JP5107119B2

JP5107119B2 - 溶液製膜方法及び設備

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Publication number: JP5107119B2
Application number: JP2008093878A
Authority: JP
Inventors: 幸祐片井
Original assignee: Fujifilm Corp
Current assignee: Fujifilm Corp
Priority date: 2007-04-11
Filing date: 2008-03-31
Publication date: 2012-12-26
Anticipated expiration: 2028-03-31
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Description

本発明は、流延ダイによって流延ビードを形成させながらドープを流延して流延膜を形成し、この流延膜が固化した後、支持体から剥ぎ取ってフイルムを製膜する溶液製膜方法及び設備に関するものである。

溶液製膜方法は、ＬＣＤ用フイルム、有機ＥＬ用フイルム、偏光板用フイルム、及び写真感光材料用フイルム等、光学用途のフイルムの製造に幅広く採用されている。この溶液製膜方法では、セルロースアセテートを溶媒中に溶解したドープを支持体上に流延して流延ビードを形成させながら、支持体を移動させることによって流延膜を形成して、流延膜が固化した後、剥取ロールによって支持体から流延膜を剥ぎ取り、ロールやテンターにより搬送しながら乾燥させてフイルムを製造する。

このような溶液製膜方法にて、支持体上に溶液を高速流延する場合、同伴風の影響によって流延ビードに振動が発生するため、流延ビードよりも上流側に減圧チャンバを配置して負圧にすることで、同伴風が流延ビードに直撃することを防止している。しかしながら、このような対策を施しても、減圧チャンバ内部の空気圧振動、減圧のための吸引ダクトの空気圧振動、ブロワーの振動が伝わった減圧チャンバの振動等の風圧振動や機械振動による振動外乱によって流延ビードが振動するので、フイルムの流延方向に微小な周期的な段状の厚みムラが発生するという問題があった。

このような問題を解決するために、流延ダイから支持体上にドープを流延する時に流延ビードに振動があっても、流延ビードの長さを３〜４０ｍｍに制御することにより、フイルムの厚みムラを小さくする溶液製膜方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特開２００１−１８２４１号公報

しかしながら、近年のＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）等の高精細化に伴い、厚みムラの品質許容度が厳しくなり、上記特許文献１記載の溶液製膜方法では、十分な品質が得られないという問題があり、厚みムラをさらに小さくしたフイルムを製造可能な溶液製膜方法及び設備が望まれていた。

本発明は上記課題を解決するためのものであり、フイルムの流延方向の厚みムラをさらに小さくするようにした溶液製膜方法及び設備を提供することを目的とする。

本発明の溶液製膜方法は、走行する支持体上に流延ダイから、ポリマー及び溶媒を含むドープを流延して流延ビードとし、この流延ビードにより前記支持体上に帯状の流延膜を形成し、前記流延膜が固化した後にこの流延膜を前記支持体から剥ぎ取ってフイルムを製造する溶液製膜方法であり、前記流延ダイに対し前記支持体走行方向の上流側に減圧チャンバを備え、前記流延ビードに発生している厚み方向での振動を抑制するために、前記厚み方向での振動を抑えるために前記厚み方向での振動と逆位相で振幅が元の振幅の０．２倍以上〜１倍以下の抑制振動を前記流延ビードに加える振動抑制工程と、前記振動を検出する振動検出工程とを有し、前記振動検出工程は、前記減圧チャンバ内の空気圧変動に基づき前記振動を特定することと、前記振動検出工程により検出した振動に基づき前記減圧チャンバ内で抑制振動信号を生成し、この抑制振動信号に基づき音波を発生させて前記流延ビードに前記抑制振動を加える音波発生工程を含むこととを特徴とするものである。

また、本発明の溶液製膜方法は、走行する支持体上に流延ダイから、ポリマー及び溶媒を含むドープを流延して流延ビードとし、この流延ビードにより前記支持体上に帯状の流延膜を形成し、前記流延膜が固化した後にこの流延膜を前記支持体から剥ぎ取ってフイルムを製造する溶液製膜方法において、前記流延ダイに対し前記支持体走行方向の上流側に減圧チャンバを備え、前記流延ビードに発生している厚み方向での振動を抑制するために、前記厚み方向での振動を抑えるために前記厚み方向での振動と逆位相で振幅が元の振幅の０．２倍以上〜１倍以下の抑制振動を前記流延ビードに加える振動抑制工程と、前記振動を検出する振動検出工程とを有し、前記振動検出工程は、前記流延ダイの端部方向から前記流延ビードの側面を撮像し、この撮影画像に基づき前記振動を特定することと、前記振動検出工程により検出した振動に基づき前記減圧チャンバ内で抑制振動信号を生成し、この抑制振動信号に基づき音波を発生させて前記流延ビードに前記抑制振動を加える音波発生工程を含むこととを特徴とするものである。

また、本発明の溶液製膜方法は、走行する支持体上に流延ダイから、ポリマー及び溶媒を含むドープを流延して流延ビードとし、この流延ビードにより前記支持体上に帯状の流延膜を形成し、前記流延膜が固化した後にこの流延膜を前記支持体から剥ぎ取ってフイルムを製造する溶液製膜方法において、前記流延ダイに対し前記支持体走行方向の上流側に減圧チャンバを備え、前記流延ビードに発生している厚み方向での振動を抑制するために、前記厚み方向での振動を抑えるために前記厚み方向での振動と逆位相で振幅が元の振幅の０．２倍以上〜１倍以下の抑制振動を前記流延ビードに加える振動抑制工程と、前記振動を検出する振動検出工程とを有し、前記振動検出工程は、前記流延ダイに対し前記支持体走行方向上流側または下流側に配置される距離測定部により、前記流延ビードの幅方向における複数点の距離を測定し、この距離データに基づき前記振動を特定することと、前記振動検出工程により検出した振動に基づき前記減圧チャンバ内で抑制振動信号を生成し、この抑制振動信号に基づき音波を発生させて前記流延ビードに前記抑制振動を加える音波発生工程を含むこととを特徴とするものである。

また、前記音波発生工程では、前記流延ビードの幅方向に複数個設けたスピーカにより前記音波を発生させることが好ましい。また、前記振動検出工程により検出した振動に基づき抑制振動信号を生成し、この抑制振動信号に基づき、前記流延ダイに設けた振動発生部材を駆動し前記流延ビードに前記抑制振動を加える振動発生工程を含むことが好ましい。また、前記振動発生部材は、前記流延ビードの幅方向に複数個設けられていることが好ましい。

