JP2008535142A - メモリアレイにブロック冗長性を組込むための方法および装置 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 45
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims abstract description 113
- 238000013507 mapping Methods 0.000 claims abstract description 51
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 13
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 13
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 13
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 3
- 101000739577 Homo sapiens Selenocysteine-specific elongation factor Proteins 0.000 description 91
- 102100037498 Selenocysteine-specific elongation factor Human genes 0.000 description 91
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 38
- 238000003491 array Methods 0.000 description 23
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 15
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 13
- 238000013461 design Methods 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 9
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 5
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 230000008520 organization Effects 0.000 description 2
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 2
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 2
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 2
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 101000573451 Homo sapiens Msx2-interacting protein Proteins 0.000 description 1
- 102100026285 Msx2-interacting protein Human genes 0.000 description 1
- 238000012356 Product development Methods 0.000 description 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 1
- 230000003542 behavioural effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000002860 competitive effect Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000012782 phase change material Substances 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000009662 stress testing Methods 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C29/00—Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
- G11C29/70—Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring
- G11C29/78—Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices
- G11C29/80—Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices with improved layout
- G11C29/808—Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices with improved layout using a flexible replacement scheme
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F12/00—Accessing, addressing or allocating within memory systems or architectures
-
- G—PHYSICS
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- G11C29/00—Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
