JP2009018290A - 排ガス洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の排ガス洗浄装置は、排ガスが流れるガス流路32を形成する壁部材31と、ガス流路32に配置されたミストノズル33A及び水膜ノズル33Bとを備える。ミストノズル33Aは、ガス流路32内にミストを形成し、水膜ノズル33Bは、ガス流路32内に水膜を形成する。ミストノズル33Aは水膜ノズル33Bよりも、排ガスの流れ方向に関して上流側に配置されている。複数組のミストノズルおよび水膜ノズルを備えてもよい。
【選択図】図2
Description
本発明の好ましい態様は、前記少なくとも1組のミストノズル及び水膜ノズルの上流側に、排ガスの流れを整流する整流部材を配置したことを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記排ガス処理装置は、燃焼式、触媒式、ヒーター式のいずれかであることを特徴とする。
図8は、上述した各実施形態に係る排ガス洗浄装置を用いて排ガス中の粉塵を除去した実験結果を示す表であり、本実施形態の比較例として行った実験結果を含んでいる。図9は、図8に示す比較例の実験に用いた排ガス洗浄装置を示す模式図である。この排ガス洗浄装置では、図8に示すように、ミストノズルおよび整流部材は設けられていなく、3つの水膜ノズル60がガス流路62に沿って配置されている。
11 バーナー
12 燃焼室
15 バイパス弁
16 予混合器
20 循環タンク
21 堰
25 冷却部
26 配管
27 スプレーノズル
30 排ガス洗浄部(排ガス洗浄装置)
31 壁部材
32 ガス流路
33A,34A,36 ミストノズル
33B,34B,37 水膜ノズル
35 噴霧ノズル
36 アウターノズル
37 センターノズル
40 整流部材
41 ミストノズル
42 噴霧ノズル
44 フランジ
45 導入ポート
46 案内板
47 排出ポート
49 熱交換器
50 シャワーノズル
51 ミストトラップ
55 水位センサ
56 漏洩センサ
70 触媒式加熱処理部
71 カラム
72 触媒層
73 ヒーター
75 スプレーノズル
80 酸性ガス処理部
81 スプレーノズル
Claims (5)
- 排ガスが流れるガス流路を形成する壁部材と、
前記ガス流路に配置された少なくとも1組のミストノズル及び水膜ノズルとを備え、
前記ミストノズルは、前記ガス流路内にミストを形成し、
前記水膜ノズルは、前記ガス流路内に水膜を形成し、
前記ミストノズルは前記水膜ノズルよりも、排ガスの流れ方向に関して上流側に配置されていることを特徴とする排ガス洗浄装置。 - 前記ミストノズル及び水膜ノズルは、複数組のミストノズル及び水膜ノズルであり、
複数組のミストノズル及び水膜ノズルは、前記ガス流路に沿って配置されていることを特徴とする請求項1に記載の排ガス洗浄装置。 - 前記少なくとも1組のミストノズル及び水膜ノズルの上流側に、排ガスの流れを整流する整流部材を配置したことを特徴とする請求項1に記載の排ガス洗浄装置。
- 請求項1乃至3のいずれか一項に記載の排ガス洗浄装置と、
前記排ガス洗浄装置に連結された排ガス処理装置とを備えたことを特徴とする排ガス処理システム。 - 前記排ガス処理装置は、燃焼式、触媒式、ヒーター式のいずれかであることを特徴とする請求項4に記載の排ガス処理システム。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007185012A JP2009018290A (ja) | 2007-07-13 | 2007-07-13 | 排ガス洗浄装置 |
US12/452,525 US8246732B2 (en) | 2007-07-13 | 2008-07-08 | Exhaust gas cleaning apparatus |
PCT/JP2008/062655 WO2009011323A1 (ja) | 2007-07-13 | 2008-07-08 | 排ガス洗浄装置 |
EP08778126.6A EP2168655B1 (en) | 2007-07-13 | 2008-07-08 | Exhaust gas cleaning apparatus |
TW097126246A TW200914117A (en) | 2007-07-13 | 2008-07-11 | Cleaning apparatus for exhaust gas |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007185012A JP2009018290A (ja) | 2007-07-13 | 2007-07-13 | 排ガス洗浄装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013047996A Division JP2013166146A (ja) | 2013-03-11 | 2013-03-11 | 排ガス洗浄方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009018290A true JP2009018290A (ja) | 2009-01-29 |
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Family Applications (1)
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---|---|---|---|
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---|---|
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TW (1) | TW200914117A (ja) |
WO (1) | WO2009011323A1 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011105421A1 (ja) | 2010-02-24 | 2011-09-01 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | X線顕微鏡像観察用試料支持部材、x線顕微鏡像観察用試料収容セル、およびx線顕微鏡 |