本発明の溶液製膜設備は、走行する支持体上に流延ダイから、ポリマー及び溶媒を含むドープを流延して流延ビードとし、この流延ビードにより前記支持体上に帯状の流延膜を形成し、前記流延膜が固化した後にこの流延膜を前記支持体から剥ぎ取ってフイルムを製造する溶液製膜設備において、前記振動抑制装置は、前記流延ダイに対し前記支持体走行方向の上流側に設けられる減圧チャンバと、前記流延ビードに発生している厚み方向での振動を抑制するために、前記厚み方向での振動を抑えるために前記厚み方向での振動と逆位相で振幅が元の振幅の０．２倍以上〜１倍以下の抑制振動を前記流延ビードに加える振動抑制装置と、前記振動を検出する振動検出部と、前記振動検出部により検出した振動に基づき前記減圧チャンバ内で振動抑制信号を生成し、この抑制振動信号に基づき前記流延ビードに前記抑制振動を加える抑制振動付与部とを備え、前記振動検出部は前記減圧チャンバ内の空気圧振動に基づき前記振動を特定することを特徴とするものである。

また、本発明の溶液製膜設備は、走行する支持体上に流延ダイから、ポリマー及び溶媒を含むドープを流延して流延ビードとし、この流延ビードにより前記支持体上に帯状の流延膜を形成し、前記流延膜が固化した後にこの流延膜を前記支持体から剥ぎ取ってフイルムを製造する溶液製膜設備において、前記振動抑制装置は、前記流延ダイに対し前記支持体走行方向の上流側に設けられる減圧チャンバと、前記流延ビードに発生している厚み方向での振動を抑制するために、前記厚み方向での振動を抑えるために前記厚み方向での振動と逆位相で振幅が元の振幅の０．２倍以上〜１倍以下の抑制振動を前記流延ビードに加える振動抑制装置と、前記振動を検出する振動検出部と、前記振動検出部により検出した振動に基づき前記減圧チャンバ内で振動抑制信号を生成し、この抑制振動信号に基づき前記流延ビードに前記抑制振動を加える抑制振動付与部とを備え、前記振動検出部は、前記流延ダイの端部方向から前記流延ビードの側面を撮像し、この撮影画像に基づき前記振動を特定することを特徴とするものである。

また、本発明の溶液製膜設備は、走行する支持体上に流延ダイから、ポリマー及び溶媒を含むドープを流延して流延ビードとし、この流延ビードにより前記支持体上に帯状の流延膜を形成し、前記流延膜が固化した後にこの流延膜を前記支持体から剥ぎ取ってフイルムを製造する溶液製膜設備において、前記振動抑制装置は、前記流延ダイに対し前記支持体走行方向の上流側に設けられる減圧チャンバと、前記流延ビードに発生している厚み方向での振動を抑制するために、前記厚み方向での振動を抑えるために前記厚み方向での振動と逆位相で振幅が元の振幅の０．２倍以上〜１倍以下の抑制振動を前記流延ビードに加える振動抑制装置と、前記振動を検出する振動検出部と、前記振動検出部により検出した振動に基づき前記減圧チャンバ内で振動抑制信号を生成し、この抑制振動信号に基づき前記流延ビードに前記抑制振動を加える抑制振動付与部とを備え、前記振動検出部は、前記流延ダイに対し前記支持体走行方向上流側または下流側に配置される距離測定部により、前記流延ビードの幅方向における複数点の距離を測定し、この距離データに基づき前記振動を特定することを特徴とするものである。

本発明によれば、流延ビードの厚み方向での振動を抑制するために、抑制振動を流延ビードに加えるので、流延ビードの振動を抑制することができる。このため、フイルムの流延方向の厚みムラを小さくすることができ、高品質のフイルムを製造できる。

抑制振動は、流延ビードと逆位相で振幅が元の振幅の０．２倍以上〜１倍以下の振動であり、流延ビードの振動を確実に抑制することができる。また、流延ビードの振動を検出して、この振動に対応する抑制振動を流延ビードに加えるため、製造時に流延ビードの振動が変化しても、適正な抑制振動を加えて流延ビードの振動を確実に抑制することができる。

以下に、本発明の実施形態について詳細に説明する。ただし、本発明はここに挙げる実施形態に限定されるものではない。

［フイルム製造ライン］
図１に示すフイルム製造ライン１０は、ストックタンク１１と、流延室１２と、ピンテンタ１３と、クリップテンタ１４と、乾燥室１５と、冷却室１６と、巻取室１７とを備えて構成されている。

ストックタンク１１は、モータ１１ａと、このモータ１１ａによって回転される攪拌翼１１ｂと、ジャケット１１ｃとを備えている。このストックタンク１１の内部には、フイルム２０の原料となるドープ２１が貯留されている。ドープ２１の温度は、ストックタンク１１の外周面に設けられているジャケット１１ｃによって、略一定となるように調整される。

攪拌翼１１ｂが回転されることによって、ポリマーなどの凝集を抑制しながら、ドープ２１の均一な品質が保持される。また、ストックタンク１１の下流には、ポンプ２５と、濾過装置２６とが設けられている。なお、ドープ２１の調整方法に関しては、後で詳細に説明する。

流延室１２には、ドープの流延口となる流延ダイ３０と、支持体である流延ドラム３２と、流延ドラム３２から流延膜３３を剥ぎ取る剥取ローラ３４と、流延室１２の内部温度を調整する温調設備３５とが備えられている。また、減圧チャンバ３６は、流延ダイ３０と剥取ローラ３４との間の流延ドラム３２の周面近傍に配される。

図２に示すように、流延ダイ３０の先端には、ドープ２１を流出する流出口３０ａが設けられている。流出口３０ａは、その下方に配置される流延ドラム３２の周面上にドープ２１を流延する。流延ダイ３０の材質は、電解質水溶液やメチレンクロライドやメタノールなどの混合液に対する高い耐腐食性や低い熱膨張率などを有する素材から形成される。また、流延ダイ３０の接液面の仕上げ精度は表面粗さで１μｍ以下、真直度はいずれの方向にも１μｍ／ｍ以下のものを用いることが好ましい。このような流延ダイ３０を用いることにより、スジ及びムラのない流延膜３３を流延ドラム３２上に形成することができる。

円柱形状に形成される流延ドラム３２は、駆動装置により円柱の軸を中心に回転する。この駆動装置によって、流延ドラム３２は、その周面が所定の走行方向に所定速度（１０〜３００ｍ／分）になるように回転する。流延ドラム３２の周面は、クロムメッキ処理が施され、十分な耐腐食性と強度を有する。また、流延ドラム３２の周面温度を所望の温度に保つために、流延ドラム３２に伝熱媒体循環装置３７が取り付けられている。この伝熱媒体循環装置３７にて所望の温度に保持されている伝熱媒体が、流延ドラム３２内の伝熱媒体流路を通過することにより、流延ドラム３２の表面温度は、−４０℃以上３０℃以下の範囲で略一定とされる。

