JP2013190724A - 光スキャナーおよび画像形成装置 - Google Patents

Abstract

【課題】光反射面を安定して自在に回動させる制御が容易である光スキャナーを提供する。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射面３ａを有する反射板３と、反射板３を支持する第２永久磁石４１と、第２永久磁石４１を介して反射板３を保持する可動部２と、可動部２から光反射面３ａと平行にそれぞれ延出し中間に屈曲部７，８を有する一対の可動梁５，６と、可動梁５，６に直結し可動梁５，６を介して可動部２へ変位を付与する変位部２１，３１を有し、可動梁５，６の延出方向の端部にそれぞれ設けられた第１永久磁石２１３，３１３と、変位部２１，３１から延出し、光反射面３ａと平行し且つ可動梁５，６の延出方向と直交する一対の駆動梁９，１０と、駆動梁９，１０を固定するための支持枠１５と、第２永久磁石４１と、第２永久磁石４１に対向するコイル部４２と、コイル部４２に２種類の電圧を印加する電圧印加部と、を備える。
【選択図】図1

Description

本発明は、光走査により描画等を行うための光スキャナー、およびこの光スキャナーを備えた画像形成装置に関する。

従来、特許文献１に開示されているように、光スキャナーとしての機能を有する電磁アクチュエーターが知られている。この電磁アクチュエーターは、一対の永久磁石が設けられた絶縁基板と、一対の永久磁石の間に位置し絶縁基板に支持されたスキャナー本体と、を備えている。スキャナー本体は、枠状の支持部と支持部の内側に設けられた枠状の外側可動板と外側可動板の内側に設けられ全反射ミラーを有する内側可動板とを有しており、いわゆるジンバル構造となっている。また、外側可動板は一対の第１トーションバーを介して支持部に連結されている。内側可動板は、第１トーションバーと直交する一対の第２トーションバーを介して外側可動板に連結している。そして、外側可動板及び内側可動板にはそれぞれ平面コイルが設けられている。

このような構成の電磁アクチュエーターでは通電により各平面コイルから発生する磁界と一対の永久磁石の間における磁界と、を相互作用させる。これにより、外側可動板が内側可動板とともに第１トーションバーを中心軸として回動し、内側可動板が第２トーションバーを中心軸として回動することになる。これにより、電磁アクチュエーターは、全反射ミラーに入射する光の反射方向を制御することが可能であり、光スキャナーとして機能する。

特開平８−３２２２２７号公報

しかし、従来の技術において、電磁アクチュエーターは、第１トーションバーの回動に連動して、第２トーションバーの中心軸の延在方向も回動して移動する。そのため、全反射ミラーを所定方向へ向けるための制御は第１トーションバーと第２トーションバーとをそれぞれ回動させるので煩雑なものになっていた。

また、電磁アクチュエーターの外側可動板に設けられた平面コイルから発生する磁場と、内側可動板に設けられた平面コイルから発生する磁場と、が干渉しやすい。その場合、全反射ミラーは、第１トーションバーまたは第２トーションバーの中心軸まわりにおける回動が意図する回動と異なってしまうことがある。従って、従来の電磁アクチュエーターのような構成の光スキャナーでは、内側可動板の全反射ミラーを安定して自在に回動させることが難しく、容易には行えない、という課題があった。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例に係わる光スキャナーは、光反射面を有する光反射部を備え、かつ第１の回動中心軸及び前記第１の回動中心軸に直交する第２の回動中心軸まわりに回動可能な可動部と、前記可動部から前記第１の回動中心軸に沿って延出し、前記可動部を挟んで対向配置される一対の可動梁と、各前記可動梁に接続され、前記可動部を前記第２の回動中心軸まわりに回動させる変位を発生する変位部と、各前記変位部から前記第２の回動中心軸と平行な方向に延出する一対の駆動梁と、前記駆動梁を支持する支持枠と、各前記変位部に設けられた第１永久磁石、前記可動部に設けられた第２永久磁石、各前記第１永久磁石及び前記第２永久磁石に作用する磁界を発生するコイル、該コイルに電圧を印加する電圧印加部、を有する駆動部と、を備え、前記可動梁は、前記変位部の変位によって前記支持枠の厚さ方向に屈曲変形する屈曲部と、前記可動部と前記屈曲部の間に位置するねじり梁と、前記屈曲部と前記変位部の間に位置する連結梁と、を含み、前記電圧印加部は、第１の電圧波形を発生する第１の電圧発生部、第２の電圧波形を発生する第２の電圧発生部、前記第１の電圧波形と前記第２の電圧波形とを重畳する電圧重畳部、を有し、前記電圧重畳部で重畳された電圧を前記コイルに印加することにより、前記可動部を前記第１の電圧波形で前記第２の回動中心軸まわりに回動させつつ、前記第２の電圧波形で前記第１の回動中心軸まわりに回動させるように構成されていることを特徴とする。

本適用例によれば、光反射面は、可動部と連動して変位し、入射した光を任意の方向へ反射する。可動部は、変位部に駆動される可動梁の作動に追随して変位する。ここで、可動梁は、非駆動状態では、光反射面と平行な面上において、変位部と共に１つの軸である第１の回動中心軸に沿って延出する駆動梁に支持されている。つまり、駆動梁を中心にして変位部が回動することによって、可動部を挟む一対の可動梁がそれぞれ回動し、可動部を変位させている。そして、可動部に設けられている屈曲部は、可動梁と連結梁の回動に応じて柔軟に屈曲し、可動部を該第１の回動中心軸に沿って確実に変位させる機能を有している。

さらに、光スキャナーは、各第１永久磁石とコイルの駆動により変位部が回動し、該第１の回動中心軸とは異なる方向の第２の回動中心軸に沿って可動部を変位させている。即ち、第２永久磁石とコイルの駆動は、可動梁及び駆動梁を介することなく、可動部を直接変位させることが可能である。この時、可動梁及び屈曲部は、第２永久磁石及びコイルの駆動によって可動部へ付与される変位の影響が、第１永久磁石及びコイルの駆動による変位へ及ぶことを回避する、機能を果たす。同様に、可動梁及び屈曲部は、第１永久磁石とコイルの駆動によって可動部へ付与される変位の影響が、第２永久磁石とコイルの駆動による変位へ及ぶことを回避する機能を果たす。これにより、光スキャナーは、第１永久磁石及びコイル、または第２永久磁石及びコイルによる個々の変位付与に対し、可動部が第１の回動中心軸または第２の回動中心軸に沿ってそれぞれ個別に且つ確実に対応でき、安定して自在に変位することが可能である。また、第２永久磁石に印加する電圧と第１永久磁石に印加する電圧とを重畳して１つの電圧発生部で発生する。これにより、光スキャナーを小型化することが可能である。

