JP2009075587A - ２軸駆動電磁気スキャナー - Google Patents

Abstract

【課題】ミラーの変形を防止しつつミラーを直接駆動させることができ、かつ、ノイズを防止して解像度を向上させつつ消費電力を低減できる２軸駆動電磁気スキャナーを提供する。
【解決手段】この電磁気スキャナー１００は、第１軸に対して回動可能に形成された外側駆動部１２０と、上記第１軸に直交する第２軸に対して回動可能に上記外側駆動部１２０の内側に懸架された内側駆動部１３３と、上記内側駆動部１３３の上部に配置され、上記内側駆動部１３３と共に回動するステージ１３１と、を備え、上記ステージ１３１は、上記ステージ１３１の下部の中心から突出したリンク部１３６を通じて上記内側駆動部１３３と連結される。
【選択図】図２

Description

本発明は、２軸駆動電磁気スキャナーに関し、特にミラーが駆動部から分離されており、直接的に駆動される構造を有する２軸駆動電磁気スキャナーに関する。

最近、例えば映像ディスプレイ装置・レーザープリンタ・精密測定・精密加工など多様な技術分野で、マイクロ電子技術（Ｍｉｃｒｏ−Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ：ＭＥＭＳ）により製造される微小構造を有するマイクロ電磁気スキャナーについての研究が活発に進められている。

磁場内のコイルに作用する電磁気力により駆動される２軸駆動電磁気スキャナーは、異なる振動軸に対してミラー面が揺動しつつ、入射光を所定の画面領域に対して水平方向及び垂直方向に走査する。例えば、２軸駆動電磁気スキャナーによる水平方向への走査角変化は、高周波で往復振動する正弦波で表す。一方、２軸駆動電磁気スキャナーによる垂直方向への走査角変化は、低周波ののこぎり歯波関数で表す。特に、２軸駆動電磁気スキャナーを利用して映像を投射するためには、ミラーを、水平振動軸を中心に、例えば約６０Ｈｚののこぎり歯波形態で非共振駆動させ、垂直振動軸を中心に、例えば比較的高周波である約２０ｋＨｚのサイン波で共振駆動させることが望ましい。

かかる２軸駆動電磁気スキャナーを具現するために、多様な技術が提案された。
例えば、ミラーに第１コイルを形成し、ミラーを支持するフレームに第２コイルを形成した後、第１コイル及び第２コイルに２０ｋＨｚのサイン波水平信号及び６０Ｈｚののこぎり歯波垂直信号をそれぞれ独立的に印加する方式がある。しかし、この方式の場合、ミラーにコイルが直接形成されているため、コイルとミラーとの熱膨張係数の差によるミラーの変形が発生する。

他の方式として、ミラーを支持するフレームに一つのコイルのみを形成し、そのコイルに２０ｋＨｚのサイン波水平走査信号と６０Ｈｚののこぎり歯波垂直走査信号との合成信号を印加する方式がある。かかる方式によれば、垂直方向の駆動力と水平方向の駆動力とがいずれもフレームに作用し、ミラーは、フレームに作用する水平方向の駆動力により間接的に駆動される。しかし、この方式の場合、垂直に駆動するフレームに２０ｋＨｚの微細な水平方向の振動（すなわち、水平方向のノイズ）が存在するという問題がある。かかる水平方向のノイズにより、高解像度のスキャナーを具現するのにも限界がある。さらに、水平共振駆動の場合、フレームの駆動力を使用する間接駆動方式であるため、消費電力が増加する。

さらに他の方式として、ミラーを支持するフレームに水平走査信号用コイルと垂直走査信号用コイルとを交互に形成する方式がある。しかし、この場合にも、垂直方向の駆動力と水平方向の駆動力とがいずれもフレームに作用し、フレームに作用する水平方向の駆動力によりミラーを間接的に駆動する方式であるため、水平方向のノイズがフレームに発生する。また、コイルを交互に使用するため、駆動に必要な電流量が多くて消費電力が大きく増加する。