流延工程では、流延ダイ３０から流延ドラム３２の周面へドープ２１が流延され、流延ドラム３２の周面上に流延膜３３が形成される。また、流延ダイ３０から流延ドラム３２の周面にかけて流延ビード２１ａが形成される。この流延膜３３は、流延ドラム３２の回転によって走行方向に所定の走行速度で搬送される。減圧チャンバ３６は、流延ビード２１ａを安定させるために、この流延ビード２１ａの背面側を負圧にする。減圧チャンバ３６は、−１０００Ｐａ〜−１０Ｐａの範囲で減圧することができる。流延ドラム３２上での冷却により固化した流延膜３３は、剥取ローラ３４によって、流延ドラム３２から剥ぎ取られ、湿潤フイルム３８となる。なお、後述するように、この流延工程において、ドープ２１の固形化を防止するために、固形化防止用溶液を供給することを液法と称する。

また、流延室１２の内部温度は、温調設備３５により所定の範囲内で略一定となるように調整される。流延室１２内には、揮発している有機溶媒を凝縮液化するための凝縮器（コンデンサ）３９と凝縮液化した溶媒を回収する回収装置４０とが備えられている。凝縮器３９で凝縮液化した有機溶媒は、回収装置４０により回収される。その溶媒は再生装置で再生された後に、ドープ調製用溶媒として再利用される。

流延室１２の下流には、湿潤フイルム３８を乾燥させてフイルム２０とするピンテンタ１３と、このフイルム２０を乾燥させながら延伸するクリップテンタ１４とが設けられている。フイルム２０は、クリップテンタ１４の所定条件下の延伸処理によって、所望の光学特性が付与される。なお、ピンテンタ１３は、固定手段として複数のピンを有する乾燥装置であり、クリップテンタ１４は、把持手段としてクリップを有する乾燥装置である。なお、クリップテンタ１４は省略しても良い。

クリップテンタ１４の下流には耳切装置４３が設けられている。この耳切装置４３には、クラッシャ４４が備えられており、ここで、フイルム２０の両側端部は切断された後、クラッシャ４４に送り込まれて粉砕される。粉砕されたフイルム細片は、原料ドープとして再利用される。

乾燥室１５には、多数のローラ４７と吸着回収装置４８とが備えられている。さらに、乾燥室１５に併設された冷却室１６の下流には、強制除電装置（除電バー）４９が設けられている。また、本実施形態では、強制除電装置４９下流側に、ナーリング付与ローラ５０を設けている。巻取室１７の内部には、巻取ローラ５１とプレスローラ５２とが備えられている。

図１及び図２に示すように、液法装置６０は、ノズル６１ａ，６１ｂと、タンク６２と、配管６２ａ，６２ｂとから構成される。ノズル６１ａ，６１ｂは流延ダイ３の流出口３０ａの両端に配される。タンク６２はドープ２１の固形化を防止する固定化防止用溶液（以下、溶液と称する）を格納する。配管６２ａ，６２ｂは、このノズル６１ａ，６１ｂとタンク６２を接続する。更に、この配管６２ａ，６２ｂには、バルブ、ポンプ、流量計などが備えられ、これらの操作によって所望量の溶液をタンク６２からノズル６１ａ，６１ｂへ送り出すことができる。このノズル６１ａ，６１ｂの供給口（図示せず）は、略円形状に形成される。なお、この溶液としては、ドープを溶解することができる溶液が好ましく用いられ、例えば、ジクロロメタンを８６．５重量部と、メタノールを１３重量部と、ｎ−ブタノールを０．５重量部とを混合した混合物が挙げられる。

減圧チャンバ３６は、流延ドラム３２の回転方向（支持体走行方向）に２室に分かれており、流延ビード２１ａに近い方から第１チャンバ３６ａ、第２チャンバ３６ｂとなっている。これら各チャンバ３６ａ，３６ｂには、配管７２ｂ，７２ｃを介して吸引装置７３ｂ，７３ｃが接続される。また、本実施形態では、減圧チャンバ３６を第１及び第２チャンバ３６ａ，３６ｂの２室で構成する場合を例に説明するが、これに限るものではなく、１室で構成しても良い。

吸引装置７３ｂ，７３ｃは、予め設定された減圧値に従って、配管７２ｂ，７２ｃを介して各チャンバ３６ａ，３６ｂ内の空気を吸引する。これにより、減圧チャンバ３６の内圧が所定圧力まで減圧される。この減圧に伴って、流延ビード２１ａの近傍も、同様に所定の圧力に減圧される。こうして、減圧チャンバ３６は、流延ビード２１ａの背面側を所望の圧力に減圧することができる。なお、吸引装置７３ｂの減圧値は、吸引装置７３ｃの減圧値よりも小さくなるように設定する。また、２つの吸引装置７３ｂ，７３ｃを設ける場合を例に説明したが、いずれか一方のみでも良い。この場合、配管７２ｂ，７２ｃもいずれか一方のみを設けても良いし、配管７２ｂ，７２ｃを合流させて、吸引装置７３ｂ，７３ｃのいずれか一方に接続しても良い。本明細書では、減圧値を負の符号と圧力の差とを用いて表す。圧力の差とは、減圧前からの圧力の差を表す。

また、減圧チャンバ３６には、流延ビード２１ａと対面する位置と、流延ドラム３２と対面する位置とに、開口部７４ａ〜７４ｃが形成されている。また、減圧チャンバ３６の幅方向端部は、ラビリンス構造にされており、幅方向端部から空気が抜けることが防止されている。さらに、減圧チャンバ３６の幅は、流延ビード２１ａ（流出口３０ａ）の幅よりも広くされている。このため、減圧チャンバ３６によって、流延ビード２１ａ端部の外側からも吸引される。また、減圧チャンバ３６には、流延ドラム３２の表面を傷つけないように、流延ドラム３２との間隔が最も狭くなる部分にゴム等の弾性部材が設けられている。また、減圧チャンバ３６内には、気圧計１０１が設けられている。この気圧計１０１は、減圧チャンバ３６の減圧度の調整に用いられ、気圧計１０１の気圧情報に基づいて、吸引装置７３ｂ，７３ｃの運転条件（例えば、ファンの回転数等）が設定される。

図３に示すように、流出口３０ａの幅方向両端部の近傍には、流延ビード２１ａを撮像するカメラ７６ａ，７６ｂが設けられており、フイルム製造ライン１０の全体を制御する制御部７７に接続されている。各カメラ７６ａ，７６ｂは、流延ビード２１ａの両側面の各々を高速度に撮像する。制御部７７は、これらのカメラ７６ａ，７６ｂを制御することによって、流延ビード２１ａを連続的に撮像させる。これらのカメラ７６ａ，７６ｂは、多数の画像データを制御部７７に出力する。