［適用例２］上記適用例に記載の光スキャナーでは、前記第１永久磁石は、前記光反射面と直交する方向に両極が対向するように配置され、各前記変位部に設けられた各前記第１永久磁石同士は、前記光反射面の側に位置するそれぞれの極が互いに異なる極性であることが好ましい。

本適用例によれば、第１永久磁石は、非駆動状態の光反射面に対して直交方向に延在し、延在する端部側の極がＮ極またはＳ極である。この場合、可動梁の両端の各変位部において、一方の側の変位部に設けられた第１永久磁石は、光反射面の向いている方向と同じ側に位置する端部側の極がＮ極であれば、他方の側の変位部に設けられた第１永久磁石は、光反射面の向いている方向と同じ側に位置する端部側の極がＳ極となるように配置されている。即ち、光反射面の側に位置するそれぞれの極が互いに異なる極性となっている。

ここで、光スキャナーにおける可動部を傾ける変位は、可動部を挟む一対の可動梁がそれぞれ同じ方向へ回動することにより、可能となる。このように可動梁を回動させるには、各第１永久磁石に対向するコイル側をＳ極として、第１永久磁石のＮ極側端部をコイルへ引きつければ良い。あるいは、各第１永久磁石に対向するコイル側をＮ極として、第１永久磁石のＳ極側端部をコイルへ引きつければ良い。従って、変位部を同じ方向へ回動することが可能である。

［適用例３］上記適用例に記載の光スキャナーでは、前記第２永久磁石は、両極間の長さが前記可動部の外形長さと近似し、前記第２の回動中心軸と平行な方向に両極が対向するように前記可動部へ設けられていることが好ましい。尚、外形長さは外形形状を平行線で挟んだときの幅に相当する。可動部が円のときには直径となる。

本適用例によれば、光反射面と平行な面上において可動梁の延出方向と直角に交叉する方向に、第２永久磁石の両極が対向するように配置することにより、第２永久磁石とコイルの駆動は、第１永久磁石とコイルの駆動に付与する変位と直交する方向の変位を、可動部へ付与することが可能である。

このように、第１永久磁石とコイルによる駆動と第２永久磁石とコイルによる駆動が付与する変位が互いに直交していれば、可動部の変位を容易に特定でき、可動部が反射する光の方向を容易に制御することが可能である。また、第２永久磁石の長さが、可動部の外形長さと同程度に近似しており、可動部を回動させるモーメントが確保しやすく、可動部を確実に変位させることが可能である。

［適用例４］上記適用例に記載の光スキャナーは、前記第２永久磁石は、前記光反射部を支持した状態で前記可動部に設けられていることが好ましい。

本適用例によれば、第２永久磁石は、第１の回動中心軸を回動するための駆動源としての機能に加え、光反射面を有する光反射部材を支持する支持部材としての機能も合わせて有している。第２永久磁石が支持部材として光反射部材を支持することにより、光反射部材を支持するだけの支持部材を削減することができ、可動部の重量軽減による変位に要する磁界強度の低減、及び部品点数削減等が図れる。

［適用例５］上記適用例に記載の光スキャナーは、前記光反射面は、前記可動部より大きな面積を有していることが好ましい。

本適用例によれば、光反射面は、可動部より大きく設定することができ、例えば、可動部位置から可動梁の屈曲部を超える位置にまで広げることも可能であり、より多くの光束を反射することが可能である。これが可能な理由は、支持部材によって、光反射面を有する光反射部材と可動部との間に隙を有する構成であることにより、光反射部材は、可動部が傾いた場合でも、この隙の分だけ可動梁と接触することを回避可能であることによる。

［適用例６］上記適用例に記載の光スキャナーは、前記第２の電圧波形の周波数は、前記可動部と一対の前記ねじり梁と前記第２永久磁石とによって構成される振動系の共振周波数と等しいことが好ましい。

本適用例によれば、前記可動部の駆動は共振駆動となり、低電力で高速駆動が可能である。

［適用例７］上記適用例に記載の光スキャナーでは、前記第１の電圧波形の周波数は、前記第２の電圧波形の周波数と異なり、且つ前記変位部と前記一対の駆動梁と前記第１永久磁石とによって構成される振動系の共振周波数と異なることが好ましい。

本適用例によれば、前記変位部の駆動は非共振駆動となり、低速動作が可能である。また、前記変位部と前記一対の駆動梁と前記第１永久磁石とで構成される振動系の周波数範囲を広くとることができ、駆動梁の設計が容易となる。

［適用例８］本適用例に係わる画像形成装置は、光源と、前記光源からの光を走査する光スキャナーと、を有し、前記光スキャナーは、光反射面を有する光反射部を備え、かつ第１の回動中心軸及び前記第１の回動中心軸に直交する第２の回動中心軸まわりに回動可能な可動部と、前記可動部から前記第１の回動中心軸に沿って延出し、前記可動部を挟んで対向配置される一対の可動梁と、各前記可動梁に接続され、前記可動部を前記第２の回動中心軸まわりに回動させる変位を発生する変位部と、各前記変位部から前記第２の回動中心軸と平行な方向に延出する一対の駆動梁と、前記駆動梁を支持する支持枠と、前記変位部に設けられた第１永久磁石、前記可動部に設けられた第２永久磁石、前記第１永久磁石及び前記第２永久磁石に作用する磁界を発生するコイル、該コイルに電圧を印加する電圧印加部、を有する駆動部と、を備え、前記可動梁は、前記変位部の変位によって前記支持枠の厚さ方向に屈曲変形する屈曲部と、前記可動部と前記屈曲部の間に位置するねじり梁と、前記屈曲部と前記変位部の間に位置する連結梁と、を含み、前記電圧印加部は、第１の電圧波形を発生する第１の電圧発生部、第２の電圧波形を発生する第２の電圧発生部、前記第１の電圧波形と前記第２の電圧波形とを重畳する電圧重畳部、を有し、前記電圧重畳部で重畳された電圧を前記コイルに印加することにより、前記可動部を前記第１の電圧波形で前記第２の回動中心軸まわりに回動させつつ、前記第２の電圧波形で前記第１の回動中心軸まわりに回動させるように構成されていることを特徴とする。

