JP2006227144A - 光走査装置及び画像表示装置 - Google Patents

Abstract

【課題】二次元方向に配列する画素に合わせて正確に光を走査することが可能な光走査装置等を提供すること。
【解決手段】ビーム状の光を供給する光源部と、光源部からの光を反射する反射ミラー２０５と、反射ミラー２０５と一体に設けられ、反射ミラー２０５で反射した光を、第１の方向と、第１の方向に略直交する第２の方向へ走査するように変位する可動部１０４と、を有し、可動部１０４は、第１の方向へ光を走査する周波数が、第２の方向へ光を走査する周波数に比べて高くなるように変位し、反射ミラー２０５は、可動部１０４に連動して変位するほか、さらに第１の方向とは異なる方向へ光を走査するように変位することにより、可動部１０４の変位に応じて走査する光の位置を補正する。
【選択図】 図２−１

Description

本発明は、光走査装置及び画像表示装置、特に、画像信号に応じて変調されたレーザ光を走査することで画像を表示するための光走査装置の技術に関する。

レーザプリンタや、レーザ光を走査することで画像を表示するディスプレイには、レーザ光を走査する光走査装置が用いられる。光走査装置は、レーザ光を反射する反射ミラーを変位させることにより、光源からのレーザ光の進行方向を変化させる。レーザ光の走査には、例えば、複数の反射ミラーを回転させるポリゴンミラーを用いることができる。レーザプリンタによるプリントの高速化や、ディスプレイで表示する画像の高解像度化の要請から、光走査装置は、光を高速に走査することが求められている。ポリゴンミラーを用いて光を高速に走査させるためには、ポリゴンミラーを高速に回転させることが考えられる。しかしながら、ポリゴンミラーは、回転速度を向上させていくに従い、重心のずれや遠心力の影響等により、ミラーの傾きや撓みを起こし易くなる。ミラーの傾きや撓みが起きると、光走査装置は、レーザ光を正確な位置に走査させることが難しくなる。光を走査するための構成としては、ポリゴンミラーの他に、単独の反射ミラーを振動させる構成が考えられる。複数のポリゴンミラーより小型かつ軽量にできることから、単独の反射ミラーを用いる場合、高速な駆動を安定して行うことが可能となる。また、反射ミラーを共振周波数で駆動することにより、小型な反射ミラーを用いて大きい振幅でレーザ光を走査することもできる。

レーザ光の走査により画像の形成や表示を行う場合、光走査装置は、レーザ光を二次元方向に走査する必要がある。反射ミラーを用いて二次元方向にレーザ光を走査するためには、例えば、反射ミラーを共振させることで水平方向への走査を行い、水平方向への走査よりも遅い速度で垂直方向への走査を行う。この場合、水平方向へレーザ光が１回走査する間に、レーザ光の位置は垂直方向についても移動することから、レーザ光はサイン波形状の軌跡を描くように走査することとなる。このことから、水平方向へ１回レーザ光が走査する間に、レーザ光の入射位置は垂直方向についてずれを生じてしまう。画素が二次元方向にマトリクス状に配列している画像のプリントや表示を行う場合、このようなずれを生じることにより、画質の劣化を引き起こすことがある。また、レーザ光の位置のずれを補正するために、レーザ光の入射位置に応じた新たな画像信号を作り直すことも困難である。このようなレーザ光の入射位置のずれを補正するために、反射ミラーとは別に新たに補正用のミラーを設けることが提案されている。レーザ光の入射位置のずれを補正するためのミラーを設ける技術は、例えば、特許文献１に提案されている。

特表２００３−５１３３３２号公報

特許文献１に提案されている技術によると、レーザ光を二次元方向に走査するための反射ミラーの位置とは異なる位置に補正用のミラーが設けられる。１つの光走査装置に２つのスキャンデバイスを設けることとなると、光走査装置の大型化を招くことが考えられる。また、２つのミラーを設けることで構造が複雑になる上、光軸の調整も難しいことから、製造コストが高騰するとも考えられる。このように、従来の技術を用いても、レーザ光を二次元方向に走査する場合に、画素の配列に合わせて正確にレーザ光を走査することが困難であるという問題がある。本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであり、二次元方向に配列する画素に合わせて正確に光を走査することが可能な光走査装置、及び高品質な画像を表示することが可能な画像表示装置を提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明によれば、ビーム状の光を供給する光源部と、光源部からの光を反射する反射ミラーと、反射ミラーと一体に設けられ、反射ミラーで反射した光を、第１の方向と、第１の方向に略直交する第２の方向へ走査するように変位する可動部と、を有し、可動部は、第１の方向へ光を走査する周波数が、第２の方向へ光を走査する周波数に比べて高くなるように変位し、反射ミラーは、可動部に連動して変位するほか、さらに第１の方向とは異なる方向へ光を走査するように変位することにより、可動部の変位に応じて走査する光の位置を補正することを特徴とする光走査装置を提供することができる。

反射ミラーは、可動部の変位に連動して変位することにより、光源部からの光を二次元方向に走査する。反射ミラーは、第１の方向へ１回光を走査する間に第２の方向へも光が走査する位置を移動させる。このため、反射ミラーが可動部の変位に連動して変位する場合、光源部からの光は、サイン波形状の軌跡を描くように走査する。本発明では、反射ミラーは、可動部に連動して変位するほかに、さらに光の位置を補正するように変位する。反射ミラーは、第１の方向とは異なる方向へ光を走査するように変位することにより、第１の方向へ走査している光の、第２の方向についての位置を補正する。例えば、画素が二次元方向にマトリクス状に配列している画像のプリントや表示を行う場合に、水平方向へ走査する光の、垂直方向についての位置のずれを補正することが可能になる。このようにして、二次元方向に配列する画素に合わせて正確に光を走査することができる。可動部と一体に設けられた反射ミラーを用いて走査する光の位置を補正する構成とすることから、光走査装置の大型化や構造の複雑化を回避することが可能である。これにより、二次元方向に配列する画素に合わせて正確に光を走査することが可能な光走査装置を得られる。

また、本発明の好ましい態様によれば、反射ミラーは、第２の方向へ光を走査するように変位することにより、走査する光の位置を補正することが望ましい。第２の方向へ光を走査するように変位することにより、第２の方向についての光の位置を補正することが可能となる。これにより、第１の方向へ走査している光の、第２の方向についての位置を補正することができる。さらに好ましくは、反射ミラーは、可動部が第２の方向へ光を走査させる向きとは逆向きに光を走査することで光の位置を補正することが望ましい。これにより、さらに画素の配列に合わせて光を走査することができる。