また、制御部７７内には、振動検出部７７ａ及び抑制振動生成部７７ｂが設けられている。この振動検出部７７ａは、カメラ７６ａによって撮像された多数の画像データを取得し、パターン認識によって流延ビード２１ａの振動（周波数、振幅、及び位相）を検出する。さらに、この振動検出部７７ａは、カメラ７６ｂによって撮像された多数の画像データに基づいて、同様にビードの振動を検出する。振動検出部７７ａは、これら２つの振動（周波数、振幅、及び位相）の平均値を算出して、これを流延ビード２１ａの振動とする。なお、流延ビード２１ａの振動は、周波数が１〜５００Ｈｚ程度である。

また、抑制振動生成部７７ｂは、流延ビード２１ａの振動と逆位相で、周波数が略等しく、また振幅が元の振幅の０．２倍以上〜１倍以下の抑制振動信号を生成する。さらに、減圧チャンバ３６内には、第１チャンバ３６ａと第２チャンバ３６ｂとの間に、複数のスピーカ７８が、第１チャンバ３６ａに向けて取付板７９によって取り付けられている。この複数のスピーカ７８は、流延ビード２１ａの幅方向と略平行となるように配列されている。なお、抑制振動信号の振幅は元の振幅に対して０．５倍以上０．９倍以下がより好ましい。

制御部７７は、前述の抑制振動信号に基づいて複数のスピーカ７８を制御して、流延ビード２１ａの振動と逆位相で、周波数及び振幅が略等しい音波を出力させて、抑制振動を流延ビード２１ａに加える。これにより、流延ビード２１ａの振動が抑制振動によって打ち消されて、流延ビード２１ａの振動が抑制される。

上記説明では、流延ビード２１ａの両側面の形状から算出された２つの振動の平均値を用いる場合を例に説明したが、これに限るものではなく、２つの振動に対応する逆位相の音波を出力させても良い。この場合、多数のスピーカ７８を流延ビード２１ａの幅方向の位置によって２つのグループに分けて、各グループに対応する音波を出力させれば良い。また、グループ分けせずに、流延ビードの幅方向の各位置における振動に対して逆位相で元の振幅に対して０．２以上１倍以下の振幅の抑制振動を個々のスピーカから出力しても良い。

さらに、スピーカ７８を多数設けて、流延ビード２１ａの全体に対して逆位相の振動を与える場合を例に説明したが、これに限るものではなく、流延ビード２１ａの一部に対してのみ、逆位相の振動を与えても良い。例えば、流延ビード２１ａには両端部に振動が発生しやすいので、両端部のみにスピーカ７８を設けて、両端部のみに逆位相の振動を与えても良い。また、減圧チャンバ３６に対して１個のスピーカを設けて、抑制振動を流延ビード２１ａに加えるようにしても良い。

上記説明では、流延ビード２１ａの側面を撮像した画像に基づいて振動を検出して、流延ビード２１ａに抑制振動を与える場合を例に説明したが、これに限るものではなく、流延ビード２１ａの幅方向に多数点を設定し、これら多数点の振動を検出し、これらの振動に基づいて抑制振動を与えても良い。この場合には、測定点毎に抑制振動を求めることが好ましい。

図４を参照して、流延ビード２１ａの幅方向の多数点の振動を検出する場合について説明する。流延ダイ３０に対して冷却ドラム３２の下流側には、距離計８０が配置されている。この距離計８０は、流延ダイ３０の流出口３０ａと幅方向の長さが略等しく、流延ビード２１ａと略平行で対面する位置に配置されている。

この距離計８０は、無接触距離計であり、投光部及び受光部を多数組備え、これらが流延ビード２１ａの幅方向に沿って配置されている。投光部から照射される光と、流延ビード２１ａによって反射されて受光部によって受光される光とのなす角度に基づいて距離計８０は距離を算出する。距離計８０は、投光部から光を照射させ、その光が受光部によって受光されるまでの時間に基づいて距離を算出する。このため、距離計８０は、流延ビード２１ａの幅方向に沿って設定された多数点までの距離を検出することが可能である。また、この場合も同様に、減圧チャンバ３６内には、複数のスピーカ７８が、取付板７９によって取り付けられている。この複数のスピーカ７８は、流延ビード２１ａの幅方向と略平行となるように配列されている。これらのスピーカ７８は、前述の投光部及び受光部に対応する個数及び位置に配置されている。

この距離計８０は、制御部８１に接続されており、多数点の距離情報を制御部８１に出力する。この制御部８１は、振動検出部８１ａ及び振動生成部８１ｂを備えている。振動検出部８１ａは、距離計８０から多数点の距離情報を逐次取得し、流延ビード２１ａの各点における厚みの変動を検出することによって、各点の振動を検出する。

また、振動生成部８１ｂは、各点の振動に基づいて、この振動と逆位相で、周波数及び振幅が略等しい抑制振動信号を各点毎に生成する。制御部８１は、これらの抑制振動信号に基づいて、各スピーカ７８を制御することによって音波を発生させて、幅方向の各点の振動を抑制する。

上記説明において、振動抑制装置としてスピーカを使用する場合を例に説明したが、これに限るものではなく、流延ビード２１ａの振動と逆位相で、周波数が略等しく且つ元振幅に対して０．２倍以上１倍以下の振動を与えて、流延ビード２１ａの振動を抑制できれば良い。以下に、スピーカ７８の代わりに圧電素子（ピエゾ素子）を用いる場合について説明する。

図５に示すように、流延ダイ３０には、流出口３０ａの近傍に圧電素子部９０が設けられている。この圧電素子部９０は、流出口３０ａと略平行に多数の圧電素子を並べて構成されている。この圧電素子部９０は、制御部７７と接続されており、この制御部７７によって制御される。

振動検出部７７ａによって、流延ビード２１ａの振動が算出されると、制御部７７は、圧電素子部９０を制御することによって、この振動と逆位相で、周波数が略等しく元の振幅に対して０．２倍以上１倍以下の振幅の抑制振動を流延ビード２１ａに与える。これにより、流延ビード２１ａの振動が打ち消されて振動を抑制することができる。なお、この場合も、カメラ７６ａ，７６ｂの替わりに、距離計８０を設けて流延ビード２１ａの振動検出を行っても良い。

上記説明において、流延ビード２１ａの振動を画像や表面位置の変化によって検出する場合について説明を行ったが、これに限るものではなく、これら以外の方法によって、流延ビード２１ａの振動を特定しても良い。例えば、流延ビード２１ａの振動によって、上流側の空気圧が変化し、この空気圧変化が減圧チャンバに伝わって、減圧チャンバ内に空気圧変動が生じることが知られているので、減圧チャンバ内の空気圧変動に基づいて流延ビード２１ａの振動を特定しても良い。以下に、減圧チャンバ内の空気圧変動に基づいて、流延ビード２１ａの振動検出を行う場合について説明する。

図６に示すように、制御部１１１には、気圧計１０１及びスピーカ７８が接続されている。また、スピーカ７８は、前述の場合と同様に、減圧チャンバ３６の幅方向に沿って複数個以上設けられている。