米国特許第５，９１２，６０８号明細書 米国特許第２００５／０２５３０５５号明細書

そこで、本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的とするところは、ミラーの変形を防止しつつミラーを直接駆動させることができ、かつ、ノイズを防止して解像度を向上させつつ消費電力を低減可能な、新規かつ改良された２軸駆動電磁気スキャナーを提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、第１軸に対して回動可能に形成された外側駆動部と、上記第１軸に直交する第２軸に対して回動可能に上記外側駆動部の内側に懸架された内側駆動部と、上記内側駆動部の上部に配置され、上記内側駆動部と共に回動するステージと、を備え、上記ステージは、上記ステージの下部の中心から突出したリンク部を通じて上記内側駆動部と連結されることを特徴とする、電磁気スキャナーが提供される。

また、上記外側駆動部の下部面に設けられ、上記外側駆動部を第１軸方向に回動する第１信号が印加される外側駆動コイルと、上記内側駆動部の下部面に設けられ、上記内側駆動部を第２軸方向に回動する第２信号が印加される内側駆動コイルと、をさらに備えてもよい。

また、上記外側駆動コイルには、低周波非共振信号が印加され、上記内側駆動コイルには、高周波共振信号が印加されてもよい。

また、上記低周波非共振信号は、のこぎり歯波信号であり、上記高周波共振信号は、正弦波信号であってもよい。

また、上記外側駆動部を回動可能に支持するフレームをさらに備えてもよい。

また、上記外側駆動部は、第１軸方向に形成された第１トーションバネを通じて上記フレームに懸架されてもよい。

また、上記内側駆動部は、第２軸方向に形成された第２トーションバネを通じて上記外側駆動部に懸架されてもよい。

また、上記外側駆動部及び上記内側駆動部は、リングの形態を有してもよい。

また、上記リンク部は、ビーム形態の連結ビームを通じて上記内側駆動部と連結されてもよい。

また、上記連結ビームは、上記リンク部の下部と上記リング状の内側駆動部の内周面との間を連結してもよい。

また、上記連結ビームは、機械的フィルタバネの役割を行ってもよい。

また、上記ビーム形態の連結ビームは、第１軸方向に平行に形成されてもよい。

また、上記リンク部は、円形の断面を有してもよい。

また、上記ステージの変形を防止するために、上記リンク部の両側側面に沿って蝶形態に突出部が形成されていてもよい。

また、慣性モーメントを減少させるために、上記外側駆動部と上記内側駆動部との上面に沿って溝が形成されていてもよい。

また、上記ステージの上面には、光を偏向走査するためのミラー面が形成されていてもよい。

以上説明したように本発明によれば、ミラーの変形を防止しつつミラーを直接駆動させることができ、かつ、ノイズを防止して解像度を向上させつつ消費電力を低減できる。

以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。

＜２軸駆動電磁気スキャナー１００の構成の概要＞
図１は、本発明の良好な実施形態による２軸駆動電磁気スキャナー１００の上面構造を概略的に示す平面図であり、図２は、前記２軸駆動電磁気スキャナー１００の背面構造を概略的に示す背面図である。

図１及び図２に示すように、本発明の良好な実施形態による前記２軸駆動電磁気スキャナー１００は、第１軸に対して回動可能に形成された外側駆動部１２０と、その外側駆動部１２０を支持するフレーム１１０と、前記第１軸に直交する第２軸に対して回動可能に形成された内側駆動部１３３と、その内側駆動部１３３と共に回動するステージ１３１と、を備える。

また、フレーム１１０の両側には、第１軸と第２軸との間の方向に均一な磁場Ｂを形成するための第１磁石Ｍ１及び第２磁石Ｍ２がそれぞれ配置される。例えば、第１磁石Ｍ１のＮ極がフレーム１１０と対向して配置され、第２磁石Ｍ２のＳ極がフレーム１１０と対向して配置される。第１磁石Ｍ１及び第２磁石Ｍ２は、例えば、永久磁石または電磁石で形成できる。

外側駆動部１２０は、第１軸方向に沿って外側駆動部１２０の両側に形成された第１トーションバネ１２１を通じてフレーム１１０内に懸架されている。したがって、外側駆動部１２０は、フレーム１１０により支持されつつ、第１トーションバネ１２１を中心に第１軸方向に対して回動する（つまり回動の中心が第１軸になる。）。本実施形態によれば、外側駆動部１２０は、内部が空いている輪（円形のリング）の形態である。図面には、外側駆動部１２０が円形の輪であると示されているが、例えば長方形または他の形態の多角形の輪（非円形のリング）で形成されてもよい。

また、図２に示すように、外側駆動部１２０の下部面には、外側駆動部１２０を第１軸方向に回動させるための外側駆動コイル１２５が設けられている。例えば、外側駆動コイル１２５は、フレーム１１０の下部面に設けられた第１電極パッドＰ１から、第１トーションバネ１２１を経て外側駆動部１２０の下部面で数回〜数十回巻き取られた後、再び第１トーションバネ１２１を経てフレーム１１０の下部面に設けられた第２電極パッドＰ２に戻る。外側駆動コイル１２５には、外側駆動部１２０を駆動させるための第１信号が印加される。外側駆動コイル１２５に第１信号が印加されれば、第１磁石Ｍ１及び第２磁石Ｍ２により形成された磁場Ｂ、及び外側駆動コイル１２５に流れる電流により発生したローレンツ力が、外側駆動部１２０を駆動させる。

外側駆動部１２０が垂直駆動を行う場合、外側駆動コイル１２５に印加される第１信号は、例えば約６０Ｈｚの低周波非共振信号でありうる。このために、外側駆動部１２０と第１トーションバネ１２１とは、それぞれ低周波振動に適した質量及び弾性剛性を有するように設計される。ここで、非共振信号とは、外側駆動部１２０の固有振動数（共振周波数）と一致しない信号を意味する。この場合、外側駆動部１２０は、外側駆動コイル１２５に印加される第１信号により非共振回動運動を行う。特に、外側駆動部１２０が映像ディスプレイ装置の垂直走査に使われる場合、第１信号は、のこぎり歯波形態の低周波非共振信号であることが適当である。

一方、ステージ１３１と内側駆動部１３３とは、外側駆動部１２０の内部に配置されている。図３の斜視図に明確に示したように、内側駆動部１３３のみが外側駆動部１２０と直接連結され、ステージ１３１は、内側駆動部１３３の上面に配置される。内側駆動部１３３は、第２軸方向に沿って内側駆動部１３３の両側に形成された第２トーションバネ１３２を通じて外側駆動部１２０の内部に懸架されている。したがって、内側駆動部１３３は、外側駆動部１２０により支持されつつ、第２トーションバネ１３２を中心に第２軸方向に対して回動される（つまり回動の中心が第２軸になる。）。ここで、第１軸方向と第２軸方向とは、互いに直交する方向である。したがって、第１トーションバネ１２１と第２トーションバネ１３２との延長線も互いに直交する。

図２に示すように、内側駆動部１３３も内部が空いている輪の形態である。図面には、内側駆動部１３３が円形の輪であると示されているが、例えば長方形または他の形態の多角形の輪で形成されてもよい

かかる輪形態の内側駆動部１３３の下部面には、図２に示すように、内側駆動部１３３を第２軸方向に回動させるための内側駆動コイル１３４が設けられている。例えば、内側駆動コイル１３４は、フレーム１１０の下部面に設けられた第３電極パッドＰ３から、第１トーションバネ１２１と第２トーションバネ１３２とを経て内側駆動部１３３の下部面で数回〜数十回巻き取られた後、再び第１トーションバネ１２１と第２トーションバネ１３２とを経てフレーム１１０の下部面に設けられた第４電極パッドＰ４に戻る。内側駆動コイル１３４には、内側駆動部１３３を駆動させるための第２信号が印加される。内側駆動コイル１３４に第２信号が印加されれば、第１磁石Ｍ１及び第２磁石Ｍ２により形成された磁場Ｂと、内側駆動コイル１３４に流れる電流とにより発生したローレンツ力により内側駆動部１３３を駆動させる。

内側駆動部１３３が水平駆動を行う場合、内側駆動コイル１３４に印加される第２信号は、例えば約２０ｋＨｚの高周波共振信号でありうる。このために、内側駆動部１３３と第２トーションバネ１３２とは、それぞれ高周波振動に適した質量及び弾性剛性を有するように設計される。例えば、内側駆動部１３３と第２トーションバネ１３２との固有振動数を第２信号の周波数のような約２０ｋＨｚに設計できる。この場合、内側駆動部１３３は、内側駆動コイル１３４に印加される第２信号により共振回動運動を行う。特に、内側駆動部１３３が映像ディスプレイ装置の水平走査に使われる場合、第２信号は、正弦波形態の高周波共振信号であることが適当である。