また、本発明の好ましい態様によれば、反射ミラーは、可動部が第１の方向へ光を走査するように変位する周波数より高い周波数で変位することにより、走査する光の位置を補正することが望ましい。第１の方向へ光を走査するように変位する周波数より高い周波数で反射ミラーが変位すると、走査する光の位置を補正することが可能となる。これにより、走査する光の位置を補正することができる。

また、本発明の好ましい態様としては、反射ミラーは、可動部が第１の方向へ光を走査するように変位する周波数の略２倍の周波数で変位することにより、走査する光の位置を補正することが望ましい。これにより、第１の方向へレーザ光を走査するごとにレーザ光の位置を補正し、レーザ光の位置を画素の配列に合わせることが可能となる。

また、本発明の好ましい態様としては、可動部を駆動する第１の駆動部と、光の位置を補正するように反射ミラーを駆動する第２の駆動部と、を有することが望ましい。第１の駆動部とは別に第２の駆動部を設けることにより、可動部の駆動とは別に、光の位置を補正するように反射ミラーを駆動することができる。また、可動部の変位と比較して、光の位置を補正するための変位はきわめて小さくできることから、第２の駆動部も簡易かつ小型にすることが可能である。このため、例えば、第２の駆動部を可動部と一体に設けることができる。これにより、走査する光の位置を補正することができる。

また、本発明の好ましい態様としては、可動部を駆動する駆動部を有し、反射ミラーは、駆動部により駆動する可動部からの振動を用いて、走査する光の位置を補正するように変位することが望ましい。可動部からの振動を用いて、光の位置を補正するように反射ミラーを変位することから、補正のための独自の駆動部が不要である。これにより、さらに簡易な構成により、走査する光の位置を補正することができる。

さらに、本発明によれば、ビーム状の光を供給する光源部と、光源部からの光を反射し、かつ、反射した光を、第１の方向と、前記第１の方向に略直交する第２の方向へ走査するように変位する反射ミラーと、を有し、反射ミラーは、第１の方向へ光を走査する周波数が、第２の方向へ光を走査する周波数に比べて高くなるように変位し、さらに、第１の方向へ光を走査する周波数より高い周波数で第１の方向とは異なる方向へ光を走査するように共振することにより、走査する光の位置を補正することを特徴とする光走査装置を提供することができる。

反射ミラーは、第１の方向へ１回光を走査する間に第２の方向へも光が走査する位置を移動させる。走査する光の位置の補正を行わない場合、光源部からの光は、サイン波形状の軌跡を描くように走査する。本発明では、反射ミラーは、さらに、光の位置を補正するように変位する。反射ミラーは、第１の方向とは異なる方向へ光を走査するように変位することにより、第１の方向へ走査している光の、第２の方向についての位置を補正する。例えば、画素が二次元方向にマトリクス状に配列している画像のプリントや表示を行う場合に、水平方向へ走査する光の、垂直方向についての位置のずれを補正することが可能になる。このようにして、二次元方向に配列する画素に合わせて正確に光を走査することができる。また、第１の方向へ光を走査するように変位する周波数より高い周波数で反射ミラーが共振すると、走査する光の位置を補正することが可能となる。走査する光の位置を補正するための新たなミラーを設ける必要が無いことから、光走査装置の大型化や構造の複雑化を回避することが可能である。これにより、画素の配列に合わせて正確に光を走査することが可能な光走査装置を得られる。

また、本発明の好ましい態様としては、反射ミラーを駆動する駆動部を有し、反射ミラーは、駆動部により発生する駆動力に応じて、走査する光の位置を補正することが望ましい。反射ミラーは、駆動部により発生する駆動力、例えば静電力、圧電素子の伸縮力、電磁力等を用いることで、第１の方向と第２の方向とへ光を走査するように変位するほか、第１の方向とは異なる方向へ光を走査するように共振することが可能となる。静電力により反射ミラーを駆動するには、反射ミラーと、駆動部である電極との間に電圧を印加する構成を用いることができる。圧電素子の伸縮力により反射ミラーを駆動する場合、駆動部である圧電素子に電圧を印加する構成を用いることができる。電磁力により反射ミラーを駆動するには、駆動部としてコイル及び磁石を設け、コイルに電流を供給する構成とすることができる。これにより、走査する光の位置を補正することができる。

また、本発明の好ましい態様としては、複数の駆動部を有し、反射ミラーは、駆動部ごとに駆動力の大きさを調節することにより、走査する光の位置を補正することが望ましい。例えば、静電力を用いて反射ミラーを駆動する場合、静電力の大きさは、反射ミラーと電極との間の印加電圧のほか、例えば、電極の大きさや、電極と反射ミラーとの距離に応じて調節することができる。圧電素子の伸縮力を用いて反射ミラーを駆動する場合、圧電素子の伸縮力の大きさは、圧電素子への印加電圧や圧電素材の大きさ等に応じて調節することができる。電磁力を用いて反射ミラーを駆動する場合、電磁力の大きさは、コイルへ供給する電流量、コイルの巻数、磁石の強さに応じて調節することができる。駆動部ごとに駆動力の大きさを調節することにより、第１の方向とは異なる方向へ光を走査するように反射ミラーが共振可能な状態を作り出すことが可能となる。これにより、第１の方向とは異なる方向へ光を走査するように反射ミラーを共振させることができる。

また、本発明の好ましい態様としては、第１の方向へ光を走査するように反射ミラーを振動させる回転軸を有し、反射ミラーは、回転軸の形状及び回転軸を設ける位置の少なくとも一方を調節することにより、走査する光の位置を補正することが望ましい。回転軸の形状の調節は、例えば、回転軸の太さや長さを異ならせることによって行うことができる。回転軸を設ける位置の調節は、例えば、反射ミラーの中心線とは異なる位置に回転軸を設けることによって行うことができる。このようにして、第１の方向とは異なる方向へ光を走査するように反射ミラーが共振可能な状態を作り出すことが可能となる。これにより、第１の方向とは異なる方向へ光を走査するように反射ミラーを共振させることができる。

さらに、本発明によれば、上記の光走査装置を有し、光走査装置からの光により所定面に画像を表示することを特徴とする画像表示装置を提供することができる。上記の光走査装置を用いることにより、二次元方向に配列する画素に合わせて正確に光を走査することができる。これにより、高品質な画像を表示することが可能な画像表示装置を得られる。