気圧計１０１は、減圧チャンバ３６内の空気圧を検出して、この空気圧情報を制御部１１１に逐次出力する。制御部１１１は、振動検出部１１１ａと、抑制振動生成部１１１ｂとを備えている。振動検出部１１１ａは、気圧計１０１から出力された空気圧情報を逐次取得し、減圧チャンバ３６内の空気圧変動（周波数、振幅、及び位相）を検出する。

振動検出部１１１ａは、内蔵メモリを備えており、この内蔵メモリには、空気圧変動に対応する流延ビード２１ａの振動を示すテーブルが記憶されている。振動検出部１１１ａは、減圧チャンバ３６内の空気圧変動を検出した後、このテーブルを参照することによって、この空気圧変動に対応する流延ビード２１ａの振動を決定する。

抑制振動生成部１１１ｂは、流延ビード２１ａの振動と逆位相で、周波数が略等しく振幅が元の振幅の０．２倍以上１倍以下の振幅の抑制振動信号を生成する。制御部１１１は、この抑制振動信号に基づいて、複数のスピーカ７８を制御して抑制振動を流延ビード２１ａに加える。これにより、流延ビード２１ａの振動が抑制される。なお、この場合も、スピーカ７８以外のもの、例えば、前述の圧電素子部９０を用いて、流延ビード２１ａに抑制振動を与えても良い。

次に、図１を参照して、フイルム製造ライン１０によりフイルム２０を製造する方法の一例を説明する。ストックタンク１１では、ジャケット１１ｃの内部に伝熱媒体を流すことによりドープ２１の温度を２５℃〜３９℃に調整するとともに、攪拌翼１１ｂの回転により常に均一化している。適宜適量のドープ２１を、ポンプ２５によりストックタンク１１から濾過装置２６に送り込み濾過することにより、ドープ２１中の不純物を取り除く。

流延ドラム３２は、駆動装置により所定の走行速度（１０〜１５０ｍ／分）で走行する。また、伝熱媒体循環装置３７により、流延ドラム３２の表面温度は、−４０℃以上３０℃以下の範囲内で略一定となるように調整されている。また、３０〜３９℃の範囲で保持されているドープ２１を、流延ダイ３０から流延ドラム３２の周面上に流延する。ドープ２１は、流延ドラム３２の周面上で流延膜３３を形成する。こうして、流延ドラム３２の周面上では、流延膜３３が冷却固化（ゲル化）され、流延膜３３に自己支持性を持たせることができる。流延膜３３の冷却が進行すると、結晶の基となる架橋点が形成されて流延膜３３のゲル化が促進される。ゲル化の進行により、流延膜３３が固化した後、剥取ローラ３４により流延ドラム３２から剥ぎ取って湿潤フイルム３８を形成する。そして、この湿潤フイルム３８をピンテンタ１３に送り込む。

ピンテンタ１３では、多数のピンを湿潤フイルム３８の両側端部に差し込み固定した後、この湿潤フイルム３８を搬送する間に乾燥を促進させてフイルム２０とする。そして、まだ溶媒を含んでいる状態のフイルム２０をクリップテンタ１４に送り込む。

クリップテンタ１４では、チェーンの動きにより無端で走行する多数のクリップによりフイルム２０の両側端部を挟持した後、このフイルム２０を搬送する間に、乾燥を促進させる。このとき、対面するクリップの幅を拡げてフイルム２０の幅方向に張力を付与することでフイルム２０を延伸する。このように、フイルム２０の幅方向への延伸処理により、フイルム２０中の分子が配向し、所望のレターデーション値をフイルム２０に付与することができる。

クリップテンタ１４から送り出されたフイルム２０は、耳切装置４３によりの両側端部が切断される。両側端部が切断されたフイルム２０は、乾燥室１５と冷却室１６とを経由し、巻取室１７内の巻取ローラ５１で巻き取られる。なお、耳切装置４３によって切断された両側端部は、クラッシャ４４により粉砕されて、ドープ調製用チップとなり再利用される。

図２に示すように、流延ダイ３０の流出口３０ａからドープ２１が流延ビード２１ａとなって流延ドラム３２上に流出される。この時、減圧チャンバ３６によって、この流延ビード２１ａの背面側は、流延ビード２１ａの前面側に対し所定圧まで減圧される。こうして、高速製膜下でも、流延膜３３と流延ドラム３２の周面との密着性を維持することができる。

また、カメラ７６ａ，７６ｂによって、流延ビード２１ａの両側面が撮像され、これらの画像データが制御部７７に逐次出力される。振動検出部７７ａは、これらの画像データに基づいて、流延ビード２１ａの振動（周波数、振幅、及び位相）を算出する。

さらに、制御部７７は、スピーカ７２を制御することによって、流延ビード２１ａの振動と逆位相の振動として、風圧変動を流延ビード２１ａに付与する。これにより、高速性膜下でも、流延ビード２１ａの振動が抑制されて、フイルム２０の長手方向（流延方向）に、微小且つ周期的な段状の厚みムラが発生することを防止できる。

以下、本発明においてドープ２１を調製する際に使用する原料について説明する。

本実施形態では、ポリマーとしてセルロースアシレートを用いており、セルロースアシレートとしては、セルローストリアセテート（ＴＡＣ）が特に好ましい。そして、セルロースアシレートの中でも、セルロースの水酸基へのアシル基の置換度が下記式(Ｉ)〜(ＩＩＩ)の全てを満足するものがより好ましい。なお、以下の式(Ｉ)〜(ＩＩＩ)において、ＡおよびＢは、セルロースの水酸基中の水素原子に対するアシル基の置換度を表わし、Ａはアセチル基の置換度、Ｂは炭素原子数が３〜２２のアシル基の置換度である。なお、ＴＡＣの９０質量％以上が０．１〜４ｍｍの粒子であることが好ましい。ただし、本発明に用いることができるポリマーは、セルロースアシレートに限定されるものではなく、セルロースアセテート、プロピオネート又はセルロースアセテートブチレートなどを含むポリマーを用いても、同等の効果を得ることができる。
（Ｉ）２．５≦Ａ＋Ｂ≦３．０
（ＩＩ）０≦Ａ≦３．０
（ＩＩＩ）０≦Ｂ≦２．９

セルロースを構成するβ−１，４結合しているグルコース単位は、２位，３位および６位に遊離の水酸基を有している。セルロースアシレートは、これらの水酸基の一部または全部を炭素数２以上のアシル基によりエステル化した重合体（ポリマー）である。アシル置換度は、２位，３位および６位それぞれについて、セルロースの水酸基がエステル化している割合（１００％のエステル化の場合を置換度１とする）を意味する。

