JP2009075252A - 積層構造体およびその形成方法、配線基板、マトリクス基板、電子表示装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】エネルギーの付与によって表面エネルギーが変化する材料を含み、表面エネルギーの大きな高表面エネルギー部と表面エネルギーの小さな低表面エネルギー部との少なくとも表面エネルギーの異なる2つの部位を有する濡れ性変化層と、濡れ性変化層の高表面エネルギー部に接するように形成された電極とを有する積層構造体であって、電極は第1の電極領域と、第1の電極領域よりも幅の狭い第2の電極領域とが、第2の電極領域よりも幅の狭い第3の電極領域で接続される。
【選択図】図9
Description
本発明の積層構造体形成方法は、濡れ性変化層に、エネルギー付与により機能液に対する濡れ性の高い高表面エネルギー部と濡れ性の低い低表面エネルギー部を形成し、機能液供給手段により高表面エネルギー部のみに選択的に導電性材料を含有する機能液を供給して形成する積層構造体の形成方法において、前記高表面エネルギー部は第1の高表面エネルギー部と、第1の高表面エネルギー部よりも幅の狭い第2の高表面エネルギー部と、第1および第2の高表面エネルギー部とを接続する第2の高表面エネルギー部よりも幅の狭い第3の高表面エネルギー部からなり、第1および第2の高表面エネルギー部にのみ選択的に機能液供給手段により選択的に機能液を供給し、機能液の流動により、第1および第2および第3の高表面エネルギー部全域に渡り電極を形成することを特徴とする。図2〜6に示すようにこの積層構造体の形成方法は、基板上に濡れ性変化材料を含有する濡れ性変化層を形成する工程AA(図2)と、エネルギー付与により濡れ性変化層へ高表面エネルギー部・低表面エネルギー部を形成する工程BB(図3)と、濡れ性変化層に形成された第1および第2の高表面エネルギー部に機能液供給手段を用いて選択的に機能液を供給する工程CC(図4、図5)と、第1および第2および第3の高表面エネルギー部の全域に濡れ広がったインクを乾燥させて機能性材料パターンを形成する工程DD(図5)からなる。
(1)下地層形成(塗布+ベーク)
(2)下地層露光(マスク露光)
次に工程CCでは、図4に示すように濡れ性変化層の第1および第2の高表面エネルギー部にのみインク供給手段を用いて選択的に導電性材料を含有する機能液を供給する。機能液供給手段としてはインクジェット法またはディスペンサ法が考えられるが、微小インク滴を非接触で精度良く前記第1の高表面エネルギー部に供給できるという点から、インクジェット法がより好適である。
次に本発明において上述した製造方法を用いて積層構造体を形成する際に、機能液の流動によって第1、第2および第3の領域全域に渡り機能液を供給する方法について詳細に説明する。
R=W/2SIN(θ)
この式より、液滴の内部圧力は高表面エネルギー部の幅Wが狭いほど、また角度θが大きいほど高くなることがわかる。
次に本発明における積層構造体の構成について説明する。この積層構造体はエネルギーの付与により表面エネルギーが変化する材料を含み、表面エネルギーの大きな高表面エネルギー部と表面エネルギーの小さな低表面エネルギー部との少なくとも表面エネルギーの異なる2つの部位を有する濡れ性変化層と、この濡れ性変化層の高表面エネルギー部に接するように形成された電極とからなる積層構造体において、前記電極は第1の電極領域と、第1の電極領域よりも幅の狭い第2の電極領域と、第1および第2の電極領域とを接続する第2の電極領域よりも幅の狭い第3の電極領域からなることを特徴とする。図10の(a)と(c)には一定方向に延在する第1の電極領域と、第1の電極領域の延在方向に直交する方向に延在する第2の電極領域が、第3の電極領域によって接続される場合である。また、図10(b)には第1の電極領域の延在方向と同方向に第2の電極領域が延在する場合を示した。それぞれの場合に関して第1の電極領域および第2の電極領域の幅を図示してあるが、ここでいう幅とは、それぞれの電極領域の延在方向に直交する方向の電極領域の幅である。
次に本発明の積層構造体を用いたアクティブマトリクス基板の構成に関して説明する。アクティブマトリクス基板はゲート電極、ゲート絶縁膜、ソース電極、ドレイン電極、保持容量電極、半導体を含むトランジスタ、ゲート電極に接し一定方向に延在するゲート信号線、ソース電極に接しゲート信号線に直交する方向に延在するソース信号線、及び保持容量電極に接しゲート信号線あるいはソース信号線の延在方向に延在する共通信号線を備えるアクティブマトリクス基板より構成される。図13はアクティブマトリクス基板の構成例であり、また図14には保持容量電極および共通信号線の形成方法として、従来の方法と本発明による方法を比較して示した。なお図14では簡素化のため半導体は図示していない。図13に示すように保持容量電極は共通信号線と接続されているが、これにより常に一定の共通電位となっている。