JP2009109220A - 位置センサ - Google Patents

Abstract

【課題】 製作が容易で信頼性が高く、低コストの位置センサを提供すること。
【解決手段】 励磁信号を発生する励磁コイルであるコサインコイル１及びサインコイル２と、コサインコイル１及びサインコイル２が発生した励磁信号を検出する検出コイル３４と、検出コイル３４が検出した励磁信号に応じて励磁コイルの位置を算出するコンバータである位相検出器４７とを有する位置センサにおいて、コサインコイル１及びサインコイル２が板状導電体であり、コイル作用をする直角に立てられたセグメント１１，１５と、セグメント１１，１５を結線するために両側に設けられた渡り線部１２，１６とで構成されている。
【選択図】 図１

Description

本発明は、励磁コイルと検出コイルとを有し、検出コイルが検出した励磁信号に応じて検出コイルの位置を算出する位置センサに関するものである。

従来、ハイブリッド自動車や電気自動車において、高出力のブラシレスモータが使用されている。ハイブリッド自動車のブラシレスモータを制御するためには、モータの出力軸の回転位置を正確に把握する必要がある。ステータの各コイルへの通電切り替えを制御するには、ロータの回転位置を正確に把握している必要があるからである。特に、自動車においては、コギングがドライバビリティを悪くするので、コギングを減少させることが要望されているため、通電切替を正確に行いたいという要望が強い。
自動車のモータ軸の位置検出には、耐高温性、耐ノイズ性、耐振動性、耐高湿性等の機能を満足するために、レゾルバが使用されている。レゾルバは、モータの内部に組み込まれて、モータのロータ軸に直接取り付けられている。
この種のレゾルバとしては、可変リラクタンス型レゾルバ（ＶＲ型レゾルバ）が使用されている。ＶＲ型レゾルバとは、磁路中に設けたギャップの変動によりトランスの効率が変化することを利用したレゾルバである。ギャップが回転位置に対して周期的に変化するように、ロータの形状を設定することにより、回転子側の巻線無しで回転位置を検出することができる。

現在使用されているＶＲ型レゾルバとして、特許文献１や特許文献２に開示されたものがある。励磁コイルと検出コイルとを、各スロットに対して１スロットピッチで巻き、機械巻きの実現及びレゾルバやシンクロ等の実現を可能とする構成である。
特開平08-178610号公報 特開平06-229780号公報

しかしながら、特許文献１や特許文献２に開示された位置センサには、次のような問題があった。
すなわち、励磁信号を発生する励磁コイルが、コイル線を巻く構造であるため、製作が難しく、信頼性が低いと共に、コストが高い問題があった。

そこで、本発明は上記した問題点を解決するためになされたものであり、製作が容易で信頼性が高く、低コストの位置センサを提供することを目的とする。

上記問題点を解決するためになされた本発明に係る位置センサは、次の構成を有している。
（１）励磁信号を発生する励磁コイルと、励磁コイルが発生した励磁信号を検出する検出コイルと、検出コイルが検出した励磁信号に応じて検出コイルの位置を算出する位置算出器とを有する位置センサであって、励磁コイルが板状導電体であり、コイル作用をする直角に立てられたセグメントと、セグメントを結線するために両側に設けられた渡り線部とで構成されている。
（２）（１）に記載する位置センサにおいて、前記セグメントの幅を変えることにより、前記励磁コイルとして、サインコイル、またはコサインコイルを構成することを特徴とする。

（３）（２）に記載する位置センサにおいて、前記サインコイルと前記コサインコイルとを、立てられた先端高さが一致するように、重ね合わせて構成されていることを特徴とする。
（４）（１）乃至（３）に記載する位置センサのいずれか１つにおいて、前記セグメント及び前記渡り線部が、プレス加工により形成されたことを特徴とする。
（５）（１）乃至請求項（４）に記載する位置センサのいずれか１つにおいて、前記励磁コイル及び前記検出コイルがループ形状であり、前記検出コイルの回転位置を検出することを特徴とする。
（６）（１）乃至（５）に記載する位置センサのいずれか１つにおいて、前記励磁コイルに供給される電流が、高周波で変調されたｃｏｓカーブまたはｓｉｎカーブであることを特徴とする。