全アシル化置換度、すなわち、ＤＳ２＋ＤＳ３＋ＤＳ６の値は、２．００〜３．００が好ましく、より好ましくは２．２２〜２．９０であり、特に好ましくは２．４０〜２．８８である。また、ＤＳ６／（ＤＳ２＋ＤＳ３＋ＤＳ６）の値は、０．２８以上が好ましく、より好ましくは０．３０以上であり、特に好ましくは０．３１〜０．３４である。ここで、ＤＳ２は、グルコース単位における２位の水酸基の水素がアシル基によって置換されている割合（以下、２位のアシル置換度と称する）であり、ＤＳ３は、グルコース単位における３位の水酸基の水素がアシル基によって置換されている割合（以下、３位のアシル置換度と称する）であり、ＤＳ６は、グルコース単位において、６位の水酸基の水素がアシル基によって置換されている割合（以下、６位のアシル置換度と称する）である。

本発明のセルロースアシレートに用いられるアシル基は１種類だけでもよいし、あるいは２種類以上のアシル基が使用されていてもよい。２種類以上のアシル基を用いるときには、その１つがアセチル基であることが好ましい。２位，３位および６位の水酸基がアセチル基により置換されている度合いの総和をＤＳＡとし、２位，３位および６位の水酸基がアセチル基以外のアシル基によって置換されている度合いの総和をＤＳＢとすると、ＤＳＡ＋ＤＳＢの値は、２．２２〜２．９０であることが好ましく、特に好ましくは２．４０〜２．８８である。

また、ＤＳＢは０．３０以上であることが好ましく、特に好ましくは０．７以上である。さらにＤＳＢは、その２０％以上が６位水酸基の置換基であることが好ましく、より好ましくは２５％以上であり、３０％以上がさらに好ましく、特には３３％以上であることが好ましい。さらに、セルロースアシレートの６位におけるＤＳＡ＋ＤＳＢの値が０．７５以上であり、さらに好ましくは、０．８０以上であり、特には０．８５以上であるセルロースアシレートも好ましく、これらのセルロースアシレートを用いることで、より溶解性に優れた溶液（ドープ）を作製することができる。特に、非塩素系有機溶媒を使用すると、優れた溶解性を示し、低粘度で濾過性に優れるドープを作製することができる。

本発明におけるセルロースアシレートの炭素数２以上のアシル基としては、脂肪族基でもアリール基でもよく、特に限定はされない。例えば、セルロースのアルキルカルボニルエステル、アルケニルカルボニルエステル、芳香族カルボニルエステル、芳香族アルキルカルボニルエステルなどが挙げられ、それぞれ、さらに置換された基を有していてもよい。これらの好ましい例としては、プロピオニル基、ブタノイル基、ペンタノイル基、ヘキサノイル基、オクタノイル基、デカノイル基、ドデカノイル基、トリデカノイル基、テトラデカノイル基、ヘキサデカノイル基、オクタデカノイル基、ｉｓｏ−ブタノイル基、ｔ−ブタノイル基、シクロヘキサンカルボニル基、オレオイル基、ベンゾイル基、ナフチルカルボニル基、シンナモイル基などが挙げられる。これらの中でも、プロピオニル基、ブタノイル基、ドデカノイル基、オクタデカノイル基、ｔ−ブタノイル基、オレオイル基、ベンゾイル基、ナフチルカルボニル基、シンナモイル基などがより好ましく、特に好ましくは、プロピオニル基、ブタノイル基である。

ドープを調製する溶媒としては、芳香族炭化水素（例えば、ベンゼン，トルエンなど）、ハロゲン化炭化水素（例えば、メチレンクロライド，クロロベンゼンなど）、アルコール（例えば、メタノール，エタノール，ｎ−プロパノール，ｎ−ブタノール，ジエチレングリコールなど）、ケトン（例えば、アセトン，メチルエチルケトンなど）、エステル（例えば、酢酸メチル，酢酸エチル，酢酸プロピルなど）およびエーテル（例えば、テトラヒドロフラン，メチルセロソルブなど）などが挙げられる。なお、本発明においてドープとは、ポリマーを溶媒に溶解または分散させることで得られるポリマー溶液または分散液を意味している。

上記のハロゲン化炭化水素の中でも、炭素原子数１〜７のハロゲン化炭化水素が好ましく用いられ、メチレンクロライドが最も好ましく用いられる。ＴＡＣの溶解性、流延膜の支持体からの剥ぎ取り性、フイルムの機械的強度および光学特性などの物性の観点から、メチレンクロライドの他に炭素原子数１〜５のアルコールを１種ないし数種類混合することが好ましい。アルコールの含有量は、溶媒全体に対して２〜２５質量％が好ましく、より好ましくは、５〜２０質量％である。アルコールとしては、メタノール，エタノール，ｎ−プロパノール，イソプロパノール，ｎ−ブタノールなどが挙げられるが、メタノール，エタノール，ｎ−ブタノール、あるいはこれらの混合物が好ましく用いられる。

最近、環境に対する影響を最小限に抑えることを目的に、メチレンクロライドを使用しない溶媒組成も検討されている。この場合には、炭素原子数が４〜１２のエーテル、炭素原子数が３〜１２のケトン、炭素原子数が３〜１２のエステル、炭素数１〜１２のアルコールが好ましく、これらを適宜混合して用いる場合もある。例えば、酢酸メチル，アセトン，エタノール，ｎ−ブタノールの混合溶媒が挙げられる。これらのエーテル、ケトン，エステルおよびアルコールは、環状構造を有するものであってもよい。また、エーテル、ケトン，エステルおよびアルコールの官能基（すなわち、−Ｏ−，−ＣＯ−，−ＣＯＯ−および−ＯＨ）のいずれかを２つ以上有する化合物も溶媒として用いることができる。

セルロースアシレートの詳細については、特開２００５−１０４１４８号の［０１４０］段落から［０１９５］段落に記載されており、これらの記載も本発明に適用することができる。また、溶媒および可塑剤，劣化防止剤，紫外線吸収剤（ＵＶ剤），光学異方性コントロール剤，レターデーション制御剤，染料，マット剤，剥離剤，剥離促進剤などの添加剤についても、同じく特開２００５−１０４１４８号の［０１９６］段落から［０５１６］段落に詳細に記載されており、これらの記載も本発明に適用することができる。

流延ダイ、減圧室、支持体などの構造、共流延、剥離法、延伸、各工程の乾燥条件、ハンドリング方法、カール、平面性矯正後の巻取方法から、溶媒回収方法、フイルム回収方法まで、特開２００５−１０４１４８号の［０６１７］段落から［０８８９］段落に詳しく記述されており、これらの記載も本発明に適用することができる。

