Stufenkontaktfläche 832 kann in Kontakt mit der Gehäusestufenfläche 137 sein.
Der Endabschnitt der stromaufwärtigen Zwischenkontaktfläche 831 auf der Formspitzenendseite ist am Endabschnitt der hinteren Messstufenfläche 565 auf der Formbasisendseite angeordnet. Der Endabschnitt der stromaufwärtigen Zwischenkontaktfläche 831 auf der Formbasisendseite ist zwischen einem Endabschnitt der hinteren Basisstufenfläche 566 auf der Formspitzenendseite und einem Abschnitt davon auf der Formbasisendseite angeordnet.
Die stromaufwärtige Zwischenkontaktfläche 831 ist ein Abschnitt, der mit dem ersten Gehäuseabschnitt 151 des vorderen Zwischenabschnitts 553 und dem hinteren Zwischenabschnitt 563 in der Formaufwärtsfläche 55c in Kontakt steht und sich in der Höhenrichtung Y von der stromaufwärtigen Stufenkontaktfläche 832 in Richtung der Gehäusespitzenendseite erstreckt. Die stromaufwärtige Zwischenkontaktfläche 831 ist in Kontakt mit der stromaufwärtigen Messwandfläche 805 des ersten Gehäuseabschnitts 151.
Die stromabwärtige feste Fläche 840 der festen Flächen 810, 820, 830 und 840 hat eine stromabwärtige Zwischenkontaktfläche 841 und eine stromabwärtige Stufenkontaktfläche 842 (siehe 26). Die stromabwärtige Stufenkontaktfläche 842 ist ein Abschnitt, der mit dem ersten Gehäuseabschnitt 151 der stromabwärtigen Basisstufenfläche 852 (siehe 26) der Formabwärtsfläche 55d in Kontakt steht und sich in Breitenrichtung X erstreckt. Die stromabwärtige Basisstufenfläche 852 ist ein Teil der Formabwärtsfläche 55d und ist eine Stufenfläche, die der Formspitzenendseite zugewandt ist. Die stromabwärtige Basisstufenfläche 852 ist an einem Grenzabschnitt zwischen dem vorderen Zwischenabschnitt 553 und dem vorderen Basisabschnitt 552 im Formvorderabschnitt 550 und an einem Grenzabschnitt zwischen dem hinteren Zwischenabschnitt 563 und dem hinteren Basisabschnitt 562 im Formrückabschnitt 560 bereitgestellt. Die stromabwärtige Stufenkontaktfläche 842 ist in Kontakt mit dem Gehäusetrennabschnitt 131 des ersten Gehäuseabschnitts 151. Die stromabwärtige Stufenkontaktfläche 842 kann in Kontakt mit der Gehäusestufenfläche 137 sein.
Der Endabschnitt der stromabwärtigen Zwischenkontaktfläche 841 an der Formspitzenendseite ist an dem Endabschnitt der vorderen Messstufenfläche 555 an der Formbasisendseite angeordnet. Ein Endabschnitt der stromabwärtigen Zwischenkontaktfläche 841 auf der Formbasisendseite ist zwischen dem Endabschnitt der vorderen Basisstufenfläche 556 auf der Formspitzenendseite und dem Endabschnitt davon auf der Formbasisendseite bereitgestellt.
Die stromabwärtige Zwischenkontaktfläche 841 ist ein Abschnitt, der in Kontakt mit dem ersten Gehäuseabschnitt 151 des vorderen Zwischenabschnitts 553 und dem hinteren Zwischenabschnitt 563 in der Formabwärtsfläche 55d steht, und erstreckt sich in der Höhenrichtung Y von der stromabwärtigen Stufenkontaktfläche 842 zur Gehäusespitzenendseite. Die stromabwärtige Zwischenkontaktfläche 841 ist in Kontakt mit der stromabwärtigen Messwandfläche 806 des ersten Gehäuseabschnitts 151.
Wie in 35 und 37 gezeigt, wird bei dem Flusssensor 22 der Endabschnitt auf der Formspitzenendseite als Sensorspitzenendabschnitt 861 und der Endabschnitt auf der Formbasisendseite als Sensorbasisendabschnitt 862 bezeichnet. Der Sensorspitzenendabschnitt 861 ist von dem vorderen Messabschnitt 551 des Formvorderabschnitts 550 zur Formvorderseite hin exponiert. Andererseits befindet sich der Sensorbasisendabschnitt 862 in einem Zustand, in dem es von der Formvorderseite durch den vorderen Zwischenabschnitt 553 des Formvorderabschnitts 550 abgedeckt ist und nicht der Formvorderseite ausgesetzt ist.
Der Flusssensor 22 hat eine Sensoraufnahmefläche 870. Die Sensoraufnahmefläche 870 ist ein Abschnitt der Sensorvorderfläche 22a, der von der Formvorderfläche 55e freigelegt ist. Die Sensoraufnahmefläche 870 erstreckt sich von dem Abschnitt der Sensorvorderfläche 22a auf der Formspitzenendseite in Richtung der Formbasisendseite. Wenn der Endabschnitt der Sensoraufnahmefläche 870 auf der Formspitzenendseite als exponierter Spitzenendabschnitt 871 bezeichnet wird, ist der exponierte Spitzenendabschnitt 871 ein Endabschnitt der Sensorvorderfläche 22a auf der Formspitzenendseite und ist in dem Sensorspitzenendabschnitt 861 enthalten. Wenn der Endabschnitt der Sensoraufnahmefläche 870 auf der Formbasisendseite als exponierter Basisendabschnitt 872 bezeichnet wird, ist der exponierte Spitzenendabschnitt 871 an einer Position bereitgestellt, die von dem Sensorbasisendabschnitt 862 in Richtung der Formspitzenendseite getrennt ist, weil der Sensorbasisendabschnitt 862 mit dem vorderen Messabschnitt 551 abgedeckt ist. Der exponierte Basisendabschnitt 872 ist zwischen dem Sensorspitzenendabschnitt 861 und dem Sensorbasisendabschnitt 862 in der Höhenrichtung Y bereitgestellt und ist an einer Position näher am Sensorbasisendabschnitt 862 als am Sensorspitzenendabschnitt 861 angeordnet.
Wie in 37 dargestellt, enthält das SA-Substrat 53 des Sensors SA50 einen Sensorbefestigungsabschnitt 881, den Verarbeitungsbefestigungsabschnitt 882 und einen Anschlusserstreckungsabschnitt 883. Der Sensorbefestigungsabschnitt 881, der Verarbeitungsbefestigungsabschnitt 882 und der Anschlusserstreckungsabschnitt 883 sind alle plattenförmig ausgebildet und innerhalb des Formabschnitts 55 mit ihren Plattenflächen in Breitenrichtung X angeordnet. Der Sensorbefestigungsabschnitt 881, der Verarbeitungsbefestigungsabschnitt 882 und der Anschlusserstreckungsabschnitt 883 sind in den Richtungen Y und Z orthogonal zur Breitenrichtung X angeordnet und in diesen Richtungen Y und Z voneinander getrennt. Ein Teil des Sensorbefestigungsabschnitts 881 ist durch den Trägeraussparungsabschnitt 530 zur Formrückseite hin freiliegend.
Der Sensorbefestigungsabschnitt 881 ist ein Abschnitt, an dem der Flusssensor 22 angebracht ist, und ist zwischen der vorderen Basisstufenfläche 556, der hinteren Basisstufenfläche 566, der stromaufwärtigen Basisstufenfläche 851 und der stromabwärtigen Basisstufenfläche 852 und der Formspitzenendfläche 55a bereitgestellt. Der Verarbeitungsbefestigungsabschnitt 882 ist ein Abschnitt, auf dem die Flussverarbeitungseinheit 511 befestigt ist, und ist an einer Position gegenüber den Basisstufenflächen 556, 566, 851 und 852 in der Höhenrichtung Y bereitgestellt. Der Anschlusserstreckungsabschnitt 883 ist ein Abschnitt, der sich von dem Leitungsanschluss 53a, dem stromaufwärtigen Prüfanschluss 53b und dem stromabwärtigen Prüfanschluss 53c erstreckt und den Leitungsanschluss 53a und die Prüfanschlüsse 53b und 53c durch Einbettung in den Formabschnitt 55 trägt.
Der Sensor SA50 enthält einen Bonddraht 512a, der den Flusssensor 22 und die Flussverarbeitungseinheit 511 elektrisch verbindet. Der Bonddraht 512a hat ein Ende, das mit dem Flusssensor 22 verbunden ist, und das andere Ende, das mit der Flussverarbeitungseinheit 511 verbunden ist, wodurch der Flusssensor 22 und die Flussverarbeitungseinheit 511 direkt miteinander verbunden sind.
Der Sensor SA50 enthält einen Bonddraht 512b, der die Flussverarbeitungseinheit 511 und den Anschlusserstreckungsabschnitt 883 elektrisch verbindet. Ein Ende des Bonddrahts 512a ist direkt mit der Flussverarbeitungseinheit 511 verbunden, während das andere Ende mit dem Anschlusserstreckungsabschnitt 883 verbunden ist. Somit verbindet der Bonddraht 512a indirekt über den Anschlusserstreckungsabschnitt 883 die Flussverarbeitungseinheit 511 und den Leitungsanschluss 53a, den stromaufwärtigen Prüfanschluss 53b und den stromabwärtigen Prüfanschluss 53c.
In dem Formabschnitt 55 des Sensors SA50 sind die vordere Basisstufenfläche 556, die hintere Basisstufenfläche 566, die stromaufwärtige Basisstufenfläche 851 und die stromabwärtige Basisstufenfläche 852 an Positionen bereitgestellt, die näher an der Formspitzenendfläche 55a als an der Formbasisendfläche 55b liegen. Wie oben beschrieben, sind im Sensor SA50 der Flusssensor 22 und die Flussverarbeitungseinheit 511 durch den Bonddraht 512a direkt miteinander verbunden. Daher ist es im SA-Substrat 53 nicht erforderlich, einen Relaisabschnitt bereitzustellen, der die elektrische Verbindung zwischen dem Flusssensor 22 und der Flussverarbeitungseinheit 511 weiterleitet. Daher wird im Sensor SA50 die Trennungsdistanz zwischen den Basisstufenflächen 556, 566, 851 und 852 und der Formspitzenendfläche 55a so klein wie möglich. Mit anderen Worten, die Längendimension des Formabschnitts 55 wird reduziert durch Reduzieren der Längendimension des vorderen Messabschnitts 551, des vorderen Zwischenabschnitts 553, des hinteren Messabschnitts 561 und des hinteren Zwischenabschnitts 563 so weit wie möglich in der Höhenrichtung Y.
Im Gegensatz zur vorliegenden Ausführungsform wird beispielsweise im SA-Substrat 53 eine Konfiguration angenommen, bei der zwischen den Basisstufenflächen 556, 566, 851 und 852 und der Formspitzenendfläche 55a ein Relaisabschnitt installiert ist und der Flusssensor 22 und die Flussverarbeitungseinheit 511 über den Relaisabschnitt elektrisch verbunden sind. In dieser Ausführungsform wird die Trennungsdistanz zwischen den Basisstufenflächen 556, 566, 851 und 852 und der Formspitzenendfläche 55a durch den Betrag des Relaisabschnitts erhöht, verglichen mit der Konfiguration ohne den Relaisabschnitt wie in der vorliegenden Ausführungsform.
An der Vorderseite des Sensors SA50 ist in der Höhenrichtung Y eine Distanz L62a zwischen dem exponierten Basisendabschnitt 872 des Flusssensors 22 und dem vorderen festen Basisendabschnitt 814 des Formabschnitts 55 kleiner als eine Distanz L61a zwischen dem exponierten Basisendabschnitt 872 und der Formspitzenendfläche 55a. Das heißt, die Beziehung L62a < L61a ist gegeben. In diesem Fall ist der exponierte Basisendabschnitt 872 in der Höhenrichtung Y an einer Position bereitgestellt, die näher an dem vorderen festen Basisendabschnitt 814 liegt als an der Formspitzenendfläche 55a. Dies zeigt an, dass die vordere feste Fläche 810 des Formabschnitts 55 an einer Position angeordnet ist, die so nahe wie möglich an der vorderen Messstufenfläche 555 und der Formspitzenendfläche 55a in der Höhenrichtung Y liegt. Die Trennungsdistanz L61a ist eine Trennungsdistanz zwischen dem Formspitzenendabschnitt, der ein Abschnitt ist, der am weitesten von dem exponierten Basisendabschnitt 872 in der Formspitzenendfläche 55a entfernt ist, und dem exponierten Basisendabschnitt 872.
In der Höhenrichtung Y ist die Längendimension der vorderen festen Fläche 810 kleiner als die Trennungsdistanz L62a zwischen dem exponierten Basisendabschnitt 872 und dem vorderen festen Basisendabschnitt 814. Daher ist die Längendimension der vorderen festen Fläche 810 in der Höhenrichtung Y kleiner als die Distanz L61a zwischen dem exponierten Basisendabschnitt 872 und der Formspitzenendfläche 55a.
Der vordere feste Spitzenendabschnitt 813 des Formvorderabschnitts 550 ist zwischen dem Sensorbasisendabschnitt 862 des Flusssensors 22 und der Formspitzenendfläche 55a in der Höhenrichtung Y bereitgestellt. Da sich im Formvorderabschnitt 550 die vordere Messstufenfläche 555 von dem exponierten Basisendabschnitt 872 in Richtung der Formbasisendseite erstreckt, ist der vordere feste Spitzenendabschnitt 813 an einer Position bereitgestellt, die von dem exponierten Basisendabschnitt 872 in Richtung der Formbasisendseite in der Höhenrichtung Y getrennt ist. In diesem Fall befindet sich der vordere feste Spitzenendabschnitt 813 zwischen dem Sensorbasisendabschnitt 862 und dem exponierten Basisendabschnitt 872 in der Höhenrichtung Y.
In der Höhenrichtung Y ist eine Trennungsdistanz L63a zwischen der Formspitzenendfläche 55a und dem vorderen festen Basisendabschnitt 814 kleiner als eine Trennungsdistanz L64a zwischen der Formbasisendfläche 55b und dem vorderen festen Basisendabschnitt 814. Das heißt, die Beziehung L63a < L64a ist gegeben. Wenn der Endabschnitt des Leitungsanschlusses 53a, der dem Formabschnitt 55 gegenüberliegt, als Leitungsbasisendabschnitt 885 bezeichnet wird, ist der Leitungsbasisendabschnitt 885 ein Endabschnitt des Sensorträgerabschnitts 51 gegenüber der Formspitzenendfläche 55a und entspricht einem Trägerbasisendabschnitt. Die Trennungsdistanz L63a ist kleiner als die Trennungsdistanz L65a zwischen dem Leitungsbasisendabschnitt 885 und dem vorderen festen Basisendabschnitt 814 in der Höhenrichtung Y. Das heißt, die Beziehung L63a < L65a ist gegeben.
Die Trennungsdistanz L63a ist die Summe der Trennungsdistanzen L61a und L62a, und es wird die Beziehung L63a = L61a + L62a hergestellt. Die Trennungsdistanz L64a ist eine Distanz zwischen dem Formbasisendabschnitt, der der Abschnitt der Formbasisendfläche 55b ist, der am weitesten von dem vorderen festen Basisendabschnitt 814 entfernt ist, und dem vorderen festen Basisendabschnitt 814 in der Höhenrichtung Y.
Auf der Rückseite des Sensors SA50 ist in Höhenrichtung Y eine Trennungsdistanz L62b zwischen dem exponierten Basisendabschnitt 872 des Flusssensors 22 und dem hinteren festen Basisendabschnitt 824 des Formabschnitts 55 kleiner als die Trennungsdistanz L61a auf der Vorderseite. Das heißt, die Beziehung L62b < L61a ist gegeben. In diesem Fall ist der exponierte Basisendabschnitt 872 in der Höhenrichtung Y an einer Position bereitgestellt, die näher an dem hinteren festen Basisendabschnitt 824 liegt als die Formspitzenendfläche 55a. Dies zeigt an, dass die hintere feste Fläche 820 des Formabschnitts 55 an einer Position angeordnet ist, die in der Höhenrichtung Y so nahe wie möglich an der hinteren Messstufenfläche 565 und der Formspitzenendfläche 55a liegt.
In der Höhenrichtung Y ist die Längendimension der hinteren festen Fläche 820 kleiner als die Trennungsdistanz L62b zwischen dem exponierten Basisendabschnitt 872 und dem hinteren festen Basisendabschnitt 824. Daher ist die Längendimension der hinteren festen Fläche 820 in der Höhenrichtung Y kleiner als die Distanz L61a zwischen dem exponierten Basisendabschnitt 872 und der Formspitzenendfläche 55a.
Ähnlich wie der vordere feste Spitzenendabschnitt 813 ist der hintere feste Spitzenendabschnitt 823 des Formrückabschnitts 560 zwischen dem Sensorbasisendabschnitt 862 und der Formspitzenendfläche 55a in Höhenrichtung Y bereitgestellt. Der hintere feste Spitzenendabschnitt 823 ist an einer Position bereitgestellt, die von dem exponierten Basisendabschnitt 872 des Flusssensors 22 in Richtung der Formbasisendseite in Höhenrichtung Y getrennt ist. In diesem Fall befindet sich der hintere feste Spitzenendabschnitt 823 zwischen dem Sensorbasisendabschnitt 862 und dem exponierten Basisendabschnitt 872 in der Höhenrichtung Y.
In der Höhenrichtung Y ist eine Trennungsdistanz L63b zwischen der Formspitzenendfläche 55a und dem hinteren festen Basisendabschnitt 824 kleiner als eine Trennungsdistanz L64b zwischen der Formbasisendfläche 55b und dem hinteren festen Basisendabschnitt 824. Das heißt, die Beziehung L63b < L64b ist gegeben. Die Trennungsdistanz L63b ist kleiner als die Distanz L65b zwischen dem Leitungsbasisendabschnitt 885 und dem hinteren festen Basisendabschnitt 824 in der Höhenrichtung Y. Das heißt, die Beziehung L63b < L65b ist gegeben. Die Trennungsdistanz L63b ist die Summe der Trennungsdistanzen L61b und L62b, und es gilt die Beziehung L63b = L61b + L62b. Die Trennungsdistanz L64b ist eine Distanz zwischen dem Formbasisende und dem hinteren festen Basisendabschnitt 824 in der Höhenrichtung Y.
In dem Formabschnitt 55 ist die hintere feste Fläche 820 an einer Position bereitgestellt, die näher an der Formspitzenendfläche 55a liegt als die vordere feste Fläche 810 in der Höhenrichtung Y. Insbesondere ist der hintere feste Basisendabschnitt 824 an einer Position bereitgestellt, die näher an der Formspitzenendfläche 55a liegt als der vordere feste Basisendabschnitt 814. Daher ist die Trennungsdistanz L62b zwischen dem exponierten Basisendabschnitt 872 und dem hinteren festen Basisendabschnitt 824 kleiner als die Trennungsdistanz L62a zwischen dem exponierten Basisendabschnitt 872 und dem vorderen festen Basisendabschnitt 814. Das heißt, die Beziehung L62b < L62a ist gegeben. Der hintere feste Spitzenendabschnitt 823 ist an einer Position bereitgestellt, die näher an der Formspitzenendfläche 55a liegt als der vordere feste Spitzenendabschnitt 813. Die Tatsache, dass die Beziehung L62b < L61a hergestellt ist, bedeutet, dass die Beziehung L64b > L64a und die Beziehung L65b > L65a hergestellt sind. In dem Formabschnitt 55 sind die Längendimension der vorderen festen Fläche 810 und die Längendimension der hinteren festen Fläche 820 in der Höhenrichtung Y im Wesentlichen gleich.
An der Formaufwärtsfläche 55c des Formabschnitts 55 ist ähnlich wie an der Formvorderfläche 55e und der Formrückfläche 55f der exponierte Basisendabschnitt 872 des Flusssensors 22 an einer Position bereitgestellt, die in der Höhenrichtung Y näher an dem Endabschnitt auf der Formbasisendseite der vorderen festen Fläche 830 liegt als die Formspitzenendfläche 55a. Auch auf der Formabwärtsfläche 55d des Formabschnitts 55 ist der exponierte Basisendabschnitt 872 des Flusssensors 22 an einer Position bereitgestellt, die in der Höhenrichtung Y näher am Endabschnitt der Formbasisendseite der stromabwärtigen festen Fläche 840 liegt als die Formspitzenendfläche 55a.
Wie in 38 gezeigt, enthält der Sensormembranabschnitt 66 des Flusssensors 22 eine Isolierschicht 66a, eine leitende Schicht 66b und eine Schutzschicht 66c. Die Isolierschicht 66a, die leitende Schicht 66b und die Schutzschicht 66c erstrecken sich alle entlang der Sensorvorderfläche 65a des Sensorsubstrats 65. Die Isolierschicht 66a überlappt auf der Sensorvorderfläche 65a, die leitende Schicht 66b überlappt auf der Isolierschicht 66a und die Schutzschicht 66c überlappt auf der leitenden Schicht 66b. Bei dem Flusssensor 22 ist die äußere Fläche der Schutzschicht 66c die Sensorvorderfläche 22a. Der Membranabschnitt 62 ist so gebildet, dass er die Isolierschicht 66a, die leitende Schicht 66b und die Schutzschicht 66c enthält. Die Sensoraussparungsbodenfläche 501 ist aus der Isolierschicht 66a gebildet. In 38 ist der Formabschnitt 55 nicht veranschaulicht.
Die Isolierschicht 66a wird durch ein isolierendes Material, wie z.B. ein Harzmaterial, in Form eines Films gebildet und hat eine isolierende Eigenschaft. Die Isolierschicht 66a wird zwischen dem Sensorsubstrat 65 und der leitenden Schicht 66b bereitgestellt und isoliert das Sensorsubstrat 65 elektrisch von der leitenden Schicht 66b. Ähnlich wie die Isolierschicht 66a ist die Schutzschicht 66c in Form eines Films aus einem isolierenden Material, z. B. einem Harzmaterial, gebildet und hat eine isolierende Eigenschaft. Die Schutzschicht 66c deckt die leitende Schicht 66b und die Isolierschicht 66a ab, um die leitende Schicht 66b und die Isolierschicht 66a zu schützen.
Die leitende Schicht 66b ist durch ein Material, wie z.B. ein Metallmaterial, in Form eines Films oder einer dünnen Platte gebildet und hat Leitfähigkeit. Die leitende Schicht 66b bildet ein Verdrahtungsmuster des Sensormembranabschnitts 66. Die leitende Schicht 66b wird z. B. aus Platin gebildet. In diesem Fall ist die Hauptkomponente des Materials, das die leitende Schicht 66b bildet, Platin. Die leitende Schicht 66b hat einen geringeren Gauge-Faktor als eine leitende Schicht, die aus einem Material gebildet ist, dessen Hauptkomponente z. B. Silizium ist, und neigt weniger dazu, sich in Breitenrichtung X, die die Dickenrichtung der leitenden Schicht 66b ist, zu verformen. Die leitende Schicht 66b hat einen geringeren Gauge-Faktor als die Isolierschicht 66a und die Schutzschicht 66c und lässt sich in Breitenrichtung X weniger leicht verformen. Daher hindert die leitende Schicht 66b den Sensormembranabschnitt 66 daran, in Breitenrichtung X verformt zu werden, und schränkt somit das Sensorsubstrat 65 und den Flusssensor 22 darin ein, in Breitenrichtung X verformt zu werden. Die leitende Schicht 66b hat eine höhere Festigkeit, Härte und Steifigkeit als eine leitende Schicht, deren Hauptkomponente Silizium ist. Die Breitenrichtung X entspricht einer Richtung orthogonal zur Sensoraufnahmefläche 870 des Flusssensors 22.
Der Flusssensor 22 ist durch einen Sensorkontaktierungsabschnitt 67 an dem SA-Substrat 53 fest angebracht. Der Sensorkontaktierungsabschnitt 67 ist zwischen dem Flusssensor 22 und dem SA-Substrat 53 bereitgestellt und verbindet den Flusssensor 22 und das SA-Substrat 53 miteinander. Der Sensorkontaktierungsabschnitt 67 ist eine Schicht, die zwischen der Sensorrückfläche 22b und der Sensorvorderfläche 65a bereitgestellt ist und sich entlang der Sensorrückfläche 22b und der Sensorvorderfläche 65a erstreckt. Der Sensorkontaktierungsabschnitt 67 ist in dem Sensor SA50 enthalten und entspricht einem Kontaktierungsabschnitt. Das SA-Substrat 53 entspricht einem Trägerplattenabschnitt.
Der Sensorkontaktierungsabschnitt 67 ist durch Verfestigung des Klebstoffs in Form eines Films gebildet und hat eine isolierende Eigenschaft. Der Sensorkontaktierungsabschnitt 67 wird z.B. aus einem Silikonklebstoff gebildet. Der Silikonklebstoff ist ein Klebstoff, der ein Silikonharz als Hauptkomponente enthält. Der Sensorkontaktierungsabschnitt 67 hat eine höhere Flexibilität und lässt sich leichter verformen als beispielsweise ein Kontaktierungsabschnitt, der aus einem Acrylklebstoff gebildet ist, der hauptsächlich aus einem Acrylharz besteht, oder ein Kontaktierungsabschnitt, der aus einem Epoxidklebstoff gebildet ist, der hauptsächlich aus einem Epoxidharz besteht. Der Sensorkontaktierungsabschnitt 67 hat eine höhere Flexibilität und lässt sich leichter verformen als der Flusssensor 22. Wenn beispielsweise das SA-Substrat 53 in Breitenrichtung X verformt wird, verformt sich der Sensorkontaktierungsabschnitt 67 in Übereinstimmung mit der Verformung des SA-Substrats 53. Daher wird der Flusssensor 22 in Übereinstimmung mit der Verformung des SA-Substrats 53 kaum verformt. Durch die Verformung zusammen mit der Verformung des SA-Substrats 53 schränkt der Sensorkontaktierungsabschnitt 67 die Verformung des Flusssensors 22 ein. Der Sensorkontaktierungsabschnitt 67 weist eine höhere Nachgiebigkeit gegenüber Verformungen des SA-Substrats 53 auf als ein Kontaktierungsabschnitt, der aus einem Acrylat- oder Epoxidklebstoff gebildet wird. Die Tatsache, dass der Sensorkontaktierungsabschnitt 67 leicht verformbar ist, kann als „mit hoher Elastizität“ bezeichnet werden.
Bei dem Luftflussmesser 20 haben der Flusssensor 22, der Formabschnitt 55 und das Gehäuse 21 unterschiedliche Leitfähigkeiten. Unter dem Flusssensor 22, dem Formabschnitt 55 und dem Gehäuse 21 ist die Wärmeleitfähigkeit des Flusssensors 22 am größten und die des Gehäuses 21 am kleinsten. Die Leitfähigkeit des Flusssensors 22 beträgt z. B. 1,4 W/mK, die des Formabschnitts 55 z. B. 0,67 W/mK und die des Gehäuses 21 z. B. 0,25 W/mK. Daher überträgt unter dem Flusssensor 22, dem Formabschnitt 55 und dem Gehäuse 21 der Flusssensor 22 am leichtesten Wärme, und das Gehäuse 21 überträgt am wenigsten Wärme.
Da beim Luftflussmesser 20 die thermische Leitfähigkeit des Gehäuses 21 so gering wie möglich ist, ist es unwahrscheinlich, dass externe Wärme über das Gehäuse 21 an den Sensor SA50 übertragen wird. Da im Sensor SA50 die Leitfähigkeit des Formabschnitts 55 kleiner ist als die Leitfähigkeit des Flusssensors 22, ist es weniger wahrscheinlich, dass Fremdwärme über den Formabschnitt 55 auf den Flusssensor 22 übertragen wird. Daher wird unterdrückt, dass die externe Wärme an den Membranabschnitt 62 und die Widerstandsthermometer 72 und 73 des Flusssensors 22 übertragen wird, und die Operationsgenauigkeit der Widerstandsthermometer 72 und 73 reduziert wird und die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 reduziert wird.
Das Harzmaterial, das den Formabschnitt 55 des Sensors SA bildet, ist ein wärmehärtendes Harz, wie oben beschrieben, und ist ein Material, das ein Glasepoxidharz enthält. Bei dem Luftflussmesser 20 haben der Formabschnitt 55 und das Gehäuse 21 unterschiedliche lineare Ausdehnungskoeffizienten. Der lineare Ausdehnungskoeffizient des Formabschnitts 55 ist kleiner als der lineare Ausdehnungskoeffizient des Gehäuses 21. Der lineare Ausdehnungskoeffizient des Formabschnitts 55 beträgt beispielsweise 15 ppm und der lineare Ausdehnungskoeffizient des Gehäuses 21 beträgt beispielsweise 50 ppm. Daher ist der Formabschnitt 55 weniger anfällig für thermische Verformung als das Gehäuse 21.
Da der lineare Ausdehnungskoeffizient des Formabschnitts 55 im Luftflussmesser 20 so klein wie möglich ist, ist es weniger wahrscheinlich, dass der Formabschnitt 55 durch Wärme verformt wird. Selbst wenn externe Wärme auf den Formabschnitt 55 angewendet wird, ist es daher weniger wahrscheinlich, dass der Formabschnitt 55 verformt wird. Daher wird unterdrückt, dass der Flusssensor 22 zusammen mit der Verformung des Formabschnitts 55 verformt wird, das Wärmewiderstandselement 71 und die Widerstandsthermometer 72 und 73 des Membranabschnitts 62 verformt werden, die Operationsgenauigkeit dieser Widerstandselemente 71 bis 73 verringert wird und die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 verringert wird.
In dem in 37 dargestellten Formabschnitt 55 sind das Volumen des Formvorderabschnitts 550 und das Volumen des Formrückabschnitts 560 im Wesentlichen gleich. Im Herstellungsprozess des Sensors SA50, wenn das geschmolzene Harz in die SA-Formvorrichtung 580 eingepresst wird, gleichen sich der Druck des geschmolzenen Harzes, das auf der Vorderseite des SA-Substrats 53 innerhalb der SA-Formvorrichtung 580 eingefüllt wird, und der Druck des geschmolzenen Harzes, das auf der Rückseite des SA-Substrats 53 eingefüllt wird, leicht aus. Daher wird verhindert, dass zum Zeitpunkt des Harzformens des Formabschnitts 55 der Zustand des geschmolzenen Harzes innerhalb der SA-Formvorrichtung 580 nicht angemessen ist und ein unbeabsichtigter Aussparungsabschnitt oder ähnliches in dem Formabschnitt 55 erzeugt wird.
Im Gegensatz zur vorliegenden Ausführungsform besteht beispielsweise beim Formen eines Formabschnitts, bei dem das Volumen des vorderen Formabschnitts deutlich größer ist als das Volumen des hinteren Formabschnitts, die Sorge, dass sich der Druck des geschmolzenen Harzes zum Bilden des Formabschnitts mit großem Volumen in der SA-Formvorrichtung ungewollt verringert. In diesem Fall wird der Zustand des geschmolzenen Harzes auf der Seite des SA-Substrats 53 nicht angemessen sein, und ein unbeabsichtigter Aussparungsabschnitt oder ähnliches wird wahrscheinlich im Formvorderabschnitt auftreten.
In dem Formabschnitt 55 sind die Form und Größe des Formvorderabschnitts 550 und die Form und Größe des Formrückabschnitts 560 insgesamt im Wesentlichen gleich. Zum Beispiel haben in Breitenrichtung X, wie oben beschrieben, der vordere Messabschnitt 551 und der hintere Messabschnitt 561 die gleiche oder im Wesentlichen die gleiche Dickendimension, und der vordere Basisabschnitt 552 und der hintere Basisabschnitt 562 haben die gleiche oder im Wesentlichen die gleiche Dickendimension.
In Breitenrichtung X haben der vordere Zwischenabschnitt 553 und der hintere Zwischenabschnitt 563 die gleiche oder im Wesentlichen die gleiche Dickendimension. Wie oben beschrieben, ist der hintere Zwischenabschnitt 563 mit dem Zwischenaussparungsabschnitt 572 bereitgestellt, und das Volumen des Formrückabschnitts 560 wird durch die Größe des Zwischenaussparungsabschnitts 572 reduziert. Andererseits ist, wie oben beschrieben, die hintere Basisstufenfläche 566 an einer Position angeordnet, die näher an der Formspitzenendfläche 55a liegt als die vordere Basisstufenfläche 556, so dass die Beziehung von L62b < L61a gegeben ist. Daher ist die Längendimension des hinteren Basisabschnitts 562 größer als die Längendimension des vorderen Basisabschnitts 552 in der Höhenrichtung Y, und das Volumen des Formrückabschnitts 560 ist um die Länge des hinteren Basisabschnitts 562 größer als das des vorderen Basisabschnitts 552. Da, wie oben beschrieben, das Volumen des hinteren Basisabschnitts 562 durch das geringere Volumen des hinteren Zwischenabschnitts 563 erhöht wird, sind die Volumina des Formvorderabschnitts 550 und des Formrückabschnitts 560 ausgeglichen, selbst wenn der Zwischenaussparungsabschnitt 572 im hinteren Zwischenabschnitt 563 vorhanden ist.
Als nächstes wird ein Montageprozess des Sensors SA50 mit dem ersten Gehäuseabschnitt 151 im Herstellungsprozess des Luftflussmessers 20 unter Bezugnahme auf 35, 39, 40 und dergleichen beschrieben.
In dem Montageprozess des Sensors SA50 an dem ersten Gehäuseabschnitt 151, wie in 18 und 39 gezeigt, wird der Sensor SA50 von dem Gehäuseöffnungsabschnitt 151a in den ersten Gehäuseabschnitt 151 eingeführt (siehe 19). Dabei wird die Position des Sensors SA50 in Bezug auf den ersten Gehäuseabschnitt 151 mit Bezug auf die vordere Endfläche der vorderen Rippe 801 in Breitenrichtung X und mit Bezug auf die vordere Messwandfläche 805 in Tiefenrichtung Z der inneren Fläche des ersten Gehäuseabschnitts 151 eingestellt. In diesem Fall wird im vorderen Zwischenabschnitt 553 des Sensors SA50 die Formvorderfläche 55e von der Spitzenendfläche der vorderen Rippe 801 und die Formaufwärtsfläche 55c von der stromaufwärtigen Messwandfläche 805 überlappt.
In dem ersten Gehäuseabschnitt 151 vor der Montage des Sensors SA50, wie durch eine Zweipunkt-Kettenlinie in 36 angegeben, sind die Vorsprungdimensionen der hinteren Rippe 802 und der stromabwärtigen Rippe 803 größer als nach der Montage des Sensors SA50. Vor der Montage des Sensors SA50 haben die hintere Rippe 802 und die stromabwärtige Rippe 803 einen oberen Abschnitt und einen verjüngten Querschnitt. Daher wird, wie in 39 gezeigt, beim Einsetzen des Sensors SA50 in den ersten Gehäuseabschnitt 151 die hintere Messstufenfläche 565 des Sensors SA50 von der Gehäusebasisendseite an dem Spitzenendabschnitt der hinteren Rippe 802 und dem Spitzenendabschnitt der stromabwärtigen Rippe 803 erfasst.
Selbst wenn der Sensor SA50 durch die hintere Rippe 802 und die stromabwärtige Rippe 803 wie oben beschrieben erfasst wird, wird der Sensor SA50 ferner in Richtung der Tiefenseite der Innenseite des ersten Gehäuseabschnitts 151 eingeführt, wie in 40 gezeigt. In diesem Fall werden, wie oben beschrieben, die hintere Rippe 802 und die stromabwärtige Rippe 803, da die Härte und die Steifigkeit des ersten Gehäuseabschnitts 151 geringer sind als die Härte und die Steifigkeit des Formabschnitts 55, so verformt, dass der Spitzenendabschnitt von jedem von ihnen durch die hintere Messstufenfläche 565 des Sensors SA50 zerdrückt wird. In der hinteren Rippe 802 und der stromabwärtigen Rippe 803 wird der Spitzenendabschnitt von jedem von ihnen zerdrückt, so dass die neu gebildete Spitzenendfläche leicht in engen Kontakt mit der Formrückfläche 55f des hinteren Zwischenabschnitts 563 kommt.
Wie in 35 gezeigt, schiebt der Arbeiter den Sensor SA50 in den ersten Gehäuseabschnitt 151, bis die SA-Stufenfläche 147 in engen Kontakt mit dem Gehäusetrennabschnitt 131 und der Gehäusestufenfläche 137 kommt. In diesem Zustand begrenzen die Rippen 801 bis 803, dass der Sensor SA50 in den Richtungen X und Z orthogonal zur Höhenrichtung Y innerhalb des ersten Gehäuseabschnitts 151 verschoben wird. In Breitenrichtung X ist der Sensor SA50 zwischen der vorderen Rippe 801 und der hinteren Rippe 802 angeordnet, und die Position des Sensors SA50 wird durch die vordere Rippe 801 und die hintere Rippe 802 gehalten. In Tiefenrichtung Z ist der Sensor SA50 zwischen der stromabwärtigen Rippe 803 und der stromaufwärtigen Messwandfläche 805 angeordnet, und die Position des Sensors SA50 wird durch die stromabwärtige Rippe 803 und die stromaufwärtige Messwandfläche 805 gehalten.
Wie oben beschrieben, wurde der Abschnitt der äußeren Fläche des Sensors SA50, der mit den Rippen 801 bis 803, der stromaufwärtigen Messwandfläche 805, dem Gehäusetrennabschnitt 131 und der Gehäusestufenfläche 137 in Kontakt steht, zu den festen Flächen 810, 820, 830 und 840.
In der bisher beschriebenen Ausführungsform besteht bei der Herstellung des Luftflussmessers 20 die Sorge, dass die Lage des Sensors SA50 in Bezug auf den ersten Gehäuseabschnitt 151 in einem Zustand, in dem der Sensor SA50 in den ersten Gehäuseabschnitt 151 eingesetzt ist, von der Auslegungslage verschoben ist. Beispielsweise wird die Lage des Sensors SA50 verschoben, wenn die vordere feste Fläche 810 des Sensorträgerabschnitts 51 als Drehpunkt dient und der Sensor SA50 sich in Bezug auf den ersten Gehäuseabschnitt 151 dreht, so dass sich die Formspitzenendfläche 55a in Breitenrichtung X und der Tiefenrichtung Z bewegt. In diesem Fall wird der Membranabschnitt 62 in Breitenrichtung X und der Tiefenrichtung Z verschoben, die Operationsgenauigkeit der Widerstandsthermometer 72 und 73 nimmt ab, und die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 nimmt tendenziell ab.
Andererseits ist die Distanz L62a zwischen dem exponierten Basisendabschnitt 872 des Flusssensors 22 und dem vorderen festen Basisendabschnitt 814 des Sensorträgerabschnitts 51 kleiner als die Distanz L61a zwischen dem exponierten Basisendabschnitt 872 und der Formspitzenendfläche 55a. In dieser Konfiguration ist der exponierte Basisendabschnitt 872 im Sensor SA50 an einer Position bereitgestellt, die näher am vorderen festen Basisendabschnitt 814 als an der Formspitzenendfläche 55a liegt. Daher kann, selbst wenn die vordere feste Fläche 810 des Sensorträgerabschnitts 51 als Drehpunkt der Drehung des Sensors SA50 in Bezug auf den ersten Gehäuseabschnitt 151 dient, der Drehradius vom Drehpunkt zum Flusssensor 22 oder dem Membranabschnitt 62 minimiert werden. In diesem Fall kann eine Verringerung der Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 unterdrückt werden, da die Positionsverschiebung des Flusssensors 22 und des Membranabschnitts 62 aufgrund der Verschiebung der Lage des Sensors SA50 weniger wahrscheinlich erhöht wird. Somit kann die Messgenauigkeit des Luftflussmessers 20 verbessert werden.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist in der Höhenrichtung Y der vordere feste Spitzenendabschnitt 813 des Sensors SA50 zwischen dem Sensorspitzenendabschnitt 861 und dem Sensorbasisendabschnitt 862 des Flusssensors 22 bereitgestellt. In dieser Konfiguration überlappt der vordere feste Spitzenendabschnitt 813 den Flusssensor 22 in den Richtungen X und Z orthogonal zur Höhenrichtung Y. Daher können bei der Herstellung des Luftflussmessers 20, selbst wenn die vordere feste Fläche 810 als Drehpunkt der Drehung des Sensors SA50 dient, dieser Drehpunkt und der Flusssensor 22 in der Breitenrichtung X überlappen. Daher kann, selbst wenn die Lage des Flusssensors 22 in Bezug auf den ersten Gehäuseabschnitt 151 verschoben ist, die Verschiebung so weit wie möglich reduziert werden.
In der vorliegenden Ausführungsform wird bei der Herstellung des Luftflussmessers 20 selbst in dem Fall, in dem nicht die vordere feste Fläche 810 des Sensorträgerabschnitts 51, sondern die hintere feste Fläche 820 als Drehpunkt dient, wenn sich der Sensor SA50 in Bezug auf den ersten Gehäuseabschnitt 151 dreht, die Lage des Sensors SA50 verschoben.
Andererseits ist gemäß der vorliegenden Ausführungsform die Distanz L62b zwischen dem exponierten Basisendabschnitt 872 des Flusssensors 22 und dem hinteren festen Basisendabschnitt 824 des Sensorträgerabschnitts 51 kleiner als die Distanz L61a zwischen dem exponierten Basisendabschnitt 872 und der Formspitzenendfläche 55a. In dieser Konfiguration ist der exponierte Basisendabschnitt 872 im Sensor SA50 auch an der Formrückseite zusätzlich zur Formvorderseite des Sensorträgerabschnitts 51 näher an dem hinteren festen Basisendabschnitt 824 angeordnet als an der Formspitzenendfläche 55a. Daher kann, selbst wenn die hintere feste Fläche 820 des Sensorträgerabschnitts 51 als Drehpunkt für die Drehung des Sensors SA50 dient, der Drehradius von diesem Drehpunkt zum Flusssensor 22 und dem Membranabschnitt 62 so weit wie möglich reduziert werden. Wie oben beschrieben, ist es selbst dann, wenn die hintere feste Fläche 820 als Drehpunkt der Drehung des Sensors SA50 dient, weniger wahrscheinlich, dass sich die Verschiebung des Flusssensors 22 und des Membranabschnitts 62 aufgrund der Verschiebung der Lage des Sensors SA50 erhöht, so dass eine Verschlechterung der Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 verhindert werden kann.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform weisen im Sensorträgerabschnitt 51 der vordere feste Basisendabschnitt 814 und der hintere feste Basisendabschnitt 824 unterschiedliche Distanzen zu dem exponierten Basisendabschnitt 872 des Flusssensors 22 auf. Das heißt, die Trennungsdistanz L62a zwischen dem exponierten Basisendabschnitt 872 und dem vorderen festen Basisendabschnitt 814 und die Trennungsdistanz L62b zwischen dem exponierten Basisendabschnitt 872 und dem hinteren festen Basisendabschnitt 824 sind voneinander verschieden. In dieser Konfiguration kann im Herstellungsprozess des Luftflussmessers 20 die Richtung, in der die Lage des Sensors SA50 in Bezug auf den ersten Gehäuseabschnitt 151 verschoben ist, gesteuert werden.
Gemäß der Beziehung L62b < L62a in der vorliegenden Ausführungsform ist beispielsweise der vordere feste Basisendabschnitt 814 an einer Position angeordnet, die in der Höhenrichtung Y näher am Flusssensor 22 liegt als der hintere feste Basisendabschnitt 824. Daher kann in dem Sensorträgerabschnitt 51 basierend auf dem Gesichtspunkt, dass die Verschiebung der Lage des Sensors SA50 auf der Formvorderseite tendenziell kleiner ist als auf der Formrückseite, eine Verarbeitung, wie z.B. eine Korrektur des Erfassungsergebnisses des Flusssensors 22, in Übereinstimmung mit der Lage des Sensors SA50 durchgeführt werden. Dadurch kann die Messgenauigkeit der Flussrate durch den Luftflussmesser 20 verbessert werden.
In der vorliegenden Ausführungsform, wenn der Formabschnitt 55 mit Harz im Herstellungsprozess des Sensors SA50 gegossen wird, besteht die Sorge, dass der Formabschnitt 55 aufgrund einer Differenz im Druck des geschmolzenen Harzes zwischen der Vorderseite und der Rückseite des SA-Substrats 53 innerhalb der SA-Formvorrichtung 580 ungewollt verformt wird. Als unbeabsichtigte Verformung des Formabschnitts 55 ist beispielsweise denkbar, dass der Formabschnitt 55 in Breitenrichtung X gewölbt oder gekrümmt wird.
Andererseits ist gemäß der vorliegenden Ausführungsform im Sensorträgerabschnitt 51 die Distanz des Flusssensors 22 zu dem exponierten Basisendabschnitt 872 zwischen dem vorderen festen Basisendabschnitt 814 und dem hinteren festen Basisendabschnitt 824 unterschiedlich. In dieser Konfiguration sind in dem Formabschnitt 55 des Sensorträgerabschnitts 51 das Gesamtvolumen des vorderen Messabschnitts 551 und des vorderen Zwischenabschnitts 553 und das Gesamtvolumen des hinteren Messabschnitts 561 und des hinteren Zwischenabschnitts 563 wahrscheinlich unterschiedlich. Wenn der Formabschnitt 55 im Herstellungsprozess des Luftflussmessers 20 mit Harz geformt wird, ist es daher möglich, einen Modus zu verwalten, in dem der Formabschnitt 55 in Breitenrichtung X verformt wird.
Gemäß der Beziehung von L62b < L62a in der vorliegenden Ausführungsform ist beispielsweise das Gesamtvolumen des hinteren Messabschnitts 561 und des hinteren Zwischenabschnitts 563 tendenziell kleiner als das Gesamtvolumen des vorderen Messabschnitts 551 und des vorderen Zwischenabschnitts 553. In dem Formabschnitt 55 ist das Volumen des Abschnitts zwischen dem hinteren festen Basisendabschnitt 824 und dem Flusssensor 22 tendenziell kleiner als das Volumen des Abschnitts zwischen dem vorderen festen Basisendabschnitt 814 und dem Flusssensor 22. Da der Formabschnitt 55 leicht zur Formvorderseite oder zur Formrückseite verformt werden kann, ist die Verformung des Membranabschnitts 62 und der Widerstandselemente 71 bis 73 aufgrund der Verformung des Formabschnitts 55 leicht auf eine Ausdehnung und Kontraktion beschränkt. Daher ist der Fehler des Erfassungsergebnisses des Flusssensors 22 in Bezug auf den wahren Wert leicht auf einen von positiv und negativ begrenzt, und als Ergebnis ist es möglich, eine geeignete Verarbeitung zur Verbesserung der Messgenauigkeit auszuführen, wie z.B. eine Korrektur des Erfassungsergebnisses des Flusssensors 22.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform schränkt die leitende Schicht 66b die Verformung des Flusssensors 22 in Breitenrichtung X ein. Daher kann die leitende Schicht 66b selbst dann, wenn eine Verformung, wie beispielsweise eine thermische Verformung, in dem Formabschnitt 55 zum Zeitpunkt der Herstellung oder nach der Herstellung des Luftflussmessers 20 auftritt, verhindern, dass der Flusssensor 22 zusammen mit der Verformung des Formabschnitts 55 verformt wird. Daher kann die leitende Schicht 66b unterdrücken, dass sich die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 aufgrund der Verformung des Membranabschnitts 62 und der Widerstandselemente 71 bis 73 verschlechtert.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform kann, da die leitende Schicht 66b aus Platin gebildet ist, eine Konfiguration erreicht werden, in der die leitende Schicht 66b kaum verformt wird. Daher ist es möglich, eine unbeabsichtigte Verformung des Flusssensors 22 durch Änderung des Materials, das die leitende Schicht 66b bildet, zu verhindern, ohne die Konstruktion, wie z. B. die Form und Größe der leitenden Schicht 66b, wesentlich zu ändern.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform wird bei dem Sensor SA50 der Sensorkontaktierungsabschnitt 67 zusammen mit der Verformung des SA-Substrats 53 verformt, so dass die Verformung des Flusssensors 22 durch den Sensorkontaktierungsabschnitt 67 begrenzt wird. Daher kann der Sensorkontaktierungsabschnitt 67 die Verformung des Flusssensors 22 aufgrund der Verformung des SA-Substrats 53 einschränken, selbst wenn das SA-Substrat 53 aufgrund einer Verformung, wie z. B. einer thermischen Verformung, im Formabschnitt 55 zum Zeitpunkt der Herstellung oder nach der Herstellung des Luftflussmessers 20 verformt wird. Daher kann der Sensorkontaktierungsabschnitt 67 eine Verringerung der Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 aufgrund einer Verformung des Membranabschnitts 62 und der Widerstandselemente 71 bis 73 unterdrücken.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist es, da der Sensorkontaktierungsabschnitt 67 so gebildet ist, dass er Silikonharz enthält, möglich, eine Konfiguration zu erreichen, in der der Sensorkontaktierungsabschnitt 67 in Übereinstimmung mit der Verformung des SA-Substrats 53 leicht verformt werden kann. Daher ist es möglich, eine unbeabsichtigte Verformung des Flusssensors 22 durch Ändern des Materials, das den Sensorkontaktierungsabschnitt 67 bildet, zu verhindern, ohne das Design zu ändern, wie z. B. eine wesentliche Änderung der Struktur des Sensors SA50, wie z. B. die Positionsbeziehung zwischen dem SA-Substrat 53 und dem Flusssensor 22.
<Beschreibung der Konfigurationsgruppe H>
Wie in 3 dargestellt, hat das Gehäuse 21 die Flanschlöcher 611 und 612. Die Flanschlöcher 611 und 612 sind Durchgangslöcher, die in dem Flanschabschnitt 27 bereitgestellt sind und den Flanschabschnitt 27 in der Höhenrichtung Y durchdringen. Die Flanschlöcher 611 und 612 sind an Positionen bereitgestellt, die in der Breitenrichtung X und in der Tiefenrichtung Z voneinander getrennt sind. In der Breitenrichtung X ist der Kanalflusspfad 31 zwischen diesen Flanschlöchern 611 und 612 angeordnet. Von den Flanschlöchern 611 und 612 ist das erste Flanschloch 611 zwischen dem Verbinderabschnitt 28 und dem Kanalflusspfad 31 in Breitenrichtung X bereitgestellt, und das zweite Flanschloch 612 ist auf der Seite gegenüber dem ersten Flanschloch 611 bereitgestellt, wobei der Kanalflusspfad 31 in Breitenrichtung X dazwischen angeordnet ist.
Unter der Annahme einer Flanschlochlinie CL61 als eine lineare imaginäre Linie, die durch eine Mitte CO61 des ersten Flanschlochs 611 und eine Mitte CO62 des zweiten Flanschlochs 612 verläuft, überlappt die Flanschlochlinie CL61 den Kanaleingang 33 des Kanalflusspfads 31. Mit anderen Worten, der Kanaleingang 33 ist in der Draufsicht zwischen dem ersten Flanschloch 611 und dem zweiten Flanschloch 612 bereitgestellt, wenn der Luftflussmesser 20 von der Gehäusebasisendseite aus betrachtet wird. Die Mittellinie der in die Flanschlöcher 611 und 612 eingesetzten Schraube erstreckt sich in der Höhenrichtung Y und geht durch die Mitten CO61 und CO62 der Flanschlöcher 611 und 612.
Wenn das Gehäuse 21 mit einer Schraube an der Rohrmuffe 14d befestigt ist, wird davon ausgegangen, dass sich die Mittellinie der Schraube aufgrund der Verschiebung der Schraube in Bezug auf die Flanschlöcher 611 und 612 von den Mitten CO61 und CO62 der Flanschlöcher 611 und 612 verschiebt. In diesem Fall wird das Gehäuse 21 in Breitenrichtung X und der Tiefenrichtung Z um die Schraube verschoben, aber der Abschnitt des Gehäuses 21, der die Flanschlochlinie CL61 in der Draufsicht überlappt, wird mit geringerer Wahrscheinlichkeit in Breitenrichtung X und der Tiefenrichtung Z verschoben als andere Abschnitte. Da, wie oben beschrieben, ein Teil des Kanaleingangs 33 in der Draufsicht die Flanschlochlinie CL61 überlappt, ist es weniger wahrscheinlich, dass die Verschiebung des Kanaleingangs 33 im Ansaugkanal 12 auftritt. Daher ist es weniger wahrscheinlich, dass der Produktfehler in der Position des Kanaleingangs 33 im Ansaugkanal 12 auftritt, und es ist möglich, die Leichtigkeit der in den Kanaleingang 33 im Ansaugkanal 12 fließenden Luft vom Variieren abhängig von den Produkten zu unterdrücken. Dementsprechend kann die Messgenauigkeit der Flussrate durch den Luftflussmesser 20 verbessert werden.
Der Kanaleingang 33 ist vorzugsweise in der Mitte oder in einer Position nahe der Mitte des Ansaugkanals 12 in den Richtungen X und Y orthogonal zur Tiefenrichtung Z angeordnet, weil sich die Mitte des Ansaugkanals 12 an einer Position befindet, an der die Flussrate und die Flussgeschwindigkeit wahrscheinlich maximiert werden und der Luftfluss wahrscheinlich am stabilsten ist.
Die Flanschlöcher 611 und 612 sind nicht mit einer Metallbuchse bereitgestellt. Bei dieser Konfiguration kommt die Schraube leicht in direkten Kontakt mit dem Abschnitt, der die Flanschlöcher 611 und 612 im Flanschabschnitt 27 bildet. Die Flanschlöcher 611 und 612 können mit einer Metallbuchse bereitgestellt sein. Bei dieser Konfiguration kommt die Schraube eher mit der Buchse in Kontakt als mit dem Abschnitt, der die Flanschlöcher 611 und 612 im Flanschabschnitt 27 bildet.
Wie in 41 dargestellt, enthält das Gehäuse 21 ein Verbinderführungsabschnitt 613. Der Verbinderführungsabschnitt 613 ist an der äußeren Fläche des Verbinderabschnitts 28 bereitgestellt und erstreckt sich in die Richtung der Öffnung des Verbinderabschnitts 28. Der Verbinderführungsabschnitt 613 ist ein Abschnitt, der die Position des Verbinderabschnitts in Bezug auf den Verbinderabschnitt 28 führt und die Einschubrichtung des Verbinderabschnitts führt, wenn der Verbinderabschnitt am Verbinderabschnitt 28 befestigt ist. Der Verbinderführungsabschnitt 613 ist ein Abschnitt, der zum Beispiel in einem Abschnitt bereitgestellt ist, der die Gehäusebasisendfläche 21b des Verbinderabschnitts 28 bildet, und der am weitesten in Richtung der Gehäusebasisendseite im Gehäuse 21 vorsteht.
Wie in 3, 4 und 5 gezeigt, enthält das Gehäuse 21 zusätzlich zu dem Verbinderführungsabschnitt 613 einen Verbindereingriffsabschnitt 614. Ähnlich wie der Verbinderführungsabschnitt 613 ist der Verbindereingriffsabschnitt 614 an der äußeren Fläche des Verbinderabschnitts 28 bereitgestellt. Der Verbindereingriffsabschnitt 614 ist ein Ausrückbegrenzungsabschnitt, der das Ausrücken des Steckerabschnitts von dem Verbinderabschnitt 28 in einem Zustand einschränkt, in dem der Steckerabschnitt an dem Verbinderabschnitt 28 befestigt ist. Der Verbindereingriffsabschnitt 614 kann auch als ein Rückhalteabschnitt bezeichnet werden. Ähnlich wie der Verbinderführungsabschnitt 613 ist der Verbindereingriffsabschnitt 614 zum Beispiel in einem Abschnitt bereitgestellt, der die Gehäusebasisendfläche 21b im Verbinderabschnitt 28 bildet. Wie in 6 und 7 gezeigt, sind zwei Verbinderführungsabschnitte 613 durch Seite an Seite in der Breitenrichtung X bereitgestellt, und der Verbindereingriffsabschnitt 614 ist zwischen diesen Verbinderführungsabschnitten 613 bereitgestellt. Jeder Verbinderführungsabschnitt 613 und der Verbindereingriffsabschnitt 614 erstrecken sich parallel zueinander in der Tiefenrichtung Z.
Wie in 41 dargestellt, hat das Gehäuse 21 einen Verbinderaussparungsabschnitt 28b. Der Verbinderaussparungsabschnitt 28b ist ein Aussparungsabschnitt, der an der Spitzenendabschnittfläche des Verbinderabschnitts 28 bereitgestellt ist. In dem Gehäuse 21 erstreckt sich der Verbinderabschnitt 28 von dem Flanschabschnitt 27 in Breitenrichtung X, und der Verbinderaussparungsabschnitt 28b erstreckt sich von der Spitzenendfläche des Verbinderabschnitts 28 in Richtung des Flanschabschnitts 27 in Breitenrichtung X. Der Verbinderanschluss 28a erstreckt sich in Breitenrichtung X von der Fläche des Verbinderaussparungsabschnitts 28b. In diesem Fall ist mindestens der Spitzenendabschnitt des Verbinderanschlusses 28a innerhalb des Verbinderaussparungsabschnitts 28b angeordnet. In einem Zustand, in dem der Steckerabschnitt an dem Verbinderabschnitt 28 befestigt ist, tritt mindestens ein Teil des Steckerabschnitts in den Verbinderaussparungsabschnitt 28b ein.
Die Winkeleinstellfläche 27a des Flanschabschnitts 27 ist auf der Gehäusebasisendseite relativ zu dem Formabschnitt 55 des Sensors SA50 in der Höhenrichtung Y bereitgestellt. In dieser Konfiguration ist es selbst dann, wenn der Flanschabschnitt 27 aufgrund der Winkeleinstellfläche 27a an der Rohrmuffe 14d verformt wird, weniger wahrscheinlich, dass sich die Position des Formabschnitts 55 aufgrund dieser Verformung ungewollt ändert. Daher ist es möglich, eine unbeabsichtigte Veränderung des Flusssensors 22 im Messflusspfad 32 zu unterdrücken.
Der Verbinderanschluss 28a des Verbinderabschnitts 28 ist auf der Gehäusebasisendseite relativ zum Formabschnitt 55 des Sensors SA50 in Höhenrichtung Y bereitgestellt. In dieser Konfiguration ist es selbst dann, wenn der Verbinderanschluss 28a aufgrund des Verbindens des Steckeranschlusses mit dem Verbinderanschluss 28a bei der Montage des Steckerabschnitts am Verbinderabschnitt 28 verformt wird, weniger wahrscheinlich, dass sich die Position des Formabschnitts 55 aufgrund dieser Verformung ungewollt verändert.
Der Verbinderanschluss 28a ist an der Gehäusebasisendseite relativ zur Winkeleinstellfläche 27a in Höhenrichtung Y bereitgestellt. In diesem Fall ist eine Trennungsdistanz H62 zwischen dem Verbinderanschluss 28a und dem Formabschnitt 55 in Höhenrichtung Y größer als eine Trennungsdistanz H61 zwischen der Winkeleinstellfläche 27a und dem Formabschnitt 55 in Höhenrichtung Y. Der Verbinderanschluss 28a kann nicht an der Gehäusebasisendseite in Bezug auf die Winkeleinstellfläche 27a bereitgestellt sein.
Im Gehäuse 21 sind der Verbinderabschnitt 28 und der Flanschabschnitt 27 durch die Richtungen X und Z orthogonal zur Höhenrichtung Y nebeneinander bereitgestellt. Der Endabschnitt des Verbinderabschnitts 28 an der Gehäusebasisendseite ist an der Gehäusebasisendseite relativ zu einem Endabschnitt des Flanschabschnitts 27 an der Gehäusebasisendseite bereitgestellt. Andererseits ist der Endabschnitt des Verbinderabschnitts 28 auf der Gehäusespitzenendseite auf der Gehäusespitzenendseite relativ zu dem Endabschnitt des Flanschabschnitts 27 auf der Gehäusespitzenendseite bereitgestellt. Da der Verbinderabschnitt 28 wie oben beschrieben in Breitenrichtung X und Tiefenrichtung Z mit dem Flanschabschnitt 27 angeordnet ist, wird die Höhendimension des hervorstehenden Abschnitts 20b in Höhenrichtung Y durch den Flanschabschnitt 27 weniger wahrscheinlich erhöht. Mit dieser Konfiguration ist es möglich, in einem Fahrzeug, in dem der Luftflussmesser 20 zusammen mit dem Ansaugrohr 14a oder dergleichen in einem Motorraum oder dergleichen untergebracht ist, eine Trennungsdistanz zwischen dem Luftflussmesser 20 und einer Fahrzeugkarosserie innerhalb der Fahrzeugkarosserie in geeigneter Weise sicherzustellen. Daher ist es beispielsweise möglich, selbst wenn ein Teil der Fahrzeugkarosserie, wie die Motorhaube, verformt wird, um aufgrund des Kontakts eines anderen Fahrzeugs oder dergleichen mit diesem Fahrzeug ausgespart zu werden, zu verhindern, dass der verformte Abschnitt mit dem Luftflussmesser 20 in Kontakt kommt.
Der Halterillenabschnitt 25a des Dichtungshalteabschnitts 25 ist an der Gehäusebasisendseite relativ zum Gehäusetrennabschnitt 131 des Gehäuses 21 bereitgestellt. In dieser Konfiguration ist es selbst dann, wenn der Halterillenabschnitt 25a verformt wird, weil das Dichtungselement 26 in engem Kontakt sowohl mit der inneren Fläche des Halterillenabschnitts 25a als auch mit der inneren Fläche des Rohrflansches 14c steht, weniger wahrscheinlich, dass der Gehäusetrennabschnitt 131 aufgrund dieser Verformung ungewollt verformt wird. Daher ist es möglich, eine unbeabsichtigte Auslösung des Zustands zu unterdrücken, in dem der Gehäusetrennabschnitt 131 den SA-Aufnahmebereich 150 und den Messflusspfad 32 trennt.
Das Gehäuse 21 hat einen Spitzenendschutzvorsprungsabschnitt 615, einen stromaufwärtigen Schutzvorsprungsabschnitt 616 und einen stromabwärtigen Schutzvorsprungsabschnitt 617. Jeder dieser Schutzvorsprungsabschnitte 615 bis 617 ist ein Vorsprungsabschnitt, der auf der Gehäuserückfläche 21f bereitgestellt ist. Der Spitzenendschutzvorsprungsabschnitt 615 ist an der Gehäusespitzenendseite in Bezug auf den Ansauglufttemperatursensor 23 in Höhenrichtung Y bereitgestellt und ragt nicht in Richtung der Gehäuserückseite in Bezug auf den Ansauglufttemperatursensor 23 in Breitenrichtung X.
Der stromaufwärtige Schutzvorsprungsabschnitt 616 ist an der stromaufwärtigen Seite des Gehäuses relativ zum Ansauglufttemperatursensor 23 in der Tiefenrichtung Z bereitgestellt. Der stromabwärtige Schutzvorsprungsabschnitt 617 ist an der stromabwärtigen Seite des Gehäuses relativ zum Ansauglufttemperatursensor 23 in der Tiefenrichtung Z bereitgestellt. Der stromaufwärtige Schutzvorsprungsabschnitt 616 und der stromabwärtige Schutzvorsprungsabschnitt 617 ragen zur Gehäuserückseite relativ zum Ansauglufttemperatursensor 23 in der Höhenrichtung X und sind an der Gehäusebasisendseite relativ zum Ansauglufttemperatursensor 23 in der Höhenrichtung Y bereitgestellt.
Die Schutzvorsprungsabschnitte 616 und 617 sind auf der Gehäusevorderseite zusammen mit dem Ansauglufttemperatursensor 23 bereitgestellt. Die Vorsprungdimension des stromaufwärtigen Schutzvorsprungsabschnitts 616 von der Gehäusevorderfläche 21e ist kleiner als die Vorsprungdimension des stromabwärtigen Schutzvorsprungsabschnitts 617 von der Gehäusevorderfläche 21e. In diesem Fall ist der Spitzenendabschnitt des stromaufwärtigen Schutzvorsprungsabschnitts 616 in einer Position angeordnet, die näher an der Gehäusevorderfläche 21e liegt als der Spitzenendabschnitt des stromabwärtigen Schutzvorsprungsabschnitts 617. Bei dieser Konfiguration ist der stromaufwärtige Schutzvorsprungsabschnitt 616 so kurz wie möglich, so dass der Luftfluss, der den Ansauglufttemperatursensor 23 erreicht, nicht so groß werden kann. Daher kann die Genauigkeit der Erfassung der Temperatur durch den Ansauglufttemperatursensor 23 leicht verbessert werden.
In der Höhenrichtung Y ist eine Trennungsdistanz H63 zwischen dem Halterillenabschnitt 25a und dem Gehäusetrennabschnitt 131 größer als eine Trennungsdistanz H64 zwischen dem Endabschnitt an der Gehäusespitzenendseite des Spitzenendschutzvorsprungsabschnitts 615 und dem Ansauglufttemperatursensor 23. Die Trennungsdistanz H63 ist größer als jede der Trennungsdistanzen H61, H62, und H64.
Das Gehäuse 21 ist mit einem Verbindungsanschluss 620 mit dem Verbinderanschluss 28a bereitgestellt. Wie in 42 und 43 dargestellt, enthält der Verbindungsanschluss 620 Anschlusselemente 641 bis 646. Das Anschlusselement 641 ist ein voneinander unabhängiges Element, das sich in einem Zustand befindet, in dem es durch seine Trennung voneinander elektrisch isoliert ist. Die Anschlusselemente 641 bis 646 sind längliche Platten, die Leitfähigkeit haben und aus einem metallischen Material gebildet sind. Die Anschlusselemente 641 bis 646 sind z.B. aus Messing gefertigt.
Die Anschlusselemente 641 bis 646 können aus einem metallischen Material, wie z.B. Phosphorbronze, hergestellt sein, das sich von Messing unterscheidet. Wenn Messing jedoch preiswerter ist als Phosphorbronze, können die Herstellungskosten der Anschlusselemente 641 bis 646 leicht reduziert werden, indem Messing als Material zur Bildung der Anschlusselemente 641 bis 646 wie in der vorliegenden Ausführungsform verwendet wird. Der Verbindungsanschluss 620 kann ein Verbindungselement haben, das die Anschlusselemente 641 bis 646 verbindet. Das Element ist vorzugsweise aus einem Harzmaterial oder ähnlichem gebildet, um eine isolierende Eigenschaft zu haben.
Jedes der Anschlusselemente 641 bis 646 ist mit dem Leitungsanschluss 53a des Sensors SA50 verbunden. Jedes der Anschlusselemente 641 bis 646 enthält den Leitungsverbindungsanschluss 621 und einen Anschlusszwischenabschnitt 624. Der Leitungsverbindungsanschluss 621 ist durch Schweißen oder dergleichen mit dem Leitungsanschluss 53a verbunden. Der Anschlusszwischenabschnitt 624 erstreckt sich von dem Leitungsverbindungsanschluss 621 in eine Richtung, die sich von dem Leitungsverbindungsanschluss 621 unterscheidet. Während sich der Leitungsverbindungsanschluss 621 in der Höhenrichtung Y erstreckt, erstreckt sich der Anschlusszwischenabschnitt 624 in den Richtungen X und Z orthogonal zur Höhenrichtung Y. Die Mehrzahl der Leitungsverbindungsanschlüsse 621 ist in der Tiefenrichtung Z angeordnet.
Das erste Anschlusselement 641 der Anschlusselemente 641 bis 646 ist mit dem Ansauglufttemperaturausgangsanschluss 675 des Leitungsanschlusses 53a verbunden. Das zweite Anschlusselement 642 ist mit dem Masseanschluss 674 für die Ansauglufttemperatur des Leitungsanschlusses 53a verbunden. Jedes der Anschlusselemente 641 und 642 hat einen Ansauglufttemperaturverbindungsanschluss 622. In den Anschlusselementen 641 und 642 ist ein Endabschnitt in dem Leitungsverbindungsanschluss 621 enthalten, und der andere Endabschnitt ist in dem Ansauglufttemperaturverbindungsanschluss 622 enthalten.
Der Ansauglufttemperaturverbindungsanschluss 622 ist ein Anschluss, der elektrisch mit dem Leitungsdraht 23a des Ansauglufttemperatursensors 23 verbunden ist. In dem Verbindungsanschluss 620 ist eine Mehrzahl von (z.B. zwei) Lufttemperaturverbindungsanschlüssen 622 enthalten. Diese Lufttemperaturverbindungsanschlüsse 622 erstrecken sich in der Höhenrichtung Y von dem Anschlusszwischenabschnitt 624 in Richtung der Gehäusebasisendseite und sind parallel zueinander angeordnet. Diese Lufttemperaturverbindungsanschlüsse 622 sind in der Tiefenrichtung Z angeordnet. In den Anschlusselementen 641 und 642 ist der Ansauglufttemperaturverbindungsanschluss 622 über den Anschlusszwischenabschnitt 624 mit dem Leitungsverbindungsanschluss 621 verbunden. Jedes der Anschlusselemente 641 und 642 ist vollständig in das Gehäuse 21 eingebettet. In der Höhenrichtung Y ist eine Erstreckungsdimension des Leitungsverbindungsanschlusses 621 von dem Anschlusszwischenabschnitt 624 in den Anschlusselementen 641 bis 646 größer als eine Erstreckungsdimension des Ansauglufttemperaturverbindungsanschlusses 622 von dem Anschlusszwischenabschnitt 624 in den Anschlusselementen 641 und 642. Die Erstreckungsdimension des Leitungsverbindungsanschlusses 621 kann nicht größer sein als die Erstreckungsdimension des Ansauglufttemperaturverbindungsanschlusses 622.
Das dritte Anschlusselement 643 der Anschlusselemente 641 bis 646 ist mit dem Flussausgangsanschluss 673 des Leitungsanschlusses 53a verbunden. Das vierte Anschlusselement 644 ist mit dem Flussmasseanschluss 671 der Leitungsanschluss 53a verbunden. Das fünfte Anschlusselement 645 ist mit dem Flussenergieversorgungsanschluss 672 des Leitungsanschlusses 53a verbunden. Jedes der Anschlusselemente 643 bis 645 hat den Verbinderanschluss 28a. In den Anschlusselementen 643 bis 645 ist ein Endabschnitt im Leitungsverbindungsanschluss 621 enthalten, und der andere Endabschnitt ist im Verbinderanschluss 28a enthalten.
Der Verbinderanschluss 28a ist ein Anschluss, der in dem Verbinderabschnitt 28 in einem Zustand bereitgestellt ist, in dem er der Innenseite des Verbinderaussparungsabschnitts 28b ausgesetzt ist. Eine Mehrzahl von (z.B. drei) Verbinderanschlüssen 28a sind im Verbindungsanschluss 620 enthalten. Diese Verbinderanschlüsse 28a erstrecken sich in der Breitenrichtung X von dem Anschlusszwischenabschnitt 624 zu der Seite, die dem Leitungsverbindungsanschluss 621 gegenüberliegt, und sind parallel zueinander. Die Verbinderanschlüsse 28a sind in der Tiefenrichtung Z angeordnet und befinden sich auf der Seite, die von dem Ansauglufttemperaturverbindungsanschluss 622 über den Leitungsverbindungsanschluss 621 in der Richtung X abgewandt ist. In den Anschlusselementen 643 bis 645 ist der Verbinderanschluss 28a über den Anschlusszwischenabschnitt 624 mit dem Leitungsverbindungsanschluss 621 verbunden. Die Anschlusselemente 643 bis 645 sind innerhalb des Gehäuses 21 in einem Zustand eingebettet, in dem mindestens der Vorsprungvorsprungsabschnitt jedes Anschlussausgangs 28a von dem Gehäuse 21 in Richtung der Innenseite des Verbinderaussparungsabschnitts 28b vorsteht.
Das sechste Anschlusselement 646 der Anschlusselemente 641 bis 646 ist mit dem Einstellungsanschluss 676 des Leitungsanschlusses 53a verbunden. Das sechste Anschlusselement 646 hat einen Einstellungsverbindungsanschluss 623. In dem sechsten Anschlusselement 646 ist ein Endabschnitt in dem Leitungsverbindungsanschluss 621 enthalten, und der andere Endabschnitt ist in dem Einstellungsverbindungsanschluss 623 enthalten.
Der Einstellungsverbindungsanschluss 623 ist ein Anschluss, der in dem Verbinderabschnitt 28 in einem Zustand bereitgestellt ist, in dem er an der Innenseite des Verbinderaussparungsabschnitts 28b exponiert ist, und ist ein Anschluss zum Einstellen eines Ausgangssignals oder dergleichen von dem Verbinderanschluss 28a zum Zeitpunkt der Herstellung des Luftflussmessers 20 oder dergleichen. Der Einstellungsverbindungsanschluss 623 erstreckt sich in der Breitenrichtung X von dem Anschlusszwischenabschnitt 624 zu der Seite, die dem Leitungsverbindungsanschluss 621 gegenüberliegt, und ist parallel zu jedem Verbinderanschluss 28a. Der Einstellungsverbindungsanschluss 623 ist durch jeden Verbinderanschluss 28a in der Tiefenrichtung Z nebeneinander bereitgestellt. Im sechsten Anschlusselement 646 ist der Einstellungsverbindungsanschluss 623 mit dem Leitungsverbindungsanschluss 621 über den Anschlusszwischenabschnitt 624 verbunden. Das sechste Anschlusselement 646 ist in einem Zustand in das Gehäuse 21 eingebettet, in dem mindestens der Spitzenendabschnitt des Einstellungsverbindungsanschlusses 623 aus dem Gehäuse 21 in Richtung der Innenseite des Verbinderaussparungsabschnitts 28b herausragt.
In den Anschlusselementen 641 bis 646 hat der Anschlusszwischenabschnitt 624 mindestens einen Teil eines sich in Querrichtung erstreckenden Abschnitts 624a, einen sich in Längsrichtung erstreckenden Abschnitt 624b und einen schräg erstreckenden Abschnitt 624c. Der sich seitlich erstreckende Abschnitt 624a ist ein Abschnitt, der sich in der Breitenrichtung X erstreckt, und der sich in Längsrichtung erstreckende Abschnitt 624b ist ein Abschnitt, der sich in der Tiefenrichtung Z erstreckt. Der schräg erstreckende Abschnitt 624c ist derselbe wie der sich seitlich erstreckende Abschnitt 624a und der sich in Längsrichtung erstreckende Abschnitt 624b unter dem Gesichtspunkt, dass er sich in den Richtungen X und Z orthogonal zur Höhenrichtung Y erstreckt, und erstreckt sich in einer Richtung, die in Bezug auf den sich in Querrichtung erstreckenden Abschnitt 624a und den sich in Längsrichtung erstreckenden Abschnitt 624b geneigt ist.
Das erste Anschlusselement 641 hat den sich in Querrichtung erstreckenden Abschnitt 624a, den sich in Längsrichtung erstreckenden Abschnitt 624b und den schräg erstreckenden Abschnitt 624c. In dem ersten Anschlusselement 641 erstreckt sich der in Querrichtung erstreckende Abschnitt 624a von jeder Leitungsverbindung 621 und der Ansauglufttemperaturverbindungsanschluss 622 zur Seite des Verbinderanschlusses 28a. Diese sich in Querrichtung erstreckenden Abschnitte 624a sind miteinander verbunden mit einem sich in Querrichtung erstreckenden Abschnitt 624a und zwei sich in Längsrichtung erstreckenden Abschnitten 624b, die dazwischen liegen. Das erste Anschlusselement 641 enthält mindestens einen Abschnitt, in dem der sich seitlich erstreckende Abschnitt 624a und der sich in Längsrichtung erstreckende Abschnitt 624b mit dem schräg erstreckenden Abschnitt 624c verbunden sind, der dazwischen liegt.
Ähnlich wie das erste Anschlusselement 641 hat das zweite Anschlusselement 642 den sich in Querrichtung erstreckenden Abschnitt 624a, den sich in Längsrichtung erstreckenden Abschnitt 624b und den schräg erstreckenden Abschnitt 624c. Im zweiten Anschlusselement 642 erstreckt sich, ähnlich wie im ersten Anschlusselement 641, der in Querrichtung erstreckende Abschnitt 624a von jedem der Leitungsverbindungsanschlüsse 621 und dem Ansauglufttemperaturverbindungsanschluss 622 zur Seite des Verbinderanschlusses 28a. Diese sich in Querrichtung erstreckenden Abschnitte 624a sind miteinander verbunden, wobei ein sich in Längsrichtung erstreckender Abschnitt 624b dazwischen angeordnet ist. In dem zweiten Anschlusselement 642 sind der sich seitlich erstreckende Abschnitt 624a und der sich in Längsrichtung erstreckende Abschnitt 624b mit dem dazwischen liegenden schräg erstreckenden Abschnitt 624c verbunden.
Das dritte Anschlusselement 643, das vierte Anschlusselement 644 und das fünfte Anschlusselement 645 haben nicht den in Längsrichtung erstreckenden Abschnitt 624b, sondern den in Querrichtung erstreckenden Abschnitt 624a und den schräg erstreckenden Abschnitt 624c. In diesen Anschlusselementen 643 bis 645 sind der in Querrichtung erstreckende Abschnitt 624a, der sich von dem Leitungsverbindungsanschluss 621 in Richtung des Verbinderanschlusses 28a erstreckt, und der in Querrichtung erstreckende Abschnitt 624a, der sich von dem Verbinderanschluss 28a in Richtung des Leitungsverbindungsanschlusses 621 erstreckt, miteinander verbunden, wobei der schräg erstreckende Abschnitt 624c dazwischen liegt. Ähnlich wie das dritte Anschlusselement 643 hat das sechste Anschlusselement 646 nicht den längs erstreckenden Abschnitt 624b, sondern den in Querrichtung erstreckenden Abschnitt 624a und den schräg erstreckenden Abschnitt 624c. Im sechsten Anschlusselement 646 sind ähnlich wie im dritten Anschlusselement 643 der sich von dem Leitungsverbindungsanschluss 621 erstreckende in Querrichtung erstreckende Abschnitt 624a und der sich von dem Verbinderanschluss 28a erstreckende in Querrichtung erstreckende Abschnitt 624a miteinander verbunden, wobei der schräg erstreckende Abschnitt 624c dazwischen liegt.
In den Anschlusselementen 643 bis 646 ist die Breitendimension des Verbinderanschlusses 28a und des Einstellungsverbindungsanschlusses 623 in der Tiefenrichtung Z kleiner als die Breitendimension des sich in Querrichtung erstreckenden Abschnitts 624a, der sich von dem Verbinderanschluss 28a oder dem Einstellungsverbindungsanschluss 623 in der Tiefenrichtung Z erstreckt. In diesem Fall sind der Verbinderanschluss 28a und der Einstellungsverbindungsanschluss 623 dünner als der in Querrichtung erstreckende Abschnitt 624a. In dem vierten Anschlusselement 644, das in der Mitte unter den drei nebeneinander angeordneten Anschlusselementen 643 bis 645 angeordnet ist, fällt die Mittellinie des Verbinderanschlusses 28a mit der Mittellinie des sich in Querrichtung erstreckenden Abschnitts 624a zusammen, der sich von dem Verbinderanschluss 28a aus erstreckt. In diesem Fall erstreckt sich im vierten Anschlusselement 644 der Verbinderanschluss 28a von der Mitte des sich in Querrichtung erstreckenden Abschnitts 624a. Andererseits ist im dritten Anschlusselement 643 und im fünften Anschlusselement 645 die Mittellinie jedes Verbinderanschlusses 28a an einer Position angeordnet, die weiter von dem vierten Anschlusselement 644 entfernt ist als die Mittellinie des sich in Querrichtung erstreckenden Abschnitts 624a, der sich von jedem Verbinderanschluss 28a aus erstreckt. In diesem Fall erstreckt sich beim dritten Anschlusselement 643 und beim fünften Anschlusselement 645 der Verbinderanschluss 28a von der dem vierten Anschlusselement 644 gegenüberliegenden Seite in den sich in Querrichtung erstreckenden Abschnitt 624a.
Das sechste Anschlusselement 646 ist neben dem fünften Anschlusselement 645 an einer Position gegenüber dem vierten Anschlusselement 644 angeordnet, wobei das fünfte Anschlusselement 645 dazwischen in der Tiefenrichtung Z angeordnet ist. In dem sechsten Anschlusselement 646 ist die Mittellinie des Einstellungsverbindungsanschlusses 623 an einer Position näher an dem fünften Anschlusselement 645 angeordnet als die Mittellinie des sich in Querrichtung erstreckenden Abschnitts 624a, der sich von dem Einstellungsverbindungsanschluss 623 erstreckt. In diesem Fall erstreckt sich in dem sechsten Anschlusselement 646 der Einstellungsverbindungsanschluss 623 von der Seitenfläche des sich in Querrichtung erstreckenden Abschnitts 624a auf der Seite des fünften Anschlusselements 645.
Jedes der Anschlusselemente 641 bis 646 hat eine gleichmäßige Dickendimension. Beim ersten Anschlusselement 641 ist beispielsweise die Dickendimension des Leitungsverbindungsanschlusss 621 in der Höhenrichtung Y, die Dickendimension des Anschlusszwischenabschnitts 624 in der Höhenrichtung Y und die Dickendimension des Ansauglufttemperaturverbindungsanschlusses 622 in der Breitenrichtung X gleich. Die Anschlusselemente 641 bis 646 haben die gleiche Dickendimension wie die anderen.
In dem Verbindungsanschluss 620 ist in der Tiefenrichtung Z die Längendimension des Bereichs, in dem alle Lufttemperaturverbindungsanschlüsse 622 installiert sind, größer als die Längendimension des Bereichs, in dem alle Leitungsverbindungsanschlüsse 621 installiert sind. Andererseits ist in der Tiefenrichtung Z die Längendimension des Bereichs, in dem alle Verbinderanschlüsse 28a und der Einstellungsverbindungsanschluss 623 installiert sind, kleiner als die Längendimension des Bereichs, in dem alle Leitungsverbindungsanschlüsse 621 installiert sind. Im Verbindungsanschluss 620 sind der Leitungsverbindungsanschluss 621, der Verbinderanschluss 28a und der Einstellungsverbindungsanschluss 623 an Positionen angeordnet, die in der Tiefenrichtung Z nicht von dem Ansauglufttemperaturverbindungsanschluss 622 nach außen ragen.
Im Herstellungsprozess des Luftflussmessers 20 wird ein aus einem metallischen Werkstoff gebildetes Plattenmaterial durch Stanzen oder dergleichen verarbeitet, um ein Basismaterial des Verbindungsanschlusses 620 mit Verbindungsstangen zu bilden. In diesem Basismaterial enthält die Verbindungsstange einen Kopplungsabschnitt und einen Rahmenabschnitt. Der Kopplungsabschnitt enthält einen Kopplungsabschnitt, der die Anschlusselemente 641 bis 646 miteinander koppelt, und einen Kopplungsabschnitt, der mindestens eines der Anschlusselemente 641 bis 646 mit dem Rahmenabschnitt koppelt. Der Ansauglufttemperaturverbindungsanschluss 622 und der Leitungsverbindungsanschluss 621 werden durch Krümmen des Basismaterials in Dickenrichtung gebildet. Wie oben beschrieben, erstrecken sich in den Anschlusselementen 641 bis 646 der Ansauglufttemperaturverbindungsanschluss 622 und der Leitungsverbindungsanschluss 621 in der gleichen Richtung der Gehäusebasisendseite von dem Anschlusszwischenabschnitt 624. Wenn der Ansauglufttemperaturverbindungsanschluss 622 und der Leitungsverbindungsanschluss 621 durch Krümmen des Basismaterials gebildet werden, ist es daher möglich, die Arbeit des Änderns der Krümmungsrichtung zu sparen.
Die Anschlusselemente 641 bis 646 sind mit einem Anschlussaussparungsabschnitt 627 und einem Anschlussvorsprungsabschnitt 628 bereitgestellt. Der Anschlussaussparungsabschnitt 627 ist ein Aussparungsabschnitt, der auf der Seite der Anschlusselemente 641 bis 646 bereitgestellt ist und sich von der Seite der Anschlusselemente 641 bis 646 in den Richtungen X und Z orthogonal zur Höhenrichtung Y erstreckt. Der Anschlussvorsprungsabschnitt 628 ist ein Vorsprungsabschnitt, der an der Seite der Anschlusselemente 641 bis 646 bereitgestellt ist und sich von der Seitenfläche der Anschlusselemente 641 bis 646 in den Richtungen X und Z orthogonal zur Höhenrichtung Y erstreckt. Der Anschlussaussparungsabschnitt 627 und der Anschlussvorsprungsabschnitt 628 sind in dem Anschlusszwischenabschnitt 624 in jedem der Anschlusselemente 641 bis 646 bereitgestellt. Insbesondere sind der Anschlussaussparungsabschnitt 627 und der Anschlussvorsprungsabschnitt 628 in dem sich in Querrichtung erstreckenden Abschnitt 624a des Anschlusszwischenabschnitts 624 bereitgestellt und nicht in dem sich in Längsrichtung erstreckenden Abschnitt 624b und dem schräg erstreckenden Abschnitt 624c. Der Anschlussaussparungsabschnitt 627 und der Anschlussvorsprungsabschnitt 628 sind in einem Abschnitt der Anschlusselemente 641 bis 646 bereitgestellt, die in das Gehäuse 21 eingebettet sind, aber nicht in einem Abschnitt, der von dem Gehäuse 21 nach außen hin exponiert ist.
Bei dem Anschlussvorsprungsabschnitt 628 handelt es sich um eine von den Anschlusselementen 641 bis 646 abgetrennte Verbindungsstangenmarkierung, die eine Spur der Verbindungsstange darstellt. In dem Herstellungsprozess des Luftflussmessers 20 wird der Verbindungsanschluss 620, nachdem er mit einer Verbindungsstange verbunden ist, durch eine Positioniervorrichtung gehalten, die den Verbindungsanschluss 620 in einem beweglichen Zustand hält. Die Verbindungsstange wird von den Anschlusselementen 641 bis 646 getrennt, während der Verbindungsanschluss 620 durch die Positioniervorrichtung gehalten wird, und die Anschlusselemente 641 bis 646 werden an dem ersten Gehäuseabschnitt 151 befestigt.
In der vorliegenden Ausführungsform wird das Erfassungsergebnis des Ansauglufttemperatursensors 23 über den Verbindungsanschluss 620 in den Sensor SA50 eingegeben. In diesem Fall ist der Ansauglufttemperatursensor 23 über den Verbindungsanschluss 620 mit dem Leitungsanschluss 53a des Sensors SA50 elektrisch verbunden. Informationen über das Erfassungsergebnis des Ansauglufttemperatursensors 23 werden von dem Sensor SA50 über den Verbinderanschluss 28a an die ECU 15 ausgegeben. Das Erfassungsergebnis des Ansauglufttemperatursensors 23 kann ohne den Sensor SA50 an die ECU 15 ausgegeben werden. Beispielsweise wird der Ansauglufttemperatursensor 23 nicht mit dem Leitungsanschluss 53a des Sensors SA50, sondern über den Verbindungsanschluss 620 mit dem Verbinderanschluss 28a verbunden. In dieser Konfiguration ist in dem Verbindungsanschluss 620 der Ansauglufttemperaturverbindungsanschluss 622 nicht mit dem Leitungsverbindungsanschluss 621, sondern über den Anschlusszwischenabschnitt 624 mit dem Verbinderanschluss 28a verbunden.
Wie in 42 und 44 gezeigt, ist der Leitungsverbindungsanschluss 621, bevor sie mit dem Leitungsanschluss 53a des Sensors SA50 verbunden wird, mit einem Anschlussvorsprungsabschnitt 621a und einem Anschlussaussparungsabschnitt 621b bereitgestellt. Der Anschlussvorsprungsabschnitt 621a ist ein Vorsprungsabschnitt, der auf einer Fläche des Leitungsverbindungsanschlusses 621 bereitgestellt ist und beispielsweise auf einer Fläche des Leitungsverbindungsanschlusses 621 auf der Seite des Ansauglufttemperaturverbindungsanschlusses 622 bereitgestellt ist. Der Anschlussvorsprungsabschnitt 621a ist an einer Position bereitgestellt, die vom äußeren Umfangsrand der Fläche des Leitungsverbindungsanschlusses 621 nach innen versetzt ist. Der Anschlussaussparungsabschnitt 621b ist ein Aussparungsabschnitt, der auf der Fläche des Leitungsverbindungsanschlusses 621 gegenüber dem Anschlussvorsprungsabschnitt 621a bereitgestellt ist und sich beispielsweise von dem Leitungsverbindungsanschluss 621 in Richtung des Anschlussvorsprungsabschnitts 621a erstreckt. Der Anschlussaussparungsabschnitt 621b ist an einer Position bereitgestellt, die vom äußeren Umfangsrand der Fläche des Leitungsverbindungsanschlusses 621 nach innen versetzt ist. Der Anschlussvorsprungsabschnitt 621a und der Anschlussaussparungsabschnitt 621b sind in Dickenrichtung des Leitungsverbindungsanschlusses 621 angeordnet, und die Mittellinie des Anschlussvorsprungsabschnitts 621a und die Mittellinie des Anschlussaussparungsabschnitts 621b fallen miteinander zusammen.
Der Leitungsverbindungsanschluss 621 ist mit dem Leitungsanschluss 53a durch Schweißen in einem Zustand verbunden, in dem der Anschlussvorsprungsabschnitt 621a in Kontakt mit dem Leitungsanschluss 53a des Sensors SA50 ist. Zum Beispiel wird in einem Zustand, in dem der Spitzenendabschnitt des Anschlussvorsprungsabschnitts 621a und eine Fläche des Leitungsanschlusses 53a miteinander in Kontakt sind, von der Seite des Anschlussaussparungsabschnitts 621b unter Verwendung einer Positioniervorrichtung, wie z. B. eines Schweißwerkzeugs, Wärme auf den Anschlussvorsprungsabschnitt 621a angewandt, um mindestens einen Teil des Anschlussvorsprungsabschnitts 621a und mindestens einen Teil des Leitungsanschlusses 53a zu schmelzen. Auf diese Weise werden beim Verbinden des Leitungsverbindungsanschlusses 621 mit dem Leitungsanschluss 53a durch Schweißen der Anschlussvorsprungsabschnitt 621a und der Anschlussaussparungsabschnitt 621b im Leitungsverbindungsanschluss 621 verformt oder entfernt. Als Schweißverfahren wird Punktschweißen, Lichtbogenschweißen oder Laserschweißen verwendet.
In einem Zustand, bevor der Ansauglufttemperaturverbindungsanschluss 622 mit dem Leitungsdraht 23a verbunden wird, kann der Ansauglufttemperaturverbindungsanschluss 622 mit einem Vorsprungsabschnitt ähnlich dem Anschlussvorsprungsabschnitt 621a oder einem Aussparungsabschnitt ähnlich dem Anschlussaussparungsabschnitt 621b bereitgestellt sein. Der Ansauglufttemperaturverbindungsanschluss 622 ist mit dem Leitungsdraht 23a verbunden, indem ein Abschnitt des Kontakts zwischen der Ansauglufttemperaturverbindungsanschluss 622 und dem Leitungsdraht 23a des Ansauglufttemperatursensors 23 verschweißt wird.
Der Ansauglufttemperaturverbindungsanschluss 622 ist mit einem Anschlussloch 622a verbunden. Das Anschlussloch 622a ist an einer Position bereitgestellt, die in der Tiefenrichtung Z von der Position des Ansauglufttemperaturverbindungsanschlusses 622 verschoben ist, mit dem der Leitungsdraht 23a verbunden ist, und durchdringt den Ansauglufttemperaturverbindungsanschluss 622 in der Breitenrichtung X. Das Anschlussloch 622a ist an einer Position bereitgestellt, die in der Höhenrichtung Y in Bezug auf den Grenzabschnitt zwischen dem Ansauglufttemperaturverbindungsanschluss 622 und dem Anschlusszwischenabschnitt 624 angeordnet ist, und der Position, die von dieser Grenze in der Höhenrichtung Y getrennt ist. Eine Positioniervorrichtung zum Halten der Anschlusselemente 641 bis 646 wird in das Anschlussloch 622a eingesetzt, wenn die Anschlusselemente 641 bis 646 durch Krümmen eines langgestreckten Plattenmaterials hergestellt werden oder wenn die Anschlusselemente 641 bis 646 in Bezug auf den ersten Gehäuseabschnitt 151 positioniert werden. Dementsprechend kann die Position der Anschlusselemente 641 bis 646 durch die Positioniervorrichtung leicht gehalten werden.
Wie in 46 gezeigt, weist die innere Fläche des Gehäuses 21 als den Kanalflusspfad 31 bildende Formationsflächen neben der Kanaldeckenfläche 341 und der Kanalbodenfläche 345 eine vordere Kanalwandfläche 631 und eine hintere Kanalwandfläche 632 auf. Die vordere Kanalwandfläche 631 und die hintere Kanalwandfläche 632 sind ein Paar von einander zugewandten Wandflächen, zwischen denen sich die Kanaldeckenfläche 341 und die Kanalbodenfläche 345 befinden, und erstrecken sich zwischen der Kanaldeckenfläche 341 und der Kanalbodenfläche 345. Die vordere Kanalwandfläche 631 erstreckt sich von der vorderen Messwandfläche 103 in Richtung der Gehäusespitzenendseite, und die hintere Kanalwandfläche 632 erstreckt sich von der hinteren Messwandfläche 104 in Richtung der Gehäusespitzenendseite.
Eine innere Fläche des Gehäuses 21 hat eine vordere Kanalverengungsfläche 635 und eine hintere Kanalverengungsfläche 636. Die vordere Kanalverengungsfläche 635 ist in der vorderen Kanalwandfläche 631 enthalten, und die hintere Kanalverengungsfläche 636 ist in der hinteren Kanalwandfläche 632 enthalten. Diese Kanalverengungsflächen 635 und 636 verengen den Kanalflusspfad 31 graduell, so dass sich die Querschnittsfläche des Kanalflusspfads 31 von der Seite des Kanaleingangs 33 in Richtung des Kanalausgangs 34 graduell verringert. Die Kanalverengungsflächen 635 und 636 sind zwischen dem Messeingang 35 und dem Kanalausgang 34 im Kanalflusspfad 31 bereitgestellt. Die Kanalverengungsflächen 635 und 636 erstrecken sich zwischen einer Ausgangsdeckenfläche 343 und der Kanalbodenfläche 345, und eine Distanz zwischen der vorderen Kanalwandfläche 631 und der hinteren Kanalwandfläche 632 in Richtung X wird graduell vom Messeingang 35 zum Kanalausgang 34 hin verringert. Die Kanalverengungsflächen 635 und 636 sind in Bezug auf die Tiefenrichtung Z, d.h. die Richtung, in der sich die Mittellinie des Kanalflusspfads 31 erstreckt, geneigt und weisen jeweils auf die Seite des Kanaleingangs 33.
Die Kanalverengungsflächen 635 und 636 erstrecken sich von dem Endabschnitt des Messeingangs 35 auf der Seite des Kanalausgangs 34 in Richtung des Kanalausgangs 34. Aus diesem Grund variiert die Position des Endabschnitts der Kanalverengungsflächen 635 und 636 auf der Seite des Kanaleingangs 33 von Produkt zu Produkt kaum in der Tiefenrichtung Z, wenn der erste Gehäuseabschnitt 151 mit Harz geformt wird. In diesem Fall ist es weniger wahrscheinlich, dass die Flussrate und die Geschwindigkeit der Luft, die durch den Kanalflusspfad 31 und den Messflusspfad 32 fließt, aufgrund der Kanalverengungsflächen 635 und 636 von Produkt zu Produkt variiert, so dass die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 nicht von Produkt zu Produkt variiert.
Die innere Fläche des Gehäuses 21 hat einen vorderen Verengungsoberabschnitt (637) und einen hinteren Verengungsoberabschnitt (638). Der vordere Verengungsoberabschnitt 637 ist in der vorderen Kanalwandfläche 631 enthalten und ist eine Fläche, die sich zwischen der vorderen Kanalverengungsfläche 635 und dem Kanalausgang 34 erstreckt. Der hintere Verengungsoberabschnitt 638 ist in der hinteren Kanalwandfläche 632 enthalten und ist eine Fläche, die sich zwischen der hinteren Kanalverengungsfläche 636 und dem Kanalausgang 34 erstreckt. Die Verengungsoberabschnitte 637 und 638 erstrecken sich in der Tiefenrichtung Z parallel zur Mittellinie des Kanalflusspfads 31 und stehen einander gegenüber.
Wie in 46 dargestellt, hat das Gehäuse 21 eine Gehäuseaußenwand 651. Die Gehäuseaußenwand 651 bildet eine äußere Fläche des Gehäuses 21 und ist ein zylindrischer Abschnitt, der sich in der Höhenrichtung Y erstreckt. Die äußere Fläche der Gehäuseaußenwand 651 bildet die Gehäuseaufwärtsfläche 21c, die Gehäuseabwärtsfläche 21d, die Gehäusevorderfläche 21e und die Gehäuserückfläche 21f. Die Gehäusevorderfläche 21e und die Gehäuserückfläche 21f enthalten eine ebene Fläche, die sich gerade in Tiefenrichtung Z erstreckt, und eine geneigte Fläche, die in Bezug auf diese ebene Fläche so geneigt ist, dass sie der stromaufwärtigen Seite des Gehäuses zugewandt ist. Der Messausgang 36 ist an einer Position gegenüber dem Grenzabschnitt zwischen der ebenen Fläche und der geneigten Fläche in der Tiefenrichtung Z an jeder der Gehäusevorderflächen 21e und der Gehäuserückflächen 21f bereitgestellt.
Die Gehäuseaußenwand 651 ist mit einem Messlochabschnitt 652 bereitgestellt. Der Messlochabschnitt 652 ist jeweils für die Gehäusevorderfläche 21e und die Gehäuserückfläche 21f bereitgestellt, und der äußere Abschnitt des Messlochabschnitts 652 bildet den Messausgang 36. Der Messlochabschnitt 652 erstreckt sich in Breitenrichtung X von dem Messausgang 36. Der auf der Gehäusevorderseite bereitgestellte Messlochabschnitt 652 erstreckt sich zwischen einem Messausgang 36, der an der Gehäusevorderfläche 21e bereitgestellt ist, und der vorderen Messwandfläche 103. Der auf der Gehäuserückseite bereitgestellte Messlochabschnitt 652 erstreckt sich zwischen dem Messausgang 36, der auf der Gehäuserückfläche 21f bereitgestellt ist, und der hinteren Messwandfläche 104.
Die innere Fläche des Messlochabschnitts 652 hat eine stromaufwärtige Formationsfläche 661 und eine stromabwärtige Formationsfläche 662. Die stromaufwärtige Formationsfläche 661 bildet einen Endabschnitt des Messlochabschnitts 652 auf der stromaufwärtigen Seite des Gehäuses und ist der stromabwärtigen Seite des Gehäuses zugewandt. Die stromabwärtige Formationsfläche 662 bildet einen Endabschnitt des Messlochabschnitts 652 auf der stromabwärtigen Seite des Gehäuses und ist der stromaufwärtigen Seite des Gehäuses zugewandt. Die stromaufwärtige Formationsfläche 661 und die stromabwärtige Formationsfläche 662 erstrecken sich zwischen dem Messausgang 36 und den Messwandflächen 103 und 104 in Breitenrichtung X.
Die stromabwärtige Formationsfläche 662 hat eine stromabwärtige Schrägfläche 662a und eine stromabwärtige gerichtete Fläche 662b. Die stromabwärtige Schrägfläche 662a erstreckt sich in einer in Bezug auf die Breitenrichtung X geneigten Richtung und erstreckt sich in der Höhenrichtung Y in einem Zustand, in dem sie schräg nach außen weist. Die stromabwärtige gerichtete Fläche 662b erstreckt sich in der Breitenrichtung X und ist der stromaufwärtigen Formationsfläche 661 parallel zugewandt. Die Breitendimension der stromabwärtigen geneigten Fläche 662a in Richtung X ist kleiner als die Breitendimension der stromaufwärtigen Formationsfläche 661 in Richtung X. Andererseits ist die Breitendimension der stromabwärtigen Schrägfläche 662a in Richtung X größer als die Breitendimension der stromabwärtigen gerichteten Fläche 662b in Richtung X.
Da die stromabwärtige Schrägfläche 662a der stromabwärtigen Formationsfläche 662 im Messlochabschnitt 652 schräg nach außen gerichtet ist, fließt die von dem Messausgang 36 ausfließende Luft im Messflusspfad 32 schräg zur stromabwärtigen Seite des Gehäuses entlang der stromabwärtigen Schrägfläche 662a. In diesem Fall bewegt sich die aus dem Messausgang 36 stromabwärtige Luft in Richtung der stromabwärtigen Seite des Gehäuses, die in Bezug auf die Breitenrichtung X geneigt ist, so dass sich die Luft leicht mit der Luft vermischt, die durch den Ansaugkanal 12 in der Hauptflussrichtung fließt. Aus diesem Grund ist zum Beispiel im Vergleich zu dem Fall, in dem die Luft in Breitenrichtung X von dem Messausgang 36 ausfließt, die Störung des Luftflusses in der Nähe des Messausgangs 36 weniger wahrscheinlich.
Wie in 6 dargestellt, ist das Gehäuse 21 mit einer Angussmarke 771 bereitgestellt. Die Angussmarke 771 ist mindestens auf der Gehäuserückfläche 21f des ersten Gehäuseabschnitts 151 bereitgestellt. Im Herstellungsprozess des Luftflussmessers 20 wird der erste Gehäuseabschnitt 151 unter Verwendung einer Spritzformmaschine oder einer Formvorrichtung mit Harz ausgegossen. Die Formvorrichtung ist mit einem Anguss als Zufuhrkanal bereitgestellt, durch den das geschmolzene Harz von der Spritzformmaschine zugeführt wird, und der Anguss kommuniziert mit einem Formraum der Formvorrichtung. Daher wird, wenn der erste Gehäuseabschnitt 151 unter Verwendung dieser Formvorrichtung einer Harzformung unterzogen wird, das im Anguss erstarrte Harz mit dem ersten Gehäuseabschnitt 151 als Anguss verbunden, und der Anguss wird vom ersten Gehäuseabschnitt 151 getrennt. Wie oben beschrieben, ist die Spur des vom ersten Gehäuseabschnitt 151 getrennten Angussabschnitts die Angussmarke 771. Die Angussmarke 771 wird beispielsweise durch einen Vorsprungsabschnitt oder dergleichen gebildet, der auf der äußeren Fläche des Gehäuses 21 bereitgestellt ist.
Die Angussmarke 771 wird auf der Gehäusebasisendfläche 21b und nicht auf der Gehäusespitzenendfläche 21a in der Höhenrichtung Y bereitgestellt. In diesem Fall wird die Angussmarke 771 im eindringenden Abschnitt 20a (siehe 8) des Gehäuses 21 bereitgestellt. Die Angussmarke 771 wird an einer Position bereitgestellt, die sich in der Tiefenrichtung Z näher an der Gehäuseabwärtsfläche 21d befindet als an der Gehäuseaufwärtsfläche 21c. Die Angussmarke 771 kann an oder nahe der Mitte der Gehäuseaufwärtsfläche 21c und der Gehäuseabwärtsfläche 21d bereitgestellt sein. Da der Anguss in diesem Fall in oder nahe der Mitte in Breitenrichtung X im Formraum der Formvorrichtung zum Formen des ersten Gehäuseabschnitts 151 angeordnet ist, tendiert der Druck des geschmolzenen Harzes dazu, zwischen der stromaufwärtigen Seite des Gehäuses und der stromabwärtigen Seite des Gehäuses gleichmäßig zu sein. Aus diesem Grund wird der Fluss des geschmolzenen Harzes im Formraum leicht stabilisiert, und der erste Gehäuseabschnitt 151 wird in einem Zustand, in dem das geschmolzene Harz erstarrt ist, vor unbeabsichtigter Verformung oder Beschädigung bewahrt.
Wie in 6 und 7 gezeigt, sind Pressabschnitte 772 bis 774 an einer äußeren Fläche des Gehäuses 21 bereitgestellt. Die Pressabschnitte 772 bis 774 sind Aussparungsabschnitte, die jeweils in der Gehäusevorderfläche 21e und der Gehäuserückfläche 21f bereitgestellt sind. Die Pressabschnitte 772 bis 774 sind in dem ersten Gehäuseabschnitt 151 bereitgestellt und sind so gebildet, dass sie durch eine Formvorrichtung zum Zeitpunkt des Harzformens des ersten Gehäuseabschnitts 151 gepresst werden. Daher können die Pressabschnitte 772 bis 774 auch als Formabschnitte bezeichnet werden. Die Pressabschnitte 772 bis 774 können auch als verdünnte Abschnitte bezeichnet werden.
An der Gehäusevorderfläche 21e und der Gehäuserückfläche 21f ist jeweils eine Mehrzahl von (beispielsweise drei) stromaufwärtigen Pressabschnitten 772 bis 774 des Pressabschnitts 772 bereitgestellt. Der stromaufwärtige Pressabschnitt 772 ist an einer Position angeordnet, die in Tiefenrichtung Z näher an der Gehäuseaufwärtsfläche 21c als an der Gehäuseabwärtsfläche 21d liegt. Die stromaufwärtigen Pressabschnitte 772 erstrecken sich in Höhenrichtung Y länglich und sind in Höhenrichtung Y entlang der Gehäuseaufwärtsfläche 21c an der Gehäusevorderfläche 21e und der Gehäuserückfläche 21f hintereinander angeordnet. Wenn die Mehrzahl von stromaufwärtigen Pressabschnitten 772 als eine Baugruppe bezeichnet wird, ist die Baugruppe an oder nahe der Mitte der Gehäusespitzenendfläche 21a und der Gehäusebasisendfläche 21b in der Höhenrichtung Y in jeder der Gehäusevorderflächen 21e und der Gehäuserückfläche 21f angeordnet.
An der Gehäusevorderfläche 21e und der Gehäuserückfläche 21f sind jeweils eine Mehrzahl von (beispielsweise drei) stromabwärtigen Pressabschnitten 773 der Pressabschnitte 772 bis 774 bereitgestellt. Die stromabwärtigen Pressabschnitte 773 befinden sich in einer Position, die in Tiefenrichtung Z näher an der Gehäuseabwärtsfläche 21d als an der Gehäuseaufwärtsfläche 21c liegt. Jedes der stromabwärtigen Pressabschnitte 773 erstreckt sich in einer länglichen Form in der Höhenrichtung Y und ist in der Höhenrichtung Y entlang der Gehäuseabwärtsfläche 21d an der Gehäusevorderfläche 21e und der Gehäuserückfläche 21f in Reihe angeordnet. In jeder der Gehäusevorderfläche 21e und der Gehäuserückfläche 21f, wenn die Vielzahl der stromabwärtigen Pressabschnitte 773 als eine Baugruppe bezeichnet wird, ist die Baugruppe in oder nahe der Mitte der Gehäusespitzenendfläche 21a und der Gehäusebasisendfläche 21b in der Höhenrichtung Y angeordnet.
Eine Mehrzahl von (z.B. zwei) Spitzenendpressabschnitten 772 bis 774 des Pressabschnitts 774 ist jeweils an der Gehäusevorderfläche 21e und der Gehäuserückfläche 21f bereitgestellt. Der Spitzenpressabschnitt 774 ist an einer Position angeordnet, die in Höhenrichtung Y näher an der Gehäusespitzenendfläche 21a als an der Gehäusebasisendfläche 21b liegt. Die Spitzenpressabschnitte 774 erstrecken sich in einer länglichen Form in Tiefenrichtung Z und sind in Tiefenrichtung Z entlang der Gehäusespitzenendfläche 21a an der Gehäusevorderfläche 21e und der Gehäuserückfläche 21f hintereinander angeordnet. In jeder der Gehäusevorderflächen 21e und der Gehäuserückflächen 21f, wenn die Mehrzahl der Spitzenpressabschnitte 774 als eine Baugruppe bezeichnet wird, ist die Baugruppe an einer Position angeordnet, die näher an der Gehäuseaufwärtsfläche 21c als an der Gehäuseabwärtsfläche 21d in der Tiefenrichtung Z liegt.
Bei dem Formungsprozess des Gehäuses 21 wird ein DSI-Verfahren (die slide injection) verwendet. Insbesondere wird der erste Gehäuseabschnitt 151 unter Verwendung einer Formvorrichtung geformt, und dann wird das sekundäre Formen der Verbindung des ersten Gehäuseabschnitts 151 und des zweiten Gehäuseabschnitts 152 kontinuierlich unter Verwendung dieser Formvorrichtung ausgeführt. In dieser Formvorrichtung kann das Formpressen des ersten Gehäuseabschnitts 151 durch die Formvorrichtung unter Verwendung der Pressabschnitte 772 bis 774 zuverlässig ausgeführt werden, so dass der erste Gehäuseabschnitt 151 und der zweite Gehäuseabschnitt 152 zuverlässig gekoppelt werden können, wenn das DSI-Formen durchgeführt wird. Da die Pressabschnitte 772 bis 774 eine ungewollte Verschiebung der relativen Lagebeziehung zwischen dem ersten Gehäuseabschnitt 151 und dem zweiten Gehäuseabschnitt 152 verhindern, kann eine Verschiebung der Form und Größe des Bypass-Flusspfads 30 von der konstruktiven Form und Größe unterdrückt werden. Da es in diesem Fall weniger wahrscheinlich ist, dass ein Fehler in der Beziehung zwischen der Flussrate der durch den Messflusspfad 32 fließenden Luft und dem Ausgangsergebnis des Flusssensors 22 enthalten ist, wird die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 verbessert.
Ein äußerer Rillenabschnitt 775 ist an einer äußeren Fläche des Gehäuses 21 bereitgestellt. Bei dem äußeren Rillenabschnitt 775 handelt es sich um eine Rille, die jeweils auf der Gehäusevorderfläche 21e und der Gehäuserückfläche 21f bereitgestellt ist. Der äußere Rillenabschnitt 775 an der Gehäusevorderfläche 21e und der äußere Rillenabschnitt 775 an der Gehäuserückfläche 21f haben im Wesentlichen die gleiche Form und die gleiche Größe. Der äußere Rillenabschnitt 775 ist in dem ersten Gehäuseabschnitt 151 bereitgestellt und erstreckt sich im Wesentlichen in der Höhenrichtung Y. Auf der Gehäuserückfläche 21f erstreckt sich der Spitzenendschutzvorsprungsabschnitt 615 von der Bodenfläche des äußeren Rillenabschnitts 775 in Breitenrichtung X. Der äußere Rillenabschnitt 775 kann auch als ein verdünnter Abschnitt bezeichnet werden.
Ein Endabschnitt des äußeren Rillenabschnitts 775 an der Gehäusebasisendseite ist zwischen dem Messausgang 36 und dem Dichtungshalteabschnitt 25 in der Höhenrichtung Y bereitgestellt und ist an einer Position angeordnet, die näher am Messausgang 36 liegt als der Dichtungshalteabschnitt 25 in der Höhenrichtung Y. Dieser Endabschnitt ist an oder nahe der Mitte der Gehäuseaufwärtsfläche 21c und der Gehäuseabwärtsfläche 21d in der Tiefenrichtung Z angeordnet, und der Spitzenendschutzvorsprungsabschnitt 615 ist an diesem Endabschnitt bereitgestellt.
Der äußere Rillenabschnitt 775 erstreckt sich von einem Endabschnitt auf der Gehäusebasisendseite in Richtung der Gehäusespitzenendseite durch zwischen dem Messausgang 36 und der Gehäuseabwärtsfläche 21d und erstreckt sich zwischen dem Messausgang 36 und der Gehäusespitzenendfläche 21a in Richtung der Gehäuseaufwärtsfläche 21c in der Höhenrichtung Y. Ein Endabschnitt des äußeren Rillenabschnitts 775 auf der Gehäusespitzenendseite ist zwischen dem Messausgang 36 und der Gehäusespitzenendfläche 21a in der Höhenrichtung Y bereitgestellt und ist an einer Position angeordnet, die näher am Messausgang 36 liegt als die Gehäusespitzenendfläche 21a in der Höhenrichtung Y. Der Endabschnitt ist an einer Position bereitgestellt, die näher an der Gehäuseaufwärtsfläche 21c liegt als die Gehäuseabwärtsfläche 21d in der Tiefenrichtung Z.
Der äußere Rillenabschnitt 775 enthält ein LängsRillenabschnitt 775a, ein SchrägRillenabschnitt 775b und ein QuerRillenabschnitt 775c. Der LängsRillenabschnitt 775a bildet der Endabschnitt des äußeren Rillenabschnitts 775 auf der Gehäusebasisendseite und erstreckt sich in die Höhenrichtung Y. Der QuerRillenabschnitt 775c bildet der Endabschnitt des äußeren Rillenabschnitts auf der Gehäusespitzenendseite und erstreckt sich in die Tiefenrichtung Z. Der SchrägRillenabschnitt 775b verbindet den Endabschnitt auf der Gehäusespitzenendseite des LängsRillenabschnitts 775a und den Endabschnitt auf der stromabwärtigen Seite des QuerRillenabschnitts 775c und erstreckt sich in einer Richtung, die sowohl in Bezug auf die Höhenrichtung Y als auch in Bezug auf die Tiefenrichtung Z schräg verläuft.
Da der äußere Rillenabschnitt 775 in der Gehäusevorderfläche 21e und der Gehäuserückfläche 21fjeweils um den Messausgang 36 herum bereitgestellt ist, fließt ein im Kanal 12 zusammen mit Luft fließender Fremdkörper leicht entlang des äußeren Rillenabschnitts 775 und tritt kaum in den Messausgang 36 ein. Da der äußere Rillenabschnitt 775 um den Messausgang 36 herum bereitgestellt ist, ist es weniger wahrscheinlich, dass der Luftfluss schnell wird. Daher ist es weniger wahrscheinlich, dass die Luft, die von dem Messflusspfad 32 durch den Messausgang 36 ausfließt, gestört wird.
Die Gehäuseaufwärtsfläche 21c hat einen stromaufwärtigen Vorsprungsabschnitt 781, einen stromaufwärtigen Zwischenabschnitt 782 und einen Eingangsformationsabschnitt 783. Der stromaufwärtige Vorsprungsabschnitt 781 ragt relativ zu dem stromaufwärtigen Zwischenabschnitt 782 und dem Eingangsformationsabschnitt 783 in Tiefenrichtung Z auf die stromaufwärtige Seite des Gehäuses zu. Die Breitendimension des stromaufwärtigen Vorsprungsabschnitts 781 in Breitenrichtung X verringert sich graduell in Richtung der stromaufwärtigen Seite des Gehäuses, und der stromaufwärtige Endabschnitt des stromaufwärtigen Vorsprungsabschnitts 781 erstreckt sich in Form eines Kamms in Höhenrichtung Y. Der stromaufwärtige Vorsprungsabschnitt 781 ist zwischen dem Eingangsformationsabschnitt 783 und dem Dichtungshalteabschnitt 25 in der Höhenrichtung Y bereitgestellt. In der Höhenrichtung Y ist die Längendimension des stromaufwärtigen Vorsprungsabschnitts 781 größer als jede der Längendimensionen des stromaufwärtigen Zwischenabschnitts 782 und des Eingangsformationsabschnitts 783.
Der stromaufwärtige Pressabschnitt 772 ist an einer Position gegenüber einem Grenzabschnitt zwischen dem stromaufwärtigen Vorsprungsabschnitt 781 und der Gehäusevorderfläche 21e und der Gehäuserückfläche 21f in der Tiefenrichtung Z bereitgestellt. Da der stromaufwärtige Vorsprungsabschnitt 781 der Gehäuseaufwärtsfläche 21c der schräg stromaufwärtigen Seite im Ansaugkanal 12 zugewandt ist, ist der stromaufwärtige Pressabschnitt 772 auch zu der schräg stromaufwärtigen Seite im Kanalflusspfad 31 geöffnet. In diesem Fall ist bei Betrachtung des Gehäuses 21 von der stromaufwärtigen Seite aus ein Teil des Inneren des stromaufwärtigen Pressabschnitts 772 sichtbar. Da der stromaufwärtige Pressabschnitt 772 zur schräg stromaufwärtigen Seite hin geöffnet ist, wird, wie oben beschrieben, in jedem stromaufwärtigen Pressabschnitt 772 wahrscheinlich ein kleiner turbulenter Fluss auftreten, und die Erzeugung eines großen turbulenten Flusses aufgrund des kleinen turbulenten Flusses wird unterdrückt.
Der stromaufwärtige Zwischenabschnitt 782 ist zwischen dem Eingangsformationsabschnitt 783 und dem stromaufwärtigen Vorsprungsabschnitt 781 in der Höhenrichtung Y bereitgestellt und erstreckt sich flach in einer Richtung orthogonal zur Tiefenrichtung Z. Insbesondere ist der stromaufwärtige Zwischenabschnitt 782 zwischen dem stromaufwärtigen Vorsprungsabschnitt 781 und dem Eingangsformationsabschnitt 783 in der Tiefenrichtung Z bereitgestellt. In der Höhenrichtung Y ist die Längendimension des stromaufwärtigen Zwischenabschnitts 782 kleiner als jede der Längendimensionen des stromaufwärtigen Vorsprungsabschnitts 781 und des Eingangsformationsabschnitts 783.
Der Eingangsformationsabschnitt 783 ist eine längliche Fläche, die sich von der Gehäusespitzenendfläche 21a in Richtung der Gehäusebasisendseite in der Gehäuseaufwärtsfläche 21c erstreckt und orthogonal zur Tiefenrichtung Z ist. Der Eingangsformationsabschnitt 783 ist mit dem Kanaleingang 33 bereitgestellt.
Wie oben beschrieben, ist auf der Gehäuseaufwärtsfläche 21c der stromaufwärtige Zwischenabschnitt 782 mit einer flachen Flächenform auf der stromaufwärtigen Seite des Gehäuses relativ zum Kanaleingang 33 bereitgestellt. Aus diesem Grund ist es weniger wahrscheinlich, dass die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 variiert, da die Rate und die Geschwindigkeit der in den Kanaleingang 33 fließenden Luft weniger wahrscheinlich variiert. Außerdem treffen die im Ansaugkanal 12 stromabwärtigen Fremdkörper zusammen mit der Luft auf den stromaufwärtigen Zwischenabschnitt 782 und werden zurückgeschleudert, so dass die Fremdkörper kaum in den Kanaleingang 33 gelangen. Daher wird die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 nicht durch die Fremdkörper beeinträchtigt.
Die Gehäuseabwärtsfläche 21d hat einen stromabwärtigen Vorsprungsabschnitt 785 und einen Austrittsformationsabschnitt 786. Der stromabwärtige Vorsprungsabschnitt 785 ragt in stromaufwärtige Seite des Gehäuses des Austrittsformationsabschnitts 786 in Tiefenrichtung Z. Die Breitendimension des stromabwärtigen Vorsprungsabschnitts 785 in der Breitenrichtung X verringert sich graduell in Richtung der stromabwärtigen Seite des Gehäuses, und der stromabwärtige Endabschnitt des stromabwärtigen Vorsprungsabschnitts 785 hat eine längliche Form, die sich in der Höhenrichtung Y erstreckt. Der stromabwärtige Vorsprungsabschnitt 785 ist zwischen dem Austrittsformationsabschnitt 786 und dem Dichtungshalteabschnitt 25 in der Höhenrichtung Y bereitgestellt. In der Höhenrichtung Y ist die Längendimension des stromabwärtigen Vorsprungsabschnitts 785 größer als die Längendimension des Austrittsformationsabschnitts 786.
Der Austrittsformationsabschnitt 786 ist eine längliche Fläche, die sich von der Gehäusespitzenendfläche 21a in Richtung der Gehäusebasisendseite in der Gehäuseabwärtsfläche 21d erstreckt und orthogonal zur Tiefenrichtung Z verläuft. Der Austrittsformationsabschnitt 786 ist mit dem Kanalausgang 34 bereitgestellt.
In der Gehäuseabwärtsfläche 21d ist eine stromabwärtige Stufenfläche 787 an einem Grenzabschnitt zwischen dem stromabwärtigen Vorsprungsabschnitt 785 und dem Austrittsformationsabschnitt 786 bereitgestellt. Die stromabwärtige Stufenfläche 787 erstreckt sich von dem Austrittsformationsabschnitt 786 in Richtung der stromabwärtigen Seite des Gehäuses und ist der Gehäusespitzenendseite zugewandt.
Wie später beschrieben, enthält eine Fläche, die den Kanalflusspfad 31 an der inneren Fläche des Gehäuses 21 bildet, die Ausgangsdeckenfläche 343 (siehe 65). Die Ausgangsdeckenfläche 343 erstreckt sich in der Tiefenrichtung Z vom Kanalausgang 34 zum Kanaleingang 33. Die stromabwärtige Stufenfläche 787 erstreckt sich von einem Endabschnitt des Kanalausgangs 34 an der Gehäusebasisendseite in Richtung der stromabwärtigen Seite des Gehäuses. Das heißt, die stromabwärtige Stufenfläche 787 erstreckt sich von der Ausgangsdeckenfläche 343 in Richtung der stromabwärtigen Seite des Gehäuses. Die stromabwärtige Stufenfläche 787 und die Ausgangsdeckenfläche 343 sind durchgehende Flächen in der Tiefenrichtung Z, und an einem Grenzabschnitt zwischen der stromabwärtigen Stufenfläche 787 und der Ausgangsdeckenfläche 343 ist keine Stufenfläche gebildet.
Wie oben beschrieben, sind die Ausgangsdeckenfläche 343 und die stromabwärtige Stufenfläche 787 durchgehend miteinander verbunden. Aus diesem Grund ist es weniger wahrscheinlich, dass der durch den Kanalflusspfad 31 in Richtung des Kanalausgangs 34 fließende Fremdkörper zusammen mit der Luft die Ausgangsdeckenfläche 343 kaum durchdringt, aus dem Kanalausgang 34 ausfließt, dann auf die stromabwärtige Stufenfläche 787 trifft, zurückprallt und wieder in das Innere des Kanalflusspfads 31 zurückkehrt. Daher ist es möglich, das Eindringen von Fremdkörpern in den Messflusspfad 32 vom Messeingang 35 aus aufgrund der Störung des Luftflusses um den Kanalausgang 34 zu verhindern.
Da im Gehäuse 21 die stromabwärtige Stufenfläche 787 auf der stromabwärtigen Seite des Kanalausgangs 34 bereitgestellt ist, wird die Längendimension des Kanalflusspfads 31 in der Tiefenrichtung Z um den Betrag der stromabwärtigen Stufenfläche 787 reduziert. Das heißt, der Kanalflusspfad 31 wird durch die stromabwärtige Stufenfläche 787 verkürzt. Wenn also ein Druckverlust oder ein Reibungsverlust in der durch den Kanalflusspfad 31 fließenden Luft auftritt, kann der Druckverlust oder der Reibungsverlust reduziert werden.
Im Herstellungsprozess des Gehäuses 21 wird ein Harzmaterial, in dem ein leitendes Material mit Leitfähigkeit mit einem isolierenden Material mit isolierenden Eigenschaften gemischt ist, zum Harzformen des Gehäuses 21 verwendet. In diesem Fall wird das leitende Material in einer geringeren Menge verwendet als das isolierende Material. Daher bildet in dem Gehäuse 21 der aus dem Isoliermaterial gebildete isolierende Abschnitt den Hauptabschnitt, und der aus dem leitenden Material gebildete leitende Abschnitt ist so enthalten, dass er in dem isolierenden Abschnitt verstreut ist. Als Isoliermaterial wird ein PBT-Harz, d.h. ein Polybutylenterephthalat-Harz, ein PPS-Harz, d.h. ein Polyphenylensulfid-Harz, oder Ähnliches verwendet. Als leitendes Material wird ein Kohlenstoffmaterial oder ähnliches verwendet. Das Kohlenstoffmaterial enthält Kohlenstoffpulver, Kohlenstofffasern, Nanokohlenstoff, Graphen und Kohlenstoffmikropartikel.
In dem Gehäuse 21 ist das Verhältnis des in dem isolierenden Abschnitt enthaltenen leitenden Teils in dem ersten Gehäuseabschnitt 151 größer als in dem zweiten Gehäuseabschnitt 152. Bei dieser Konfiguration ist die Trennungsdistanz zwischen den leitenden Abschnitten im ersten Gehäuseabschnitt 151 tendenziell kürzer als im zweiten Gehäuseabschnitt 152, so dass es zu einem dielektrischen Durchschlag des isolierenden Abschnitts kommt. Selbst wenn der erste Gehäuseabschnitt 151 aufgrund der Ansammlung negativer Ladungen im ersten Gehäuseabschnitt 151 im Ansaugkanal 12 aufgeladen ist, bewegen sich die negativen Ladungen daher durch die Mehrzahl der leitenden Abschnitte mit dielektrischem Durchschlag und werden leicht vom Ansaugrohr 14a oder dergleichen an die Masse entladen. Daher ist es weniger wahrscheinlich, dass sich die im ersten Gehäuseabschnitt 151 angesammelte negative Ladung zum Flusssensor 22 bewegt und der Flusssensor 22 mit der negativen Ladung aufgeladen wird, so dass sich die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 verringert.
Andererseits ist der zweite Gehäuseabschnitt 152 weniger wahrscheinlich aufgeladen, weil das Verhältnis zwischen dem leitenden Abschnitt und dem isolierenden Abschnitt kleiner ist als das des ersten Gehäuseabschnitts 151. Wenn eine Person, z. B. ein Benutzer, den Luftflussmesser 20 im Gehäuse 21 mit der Hand oder ähnlichem berührt, weil der zweite Gehäuseabschnitt 152 aus dem Ansaugrohr 14a herausragt, ist ein Abschnitt, der berührt wird, tendenziell der zweite Gehäuseabschnitt 152. Daher besteht die Gefahr, dass eine Ladung, z. B. eine negative Ladung, von einer Person auf den zweiten Gehäuseabschnitt 152 übergeht und der zweite Gehäuseabschnitt 152 aufgeladen wird. Da andererseits der zweite Gehäuseabschnitt 152 mit geringerer Wahrscheinlichkeit aufgeladen ist als der erste Gehäuseabschnitt 151, ist es selbst dann, wenn eine Person den zweiten Gehäuseabschnitt 152 berührt, weniger wahrscheinlich, dass sich Ladungen im zweiten Gehäuseabschnitt 152 ansammeln und die Ladungen den Flusssensor 22 erreichen.
In dem zweiten Gehäuseabschnitt 152 ist es nicht notwendig, das Verhältnis des leitenden Abschnitts zu dem isolierenden Abschnitt so stark zu erhöhen wie das des ersten Gehäuseabschnitts 151. Daher können die Herstellungskosten des zweiten Gehäuseabschnitts 152 leicht reduziert werden, wenn das leitende Material preiswerter ist als das isolierende Material.
Wie in 47 gezeigt, greifen im Gehäuse 21 der erste Gehäuseabschnitt 151 und der zweite Gehäuseabschnitt 152 ineinander. Wie in 19, 47, 52, 54 und 55 gezeigt, hat der erste Gehäuseabschnitt 151 einen Basisendaussparungsabschnitt 792 und einen Basisendvorsprungsabschnitt 793, und der zweite Gehäuseabschnitt 152 hat eine Form, die mit dem Basisendaussparungsabschnitt 792 und dem Basisendvorsprungsabschnitt 793 ineinandergreift. In dem ersten Gehäuseabschnitt 151 ist eine erste Basisendfläche 791 an einem Endabschnitt gegenüber der Gehäusespitzenendfläche 21a enthalten, und eine Mehrzahl von Basisendaussparungsabschnitten 792 und eine Mehrzahl von Basisendvorsprungsabschnitten 793 sind an der ersten Basisendfläche 791 bereitgestellt. Die erste Basisendfläche 791 ist Seite an Seite in dem Verbinderaussparungsabschnitt 28b in den Richtungen X und Z orthogonal zur Höhenrichtung Y bereitgestellt. In dem ersten Gehäuseabschnitt 151 kann die Gehäusespitzenendfläche 21a auch als eine erste Spitzenendfläche bezeichnet werden.
Der Basisendaussparungsabschnitt 792 erstreckt sich in der Höhenrichtung Y von der ersten Basisendfläche 791 in Richtung der Gehäusespitzenendfläche 21a. Ähnlich wie der Basisendaussparungsabschnitt 792 erstreckt sich der SA-Aufnahmebereich 150 in der Höhenrichtung Y von der ersten Basisendfläche 791 in Richtung der Gehäusespitzenendseite. Die erste Basisendfläche 791 ist mit einer Öffnung des Basisendaussparungsabschnitts 792 und des Gehäuseöffnungsabschnitts 151a bereitgestellt, der ein Öffnungsabschnitt des SA-Aufnahmebereichs 150 ist. Die Mehrzahl der Basisendaussparungsabschnitte 792 ist in dem SA-Aufnahmebereich 150 sowohl in Breitenrichtung X als auch in Tiefenrichtung Z angeordnet. In diesem Fall sind die Mehrzahl der Basisendaussparungsabschnitte 792 in dem SA-Aufnahmebereich 150 sowohl in Breitenrichtung X als auch in Tiefenrichtung Z angeordnet und sind ferner entlang des äußeren Umfangsrandes der ersten Basisendfläche 791 angeordnet.
Der erste Gehäuseabschnitt 151 hat einen Aussparungstrennabschnitt 794 und einen AussparungsaußenUmfangsabschnitt 795. Der AussparungsaußenUmfangsabschnitt 795 bildet eine äußere Fläche des ersten Gehäuseabschnitts 151 außerhalb der Mehrzahl von Basisendaussparungsabschnitten 792 in der Breitenrichtung X und der Tiefenrichtung Z und erstreckt sich entlang eines äußeren Umfangsrandes eines Bereichs, in dem die Mehrzahl von Basisendaussparungsabschnitten 792 bereitgestellt ist. Der Aussparungstrennabschnitt 794 bildet den Basisendaussparungsabschnitt 792 zusammen mit dem AussparungsaußenUmfangsabschnitt 795 in einem Zustand, in dem er sich von dem AussparungsaußenUmfangsabschnitt 795 in der Breitenrichtung X und der Tiefenrichtung Z erstreckt. Der Aussparungstrennabschnitt 794 ist an einem Grenzabschnitt zwischen den Basisendaussparungsabschnitten 792 bereitgestellt, die in der Breitenrichtung X und der Tiefenrichtung Z aneinandergrenzen. Der SA-Aufnahmebereich 150 ist an einer Position bereitgestellt, die sowohl in Breitenrichtung X als auch in Tiefenrichtung Z von dem AussparungsaußenUmfangsabschnitt 795 getrennt ist, und wird durch den Aussparungstrennabschnitt 794 gebildet.
Die Endflächen des Aussparungstrennabschnitts 794 und des AussparungsaußenUmfangsabschnitts 795 auf der Gehäusebasisendseite sind in der ersten Basisendfläche 791 enthalten. Ähnlich wie der Basisendaussparungsabschnitt 792 erstrecken sich der Aussparungstrennabschnitt 794 und der AussparungsaußenUmfangsabschnitt 795 in der Höhenrichtung Y von der ersten Basisendfläche 791 in Richtung der Gehäusespitzenendfläche 21a. Da im ersten Gehäuseabschnitt 151 die Mehrzahl der Basisendaussparungsabschnitte 792 in der Breitenrichtung X und der Tiefenrichtung Z angeordnet sind, ist die Dicke des Aussparungstrennabschnitts 794 und des AussparungsaußenUmfangsabschnitts 795 in der Breitenrichtung X und der Tiefenrichtung Z nicht zu groß. Das heißt, da der Basisendaussparungsabschnitt 792 in dem ersten Gehäuseabschnitt 151 bereitgestellt ist, wird der erste Gehäuseabschnitt 151 nicht zu einem Harzklumpen. Auf diese Weise dient der Basisendaussparungsabschnitt 792 als ein verdünnter Abschnitt im ersten Gehäuseabschnitt 151. Aus diesem Grund ist es weniger wahrscheinlich, dass, wenn der erste Gehäuseabschnitt 151 mit Harz geformt wird, der erste Gehäuseabschnitt 151 ungewollt verformt wird, Luftblasen wie Hohlräume in dem ersten Gehäuseabschnitt 151 erzeugt werden und dergleichen.
In der Mehrzahl von Basisendaussparungsabschnitten 792 hat der Basisendaussparungsabschnitt 792, der näher an dem AussparungsaußenUmfangsabschnitt 795 liegt, eine kleinere Tiefendimension in der Höhenrichtung Y. In diesem Fall hat der Basisendaussparungsabschnitt 792, der näher an dem SA-Aufnahmebereich 150 liegt, eine größere Tiefendimension. In der Höhenrichtung Y ist die Tiefendimension des SA-Aufnahmebereichs 150 größer als jede der Tiefendimensionen der Basisendaussparungsabschnitte 792. Die Tiefendimension der Mehrzahl von Basisendaussparungsabschnitten 792 kann gleichmäßig sein. Die Tiefendimension des SA-Aufnahmebereichs 150 kann kleiner sein als die Tiefendimension des mindestens einen Basisendaussparungsabschnitts 792.
Der Basisendvorsprungsabschnitt 793 erstreckt sich in der Höhenrichtung Y von der ersten Basisendfläche 791 in Richtung der Seite gegenüber der Gehäusespitzenendfläche 21a. Das heißt, der Basisendvorsprungsabschnitt 793 erstreckt sich von der ersten Basisendfläche 791 in Richtung der Seite gegenüber dem Basisendaussparungsabschnitt 792. Der Basisendvorsprungsabschnitt 793 erstreckt sich von mindestens dem AussparungsaußenUmfangsabschnitt 795 des Aussparungstrennabschnitts 794 und dem AussparungsaußenUmfangsabschnitt 795 in Richtung der Gehäusebasisendseite. Die Mehrzahl der Basisendvorsprungsabschnitte 793 ist entlang des äußeren Umfangsrands der ersten Basisendfläche 791 angeordnet.
Wie in 47 gezeigt, enthält der zweite Gehäuseabschnitt 152 ein zweites Basisabschnitt 797 und ein zweites Erstreckungsabschnitt 798. Der zweite Basisabschnitt 797 ist ein Abschnitt, der die Gehäusebasisendfläche 21b bildet und die erste Basisendfläche 791 des ersten Gehäuseabschnitts 151 überlappt. In der Höhenrichtung Y ist die Dickendimension des zweiten Basisabschnitts 797 kleiner als die Höhendimension des Verbinderabschnitts 28. Der zweite Erstreckungsabschnitt 798 erstreckt sich in der Höhenrichtung Y von dem zweiten Basisabschnitt 797 in Richtung der Gehäusespitzenendseite. Der zweite Gehäuseabschnitt 152 hat eine Mehrzahl von zweiten Erstreckungsabschnitten 798, und jedes der zweiten Erstreckungsabschnitte 798 tritt in das Innere des Basisendaussparungsabschnitts 792 ein.
Bei dem Herstellungsprozess des zweiten Gehäuseabschnitts 152 wird das in den Basisendaussparungsabschnitt 792 eingefüllte geschmolzene Harz verfestigt, um den zweiten Erstreckungsabschnitt 798 zu bilden. Da, wie oben beschrieben, der zweite Erstreckungsabschnitt 798 eine dem Basisendaussparungsabschnitt 792 entsprechende Form und Größe hat, wird der zweite Gehäuseabschnitt 152 ähnlich wie der erste Gehäuseabschnitt 151 nicht zu einem Harzklumpen. Aus diesem Grund ist es weniger wahrscheinlich, dass, wenn der zweite Gehäuseabschnitt 152 mit Harz geformt wird, der zweite Gehäuseabschnitt 152 ungewollt verformt wird, Luftblasen wie Hohlräume im zweiten Gehäuseabschnitt 152 erzeugt werden und dergleichen. Es besteht die Sorge, dass, wenn Luftblasen wie Hohlräume im ersten Gehäuseabschnitt 151 und im zweiten Gehäuseabschnitt 152 erzeugt werden, die Außenluft, Wasser und dergleichen durch die Luftblasen in Kontakt mit dem Verbindungsanschluss 620 und dem Leitungsanschluss 53a kommen, die den Verbindungsanschluss 620 und den Leitungsanschluss 53a korrodieren.
Die Kontaktfläche zwischen dem ersten Gehäuseabschnitt 151 und dem zweiten Gehäuseabschnitt 152 wird durch den Basisendaussparungsabschnitt 792 und den zweiten Erstreckungsabschnitt 798 vergrößert, so dass der erste Gehäuseabschnitt 151 und der zweite Gehäuseabschnitt 152 leicht in engem Kontakt miteinander stehen. Wie in 47 bis 51 und 54 bis 57 dargestellt, hat der erste Gehäuseabschnitt 151 den äußeren Wandaussparungsabschnitt 796, und die Kontaktfläche zwischen dem ersten Gehäuseabschnitt 151 und dem zweiten Gehäuseabschnitt 152 wird ebenfalls durch den äußeren Wandaussparungsabschnitt 796 vergrößert. Der äußere Wandaussparungsabschnitt 796 ist ein Vorsprungsabschnitt, der an der äußeren Wandfläche des AussparungsaußenUmfangsabschnitts 795 bereitgestellt ist und sich in den Richtungen X und Z orthogonal zur Höhenrichtung Y erstreckt. Der äußere Wandaussparungsabschnitt 796 hat eine Ringform, die den AussparungsaußenUmfangsabschnitt 795 umgibt, und eine Mehrzahl der äußeren Wandaussparungsabschnitte 796 sind in der Höhenrichtung Y angeordnet. Da der äußere Wandaussparungsabschnitt 796, wie oben beschrieben, in der Breitenrichtung X und der Tiefenrichtung Z vorsteht, wird eine Rückhaltekraft gegen die Trennung des ersten Gehäuseabschnitts 151 vom zweiten Gehäuseabschnitt 152 in der Höhenrichtung Y ausgeübt.
Wie in 47, 48 und 49 gezeigt, enthält der erste Gehäuseabschnitt 151 ein vorderes Seitenelement 941 und ein hinteres Seitenelement 942. Der erste Gehäuseabschnitt 151 ist ein den Bypass-Flusspfad 30 bildender Abschnitt des Flusspfads, das vordere Seitenelement 941 bildet den Bypass-Flusspfad 30 von der Gehäusevorderseite aus, und das hintere Seitenelement 942 bildet den Bypass-Flusspfad 30 von der Gehäuserückseite aus. Die äußere Fläche des vorderen Seitenelements 941 enthält einen Abschnitt, der die Gehäusevorderfläche 21e bildet, und die äußere Fläche des hinteren Seitenelements 942 enthält einen Abschnitt, der die Gehäuserückfläche 21f bildet. Die innere Fläche des vorderen Seitenelements 941 und die innere Fläche des hinteren Seitenelements 942 enthalten eine Formationsfläche, die den Bypass-Flusspfad 30 bildet.
Das vordere Seitenelement 941 enthält einen Bereichsformationsabschnitt 941a und einen Flusspfadformationsabschnitt 941b. Der Bereichsformationsabschnitt 941a bildet den SA-Aufnahmebereich 150, und der Flusspfadformationsabschnitt 941b bildet den Bypass-Flusspfad 30. Der Flusspfadformationsabschnitt 941b erstreckt sich von dem Bereichsformationsabschnitt 941a in Richtung der Gehäusespitzenendseite. Der Flusspfadformationsabschnitt 941b enthält den Spitzenendschutzvorsprungsabschnitt 615, den stromaufwärtigen Schutzvorsprungsabschnitt 616, den stromabwärtigen Schutzvorsprungsabschnitt 617, den Leitungsträgerabschnitt 618 und den Dichtungshalteabschnitt 25. Das hintere Seitenelement 942 ist durch die Breitenrichtung X im Flusspfadformationsabschnitt 941b auf der Gehäusespitzenendseite des Bereichsformationsabschnitts 941a bereitgestellt. Da das hintere Seitenelement 942, wie oben beschrieben, den Bypass-Flusspfad 30 zusammen mit dem Flusspfadformationsabschnitt 941b bildet, kann das hintere Seitenelement 942 als ein Flusspfadformationsabschnitt bezeichnet werden. Der Flusspfadformationsabschnitt 941b des vorderen Seitenelements 941 und des hinteren Seitenelements 942 befinden sich in einem Zustand, in dem sie einen Abschnitt des ersten Gehäuseabschnitts 151 an der Gehäusespitzenendseite relativ zum Bereichsformationsabschnitt 941a in der Breitenrichtung teilen.
Der Bereichsformationsabschnitt 941a enthält den Dichtungshalteabschnitt 25, den stromaufwärtigen Schutzvorsprungsabschnitt 616, den stromabwärtigen Schutzvorsprungsabschnitt 617, den Aussparungstrennabschnitt 794 und den AussparungsaußenUmfangsabschnitt 795. In dem Bereichsformationsabschnitt 941a wird der Dichtungshalteabschnitt 25 durch den AussparungsaußenUmfangsabschnitt 795 gebildet.
Anstelle des vorderen Seitenelements 941 kann auch das hintere Seitenelement 942 den SA-Aufnahmebereich 150 bilden. Zum Beispiel kann der Bereichsformationsabschnitt, der den SA-Aufnahmebereich 150 bildet, in dem hinteren Seitenelement 942 enthalten sein. Dieser Bereichsformationsabschnitt kann ein sowohl vom vorderen Seitenelement 941 als auch vom hinteren Seitenelement 942 unabhängiges Element sein, und der erste Gehäuseabschnitt 151 kann durch Zusammenfügen dieses Elements, des vorderen Seitenelements 941 und des hinteren Seitenelements 942 gebildet werden.
Wie in 47, 54 und 55 gezeigt, hat das Gehäuse 21 ein Leitungseinführungsloch 619. Das Leitungseinführungsloch 619 ist in dem ersten Gehäuseabschnitt 151 bereitgestellt und erstreckt sich in der Höhenrichtung Y von dem Leitungsträgerabschnitt 618 in Richtung der ersten Basisendfläche 791. Das Leitungseinführungsloch 619 ist in Richtung der Gehäusebasisendseite auf der ersten Basisendfläche 791 geöffnet. In diesem Fall ist ein Endabschnitt des Leitungseinführungslochs 619 an der Gehäusebasisendseite auf der ersten Basisendfläche 791 bereitgestellt. Der Leitungsdraht 23a, der sich von dem Ansauglufttemperatursensor 23 erstreckt, wird in das Leitungseinführungsloch 619 eingeführt. Das Leitungseinführungsloch 619 ist in dem Leitungsträgerabschnitt 618 geschlossen.
Wie in 55 gezeigt, durchdringt das Leitungseinführungsloch 619 vor der Montage des Ansauglufttemperatursensors 23 und des Leitungsdrahts 23a an dem ersten Gehäuseabschnitt 151 mindestens den Leitungsträgerabschnitt 618 in der Höhenrichtung Y. In diesem Zustand durchdringt das Leitungseinführungsloch 619 den ersten Gehäuseabschnitt 151 in der Höhenrichtung Y und wird über den Leitungsträgerabschnitt 618 zur Gehäusespitzenendseite hin geöffnet. In einem Zustand, in dem der Leitungsdraht 23a von dem Endabschnitt auf der Seite des Leitungsträgerabschnitts 618 eingeführt wird, wird das oben beschriebene thermische Fügen oder Abdichten an dem Leitungsträgerabschnitt 618 ausgeführt, wodurch das Leitungseinführungsloch 619 durch den Leitungsträgerabschnitt 618 geschlossen wird und der Leitungsdraht 23a an dem Leitungsträgerabschnitt 618 befestigt wird. Wie oben beschrieben, hat der Leitungsträgerabschnitt 618 eine Funktion als Schließabschnitt, der das Leitungseinführungsloch 619 zusätzlich zur Funktion des Tragens des Leitungsdrahts 23a schließt.
Der Leitungsträgerabschnitt 618 schließt das Leitungseinführungsloch 619. Daher ist es eingeschränkt, dass, wenn das geschmolzene Harz in das Leitungseinführungsloch 619 zusammen mit dem Harzformen des zweiten Gehäuseabschnitts 152 fließt, das geschmolzene Harz von dem Leitungseinführungsloch 619 in den Leitungsträgerabschnitt 618 austritt. In einem Zustand, in dem der Luftflussmesser 20 in dem Ansaugkanal 12 installiert ist, verhindert der Leitungsträgerabschnitt 618, dass Luft, Wasser und dergleichen von dem Ansaugkanal 12 in das Leitungseinführungsloch 619 eindringen. Daher ist es weniger wahrscheinlich, dass der Leitungsdraht 23a, der Verbindungsanschluss 620 und der Leitungsanschluss 53a innerhalb des Gehäuses 21 korrodieren.
Im Gegensatz zur vorliegenden Ausführungsform wird beispielsweise eine Konfiguration angenommen, bei der das Leitungseinführungsloch 619 im Leitungsträgerabschnitt 618 durch Einspritzen eines Dichtungsmaterials in das Leitungseinführungsloch 619 geschlossen wird. In dieser Konfiguration kann ein Epoxidklebstoff oder ein Silikonklebstoff als Dichtungsmaterial verwendet werden. Andererseits ist es, wie in der vorliegenden Ausführungsform, in der Konfiguration, in der das Leitungseinführungsloch 619 durch thermisches Fügen oder Abdichten geschlossen wird, nicht notwendig, ein Dichtungsmaterial zum Schließen des Leitungseinführungslochs 619 zu verwenden. Daher ist es möglich, die Materialkosten durch die Menge des Dichtungsmaterials zu reduzieren.
Wie in 47, 54 und 55 gezeigt, hat das Gehäuse 21 einen Gehäusewölbungsabschnitt 945. Bei dem Gehäusewölbungsabschnitt 945 handelt es sich um einen Abschnitt, der von dem Dichtungshalteabschnitt 25 in Richtung der Gehäusespitzenendseite vorsteht. Der Gehäusewölbungsabschnitt 945 hat einen Abschnitt, der von der Gehäusevorderfläche 21e in Richtung der Gehäusevorderseite vorsteht, und einen Abschnitt, der von der Gehäuserückfläche 21f in Richtung der Gehäuserückseite vorsteht. Die Gehäusevorderfläche 21e und die Gehäuserückfläche 21f erstrecken sich von dem Gehäusewölbungsabschnitt 945 in Richtung der Gehäusespitzenendseite. Der SA-Aufnahmebereich 150 durchdringt den Gehäusewölbungsabschnitt 945 in der Höhenrichtung Y. Der Gehäusewölbungsabschnitt 945 wird sowohl durch das vordere Seitenelement 941 als auch durch das hintere Seitenelement 942 gebildet. Der Gehäusewölbungsabschnitt 945 ist mit dem Leitungsträgerabschnitt 618 und der Angussmarke 771 bereitgestellt (siehe 50).
Wie in 52 und 54 gezeigt, erstreckt sich der Verbindungsanschluss 620 entlang der ersten Basisendfläche 791. In diesem Zustand, wie in den 52, 53 und 54 gezeigt, ragen der Verbinderanschluss 28a und der Einstellungsverbindungsanschluss 623 des Verbindungsanschlusses 620 seitlich von der ersten Basisendfläche 791 in den Richtungen X und Z orthogonal zur Höhenrichtung Y. Insbesondere ragen der Verbinderanschluss 28a und der Einstellungsverbindungsanschluss 623 von der ersten Basisendfläche 791 zur Gehäusevorderseite. In diesem Fall ragen die Anschlusselemente 643 bis 646 in den Richtungen X und Z orthogonal zur Höhenrichtung Y von der ersten Basisendfläche 791 ab, während das erste Anschlusselement 641 und das zweite Anschlusselement 642 nicht in der Breitenrichtung X von der ersten Basisendfläche 791 abstehen. In den Anschlusselementen 643 bis 646 ragt zusätzlich zu dem Verbinderanschluss 28a und dem Einstellungsverbindungsanschluss 623 jeder Anschlusszwischenabschnitt 624 von der ersten Basisendfläche 791 in Breitenrichtung X ab.
In 52 und 54 wird beim Herstellungsprozess des Gehäuses 21 der Verbindungsanschluss 620 auf der ersten Basisendfläche 791 installiert, und der Verbindungsanschluss 620 wird mit dem Leitungsanschluss 53a und dem Leitungsdraht 23a durch Schweißen oder dergleichen verbunden. Der zweite Gehäuseabschnitt 152 ist mit Harz in einem Zustand geformt, in dem der Verbindungsanschluss 620 auf der ersten Basisendfläche 791 angebracht ist. Bei diesem Harzformen wird der Verbindungsanschluss 620 mit dem ersten Gehäuseabschnitt 151 und dem zweiten Gehäuseabschnitt 152 abgedichtet, so dass der Verbinderanschluss 28a zum Verbinderaussparungsabschnitt 28b exponiert ist.
Wie in den 19 und 52 gezeigt, enthält der erste Gehäuseabschnitt 151 einen Anschlusshalteabschnitt 947. Auf der ersten Basisendfläche 791 ist eine Mehrzahl von Anschlusshalteabschnitten 947 bereitgestellt. Der Anschlusshalteabschnitt 947 ist ein Abschnitt, der die Position des Verbindungsanschlusses 620 in einem Zustand hält, in dem der Verbindungsanschluss 620 auf der ersten Basisendfläche 791 angeordnet ist. Der Anschlusshalteabschnitt 947 ist ein Vorsprungsabschnitt, der auf der ersten Basisendfläche 791 bereitgestellt ist und die Positionsverschiebung des Verbindungsanschlusses 620 relativ zur ersten Basisendfläche 791 einschränkt. Der Anschlusshalteabschnitt 947 ist sowohl im Aussparungstrennabschnitt 794 als auch im AussparungsaußenUmfangsabschnitt 795 bereitgestellt und erstreckt sich von dem Aussparungstrennabschnitt 794 und dem AussparungsaußenUmfangsabschnitt 795 in Richtung der Gehäusebasisendseite. Der Anschlusshalteabschnitt 947 schränkt die Bewegung des Verbindungsanschlusses 620 mindestens in der Breitenrichtung X und der Tiefenrichtung Z ein.
Die Anschlusselemente 641 bis 646 werden durch den Anschlusshalteabschnitt 947 in dem ersten Gehäuseabschnitt 151 in Position gehalten. Der Anschlusshalteabschnitt 947 befindet sich in einem Zustand, in dem er in den Anschlussaussparungsabschnitt 627 der Anschlusselemente 641 bis 646 eingreift, und in diesem Zustand befinden sich der Anschlusshalteabschnitt 947 und der Anschlussaussparungsabschnitt 627 in einem Zustand, in dem sie miteinander verrastet sind. Da beispielsweise die Anschlusselemente 641 bis 646 zwischen die beiden in Tiefenrichtung Z angeordneten Anschlusshalteabschnitte 947 eintreten, wird die Bewegung in Tiefenrichtung Z durch diese Anschlusshalteabschnitte 947 eingeschränkt. Da der Anschlusshalteabschnitt 947 in den Anschlussaussparungsabschnitt 627 eintritt, wird die Bewegung des Anschlusszwischenabschnitts 624 in Breitenrichtung X durch den Anschlusshalteabschnitt 947 eingeschränkt.
In dem ersten Gehäuseabschnitt 151 enthält der Aussparungstrennabschnitt 794 einen Anschlusserstreckungsabschnitt 794a. Der Anschlusserstreckungsabschnitt 794a erstreckt sich in Breitenrichtung X und der Tiefenrichtung Z entlang des Anschlusszwischenabschnitts 624, und eine Endfläche des Anschlusserstreckungsabschnitts 794a auf der Gehäusespitzenendseite ist in der ersten Basisendfläche 791 enthalten. Der Anschlusszwischenabschnitt 624 ist auf dem Anschlusserstreckungsabschnitt 794a angeordnet. In diesem Fall trägt der Anschlusserstreckungsabschnitt 794a den Anschlusszwischenabschnitt 624 von der Gehäusespitzenendseite. Zum Beispiel erstreckt sich der Anschluss entlang des Anschlusserstreckungsabschnitts 794a von dem AussparungsaußenUmfangsabschnitt 795 in Richtung des Gehäuseöffnungsabschnitts 151a.
Wie in 56 und 57 gezeigt, ist der Messflusspfad 32 in einem Zustand, in dem der Sensor SA50 nicht am ersten Gehäuseabschnitt 151 angebracht ist, über das SA-Einführungsloch 107, den SA-Aufnahmebereich 150 und den Gehäuseöffnungsabschnitt 151a zur Gehäusebasisendseite hin geöffnet.
(Zweite Ausführungsform)
In der ersten Ausführungsform ist der mit dem SA-Aufnahmebereich 150 kommunizierende Gehäuseöffnungsabschnitt 151a auf der Gehäusebasisendseite relativ zu dem ersten Gehäuseabschnitt 151 bereitgestellt. Andererseits ist in der zweiten Ausführungsform ein Basisöffnungsabschnitt 291a, der mit einem SA-Aufnahmebereich 290 kommuniziert, auf der Gehäusevorderseite eines Basiselements 291 bereitgestellt. In der vorliegenden Ausführungsform enthält das Verbrennungssystem 10 einen Luftflussmesser 200 als Messvorrichtung für physikalische Größen anstelle des Luftflussmessers 20. In der vorliegenden Ausführungsform sind die Komponenten, die durch dieselben Bezugszeichen wie in den Zeichnungen der ersten Ausführungsform gekennzeichnet sind, und die Konfigurationen, die nicht beschrieben werden, denen der ersten Ausführungsform ähnlich und erzielen die gleichen Funktionen und Wirkungen. In der vorliegenden Ausführungsform werden hauptsächlich Differenzen von der ersten Ausführungsform beschrieben.
Wie in 58 und 59 dargestellt, ist der Luftflussmesser 200 im Ansaugkanal 12 bereitgestellt. Ähnlich wie der Luftflussmesser 20 der ersten Ausführungsform ist der Luftflussmesser 200 eine Messvorrichtung für physikalische Größen, die eine physikalische Größe misst, und ist an der Rohreinheit 14 angebracht (siehe 2 und 8).
Der Luftflussmesser 200 hat einen eindringenden Abschnitt 200a, der in den Ansaugkanal 12 eintritt, und einen hervorstehenden Abschnitt 200b, der von dem Rohrflansch 14c nach außen ragt, ohne in den Ansaugkanal 12 einzutreten. Der eindringende Abschnitt 200a und der hervorstehende Abschnitt 200b sind in der Höhenrichtung Y angeordnet.
Der Luftflussmesser 200 enthält ein Gehäuse 201 und einen Flusssensor 202, der die Flussrate der Ansaugluft erfasst. Das Gehäuse 201 ist z.B. aus einem Harzmaterial oder ähnlichem gebildet. Der Flusssensor 202 ist in dem Gehäuse 201 untergebracht. Im Luftflussmesser 200 kann der Flusssensor 202 mit der durch den Ansaugkanal 12 fließenden Ansaugluft in Kontakt kommen, da das Gehäuse 201 am Ansaugrohr 14a befestigt ist.
Das Gehäuse 21 ist als Befestigungsziel an der Rohreinheit 14 angebracht. Auf der äußeren Fläche des Gehäuses 201 eines Paares von in Höhenrichtung Y angeordneten Endflächen 201a und 201b wird die in dem eindringenden Abschnitt 200a enthaltene Endfläche als Gehäusespitzenendfläche 201a und die in dem hervorstehenden Abschnitt 200b enthaltene Endfläche als Gehäusebasisendfläche 201b bezeichnet. Die Gehäusespitzenendfläche 201a und die Gehäusebasisendfläche 201b sind orthogonal zur Höhenrichtung Y.
Auf der äußeren Fläche des Gehäuses 201 wird eine auf der stromaufwärtigen Seite bezüglich des Ansaugkanals 12 angeordnete Fläche als Gehäuseaufwärtsfläche 201c bezeichnet, und eine auf der gegenüberliegenden Seite der Gehäuseaufwärtsfläche 201c angeordnete Fläche wird als Gehäuseabwärtsfläche 201d bezeichnet. Eine von zwei einander gegenüberliegenden Flächen, zwischen denen die Gehäuseaufwärtsfläche 201c und die Gehäusebasisendfläche 201b liegen, wird als Gehäusevorderfläche 201e bezeichnet, die andere als Gehäuserückfläche 201 f. Die Gehäusevorderfläche 201e ist eine Fläche auf einer Seite, auf der der Flusssensor 202 in einem später zu beschreibenden Sensor SA220 bereitgestellt ist.
Was das Gehäuse 201 betrifft, so kann in der Höhenrichtung Y die Seite der Gehäusespitzenendfläche 201a als Gehäusespitzenendseite bezeichnet werden, und die Seite der Gehäusebasisendfläche 201b als Gehäusebasisendseite. In einer Tiefenrichtung Z kann die Seite der Gehäuseaufwärtsfläche 201c als eine stromaufwärtige Seite des Gehäuses bezeichnet werden, und die Seite der Gehäuseabwärtsfläche 201d kann als eine stromabwärtige Seite des Gehäuses bezeichnet werden. In Breitenrichtung X kann die Seite der Gehäusevorderfläche 201e als Gehäusevorderseite und die Seite der Gehäuserückfläche 201f als Gehäuserückseite bezeichnet werden.
Wie in 58, 59 und 60 gezeigt, enthält das Gehäuse 201 ein Dichtungshalteabschnitt 205, ein Flanschabschnitt 207 und ein Verbinderabschnitt 208. Der Luftflussmesser 200 enthält ein Dichtungselement 206, und das Dichtungselement 206 ist an dem Dichtungshalteabschnitt 25 befestigt.
Der Dichtungshalteabschnitt 205 ist innerhalb des Rohrflansches 14c bereitgestellt und hält das Dichtungselement 206 so, dass es nicht in der Höhenrichtung Y verschoben werden kann. Der Dichtungshalteabschnitt 205 ist in dem eindringenden Abschnitt 200a des Luftflussmessers 200 enthalten. Das Dichtungselement 206 ist ein Element, wie z.B. ein O-Ring, das den Ansaugkanal 12 im Inneren des Rohrflansches 14c abdichtet und in engem Kontakt sowohl mit der äußeren Fläche des Dichtungshalteabschnitts 205 als auch mit der inneren Fläche des Rohrflansches 14c steht. Der Verbinderabschnitt 208 ist ein Schutzabschnitt, der einen Verbinderanschluss 208a schützt, der elektrisch mit dem Flusssensor 202 verbunden ist. Der Verbinderanschluss 208a ist elektrisch mit der ECU 15 verbunden, indem eine elektrische Verdrahtung, die sich von der ECU 15 erstreckt, über einen Steckerabschnitt mit dem Verbinderabschnitt 208 verbunden wird. Zum Beispiel ist der Verbinderanschluss 208a elektrisch und mechanisch mit dem Steckeranschluss des Steckerabschnitts verbunden. Der Flanschabschnitt 207 und der Verbinderabschnitt 208 sind in dem hervorstehenden Abschnitt 200b des Luftflussmessers 200 enthalten.
Das Gehäuse 201 hat einen Bypass-Flusspfad 210. Der Bypass-Flusspfad 210 ist im Inneren des Gehäuses 201 bereitgestellt und wird durch mindestens einen Teil des Innenraums des Gehäuses 201 gebildet. Die innere Fläche des Gehäuses 201 bildet den Bypass-Flusspfad 210 und ist eine Formationsfläche.
Der Bypass-Flusspfad 210 ist in dem eindringenden Abschnitt 200a des Luftflussmessers 200 angeordnet. Der Bypass-Flusspfad 210 enthält einen Kanalflusspfad 211 und einen Messflusspfad 212. Der Messflusspfad 212 befindet sich in einem Zustand, in dem der Flusssensor 202 des später beschriebenen Sensors SA220 und ein Abschnitt um den Flusssensor 202 herum eintreten. Der Kanalflusspfad 211 wird durch die innere Fläche des Gehäuses 201 gebildet. Der Messflusspfad 212 wird durch die äußere Fläche eines Teils des Sensors SA220 zusätzlich zur inneren Fläche des Gehäuses 201 gebildet. Der Ansaugkanal 12 kann als Hauptkanal bezeichnet werden und der Bypass-Flusspfad 210 kann als Unterkanal bezeichnet werden.
Der Kanalflusspfad 211 durchdringt das Gehäuse 201 in der Tiefenrichtung Z. Der Kanalflusspfad 211 hat einen Kanaleingang 213, der ein stromaufwärtiger Endabschnitt davon ist, und einen Kanalausgang 214, der ein stromabwärtiger Endabschnitt davon ist. Der Messflusspfad 212 ist ein Zweigflusspfad, der von einem Zwischenabschnitt des Kanalflusspfads 211 abzweigt, und der Flusssensor 202 ist in diesem Messflusspfad 212 bereitgestellt. Der Messflusspfad 212 hat einen Messeingang 215, der ein stromaufwärtiger Endabschnitt davon ist, und einen Messausgang 216, der ein stromabwärtiger Endabschnitt davon ist. Der Abschnitt, in dem der Messflusspfad 212 von dem Kanalflusspfad 211 abzweigt, ist ein Grenzabschnitt zwischen dem Kanalflusspfad 211 und dem Messflusspfad 212, und der Messeingang 215 ist in diesem Grenzabschnitt enthalten. Der Abschnitt zwischen dem Kanalflusspfad 211 und dem Messflusspfad 212 kann auch als Grenzabschnitt des Flusspfads bezeichnet werden.
Der Messflusspfad 212 erstreckt sich von dem Kanalflusspfad 211 in Richtung der Gehäusebasisendseite. Der Messflusspfad 212 ist zwischen dem Kanalflusspfad 211 und der Gehäusebasisendfläche 201b bereitgestellt. Der Messflusspfad 212 ist so gekrümmt, dass sich ein Abschnitt zwischen dem Messeingang 215 und dem Messausgang 216 zur Gehäusebasisendseite hin wölbt. Der Messflusspfad 212 hat einen Abschnitt, der gekrümmt ist, so dass er kontinuierlich gekrümmt ist, einen Abschnitt, der abgelenkt ist, so dass er stufenweise gekrümmt ist, einen Abschnitt, der sich gerade in die Höhenrichtung Y und die Tiefenrichtung Z erstreckt, und dergleichen.
Der Luftflussmesser 200 hat eine Sensor-Unterbaugruppe, die so konfiguriert ist, dass sie den Flusssensor 202 enthält, und diese Sensor-Unterbaugruppe wird als Sensor SA220 bezeichnet. Der Sensor SA220 ist im Gehäuse 201 in einem Zustand eingebettet, in dem ein Teil des Sensors SA220 in den Messflusspfad 212 eintritt. Im Luftflussmesser 200 sind der Sensor SA220 und der Bypass-Flusspfad 210 in der Höhenrichtung Y angeordnet. Konkret sind der Sensor SA220 und der Kanalflusspfad 211 in der Höhenrichtung angeordnet. Der Sensor SA220 entspricht der Erfassungseinheit. Der Sensor SA220 kann auch als Messeinheit oder als Sensorpaket bezeichnet werden.
Das Gehäuse 201 enthält einen stromaufwärtigen Wandabschnitt 231, einen stromabwärtigen Wandabschnitt 232, einen vorderen Wandabschnitt 233, einen hinteren Wandabschnitt 234 und einen Spitzenendwandabschnitt 235. Der stromaufwärtige Wandabschnitt 231 bildet die Gehäuseaufwärtsfläche 201c, und der stromabwärtige Wandabschnitt 232 bildet die Gehäuseabwärtsfläche 201d. Der vordere Wandabschnitt 233 bildet die Gehäusevorderfläche 201e, und der hintere Wandabschnitt 234 bildet die Gehäuserückfläche 201 f. Der stromaufwärtige Wandabschnitt 231 und der stromabwärtige Wandabschnitt 232 sind an Positionen bereitgestellt, die in der Tiefenrichtung Z voneinander getrennt sind, und der vordere Wandabschnitt 233 und der hintere Wandabschnitt 234 sind an Positionen bereitgestellt, die in der Breitenrichtung X voneinander getrennt sind. Der Messflusspfad 212 und ein später zu beschreibender SA-Aufnahmebereich 290 sind zwischen dem stromaufwärtigen Wandabschnitt 231 und dem stromabwärtigen Wandabschnitt 232 sowie zwischen dem vorderen Wandabschnitt 233 und dem hinteren Wandabschnitt 234 bereitgestellt. Der Spitzenendwandabschnitt 235 bildet die Gehäusespitzenendfläche 201a und ist an einer von dem Dichtungshalteabschnitt 205 getrennten Position in der Höhenrichtung Y bereitgestellt.
Das Gehäuse 201 hat ein erstes Zwischenwandabschnitt 236 und ein zweites Zwischenwandabschnitt 237. Ähnlich wie der Spitzenendwandabschnitt 235 erstrecken sich die Zwischenwandabschnitte 236 und 237 plattenförmig in den Richtungen X und Z orthogonal zur Höhenrichtung Y und sind zwischen dem Spitzenendwandabschnitt 235 und dem Dichtungshalteabschnitt 205 in Höhenrichtung Y bereitgestellt. Der erste Zwischenwandabschnitt 236 ist zwischen dem Spitzenendwandabschnitt 235 und dem zweiten Zwischenwandabschnitt 237 bereitgestellt, und der Bypass-Flusspfad 210 ist zwischen dem ersten Zwischenwandabschnitt 236 und dem Spitzenendwandabschnitt 235 bereitgestellt. Der erste Zwischenwandabschnitt 236 ist zwischen dem Messflusspfad 32 und dem SA-Aufnahmebereich 290 bereitgestellt und teilt den Messflusspfad 212 und den SA-Aufnahmebereich 290 in der Höhenrichtung Y. Der zweite Zwischenwandabschnitt 237 ist zwischen dem ersten Zwischenwandabschnitt 236 und dem Dichtungshalteabschnitt 205 bereitgestellt und teilt den SA-Aufnahmebereich 290 in der Höhenrichtung Y.
Der erste Zwischenwandabschnitt 236 ist mit einem ersten Zwischenloch 236a bereitgestellt. Das erste Zwischenloch 236a durchdringt den ersten Zwischenwandabschnitt 236 in der Höhenrichtung Y. Die innere Umfangsfläche des ersten Zwischenwandabschnitts 236 ist in der inneren Fläche des Gehäuses 201 enthalten und erstreckt sich ringförmig entlang des Umfangsrandabschnitts des ersten Zwischenlochs 236a. Bei dem Sensor SA220 durchdringt ein Abschnitt auf der Seite des Flusssensors 202 das erste Zwischenloch 236a in der Höhenrichtung Y. Infolgedessen sind im Sensor SA220 die Formspitzenendfläche 225a und der Flusssensor 202 im Messflusspfad 32 installiert, und die Formbasisendfläche 225b ist im SA-Aufnahmebereich 290 installiert.
Der zweite Zwischenwandabschnitt 237 ist mit einem zweiten Zwischenloch 237a bereitgestellt. Das zweite Zwischenloch 237a durchdringt den zweiten Zwischenwandabschnitt 237 in der Höhenrichtung Y. Im Sensor SA220 durchdringt der später zu beschreibende Leitungsanschluss 53a das zweite Zwischenloch 237a in der Höhenrichtung Y. Folglich ist im Sensor SA220 ein später zu beschreibendes Formabschnitt 225 auf der Gehäusespitzenendseite relativ zum zweiten Zwischenwandabschnitt 237 angeordnet, und mindestens der Spitzenendabschnitt des Leitungsanschlusses 53a ist auf der Gehäusebasisendseite relativ zum zweiten Zwischenwandabschnitt 237 angeordnet.
Im SA-Aufnahmebereich 290 ist der Spalt zwischen dem Gehäuse 201 und dem Sensor SA220 mit einem nicht veranschaulichten gefüllten Abschnitt ausgefüllt. Der gefüllte Abschnitt ist aus einem wärmehärtenden Harz, wie z.B. einem Epoxidharz, einem Urethanharz oder einem Silikonharz gebildet. Hier wird der SA-Aufnahmebereich 290 mit einem geschmolzenen Harz durch Gießen in einem Zustand gefüllt, in dem das wärmehärtende Harz geschmolzen wird, und das geschmolzene Harz wird als Gussharz verfestigt, um den gefüllten Abschnitt zu bilden. Der gefüllte Abschnitt kann auch als Gussabschnitt oder als Gussharzabschnitt bezeichnet werden.
<Beschreibung der Konfigurationsgruppe A>
Der Sensor SA220 enthält zusätzlich zu dem Flusssensor 202 ein Sensorträgerabschnitt 221. Der Sensorträgerabschnitt 221 ist an dem Gehäuse 201 befestigt und trägt den Flusssensor 202. Der Sensorträgerabschnitt 221 enthält ein SA-Substrat 223 und den Formabschnitt 225. Das SA-Substrat 223 ist ein Substrat, auf dem der Flusssensor 202 befestigt ist, und der Formabschnitt 225 deckt mindestens einen Teil des Flusssensors 202 und mindestens einen Teil des SA-Substrats 223 ab. Das SA-Substrat 223 kann auch als Leitungsrahmen bezeichnet werden.
Der Formabschnitt 225 ist insgesamt plattenförmig ausgebildet. In dem Formabschnitt 225 wird von einem Paar Endflächen 225a und 225b, die in der Höhenrichtung Y angeordnet sind, die Endfläche auf der Gehäusespitzenendseite als Formspitzenendfläche 225a und die Endfläche auf der Gehäusebasisendseite als Formbasisendfläche 225b bezeichnet. Die Formspitzenendfläche 225a ist ein Spitzenendabschnitt des Formabschnitts 225 und des Sensorträgerabschnitts 221 und entspricht dem Trägerspitzenendabschnitt. Der Formabschnitt 225 entspricht einem Schutzharzabschnitt.
In dem Formabschnitt 225 wird eine von einem Paar von Flächen, die mit der Formspitzenendfläche 225a und der dazwischen angeordneten Formbasisendfläche 225b bereitgestellt sind, als Formaufwärtsfläche 225c bezeichnet, und die andere wird als Formabwärtsfläche 225d bezeichnet. Der Sensor SA220 ist innerhalb des Gehäuses 201 in einer Richtung installiert, in der die Formspitzenendfläche 225a auf der Seite des Luftflussendes und die Formaufwärtsfläche 225c auf der stromaufwärtigen Seite relativ zum Messflusspfad 212 in Bezug auf die Formabwärtsfläche 225d angeordnet ist.
Die Formaufwärtsfläche 225c des Sensors SA220 ist auf der stromaufwärtigen Seite relativ zu der Formabwärtsfläche 225d im Messflusspfad 212 angeordnet. In dem Abschnitt, in dem der Flusssensor 202 im Messflusspfad 212 bereitgestellt ist, ist die Flussrichtung der Luft entgegengesetzt zu der Flussrichtung der Luft im Ansaugkanal 12 (siehe 8). Daher ist die Formaufwärtsfläche 225c auf der stromaufwärtigen Seite relativ zur Formabwärtsfläche 225d im Ansaugkanal 12 angeordnet. Die entlang des Flusssensors 202 fließende Luft fließt in der Tiefenrichtung Z, wobei diese Tiefenrichtung Z auch als Flussrichtung bezeichnet werden kann.
In dem Sensor SA220 ist der Flusssensor 202 an einer Fläche Seite des Sensors SA220 exponiert. Im Formabschnitt 225 wird die Plattenfläche auf der Seite, auf der der Flusssensor 202 exponiert ist, als Formvorderfläche 225e und die Plattenfläche auf der gegenüberliegenden Seite als Formrückfläche 225f bezeichnet. Eine Plattenfläche des Sensors SA220 wird durch die Formvorderfläche 225e gebildet, und diese Formvorderfläche 225e entspricht der Trägervorderfläche und die Formrückfläche 225f entspricht der Trägerrückfläche.
Das SA-Substrat 223 ist ein aus einem metallischen Material oder dergleichen gebildetes Substrat, das insgesamt plattenförmig ist und Leitfähigkeit hat. Die Fläche des SA-Substrats 223 ist orthogonal zur Breitenrichtung X und erstreckt sich in die Höhenrichtung Y und die Tiefenrichtung Z. Der Flusssensor 202 ist auf dem SA-Substrat 223 befestigt. Das SA-Substrat 223 bildet einen Leitungsanschluss 223a, der mit dem Verbinderanschluss 208a verbunden ist. Das SA-Substrat 223 hat einen Abschnitt, der mit dem Formabschnitt 225 abgedeckt ist, und einen Abschnitt, der nicht mit dem Formabschnitt 225 abgedeckt ist, und der nicht abgedeckte Abschnitt ist der Leitungsanschluss 223a. Der Leitungsanschluss 223a ragt in der Höhenrichtung Y von der Formbasisendfläche 225b aus. In 58 und 59 ist der Leitungsanschluss 223a nicht veranschaulicht.
Der Flusssensor 202 hat die gleiche Konfiguration wie der Flusssensor 22 der ersten Ausführungsform. Der Flusssensor 202 enthält beispielsweise Abschnitte und Elemente, die jeweils dem Sensoraussparungsabschnitt 61, dem Membranabschnitt 62, dem Sensorsubstrat 65, dem Sensormembranabschnitt 66, dem Wärmewiderstandselement 71, den Widerstandsthermometern 72 und 73, dem indirekten thermischen Widerstandselement 74 und den Verdrahtungen 75 bis 77 des Flusssensors 22 entsprechen.
<Beschreibung der Konfigurationsgruppe B>
Wie in 58 und 59 dargestellt, hat das Gehäuse 201 den SA-Aufnahmebereich 290. Der SA-Aufnahmebereich 290 ist an der Gehäusebasisendseite relativ zum Bypass-Flusspfad 210 bereitgestellt und nimmt einen Teil des Sensors SA220 auf. Mindestens die Formbasisendfläche 225b des Sensors SA220 ist in dem SA-Aufnahmebereich 290 untergebracht. Der Messflusspfad 212 und der SA-Aufnahmebereich 290 sind in der Höhenrichtung Y angeordnet. Der Sensor SA220 befindet sich an einer Position gegenüber dem Grenzabschnitt zwischen dem Messflusspfad 212 und dem SA-Aufnahmebereich 290 in der Höhenrichtung Y. Mindestens die Formspitzenendfläche 225a des Sensors SA220 und der Flusssensor 202 sind in dem Messflusspfad 212 untergebracht. Der SA-Aufnahmebereich 290 entspricht einem Aufnahmebereich.
Wie in 61 und 62 gezeigt, hat das Gehäuse 201 einen Gehäusetrennabschnitt 271. Der Gehäusetrennabschnitt 271 ist ein Vorsprungsabschnitt, der von der inneren Umfangsfläche des ersten Zwischenwandabschnitts 236 bereitgestellt ist und von dem ersten Zwischenwandabschnitt 236 in Richtung des Sensors SA220 vorsteht. Der Spitzenendabschnitt des Gehäusetrennabschnitts 271 ist in Kontakt mit der äußeren Fläche des Sensors SA220. Der Gehäusetrennabschnitt 271 teilt den SA-Aufnahmebereich 290 und den Messflusspfad 212 zwischen der äußeren Fläche des Sensors SA220 und der inneren Fläche des Gehäuses 201.
Die innere Fläche des Gehäuses 201 hat eine Gehäuseflusspfadfläche 275, eine Gehäuseaufnahmefläche 276, und eine Gehäusestufenfläche 277. Die Gehäuseflusspfadfläche 275, die Gehäuseaufnahmefläche 276 und die Gehäusestufenfläche 277 erstrecken sich in einer Richtung, die die Höhenrichtung Y schneidet, und umgeben ringförmig den Sensor SA220. In dem Sensor SA220 erstreckt sich eine Mittellinie CL1a des Wärmewiderstandselements linear in der Höhenrichtung Y wie in der ersten Ausführungsform, und jede der Gehäuseflusspfadfläche 275, der Gehäuseaufnahmefläche 276 und der Gehäusestufenfläche 277 erstreckt sich in der Umfangsrichtung um diese Mittellinie.
Die Gehäusestufenfläche 277 ist eine Wandfläche auf der Gehäusebasisendseite des ersten Zwischenwandabschnitts 236 und ist der Gehäusebasisendseite in der Höhenrichtung Y zugewandt. Die Gehäusestufenfläche 277 ist in Bezug auf die Mittellinie CLla geneigt und ist der radialen Innenseite zugewandt, die die Seite der Mittellinie CLla ist. Die Gehäusestufenfläche 277 schneidet die Höhenrichtung Y und entspricht einer Gehäuseschnittfläche. In der vorliegenden Ausführungsform ist die Gehäusestufenfläche 277 orthogonal zur Mittellinie CL1a. An der inneren Fläche des Gehäuses 201 sind ein äußerer Eckabschnitt zwischen der Gehäuseflusspfadfläche 275 und der Gehäusestufenfläche 277 und ein innerer Eckabschnitt zwischen der Gehäuseaufnahmefläche 276 und der Gehäusestufenfläche 277 abgeschrägt.
Die Gehäuseflusspfadfläche 275 ist eine innere Umfangsfläche des ersten Zwischenwandabschnitts 236. Die Gehäuseflusspfadfläche 275 bildet den Messflusspfad 212 und erstreckt sich von dem inneren Umfangsendabschnitt der Gehäusestufenfläche 277 in Richtung der Gehäusespitzenendseite. Die Gehäuseflusspfadfläche 275 erstreckt sich von der Gehäusestufenfläche 277 in Richtung der Seite, die dem SA-Aufnahmebereich 290 gegenüberliegt.
Andererseits ist die Gehäuseaufnahmefläche 276 eine innere Fläche von jedem des stromaufwärtigen Wandabschnitts 231, des stromabwärtigen Wandabschnitts 232, des vorderen Wandabschnitts 233 und des hinteren Wandabschnitts 234. Die Gehäuseaufnahmefläche 276 bildet den SA-Aufnahmebereich 290 und erstreckt sich von dem äußeren Umfangsendabschnitt der Gehäusestufenfläche 277 in Richtung der Gehäusebasisendseite. Die Gehäuseaufnahmefläche 276 erstreckt sich von der Gehäusestufenfläche 277 in Richtung der Seite, die dem Messflusspfad 212 gegenüberliegt. Die Gehäusestufenfläche 277 ist zwischen der Gehäuseflusspfadfläche 275 und der Gehäuseaufnahmefläche 276 bereitgestellt und bildet eine Stufe auf der inneren Fläche des Gehäuses 201. Die Gehäusestufenfläche 277 verbindet die Gehäuseflusspfadfläche 275 und die Gehäuseaufnahmefläche 276.
Die äußere Fläche des Sensors SA220 wird durch die äußere Fläche des Formabschnitts 225 gebildet. Die äußere Fläche des Sensors SA220 hat eine SA-Flusspfadfläche 285, eine SA-Aufnahmefläche 286 und eine SA-Stufenfläche 287. Die SA-Flusspfadfläche 285, die SA-Aufnahmefläche 286 und die SA-Stufenfläche 287 erstrecken sich in einer Richtung, die die Höhenrichtung Y schneidet, und sind Abschnitte, die die äußere Fläche des Sensors SA220 ringförmig umgeben. Die SA-Flusspfadfläche 285, die SA-Aufnahmefläche 286 und die SA-Stufenfläche 287 erstrecken sich in der Umfangsrichtung um die Mittellinie CLla des Wärmewiderstandselements.
In dem Sensor SA220 ist die SA-Stufenfläche 287 zwischen der Formspitzenendfläche 225a und der Formbasisendfläche 225b bereitgestellt. Die SA-Stufenfläche 287 ist der Seite der Formspitzenendfläche 225a in der Höhenrichtung Y zugewandt. Die SA-Stufenfläche 287 ist in Bezug auf die Mittellinie CLla geneigt und der radialen Außenseite zugewandt, d. h. der Seite, die der Mittellinie CLla gegenüberliegt. Die SA-Stufenfläche 287 schneidet die Höhenrichtung Y und entspricht einer Einheitsschnittfläche. Die SA-Flusspfadfläche 285 entspricht einer Einheits-Flusspfadfläche, und die SA-Aufnahmefläche 286 entspricht einer Einheits-Aufnahmefläche. In der vorliegenden Ausführungsform ist die SA-Stufenfläche 287 orthogonal zur Mittellinie CL1a. An der äußeren Fläche des Sensors SA220 sind ein inneres Eckabschnitt zwischen der SA-Flusspfadfläche 285 und der SA-Stufenfläche 287 und ein äußeres Eckabschnitt zwischen der SA-Aufnahmefläche 286 und der SA-Stufenfläche 287 abgeschrägt.
Die SA-Flusspfadfläche 285 bildet den Messflusspfad 212 und erstreckt sich in der Höhenrichtung Y von dem inneren Umfangsendabschnitt der SA-Stufenfläche 287 in Richtung der Formspitzenendseite. Die SA-Flusspfadfläche 285 erstreckt sich von der SA-Stufenfläche 287 in Richtung der Seite, die dem SA-Aufnahmebereich 290 gegenüberliegt. Andererseits bildet die SA-Aufnahmefläche 286 den SA-Aufnahmebereich 290 und erstreckt sich von dem äußeren Umfangsendabschnitt der SA-Stufenfläche 287 in Richtung der Formbasisendseite. Die SA-Aufnahmefläche 286 erstreckt sich von der SA-Stufenfläche 287 in Richtung der Seite, die dem Messflusspfad 212 gegenüberliegt. Die SA-Stufenfläche 287 ist zwischen der SA-Flusspfadfläche 285 und der SA-Aufnahmefläche 286 bereitgestellt und bildet eine Stufe auf der äußeren Fläche des Sensors SA220. Die SA-Stufenfläche 287 verbindet die SA-Flusspfadfläche 285 und die SA-Aufnahmefläche 286.
Im Sensor SA220 werden die SA-Flusspfadfläche 285, die SA-Aufnahmefläche 286 und die SA-Stufenfläche 287 jeweils durch die Formaufwärtsfläche 225c, die Formabwärtsfläche 225d, die Formvorderfläche 225e und die Formrückfläche 225f gebildet.
Im Luftflussmesser 200 stehen sich die der Gehäusebasisendseite zugewandte Gehäusestufenfläche 277 und die der Gehäusespitzenendseite zugewandte SA-Stufenfläche 287 gegenüber. Die Gehäuseflusspfadfläche 275, die der inneren Umfangsseite zugewandt ist, und die SA-Flusspfadfläche 285, die der äußeren Umfangsseite zugewandt ist, stehen einander gegenüber. Ebenso stehen sich die Gehäuseaufnahmefläche 276, die der inneren Umfangsseite zugewandt ist, und die SA-Aufnahmefläche 286, die der äußeren Umfangsseite zugewandt ist, gegenüber.
Der Gehäusetrennabschnitt 271 der vorliegenden Ausführungsform ist auf der Gehäuseflusspfadfläche 275 bereitgestellt und nicht wie bei der ersten Ausführungsform auf der Gehäusestufenfläche 277 bereitgestellt. In diesem Fall erstreckt sich der Gehäusetrennabschnitt 271 in den Richtungen X und Zb, die die Höhenrichtung Y schneiden, in Richtung des ersten Zwischenlochs 236a. Eine Mittellinie CL12 des Gehäusetrennabschnitts 271 erstreckt sich linear in einer Richtung, die die Höhenrichtung Y schneidet. In der vorliegenden Ausführungsform ist die Mittellinie CL12 orthogonal zur Höhenrichtung Y. Der Gehäusetrennabschnitt 271 umgibt den Sensor SA220 ringförmig zusammen mit der Gehäuseflusspfadfläche 275. In diesem Fall bildet der Spitzenendabschnitt des Gehäusetrennabschnitts 271 das erste Zwischenloch 236a, und die Spitzenendfläche des Gehäusetrennabschnitts 271 ist die innere Umfangsfläche des ersten Zwischenlochs 236a. Der Gehäusetrennabschnitt 271 hat einen Abschnitt, der sich in Breitenrichtung X erstreckt, und einen Abschnitt, der sich in Tiefenrichtung Z erstreckt, und hat insgesamt eine im Wesentlichen rechteckige Rahmenform.
Der Spitzenendabschnitt des Gehäusetrennabschnitts 271 ist in Kontakt mit der SA-Flusspfadfläche 285 des Sensors SA220. Der Gehäusetrennabschnitt 271 und die SA-Flusspfadfläche 285 stehen in engem Kontakt miteinander, um die Dichtheit des Abschnitts, der den SA-Aufnahmebereich 290 und den Messflusspfad 212 trennt, zu verbessern. Die SA-Flusspfadfläche 285 ist eine ebene Fläche, die sich gerade in eine Richtung erstreckt, die die Höhenrichtung Y schneidet. Bei der vorliegenden Ausführungsform erstrecken sich die Gehäuseflusspfadfläche 275 und die SA-Flusspfadfläche 285 parallel zueinander. In diesem Fall ist der Gehäusetrennabschnitt 271 in Kontakt mit der SA-Flusspfadfläche 285, wodurch die Dichtheit in dem Abschnitt verbessert wird, in dem die äußere Fläche des Sensors SA220 und die innere Fläche des Gehäuses 201 miteinander in Kontakt sind. Die Gehäuseflusspfadfläche 275 und die SA-Flusspfadfläche 285 sind möglicherweise nicht parallel zueinander, sondern können relativ geneigt sein.
Der Gehäusetrennabschnitt 271 ist orthogonal zur Gehäuseflusspfadfläche 275. In diesem Fall sind die Mittellinie CL12 des Gehäusetrennabschnitts 271 und die Gehäuseflusspfadfläche 275 orthogonal zueinander. Der Gehäusetrennabschnitt 271 hat eine sich verjüngende Form. In der vorliegenden Ausführungsform ist die Höhenrichtung Y die Breitenrichtung für den Gehäusetrennabschnitt 271. Die Breitendimension des Gehäusetrennabschnitts 271 in Breitenrichtung verringert sich graduell in Richtung des Spitzenendabschnitts des Gehäusetrennabschnitts 271. Die beiden Seitenflächen des Gehäusetrennabschnitts 271 erstrecken sich gerade von der Gehäuseflusspfadfläche 275 aus. In diesem Fall hat der Gehäusetrennabschnitt 271 einen sich verjüngenden Querschnitt.
Der Gehäusetrennabschnitt 271 ist in der Mitte der Gehäuseflusspfadfläche 275 in der Höhenrichtung Y bereitgestellt. In diesem Fall ist die Trennungsdistanz zwischen dem Endabschnitt der Gehäusespitzenendseite der Gehäuseflusspfadfläche 275 und dem Gehäusetrennabschnitt 271 gleich der Trennungsdistanz zwischen dem Endabschnitt der Gehäusebasisendseite der Gehäuseflusspfadfläche 275 und dem Gehäusetrennabschnitt 271. Der Gehäusetrennabschnitt 271 kann an einer Position nahe der Gehäusespitzenendseite auf der Gehäuseflusspfadfläche 275 oder an einer Position nahe der Gehäusebasisendseite bereitgestellt sein.
Der Abschnitt der Gehäusestufenfläche 277 auf der Seite der Gehäuseflusspfadfläche 275 relativ zum Gehäusetrennabschnitt 271 bildet zusammen mit der Gehäuseflusspfadfläche 275 den Messflusspfad 212. Der Abschnitt auf der Gehäuseaufnahmefläche 276 relativ zum Gehäusetrennabschnitt 271 bildet zusammen mit der Gehäuseaufnahmefläche 276 den SA-Aufnahmebereich 290.
Der Abschnitt der SA-Stufenfläche 287 auf der SA-Flusspfadfläche 285 relativ zu dem Gehäusetrennabschnitt 271 bildet zusammen mit der SA-Flusspfadfläche 285 den Messflusspfad 212. Der Abschnitt auf der SA-Aufnahmefläche 286 relativ zum Gehäusetrennabschnitt 271 bildet zusammen mit der SA-Aufnahmefläche 286 den SA-Aufnahmebereich 290.
Wie in 63 dargestellt, enthält das Gehäuse 201 das Basiselement 291 und ein Abdeckungselement 292. Das Basiselement 291 und das Abdeckungselement 292 sind montiert und miteinander integriert und bilden in diesem Zustand das Gehäuse 201. In dem Gehäuse 201 bildet das Basiselement 291 den stromaufwärtigen Wandabschnitt 231, den stromabwärtigen Wandabschnitt 232, den hinteren Wandabschnitt 234, den Spitzenendwandabschnitt 235, den Dichtungshalteabschnitt 205, den Flanschabschnitt 207 und den Verbinderabschnitt 208. Das Basiselement 291 ist ein kastenförmiges Element, das insgesamt zur Gehäusevorderseite hin geöffnet ist. In dem Basiselement 291 ist der Basisöffnungsabschnitt 291a an einem offenen Ende, der ein vorderer Endabschnitt ist, bereitgestellt. Der Basisöffnungsabschnitt 291a wird durch jeden gehäusevorderseitigen Endabschnitt des stromaufwärtigen Wandabschnitts 231, des stromabwärtigen Wandabschnitts 232, des Spitzenendwandabschnitts 235 und des Dichtungshalteabschnitts 205 gebildet und öffnet den Bypass-Flusspfad 210 und den SA-Aufnahmebereich 290 in Richtung der Gehäusevorderseite.
Das Abdeckungselement 292 bildet den vorderen Wandabschnitt 233 im Gehäuse 201 und ist insgesamt ein plattenförmiges Element. Das Abdeckungselement 292 ist an dem offenen Ende des Basiselements 291 befestigt und schließt den Basisöffnungsabschnitt 291a. Im Gehäuse 201 sind zwischen dem Basiselement 291 und dem Abdeckungselement 292 der Kanalflusspfad 211, der Messflusspfad 212 und der SA-Aufnahmebereich 290 bereitgestellt.
Im Gehäuse 201 hat der erste Zwischenwandabschnitt 236 einen ersten Basisvorsprungabschnitt 295 und einen ersten Abdeckungsvorsprungsabschnitt 297. Der erste Basisvorsprungabschnitt 295 ist ein Vorsprungsabschnitt, der von dem hinteren Wandabschnitt 234 des Basiselements 291 in Richtung des Abdeckungselements 292 vorsteht. Der erste Basisvorsprungabschnitt 295 hat einen ersten Aussparungsabschnitt 295a. Der erste Aussparungsabschnitt 295a ist ein Aussparungsabschnitt, der an der vorderen Endfläche des ersten Basisvorsprungabschnitts 295 bereitgestellt ist und den ersten Basisvorsprungabschnitt 295 in Höhenrichtung Y durchdringt. Der erste Abdeckungsvorsprungsabschnitt 297 ist ein Vorsprungsabschnitt, der von dem vorderen Wandabschnitt 233 des Abdeckungselements 292 in Richtung des Basiselements 291 vorsteht. Der erste Abdeckungsvorsprungsabschnitt 297 tritt in den ersten Aussparungsabschnitt 295a ein. In dem ersten Zwischenwandabschnitt 236 sind die Spitzenendfläche des ersten Abdeckungsvorsprungsabschnitts 297 und die Bodenfläche des ersten Aussparungsabschnitts 295a voneinander getrennt, und dieser getrennte Abschnitt ist das erste Zwischenloch 236a.
Im Gehäuse 201 hat der zweite Zwischenwandabschnitt 237 einen zweiten Basisvorsprungabschnitt 296 und einen zweiten Abdeckungsvorsprungsabschnitt 298. Der zweite Basisvorsprungabschnitt 296 ist ein Vorsprungsabschnitt, der von dem hinteren Wandabschnitt 234 des Basiselements 291 in Richtung des Abdeckungselements 292 vorsteht. Der zweite Basisvorsprungabschnitt 296 hat einen zweiten Aussparungsabschnitt 296a. Der zweite Aussparungsabschnitt 296a ist ein Aussparungsabschnitt, der an der vorderen Endfläche des zweiten Basisvorsprungabschnitts 296 bereitgestellt ist und den zweiten Basisvorsprungabschnitt 296 in der Höhenrichtung Y durchdringt. Der zweite Abdeckungsvorsprungsabschnitt 298 ist ein Vorsprungsabschnitt, der von dem vorderen Wandabschnitt 233 des Abdeckungselements 292 in Richtung des Basiselements 291 vorsteht. Der zweite Abdeckungsvorsprungsabschnitt 298 tritt in den zweiten Aussparungsabschnitt 296a ein. In dem zweiten Zwischenwandabschnitt 237 sind die Spitzenendfläche des zweiten Abdeckungsvorsprungsabschnitts 298 und die Bodenfläche des zweiten Aussparungsabschnitts 296a voneinander getrennt, und dieser getrennte Abschnitt ist das zweite Zwischenloch 237a.
Der erste Basisvorsprungabschnitt 295 und der zweite Basisvorsprungabschnitt 296 sind in dem Basiselement 291 enthalten. Diese Basisvorsprungabschnitte 295 und 296 stehen von dem hinteren Wandabschnitt 234 des Basiselements 291 in Richtung des Abdeckungselements 292 vor. Die Aussparungsabschnitte 295a und 296a sind auf den Spitzenendflächen der Basisvorsprungabschnitte 295 und 296 bereitgestellt. Der erste Aussparungsabschnitt 295a ist an einer mittigen Position des ersten Basisvorsprungabschnitts 295 in Tiefenrichtung Z bereitgestellt. Der zweite Aussparungsabschnitt 296a ist an einer mittigen Position des zweiten Basisvorsprungabschnitts 296 in Tiefenrichtung Z bereitgestellt.
Der erste Abdeckungsvorsprungsabschnitt 297 und der zweite Abdeckungsvorsprungsabschnitt 298 sind in dem Abdeckungselement 292 enthalten. Diese Abdeckungsvorsprungsabschnitte 297 und 298 stehen von dem vorderen Wandabschnitt 233 des Abdeckungselements 292 in Richtung des Basiselements 291 vor.
Der Gehäusetrennabschnitt 271 enthält einen Basisvorsprung 271a und einen Abdeckungsvorsprung 271b. Der Basisvorsprung 271a ist in dem Basiselement 291 enthalten. Der Basisvorsprung 271 a ist ein Vorsprung, der auf der inneren Umfangsfläche des ersten Aussparungsabschnitts 295a im ersten Basisvorsprungabschnitt 295 bereitgestellt ist. Der Basisvorsprung 271a, der an der Bodenfläche des ersten Aussparungsabschnitts 295a bereitgestellt ist, erstreckt sich in Breitenrichtung X zum Abdeckungselement 292. Der Basisvorsprung 271a, der an jedem der beiden Wandflächen des ersten Aussparungsabschnitts 295a bereitgestellt ist, erstreckt sich in der Tiefenrichtung Z in einem Zustand, in dem er einander gegenüberliegt. Die Trennungsdistanz zwischen den Basisvorsprüngen 271a, die durch das Bereitstellen auf jeder der beiden Wandflächen einander zugewandt sind, ist geringfügig kleiner als die Breitendimension in der Tiefendimension Z des Abschnitts des Sensors SA220, der in den ersten Aussparungsabschnitt 295a eingesetzt werden soll.
Der Abdeckungsvorsprung 271b ist in dem Abdeckungselement 292 enthalten. Der Abdeckungsvorsprung 271b ist ein Vorsprung, der an der Spitzenendfläche des ersten Basisvorsprungabschnitts 295 bereitgestellt ist und sich in der Breitenrichtung X in Richtung des Basiselements 291 erstreckt.
Als nächstes wird das Herstellungsverfahren des Luftflussmessers 200 unter Bezugnahme auf 63 und 64 beschrieben, wobei der Schwerpunkt auf einem Vorgang zur Befestigung des Sensors SA220 am Gehäuse 201 liegt.
Der Herstellungsprozess des Luftflussmessers 200 enthält einen Herstellungsprozess des Sensors SA220, einen Herstellungsprozess des Basiselements 291 und einen Herstellungsprozess des Abdeckungselements 292. Nach diesen Schritten wird ein Montageprozess des Sensors SA220, des Basiselements 291 und des Abdeckungselements 292 aneinander ausgeführt.
In dem Herstellungsprozess des Sensors SA220 wird der Formabschnitt 225 des Sensors SA220 durch Harzformung oder dergleichen unter Verwendung einer Spritzformvorrichtung mit einer Spritzformmaschine und einer Formvorrichtung hergestellt. Bei diesem Prozess wird, ähnlich wie bei dem Herstellungsprozess des Formabschnitts 55 der ersten Ausführungsform, ein geschmolzenes Harz, das durch Schmelzen eines Harzmaterials erhalten wird, von einer Spritzformmaschine eingespritzt und in die Formvorrichtung eingepresst. In diesem Prozess wird ein wärmehärtendes Harz auf Epoxidbasis, wie z.B. ein Epoxidharz, als Harzmaterial zur Bildung des Formabschnitts 225 verwendet.
In dem Herstellungsprozess des Basiselements 291 wird das Basiselement 291 durch Harzformen oder dergleichen unter Verwendung einer Spritzformvorrichtung oder dergleichen hergestellt. Im Herstellungsprozess des Abdeckungselements 292 wird das Abdeckungselement 292 durch Harzformen oder dergleichen unter Verwendung einer Spritzform oder dergleichen hergestellt. In diesem Prozess wird ein thermoplastisches Harz wie Polybutylenterephthalat (PBT) oder Polyphenylensulfid (PPS) als Harzmaterial verwendet, das das Basiselement 291 und das Abdeckungselement 292 bildet. Das Basiselement 291 und das Abdeckungselement 292, die auf diese Weise aus dem thermoplastischen Harz gebildet werden, sind weicher als der Formabschnitt 225, der aus dem wärmehärtenden Harz gebildet wird. Mit anderen Worten, das Basiselement 291 und das Abdeckungselement 292 haben eine geringere Härte und eine höhere Flexibilität als der Formabschnitt 225.
In dem Montageprozess des Sensors SA220, des Basiselements 291 und des Abdeckungselements 292 in 63 und 64 wird zunächst eine Arbeit des Einsetzens des Sensors SA220 in das Basiselement 291 von dem Basisöffnungsabschnitt 291a aus ausgeführt. Bei dieser Arbeit wird der Sensor SA220 zwischen dem ersten Basisvorsprungabschnitt 295 und dem zweiten Basisvorsprungabschnitt 296 durch Einsetzen des Leitungsanschlusses 223a in den zweiten Aussparungsabschnitt 296a eingebaut, während die SA-Flusspfadfläche 145 des Sensors SA220 in den ersten Aussparungsabschnitt 295a eingesetzt wird. Hier wird der Sensor SA220, nachdem die SA-Flusspfadfläche 285 des Sensors SA220 mit dem Basisvorsprung 271a des ersten Basisvorsprungabschnitts 295 in Kontakt gekommen ist, ferner in das Basiselement 291 in Richtung des hinteren Wandabschnitts 234 gedrückt. In diesem Fall wird der Basisvorsprung 271a aufgrund der geringeren Härte des Basiselements 291 gegenüber der Härte des Formabschnitts 225 so verformt, dass sein Basisvorsprungabschnitt in Richtung der Gehäuserückseite auf der SA-Flusspfadfläche 285 zerdrückt wird.
Wie oben beschrieben, ist an der inneren Umfangsfläche des ersten Aussparungsabschnitts 295a des Basiselements 291 der Basisvorsprung 271a an jeder der beiden einander zugewandten Wandflächen bereitgestellt. In dieser Konfiguration schabt der Sensor SA220 durch einfaches Anbringen des Sensors SA220 zwischen den beiden Wandflächen den Spitzenendabschnitt des Basisvorsprungs 271a der Wandfläche mit der SA-Flusspfadfläche 285 ab, und der Basisvorsprung 271a der Wandfläche wird verformt. Infolgedessen wird der Spitzenendabschnitt des Basisvorsprungs 271a abgeschabt, so dass die neu gebildete Spitzenendfläche leicht in engen Kontakt mit der SA-Flusspfadfläche 285 des Sensors SA220 kommt.
Wenn der Sensor SA220 in den ersten Aussparungsabschnitt 295a geschoben wird, zerdrückt die SA-Flusspfadfläche 285 des Sensors SA220 den Basisvorsprung 271a auf der Bodenfläche der inneren Umfangsfläche des ersten Aussparungsabschnitts 295a in Richtung des hinteren Wandabschnitts 234. In diesem Fall wird der Basisvorsprung 271a an der Bodenfläche so verformt, dass er durch die SA-Flusspfadfläche 285 zerdrückt wird, und der Endabschnitt des Basisvorsprungs 271a wird zerdrückt, so dass eine neu gebildete Endabschnittfläche leicht in engen Kontakt mit der SA-Flusspfadfläche 285 des Sensors SA220 gebracht wird.
Wie oben beschrieben, ist in dem Abdeckungselement 292 der Abdeckungsvorsprung 271b an der Spitzenendfläche des ersten Abdeckungsvorsprungsabschnitts 297 bereitgestellt. In dieser Konfiguration wird der Abdeckungsvorsprung 271b des Abdeckungselements 292 bei der Montage des Abdeckungselements 292 mit dem Basiselement 291 gegen die SA-Flusspfadfläche 285 des Sensors SA220 gedrückt. Daher wird durch einfaches Drücken des Abdeckungselements 292 gegen das Basiselement 291 der Spitzenendabschnitt des Abdeckungsvorsprungs 271b des ersten Abdeckungsvorsprungsabschnitts 297 so verformt, dass er von der SA-Flusspfadfläche 285 zerdrückt wird. In diesem Fall wird der Spitzenendabschnitt des Abdeckungsvorsprungs 271b zerdrückt, so dass eine neu gebildete Spitzenendfläche leicht in engen Kontakt mit der SA-Flusspfadfläche 285 des Sensors SA220 kommt.
Das Abdeckungselement 292 ist an dem Basiselement 291 derart angebracht, dass das Abdeckungselement 292 den Basisöffnungsabschnitt 291a und den Sensor SA220 abdeckt. Dabei wird der erste Abdeckungsvorsprungsabschnitt 297 des Abdeckungselements 292 in den ersten Aussparungsabschnitt 295a eingesetzt. Dabei wird das Abdeckungselement 292, nachdem der Abdeckungsvorsprung 271b an der Spitzenendfläche des ersten Abdeckungsvorsprungsabschnitts 297 mit der SA-Flusspfadfläche 285 des Sensors SA220 in Kontakt gekommen ist, weiter gegen den Sensor SA220 in Richtung der Innenseite des Basiselements 291 gedrückt. In diesem Fall wird der Abdeckungsvorsprung 271b aufgrund der geringeren Härte des Abdeckungselements 292 gegenüber der Härte des Formabschnitts 225 so verformt, dass sein vorderer Endabschnitt in Richtung der Gehäusevorderseite auf der SA-Flusspfadfläche 285 zerdrückt wird. Infolgedessen wird die Spitzenendfläche des Abdeckungsvorsprungs 271b in dem zerdrückten Zustand leicht in engen Kontakt mit der SA-Flusspfadfläche 285 gebracht, und die Dichtheit zwischen dem Abdeckungsvorsprung 271b und der SA-Flusspfadfläche 285 wird verbessert.
In der ersten Ausführungsform ist der durch den Sensor SA220 zerdrückte Abschnitt des Gehäusetrennabschnitts 131 durch die Zweipunkt-Kettenlinie in 17 dargestellt, aber in der vorliegenden Ausführungsform ist der Abschnitt des Basisvorsprungs 271a und des Abdeckungsvorsprungs 271b, der durch den Sensor SA220 zerdrückt wird, nicht durch die Zweipunkt-Kettenlinie dargestellt.
Danach werden der Sensor SA220, das Basiselement 291 und das Abdeckungselement 292 durch Verbinden eines Kontaktabschnitts zwischen dem Basiselement 291 und dem Abdeckungselement 292 mit einem Klebstoff oder dergleichen fest miteinander verbunden. In diesem Fall wird das Gehäuse 201 durch Integrieren des Basiselements 291 und des Abdeckungselements 292 gebildet. In diesem Fall wird der Gehäusetrennabschnitt 271 durch den Basisvorsprung 271a und den Abdeckungsvorsprung 271b gebildet.
Gemäß der bisher beschriebenen Ausführungsform trennt der von der inneren Fläche des Gehäuses 201 vorstehende Gehäusetrennabschnitt 271 den Messflusspfad 212 und den SA-Aufnahmebereich 290 zwischen dem Sensor SA220 und dem Gehäuse 201. Da bei dieser Konfiguration der Spitzenendabschnitt des Gehäusetrennabschnitts 271 und der Sensor SA220 leicht in engen Kontakt miteinander gebracht werden können, ist es weniger wahrscheinlich, dass ein Spalt zwischen der inneren Fläche des Gehäuses 201 und der äußeren Fläche des Sensors SA220 erzeugt wird. Daher wird, wenn der gefüllte Abschnitt durch Injektion des geschmolzenen Gussharzes in den SA-Aufnahmebereich 290 des Gehäuses 201 gebildet wird, das Gussharz daran gehindert, durch den Spalt zwischen dem Gehäuse 201 und dem Sensor SA220 in den Messflusspfad 212 einzudringen.
In diesem Fall ist es weniger wahrscheinlich, dass das geschmolzene Harz, das durch den Spalt zwischen dem Gehäuse 201 und dem Sensor SA220 in den Messflusspfad 212 eintritt, verfestigt wird und die Form des Messflusspfads 212 aufgrund des verfestigten Abschnitts ungewollt verändert wird. Es ist weniger wahrscheinlich, dass sich der verfestigte Abschnitt von dem Gehäuse 201 und dem Sensor SA220 im Messflusspfad 212 trennt und als Fremdkörper mit dem Flusssensor 202 in Kontakt kommt oder daran haftet. Daher kann eine Verringerung der Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 202 durch das Eindringen des geschmolzenen Harzes in den Messflusspfad 212 von dem SA-Aufnahmebereich 290 aus unterdrückt werden. Infolgedessen kann die Erfassungsgenauigkeit der Flussrate durch den Flusssensor 202 verbessert werden, und infolgedessen kann die Messgenauigkeit der Flussrate durch den Luftflussmesser 200 verbessert werden.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform umgibt der Gehäusetrennabschnitt 271 ringförmig den Sensor SA220. In dieser Konfiguration kann der Gehäusetrennabschnitt 271 einen Zustand schaffen, in dem die äußere Fläche des Sensors SA220 und die innere Fläche des Gehäuses 201 über den gesamten Umfang der äußeren Fläche des Sensors SA220 in engem Kontakt zueinander stehen. Daher kann der Gehäusetrennabschnitt 271 die Dichtheit des gesamten Abschnitts der Grenze zwischen dem Messflusspfad 212 und dem SA-Aufnahmebereich 290 verbessern.
In der vorliegenden Ausführungsform ist der Gehäusetrennabschnitt 271 an der Gehäuseflusspfadfläche 275 bereitgestellt. In dieser Ausführungsform kann durch Teilen des Messflusspfads 212 und des SA-Aufnahmebereichs 290 durch den Gehäusetrennabschnitt 271 an einer Position möglichst nahe an der Seite des Messflusspfads 212 ein Abschnitt des Spalts zwischen dem Gehäuse 201 und dem Sensor SA220, der im Messflusspfad 32 enthalten ist, so klein wie möglich gemacht werden. Hier, im Messflusspfad 212, ist der Spalt zwischen dem Gehäuse 201 und dem Sensor SA220 ein Bereich, in dem es wahrscheinlich ist, dass Störungen im Luftfluss durch die Luft erzeugt werden, die vom Messeingang 215 in Richtung des Messausgangs 216 einfließt. Je kleiner der Spalt zwischen dem Gehäuse 201 und dem Sensor SA220 ist, desto weniger Störungen werden wahrscheinlich im Luftfluss im Messflusspfad 212 erzeugt, und die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 202 wird wahrscheinlich verbessert. Daher kann die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 202 durch Bereitstellen des Gehäusetrennabschnitts 271 auf der Gehäuseflusspfadfläche 275 verbessert werden.
(Dritte Ausführungsform)
In der ersten Ausführungsform ist der Kanalflusspfad 31 in der Höhenrichtung Y von dem Kanaleingang 33 zu dem Messeingang 35 nicht wesentlich verengt. In der dritten Ausführungsform ist der Kanalflusspfad 31 jedoch in der Höhenrichtung Y von dem Kanaleingang 33 zu dem Messeingang 35 hin verengt. In der vorliegenden Ausführungsform sind die Komponenten, die durch dieselben Bezugszeichen wie in den Zeichnungen der ersten Ausführungsform gekennzeichnet sind, und die Konfigurationen, die nicht beschrieben werden, denen der ersten Ausführungsform ähnlich und erzielen dieselben Funktionen und Wirkungen. In der vorliegenden Ausführungsform werden hauptsächlich Differenzen von der ersten Ausführungsform beschrieben.
<Beschreibung der Konfigurationsgruppe C>
Wie in 65 und 66 gezeigt, enthält der Kanalflusspfad 31 einen Eingangskanalpfad 331, einen Ausgangskanalpfad 332 und einen Zweigkanalpfad 333. Der Eingangskanalpfad 331 erstreckt sich von dem Kanaleingang 33 in Richtung des Kanalausgangs 34 und verläuft zwischen dem Kanaleingang 33 und dem stromaufwärtigen Endabschnitt des Messeingangs 35. Der Ausgangskanalpfad 332 erstreckt sich von dem Kanalausgang 34 in Richtung des Kanaleingangs 33 und verläuft zwischen dem Kanalausgang 34 und dem stromabwärtigen Endabschnitt des Messeingangs 35. Der Zweigkanalpfad 333 ist zwischen dem Eingangskanalpfad 331 und dem Ausgangskanalpfad 332 bereitgestellt und verbindet den Eingangskanalpfad 331 mit dem Ausgangskanalpfad 332. Der Zweigkanalpfad 333 erstreckt sich in Tiefenrichtung Z entlang des Messeingangs 35 und ist ein Abschnitt des Kanalflusspfads 31, von dem der Messflusspfad 32 abgezweigt ist. Der Zweigkanalpfad 333 erstreckt sich von dem Messeingang 35 in Richtung der Gehäusespitzenendseite.
Die innere Fläche des Gehäuses 21 hat die Kanaldeckenfläche 341 und die Kanalbodenfläche 345 als den Kanalflusspfad 31 bildende Formationsflächen. Die Kanaldeckenfläche 341 und die Kanalbodenfläche 345 sind in der Höhenrichtung Y angeordnet, und der Kanalflusspfad 31 ist zwischen der Kanaldeckenfläche 341 und der Kanalbodenfläche 345 bereitgestellt. Die Kanaldeckenfläche 341 und die Kanalbodenfläche 345 erstrecken sich zwischen dem Kanaleingang 33 und dem Kanalausgang 34. Die Kanaldeckenfläche 341 und die Kanalbodenfläche 345 schneiden beide die Höhenrichtung Y und erstrecken sich in die Breitenrichtung X und die Tiefenrichtung Z. Die Kanaldeckenfläche 341 ist mit dem Messausgang 36 bereitgestellt.
Die Kanaldeckenfläche 341 hat eine Eingangsdeckenfläche 342 und eine Ausgangsdeckenfläche 343. Die Eingangsdeckenfläche 342 bildet die Deckenfläche des Eingangskanalpfads 331 und erstreckt sich zwischen dem Kanaleingang 33 und einem stromaufwärtigen Endabschnitt des Messeingangs 35 in der Tiefenrichtung Z. Dabei entspricht die Tiefenrichtung Z einer Richtung, in der der Kanaleingang 33 und der Kanalausgang 34 angeordnet sind. Die Eingangsdeckenfläche 342 erstreckt sich gerade von dem Kanaleingang 33 in Richtung des stromaufwärtigen Endabschnitts des Messeingangs 35. Die Ausgangsdeckenfläche 343 bildet die Deckenfläche des Ausgangskanalpfads 332 und erstreckt sich zwischen dem Kanalausgang 34 und dem stromabwärtigen Endabschnitt des Messeingangs 35. Die Ausgangsdeckenfläche 343 erstreckt sich gerade vom Kanalausgang 34 in Richtung des stromabwärtigen Endabschnitts des Messeingangs 35.
Die Kanalbodenfläche 345 hat eine Eingangsbodenfläche 346, eine Ausgangsbodenfläche 347 und eine Zweigbodenfläche 348. Die Eingangsbodenfläche 346 bildet die Bodenfläche des Eingangskanalpfads 331 und erstreckt sich von dem Kanaleingang 33 in Richtung des Kanalausgangs 34. Die Eingangsbodenfläche 346 und die Eingangsdeckenfläche 342 sind einander zugewandt, wobei sich der Eingangskanalpfad 331 und der Kanaleingang 33 dazwischen befinden. Die Ausgangsbodenfläche 347 bildet die Bodenfläche des Ausgangskanalpfads 332 und erstreckt sich vom Kanalausgang 34 zum Kanaleingang 33. Die Ausgangsbodenfläche 347 und die Ausgangsdeckenfläche 343 sind einander zugewandt, wobei der Ausgangskanalpfad 332 und der Kanalausgang 34 dazwischen angeordnet sind. Die Zweigbodenfläche 348 bildet die Bodenfläche des Zweigkanalpfads 333. Die Zweigbodenfläche 348 ist zwischen der Eingangsbodenfläche 346 und der Ausgangsbodenfläche 347 bereitgestellt und verbindet die Eingangsbodenfläche 346 mit der Ausgangsbodenfläche 347. Die Zweigbodenfläche 348 ist dem Messeingang 35 zugewandt, wobei der Zweigkanalpfad 333 dazwischen angeordnet ist.
Die Eingangsdeckenfläche 342 und die Ausgangsdeckenfläche 343 erstrecken sich beide gerade in Tiefenrichtung Z und sind parallel zueinander. Die Deckenflächen 342 und 343 erstrecken sich gerade in Breitenrichtung X und sind parallel zueinander. Die Kanalbodenfläche 345 erstreckt sich gerade in Tiefenrichtung Z und ist parallel zu den Deckenflächen 342 und 343. Die Kanalbodenfläche 345 erstreckt sich gerade in Breitenrichtung X und ist parallel zu den Deckenflächen 342 und 343. Wie oben beschrieben, haben der Kanaleingang 33 und der Kanalausgang 34 eine rechteckige Form, weil sich die Deckenflächen 342 und 343 und die Kanalbodenfläche 345 gerade in Breitenrichtung X erstrecken und die später beschriebenen Kanalwandflächen 631 und 632 (siehe 45) gerade in Höhenrichtung Y verlaufen.
Die Eingangsdeckenfläche 342, die Ausgangsdeckenfläche 343 und die Kanalbodenfläche 345 können so gekrümmt sein, dass Abschnitte zwischen den jeweiligen stromaufwärtigen Endabschnitten und den stromabwärtigen Endabschnitten in der Tiefenrichtung Z ausgespart oder gewölbt sind. Die Eingangsdeckenfläche 342, die Ausgangsdeckenfläche 343 und die Kanalbodenfläche 345 können so gekrümmt sein, dass ein Abschnitt zwischen den Kanalwandflächen 631 und 632 in der Breitenrichtung X ausgespart oder gewölbt ist. Wie oben beschrieben, können der Kanaleingang 33 und der Kanalausgang 34 so gekrümmt sein, dass mindestens eine Seite ausgespart oder gewölbt ist. Das heißt, der Kanaleingang 33 und der Kanalausgang 34 haben möglicherweise keine rechteckige Form. Da beispielsweise die Eingangsdeckenfläche 342, die Ausgangsdeckenfläche 343 und die Kanalbodenfläche 345 so gekrümmt sind, dass sich ein Abschnitt zwischen den Kanalwandflächen 631 und 632 wölbt, können der Kanaleingang 33 und der Kanalausgang 34 eine gekrümmte Form haben, so dass jede Seite, die sich in Breitenrichtung X erstreckt, gewölbt ist.
Die Eingangsdeckenfläche 342 ist in Bezug auf die Eingangsbodenfläche 346 so geneigt, dass sie der Seite des Kanaleingangs 33 zugewandt ist. Ein Neigungswinkel θ21 der Eingangsdeckenfläche 342 in Bezug auf die Eingangsbodenfläche 346 beträgt 10 Grad oder mehr. Das heißt, der Neigungswinkel θ21 hat den gleichen Wert wie 10 Grad oder einen Wert größer als 10 Grad, und die Beziehung von θ21 ≥ 10 ist hergestellt. Wie in 66 gezeigt, ist der Neigungswinkel θ21 unter der Annahme, dass die Bodenparallele CL21 eine imaginäre gerade Linie ist, die sich parallel zur Eingangsbodenfläche 346 erstreckt, ein Winkel eines Abschnitts zwischen der Eingangsdeckenfläche 342 und der Bodenparallelen CL21, der der Seite des Kanaleingangs 33 gegenüberliegt. In der Kanaldeckenfläche 341 ist der Neigungswinkel in Bezug auf die Bodenparallele CL21 zwischen der Eingangsdeckenfläche 342 und der Ausgangsdeckenfläche 343 unterschiedlich. Insbesondere ist der Neigungswinkel θ21 der Eingangsdeckenfläche 342 in Bezug auf die Bodenparallele CL21 größer als der Neigungswinkel der Ausgangsdeckenfläche 343 in Bezug auf die Bodenparallele CL21.
Die Eingangsdeckenfläche 342 entspricht einer Deckenschrägfläche. Die Ausführungsform der vorliegenden Ausführungsform entspricht im Wesentlichen der Ausführungsform der ersten Ausführungsform, mit der Ausnahme, dass die Eingangsdeckenfläche 342 der Seite des Kanaleingangs 33 zugewandt ist, und die Beschreibung der vorliegenden Ausführungsform bezüglich dieser Ausführungsform entspricht auch der Beschreibung der ersten Ausführungsform.
Im Eingangskanalpfad 331 nimmt eine Trennungsdistanz H21 zwischen der Eingangsdeckenfläche 342 und der Eingangsbodenfläche 346 in der Höhenrichtung Y graduell von dem Kanaleingang 33 zu dem Kanalausgang 34 hin ab. Dabei ist die Höhenrichtung Y eine Richtung orthogonal zu einer Hauptflusslinie CL22. Die Verringerungsrate der Trennungsdistanz H21 ist im Eingangskanalpfad 331 ein konstanter Wert.
Die Kanalbodenfläche 345 erstreckt sich gerade in Tiefenrichtung Z. Auf der Kanalbodenfläche 345 bilden die Eingangsbodenfläche 346, die Ausgangsbodenfläche 347 und die Zweigbodenfläche 348 die gleiche Ebene. Wie in 66 gezeigt, ist die Kanalbodenfläche 345 in Bezug auf die Hauptflusslinie CL22 so geneigt, dass sie der Seite des Kanaleingangs 33 zugewandt ist, wenn man davon ausgeht, dass die Hauptflusslinie CL22 eine imaginäre gerade Linie ist, die sich in der Tiefenrichtung Z erstreckt, die die Hauptflussrichtung ist. In diesem Fall ist die Eingangsbodenfläche 346, die Ausgangsbodenfläche 347 und die Zweigbodenfläche 348 jeweils in Bezug auf die Hauptflusslinie CL22 geneigt. Wie oben beschrieben, erstreckt sich die Hauptflusslinie CL22 aufgrund der Winkeleinstellfläche 27a des Flanschabschnitts 27, die sich in Hauptflussrichtung erstreckt, parallel zur Winkeleinstellfläche 27a.
Die Eingangsdeckenfläche 342 ist zusätzlich zu der Eingangsbodenfläche 346 in Bezug auf die Hauptflusslinie CL22 geneigt. Ein Neigungswinkel θ22 der Eingangsdeckenfläche 342 in Bezug auf die Hauptflusslinie CL22 beträgt ähnlich wie der Neigungswinkel θ21 10 Grad oder mehr. Das heißt, der Neigungswinkel θ22 hat den gleichen Wert wie 10 Grad oder einen Wert größer als 10 Grad, und die Beziehung von θ22 ≥ 10 ist gegeben. In der vorliegenden Ausführungsform ist der Neigungswinkel θ22 z.B. auf 10 Grad festgelegt. Wie in 66 gezeigt, ist der Neigungswinkel θ22 ein Winkel eines Abschnitts, der der Seite des Kanaleingangs 33 zwischen der Eingangsdeckenfläche 342 und der Hauptflusslinie CL22 gegenüberliegt. Der Neigungswinkel θ22 der Eingangsdeckenfläche 342 in Bezug auf die Hauptflusslinie CL22 ist kleiner als der Neigungswinkel θ21 der Eingangsdeckenfläche 342 in Bezug auf die Eingangsbodenfläche 346.
Der Eingangskanalpfad 331 hat eine durch mindestens die Eingangsdeckenfläche 342 und die Eingangsbodenfläche 346 graduell verengte Form von dem Kanaleingang 33 in Richtung des Kanalausgangs 34. In diesem Fall, wie in 67 gezeigt, verringert sich eine Querschnittsfläche S21 des Eingangskanalpfads 331 in den Richtungen X und Y orthogonal zur Hauptflusslinie CL22 graduell von dem Kanaleingang 33 in Richtung des Kanalausgangs 34. Die Querschnittsfläche S21 hat den größten Wert am Kanaleingang 33, der der stromaufwärtige Endabschnitt des Eingangskanalpfads 331 ist, und den kleinsten Wert am stromabwärtigen Endabschnitt des Eingangskanalpfads 331. Die Verringerungsrate der Querschnittsfläche S21 ist ein konstanter Wert im Eingangskanalpfad 331, und der Graph, der den Wert der Querschnittsfläche S21 im Eingangskanalpfad 331 angibt, erstreckt sich linear, wie in 67 gezeigt.
Der Ausgangskanalpfad 332 hat eine Form, die sich graduell von dem stromaufwärtigen Endabschnitt des Ausgangskanalpfads 332 in Richtung des Kanalausgangs 34 verengt. In diesem Fall verringert sich die Querschnittsfläche des Ausgangskanalpfads 332 in den Richtungen X und Y orthogonal zur Hauptflusslinie CL22 graduell von dem stromaufwärtigen Endabschnitt des Ausgangskanalpfads 332 in Richtung des Kanalausgangs 34. Die Querschnittsfläche des Eingangskanalpfads 331 kann auch als Flusskanalfläche des Eingangskanalpfads 331 bezeichnet werden.
Wie in 65 gezeigt, hat der Messflusspfad 32 eine gefaltete Form, die zwischen dem Messeingang 35 und dem Messausgang 36 gefaltet ist. Der Messflusspfad 32 enthält den Zweigmesspfad 351, den Führungsmesspfad 352, den Erfassungsmesspfad 353 und den Entlademesspfad 354. Im Messflusspfad 32 sind der Zweigmesspfad 351, der Führungsmesspfad 352, der Erfassungsmesspfad 353 und der Entlademesspfad 354 in dieser Reihenfolge von der Seite des Messeingangs 35 zum Messausgang 36 angeordnet.
Der Zweigmesspfad 351 erstreckt sich vom Messeingang 35 in Richtung der Gehäusebasisendseite und ist ein Abschnitt des Messflusspfads 32, der von dem Kanalflusspfad 31 abzweigt. Der Zweigmesspfad 351 bildet den Messeingang 35, und der stromaufwärtige Endabschnitt des Zweigmesspfads 351 ist der Messeingang 35. Der Zweigmesspfad 351 ist sowohl in Bezug auf die Höhenrichtung Y als auch in Bezug auf die Tiefenrichtung Z geneigt. Der Zweigmesspfad 351 ist in Bezug auf den Kanalflusspfad 31 geneigt.
Der Führungsmesspfad 352 erstreckt sich in der Höhenrichtung Y von dem stromabwärtigen Endabschnitt des Zweigmesspfads 351 in Richtung der Seite, die dem Kanalflusspfad 31 gegenüberliegt. Der Führungsmesspfad 352 leitet die aus dem Zweigmesspfad 351 einfließende Luft in Richtung des Flusssensors 22.
Der Erfassungsmesspfad 353 erstreckt sich in der Tiefenrichtung Z von dem stromabwärtigen Endabschnitt des Führungsmesspfads 352 und ist auf der gegenüberliegenden Seite des Zweigmesspfads 351 über den Führungsmesspfad 352 bereitgestellt. Der Erfassungsmesspfad 353 ist mit dem Flusssensor 22 bereitgestellt.
Der Entlademesspfad 354 erstreckt sich in der Höhenrichtung Y von dem stromabwärtigen Endabschnitt des Erfassungsmesspfads 353 in Richtung des Kanalflusspfads 31 und ist parallel zu dem Führungsmesspfad 352 bereitgestellt. Der Entlademesspfad 354 bildet den Messausgang 36, und der stromabwärtige Endabschnitt des Entlademesspfads 354 ist der Messausgang 36. In diesem Fall entlädt der Entlademesspfad 354 die vom Erfassungsmesspfad 353 fließende Luft vom Messausgang 36.
Der Entlademesspfad 354 enthält einen sich in Längsrichtung erstreckenden Pfad 354a und einen sich in Querrichtung erstreckenden Pfad 354b. Der sich in Längsrichtung erstreckende Pfad 354a erstreckt sich von dem Erfassungsmesspfad 353 in Richtung der Gehäusespitzenendseite. Der sich in Querrichtung erstreckende Pfad 354b erstreckt sich von einem Endabschnitt des sich in Längsrichtung erstreckenden Pfads 354a auf der Gehäusespitzenendseite in Richtung der stromabwärtigen Seite des Gehäuses. Der sich in Längsrichtung erstreckende Pfad 354a und der sich in Querrichtung erstreckende Pfad 354b sind in der Tiefenrichtung Z angeordnet, und ein Grenzabschnitt zwischen dem sich in Längsrichtung erstreckenden Pfad 354a und dem sich in Querrichtung erstreckenden Pfad 354b erstreckt sich in der Höhenrichtung Y. In diesem Fall ist der sich in Querrichtung erstreckende Pfad 354b zwischen dem Führungsmesspfad 352 und dem sich in Längsrichtung erstreckenden 354a in der Tiefenrichtung Z angeordnet. Daher kann im Gehäuse 21 die gesamte Länge des Messflusspfads 32 maximiert werden, wobei der Abschnitt zwischen dem Führungsmesspfad 352 und dem sich in Längsrichtung erstreckenden Pfad 354a effektiv als Abschnitt für die Installation des sich in Querrichtung erstreckenden Pfads 354b verwendet wird.
Der Messausgang 36 ist an einer Position gegenüber dem Grenzabschnitt zwischen dem sich in Längsrichtung erstreckenden Pfad 354a und dem sich in Querrichtung erstreckenden Pfad 354b in der Tiefenrichtung Z angeordnet. Der Messausgang 36 erstreckt sich von dem dem Gehäuse stromaufwärtigen Endabschnitt des sich in Querrichtung erstreckenden Pfads 354b in der Tiefenrichtung Z in Richtung der Seite des Gehäuses. Da in diesem Fall die Trennungsdistanz zwischen dem Flusssensor 22 und dem Messausgang 36 um den Betrag des sich in Querrichtung erstreckenden Pfads 354b erhöht werden kann, gelangt der Fremdkörper selbst bei inversem Eintritt des Fremdkörpers von dem Messausgang 36 kaum zum Flusssensor 22.
Im Entlademesspfad 354 enthält die äußere Messkrümmungsfläche 401 eine Messschrägfläche 354c. Die Messschrägfläche 354c ist eine abgeschrägte Fläche, die durch Abschrägen des äußeren Eckabschnitts des sich in Längsrichtung erstreckenden Pfads 354a und des sich in Querrichtung erstreckenden Pfads 354b in der äußeren Messkrümmungsfläche 401 erhalten wird, und ist sowohl in Höhenrichtung Y als auch in Tiefenrichtung Z geneigt. Die Messschrägfläche 354c leitet Wasser, wie z.B. Taukondensationswasser, zum Messausgang 36, wenn das Wasser auf der inneren Fläche des sich in Längsrichtung erstreckenden Pfads 354a zur Gehäusespitzenendseite fließt. Wie oben beschrieben, fließt das Wasser im Entlademesspfad 354 durch die Messschrägfläche 354c und wird von dem Messausgang 36 nach außen entladen, wodurch selbst bei einer Neigung der Fahrzeugkarosserie verhindert wird, dass sich das Wasser an dem äußeren Eckabschnitt des sich in Längsrichtung erstreckenden Pfads 354a und des sich in Querrichtung erstreckenden Pfads 354b ansammelt. Die Messschrägfläche 354c kann auch als schräge Abflussfläche bezeichnet werden.
Im Gehäuse 21 ist zwischen dem Entlademesspfad 354 und dem Kanalflusspfad 31 ein Hohlraumabschnitt 356 bereitgestellt. Der Hohlraumabschnitt 356 kommuniziert nicht mit dem Kanalflusspfad 31 und dem Messflusspfad 32 innerhalb des Gehäuses 21 und ist ein geschlossener Raum. Der Hohlraumabschnitt 356 kann auch als ein verdünnter Abschnitt bezeichnet werden.
Wie in 66 gezeigt, hat der Zweigmesspfad 351 einen Abschnitt, der sich gerade von dem Messeingang 35 in Richtung des Führungsmesspfads 352 erstreckt. Wenn die Mittellinie dieses Zweigs als Zweigmesslinie CL23 bezeichnet wird, erstreckt sich die Zweigmesslinie CL23 geradlinig in einem Zustand, in dem sie in Bezug auf die Eingangsdeckenfläche 342 geneigt ist. Die Zweigmesslinie CL23 erstreckt sich schräg vom Messeingang 35 in Richtung der stromabwärtigen Seite des Zweigmesspfads 351 auf der dem Kanaleingang 33 gegenüberliegenden Seite. Mit anderen Worten, die Zweigmesslinie CL23 erstreckt sich schräg auf der Seite des Kanalausgangs 34 von dem Messeingang 35 in Richtung der stromabwärtigen Seite des Zweigmesspfads 351.
In 66 ist die innere Fläche des Gehäuses 21 an dem Abschnitt des Zweigs zwischen dem Kanalflusspfad 31 und dem Messflusspfad 32 abgeschrägt, aber die Zweigmesslinie CL23 ist unter der Annahme einer Konfiguration ohne diese Abschrägung festgelegt. Die Zweigmesslinie CL23 ist auch eine Verlängerungslinie, die durch das Erstrecken der Mittellinie des Zweigmesspfads 351 am Messeingang 35 in Richtung des Kanalflusspfads 31 erhalten wird.
Die Zweigmesslinie CL23 ist in Bezug auf die Eingangsbodenfläche 346 geneigt. Ein Neigungswinkel θ23 der Zweigmesslinie CL23 in Bezug auf die Eingangsbodenfläche 346 beträgt 90 Grad oder mehr. Das heißt, der Neigungswinkel θ23 hat den gleichen Wert wie 90 Grad oder einen größeren Wert als 90 Grad, und die Beziehung von θ23 ≥ 90 ist hergestellt. Der Neigungswinkel θ23 ist ein Winkel eines Abschnitts zwischen der Bodenparallele CL21 und der Zweigmesslinie CL23, der der Seite des Kanaleingangs 33 gegenüberliegt. Im Bereich von 90 Grad oder mehr beträgt θ23 vorzugsweise 150 Grad oder weniger, und noch bevorzugter 120 Grad oder weniger.
Die Zweigmesslinie CL23 ist in Bezug auf die Hauptflusslinie CL22 zusätzlich zur Eingangsbodenfläche 346 geneigt. Ein Neigungswinkel θ24 der Zweigmesslinie CL23 in Bezug auf die Hauptflusslinie CL22 beträgt 90 Grad oder mehr, ähnlich dem Neigungswinkel θ23. Das heißt, der Neigungswinkel θ24 hat den gleichen Wert wie 90 Grad oder einen Wert größer als 90 Grad, und die Beziehung von θ24 ≥ 90 ist gegeben. Der Neigungswinkel θ24 ist ein Winkel eines Abschnitts zwischen der Hauptflusslinie CL22 und der Zweigmesslinie CL23, der der Seite des Kanaleingangs 33 zugewandt ist. Der Neigungswinkel θ24 ist in dem stumpfen Winkel enthalten. Im Bereich von 90 Grad oder mehr beträgt θ24 vorzugsweise 150 Grad oder weniger, und noch bevorzugter 120 Grad oder weniger.
Die Neigungswinkel θ23 und θ24 sind in dem stumpfen Winkel enthalten. Die Zweigmesslinie CL23 ist in Bezug auf die Eingangsdeckenfläche 342 zusätzlich zu der Eingangsbodenfläche 346 und der Hauptflusslinie CL22 geneigt. Der Neigungswinkel der Zweigmesslinie CL23 in Bezug auf die Eingangsdeckenfläche 342 beträgt 10 Grad oder mehr, ähnlich den Neigungswinkeln θ23 und θ24.
Der Zweigmesspfad 351 ist in Bezug auf den Eingangskanalpfad 331 geneigt. In diesem Fall ist die Zweigmesslinie CL23, die die Mittellinie des Zweigmesspfads 351 ist, in Bezug auf eine Eingangskanallinie CL24 geneigt, die die Mittellinie des Eingangskanalpfads 331 ist. Ein Neigungswinkel θ25 der Zweigmesslinie CL23 in Bezug auf die Eingangskanallinie CL24 beträgt 90 Grad oder mehr. Das heißt, der Neigungswinkel θ25 hat den gleichen Wert wie 90 Grad oder einen Wert größer als 90 Grad, und die Beziehung von θ25 ≥ 90 ist hergestellt. Der Neigungswinkel θ25 ist ein Winkel eines Abschnitts zwischen der Zweigmesslinie CL23 und der Eingangskanallinie CL24, der der Seite des Kanaleingangs 33 zugewandt ist. Die Eingangskanallinie CL24 ist eine gerade imaginäre Linie, die durch die Mitte CO21 des Messeingangs 35, der der stromaufwärtige Endabschnitt des Eingangskanalpfads 331 ist, und eine Mitte CO22 des stromabwärtigen Endabschnitts des Eingangskanalpfads 331 verläuft.
Der Zweigmesspfad 351 ist in Bezug auf den Ausgangskanalpfad 332 geneigt. In diesem Fall ist die Zweigmesslinie CL23 in Bezug auf eine Ausgangskanallinie CL25 geneigt, die die Mittellinie des Ausgangskanalpfads 332 ist. Ein Neigungswinkel θ26 der Zweigmesslinie CL23 in Bezug auf die Ausgangskanallinie CL25 beträgt 60 Grad oder weniger. Das heißt, der Neigungswinkel θ26 hat den gleichen Wert wie 60 Grad oder einen Wert kleiner als 60 Grad, und die Beziehung von θ26 ≤ 60 ist hergestellt. Der Neigungswinkel θ26 wird z. B. auf 60 Grad festgelegt. Die Ausgangskanallinie CL25 ist eine gerade imaginäre Linie, die durch eine Mitte CO23 des stromaufwärtigen Endabschnitts des Ausgangskanalpfads 332 und eine Mitte CO24 des Kanalausgangs 34 verläuft, der den stromabwärtigen Endabschnitt des Ausgangskanalpfads 332 darstellt. Die Ausgangskanallinie CL25 ist in Bezug auf die Eingangskanallinie CL24 geneigt.
Der Neigungswinkel θ26 der Zweigmesspfadlinie CL23 in Bezug auf die Ausgangskanallinie CL25 ist ein Neigungswinkel des Zweigmesspfads 351 in Bezug auf den Zweigkanalpfad 333 und entspricht einem Abzweigwinkel, der einen Winkel angibt, in dem der Messflusspfad 32 von dem Kanalflusspfad 31 abzweigt.
Als nächstes wird ein Flussmodus der Luft im Bypass-Flusspfad 30 unter Bezugnahme auf 68 bis 71 beschrieben. Der durch den Ansaugkanal 12 fließende Luftfluss enthält die Hauptflüsse AF21 und AF22 sowie die Driftflüsse AF23 bis AF26.
Wie in 68 gezeigt, fließen die Hauptflüsse AF21 und AF22 in der Hauptflussrichtung entlang der Hauptflusslinie CL22 im Ansaugkanal 12 und fließen von dem Kanaleingang 33 in den Eingangskanalpfad 331 in der Flussrichtung, wie sie ist. Von den Hauptflüssen AF21 und AF22 fließt der Hauptfluss AF21 von dem Kanaleingang 33 zur Seite der Eingangsdeckenfläche 342 in Richtung der Eingangsdeckenfläche 342, und bei der Annäherung an die Eingangsdeckenfläche 342 wird die Flussrichtung durch die Eingangsdeckenfläche 342 geändert. In diesem Fall ändert die Eingangsdeckenfläche 342 die Verlaufsrichtung des Hauptflusses AF21 in Richtung der Kanalbodenfläche 345. Selbst wenn also ein Fremdkörper, wie z.B. Staub, von dem Kanaleingang 33 zusammen mit dem Hauptfluss AF21 eintritt, bewegt sich der Fremdkörper leicht in Richtung der Kanalbodenfläche 345, und der Fremdkörper dringt kaum in den Messeingang 35 ein.
Andererseits bewegt sich der Hauptfluss AF22, der vom Kanaleingang 33 zur Seite der Eingangsbodenfläche 346 fließt, in Richtung der Kanalbodenfläche 345, wie z.B. der Eingangsbodenfläche 346 und der Zweigbodenfläche 348, und wenn er sich der Kanalbodenfläche 345 nähert, wird die Richtung des Flusses durch die Kanalbodenfläche 345 verändert. In diesem Fall ändert die Kanalbodenfläche 345 die Verlaufsrichtung des Hauptflusses AF22 in Richtung des Kanalausgangs 34. Selbst wenn der Fremdkörper von dem Kanaleingang 33 zusammen mit dem Hauptfluss AF22 eintritt, bewegt sich der Fremdkörper daher leicht in Richtung des Kanalausgangs 34 entlang der Kanalbodenfläche 345, und der Fremdkörper tritt kaum in den Messeingang 35 ein.
Wie in 69 und 70 gezeigt, fließen die Driftflüsse AF23 bis AF26 durch den Ansaugkanal 12 in einer Richtung, die in Bezug auf die Hauptflusslinie CL22 und die Hauptflussrichtung geneigt ist, und fließen von dem Kanaleingang 33 zu dem Eingangskanalpfad 331, wobei die Richtung des Flusses so ist, wie sie ist.
Wie in 69 gezeigt, sind unter den Driftflüssen AF23 bis AF26 die Abwärtsdriftflüsse AF23 und AF24 Luftflüsse, die im Ansaugkanal 12 schräg von der Gehäusebasisendseite zur Gehäusespitzenendseite um das Gehäuse 21 herum verlaufen. Hier werden Luftflüsse, deren Neigungswinkel in Bezug auf die Hauptflusslinie CL22 kleiner ist als der der Eingangsdeckenfläche 342, als Abwärtsdriftflüsse AF23 und AF24 bezeichnet.
Von den Abwärtsdriftflüssen AF23 und AF24 fließt der Abwärtsdriftfluss AF23, der von dem Kanaleingang 33 in Richtung der Eingangsdeckenfläche 342 fließt, leicht entlang der Eingangsdeckenfläche 342 in Richtung der Kanalbodenfläche 345. Insbesondere dann, wenn der Neigungswinkel in Bezug auf die Hauptflussrichtung zwischen dem Abwärtsdriftfluss AF23 und der Eingangsdeckenfläche 342 im Wesentlichen derselbe ist, ist es unwahrscheinlich, dass sich die Richtung des Abwärtsdriftflusses AF23 durch die Eingangsdeckenfläche 342 ändert. In diesen Fällen, selbst wenn ein Fremdkörper von dem Kanaleingang 33 zusammen mit dem Abwärtsdriftfluss AF23 eintritt, bewegt sich der Fremdkörper leicht in Richtung der Kanalbodenfläche 345, und der Fremdkörper tritt kaum in den Messeingang 35 ein.
Andererseits bewegt sich der Abwärtsdriftfluss AF24, der vom Kanaleingang 33 zur Seite der Eingangsbodenfläche 346 fließt, in Richtung der Kanalbodenfläche 345, und bei der Annäherung an die Kanalbodenfläche 345 wird die Richtung der Bewegung durch die Kanalbodenfläche 345 geändert. In diesem Fall ändert die Kanalbodenfläche 345 die Verlaufsrichtung des Abwärtsdriftflusses AF24 in Richtung Kanalausgang 34. Selbst wenn der Fremdkörper von dem Kanaleingang 33 zusammen mit dem Abwärtsdriftfluss AF24 eintritt, bewegt sich der Fremdkörper daher leicht in Richtung des Kanalausgangs 34 entlang der Kanalbodenfläche 345, und der Fremdkörper tritt kaum in den Messeingang 35 ein.
Wie in 70 gezeigt, handelt es sich unter den Driftflüssen AF23 bis AF26 bei den Aufwärtsdriftflüsse AF25 und AF26 um Luftflüsse, die im Ansaugkanal 12 schräg von der Gehäusespitzenendseite zur Gehäusebasisendseite um das Gehäuse 21 herum verlaufen. Hier werden Luftflüsse, deren Neigungswinkel in Bezug auf die Hauptflusslinie CL22 größer ist als der der Eingangsbodenfläche 346, als Aufwärtsdriftflüsse AF25 und AF26 bezeichnet.
Von den Aufwärtsdriftflüsse AF25 und AF26 fließt der Aufwärtsdriftfluss AF25 von dem Kanaleingang 33 zu der Seite der Eingangsdeckenfläche 342 in Richtung der Eingangsdeckenfläche 342, und bei der Annäherung an die Eingangsdeckenfläche 342 wird die Verlaufsrichtung durch die Eingangsdeckenfläche 342 geändert. In diesem Fall ändert die Eingangsdeckenfläche 342 die Verlaufsrichtung des Aufwärtsdriftfluss AF25 in Richtung der Kanalbodenfläche 345. Selbst wenn also ein Fremdkörper, wie z.B. Staub, von dem Kanaleingang 33 zusammen mit dem Aufwärtsdriftfluss AF25 eintritt, bewegt sich der Fremdkörper leicht in Richtung der Kanalbodenfläche 345, und der Fremdkörper dringt kaum in den Messeingang 35 ein.
Andererseits bewegt sich der Aufwärtsdriftfluss AF26, der vom Kanaleingang 33 zur Seite der Eingangsbodenfläche 346 fließt, leicht in Richtung der Eingangsdeckenfläche 342 und des Messeingangs 35. Das heißt, nach dem Einfließen in den Eingangskanalpfad 331 von dem Kanaleingang 33 aus bewegt sich der Aufwärtsdriftfluss AF26 leicht in eine Richtung, die von der Kanalbodenfläche 345 wie der Eingangsbodenfläche 346 abweicht. In diesem Fall, da der Aufwärtsdriftfluss AF26 von der Kanalbodenfläche 345 getrennt ist, wird ein Wirbel AF27 erzeugt, der so fließt, dass er sich um die Seite der Kanalbodenfläche 345 wickelt, und der Fluss des Aufwärtsdriftflusses AF26 wird leicht gestört. In einem Fall, in dem der Aufwärtsdriftfluss AF26 auf diese Weise gestört ist, wird der Aufwärtsdriftfluss AF25 auf der Seite der Eingangsdeckenfläche 342 durch die Störung des Aufwärtsdriftflusses AF26 ebenfalls gestört, so dass der Luftfluss im gesamten Kanalflusspfad 31 leicht gestört wird. In diesem Fall ist zu befürchten, dass sich die Erfassungsgenauigkeit der Flussrate durch den Flusssensor 22 verringert, da der gestörte Luftfluss vom Messeingang 35 in den Messflusspfad 32 einfließt.
Da andererseits der Aufwärtsdriftfluss AF25, dessen Richtung durch die Eingangsdeckenfläche 342 verändert wird, in Richtung der Kanalbodenfläche 345 verläuft, befindet sich der Aufwärtsdriftfluss AF25 in einem Zustand, in dem er den Aufwärtsdriftfluss AF26 gegen die Kanalbodenfläche 345 drückt. In diesem Fall ändert der Aufwärtsdriftfluss AF25, der sich in Richtung der Kanalbodenfläche 345 bewegt, die Richtung des Aufwärtsdriftflusses AF26 auf der Seite der Eingangsbodenfläche 346 in Richtung der Kanalbodenfläche 345. Aus diesem Grund ist es unwahrscheinlicher, dass sich der Aufwärtsdriftfluss AF26 von der Kanalbodenfläche 345 trennt, und infolgedessen ist es auch unwahrscheinlicher, dass der die Trennung begleitende Wirbel AF27 auftritt. Daher wird unterdrückt, dass der Luftfluss im Kanalflusspfad 31 durch das Erzeugen des Wirbels AF27 oder dergleichen gestört wird.
Bei dem Luftflussmesser 20 korreliert der Variationsmodus des Ausgangs, der sich auf die Flussratenmessung bezieht, mit dem Neigungswinkel θ21 der Eingangsdeckenfläche 342 in Bezug auf die Eingangsbodenfläche 346. Insbesondere, wenn der Variationsmodus des Messwerts des Luftflussmessers 20 in Bezug auf die wahre Flussrate im Ansaugkanal 12 als eine Ausgangsvariation berechnet wird, wird die Ausgangsvariation in einer Konfiguration, in der der Neigungswinkel θ21 der Eingangsdeckenfläche 342 in Bezug auf die Eingangsbodenfläche 346 10 Grad oder mehr beträgt, angemessen verwaltet. Zum Beispiel wird in einem Bereich, in dem der Neigungswinkel θ21 größer als 0 Grad und kleiner als 10 Grad ist, die Ausgabevariation des Luftflussmessers 20 kleiner, wenn der Neigungswinkel θ21 näher an 10 Grad liegt. In einem Bereich, in dem der Neigungswinkel θ21 10 Grad oder mehr beträgt, wird die Ausgabevariation des Luftflussmessers 20 auf einem angemessen kleinen Wert gehalten. Im Bereich von 10 Grad oder mehr beträgt der Neigungswinkel θ21 vorzugsweise 60 Grad oder weniger, und noch bevorzugter 30 Grad oder weniger.
Die Ausgabevariation des Luftflussmessers 20 korreliert auch mit dem Neigungswinkel θ22 der Eingangsdeckenfläche 342 in Bezug auf die Hauptflusslinie CL22. Diese Ausgabevariation wird in einer Konfiguration, in der der Neigungswinkel θ22 der Eingangsdeckenfläche 342 in Bezug auf die Hauptflusslinie CL22 10 Grad oder mehr beträgt, in geeigneter Weise verwaltet. Wie in 71 gezeigt, verringert sich beispielsweise in dem Bereich, in dem der Neigungswinkel θ22 größer als 0 Grad und kleiner als 10 Grad ist, die Ausgabevariation des Luftflussmessers 20, wenn der Neigungswinkel θ22 näher bei 10 Grad liegt. In einem Bereich, in dem der Neigungswinkel θ22 10 Grad oder mehr beträgt, wird die Ausgabevariation des Luftflussmessers 20 auf einem angemessen kleinen Wert gehalten. Im Bereich von 10 Grad oder mehr beträgt der Neigungswinkel θ22 vorzugsweise 60 Grad oder weniger, und noch bevorzugter 30 Grad oder weniger.
In dem in 66 dargestellten Ansaugkanal 12 kann, wenn aufgrund des Betriebszustands des Motors oder dergleichen eine Pulsation in dem Ansaugluftfluss auftritt, zusätzlich zu einem Vorwärtsfluss von der stromaufwärtigen Seite ein Rückfluss in einer dem Vorwärtsfluss entgegengesetzten Richtung von der stromabwärtigen Seite auftreten. Während der Vorwärtsfluss vom Kanaleingang 33 in den Kanalflusspfad 31 fließt, besteht die Gefahr, dass der Rückfluss vom Kanalausgang 34 in den Kanalflusspfad 31 fließt. Wenn beispielsweise ein Vorwärtsfluss von dem Kanaleingang 33 und ferner von dem Kanalflusspfad 31 in den Messflusspfad 32 fließt, wird die Flussrate des Vorwärtsflusses von dem Flusssensor 22 erfasst. Wenn andererseits der im Ansaugkanal 12 erzeugte Rückfluss vom Kanalausgang 34 einfließt und ferner vom Kanalflusspfad 31 in den Messflusspfad 32 fließt, wird die Flussrate des Rückflusses vom Flusssensor 22 erfasst.
Der Flusssensor 22 kann zusätzlich zu der Flussrate der Luft im Messflusspfad 32 auch die Flussrate der Luft im Messflusspfad 32 erfassen. Wenn jedoch der Rückfluss vom Kanalausgang 34 in den Messflusspfad 32 einfließt, fließt der Rückfluss im Messflusspfad 32 vom Messeingang 35 zum Messausgang 36 ähnlich wie der Vorwärtsfluss vom Kanaleingang 33. Wie oben beschrieben, kann der Flusssensor 22 im Messflusspfad 32 der Vorwärtsfluss und der Rückfluss nicht getrennt erfassen, da die Richtung, in der der Rückfluss vom Kanalausgang 34 einfließt, und die Richtung, in der der Vorwärtsfluss vom Kanaleingang 33 einfließt, identisch sind. Obwohl die durch den Messflusspfad 32 fließende Luft tatsächlich einen Rückfluss enthält, misst der Luftflussmesser 20 die Flussrate der Luft unter der Annahme, dass die gesamte durch den Messflusspfad 32 fließende Luft ein Vorwärtsfluss ist. Infolgedessen besteht die Sorge, dass sich die Messgenauigkeit des Luftflussmessers 20 verringert.
Im Ansaugkanal 12 kann es bei dem Umfließen des Luftflussmessers 20 zu Störungen des Luftflusses wie Wirbel und Stagnation kommen. Wenn beispielsweise die im Ansaugkanal 12 in Vorwärtsrichtung fließende Luft die Gehäusevorderfläche 21e und die Gehäuserückfläche 21f passiert, vermischen sich ein Fluss, der direkt in die Hauptflussrichtung zu fließen versucht, und ein Fluss, der im Begriff ist, entlang der Gehäuseabwärtsfläche 21d zu fließen, und es kann zu einer Störung des Luftflusses kommen. In einem Fall, in dem die Störung des Luftflusses um den Kanalausgang 34 herum vorhanden ist, wie auf der Gehäuseabwärtsfläche 21d, wenn ein Rückfluss im Ansaugkanal 12 auftritt, wird der Rückfluss instabil, einschließlich der Störung des Luftflusses, und es besteht die Sorge, dass der instabile Rückfluss in den Kanalflusspfad 31 von dem Kanalausgang 34 eintritt.
Daher erstreckt sich im Luftflussmesser 20, selbst wenn der Rückfluss vom Kanalausgang 34 in den Kanalflusspfad 31 fließt, der Zweigmesspfad 351 vom Kanalflusspfad 31 in Richtung des Kanalausgangs 34, so dass es weniger wahrscheinlich ist, dass der Rückfluss vom Kanalflusspfad 31 in den Zweigmesspfad 351 fließt. Insbesondere, wie oben beschrieben, da der Neigungswinkel θ26 der Zweigmesslinie CL23 in Bezug auf die Ausgangskanallinie CL25 60 Grad oder weniger beträgt, ist der Rückfluss von dem Kanalflusspfad 31 in den Zweigmesspfad 351 ferner weniger wahrscheinlich, dass er auftritt.
Im Bypass-Flusspfad 30 ist der Messeingang 35 nicht, wie oben beschrieben, der Seite des Kanaleingangs 33 zugewandt. Aus diesem Grund wird der Staudruck des vom Kanaleingang 33 einfließenden Vorwärtsflusses kaum auf den Messeingang 35 angewandt, und die Flussgeschwindigkeit der Luft im Messflusspfad 32 wird tendenziell erhöht. In dieser Konfiguration, selbst wenn ein Fremdkörper wie Staub, Wassertröpfchen und Öltröpfchen in den Kanalflusspfad 31 von dem Kanaleingang 33 zusammen mit des Vorwärtsflusses eintritt, tritt der Fremdkörper kaum in den Zweigmesspfad 351 von dem Kanalflusspfad 31 ein. Da in diesem Fall die Fremdkörper, die den Flusssensor 22 im Messflusspfad 32 erreicht haben, den Flusssensor 22 kaum beschädigen oder kaum am Flusssensor 22 anhaften, wird die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 nicht durch die Fremdkörper verringert.
Der gesamte Kanalausgang 34 und mindestens ein Teil des Kanaleingangs 33 überlappen sich in der Tiefenrichtung Z, die die Hauptflussrichtung ist. Wenn in dieser Konfiguration im Ansaugkanal 12 ein Fremdkörper in dem Hauptfluss enthalten ist, der in den Abschnitt des Kanaleingangs 33 fließt, der den Kanalausgang 34 in der Tiefenrichtung Z überlappt, bewegt sich der Fremdkörper zusammen mit dem Hauptfluss gerade in die Hauptflussrichtung und wird vom Kanalausgang 34 nach außen entladen. Daher gelangen die Fremdkörper kaum in den Messeingang 35.
Wenn der Zustand der im Ansaugkanal 12 erzeugten Pulsation als Pulsationseigenschaft bezeichnet wird, kann die vom Luftflussmesser 20 unter Verwendung des Erfassungsergebnisses des Flusssensors 22 gemessene Pulsationseigenschaft einen Fehler in Bezug auf die Pulsationseigenschaft der tatsächlich im Ansaugkanal 12 erzeugten Pulsation enthalten. Beispiele für den Fall, dass die durch den Luftflussmesser 20 gemessene Pulsationseigenschaft einen Fehler enthält, enthalten einen Fall, in dem der vom Kanalausgang 34 zurückfließende Fluss vom Kanalflusspfad 31 in den Messflusspfad 32 eintritt.
Hier wird die durch den Luftflussmesser 20 gemessene Flussrate als Flussratenmesswert GA bezeichnet, der Mittelwert der Flussratenmesswerte GA wird als Messmittelwert GAave bezeichnet, die tatsächliche Flussrate der durch den Ansaugkanal 12 fließenden Ansaugluft wird als tatsächliche Flussrate GB bezeichnet, und der Mittelwert der tatsächlichen Flussrate GB wird als tatsächlicher Mittelwert GBave bezeichnet. Wie in 72 gezeigt, wird, wenn der Messwert der Flussrate GA aufgrund des im Messwert der Flussrate GA enthaltenen Fehlers einen kleineren Wert als die tatsächliche Flussrate GB annimmt, auch der Messmittelwert GAave kleiner als der tatsächliche Mittelwert GBave.
Die Eigenschaften der Pulsation können durch einen Wert quantifiziert werden, der durch Division der Differenz zwischen dem Messmittelwert GAave und dem tatsächlichen Mittelwert GBave durch den tatsächlichen Mittelwert GBave erhalten wird. In diesem Fall kann ein mathematischer Ausdruck für die Berechnung der Pulsationseigenschaften als (GAave - GBave)/GBave ausgedrückt werden. Der numerische Wert der Pulsationseigenschaft erhöht sich tendenziell mit zunehmender Amplitude der Pulsation. Wenn beispielsweise ein Wert, der durch Division der Differenz zwischen dem Maximalwert GBmax und dem tatsächlichen Mittelwert GBave der tatsächlichen Flussrate GB durch den tatsächlichen Mittelwert GBave erhalten wird, als Amplitudenverhältnis bezeichnet wird, wie in 73 dargestellt, erhöht sich der numerische Wert der Pulsationseigenschaft mit zunehmendem Amplitudenverhältnis. Insbesondere in dem Bereich, in dem das Amplitudenverhältnis größer als 1 ist, ist die Erhöhungsrate der Pulsationseigenschaft mit der Erhöhung des Amplitudenverhältnisses groß. Je größer hier das Amplitudenverhältnis ist, desto größer ist der Rückfluss von dem Kanalausgang 34. Ein mathematischer Ausdruck zur Berechnung des Amplitudenverhältnisses kann als (GBmax - GBave)/GBave ausgedrückt werden.
In der vorliegenden Ausführungsform ist der Neigungswinkel θ26 der Zweigmesslinie CL23 in Bezug auf die Hauptflusslinie CL22 beispielsweise auf 60 Grad festgelegt, aber der Zahlenwert der Pulsationseigenschaft wird sich gemäß dem Neigungswinkel θ26 wahrscheinlich ändern. Wie beispielsweise in 74 gezeigt, ist es in der Konfiguration, in der der Neigungswinkel θ26 30 Grad, 45 Grad, 60 Grad und 90 Grad beträgt, weniger wahrscheinlich, dass der Rückfluss in den Kanalflusspfad 31 von dem Kanalausgang 34 in den Messflusspfad 32 fließt, wenn der Rückfluss in den Kanal fließt. In der Konfiguration, in der der Neigungswinkel θ26 90 Grad beträgt, fließt der Rückfluss dagegen leicht in den Messflusspfad 32. In diesem Fall wird die Erfassungsgenauigkeit der Pulsationseigenschaft durch den Luftflussmesser 20 wahrscheinlich verringert.
Bei dem Luftflussmesser 20 wird davon ausgegangen, dass die Leichtigkeit, mit der der Rückfluss in den Messflusspfad 32 fließt, gemäß dem Neigungswinkel θ26 unterschiedlich ist, und als Folge davon ist der numerische Wert der Pulsationseigenschaft unterschiedlich. Wie in 75 gezeigt, ist beispielsweise in einer Konfiguration, in der der Neigungswinkel θ26 60 Grad oder weniger beträgt, der numerische Wert der pulsierenden Eigenschaft ein relativ kleiner Wert. Man geht davon aus, dass dies auf ein Ereignis zurückzuführen ist, bei dem ein Rückfluss in den Messflusspfad 32 weniger wahrscheinlich ist, wenn der Neigungswinkel θ26 60 Grad oder weniger beträgt. Andererseits ist in der Konfiguration, in der der Neigungswinkel θ26 größer als 60 Grad ist, der numerische Wert der Pulsationseigenschaft ein relativ großer Wert. Dies wird darauf zurückgeführt, dass ein Rückfluss leicht in den Messflusspfad 32 fließt, wenn der Neigungswinkel θ26 größer als 60 Grad ist. In dieser Konfiguration erhöht sich der numerische Wert der Pulsationseigenschaft, wenn der Neigungswinkel θ26 zunimmt. Es wird davon ausgegangen, dass dies darauf zurückzuführen ist, dass in einem Bereich, in dem der Neigungswinkel θ26 größer als 60 Grad ist, der Rückfluss mit größerer Wahrscheinlichkeit in den Messflusspfad 32 fließt, wenn der Neigungswinkel θ26 größer ist.
Gemäß der bisher beschriebenen vorliegenden Ausführungsform ist die Eingangsdeckenfläche 342 in Bezug auf die Eingangsbodenfläche 346 geneigt. In dieser Konfiguration wird die Luft, die in den Eingangskanalpfad 331 von dem Kanaleingang 33 einfließt, wie der Aufwärtsdriftfluss AF25, die in die Seite der Eingangsdeckenfläche 342 einfließt, durch die Eingangsdeckenfläche 342 in ihrer Verlaufsrichtung verändert, und die Luft bewegt sich leicht in Richtung der Eingangsbodenfläche 346 entlang der Eingangsdeckenfläche 342. Selbst wenn die Luft, wie der Aufwärtsdriftfluss AF26, von der Eingangsbodenfläche 346 getrennt wird oder im Begriff ist, getrennt zu werden, wird die Trennluft daher durch die Luft, wie der Aufwärtsdriftfluss AF25, die sich entlang der Eingangsdeckenfläche 342 in Richtung der Eingangsbodenfläche 346 bewegt, gegen die Eingangsbodenfläche 346 gedrückt. In diesem Fall werden die Trennung der Luft von der Eingangsbodenfläche 346 und das Auftreten von Störungen, wie z. B. eines Wirbels, durch das Fluid, das entlang der Eingangsdeckenfläche 342 fließt, eingeschränkt, so dass die Wahrscheinlichkeit, dass die Luft im Eingangskanalpfad 331 gestört wird, geringer ist. Daher kann die Erfassungsgenauigkeit der Flussrate durch den Flusssensor 22 verbessert werden, und darüber hinaus kann die Messgenauigkeit der Flussrate durch den Luftflussmesser 20 verbessert werden.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform beträgt der Neigungswinkel θ21 der Eingangsdeckenfläche 342 in Bezug auf die Eingangsbodenfläche 346 10 Grad oder mehr. In dieser Einstellung ist der Neigungswinkel θ21 auf einen großen Wert festgelegt, so dass die Luft, wie der Aufwärtsdriftfluss AF25, deren Verlaufsrichtung durch die Eingangsdeckenfläche 342 geändert wird, in Richtung der Eingangsbodenfläche 346 statt des Kanalausgangs 34 fließt. Daher ist es im Vergleich zu einer Konfiguration, bei der der Neigungswinkel θ21 auf einen Wert kleiner als beispielsweise 10 Grad festgelegt ist, möglich, die Trennung der Luft um die Eingangsbodenfläche 346 herum aufgrund der Luft des Aufwärtsdriftflusses AF25 oder dergleichen, dessen Verlaufsrichtung durch die Eingangsdeckenfläche 342 geändert wird, zuverlässig zu unterdrücken.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist die Eingangsdeckenfläche 342 in Bezug auf die Eingangsbodenfläche 346 so geneigt, dass sie der Seite des Kanaleingangs 33 zugewandt ist. Bei dieser Konfiguration ist es weniger wahrscheinlich, dass die Luft, wie der Hauptfluss AF21 und der Abwärtsdriftfluss AF23, die von dem Kanaleingang 33 zu der Seite der Eingangsdeckenfläche 342 fließt, von der Eingangsdeckenfläche 342 getrennt wird. Daher ist es möglich, die Erzeugung von Störungen wie z.B. eines Wirbels in der Luft, die von dem Kanaleingang 33 zu der Seite der Eingangsdeckenfläche 342 fließt, zu unterdrücken.
Zum Beispiel in einer Konfiguration, in der die Eingangsdeckenfläche 342 in Bezug auf die Eingangsbodenfläche 346 so geneigt ist, dass sie der Seite des Kanalausgangs 34 zugewandt ist, trennt sich der Hauptfluss AF21, der vom Kanaleingang 33 zur Seite der Eingangsdeckenfläche 342 fließt, von der Eingangsdeckenfläche 342, während sie sich in Richtung des Kanalausgangs 34 bewegt, und wird leicht getrennt. In diesem Fall ist es wahrscheinlich, dass eine Störung des Luftflusses im Kanalflusspfad 31 durch die Erzeugung eines Wirbels oder dergleichen durch den Hauptfluss AF21 auftritt.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist die Eingangsdeckenfläche 342 so geneigt, dass sie dem Kanaleingang 33 in Bezug auf die Hauptflussrichtung, in der sich die Hauptflusslinie CL22 erstreckt, zugewandt ist. Wenn in dieser Konfiguration Luft wie der Hauptfluss AF21, der in der Hauptflussrichtung fließt, von der Seite des Kanaleingangs 33 in die Eingangsdeckenfläche 342 einfließt, kann die Luft durch die Eingangsdeckenfläche 342 zur Seite der Eingangsbodenfläche 346 geleitet werden. Daher kann die Luft, selbst wenn sie, wie der in der Hauptflussrichtung fließende Hauptfluss AF22, vom Kanaleingang 33 zur Seite der Eingangsbodenfläche 346 fließt und dabei ist, getrennt zu werden oder getrennt ist, durch die Luft, die von der Eingangsdeckenfläche 342 zur Eingangsbodenfläche 346 fließt, gegen die Eingangsbodenfläche 346 gedrückt werden. Daher ist es möglich, das Auftreten von Störungen wie dem Wirbel AF27 in dem Luftfluss um die Eingangsbodenfläche 346 zu unterdrücken.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform beträgt der Neigungswinkel θ22 der Eingangsdeckenfläche 342, in Bezug auf die Hauptflussrichtung, 10 Grad oder mehr. In dieser Konfiguration werden unter den Abwärtsdriftflüssen, die schräg von der Gehäusebasisendseite in Richtung der Gehäusespitzenendseite um das Gehäuse 21 herum verlaufen, die Abwärtsdriftflüsse AF23 und AF24, bei denen der Neigungswinkel in Bezug auf die Hauptflusslinie CL22 kleiner als der der Eingangsdeckenfläche 342 ist, so weit wie möglich erhöht. Dadurch ist es möglich, das Auftreten von Störungen, wie z.B. eines Wirbels im Luftfluss, aufgrund der Trennung der Luft, wie z. B. der Abwärtsdriftfluss, der vom Kanaleingang 33 zur Seite der Eingangsdeckenfläche 342 fließt, zu unterdrücken.
Andererseits ist beispielsweise in einer Konfiguration, in der der Neigungswinkel θ22 der Eingangsdeckenfläche 342 in Bezug auf die Hauptflussrichtung kleiner als 10 Grad ist, der Neigungswinkel des Abwärtsdriftflusses, der von der Gehäusebasisendseite in Richtung der Gehäusespitzenendseite im Bereich des Gehäuses 21 verläuft, tendenziell größer als der Neigungswinkel θ22. Aus diesem Grund besteht die Sorge, dass Luft wie der Abwärtsdriftfluss, die von dem Kanaleingang 33 zu der Seite der Eingangsdeckenfläche 342 fließt, von der Eingangsdeckenfläche 342 getrennt wird und Störungen wie ein Wirbel im Luftfluss auftreten.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist die Hauptflussrichtung, in der sich die Hauptflusslinie CL22 erstreckt, die Richtung, in der sich die Winkeleinstellfläche 27a des Gehäuses 21 erstreckt. Daher kann das Gehäuse 21 unter Verwendung der Winkeleinstellfläche 27a beim Festlegen des Befestigungswinkels des Gehäuses 21 in Bezug auf die Rohreinheit 14 in einer geeigneten Richtung in Übereinstimmung mit der Umfangsflussrichtung des Ansaugkanals 12 an der Rohreinheit 14 befestigt werden. Das heißt, das Gehäuse 21 kann an der Rohreinheit 14 in einer Richtung befestigt werden, in der die Eingangsdeckenfläche 342 die trennungsunterdrückende Wirkung aufweisen kann.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform verringert sich die Querschnittsfläche S21 des Eingangskanalpfads 331 graduell von dem Kanaleingang 33 in Richtung des Kanalausgangs 34. In dieser Konfiguration erhöht sich der Grad der Verengung des Eingangskanalpfads 331 durch die innere Fläche des Gehäuses 21, wenn die vom Kanaleingang 33 in den Eingangskanalpfad 331 fließende Luft in Richtung des Kanalausgangs 34 fortschreitet, so dass die Luft leicht durch die innere Fläche des Gehäuses 21 begradigt wird. Daher bewegt sich die Luft wie der Aufwärtsdriftfluss AF25, dessen Verlaufsrichtung durch die Eingangsdeckenfläche 342 geändert wird, leicht in Richtung der Eingangsbodenfläche 346, ohne sich auf die Gehäusevorderseite und die Gehäuserückseite als Eingangsbodenfläche 346 auszubreiten, und die Störung der Luft um die Eingangsbodenfläche 346 kann unterdrückt werden. Auf diese Weise kann der Eingangskanalpfad 331 eine Form haben, in der die trennungsunterdrückende Wirkung der Eingangsdeckenfläche 342 leicht auszustellen ist.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform beträgt der Neigungswinkel θ25 der Zweigmesslinie CL23 in Bezug auf die Eingangskanallinie CL24 90 Grad oder mehr. In dieser Konfiguration kann die Luft, die von dem Kanaleingang 33 in den Eingangskanalpfad 331 fließt und entlang der Eingangskanallinie CL24 fließt, von dem Eingangskanalpfad 331 in den Messflusspfad 32 fließen, indem sie ihre Verlaufsrichtung in einem stumpfen Winkel sanft ändert, ohne ihre Verlaufsrichtung in einem spitzen Winkel scharf zu ändern. Wenn die durch den Kanalflusspfad 31 fließende Luft in den Messflusspfad 32 fließt, ist es daher möglich, das Auftreten einer Störung des Luftflusses aufgrund einer schnellen Änderung der Verlaufsrichtung zu unterdrücken.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform beträgt der Neigungswinkel θ26 der Zweigmesslinie CL23 in Bezug auf die Hauptflusslinie CL22 60 Grad oder weniger. In dieser Konfiguration, da der Abzweigwinkel des Messflusspfads 32 in Bezug auf den Kanalflusspfad 31 60 Grad oder weniger beträgt, kann die Luft, die vom Kanaleingang 33 in den Eingangskanalpfad 331 fließt, dazu veranlasst werden, vom Eingangskanalpfad 331 in den Messflusspfad 32 zu fließen, ohne dass sich die jeweilige Richtung davon schnell ändert. Wenn die durch den Kanalflusspfad 31 fließende Luft in den Messflusspfad 32 fließt, ist es daher weniger wahrscheinlich, dass der Luftfluss gestört wird.
Ferner ist es in dieser Konfiguration notwendig, dass der Rückfluss, der von dem Kanalausgang 34 in den Zweigmesspfad 351 fließt, in einem spitzen Winkel scharf abkrümmt, damit er von dem Kanalflusspfad 31 in den Zweigmesspfad 351 fließt. Aus diesem Grund kann es leicht passieren, dass der Rückfluss kaum in den Zweigmesspfad 351 fließt, und es ist möglich, den Rückfluss von der Erreichung des Flusssensors 22 abzuhalten. In diesem Fall ist es für den Luftflussmesser 20 schwierig, die Flussrate unter der Annahme zu messen, dass der Vorwärtsfluss, der vom Kanaleingang 33 einfließt, den Flusssensor 22 erreicht, obwohl der Rückfluss, der vom Kanalausgang 34 einfließt, den Flusssensor 22 tatsächlich erreicht. Daher kann die Messgenauigkeit der Flussrate der Ansaugluft durch den Luftflussmesser 20 verbessert werden.
Wenn in dieser Konfiguration ein Vorwärtsfluss von dem Kanalflusspfad 31 in den Zweigmesspfad 351 fließt, muss sich die Richtung des Vorwärtsflusses nur graduell in Richtung des Zweigmesspfads 351 ändern. In diesem Fall ist es, wie oben beschrieben, weniger wahrscheinlich, dass der Rückfluss in den Zweigmesspfad 351 fließt, während der Vorwärtsfluss wahrscheinlich in den Zweigmesspfad 351 fließt. Wie oben beschrieben, kann die Erfassungsgenauigkeit der Flussrate durch den Flusssensor 22 für den Vorwärtsfluss, der von dem Kanaleingang 33 einfließt, verbessert werden, da die Flussgeschwindigkeit des Vorwärtsflusses, der in den Messflusspfad 32 einfließt, unterdrückt wird, nicht zu gering zu sein.
Da gemäß der vorliegenden Ausführungsform die Öffnungsfläche des Kanalausgangs 34 kleiner ist als die Öffnungsfläche des Kanaleingangs 33, ist es weniger wahrscheinlich, dass der im Ansaugkanal 12 erzeugte Rückfluss in den Kanalausgang 34 fließt. Daher ist es möglich, den Rückfluss von dem Zweigmesspfad 351 zuverlässiger zu unterdrücken.
(Vierte Ausführungsform)
In der ersten Ausführungsform ist der Trägeraussparungsabschnitt 530 auf der Formrückfläche 55f bereitgestellt, aber in der vierten Ausführungsform ist der Trägervorsprungsabschnitt auf der Formrückfläche 55f bereitgestellt. In der vorliegenden Ausführungsform sind die Komponenten, die durch dieselben Bezugszeichen wie in den Zeichnungen der ersten Ausführungsform gekennzeichnet sind, und die Konfigurationen, die nicht beschrieben werden, denen der ersten Ausführungsform ähnlich und erzielen dieselben Funktionen und Wirkungen. In der vorliegenden Ausführungsform werden hauptsächlich Differenzen von der ersten Ausführungsform beschrieben.
<Beschreibung der Konfigurationsgruppe F>
Wie in 76 gezeigt, enthält der hintere Trägerabschnitt 522 einen Trägervorsprungsabschnitt 710 und ein Trägerloch 720 anstelle des Trägeraussparungsabschnitts 530 und des Trägerlochs 540. Der Trägervorsprungsabschnitt 710 ist ein Vorsprungsabschnitt, der auf der Formrückfläche 55f bereitgestellt ist und durch einen Teil des Formrückabschnitts 560 gebildet wird, der in Richtung der Formrückseite vorsteht.
Der Trägervorsprungsabschnitt 710 hat eine Trägervorsprungspitzenendfläche 711 und eine Trägervorsprungsaußenwandfläche 712. Eine Mittellinie CL153 des Trägervorsprungsabschnitts 710 erstreckt sich in Breitenrichtung X und geht durch die Mitte der Trägervorsprungspitzenendfläche 711. Die Mittellinie CL153 erstreckt sich parallel zur Mittellinie CL51 des Sensoraussparungsabschnitts 61 und ist mit der Mittellinie CL51 des Sensoraussparungsabschnitts 61 in der Höhenrichtung angeordnet. Ähnlich wie die Mittellinie CL53 des Trägeraussparungsabschnitts 530 der ersten Ausführungsform ist die Mittellinie CL153 des Trägervorsprungsabschnitts 710 an einer Position angeordnet, die von der Mittellinie CL51 des Sensoraussparungsabschnitts 61 in der Höhenrichtung Y zur Formbasisendseite hin verschoben ist.
Die Trägervorsprungspitzenendfläche 711 ist orthogonal zur Mittellinie CL153 des Trägervorsprungsabschnitts 710 und erstreckt sich parallel zum SA-Substrat 53. Die Trägervorsprungspitzenendfläche 711 ist kreisförmig oder im Wesentlichen kreisförmig ausgebildet. Der äußere Umfangsrand der Trägervorsprungspitzenendfläche 711 ist an einer Position bereitgestellt, die von dem Basisendabschnitt des Trägervorsprungsabschnitts 710 in den Richtungen Y und Z orthogonal zur Mittellinie CL153 des Trägervorsprungsabschnitts 710 nach innen versetzt ist. Die Trägervorsprungspitzenendfläche 711 entspricht einem Trägervorsprungspitzenendabschnitt.
Die Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 erstreckt sich von der Trägervorsprungspitzenendfläche 711 in Richtung der Formvorderseite. Die äußere Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 ist in Bezug auf die Mittellinie CL153 des Trägervorsprungsabschnitts 710 geneigt und weist zur Formrückseite. Der Trägervorsprungsabschnitt 710 ist in Richtung der Formrückseite in Breitenrichtung X graduell reduziert und hat insgesamt eine verjüngte Form. Die Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 erstreckt sich ringförmig entlang des äußeren Umfangsrandes der Trägervorsprungspitzenendfläche 711.
Die Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 hat eine Außenwandschrägfläche 714, eine abgeschrägte Spitzenendfläche 715 und eine abgeschrägte Basisendfläche 716. Die Außenwandschrägfläche 714 erstreckt sich gerade in eine Richtung, die in Bezug auf die Mittellinie CL153 des Trägervorsprungsabschnitts 710 geneigt ist, und ein Neigungswinkel in Bezug auf die Mittellinie CL153 ist beispielsweise größer als 45 Grad. Die abgeschrägte Spitzenendfläche 715 ist eine Fläche zum Abschrägen eines äußeren Eckabschnitts zwischen der Trägervorsprungspitzenendfläche 711 und der Außenwandschrägfläche 714 und ist so gekrümmt, dass sie sich zur Außenseite des Trägervorsprungsabschnitts 710 hin wölbt. Die abgeschrägte Basisendfläche 716 ist eine Fläche, die den inneren Eckabschnitt zwischen der Außenwandschrägfläche 714 und der Formrückfläche 55f abschrägt und so gekrümmt ist, dass sie zur Innenseite des Trägervorsprungsabschnitts 710 hin ausgespart ist.
Eine Längendimension L151 der Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 in den Richtungen Y und Z orthogonal zur Breitenrichtung X ist größer als eine Längendimension L152 der Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 in der Breitenrichtung X. Die Längendimension L151 ist eine Trennungsdistanz zwischen dem inneren Umfangsrand und dem äußeren Umfangsrand der Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 in den Richtungen Y und Z, und ist eine Trennungsdistanz zwischen dem äußeren Umfangsrand der abgeschrägten Basisendfläche 716 und dem inneren Umfangsrand der abgeschrägten Spitzenendfläche 715. Die Längendimension L152 ist eine Vorsprungdimension des Trägervorsprungsabschnitts 710 von der Formrückfläche 55f. Die Längendimension L152 ist eine Trennungsdistanz zwischen dem Vorsprungsabschnitt und dem Basisendabschnitt der Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 in Breitenrichtung X und ist eine Trennungsdistanz zwischen dem äußeren Umfangsrand der abgeschrägten Basisendfläche 716 und dem inneren Umfangsrand der abgeschrägten Spitzenendfläche 715. Die Längendimension L152 ist kleiner als sowohl die Dickendimension L153 des Abschnitts des Formrückabschnitts 560, in dem der Trägervorsprungsabschnitt 710 bereitgestellt ist, als auch die Dickendimension L54 des SA-Substrats 53. In der Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 ist ein Spitzenendabschnitt ein innerer Umfangsrand, und ein Basisendabschnitt ist ein äußerer Umfangsrand.
Das Trägerloch 720 erstreckt sich von der Trägervorsprungspitzenendfläche 711 des Trägervorsprungsabschnitts 710 in Richtung des Flusssensors 22 und steht mit der Sensoraussparungsöffnung 503 in Verbindung. Das Trägerloch 720 durchdringt den hinteren Trägerabschnitt 522 in Breitenrichtung X. Eine Mittellinie CL152 des Trägerlochs 720 erstreckt sich in Breitenrichtung X und verläuft parallel zur Mittellinie CL51 des Sensoraussparungsabschnitts 61 und der Mittellinie CL153 des Trägervorsprungsabschnitts 710. Die Mittellinie CL152 des Trägerlochs 720 ist in der Höhenrichtung Y mit den Mittellinien CL51 und CL152 angeordnet. Die Mittellinie CL152 des Trägerlochs 720 ist an einer Position angeordnet, die von den beiden Mittellinien CL51 und CL153 in Richtung der Formspitzenendseite verschoben ist. Die Breitenrichtung X entspricht der Längenrichtung des Trägerlochs 720.
Das Trägerloch 720 enthält ein Formrückloch 725 und ein SA-Substratloch 726. Das Formrückloch 725 ist ein Durchgangsloch, das den Formrückabschnitt 560 in Breitenrichtung X durchdringt. Das SA-Substratloch 726 ist ein Durchgangsloch, das das SA-Substrat 53 in Breitenrichtung X durchdringt. Das SA-Substratloch 726 ist auf der Formvorderseite relativ zum Formrückloch 725 bereitgestellt, und das SA-Substratloch 726 und das Formrückloch 725 kommunizieren miteinander. Die Mittellinie des Formrücklochs 725 und die Mittellinie des SA-Substratlochs 726 stimmen miteinander überein und fallen auch mit der Mittellinie CL152 des Trägerlochs 720 zusammen. Das SA-Substratloch 726 und das Formrückloch 725 haben in einem zur Mittellinie CL152 orthogonalen Querschnitt die gleiche Größe und Form. Beispielsweise haben das SA-Substratloch 726 und das Formrückloch 725 jeweils einen kreisförmigen Querschnitt oder einen im Wesentlichen kreisförmigen Querschnitt und denselben Innendurchmesser. In der vorliegenden Ausführungsform wird das Trägerloch 540 der ersten Ausführungsform als SA-Substratloch 726 bezeichnet.
Das Trägerloch 720 hat einen kreisförmigen Querschnitt oder einen im Wesentlichen kreisförmigen Querschnitt und hat eine gleichmäßige Dicke in der Richtung, in der sich die Mittellinie CL152 erstreckt. Wenn im Trägerloch 720 ein Endabschnitt auf der Formvorderseite als vorderer Endabschnitt 721 und ein Endabschnitt auf der Formrückseite als hinteres Endabschnitt 722 bezeichnet wird, sind sowohl der vordere Endabschnitt 721 als auch der hintere Endabschnitt 722 kreisförmig oder im Wesentlichen kreisförmig. Der vordere Endabschnitt 721 ist ein Endabschnitt auf der Formvorderseite des SA-Substratlochs 726 und ist in der SA-Substratvorderfläche 545 enthalten. Der hintere Endabschnitt 722 ist ein Abschnitt der Formrückseite des Formrücklochs 725 und ist in der Trägervorsprungspitzenendfläche 711 enthalten. Der hintere Endabschnitt 722 ist an einer Position angeordnet, die von dem äußeren Umfangsrand der Trägervorsprungspitzenendfläche 711 in den Richtungen Y und Z orthogonal zur Mittellinie CL52 des Trägerlochs 720 nach innen versetzt ist. Daher erstreckt sich die Trägervorsprungspitzenendfläche 711 ringförmig entlang des äußeren Umfangsrandes des hinteren Endabschnitts 722.
Wie in 77 gezeigt, erreicht der hintere Schließfluss AF34, der entlang der Formrückfläche 55f fließt, den Trägervorsprungsabschnitt 710 und fließt entlang der Trägervorsprungsaußenwandfläche 712, so dass der hintere Schließfluss AF34 schräg in Richtung der Formrückseite verläuft. Daher passiert der hintere Schließfluss AF34, der, nachdem er sich entlang der Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 fortbewegt hat, durch den hinteren Endabschnitt 722 des Trägerlochs 720 fließt, leicht eine Position, die von dem hinteren Endabschnitt 722 in Richtung der Formrückseite getrennt ist. Daher fließt der hintere Schließfluss AF34 kaum in das Trägerloch 720 von dem hinteren Endabschnitt 722.
Gemäß der bisher beschriebenen Ausführungsform ist im hinteren Trägerabschnitt 522 des Sensorträgerabschnitts 51 die um das Trägerloch 720 herum bereitgestellte Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 so geneigt, dass sie der dem Flusssensor 22 gegenüberliegenden Seite zugewandt ist. Da in dieser Konfiguration der hintere Schließfluss AF34, der entlang der Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 des Sensorträgerabschnitts 51 fließt, dazu neigt, in Längsrichtung des Trägerlochs 720 von dem Trägerloch 720 weg in Richtung der Formrückseite zu fließen, fließt der hintere Schließfluss AF34 kaum in das Trägerloch 720. Daher ist es möglich, zu verhindern, dass der hintere Schließfluss AF34, der entlang der Formrückfläche 55f des Sensorträgerabschnitts 51 fließt, durch das Trägerloch 720 kräftig in den Sensoraussparungsabschnitt 61 einfließt, und dass der Hohlraumfluss AF51 mit einer übermäßig großen Menge und Geschwindigkeit innerhalb des Sensoraussparungsabschnitts 61 erzeugt wird. In diesem Fall kann, ähnlich wie bei der ersten Ausführungsform, die Messgenauigkeit des Luftflussmessers 20 verbessert werden, da es unwahrscheinlich ist, dass die Operationsgenauigkeit der Widerstandselemente 71 bis 74 und dergleichen in dem Membranabschnitt 62 aufgrund des Hohlraumflusses AF51 verringert wird.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist der äußere Umfangsrand der Trägervorsprungspitzenendfläche 711 in den Richtungen Y und Z orthogonal zur Breitenrichtung X an einer Position bereitgestellt, die nach außen von dem hinteren Endabschnitt 722 des Trägerlochs 720 getrennt ist. In dieser Konfiguration, selbst wenn der hintere Schließfluss AF34, der entlang der Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 in Richtung des Trägerlochs 720 fließt, den äußeren Umfangsrand der Trägervorsprungspitzenendfläche 711 erreicht, passiert der hintere Schließfluss AF34 leicht die Position, die von dem hinteren Endabschnitt 722 des Trägerlochs 720 in Richtung der stromaufwärtigen Formseite getrennt ist. Wenn der hintere Schließfluss AF34 den hinteren Endabschnitt 722 in Tiefenrichtung Z erreicht, passiert der hintere Schließfluss AF34 leicht eine vom hinteren Endabschnitt 722 getrennte Position in Richtung der Formrückseite. Da, wie oben beschrieben, der entlang der Trägervorsprungspitzenendfläche 711 fließende hintere Schließfluss AF34 leicht durch die vom hinteren Endabschnitt 722 des Trägerlochs 720 getrennte Position fließt, ist es möglich, den hinteren Schließfluss AF34 daran zu hindern, vom hinteren Endabschnitt 722 in das Trägerloch 720 zu fließen.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform wird die Trägervorsprungspitzenendfläche 711 so groß, dass der äußere Umfangsrand der Trägervorsprungspitzenendfläche 711 an einer Position bereitgestellt ist, die von der Sensoraussparungsöffnung 503 in den Richtungen Y und Z orthogonal zur Breitenrichtung X nach außen getrennt ist. Daher ist es möglich, eine Konfiguration zu erreichen, bei der der äußere Umfangsrand der Trägervorsprungspitzenendfläche 711 nach außen von dem hinteren Endabschnitt 722 des Trägerlochs 720 getrennt ist.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist die Längendimension L151 der Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 in den Richtungen Y und Z, die orthogonal zur Breitenrichtung X verlaufen, größer als die Längendimension L152 der Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 in der Breitenrichtung X. In dieser Konfiguration ist der Grad, in dem die Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 graduell den Trägervorsprungsabschnitt 710 in Richtung der Formrückseite verengt, so sanft wie möglich. Aus diesem Grund wird, wenn die Richtung, in der der hintere Schließfluss AF34 die Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 erreicht und fortschreitet, sich ändert, die Änderung der fortschreitenden Richtung unterdrückt, so dass Störungen wie ein Wirbel weniger wahrscheinlich auftreten. Daher ist es möglich, zu unterdrücken, dass eine Störung des Luftflusses um den hinteren Endabschnitt 722 des Trägerlochs 720 erzeugt wird und die Luft von dem hinteren Endabschnitt 722 zusammen mit der Störung in das Trägerloch 720 fließt.
(Andere Ausführungsformen)
Obwohl eine Mehrzahl von Ausführungsformen gemäß der vorliegenden Offenbarung oben beschrieben wurde, ist die vorliegende Offenbarung nicht so auszulegen, dass sie auf die oben beschriebenen Ausführungsformen beschränkt ist, und kann auf verschiedene Ausführungsformen und Kombinationen angewendet werden, ohne vom Kern der vorliegenden Offenbarung abzuweichen.
<Modifikation der Konfigurationsgruppe A>
Gemäß der Modifikation A1 können im Messflusspfad 32 der vordere obere Abschnitt 111a und der hintere obere Abschnitt 112a nicht in der Breitenrichtung X angeordnet sein. Beispielsweise kann nur der vordere obere Abschnitt 111a der oberen Abschnitte 111a und 112a auf der Mittellinie CL5 des Wärmewiderstandselements 71 angeordnet sein. In diesem Fall ist der hintere obere Abschnitt 112a in einer Position angeordnet, die in Bezug auf die Mittellinie CL5 in mindestens einer der Richtungen Höhenrichtung Y und Tiefenrichtung Z verschoben ist.
Bei der Modifikation A2 kann der vordere obere Abschnitt lila des vorderen Verengungsabschnitts 111 nicht auf der Mittellinie CL5 des Wärmewiderstandselements 71 angeordnet sein. Beispielsweise muss der vordere obere Abschnitt lila nur in Breitenrichtung X mit einem Teil des Wärmewiderstandselements 71 angeordnet sein und muss nur einem Teil des Wärmewiderstandselements 71 zugewandt sein. Der vordere obere Abschnitt lila muss nur in der Breitenrichtung X mit einem Teil des Membranabschnitts 62 angeordnet werden und muss nur einem Teil des Membranabschnitts 62 zugewandt sein. Der vordere obere Abschnitt 111a muss nur in Breitenrichtung X mit einem Teil des Flusssensors 22 angeordnet sein und muss nur einem Teil des Flusssensors 22 zugewandt sein.
Gemäß der Modifikation A3 können die Verengungsabschnitte wie der vordere Verengungsabschnitt 111 und der hintere Verengungsabschnitt 112 an der Messdeckenfläche 102 und der Messbodenfläche 101 im Messflusspfad 32 bereitgestellt sein. Zum Beispiel ist es im Messflusspfad 32 nur erforderlich, dass der Verengungsabschnitt auf mindestens einer der Messbodenfläche 101, der Messdeckenfläche 102, der vorderen Messwandfläche 103 und der hinteren Messwandfläche 104 bereitgestellt ist.
Als Modifikation A4 kann im Messflusspfad ein Sensor für physikalische Größen bereitgestellt sein, der eine von der Flussrate der Ansaugluft abweichende physikalische Größe erfasst. Beispiele für den im Messflusspfad bereitgestellten Sensor für physikalische Größen enthalten eine Erfassungseinheit, die die Temperatur erfasst, eine Erfassungseinheit, die die Feuchtigkeit erfasst, eine Erfassungseinheit, die den Druck erfasst, und dergleichen, zusätzlich zu den Flusssensoren 22 und 202. Diese Erfassungseinheiten können an den Sensoren SA50 und 220 als eine Erfassungseinheit befestigt werden, oder sie können separat von den Sensoren SA50 und 220 bereitgestellt sein.
Gemäß der Modifikation A5 können die Luftflussmesser 20 und 200 die Kanalflusspfade 31 und 211 nicht enthalten. Das heißt, die Bypass-Flusspfade 30 und 210 können nicht zweigleisig sein. Beispielsweise sind die Messeingänge 35 und 215 der Messflusspfade 32 und 212 auf der äußeren Fläche der Gehäuse 21 und 201 bereitgestellt. Bei dieser Konfiguration fließt die gesamte Luft, die von den Messeingängen 35 und 215 in die Gehäuse 21 und 201 einfließt, von den Messausgängen 36 und 216 ab.
Gemäß der Modifikation A6 kann der Messflusspfad 32 nicht mit dem Verengungsabschnitt wie dem vorderen Verengungsabschnitt 111 oder dem hinteren Verengungsabschnitt 112 bereitgestellt sein. In diesem Fall, da die Form des Messflusspfads 32 vereinfacht ist, ist es weniger wahrscheinlich, dass die Form und Größe des Messflusspfads 32 unter der Mehrzahl von Luftflussmessern 20 variiert. Das heißt, die Form und Größe des Messflusspfads 32 variiert kaum unter den Produkten. Daher wird verhindert, dass die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 und die Messgenauigkeit des Luftflussmessers 20 für jedes Produkt variieren, und die Erfassungsgenauigkeit und die Messgenauigkeit können verbessert werden.
<Modifikation der Konfigurationsgruppe B>
Bei der Modifikation B1 kann der Gehäusetrennabschnitt auf der Gehäuseaufnahmefläche bereitgestellt sein. Zum Beispiel ist in der ersten Ausführungsform, wie in 78 gezeigt, der Gehäusetrennabschnitt 131 auf der Gehäuseaufnahmefläche 136 bereitgestellt. In dieser Konfiguration erstreckt sich der Gehäusetrennabschnitt 131 in Richtung der SA-Aufnahmefläche 146 des Sensors SA50. Die Mittellinie CL11 des Gehäusetrennabschnitts 131 erstreckt sich in einer Richtung, die die Höhenrichtung Y schneidet. Der Gehäusetrennabschnitt 131 erstreckt sich nicht in den Richtungen X und Y orthogonal zur Höhenrichtung Y, sondern erstreckt sich schräg von der Gehäuseaufnahmefläche 136 in Richtung der Gehäusebasisendseite. Daher schneidet die Mittellinie CL11 des Gehäusetrennabschnitts 131 auch schräg die Gehäuseaufnahmefläche 136, ohne orthogonal dazu zu sein.
In der vorliegenden Modifikation ist der Gehäusetrennabschnitt 131 auf der Gehäuseaufnahmefläche 136 bereitgestellt. Daher ist es durch einfaches Schieben des Sensors SA50 in Tiefenseite des SA-Aufnahmebereichs 150 möglich, den Spitzenendabschnitt des Gehäusetrennabschnitts 131 so zu verformen, dass er an dem äußeren Eckabschnitt zwischen der Gehäusestufenfläche 137 und der Gehäuseaufnahmefläche 136 abgeschabt wird. Infolgedessen kommt der Gehäusetrennabschnitt 131 leicht in engen Kontakt mit der Gehäuseaufnahmefläche 136. In 78 ist ein Abschnitt des Gehäusetrennabschnitts 131, der so verformt ist, dass er durch den Sensor SA50 abgeschabt wird, durch eine Zweipunkt-Kettenlinie angegeben.
In der Modifikation B2 kann der Gehäusetrennabschnitt auch in der zweiten Ausführungsform, ähnlich wie in der ersten Ausführungsform, auf der Gehäusestufenfläche bereitgestellt sein. Zum Beispiel, wie in 79 gezeigt, ist der Gehäusetrennabschnitt 271 auf der Gehäusestufenfläche 277 bereitgestellt. In dieser Konfiguration wird das erste Zwischenloch 236a des ersten Zwischenwandabschnitts 236 nicht durch den Spitzenendabschnitt des Gehäusetrennabschnitts 271, sondern durch die Spitzenendfläche des ersten Zwischenwandabschnitts 236 gebildet. In 79 ist ein Abschnitt des Gehäusetrennabschnitts 271, der durch den Sensor SA220 zerdrückt wird, durch eine Zweipunkt-Kettenlinie angegeben.
Wie in 80 gezeigt, ist in dem Basiselement 291 der Basisvorsprung 271a an der Wandfläche auf der Gehäusebasisendseite relativ zu dem ersten Basisvorsprungabschnitt 295 bereitgestellt. In dem Abdeckungselement 292 ist der Abdeckungsvorsprung 271b auf der Fläche an der Gehäusebasisendseite relativ zu dem ersten Abdeckungsvorsprungsabschnitt 297 bereitgestellt.
Gemäß der Modifikation B3 kann der Gehäusetrennabschnitt auch bei der ersten Ausführungsform, ähnlich wie bei der zweiten Ausführungsform, auf der Fläche des Gehäuseflusspfads bereitgestellt sein. Zum Beispiel ist der Gehäusetrennabschnitt 131 auf der Gehäuseflusspfadfläche 135 bereitgestellt.
Gemäß der Modifikation B4 kann in der Erfassungseinheit ein Aussparungsabschnitt bereitgestellt sein, in den der Gehäuseausparungsabschnitt eintritt. Zum Beispiel, wie in 81 gezeigt, ist in der ersten Ausführungsform ein SA-Aussparungsabschnitt 161 als ein Einheitsaussparungsabschnitt auf der SA-Stufenfläche 147 des Sensors SA50 bereitgestellt. In dieser Konfiguration tritt in einem Zustand, in dem der Sensor SA50 an dem ersten Gehäuseabschnitt 151 angebracht ist, der Gehäusetrennabschnitt 131 in den SA-Aussparungsabschnitt 161 ein. Die Richtung der Aussparung des SA-Aussparungsabschnitts 161 von der SA-Stufenfläche 147 ist die gleiche wie die Richtung des Vorsprungsabschnitts des Gehäusetrennabschnitts 131 von der Gehäusestufenfläche 137. Das heißt, die Mittellinie des SA-Aussparungsabschnitts 161 deckt sich mit der Mittellinie CL11 des Gehäusetrennabschnitts 131.
In dieser Konfiguration sind der Gehäusetrennabschnitt 131 und die innere Fläche des SA-Aussparungsabschnitts 161 leicht in engem Kontakt miteinander. Insbesondere ist die Tiefendimension des SA-Aussparungsabschnitts 161, die die Aussparungsdimension von der SA-Stufenfläche 147 ist, kleiner als die Vorsprungdimension des Gehäusetrennabschnitts 131 von der Gehäusestufenfläche 137. In diesem Fall wird der Sensor SA50 von dem Gehäuseöffnungsabschnitt 151a aus eingeführt, um zu bewirken, dass der Gehäusetrennabschnitt 131 in das Innere des SA-Aussparungsabschnitts 161 eindringt, und dann wird der Sensor SA50 ferner gedrückt, so dass der Gehäusetrennabschnitt 131 mit der inneren Fläche des SA-Aussparungsabschnitts 161 in Kontakt kommt und verformt wird, um zerdrückt zu werden. Infolgedessen kommt der Gehäusetrennabschnitt 131 leicht in engen Kontakt mit der inneren Fläche des SA-Aussparungsabschnitts 161.
Selbst wenn der Gehäusetrennabschnitt 131 nicht in Kontakt mit der inneren Fläche des SA-Aussparungsabschnitts 161 ist, da der Spalt zwischen der äußeren Fläche des Gehäusetrennabschnitts 131 und der inneren Fläche des SA-Aussparungsabschnitts 161 eine gekrümmte Form hat, dringt der Fremdkörper oder die Luft kaum durch den Spalt. Daher tritt bei der Herstellung des zweiten Gehäuseabschnitts 152 der Gehäusetrennabschnitt 131 in den SA-Aussparungsabschnitt 161 ein, wodurch es möglich ist, das Eindringen des geschmolzenen Harzes in den Messflusspfad 32 durch den Spalt zwischen dem ersten Gehäuseabschnitt 151 und dem Sensor SA50 zu unterdrücken.
In der Modifikation B5 kann der Spalt zwischen dem Gehäuse und der Erfassungseinheit durch den in der Erfassungseinheit enthaltenen Einheitstrennabschnitt geteilt werden. Zum Beispiel, wie in 82 gezeigt, hat in der zweiten Ausführungsform der Sensor SA220 als Erfassungseinheit einen SA-Trennabschnitt 302 als einen Einheitstrennabschnitt. Der SA-Trennabschnitt 302 ist ein Vorsprungsabschnitt, der an der äußeren Fläche des Sensors SA220 bereitgestellt ist und von dem Sensor SA220 in Richtung des Gehäuses 201 vorsteht. Der Spitzenendabschnitt des SA-Trennabschnitts 302 ist in Kontakt mit der inneren Fläche des Gehäuses 201. Der SA-Trennabschnitt 302 teilt den SA-Aufnahmebereich 290 und den Messflusspfad 212 zwischen der äußeren Fläche des Sensors SA220 und der inneren Fläche des Gehäuses 201.
Der SA-Trennabschnitt 302 ist an der SA-Flusspfadfläche 285 des Sensors SA220 bereitgestellt. Der SA-Trennabschnitt 302 ist in einem Abschnitt der SA-Flusspfadfläche 285 bereitgestellt, der der Gehäuseflusspfadfläche 275 des Gehäuses 201 zugewandt ist, und ragt nach außen in Richtung der Gehäuseflusspfadfläche 275 in einer Richtung, die die Höhenrichtung Y schneidet. Eine Mittellinie CL14 des SA-Trennabschnitts 302 erstreckt sich linear in den Richtungen X und Z orthogonal zur Höhenrichtung Y. Der SA-Trennabschnitt 302 umgibt ringförmig den Außenumfang des Sensors SA220 zusammen mit der SA-Flusspfadfläche 285. In diesem Fall hat der SA-Trennabschnitt 302 einen Abschnitt, der sich in der Breitenrichtung X erstreckt, und einen Abschnitt, der sich in der Tiefenrichtung Z erstreckt, und hat insgesamt eine im Wesentlichen rechteckige Rahmenform.
Der SA-Trennabschnitt 302 hat eine sich verjüngende Form ähnlich wie der Gehäusetrennabschnitt 131 der ersten Ausführungsform. Im Gehäuse 201 ist die Spitzenendfläche des ersten Zwischenwandabschnitts 236 eine ebene Fläche, und der Spitzenendabschnitt des SA-Trennabschnitts 302 steht in Kontakt mit der ebenen Fläche.
Im Herstellungsprozess des Luftflussmessers 200 wird bei der Montage des Sensors SA220 mit dem Basiselement 291, wie in 83 gezeigt, der SA-Trennabschnitt 302 in der gleichen Weise verformt, wie der Basisvorsprung 271a der ersten Ausführungsform verformt wird. Insbesondere wird durch das Einschieben des Sensors SA220 in das Basiselement 291 von dem Basisöffnungsabschnitt 291a aus der Spitzenendabschnitt des SA-Trennabschnitts 302 verformt, indem er von dem ersten Basisvorsprungabschnitt 295 des Basiselements 291 zerdrückt oder abgeschabt wird. Bei der Montage des Abdeckungselements 292 mit dem Basiselement 291 wird der SA-Trennabschnitt 302 auf die gleiche Weise verformt wie der Abdeckungsvorsprung 271b der ersten Ausführungsform. Insbesondere wird durch das Pressen des Abdeckungselements 292 gegen den Sensor SA220 und das Basiselement 291 der Endabschnitt des SA-Trennabschnitts 302 durch den ersten Abdeckungsvorsprungsabschnitt 297 des Abdeckungselements 292 zerdrückt und verformt. In diesen Fällen wird in dem SA-Trennabschnitt 302 der Spitzenendabschnitt zerdrückt oder abgeschabt, so dass die neu gebildete Spitzenendfläche leicht in engen Kontakt mit der Gehäuseflusspfadfläche 275 des Gehäuses 201 kommt, und die Dichtheit zwischen dem SA-Trennabschnitt 302 und der Gehäuseflusspfadfläche 275 wird verbessert.
Als Modifikation B6 kann in der Modifikation B5, wie in 84 gezeigt, der SA-Trennabschnitt 302 auf der SA-Stufenfläche 287 des Sensors SA220 bereitgestellt sein. Der SA-Trennabschnitt 302 erstreckt sich in der Höhenrichtung Y in Richtung der Gehäusestufenfläche 277. Die Mittellinie CL4 des SA-Trennabschnitts 302 erstreckt sich in der Höhenrichtung Y. Der SA-Trennabschnitt 302 umgibt ringförmig den Außenumfang des Sensors SA220 zusammen mit der SA-Stufenfläche 287.
Im Herstellungsprozess des Luftflussmessers 200 wird der SA-Trennabschnitt 302 bei der Montage des Sensors SA220 mit dem Basiselement 291, wie in 85 dargestellt, durch die Vorsprungsabschnitte 295 und 297 des Basiselements 291 oder des Abdeckungselements 292 wie in der Modifikation B5 verformt. Infolgedessen kommt die neue Spitzenendfläche des SA-Trennabschnitts 302 leicht in engen Kontakt mit der Gehäuseflusspfadfläche 275.
Wie in 85 gezeigt, ist der SA-Trennabschnitt 302 auf der SA-Stufenfläche 287 in einer Position bereitgestellt, die näher an der SA-Flusspfadfläche 285 als an der SA-Aufnahmefläche 286 liegt. In dieser Konfiguration ist es durch Teilen des Messflusspfads 212 und des SA-Aufnahmebereichs 290 durch den SA-Trennabschnitt 302 an einer Position so nahe wie möglich an der Seite des Messflusspfads 212 möglich, einen Abschnitt des Spalts zwischen dem Gehäuse 201 und dem Sensor SA220, der im Messflusspfad 212 enthalten ist, so klein wie möglich zu machen. Durch Bereitstellen des SA-Trennabschnitts 302 an einer Position möglichst nahe an der SA-Flusspfadfläche 285 kann daher die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 202 verbessert werden.
Wie in 84 und 85 gezeigt, schneiden sich in der Konfiguration, in der der auf der SA-Stufenfläche 287 bereitgestellte SA-Trennabschnitt 302 in Kontakt mit der Gehäusestufenfläche 277 steht, sowohl die SA-Stufenfläche 287 als auch die Gehäusestufenfläche 277 in der Höhenrichtung Y und stehen einander gegenüber. Daher verhakt sich der SA-Trennabschnitt 302 an der Gehäusestufenfläche 277, wenn der Sensor SA220 in das erste Zwischenloch 236a des ersten Zwischenwandabschnitts 236 eingeführt wird. Daher kann der SA-Trennabschnitt 302 in engen Kontakt mit der Gehäusestufenfläche 277 gebracht werden, indem die Arbeit ausgeführt wird, den Sensor SA220 einfach in das Gehäuse 201 in Richtung des Messflusspfads 212 zu schieben.
Als Modifikation B7 kann durch Kombination der oben beschriebenen Modifikationen B4 und B5 ein Gehäuseaussparungsabschnitt, in den der Einheitstrennabschnitt eindringt, im Gehäuse bereitgestellt sein. Zum Beispiel, wie in 86 gezeigt, hat in der ersten Ausführungsform der Sensor SA50 als die Erfassungseinheit einen SA-Trennabschnitt 162 als den Einheitstrennabschnitt, und das Gehäuse 21 hat einen Gehäuseaussparungsabschnitt 163. In dieser Konfiguration ist der SA-Trennabschnitt 162 ein Vorsprungsabschnitt, der an der äußeren Fläche des Sensors SA50 bereitgestellt ist und vom Sensor SA50 in Richtung des Gehäuses 21 vorsteht. Der SA-Trennabschnitt 162 tritt in den Gehäuseaussparungsabschnitt 163 ein.
Der SA-Trennabschnitt 162 ist auf der SA-Stufenfläche 147 des Sensors SA50 bereitgestellt. Der SA-Trennabschnitt 162 erstreckt sich in der Höhenrichtung Y, und eine Mittellinie CL13 des SA-Trennabschnitts 162 erstreckt sich linear in einem Zustand, in dem sie sowohl in Bezug auf die SA-Stufenfläche 147 als auch auf die Gehäusestufenfläche 137 geneigt ist. Der SA-Trennabschnitt 162 umgibt ringförmig den Außenumfang des Sensors SA50 zusammen mit der SA-Stufenfläche 147. In diesem Fall hat der SA-Trennabschnitt 162 einen Abschnitt, der sich in Breitenrichtung X erstreckt, und einen Abschnitt, der sich in Tiefenrichtung Z erstreckt, und er hat insgesamt eine im Wesentlichen rechteckige Rahmenform. Der SA-Trennabschnitt 162 hat eine sich verjüngende Form, ähnlich wie der Gehäusetrennabschnitt 131 der ersten Ausführungsform.
Der Gehäuseaussparungsabschnitt 163 ist in der Gehäusestufenfläche 137 bereitgestellt. Die Aussparungsrichtung des Gehäuseaussparungsabschnitts 163 von der Gehäusestufenfläche 137 ist die gleiche wie die Vorsprungrichtung des SA-Trennabschnitts 162 von der SA-Stufenfläche 147. Das heißt, die Mittellinie des Gehäuseaussparungsabschnitts 163 fällt mit der Mittellinie CL13 des SA-Trennabschnitts 162 zusammen.
Der SA-Trennabschnitt 162 tritt in den Gehäuseaussparungsabschnitt 163 ein. In dieser Konfiguration stehen der SA-Trennabschnitt 162 und die innere Fläche des Gehäuseaussparungsabschnitts 163 leicht in engem Kontakt zueinander. Insbesondere ist die Tiefendimension des Gehäuseaussparungsabschnitts 163 kleiner als die Vorsprungdimension des SA-Trennabschnitts 162. In diesem Fall wird der Sensor SA50, nachdem er von dem Gehäuseöffnungsabschnitt 151a eingeführt und der SA-Trennabschnitt 162 in den Gehäuseaussparungsabschnitt 163 eingeführt wurde, ferner gedrückt, so dass der SA-Trennabschnitt 162 mit der inneren Fläche des Gehäuseaussparungsabschnitts 163 in Kontakt kommt und so verformt wird, dass er zerdrückt wird. Infolgedessen kommt der SA-Trennabschnitt 162 leicht in engen Kontakt mit der inneren Fläche des Gehäuseaussparungsabschnitts 163. Selbst wenn der SA-Trennabschnitt 162 nicht in Kontakt mit der inneren Fläche des Gehäuseaussparungsabschnitts 163 steht, ist es weniger wahrscheinlich, dass Fremdkörper oder Luft durch den Spalt gelangen, da der Spalt zwischen der äußeren Fläche des SA-Trennabschnitts 162 und dem Gehäuseaussparungsabschnitt 163 eine gekrümmte Form hat.
In 86 ist unter den Winkeln zwischen der Mittellinie CL13 des SA-Trennabschnitts 162 und der Gehäusestufenfläche 137 ein dem SA-Aufnahmebereich 150 zugewandter Aufnahmeseitenwinkel 014 größer als ein dem Messflusspfad 32 zugewandter Flusspfadseitenwinkel 013. Das heißt, die Beziehung 014 > 013 ist hergestellt. In dieser Konfiguration, wenn der Endabschnitt des SA-Trennabschnitts 162 in Kontakt mit der Gehäusestufenfläche 137 kommt, fällt oder kollabiert der Endabschnitt des SA-Trennabschnitts 162 leicht in Richtung der Seite des SA-Aufnahmebereichs 150 und nicht in Richtung des Messflusspfads 32. Daher ist es selbst dann, wenn der SA-Trennabschnitt 162 durch die Gehäusestufenfläche 137 zerdrückt wird, um den zerdrückten Rückstandwie Fragmente zu erzeugen, weniger wahrscheinlich, dass der zerdrückte Rückstand in den Messflusspfad 32 gelangen.
Wie in 86 gezeigt, schneiden sich in der Konfiguration, in der der auf der SA-Stufenfläche 147 bereitgestellte SA-Trennabschnitt 162 in Kontakt mit der Gehäusestufenfläche 137 steht, sowohl die SA-Stufenfläche 147 als auch die Gehäusestufenfläche 137 in der Höhenrichtung Y und sind einander zugewandt. Daher verhakt sich der SA-Trennabschnitt 162 an der Gehäusestufenfläche 137, wenn der Sensor SA50 in den ersten Gehäuseabschnitt 151 eingeführt wird. In diesem Fall kann der SA-Trennabschnitt 162 in engen Kontakt mit der Gehäusestufenfläche 137 gebracht werden, indem der Sensor SA50 einfach in den ersten Gehäuseabschnitt 151 in Richtung des Messflusspfads 32 geschoben wird.
Gemäß der Modifikation B8 kann die Einbauposition des auf der Gehäusestufenfläche bereitgestellten Gehäusetrennabschnitts nicht näher an der Gehäuseflusspfadfläche als an der Gehäuseaufnahmefläche liegen. In der zweiten Ausführungsform ist der Gehäusetrennabschnitt 271 auf der Gehäusestufenfläche 277 beispielsweise an einer Position näher an der Gehäuseaufnahmefläche 276 als an der Gehäuseflusspfadfläche 275 ausgeführt. Ferner kann an der Gehäusestufenfläche 137 die Trennungsdistanz zum Gehäusetrennabschnitt 131 zwischen der Gehäuseflusspfadfläche 135 und der Gehäuseaufnahmefläche 136 gleich sein.
In der Modifikation B9 kann die Einbauposition des auf der Gerätestufenfläche bereitgestellten Gerätetrennabschnitts keine Position sein, die näher an der Geräteflusspfadfläche liegt als an der Geräteaufnahmefläche. Zum Beispiel ist in der oben beschriebenen Modifikation B6 auf der SA-Stufenfläche 287 der SA-Trennabschnitt 302 an einer Position bereitgestellt, die näher an der SA-Aufnahmefläche 286 liegt als an der SA-Flusspfadfläche 285. In der SA-Stufenfläche 287 kann die Trennungsdistanz zum SA-Trennabschnitt 302 zwischen der SA-Flusspfadfläche 285 und der SA-Aufnahmefläche 286 gleich sein.
In der Modifikation B10 kann der Gehäusetrennabschnitt auf einer Mehrzahl von Flächen der Gehäusestufenfläche, der Gehäuseflusspfadfläche und der Gehäuseaufnahmefläche bereitgestellt sein. In dieser Konfiguration können die Gehäusetrennabschnitte, die auf der Mehrzahl der Flächen bereitgestellt sein, miteinander verbunden sein oder unabhängig voneinander sein. Zum Beispiel sind in der ersten Ausführungsform die auf der Gehäusestufenfläche 137 und der Gehäuseflusspfadfläche 135 bereitgestellten Gehäusetrennabschnitte 131 unabhängig voneinander in der Höhenrichtung Y angeordnet.
Gemäß der Modifikation B11 kann der Einheitstrennabschnitt auf einer Mehrzahl von Flächen der Einheitenstufenfläche, der Einheitenflusspfadfläche und der Einheitenaufnahmefläche bereitgestellt sein. In dieser Konfiguration können die auf der Mehrzahl der Flächen bereitgestellten Abschnitte der Einheitstrennwand miteinander verbunden oder unabhängig voneinander sein. Zum Beispiel sind in der oben beschriebenen Modifikation B7 die SA-Trennabschnitte 162, die auf der SA-Stufenfläche 147 und der SA-Flusspfadfläche 145 bereitgestellt sind, in der Höhenrichtung Y in einem Zustand angeordnet, in dem sie unabhängig voneinander sind.
Gemäß der Modifikation B12 können der Gehäusetrennabschnitt und der Einheitstrennabschnitt die Erfassungseinheit nicht ringförmig umgeben. Zum Beispiel sind in der Gehäusestufenfläche 137 der ersten Ausführungsform ein Abschnitt mit einer hohen Höhenposition in der Höhenrichtung Y und ein Abschnitt mit einer niedrigen Höhenposition in der Höhenrichtung Y in der Umfangsrichtung angeordnet. In dieser Konfiguration ist der Gehäusetrennabschnitt 131 nur in dem niedrigen Abschnitt des hohen Abschnitts und des niedrigen Abschnitts bereitgestellt. Da in diesem Fall der hohe Abschnitt der Gehäusestufenfläche 137 und der Gehäusetrennabschnitt 131 mit der SA-Stufenfläche 147 in Kontakt sind, wird kein Spalt zwischen der inneren Fläche des ersten Gehäuseabschnitts 151 und dem Sensor SA50 erzeugt. Der Gehäusetrennabschnitt 131 hat auch dann keine Ringform, wenn er sich in Breitenrichtung X oder in Tiefenrichtung Z erstreckt.
Gemäß der Modifikation B13 kann die Messvorrichtung für physikalische Größen sowohl den Gehäusetrennabschnitt als auch den Einheitstrennabschnitt enthalten. In dieser Konfiguration kann von der Gehäusestufenfläche, der Gehäuseflusspfadfläche und der Gehäuseaufnahmefläche der Gehäuseabschnitt auf einer Fläche bereitgestellt sein, die nicht der mit dem Gehäuseabschnitt bereitgestellten Fläche gegenüberliegt, oder der Gehäuseabschnitt kann auf einer Fläche bereitgestellt sein, die der mit dem Gehäuseabschnitt bereitgestellten Fläche gegenüberliegt. Der Gehäusetrennabschnitt und der Einheitstrennabschnitt können miteinander in Kontakt stehen. In dieser Konfiguration werden der Gehäusetrennabschnitt und der Einheitstrennabschnitt gegeneinander gepresst, wenn die Erfassungseinheit in das Gehäuse eingesetzt wird, so dass mindestens einer von Gehäusetrennabschnitt und Einheitstrennabschnitt leicht verformt wird. In diesem Fall, da der Gehäusetrennabschnitt und der Einheitstrennabschnitt leicht in engen Kontakt miteinander gebracht werden, wird die Dichtheit an dem Grenzabschnitt zwischen dem Messflusspfad und dem Aufnahmebereich sowohl durch den Gehäusetrennabschnitt als auch den Einheitstrennabschnitt verbessert.
Gemäß der Modifikation B14 kann sich die Form vor und nach dem Befestigen der Erfassungseinheit am Gehäuse nicht ändern, solange der Gehäusetrennabschnitt in Kontakt mit der äußeren Fläche der Erfassungseinheit steht. Solange der Gehäusetrennabschnitt mit der inneren Fläche des Gehäuses in Kontakt ist, kann sich die Form des Gehäusetrennabschnitts auch nicht ändern, bevor und nachdem die Erfassungseinheit am Gehäuse befestigt ist.
Gemäß der Modifikation B15 ist die Richtung, in der sich der Gehäusetrennabschnitt von der inneren Fläche des Gehäuses erstreckt, nicht auf die obigen Ausführungsformen beschränkt. In der ersten Ausführungsform kann beispielsweise der Aufnahmeseitenwinkel 012 nicht größer sein als der Flusspfadseitenwinkel θ11. Auch die Richtung, in der sich die Trennwand der Einheit von der äußeren Fläche der Erfassungseinheit aus erstreckt, ist nicht auf die obigen Ausführungsformen beschränkt. Beispielsweise kann bei der oben beschriebenen Modifikation B7 der Aufnahmeseitenwinkel 014 nicht größer sein als der Flusspfadseitenwinkel θ11.
In der Modifikation B16 können der Gehäusetrennabschnitt und der Einheitstrennabschnitt keine konische Form haben. Zum Beispiel kann in der ersten Ausführungsform der Gehäusetrennabschnitt 131 eine rechteckige Form im Längsschnitt haben. In diesem Fall ist die Breitendimension des Gehäusetrennabschnitts 131 in den Richtungen X und Z orthogonal zur Höhenrichtung Y zwischen dem Basisendabschnitt und dem Spitzenendabschnitt des Gehäusetrennabschnitts 131 gleich.
Gemäß der Modifikation B17 kann der Bereich, in dem das Gehäuse untergebracht ist, ein Raum sein, in dem sich Gas, wie z.B. Luft, im Inneren des Gehäuses befindet. In dieser Konfiguration wird die Dichtheit an dem Grenzabschnitt zwischen dem Aufnahmebereich und dem Messflusspfad durch den Gehäusetrennabschnitt oder den Einheitstrennabschnitt verbessert, so dass das Kommen und Gehen von Luft zwischen dem Aufnahmebereich und dem Messflusspfad unterdrückt wird. Daher ist es möglich zu unterdrücken, dass die Erfassungsgenauigkeit der Flussrate durch den Flusssensor im Messflusspfad aufgrund von Leckage von Luft aus dem Messflusspfad zum Aufnahmebereich oder Eintritt von Luft aus dem Aufnahmebereich in den Messflusspfad verringert wird.
<Modifikation der Konfigurationsgruppe C>
Bei der Modifikation C1 kann die Eingangsbodenfläche nicht der Seite des Kanaleingangs zugewandt sein. Zum Beispiel ist in der dritten Ausführungsform, wie in 87 gezeigt, die Eingangsbodenfläche 346 so konfiguriert, dass sie der Seite des Kanalausgangs 34 zugewandt ist. In dieser Konfiguration ist die Eingangsbodenfläche 346 in Bezug auf die Hauptflusslinie CL22, die Ausgangsbodenfläche 347 und die Zweigbodenfläche 348 so geneigt, dass sie der Seite gegenüber dem Kanaleingang 33 in der Tiefenrichtung Z zugewandt ist. Wie in 88 dargestellt, kann sich die Eingangsbodenfläche 346 parallel zur Hauptflusslinie CL22 erstrecken. Die gesamte Kanalbodenfläche 345 kann der Seite des Kanalausgangs 34 zugewandt sein und sich parallel zur Hauptflusslinie CL22 erstrecken, wie in 89 dargestellt. In jeder Konfiguration muss die Eingangsdeckenfläche 342 nur in Bezug auf die Eingangsbodenfläche 346 geneigt sein.
Bei der Modifikation C2 kann der Messeingang nicht der Seite des Kanalausgangs zugewandt sein. In der dritten Ausführungsform, wie in 88 gezeigt, ist der Messeingang 35 beispielsweise weder der Seite des Kanaleingangs 33 noch der Seite des Kanalausgangs 34 zugewandt. Der Messeingang 35 erstreckt sich parallel zur Hauptstromlinie CL22 und ist der Seite der Kanalbodenfläche 345 zugewandt. In dieser Konfiguration erstreckt sich die Kanalbodenfläche 345 parallel zur Hauptstromlinie CL22, während die Ausgangsdeckenfläche 343 in Bezug auf die Hauptstromlinie CL22 geneigt ist. Die Ausgangsdeckenfläche 343 ist in Bezug auf die Ausgangsbodenfläche 347 so geneigt, dass sie der Seite des Kanalausgangs 34 zugewandt ist.
In der Modifikation C3 kann ein Teil der Eingangsdeckenfläche eine geneigte Deckenfläche sein. Zum Beispiel in der dritten Ausführungsform, wie in 89 gezeigt, hat die Eingangsdeckenfläche 342 eine Deckenschrägfläche 342a und eine Deckenverbindungsfläche 342b. In dieser Konfiguration erstreckt sich die Deckenschrägfläche 342a von dem Kanaleingang 33 in Richtung des Kanalausgangs 34 und ist in Bezug auf die Eingangsbodenfläche 346 geneigt. Die Deckenschrägfläche 342a ist der Seite des Kanaleingangs 33 zugewandt und ist zusätzlich zur Eingangsbodenfläche 346 in Bezug auf die Hauptflusslinie CL22 geneigt. In Tiefenrichtung Z ist die Längendimension der Deckenschrägfläche 342a kleiner als die Längendimension der Eingangsbodenfläche 346. Die Deckenverbindungsfläche 342b verbindet den stromabwärtigen Endabschnitt der Deckenschrägfläche 342a und den stromaufwärtigen Endabschnitt des Messeingangs 35 in der Tiefenrichtung Z und erstreckt sich parallel zu der in Hauptflussrichtung erstreckenden Hauptflusslinie CL22. In der Tiefenrichtung Z ist z.B. die Längendimension der Deckenschrägfläche 342a größer als die Längendimension der Deckenverbindungsfläche 342b.
In der vorliegenden Modifikation ist die Deckenschrägfläche 342a ein Abschnitt, der der Eingangsdeckenfläche 342 der dritten Ausführungsform entspricht. Daher ist der Neigungswinkel der Deckenschrägfläche 342a in Bezug auf die Eingangsbodenfläche 346 der Neigungswinkel θ21, und der Neigungswinkel der Deckenschrägfläche 342a in Bezug auf die Hauptflusslinie CL22 ist der Neigungswinkel θ22. Die Trennungsdistanz zwischen der Deckenschrägfläche 342a und der Eingangsbodenfläche 346 in der Höhenrichtung Y ist die Trennungsdistanz H21.
Wie in der Modifikation C4 kann in der dritten Ausführungsform der Neigungswinkel θ21 der Eingangsdeckenfläche 342 in Bezug auf die Eingangsbodenfläche 346 ein Wert sein, der gleich oder kleiner ist als der Neigungswinkel θ22 der Eingangsdeckenfläche 342 in Bezug auf die Hauptflusslinie CL22. Zum Beispiel ist die Eingangsbodenfläche 346, wie in der oben beschriebenen Modifikation C1, in Bezug auf die Hauptflusslinie CL22 so geneigt, dass sie der Seite des Kanalausgangs 34 zugewandt ist.
Als Modifikation C5 kann in der dritten Ausführungsform, wenn der Neigungswinkel θ21 der Eingangsdeckenfläche 342 in Bezug auf die Eingangsbodenfläche 346 ein Wert von 10 Grad oder mehr ist, der Neigungswinkel θ22 der Eingangsdeckenfläche 342 in Bezug auf die Hauptflusslinie CL22 nicht ein Wert von 10 Grad oder mehr sein. Zum Beispiel ist die Eingangsdeckenfläche 342 so konfiguriert, dass sie dem Kanalausgang 34 zugewandt ist. In dieser Konfiguration ist der Neigungswinkel θ22 der Eingangsdeckenfläche 342 in Bezug auf die Hauptflusslinie CL22 ein Wert kleiner als 0 Grad, während der Neigungswinkel θ21 der Eingangsdeckenfläche 342 in Bezug auf die Eingangsbodenfläche 346 10 Grad oder mehr beträgt. In diesem Fall ist die Eingangsbodenfläche 346 in Bezug auf die Hauptflusslinie CL22 stark geneigt, so dass sie der Seite des Kanaleingangs 33 zugewandt ist.
Gemäß der Modifikation C6 kann in der dritten Ausführungsform der Neigungswinkel θ23 der Zweigmessfläche CL23 in Bezug auf die Eingangsbodenfläche 346 ein Wert sein, der gleich oder größer ist als der Neigungswinkel θ24 der Zweigmessfläche CL23 in Bezug auf die Hauptflusslinie CL22. Beispielsweise ist die Eingangsbodenfläche 346 ähnlich wie bei der Modifikation C4 in Bezug auf die Hauptflusslinie CL22 so geneigt, dass sie der Seite des Kanalausgangs 34 zugewandt ist.
Wie die Modifikation C7 kann in der dritten Ausführungsform der Neigungswinkel θ21 der Eingangsdeckenfläche 342 in Bezug auf die Eingangsbodenfläche 346 ein Wert in einem Bereich größer als 0 Grad und kleiner als 10 Grad sein. Der Neigungswinkel θ22 der Eingangsdeckenfläche 342 in Bezug auf die Hauptflusslinie CL22 kann ein Wert in einem Bereich sein, der größer als 0 Grad und kleiner als 10 Grad ist.
Als Modifikation C8 kann in der dritten Ausführungsform der Neigungswinkel θ23 der Zweigmesslinie CL23 in Bezug auf die Eingangsbodenfläche 346 ein Wert in einem Bereich größer als 0 Grad und kleiner als 90 Grad sein. Der Neigungswinkel θ24 der Zweigmesslinie CL23 in Bezug auf die Hauptflusslinie CL22 kann ein Wert in einem Bereich größer als 0 Grad und kleiner als 90 Grad sein.
In der dritten Ausführungsform C9 können die Eingangsdeckenfläche 342 und die Eingangsbodenfläche 346 so gekrümmt sein, dass sie zur Gehäusespitzenendseite hin gewölbt oder gekrümmt sind. In dieser Einstellung wird beispielsweise eine lineare imaginäre Linie angenommen, die durch den stromaufwärtigen Endabschnitt und den stromabwärtigen Endabschnitt der Eingangsdeckenfläche 342 verläuft, und der Neigungsmodus der imaginären Linie in Bezug auf die Eingangsbodenfläche 346 und die Hauptflusslinie CL22 wird als der Neigungsmodus der Eingangsdeckenfläche 342 festgelegt. Es wird von einer geradlinigen imaginären Linie ausgegangen, die durch den stromaufwärtigen Endabschnitt und den stromabwärtigen Endabschnitt der Eingangsbodenfläche 346 verläuft, und ein Neigungsmodus der imaginären Linie in Bezug auf die Eingangsdeckenfläche 342 und die Zweigmesslinie CL23 wird als Neigungsmodus der Eingangsbodenfläche 346 eingestellt.
Gemäß der Modifikation C10 kann der Kanalflusspfad 31 in der dritten Ausführungsform den Ausgangskanalpfad 332 nicht enthalten, solange der Kanalflusspfad 31 den Eingangskanalpfad 331 und den Zweigkanalpfad 333 enthält. In dieser Konfiguration ist der stromabwärtige Endabschnitt des Zweigkanalpfads 333 der Kanalausgang 34. In dieser Konfiguration hat die Kanaldeckenfläche 341 die Eingangsdeckenfläche 342, aber nicht die Ausgangsdeckenfläche 343. In dieser Konfiguration hat die Kanalbodenfläche 345 die Eingangsbodenfläche 346 und die Zweigbodenfläche 348, aber nicht die Ausgangsbodenfläche 347.
Gemäß der Modifikation C11 kann in der dritten Ausführungsform die Verringerungsrate der Querschnittsfläche S21 des Eingangskanalpfads 331 kein konstanter Wert zwischen dem stromaufwärtigen Endabschnitt und dem stromabwärtigen Endabschnitt des Eingangskanalpfads 331 sein. Es wird beispielsweise angenommen, dass die Verringerungsrate der Querschnittsfläche S21 graduell von dem Kanaleingang 33 zu dem Kanalausgang 34 hin verringert wird. In dieser Konfiguration hat der Graph, der den Wert der Querschnittsfläche S21 im Eingangskanalpfad 331 anzeigt, im Gegensatz zu 67 eine nach unten gewölbte Form. Die Verringerungsrate der Querschnittsfläche S21 ist so konfiguriert, dass sie von dem Kanaleingang 33 in Richtung des Kanalausgangs 34 graduell erhöht wird. In dieser Konfiguration hat der Graph, der den Wert der Querschnittsfläche S21 im Eingangskanalpfad 331 anzeigt, im Gegensatz zu 67 eine nach oben gewölbte Form.
Gemäß der Modifikation C12 kann in der dritten Ausführungsform die Querschnittsfläche S21 des Eingangskanalpfads 331 eine Querschnittsfläche in einer Richtung orthogonal zur Eingangskanallinie CL24 anstelle einer Querschnittsfläche in einer Richtung orthogonal zur Hauptstromlinie CL22 sein.
Wie die Modifikation C13 kann in der dritten Ausführungsform der Zweigmesspfad 351 gekrümmt sein, ohne sich gerade von dem Messeingang 35 aus zu erstrecken. Das heißt, die Mittellinie des Zweigmesspfads 351 kann gekrümmt sein, ohne sich gerade zu erstrecken. Für die Konfiguration, in der die Mittellinie des Zweigmesspfads 351 gekrümmt ist, wird eine Tangentiallinie am Messeingang 35 für die Mittellinie des Zweigmesspfads 351 angenommen, und diese Tangentiallinie wird als die Zweigmesslinie CL23 definiert.
Gemäß der Modifikation C14 kann in der dritten Ausführungsform der Neigungswinkel θ26 der Zweigmesslinie CL23 in Bezug auf die Ausgangskanallinie CL25 ein Wert in einem Bereich größer als 0 Grad und kleiner als 60 Grad sein.
Gemäß der Modifikation C15 kann der Flusssensor 22 im Messflusspfad 32 im Zweigmesspfad 351, im Führungsmesspfad 352 und im Entlademesspfad 354 bereitgestellt sein.
Gemäß der Modifikation C16 kann bei dem Luftflussmesser 20 der Abschnitt mit der Winkeleinstellfläche 27a zum Festlegen des Einbauwinkels des Gehäuses 21 in Bezug auf den Ansaugkanal 12 nicht der Flanschabschnitt 27 sein. Beispielsweise ist das Gehäuse 21 am Rohrflansch 14c mit einer Schraube oder dergleichen in einem Zustand befestigt, in dem ein Teil des Gehäuses 21 an der Spitzenendfläche des Rohrflansches 14c der Rohreinheit 14 anliegt. In dieser Konfiguration ist eine Fläche des Gehäuses 21, die die Spitzenendfläche des Rohrflansches 14c überlappt, eine Winkeleinstellfläche, und die Winkeleinstellfläche überlappt die Spitzenendfläche des Rohrflansches 14c, so dass der Installationswinkel des Gehäuses 21 in Bezug auf den Ansaugkanal 12 festgelegt ist.
<Modifikation der Konfigurationsgruppe D>
Bei der Modifikation D1 kann die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 421 einen gekrümmten Abschnitt haben. Zum Beispiel, wie in 90 gezeigt, hat die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 421 eine stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 461 zusätzlich zu der stromabwärtigen äußeren Seitenfläche 422 und der stromabwärtigen äußeren Längsfläche 423. Die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 461 erstreckt sich entlang der Mittellinie CL4 des Messflusspfads 32 und ist so gekrümmt, dass sie sich kontinuierlich entlang der Mittellinie CL4 krümmt. Die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 461 ist zwischen der stromabwärtigen äußeren Seitenfläche 422 und der stromabwärtigen äußeren Längsfläche 423 in der Richtung bereitgestellt, in der sich die Mittellinie CL4 erstreckt, und verbindet die stromabwärtige äußere Seitenfläche 422 und die stromabwärtige äußere Längsfläche 423.
Ein Krümmungsradius R34 der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 461 ist kleiner als der Krümmungsradius R33 der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411. Daher ist, ähnlich wie bei der ersten Ausführungsform, die Krümmung der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 schärfer als die Krümmung der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411. Andererseits ist der Krümmungsradius R34 der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 461 größer als der Krümmungsradius R32 der stromabwärtigen inneren gekrümmten Fläche 425. Daher ist die Krümmung der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 geringer als die Krümmung der stromabwärtigen inneren gekrümmten Fläche 425.
Die Anordnungslinie CL31 verläuft nicht durch die stromabwärtige äußere Längsfläche 423, sondern durch die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 461 in der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421. In dieser Konfiguration ändert die Luft, die den Flusssensor 22 durchflossen hat und sich entlang der Anordnungslinie CL31 fortbewegt hat, ihre Richtung, indem sie auf die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 461 trifft, und bewegt sich leicht in Richtung der stromabwärtigen Seite des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407.
Gemäß der vorliegenden Modifikation, da die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 421 die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 461 hat, fließt die Luft, die in Richtung des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407 von zwischen dem Sensorträgerabschnitt 51 und den Verengungsabschnitten 111 und 112 ausgeblasen wird, leicht entlang der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 461. In diesem Fall, da die Luft, die durch den Flusssensor 22 hindurchgegangen ist, weniger wahrscheinlich in dem stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 bleibt, ist es möglich, eine Verringerung der Flussrate und der Flussgeschwindigkeit der Luft, die durch den Flusssensor 22 hindurchgegangen ist, zu unterdrücken.
Dadurch, dass der Krümmungsradius R34 der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 461 kleiner ist als der Krümmungsradius R33 der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411, ist der Aussparungsgrad der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 vorzugsweise größer als der Aussparungsgrad der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411. Bei dieser Konfiguration fließt die Luft, die den stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 von der Seite des Flusssensors 22 erreicht, leicht in Richtung des Messausgangs 36 entlang der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 461, während der Aussparungsgrad der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 so weit wie möglich erhöht wird. Aufgrund der Form der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 kann daher unterdrückt werden, dass die Luft in dem stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 verbleibt und der Druckverlust in dem stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 erhöht wird.
Als Modifikation D2 kann bei der oben beschriebenen Modifikation D1 die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 421 die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 461 haben, aber mindestens eine der stromabwärtigen äußeren Seitenfläche 422 und der stromabwärtigen äußeren Längsfläche 423 nicht haben. Zum Beispiel enthält die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 421 nicht sowohl die stromabwärtige äußere Seitenfläche 422 als auch die stromabwärtige äußere Längsfläche 423. In dieser Konfiguration erstreckt sich die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 461 zwischen dem stromaufwärtigen Endabschnitt und dem stromabwärtigen Endabschnitt des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407. In diesem Fall ist die gesamte stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 421 die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 461, und die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 421 entspricht der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche.
Gemäß der Modifikation D3 kann die stromaufwärtige äußere gekrümmte Fläche 411 mindestens eine von einer stromaufwärtigen äußeren Längsfläche, die sich gerade von dem stromaufwärtigen Endabschnitt des stromaufwärtigen gekrümmten Pfads 406 erstreckt, und eine stromaufwärtige äußere Querfläche, die sich gerade von dem stromabwärtigen Endabschnitt des stromaufwärtigen gekrümmten Pfads 406 erstreckt, haben. In dieser Konfiguration ist nicht die gesamte stromaufwärtige äußere gekrümmte Fläche 411 die stromaufwärtige äußere gekrümmte Fläche, sondern die stromaufwärtige äußere gekrümmte Fläche 411 hat die stromaufwärtige äußere gekrümmte Fläche zusätzlich zu mindestens einer der stromaufwärtigen äußeren Längsfläche und der stromaufwärtigen äußeren Seitenfläche. In einer Konfiguration, in der die stromaufwärtige äußere gekrümmte Fläche 411 eine stromaufwärtige äußere Längsfläche und eine stromaufwärtige äußere gekrümmte Fläche aufweist, kann die Anordnungslinie CL31 beispielsweise durch die stromaufwärtige äußere Längsfläche verlaufen. In der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 kann ein stromaufwärtiger äußerer innerer Eckabschnitt als innerer Eckabschnitt gebildet werden, in dem die stromaufwärtige äußere Längsfläche und die stromaufwärtige äußere Querfläche nach innen ineinander übergehen.
Gemäß der Modifikation D4 kann die stromaufwärtige innere gekrümmte Fläche 415 mindestens eine von einer stromaufwärtigen inneren Längsfläche, die sich gerade von dem stromaufwärtigen Endabschnitt des stromaufwärtigen gekrümmten Pfads 406 erstreckt, und eine stromaufwärtige innere Querfläche, die sich gerade von dem stromabwärtigen Endabschnitt des stromaufwärtigen gekrümmten Pfads 406 erstreckt, haben. In dieser Konfiguration ist nicht die gesamte stromaufwärtige innere gekrümmte Fläche 415 die stromaufwärtige innere gekrümmte Fläche, sondern die stromaufwärtige innere gekrümmte Fläche 415 hat die stromaufwärtige innere gekrümmte Fläche zusätzlich zu mindestens einer der stromaufwärtigen inneren Längsflächen und der stromaufwärtigen inneren Seitenfläche. In der stromaufwärtigen inneren gekrümmten Fläche 415 kann ein stromaufwärtiger innerer äußerer Eckabschnitt als äußerer Eckabschnitt gebildet werden, in dem die stromaufwärtige innere Längsfläche und die stromaufwärtige innere Querfläche nach außen hin zusammentreffen.
Gemäß der Modifikation D5 kann die stromabwärtige innere gekrümmte Fläche 425 mindestens eine von einer stromabwärtigen inneren Längsfläche, die sich gerade von dem stromaufwärtigen Endabschnitt des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407 erstreckt, und eine stromabwärtige innere Querfläche, die sich gerade von dem stromabwärtigen Endabschnitt des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407 erstreckt, haben. In dieser Konfiguration ist nicht die gesamte stromabwärtige innere gekrümmte Fläche 425 die stromabwärtige innere gekrümmte Fläche, sondern die stromabwärtige innere gekrümmte Fläche 425 hat die stromabwärtige innere gekrümmte Fläche zusätzlich zu mindestens einer der stromabwärtigen inneren Längsfläche und der stromabwärtigen inneren Seitenfläche. In der stromabwärtigen inneren gekrümmten Fläche 425 kann ein stromabwärtiger innerer äußerer Eckabschnitt als ein äußerer Eckabschnitt gebildet werden, an dem die stromabwärtige innere Längsfläche und die stromabwärtige innere Querfläche nach außen hin zusammentreffen.
Gemäß der Modifikation D6 können die äußeren gekrümmten Flächen 411 und 421 und die inneren gekrümmten Flächen 415 und 425 nicht kontinuierlich, sondern stufenweise gekrümmt werden, indem mindestens eine geneigte Fläche in Bezug auf die Anordnungslinie CL31 geneigt ist. Zum Beispiel hat die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 421 eine stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche als geneigte Fläche, die sich gerade in eine in Bezug auf die Anordnungslinie CL31 geneigte Richtung erstreckt. In dieser Konfiguration ist der Verbindungsabschnitt zwischen der stromabwärtigen äußeren Seitenfläche 422 und der stromabwärtigen äußeren Längsfläche 423 durch die stromabwärtige äußere Schrägfläche abgeschrägt, und die stromabwärtige äußere Schrägfläche 421 hat nicht den stromabwärtigen äußeren inneren Eckabschnitt 424. Eine Mehrzahl von stromabwärtigen äußeren geneigten Flächen kann entlang der Mittellinie CL4 des Messflusspfads 32 angeordnet sein, und in dieser Konfiguration hat die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 421 eine Form, die durch die Mehrzahl von stromabwärtigen äußeren geneigten Flächen stufenweise gekrümmt ist.
Als Modifikation D7 kann unabhängig vom Krümmungsradius eine Konfiguration realisiert werden, bei der der Aussparungsgrad der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 größer ist als der Aussparungsgrad der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411. Zum Beispiel wird angenommen, dass die gesamte stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 421 eine stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche ist, die gesamte stromaufwärtige äußere gekrümmte Fläche 411 eine stromaufwärtige äußere gekrümmte Fläche ist und der Krümmungsradius R34 der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 größer ist als der Krümmungsradius R33 der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411. Auch in dieser Konfiguration, wenn die Längendimension der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 kleiner ist als die Längendimension der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 in der Richtung, in der sich die Mittellinie CL4 des Messflusspfads 32 erstreckt, ist der Aussparungsgrad der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 größer als der Aussparungsgrad der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411.
Gemäß der Modifikation D8 kann sich im Sensorpfad 405 mindestens die Messbodenfläche 101 gerade entlang der Anordnungslinie CL31 erstrecken. Der stromaufwärtige Endabschnitt des Flusssensors 22 kann am stromaufwärtigen Endabschnitt des Sensorpfads 405 bereitgestellt sein, und der stromabwärtige Endabschnitt des Flusssensors 22 kann am stromabwärtigen Endabschnitt des Sensorpfads 405 bereitgestellt sein. Beispielsweise können die Längendimension des Sensorpfads 405 und die Längendimension des Flusssensors 22 in Tiefenrichtung Z gleich sein.
Gemäß der Modifikation D9 kann der stromabwärtige Endabschnitt der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 an einer Position bereitgestellt sein, die näher an dem Flusssensor 22 liegt als der stromabwärtige Endabschnitt der stromaufwärtigen inneren gekrümmten Fläche 415 in der Tiefenrichtung Z. In diesem Fall wird der stromaufwärtige Endabschnitt des Sensorpfads 405 nicht durch den stromabwärtigen Endabschnitt der stromaufwärtigen inneren gekrümmten Fläche 415, sondern durch den stromabwärtigen Endabschnitt der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 definiert. Ferner kann der stromaufwärtige Endabschnitt der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 in der Tiefenrichtung Z an einer Position bereitgestellt sein, die näher am Flusssensor 22 liegt als der stromaufwärtige Endabschnitt der stromabwärtigen inneren gekrümmten Fläche 425. In diesem Fall wird der stromaufwärtige Endabschnitt des Sensorpfads 405 nicht durch den stromaufwärtigen Endabschnitt der stromabwärtigen inneren gekrümmten Fläche 425, sondern durch den stromaufwärtigen Endabschnitt der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 definiert.
Wie bei der Modifikation D10 muss die Anordnungslinie CL31 nur durch den Flusssensor 22 verlaufen. Beispielsweise muss die Anordnungslinie CL31 nur durch einen Teil des Wärmewiderstandselements 71 verlaufen, auch wenn es nicht die Mitte CO1 des Wärmewiderstandselements 71 ist. Die Anordnungslinie CL31 kann durch die Mitte oder einen Teil des Membranabschnitts 62 oder durch die Mitte oder einen Teil des Flusssensors 22 verlaufen. Solange sich die Anordnungslinie CL31 in der Anordnungsrichtung des stromaufwärtigen gekrümmten Pfads 406 und des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407 erstreckt, kann die Anordnungslinie CL31 in Bezug auf die Winkeleinstellfläche 27a des Gehäuses 21, die Tiefenrichtung Z und die Hauptflussrichtung geneigt sein.
Gemäß der Modifikation D11 kann der Sensorträgerabschnitt 51 auf der Anordnungslinie CL31, wenn der Flusssensor 22 an einer Position angeordnet ist, die näher an der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 liegt als an der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421, nicht an einer Position angeordnet sein, die näher an der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 liegt als an der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421. In diesem Fall ist der Flusssensor 22 in dem Sensorträgerabschnitt 51 an einer Position angeordnet, die näher an der Formaufwärtsfläche 55c als an der Formabwärtsfläche 55d auf der Anordnungslinie CL31 liegt.
Gemäß der Modifikation D12 kann der Flusssensor 22 auf der Anordnungslinie CL31, solange er an einer Position angeordnet ist, die näher an der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 als an der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 liegt, nicht an einer Position angeordnet sein, die näher an dem stromaufwärtigen Endabschnitt als an dem stromabwärtigen Endabschnitt des Sensorpfads 405 liegt. In diesem Fall ist auf der Anordnungslinie CL31 die Trennungsdistanz zwischen dem stromaufwärtigen Endabschnitt des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407 und der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 größer als die Trennungsdistanz zwischen dem stromabwärtigen Endabschnitt des stromaufwärtigen gekrümmten Pfads 406 und der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411.
Gemäß der Modifikation D13 können im Messflusspfad 32 der stromaufwärtige gekrümmte Pfad 406 und der stromabwärtige gekrümmte Pfad 407 in Bezug auf den Sensorpfad 405 in entgegengesetzte Richtungen gekrümmt sein. Beispielsweise erstrecken sich sowohl der stromaufwärtige gekrümmte Pfad 406 als auch der stromabwärtige gekrümmte Pfad 407 nicht von dem Sensorpfad 405 in Richtung der Gehäusespitzenendseite, sondern einer erstreckt sich in Richtung der Gehäusespitzenendseite und der andere erstreckt sich in Richtung der Gehäusebasisendseite. Erstreckt sich der stromaufwärtige gekrümmte Pfad 406 vom Sensorpfad 405 zur Gehäusespitzenendseite und der stromabwärtige gekrümmte Pfad 407 vom Sensorpfad 405 zur Gehäusebasisendseite, so erstreckt sich die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche 421 nicht von der Messbodenfläche 101, sondern von der Messdeckenfläche 102. Die stromabwärtige innere gekrümmte Fläche 425 erstreckt sich nicht von der Messdeckenfläche 102, sondern von der Messbodenfläche 101.
Gemäß der Modifikation D14 können die Verengungsabschnitte des Messverengungsabschnitts und die Ausdehnungsflächen des Messverengungsabschnitts gekrümmt sein, so dass sie ausgespart sind, oder sie können sich gerade erstrecken, ohne gekrümmt zu sein. Zum Beispiel, wie in 91 gezeigt, erstrecken sich in den Verengungsabschnitten 111 und 112 die Verengungsflächen 431 und 441 gerade von den oberen Abschnitten lila und 112a zur stromaufwärtigen Seite, und die Ausdehnungsflächen 432 und 442 erstrecken sich gerade von den oberen Abschnitten lila und 112a zur stromabwärtigen Seite. Die Verengungsflächen 431 und 441 sind in Bezug auf die Anordnungslinie CL31 so geneigt, dass sie der stromaufwärtigen Seite des Messflusspfads 32 zugewandt sind, und die Ausdehnungsflächen 432 und 442 sind in Bezug auf die Anordnungslinie CL31 so geneigt, dass sie der stromabwärtigen Seite des Messflusspfads 32 zugewandt sind. Die Erhöhungsrate der Vorsprungdimension der Verengungsflächen 431 und 441 ist gleichmäßig von den Verengungsaufwärtsflächen 433 und 443 in Richtung der oberen Abschnitte lila und 112a. Die Verringerungsrate der Vorsprungdimension der Ausdehnungsflächen 432 und 442 ist gleichmäßig von den oberen Abschnitten 111a und 112a zu den Ausdehnungsabwärtsflächen 434 und 444.
Die Verengungsabschnitte 111 und 112 haben Spitzenendflächen, die sich entlang der Anordnungslinie CL1 erstrecken, und diese Spitzenendflächen sind die oberen Abschnitte lila und 112a. Die Mitten der oberen Abschnitte lila und 112a in der Tiefenrichtung Z sind an Positionen angeordnet, die näher an dem stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 liegen als die Mittellinie CL5 des Wärmewiderstandselements 71.
Gemäß der vorliegenden Modifikation kann, da die vordere Verengungsfläche 431 und die hintere Verengungsfläche 441 sich gerade erstrecken, der Begradigungseffekt des Luftflusses durch diese Verengungsflächen 431 und 441 verbessert werden. Da sich die vordere Ausdehnungsfläche 432 und die hintere Ausdehnungsfläche 442 gerade erstrecken, wird der Luftfluss durch die Trennung des Luftflusses von diesen Ausdehnungsflächen 432 und 442 wahrscheinlich so weit gestört, dass die Erfassungsgenauigkeit des Flusssensors 22 nicht reduziert wird. In diesem Fall ist es möglich, das Momentum der Luft, die als Strahl von zwischen dem Sensorträgerabschnitt 51 und den Ausdehnungsflächen 432 und 442 in Richtung des stromabwärtigen gekrümmten Pfads 407 ausgeblasen wird, zu schwächen. Dadurch kann verhindert werden, dass der Strahl von der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 zurückprallt und als Rückfluss zum Flusssensor 22 zurückkehrt.
In dem Messverengungsabschnitt kann sich nur eine der Flächen der Verengung und der Ausdehnung der Messung gerade erstrecken. Insbesondere kann sich mindestens einer der vorderen Verengungsfläche 431, die vordere Ausdehnungsfläche 432, die hintere Verengungsfläche 441 und die hintere Ausdehnungsfläche 442 gerade erstrecken. Der vordere obere Abschnitt lila und der hintere obere Abschnitt 112a können gekrümmt sein, so dass sie sich wölben, oder sie können gekrümmt sein, so dass sie ausgespart sind.
Wie die Modifikation D15 kann die Form und Größe der Verengungsabschnitte 111 und 112 unterschiedlich von denen in der Ausführungsform der ersten Ausführungsform sein. Zum Beispiel können in den Verengungsabschnitten 111 und 112 die Längendimensionen W32a und W32b der Verengungsflächen 431 und 441 nicht kleiner sein als die Längendimensionen W33a und W33b der Ausdehnungsflächen 432 und 442. Die vordere Verengungsaufwärtsfläche 433 und die vordere stromabwärtige Ausdehnungsabwärtsfläche 434 können nicht bündig zueinander sein. In diesem Fall unterscheidet sich die Vorsprungdimension der vorderen Verengungsfläche 431 von der vorderen Verengungsaufwärtsfläche 433 von der Vorsprungdimension der vorderen Ausdehnungsfläche 432 von der vorderen Ausdehnungsabwärtsfläche 434. Ähnlich wie beim vorderen Verengungsabschnitt 111 können auch beim hinteren Verengungsabschnitt 112 die hintere Verengungsaufwärtsfläche 443 und die hintere Ausdehnungsabwärtsfläche 444 nicht bündig miteinander abschließen. In diesem Fall ist die Differenz zwischen der Vorsprungdimension der hinteren Verengungsfläche 441 von der hinteren Verengungsaufwärtsfläche 443 und der Vorsprungdimension der hinteren Ausdehnungsfläche 442 von der hinteren Ausdehnungsabwärtsfläche 444.
Wie die Modifikation D16 kann die Form und Größe des vorderen Verengungsabschnitts 111 und des hinteren Verengungsabschnitts 112 unterschiedlich sein. Zum Beispiel kann die Längendimension W31a des vorderen Verengungsabschnitts 111 größer oder kleiner sein als die Längendimension W31b des hinteren Verengungsabschnitts 112. Die Längendimension W32a der vorderen Verengungsfläche 431 kann größer oder kleiner sein als die Längendimension W32b der hinteren Verengungsfläche 441. Die Längendimension W33a der vorderen Ausdehnungsfläche 432 kann größer oder kleiner sein als die Längendimension W33b der hinteren Ausdehnungsfläche 442. Die Vorsprungdimensionen D32a und D36a des vorderen oberen Abschnitts lila können gleich oder kleiner sein als die Vorsprungdimensionen D32b und D36b des hinteren oberen Abschnitts 112a.
Gemäß der Modifikation D17 können die Verengungsabschnitte 111 und 112 von dem Messtrennabschnitt 451 in der Tiefenrichtung Z nach außen vorstehen. Die Verengungsabschnitte 111 und 112 können an Positionen bereitgestellt sein, die nicht in den stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 oder den stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 eintreten. Beispielsweise sind die Verengungsabschnitte 111 und 112 nur auf dem Sensorpfad 405 des Sensorpfads 405, dem stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 und dem stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 bereitgestellt. Die Verengungsabschnitte 111 und 112 können sich nicht zwischen der Messdeckenfläche 102 und der Messbodenfläche 101 erstrecken. Beispielsweise sind die Verengungsabschnitte 111 und 112 so konfiguriert, dass sie sich nur von einer der Messdeckenflächen 102 und der Messbodenfläche 101 erstrecken. Die Verengungsabschnitte 111 und 112 sind an Positionen bereitgestellt, die sowohl von der Messdeckenfläche 102 als auch von der Messbodenfläche 101 getrennt sind, und zwar zwischen der Messdeckenfläche 102 und der Messbodenfläche 101.
Gemäß der Modifikation D18 muss der Verengungsabschnitt, wie die Verengungsabschnitte 111 und 112, im Messflusspfad 32 nur an mindestens einer der vorderen Messwandfläche 103, der hinteren Messwandfläche 104, der äußeren Messkrümmungsfläche 401 und der inneren Messkrümmungsfläche 402 bereitgestellt sein. Zum Beispiel ist mindestens einer der vorderen Verengungsabschnitte 111 und der hintere Verengungsabschnitt 112 bereitgestellt. Der Verengungsabschnitt wird auf jeder der Messwandflächen 103 und 104 und den Messkrümmungsflächen 401 und 402 bereitgestellt.
Als Modifikation D19 kann der Wölbungsgrad der stromabwärtigen inneren gekrümmten Fläche 425 nicht kleiner sein als der Wölbungsgrad der stromaufwärtigen inneren gekrümmten Fläche 415. Der Aussparungsgrad der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 kann kleiner sein als der Wölbungsgrad der stromabwärtigen inneren gekrümmten Fläche 425. Der Aussparungsgrad der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 kann größer sein als der Wölbungsgrad der stromaufwärtigen inneren gekrümmten Fläche 415. In jeder Konfiguration wird im Messflusspfad 32 vorzugsweise das Verhältnis von L35b > L35a hergestellt.
In der Modifikation D20 kann das Verhältnis von L35b > L35a im Messflusspfad 32 nicht gegeben sein. Das heißt, die Trennungsdistanz L35b zwischen der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 und der stromabwärtigen inneren gekrümmten Fläche 425 kann nicht größer sein als die Trennungsdistanz L35a zwischen der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 und der stromaufwärtigen inneren gekrümmten Fläche 415.
Als Modifikation D21 kann der Aussparungsgrad der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421 nicht größer sein als der Aussparungsgrad der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411.
Als Modifikation D22 kann der Flusssensor 22 auf der Anordnungslinie CL31 nicht an einer Position angeordnet sein, die näher an der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 411 liegt als an der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche 421.
<Modifikation der Konfigurationsgruppe E>
Als Modifikation E1 kann in der Formaufwärtsfläche 55c des Sensorträgerabschnitts 51 der gesamte im Messflusspfad 32 bereitgestellte Abschnitt auf der stromaufwärtigen Seite relativ zu den Verengungsabschnitten 111 und 112 angeordnet sein. Das heißt, wenn im Messflusspfad 32 der Abschnitt, der im Anordnungsquerschnitt CS41 in der Formaufwärtsfläche 55c enthalten ist, auf der stromaufwärtigen Seite relativ zu den Verengungsabschnitten 111 und 112 bereitgestellt ist, kann der andere Abschnitt nicht auf der stromaufwärtigen Seite relativ zu den Verengungsabschnitten 111 und 112 bereitgestellt sein.
Als Modifikation E2 kann in dem Anordnungsquerschnitt CS41 die Formaufwärtsfläche 55c auf der stromaufwärtigen Seite relativ zu mindestens einem der vorderen Verengungsabschnitte 111 und dem hinteren Verengungsabschnitt 112 angeordnet sein. Zum Beispiel ist der hintere Verengungsabschnitt 112 im Anordnungsquerschnitt CS41 auf der stromabwärtigen Formseite relativ zur Formaufwärtsfläche 55c angeordnet.
Gemäß der Modifikation E3 kann in dem Sensorträgerabschnitt 51 die Formaufwärtsschrägfläche 471 in Bezug auf die Höhenrichtung Y so geneigt sein, dass sie sich graduell der Formabwärtsfläche 55d in Richtung der Formbasisendfläche 55b nähert. Die Formaufwärtsschrägfläche 471 kann eine gekrümmte Fläche sein, wie z.B. eine gekrümmte Fläche, die so gekrümmt ist, dass sie sich in der Tiefenrichtung Z wölbt oder gekrümmt ist.
In der Modifikation E4 kann die Formaufwärtsfläche 55c des Sensorträgerabschnitts 51 die Formaufwärtsschrägfläche 471 nicht haben. Beispielsweise ist die Formaufwärtsfläche 55c so konfiguriert, dass sie sich von der Formspitzenendfläche 55a zur Formbasisendfläche 55b erstreckt, ohne in Bezug auf die Höhenrichtung Y geneigt zu sein.
Gemäß der Modifikation E5 kann mindestens ein Teil der Formaufwärtsfläche 55c des Sensorträgerabschnitts 51 im stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 bereitgestellt sein. Zum Beispiel ist die gesamte Formaufwärtsschrägfläche 471 im stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 bereitgestellt. Der Sensorträgerabschnitt 51 kann an einer von dem stromaufwärtigen gekrümmten Pfad 406 getrennten Position bereitgestellt sein.
Gemäß der Modifikation E6 kann in der Formabwärtsfläche 55d des Sensorträgerabschnitts 51 der gesamte Abschnitt, der im Messflusspfad 32 bereitgestellt ist, auf der stromaufwärtigen Seite relativ zu den stromabwärtigen Endabschnitten 111c und 112c der Verengungsabschnitte 111 und 112 angeordnet sein. Das heißt, dass im Messflusspfad 32, wenn der Abschnitt, der in dem Anordnungsquerschnitt CS41 in der Formabwärtsfläche 55d enthalten ist, auf der stromaufwärtigen Seite relativ zu den stromabwärtigen Endabschnitten 111c und 112c der Verengungsabschnitte 111 und 112 vorhanden ist, der andere Abschnitt nicht auf der stromaufwärtigen Seite relativ zu den stromabwärtigen Endabschnitten 111c und 112c bereitgestellt sein kann.
Gemäß der Modifikation E7 muss im Anordnungsquerschnitt CS41 die Formabwärtsfläche 55d nur auf der stromaufwärtigen Seite relativ zu mindestens einem der vorderen stromabwärtigen Endabschnitte 111c des vorderen Verengungsabschnitts 111 und dem hinteren stromabwärtigen Endabschnitt 112c des hinteren Verengungsabschnitts 112 angeordnet sein. Zum Beispiel ist der hintere stromabwärtige Endabschnitt 112c des hinteren Verengungsabschnitts 112 auf der stromabwärtigen Seite relativ zur Formabwärtsfläche 55d im Anordnungsquerschnitt CS41 angeordnet.
Gemäß der Modifikation E8 kann in dem Sensorträgerabschnitt 51 die Formabwärtsschrägfläche 472 in Bezug auf die Höhenrichtung Y so geneigt sein, dass sie sich graduell der Formaufwärtsfläche 55c in Richtung der Formbasisendfläche 55b nähert. Die Formabwärtsschrägfläche 472 kann eine gekrümmte Fläche sein, wie z.B. eine gekrümmte Fläche, die so gekrümmt ist, dass sie sich in der Tiefenrichtung Z wölbt oder gekrümmt ist.
In der Modifikation E9 kann die Formabwärtsfläche 55d des Sensorträgerabschnitts 51 die Formabwärtsschrägfläche 472 nicht haben. Beispielsweise ist die Formabwärtsfläche 55d so konfiguriert, dass sie sich von der Formspitzenendfläche 55a in Richtung der Formbasisendfläche 55b erstreckt, ohne in Bezug auf die Höhenrichtung Y geneigt zu sein.
Gemäß der Modifikation E10 kann mindestens ein Teil der Formabwärtsfläche 55d des Sensorträgerabschnitts 51 in dem stromabwärtigen Pfad 407 bereitgestellt sein. Beispielsweise ist die gesamte Formabwärtsschrägfläche 472 in dem stromabwärtigen Pfad 407 bereitgestellt. Der Sensorträgerabschnitt 51 kann an einer von dem stromabwärtigen gekrümmten Pfad 407 getrennten Position bereitgestellt sein.
Als Modifikation E11 kann in der Formabwärtsfläche 55d des Sensorträgerabschnitts 51 der gesamte im Messflusspfad 32 bereitgestellte Abschnitt auf der stromabwärtigen Seite relativ zu den Verengungsabschnitten 111 und 112 angeordnet sein.
Gemäß der Modifikation E12 kann der Flusssensor 22 auf der stromabwärtigen Seite oder der stromaufwärtigen Seite relativ zum vorderen oberen Abschnitt lila oder zum hinteren oberen Abschnitt 112a bereitgestellt sein, solange der Flusssensor 22 an der Position bereitgestellt ist, an der die Flussrate im Messflusspfad 32 am größten wird. Der Flusssensor 22 kann an einer Position bereitgestellt sein, die sich von der Position unterscheidet, an der die Flussgeschwindigkeit im Messflusspfad 32 am größten wird.
Als Modifikation E13 kann die Öffnungsfläche des Messausgangs 36 nicht kleiner sein als die Öffnungsfläche des Messeingangs 35. Die Öffnungsfläche des Kanalausgangs 34 kann nicht kleiner sein als die Öffnungsfläche des Kanaleingangs 33.
<Modifikation der Konfigurationsgruppe F>
Als Modifikation F1 kann in der ersten Ausführungsform die Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 mindestens eine der abgeschrägten Bodenfläche 535 und der abgeschrägten Öffnungsfläche 536 nicht haben. Wie in 92 gezeigt, hat die Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 beispielsweise nicht sowohl die abgeschrägte Bodenfläche 535 als auch die abgeschrägte Öffnungsfläche 536. In dieser Konfiguration ist die gesamte Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 die Innenwandschrägfläche 534. Die Innenwandschrägfläche 534 erstreckt sich zwischen der Trägeraussparungsbodenfläche 531 und der Trägeraussparungsöffnung 533.
Gemäß der Modifikation F2 kann in der ersten Ausführungsform die Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 nicht die Innenwandschrägfläche 534 haben, und die gesamte Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 kann gekrümmt sein. Wie in 93 gezeigt, hat die Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 beispielsweise eine Bodenkrümmungsfläche 731 und eine Öffnungskrümmungsfläche 732. Die Bodenkrümmungsfläche 731 erstreckt sich von der Trägeraussparungsbodenfläche 531 in Richtung der Formrückseite und bildet einen inneren Umfangsrand der Trägeraussparungsinnenwandfläche 532. Die Bodenkrümmungsfläche 731 ist so gekrümmt, dass sie in Richtung der Außenseite des Trägeraussparungsabschnitts 530 ausgespart ist. Die Öffnungskrümmungsfläche 732 erstreckt sich von der Formrückfläche 55f in Richtung der Formvorderseite und bildet die Trägeraussparungsöffnung 533. Die Öffnungskrümmungsfläche 732 ist so gekrümmt, dass sie sich zur Innenseite des Trägeraussparungsabschnitts 530 hin wölbt. Sowohl die Bodenkrümmungsfläche 731 als auch die Öffnungskrümmungsfläche 732 erstrecken sich ringförmig um die Mittellinie CL53 des Trägeraussparungsabschnitts 530 und sind zwischen der Trägeraussparungsbodenfläche 531 und der Trägeraussparungsöffnung 533 in Breitenrichtung X miteinander verbunden.
Gemäß der Modifikation F3 kann in der ersten Ausführungsform nicht das SA-Substrat 53, sondern der Formrückabschnitt 560 des hinteren Trägerabschnitts 522 geschlossen werden, um die Sensoraussparungsöffnung 503 des Flusssensors 22 abzudecken. Beispielsweise ist, wie in 94 gezeigt, der Formrückabschnitt 560 so konfiguriert, dass er die Sensorrückfläche 22b des Flusssensors 22 überlappt. In dieser Konfiguration sind sowohl der Trägeraussparungsabschnitt 530 als auch das Trägerloch 540 im Formrückabschnitt 560 des hinteren Trägerabschnitts 522 bereitgestellt. Im Trägeraussparungsabschnitt 530 wird die Trägeraussparungsbodenfläche 531 zusätzlich zur Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 auch durch den Formrückabschnitt 560 gebildet.
In der vorliegenden Modifikation kann der Flusssensor 22 auf dem SA-Substrat 53 befestigt sein oder nicht. Beispiele für die Konfiguration, in der der Flusssensor 22 auf dem SA-Substrat 53 angebracht ist, umfassen eine Konfiguration, in der ein Abschnitt des Flusssensors 22, der näher an der Formbasisendseite als der Trägeraussparungsabschnitt 530 liegt, auf dem SA-Substrat 53 angebracht ist. Beispiele für die Konfiguration, in der der Flusssensor 22 nicht auf dem SA-Substrat 53 befestigt ist, enthalten eine Konfiguration, in der der Sensor SA50 das SA-Substrat 53 nicht enthält.
In der oben beschriebenen Modifikation F4 kann die Trägeraussparungsinnenwandfläche 532, ähnlich wie in der oben beschriebenen Modifikation F1, mindestens eine der abgeschrägten Bodenfläche 535 und der abgeschrägten Öffnungsfläche 536 nicht haben. Zum Beispiel, wie in 95 gezeigt, hat die Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 nicht sowohl die abgeschrägte Bodenfläche 535 als auch die abgeschrägte Öffnungsfläche 536.
Als Modifikation F5 kann bei der oben beschriebenen Modifikation F3, ähnlich wie bei der oben beschriebenen Modifikation F2, die Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 nicht die Innenwandschrägfläche 534 haben, und die gesamte Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 kann gekrümmt sein. Zum Beispiel, wie in 96 gezeigt, hat die Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 die Bodenkrümmungsfläche 731 und die Öffnungskrümmungsfläche 732.
Wie die Modifikation F6 in der ersten Ausführungsform ausführt, kann die SA-Substratrückfläche 546 des SA-Substrats 53 nicht eine ebene Fläche sein. Zum Beispiel, wie in 97 gezeigt, hat das SA-Substrat 53 einen Substratvorsprungabschnitt 750. Der Substratvorsprungabschnitt 750 ist ein Vorsprungsabschnitt, der auf der SA-Substratrückfläche 546 bereitgestellt ist und durch einen Teil des SA-Substrats 53 gebildet wird, der in Richtung der Formrückseite vorsteht. Die Mittellinie des Substratvorsprungabschnitts 750 erstreckt sich in der Breitenrichtung X und geht durch die Mitte des Substratvorsprungspitzenendabschnitts 761. Die Mittellinie des Substratvorsprungabschnitts 750 fällt mit der Mittellinie CL51 des Trägerlochs 540 zusammen.
Der Substratvorsprungabschnitt 750 hat einen Substratvorsprungspitzenendabschnitt 761 und eine Substratvorsprungaußenwandfläche 762. Der Substratvorsprungspitzenendabschnitt 761 ist ein Spitzenendabschnitt des Substratvorsprungabschnitts 750, und das Trägerloch 540 erstreckt sich von dem Substratvorsprungspitzenendabschnitt 761 in Richtung des Flusssensors 22. Daher ist der hintere Endabschnitt 542 des Trägerlochs 540 in dem Substratvorsprungspitzenendabschnitt 761 bereitgestellt. Der Substratvorsprungspitzenendabschnitt 761 erstreckt sich ringförmig entlang des äußeren Umfangsrands des hinteren Endabschnitts 542.
Die Substratvorsprungaußenwandfläche 762 erstreckt sich von dem Substratvorsprungspitzenendabschnitt 761 in Richtung der Formvorderseite. Die Substratvorsprungaußenwandfläche 762 ist in Bezug auf die Mittellinie CL51 des Trägerlochs 540 geneigt und weist zur Formrückseite. Der Substratvorsprungabschnitt 750 ist in Richtung der Formrückseite in Breitenrichtung X graduell reduziert und hat insgesamt eine verjüngte Form. Die Substratvorsprungaußenwandfläche 762 erstreckt sich ringförmig entlang des Substratvorsprungspitzenendabschnitts 761. Die Substratvorsprungaußenwandfläche 762 erstreckt sich von dem hinteren Endabschnitt 542 des Trägerlochs 540, und der Substratvorsprungspitzenendabschnitt 761 erstreckt sich linear entlang des Grenzabschnitts zwischen der Substratvorsprungaußenwandfläche 762 und dem hinteren Endabschnitt 542.
Das SA-Substrat 53 wird durch Ausführen von Prozessen, wie z.B. Stanzen, auf einem plattenförmigen Basismaterial hergestellt. Bei der Herstellung des SA-Substrats 53 durch Schneiden des Basismaterials wird in einem Fall, in dem ein sich von der SA-Substratrückfläche 546 zur Formrückseite erstreckender Grat im Umfangsrandabschnitt des hinteren Endabschnitts 542 des Trägerlochs 540 erzeugt wird, der Substratvorsprungabschnitt 750 manchmal unter Verwendung dieses Grats gebildet. In der Konfiguration, in der der Substratvorsprungabschnitt 750 durch den Grat gebildet wird, ist der Substratvorsprungabschnitt 750 nicht notwendigerweise in einer ringförmigen Form gebildet, und die Vorsprungdimension des Substratvorsprungabschnitts 750 von der SA-Substratrückfläche 546 ist nicht notwendigerweise gleichmäßig in der Umfangsrichtung des Substratvorsprungabschnitts 750.
Als nächstes wird ein Luftfluss innerhalb des Trägeraussparungsabschnitts 530 beschrieben. Wie in 97 gezeigt, fließt der hintere Fluss AF34 von der Trägeraussparungsöffnung 533 in Richtung der Formvorderseite entlang der Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 und erreicht den Substratvorsprungabschnitt 750 und fließt entlang der Substratvorsprungaußenwandfläche 762, wodurch er schräg in Richtung der Formrückseite verläuft. Daher kann der hintere Schließfluss AF34, der durch den hinteren Endabschnitt 542 des Trägerlochs 540 fließt, nachdem er sich entlang der Substratvorsprungaußenwandfläche 762 fortbewegt hat, leicht durch eine vom hinteren Endabschnitt 542 getrennte Position zur Formrückseite im Trägeraussparungsabschnitt 530 fließen. Daher kann der Substratvorsprungabschnitt 750 den hinteren Schließfluss AF34 davon abhalten, von dem hinteren Endabschnitt 542 innerhalb des Trägeraussparungsabschnitts 530 in das Trägerloch 540 zu fließen.
Gemäß der Modifikation F7 kann sich bei der ersten Ausführungsform der Formrückabschnitt 560 ferner von dem inneren Umfangsrand der abgeschrägten Bodenfläche 535 der Bodenfläche nach innen erstrecken. Zum Beispiel, wie in 98 gezeigt, hat der Formrückabschnitt 560 einen Formerstreckungsabschnitt 755. Der Formerstreckungsabschnitt 755 ist ein Abschnitt, der sich entlang der SA-Substratrückfläche 546 von dem inneren Umfangsrand der abgeschrägten Bodenfläche 535 im Formrückabschnitt 560 nach innen erstreckt. In diesem Fall ist die abgeschrägte Bodenfläche 535 eine Fläche zum Abschrägen des inneren Eckabschnitts zwischen der Innenwandschrägfläche 534 und dem Formerstreckungsabschnitt 755. Der Formerstreckungsabschnitt 755 erstreckt sich ringförmig entlang des äußeren Umfangsrandes der Trägeraussparungsbodenfläche 531 und des inneren Umfangsrandes der abgeschrägten Bodenfläche 535.
Wie oben beschrieben, wird der Formrückabschnitt 560 durch Harzformen als Teil des Formabschnitts 55 hergestellt. Wenn das geschmolzene Harz zwischen dem Trägeraussparungsformabschnitt 592a des hinteren Formabschnitts 591 und dem SA-Substrat 53 zum Zeitpunkt der Herstellung des Formabschnitts 55 eindringt, wird der Formerstreckungsabschnitt 755 manchmal unter Verwendung dieses eindringenden Abschnitts gebildet. In der Konfiguration, in der der Formerstreckungsabschnitt 755 durch den eindringenden Abschnitt des geschmolzenen Harzes gebildet wird, ist der Formerstreckungsabschnitt 755 nicht notwendigerweise ringförmig, und die Erstreckungsdimension des Formerstreckungsabschnitts 755 von der abgeschrägten Bodenfläche 535 ist nicht notwendigerweise gleichmäßig in der Umfangsrichtung des Trägeraussparungsabschnitts 530.
In der Konfiguration, in der die Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 nicht die abgeschrägte Bodenfläche 535 wie in der Modifikation F1 hat, kann sich der Formerstreckungsabschnitt 755 von dem inneren Umfangsrand der Innenwandschrägfläche 534 nach innen erstrecken. In der Konfiguration, in der die Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 die Bodenkrümmungsfläche 731 hat, wie in der Modifikation F2, kann sich der Formerstreckungsabschnitt 755 von dem inneren Umfangsrand der Bodenkrümmungsfläche 731 nach innen erstrecken.
Wie in der Modifikation F8 kann in der ersten Ausführungsform mindestens ein Teil des inneren Umfangsrandes der Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 an einer Position bereitgestellt sein, die nicht von dem hinteren Endabschnitt 542 des Trägerlochs 540 nach außen getrennt ist. Zum Beispiel ist der gesamte innere Umfangsrand der Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 an einer Position bereitgestellt, die nicht von dem hinteren Endabschnitt 542 nach außen getrennt ist. In dieser Konfiguration erstreckt sich der Trägeraussparungsbodenabschnitt, der der untere Abschnitt des Trägeraussparungsabschnitts 530 ist, linear entlang des Grenzabschnitts zwischen der Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 und dem hinteren Endabschnitt 542.
Gemäß der Modifikation F9 kann, wie in der ersten Ausführungsform, der Neigungsgrad der Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 in Bezug auf die Mittellinie CL53 des Trägeraussparungsabschnitts 530 in der Umfangsrichtung der Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 nicht gleichmäßig sein. Beispielsweise ist der Neigungsgrad des Abschnitts der Trägeraussparungsinnenwandfläche 532, der auf der Trägeraussparungsbodenfläche 531 in der Tiefenrichtung Z angeordnet ist, größer als der Neigungsgrad des Abschnitts der Trägeraussparungsinnenwandfläche 532, der auf der Trägeraussparungsbodenfläche 531 in der Höhenrichtung Y angeordnet ist. In dieser Konfiguration ist die Längendimension L51 der Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 in der Tiefenrichtung Z größer als die Längendimension L51 der Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 in der Höhenrichtung Y.
Gemäß der Modifikation F10 kann in der ersten Ausführungsform in mindestens einem Teil der Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 die Längendimension L51 in der Höhenrichtung Y und der Tiefenrichtung Z nicht größer sein als die Längendimension L52 in der Breitenrichtung X. So ist beispielsweise in der gesamten Umfangsrichtung der Trägeraussparungsinnenwandfläche 532 die Längendimension L51 in den Richtungen Y und Z kleiner als die Längendimension L52 in der Breitenrichtung X.
Gemäß der Modifikation F11 ist die Positionsbeziehung unter der Mittellinie CL51 des Sensoraussparungsabschnitts 61, der Mittellinie CL52 des Trägerlochs 540 und der Mittellinie CL53 des Trägeraussparungsabschnitts 530 nicht auf diejenige in der Konfiguration der ersten Ausführungsform beschränkt. Zum Beispiel kann die Mittellinie CL51 des Sensoraussparungsabschnitts 61 an einer Position angeordnet sein, die näher an der Mittellinie CL53 des Trägeraussparungsabschnitts 530 liegt als die Mittellinie CL52 des Trägerlochs 540. Die Anordnungsreihenfolge in der Höhenrichtung Y kann nicht die Reihenfolge sein, in der die Mittellinie CL51 des Sensoraussparungsabschnitts 61 zwischen der Mittellinie CL52 des Trägerlochs 540 und der Mittellinie CL53 des Trägeraussparungsabschnitts 530 angeordnet ist. Diese Mittellinien CL51, CL52 und CL53 können an in Tiefenrichtung Z verschobenen Positionen angeordnet sein. Zum Beispiel sind diese Mittellinien CL51, CL52 und CL53 in der Tiefenrichtung Z angeordnet. Diese Mittellinien CL51, CL52 und CL53 können miteinander übereinstimmen.
Als Modifikation F12 kann in der ersten Ausführungsform die Längendimension des Trägerlochs 540 nicht kleiner sein als die Tiefendimension des Trägeraussparungsabschnitts 530. Zum Beispiel ist die Längendimension des Trägerlochs 540 größer als die Tiefendimension des Trägeraussparungsabschnitts 530. In dieser Konfiguration ist die Dickendimension L54 des SA-Substrats 53 größer als die Dickendimension L52 des hinteren Messabschnitts 561.
Gemäß der Modifikation F13 kann in der ersten Ausführungsform der Trägeraussparungsabschnitt 530 nicht durch das Aussparungsformationsloch 571 gebildet werden, das den Formabschnitt 55 durchdringt, sondern der Trägeraussparungsabschnitt 530 kann durch einen Aussparungsabschnitt gebildet werden, der in dem Formabschnitt 55 bereitgestellt ist. In dieser Konfiguration wird die Trägeraussparungsbodenfläche 531 des Trägeraussparungsabschnitts 530 durch den Formrückabschnitt 560 gebildet, und das Trägerloch 540 durchdringt den Formrückabschnitt 560 zusätzlich zu dem SA-Substrat 53.
Wie die Modifikation F14, in der vierten Ausführungsform, kann die Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 mindestens eine von der abgeschrägten Spitzenendfläche 715 und der abgeschrägten Basisendfläche 716 nicht ausgeführt haben. Wie in 99 gezeigt, hat die Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 beispielsweise nicht sowohl die abgeschrägte Spitzenendfläche 715 als auch die abgeschrägte Basisendfläche 716. In dieser Konfiguration ist die gesamte Trägervorsprungsaußenwandfläche die Außenwandschrägfläche 714. Diese Außenwandschrägfläche 714 erstreckt sich zwischen der Trägervorsprungspitzenendfläche 711 und der Formrückfläche 55f.
In der vierten Ausführungsform (Modifikation F15) kann die Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 die Außenwandschrägfläche 714 nicht haben, und die gesamte Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 kann gekrümmt sein. Zum Beispiel, wie in 100 gezeigt, hat die Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 eine Basisendkrümmungsfläche 741 und eine Spitzenendkrümmungsfläche 742. Die Basisendkrümmungsfläche 741 erstreckt sich von der Formrückfläche 55f in Richtung der Formrückseite und bildet den äußeren Umfangsrand der Trägervorsprungsaußenwandfläche 712. Die Basisendkrümmungsfläche 741 ist so gekrümmt, dass sie in Richtung der Innenseite des Trägervorsprungsabschnitts 710 ausgespart ist. Die Spitzenendkrümmungsfläche 742 erstreckt sich von der Trägervorsprungspitzenendfläche 711 zur Formvorderseite und bildet dann den inneren Umfangsrand der Trägervorsprungsaußenwandfläche 712. Die Spitzenendkrümmungsfläche 742 ist so gekrümmt, dass sie sich zur Außenseite des Trägervorsprungsabschnitts 710 hin wölbt. Sowohl die Basisendkrümmungsfläche 741 als auch die Spitzenendkrümmungsfläche 742 erstrecken sich ringförmig, so dass sie die Mittellinie CL153 des Trägervorsprungsabschnitts 710 umgeben, und sind zwischen der Trägervorsprungspitzenendfläche 711 und der Formrückfläche 55f in Breitenrichtung X miteinander verbunden.
Als Modifikation F16 kann in der vierten Ausführungsform des hinteren Trägerabschnitts 522 nicht das SA-Substrat 53, sondern der Formrückabschnitt 560 geschlossen werden, um die Sensoraussparungsöffnung 503 des Flusssensors 22 abzudecken. Zum Beispiel, wie in 101 gezeigt, ist der Formrückabschnitt 560 so konfiguriert, dass er die Sensorrückfläche 22b des Flusssensors 22 überlappt. Wenn in dieser Konfiguration ein Abschnitt des Formrückabschnitts 560, der die Sensoraussparungsöffnung 503 in der Breitenrichtung X überlappt, als Formabdeckungsabschnitt 745 bezeichnet wird, der die Sensoraussparungsöffnung 503 abdeckt, ist das Trägerloch 720 in dem Formabdeckungsabschnitt 745 bereitgestellt. Der äußere Umfangsrand des Formabdeckungsabschnitts 745 ist an einer Position bereitgestellt, die die Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 in der Breitenrichtung X überlappt. In diesem Fall ist der äußere Umfangsrand des Formabdeckungsabschnitts 745 auf der Außenseite relativ zur Trägervorsprungspitzenendfläche 711 und auf der Innenseite relativ zur Formrückfläche 55f in den Richtungen Y und Z orthogonal zur Breitenrichtung X angeordnet. Im Gegensatz zur vierten Ausführungsform bildet das Formrückloch 725 das gesamte Trägerloch 720.
In der vorliegenden Modifikation kann der Flusssensor 22, wie in der oben beschriebenen Modifikation F3, auf dem SA-Substrat 53 befestigt sein oder nicht. Beispiele für die Konfiguration, in der der Flusssensor 22 auf dem SA-Substrat 53 angebracht ist, umfassen eine Konfiguration, in der ein Abschnitt des Flusssensors 22, der näher an der Formbasisendseite liegt als der Trägervorsprungsabschnitt 710, auf dem SA-Substrat 53 angebracht ist.
Wie bei der Modifikation F17 kann bei der Modifikation F8, ähnlich wie bei der Modifikation F6, die Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 mindestens eine der abgeschrägten Spitzenendfläche 715 und der abgeschrägten Basisendfläche 716 nicht haben. Zum Beispiel, wie in 102 gezeigt, hat die Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 nicht sowohl die abgeschrägten Spitzenendfläche 715 als auch die abgeschrägte Basisendfläche 716.
Wie bei der Modifikation F18 kann bei der oben beschriebenen Modifikation F8, ähnlich wie bei der oben beschriebenen Modifikation F7, die Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 nicht die Außenwandschrägfläche 714 haben, und die gesamte Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 kann gekrümmt sein. Zum Beispiel, wie in 103 gezeigt, hat die Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 die Basisendkrümmungsfläche 741 und die Spitzenendkrümmungsfläche 742.
Als Modifikation F19 kann in der vierten Ausführungsform mindestens ein Teil des inneren Umfangsrandes der Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 an einer Position bereitgestellt sein, die nicht von dem hinteren Endabschnitt 722 des Trägerlochs 720 nach außen beabstandet ist. Zum Beispiel ist der gesamte äußere Umfangsrand der Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 an einer Position bereitgestellt, die nicht von dem hinteren Endabschnitt 722 nach außen beabstandet ist. In dieser Konfiguration erstreckt sich der Trägervorsprungspitzenendabschnitt des Trägervorsprungsabschnitts 710, der das Spitzenende des Trägervorsprungsabschnitts 710 ist, linear entlang des Grenzabschnitts zwischen der Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 und dem hinteren Endabschnitt 722.
Wie die Modifikation F20 in der vierten Ausführungsform ausführt, kann der Neigungsgrad der Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 in Bezug auf die Mittellinie CL153 des Trägervorsprungsabschnitts 710 in der Umfangsrichtung der Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 nicht gleichmäßig sein. Zum Beispiel ist der Neigungsgrad des Abschnitts der Trägervorsprungsaußenwandfläche 712, der in der Tiefenrichtung Z auf der Trägervorsprungspitzenendfläche 711 angeordnet ist, größer als der Neigungsgrad des Abschnitts der Trägervorsprungsaußenwandfläche 712, der in der Höhenrichtung Y auf der Trägervorsprungspitzenendfläche 711 angeordnet ist. Bei dieser Konfiguration ist die Längendimension L151 der Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 in der Tiefendimension Z größer als die Längendimension L151 der Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 in der Höhenrichtung Y.
Gemäß der Modifikation F21 kann in der vierten Ausführungsform zumindest bei einem Teil der Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 die Längendimension L151 in Höhenrichtung Y und in Tiefenrichtung Z nicht größer sein als die Längendimension L152 in Breitenrichtung X in. Beispielsweise ist die Längendimension L151 in den Richtungen Y und Z kleiner als die Längendimension L152 in der Breitenrichtung X in der gesamten Umfangsrichtung der Trägervorsprungsaußenwandfläche 712.
Gemäß der Modifikation F22 ist die Positionsbeziehung unter der Mittellinie CL51 des Sensoraussparungsabschnitts 61, der Mittellinie CL52 des Trägerlochs 720 und der Mittellinie CL153 des Trägeraussparungsabschnitts 530 nicht auf die Konfiguration der vierten Ausführungsform beschränkt. Beispielsweise kann die Mittellinie CL51 des Sensoraussparungsabschnitts 61 an einer Position angeordnet sein, die näher an der Mittellinie CL153 des Trägervorsprungsabschnitts 710 liegt als an der Mittellinie CL152 des Trägerlochs 720. Die Anordnungsreihenfolge in der Höhenrichtung Y kann nicht die Anordnungsreihenfolge sein, in der die Mittellinie CL51 des Sensoraussparungsabschnitts 61 zwischen der Mittellinie CL152 des Trägerlochs 720 und der Mittellinie CL153 des Trägervorsprungsabschnitts 710 angeordnet ist. Diese Mittellinien CL51, CL152 und CL153 können an in Tiefenrichtung Z verschobenen Positionen angeordnet sein. Zum Beispiel sind diese Mittellinien CL51, CL152 und CL153 in der Tiefenrichtung Z angeordnet. Diese Mittellinien CL51, CL152 und CL153 können miteinander übereinstimmen.
Wie die Modifikation F23 zeigt, ist die Beziehung zwischen den Längendimensionen L151 und L152 und den Dickendimensionen L153 und L54 nicht auf diejenige der Ausführungsform der vierten Ausführungsform beschränkt. Beispielsweise kann die Längendimension L152 der Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 in Richtung X nicht kleiner sein als die Dickendimension L153 des Formrückabschnitts 560, in dem der Trägervorsprungsabschnitt 710 bereitgestellt ist, oder die Dickendimension L54 des SA-Substrats 53. Zum Beispiel ist in Breitenrichtung X die Vorsprungdimension des Trägervorsprungsabschnitts 710 von der Formrückfläche 55f größer als die Dickendimension L153. Die Längendimension L152 kann nicht kleiner sein als die Längendimension L151 der Trägervorsprungsaußenwandfläche 712 in den Richtungen Y und Z orthogonal zur Breitenrichtung X.
Als Modifikation F24 kann der Flusssensor 22 einen Sensorfilter enthalten, der das Eindringen von Fremdkörpern in den Sensoraussparungsabschnitt 61 begrenzt. Bei der ersten Ausführungsform überlappt der Sensorfilter beispielsweise die Sensorrückfläche 22b, so dass die Sensoraussparungsöffnung 503 mit dem Sensorfilter abgedeckt ist. In dieser Konfiguration fließt der hintere Schließfluss AF34, selbst wenn er in das Trägerloch 540 fließt, durch den Sensorfilter und fließt dann in den Sensoraussparungsabschnitt 61. Daher wird der Fremdkörper durch den Sensorfilter entfernt, selbst wenn der hintere Schließfluss AF34 einen Fremdkörper enthält.
Gemäß der Modifikation F25 kann die Querschnittsform des Trägeraussparungsabschnitts wie des Trägeraussparungsabschnitts 530 nicht kreisförmig oder im Wesentlichen kreisförmig sein. Zum Beispiel kann in der ersten Ausführungsform der Trägeraussparungsabschnitt 530 einen rechteckigen Querschnitt haben, und die Trägeraussparungsbodenfläche 531 und die Trägeraussparungsöffnung 533 können eine rechteckige Form haben.
Gemäß der Modifikation F26 kann die Querschnittsform des Trägerlochs, wie die Trägerlöcher 540 und 720, nicht kreisförmig oder elliptisch sein. Zum Beispiel kann in der ersten Ausführungsform das Trägerloch 540 einen rechteckigen Querschnitt haben, und der vordere Endabschnitt 541 und der hintere Endabschnitt 542 können eine rechteckige Form haben. In der oben beschriebenen vierten Ausführungsform können in dem Trägerloch 720 das SA-Substratloch 726 und das Formrückloch 725 einen rechteckigen Querschnitt haben, und der vordere Endabschnitt 721 und der hintere Endabschnitt 722 können eine rechteckige Form haben.
Gemäß der Modifikation F27 kann die Sensorvorderfläche 22a des Flusssensors 22 an einer Position auf der Formvorderseite relativ zu der Formvorderfläche 55e oder an einer Position bündig mit der Formvorderfläche 55e bereitgestellt sein.
Wie die Modifikation F28 zeigt, ist der Umfangsrandaussparungsabschnitt 56 des Formabschnitts 55 nicht auf die Form und Größe der oben beschriebenen ersten Ausführungsform beschränkt. Beispielsweise kann der Umfangsrandaussparungsabschnitt 56 ringförmig gebildet werden, indem er sich über den gesamten äußeren Umfangsrand des Flusssensors 22 erstreckt, oder er kann nur auf einer der Formaufwärtsseite und Formabwärtsseite relativ zum Flusssensor 22 bereitgestellt sein. Ferner kann in dem Umfangsrandaussparungsabschnitt 56 die Höhendimension der inneren Wandfläche an der inneren Umfangsseite nicht kleiner sein als die Höhendimension der inneren Wandfläche an der äußeren Umfangsseite. Beispielsweise ist in einer Konfiguration, in der die Sensorvorderfläche 22a des Flusssensors 22 an einer Position an der Formvorderseite in Bezug auf die Formvorderfläche 55e bereitgestellt ist, die Höhendimension der inneren Wandfläche an der inneren Umfangsseite größer als die Höhendimension der inneren Wandfläche an der äußeren Umfangsseite. In der Konfiguration, in der die Sensorvorderfläche 22a bündig mit der Formvorderfläche 55e bereitgestellt ist, gibt es keine Höhendimension der inneren Wandfläche auf der inneren Umfangsseite. In dieser Konfiguration ist ein Aussparungsabschnitt mit der Sensorvorderfläche 22a als Teil der Bodenfläche ausgebildet, der den Umfangsrandaussparungsabschnitt 56 enthält. Die Formvorderfläche 55e kann nicht mit dem Umfangsrandaussparungsabschnitt 56 bereitgestellt sein.
<Modifikation der Konfigurationsgruppe G>
Als Modifikation G1 kann in der ersten Ausführungsform, wenn die Trennungsdistanz L62a zwischen dem exponierten Basisendabschnitt 872 und dem vorderen festen Basisendabschnitt 814 sich von der Trennungsdistanz L62b zwischen dem exponierten Basisendabschnitt 872 und dem hinteren festen Basisendabschnitt 824 unterscheidet, die Beziehung von L62b < L62a nicht gegeben sein. Beispielsweise ist, wie in 104 gezeigt, die Trennungsdistanz L62b zwischen dem exponierten Basisendabschnitt 872 und dem hinteren festen Basisendabschnitt 824 größer als die Trennungsdistanz L62a zwischen dem exponierten Basisendabschnitt 872 und dem vorderen festen Basisendabschnitt 814. Das heißt, die Beziehung L62b > L62a ist gegeben. Da die Trennungsdistanzen L62a und 62a voneinander verschieden sind, ist es auch in dieser Konfiguration möglich, die Richtung zu steuern, in der die Lage des Sensors SA50 in Bezug auf den erster Gehäuseabschnitt 151 im Herstellungsprozess des Luftflussmessers 20 wie in der ersten Ausführungsform verschoben ist.
In der Modifikation G2 können in der ersten Ausführungsform die festen Flächen 810, 820, 830 und 840, die an dem ersten Gehäuseabschnitt 151 befestigt sind, aus dem SA-Substrat 53 anstelle des Formabschnitts 55 gebildet sein. Beim Sensor SA50 liegen beispielsweise ein Teil der SA-Substratvorderfläche 545 des SA-Substrats 53 und ein Teil der SA-Substratrückfläche 546 von der Formvorderfläche 55e und der Formrückfläche 55f aus frei, und dieser freiliegende Abschnitt ist in Kontakt mit dem ersten Gehäuseabschnitt 151.
Gemäß der Modifikation G3 kann in der ersten Ausführungsform mindestens ein Teil des Flusssensors 22 in einem Aussparungsabschnitt untergebracht sein, der in einem Substrat wie dem SA-Substrat 53 bereitgestellt ist. Wie in 105 und 106 gezeigt, ist beispielsweise der Flusssensor 22 des Sensors SA50 nicht durch den Formabschnitt 55 abgedeckt.
In dieser Konfiguration enthält der Sensor SA50 ein SA-Substrat 900, und der Sensorträgerabschnitt 51 wird durch das SA-Substrat 900 gebildet. Das SA-Substrat 900 ist ein Schaltungssubstrat, das aus einem Material wie Glas-Epoxidharz gebildet wird. Im Sensor SA50 ist die äußere Fläche des SA-Substrats 900 im Wesentlichen die äußere Fläche des Sensorträgerabschnitts 51. Das SA-Substrat 900 hat eine SA-Substratvorderfläche 901, die eine Plattenfläche ist, und eine SA-Substratrückfläche 902, die die andere Plattenfläche ist. Im SA-Substrat 900 wird der im Messflusspfad 32 bereitgestellte Endabschnitt als Substratspitzenendabschnitt 900a bezeichnet, und der Endabschnitt auf einer Seite gegenüber dem Substratspitzenendabschnitt 900a in der Höhenrichtung Y wird als Substratbasisendabschnitt 900b bezeichnet. In 105 und 106 ist die Darstellung der Flussverarbeitungseinheit 511 und dergleichen weggelassen.
Der Sensor SA50 ist an dem Gehäuse 21 in einem Zustand fest angebracht, in dem das SA-Substrat 900 mit der inneren Fläche des Gehäuses 21 in Kontakt ist. Wenn der Abschnitt der äußeren Fläche des SA-Substrats 900, der mit der inneren Fläche des Gehäuses 21 in Kontakt steht, als feste Fläche bezeichnet wird, enthält die feste Fläche eine vordere feste Fläche 910, eine hintere feste Fläche 920, eine stromaufwärtige feste Fläche und eine stromabwärtige feste Fläche. Die vordere feste Fläche 910 ist in der SA-Substratvorderfläche 901 enthalten, und die hintere feste Fläche 920 ist in der SA-Substratrückfläche 902 enthalten.
Die vordere feste Fläche 910 und die hintere feste Fläche 920 sind an einer Position bereitgestellt, die sich in der Breitenrichtung X überlappt. Zum Beispiel sind ein vorderer fester Spitzenendabschnitt 913, der ein Endabschnitt der vorderen festen Fläche 910 auf der Seite des Substratspitzenendabschnitts 900a ist, und ein hinterer fester Spitzenendabschnitt 923, der ein Endabschnitt der hinteren festen Fläche 920 auf der Seite des Substratspitzenendabschnitts 900a ist, nebeneinander in der Breitenrichtung X bereitgestellt. Ein vorderer fester Basisendabschnitt 914, der ein Endabschnitt der vorderen festen Fläche 910 auf der Seite des Substratbasisendabschnitts 900b ist, und ein hinterer fester Basisendabschnitt 924, der ein Endabschnitt der hinteren festen Fläche 920 auf der Seite des Substratbasisendabschnitts 900b ist, sind in der Richtung X nebeneinander bereitgestellt.
Im SA-Substrat 900 sind der Flusssensor 22 und der Leitungsanschluss 53a auf der Seite der SA-Substratvorderfläche 901 bereitgestellt. Der Leitungsanschluss 53a ist an einer Position bereitgestellt, die näher am Substratbasisendabschnitt 900b als am Substratspitzenendabschnitt 900a auf der SA-Substratvorderfläche 901 liegt.
Das SA-Substrat 900 hat einen Sensoraufnahmeaussparungsabschnitt 931, und mindestens ein Teil des Flusssensors 22 ist innerhalb des Sensoraufnahmeaussparungsabschnitts 931 untergebracht. Der Sensoraufnahmeaussparungsabschnitt 931 ist ein Aussparungsabschnitt, der auf der SA-Substratvorderfläche 901 bereitgestellt ist und an einer Position angeordnet ist, die in der Höhenrichtung Y näher am Substratspitzenendabschnitt 900a als am Substratbasisendabschnitt 900b liegt. In der Breitenrichtung X ist die Tiefendimension des Sensoraufnahmeaussparungsabschnitts 931 größer als die Dickendimension des Flusssensors 22, und der Flusssensor 22 ragt nicht von dem Öffnungsabschnitt des Sensoraufnahmeaussparungsabschnitts 931 nach außen. Der Sensorkontaktierungsabschnitt 67 ist zwischen der Bodenfläche des Sensoraufnahmeaussparungsabschnitts 931 und dem Flusssensor 22 bereitgestellt, und der Flusssensor 22 ist durch den Sensorkontaktierungsabschnitt 67 an die Bodenfläche des Sensoraufnahmeaussparungsabschnitts 931 geklebt.
Bei dem Flusssensor 22 ist die gesamte Sensorvorderfläche 22a von der SA-Substratvorderfläche 901 freigelegt, und die gesamte Sensorvorderfläche 22a ist die Sensoraufnahmefläche 870. Das heißt, die Sensorvorderfläche 22a entspricht der Sensoraufnahmefläche. In der Sensorvorderfläche 22a ist ein Abschnitt auf der Seite des Substratspitzenendabschnitts 900a der exponierte Spitzenendabschnitt 871, und ein Abschnitt auf der Seite des Substratbasisendabschnitts 900b ist der exponierte Basisendabschnitt 872. Im Flusssensor 22 ist der exponierte Spitzenendabschnitt 871 im Sensorspitzenendabschnitt 861 enthalten, und der exponierte Basisendabschnitt 872 ist im Sensorbasisendabschnitt 862 enthalten.
In dem Sensor SA50 ist in der Höhenrichtung Y eine Trennungsdistanz L72a zwischen dem exponierten Basisendabschnitt 872 des Flusssensors 22 und dem vorderen festen Basisendabschnitt 914 des SA-Substrats 900 kleiner als eine Trennungsdistanz L71a zwischen dem exponierten Basisendabschnitt 872 und dem Substratspitzenendabschnitt 900a. Das heißt, die Beziehung L72a < L71a ist gegeben. In der Höhenrichtung Y ist eine Trennungsdistanz L73a zwischen dem Substratspitzenendabschnitt 900a und dem vorderen festen Basisendabschnitt 914 kleiner als eine Trennungsdistanz L75a zwischen dem vorderen festen Basisendabschnitt 914 und dem Substratbasisendabschnitt 900b. Das heißt, die Beziehung von L73a < L75a ist gegeben.
Ähnlich wie auf der Vorderseite des Sensors SA50 ist in Höhenrichtung Y eine Trennungsdistanz L92b zwischen dem exponierten Basisendabschnitt 872 des Flusssensors 22 und dem hinteren festen Basisendabschnitt 924 des SA-Substrats 900 kleiner als die Trennungsdistanz L71a auf der Vorderseite. Das heißt, die Beziehung L72b < L71a ist gegeben. In der Höhenrichtung Y ist eine Trennungsdistanz L73b zwischen dem Substratspitzenendabschnitt 900a und dem hinteren festen Basisendabschnitt 924 kleiner als eine Trennungsdistanz L75b zwischen dem hinteren festen Basisendabschnitt 924 und dem Substratbasisendabschnitt 900b. Das heißt, die Beziehung von L73b < L75b ist gegeben.
Auf der Vorderseite und der Rückseite des Sensors SA50 ist die Trennungsdistanz L72a zwischen dem exponierten Basisendabschnitt 872 und dem vorderen festen Basisendabschnitt 914 gleich der Trennungsdistanz L72b zwischen dem exponierten Basisendabschnitt 872 und dem hinteren festen Basisendabschnitt 924. Der Substratspitzenendabschnitt 900a entspricht einem Trägerspitzenendabschnitt, und der Substratbasisendabschnitt 900b entspricht einem Trägerbasisendabschnitt. Die vordere feste Fläche 910 entspricht einem vorderen festen Abschnitt, und die hintere feste Fläche 920 entspricht einem hinteren festen Abschnitt. Die SA-Substratvorderfläche 901 entspricht einer Trägervorderfläche, und die SA-Substratrückfläche 902 entspricht einer Trägerrückfläche.
Das SA-Substrat 900 enthält einen Bodenbegrenzungsabschnitt 932, der Flusssensor 22 enthält einen SensorAufnahmeabschnitt 935, und der Bodenbegrenzungsabschnitt 932 und der SensorAufnahmeabschnitt 935 befinden sich in einem Zustand, in dem sie sich gegenseitig erfassen. In dem Sensor SA50 ist die Positionsverschiebung des Flusssensors 22 in Bezug auf das SA-Substrat 900 in den Richtungen Y und Z orthogonal zur Breitenrichtung X begrenzt. Der Bodenbegrenzungsabschnitt 932 ist ein Vorsprungsabschnitt, der auf einer Bodenfläche 931a des Sensoraufnahmeaussparungsabschnitts 931 bereitgestellt ist. Der SensorAufnahmeabschnitt 935 ist ein Aussparungsabschnitt, der in der Sensorrückfläche 22b des Flusssensors 22 bereitgestellt ist. Der Bodenbegrenzungsabschnitt 932 befindet sich in einem Zustand, in dem er von der Seite der Sensorrückfläche 22b in den SensorAufnahmeabschnitt 935 eintritt und die Bewegung des Flusssensors 22 in der Höhenrichtung Y und der Tiefenrichtung Z innerhalb des Sensoraufnahmeaussparungsabschnitts 931 einschränkt.
Beim Herstellungsprozess des Sensors SA50 wird der Bodenbegrenzungsabschnitt 932 in den SensorAufnahmeabschnitt 935 eingeführt, um den Flusssensor 22 in dem Sensoraufnahmeaussparungsabschnitt 931 in der Höhenrichtung Y und der Tiefenrichtung Z zu positionieren. Daher ist es weniger wahrscheinlich, dass sich die Installationsposition des Flusssensors 22 auf dem SA-Substrat 900 von der Konstruktionsposition verschiebt.
Wie bei der Modifikation G4 kann das SA-Substrat 900 bei der oben beschriebenen Modifikation G3 den Bodenbegrenzungsabschnitt 932 nicht enthalten. Wie in 107 gezeigt, ist der Flusssensor 22 beispielsweise an einer Position bereitgestellt, an der ein Endabschnitt wie der Sensorbasisendabschnitt 862 des Sensoraufnahmeaussparungsabschnitts 931 in Kontakt mit einer Wandfläche 931b ist. In dieser Konfiguration, selbst wenn das SA-Substrat 900 nicht den Bodenbegrenzungsabschnitt 932 hat, schränkt die Wandfläche 931b die Positionsverschiebung des Flusssensors 22 in der Höhenrichtung Y und der Tiefenrichtung Z innerhalb des Sensoraufnahmeaussparungsabschnitts 931 ein. Beim Herstellungsprozess des Sensors SA50 wird der Flusssensor 22 in dem Sensoraufnahmeaussparungsabschnitt 931 positioniert, indem die Endabschnitte, die sich in zwei sich im äußeren Umfangsrand des Flusssensors 22 kreuzenden Richtungen erstrecken, mit der Wandfläche 931b in Kontakt gebracht werden.
Wie die Modifikation G5 kann das SA-Substrat 900 in der Modifikation G3, wie in 108 gezeigt, einen Wandbegrenzungsabschnitt 933 enthalten. Der Wandbegrenzungsabschnitt 933 ist ein Vorsprungsabschnitt, der an der Wandfläche 931b bereitgestellt ist und von der Wandfläche 931b in Richtung der Innenseite des Sensoraufnahmeaussparungsabschnitts 931 vorsteht. Zum Beispiel ist in der Wandfläche 931b des Sensoraufnahmeaussparungsabschnitts 931 der Wandbegrenzungsabschnitt 933 in jedem Abschnitt auf der Seite des Substratspitzenendabschnitts 900a, einem Abschnitt auf der Seite des Substratbasisendabschnitts 900b, einem Abschnitt auf der stromaufwärtigen Seite im Messflusspfad 32 und einem Abschnitt auf der stromabwärtigen Seite im Messflusspfad 32 bereitgestellt. In dieser Konfiguration schränkt der Wandbegrenzungsabschnitt 933 die Verschiebung des Flusssensors 22 in der Höhenrichtung Y und der Tiefenrichtung Z innerhalb des Sensoraufnahmeaussparungsabschnitts 931 ein. Ferner wird der Flusssensor 22 im Herstellungsprozess des Sensors SA50 in dem Sensoraufnahmeaussparungsabschnitt 931 positioniert, indem der Flusssensor 22 in Kontakt mit dem Spitzenendabschnitt des Wandbegrenzungsabschnitts 933 gebracht wird.
Als Modifikation G6 können in der ersten Ausführungsform für die Formvorderseite des Sensors SA50, wenn L62a < L61a, die Beziehungen von L63a ≥ L64a, L63a ≥ L65a, L61a ≥ L64a und L61a ≥ L65a gegeben sein. In ähnlicher Weise können für die Formrückseite, wenn L62b < L61a, die Beziehungen L63b ≥ L64b, L63b ≥ L65b, L61b ≥ L64b und L61b ≥ L65b gegeben sein.
Als Modifikation G7 kann in der ersten Ausführungsform mindestens eines der Verhältnisse von L62a < L61a auf der Formvorderseite und das Verhältnis von L62b < L61a auf der Formrückseite nicht festgelegt werden. Wenn zum Beispiel die Beziehung L62a < L61a auf der Formvorderseite hergestellt ist, kann die Beziehung L62b < L61a auf der Formrückseite nicht gegeben sein.
Gemäß der Modifikation G8 können in der ersten Ausführungsform in dem Formabschnitt 55 die Längendimensionen der festen Flächen 810, 820, 830 und 840 in der Höhenrichtung Y gleich oder von einander verschieden sein. Zum Beispiel kann, wie in 104 gezeigt, in der Höhenrichtung Y die Längendimension der vorderen festen Fläche 810 kleiner sein als die Längendimension der hinteren festen Fläche 820.
Gemäß der Modifikation G9 können in der ersten Ausführungsform die festen Flächen 810, 820, 830 und 840 des Sensors SA50 nicht in jedem der vorderen Zwischenabschnitte 553, des hinteren Zwischenabschnitts 563 und der SA-Stufenfläche 147 enthalten sein, sondern mindestens in einem von ihnen enthalten sein. Die festen Flächen 810, 820, 830 und 840 können in dem vorderen Basisabschnitt 552, dem hinteren Basisabschnitt 562, der vorderen Messstufenfläche 555, der hinteren Messstufenfläche 565, dem vorderen Messabschnitt 551 und dem hinteren Messabschnitt 561 enthalten sein. Das heißt, dass im Sensor SA50 mindestens ein Teil des Sensorträgerabschnitts 51 nur in Kontakt mit der inneren Fläche des ersten Gehäuseabschnitts 151 fest sein muss.
Gemäß der Modifikation G10 kann in der ersten Ausführungsform mindestens eine der festen Flächen 810, 820, 830 und 840 an einer von dem Flusssensor 22 getrennten Position in Richtung der Formbasisendseite in der Höhenrichtung Y bereitgestellt sein. Zum Beispiel sind die festen Flächen 810, 820, 830 und 840 in der Höhenrichtung Y zwischen dem Flusssensor 22 und der Flussverarbeitungseinheit 511 bereitgestellt.
Wie bei der Modifikation G11 sind Form und Größe der Rippen 801 bis 803 im ersten Gehäuseabschnitt 151 nicht auf die der Ausführungsform der ersten Ausführungsform beschränkt. Zum Beispiel können die Rippen 801 bis 803 die gleiche Länge oder unterschiedliche Längen von einander haben. Die Rippen 801 bis 803 können sich relativ zu dem Endabschnitt an Formbasisendseite der vorderen Messstufenfläche 555 oder der hinteren Messstufenfläche 565 bis zur Formspitzenendseite erstrecken oder an einer von diesem Endabschnitt getrennten Position in Richtung der Formbasisendseite bereitgestellt sein. Die Rippen 801 bis 803 können sich in einer Richtung erstrecken, die in Bezug auf die Höhenrichtung Y geneigt ist.
Mit anderen Worten ist in der vorliegenden Modifikation der Modus bezüglich der Form und Größe der Zwischenkontaktflächen 811, 821, 831 und 841 des Sensors SA50 nicht auf diejenigen der Ausführungsform der ersten Ausführungsform beschränkt. Zum Beispiel können die Zwischenkontaktflächen 811, 821, 831 und 841 der festen Flächen 810, 820, 830 und 840 die gleiche Länge haben oder unterschiedliche Längen voneinander haben. Die Zwischenkontaktflächen 811, 821, 831 und 841 können an Positionen bereitgestellt sein, die von dem Endabschnitt der Formbasisendseite an der vorderen Messstufenfläche 555 oder der hinteren Messstufenfläche 565 in Richtung der Formbasisendseite getrennt sind. Die Zwischenkontaktflächen 811, 821, 831 und 841 können sich in einer Richtung erstrecken, die in Bezug auf die Höhenrichtung Y geneigt ist.
Wie die Modifikation G12 zeigt, ist der Modus bezüglich der Einbauposition der Rippen 801 bis 803 im ersten Gehäuseabschnitt 151 nicht auf diejenige der Ausführungsform der ersten Ausführungsform beschränkt. So können beispielsweise eine vordere Rippe 801, eine hintere Rippe 802 und eine stromabwärtige Rippe 803 bereitgestellt sein, oder es können drei oder mehr von ihnen bereitgestellt sein. Eine Rippe kann auf der stromaufwärtigen Messwandfläche 805 im ersten Gehäuseabschnitt 151 bereitgestellt sein. In dem ersten Gehäuseabschnitt 151 kann mindestens eine der vorderen Messwandfläche 103, der hinteren Messwandfläche 104, der stromaufwärtigen Messwandfläche 805 und der stromabwärtigen Messwandfläche 806 mit einer Rippe bereitgestellt sein, und jede kann nicht mit einer Rippe bereitgestellt sein. Beispiele für die Konfiguration, in der die Rippen nicht auf allen Wandflächen 103, 104, 805 und 806 bereitgestellt sind, umfassen eine Konfiguration, in der der vordere Zwischenabschnitt 553 und der hintere Zwischenabschnitt 563 des Sensors SA50 nicht in Kontakt mit der inneren Fläche des ersten Gehäuseabschnitts 151 sind. Die Beispiele enthalten eine Konfiguration, bei der die gesamte äußere Fläche der Zwischenabschnitte 553 und 563 in Kontakt mit der inneren Fläche des ersten Gehäuseabschnitts 151 ist.
Mit anderen Worten, in der vorliegenden Modifikation ist der Modus bezüglich der Position der Zwischenkontaktflächen 811, 821, 831 und 841 des Sensors SA50 nicht auf die Konfiguration der ersten Ausführungsform beschränkt. So kann beispielsweise für jede der Zwischenkontaktflächen 811, 821, 831 und 841 der festen Flächen 810, 820, 830 und 840 eine bereitgestellt sein, oder es können drei oder mehr von mindestens einer der Zwischenkontaktflächen bereitgestellt sein. Die festen Flächen 810, 820, 830 und 840 können die Zwischenkontaktflächen 811, 821, 831 und 841 nicht haben.
Gemäß der Modifikation G13 kann das Gehäuse 21 in der ersten Ausführungsform aus einem Element gebildet sein, das durch einmaliges Harzformen hergestellt wurde, oder aus einem Element gebildet sein, das durch drei oder mehr Harzformvorgänge hergestellt wurde. Zum Beispiel kann in dem Gehäuse 21 der Abschnitt, der in dem Spalt zwischen dem ersten Gehäuseabschnitt 151 und dem Sensor SA50 bereitgestellt ist, und der Abschnitt, der den Flanschabschnitt 27 und den Verbinderabschnitt 28 enthält, mit Harz mit unterschiedlichen Konfigurationen gegossen werden. Wenn der Abschnitt, der den Spalt zwischen dem ersten Gehäuseabschnitt 151 und dem Sensor SA50 ausfüllt, der zweite Gehäuseabschnitt ist, kann der Abschnitt, der den Flanschabschnitt 27 und den Verbinderabschnitt 28 enthält, als drittes Gehäuseabschnitt bezeichnet werden. Im Gehäuse 21 kann der Abschnitt, der den Spalt zwischen dem ersten Gehäuseabschnitt 151 und dem Sensor SA50 ausfüllt, durch Gießen anstelle von (Ab-)Formung gebildet werden.
Wie bei der Modifikation G14 kann in der ersten Ausführungsform die leitende Schicht 66b aus einem anderen Material als Platin gebildet werden, solange der Gauge-Faktor geringer ist als der der leitenden Schicht, die aus einem hauptsächlich aus Silizium bestehenden Material gebildet ist. So kann die leitende Schicht 66b beispielsweise aus Molybdän gebildet werden. Das heißt, die Hauptkomponente des Materials, das die leitende Schicht 66b bildet, kann Molybdän sein. Die leitende Schicht 66b kann aus Silizium gebildet sein. Das heißt, die Hauptkomponente des Materials, das die leitende Schicht 66b bildet, kann Silizium sein.
Gemäß der Modifikation G15 kann in der ersten Ausführungsform der Sensorkontaktierungsabschnitt 67 aus einem anderen Klebstoff als dem Silikonklebstoff gebildet werden, sofern der Sensorkontaktierungsabschnitt leichter verformbar ist als ein Kontaktierungsabschnitt, der aus einem Acrylklebstoff oder einem Epoxidklebstoff gebildet ist. Der Sensorkontaktierungsabschnitt 67 kann zum Beispiel aus einem Urethanklebstoff gebildet werden. Der Urethanklebstoff ist ein Klebstoff, der als Hauptkomponente ein Urethanharz enthält. Der Sensorkontaktierungsabschnitt 67 kann aus einem Acrylklebstoff oder einem Epoxidklebstoff gebildet werden.
Wie in der Modifikation G16 kann in der ersten Ausführungsform der Sensorkontaktierungsabschnitt 67 nicht unbedingt zwischen dem SA-Substrat 53 und dem Flusssensor 22 bereitgestellt sein. Beispielsweise wird der Sensorkontaktierungsabschnitt 67 an dem inneren Eckabschnitt bereitgestellt, der durch die SA-Substratvorderfläche 545 des SA-Substrats 53 und die Endfläche des Flusssensors 22 gebildet wird. Wenn sich der Sensorkontaktierungsabschnitt 67 durch den äußeren Umfangsrand des Flusssensors 22 erstreckt und mit der SA-Substratvorderfläche 545 und der Endfläche des Flusssensors 22 verbunden ist, können auch in dieser Konfiguration das SA-Substrat 53 und der Flusssensor 22 durch den Sensorkontaktierungsabschnitt 67 verbunden werden. Da der Sensorkontaktierungsabschnitt 67 durch die Verformung des SA-Substrats 53 leicht verformt wird, kann auch in dieser Konfiguration die Verformung des Flusssensors 22 durch die Verformung des SA-Substrats 53 durch den Sensorkontaktierungsabschnitt 67 unterdrückt werden.
Gemäß der Modifikation G17 muss in der ersten Ausführungsform im Flusssensor 22 mindestens der Membranabschnitt 62 nur im Messflusspfad 32 bereitgestellt sein. Auf der Sensorvorderfläche 22a des Flusssensors 22 muss mindestens ein Abschnitt, der die äußere Fläche des Membranabschnitts 62 enthält, nur dem Messflusspfad 32 ausgesetzt sein.
Gemäß der Modifikation G18 kann in der ersten Ausführungsform der Bonddraht 512a den Flusssensor 22 und die Flussverarbeitungseinheit 511 elektrisch verbinden, wobei das SA-Substrat 53 dazwischen angeordnet ist. Wie in 104 gezeigt, verbindet der Bonddraht 512a beispielsweise indirekt den Flusssensor 22 und die Flussverarbeitungseinheit 511 mit dem dazwischen angeordneten Sensorbefestigungsabschnitt 881. In dieser Konfiguration ist ein Ende des Bonddrahtes 512a mit dem Sensorbefestigungsabschnitt 881 verbunden, und das andere Ende ist direkt mit der Flussverarbeitungseinheit 511 verbunden.
<Merkmale der Konfigurationsgruppe A>
Die in der vorliegenden Beschreibung offenbarte Konfiguration enthält die Merkmale der Konfigurationsgruppe A wie folgt.
[Merkmal A1]
Eine Messvorrichtung (20) für physikalische Größen, die konfiguriert ist, eine physikalische Größe eines Fluids zu messen, wobei die Messvorrichtung für physikalische Größen folgendes enthält:

