JP2009117448A - プリント配線板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表面に金属箔が積層された絶縁基板にレーザを照射することによって、所望の配線パターン形成層に達する非貫通孔を穿孔するとともに当該非貫通孔の開口縁部に突出する金属傘を形成する第一工程と、デスミア処理により非貫通孔をクリーニングする第二工程と、金属傘を含む金属箔の露出面に当該金属箔とはエッチング条件の異なるバリア金属層を形成する第三工程と、めっき処理により非貫通孔にめっきを充填するとともに外層にもめっきを析出させる第四工程と、外層に析出されためっきをエッチング除去してバリア金属層を露出せしめる第五工程と、露出したバリア金属層を除去する第六工程と、エッチング処理によりブラインドバイアホールのランドを含む配線パターンを形成する第七工程とを有するプリント配線板の製造方法。
【選択図】図1
Description
まず、図1(a)に示したように、絶縁基板1(例えば、ガラス繊維にエポキシ樹脂を含浸した「ガラスエポキシ基板」など)の表裏に銅箔などの金属箔2が積層された両面金属箔張り積層板3を用意し、次いで、当該両面金属箔張り積層板3の一方の面からレーザ(例えば「炭酸ガスレーザ」)を照射することによって、他方の面の金属箔2に達する非貫通孔7を穿孔するとともに当該非貫通孔7の開口縁部に突出する金属傘5aを形成する(図1(b)参照)。
まず、図6(a)に示したように、絶縁基板1(例えば、ガラス繊維にエポキシ樹脂を含浸したガラスエポキシ基板など)の表裏に銅箔などの金属箔2が積層された両面金属箔張り積層板3を用意する。次いで、一般的なサブトラクティブ法などにより、中央部に開口部6を有するランド5とその他の配線パターン4を形成する(図6(b)参照)。
図9は、図6に示した第四の実施の形態の変形例を示したもので、まず、図9(a)に示したように、片面に離型層21と銅箔などの金属箔2が順次積層された転写板20を用意し、次いで、図9(b)に示したように、当該金属箔2をエッチングして、中央部に開口部6を有するランド5とその他の配線パターン4を形成する(当該転写板20は、絶縁接着剤層22の表裏に配線パターンを転写させるため、図9(b)に示したように表裏一対の転写板20を用意する)。
2:金属箔
3:両面金属箔張り積層板
3a:コア基板
4、4a:配線パターン
5、5b、5c:ランド
5a:金属傘
6、18:開口部
7:非貫通孔
8、8a:バリア金属層
9、9a、9b:めっき
9c:めっき凸部
9d:めっき残り
10、13:エッチングレジスト
11、15:エッチングレジストパターン
12、12a、12b:ブラインドバイアホール(BVH)
13a:離型材
14:プレス板
16:層間絶縁層
17:樹脂付き金属箔
19:過剰エッチング部
20:転写板
21:離型層
22:絶縁接着剤層
P、Pa:プリント配線板
MP、MPa:多層プリント配線板
Sf:金属傘表面
Si:金属傘側面
B:金属傘裏面
Claims (6)
- 異なる配線パターン形成層間をブラインドバイホールで接続するプリント配線板の製造方法であって、少なくとも、表面に金属箔が積層された絶縁基板にレーザを照射することによって、所望の配線パターン形成層に達する非貫通孔を穿孔するとともに当該非貫通孔の開口縁部に突出する金属傘を形成する第一工程と、デスミア処理により非貫通孔をクリーニングする第二工程と、少なくとも金属傘を含む金属箔の露出面に当該金属箔とはエッチング条件の異なるバリア金属層を形成する第三工程と、めっき処理により非貫通孔にめっきを充填するとともに外層にもめっきを析出させる第四工程と、外層に析出されためっきをエッチング除去してバリア金属層を露出せしめる第五工程と、露出したバリア金属層を除去する第六工程と、エッチング処理によりブラインドバイアホールのランドを含む配線パターンを形成する第七工程とを有することを特徴とするプリント配線板の製造方法。
- 前記第三工程において、バリア金属層を非貫通孔の内壁にも形成させることを特徴とする請求項1に記載のプリント配線板の製造方法。
- 前記第五工程が、ブラインドバイアホール形成部に位置するめっき上にエッチングレジストパターンを形成する工程と、当該エッチングレジストパターンから露出しているめっきをエッチング除去する工程と、当該エッチングレジストパターンを剥離した後、ブラインドバイアホール形成部に残っためっきをソフトエッチングにより除去する工程からなることを特徴とする請求項1又は2に記載のプリント配線板の製造方法。
- 異なる配線パターン形成層間をブラインドバイホールで接続するプリント配線板の製造方法であって、少なくとも、表面に金属箔が積層された絶縁基板の当該金属箔に、中央部に開口部を有するランドとその他の配線パターンを形成する第一工程と、当該ランド開口部にレーザを照射することによって所望の配線パターン形成層に達する非貫通孔を穿孔するとともに当該非貫通孔の開口縁部に突出する金属傘を形成する第二工程と、デスミア処理により当該非貫通孔をクリーニングする第三工程と、少なくともランドを含んだ配線パターンの露出面に当該配線パターンとはエッチング条件の異なるバリア金属層を形成する第四工程と、めっき処理により非貫通孔にめっきを充填するとともに外層にもめっきを析出させる第五工程と、ブラインドバイアホール形成部に位置するめっき上にエッチングレジストパターンを形成する第六工程と、エッチングレジストパターンから露出しているめっきをエッチング除去する第七工程と、エッチングレジストパターンを剥離した後、ブラインドバイアホール形成部に残っためっきをソフトエッチングにより除去する第八工程と、露出したバリア金属層を除去する第九工程と、エッチング処理によりブラインドバイアホールのランドを含む配線パターンを形成する第十工程とを有することを特徴とするプリント配線板の製造方法。
- 前記第六工程が、ブラインドバイアホール及び配線パターン上に形成されためっき凸部に感圧性・感光性のエッチングレジストをプレス板で加圧して残存させる工程と、めっき凸部に残存するエッチングレジストのうちブラインドバイアホール形成部のエッチングレジストを選択的に露光して現像処理を行う工程からなることを特徴とする請求項4に記載のプリント配線板の製造方法。
- 前記第四工程において、バリア金属層を配線パターンから露出している絶縁基板の表面にも形成することを特徴とする請求項4又は5に記載のプリント配線板の製造方法。
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101067074B1 (ko) | 2010-06-28 | 2011-09-22 | 삼성전기주식회사 | 인쇄회로기판 및 인쇄회로기판의 제조방법 |
WO2015053084A1 (ja) * | 2013-10-09 | 2015-04-16 | 日立化成株式会社 | 多層配線基板の製造方法 |
WO2015053082A1 (ja) * | 2013-10-09 | 2015-04-16 | 日立化成株式会社 | 多層配線基板及びその製造方法 |
WO2015053083A1 (ja) * | 2013-10-09 | 2015-04-16 | 日立化成株式会社 | 多層配線基板の製造方法 |