- G11C29/70—Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring
- G11C29/76—Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using address translation or modifications
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C29/00—Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
- G11C29/70—Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring
- G11C29/78—Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices
- G11C29/80—Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices with improved layout
- G11C29/804—Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices with improved layout to prevent clustered faults
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
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- G11C29/00—Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
- G11C29/70—Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring
- G11C29/78—Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices
- G11C29/80—Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices with improved layout
- G11C29/816—Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices with improved layout for an application-specific layout
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
Description
この発明は、メモリアレイを包含する半導体集積回路に関し、特定的には冗長性を組込んだアレイ、より特定的には、一定の実施例について、3次元メモリアレイを有するアレイに関する。
集積回路メモリアレイは、しばしば1つ以上の欠陥素子を置換するために用いることができる行および列などの冗長な素子を含む。たとえば、欠陥メモリセルは、欠陥メモリセルを包含する行または列のいずれかを予備の(すなわち冗長な)行または列と置き換えることにより、置換されることができる。あるメモリアレイ技術およびアーキテクチャは冗長または予備の列よりも冗長な行を実現するのにより好適であり、他のメモリアレイ技術およびアーキテクチャは予備の行よりも列を実現するのにより好適である。
ある種類のメモリアレイ技術においては、低抵抗のビット線からワード線への短絡、または多くのワード線およびビット線に影響する短絡などの一定の種類の障害が、行および列の冗長性を圧倒する多数のビット障害を引起こしかねない。この発明に従うブロック冗長性スキームは、これを用いなければ障害を起こして廃棄されるような装置を保存するために実現することができる。このようなスキームは、短絡によって影響を受けた全ブロックを1つの予備ブロックによって置換する。
されないときに、隣接した非予備メモリブロックの1つをイネーブルするステップを含む。いくつかの実施例では、この方法は、選択されたワード線がそうでなければ隣接した非予備メモリブロックの1つにあり、欠陥メモリブロック内のワード線と共有されるときに、隣接した非予備メモリブロックがマップされている予備メモリブロックをイネーブルするステップを含む。
図1は、この発明の一定の実施例による3次元メモリアレイのワード線層およびビット線層を表わす上面図である。メモリブロック182、184は、複数のビット線183、185をそれぞれ含み、2:1にインタリーブされたワード線セグメントを有して示される。ブロックのワード線セグメントの半分に対する垂直の接続部がブロックの左側にあり(たとえばワード線セグメント187および垂直の接続部189)、ブロックのワード線セグメントの他方の半分への垂直の接続部はブロックの右側にある(たとえばワード線セグメント186および垂直の接続部190)。さらに、垂直の接続部はそれぞれ、2つの隣接したブロックの各々におけるワード線セグメントを与える。たとえば、垂直の接続部190は、アレイブロック182のワード線セグメント186に接続し、アレイブロック184のワード線セグメント188に接続する。換言すれば、垂直の接続部(垂直の接続部190など)はそれぞれ、2つの隣接したブロックの各々におけるワード線セグメントによって共有される。しかしながら、予期されるように、第1のアレイブロックおよび最後のアレイブロックのためのそれぞれの「外側の」垂直の接続部は、第1のアレイブロックおよび最後のアレイブロックにおけるワード線セグメントしか与えることができる。たとえば、ブロック184がメモリアレイを形成する複数のブロックの最後のブロックである場合、その外側の垂直の接続部(たとえば垂直の接続部194)はブロック184内のワード線セグメント192しか与えることができず、したがって、アレイの残り全体がそうであるように2つのワード線セグメントによって共有されるわけではない。