JP2011255370A (ja) * | 2010-05-13 | 2011-12-22 | Toda Kogyo Corp | 三方向スプレーノズルを用いた湿式排煙脱硫装置 |
EP2818225A1 (en) | 2013-06-24 | 2014-12-31 | Ebara Corporation | Exhaust gas abatement system |
JP2015000379A (ja) * | 2013-06-17 | 2015-01-05 | 株式会社荏原製作所 | 粉体排出システム |
WO2016024334A1 (ja) * | 2014-08-12 | 2016-02-18 | 株式会社荏原製作所 | 排ガス処理装置 |
JP2017089986A (ja) * | 2015-11-11 | 2017-05-25 | 株式会社荏原製作所 | 排ガス処理装置 |
JP2017211100A (ja) * | 2016-05-23 | 2017-11-30 | 株式会社荏原製作所 | 排ガス処理装置 |
CN111315971A (zh) * | 2017-07-07 | 2020-06-19 | 鉴锋国际股份有限公司 | 用于控制气体污染物分解氧化的装置及系统 |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4783325B2 (ja) * | 2007-04-09 | 2011-09-28 | 株式会社神戸製鋼所 | 高温排ガスの処理方法 |
US20140311125A1 (en) * | 2011-07-01 | 2014-10-23 | Sigan Peng | Method, apparatus, and system used for purifying and silencing exhaust of internal combustion engine |
CN102600687A (zh) * | 2012-04-20 | 2012-07-25 | 沈幼民 | 一种快装式水膜除尘器 |
JP5998915B2 (ja) * | 2012-12-19 | 2016-09-28 | 富士電機株式会社 | 排ガス処理装置 |
NO335786B1 (no) * | 2013-02-22 | 2015-02-16 | Marine Global Holding As | Marin eksosgassrensing |
JP6370684B2 (ja) | 2014-11-14 | 2018-08-08 | エドワーズ株式会社 | 除害装置 |
CN105521676A (zh) * | 2016-01-06 | 2016-04-27 | 浙江汇同电源有限公司 | 一种蓄电池回收用除尘喷淋塔 |
US10399091B2 (en) * | 2016-01-08 | 2019-09-03 | Korea Institute Of Machinery & Materials | Electrostatic precipitation device for removing particles in explosive gases |
JP2017210917A (ja) * | 2016-05-25 | 2017-11-30 | 富士電機株式会社 | 排ガス処理装置 |
EP3260187A1 (en) * | 2016-06-23 | 2017-12-27 | Yara Marine Technologies AS | System and method for reducing the amount of sulfur oxides in exhaust gas |
KR101959401B1 (ko) * | 2017-05-18 | 2019-07-05 | 주식회사 파나시아 | 배기가스 처리장치의 배출 세정액 내의 유해가스 제거 시스템 및 방법 |
JP7076223B2 (ja) * | 2018-02-26 | 2022-05-27 | 株式会社荏原製作所 | 湿式除害装置 |
CN108465334B (zh) * | 2018-06-02 | 2021-01-05 | 广东科霖环保设备有限公司 | 废气净化装置 |
GB2604652A (en) * | 2021-03-12 | 2022-09-14 | Edwards Ltd | Abatement apparatus |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5513178A (en) * | 1978-07-17 | 1980-01-30 | Babcock Hitachi Kk | Gas-liquid contact tower |
JPS6412672U (ja) * | 1987-07-09 | 1989-01-23 | ||
JP2000033221A (ja) * | 1998-05-11 | 2000-02-02 | Shimizu Corp | クリ―ンル―ム汚染物質除去システム |
JP2000107540A (ja) * | 1998-10-05 | 2000-04-18 | Wave:Kk | 排気ガス処理システム |
JP2001104740A (ja) * | 1999-10-08 | 2001-04-17 | Fuji Denki Sosetsu Co Ltd | 高風速エアワッシャ |
JP2002119819A (ja) * | 2000-10-11 | 2002-04-23 | Clean Air System:Kk | 空気浄化装置 |
JP2004261777A (ja) * | 2003-03-04 | 2004-09-24 | Kanken Techno Co Ltd | 半導体排ガス処理装置 |
JP2006075743A (ja) * | 2004-09-10 | 2006-03-23 | Hitachi Ltd | 排ガス分解処理装置 |
Family Cites Families (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3140163A (en) * | 1961-03-17 | 1964-07-07 | Bischoff Gottfried | Apparatus for cleaning gases |
