JPS6056460U - 研磨装置 - Google Patents
研磨装置Info
- Publication number
- JPS6056460U JPS6056460U JP1983148135U JP14813583U JPS6056460U JP S6056460 U JPS6056460 U JP S6056460U JP 1983148135 U JP1983148135 U JP 1983148135U JP 14813583 U JP14813583 U JP 14813583U JP S6056460 U JPS6056460 U JP S6056460U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- polishing pad
- cooling water
- section
- rotary table
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図は本考案の一実施例の研磨装置を示す構成図である。
1:回転テーブル、3:研磨パッド、8:冷凍機(冷却
水供給部)、12:取付ヘッド、16:ウェーハ保持板
、21:ウェーハ、22:温度感知装置(温度測定部)
、23:温度制御装置。
水供給部)、12:取付ヘッド、16:ウェーハ保持板
、21:ウェーハ、22:温度感知装置(温度測定部)
、23:温度制御装置。
Claims (1)
- 回転駆動される回転テーブルと、この回転テーブルに装
着された研磨パッドと、ウェーハが保持されたウェーハ
保持板が取付けられ上記ウェーハを上記研磨パッドに押
圧する取付ヘッドと、上記研磨パッドの表面温度を測定
する温度測定部と、上記取付ヘッド及び上記回転テーブ
ルのうち少な(とも一方に冷却水を循環させて上記研磨
パッドを冷却させる冷却水供給部と、上記温度測定部に
おける上記研磨パッドの測温結果に基づいて上記冷却水
供給部から供給される冷却水の温度調節を行う温度制御
部とを具備することを特徴とする研磨装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1983148135U JPS6056460U (ja) | 1983-09-27 | 1983-09-27 | 研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1983148135U JPS6056460U (ja) | 1983-09-27 | 1983-09-27 | 研磨装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6056460U true JPS6056460U (ja) | 1985-04-19 |
Family
ID=30329214
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1983148135U Pending JPS6056460U (ja) | 1983-09-27 | 1983-09-27 | 研磨装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6056460U (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6330466U (ja) * | 1986-08-08 | 1988-02-27 | ||
JPS63144955A (ja) * | 1986-12-03 | 1988-06-17 | Speedfam Co Ltd | 平面研磨装置 |
JPH02257630A (ja) * | 1989-03-30 | 1990-10-18 | Kyushu Electron Metal Co Ltd | 半導体基板の研磨制御方法 |
JPH04303931A (ja) * | 1991-03-29 | 1992-10-27 | Kyushu Electron Metal Co Ltd | 半導体ウエーハの研磨方法とその装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5454390A (en) * | 1977-10-08 | 1979-04-28 | Shibayama Kikai Kk | Cooling water temperature control system for polishing table |
JPS5775776A (en) * | 1980-10-28 | 1982-05-12 | Supiide Fuamu Kk | Temperature detector and controller of polishing machine |
-
1983
- 1983-09-27 JP JP1983148135U patent/JPS6056460U/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5454390A (en) * | 1977-10-08 | 1979-04-28 | Shibayama Kikai Kk | Cooling water temperature control system for polishing table |
JPS5775776A (en) * | 1980-10-28 | 1982-05-12 | Supiide Fuamu Kk | Temperature detector and controller of polishing machine |
Cited By (4)
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JPH02257630A (ja) * | 1989-03-30 | 1990-10-18 | Kyushu Electron Metal Co Ltd | 半導体基板の研磨制御方法 |
JPH04303931A (ja) * | 1991-03-29 | 1992-10-27 | Kyushu Electron Metal Co Ltd | 半導体ウエーハの研磨方法とその装置 |
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