本実施形態による２軸駆動電磁気スキャナー１００のステージ１３１の上面には、光を偏向走査するためのミラー面が形成される。かかるステージ１３１は、内側駆動部１３３と連結されて、内側駆動部１３３と共に第２軸に対して回動する。ステージ１３１と内側駆動部１３３との連結は、図２に示すように、ステージ１３１の下部の中心から突出したリンク部１３６を通じて行われる。また、リンク部１３６は、内側駆動部１３３と直接連結されず、ビーム形態の連結ビーム１３５を通じて内側駆動部１３３と連結される。

＜ステージ１３１等の連結＞
かかるステージ１３１、内側駆動部１３３、リンク部１３６及び連結ビーム１３５の連結関係を、図４〜図７にさらに明確に示す。図４は、図１に示した２軸駆動電磁気スキャナー１００のＩ−Ｉ断面（すなわち、第１軸方向の断面）の構造を概略的に示し、図５は、図４に示した２軸駆動電磁気スキャナー１００の断面を斜視図の形態として示している。また、図６は、図１に示した２軸駆動電磁気スキャナー１００のＩＩ−ＩＩ断面（すなわち、第２軸方向の断面）の構造を概略的に示し、図７は、図６に示した２軸駆動電磁気スキャナー１００の断面を斜視図の形態として示している。

図４〜図７に示すように、リング形態を有する外側駆動部１２０は、第１トーションバネ１２１を通じてフレーム１１０に回動可能に支持され、外側駆動部１２０の下部面には、外側駆動コイル１２５が設けられる。また、リング形態を有する内側駆動部１３３は、第１トーションバネ１２１と直交する第２トーションバネ１３２を通じて外側駆動部１２０に回動可能に支持され、内側駆動部１３３の下部面には、内側駆動コイル１３４が設けられる。

そして、円板形態のステージ１３１は、内側駆動部１３３の上部に配置されている。より具体的に、ステージ１３１と内側駆動部１３３との連結状態について説明する。ステージ１３１の裏面、つまり、内側駆動部１３３が配置された方向の面には、図４に示すように、突出形成されたリンク部１３６が形成される。このリンク部１３６は、円板状のステージ１３１の略中心から、中心軸が一致するように円柱状に突出形成される。そして、円柱形態を有するリンク部１３６の上部は、ステージ１３１の下部の中心に連結され、リンク部１３６の下部は、リング形態の内側駆動部１３３の内部（略中央）に位置する。そして、ビーム形態を有する連結ビーム１３５が、リンク部１３６の下部と内側駆動部１３３とを連結する。例えば、ビーム形態の連結ビーム１３５は、リンク部１３６の下部（下部外周であってもよい。）と内側駆動部１３３の内周面とを連結する。なお、連結ビーム１３５は、例えば、リンク部１３６及び内側駆動部１３３の少なくとも一方と一体に形成されてもよい。また、このビーム形態の連結ビーム１３５は、例えば、リンク部１３６と内側駆動部１３３との間を繋ぐ四角柱形に形成されてもよい。更に、この連結ビーム１３５は、例えば、適切な形態に材料をエッチングすることによって他の部分と一緒に同時に形成することも可能である。

かかる本発明によれば、ミラー面が形成されているステージ１３１がリンク部１３６を通じて内側駆動部１３３と別個の構造で分離されている。その結果、内側駆動部１３３にコイルを設置して内側駆動部１３３を直接駆動しても、ステージ１３１の上面に形成されたミラー面が変形しない。したがって、従来に比べて電力消費を低減し、かつミラー面の変形なしにステージ１３１を高周波で水平共振駆動できる。