レイではない。
されない残りのワード線(たとえばワード線221)も浮動したままであり得る。
備ブロックを必要とすることを提案するように見えるかもしれない。しかしながら、アレイにおけるメモリブロックが偶数ブロックと奇数ブロックとの交互なので(すなわち、この場合の相違は、最上部のワード線が右の隣接したブロックと共有されるのか左の隣接したブロックと共有されるのかの相違である)、奇数メモリブロックまたは偶数メモリブロックを置換するためには、合計4つの予備ブロックが別の方法で必要とされ得る。換言すれば、両方の隣接した奇数ブロックを含む偶数予備ブロックに備え、かつ両方の隣接した偶数ブロックを含む奇数予備ブロックに備えるためには、4つの予備ブロックのグループ(たとえば奇数−偶数−奇数−偶数のブロック)が別の方法で必要となり得る。
この発明の1つの局面では、このメモリアレイ内で2つの予備メモリブロックのみを用いて単一のメモリブロックを置換することができる。ここで図4を参照して、メモリブロック241、242、243および244を含むメインアレイを含み、さらに予備ブロック245および246を含む、メモリアレイ240が示される。「偶数」メモリブロックと考えられ得るメモリブロック242内にBL−WL短絡247が示される。欠陥偶数メモリブロック242内のすべてのワード線は偶数予備ブロック245内の対応するワード線にマップされる。たとえば、ブロックの左側からブロック242に駆動される、欠陥ブロック242内のワード線は(すなわち、そのワード線はブロック242の左の隣接したブロック241とも共有される)、偶数予備ブロック245内の対応するワード線(そのワード線もブロックの左側から予備ブロック245に駆動される)にマップされる。そのようなマッピングの例はマッピング251として示される。同様に、ブロックの右側からブロック242に駆動される欠陥ブロック242内のワード線(すなわちブロック242の右に隣接したブロック243とも共有される)は、予備ブロックの右側からそのような予備ブロックに駆動される、予備ブロック245内の対応するワード線にマップされる。そのようなマッピングの例はマッピング252として示される。メモリブロック242と共有される(欠陥メモリブロック242の右側に)隣接した奇数ブロック243内のワード線は、偶数予備ブロック245の右側に隣接した奇数予備ブロック246にマップされる。そのようなマッピングの例はマッピング253として示される。しかしながら、メモリブロック242と共有される(欠陥メモリブロック242の左側に)隣接した奇数メモリブロック241内のワード線は、同じ奇数予備メモリブロック246に折り込まれてマップされる。そのようなマッピングの例はマッピング254として示される。
3の左側に)隣接した偶数ブロック242内のワード線は、奇数予備ブロック246の左側に隣接した偶数予備ブロック245にマップされる。そのようなマッピングの例はマッピング264として示される。しかしながら、メモリブロック243と共有される(欠陥メモリブロック243の右側に)隣接した偶数メモリブロック244内のワード線は、同じ偶数予備メモリブロック245に折り込まれて(folded)マップされる。そのようなマッピングの例はマッピング263として示される。
ここで図6を参照して、メモリアレイはベイに組織されてもよい。メモリアレイ270は、ベイ0としてもラベル付けされる第1のベイ271、ベイ1としてもラベル付けされる第2のベイ272、ならびに予備メモリブロック273および274を含む。各ベイはいくつかのメモリブロック(好ましくは16メモリブロック)を含み、それ自体のセンスアンプ(示されない)およびページサブレジスタ(示されない)(いくつかの3次元メモリアレイ実施例ではメモリアレイの下に配置され、いくつかの実施例ではメモリアレイの外部に配置されてもよい)を好ましくは含む。示された実施例では、ベイ内の各センスアンプはベイ全体にわたって横断する対応するSELB線に接続される。たとえばベイ0は、SELB線のグループ277(たとえばここでは16のそのようなSELB線として示される)を含む。所与のメモリ動作中に、ベイ0内の(たとえば3次元アレイにおける1つ以上のメモリ面から)選択されたビット線のグループは、列選択回路(示されない)によってSELB線のグループ277にそれぞれ結合される。読出し動作では、次に各SELB線のセンスアンプが対応するビット線の状態を感知する一方で、(プログラミング動作をサポートする実施例については)プログラミング動作中には、書込まれるべき所望のデータパターンにしたがってプログラミング電圧および/または抑制電圧がさまざまなSELB線に駆動され、このようなバイアス電圧は列選択回路によって対応するビット線に結合される。
加えることとなり、その結果約12.5%(すなわち2/16)のメモリアレイエリアの増加を引起こし、かつすべてのベイにおいて1つのブロック(たとえばBL−WL短絡を有するブロック)を置換することを可能にする。代替的には、ダイサイズのインパクトを減じるために、図6に示されるように、2つの異なるベイ間で2つの予備ブロックを共有することが可能である。予備ブロック273および274と関連付けられるSELB線278の両端上の結合回路282、283は、予備ブロックのSELB線278をいずれかのベイに接続することを可能にする。このようなSELB線のバイアスレベルに依存して、図示されるように、結合回路はPMOSトランジスタスイッチと同じ程度に簡単であり得る。制御信号280が活性である場合(すなわちこの例では低い場合)、予備ブロックのSELB線278は、ベイ0のためのSELB線277にそれぞれ結合される。制御信号281は、このような場合、SELB線279から予備ブロックのSELB線278を分離するために、非活性なままである。代替的に、制御信号281が活性な場合、予備ブロックのSELB線278はベイ1のためのSELB線279にそれぞれ結合される。制御信号280は、このような場合、SELB線277から予備ブロックのSELB線278を分離するために、非活性なままである。
は、本願明細書に記載されたSELB線に対応する。
図7に示されるメモリアレイ300を例示的な実施例として用いると、予備ブロックの各対は隣接したベイのいずれかの不良ブロックを置換することができるが両方はできないので、4つのブロック置換が可能である。ここで図9を参照して、このようなメモリブロック置換の制御を表わすブロック図が示される。TRIM BITS 340ブロックは、障害を起こすブロックのアドレスを包含するようにプログラムされる。4つのブロック置換が可能なので、各々7ビットの4つのエントリがある。表1は、エントリの各ビットの目的を記載する。障害を起こすアドレスは、実際のブロックアドレス(BLKADD[3:0])よりも1ビット多く有することに注意されたい。これは予備ブロックにおけるBL−WL短絡を有するダイが回復され得ることを確実にするために必要であり、そうしなければ(短絡が予備ブロック0にある場合)ブロック15/ベイ0、または(短絡が予備ブロック1にある場合)ブロック0/ベイ1の半分を危険にさらす。
4つの7ビットエントリを包含している合計28ビットは、バス341によってMATCH LOGICブロック342に伝えられる。このブロックはさらに、バス345によって伝えられた4ビットのブロックアドレスBLKAD[3:0]、バス346によって伝えられた最下位ワード線アドレスRAD[0]、およびバス347によって伝えられた個々のベイイネーブル信号BAYE[7:0]の8ビットグループを受取り、それらすべてはメモリアレイ動作の制御のための制御論理ブロック(示されない)から発生され得る。MATCH LOGICブロック342はこれらの信号をトリムビットエントリと比較し、そうでなければイネーブルされていたメインアレイブロックを非活性化してその代わりに予備ブロックをイネーブルするべきか否かを決定する。
イ4/ベイ5およびベイ6/ベイ7のそれぞれのマッチ論理ブロックに伝えられる。4つのマッチ論理ブロックはすべて、4ビットのブロックアドレス信号BLKADD[3:0]および最下位行アドレスビットRAD[0]を受取る。マッチ論理ブロックはそれぞれの左右の予備ブロックイネーブル信号、SPBLKEN_LおよびSPBLKEN_Rを発生する(本願明細書に記載されるように、ベイ0/ベイ1、ベイ2/ベイ3、ベイ4/ベイ5およびベイ6/ベイ7のそれぞれについて1組、すなわちこれらの4組のSPBLKEN_LおよびSPBLKEN_R信号は、本願明細書においてSPENBLK[7:0]信号としても記載される)。たとえば、ベイ0/ベイ1のマッチ論理ブロック365は、ノード366上にSPBLKEN_L信号およびノード367上にSPBLKEN_R信号を発生する。ノード366上のSPBLKEN_L信号が活性なとき、ベイ0のすべてのメインアレイブロックがディスエーブルされる。同様に、ノード367上のSPBLKEN_R信号が活性であるとき、ベイ1のすべてのメインアレイブロックがディスエーブルされる。このような論理はすべてのブロック内の行デコードおよび/またはプリデコード論理において実現することができる。このような機能を達成するための例示的な回路が図11に示され、そこでは、そうでなければブロックをイネーブルするBLKEN信号381が、SPBLKEN_L/R382としてここに示される適切な左または右の予備ブロックイネーブル信号によって無効にされ、実際のブロックイネーブル信号383を発生している。
ここで図12を参照して、2つの予備ブロック401および402を含む(図10の)予備ブロックエリア361などの代表的な予備ブロックセクションが示される。予備ブロック401、402の頂点のSELB線のグループ410は、PMOSスイッチ411などの結合回路によって左のベイ0または右のベイ1のSELB線のいずれかに結合される。同様に、予備ブロック401、402の下部のSELB線のグループ412は、ベイ0またはベイ1のSELB線に同様に結合される。SPBLKEN_LおよびSPBLKEN_R信号はそれぞれのノード366および367上で受取られる。いずれかの信号が活性なとき、予備ブロックエリア361がイネーブルされ、かつノード403上のSPEN信号が活性であって、予備ブロックの上部の予備グローバル列デコーダ413および予備ブロックの下部の予備グローバル列デコーダ414をイネーブルする。
同様のセグメント化されたワード線構造の他の詳細は、ロイ E シュアラインへの前述の米国特許第6,879,505号に記載される。
上の次の4つのビット線はSELB[3:0]に結合され、メモリブロックの上部に出る層1上の次の4つのビット線はSELB[7:4]に結合され、メモリブロックの上部に出る層2上の次の4つのビット線はSELB[11:8]に結合され、メモリブロックの上部に出る層3上の次の4つのビット線はSELB[15:12]に結合される。これは、ルカ G ファソーリらによる前述の「マルチヘッドのデコーダの多重レベルを用いて高密度のメモリアレイを階層的にデコードするための装置および方法」に詳細に記載されるような16ヘッドの列デコーダを用いることにより達成され得る。そのような回路は、4つの層選択回路を駆動する単一のデコーダノードとして見られ得る。各それぞれの層選択回路はそれぞれ、それぞれのビット線層上の4つの隣接したビット線(すなわちブロックの上部か下部へメモリブロックを出るビット線)をそれぞれの層選択回路に関連付けられるSELB線のグループに結合する。
換言すれば、ブロック0−6は置換され得るがブロック7−15は置換され得ない。両方の予備ブロックがタイプBブロックであるならば、ブロック9−15のみが置換され得る。この制限は2層実施例にのみ適用される。4層実施例ではいかなるメモリブロックも置換され得るが、欠陥メインアレイブロックと比較すると予備ブロックにおける層マッピングは異なり得る(たとえば予備のタイプAブロックがメインアレイのタイプBブロックを置換する)。