以下に図面を参照して、本発明の実施例を詳細に説明する。

図１は、本発明の実施例１に係る画像表示装置１００の概略構成を示す。画像表示装置１００は、スクリーン１１０の一方の面にレーザ光を供給し、スクリーン１１０の他方の面から出射される光を観察することで画像を鑑賞する、いわゆるリアプロジェクタである。画像表示装置１００に設けられた光走査装置１２０は、走査部２００を用いてレーザ光を走査させる。画像表示装置１００は、光走査装置１２０からの光により、所定面であるスクリーン１１０面に画像を表示する。

光源部１０１は、ビーム状の光である赤色レーザ光、緑色レーザ光、青色レーザ光を、それぞれ画像信号に応じて変調して供給する。光源部１０１には、レーザ光を変調するための変調部を設けた半導体レーザや、固体レーザを用いることができる。画像信号に応じた変調は、振幅変調、パルス幅変調のいずれを用いても良い。なお、光源部１０１の出射側には、レーザ光を、例えば、直径０．５ｍｍのビーム形状に整形する整形光学系を設けても良い。

走査部２００は、光源部１０１からのレーザ光を走査させる。走査部２００の構成の詳細については後述する。走査部２００からのレーザ光は、反射部１０５に入射する。反射部１０５は、筐体１０７の内面であって、スクリーン１１０と対向する位置に設けられている。反射部１０５に入射したレーザ光は、スクリーン１１０の方向へ進行する。筐体１０７は、筐体１０７内部の空間を密閉する。スクリーン１１０は、筐体１０７の所定の一面に設けられている。スクリーン１１０は、画像信号に応じて変調された光走査装置１２０からのレーザ光を透過させる透過型スクリーンである。反射部１０５からの光は、スクリーン１１０の、筐体１０７の内部側の面から入射した後、観察者側の面から出射する。観察者は、スクリーン１１０から出射する光を観察することで、画像を鑑賞する。

図２−１は、走査部２００の概略構成を示す。走査部２００は、可動部１０４と、可動部１０４の周囲に設けられた外枠部２０２とを有する、いわゆる二重ジンバル構造をなしている。外枠部２０２は、回転軸である第１のトーションばね２０６によって、固定部２０１に連結されている。外枠部２０２は、第１のトーションばね２０６を中心として回動する。可動部１０４は、第１のトーションばね２０６に略直交する回転軸である第２のトーションばね２０７によって、外枠部２０２に連結されている。

外枠部２０２は、第１のトーションばね２０６の捩れと、元の状態への復元とを利用して、第１のトーションばね２０６を中心として回動する。可動部１０４は、外枠部２０２が第１のトーションばね２０６を中心として回動することにより、反射ミラー２０５で反射したレーザ光をＸ方向へ走査するように変位する。また、可動部１０４は、第２のトーションばね２０７の捩れと、元の状態への復元とを利用して、第２のトーションばね２０７を中心として回動する。可動部１０４は、第２のトーションばね２０７を中心として回動することにより、反射ミラー２０５で反射したレーザ光をＹ方向へ走査するように変位する。このように、可動部１０４は、反射ミラー２０５で反射したレーザ光を、第１の方向であるＸ方向と、第１の方向に略直交する第２の方向であるＹ方向とへ走査するように変位する。

可動部１０４の表面には、反射ミラー２０５が設けられている。反射ミラー２０５は、光源部１０１からのレーザ光を反射する。反射ミラー２０５は、高反射性の部材、例えばアルミニウムや銀等の金属薄膜を形成することにより構成できる。可動部１０４は、反射ミラー２０５と一体に設けられている。反射ミラー２０５は、可動部１０４と連動して変位することにより、反射したレーザ光を、Ｘ方向とＹ方向とに走査する。

反射ミラー２０５は、回転軸である第３のトーションばね２１２によって、可動部１０４上の固定部２１１に連結されている。反射ミラー２０５は、第３のトーションばね２１２を中心として回動することにより、第２の方向であるＹ方向へ光を走査するように変位する。このように、反射ミラー２０５は、可動部１０４に連動して変位するほか、さらに第１の方向とは異なる方向である第２の方向へ光を走査するように変位することにより、走査する光の位置を補正する。

図２−２は、可動部１０４及び反射ミラー２０５を駆動するための構成を説明するものである。反射ミラー２０５がレーザ光を反射する側を表側とすると、可動部用電極２２１は、可動部１０４の裏側であって、回転軸である第２のトーションばね２０７に関して略対称な位置にそれぞれ設けられている。可動部用電極２２１は、可動部１０４を駆動する第１の駆動部である。可動部用電極２２１に電圧を印加すると、可動部用電極２２１と可動部１０４との間には、電位差に応じた駆動力、例えば静電力が発生する。２つの可動部用電極２２１に交互に電圧を印加することにより、可動部１０４は、第２のトーションばね２０７を中心として回動する。なお、外枠部２０２も、可動部１０４と同様に、第１のトーションばね２０６に関して略対称な位置に静電力を生じさせることにより、第１のトーションばね２０６を中心として回動する。外枠部２０２の回動と可動部１０４の回動とにより、反射ミラー２０５は、レーザ光をＸ方向とＹ方向とに走査するように変位する。

画像の１フレーム期間において、可動部１０４は、Ｙ方向へ１回レーザ光を走査する間に、Ｘ方向について複数回レーザ光を往復させるように変位する。このように、可動部１０４は、第１の方向であるＸ方向へレーザ光を走査する周波数が、第２の方向であるＹ方向へレーザ光を走査する周波数に比べて高くなるように変位する。なお、Ｘ方向へのレーザ光の走査を高速に行うために、可動部１０４は、第２のトーションばね２０７を中心として共振する構成とすることが望ましい。可動部１０４を共振させることにより、可動部１０４の変位量を増倍させることができる。可動部１０４の変位量を増倍させることにより、光走査装置１２０は、少ないエネルギーで効率良くレーザ光を走査することができる。

反射ミラー用電極２２２は、反射ミラー２０５の裏側であって、回転軸であるトーションばね２１２に関して略対称な位置にそれぞれ設けられている。反射ミラー用電極２２２は、走査する光の位置を補正するように反射ミラー２０５を駆動する第２の駆動部である。反射ミラー２０５についても、可動部１０４と同様に、２つの反射ミラー用電極２２２に交互に電圧を印加することにより、第３のトーションばね２１２を中心として回動する。なお、走査部２００は、例えば、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）技術により作成することができる。