US3948608A (en) * | 1972-03-24 | 1976-04-06 | Weir Jr Alexander | Apparatus for treating stack gases |
US4157250A (en) * | 1972-09-22 | 1979-06-05 | Ulrich Regehr | Scrubber apparatus for washing gases and having a coarse and fine droplet separator |
US3852409A (en) * | 1972-10-31 | 1974-12-03 | Lone Star Steel Co | Process for the removal of particulate matter and acidic gases from carrier gases |
US3969482A (en) * | 1974-04-25 | 1976-07-13 | Teller Environmental Systems, Inc. | Abatement of high concentrations of acid gas emissions |
US4140501A (en) * | 1975-12-12 | 1979-02-20 | Frank Ekman | Wet gas modular venturi scrubbing apparatus |
US4193774A (en) * | 1976-12-21 | 1980-03-18 | Pilat Michael J | Electrostatic aerosol scrubber and method of operation |
US4374813A (en) * | 1980-05-14 | 1983-02-22 | Koch Engineering Company, Inc. | Reverse-jet scrubber apparatus and method |
SU969298A1 (ru) | 1981-04-20 | 1982-10-30 | Липецкий Литейный Завод "Центролит" | Устройство дл мокрой очистки газов |
FI67030B (fi) * | 1981-06-26 | 1984-09-28 | Outokumpu Oy | Foerfarande och anordning foer rening av gaser innehaollandefasta och gasformiga foeroreningar |
US4853014A (en) * | 1987-07-27 | 1989-08-01 | Naylor Industrial Services, Inc. | Method and apparatus for cleaning conduits |
US5123836A (en) * | 1988-07-29 | 1992-06-23 | Chiyoda Corporation | Method for the combustion treatment of toxic gas-containing waste gas |
US4986838A (en) * | 1989-06-14 | 1991-01-22 | Airgard, Inc. | Inlet system for gas scrubber |
JPH0472815A (ja) | 1990-07-12 | 1992-03-06 | Toshiba Corp | カウンタ装置 |
DE4320044A1 (de) * | 1993-06-17 | 1994-12-22 | Das Duennschicht Anlagen Sys | Verfahren und Einrichtung zur Reinigung von Abgasen |
US5391220A (en) * | 1994-01-03 | 1995-02-21 | Calvert Environmental, Inc. | Pollution control system and method of using same |
US5531801A (en) * | 1994-02-08 | 1996-07-02 | Sewell; Frederic D. | Liquid spray air purification and controlled humidification apparatus with air quality monitor and controller |
DE19505231A1 (de) * | 1995-02-16 | 1996-08-22 | Metallgesellschaft Ag | Verfahren zum Reinigen von Gasen mit Wasser |
US6550751B1 (en) * | 1997-11-26 | 2003-04-22 | Marsulex Environmental Technologies Corp. | Gas-liquid contactor with liquid redistribution device |
EP1142621B1 (en) * | 1998-12-01 | 2004-11-10 | Ebara Corporation | Exhaust gas treating device |
JP2001293335A (ja) | 2000-04-12 | 2001-10-23 | Ebara Corp | フッ素含有化合物を含む排ガスの処理方法 |
JP4154219B2 (ja) * | 2001-12-25 | 2008-09-24 | キヤノン株式会社 | 湿式ガス処理方法 |
JP3654642B2 (ja) | 2001-12-27 | 2005-06-02 | 株式会社かんでんエンジニアリング | ガス浄化装置 |
JP4072815B2 (ja) * | 2002-03-01 | 2008-04-09 | 株式会社荏原製作所 | ファンスクラバー |
CA2453912C (en) * | 2002-12-23 | 2011-03-15 | Eric B. Rosen | Emission control device and method of operation thereof |