本発明の溶液製膜方法では、ドープを流延する際に、２種類以上のドープを同時に共流延させて積層させる同時積層共流延、または、複数のドープを逐次に共流延して積層させる逐次積層共流延を行うことができる。なお、両共流延を組み合わせてもよい。同時積層共流延を行う場合には、フィードブロックを取り付けた流延ダイを用いてもよいし、マルチマニホールド型の流延ダイを用いてもよい。ただし、共流延により多層からなるフイルムは、空気面側の層の厚さと支持体側の層の厚さとの少なくともいずれか一方が、フイルム全体の厚みの０．５〜３０％であることが好ましい。また、同時積層共流延を行う場合には、ダイスリットから支持体にドープを流延する際に、高粘度ドープが低粘度ドープにより包み込まれることが好ましく、ダイスリットから支持体にかけて形成される流延ビードのうち、外界と接するドープが内部のドープよりもアルコールの組成比が大きいことが好ましい。

なお、上記実施形態において、流延ビードの画像に基づいて振動を算出する場合や、流延ビードの表面位置の変化に基づいて振動を検出する場合を例に説明を行ったが、これに限るものではなく、流延ビードの振動を検出できるものであれば、その他の方法を用いて流延ビードの振動を検出しても良い。

また、上記実施形態において、スピーカによって流延ビードに抑制振動を加える場合や、圧電素子によって流延ビードに抑制振動を加える場合を例に説明したが、これに限るものではなく、流延ビードに対して抑制振動を付与できるものであれば良い。

さらに、上記実施形態において、流延ビードの振動を検出する場合について説明を行ったが、周期的に発生する段状の厚みムラをビード流延方向で検出し、この厚みムラを無くすような振動を付与しても良い。この場合には、ビード流延方向での段状の厚みムラと、ビードに与える振動の周波数、位相、振幅との対応関係を予め求めておき、段状の厚みムラを無くすような振動を付与する。厚みムラは、流延直後の流延膜の表面位置と支持体面位置とを検出し、これら位置に基づき厚みを求め、この厚みの流延方向における変動に基づき特定される。また、流延工程よりも後の工程において膜厚の変動に基づいて、厚みムラを特定しても良い。しかし、厚みムラを特定する位置が流延ダイから離れるに従い他の要因を含んだ厚みムラとなるため、流延ダイの直後で求めることが好ましい。

また、上記実施形態において、減圧チャンバを設ける場合について説明したが、減圧チャンバの代わり又は加えて、遮風板、遮風ブロックなどの遮風部材を流延ビードの流延方向上流、または下流、さらには両側縁に設けても良い。さらに、バックチャンバの支持体に近接する仕切り板やその他の部材は支持体を傷つけることがないように、ゴムなどの弾性体を用いることが好ましい。

また、上記実施形態において、支持体として流延ドラムを使用する場合を例に説明を行ったが、これに限るものではなく、流延ドラムの替わりに流延バンドを使用しても良い。

フイルム製造ライン１０において、図６に示す減圧チャンバ３６を設けて、気圧計１０１からの空気圧情報に基づいて、流延ビード２１ａに対して抑制振動を加えた場合について、流延ダイ３０と流延ドラム３２との距離ｈ＝３．５ｍｍ、減圧チャンバ３６の減圧度ｐ＝−４０Ｐａ、ドープ粘度μ＝４５Ｐａ・ｓ、ダイリップクリアランスｃｌ＝０．９ｍｍ、流延速度ｖ＝５０ｍ／分、ベース厚みｔ＝８０μｍの条件でフイルムの製膜を行った。この時、リボン長Ｌ＝１９ｍｍで、減圧チャンバ３６の静圧変動幅がΔＰ＝２．４Ｐａと検出され、静圧変動幅ΔＰ＝１．５Ｐａの逆位相の抑制振動を与えた結果、フイルムの長手方向（流延方向）での周期的な段状の厚みムラは０．１％未満で検出されず、また目視でも見られなかった。ここで、厚みムラ率ｄは、厚み変動幅の平均値／平均厚みで表される値であり、凸凹の大きさを意味する。特開２００２−１０３３５８に記載されているピッチと厚みムラの関係式から、合否を判断した。この関係式を満たす場合には、厚みムラ評価は合格とし、満たさない場合には不合格とした。

＜比較例１＞
フイルム製造ライン１０に対して、図６に示す減圧チャンバ３６を設けて、流延ビード２１ａに対して抑制振動を付加せずに、その他の条件は実施例１と同様にしてフイルムの製膜を行った。この時、厚みムラのピッチａ＝２．４ｃｍ、厚みムラ率ｄは、５．３％であり、厚みムラ評価は不合格であった。

＜比較例２＞
実施例１において、振幅ΔＰ＝２．５Ｐａの逆位相の抑制振動を与えた。その他の条件は実施例１と同様にしてフイルムの製膜を行った。この時、厚みムラのピッチａ＝２．４ｃｍ、厚みムラ率ｄは、２．０％であり、逆位相の抑制振動を与えない比較例１の場合よりも、厚みムラの発生は抑えられたものの、厚みムラ評価は不合格であった。

＜比較例３＞
実施例１において、振幅ΔＰ＝０．５Ｐａの逆位相の抑制振動を与えた。その他の条件は実施例１と同様にしてフイルムの製膜を行った。この時、厚みムラのピッチａ＝２．４ｃｍ、厚みムラ率ｄは、３．０％であり、逆位相の抑制振動を与えない、比較例１の場合よりも、厚みムラの発生は抑えられたものの、厚みムラ評価は不合格であった。

以上の結果から、流延ビードに抑制振動を与えてフイルムを製膜した場合、抑制振動を与えない場合よりも、周期的な段状の厚みムラの発生を抑制できることを確認した。

フイルム製造ラインの概要を示す説明図である。流延室内の構成を示す概略側面図であり、流延ビードの振動を検出するためのカメラと、振動を抑制するためのスピーカを設けた場合を示している。流延室内の構成を示す正面図であり、流延ビードの振動を検出するためにカメラを設けた場合を示している。流延室内の構成を示す概略側面図であり、流延ビードの振動を検出するために距離計を用いた場合を示している。流延室内の構成を示す正面図であり、流延ビードの振動を抑制するために圧電素子部を設けた場合を示している。流延室内の構成を示す概略側面図であり、流延ビードの振動を検出するために、減圧チャンバ内に気圧計を用いた場合を示している。

符号の説明

１０フイルム製造ライン
２１ドープ
２１ａ流延ビード
３０流延ダイ
３２流延ドラム
３３流延膜
３４剥取ローラ
３６減圧チャンバ
７６ａ，７６ｂカメラ
７７，８１，１１１制御部
７７ａ，８１ａ，１１１ａ振動検出部
７７ｂ，８１ｂ，１１１ｂ抑制振動生成部
７８スピーカ
８０距離計
９０圧電素子部

