JP2009043826A5 - - Google Patents

Claims (4)

1. 入射する放射線を電気信号に変換するセンサ基板を有する撮像装置において、
   前記センサ基板は、
   変換素子と、前記変換素子に接続されたスイッチ素子とを有する複数の画素と、
   前記複数の画素上に配置された保護層と、
   前記変換素子に電気的に接続された複数のバイアス線と、
   前記スイッチ素子に電気的に接続された複数の信号線とを有し、
   前記複数のバイアス線の各々と前記複数の信号線の各々は前記保護層の領域内で所定間隔で交互に配置され、前記保護層の領域外へ延びており、
   前記複数のバイアス線は前記保護層の領域外で接続配線を介して相互に接続され、且つ、前記接続配線は前記複数の信号線と交差して配置されていることを特徴とする撮像装置。
2. 前記複数のバイアス線を外部回路接続電極に引き出す引き出し配線と、前記複数の信号線を外部回路接続電極に引き出す引き出し配線とは、異なる金属層で形成されていることを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
3. 前記変換素子が光電変換素子であり、前記センサ基板は前記光電変換素子上に配置されたシンチレータ層を有することを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
4. 請求項１乃至３のいずれか１項に記載の撮像装置と、
   前記撮像装置からの信号を処理する信号処理手段と、
   前記信号処理手段からの信号を記録するための記録手段と、
   前記信号処理手段からの信号を表示するための表示手段と、
   前記信号処理手段からの信号を伝送するための伝送処理手段と、
   前記放射線を発生させるための放射線源と、を具備することを特徴とする放射線撮像システム。