次に、上記構成を有する本発明の位置センサの作用及び効果について説明する。
本発明の位置センサは、励磁信号を発生する励磁コイルと、励磁コイルが発生した励磁信号を検出する検出コイルと、検出コイルが検出した励磁信号に応じて検出コイルの位置を算出する位置検出器とを有する位置センサにおいて、励磁コイルが板状導電体であり、コイル作用をする直角に立てられたセグメントと、セグメントを結線するために両側に設けられた渡り線部とで構成されているので、励磁コイルをプレス加工された板状部材で構成できるため、コイル巻線を必要とせず、製作が容易となり、励磁コイルの信頼性を高め、低コストを実現できる。

また、本発明の位置センサは、セグメントの幅を変えることにより、励磁コイルとして、サインコイル、またはコサインコイルを構成する。セグメントの幅を一定として、セグメントの位置を変化させることによっても、サインコイルやコサインコイルを形成することは可能である。しかし、サインコイルとコサインコイルとを、一方の打ち抜かれた孔に他方の直角に立てられたセグメントを嵌め込んで一体化させようとするときに、問題が発生する。
すなわち、セグメントの幅を一定として、セグメントの位置を変化させた場合には、打ち抜かれた孔とセグメントの位置が一致させることが困難である。特に、全体を小型化しようとするときに、困難となる。そのため、位置センサの体格を大きくせざる得ない問題がある。それに対して、本発明のように、ｓｉｎカーブ及びｃｏｓカーブの裾野の部分おいて、セグメントの幅を変化させて、セグメントの位置を一定としていれば、打ち抜かれた孔とセグメントの位置を容易に一致させることができ、位置センサを小型化することができる。

また、本発明の位置センサは、サインコイルとコサインコイルとを、立てられた先端高さが一致するように、重ね合わせて構成されている。ロータに対して、直角に立てられたセグメントの高さ方向の位置精度が、直接位置センサの位置精度に影響を与える。従って、サインコイルとコサインコイルとを別々にプレス加工して、両者を組み合わせて励磁コイルを形成する時に、サインコイルの直角に立てられたセグメントと、コサインコイルの直角に立てられたセグメントの高さを一致させることは重要である。

また、本発明の位置センサは、セグメント及び渡り線部が、プレス加工により形成されているので、渡り線部の両端部に通電するだけで、励磁コイルを励磁できる。すなわち、セグメントに対して配線を必要としないため、製作が容易であり、低コストを実現できる。
また、本発明の位置センサは、励磁コイル及び検出コイルがループ形状であり、検出コイルの回転位置を検出するので、ハイブリッド自動車等のモータ軸に取り付けて、回転位置センサとして使用することができる。
また、励磁コイルに供給される電流が、高周波で変調されたｃｏｓカーブまたはｓｉｎカーブである。プレスで打ち抜いた板状のセグメントに、数ｋＨｚのｓｉｎ波やｃｏｓ波をそのまま流したのでは、磁束の発生が十分強くできないが、数百ｋＨｚの高周波で変調しているので、高周波により、板状のセグメントであっても、強い磁束を発生させることが可能である。
ハイブリッド自動車等のモータ軸に取り付ける場合、モータ軸の軸心方向での位置のばらつきが存在するが、本発明の位置センサによれば、軸心方向において、ロータの位置ずれが生じても、回転位置検出精度には、ほとんど影響を与えることがない。

以下、本発明の２Ｘの位置センサを具体化した最も好適な実施の形態について図面に基づいて詳細に説明する。
図１から図８に基づいて、励磁コイルの構成、及びその製造方法について説明する。図１の（ａ）の上段にコサインコイル１の全体構成を示し、下段にサインコイル２の全体構成を示す。
コサインコイル１、及びサインコイル２の製造工程においては、厚さ０．３ｍｍの真鍮製板材を原材料として、始めにプレスで打ち抜き加工を行う。プレス加工で打ち抜かれた状態における、コサインコイル１の部分拡大図を図２に示し、サインコイル２の部分拡大図を図４示す。コサインコイル１は、両側に渡り線部１２Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄが形成され、渡り線部１２Ａと渡り線部１２Ｂとを接続して、８対(計１６個)のセグメント１１が形成されている。図２の部分拡大図を図６に示す。片側８個のセグメント１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ・・・は、中央孔１８の中心線に対して、線対称に配置されている。

