JP2009044755A5 - - Google Patents

Claims (4)

1. 支持枠と、
   支持枠上に積層される圧電体と、
   前記圧電体の前記支持枠側の主面に形成される底部電極と、他方の主面に形成される頂部電極とを有し、
   前記頂部電極は平面視で方形の頂部電極本体と、前記頂部電極本体の外周の少なくとも対向する二辺の端面部分に形成されている鋸歯形状の電極段部と、を含んでいることを特徴とする圧電薄膜共振子。
2. 請求項１に記載の圧電薄膜共振子において、
   前記頂部電極の前記電極段部が、液滴吐出用導電体材料からなることを特徴とする圧電薄膜共振子。
3. 請求項２に記載の圧電薄膜共振子において、
   前記頂部電極本体は平面視で平行四辺形であることを特徴とする圧電薄膜共振子。
4. 支持枠と、
   支持枠上に積層される圧電体と、
   前記圧電体の前記支持枠側の主面に形成される底部電極と、他方の主面に形成される平面視で方形の頂部電極と、を有する圧電薄膜共振子の製造方法であって、
   前記頂部電極の頂部電極本体を半導体プロセスにより形成し、前記頂部電極本体の外周の少なくとも対向する二辺の端面部分に液滴吐出法により電極段部を形成することを特徴とする圧電薄膜共振子の製造方法。