JP2009078444A - 溶液製膜方法及び洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ドラム洗浄装置38を、流延ドラムの周面32aの上方であって、剥取ローラと減圧チャンバとの間に設ける。洗浄ガス76を流延ドラムの周面32aに吹き付ける。洗浄ガス76にはドライアイス粒子73が含まれる。周面32aに付着した異物は、ドライアイス粒子73との衝突により、周面32aから除去される。除去された異物は、洗浄ガス76とともにX方向またはY方向に流れる。チャンバ63により、洗浄ガスとともにX方向またはY方向に流れる異物を吸引する。
【選択図】図2
Description
では、フイルムの特性に影響を及ぼさないような条件で異物除去処理を施すことが望ましいが、そのような条件を見出すことは容易ではない。
(I) 2.5≦A+B≦3.0
(II) 0≦A≦3.0
(III) 0≦B≦2.9
図1に示すように、溶液製膜設備10で使用する流延ドラム32として、直径が1000mmの円筒状であり、周面32aにクロムメッキ及び鏡面加工処理を施したものを用いた。ドープ21を乾燥厚み80μmで流延し、流延膜33を形成した。自己支持性を有する流延膜33を、剥取ローラ34により剥ぎ取り、湿潤フイルム38を得た。ピンテンタ13及びクリップテンタ14において、湿潤フイルム38を所定の残留溶媒量まで乾燥し、フイルム20を得た。流延ドラムの周面32aに異物が付着しているか否かは、目視に加えて、ビデオカメラ等により確認した。また、異物に脂肪酸エステルが含まれているか否かを、IR(赤外分光光度計)、GCMS(ガスクロマトグラフ重量分析計)、NMR(核磁気共鳴装置)を用いて確認した。
0.025(m3/min)/mm2とした。洗浄ガス76にはドライアイス粒子73を混合させた。この洗浄ガス76の吹き付けにより、流延ドラムの周面32aに付着した異物を除去した。除去された異物をチャンバの吸引口63bから吸引した。このとき、チャンバ63の吸引量を0.096(L/min)/mm2とした。また、チャンバ63の下面の周縁部にラビリンスシール83を設け、このラビリンスシール83により、洗浄ガス76がチャンバ63外に流出することを防止した。また、ラビリンスシール83により、チャンバ63周囲の風がチャンバ63内に流入することを防止した。
ドラム洗浄装置に関する条件以外は、実施例1と同じ条件で実施した。実施例1のドラム洗浄装置に関する条件のうち、チャンバ63の吸引量を0.08(L/min)/mm2に、洗浄ガス76の供給量を0.025(m3/min)/mm2に変更した。
ドラム洗浄装置に関する条件以外は、実施例1と同じ条件で実施した。実施例1のドラム洗浄装置に関する条件のうち、チャンバ63の吸引量を0.08(L/min)/mm2に、洗浄ガス76の供給量を0.02(m3/min)/mm2に変更した。
ドラム洗浄装置に関する条件以外は、実施例1と同じ条件で実施した。実施例1のドラム洗浄装置に関する条件のうち、チャンバ63の吸引量を0.064(L/min)/mm2に、洗浄ガス76の供給量を0.02(m3/min)/mm2に変更した。
ドラム洗浄装置に関する条件以外は、実施例1と同じ条件で実施した。実施例1のドラム洗浄装置に関する条件のうち、チャンバ63の吸引量を0.064(L/min)/mm2に、洗浄ガス76の供給量を0.015(m3/min)/mm2に変更した。
ドラム洗浄装置に関する条件以外は、実施例1と同じ条件で実施した。実施例1のドラム洗浄装置に関する条件のうち、チャンバ63の吸引量をチャンバ63の吸引量を0.096(L/min)/mm2に、洗浄ガス76の供給量を0.02(m3/min)/mm2に変更した。
ドラム洗浄装置に関する条件以外は、実施例1と同じ条件で実施した。実施例1のドラム洗浄装置に関する条件のうち、チャンバ63の吸引量を0.096(L/min)/mm2に、洗浄ガス76の供給量を0.015(m3/min)/mm2に変更した。
ドラム洗浄装置に関する条件以外は、実施例1と同じ条件で実施した。実施例1のドラム洗浄装置に関する条件のうち、チャンバ63の吸引量を0.096(L/min)/mm2に、洗浄ガス76の供給量を0.01(m3/min)/mm2に変更した。
ドラム洗浄装置に関する条件以外は、実施例1と同じ条件で実施した。実施例1のドラム洗浄装置に関する条件のうち、チャンバ63の吸引量を0.08(L/min)/mm2に、洗浄ガス76の供給量を0.015(m3/min)/mm2に変更した。
ドラム洗浄装置に関する条件以外は、実施例1と同じ条件で実施した。実施例1のドラム洗浄装置に関する条件のうち、チャンバ63の吸引量を0.08(L/min)/mm2に、洗浄ガス76の供給量を0.01(m3/min)/mm2に変更した。