本適用例によれば、光源と光スキャナーを備えていて、この光スキャナーによれば、光反射面は、可動部と連動して変位し、入射した光を任意の方向へ反射する。可動部は、第１永久磁石とコイルで駆動される可動梁の作動に追従して変位する。ここで、可動梁は、非駆動状態では、光反射面と平行な面上で可動梁に対して直交方向へ延出する駆動梁に支持されている。つまり、駆動梁を中心にして変位部が回動することによって、可動部を挟む一対の可動梁がそれぞれ回動し、可動部を変位させている。

そして、可動部に設けられている屈曲部は、可動梁のそれぞれの回動に応じて柔軟に屈曲し、可動部を該第１の回動中心軸に沿って確実に変位させる機能を有している。さらに、光スキャナーは、各第１永久磁石とコイルの駆動により変位部が回動し、該第１の回動中心軸とは異なる方向の第２の回動中心軸に沿って可動部を変位させている。即ち、第２永久磁石とコイルの駆動は、可動梁及び駆動梁を介することなく、可動部を直接変位させることが可能である。この時、可動梁及び屈曲部は、第２永久磁石及びコイルの駆動によって可動部へ付与される変位の影響が、第１永久磁石及びコイルの駆動による変位へ及ぶことを回避する、機能を果たす。同様に、可動梁及び屈曲部は、第１永久磁石とコイルの駆動によって可動部へ付与される変位の影響が、第２永久磁石とコイルの駆動による変位へ及ぶことを回避する、機能を果たす。これにより、光スキャナーは、第１永久磁石及びコイル、または第２永久磁石及びコイルによる個々の変位付与に対し、可動部が第１の回動中心軸または第２の回動中心軸に沿ってそれぞれ個別に且つ確実に対応でき、安定して自在に変位することが可能である。

また、第２永久磁石に印加する電圧と第１永久磁石に印加する電圧とを重畳して１つの電圧発生部で発生する。これにより、光スキャナーを小型化することが可能である。このような光スキャナーを備えた画像形成装置は、自在な画像を安定して形成でき、小型化を図ることも可能である。

実施形態１にかかる光スキャナーの構成を示す模式平面図。 光スキャナーの構成を示す模式側断面図。 反射板を変位させるための可動梁、永久磁石及びコイルの構造を示す概略斜視図。 電圧印加部の構成を示すブロック図。 （ａ）及び（ｂ）は、電圧波形を説明するためのタイムチャート。 （ａ）及び（ｂ）は、第１永久磁石とコイルによる駆動を説明するための模式側断面図。 （ａ）及び（ｂ）は、第２永久磁石とコイルによる駆動を説明するための模式側断面図。 画像形成装置の構成を示す模式図。 変形例にかかり、（ａ）及び（ｂ）は、光スキャナーの動作を説明するための模式側断面図。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。尚、以下の各図においては、各層や各部材を認識可能な程度の大きさにするため、各層や各部材の尺度を実際とは異ならせしめている。

（実施形態１）
図１は、本発明にかかる光スキャナーの構成を示す模式平面図である。また、図２は、光スキャナーの構成を示す模式側断面図であり、図１に示す光スキャナーのＡ−Ａ’面を示している。そして、図３は、反射板を変位させるための可動梁、永久磁石及びコイルの構造を示す概略斜視図である。まず、実施形態１にかかる光スキャナー１の概略構成について説明する。図１及び図２に示すように、光スキャナー１は、可動部２と、可動部２と連結する２つの連結部１１，１２とを備えている。連結部１１，１２の可動部２と反対側端部には第１永久磁石２１３，３１３が設けられている。第１永久磁石２１３，３１３は連結部１１，１２を介して可動部２を変位させる。

第１永久磁石２１３は変位部２１に設置され、第１永久磁石３１３は変位部３１に設置されている。変位部２１及び変位部３１は支持枠１５に支持され、支持枠１５は基台１６に支持されている。可動部２には第１永久磁石２１３，３１３による駆動とは異なる変位を可動部２へ直接付与するための第２永久磁石４１が設置されている。そして、第１永久磁石２１３，３１３及び第２永久磁石４１に重畳電圧を印加するコイルとしてのコイル部４２が基台１６に設置されている。

これら可動部２、連結部１１，１２、変位部２１，３１、及び支持枠１５は振動基板４を構成している。また、可動部２は、光反射面３ａを有する光反射部としての反射板３を第２永久磁石４１を介して支持している。第２永久磁石４１は反射板３を支持する状態で可動部２に設置され支持部材としても機能している。尚、以下では、光スキャナー１を平面視した図１に示すように、連結部１１，１２が延出する振動基板４の長手方向をＸ軸（課題を解決するための手段における第１の回動中心軸）とし、Ｘ軸及びＹ軸（課題を解決するための手段における第２の回動中心軸）で形成される平面は、非駆動状態の光反射面３ａと並行であり、該平面と直交するＺ軸は、光反射面３ａを有する反射板３の厚さ方向と一致する。

次に、振動基板４について説明する。振動基板４の支持枠１５は、可動部２を支持するために、枠状をなしており、可動部２の周囲を囲むように設けられている。支持枠１５の内側では可動部２が連結部１１，１２により連結されている。可動部２は円形の平板状をなしている。可動部２は第２永久磁石４１を介して反射板３を支持している。反射板３は、可動部２の直径（外形長さ）とほぼ同じ大きさ（近似）の直径Ｄ１の円形である。反射板３の一面である光反射面３ａが基台１６と反対方向に向いて設けられている。光反射面３ａは、例えば、金、銀、アルミニウム等の金属膜等を蒸着等により形成することにより得られ、この場合、アルミニウムで形成されている。

また、連結部１１，１２はＸ方向に沿って位置し、可動部２に対して対称的に形成されている。連結部１１は、変位部２１と、変位部２１と支持枠１５とを連結する一対の駆動梁９と、変位部２１と可動部２とを連結し中間部分に屈曲部７を有する可動梁５と、を有している。また、連結部１２は、変位部３１と、変位部３１と支持枠１５とを連結する一対の駆動梁１０と、変位部３１と可動部２とを連結し中間部分に屈曲部８を有する可動梁６と、を有している。

ここで、連結部１１，１２の詳細な構成について、連結部１１を例にし、図３を参照して説明する。連結部１２も、連結部１１と同様な構成である。図３に示すように、一対の駆動梁９は、変位部２１を介してＹ方向に対向配置されており、変位部２１を両持ち支持している。また、駆動梁９は、それぞれ、Ｙ方向に延在する棒状をなしていてＹ方向を軸として捩じり変形が可能な形態になっている。このような駆動梁９は同軸的に設けられており、この軸を中心として駆動梁９がそれぞれが捩じり変形することにより、変位部２１が回動（変位）する。