図３は、反射ミラー２０５の変位によるレーザ光の位置の補正を行う前段階として、反射ミラー２０５が可動部１０４に連動して変位することにより走査するレーザ光の軌跡ＳＣ１を説明するものである。上述のように、画像の１フレーム期間において、可動部１０４は、Ｙ方向へ１回レーザ光を走査する間に、Ｘ方向について複数回レーザ光を往復させるように変位する。Ｘ方向へレーザ光が１回走査する間に、レーザ光の位置は、Ｙ方向についても、Ｘ方向へのレーザ光の移動よりも遅い速度で移動する。このため、レーザ光の軌跡ＳＣ１は、図３に示すようなサイン波形状となる。

これに対して、スクリーン１１０に表示される画像の画素は、通常、二次元方向にマトリクス状に配列している。以上から、Ｘ方向へ１回レーザ光が走査する間に、レーザ光の入射位置は、Ｙ方向についてずれを生じてしまう。レーザ光の入射位置のずれを生じることにより、画質の劣化を引き起こすことがある。また、レーザ光の位置のずれを補正するために、レーザ光の入射位置に応じた新たな画像信号を作り直すことも困難である。

図４は、反射ミラー２０５の変位によるレーザ光の位置の補正を説明するものである。反射ミラー２０５は、可動部１０４に連動して変位するほかに、第２の方向であるＹ方向について変位する。反射ミラー２０５が可動部１０４に連動してＸ方向へのレーザ光の走査を開始するとき、反射ミラー２０５は、マイナスＹ向きである紙面下向きへレーザ光を偏向させるように、レーザ光の位置を補正する。このとき、反射ミラー２０５は、レーザ光を最もマイナスＹ方向へ偏向するように変位した状態である。

次に、Ｘ方向へレーザ光が走査するに従い、反射ミラー２０５は、レーザ光を、最もマイナスＹ側の位置から、プラスＹ向きである紙面上向きへと移動させる。Ｘ方向の片道についてレーザ光の走査が完了するとき、反射ミラー２０５は、プラスＹ向きである紙面上向きへレーザ光を偏向させるように、レーザ光の位置を補正する。このとき、反射ミラー２０５は、レーザ光を最もプラスＹ側へ偏向するように変位した状態である。さらに、Ｘ方向について逆向きにレーザ光が走査を開始するとき、反射ミラー２０５は、再び、マイナスＹ向きである紙面下向きへレーザ光を偏向させるように、レーザ光の位置を補正する。このとき、反射ミラー２０５は、再び、レーザ光を最もマイナスＹ側へ偏向するように変位した状態となる。さらに、Ｘ方向をレーザ光が走査するに従い、反射ミラー２０５は、レーザ光を、最もマイナスＹ側の位置から、プラスＹ向きである紙面上向きへと移動させる。

反射ミラー２０５は、可動部１０４がマイナスＹ向きへ光を走査させるのに対して、プラスＹ向きにレーザ光を走査することで、レーザ光の位置を補正する。このように、反射ミラー２０５は、可動部１０４が第２の方向へレーザ光を走査させる向きとは逆向きにレーザ光を走査する。これにより、可動部１０４による第２の方向へのレーザ光の移動を相殺し、第１の方向へレーザ光が走査する間、第２の方向についてレーザ光の位置が略同一となるようにレーザ光の位置を補正することができる。このようにして、スクリーン１１０におけるレーザ光の入射位置は、サイン波形状の軌跡ＳＣ１から、矩形波に近い形状の軌跡ＳＣ２をとるように補正される。

図５は、レーザ光の位置を補正するための反射ミラー２０５の変位を説明するものである。反射ミラー２０５は、可動部１０４に連動してＸ方向へレーザ光を走査する間に、レーザ光を最もマイナスＹ側へ偏向するような状態から、最もプラスＹ側へ偏向するような状態へ変位する。反射ミラー２０５は、期間ｔ１において、レーザ光を最もマイナスＹ側へ偏向するような状態から最もプラスＹ側へ偏向するような状態まで、同一方向に変位する。

Ｘ方向へのレーザ光の走査が折り返されるとき、反射ミラー２０５は、再び、レーザ光を最もマイナスＹ側へ偏向するような状態に戻り、最もプラスＹ側へ偏向するような状態への変位を行う。反射ミラー２０５は、期間ｔ２において、レーザ光を最もプラスＹ側へ偏向するような状態から最もマイナスＹ側へ偏向するような状態へ、瞬時に変位する。縦軸をＹ方向における位置、縦軸を時間とすると、反射ミラー２０５の変位は、図５に示すような略三角形形状の波形で表される。反射ミラー２０５は、このような変位を繰り返すことにより、可動部１０４の変位に応じて走査するレーザ光の位置を補正する。

レーザ光の位置の補正は、可動部１０４によるＸ方向への走査幅と比較して、反射ミラー２０５を小さい走査幅でレーザ光を走査することにより行うことができる。可動部１０４と比較して変位量を小さくできるほかに反射ミラー２０５自体が小型であることから、レーザ光の位置の補正のための反射ミラー２０５の変位には、共振を用いなくても良い。

レーザ光の位置を補正するために反射ミラー２０５が変位する周期は、期間ｔ１と期間ｔ２とを合計した期間である。可動部１０４がＸ方向に関してレーザ光を１往復するように変位する間に、反射ミラー２０５は、レーザ光の位置を補正するために、同一の変位を２回繰り返す。このように、反射ミラー２０５は、可動部１０４がＸ方向へ光を走査するように変位する周波数の略２倍の周波数で、Ｙ方向へ変位することにより、走査する光の位置を補正する。これにより、Ｘ方向へレーザ光を走査するごとにレーザ光の位置を補正し、レーザ光の位置を画素の配列に合わせることが可能となる。

可動部１０４と一体に設けられた反射ミラー２０５を用いて、走査するレーザ光の位置を補正する。かかる構成により、光走査装置１２０の大型化や構造の複雑化を回避することが可能である。これにより、二次元方向に配列する画素に合わせて正確に光を走査することができるという効果を奏する。また、画像表示装置１００により、高品質な画像を表示することができる。

