JP4173529B2 - レジスト塗布装置に関連する洗浄方法 - Google Patents
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Description
(1)ハウジング内に溜まったシンナの置換が迅速に行われず、洗浄に多量のシンナが必要となる。
(2)ハウジング内に溜まったシンナは、洗浄後のN2 ガス加圧によっても完全に排除できず、ハウジング内に残り、ハウジング取外し時にこぼれ出る等の作業性の障害となる。
〔1〕レジスト塗布装置のレジスト配管の洗浄方法において、イン配管、アウト配管、及びドレイン配管を有するレジスト塗布装置に、前記イン配管、前記アウト配管、及び前記ドレイン配管それぞれに接続されたフィルタを収納する凹部を有する治具に代えて、フィルタを内蔵しない、前記凹部より浅い凹部であって前記イン配管、前記アウト配管、及び前記ドレイン配管それぞれに接続される前記凹部を有する治具を装着して洗浄を行うようにしたものである。
6 ドレインタンク
7 ニードルバルブ
8 レジストフィルタ
10 ノズル
11 カートリッジ
12 ハウジング
13 上蓋
14,46,47 Oリング
15 クランプ
16,16A イン配管
17 アウト配管
18 ドレイン配管
21,41 キャップ
22,42 凹部
23 接触部
24 鍔部
40 レジスト配管洗浄用治具(アダプタ)
43 パイプ
44 台座部
45 凸部
Claims (3)
- イン配管、アウト配管、及びドレイン配管を有するレジスト塗布装置に、前記イン配管、前記アウト配管、及び前記ドレイン配管それぞれに接続されたフィルタを収納する凹部を有する治具に代えて、フィルタを内蔵しない、前記凹部より浅い凹部であって前記イン配管、前記アウト配管、及び前記ドレイン配管それぞれに接続される前記凹部を有する治具を装着して洗浄を行うことを特徴とするレジスト塗布装置のレジスト配管の洗浄方法。
- イン配管、アウト配管、及びドレイン配管を有するレジスト塗布装置を洗浄する方法において、
前記イン配管、前記アウト配管、及び前記ドレイン配管にそれぞれ接続され、フィルタを収納する凹部を有する治具を用いてレジストを供給する工程と、
前記治具に代えて、前記凹部より浅く、かつ前記イン配管、前記アウト配管、及び前記ドレイン配管に接続され、フィルタを内蔵しない凹部を有する治具を用いて洗浄する工程と、
を有することを特徴とする洗浄方法。 - 請求項1又は2記載の洗浄方法において、
前記レジスト塗布装置の前記イン配管、前記アウト配管、及び前記ドレイン配管のそれぞれの端部は下向きに配置されるものであって、前記フィルタを内蔵しない凹部を有する前記治具は前記イン配管、前記アウト配管、及び前記ドレイン配管に接続する側を上向きにして接続することを特徴とする洗浄方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007296772A JP4173529B2 (ja) | 2007-11-15 | 2007-11-15 | レジスト塗布装置に関連する洗浄方法 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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