この変位部２１は、可動部２に対してＸ方向に離間して設けられていて、変位部２１の変位体２１１が一対の駆動梁９によって両持ち支持されている。また、変位体２１１には、貫通孔２１２が形成されており、この貫通孔２１２に第１永久磁石２１３が挿通され、嵌合（圧入）あるいは接着剤によって固定されている。

さらに、変位部２１の平面視形状は、Ｙ方向を長手とする長方形であり、第１永久磁石２１３を固定するスペースを確保しつつ、変位体２１１の幅（Ｘ方向の長さ）を抑えることができる。変位体２１１の幅を抑えることにより、変位体２１１がＹ方向を軸として回動する際に発生する慣性モーメントを抑えることができ、変位部２１の反応性が高まり、より高速な回動が可能となる。また、変位部２１の反応性が高まると、変位部２１の回動によって、不本意な振動が発生するのを抑えることができ、特に回動方向が切り替わる切り返しの時に効果的である。そのため、光スキャナー１を安定して駆動することができる。

そして、変位部２１は、可動梁５によって可動部２と連結している。可動梁５は、Ｘ方向に延出するように設けられていて、既述した屈曲部７と、屈曲部７と可動部２とを連結するねじり梁５ａと、屈曲部７と変位部２１の変位体２１１とを連結する連結梁５ｂと、を有している。ねじり梁５ａ及び連結梁５ｂは、それぞれ、Ｘ方向に延出する棒状をなしていて、同軸的に設けられている。

可動梁５のうちの連結梁５ｂは、光スキャナー１の駆動時に大きな変形が起こらない硬さに設定されているのが好ましく、実質的に変形しない硬さに設定されているのがより好ましい。これに対してねじり梁５ａは、Ｘ方向に延出する梁を軸とする軸まわりに捩じり変形が可能な形態となっている。このように、可動梁５が実質的に変形しない硬い部位である連結梁５ｂ、及び捩じり変形可能な部位であるねじり梁５ａを有することにより、可動部２をＸ軸及びＹ軸のそれぞれの軸まわりに安定して回動させることができる。ここで、「変形しない」とは、Ｚ方向への屈曲または湾曲及び梁を軸とする軸まわりの捩じり変形が実質的に起きないことを言う。このようなねじり梁５ａ及び連結梁５ｂは、屈曲部７を介して連結している。屈曲部７は、可動梁５が屈曲変形する際の節となる機能と、ねじり梁５ａの捩じり変形により発生するトルクを緩和（吸収）し、該トルクが連結梁５ｂに伝わるのを防止または抑制する機能と、を果たしている。

屈曲部７は、非変形部７１と、応力緩和部７２と、を有している。応力緩和部７２は、非変形部７１のねじり梁５ａの側及び連結梁５ｂの側のそれぞれに設けられた一対の変形部７２１と、変形部７２１のそれぞれを非変形部７１に接続するための接続部７２２と、を有している。そして、非変形部７１は、Ｙ方向に延在する棒状をなしていて、光スキャナー１の駆動時に実質的に変形しない硬さに設定されている。この構成により、非変形部７１を中心にして可動梁５を屈曲させることができる。即ち、応力緩和部７２に節としての機能を確実に発揮させて、光スキャナー１を安定駆動させることができる。

また、一対の変形部７２１は、非変形部７１に対して対称的にそれぞれ配置され、Ｙ方向に延在する棒状をなして、互いにＸ方向に離間して並設されている。これら変形部７２１は、それぞれの中心軸まわりに捩じり変形が可能な形態となっている。そして、可動部２の側に位置する変形部７２１は、その長手方向のほぼ中央にてねじり梁５ａの一端と連結していると共に、その両端部にて一対の接続部７２２を介して非変形部７１に連結している。同様に、変位部２１の側に位置する変形部７２１は、その長手方向のほぼ中央にて連結梁５ｂの一端と連結していると共に、その両端部にて一対の接続部７２２を介して非変形部７１に連結している。これら接続部７２２は、Ｘ方向に延在する棒状をなしていて、Ｚ方向に湾曲が可能であって、且つその中心軸まわりに捩じり変形も可能な形態となっている。このような構成の連結部１１により、可動部２は、Ｘ方向またはＹ方向を中心軸として、よりスムーズに回動することが可能である。

一方、連結部１２も、連結部１１と同様な機能を有していて、可動梁６（ねじり梁６ａ及び連結梁６ｂ）と、屈曲部８と、変位部３１（変位体３１１、貫通孔３１２、第１永久磁石３１３）と、駆動梁１０と、から構成されている。連結部１２の構造は連結部１１と同様な構造であり、説明を省略する。

このような構成の光スキャナー１において、振動基板４は、ＳＯＩ基板をエッチング等することにより一体的に形成されている。ＳＯＩ基板は、第１のＳｉ層と、ＳｉＯ₂層と、第２のＳｉ層とがこの順に積層した基板である。振動基板４には、積極的に変形させる部位と、変形させない（変形させたくない）部位とが混在している。そこで、変形させない部位を前記３つの層の総てで構成するとともに、積極的に変形させる部位を第２のＳｉ層のみ、あるいは、第２のＳｉ層とＳｉＯ₂層の２層で構成する。つまり、ＳＯＩ基板の厚さを異ならせることにより、変形させる部位と変形させない部位が混在する振動基板４を簡単に形成することができる。

光スキャナー１における振動基板４は、図２に示すように、基台１６により支持されている。基台１６は、箱状（枡状）をなしていて、平板状の基部１６１と、基部１６１の縁部に沿って立設された枠部１６２と、を有している。このような基台１６は、枠部１６２が振動基板４の支持枠１５と接合されて、振動基板４を支持する。基台１６は、ガラスやシリコンを主材料として構成され、この場合、シリコンで形成されている。基台１６と支持枠１５との接合は、接着剤を用いて接合しているが、これに限定されることなく、陽極接合等の各種接合方法を用いることも可能である。

次に、変位部２１，３１の変位により可動部２及び反射板３を変位させる構成と、変位部２１，３１による変位とは異なる変位を可動部２及び反射板３に付与する構成と、について説明する。まず、変位部２１，３１の変位について説明する。