521内に活性なワード線がある。欠陥ブロックはブロック522として残存するので、マッピングは上記のままである。しかしながら、この場合、ブロック521における活性なワード線が欠陥ブロック522と共有されれば、この場合がそうであるように、奇数ブロック521はディスエーブルされ、予備奇数ブロック527に再度マップされる。ブロック520では活性なワード線が欠陥ブロック520と共有されないので、ブロック520はイネーブルされ、予備ブロックに再度マップされない。
1. 選択された(すなわち活性な)ワード線が欠陥ブロック内にある場合は、欠陥ブロックをディスエーブルし、その代り適切な予備ブロックに再度マップする(すなわち適切な予備ブロックをイネーブルする);
2. 選択されたワード線が欠陥ブロックに隣接したブロック内にあるが、欠陥ブロックと共有される場合は、隣接したブロックをディスエーブルし、その代り適切な予備ブロックに再度マップする(すなわち適切な予備ブロックをイネーブルする);
3. 選択されたワード線が欠陥ブロックに隣接したブロック内にあるが、欠陥ブロックと共有されない場合は、隣接したブロックをイネーブルし、予備ブロックに再度マップしない;
4. 選択されたワード線が任意の他のブロック内にある場合は、そのブロックをイネーブルする。
発生する。2つは予備ブロックの左のベイ内のメモリブロックに駆動され、2つは予備ブロックの右のベイ内のメモリブロックに駆動される。マッチ論理は好ましくは予備ブロック自体の下(たとえばそうでなければセンスアンプを実現するために用いられたであろうエリア)に位置し、その結果、他の設計において必要なければブロック冗長性を取除くのが容易である。マッチ論理によって受取られるさまざまなインターフェース信号は図31に要約される。
からSELB[7:4]線にビット線BL[3:0]を結合する)層選択653に結合され、(層2からSELB[11:8]線にビット線BL[3:0]を結合する)層選択659に結合され、(層3からSELB[15:12]線にビット線BL[3:0]を結合する)層選択660に結合される。列デコーダ出力682は、(層2からSELB[3:0]線にビット線BL[7:4]を結合する)層選択657に結合され、(層3からSELB[7:4]線にビット線BL[7:4]を結合する)層選択658に結合され、(層0からSELB[11:8]線にビット線BL[7:4]を結合する)層選択654に結合され、かつ(層1からSELB[15:12]線にビット線BL[7:4]を結合する)層選択655に結合される。
冗長性技術の局面は、必ずしもメモリブロックの奇数/偶数構造を必要としない。すべてのメインアレイメモリブロックが同一であったとしてもそのような共有を有利に採用することができ、そのような場合では、単一の予備メモリブロックが利用され得る。
常すべてのビット線が同数のメモリセルを含む。別の例としては、ビット線、ワード線、アレイブロックおよびメモリ面の数までもが、デコード回路の容易さおよび効率性のために、しばしば2の累乗の数(すなわち2N)である。しかし、そのような規則性または一貫性はこの発明の実施例のいずれにも確実に必要なわけではない。たとえば、異なる層上のワード線セグメントは異なる数のメモリセルを含んでもよく、メモリアレイは3つのメモリ面を含んでもよく、最初および最後のアレイブロック内のワード線セグメントは、メモリセルまたはビット線構成とは異なる数でもよく、かつメモリアレイ設計の通常の一貫性に対する他の多くの不規則な変形のいずれであってもよい。請求項において明示的に記載さない限り、そのような通常の規則性は、本願明細書に記載の実施例中で示された場合であっても、いかなる請求項の意味としても導かれてはならない。
Having Extremely Small Layout Pitch)」に述べられ、その開示は引用によってその全体が本願明細書に援用され、さらにルカ G ファソーリらによる前述の「マルチヘッドのデコーダの多重レベルを用いて高密度のメモリアレイを階層的にデコードするための装置および方法」にも述べられる。
的に集積回路全体にわたって横断しなければならないと提示する特定の推論が持ち込まれるべきではない。
for Making a High Density Nonvolatile Memory)」と題された(現在では米国特許第6,984,561号に組み込まれた)米国特許出願第10/326,470号である。列挙された開示の各々は、引用によってその全体が本願明細書に援用される。
。一定の実施例では、ジョンソンらへの米国特許第6,034,882号およびチャン(Zhang)への米国特許第5,835,396号に記載されるように、メモリセルは半導体材料から構成されてもよい。一定の実施例では、反ヒューズメモリセルが考慮される。MRAMおよび有機受動素子アレイなどの他のタイプのメモリアレイも用いることができる。MRAM(磁気抵抗ランダムアクセスメモリ)は、磁気トンネル接合(MTJ)などの磁気メモリ素子に基づく。MRAM技術は、ピーター K ナジ(Peter K Naji)らによって、2001年IEEE国際ソリッドステート回路評議会(2001 IEEE International Solid-State Circuits Conference)、ISSCC2001/セッション7/技術動向の技術誌の要説において発行された、ISSCC2001の補遺資料、先進技術(Advanced Technologies)/7.6、2001年2月6日、94−95、404−405ページ、;「256kbの3.0Vの1T1MTJの不揮発性磁気抵抗RAM(A 256kb 3.0 V 1T1MTJ Nonvolatile Magnetoresistive RAM)」に記載される。ダイオード状の特徴的導電を有する少なくとも1つの層を含む有機材料、および電界の印加によって導電性が変化する少なくとも1つの有機材料の層を組み込んだ一定の受動素子メモリセルが用いられてもよい。グーデンセン(Gudensen)らへの米国特許第6,055,180号はそのような有機的な受動素子アレイを記載する。相変化材料および非晶質固体などの材料を含むメモリセルも用いることができる。ウォルステンホム(Wolstenholme)らへの米国特許第5,751,012号およびオブシンスキ(Ovshinsky)らへの米国特許第4,646,266号を参照されたい。それら両方は引用によって本願明細書に援用される。他の実施例では、2端末の受動素子メモリセルではなく、3端末のメモリセル、選択されたY線(またはビット線)上の2つ以上のメモリセルからの電流を合計するために選択される複数のX線(または行線)も使用され得る。このようなメモリセルは当技術において周知であるフラッシュEPROM(登録商標)およびEEPROM(登録商標)セルを含む。さらに、たとえば、トマス H.リー(Thimas H. Lee)らによる米国特許出願公報番号第2002−0028541 A1、「高密度のアレイおよび電荷蓄積装置ならびにその製造方法(Dense Arrays and Charge Storage Devices,