なお、反射ミラー２０５は、可動部１０４がＸ方向へ光を走査するように変位する周波数の略２倍の周波数で、Ｙ方向へ光を走査するように変位する構成に限られない。反射ミラー２０５は、可動部１０４が第１の方向であるＸ方向へレーザ光を走査するように変位する周波数より高い周波数で変位する構成であれば良い。Ｘ方向へレーザ光を走査するように変位する周波数より高い周波数で反射ミラー２０５が変位することにより、走査するレーザ光の位置を補正することが可能となる。

また、反射ミラー２０５は、図５に示す略三角形形状の波形で表される変位によって走査するレーザ光の位置を補正する構成に限られない。例えば、反射ミラー２０５は、サイン波で表される変位により、レーザ光の位置を補正することとしても良い。この場合も、反射ミラー２０５は、レーザ光の軌跡を、矩形形状の軌跡ＳＣ２に近づけるように補正することが可能である。また、レーザ光の位置を補正するための変位を略一定速度で行うことができ、簡易な駆動でレーザ光の位置の補正をすることが可能となる。この場合、さらに、反射ミラー２０５の共振を用いてレーザ光の位置を補正することとしても良い。

さらに、光走査装置１２０は、電位差に応じた静電力によって可動部１０４や反射ミラー２０５を駆動する構成に限られない。例えば、電磁力を用いて駆動する構成や、圧電素子の伸縮力を用いて駆動する構成であっても良い。電磁力を用いる場合、例えば、電流に応じて可動部１０４と永久磁石との間、反射ミラー２０５と永久磁石との間に電磁力を発生させることにより、可動部１０４及び反射ミラー２０５を駆動できる。

図６は、実施例１の変形例に係る走査部６００の要部概略構成であって、可動部１０４及び反射ミラー６０５の構成を示す。走査部６００は、上記の光走査装置１２０に適用することができる。本変形例の走査部６００は、反射ミラー６０５が、可動部１０４からの振動を用いて、走査するレーザ光の位置を補正するように変位することを特徴とする。本変形例において、可動部１０４は、上記の走査部２００と同様に、不図示の可動部用電極を用いて駆動する。可動部用電極は、可動部１０４を駆動する駆動部である。

これに対して、反射ミラー６０５に対しては、独自の駆動部が設けられていない。反射ミラー６０５は、可動部１０４に連動して変位するほか、可動部用電極を用いて駆動する可動部１０４からの振動を用いて、レーザ光の位置の補正を行う。可動部１０４が第１の方向であるＸ方向に共振することにより、第３のトーションばね２１２の撓みによるバランスのずれ、製造誤差等に起因する僅かなバランスの崩れから、反射ミラー６０５も共振振動を起こす。反射ミラー６０５は、第２の方向であるＹ方向に、可動部１０４のＸ方向への共振より高い周波数、例えば略２倍の周波数で共振するように設計されている。これにより、反射ミラー６０５は、可動部１０４からの振動を用いて、レーザ光の位置の補正を行う。

さらに、第３のトーションばね２１２は、可動部１０４の中心線Ｘに対してシフトした位置で、反射ミラー６０５と固定部２１１とを連結している。例えば、図６に示すように、反射ミラー６０５は、中心線Ｘに対して上側の位置と下側の位置とで、第３のトーションばね２１２に連結されている。反射ミラー６０５の回転軸を斜めとすることにより、可動部１０４の振動を利用して反射ミラー６０５が振動を起こし易い構成にすることができる。このように、可動部１０４に対して反射ミラー６０５がアンバランスである構成とすることにより、可動部１０４の振動を利用して反射ミラー６０５を振動させ易くすることができる。反射ミラー６０５は、可動部１０４の振動を利用して一旦振動を開始した後は、安定して振動を継続することができる。

上記の反射ミラー２０５は第２の方向へレーザ光を走査することでレーザ光の位置を補正する構成である。これに対して、本変形例の反射ミラー６０５は、レーザ光の位置を補正するために、第１の方向及び第２の方向のいずれとも異なる斜め方向へレーザ光を走査する。この場合も、走査するレーザ光の位置を補正することは可能である。このように、光走査装置１２０は、レーザ光の位置の補正のために、第１の方向とは異なる方向へレーザ光を走査する構成であれば良く、第２の方向へレーザ光を走査することで補正を行う構成に限られない。

可動部１０４からの振動を用いて、レーザ光の位置を補正するように反射ミラー６０５を変位することから、補正のための独自の駆動部が不要である。これにより、さらに簡易な構成により、走査するレーザ光の位置を補正することができる。なお、可動部１０４の振動を利用して反射ミラー６０５が振動を起こし易い構成であれば、第３のトーションばね２１２を、中心線Ｘ上に設けることとしても良い。第１の方向及び第２の方向のいずれとも異なる斜め方向へレーザ光の位置を補正する場合、第２の方向のみならず、第１の方向についてもレーザ光の位置がシフトする。この場合の第１の方向へのレーザ光のシフトは、光源部１０１におけるレーザ光の変調タイミングを適宜調節することで相殺することが可能である。

図７は、実施例１の変形例の走査部７００の概略構成を示す。走査部７００は、上記の光走査装置１２０に適用することができる。本変形例の走査部７００は、外枠部２０２、可動部７０４、反射ミラー７０５がいわゆる三重ジンバル構造をなすことを特徴とする。可動部７０４は、反射ミラー７０５の周囲に設けられている。反射ミラー７０５は、第３のトーションばね２１２によって、可動部７０４に連結されている。本変形例においても、第３のトーションばね２１２を、可動部７０４の中心線に対してシフトさせることとしても良い。

図８は、実施例１の変形例の走査部８００の要部概略構成であって、可動部１０４及び反射ミラー８０５の構成を示す。本変形例の走査部８００は、反射ミラー８０５の片側に片持ち梁８１２が設けられることを特徴とする。反射ミラー８０５は、片持ち梁８１２によって、固定部８１１に連結されている。反射ミラー８０５は、片持ち梁８１２の撓みと、元の状態への復元とを利用して、傾きを変化するように変位する。本変形例においても、反射ミラー８０５の周囲に可動部１０４を設ける構造としても良い。

本変形例の走査部７００、８００を用いる場合も、上記の走査部２００を用いる場合と同様に、走査するレーザ光の位置を補正することができる。なお、走査部７００の反射ミラー７０５、走査部８００の反射ミラー８０５は、独自の駆動部を用いて駆動する構成としても良く、可動部１０４の振動を利用して振動する構成としても良い。さらに、図８に示す走査部８００は、熱膨張率が異なる層を利用したバイモルフアクチュエータとしても良い。例えば、片持ち梁８１２に、反射ミラー８０５の表層を構成する部材とは熱膨張率が異なる層８１３が設けられる。そして、反射ミラー８０５への電流供給等により、反射ミラー８０５に熱が供給される。

例えば、片持ち梁８１２の層８１３に対して表層が大きく熱膨張すると、片持ち梁８１２は、撓むように変形する。また、反射ミラー８０５への熱の供給を停止すると、片持ち梁８１２は、元の状態へ復元する。このようにして、反射ミラー８０５を変位させることができる。さらに、反射ミラー８０５は、片持ち梁８１２の表層を膨張させることにより変位する構成に限らず、表層に対して層８１３を収縮させることにより変位する構成としても良い。

図９は、本発明の実施例２に係る光走査装置による、レーザ光の位置の補正について説明するものである。本実施例の光走査装置は、上記実施例１に係る画像表示装置１００に適用することができる。上記実施例１と重複する説明は省略する。実施例１では、外枠部に連結された可動部に反射ミラーを設ける構成であったのに対して、本実施例は、外枠部に連結された反射ミラーにより、走査する光の位置を補正することを特徴とする。

図９に示すグラフは、縦軸に振幅、横軸に周波数を取り、駆動周波数に対する反射ミラーの振幅の例を示すものである。反射ミラーは、光源部からのレーザ光を反射し、かつ、反射したレーザ光を、第１の方向と、第１の方向に略直交する第２の方向とへ走査するように変位する。反射ミラーは、上記実施例１の可動部１０４と同様に、第１の方向へレーザ光を走査するためには、回転軸を中心として共振する構成を有する。反射ミラーは、第１の方向へレーザ光を走査するための変位には、振幅を最も大きくすることが可能な共振周波数ｆ１を用いる。なお、図９に表している振幅は、反射ミラーが振動する方向について限定しないものとする。

さらに、本実施例では、反射ミラーは、第１の方向へレーザ光を走査する周波数より高い周波数で第１の方向とは異なる方向へレーザ光を走査するように共振することにより、走査するレーザ光の位置を補正する。反射ミラー等の構造物は、三次元方向について、並進するような変位と、回転するような変位とを行わせることが可能である。本実施例の反射ミラーは、レーザ光が二次元方向についてサイン波を描くように変位するほかに、トーションばねの構成や駆動力の作用等の調整により、レーザ光が走査する位置を補正するように変位する。

例えば、反射ミラーは、共振周波数ｆ１の略２倍の共振周波数ｆ２で共振することにより、第１の方向とは異なる方向、例えば第２の方向へレーザ光を走査するように構成される。反射ミラーは、第１の方向へレーザ光を走査するために、共振周波数ｆ１により共振するほか、さらに、共振周波数ｆ２により共振することにより、レーザ光の位置を補正するために第２の方向へレーザ光を走査する。

上記実施例１で説明するように、レーザ光の位置を補正するための走査は、第１の方向へレーザ光を走査するより小さい振幅とすることが可能である。従って、共振周波数ｆ１の振幅より小さい振幅で共振する共振周波数ｆ２を用いて、レーザ光の位置を補正することは十分可能である。なお、レーザ光の位置を補正するためには、共振周波数ｆ２を用いて反射ミラーを共振させる構成に限られない。レーザ光の位置を補正するためには、共振周波数ｆ１より大きい共振周波数を用いれば良く、例えば、共振周波数ｆ１の略４倍の共振周波数ｆ３を用いる構成としても良い。以降、共振周波数ｆ１より大きい共振周波数による共振を、高次共振と呼ぶこととする。

図１０は、本実施例の走査部１０００の要部概略構成であって、反射ミラー１００４と、反射ミラー１００４を駆動するための構成を示す。上記実施例１と同一の部分には、同一の符号を付すものとする。反射ミラー１００４の裏側の空間には、４つに分割された反射ミラー用の電極１００８ａ、１００８ｂ、１００８ｃ、１００８ｄが設けられている。電極１００８ａ、１００８ｂ、１００８ｃ、１００８ｄは、反射ミラー１００４を駆動する駆動部である。反射ミラー１００４は、各電極１００８ａ、１００８ｂ、１００８ｃ、１００８ｄにより発生する駆動力である静電力に応じて、走査する光の位置を補正する。静電力は、反射ミラー１００４と電極１００８ａ、１００８ｂ、１００８ｃ、１００８ｄとの間の印加電圧に応じて調節することができる。

第２のトーションばね２０７に対して一方の側に、２つの電極１００８ａ、１００８ｃが設けられ、他方の側に２つの電極１００８ｂ、１００８ｄが設けられている。反射ミラー１００４は、上記実施例１の可動部１０４と同様に、外枠部を回動することにより、第２の方向へレーザ光を走査するように変位する。また、反射ミラー１００４は、２つの電極１００８ａ、１００８ｃと、２つの電極１００８ｂ、１００８ｄとに交互に電圧を印加することにより、第１の方向へレーザ光を走査するように変位する。

さらに、反射ミラー１００４は、電極１００８ａと電極１００８ｃとの間の電圧、及び電極１００８ｂと電極１００８ｄとの間の電圧を適宜変化させることによって、高次共振を発生させることができる。電極１００８ａ、１００８ｂ、１００８ｃ、１００８ｄの各印加電圧をＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、とすると、例えば、電極１００８ａ、１００８ｂについてＡ＞Ｂ、Ｂ＞Ａ、次に、電極１００８ｃ、１００８ｄについてＣ＞Ｄ、Ｄ＞Ｃと変化させる。このように印加電圧を変化させることにより、電極１００８ａ、１００８ｂ、１００８ｃ、１００８ｄと反射ミラー１００４との間の静電力の強度を変化させる。反射ミラー１００４は、電極ごとに静電力の強度を変化させることにより、走査するレーザ光の位置を補正するように高次共振する。

反射ミラー１００４は、高次共振が可能であって、かつ高次共振させる向きが第２の方向へレーザ光を走査する向きとなるように構成することにより、レーザ光の位置を補正することができる。なお、反射ミラー１００４は、共振により第１の方向以外の方向へレーザ光を走査することでレーザ光の位置を補正する構成であれば良く、第２の方向へレーザ光を走査することでレーザ光の位置を補正する構成には限られない。