次に、１６個のセグメント１１を、渡り線部１２に対して、直角に立ち上げた形状にプレス加工する。加工後の図を図３に示す。また、図６に対応したセグメントを直角に立ち上げたものを図７に示す。図７の（ａ）は、図３と同じ正面（平面）図であり、（ｂ）は、底面図であり、（ｃ）は、左側面図である。一対のセグメント１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，１１Ｄ，１１Ｅ，１１Ｆ，１１Ｇ，１１Ｈは、根元において直角に折り曲げられ、渡り線部１２に対して直角に立てられている。図８に、１つのセグメント１１を渡り線部１２に対して、直角に折り曲げたときの状態を拡大図で示す。
そして、立てられたセグメント１１の先端部は、図７の（ｃ）に示すように,同じ高さを有している。

プレスで打ち抜き加工した状態におけるサインコイル２の形状を図４に示す。サインコイル２の外側幅は、コサインコイル１と渡り線１６の外側幅より大きくしている。また、サインコイル２は、両側に渡り線部１６Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄが形成され、渡り線部１６Ａと渡り線部１６Ｂとを接続して、８対(計１６個)のセグメント１５が形成されている。セグメント１５の符号は、１５Ａ，１５Ｂのみを示し、基本的に図２と同じなので符号を省略している。
しかし、サインコイル２のセグメント１５の高さは、コサインコイル１のセグメント１１の高さよりも高く形成され、セグメント１５の高さが高くなる分ピッチも長くなっている。
次に、１６個のセグメント１５を、渡り線部１６に対して、直角に立ち上げた形状にプレス加工する。加工後の図を図５に示す。

図１の（ａ）に示すように、サインコイル２とコサインコイル１とは、電気角で９０度位相がずれて配置されている。
コサインコイル１は、左端に入力端１３、右端に出力端１４が形成されている。入力端１３と出力端１４とは、渡り線部１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄ，１２Ｅ，１２Ｆ，１２Ｇ，１２Ｈを順に繋いで接続されている。
渡り線部１２Ａから渡り線部１２Ｂに電流が流れる時を考える。中心線１３に対して、線対称の位置に片側８箇所、計１６箇所にセグメント１１が形成されている。セグメント１１を電流が、図中下から上向きに流れることにより、セグメント１１の周りに磁界が発生する。セグメント１１の位置は、正確に位置決めされているので、１６箇所で発生した磁界を総計すると、コサインコイル１が発生する磁界は、図１（ｂ）の上側に示すｃｏｓカーブＣ１となる。

すなわち、例えば、渡り線部１２Ａから渡り線部１２Ｂに流れる電流のうち、右半分の８個のセグメント１１を流れる電流、及び渡り線部１２Ｃから渡り線部１２Ｄに流れる電流のうち、左半分を流れる電流について考える。これらの電流は、対向するセグメント１１Ｈ、１１Ｈの間の空間１９Ａに対して、円周上に流れる電流を形成するため、空間１９Ａに図面に垂直に、手前から奥向きに向かう磁束(ｃｏｓカーブＣ１)を発生させる。
また、渡り線部１２Ｃから渡り線部１２Ｄに流れる電流のうち、右半分の８個のセグメント１１を流れる電流、及び渡り線部１２Ｅから渡り線部１２Ｆに流れる電流のうち、左半分を流れる電流について考える。これらの電流は、対向するセグメント１１Ｈ、１１Ｈの間の空間１９Ｂに対して、円周上に流れる電流を形成するため、空間１９Ｂに図面に垂直に、奥側から手前向きに向かう磁束(ｃｏｓカーブＣ２)を発生させる。
これらの磁束により、ｃｏｓカーブの１サイクルができる。
ここで、ｃｏｓカーブＣ１，Ｃ２の形状を整えるために、本実施例では、セグメント１１の位置を変える代わりに、セグメント１１の幅を変化させている。

また、サインコイル２は、基本的構成は、コサインコイル１より、セグメント１５の高さを高くした点、及び位相を９０度ずらして配置した点が相違しているにすぎない。図１０に、コサインコイル１とサインコイル２とを組み合わせた状態を示す。図９に、図１０の中横断面図を示す。
一方、サインコイル２は、図９及び図１０に示すように、コサインコイル１の打ち抜き孔に、サインコイル２のセグメント１５を突入させて形成するため、サインコイル２のセグメント１５の高さは、コサインコイル１のセグメント１１の高さよりも高く形成する必要がある。サインコイル２のセグメント１５の高さと、コサインコイル１のセグメント１１の高さとは、最終的にほぼ等しくする必要がある。
その理由は、ロータとのエアギャップを全周において等しくすれば、回路による補正によらず、回転角度を正確に計測でき、補正回路が不要となり、コストを低減できる。