また、本実施形態によれば、リンク部１３６の下部と内側駆動部１３３の内周面との間に連結された連結ビーム１３５は、例えば棒状のビームのような形態で形成され、ツイストに対する弾性でバネのように作用することにより、機械的なフィルタバネ（Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｆｉｌｔｅｒ Ｓｐｒｉｎｇ）の役割を行える。このために、ビーム形態を有する連結ビーム１３５は、第１軸方向に平行に形成されることが望ましい。すなわち、連結ビーム１３５は、第１トーションバネ１２１の延長線上に位置し、第２トーションバネ１３２の延長線と直交する。かかる方式により、リンク部１３６がビーム形態の連結ビーム１３５を通じて内側駆動部１３３と間接的に連結されるため、内側駆動部１３３で発生する高周波ノイズが除去される。つまり、連結ビーム１３５が第１軸方向に平行に形成されることにより、第１軸を中心とした回動方向への振動（高周波ノイズ）は、その第１軸方向に延設された連結ビーム１３５のねじれ（トーション）と、ステージ１３１の慣性力により吸収される。従って、連結ビーム１３５は、高周波ノイズを除去するフィルタのような役割を担うことができる。したがって、ステージ１３１と外側駆動部１２０との間にノイズの伝達が抑制されるので、従来に比べて高い解像度を達成することが可能である。

＜変更例１＞
一方、図８は、本発明の他の実施形態による２軸駆動電磁気スキャナー１００のリンク部１３６の断面図を例示的に示している。図２に示した実施形態の場合、リンク部１３６は、円形の断面を有する。この場合、ステージ１３１とリンク部１３６との連結部位近辺でステージ１３１の変形が発生することもある。かかる変形を更に確実に防止するために、図８に示したように、リンク部１３６の両側側面に沿って突出部１３７が、さらに形成されてもよい。例えば、リンク部１３６の両側にそれぞれ平行な二つずつの突出部１３７を対称的な蝶形態に形成できる。つまり、突出部１３７は、例えば、連結ビーム１３５の両脇に、連結ビーム１３５に沿って形成することができる。これにより、突出部１３７により、連結ビーム１３５が接続されるリンク部１３６の付け根の部位の強度が高まるため、ステージ１３１とリンク部１３６との連結部位近辺でステージ１３１の変形が抑制される。

＜変更例２＞
また、図９は、本発明の更に他の実施形態による２軸駆動電磁気スキャナー１００の構造を概略的に示す断面図である。図９に示すように、リング形態を有する外側駆動部１２０と内側駆動部１３３との上面に沿ってそれぞれ溝１２６，１３８が形成されている。このように形成された溝１２６，１３８は、外側駆動部１２０と内側駆動部１３３との質量をそれぞれ減少させる。したがって、外側駆動部１２０と内側駆動部１３３とを駆動させるための消費電力をさらに低減させることができる。さらに、外側駆動部１２０と内側駆動部１３３との質量減少により、外側駆動部１２０と内側駆動部１３３との慣性モーメントが大きく減少する。その結果、外側駆動部１２０と内側駆動部１３３との反応時間が速くなり、さらに正確に動作を制御することが可能である。

＜まとめ＞
以上、本発明の各実施形態に係る２軸駆動電磁気スキャナー１００について説明した。
本発明の各実施形態によれば、内側駆動部１３３に別途の独立的な駆動用コイル１３４を形成して内側駆動部１３３を直接駆動するため、消費電力が低減される。

また、ミラー面が内側駆動部１３３に直接形成されず、リンク部１３６を通じて内側駆動部１３３と連結されるステージ１３１上に形成されるため、ミラー面の変形を防止できる。

また、ビーム形態の連結ビーム１３５を通じてリンク部１３６と内側駆動部１３３とが連結されるため、内側駆動部１３５と外側駆動部１２０との間のノイズを除去することが可能である。

さらに、上記各実施形態は、構造が簡単であるため、製造工程が容易であり、２軸駆動電磁気スキャナー１００の全体的なサイズを縮小させることができる。

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明はかかる例に限定されないことは言うまでもない。本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。

本発明は、精密電子機器関連の技術分野に適用可能である。

本発明の良好な実施形態による２軸駆動電磁気スキャナーの上面構造を概略的に示す平面図である。 本発明の良好な実施形態による２軸駆動電磁気スキャナーの背面構造を概略的に示す背面図である。 図１に示した２軸駆動電磁気スキャナーの外側及び内側駆動部を概略的に示す斜視図である。 図１に示した２軸駆動電磁気スキャナーのＩ−Ｉ断面構造を概略的に示す断面図である。 図４に示した２軸駆動電磁気スキャナーの断面を示す斜視図である。 図１に示した２軸駆動電磁気スキャナーのＩＩ−ＩＩ断面構造を概略的に示す断面図である。 図６に示した２軸駆動電磁気スキャナーの断面を示す斜視図である。 本発明の他の実施形態による２軸駆動電磁気スキャナーのリンク部の断面図を例示的に示す図面である。 本発明の他の実施形態による２軸駆動電磁気スキャナーの構造を概略的に示す断面図である。