Claims

走行する支持体上に流延ダイから、ポリマー及び溶媒を含むドープを流延して流延ビードとし、この流延ビードにより前記支持体上に帯状の流延膜を形成し、前記流延膜が固化した後にこの流延膜を前記支持体から剥ぎ取ってフイルムを製造する溶液製膜方法において、
前記流延ダイに対し前記支持体走行方向の上流側に減圧チャンバを備え、
前記流延ビードに発生している厚み方向での振動を抑制するために、前記厚み方向での振動を抑えるために前記厚み方向での振動と逆位相で振幅が元の振幅の０．２倍以上〜１倍以下の抑制振動を前記流延ビードに加える振動抑制工程と、
前記振動を検出する振動検出工程と、
を有し、
前記振動検出工程は、前記減圧チャンバ内の空気圧変動に基づき前記振動を特定することと、
前記振動検出工程により検出した振動に基づき前記減圧チャンバ内で抑制振動信号を生成し、この抑制振動信号に基づき音波を発生させて前記流延ビードに前記抑制振動を加える音波発生工程を含むこととを特徴とする溶液製膜方法。
走行する支持体上に流延ダイから、ポリマー及び溶媒を含むドープを流延して流延ビードとし、この流延ビードにより前記支持体上に帯状の流延膜を形成し、前記流延膜が固化した後にこの流延膜を前記支持体から剥ぎ取ってフイルムを製造する溶液製膜方法において、
前記流延ダイに対し前記支持体走行方向の上流側に減圧チャンバを備え、
前記流延ビードに発生している厚み方向での振動を抑制するために、前記厚み方向での振動を抑えるために前記厚み方向での振動と逆位相で振幅が元の振幅の０．２倍以上〜１倍以下の抑制振動を前記流延ビードに加える振動抑制工程と、
前記振動を検出する振動検出工程と、
を有し、
前記振動検出工程は、前記流延ダイの端部方向から前記流延ビードの側面を撮像し、この撮影画像に基づき前記振動を特定することと、
前記振動検出工程により検出した振動に基づき前記減圧チャンバ内で抑制振動信号を生成し、この抑制振動信号に基づき音波を発生させて前記流延ビードに前記抑制振動を加える音波発生工程を含むこととを特徴とする溶液製膜方法。
走行する支持体上に流延ダイから、ポリマー及び溶媒を含むドープを流延して流延ビードとし、この流延ビードにより前記支持体上に帯状の流延膜を形成し、前記流延膜が固化した後にこの流延膜を前記支持体から剥ぎ取ってフイルムを製造する溶液製膜方法において、
前記流延ダイに対し前記支持体走行方向の上流側に減圧チャンバを備え、
前記流延ビードに発生している厚み方向での振動を抑制するために、前記厚み方向での振動を抑えるために前記厚み方向での振動と逆位相で振幅が元の振幅の０．２倍以上〜１倍以下の抑制振動を前記流延ビードに加える振動抑制工程と、
前記振動を検出する振動検出工程と、
を有し、
前記振動検出工程は、前記流延ダイに対し前記支持体走行方向上流側または下流側に配置される距離測定部により、前記流延ビードの幅方向における複数点の距離を測定し、この距離データに基づき前記振動を特定することと、
前記振動検出工程により検出した振動に基づき前記減圧チャンバ内で抑制振動信号を生成し、この抑制振動信号に基づき音波を発生させて前記流延ビードに前記抑制振動を加える音波発生工程を含むこととを特徴とする溶液製膜方法。
前記音波発生工程では、前記流延ビードの幅方向に複数個設けたスピーカにより前記音波を発生させることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項記載の溶液製膜方法。
前記振動検出工程により検出した振動に基づき抑制振動信号を生成し、この抑制振動信号に基づき、前記流延ダイに設けた振動発生部材を駆動し前記流延ビードに前記抑制振動を加える振動発生工程を含むことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項記載の溶液製膜方法。
前記振動発生部材は、前記流延ビードの幅方向に複数個設けられていることを特徴とする請求項５記載の溶液製膜方法。
走行する支持体上に流延ダイから、ポリマー及び溶媒を含むドープを流延して流延ビードとし、この流延ビードにより前記支持体上に帯状の流延膜を形成し、前記流延膜が固化した後にこの流延膜を前記支持体から剥ぎ取ってフイルムを製造する溶液製膜設備において、
前記流延ダイに対し前記支持体走行方向の上流側に設けられる減圧チャンバと、
前記減圧チャンバ内の空気圧振動に基づき前記流延ビードに発生している厚み方向での振動を特定して検出する振動検出部と、
前記厚み方向での振動を抑制するために、前記振動検出部により検出した振動に基づき前記減圧チャンバ内で振動抑制信号を生成し、この抑制振動信号に基づき前記流延ビードに前記厚み方向での振動と逆位相で振幅が元の振幅の０．２倍以上〜１倍以下の抑制振動を加える抑制振動付与部とを備えた振動抑制装置とを有することを特徴とする溶液製膜設備。
走行する支持体上に流延ダイから、ポリマー及び溶媒を含むドープを流延して流延ビードとし、この流延ビードにより前記支持体上に帯状の流延膜を形成し、前記流延膜が固化した後にこの流延膜を前記支持体から剥ぎ取ってフイルムを製造する溶液製膜設備において、
前記流延ダイに対し前記支持体走行方向の上流側に設けられる減圧チャンバと、
前記流延ダイの端部方向から前記流延ビードの側面を撮像し、この撮影画像に基づき前記流延ビードに発生している厚み方向での振動を特定して検出する振動検出部と、
前記厚み方向での振動を抑制するために、前記振動検出部により検出した振動に基づき前記減圧チャンバ内で振動抑制信号を生成し、この抑制振動信号に基づき前記流延ビードに前記厚み方向での振動と逆位相で振幅が元の振幅の０．２倍以上〜１倍以下の抑制振動を加える抑制振動付与部とを備えた振動抑制装置とを有することを特徴とする溶液製膜設備。
走行する支持体上に流延ダイから、ポリマー及び溶媒を含むドープを流延して流延ビードとし、この流延ビードにより前記支持体上に帯状の流延膜を形成し、前記流延膜が固化した後にこの流延膜を前記支持体から剥ぎ取ってフイルムを製造する溶液製膜設備において、
前記流延ダイに対し前記支持体走行方向の上流側に設けられる減圧チャンバと、
前記流延ダイに対し前記支持体走行方向上流側または下流側に配置される距離測定部により、前記流延ビードの幅方向における複数点の距離を測定し、この距離データに基づき前記流延ビードに発生している厚み方向での振動を特定して検出する振動検出部と、
前記厚み方向での振動を抑制するために、前記振動検出部により検出した振動に基づき前記減圧チャンバ内で振動抑制信号を生成し、この抑制振動信号に基づき前記流延ビードに前記厚み方向での振動と逆位相で振幅が元の振幅の０．２倍以上〜１倍以下の抑制振動を加える抑制振動付与部とを備えた振動抑制装置とを有することを特徴とする溶液製膜設備。