JP2015088729A (ja) * | 2013-10-30 | 2015-05-07 | 旭徳科技股▲ふん▼有限公司 | 基板構造およびその製造方法 |
JP2015097251A (ja) * | 2013-10-09 | 2015-05-21 | 日立化成株式会社 | 多層配線基板の製造方法 |
EP2981158A4 (en) * | 2013-03-27 | 2017-01-18 | Kyocera Corporation | Wiring board and mounting structure using same |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004319994A (ja) * | 2003-04-01 | 2004-11-11 | Cmk Corp | プリント配線板の製造方法 |
JP2005150448A (ja) * | 2003-11-17 | 2005-06-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回路基板およびその製造方法 |
JP2005285986A (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Daiwa Kogyo:Kk | 柱状金属体の形成方法及び柱状金属体 |
JP2006179822A (ja) * | 2004-12-24 | 2006-07-06 | Cmk Corp | プリント配線板とその製造方法 |
JP2006186059A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Cmk Corp | 多層プリント配線板及びその製造方法 |
JP2007129180A (ja) * | 2005-10-03 | 2007-05-24 | Cmk Corp | プリント配線板、多層プリント配線板及びその製造方法 |
-
2007
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004319994A (ja) * | 2003-04-01 | 2004-11-11 | Cmk Corp | プリント配線板の製造方法 |
JP2005150448A (ja) * | 2003-11-17 | 2005-06-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回路基板およびその製造方法 |
JP2005285986A (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Daiwa Kogyo:Kk | 柱状金属体の形成方法及び柱状金属体 |
JP2006179822A (ja) * | 2004-12-24 | 2006-07-06 | Cmk Corp | プリント配線板とその製造方法 |
JP2006186059A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Cmk Corp | 多層プリント配線板及びその製造方法 |
JP2007129180A (ja) * | 2005-10-03 | 2007-05-24 | Cmk Corp | プリント配線板、多層プリント配線板及びその製造方法 |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101067074B1 (ko) | 2010-06-28 | 2011-09-22 | 삼성전기주식회사 | 인쇄회로기판 및 인쇄회로기판의 제조방법 |
EP2981158A4 (en) * | 2013-03-27 | 2017-01-18 | Kyocera Corporation | Wiring board and mounting structure using same |
JP2015097251A (ja) * | 2013-10-09 | 2015-05-21 | 日立化成株式会社 | 多層配線基板の製造方法 |
WO2015053083A1 (ja) * | 2013-10-09 | 2015-04-16 | 日立化成株式会社 | 多層配線基板の製造方法 |
JP2015097254A (ja) * | 2013-10-09 | 2015-05-21 | 日立化成株式会社 | 多層配線基板の製造方法 |
WO2015053082A1 (ja) * | 2013-10-09 | 2015-04-16 | 日立化成株式会社 | 多層配線基板及びその製造方法 |
JP2015097253A (ja) * | 2013-10-09 | 2015-05-21 | 日立化成株式会社 | 多層配線基板の製造方法 |
JP2015097252A (ja) * | 2013-10-09 | 2015-05-21 | 日立化成株式会社 | 多層配線基板 |
CN105612820A (zh) * | 2013-10-09 | 2016-05-25 | 日立化成株式会社 | 多层配线基板及其制造方法 |
US20160242299A1 (en) * | 2013-10-09 | 2016-08-18 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Method for manufacturing multilayer wiring substrate |
WO2015053084A1 (ja) * | 2013-10-09 | 2015-04-16 | 日立化成株式会社 | 多層配線基板の製造方法 |
US9648759B2 (en) | 2013-10-09 | 2017-05-09 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Multilayer wiring board and method for manufacturing same |
US10076044B2 (en) * | 2013-10-09 | 2018-09-11 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Method for manufacturing multilayer wiring substrate |
US10165691B2 (en) | 2013-10-09 | 2018-12-25 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Method for manufacturing multilayer wiring substrate |
JP2015088729A (ja) * | 2013-10-30 | 2015-05-07 | 旭徳科技股▲ふん▼有限公司 | 基板構造およびその製造方法 |
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Publication number | Publication date |
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JP5066427B2 (ja) | 2012-11-07 |
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