エアギャップを所定値に維持させるため、コサインコイル１のセグメント１１と、サインコイル２のセグメント１５とを正確に位置決めする必要がある。本実施例では、図１２に示す樹脂製のボディ３１を用いている。ボディ３１には、セグメント１１、セグメント１５を挿入する孔３１ｃが形成され、孔３１ｃの両側には、コサインコイル１の渡り線部１２を位置決めするための段差部３１ａ、サインコイル２の渡り線部１６を位置決めするための段差部３１ｂが形成されている。図１３に、ボディ３１に装着するコサインコイル１及びサインコイル２を示す。（ｂ）は、（ａ）のＡＡ断面図である。図１４に、ボディ３１にコサインコイル１とサインコイル２とを装着した状態を示す。（ｂ）は、（ａ）のＡＡ断面図である。
図１５に部分拡大図で示すように、セグメント１１，１５に形成された引掛かり部１１ａ，１５ａが引っかかることにより、セグメント１１，１５の高さが、ボディ３１に対して、一定となる。

コサインコイル１の打ち抜き孔に、サインコイル２のセグメント１５を突入させて装着する場合に、ｃｏｓカーブＣ１，Ｃ２の形状を整えるために、コサインコイル１のセグメント１１の位置を変化させ、一方、ｓｉｎカーブＳ１，Ｓ２の形状を整えるために、サインコイル２のセグメント１５の位置を変化させると、両者が干渉する場合がある。それを避けるためには、コサインコイル１，及びサインコイル２を大きくすれば良いが、位置センサ全体が大きくなり、問題である。
本実施例では、その問題を解決するために、図６に示す、セグメント１１の幅ｈを各々のセグメント１１により変化させている。すなわち、セグメント１１の幅ｈを広くすると抵抗値が低くなり、流れる電流が多くなる。逆に、幅ｈを狭くすると抵抗値が高くなり、流れる電流が少なくなる。発生する磁界の強さは、セグメント１１を流れる電流量に比例するので、本実施例では、セグメント１１の幅を調整することにより、ｓｉｎカーブＳ１，Ｓ２、及びｃｏｓカーブＣ１，Ｃ２の形状を整えている。

次に、本実施例の位置センサが組み込まれたレゾルバについて説明する。レゾルバは、ステータ、ロータ、及び制御回路を備えている。
図１７に、コサインコイル１及びサインコイル２をボディ３１に組み込んで形成したステータ３２に、ロータ３３を組み込んだレゾルバの斜視図を示す。図１６に、外周に４つの矩形状の検出コイル３４が形成されたロータ３３を示す。図１７の内部における、コサインコイル１とサインコイル２との位置関係を、図１１に斜視図で示す。
図１８に、ステータ３２の励磁コイルであるコサインコイル１、サインコイル２と、ロータ３３の検出コイル３４との位置関係を、断面図で示す。コサインコイル１のセグメント１１、サインコイル２のセグメント１５の高さは、ステータの内周に沿って、円周を描くように配置されている。セグメント１１（１５）に対向して,ロータの検出コイル３４が配置される。一方、ステータ３２のロータリートランスコイル３５、３６が各々、ステータ３２、ロータ３３に固設されている。

次に、本実施例の位置センサが組み込まれたレゾルバの制御構成を図１９に示す。７．２ｋＨｚのｓｉｎカーブを発生させるｓｉｎカーブ発生器４１が変調器４４に接続している。７．２ｋＨｚのｃｏｓカーブを発生させるｃｏｓカーブ発生器４５が変調器４５に接続している。また、３６０ｋＨｚのｓｉｎカーブを発生する高周波発生器４２が、変調器４４、変調器４５に接続している。変調器４４は、サインコイル２に接続している。変調器４５は、コサインコイル１に接続している。また、ｓｉｎカーブ発生器４１とｃｏｓカーブ発生器４３は、位置検出器である位相差検出器４７に接続している。
一方、サーチコイル３４は、ロータリトランスの一方３５に接続している。ロータリトランスの他方３６は、検波器４６に接続している。検波器４６は、位相差検出器４７に接続している。