同時に保持容量電極はゲート絶縁膜を介して対向するドレイン電極との間で容量を形成してトランジスタ動作時にドレイン電極に注入されるキャリアを保持する役目を有する。キャリア保持のための容量を増やすために保持容量の面積は極力大きい方が好ましいが、そのためには共通信号線をできるだけ細い幅とする必要がある。従って保持容量電極の幅と共通信号線の幅に大きな差が生まれるが、この両方の膜厚を等しくしようとして図14の(a)に示すように機能液を供給した場合、共通信号線に相当する高表面エネルギー部から保持容量電極に相当する高表面エネルギー部へと機能液が流動してしまい、両者に膜厚差が生じる。保持容量電極が厚くなった場合、その上層に形成されるゲート絶縁膜の膜厚が薄膜化あるいは不均一になるため、ゲート絶縁膜の絶縁性が劣化してしまう。それだけなく機能液の流動により共通信号線の膜厚が薄くなってしまう為、共通電位を供給するために本来導通する必要のある共通信号線が断線してしまう。従って従来の形成方法では信頼性のあるアクティブマトリクス基板を提供することが難しかった。一方で本発明においては、図14の(b)のように保持容量電極と共通信号線を接続する領域に共通信号線よりも幅の狭い狭窄電極を設けることを特徴とする。これにより、保持容量電極と共通信号線の幅が異なった場合でも、両者の膜厚を等しくすることができ、信頼性のあるアクティブマトリクス基板を提供することが可能になる。
本実施例においては幅の異なる2つの高表面エネルギー部を設け、幅の広い高表面エネルギー部に機能液を選択供給した場合に、幅の狭い高表面エネルギー部に機能液が流動する条件を確認した。
はじめに紫外線照射により表面自由エネルギーが変化する側鎖にアルキル基を有するポリイミド材料のNMP溶液を、ガラス基板上にスピンコート塗布した。100℃のオーブンで前焼成を行った後、180℃で溶媒を除去し、濡れ性変化層1を形成した。第1の高表面エネルギー部の幅W1と、第2の高表面エネルギー部の幅W2を変えた条件とするために濡れ性変化層1は複数形成した。それぞれの濡れ性変化層1に波長が300nm以下の紫外線(超高圧水銀ランプ)をパターンのあるフォトマスク越しに照射し、同一膜面上に、紫外線を照射した部分と、していない部分を作製した。紫外線を照射した濡れ性変化層1の高表面エネルギー部は、第1の高表面エネルギー部と第1の高表面エネルギー部よりも幅の狭い第2の高表面エネルギー部を有する。次にインクジェット法を用いて導電性材料を含有する機能液を第1の高表面エネルギー部に選択的に供給した。ここで用いた機能液はAgのナノメタルインクであり、表面張力は約30mN/m、粘度は約10mPa・sである。機能液の濡れ性変化層1の高表面エネルギー部に対する接触角は8°、また濡れ性変化層1の低表面エネルギー部に対する接触角は28°であった。なおインクジェットヘッドから吐出される機能液の液適体積は8plとした。第1の高表面エネルギー部へ供給された機能液を80℃のオーブンで乾燥させ、溶媒を除去し積層構造体を形成した。第1の高表面エネルギー部の幅W1,および濡れ性変化層表面の第2の高表面エネルギー部の幅W2を変え、積層構造体形成後に金属顕微鏡で観察した結果を表1にまとめる。その結果W1とW2の比が6.0まで機能液を流動させることができたが、それ以上大きくなると機能液の流動が抑止され、第2の高表面エネルギー部の一部分にしか電極が形成されなかった。
実施例1の検討結果に基づき、本発明における積層構造体をアクティブマトリクス基板の構成要素へ適用した例を示す。
本実施例で形成する積層構造体をアクティブマトリクス基板に採用した構造を図15に示す。基板、ゲート電極、保持容量電極、共通信号線、ゲート絶縁膜、ソース電極、ドレイン電極からなる構成のマトリクス基板である。1画素分に着目した構成を併せて示すが、実際には30×30素子で構成されている。また画素サイズは80PPIに相当する317.5μmである。はじめにフィルム基板に実施例1で用いたポリイミドのNMP溶液をスピンコート塗布し、焼成してゲート電極形成用の濡れ性変化層を形成した。その上にインクジェット法を用いて膜厚設計値約50nmで機能液を供給しゲート電極と保持容量電極を形成した。次に膜厚約500nmゲート絶縁膜を同じくスピンコートで成膜し、さらにその上にソース・ドレイン電極用の濡れ性変化層を形成した。ゲート電極形成用、ソース・ドレイン電極形成用の濡れ性変化層は両方とも実施例1で示した濡れ性変化層である。またインクジェット法で用いた機能液も同じく実施例1で示したAgナノメタルインクである。機能液の濡れ性変化層の高表面エネルギー部に対する接触角は8°、また濡れ性変化層1の低表面エネルギー部に対する接触角は28°である。
2 ステージ
3 液滴吐出ヘッド
4 X軸方向移動機構
5 Y軸方向移動機構
6 制御装置
7 X軸方向駆動軸
8 X軸方向駆動モータ
9 Y軸方向駆動軸
10 Y軸方向駆動モータ
