JP2018056271A - 電界効果トランジスタ - Google Patents
電界効果トランジスタ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018056271A JP2018056271A JP2016189474A JP2016189474A JP2018056271A JP 2018056271 A JP2018056271 A JP 2018056271A JP 2016189474 A JP2016189474 A JP 2016189474A JP 2016189474 A JP2016189474 A JP 2016189474A JP 2018056271 A JP2018056271 A JP 2018056271A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- source
- tip
- gate electrode
- effect transistor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Junction Field-Effect Transistors (AREA)
Abstract
Description
図3に示すように、電界効果トランジスタ1は、さらに基板10を有してよい。この場合、窒化物半導体積層体11は基板10の上に設けられている。例えば、基板10は、サファイア等の窒化物半導体積層体11とは異なる材料から構成される。
窒化物半導体積層体11は、窒化物半導体から構成される。窒化物半導体としては、例えば、GaN、InGaN、AlGaN、AlNが挙げられる。窒化物半導体積層体11は、基板10の上に設けられた第1半導体層12と、第1半導体層12の上に設けられた第2半導体層13とを有することができる。第1半導体層12は、例えば、GaNから構成される。第2半導体層13は、第1半導体層12よりもバンドギャップエネルギーが大きい。第2半導体層13は、例えば、AlGaNから構成される。AlGaN層の下にそれよりも薄膜のAlN層を設けてもよい。第1半導体層12には、第2半導体層13側の面の近傍に、チャネル12aが形成される。チャネル12aは例えば2次元電子ガス層である。図1及び4に示すように、電界効果トランジスタ1として機能させる領域以外では、例えば窒化物半導体積層体11を除去して基板10を露出させる等、チャネル12aを除去することができる。
ソース電極21は、例えば、Ti/Alから構成される。ソース電極21は、図3及び4に示すように、窒化物半導体積層体11にチャネル12aに達する凹部を設け、その凹部内に配置することが好ましい。これにより、ソース電極21をチャネル12aに接触させることができる。この場合、ソース電極21のゲート電極23側の端が第2半導体層13の上に配置されていてもよい。
ドレイン電極22は、例えば、Ti/Alから構成される。ドレイン電極22は、図3及び4に示すように、窒化物半導体積層体11にチャネル12aに達する凹部を設け、その凹部内に配置することが好ましい。これにより、ドレイン電極22をチャネル12aに接触させることができる。この場合、ドレイン電極22のゲート電極23側の端が第2半導体層13の上に配置されていてもよい。
ゲート電極23は、例えば、窒化物半導体積層体11側より順にNi/Au/Ptから構成される。ゲート電極23と第2半導体層13との間には、例えばp型不純物を含有するGaN層等のゲートコンタクト層を設けてよい。
比較例の電界効果トランジスタとして、各電極の形状が異なる以外は実施例と同様にして形成した。比較例の電界効果トランジスタの一部拡大写真を図6に示す。図6に示すように、比較例の電界効果トランジスタにおいて、ソース電極121のソース枝部121aの先端は半円状とし、ゲート電極123のゲート長は約1μmで一定とした。ゲート電極123とドレイン電極122との間隔は実施例と同様とした。
10 基板
11 窒化物半導体積層体
12 第1半導体層
12a チャネル
13 第2半導体層
21 ソース電極
21a ソース枝部
22 ドレイン電極
22a ドレイン枝部
23 ゲート電極
23a 側面部分
23b 先端部分
Lga 側面部分のゲート長
Lgb 先端部分のゲート長
D1 側面部分とソース枝部との間隔
D2 先端部分とソース枝部との間隔
Claims (5)
- チャネルが形成される活性領域を含む窒化物半導体積層体と、
前記窒化物半導体積層体の上面側に配置された複数のソース枝部を含むソース電極と、
前記窒化物半導体積層体の上面側において前記ソース枝部と互い違いに配置された複数のドレイン枝部を含むドレイン電極と、
前記窒化物半導体積層体の上面側において前記ソース電極と前記ドレイン電極との間に配置され、前記ソース枝部の側面に沿って延伸する側面部分と、前記側面部分から連続し、前記ソース枝部の先端に面する先端部分と、を有するゲート電極と、を備える電界効果トランジスタであって、
前記ソース枝部の先端と前記ドレイン電極との間における前記先端部分のゲート長は、前記側面部分のゲート長よりも大であることを特徴とする電界効果トランジスタ。 - 前記ゲート電極と前記ドレイン電極との間隔は一定であることを特徴とする請求項1に記載の電界効果トランジスタ。
- 前記ゲート電極の先端部分の外縁と、それに面する前記ドレイン電極の外縁とは、それぞれ、中心を同じくする円の円弧状であることを特徴とする請求項2に記載の電界効果トランジスタ。
- 前記ソース枝部の先端は、前記ソース枝部の延伸方向と実質的に垂直な直線状であり、
前記ソース枝部の先端に面する前記ゲート電極の先端部分の外縁は、前記ソース枝部の先端と実質的に平行な直線状であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の電界効果トランジスタ。 - 前記ゲート電極の先端部分と前記ソース枝部の先端との間隔は、前記ゲート電極の側面部分と前記ソース枝部の側面との間隔よりも大であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の電界効果トランジスタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016189474A JP6733462B2 (ja) | 2016-09-28 | 2016-09-28 | 電界効果トランジスタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016189474A JP6733462B2 (ja) | 2016-09-28 | 2016-09-28 | 電界効果トランジスタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018056271A true JP2018056271A (ja) | 2018-04-05 |
JP6733462B2 JP6733462B2 (ja) | 2020-07-29 |
Family
ID=61837039