反射ミラー１００４を用いてレーザ光の位置を補正することにより、上記実施例１と同様に、二次元方向に配列する画素に合わせて正確にレーザ光を走査することができる。走査するレーザ光の位置を補正するための新たなミラーを設ける必要が無いことから、光走査装置１２０の大型化や構造の複雑化を回避することが可能である。これにより、画素の配列に合わせて正確にレーザ光を走査することができるという効果を奏する。なお、反射ミラー１００４は、レーザ光の位置を補正するために４つの電極を用いる構成に限らず、複数の電極を用いる構成であれば良い。

走査部は、各電極の印加電圧を変化させることで静電力の強度を調節する構成に限られない。図１１に示す走査部１１００のように、電極の大きさを異ならせることにより、静電力の強度を調節することとしても良い。例えば、図１１に示すように、トーションばね２０７に対して一方の側に設けられた電極１１０８ａ、１１０８ｃは、他方の側に設けられた電極１１０８ｃ、１１０８ｄより面積が大きくなるように設けられている。各電極に均一な電圧を印加する場合、電極１１０８ａ、１１０８ｃが設けられている側に、電極１１０８ｃ、１１０８ｄが設けられている側より大きい静電力が発生する。このように、反射ミラー１００４の構成に対してアンバランスな静電力を作用させることにより、高次共振を発生させることが可能である。さらに、図１２に示す走査部１２００のように、略同じ大きさの電極１２０８ａ、１２０８ｂ、１２０８ｃ、１２０８ｄを用いて、反射ミラー１００４と各電極との間隔に差を設けることにより、反射ミラー１００４の構成に対してアンバランスな静電力を作用させることとしても良い。

さらに、反射ミラー１００４は、静電力を用いることにより、走査する光の位置を補正する構成に限られない。例えば、駆動力としては静電力のほか、圧電素子の伸縮力、電磁力等を用いることとしても良い。圧電素子の伸縮力により反射ミラー１００４を駆動する場合、駆動部である圧電素子に電圧を印加する構成を用いることができる。圧電素子を用いて反射ミラー１００４を駆動する場合、伸縮力の大きさは、圧電素子への印加電圧や圧電素材の大きさ等に応じて調節することができる。電磁力により反射ミラー１００４を駆動するには、駆動部としてコイル及び磁石を設け、コイルに電流を供給する構成とすることができる。電磁力を用いて反射ミラー１００４を駆動する場合、電磁力の大きさは、コイルへ供給する電流量、コイルの巻数、磁石の強さに応じて調節することができる。

反射ミラー１００４は、駆動力の強度を調節することにより高次共振を発生する構成に限らず、回転軸であるトーションばねの形状を調節することにより高次共振を発生させることとしても良い。例えば、図１３に示す走査部１３００のように、太さが互いに異なるトーションばね１３０７、１３１７を用いる構成とすることができる。トーションばね１３０７、１３１７は、第１の方向へレーザ光を走査するように反射ミラー１００４を振動させる回転軸である。トーションばね１３０７は、トーションばね１３１７より太く形成されている。また、図１４に示す走査部１４００のように、長さが互いに異なるトーションばね１４０７、１４１７を用いる構成とすることができる。このように、反射ミラー１００４の構成に対してアンバランスな形状の回転軸を設けることによって、第１の方向とは異なる方向へレーザ光を走査するように反射ミラー１００４が共振可能な状態を作り出すことが可能となる。

さらに、図１５に示す走査部１５００のように、トーションばね１５０７、１５１７を設ける位置を、反射ミラー１００４の中心線上以外の位置とするように調節することとしても良い。反射ミラー１００４の構成に対してアンバランスな位置にトーションばね１５０７、１５１７を設けることによっても、第１の方向とは異なる方向へレーザ光を走査するように反射ミラー１００４が共振可能な状態を作り出すことが可能となる。なお、図１０〜図１５に示した各構成のいずれかを組み合わせることによって、反射ミラー１００４を高次共振させる構成とすることも可能である。

レーザ光の軌跡を、図４に示すような矩形形状の軌跡ＳＣ２に近づけるためには、反射ミラー１００４は、レーザ光の位置を補正するために、図５に示す略三角形形状の波形で表される変位を行うことが望ましい。これに対して、本実施例の反射ミラー１００４は、共振することによりレーザ光の位置を補正する。反射ミラー１００４は、共振することでレーザ光の位置を補正するため、サイン波で表されるような変位を行う。

そこで、本実施例では、レーザ光の軌跡を、図１６に示す矩形形状の軌跡ＳＣ４に近づけるような補正を行うために、レーザ光が走査可能な幅ｄ１に対して画像の表示領域の幅ｄ２を小さくすることとしても良い。図１６に示す走査軌跡ＳＣ３のうち円で囲んだ部分でレーザ光の供給を停止する間に、補正のために共振している反射ミラー１００４を、マイナスＹ向きである紙面下向きへレーザ光を偏向させるように戻す。反射ミラー１００４は、第１の方向へレーザ光を走査させる共振周波数ｆ１の略２倍の共振周波数ｆ２で高次共振している場合、第１の方向へレーザ光を走査させるための周期の４分の１の時間を用いて反射ミラー１００４の位置を戻すこととなる。

図１６のうち円で囲んだ部分は、他の部分と比較してレーザ光の走査速度が遅くなる。このことから、走査幅ｄ１に対して例えば約７０パーセントの幅ｄ２で画像を表示することとすることで、高次共振している反射ミラー１００４を、マイナスＹ向きにレーザ光を偏向させる位置に戻す時間を確保することができる。これにより、レーザ光の軌跡を、矩形形状の軌跡ＳＣ４に近づけるような補正を行うことができる。

図１７は、本発明の実施例３に係る画像表示装置１７００の概略構成を示す。上記実施例１と同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。画像表示装置１７００は、観察者側に設けられたスクリーン１７０５にレーザ光を供給し、スクリーン１７０５で反射する光を観察することで画像を鑑賞する、いわゆるフロント投写型のプロジェクタである。画像表示装置１７００は、上記実施例１と同様に、光走査装置１２０を有する。

画像表示装置１７００の観察者側の面には、硝子や透明樹脂等の透明部材からなる出射窓１７１０が設けられている。光走査装置１２０からのレーザ光は、出射窓１７１０を透過した後、スクリーン１７０５に入射する。光走査装置１２０を用いることにより、二次元方向に配列する画素に合わせて正確にレーザ光を走査することができる。これにより、画像表示装置１７００は、高品質な画像を表示することができる。

