JP4910902B2 - マイクロスキャナ及びそれを備えた光走査装置。 - Google Patents
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Description
2 固定枠
2a、2b 支持部
3 ミラー部(変動部)
4a、4b 主軸部
5 可動枠
6a、6b ユニモルフ駆動部(駆動手段)
9 切り込み(屈曲部)
10 電磁コイル
11 永久磁石
13 電磁ユニット(駆動手段)
21〜23 光源
24 色合成プリズム
40 光走査装置
51a、51b 駆動片
52a、52b 結合片
61 圧電素子
62 電極
100 プロジェクタ
Claims (6)
- 変動部と、
該変動部を揺動可能に支持する主軸部と、
該主軸部を保持する変形可能な可動枠と、
該可動枠を湾曲させて前記変動部を傾斜させる駆動手段と、
前記可動枠を湾曲可能に支持する固定枠と、
を含むマイクロスキャナにあって、
前記可動枠は、前記駆動手段により湾曲する略平行な一対の駆動片と、該駆動片の両端部同士を連結する一対の結合片とで構成される略矩形の環状構造をなしており、前記各結合片の長手方向の略中央部に前記主軸部が連結され、前記駆動片の長手方向の略中央部が前記固定枠に固定されることを特徴とするマイクロスキャナ。 - 前記結合片の前記主軸部が連結される部分の両側に、他の部分に比べて曲げ剛性が小さい屈曲部を設けたことを特徴とする請求項1に記載のマイクロスキャナ。
- 上記変動部は、金属膜を含むことで光を反射させるミラー部であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のマイクロスキャナ。
- 前記変動部、前記主軸部、前記可動枠及び前記固定枠は、シリコン基板を用いて一体形成されることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のマイクロスキャナ。
- 前記駆動手段は、圧電素子と、該圧電素子を挟む電極とが前記可動枠上に積層されたユニモルフ駆動部であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載のマイクロスキャナ。
- 請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載のマイクロスキャナが搭載された光走査装置。
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