ドラム洗浄装置に関する条件以外は、実施例1と同じ条件で実施した。実施例1のドラム洗浄装置に関する条件のうち、チャンバ63の吸引量を0.064(L/min)/mm2に、洗浄ガス76の供給量を0.01(m3/min)/mm2に変更した。
ドラム洗浄装置に関する条件以外は、実施例1と同じ条件で実施した。実施例1のドラム洗浄装置に関する条件のうち、チャンバ63の吸引量を0.048(L/min)/mm2に、洗浄ガス76の供給量を0.015(m3/min)/mm2に変更した。
ドラム洗浄装置に関する条件以外は、実施例1と同じ条件で実施した。実施例1のドラム洗浄装置に関する条件のうち、チャンバ63の吸引量を0.048(L/min)/mm2に、洗浄ガス76の供給量を0.01(m3/min)/mm2に変更した。
ドラム洗浄装置に関する条件以外は、実施例1と同じ条件で実施した。実施例1のドラム洗浄装置に関する条件のうち、チャンバ63の吸引量を0.064(L/min)/mm2に、洗浄ガス76の供給量を0.025(m3/min)/mm2に変更した。
ドラム洗浄装置に関する条件以外は、実施例1と同じ条件で実施した。実施例1のドラム洗浄装置に関する条件のうち、チャンバ63の吸引量を0.048(L/min)/mm2に、洗浄ガス76の供給量を0.02(m3/min)/mm2に変更した。
ドラム洗浄装置に関する条件以外は、実施例1と同じ条件で実施した。実施例1のドラム洗浄装置に関する条件のうち、チャンバ63の吸引量を0.0(L/min)/mm2に、洗浄ガス76の供給量を0.015(m3/min)/mm2に変更した。
ドラム洗浄装置に関する条件以外は、実施例1と同じ条件で実施した。実施例1のドラム洗浄装置に関する条件のうち、チャンバ63の吸引量を0.0(L/min)/mm2に、洗浄ガス76の供給量を0.01(m3/min)/mm2に変更した。
ドラム洗浄装置に関する条件以外は、実施例1と同じ条件で行った。比較例1では、チャンバ63を用いずに洗浄ガスの吹付けを行った。また、除去された異物の吸引も行わなかった。また、洗浄ガス76の供給量を0.025(m3/min)/mm2とした。
ドラム洗浄装置に関する条件以外は、実施例1と同じ条件で行った。比較例2では、チャンバ63を用いずに洗浄ガスの吹付けを行った。また、除去された異物の吸引も行わなかった。また、洗浄ガス76の供給量を0.02(m3/min)/mm2とした。
ドラム洗浄装置に関する条件以外は、実施例1と同じ条件で行った。比較例3では、チャンバ63を用いずに洗浄ガスの吹付けを行った。また、除去された異物の吸引も行わなかった。また、洗浄ガス76の供給量を0.015(m3/min)/mm2とした。
ドラム洗浄装置に関する条件以外は、実施例1と同じ条件で行った。比較例4では、チャンバ63を用いずに洗浄ガスの吹付けを行った。また、除去された異物の吸引も行わなかった。また、洗浄ガス76の供給量を0.01(m3/min)/mm2とした。
32 流延ドラム
32a (流延ドラムの)周面
38 ドラム洗浄装置
60 ドライアイス生成部
61 ガス供給部
62 洗浄ノズル
63 チャンバ
64 排気部
73 ドライアイス粒子
74 キャリアガス
76 洗浄ガス
83 ラビリンスシール
Claims (5)
- エンドレスに走行する支持体上に、ポリマと溶媒とを含むドープを流延して流延膜を形成し、前記支持体から前記流延膜を剥ぎ取って乾燥することにより、フイルムを製造する溶液製膜方法において、
前記流延膜が剥ぎ取られた後であって前記ドープが流延される前の前記支持体の表面に対して、昇華性粒子を含む洗浄ガスを洗浄ガス吹付手段により吹き付けて、前記支持体の表面に付着した異物を除去し、
前記洗浄ガスの吹き付けが行われる洗浄エリアをチャンバにより覆うことを特徴とする溶液製膜方法。 - 前記チャンバには吸引手段が設けられ、前記吸引手段により前記異物を吸引することを特徴とする請求項1記載の溶液製膜方法。
- 前記チャンバと前記支持体との間に設けられたラビリンスシールにより、前記洗浄ガスが前記チャンバ外に流出することを防止することを特徴とする請求項1または2記載の溶液製膜方法。
- 前記昇華性粒子はドライアイス粒子であることを特徴とする請求項1ないし3いずれか1項記載の溶液製膜方法。
- エンドレスに走行する支持体上に、ポリマと溶媒とを含むドープを流延して流延膜を形成し、前記支持体から前記流延膜を剥ぎ取って乾燥することにより、フイルムを製造する溶液製膜設備に用いられ、前記支持体の表面上の異物を除去して、前記支持体の表面を洗浄する洗浄装置において、
前記流延膜が剥ぎ取られた後であって前記ドープが流延される前の前記支持体の表面に対して、昇華性粒子を含む洗浄ガスを吹き付ける洗浄ガス吹付手段と、
前記洗浄ガスの吹き付けが行われる洗浄エリアを覆うチャンバとを有することを防止することを特徴とする洗浄装置。
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