JP4173491B2 - レジスト塗布方法 - Google Patents
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Description
(1)ハウジング内に溜まったシンナの置換が迅速に行われず、洗浄に多量のシンナが必要となる。
〔1〕レジスト塗布方法において、イン配管、アウト配管、及びドレイン配管を有するレジスト塗布装置に、フィルタを収納しない凹部を有する治具を前記イン配管、前記アウト配管、及び前記ドレイン配管に装着して洗浄を行った後に、前記治具に代えて、フィルタが内蔵され、前記治具の前記凹部より深さの深い凹部を有する治具を装着してレジストを供給することを特徴とする。
6 ドレインタンク
7 ニードルバルブ
8 レジストフィルタ
10 ノズル
11 カートリッジ
12 ハウジング
13 上蓋
14,46,47 Oリング
15 クランプ
16,16A イン配管
17 アウト配管
18 ドレイン配管
21,41 キャップ
22,42 凹部
23 接触部
24 鍔部
40 レジスト配管洗浄用治具(アダプタ)
43 パイプ
44 台座部
45 凸部
Claims (4)
- イン配管、アウト配管、及びドレイン配管を有するレジスト塗布装置に、フィルタを収納しない凹部を有する治具を前記イン配管、前記アウト配管、及び前記ドレイン配管に装着して洗浄を行った後に、前記治具に代えて、フィルタが内蔵され、前記治具の前記凹部より深さの深い凹部を有する治具を装着してレジストを供給することを特徴とするレジスト塗布方法。
- イン配管、アウト配管、及びドレイン配管を有するレジスト塗布装置のレジスト塗布方法において、
フィルタが内蔵された凹部を有する治具を前記イン配管、前記アウト配管、及び前記ドレイン配管に装着してレジストを供給する工程と、
前記治具に代えて、前記イン配管、前記アウト配管、及び前記ドレイン配管に装着され、前記フィルタが内蔵された前記凹部より深さの浅い、かつ、フィルタを収納しない凹部を有する治具を装着して洗浄を行う工程と、
前記フィルタを収納しない前記凹部を有する前記治具に代えてフィルタが内蔵された凹部を有する治具を前記イン配管、前記アウト配管、及び前記ドレイン配管に装着してレジストを供給する工程と、
を有することを特徴とするレジスト塗布方法。 - 前記フィルタを収納しない前記凹部の径は前記イン配管、前記アウト配管、及び前記ドレイン配管の内径のサイズと同等程度であることを特徴とする請求項1又は2記載のレジスト塗布方法。
- 前記レジスト塗布装置の前記イン配管、前記アウト配管、及び前記ドレイン配管のそれぞれの端部は下向きに配置されるものであって、前記フィルタを内蔵しない凹部を有する前記治具は前記イン配管、前記アウト配管、及び前記ドレイン配管に接続する側を上向きにして装着することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のレジスト塗布方法。
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