einen Messflusspfad (32), der konfiguriert ist, Fluid hindurchfließen zu lassen;
ein Gehäuse (21), das den Messflusspfad bildet; und
eine Erfassungseinheit (50), die einen Sensor (22) für physikalische Größen, der eine physikalische Größe eines Fluids in dem Messflusspfad erfasst, und einen plattenförmigen Sensorträgerabschnitt (51) enthält, der den Sensor für physikalische Größen trägt, wobei die Erfassungseinheit (50) an einem Gehäuse so angebracht ist, dass ein Trägerspitzenendabschnitt (55a), der ein Endabschnitt des Sensorträgerabschnitts ist, und der Sensor für physikalische Größen in dem Messflusspfad untergebracht sind, wobei der Sensorträgerabschnitt enthält
eine Trägervorderfläche (55e), die eine Plattenfläche des Sensorträgerabschnitts ist und auf der der Sensor für physikalische Größen bereitgestellt ist, und
eine Trägerrückfläche (55f), die der Trägervorderfläche gegenüberliegt,
das Gehäuse als Formationsflächen, die den Messflusspfad bilden, enthält eine Bodenfläche (101), die einem Trägerspitzenendendabschnitt gegenüberliegt, eine vordere Wandfläche (103), die der Trägervorderfläche zugewandt ist, und
eine hintere Wandfläche (104), die auf einer der vorderen Wandfläche gegenüberliegenden Seite mit einer zwischen der vorderen Wandfläche und der hinteren Wandfläche angeordneten Bodenfläche bereitgestellt ist und der Trägerrückfläche gegenüberliegt, und
eine vordere Distanz (L1), die eine Trennungsdistanz zwischen der vorderen Wandfläche und dem Sensor für physikalische Größen in einer vorderen und hinteren Richtung (X) ist, in der die vordere Wandfläche und die hintere Wandfläche angeordnet sind, größer ist als eine Bodendistanz (L3), die eine Trennungsdistanz zwischen der Bodenfläche und dem Trägerspitzenendabschnitt in einer Höhenrichtung (Y) orthogonal zu der vorderen und hinteren Richtung ist und in der die Bodenfläche und der Trägerspitzenendabschnitt angeordnet sind.

