JP2009072688A - 反応ノズル、気相加水分解処理装置および気相加水分解処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液状の第1の流体を噴出する第1のノズル10と、第1のノズルの外側に第1のノズルと同心円状に配置され、第1の流体を微細化する第1の気体を噴出する第2のノズル20と、第1のノズルおよび第2のノズルより下流側で、かつ、第1の流体および第1の気体の流れの外側に開口部を有し、第1の流体と反応する第2の流体を噴出する第3のノズル30とを備える反応ノズル1。
【選択図】図1
Description
図9に示す測定結果から、加水分解反応温度が低いほど、シリカ微粒子の粒径が大きくなることがわかる。すなわち、加水分解反応温度を低くした方が、後段のミストコットレルでのシリカ微粒子の捕集が容易になる。特に500℃以下とすると、シリカ微粒子の粒径が300nm以上となるので、捕集し易い。
また加水分解反応温度が低いほど、塩素ガスの副生量も少なくなることがわかる。すなわち、加水分解反応温度を低くした方が、後段のスクラバーの負担が軽くなる。
6 気相加水分解処理装置
10 第1のノズル
12 第1のノズルの先端
14 細い直管
16 太い直管
18 傾斜部分
20 第2のノズル
22 第2のノズルの先端
24 縮径開始部分
26 傾斜
28 縮径開始部分
30 第3のノズル
32 第3のノズルの先端
34 曲がり部
40 第4のノズル
42 第4のノズルの先端
44 傾斜
46 すぼまる部分
52、54、58 端面
56 側面
60 加水分解炉
62 縦型容器
64 高温ガスノズル
65 バーナー
66 ガス出口
70 燃焼炉
75 急冷塔
80 スクラバー
85 ミストコットレル(捕集装置)
90 ファン
100 産業廃棄物焼却装置
110 ロータリーキルン
120 後室
130 旋回流式二次燃焼炉
140 急冷塔
150 スクラバー
160 ミストコットレル(湿式電気集塵機)
170 誘引ファン
180 煙突
200 試験装置
250 二重管式ノズル
252 石英管
254 電熱式縦型管状炉
260 ノズル
262 水トラップ
270 円筒ろ紙煤塵捕集器
280 検知管
290 真空ポンプ
A 第1の流体
B 第1の気体
C 第2の流体
D 第2の気体
F 燃料
Mx、My、Mz 混合ガス
SA スチーム・空気混合体
T 温度計
W 冷却水
Claims (7)
- 液状の第1の流体を噴出する第1のノズルと;
前記第1のノズルの外側に前記第1のノズルと同心円状に配置され、前記第1の流体を微細化する第1の気体を噴出する第2のノズルと;
前記第1のノズルおよび前記第2のノズルより下流側で、かつ、前記第1の流体および前記第1の気体の流れの外側に開口部を有し、前記第1の流体と反応する第2の流体を噴出する第3のノズルとを備える;
反応ノズル。 - 前記第2のノズルの外側に前記第2のノズルと同心円状に配置され、前記第1の流体と前記第2の流体とが反応した流体を覆う第2の気体を噴出する第4のノズルを備える;
請求項1に記載の反応ノズル。 - 前記第3のノズルを放射状に複数備え;
前記第3のノズルから、前記第2の流体が、前記第1の気体により微細化された前記第1の流体に向けて噴出される;
請求項1または請求項2に記載の反応ノズル。 - 前記第1の流体がクロルシランを含み;
前記第2の流体が水蒸気であり;
前記第1の流体と前記第2の流体との反応により、シリカ微粒子が生成される;
請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の反応ノズル。 - クロルシランと有機化合物を含む液体を処理する気相加水分解処理装置であって:
前記液体を前記第1の流体として噴出する請求項4に記載の反応ノズルを備え、前記第1の流体と前記第2の流体とが反応した流体を排出する加水分解炉と;
前記加水分解炉から排出された流体を燃焼する燃焼炉と;
前記シリカ微粒子を捕集する捕集装置とを備える;
気相加水分解処理装置。 - 前記加水分解炉内の温度が200℃以上600℃以下に温度制御され;
前記燃焼炉内の温度が850℃以上1100℃以下に温度制御される;
請求項5に記載の気相加水分解処理装置。 - クロルシランと有機化合物を含む液体を処理する気相加水分解処理方法であって:
前記液体を噴出し、
前記噴出された液体に略平行して、前記噴出された液体の周囲に第1の気体を噴出することにより、前記液体を微細化し、
前記微細化された液体に水蒸気を混合して200℃以上600℃以下の温度で前記クロルシランを加水分解し、シリカ微粒子を生成する工程と;
前記液体と前記水蒸気の混合した流体であって、前記クロルシランが加水分解された流体を850℃以上1100℃以下の温度で燃焼する工程と;
前記シリカ微粒子を捕集する工程とを備える;
気相加水分解処理方法。
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