図１及び図２に示すように、駆動部６０は、変位部２１に設けられ貫通孔２１２に挿通された第１永久磁石２１３と、変位部３１に設けられ貫通孔３１２に挿通された第１永久磁石３１３と、を有している。さらに、駆動部６０は、可動部２に設けられ反射板３を支持する第２永久磁石４１と、可動部２と対向して基台１６の基部１６１に設けられるコイル部４２と、を有している。さらに、駆動部６０は重畳した電圧をコイル部４２に印加する電圧印加部６１を有している。

変位部２１の第１永久磁石２１３は棒状をなしており長手方向に磁化されている。つまり、第１永久磁石２１３は長手方向の一端側がＳ極となっており、他端側がＮ極となっていて、この場合、光反射面３ａの向く方向と同方向側がＳ極である。そして、第１永久磁石２１３は、変位体２１１の貫通孔２１２へＺ方向に挿通され、その長手方向のほぼ中央位置で変位体２１１に接着固定されている。この第１永久磁石２１３としては、ネオジウム磁石、フェライト磁石、サマリウムコバルト磁石、アルニコ磁石、ボンド磁石等の、硬磁性体を着磁したもの等を用いることができ、この場合、ネオジウム磁石を用いている。

変位部３１の第１永久磁石３１３は棒状をなしており長手方向に磁化されている。つまり、第１永久磁石３１３は長手方向の一端側がＳ極となっており、他端側がＮ極となっていて、この場合、光反射面３ａの向く方向と同方向側がＮ極である。そして、第１永久磁石３１３は、変位体３１１の貫通孔３１２へＺ方向に挿通され、その長手方向のほぼ中央位置で変位体３１１に接着固定されている。これにより、第１永久磁石２１３，３１３は、光反射面３ａと直交する方向に両極が対向するように配置される。そして、変位部２１，３１に設けられた第１永久磁石２１３，３１３同士は、光反射面３ａの側に位置するそれぞれの極が互いに異なる極性となっている。

第２永久磁石４１は長手方向の一端側がＳ極となっており、他端側がＮ極となっている。そして、両極間の長さが可動部２の直径と近似している。そして、第２の回動中心軸であるＹ軸と平行な方向に両極が対向するように可動部２へ設けられている。これにより、第２永久磁石４１とコイル部４２の駆動は、第１永久磁石２１３，３１３が可動部２に付与する変位と直交する方向の変位を、可動部２へ付与することができる。そして、可動部２が反射する光の方向を容易に制御することが可能となる。また、第２永久磁石４１の長さが、可動部２の外形長さと同程度に近似している為、可動部２を回動させるモーメントが確保しやすく、可動部を確実に変位させることが可能となっている。

コイル部４２は基部１６１へ載置されたコイル固定部４２２とコイル固定部４２２のＺ方向に突出した部位に巻き付けられたコイル部４２１とからなっている。突出した部位は鉄等の軟磁性体を磁心にしており磁界をより効率的に発生させることができる。また、コイル部４２１は電圧印加部６１に電気的に接続されていて、第１永久磁石と第２永久磁石４１とに作用する磁界を発生させる。コイル部４２において第２永久磁石４１の側がＮ極となりその反対側がＳ極となる状態と、その反対の極性配置になる状態と、を交互にかつ周期的に切り替えることができるようになっている。

図４は、電圧印加部の構成を示すブロック図である。図４に示すように、電圧印加部６１は第１の電圧発生部６１２、第２の電圧発生部６１３及び電圧重畳部６１１を有している。第１の電圧発生部６１２は可動部２をＹ軸まわりに回動させるための第１の電圧波形を発生させる。第２の電圧発生部６１３は可動部２をＸ軸まわりに回動させるための第２の電圧波形を発生させる。電圧重畳部６１１は第１の電圧波形と第２の電圧波形とを重畳し、その電圧波形をコイル部４２に印加する。

図５は電圧波形を説明するためのタイムチャートである。図５（ａ）に示すように、第１の電圧発生部６１２は周期Ｔ１、電圧Ｖ１で周期的に変化する第１の電圧波形６１４を発生させるものである。第１の電圧波形６１４は鋸波のような波形である。そのため、光スキャナー１は効果的に光を垂直走査（副走査）することができる。尚、第１の電圧波形６１４は、これに限定されず、交番電圧及び直流電圧を選択して印加できるようになっている。交番電圧を印加する際には、その電圧の強さＶ１、周波数（周期Ｔ１）を変更できるようになっている。さらに、オフセット電圧（直流電圧）を重畳させることもできるようになっている。本実施形態では、第１の電圧波形６１４の周波数は、変位部２１と一対の駆動梁９と第１永久磁石２１３によって構成される振動系の共振周波数と異なるように調整されている。

図５（ｂ）に示すように、一方、第２の電圧発生部６１３は周期Ｔ１とは異なる周期Ｔ２、電圧Ｖ２で周期的に変化する第２の電圧波形６１５を発生させるものである。周期Ｔ２は周期Ｔ１より短い周期に設定されている。第２の電圧波形６１５は正弦波のような波形である。尚、第２の電圧波形６１５は、これに限定されない。本実施形態では、第２の電圧波形６１５の周波数は、可動部２とねじり梁５ａと連結梁５ｂと第２永久磁石４１とによって構成される振動系の共振周波数と等しくなるように調整されている。これにより、可動部２がＸ軸まわりに高速回動し、回動角を大きくすることができる。

図４に戻って、第１の電圧発生部６１２及び第２の電圧発生部６１３は、電圧重畳部６１１に接続されている。電圧重畳部６１１は、コイル部４２に電圧を印加するための加算器６１１ａを備えている。加算器６１１ａは、第１の電圧発生部６１２から第１の電圧波形６１４を受け取るとともに、第２の電圧発生部６１３から第２の電圧波形６１５を受け、これらの電圧を重畳しコイル部４２に印加する。

次に、Ｙ方向を軸とした軸まわりの可動部２の回動について説明する。図６（ａ）及び図６（ｂ）は、第１永久磁石とコイルによる駆動を説明するための模式側断面図である。図６（ｂ）は図６（ａ）とは異なる方向への駆動を示している。図６は、図１におけるＡ−Ａ’断面に対応する断面図である。まず、第２永久磁石４１の側がＮ極となる第１の状態と、Ｓ極となる第２の状態と、が交互にかつ周期的に切り替わるように、電圧印加部６１からコイル部４２のコイル部４２１へ第１の電圧波形６１４（交番電圧）を印加する。