[Merkmal A2]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal A1, wobei die vordere Distanz kleiner ist als eine hintere Distanz (L2), die eine Trennungsdistanz zwischen der vorderen Messwandfläche und der Trägerrückfläche in der vorderen und hinteren Richtung ist.
[Merkmal A3]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal A1 oder A2, wobei das Gehäuse enthält
eine vordere Verengungseinheit (111), die die vordere Wandfläche bildet, sich in Richtung der hinteren Wandfläche in der vorderen und hinteren Richtung wölbt und den Messflusspfad so verengt, dass eine Messbreitendimension (W1), die eine Trennungsdistanz zwischen der vorderen Wandfläche und der hinteren Wandfläche in der vorderen und hinteren Richtung ist, graduell von einer stromaufwärtigen Seite in Richtung des Sensors für physikalische Größen abnimmt, und
die vordere Distanz eine Trennungsdistanz zwischen der vorderen Verengungseinheit und dem Sensor für physikalische Größen in der vorderen und hinteren Richtung ist.
[Merkmal A4]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal A3, wobei
der Messflusspfad enthält
einen Messeingang (35), der ein stromaufwärtiger Endabschnitt des Messflusspfads ist, und durch den ein Fluid einfließt, und
einen Messausgang (36), der ein stromabwärtiger Endabschnitt des Messflusspfads ist und durch den ein Fluid ausfließt,
eine Mittellinie (CL4) des Messflusspfads durch eine Mitte (CO2) des Messeingangs und eine Mitte (CO3) des Messausgangs verläuft und sich entlang des Messflusspfads erstreckt,
der vordere Verengungsabschnitt einen vorderen oberen Abschnitt (lila) enthält, der ein oberer Abschnitt ist, wo eine Distanz (W2) zwischen dem vorderen Verengungsabschnitt und der Mittellinie des Messflusspfads am kleinsten ist, wobei der vordere Verengungsabschnitt an einer Position bereitgestellt ist, wo der vordere obere Abschnitt und der Sensor für physikalische Größen einander in der vorderen und hinteren Richtung gegenüberliegen, und
die vordere Distanz eine Trennungsdistanz zwischen dem vorderen oberen Abschnitt und dem Sensor für physikalische Größen ist.
[Merkmal A5]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal A3 oder A4, wobei das Gehäuse enthält
eine hintere Verengungseinheit (112), die die hintere Wandfläche bildet, sich in Richtung der vorderen Wandfläche in der vorderen und hinteren Richtung wölbt und den Messflusspfad so verengt, dass die Messbreitendimension von der stromaufwärtigen Seite zum Sensor für physikalische Größen hin graduell abnimmt.
[Merkmal A6]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale A1 bis A5, wobei
der Messflusspfad enthält
einen vorderen Bereich (122), der ein Bereich zwischen der vorderen Wandfläche und der Trägervorderfläche in der vorderen und hinteren Richtung ist,
der vordere Bereich enthält
einen Bodenseitenbereich (122a) zwischen dem Sensor für physikalische Größen und der Bodenfläche in der Höhenrichtung, und
einen Deckenseitenbereich (122b) auf einer Seite, die dem Bodenseitenbereich in der Höhenrichtung gegenüberliegt, wobei der Sensor für physikalische Größen zwischen dem Bodenseitenbereich und dem Deckenseitenbereich angeordnet ist,
eine Querschnittsfläche (S1) eines Abschnitts, in dem der Sensor für physikalische Größen in dem Messflusspfad bereitgestellt ist, enthält
eine Bodenseitenfläche (S2), die eine Fläche des Bodenseitenbereichs ist, und
eine Deckenseitenfläche (S3), die eine Fläche des Deckenseitenbereichs ist, und die Deckenseitenfläche kleiner ist als die Bodenseitenfläche.
[Merkmal A7]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal A6, wobei
der Messflusspfad so gekrümmt ist, dass die Fläche des Bodens auf einer inneren Umfangsseite liegt, und
der Bodenseitenbereich an einer inneren Umfangsseite relativ zum Deckenseitenbereich im vorderen Bereich bereitgestellt ist.
[Merkmal A8]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale A1 bis A7, wobei
der Sensor für physikalische Größen enthält
eine Heizeinheit (71), die Wärme erzeugt, und
eine Temperaturerfassungseinheit (72, 73), die entlang der Heizeinheit entlang einer Fläche (65a) des Sensors für physikalische Größen angeordnet ist und die Temperatur erfasst, und
eine vordere Distanz eine Trennungsdistanz zwischen der vorderen Wandfläche und der Heizeinheit ist.
[Merkmal A9]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale A1 bis A7, wobei
der Sensorträgerabschnitt enthält
ein Sensorsubstrat (65), das ein Substrat ist, auf dem der Sensor für physikalische Größen befestigt ist, und
einen Schutzharzabschnitt (55), der aus einem Harzmaterial gebildet ist und das Sensorsubstrat und den Sensor für physikalische Größen schützt, und
die Trägervorderfläche und die Trägerrückfläche aus dem Schutzharzabschnitt gebildet sind.
<Merkmale der Konfigurationsgruppe B>
Die in der vorliegenden Beschreibung offenbarte Konfiguration enthält die Merkmale der Konfigurationsgruppe B wie folgt.
[Merkmal B1]
Eine Messvorrichtung (20, 200) für physikalische Größen, konfiguriert zum Messen einer physikalischen Größe eines Fluids, wobei die Messvorrichtung für physikalische Größen enthält:

einen Messflusspfad (32, 212), durch den ein Fluid fließt;
eine Erfassungseinheit (50, 220), die einen Sensor (22, 202) für physikalische Größen enthält, der in dem Messflusspfad bereitgestellt ist und eine physikalische Größe eines Fluids erfasst, und einen plattenförmigen Sensorträgerabschnitt (51, 221), der den Sensor für physikalische Größen trägt; und
ein Gehäuse (21, 201), das den Messflusspfad und einen Aufnahmebereich (150, 290) bildet, der einen Teil der Erfassungseinheit aufnimmt, wobei
eine innere Fläche des Gehäuses enthält
eine Gehäuseschnittfläche (137, 277), die eine Anordnungsrichtung (Y) schneidet, in der der Messflusspfad und der Aufnahmebereich angeordnet sind,
eine Gehäuseflusspfadfläche (135, 275), die sich von der Gehäuseschnittfläche zu einer Seite des Messflusspfads erstreckt, und
eine Gehäuseaufnahmefläche (136, 276), die sich von der Gehäuseschnittfläche in Richtung einer Aufnahmebereichsseite erstreckt, und
das Gehäuse enthält
einen Gehäusetrennabschnitt (131, 271), der auf mindestens einer der Gehäuseschnittfläche, der Gehäuseflusspfadfläche und der Gehäuseaufnahmefläche bereitgestellt ist, in Richtung der Erfassungseinheit vorsteht und den Messflusspfad und den Aufnahmebereich zwischen dem Gehäuse und der Erfassungseinheit in einem Zustand teilt, in dem er mit der Erfassungseinheit in Kontakt steht.

