JP2009111211A - ダイシング装置 - Google Patents
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Abstract
ワークテーブル上に堆積する端材を確実に除去し、端材の巻上げによるワークへのダメージを発生させないダイシング装置を提供すること。
【解決手段】
ワークテーブル23上に載置されたワークWをスピンドル22により回転するブレード10で切断加工するダイシング装置1に、ホイールカバー11と伴って移動し気体と液体とが混合された流体をワークWに向けて噴射する可動型ノズル3と、ワークテーブル23が下方を通過するように設けられ気体と液体とが混合された流体をワークWに向けて噴射する固定型ノズル2とを設け、ワークテーブル23上に載置されたワークW上に堆積する端材Dを除去する。
【選択図】図1
Description
Claims (3)
- 円盤状のブレードと、
前記ブレードを回転させるスピンドルと、
前記スピンドルに設けられ、前記ブレードを覆うカバーと、
前記ブレードにより切削加工されるワークを保持するワークテーブルと、
前記ワークテーブルと前記ブレードとを相対的に移動させる移動軸と、
前記カバーと伴って移動し、気体と液体とが混合された流体を前記ワークに向けて噴射する可動型ノズルと、
前記移動軸により移動する前記ワークテーブルが下方を通過するように設けられ、気体と液体とが混合された流体を前記ワークに向けて噴射する固定型ノズルとを備えたことを特徴とするダイシング装置。 - 前記可動型ノズルは、液体及び気体を供給する供給路が取り付けられる可動型ノズル流体供給部と、前記可動型ノズル流体供給部に設けられた可動型ノズル本体部と、前記可動型ノズル本体部に設けられた流体を噴射する可動型ノズル噴射部とを備え、前記可動型ノズル本体部は前記可動型ノズル噴射部を任意の角度に向けられるように前記可動型ノズル流体供給部に対して回転自在に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のダイシング装置。
- 前記固定型ノズルは、液体及び気体を供給する供給路が取り付けられる固定型ノズル流体供給部と、前記固定型ノズル流体供給部に設けられた流体を噴射する固定型ノズル噴射部とを備え、前記固定型ノズル噴射部には複数の流体噴射口が設けられ、前記噴射口から噴射される流体の角度を任意に変更出来るように前記固定型ノズル噴射部が前記固定型ノズル流体供給部に対して回転自在に設けられていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のダイシング装置。
Priority Applications (1)
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JP2007282871A JP2009111211A (ja) | 2007-10-31 | 2007-10-31 | ダイシング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publication Number | Publication Date |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2009111211A (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000306878A (ja) * | 1999-04-19 | 2000-11-02 | Disco Abrasive Syst Ltd | 洗浄装置及び切削装置 |
JP2003142431A (ja) * | 2001-11-02 | 2003-05-16 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削水ノズル |
JP2003234308A (ja) * | 2002-02-08 | 2003-08-22 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2007083392A (ja) * | 2006-10-02 | 2007-04-05 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | シンギュレーション装置 |
-
2007
- 2007-10-31 JP JP2007282871A patent/JP2009111211A/ja active Pending
Patent Citations (4)
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