JPS6124146U - 研磨装置 - Google Patents

研磨装置

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JPS6124146U
JPS6124146U JP1984108932U JP10893284U JPS6124146U JP S6124146 U JPS6124146 U JP S6124146U JP 1984108932 U JP1984108932 U JP 1984108932U JP 10893284 U JP10893284 U JP 10893284U JP S6124146 U JPS6124146 U JP S6124146U
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JP
Japan
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polishing disk
polishing equipment
air pressure
hole
polishing
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JP1984108932U
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JPS6327960Y2 (ja
Inventor
孝幸 鈴木
Original Assignee
株式会社トーキン
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  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は、本考案による研磨装置の一実施例の概略構成
図、第2図は第1図のn−n’断面図である。 1:架台、2:研磨盤、5:キャリア、6:修正輪、7
:カバー、8:継手、12:コンプレッサー、13:ボ
ンベ、14:研磨物。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 回転する研磨盤とその上に置かれた被研磨物との間に微
    細な砥粒を介在せしめて被研磨物を研磨する装置におい
    て、被研磨物を受け入れる貫通孔を有して被研磨物を研
    磨盤上に保持するキャリアと、上記キャリアの貫通孔に
    空気圧を供給して被研磨物を上記研磨盤に押圧する空気
    圧供給装置とを含むことを特徴とする研磨装置。
JP1984108932U 1984-07-20 1984-07-20 研磨装置 Granted JPS6124146U (ja)

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JP1984108932U JPS6124146U (ja) 1984-07-20 1984-07-20 研磨装置

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JPS6124146U true JPS6124146U (ja) 1986-02-13
JPS6327960Y2 JPS6327960Y2 (ja) 1988-07-28

Family

ID=30668101

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