次に、上記構成を有するレゾルバの作用について説明する。
ｓｉｎカーブ発生器４１で発生したｓｉｎカーブが、変調器４４において、高周波により、例えばＡＭ平衡変調（以下、ＡＭ変調と略す。）され、サインコイル２に流される。同時に、ｃｏｓカーブ発生器４３で発生したｃｏｓカーブが変調器４５において、高周波によりＡＭ変調され、コサインコイル１に流される。
コサインコイル１に高周波でＡＭ変調されたコサイン波が流され、同時にサインコイル２に高周波でＡＭ変調されたサイン波が流される。プレスで打ち抜いた板状のセグメント１１，１５に、７．２ｋＨｚのサイン波やコサイン波をそのまま流したのでは、磁束の発生が十分強くできないが、高周波でＡＭ変調しているので、高周波により、板状のセグメント１１，１５であっても、強い磁束を発生させることが可能である。
その結果して、コサインコイル１に、図１の（ｂ）の上段に示す磁束を発生させることができる。また、サインコイル２に、図１の（ｂ）の下段に示す磁束を発生させることができる。

励磁コイルにおいて、ｃｏｓカーブＣ１，Ｃ２が発生し,ｓｉｎカーブＳ１，Ｓ２が発生することにより、両者が重畳されたカーブとなる。その重畳されたカーブは、ステータ３２の各位置に対応した磁束強度を有するため、検出コイル３４により、磁束強度を検出することにより、ロータ３３の位置を正確に検出することができる。
すなわち、磁束の強度に応じて、検出コイル３４に誘起電流が流れる。その誘起電流の強さが、ロータリトランス３５，３６を介して、検波器４６に伝達され、位相検出器４７に伝達される。位相検出器４７は、誘起電流の強度により、ロータ３３の回転位置を正確に検出し、図示しないコントローラにロータ３３の回転位置を送信する。

以上詳細に説明したように、本実施例の位置センサによれば、励磁信号を発生する励磁コイルであるコサインコイル１及びサインコイル２と、コサインコイル１及びサインコイル２が発生した励磁信号を検出する検出コイル３４と、検出コイル３４が検出した励磁信号に応じて励磁コイルの位置を算出するコンバータである位相検出器４７とを有する位置センサにおいて、コサインコイル１及びサインコイル２が板状導電体であり、コイル作用をする直角に立てられたセグメント１１，１５と、セグメント１１，１５を結線するために両側に設けられた渡り線部１２，１６とで構成されているので、励磁コイルをプレス加工された板状部材で構成できるため、コイル巻線を必要とせず、製作が容易となり、励磁コイルの信頼性を高め、低コストを実現できる。

また、本実施例の位置センサは、セグメント１１，１５の幅を変えることにより、励磁コイルであるサインコイル２、またはコサインコイル１を構成する。セグメントの幅を一定として、セグメントの位置を変化させることによっても、サインコイル２やコサインコイル１を形成することは可能である。しかし、サインコイル２とコサインコイル１とを、一方の打ち抜かれた孔に他方の直角に立てられたセグメント１１，１５を嵌め込んで一体化させようとするときに、問題が発生する。
すなわち、セグメント１１，１５の幅を一定として、セグメント１１，１５の位置を変化させた場合には、打ち抜かれた孔とセグメント１１，１５の位置が一致させることが困難である。特に、全体を小型化しようとするときに、困難となる。そのため、位置センサの体格を大きくせざる得ない問題がある。それに対して、本実施例のように、ｓｉｎカーブＳ１，Ｓ２及びｃｏｓカーブＣ１，Ｃ２の裾野の部分おいて、セグメント１１，１５の幅を変化させて、セグメント１１，１５の位置を一定としていれば、打ち抜かれた孔とセグメント１１，１５の位置を容易に一致させることができ、位置センサを小型化することができる。

また、本実施例の位置センサは、サインコイル２とコサインコイル１とを、立てられた先端高さが一致するように、重ね合わせて構成されている。ロータ３２に対して、直角に立てられたセグメント１１，１５の高さ方向の位置精度が、直接位置センサの位置精度に影響を与える。従って、サインコイル２とコサインコイル１とを別々にプレス加工して、両者を組み合わせて励磁コイルを形成する時に、サインコイル２の直角に立てられたセグメント１５と、コサインコイル１の直角に立てられたセグメント１１の高さを一致させることは重要である。