and Method for Making Same)」において記載されるような薄膜トランジスタ(TFT)EEPROM(登録商標)メモリセルを組込んだもの、また、シュアラインらによる特許出願公報番号第2004−0125629 A1、「直列接続されたトランジスタストリングを組込んだプログラマブルメモリアレイ構造ならびにその製造および動作方法(Programmable Memory Array Structure Incorporating Series-connected Transistor Strings and Methods for Fabrication and Operation of Same)」に記載されるようなTFT NANDメモリアレイを組込んだものなどの極めて密なX線および/またはY線ピッチ要件を有する他のメモリアレイ構成なども考慮され、これらの出願は引用によって本願明細書に援用される。
ことが期待される。本願明細書に与えられるさまざまな実施例の記載は、当業者がこの発明を実行することを可能にするよう、この発明の広い洞察および詳細を与えると考えられる。にもかかわらず、明確にするために、本願明細書に記載された実現例のすべての通常の特徴が示され、記載されているわけではない。当然、そのような実際の実現例の開発においては、出願および事業に関連した制約への適合など開発者の具体的な目標を達成するために多くの実現例に特定の決定が下されなければならないことが認識されるべきであり、これらの具体的な目標は、実現例ごとに、また開発者ごとに異なるであろう。さらに、そのような開発努力は複雑であったり時間がかかったりしがちであることが認識されるが、しかしながら、この開示の利益を享受する当業者にとっては工学技術の定期的な実行となるであろう。
Claims (36)
- 集積回路メモリアレイにおいてブロック冗長性を実現するための方法であって、前記方法は、
第1のタイプの欠陥ブロックのアレイ線を同じタイプの予備ブロックにマップするステップと、
欠陥ブロックのアレイ線と共有される、第1の隣接したブロックのアレイ線と、欠陥ブロックのアレイ線と共有される、第2の隣接したブロックのアレイ線とを、第2のタイプの第2の予備ブロックにマップして、それにより欠陥ブロックおよび両方の隣接したブロックの部分を2つの予備ブロックのみにマップするステップとを含む、方法。 - 前述のアレイ線は第1のタイプのアレイ線を含み、メモリブロックは第1のタイプのアレイ線にほぼ直交する第2のタイプのアレイ線をさらに含み、前記方法はさらに、
動作モード中に1つ以上のメモリブロックをイネーブルするステップを含み、前記イネーブルするステップは、異なるバイアスレベルにおいて、第1のタイプの選択されないアレイ線をバイアスし、第2のタイプの選択されないアレイ線をバイアスするステップを含む、請求項1に記載の方法。 - メモリアレイは、メモリセルの2つ以上の面を有する3次元メモリアレイを含む、請求項1に記載の方法。
- 前述のアレイ線はワード線を含み、各ワード線は少なくとも2つのワード線層の各々にワード線セグメントを含む、請求項3に記載の方法。
- 第1の列選択信号がイネーブルされると、メモリ面の第1のグループからのビット線を第1のグループのそれぞれのバス線にそれぞれ結合し、メモリ面の第2のグループからのビット線を、実現されるならば、第2のグループのそれぞれのバス線にそれぞれ結合するステップと、
第2の列選択信号がイネーブルされると、メモリ面の第2のグループからのビット線を、実現されるならば、第1のグループのそれぞれのバス線に結合し、メモリ面の第1のグループからのビット線を第2のグループのそれぞれのバス線にそれぞれ結合するステップとをさらに含む、請求項4に記載の方法。 - メモリ面の両方のグループが実現されるメモリアレイにおいて第1および第2の列選択信号を個々にイネーブルするステップと、
メモリ面の第1のグループのみが実現されるメモリアレイにおいて第1および第2の列選択信号を同時にイネーブルするステップとをさらに含む、請求項5に記載の方法。 - 同時にイネーブルされた第1および第2の列選択信号は隣接したメモリブロックに関連付けられる、請求項6に記載の方法。
- 第1および第2のタイプの予備ブロックは、第1の複数の正規のメモリブロックおよび第2の複数の正規のメモリブロックの間に配置される、請求項1に記載の方法。
- 予備メモリブロックに関連付けられる複数のバス線を、第1の複数の正規のメモリブロックまたは欠陥ブロックを含む第2の複数の正規のメモリブロックに関連付けられる対応する複数のバス線に結合するステップをさらに含む、請求項8に記載の方法。
- 前述のアレイ線はワード線を含む、請求項1に記載の方法。
- 選択されたワード線がそうでなければ欠陥メモリブロック内にあるとき、欠陥メモリアレイがマップされている予備メモリブロックをイネーブルするステップをさらに含む、請求項10に記載の方法。
- 選択されたワード線が前記隣接した非予備メモリブロックにあり、欠陥メモリブロック内のワード線と共有されないとき、隣接した非予備メモリブロックの1つをイネーブルするステップをさらに含む、請求項10に記載の方法。