ITMI20030476A1 (it) * | 2003-03-13 | 2004-09-14 | Nicola Riccardi | Dispositivo e procedimento di abbattimento ad umido. |
US20050046052A1 (en) * | 2003-07-11 | 2005-03-03 | Kenichi Okada | Exhaust gas treating tower |
US6953495B2 (en) * | 2003-07-31 | 2005-10-11 | Envirocare International, Inc. | Low-energy venturi pre-scrubber for an air pollution control system and method |
US7025809B2 (en) * | 2003-12-11 | 2006-04-11 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Dual-type air purification system |
US7318857B2 (en) * | 2005-03-02 | 2008-01-15 | Eisenmann Corporation | Dual flow wet electrostatic precipitator |
-
2007
- 2007-07-13 JP JP2007185012A patent/JP2009018290A/ja active Pending
-
2008
- 2008-07-08 EP EP08778126.6A patent/EP2168655B1/en active Active
- 2008-07-08 US US12/452,525 patent/US8246732B2/en active Active
- 2008-07-08 WO PCT/JP2008/062655 patent/WO2009011323A1/ja active Application Filing
- 2008-07-11 TW TW097126246A patent/TW200914117A/zh unknown
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5513178A (en) * | 1978-07-17 | 1980-01-30 | Babcock Hitachi Kk | Gas-liquid contact tower |
JPS6412672U (ja) * | 1987-07-09 | 1989-01-23 | ||
JP2000033221A (ja) * | 1998-05-11 | 2000-02-02 | Shimizu Corp | クリ―ンル―ム汚染物質除去システム |
JP2000107540A (ja) * | 1998-10-05 | 2000-04-18 | Wave:Kk | 排気ガス処理システム |
JP2001104740A (ja) * | 1999-10-08 | 2001-04-17 | Fuji Denki Sosetsu Co Ltd | 高風速エアワッシャ |
JP2002119819A (ja) * | 2000-10-11 | 2002-04-23 | Clean Air System:Kk | 空気浄化装置 |
JP2004261777A (ja) * | 2003-03-04 | 2004-09-24 | Kanken Techno Co Ltd | 半導体排ガス処理装置 |
JP2006075743A (ja) * | 2004-09-10 | 2006-03-23 | Hitachi Ltd | 排ガス分解処理装置 |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8891728B2 (en) | 2010-02-24 | 2014-11-18 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Specimen supporting member for X-ray microscope image observation, specimen containing cell for X-ray microscope image observation, and X-ray microscope |
WO2011105421A1 (ja) | 2010-02-24 | 2011-09-01 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | X線顕微鏡像観察用試料支持部材、x線顕微鏡像観察用試料収容セル、およびx線顕微鏡 |
JP2011255370A (ja) * | 2010-05-13 | 2011-12-22 | Toda Kogyo Corp | 三方向スプレーノズルを用いた湿式排煙脱硫装置 |
JP2015000379A (ja) * | 2013-06-17 | 2015-01-05 | 株式会社荏原製作所 | 粉体排出システム |
JP2015004501A (ja) * | 2013-06-24 | 2015-01-08 | 株式会社荏原製作所 | 排ガス処理装置 |
KR20150000428A (ko) | 2013-06-24 | 2015-01-02 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 배출 가스 처리 장치 |
EP2818225A1 (en) | 2013-06-24 | 2014-12-31 | Ebara Corporation | Exhaust gas abatement system |
TWI639800B (zh) * | 2013-06-24 | 2018-11-01 | 荏原製作所股份有限公司 | 排氣處理裝置 |
US10227926B2 (en) | 2013-06-24 | 2019-03-12 | Ebara Corporation | Exhaust gas abatement system |
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