100 インクジェット装置
S 基板
Claims (14)
- エネルギーの付与によって表面エネルギーが変化する材料を含み、表面エネルギーの大きな高表面エネルギー部と表面エネルギーの小さな低表面エネルギー部との少なくとも表面エネルギーの異なる2つの部位を有する濡れ性変化層と、該濡れ性変化層の該高表面エネルギー部に接するように形成された電極とを有する積層構造体であって、前記電極は第1の電極領域と、該第1の電極領域よりも幅の狭い第2の電極領域とが、該第2の電極領域よりも幅の狭い第3の電極領域で接続されることを特徴とする積層構造体。
- 前記第3の電極領域は、前記第2の電極領域と接する幅が前記第1の電極領域と接する幅がよりも狭いテーパ形状であることを特徴とする請求項1に記載の積層構造体。
- 前記第3の電極領域が複数個設けられることを特徴とする請求項1または2に記載の積層構造体。
- インクジェット法で用いられる機能液の前記低表面エネルギー部に対する接触角が28°以上、
インクジェット法で用いられる機能液の前記高表面エネルギー部に対する接触角が8°以下、
前記第1の電極領域の幅W1と前記第3の電極領域の幅W3の比、W1/W3が6以下、
前記第2の電極領域の幅W2と前記第3の電極領域の幅W3の比、W2/W3が6より大きい、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の積層構造体。 - 前記機能液の表面張力は20mN/m乃至50mN/mであり、粘度は2mPa・s乃至50mPa・sであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の積層構造体。
- 基板上に第1の高表面エネルギー部と、該第1の高表面エネルギー部よりも幅の狭い第2の高表面エネルギー部と、該第1および第2の高表面エネルギー部とを接続する第2の高表面エネルギー部よりも幅の狭い第3の高表面エネルギー部とを形成するステップと、導電性材料を含有する機能液を前記第1の高表面エネルギー部および第2の高表面エネルギー部に選択的に供給するステップと、供給された機能液を乾燥・固化させて第1、第2および第3の電極を形成するステップとを有することを特徴とする積層構造体の形成方法。
- 前記第1、第2および第3の電極がインクジェット法を用いて形成されることを特徴とする請求項6に記載の積層構造体の形成方法。
- 少なくとも基板と絶縁体層と電極層を有する多層配線基板であって、
前記電極層の少なくとも1層を請求項1乃至5のいずれか一項に記載の積層構造体とすることを特徴とする多層配線基板。 - 半導体層と、該半導体層に接して導電層として設けられた一対の電極層と、をさらに有し、電子素子の形状で基板上に設けられたことを特徴とする請求項8に記載の多層配線基板。
- 少なくとも基板と、該基板上に設けられた電極層と、絶縁体層と、半導体層と、該半導体層に接して導電層として設けられた一対の電極層と、を有する多層配線基板が複数個配設されたマトリクス基板であって、前記基板上に設けられた電極層が請求項1乃至5のいずれか一項に記載の積層構造体であることを特徴とするマトリクス基板。
- ゲート電極、ゲート絶縁膜、ソース電極、ドレイン電極、保持容量電極、半導体を含むトランジスタ、ゲート電極に接し一定方向に延在するゲート信号線、ソース電極に接しゲート信号線に直交する方向に延在するソース信号線、及び保持容量電極に接しゲート信号線あるいはソース信号線の延在方向に延在する共通信号線を備えるアクティブマトリクス基板であって、
前記ゲート電極、前記ソース電極、前記ドレイン電極、前記保持容量電極、前記ゲート信号線、前記ソース信号線、および前記共通信号線のうち、基板上に位置して互いに接する、少なくとも一対の電極または信号線が請求項1乃至5のいずれか一項に記載の積層構造体であることを特徴とするアクティブマトリクス基板。 - ゲート電極、ゲート絶縁膜、ソース電極、ドレイン電極、保持容量電極、半導体を含むトランジスタ、ゲート電極に接し一定方向に延在するゲート信号線、ソース電極に接しゲート信号線に直交する方向に延在するソース信号線、及び保持容量電極に接しゲート信号線あるいはソース信号線の延在方向に延在する共通信号線を備えるアクティブマトリクス基板であって、
前記ゲート電極、前記ソース電極、前記ドレイン電極、前記保持容量電極、前記ゲート信号線、前記ソース信号線、および前記共通信号線のうち、前記ゲート絶縁膜の下層で配置され、かつ、基板上に位置して互いに接する、少なくとも一対の電極または信号線が請求項1乃至5のいずれか一項に記載の積層構造体であることを特徴とするアクティブマトリクス基板。 - 請求項10に記載のマトリクス基板を備える電子表示装置。
- 請求項11または12に記載のアクティブマトリクス基板を備える電子表示装置。
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