[Merkmal B2]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal B1, wobei der Gehäusetrennabschnitt die Erfassungseinheit ringförmig umgibt.
[Merkmal B3]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal B1 oder B2, wobei der Gehäusetrennabschnitt an einer Position näher an der Gehäuseflusspfadfläche als an der Gehäuseaufnahmefläche in der Gehäuseschnittfläche bereitgestellt ist.
[Merkmal B4]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale B1 bis B3, wobei ein dem Aufnahmebereich zugewandter Aufnahmeseitenwinkel (012) größer ist als ein dem Messflusspfad zugewandter Flusspfadseitenwinkel (011) in einem Abschnitt, in dem sich eine Mittellinie (CL11) des auf der Gehäuseschnittfläche bereitgestellten Gehäusetrennabschnitts und die Gehäuseschnittfläche schneiden.
[Merkmal B5]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale B1 bis B4, wobei
die Erfassungseinheit einen Einheitsaussparungsabschnitt (161) enthält, der ein in der Erfassungseinheit bereitgestellter Aussparungsabschnitt ist, und
der Gehäuseaussparungsabschnitt in den Einheitsaussparungsabschnitt eintritt und mit einer inneren Fläche des Einheitsaussparungsabschnitts in Kontakt ist.
[Merkmal B6]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale B1 bis B5, wobei
eine äußere Fläche der Erfassungseinheit als äußere Flächen der Erfassungseinheit enthält,
eine Einheitsschnittfläche (147, 287), die die Anordnungsrichtung (Y), in der der Messflusspfad und der Aufnahmebereich angeordnet sind, schneidet,
eine Einheitsflusspfadfläche (145, 285), die sich von der Einheitsschnittfläche zu einer Seite des Messflusspfads erstreckt, und
eine Einheitsaufnahmefläche (146, 286), die sich von der Einheitsschnittfläche zu einer Aufnahmebereichsseite erstreckt, und
der Gehäusetrennabschnitt mit mindestens einer von der Einheitsschnittfläche, der Einheitsflusspfadfläche und der Einheitsaufnahmefläche in Kontakt ist.
[Merkmal B7]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal B6, wobei der Gehäusetrennabschnitt auf der Gehäuseschnittfläche bereitgestellt ist und in Kontakt mit der Einheitsschnittfläche ist.
[Merkmal B8]
Eine Messvorrichtung (20, 200) für physikalische Größen, die konfiguriert ist, eine physikalische Größe eines Fluids zu messen, wobei die Messvorrichtung für physikalische Größen enthält:

einen Messflusspfad (32, 212), durch den ein Fluid fließt;
eine Erfassungseinheit (50, 220), die einen Sensor (22, 202) für physikalische Größen enthält, der in dem Messflusspfad bereitgestellt ist und eine physikalische Größe eines Fluids erfasst, und einen plattenförmigen Sensorträgerabschnitt (51, 221), der den Sensor für physikalische Größen trägt; und
ein Gehäuse (21, 201), das den Messflusspfad und einen Aufnahmebereich (150, 290) bildet, der einen Teil der Erfassungseinheit aufnimmt, wobei
eine äußere Fläche der Erfassungseinheit enthält
eine Einheitsschnittfläche (147, 287), die die Anordnungsrichtung (Y), in der der Messflusspfad und der Aufnahmebereich angeordnet sind, schneidet,
eine Einheitsflusspfadfläche (145, 285), die sich von der Einheitsschnittfläche zu einer Seite des Messflusspfads erstreckt, und
eine Einheitsaufnahmefläche (146, 286), die sich von der Einheitsschnittfläche zu einer Aufnahmebereichsseite erstreckt, und
die Erfassungseinheit enthält
einen Einheitstrennabschnitt (162, 302), der auf mindestens einer von einer Einheitsschnittfläche, einer Einheitsflusspfadfläche und einer Einheitsaufnahmefläche bereitgestellt ist, in Richtung des Gehäuses vorsteht und den Messflusspfad und den Aufnahmebereich zwischen dem Gehäuse und der Erfassungseinheit in einem Zustand teilt, in dem sie in Kontakt mit dem Gehäuse ist.