符号の説明

１００ ２軸駆動電磁気スキャナー
１１０ フレーム
１２０ 外側駆動部
１２１ 第１トーションバネ
１２５ 外側駆動コイル
１３１ ステージ
１３２ 第２トーションバネ
１３３ 内側駆動部
１３４ 内側駆動コイル
１３５ 連結ビーム
１３６ リンク部
Ｂ 磁場
Ｍ１ 第１磁石
Ｍ２ 第２磁石
Ｐ１ 第１電極パッド
Ｐ２ 第２電極パッド
Ｐ３ 第３電極パッド
Ｐ４ 第４電極パッド

Claims (16)

1. 第１軸に対して回動可能に形成された外側駆動部と、
   前記第１軸に直交する第２軸に対して回動可能に前記外側駆動部の内側に懸架された内側駆動部と、
   前記内側駆動部の上部に配置され、前記内側駆動部と共に回動するステージと、
   を備え、
   前記ステージは、前記ステージの下部の中心から突出したリンク部を通じて前記内側駆動部と連結されることを特徴とする、電磁気スキャナー。
2. 前記外側駆動部の下部面に設けられ、前記外側駆動部を第１軸方向に回動する第１信号が印加される外側駆動コイルと、
   前記内側駆動部の下部面に設けられ、前記内側駆動部を第２軸方向に回動する第２信号が印加される内側駆動コイルと、
   をさらに備えることを特徴とする、請求項１に記載の電磁気スキャナー。
3. 前記外側駆動コイルには、低周波非共振信号が印加され、
   前記内側駆動コイルには、高周波共振信号が印加されることを特徴とする、請求項２に記載の電磁気スキャナー。
4. 前記低周波非共振信号は、のこぎり歯波信号であり、
   前記高周波共振信号は、正弦波信号であることを特徴とする、請求項３に記載の電磁気スキャナー。
5. 前記外側駆動部を回動可能に支持するフレームをさらに備えることを特徴とする、請求項１に記載の電磁気スキャナー。
6. 前記外側駆動部は、第１軸方向に形成された第１トーションバネを通じて前記フレームに懸架されることを特徴とする、請求項５に記載の電磁気スキャナー。
7. 前記内側駆動部は、第２軸方向に形成された第２トーションバネを通じて前記外側駆動部に懸架されることを特徴とする、請求項６に記載の電磁気スキャナー。
8. 前記外側駆動部及び前記内側駆動部は、リングの形態を有することを特徴とする、請求項１に記載の電磁気スキャナー。
9. 前記リンク部は、ビーム形態の連結ビームを通じて前記内側駆動部と連結されることを特徴とする、請求項８に記載の電磁気スキャナー。
10. 前記連結ビームは、前記リンク部の下部と前記リング状の内側駆動部の内周面との間を連結することを特徴とする、請求項９に記載の電磁気スキャナー。
11. 前記連結ビームは、機械的フィルタバネの役割を行うことを特徴とする、請求項１０に記載の電磁気スキャナー。
12. 前記ビーム形態の連結ビームは、第１軸方向に平行に形成されたことを特徴とする、請求項９に記載の電磁気スキャナー。
13. 前記リンク部は、円形の断面を有することを特徴とする、請求項８に記載の電磁気スキャナー。
14. 前記ステージの変形を防止するために、前記リンク部の両側側面に沿って蝶形態に突出部が形成されていることを特徴とする、請求項１３に記載の電磁気スキャナー。
15. 慣性モーメントを減少させるために、前記外側駆動部と前記内側駆動部との上面に沿って溝が形成されていることを特徴とする、請求項８に記載の電磁気スキャナー。
16. 前記ステージの上面には、光を偏向走査するためのミラー面が形成されていることを特徴とする、請求項１に記載の電磁気スキャナー。

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