- 選択されたワード線がそうでなければ隣接した非予備メモリブロックの1つにあり、欠陥メモリブロック内のワード線と共有されるとき、隣接した非予備メモリブロックがマップされている予備メモリブロックをイネーブルするステップをさらに含む、請求項10に記載の方法。
- 第1および第2のタイプのメモリブロックを交互に有するメモリアレイを含み、各メモリブロックは隣接したメモリブロックのそれぞれのアレイ線と共有されるそれぞれのアレイ線を含み、さらに
欠陥ブロックに対応するアドレスに応答して、1つのタイプの欠陥ブロックのアレイ線を同じタイプの予備ブロックにマップするため、かつさらに、欠陥ブロックのアレイ線と共有される、第1の隣接したブロックのアレイ線と、欠陥ブロックのアレイ線と共有される、第2の隣接したブロックのアレイ線とを、他方のタイプの第2の予備ブロックにマップし、それにより欠陥ブロックおよび両方の隣接したブロックの部分を2つの予備ブロックのみにマップするためのマップ回路を含む、集積回路。 - 前述のアレイ線は第1のタイプのアレイ線を含み、
メモリブロックは第1のタイプのアレイ線にほぼ直交する第2のタイプのアレイ線をさらに含み、
メモリブロックは、イネーブルされたメモリブロックで異なるバイアスレベルにおいて第1のタイプの選択されないアレイ線と第2のタイプの選択されないアレイ線とをバイアスするためのバイアス回路をさらに含む、請求項14に記載の集積回路。 - 隣接したメモリブロックの間で共有されるアレイ線はワード線を含む、請求項14に記載の集積回路。
- 第1および第2のタイプの予備ブロックは第1の複数の正規のメモリブロックと第2の複数の正規のメモリブロックとの間に配置される、請求項14に記載の集積回路。
- メモリアレイはメモリセルの2つ以上の面を有する3次元メモリアレイを含む、請求項14に記載の集積回路。
- 前述のアレイ線はワード線を含み、各ワード線は少なくとも2つのワード線層の各々にワード線セグメントを含む、請求項18に記載の集積回路。
- メモリアレイはさらに、
メモリ面からの1つ以上のビット線をそれぞれ、実現されるならば、複数のバス線のそれぞれに結合するための、複数の層選択回路を含み、各々は関連付けられる列選択信号に応答する、請求項18に記載の集積回路。 - 複数の層選択回路は第1のタイプの層選択回路および第2のタイプの層選択回路を含み、
第1のタイプの層選択回路はそれぞれ、第1のメモリ面からのビット線を第1のグルー
プのそれぞれのバス線に結合するよう配置され、
第2のタイプの列選択回路はそれぞれ、第1のメモリ面からのビット線を第2のグループのそれぞれのバス線に結合するよう配置される、請求項20に記載の集積回路。 - 各メモリブロックは、単一の列選択信号に応答して第1および第2のタイプの層選択回路を含む、請求項21に記載の集積回路。
- 各メモリブロックは、第1または第2のタイプのいずれかの層選択回路を含む、請求項21に記載の集積回路。
- 第1のタイプのメモリブロックは第1のタイプの層選択回路を含むが第2のタイプは含まず、
第2のタイプのメモリブロックは第2のタイプの層選択回路を含むが第1のタイプは含まない、請求項23に記載の集積回路。 - 第3のタイプの層選択回路は、第2のメモリ面からのビット線を、実現されるならば、第2のグループのそれぞれのバス線にそれぞれ結合するよう配置され、
第4のタイプの層選択回路は、第2のメモリ面からのビット線をそれぞれ、実現されるならば、第1のグループのそれぞれのバス線に結合するよう配置される、請求項21に記載の集積回路。 - 第1のタイプの層選択回路を含む各ブロックは第3のタイプの対応する層選択回路をも含み、両方とも同じ列選択信号に応答し、
第2のタイプの層選択回路を含む各ブロックは第4のタイプの対応する層選択回路をも含み、両方とも同じ列選択信号に応答する、請求項25に記載の集積回路。 - 第1および第2のメモリ面の両方が実現されるメモリアレイにおいては、第1および第3のタイプの層選択回路または第2および第4のタイプの層選択回路のいずれかに関連付けられる列選択信号を1つだけ同時に選択するよう構成され、第2のメモリ面が実現されないメモリアレイにおいては、列選択信号の一方は第1および第3のタイプの層選択回路と関連付けられ、列選択信号の他方は第2および第4のタイプの層選択回路と関連付けられるような2つの列選択信号を同時に選択するよう構成される列選択回路をさらに含む、請求項26に記載の集積回路。
- 第1のタイプのメモリブロックは、メモリ面の第1のグループからのそれぞれのビット線を第1のグループのそれぞれのバス線に結合するよう、かつメモリ面の第2のグループからのそれぞれのビット線を、実現されるならば、第2のグループのそれぞれのバス線に結合するよう構成された列および層選択回路を含み、
第2のタイプのメモリブロックは、メモリ面の第2のグループからのビット線を、実現されるならば、第1のグループのそれぞれのバス線に結合するよう、かつメモリ面の第1のグループからのそれぞれのビット線を第2のグループのそれぞれのバス線に結合するよう構成された列および層選択回路を含む、請求項18に記載の集積回路。 - 前述の複数のバス線は第1の複数の非予備メモリブロックに関連付けられ、
前記メモリアレイは第2の複数の非予備メモリブロックに関連付けられる第2の複数のバス線をさらに含み、
前記メモリアレイは予備メモリブロックに関連付けられる第3の複数のバス線をさらに含み、
第1の複数のバス線結合回路は前記第3の複数のバス線を第1の複数のバス線にそれぞれ結合し、
第2の複数のバス線結合回路は前記第3の複数のバス線を第2の複数のバス線にそれぞれ結合する、請求項28に記載の集積回路。 - 第1および第2のタイプの予備ブロックは、第1および第2のタイプの第1の複数のメモリブロックの対、および、第1および第2のタイプの第2の複数のメモリブロックの対の間に配置される、請求項29に記載の集積回路。
- 集積回路をエンコードするコンピュータ読取可能な媒体であって、前記集積回路は請求項14に記載される、コンピュータ読取可能な媒体。
- メモリアレイと、
メモリアレイの第1の部分と関連付けられる第1のタイプの第1の複数の線と、
メモリアレイの第2の部分と関連付けられる第1のタイプの第2の複数の線と、