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016189474A Active JP6733462B2 (ja) | 2016-09-28 | 2016-09-28 | 電界効果トランジスタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6733462B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021009952A (ja) * | 2019-07-02 | 2021-01-28 | ローム株式会社 | 窒化物半導体装置およびその製造方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009054632A (ja) * | 2007-08-23 | 2009-03-12 | Fujitsu Ltd | 電界効果トランジスタ |
JP2011124385A (ja) * | 2009-12-10 | 2011-06-23 | Sanken Electric Co Ltd | 化合物半導体装置及びその製造方法 |
JP2013172151A (ja) * | 2012-02-17 | 2013-09-02 | Internatl Rectifier Corp | 増大した降伏電圧を有するトランジスタ |
JP2016033965A (ja) * | 2014-07-31 | 2016-03-10 | 日亜化学工業株式会社 | 電界効果トランジスタ |
US20160172480A1 (en) * | 2014-12-16 | 2016-06-16 | Transphorm Inc. | Gate structures for iii-n devices |
-
2016
- 2016-09-28 JP JP2016189474A patent/JP6733462B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009054632A (ja) * | 2007-08-23 | 2009-03-12 | Fujitsu Ltd | 電界効果トランジスタ |
JP2011124385A (ja) * | 2009-12-10 | 2011-06-23 | Sanken Electric Co Ltd | 化合物半導体装置及びその製造方法 |
JP2013172151A (ja) * | 2012-02-17 | 2013-09-02 | Internatl Rectifier Corp | 増大した降伏電圧を有するトランジスタ |
JP2016033965A (ja) * | 2014-07-31 | 2016-03-10 | 日亜化学工業株式会社 | 電界効果トランジスタ |
US20160172480A1 (en) * | 2014-12-16 | 2016-06-16 | Transphorm Inc. | Gate structures for iii-n devices |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021009952A (ja) * | 2019-07-02 | 2021-01-28 | ローム株式会社 | 窒化物半導体装置およびその製造方法 |
JP7395273B2 (ja) | 2019-07-02 | 2023-12-11 | ローム株式会社 | 窒化物半導体装置およびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6733462B2 (ja) | 2020-07-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4832768B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2008311355A (ja) | 窒化物半導体素子 | |
JP2012109492A (ja) | 化合物半導体装置 | |
JP2009182069A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2009060049A (ja) | 窒化物系化合物半導体装置 | |
JP5388514B2 (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
US10672876B2 (en) | Field-effect transistor having a bypass electrode connected to the gate electrode connection section | |
JP2015008280A (ja) | 電界効果トランジスタ | |
JP2023052520A (ja) | 窒化物半導体装置 | |
JP5649357B2 (ja) | 半導体装置及び製造方法 | |
WO2014196187A1 (ja) | 半導体装置 | |
JP2018056271A (ja) | 電界効果トランジスタ | |
WO2019097813A1 (ja) | 窒化物半導体装置 | |
JP2010067692A (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
US10263158B2 (en) | Light emitting element | |
JP5728842B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2011249728A (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP6217158B2 (ja) | 電界効果トランジスタ | |
JP6194869B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP6414576B2 (ja) | 電界効果トランジスタ | |
JP7299515B2 (ja) | 発光素子 | |
JP2020088269A (ja) | 発光素子 | |
JP2018157199A (ja) | ショットキーバリアダイオード | |
JP6238789B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP7101032B2 (ja) | 窒化物半導体発光素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190329 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20191205 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191217 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200207 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200609 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200622 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6733462 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |