JP2009054632A - 電界効果トランジスタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 活性領域と交差するように、少なくとも2つのドレインオーミック接触部が配置されている。ドレインオーミック接触部の間に、ソースオーミック接触部が配置されている。素子分離領域上のドレイン連結部が、ドレインオーミック接触部の同じ側の端部同士を接続する。ドレインオーミック接触部とソースオーミック接触部との間に、ゲートフィンガが配置されている。素子分離領域上のゲート給電配線が、ゲートフィンガ同士を、ドレイ連結部が配置された側とは反対側の端部において接続する。ゲート先端連結部が、ソースオーミック接触部を挟んで隣り合う2つのゲートフィンガ同士を、ドレイン連結部が配置された側の端部において接続する。ゲート先端連結部は、ドレイオーミック接触部及びドレイン連結部のいずれとも交差しない。
【選択図】 図1
Description
表層部に、活性領域と、該活性領域を取り囲む素子分離領域とが画定された半導体基板と、
前記半導体基板の上に、該活性領域と交差するように配置された少なくとも2つのドレインオーミック接触部と、
相互に隣り合う2つのドレインオーミック接触部の間の前記半導体基板上に、前記活性領域と交差するように配置されたソースオーミック接触部と、
前記半導体基板の前記素子分離領域上に配置され、前記ドレインオーミック接触部の同じ側の端部同士を接続するドレイン連結部と、
前記ドレインオーミック接触部とソースオーミック接触部との間の各領域の前記半導体基板上に、前記活性領域と交差するように配置されたゲートフィンガと、
前記半導体基板の素子分離領域上に配置され、前記ゲートフィンガ同士を、前記ドレイ連結部が配置された側とは反対側の端部において接続し、該ゲートフィンガにゲート電圧を供給するゲート給電配線と、
前記ソースオーミック接触部を挟んで隣り合う2つのゲートフィンガ同士を、前記ドレイン連結部が配置された側の端部において接続するとともに、前記ドレイオーミック接触部及びドレイン連結部のいずれとも交差しないように配置されたゲート先端連結部と
を有する電界効果トランジスタが提供される。
10A ドレインオーミック接触部
10B ドレイン連結部
10D ドレイン配線
15 ソース
15A ソースオーミック接触部
15B ソース連結部
15D ソース配線
20A ゲートフィンガ
20B ゲート給電配線
20C ゲート先端連結部
25 シード層
27 ビアホール(開口)
30 下地基板
31 チャネル層
32 中間層
33 電子供給層
33A 活性領域
33B 素子分離領域
34 表面層
35 第1の保護膜
36 第2の保護膜
43 レジストパターン
50 第1のレジストパターン
51 第2のレジストパターン
Claims (6)
- 表層部に、活性領域と、該活性領域を取り囲む素子分離領域とが画定された半導体基板と、
前記半導体基板の上に、該活性領域と交差するように配置された少なくとも2つのドレインオーミック接触部と、
相互に隣り合う2つのドレインオーミック接触部の間の前記半導体基板上に、前記活性領域と交差するように配置されたソースオーミック接触部と、
前記半導体基板の前記素子分離領域上に配置され、前記ドレインオーミック接触部の同じ側の端部同士を接続するドレイン連結部と、
前記ドレインオーミック接触部とソースオーミック接触部との間の各領域の前記半導体基板上に、前記活性領域と交差するように配置されたゲートフィンガと、
前記半導体基板の素子分離領域上に配置され、前記ゲートフィンガ同士を、前記ドレイ連結部が配置された側とは反対側の端部において接続し、該ゲートフィンガにゲート電圧を供給するゲート給電配線と、
前記ソースオーミック接触部を挟んで隣り合う2つのゲートフィンガ同士を、前記ドレイン連結部が配置された側の端部において接続するとともに、前記ドレイオーミック接触部及びドレイン連結部のいずれとも交差しないように配置されたゲート先端連結部と
を有する電界効果トランジスタ。 - 前記半導体基板が、
SiCからなる下地基板と、
前記下地基板上に形成されたチャネル層と、
前記チャネル層の上に形成され、該チャネル層に電子を供給する電子供給層と
を有し、
前記ソースオーミック接触部及びドレインオーミック接触部が、該ソースオーミック接触部及びドレインオーミック接触部の直下の前記チャネル層にオーミック接続され、
前記ゲートフィンガは、該ゲートフィンガ直下の前記チャネル層のポテンシャルを変化させる請求項1に記載の電界効果トランジスタ。 - 前記ゲートフィンガ及び前記ゲート先端連結部は、同一の導電膜により一体的に形成されている請求項1または2に記載の電界効果トランジスタ。
- さらに、前記ゲート先端連結部と前記半導体基板の表面との間に配置された誘電体からなる絶縁膜を有し、ゲート先端連結部は、該絶縁膜に形成されたビアホールを経由して前記ゲートフィンガに接続されている請求項1または2に記載の電界効果トランジスタ。
- 前記ゲート先端連結部の一端が、一つの前記ゲートフィンガに接続され、他端が他のゲートフィンガに接続され、中央部が中空に支持されている請求項1または2に記載の電界効果トランジスタ。
- 前記ソースオーミック接触部が少なくとも2つ配置され、
さらに、前記活性領域から、前記ゲート給電配線よりも遠い素子分離領域上に配置されたソース連結部と、
前記ソースオーミック接触部の各々と前記ソース連結部とを接続するソース配線と
を有し、該ソース配線は、前記ゲート給電配線と交差し、該交差箇所において両者が相互に絶縁されている請求項1乃至5のいずれか1項に記載の電界効果トランジスタ。
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