メモリアレイの予備部分と関連付けられる第1のタイプの第3の複数の線とを含み、
前記第3の複数の線は、メモリアレイの前記予備部分が利用されるとき第1または第2の複数の線のいずれかにそれぞれ結合され、メモリアレイの前記予備部分が利用されないときは第1または第2の複数の線のいずれにも結合されない、集積回路。 - 複数の線は読取モード中に出力センスバス線を含む、請求項32に記載の集積回路。
- 複数の線はグローバルアレイ線を含む、請求項32に記載の集積回路。
- 第1および第2の部分は各々それぞれの複数の非予備メモリブロックを含み、
予備部分は少なくとも1つの予備メモリブロックを含む、請求項32に記載の集積回路。 - 予備部分はメモリアレイの第1の部分と第2の部分との間に配置される、請求項35に記載の集積回路。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/095,907 | 2005-03-31 | ||
US11/095,907 US7142471B2 (en) | 2005-03-31 | 2005-03-31 | Method and apparatus for incorporating block redundancy in a memory array |
PCT/US2006/012107 WO2006121529A2 (en) | 2005-03-31 | 2006-03-31 | Method and apparatus for incorporating block redundancy in a memory array |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008535142A true JP2008535142A (ja) | 2008-08-28 |
JP2008535142A5 JP2008535142A5 (ja) | 2009-04-09 |
JP5015135B2 JP5015135B2 (ja) | 2012-08-29 |
Family
ID=37070220
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008504454A Active JP5015135B2 (ja) | 2005-03-31 | 2006-03-31 | メモリアレイにブロック冗長性を組込むための方法および装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7142471B2 (ja) |
EP (1) | EP1864291B1 (ja) |
JP (1) | JP5015135B2 (ja) |
KR (1) | KR101253217B1 (ja) |
CN (1) | CN101167139B (ja) |
TW (1) | TWI326880B (ja) |
WO (1) | WO2006121529A2 (ja) |
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- 2006-03-30 TW TW095111306A patent/TWI326880B/zh not_active IP Right Cessation
- 2006-03-31 JP JP2008504454A patent/JP5015135B2/ja active Active
- 2006-03-31 EP EP06769791A patent/EP1864291B1/en not_active Not-in-force
- 2006-03-31 WO PCT/US2006/012107 patent/WO2006121529A2/en active Application Filing
- 2006-03-31 KR KR1020077022445A patent/KR101253217B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2006-03-31 CN CN2006800107661A patent/CN101167139B/zh not_active Expired - Fee Related
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EP1864291B1 (en) | 2012-06-13 |
CN101167139A (zh) | 2008-04-23 |
EP1864291A2 (en) | 2007-12-12 |
US7142471B2 (en) | 2006-11-28 |
WO2006121529A3 (en) | 2007-08-02 |
JP5015135B2 (ja) | 2012-08-29 |
WO2006121529A2 (en) | 2006-11-16 |
KR101253217B1 (ko) | 2013-04-16 |
TW200709215A (en) | 2007-03-01 |
KR20080007434A (ko) | 2008-01-21 |
CN101167139B (zh) | 2010-09-08 |
TWI326880B (en) | 2010-07-01 |
EP1864291A4 (en) | 2009-04-08 |
US20060221728A1 (en) | 2006-10-05 |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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S533 | Written request for registration of change of name |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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