図６（ａ）に示す第１の状態では、コイル部４２の可動部２側がＮ極となる。そして、第１永久磁石２１３のＳ極がコイル部４２に引き付けられると共にＮ極がコイル部４２から遠ざかる。これにより、変位体２１１は、一対の駆動梁９を捩じり変形させつつ、第１永久磁石２１３のＳ極側の面を可動部２の側に向けるように回動して傾斜する。これと同時に、第１永久磁石３１３のＳ極がコイル部４２に引き付けられると共にＮ極がコイル部４２から遠ざかる。これにより、変位体３１１は、一対の駆動梁１０を捩じり変形させつつ、第１永久磁石３１３のＳ極側の面を可動部２の側に向けるように回動して傾斜する。つまり、変位部２１，３１が共に図中時計回りに回動する。

この変位部２１，３１の回動と共に、連結梁５ｂが可動部２側の端を基台１６側に向けるように傾斜し、連結梁６ｂが可動部２側の端を基台１６と反対側に向けるように傾斜する。そして、変位部２１の可動部２側の端が−Ｚ方向にずれ、変位部３１の可動部２側の端がＺ方向にずれた状態となる。これにより、屈曲部７の変形部７２１はその中心軸まわりに捩じり変形し、接続部７２２は湾曲変形する。屈曲部８も同様に捩じり変形及び湾曲変形し、ねじり梁５ａ，６ａ及び可動部２が図中一体的に反時計回りに回動する。

一方、図６（ｂ）に示す第２の状態では、コイル部４２の可動部２側がＳ極となる。そして、前述した第１の状態と逆の変形が起こる。すなわち、第１永久磁石２１３のＮ極がＳ極となっているコイル部４２に引き付けられると共に、第１永久磁石３１３のＮ極がＳ極になっているコイル部４２に引き付けられることになる。そして、可動部２は図６中時計回りに回動する。このようにして、第１の状態と、第２の状態とを交互にかつ周期的に切り替えることによって、可動部２をＹ方向を軸とした軸まわりに、自在に回動させることができる。

次に、Ｘ方向を軸とした軸まわりの可動部２の回動について説明する。図７（ａ）は、第２永久磁石とコイルによる駆動を説明するための模式側断面図である。図７（ｂ）は、第２永久磁石とコイルによる駆動を説明するための模式側断面図であって、図７（ａ）とは異なる方向へ駆動する様子を示している。図７は、図１におけるＢ−Ｂ’断面に対応する断面図であり、以下では、図７に加え、図１、図２及び図３も参照して説明する。コイル部４２の第２永久磁石４１側がＮ極となる第１の状態と、Ｓ極となる第２の状態と、が交互にかつ周期的に切り替わるように、電圧印加部６１からコイル部４２のコイル部４２１へ第２の電圧波形６１５（交番電圧）を印加する。

図７（ａ）に示すように、コイル部４２の第２永久磁石４１側がＳ極である場合、第２永久磁石４１のＮ極がコイル部４２に引き付けられると共にＳ極がコイル部４２から遠ざかる。このため、可動部２は可動部側のねじり梁５ａ，６ａを捩じり変形させて図中時計回りに回動して傾斜する。これに対し、図７（ｂ）に示すように、コイル部４２の第２永久磁石４１の側がＮ極である場合、第２永久磁石４１のＳ極がコイル部４２に引き付けられると共にＮ極がコイル部４２から遠ざかる。このため、可動部２は可動部側のねじり梁５ａ，６ａを捩じり変形させて図中反時計回りに回動して傾斜する。そして、可動部２の図中時計回りの回動あるいは反時計回りの回動は、可動部側のねじり梁５ａ，６ａの捩れにより吸収されることになる。従って、前述したＹ方向を軸とした軸まわりの可動部２の回動に影響を与えることがない。

従って、光スキャナー１は可動部２のＹ方向の軸まわりの回動と、可動部２のＸ方向の軸まわりの回動と、をそれぞれ個別に独立して行うことができる。即ち、第１永久磁石２１３、３１３とコイル部４２による可動部２の回動は、第２永久磁石４１とコイル部４２による可動部２の回動による影響を受けない。逆に、第２永久磁石４１とコイル部４２による可動部２の回動は、第１永久磁石２１３、３１３とコイル部４２による可動部２の回動による影響を受けない。そのため、光スキャナー１はＹ方向及びＸ方向のそれぞれの軸まわりに可動部２を安定して回動させることができる。

以上説明したような光スキャナー１は、例えば、プロジェクター、レーザープリンター、イメージング用ディスプレイ、バーコードリーダー、走査型共焦点顕微鏡等の画像形成装置に好適に適用することができる。図８は、本発明の画像形成装置の構成を示す模式図である。図８には、画像形成装置としてのプロジェクター１００が示されている。ここでは、スクリーン１８０の長手方向を「横方向」といい、長手方向に直角な方向を「縦方向」という。プロジェクター１００は、レーザー等の光を射出する光源としての光源装置１１０と、複数のダイクロイックミラー１２０と、光スキャナー１とを有している。

光源装置１１０は、赤色光を射出する赤色光源装置１１１と、青色光を射出する青色光源装置１１２と、緑色光を射出する緑色光源装置１１３とを備えている。各ダイクロイックミラー１２０は、赤色光源装置１１１、青色光源装置１１２、緑色光源装置１１３のそれぞれから射出された光を合成する光学素子である。このようなプロジェクター１００は、図示しないホストコンピューターからの画像情報に基づいて、光源装置１１０から射出された光をダイクロイックミラー１２０で合成し、この合成された光が光スキャナー１によって２次元走査され、固定ミラー１５０を介してスクリーン１８０上にカラー画像を形成するよう構成されている。

２次元走査の際、光スキャナー１の可動部２が、Ｙ方向の軸まわりに回動し、反射板３の光反射面３ａで反射した光がスクリーン１８０の横方向に走査（主走査）される。一方、光スキャナー１の可動部２が、Ｘ方向の軸まわりに回動し、光反射面３ａで反射した光がスクリーン１８０の縦方向に走査（副走査）される。光スキャナー１による光の走査は、いわゆるラスタースキャンによって行ってもよしい、いわゆるベクタースキャンによって行ってもよい。特に、光スキャナー１においては、その構成上、ベクタースキャンに適しているため、ベクタースキャンによって光を走査するのが好ましい。

