JP6170404B2 - 切削装置 - Google Patents
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Description
実施形態に係る切削装置を、図1から図5に基づいて説明する。図1は、実施形態に係る切削装置の構成例を示す斜視図である。図2は、実施形態に係る切削装置の切削手段の構成例を示す斜視図である。図3は、実施形態に係る切削装置の切削中の切削手段などを示す側面図である。図4は、実施形態に係る切削装置の切削中の切削手段などを示す平面図である。図5は、実施形態に係る切削装置の切削中の切削手段の切削ブレードなどの正面図である。
10 チャックテーブル
20 切削手段
21 切削ブレード
22 スピンドル
23 スピンドルハウジング
24 ブレードカバー
25 切削水供給ノズル
26 前方噴射ノズル(切削水供給ノズル)
27 導電性ノズル
27a 供給口
W 被加工物
Wa 上面
P 切削水
CL 導電性液体
CW 水柱
G アース
Claims (1)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削手段と、該チャックテーブルを該切削手段に対して相対的に切削送りする切削送り手段と、該切削手段を該チャックテーブルに対して相対的に割り出し送りする割り出し送り手段とを少なくとも備えた切削装置であって、
該切削手段は、スピンドルと、該スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングと、該スピンドルの先端に装着される切削ブレードと、該切削ブレードに切削水を供給する切削水供給ノズルを備えると共に該スピンドルハウジングに固定され該切削ブレードを覆うブレードカバーとを含み、
該ブレードカバーには、前記切削ブレードによる切削に起因して切削水が飛散する側の反対側に配設され且つアースに接続された導電性ノズルを備え、
該導電性ノズルは、該チャックテーブルに保持された被加工物の上面に導電性液体を供給する供給口を有し、該供給口から供給された該導電性液体により該供給口から被加工物の上面まで連通する水柱を形成し、被加工物の上面に帯電した静電気を該水柱を通して除電することを特徴とする切削装置。
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JP2013221424A JP6170404B2 (ja) | 2013-10-24 | 2013-10-24 | 切削装置 |
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