[Merkmal B9]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal B8, wobei der Einheitstrennabschnitt die Erfassungseinheit ringförmig umgibt.
[Merkmal B10]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal B8 oder B9, wobei der Einheitstrennabschnitt an einer Position bereitgestellt ist, die näher an der Einheitsflusspfadfläche liegt als an der Einheitsaufnahmefläche in der Einheitsschnittfläche.
[Merkmal B11]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale B8 bis B10, wobei ein dem Aufnahmebereich zugewandter Aufnahmeseitenwinkel (θ14) größer ist als ein dem Messflusspfad zugewandter Flusspfadseitenwinkel (013) in einem Abschnitt, in dem sich eine Mittellinie (CL13) des auf der Einheitsschnittfläche bereitgestellten Einheitstrennabschnitts und die Einheitsschnittfläche schneiden.
[Merkmal B12]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale B8 bis B11, wobei
das Gehäuse einen Gehäuseaussparungsabschnitt (163) enthält, der ein im Gehäuse bereitgestellter Aussparungsabschnitt ist, und
der Gehäusetrennabschnitt in den Gehäuseaussparungsabschnitt eintritt und mit einer inneren Fläche des Gehäuseaussparungsabschnitts in Kontakt ist.
[Merkmal B13]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale B8 bis B13, wobei
eine innere Fläche des Gehäuses enthält
eine Gehäuseschnittfläche (137, 277), die die Anordnungsrichtung (Y) schneidet, in der der Messflusspfad und der Aufnahmebereich angeordnet sind,
eine Gehäuseflusspfadfläche (135, 275), die sich von der Gehäuseschnittfläche zu einer Seite des Messflusspfads erstreckt, und
eine Gehäuseaufnahmefläche (136, 276), die sich von der Gehäuseschnittfläche in Richtung einer Aufnahmebereichsseite erstreckt, und
der Einheitstrennabschnitt in Kontakt mit mindestens einer von der Gehäuseschnittfläche, der Gehäuseflusspfadfläche und der Gehäuseaufnahmefläche ist.
[Merkmal B14]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal B14, wobei der Einheitstrennabschnitt auf der Einheitsschnittfläche bereitgestellt ist und in Kontakt mit der Gehäuseschnittfläche ist.
<Merkmale der Konfigurationsgruppe C>
Die in der vorliegenden Beschreibung offenbarte Konfiguration enthält die Merkmale der Konfigurationsgruppe C wie folgt.
[Merkmal C1]
Eine Messvorrichtung (20) für physikalische Größen, die konfiguriert ist, eine physikalische Größe eines Fluids zu messen, wobei die Messvorrichtung für physikalische Größen enthält:

einen Kanalflusspfad (31), der einen Kanaleingang (33) enthält, durch den ein Fluid einfließt, und einen Kanalausgang (34), aus dem ein Fluid, das von dem Kanaleingang einfließt, ausfließt;
einen Messflusspfad (32), der von dem Kanalflusspfad abgezweigt ist und zum Messen einer physikalischen Größe eines Fluids dient, wobei der Messflusspfad (32) einen Messeingang (35) enthält, der zwischen dem Kanaleingang und dem Kanalausgang bereitgestellt ist und durch den ein Fluid von dem Kanalflusspfad einfließt, und einen Messausgang (36), durch den ein durch den Messeingang einfließendes Fluid ausfließt;
einen Sensor (22) für physikalische Größen, der in einem Messflusspfad bereitgestellt ist und konfiguriert ist, eine physikalische Größe des Fluids zu erfassen; und ein Gehäuse (21), das den Kanalflusspfad und den Messflusspfad bildet, und eine innere Fläche des Gehäuses enthält
eine Eingangsdeckenfläche (342), die einen Eingangskanalpfad (331) bildet, der sich zwischen dem Kanaleingang und dem Messeingang des Kanalflusspfads erstreckt, wobei sich die Eingangsdeckenfläche (342) zwischen dem Kanaleingang und dem Messeingang in einer Richtung (Z) erstreckt, in der der Kanaleingang und der Kanalausgang angeordnet sind, und
eine Eingangsbodenfläche (346), die den Eingangskanalpfad bildet und der Eingangsdeckenfläche zugewandt ist, wobei der Eingangskanalpfad zwischen der Eingangsbodenfläche und der Eingangsdeckenfläche angeordnet ist, und
die Eingangsdeckenfläche enthält
eine Deckenschrägfläche (342, 342a), die in Bezug auf die Eingangsbodenfläche so geneigt ist, dass eine Trennungsdistanz (H21) von der Eingangsbodenfläche graduell von dem Kanaleingang zu dem Kanalausgang hin abnimmt, wobei sich die Deckenschrägfläche (342, 342a) von dem Kanaleingang zu dem Messeingang hin erstreckt.

[Merkmal C2]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal C1, wobei ein Neigungswinkel (θ21) der Deckenschrägfläche in Bezug auf die Eingangsbodenfläche gleich oder größer als 10 Grad ist.
[Merkmal C3]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal C1 oder C2, wobei die Deckenschrägfläche in Bezug auf die Eingangsbodenfläche so geneigt ist, dass sie einer Seite des Kanaleingangs zugewandt ist.
[Merkmal C4]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale C1 bis C3, wobei die Deckenschrägfläche so geneigt ist, dass sie einer Seite des Kanaleingangs in Bezug auf eine Hauptflussrichtung (Z) zugewandt ist, die eine Richtung ist, in der von einem Fluid ein Hauptfluss, der hauptsächlich in den Kanaleingang fließt, verläuft.
[Merkmal C5]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal C4, wobei ein Neigungswinkel (θ22) der Deckenschrägfläche in Bezug auf die Hauptflussrichtung gleich oder größer als 10 Grad ist.
[Merkmal C6]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal C4 oder C5, wobei das Gehäuse enthält
eine Winkeleinstellfläche (27a), die einen Befestigungswinkel des Gehäuses in Bezug auf ein Befestigungsziel (14) festlegt, an dem das Gehäuse befestigt ist, und
die Hauptflussrichtung eine Richtung ist, in der sich die Winkeleinstellfläche erstreckt.
[Merkmal C7]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale C1 bis C6, wobei eine Querschnittsfläche (S21) des Eingangskanalpfads graduell von dem Kanaleingang in Richtung des Messeingangs verringert wird.
[Merkmal C8]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale C1 bis C7, wobei ein Neigungswinkel (θ25) einer Mittellinie (CL23) des Messflusspfads am Messeingang in Bezug auf eine Eingangskanallinie (CL24), die eine Mittellinie des Eingangskanalpfads ist, gleich oder größer als 90 Grad ist.
[Merkmal C9]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale C1 bis C8, wobei ein Abzweigwinkel (θ26) des Messflusspfads in Bezug auf den Kanalflusspfad gleich oder kleiner als 60 Grad ist.
<Merkmale der Konfigurationsgruppe D>
Die in der vorliegenden Beschreibung offenbarte Konfiguration enthält die Merkmale der Konfigurationsgruppe D wie folgt.
[Merkmal D1]
Eine Messvorrichtung (20) für physikalische Größen, die konfiguriert ist, eine physikalische Größe eines Fluids zu messen, wobei die Messvorrichtung für physikalische Größen enthält:

einen Messflusspfad (32), der einen Messeingang (35) enthält, durch den ein Fluid einfließt, und einen Messausgang (36), durch den ein durch den Messeingang einfließendes Fluid ausfließt;
einen Sensor (22) für physikalische Größen, der in einem Messflusspfad bereitgestellt ist und konfiguriert ist, eine physikalische Größe des Fluids zu erfassen; und
ein Gehäuse (21), das den Messflusspfad bildet, wobei
der Messflusspfad enthält
einen Sensorpfad (405), der mit dem Sensor für physikalische Größen bereitgestellt ist,
einen stromaufwärtigen gekrümmten Pfad (406), der zwischen dem Sensorpfad und dem Messeingang in dem Messflusspfad bereitgestellt ist und so gekrümmt ist, dass er sich von dem Sensorpfad zu dem Messeingang in dem Gehäuse erstreckt, und
einen stromabwärtigen gekrümmten Pfad (407), der zwischen dem Sensorpfad und dem Messausgang in dem Messflusspfad bereitgestellt ist und so gekrümmt ist, dass er sich von dem Sensorpfad zu dem Messausgang in dem Gehäuse erstreckt,
eine innere Fläche des Gehäuses enthält
eine stromaufwärtige äußere gekrümmte Fläche (411), die den stromaufwärtigen gekrümmten Pfad von einer Außenseite einer Krümmung bildet, und
eine stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche (421), die den stromabwärtigen gekrümmten Pfad von einer Außenseite einer Krümmung bildet, und
ein Aussparungsgrad der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche in Richtung einer Seite, auf der sich der Messflusspfad ausdehnt, größer ist als ein Aussparungsgrad der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche in Richtung einer Seite, auf der sich der Messflusspfad ausdehnt.

[Merkmal D2]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal D1, wobei
die stromaufwärtige äußere gekrümmte Fläche eine stromaufwärtige äußere gekrümmte Fläche (411) enthält, die entlang des stromaufwärtigen gekrümmten Pfads gekrümmt ist,
die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche eine stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche (461) enthält, die entlang des stromabwärtigen gekrümmten Pfads gekrümmt ist, und
ein Krümmungsradius (R34) der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche kleiner ist als ein Krümmungsradius (R33) der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche, so dass der Aussparungsgrad der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche größer ist als der Aussparungsgrad der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche.
[Merkmal D3]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal D1, wobei
die stromaufwärtige äußere gekrümmte Fläche die stromaufwärtige äußere gekrümmte Fläche (411) enthält, die entlang des stromaufwärtigen gekrümmten Pfads gekrümmt ist, und
die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche einen inneren Eckabschnitt (424) bildet, der so ausgespart ist, dass er in den stromabwärtigen gekrümmten Pfad eintritt, so dass ein Aussparungsgrad der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche größer wird als ein Aussparungsgrad der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche.
[Merkmal D4]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale D1 bis D3, wobei
eine innere Fläche des Gehäuses enthält
eine stromaufwärtige innere gekrümmte Fläche (415), die den stromaufwärtigen gekrümmten Pfad von einer Innenseite einer Krümmung bildet, und
eine stromabwärtige innere gekrümmte Fläche (425), die den stromabwärtigen gekrümmten Pfad von einer Innenseite einer Krümmung bildet, und
in einer Richtung orthogonal zu einer Mittellinie (CL4) des Messflusspfads eine Trennungsdistanz (L35b) eines Abschnitts, an dem die stromaufwärtige äußere gekrümmte Fläche und eine stromabwärtige innere gekrümmte Fläche am weitesten voneinander entfernt sind, größer ist als eine Trennungsdistanz (L35a) eines Abschnitts, an dem die stromaufwärtige äußere gekrümmte Fläche und eine stromabwärtige innere gekrümmte Fläche am weitesten voneinander entfernt sind.
[Merkmal D5]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal D4, wobei ein Wölbungsgrad der stromabwärtigen inneren gekrümmten Fläche in Richtung einer Seite, wo der Messflusspfad erweitert ist, kleiner ist als ein Wölbungsgrad der stromaufwärtigen inneren gekrümmten Fläche in Richtung einer Seite, wo der Messflusspfad erweitert ist.
[Merkmal D6]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal D4 oder D5, wobei
die stromaufwärtige innere gekrümmte Fläche eine stromaufwärtige innere gekrümmte Fläche (415) enthält, die entlang des stromaufwärtigen gekrümmten Pfads gekrümmt ist,
die stromabwärtige innere gekrümmte Fläche eine stromabwärtige innere gekrümmte Fläche (425) enthält, die entlang des stromabwärtigen gekrümmten Pfads gekrümmt ist, und
ein Krümmungsradius (R32) der stromabwärtigen inneren gekrümmten Fläche größer ist als ein Krümmungsradius (R31) der stromaufwärtigen inneren gekrümmten Fläche, so dass der Wölbungsgrad der stromabwärtigen inneren gekrümmten Fläche kleiner ist als der Wölbungsgrad der stromaufwärtigen inneren gekrümmten Fläche.
[Merkmal D7]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale D1 bis D6, wobei sich der Sensorpfad in einer Anordnungsrichtung (Z) des stromaufwärtigen gekrümmten Pfads und eines stromabwärtigen Anordnungspfads erstreckt.
[Merkmal D8]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale D1 bis D7, wobei
das Gehäuse enthält
einen Messverengungsabschnitt (111, 112), der den Messflusspfad von einer Seite des Messeingangs zum Sensor für physikalische Größen graduell reduziert und verengt, und den Messflusspfad von einer Seite des Sensors für physikalische Größen zum Messausgang graduell erweitert, und
der Messverengungsabschnitt zwischen einem stromaufwärtigen Endabschnitt des stromaufwärtigen gekrümmten Pfads und einem stromabwärtigen Endabschnitt des stromabwärtigen gekrümmten Pfads im Messflusspfad bereitgestellt ist.
[Merkmal D9]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal D8, wobei
der Messverengungsabschnitt enthält
eine Messverengungsfläche (431, 441), die eine innere Fläche des Gehäuses bildet und den Messflusspfad von einer Seite des Messeingangs in Richtung des Sensors für physikalische Größen graduell reduziert und verengt, und
eine Messausdehnungsfläche (432, 442), die den Messflusspfad graduell von einer Seite des Sensors für physikalische Größen in Richtung des Messausgangs ausdehnt, und
eine Längendimension (W33a, W33b) der Messausdehnungsfläche größer ist als eine Längendimension (W32a, W32b) der Messverengungsfläche in einer Anordnungsrichtung (Z) des stromaufwärtigen gekrümmten Pfads und eines stromabwärtigen gekrümmten Pfads.
[Merkmal D10]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal D8 oder D9, wobei sich die Messausdehnungsfläche gerade von der Seite des Sensors für physikalische Größen in Richtung des Messausgangs erstreckt.
[Merkmal D11]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale D8 bis D10, wobei eine Trennungsdistanz (W34a, W35a) zwischen der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche und dem Messverengungsabschnitt auf einer Anordnungslinie größer ist als eine Trennungsdistanz (W34b, W35b) zwischen der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche und dem Messverengungsabschnitt in der Anordnungsrichtung (Z) des stromaufwärtigen gekrümmten Pfads und des stromabwärtigen gekrümmten Pfads.
[Merkmal D12]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale D8 bis D11, wobei
eine innere Fläche des Gehäuses enthält
ein Paar Messwandflächen (103, 104), die den Messflusspfad bilden und einander zugewandt sind, wobei die stromaufwärtige äußere gekrümmte Fläche und die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche zwischen dem Paar von Messwandflächen angeordnet sind, und
der Messverengungsabschnitt auf mindestens einer der beiden Messwandflächen bereitgestellt ist.
[Merkmal D13]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale D1 bis D12, wobei
eine innere Fläche des Gehäuses enthält
ein Paar von Wandflächen (103, 104), die den Messflusspfad bilden und einander zugewandt sind, wobei die stromaufwärtige äußere gekrümmte Fläche und die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche zwischen dem Paar von Wandflächen angeordnet sind, und
der Messausgang an mindestens einer des Paars von Wandflächen in einer Richtung bereitgestellt ist, in der der Messflusspfad in einer Richtung (X) geöffnet ist, in der das Paar von Wandflächen angeordnet ist.
[Merkmal Da1]
Eine Messvorrichtung (20) für physikalische Größen, die konfiguriert ist, eine physikalische Größe eines Fluids zu messen, wobei die Messvorrichtung für physikalische Größen enthält:

einen Messflusspfad (32), der einen Messeingang (35) enthält, durch den ein Fluid einfließt, und einen Messausgang (36), durch den ein durch den Messeingang einfließendes Fluid ausfließt;
einen Sensor (22) für physikalische Größen, der in einem Messflusspfad bereitgestellt ist und konfiguriert ist, eine physikalische Größe des Fluids zu erfassen; und ein Gehäuse (21), das den Messflusspfad bildet, wobei
der Messflusspfad enthält
einen Sensorpfad (405), der mit dem Sensor für physikalische Größen bereitgestellt ist,
einen stromaufwärtigen gekrümmten Pfad (406), der zwischen dem Sensorpfad und dem Messeingang in dem Messflusspfad bereitgestellt ist und so gekrümmt ist, dass er sich von dem Sensorpfad zu dem Messeingang in dem Gehäuse erstreckt, und
einen stromabwärtigen gekrümmten Pfad (407), der zwischen dem Sensorpfad und dem Messausgang in dem Messflusspfad bereitgestellt ist und so gekrümmt ist, dass er sich von dem Sensorpfad zu dem Messausgang in dem Gehäuse erstreckt,
eine innere Fläche des Gehäuses enthält
eine stromaufwärtige äußere gekrümmte Fläche (411), die den stromaufwärtigen gekrümmten Pfad von einer Außenseite einer Krümmung bildet, und
eine stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche (421), die den stromabwärtigen gekrümmten Pfad von einer Außenseite einer Krümmung bildet, und
unter der Annahme einer Anordnungslinie (CL31) als imaginäre Gerade, die durch den Sensor für physikalische Größen verläuft und sich in einer Anordnungsrichtung (Z) des stromaufwärtigen gekrümmten Pfads und des stromabwärtigen gekrümmten Pfads erstreckt,
eine Trennungsdistanz (L31b) zwischen der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche und dem Sensor für physikalische Größen auf der Anordnungslinie größer ist als eine Trennungsdistanz (L31a) zwischen der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche und dem Sensor für physikalische Größen auf der Anordnungslinie.

[Merkmal Da2]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal Da1, wobei sich der Sensorpfad entlang der Anordnungslinie erstreckt.
[Merkmal Da3]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal Da1 oder Da2, wobei im Sensorpfad eine Trennungsdistanz (L34b) zwischen dem Sensor für physikalische Größen und dem stromabwärtigen gekrümmten Pfad größer ist als eine Trennungsdistanz (L34a) zwischen dem Sensor für physikalische Größen und dem stromaufwärtigen gekrümmten Pfad.
[Merkmal Da4]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale Da1 bis Da3, aufweisend:

ein Sensorträgerabschnitt (51), der den Sensor für physikalische Größen im Messflusspfad trägt, wobei
eine Trennungsdistanz (L32b) zwischen der stromabwärtigen äußeren gekrümmten Fläche und dem Sensorträgerabschnitt auf der Anordnungslinie größer ist als eine Trennungsdistanz (L32a) zwischen der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche und dem Sensorträgerabschnitt auf der Anordnungslinie.

[Merkmal Da5]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale Da1 bis Da4, wobei
die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche enthält
eine stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche (423), die an einer Position bereitgestellt ist, durch die die Anordnungslinie verläuft, und die sich von einem stromaufwärtigen gekrümmten Pfad in Richtung einer stromaufwärtigen Seite gerade erstreckt.
[Merkmal Da6]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale Da1 bis Da5, wobei
eine innere Fläche des Gehäuses enthält
eine stromabwärtige innere gekrümmte Fläche (425), die den stromabwärtigen gekrümmten Pfad von einer Innenseite einer Krümmung bildet, und
die stromabwärtige innere gekrümmte Fläche enthält
eine stromabwärtige innere gekrümmte Fläche (425), die entlang des stromabwärtigen gekrümmten Pfads gekrümmt ist.
[Merkmal Da7]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale Da1 bis Da6, wobei
das Gehäuse enthält
einen Messverengungsabschnitt (111, 112), der den Messflusspfad von einer Seite des Messeingangs zum Sensor für physikalische Größen graduell reduziert und verengt, und den Messflusspfad von einer Seite des Sensors für physikalische Größen zum Messausgang graduell erweitert, und
der Messverengungsabschnitt zwischen einem stromaufwärtigen Endabschnitt des stromaufwärtigen gekrümmten Pfads und einem stromabwärtigen Endabschnitt des stromabwärtigen gekrümmten Pfads im Messflusspfad bereitgestellt ist.
[Merkmal Da8]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal Da7, wobei
der Messverengungsabschnitt enthält
eine Messverengungsfläche (431, 441), die eine innere Fläche des Gehäuses bildet und den Messflusspfad von einer Seite des Messeingangs in Richtung des Sensors für physikalische Größen graduell reduziert und verengt, und
eine Messausdehnungsfläche (432, 442), die den Messflusspfad graduell von einer Seite des Sensors für physikalische Größen in Richtung des Messausgangs ausdehnt, und
eine Längendimension (W33a, W33b) der Messausdehnungsfläche größer ist als eine Längendimension (W32a, W32b) der Messverengungsfläche in der Anordnungsrichtung.
[Merkmal Da9]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal Da8, wobei sich die Messausdehnungsfläche gerade von der Seite des Sensors für physikalische Größen in Richtung des Messausgangs erstreckt.
[Merkmal Da10]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale Da7 bis Da9, wobei eine Trennungsdistanz (W34a, W35a) zwischen der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche und dem Messverengungsabschnitt auf der Anordnungslinie größer ist als eine Trennungsdistanz (W34b, W35b) zwischen der stromaufwärtigen äußeren gekrümmten Fläche und dem Messverengungsabschnitt auf der Anordnungslinie.
[Merkmal Da11]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale Da7 bis Da10, wobei
eine innere Fläche des Gehäuses enthält
ein Paar von Messwandflächen (103, 104), die den Messflusspfad bilden und einander zugewandt sind, wobei die stromaufwärtige äußere gekrümmte Fläche und die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche zwischen dem Paar von Messwandflächen angeordnet sind, und
der Messverengungsabschnitt auf mindestens einer der beiden Messwandflächen bereitgestellt ist.
[Merkmal Da12]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale Da1 bis Da11, wobei
die stromaufwärtige äußere gekrümmte Fläche enthält
eine stromaufwärtige äußere gekrümmte Fläche (411), die sich zwischen einem stromaufwärtigen Endabschnitt und einem stromabwärtigen Endabschnitt des stromaufwärtigen gekrümmten Pfads erstreckt und entlang des stromaufwärtigen gekrümmten Pfads gekrümmt ist.
[Merkmal Da13]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale Da1 bis Da12, wobei
eine innere Fläche des Gehäuses enthält
eine innere Messkrümmungsfläche (402), die so gekrümmt ist, dass sie sich in einem Zustand, in dem sie zwischen dem Messeingang und dem Messausgang gestreckt ist, in Richtung des Sensors für die physikalische Größe wölbt und den Messflusspfad von einer Innenseite einer Krümmung bildet.
[Merkmal Da14]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale Da1 bis Da13, wobei
eine innere Fläche des Gehäuses enthält
ein Paar von Wandflächen (103, 104), die den Messflusspfad bilden und einander zugewandt sind, wobei die stromaufwärtige äußere gekrümmte Fläche und die stromabwärtige äußere gekrümmte Fläche zwischen dem Paar von Wandflächen angeordnet sind, und
der Messausgang an mindestens einer des Paars von Wandflächen in einer Richtung bereitgestellt ist, in der der Messflusspfad in einer orthogonalen Richtung (X) geöffnet ist, in der das Paar von Wandflächen angeordnet und orthogonal zu der Anordnungslinie ist.
<Merkmale der Ausführungsgruppe E>
Die in der vorliegenden Beschreibung offenbarte Konfiguration enthält die Merkmale der Konfigurationsgruppe E wie folgt.
[Merkmal E1]
Eine Messvorrichtung (20) für physikalische Größen, konfiguriert, eine physikalische Größe eines Fluids zu messen, wobei die Messvorrichtung für physikalische Größen enthält:

einen Messflusspfad (32), der einen Messeingang (35) enthält, durch den ein Fluid einfließt, und einen Messausgang (36), durch den ein durch den Messeingang einfließendes Fluid ausfließt;
einen Sensor (22) für physikalische Größen, der in einem Messflusspfad bereitgestellt ist und konfiguriert ist, eine physikalische Größe des Fluids zu erfassen;
einen Sensorträgerabschnitt (51), der den Sensor für physikalische Größen in dem Messflusspfad trägt; und
ein Gehäuse (21), das den Messflusspfad bildet, wobei
der Messflusspfad enthält
einen Sensorpfad (405), der mit dem Sensor für physikalische Größen bereitgestellt ist,
einen stromaufwärtigen gekrümmten Pfad (406), der zwischen dem Sensorpfad und dem Messeingang in dem Messflusspfad bereitgestellt ist und so gekrümmt ist, dass er sich von dem Sensorpfad zu dem Messeingang in dem Gehäuse erstreckt, und
einen stromabwärtigen gekrümmten Pfad (407), der zwischen dem Sensorpfad und dem Messausgang in dem Messflusspfad bereitgestellt ist und so gekrümmt ist, dass er sich von dem Sensorpfad in Richtung des Messausgangs in dem Gehäuse erstreckt,
das Gehäuse enthält
einen Messverengungsabschnitt (111, 112), der den Messflusspfad von einer Seite des Messeingangs in Richtung des Sensors für physikalische Größen graduell reduziert und verengt, und
unter der Annahme einer Anordnungslinie (CL31) als einer imaginären geraden Linie, die durch den Sensor für physikalische Größen verläuft und sich in einer Anordnungsrichtung (Z) des stromaufwärtigen gekrümmten Pfads und des stromabwärtigen gekrümmten Pfads erstreckt, in einem Anordnungsquerschnitt (CS41), der sich entlang der Anordnungslinie erstreckt, ein stromaufwärtiger Endabschnitt (55c, 471) des Sensorträgerabschnitts auf einer stromaufwärtigen Seite relativ zu dem Messverengungsabschnitt bereitgestellt ist.

[Merkmal E2]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal E1, wobei
der stromaufwärtige Endabschnitt des Sensorträgerabschnitts enthält
einen stromaufwärtigen geneigten Abschnitt (471), der in Bezug auf den Anordnungsquerschnitt geneigt und gegenüber dem stromaufwärtigen Endabschnitt des Messverengungsabschnitts in Anordnungsrichtung ist.
[Merkmal E3]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal E1 oder E2, wobei ein stromabwärtiger Endabschnitt (55d, 472) des Sensorträgerabschnitts auf einer stromaufwärtigen Seite relativ zu einem stromabwärtigen Endabschnitt (111c, 112c) des Messverengungsabschnitts im Anordnungsquerschnitt bereitgestellt ist.
[Merkmal E4]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal E3, wobei
der stromabwärtige Endabschnitt des Sensorträgerabschnitts enthält
einen stromabwärtigen geneigten Abschnitt (472), der in Bezug auf den Anordnungsquerschnitt geneigt und gegenüber dem stromabwärtigen Endabschnitt des Messverengungsabschnitts in der Anordnungsrichtung ist.
[Merkmal E5]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale E1 bis E4, wobei
der Messverengungsabschnitt enthält
eine Messverengungsfläche (431, 441), die eine innere Fläche des Gehäuses bildet und den Messflusspfad von einer Seite des Messeingangs in Richtung des Sensors für physikalische Größen graduell reduziert und verengt, und
eine Messausdehnungsfläche (432, 442), die den Messflusspfad graduell von einer Seite des Sensors für physikalische Größen in Richtung des Messausgangs ausdehnt, und
eine Längendimension (W33a, W33b) der Messausdehnungsfläche größer ist als eine Längendimension (W32a, W32b) der Messverengungsfläche in der Anordnungsrichtung.
[Merkmal E6]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale E1 bis E5, wobei
der Sensor für physikalische Größen an einer vorderen Fläche (55e) befestigt ist, die eine Fläche des Sensorträgerabschnitts ist,
eine innere Fläche des Gehäuses eine vordere Messwandfläche (103), die der vorderen Fläche des Sensorträgerabschnitts zugewandt ist, und eine hintere Messwandfläche (104), die einer hinteren Fläche (55f) gegenüber der vorderen Fläche des Sensorträgerabschnitts zugewandt ist, als ein Paar von Wandflächen enthält, die den Messflusspfad bilden und einander zugewandt sind, wobei der Sensorträgerabschnitt zwischen der vorderen Messwandfläche und der hinteren Messwandfläche angeordnet ist, und,
das Gehäuse enthält
als den Messverengungsabschnitt einen vorderen Verengungsabschnitt (111), der an einer Position bereitgestellt ist, die dem Sensor für physikalische Größen an der vorderen Messwandfläche zugewandt.
[Merkmal E7]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal E6, wobei
das Gehäuse enthält
als den Messverengungsabschnitt einen hinteren Verengungsabschnitt (112), der an einer Position gegenüber dem vorderen Verengungsabschnitt an der hinteren Messwandfläche bereitgestellt ist, wobei der Sensor für physikalische Größen zwischen der hinteren Messwandfläche und der vorderen Messwandfläche angeordnet ist.
[Merkmal E8]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal E7, wobei eine Trennungsdistanz (D33a) zwischen dem Sensorträgerabschnitt und dem vorderen Verengungsabschnitt kleiner ist als eine Trennungsdistanz (D33b) zwischen dem Sensorträgerabschnitt und dem hinteren Verengungsabschnitt im Anordnungsquerschnitt.
[Merkmal E9]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal E7 oder E8, wobei
eine Mittellinie (CL4) des Messflusspfads durch eine Mitte (CO2) des Messeingangs und eine Mitte (CO3) des Messausgangs verläuft und sich entlang des Messflusspfads erstreckt,
der vordere Verengungsabschnitt einen vorderen oberen Abschnitt (111a) als einen oberen Abschnitt enthält, an dem eine Trennungsdistanz (W2) zwischen dem vorderen Verengungsabschnitt und der Mittellinie des Messflusspfads minimiert ist,
der hintere Verengungsabschnitt einen hinteren oberen Abschnitt (112a) als einen oberen Abschnitt enthält, bei dem eine Trennungsdistanz (W3) zwischen dem hinteren Verengungsabschnitt und der Mittellinie des Messflusspfads minimiert ist, und
eine Reduktionsrate, bei der der vordere Verengungsabschnitt den Messflusspfad reduziert, größer ist als eine Reduktionsrate, bei der der hintere Verengungsabschnitt den Messflusspfad reduziert.
[Merkmal E10]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale E1 bis E9, wobei im Messflusspfad der Sensor für physikalische Größen in Übereinstimmung mit einer Position bereitgestellt ist, in der eine Flussgeschwindigkeit durch den den Messflusspfad verengenden Messverengungsabschnitt maximiert ist.
[Merkmal E11]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale E1 bis E10, wobei der stromaufwärtige Endabschnitt des Sensorträgerabschnitts auf dem stromaufwärtigen gekrümmten Pfad im Anordnungsquerschnitt bereitgestellt ist.
[Merkmal E12]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale E1 bis E11, wobei eine Öffnungsfläche des Messausgangs kleiner ist als eine Öffnungsfläche des Messeingangs.
[Merkmal E13]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale E1 bis E12, aufweisend:

einen Kanalflusspfad (31), der einen Kanaleingang (33) enthält, durch den ein Fluid einfließt, und einen Kanalausgang (34), aus dem das von dem Kanaleingang einfließende Fluid ausfließt, wobei
der Messflusspfad ein Zweigflusspfad ist, der von dem Kanalflusspfad abzweigt, und
eine Öffnungsfläche des Kanalausgangs kleiner ist als eine Öffnungsfläche des Kanaleingangs.

<Merkmale der Konfigurationsgruppe F>
Die in der vorliegenden Beschreibung offenbarte Konfiguration enthält die Merkmale der Konfigurationsgruppe F wie folgt.
[Merkmal F1]
Eine Messvorrichtung (20) für physikalische Größen, die konfiguriert ist, eine physikalische Größe eines Fluids zu messen, wobei die Messvorrichtung für physikalische Größen aufweist:

einen Messflusspfad (32), der konfiguriert ist, Fluid hindurchfließen zu lassen;
einen Sensor (22) für physikalische Größen, der in einem Messflusspfad bereitgestellt ist und konfiguriert ist, eine physikalische Größe des Fluids zu erfassen; und
ein Sensorträgerabschnitt (51), der den Sensor für physikalische Größen trägt, wobei
der Sensor für physikalische Größen enthält
einen Sensoraussparungsabschnitt (61), der ein Aussparungsabschnitt ist, der auf einer Sensorrückfläche (22b) bereitgestellt ist, die eine Fläche des Sensors für physikalische Größen ist, und
einen Membranabschnitt (62), der eine Sensoraussparungsbodenfläche (501) bildet, die eine Bodenfläche des Sensoraussparungsabschnitts ist, und mit einem Erfassungselement (71 bis 74) bereitgestellt ist, der konfiguriert ist, eine physikalische Größe des Fluids zu erfassen, und
der Sensorträgerabschnitt enthält
einen hinteren Trägerabschnitt (522), der sich entlang der Sensorrückfläche erstreckt und so bereitgestellt ist, dass er eine Sensoraussparungsöffnung (503) abdeckt, die eine Öffnung des Sensoraussparungsabschnitts ist,
einen Trägeraussparungsabschnitt (530), der ein Aussparungsabschnitt ist, der auf einer Trägerrückfläche (55f) bereitgestellt ist, die eine Fläche des hinteren Trägerabschnitts auf einer Seite gegenüber dem Sensor für physikalische Größen ist,
ein Trägerloch (540), das sich von einem Trägeraussparungsbodenabschnitt (531), der eine Bodenfläche des Trägeraussparungsabschnitts ist, in Richtung des Sensoraussparungsabschnitts erstreckt, den hinteren Trägerabschnitt durchdringt und mit der Sensoraussparungsöffnung kommuniziert, und
eine Trägeraussparungsinnenwandfläche (532), die in einer inneren Fläche des Trägeraussparungsabschnitts zusammen mit dem Trägeraussparungsbodenabschnitt enthalten ist, sich von dem Trägeraussparungsbodenabschnitt in Richtung einer Seite gegenüber dem Sensor für physikalische Größen erstreckt und in Bezug auf eine Mittellinie (CL52) des Trägerlochs so geneigt ist, dass sie einer Seite gegenüber dem Sensor für physikalische Größen zugewandt ist.

[Merkmal F2]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal F1, wobei ein äußerer Umfangsrand des Trägeraussparungsbodenabschnitts an einer Position bereitgestellt ist, die nach außen von einem hinteren Endabschnitt (542) getrennt ist, der ein Endabschnitt des Trägerlochs auf einer Seite gegenüber dem Sensor für physikalische Größen ist.
[Merkmal F3]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal F1 oder F2, wobei der äußere Umfangsrand des Trägeraussparungsbodenabschnitts an einer Position bereitgestellt ist, die nach außen von der Sensoraussparungsöffnung in Richtungen (Y, Z) orthogonal zur Mittellinie des Trägerlochs getrennt ist.
[Merkmal F4]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale F1 bis F3, wobei eine Längendimension (L51) einer Trägeraussparungsinnenwandfläche in Richtungen (Y, Z) orthogonal zu der Mittellinie des Trägerlochs größer ist als eine Längendimension (L52) einer Trägeraussparungsinnenwandfläche in einer Richtung (X), in der sich die Mittellinie des Trägerlochs erstreckt.
[Merkmal F5]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale F1 bis F4, wobei eine Längendimension (L54) des Trägerlochs kleiner ist als eine Tiefendimension (L52) des Trägeraussparungsabschnitts in einer Richtung (X), in der sich die Mittellinie des Trägerlochs erstreckt.
[Merkmal F6]
Eine Messvorrichtung (20) für physikalische Größen, die konfiguriert ist, eine physikalische Größe eines Fluids zu messen, wobei die Messvorrichtung für physikalische Größen aufweist:

einen Messflusspfad (32), der konfiguriert ist, Fluid hindurchfließen zu lassen;
einen Sensor (22) für physikalische Größen, der in einem Messflusspfad bereitgestellt ist und konfiguriert ist, eine physikalische Größe des Fluids zu erfassen; und
einen Sensorträgerabschnitt (51), der den Sensor für physikalische Größen trägt, wobei
der Sensor für physikalische Größen enthält
einen Sensoraussparungsabschnitt (61), der ein Aussparungsabschnitt ist, der auf einer Sensorrückfläche (22b) bereitgestellt ist, die eine Fläche des Sensors für physikalische Größen ist, und
einen Membranabschnitt (62), der eine Sensoraussparungsbodenfläche (501) bildet, die eine Bodenfläche des Sensoraussparungsabschnitts ist, und mit einem Erfassungselement (71 bis 74) bereitgestellt ist, das konfiguriert ist, eine physikalische Größe des Fluids zu erfassen, und
der Sensorträgerabschnitt enthält
einen hinteren Trägerabschnitt (522), der sich entlang der Sensorrückfläche erstreckt und eine Sensoraussparungsöffnung (503) abdeckt, die eine Öffnung des Sensoraussparungsabschnitts ist,
einen Trägervorsprungsabschnitt (710), der ein Vorsprungsabschnitt ist, der auf einer hinteren Trägerrückfläche (55f) bereitgestellt ist, die eine Fläche des hinteren Trägerabschnitts auf einer Seite ist, die dem Sensor für physikalische Größen gegenüberliegt,
ein Trägerloch (720), das sich von einer Trägervorsprungspitzenendfläche (711), die ein Spitzenendabschnitt des Trägervorsprungsabschnitts ist, in Richtung des Sensoraussparungsabschnitts erstreckt, den hinteren Trägerabschnitt durchdringt und mit der Sensoraussparungsöffnung kommuniziert, und
eine Trägervorsprungsaußenwandfläche (712), die in einer äußeren Fläche des Trägervorsprungsabschnitts zusammen mit dem Trägervorsprungspitzenendabschnitt enthalten ist, sich von dem Trägervorsprungspitzenendabschnitt in Richtung des Sensors für physikalische Größen erstreckt und in Bezug auf eine Mittellinie (CL152) des Trägerlochs so geneigt ist, dass sie einer Seite gegenüber dem Sensor für physikalische Größen zugewandt ist.

[Merkmal F7]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal F6, wobei ein äußerer Umfangsrand des Trägervorsprungspitzenendabschnitts an einer Position bereitgestellt ist, die nach außen von einem hinteren Endabschnitt (722) getrennt ist, der ein Endabschnitt des Trägerlochs auf einer dem Sensor für physikalische Größen gegenüberliegenden Seite ist.
[Merkmal F8]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal F6 oder F7, wobei der äußere Umfangsrand des Trägervorsprungspitzenendabschnitts an einer Position bereitgestellt ist, die nach außen von der Sensoraussparungsöffnung in Richtungen (Y, Z) orthogonal zu der Mittellinie des Trägerlochs getrennt ist.
[Merkmal F9]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale F6 bis F8, wobei eine Längendimension (L151) der Trägervorsprungsaußenwandfläche in Richtungen (Y, Z) orthogonal zu der Mittellinie des Trägerlochs größer ist als eine Längendimension (LI52) der Trägervorsprungsaußenwandfläche in Richtung (X), in die sich die Mittellinie des Trägerlochs erstreckt.
<Merkmale der Konfigurationsgruppe G>
Die in der vorliegenden Beschreibung offenbarte Konfiguration enthält die Merkmale der Konfigurationsgruppe G wie folgt.
[Merkmal G1]
Eine Messvorrichtung (20) für physikalische Größen, die konfiguriert ist, eine physikalische Größe eines Fluids zu messen, wobei die Messvorrichtung für physikalische Größen aufweist:

einen Messflusspfad (32), der konfiguriert ist, Fluid hindurchfließen zu lassen;
einen Sensor (22) für physikalische Größen, der eine physikalische Größe eines Fluids in dem Messflusspfad erfasst;
einen Sensorträgerabschnitt (51), der den Sensor für physikalische Größen trägt; und
einen Flusspfadgehäuseabschnitt (151), der den Messflusspfad bildet und den Sensorträgerabschnitt trägt, wobei
der Sensorträgerabschnitt enthält
einen Trägerspitzenendabschnitt (55a, 900a), der ein im Messflusspfad bereitgestellter Endabschnitt ist, und
eine Trägervorderfläche (55e, 901), die einen vorderen festen Abschnitt (810, 910) enthält, der an einer von dem Trägerspitzenendabschnitt getrennten Position bereitgestellt und an einer inneren Fläche des Flusspfadgehäuseabschnitts befestigt ist, wobei die vordere Trägerfläche eine Fläche auf einer Seite ist, an der der Sensor für physikalische Größen exponiert ist, und
der Sensor für physikalische Größen eine Sensoraufnahmefläche (870) enthält, die von der Trägervorderfläche exponiert ist, und
in einer Höhenrichtung (Y), in der der vordere feste Basisendabschnitt und der vordere feste Abschnitt angeordnet sind, eine Trennungsdistanz (L62a, L72a) zwischen einem vorderen festen Basisendabschnitt (814, 914), bei dem es sich um einen Endabschnitt des vorderen festen Abschnitts auf einer Seite gegenüber dem vorderen Trägerspitzenendabschnitt handelt, und einem exponierten Basisendabschnitt (872), bei dem es sich um einen Endabschnitt der Sensoraufnahmefläche auf einer Seite gegenüber dem Trägerspitzenendabschnitt handelt, kleiner ist als eine Trennungsdistanz (L61a, L71a) zwischen dem exponierten Basisendabschnitt und dem Trägerspitzenendabschnitt.

[Merkmal G2]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal G1, wobei in der Höhenrichtung ein vorderer fester Spitzenendabschnitt (813, 913), der ein Endabschnitt des vorderen festen Abschnitts auf einer Seite des Trägerspitzenendabschnitts ist, zwischen einem Sensorspitzenendabschnitt (861), der ein Endabschnitt des Sensors für physikalische Größen auf einer Seite des Trägerspitzenendabschnitts ist, und einem Sensorbasisendabschnitt (862), der ein Endabschnitt des Sensors für physikalische Größen auf einer Seite gegenüber dem Sensorspitzenendabschnitt ist, bereitgestellt ist.
[Merkmal G3]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal G1 oder G2, wobei der Sensorträgerabschnitt enthält
eine Trägerrückfläche (55f), die einen hinteren festen Abschnitt (820, 920) aufweist, der an einer von dem Trägerspitzenendabschnitt getrennten Position bereitgestellt und an einer inneren Fläche des Flusspfadgehäuseabschnitts befestigt ist, wobei die Gehäuserückfläche eine Fläche ist, die der Trägervorderfläche gegenüberliegt, und
in der Höhenrichtung eine Trennungsdistanz (L62b, L72b) zwischen einem hinteren festen Basisendabschnitt (824, 924), der ein Endabschnitt des hinteren festen Abschnitts auf einer Seite gegenüber dem Trägerspitzenendabschnitt ist, und dem exponierten Basisendabschnitt kleiner ist als eine Trennungsdistanz (L61a, L71a) zwischen dem exponierten Basisendabschnitt und dem Trägerspitzenendabschnitt.
[Merkmal G4]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal G3, wobei sich eine Trennungsdistanz (L62a) zwischen dem vorderen festen Basisendabschnitt und dem exponierten Basisendabschnitt von einer Trennungsdistanz (L62b) zwischen dem hinteren festen Basisendabschnitt und dem exponierten Basisendabschnitt unterscheidet.
[Merkmal G5]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale G1 bis G4, wobei
der Sensor für physikalische Größen enthält
eine leitende Schicht (66b), die Leitfähigkeit hat, sich entlang der Sensoraufnahmefläche erstreckt und den Sensor für physikalische Größen daran hindert, sich in einer Richtung (X) orthogonal zur Sensoraufnahmefläche zu verformen.
[Merkmal G6]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal G5, wobei die leitende Schicht aus Platin gebildet ist.
[Merkmal G7]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Merkmale G1 bis G6, aufweisend:

einen Trägerplattenabschnitt (53), der den Sensor für physikalische Größen in einem Zustand trägt, in dem er auf einer Sensorrückfläche (22b) des Sensors für physikalische Größen auf einer Seite gegenüber der Sensoraufnahmefläche überlappt ist; und
einen Kontaktierungsabschnitt (67), der den Sensor für physikalische Größen und den Trägerplattenabschnitt miteinander verbindet und zusammen mit der Verformung des Trägerplattenabschnitts verformt wird, um die Verformung des Sensors für physikalische Größen zu begrenzen.

[Merkmal G8]
Die Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Merkmal G7, wobei der Kontaktierungsabschnitt gebildet ist, um ein Silikonharz zu enthalten.
<Merkmale der Konfigurationsgruppe Z>
Die in der vorliegenden Beschreibung offenbarte Konfiguration enthält die Merkmale der Konfigurationsgruppe Z wie folgt.
[Merkmal Z1]
Messvorrichtung (20) für physikalische Größen, konfiguriert zum Messen einer physikalischen Größe eines Fluids, wobei die Messvorrichtung für physikalische Größen aufweist:

einen Messflusspfad (32), der einen Messeingang (35) enthält, durch den ein Fluid einfließt, und einen Messausgang (36), durch den ein durch den Messeingang einfließendes Fluid ausfließt;
einen Sensor (22) für physikalische Größen, der in einem Messflusspfad bereitgestellt ist und konfiguriert ist, eine physikalische Größe des Fluids zu erfassen; und ein Gehäuse (21), das den Messflusspfad bildet.

Gemäß dem Merkmal Z1 kann der Sensor für physikalische Größen die physikalische Größe des Fluids erfassen, das von dem Messeingang in den Messflusspfad fließt. Von den in der vorliegenden Beschreibung offenbarten Konfigurationen sind Konfigurationen, die nicht in dem Merkmal Z1 enthalten sind, keine wesentlichen Konfigurationen. Obwohl es in der vorliegenden Beschreibung mehrere Probleme gibt, ist die Konfigurationsgruppe Z eine wesentliche Konfiguration zur Lösung dieser Probleme.
Obwohl die vorliegende Offenbarung gemäß den Ausführungsformen beschrieben worden ist, versteht es sich, dass die vorliegende Offenbarung nicht auf die Ausführungsformen und Strukturen beschränkt ist. Die vorliegende Offenbarung enthält auch verschiedene Modifikationen und Modifikationen in äquivalenten Bereichen. Darüber hinaus sind verschiedene Kombinationen und Formen, und andere Kombinationen und Formen, die nur ein Element, mehr Elemente oder weniger Elemente enthalten, auch innerhalb des Anwendungsbereichs und der Idee der vorliegenden Offenbarung.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

JP 2019072244 [0001]
JP 2013217731 A [0004]

Claims

Messvorrichtung (20) für physikalische Größen, die konfiguriert ist, eine physikalische Größe eines Fluids zu messen, wobei die Messvorrichtung für physikalische Größen Folgendes aufweist: einen Messflusspfad (32), der konfiguriert ist, Fluid hindurchfließen zu lassen; einen Sensor (22) für physikalische Größen, der in einem Messflusspfad bereitgestellt ist und konfiguriert ist, eine physikalische Größe des Fluids zu erfassen; und einen Sensorträgerabschnitt (51), der den Sensor für physikalische Größen trägt, wobei der Sensor für physikalische Größen enthält einen Sensoraussparungsabschnitt (61), der ein Aussparungsabschnitt ist, der an einer Sensorrückfläche (22b) bereitgestellt ist, die eine Fläche des Sensors für physikalische Größen ist, und einen Membranabschnitt (62), der eine Sensoraussparungsbodenfläche (501) bildet, die eine Bodenfläche des Sensoraussparungsabschnitts ist, wobei der Membranabschnitt mit einem Erfassungselement (71 bis 74) bereitgestellt ist, das konfiguriert ist, eine physikalische Größe des Fluids zu erfassen, und der Sensorträgerabschnitt enthält einen hinteren Trägerabschnitt (522), der sich entlang der Sensorrückfläche erstreckt und bereitgestellt ist, um eine Sensoraussparungsöffnung (503) abzudecken, die eine Öffnung des Sensoraussparungsabschnitts ist, einen Trägeraussparungsabschnitt (530), der ein Aussparungsabschnitt ist, der an einer Trägerrückfläche (55f) bereitgestellt ist, die eine Fläche des Sensorträgerabschnitts auf einer Seite ist, die dem Sensor für physikalische Größen gegenüberliegt, ein Trägerloch (540), das sich von einem Trägeraussparungsbodenabschnitt (531), der eine Bodenfläche des Trägeraussparungsabschnitts ist, in Richtung des Sensoraussparungsabschnitts erstreckt, wobei das Trägerloch den hinteren Trägerabschnitt durchdringt und mit der Sensoraussparungsöffnung kommuniziert, und eine Trägeraussparungsinnenwandfläche (532), die in einer inneren Fläche des Trägeraussparungsabschnitts zusammen mit dem Trägeraussparungsbodenabschnitt enthalten ist, wobei sich die Trägeraussparungsinnenwandfläche von dem Trägeraussparungsbodenabschnitt in Richtung einer dem Sensor für physikalische Größen gegenüberliegenden Seite erstreckt und in Bezug auf eine Mittellinie (CL52) des Trägerlochs geneigt ist, um einer dem Sensor für physikalische Größen gegenüberliegenden Seite zugewandt zu sein.
Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Anspruch 1, wobei ein äußerer Umfangsrand des Trägeraussparungsbodenabschnitts an einer Position bereitgestellt ist, die nach außen von einem hinteren Endabschnitt (542) getrennt ist, der ein Endabschnitt des Trägerlochs auf einer Seite gegenüber dem Sensor für physikalische Größen ist.
Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Anspruch 1 oder 2, wobei ein äußerer Umfangsrand des Trägeraussparungsbodenabschnitts an einer Position bereitgestellt ist, die nach außen von der Sensoraussparungsöffnung in Richtungen (Y, Z) orthogonal zu der Mittellinie des Trägerlochs getrennt ist.
Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei eine Längendimension (L51) der Trägeraussparungsinnenwandfläche in einer Richtung (Y, Z) orthogonal zu der Mittellinie des Trägerlochs größer ist als eine Längendimension (L52) der Trägeraussparungsinnenwandfläche in einer Richtung (X), in der sich die Mittellinie des Trägerlochs erstreckt.
Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei in einer Richtung (X), in der sich die Mittellinie des Trägerlochs erstreckt, eine Längendimension (L54) des Trägerlochs kleiner ist als eine Tiefendimension (L52) des Trägeraussparungsabschnitts.
Messvorrichtung (20) für physikalische Größen, die konfiguriert ist, eine physikalische Größe eines Fluids zu messen, wobei die Messvorrichtung für physikalische Größen aufweist: einen Messflusspfad (32), der konfiguriert ist, Fluid hindurchfließen zu lassen; einen Sensor (22) für physikalische Größen, der in einem Messflusspfad bereitgestellt ist und konfiguriert ist, eine physikalische Größe des Fluids zu erfassen; und einen Sensorträgerabschnitt (51), der den Sensor für physikalische Größen trägt, wobei der Sensor für physikalische Größen enthält einen Sensoraussparungsabschnitt (61), der ein Aussparungsabschnitt ist, der an einer Sensorrückfläche (22b) bereitgestellt ist, die eine Fläche des Sensors für physikalische Größen ist, und einen Membranabschnitt (62), der eine Sensoraussparungsbodenfläche (501) bildet, die eine Bodenfläche des Sensoraussparungsabschnitts ist, wobei der Membranabschnitt mit einem Erfassungselement (71 bis 74) bereitgestellt ist, das konfiguriert ist, eine physikalische Größe des Fluids zu erfassen, und der Sensorträgerabschnitt enthält einen hinteren Trägerabschnitt (522), der sich entlang der Sensorrückfläche erstreckt und eine Sensoraussparungsöffnung (503) abdeckt, die eine Öffnung des Sensoraussparungsabschnitts ist, einen Trägervorsprungsabschnitt (710), der ein Vorsprungsabschnitt ist, der an einer Trägerrückfläche (55f) bereitgestellt ist, der eine Fläche des hinteren Trägerabschnitts auf einer Seite ist, die dem Sensor für physikalische Größen gegenüberliegt, ein Trägerloch (720), das sich von einem Trägervorsprungspitzenendabschnitt (711), der ein Spitzenendabschnitt des Trägervorsprungsabschnitts ist, in Richtung des Sensoraussparungsabschnitts erstreckt, wobei das Trägerloch in den hinteren Trägerabschnitt eindringt und mit der Sensoraussparungsöffnung kommuniziert, und eine Trägervorsprungsaußenwandfläche (712), die in einer äußeren Fläche des Trägervorsprungsabschnitts zusammen mit dem Trägervorsprungspitzenendabschnitt enthalten ist, wobei sich die Trägervorsprungsaußenwandfläche von dem Trägervorsprungspitzenendabschnitt in Richtung des Sensors für physikalische Größen erstreckt und in Bezug auf eine Mittellinie (CL152) des Trägerlochs geneigt ist, um einer dem Sensor für physikalische Größen gegenüberliegenden Seite zugewandt zu sein.
Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Anspruch 6, wobei ein äußerer Umfangsrand des Trägervorsprungspitzenendabschnitts an einer Position bereitgestellt ist, die nach außen von einem hinteren Endabschnitt (722) getrennt ist, der ein Endabschnitt des Trägerlochs auf einer Seite gegenüber dem Sensor für physikalische Größen ist.
Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß Anspruch 6 oder 7, wobei ein äußerer Umfangsrand des Trägervorsprungspitzenendabschnitts an einer Position bereitgestellt ist, die nach außen von der Sensoraussparungsöffnung in einer Richtung (Y, Z) orthogonal zu der Mittellinie des Trägerlochs getrennt ist.
Messvorrichtung für physikalische Größen gemäß einem der Ansprüche 6 bis 8, wobei eine Längendimension (L151) der Trägervorsprungsaußenwandfläche in einer Richtung (Y, Z) orthogonal zu der Mittellinie des Trägerlochs größer ist als eine Längendimension (LI52) der Trägervorsprungsaußenwandfläche in einer Richtung (X), in der sich die Mittellinie des Trägerlochs erstreckt.