JP2009060129A - レジスト塗布方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 配管を有するレジスト塗布装置のレジスト塗布方法において、フィルタが内蔵された凹部を有する治具を前記配管に装着してレジストを供給する工程と、前記治具に代えて、前記配管に装着され、前記フィルタが内蔵された前記凹部より内容積の少ない、かつ、フィルタを収納しない治具を装着して洗浄を行う工程と、前記配管にN 2 ガスを圧送する工程と、前記フィルタを収納しない凹部を有する治具に代えて、前記フィルタが内蔵された凹部を有する治具を前記配管に装着してレジストを供給する工程と、を有する。
【選択図】 図1
Description
(1)ハウジング内に溜まったシンナの置換が迅速に行われず、洗浄に多量のシンナが必要となる。
(2)ハウジング内に溜まったシンナは、洗浄後のN2 ガス加圧によっても完全に排除できず、ハウジング内に残り、ハウジング取外し時にこぼれ出る等の作業性の障害となる。
〔1〕配管を有するレジスト塗布装置のレジスト塗布方法において、フィルタが内蔵された凹部を有する治具を前記配管に装着してレジストを供給する工程と、前記治具に代えて、前記配管に装着され、前記フィルタが内蔵された前記凹部より内容積の少ない、かつ、フィルタを収納しない治具を装着して洗浄を行う工程と、前記配管にN 2 ガスを圧送する工程と、前記フィルタを収納しない凹部を有する治具に代えて、前記フィルタが内蔵された凹部を有する治具を前記配管に装着してレジストを供給する工程と、を有することを特徴とする。
6 ドレインタンク
7 ニードルバルブ
8 レジストフィルタ
10 ノズル
11 カートリッジ
12 ハウジング
13 上蓋
14,46,47 Oリング
15 クランプ
16,16A イン配管
17 アウト配管
18 ドレイン配管
21,41 キャップ
22,42 凹部
23 接触部
24 鍔部
40 レジスト配管洗浄用治具(アダプタ)
43 パイプ
44 台座部
45 凸部
Claims (5)
- 配管を有するレジスト塗布装置のレジスト塗布方法において、
フィルタが内蔵された凹部を有する治具を前記配管に装着してレジストを供給する工程と、
前記治具に代えて、前記配管に装着され、前記フィルタが内蔵された前記凹部より内容積の少ない、かつ、フィルタを収納しない治具を装着して洗浄を行う工程と、
前記配管にN 2 ガスを圧送する工程と、
前記フィルタを収納しない凹部を有する治具に代えて、前記フィルタが内蔵された凹部を有する治具を前記配管に装着してレジストを供給する工程と、
を有することを特徴とするレジスト塗布方法。 - 請求項1記載のレジスト塗布方法において、
前記治具は鍔部を有し、該鍔部は上蓋にクランプにて留められることを特徴とするレジスト塗布方法。 - 請求項2記載のレジスト塗布方法において、
前記上蓋と前記鍔部との間でOリングを介在させて前記上蓋と前記治具とを接続することを特徴とするレジスト塗布方法。 - 請求項1乃至3のいずれか1項記載のレジスト塗布方法において、
前記配管として、イン配管、アウト配管が設けられており、
前記治具は洗浄の際に前記イン配管から前記アウト配管への流路を構成することを特徴とするレジスト塗布方法。 - 請求項4記載のレジスト塗布方法において、
前記治具の前記流路の径は、前記上蓋の前記配管の内径のサイズと同等程度であることを特徴とするレジスト塗布方法。
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