なお、上記各実施例において、光走査装置１２０はレーザ光を供給する光源部１０１を用いる構成としているが、ビーム状の光を供給可能な構成であれば、これに限られない。例えば、光源部１０１は、発光ダイオード素子（ＬＥＤ）等の固体発光素子を用いる構成としても良い。また、本発明の光走査装置１２０は、画像表示装置に用いる以外に、例えば、レーザプリンタ等の、レーザ光を走査させる電子機器に用いることとしても良い。レーザプリンタに光走査装置１２０を用いると、画素のずれが低減された高品質なプリント画像を形成することができる。

以上のように、本発明に係る光走査装置は、画像信号に応じて光を走査させる画像表示装置等に用いる場合に適している。

本発明の実施例１に係る画像表示装置の概略構成を示す図。 走査部の概略構成を示す図。 可動部及び反射ミラーを駆動するための構成を説明する図。 可動部の変位により走査するレーザ光の軌跡を説明する図。 反射ミラーの変位によるレーザ光の位置の補正を説明する図。 レーザ光の位置を補正するための反射ミラーの変位を説明する図。 実施例１の変形例に係る走査部の要部概略構成を示す図。 実施例１の変形例に係る走査部の概略構成を示す図。 実施例１の変形例に係る走査部の要部概略構成を示す図。 実施例２の光走査装置によるレーザ光の位置の補正について説明する図。 実施例２に係る走査部の要部概略構成を示す図。 電極の大きさを異ならせることにより静電力の強度を調節する構成の図。 反射ミラーと各電極との間隔に差を設ける構成を説明する図。 太さが異なるトーションばねを用いる構成を説明する図。 長さが異なるトーションばねを用いる構成を説明する図。 反射ミラーの中心線上以外の位置にトーションばねを設ける構成の図。 反射ミラーの変位によるレーザ光の位置の補正を説明する図。 本発明の実施例３に係る画像表示装置の概略構成を示す図。

符号の説明

１００ 画像表示装置、１０１ 光源部、２００ 走査部、１２０ 光走査装置、１０５ 反射部、１０７ 筐体、１１０ スクリーン、１０４ 可動部、２０１ 固定部、２０２ 外枠部、２０５ 反射ミラー、２０６ 第１のトーションばね、２０７ 第２のトーションばね、２１１ 固定部、２１２ 第３のトーションばね、２２１ 可動部用電極、２２２ 反射ミラー用電極、６００ 走査部、６０５ 反射ミラー、７００ 走査部、７０４ 可動部、７０５ 反射ミラー、８００ 走査部、８０５ 反射ミラー、８１１ 固定部、８１２ 片持ち梁、８１３ 層、１０００ 走査部、１００４ 反射ミラー、１００８ａ、１００８ｂ、１００８ｃ、１００８ｄ 電極、１１００ 走査部、１１０８ａ、１１０８ｂ、１１０８ｃ、１１０８ｄ 電極、１２００ 走査部、１２０８ａ、１２０８ｂ、１２０８ｃ、１２０８ｄ 電極、１３００ 走査部、１３０７、１３１７ トーションばね、１４００ 走査部、１４０７、１４１７ トーションばね、１５００ 走査部、１５０７、１５１７ トーションばね、１７００ 画像表示装置、１７０５ スクリーン、１７１０ 出射窓

Claims (11)

1. ビーム状の光を供給する光源部と、
   前記光源部からの光を反射する反射ミラーと、
   前記反射ミラーと一体に設けられ、前記反射ミラーで反射した光を、第１の方向と、前記第１の方向に略直交する第２の方向へ走査するように変位する可動部と、を有し、
   前記可動部は、前記第１の方向へ光を走査する周波数が、前記第２の方向へ光を走査する周波数に比べて高くなるように変位し、
   前記反射ミラーは、前記可動部に連動して変位するほか、さらに前記第１の方向とは異なる方向へ光を走査するように変位することにより、前記可動部の変位に応じて走査する光の位置を補正することを特徴とする光走査装置。
2. 前記反射ミラーは、前記第２の方向へ光を走査するように変位することにより、走査する光の位置を補正することを特徴とする請求項１に記載の光走査装置。
3. 前記反射ミラーは、前記可動部が前記第１の方向へ光を走査するように変位する周波数より高い周波数で変位することにより、走査する光の位置を補正することを特徴とする請求項１又は２に記載の光走査装置。
4. 前記反射ミラーは、前記可動部が前記第１の方向へ光を走査するように変位する周波数の略２倍の周波数で変位することにより、走査する光の位置を補正することを特徴とする請求項３に記載の光走査装置。
5. 前記可動部を駆動する第１の駆動部と、
   光の位置を補正するように前記反射ミラーを駆動する第２の駆動部と、を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の光走査装置。
6. 前記可動部を駆動する駆動部を有し、
   前記反射ミラーは、前記駆動部により駆動する前記可動部からの振動を用いて、走査する光の位置を補正するように変位することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の光走査装置。
7. ビーム状の光を供給する光源部と、
   前記光源部からの光を反射し、かつ、反射した光を、第１の方向と、前記第１の方向に略直交する第２の方向へ走査するように変位する反射ミラーと、を有し、
   前記反射ミラーは、前記第１の方向へ光を走査する周波数が、前記第２の方向へ光を走査する周波数に比べて高くなるように変位し、さらに、前記第１の方向へ光を走査する周波数より高い周波数で前記第１の方向とは異なる方向へ光を走査するように共振することにより、走査する光の位置を補正することを特徴とする光走査装置。
8. 前記反射ミラーを駆動する駆動部を有し、
   前記反射ミラーは、前記駆動部により発生する駆動力に応じて、走査する光の位置を補正することを特徴とする請求項７に記載の光走査装置。
9. 複数の前記駆動部を有し、
   前記反射ミラーは、前記駆動部ごとに前記駆動力の大きさを調節することにより、走査する光の位置を補正することを特徴とする請求項８に記載の光走査装置。
10. 前記第１の方向へ光を走査するように前記反射ミラーを振動させる回転軸を有し、
    前記反射ミラーは、前記回転軸の形状及び前記回転軸を設ける位置の少なくとも一方を調節することにより、走査する光の位置を補正することを特徴とする請求項７に記載の光走査装置。
11. 請求項１〜１０のいずれか一項に記載の光走査装置を有し、
    前記光走査装置からの光により所定面に画像を表示することを特徴とする画像表示装置。

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