光スキャナー１にとって好ましいベクタースキャンとは、光源装置１１０から射出された光を、スクリーン１８０に対し、スクリーン１８０上の異なる２点を結ぶ線分を順次形成するように走査する手法である。すなわち、微少な直線を集合させることにより、スクリーン１８０に所望の画像を形成する手法である。光スキャナー１では、可動部２を、Ｙ方向の軸まわり及びＸ方向の軸まわりに、不規則に且つ連続的に変位させることが可能であるため、ベクタースキャンに特に適している。

具体的に説明すれば、図中に示すような文字”ａｂ”をベクタースキャンにて描画する場合には、光源装置１１０から射出された光をそれぞれの文字を書くように走査する。この際、光スキャナー１が有する可動部２のＸ方向の軸まわりの姿勢（回動）とＹ方向の軸まわりの姿勢（回動）とをそれぞれ制御して、走査軌跡１３０に沿って不規則に光を走査することができる。そして、”ａｂ”の文字を一筆書きのように描画することができる。このようなベクタースキャンによれば、ラスタースキャンのように、スクリーン１８０の全面に光を走査させなくてよいため、効率的に画像を描画することができる。尚、本実施形態では、ダイクロイックミラー１２０で合成された光を光スキャナー１によって２次元的に走査した後、その光を固定ミラー１５０で反射させてからスクリーン１８０に画像を形成するように構成されているが、固定ミラー１５０を省略し、光スキャナー１によって２次元的に走査された光を直接スクリーン１８０に照射してもよい。

以上説明した実施形態における光スキャナー１の主要な効果を記載する。

（１）光スキャナー１は、Ｘ方向を軸とする回動と、Ｙ方向を軸とする回動と、が互いの影響を受けることなく可動部２へ変位を付与する機能を有する。これにより、光スキャナー１は、可動部２がＸ方向またはＹ方向の軸を中心にして、個別に安定して回動することができ、任意の方向へ光を反射することができる。さらに、Ｘ方向を軸とする回動の構成が可動梁及び駆動梁を有しない構成であるため、光スキャナー１を小型化することも可能である。

（２）可動部２を、Ｙ方向を軸として回動を行うための第１の電圧波形６１４と、Ｘ方向を軸として回動を行うための第２の電圧波形６１５と、を重畳して１つのコイル部へ印加する。各回動に必要なコイルを１つに削減し、光スキャナー１をより小型化することが可能である。また、コイルを１つに削減している為、生産性良く光スキャナー１を生産することができる。

（３）光スキャナー１のＹ方向を軸とする回動を行うアクチュエーターは、第１永久磁石２１３，３１３とコイル部４２で構成し、Ｘ方向を軸とする回動を行うアクチュエーターは、第２永久磁石４１とコイル部４２で構成している。そして、第１永久磁石２１３，３１３または第２永久磁石４１に対し、コイル部４２から磁界を発生させて、第１永久磁石２１３，３１３または第２永久磁石４１のいずれかの極側をコイルに引きつけることにより、可動部２を回動させている。このように、光スキャナー１は、重畳した電圧の印加によりコイル部４２の極性を簡便に変化させる構成により、可動部２を自在に変位させることが容易にできる。

（４）光スキャナー１は、第２永久磁石４１が反射板３を支持することに加え、第２永久磁石としても機能している。これにより、光スキャナー１は、反射板３を支持するだけの支持部材を削減することができ、可動部２の重量軽減が可能となり変位に要する磁界強度の低減や、部品点数削減等が図れる。従って、生産性良く光スキャナー１を生産することができる。

また、光スキャナー１及び画像形成装置としてのプロジェクター１００は、上記の実施形態に限定されるものではなく、次に挙げる変形例のような形態であっても、実施形態と同様な効果が得られる。

（変形例１）光スキャナー１の反射板３は、可動部２と近似の大きさの直径Ｄ１の円形をなしているが、この構成に限定されるものではなく、可動梁５，６が機能する範囲であれば、可動部２より大きな直径Ｄ２の円形であっても良い。図９（ａ）及び（ｂ）は、光スキャナーの動作を説明するための模式側断面図であり、図９（ｂ）は、変形例におけるＹ方向を軸とする回動を示す模式断面図である。図９（ａ）に示すように、可動部２に第２永久磁石４１によって支持されている光反射部としての反射板５０は、可動部２に対して反対方向に光反射面５０ａを有し、その円周端部が屈曲部７，８を超えて連結梁５ｂ，６ｂにまで達する大きさである。このような大きさの反射板５０であっても、反射板５０が第２永久磁石４１によって可動部２から離間しているため、図９（ｂ）に示すように、反射板５０が回動して傾斜した状態でも、可動梁５，６及び屈曲部７，８に当接しない。つまり、反射板５０は、反射板３と同様な回動ができることに加え、さらに、より多くの光束を一度に反射することができる。尚、これとは逆に、反射板は、可動部２より小さな円形であっても良い。

（変形例２）光スキャナー１において、可動部２及び反射板３の平面視形状は、円形であるが、これに限定されず、例えば長方形、正方形等の多角形、円形、楕円形等であっても良い。また、可動部２と反射板３とが同形状でなくても良い。

（変形例３）変位部２１，３１の変位体２１１，３１１の平面視形状は、特に限定されるものではなく、例えば、正方形や五角形以上の多角形であっても良く、円形等であっても良い。

（変形例４）変位部２１，３１における第１永久磁石２１３，３１３は、棒状をなしているが、これに限定されず、例えば、板状等をなしていても良い。板状の場合には、これら永久磁石を面方向に磁化して変位体２１１，３１１に固定する。これにより、該永久磁石のＸ方向長さを短くすることができ、変位体２１１，３１１の回動に伴って発生する慣性モーメントを抑えることができる。

（変形例５）光スキャナー１は、第１永久磁石２１３と第１永久磁石３１３とが光反射面３ａの側に位置するそれぞれの極の極性を互いに異ならせた状態で、可動部２をＸ方向あるいはＹ方向の軸まわりに回動させる構成である。これに限らず、磁石の配置や電圧の印加方法を変えて回動以外の変位を付与しても良い。例えば、可動部２を傾斜させずにＺ方向へ振動あるいは静止させたりすることも可能であり、より多彩な光の反射を行うことができる。

（変形例６）可動部２をＸ方向及びＹ方向に回動するためのアクチュエーターは、第１永久磁石２１３，３１３または第２永久磁石４１と、コイル部４２と、を有する構成であるが、例えば、コイル部４２に替えて、回転可能に設置された永久磁石を有する構成等であっても良い。該永久磁石をすばやく回転させることにより、コイル部４２のように、第１永久磁石２１３，３１３または第２永久磁石４１に対向する側の極性を変化させることができる。