また、本実施例の位置センサは、セグメント１１，１５及び渡り線部１２，１６が、プレス加工により形成されているので、渡り線部１２，１６の両端部１３，１４，１７，１８に通電するだけで、励磁コイルを励磁できる。すなわち、セグメント１１，１５に対して配線を必要としないため、製作が容易であり、低コストを実現できる。
また、本実施例の位置センサは、励磁コイルであるコサインコイル１，サインコイル２、及び検出コイル３４がループ形状であり、検出コイル３４の回転位置を検出するので、ハイブリッド自動車等のモータ軸に取り付けて、レゾルバとして使用することができる。
また、コサインコイル１及びサインコイル２に供給される電流が、高周波でＡＭ変調されたｃｏｓカーブまたはｓｉｎカーブである。プレスで打ち抜いた板状のセグメント１１，１５に、数ｋＨｚのサイン波やコサイン波をそのまま流したのでは、磁束の発生が十分強くできないが、数百ｋＨｚの高周波でＡＭ変調しているので、高周波により、板状のセグメント１１，１５であっても、強い磁束を発生させることが可能である。
ハイブリッド自動車等のモータ軸に取り付ける場合、モータ軸の軸心方向での位置のばらつきが存在するが、本実施例の位置センサによれば、軸心方向において、ロータの位置ずれが生じても、回転位置検出精度には、ほとんど影響を与えることがない。

なお、上記した実施の形態は単なる例示にすぎず、本発明を何ら限定するものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能であることはもちろんである。
例えば、上記した実施の形態では、位置センサを回転検出器であるレゾルバに使用した場合について説明したが、直線式の位置検出センサに使用しても同様である。

コサインコイル１、サインコイル２の全体構成、及び各コイルで発生する磁束の強度を示す図である。 コサインコイル１の製造工程を示す部分図である。 コサインコイル１の部分図である。 サインコイル２の製造工程を示す部分図である。 サインコイル２の部分図である。 図２の部分拡大図である。 図３の部分拡大図である。 セグメント１１と渡り線部１２との関係を示す図である。 図１０の中央断面図である。 コサインコイル１とサインコイル２とを組み合わせ状態を示す図である。 コサインコイル１とサインコイル２とを組み合わせた状態におれる斜視図である。 ボディ３１の断面図である。 コサインコイル１とサインコイル２とを組み込むときの状態を示す図である。 ボディ３１に、コサインコイル１とサインコイル２とを装着した状態を示す図である。 コサインコイル１をボディ３１に装着した時の部分拡大図である。 レゾルバのステータ３２の斜視図である。 レゾルバのロータ３３の斜視図である。 レゾルバのステータ３２とロータ３３との位置関係を示す断面図である。 レゾルバの位置検出制御を示すブロック図である。

符号の説明

１ コサインコイル
２ サインコイル
１１ コサインコイルのセグメント
１２ コサインコイルの渡り線部
１５ サインコイルのセグメント
１６ サインコイルの渡り線部
３１ ボディ
３２ ステータ
３３ ロータ
３４ 検出コイル
４７ 位相差検出器

Claims (6)

1. 励磁信号を発生する励磁コイルと、励磁コイルが発生した励磁信号を検出する検出コイルと、検出コイルが検出した励磁信号に応じて検出コイルの位置を算出する位置算出器とを有する位置センサにおいて、
   前記励磁コイルが、板状導電体であり、コイル作用をする直角に立てられたセグメントと、前記セグメントを結線するために両側に設けられた渡り線部とで構成されていることを特徴とする位置センサ。
2. 請求項１に記載する位置センサにおいて、
   前記セグメントの幅を変えることにより、前記励磁コイルとして、サインコイル、またはコサインコイルを構成することを特徴とする位置センサ。
3. 請求項２に記載する位置センサにおいて、
   前記サインコイルと前記コサインコイルとを、立てられた先端高さが一致するように、重ね合わせて構成されていることを特徴とする位置センサ。
4. 請求項１乃至３に記載する位置センサのいずれか１つにおいて、
   前記セグメント及び前記渡り線部が、プレス加工により形成されたことを特徴とする位置センサ。
5. 請求項１乃至請求項４に記載する位置センサのいずれか１つにおいて、
   前記励磁コイル及び前記検出コイルがループ形状であり、前記検出コイルの回転位置を検出することを特徴とする位置センサ。
6. 請求項１乃至請求項５に記載する位置センサのいずれか１つにおいて、
   前記励磁コイルに供給される電流が、高周波で変調されたｃｏｓカーブまたはｓｉｎカーブであることを特徴とする位置センサ。

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