JPS6067365U - エツチング加工装置 - Google Patents
エツチング加工装置Info
- Publication number
- JPS6067365U JPS6067365U JP15795783U JP15795783U JPS6067365U JP S6067365 U JPS6067365 U JP S6067365U JP 15795783 U JP15795783 U JP 15795783U JP 15795783 U JP15795783 U JP 15795783U JP S6067365 U JPS6067365 U JP S6067365U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing surface
- workpiece
- processing equipment
- etching processing
- holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
- Weting (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図は本考案の一実施例のエツチング加工装置の全体構成
図である。 １：定盤、２：回転駆動機構（摺動機構）、３：研磨布
（研磨面）、５：ウェーハ（加工物）、６：リファレン
スプレート（保持体）、１５：昇降駆動機構、２０：エ
ツチング液供給機構。
図である。 １：定盤、２：回転駆動機構（摺動機構）、３：研磨布
（研磨面）、５：ウェーハ（加工物）、６：リファレン
スプレート（保持体）、１５：昇降駆動機構、２０：エ
ツチング液供給機構。
Claims (1)
- 研磨面が形成された定盤と、加工物を保持する保持体と
、上記定盤と上記保持体を相対的に進退させ上記研磨面
に対して上記加工物を近接させる昇降駆動機構と、上記
保持体を上記研磨面に沿って相対的に移動させる摺動機
構と、上記加工物と上記研磨面との間にエツチング液を
供給するエツチング液供給機構とを具備することを特徴
とするエツチング加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15795783U JPS6067365U (ja) | 1983-10-14 | 1983-10-14 | エツチング加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15795783U JPS6067365U (ja) | 1983-10-14 | 1983-10-14 | エツチング加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6067365U true JPS6067365U (ja) | 1985-05-13 |
Family
ID=30348102
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15795783U Pending JPS6067365U (ja) | 1983-10-14 | 1983-10-14 | エツチング加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6067365U (ja) |
-
1983
- 1983-10-14 JP JP15795783U patent/JPS6067365U/ja active Pending
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