JPS5942042U - 基板加工装置 - Google Patents
基板加工装置Info
- Publication number
- JPS5942042U JPS5942042U JP13950982U JP13950982U JPS5942042U JP S5942042 U JPS5942042 U JP S5942042U JP 13950982 U JP13950982 U JP 13950982U JP 13950982 U JP13950982 U JP 13950982U JP S5942042 U JPS5942042 U JP S5942042U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate processing
- processing equipment
- substrate
- grinding wheel
- brush
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の加工装置の概略構成図、第２図は本考案
の一実施例の加工装置の概略構成図である。 １・・・加工される基板、２・・・可動テーブル、３・
・・ケース、４・・・回転砥石、５．５′・・・ブラシ
。
の一実施例の加工装置の概略構成図である。 １・・・加工される基板、２・・・可動テーブル、３・
・・ケース、４・・・回転砥石、５．５′・・・ブラシ
。
Claims (2)
- （１）基板を載置する載置台と、前記基板に液体を撒布
しつつ機械的に切断または溝加工を行なう砥石も、前記
砥石の近傍に配置され先端が前記基板に接触するブラシ
とを有する基板加工装置。 - （２）ブラシが導電性であることを特徴とする実用新案
登録請求の範囲第１項記載の基板加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13950982U JPS5942042U (ja) | 1982-09-13 | 1982-09-13 | 基板加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13950982U JPS5942042U (ja) | 1982-09-13 | 1982-09-13 | 基板加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5942042U true JPS5942042U (ja) | 1984-03-17 |
Family
ID=30312663
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13950982U Pending JPS5942042U (ja) | 1982-09-13 | 1982-09-13 | 基板加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5942042U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI405255B (zh) * | 2006-01-31 | 2013-08-11 | Seiko Instr Inc | 切塊方法及切塊裝置 |
| JP2015082646A (ja) * | 2013-10-24 | 2015-04-27 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
-
1982
- 1982-09-13 JP JP13950982U patent/JPS5942042U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI405255B (zh) * | 2006-01-31 | 2013-08-11 | Seiko Instr Inc | 切塊方法及切塊裝置 |
| JP2015082646A (ja) * | 2013-10-24 | 2015-04-27 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
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