（変形例７）光スキャナー１では、振動基板４における振動形態について特に規定していないが、例えば、第１永久磁石２１３、３１３とコイル部４２により連結部１１，１２を介して可動部２を回動させる場合には、それぞれが共振して駆動することが好ましい。共振駆動では、可動部２を正弦波駆動させるため同じ回動を繰り返して行う駆動となるが、大きな回動でも低消費電力で駆動することが可能である。一方、梁等を介さず、第２永久磁石４１とコイル部４２により、可動部２を直接回動させる場合には、ねじり梁５ａ，６ａとが非共振で駆動することが好ましく、非共振駆動では、消費電力が増えるが、可動部２を小さな回動で自在に駆動することが可能である。共振駆動と非共振駆動とを選択することにより、光スキャナー１を最適に駆動することができ、プロジェクター１００をはじめ、各種の画像形成装置に搭載可能である。

１…光スキャナー、２…可動部、３ａ…光反射面、３…光反射部としての反射板、５，６…可動梁、５ａ，６ａ…ねじり梁、５ｂ，６ｂ…連結梁、７，８…屈曲部、９，１０…駆動梁、１５…支持枠、２１，３１…変位部、４１…第２永久磁石、４２…コイルとしてのコイル部、６０…駆動部、６１…電圧印加部、１１０…光源としての光源装置、２１３，３１３…第１永久磁石、６１１…電圧重畳部、６１２…第１の電圧発生部、６１３…第２の電圧発生部、６１４…第１の電圧波形、６１５…第２の電圧波形。

Claims (8)

1. 光反射面を有する光反射部を備え、かつ第１の回動中心軸及び前記第１の回動中心軸に直交する第２の回動中心軸まわりに回動可能な可動部と、
   前記可動部から前記第１の回動中心軸に沿って延出し、前記可動部を挟んで対向配置される一対の可動梁と、
   各前記可動梁に接続され、前記可動部を前記第２の回動中心軸まわりに回動させる変位を発生する変位部と、
   各前記変位部から前記第２の回動中心軸と平行な方向に延出する一対の駆動梁と、
   前記駆動梁を支持する支持枠と、
   各前記変位部に設けられた第１永久磁石、前記可動部に設けられた第２永久磁石、各前記第１永久磁石及び前記第２永久磁石に作用する磁界を発生するコイル、該コイルに電圧を印加する電圧印加部、を有する駆動部と、を備え、
   前記可動梁は、前記変位部の変位によって前記支持枠の厚さ方向に屈曲変形する屈曲部と、前記可動部と前記屈曲部の間に位置するねじり梁と、前記屈曲部と前記変位部の間に位置する連結梁と、を含み、
   前記電圧印加部は、第１の電圧波形を発生する第１の電圧発生部、第２の電圧波形を発生する第２の電圧発生部、前記第１の電圧波形と前記第２の電圧波形とを重畳する電圧重畳部、を有し、
   前記電圧重畳部で重畳された電圧を前記コイルに印加することにより、前記可動部を前記第１の電圧波形で前記第２の回動中心軸まわりに回動させつつ、前記第２の電圧波形で前記第１の回動中心軸まわりに回動させるように構成されていることを特徴とする光スキャナー。
2. 請求項１に記載の光スキャナーにおいて、
   前記第１永久磁石は、前記光反射面と直交する方向に両極が対向するように配置され、各前記変位部に設けられた各前記第１永久磁石同士は、前記光反射面の側に位置するそれぞれの極が互いに異なる極性となっていることを特徴とする光スキャナー。
3. 請求項１または２に記載の光スキャナーにおいて、
   前記第２永久磁石は、両極間の長さが前記可動部の外形長さと近似し、前記第２の回動中心軸と平行な方向に両極が対向するように前記可動部へ設けられていることを特徴とする光スキャナー。
4. 請求項１から３のいずれか一項に記載の光スキャナーにおいて、
   前記第２永久磁石は、前記光反射部を支持した状態で前記可動部に設けられていることを特徴とする光スキャナー。
5. 請求項１から４のいずれか一項に記載の光スキャナーにおいて、
   前記光反射面は、前記可動部より大きな面積を有していることを特徴とする光スキャナー。
6. 請求項１から５のいずれか一項に記載の光スキャナーにおいて、
   前記第２の電圧波形の周波数は、前記可動部と一対の前記ねじり梁と前記第２永久磁石とによって構成される振動系の共振周波数と等しいことを特徴とする光スキャナー。
7. 請求項６に記載の光スキャナーにおいて、
   前記第１の電圧波形の周波数は、前記第２の電圧波形の周波数と異なり、且つ前記変位部と前記一対の駆動梁と前記第１永久磁石によって構成される振動系の共振周波数と異なることを特徴とする光スキャナー。
8. 光源と、
   前記光源からの光を走査する光スキャナーと、を有し、
   前記光スキャナーは、
   光反射面を有する光反射部を備え、かつ第１の回動中心軸及び前記第１の回動中心軸に直交する第２の回動中心軸まわりに回動可能な可動部と、
   前記可動部から前記第１の回動中心軸に沿って延出し、前記可動部を挟んで対向配置される一対の可動梁と、
   各前記可動梁に接続され、前記可動部を前記第２の回動中心軸まわりに回動させる変位を発生する変位部と、
   各前記変位部から前記第２の回動中心軸と平行な方向に延出する一対の駆動梁と、
   前記駆動梁を支持する支持枠と、
   前記変位部に設けられた第１永久磁石、前記可動部に設けられた第２永久磁石、前記第１永久磁石及び前記第２永久磁石に作用する磁界を発生するコイル、該コイルに電圧を印加する電圧印加部、を有する駆動部と、を備え、
   前記可動梁は、前記変位部の変位によって前記支持枠の厚さ方向に屈曲変形する屈曲部と、前記可動部と前記屈曲部の間に位置するねじり梁と、前記屈曲部と前記変位部の間に位置する連結梁と、を含み、
   前記電圧印加部は、第１の電圧波形を発生する第１の電圧発生部、第２の電圧波形を発生する第２の電圧発生部、前記第１の電圧波形と前記第２の電圧波形とを重畳する電圧重畳部、を有し、
   前記電圧重畳部で重畳された電圧を前記コイルに印加することにより、前記可動部を前記第１の電圧波形で前記第２の回動中心軸まわりに回動させつつ、前記第２の電圧波形で前記第１の回動中心軸まわりに回動させるように構成されていることを特徴とする画像形成装置。

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