JP2008524590A - 表面弾性波検知方法およびシステム - Google Patents
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Abstract
センサチップの第1の面(例えば前面)の中央に少なくとも2つの表面弾性波(SAW)検知素子がその上に配置されるセンサチップを含むセンサシステムおよび方法が本明細書に開示される。SAW検知素子はセンサチップの第1の面の共通領域を占める。エッチングされたダイアフラム内にセンサシステムまたはセンサデバイスの機械的ひずみを集中させ、それによって強度、感度を高め、製造し易くするために、エッチングされたダイアフラムは2つのSAW検知素子と関連する第1の面とは反対の、センサチップの第2の面(すなわち後面)の中央に配置される。
Description
実施形態は一般に検知方法およびシステムに関する。実施形態はさらに微細加工された検知デバイスに関する。加えて、実施形態は表面弾性波(SAW)デバイスおよびセンサに関する。実施形態はさらにトルク、圧力および/または温度センサに関する。
表面弾性波センサはトルク、圧力および/または温度検出のような多様な検知の用途に使用可能である。このようなセンサは例えば、水晶のような圧電材料内にエッチングされたダイアフラム上に表面弾性波(SAW)デバイスを配置することによって実装可能である。しかし、これまでは技術的なハードルがこのようなデバイスの効率的な実装を阻んできた。現在、過酷な環境で、または回転部品に関連してトルク、圧力および/または温度センサを使用する強い需要がある。
圧力検知デバイスを実装する試みがこれまでなされてきた。しかし、センサの用途に関して多くの問題がある。例えば、SAWセンサでは機械的なひずみが伝播経路の長さと波の速度の双方に影響する。このように、周波数および/または位相の変化がこのひずみと相関する。従来のSAWトルクセンサでは、例えばトルクセンサ構造に1つまたは2つのSAWチップが実装されていた。しかし、このようなデバイスを使用すると、製造コストが高くなり、チップのサイズが大きくなり、微細加工が困難になる結果をまねく。したがって既存の設計では大きなサイズの基板と回路が必要であり、さらに製造中の較正のコストが高くなる。
したがって特にトルク、圧力および/または温度検知を含む、改良されたSAWセンサアプリケーションの必要性がある。本明細書に記載のような微細加工のアプローチは従来の検知システムの上記の問題を克服することができると思われる。
本発明の下記の大要は本発明独自の革新的な特徴のいくつかを理解し易くするためのものであり、詳細に記載することは意図していない。本発明の完全な理解は、明細書、特許請求の範囲、図面および要約の全体を全体的にとらえることによって得られるものである。
したがって、本発明の1つの態様は改良されたセンサをベースにしたシステムおよび方法を提供することである。
本発明の別の態様は改良されたSAWセンサをベースにしたシステムおよび方法を提供することである。
本発明の別の態様は改良されたSAWセンサをベースにしたシステムおよび方法を提供することである。
本発明のさらに別の態様は改良された水晶SAWセンサをベースにしたシステムおよび方法を提供することである。
本発明の上記の態様およびその他の目的と利点は、現在では本明細書に記載のように達成可能である。センサチップの第1の面(例えば前面)の中央に少なくとも2つの表面弾性波(SAW)検知素子がその上に配置されるセンサチップを含むセンサシステムおよび方法が本明細書に開示される。SAW検知素子はセンサチップの第1の面の共通領域を占める。エッチングされたダイアフラム内にセンサシステムまたはセンサデバイスの機械的ひずみを集中させ、それによって強度、感度を高め、製造し易くするために、エッチングされたダイアフラムは少なくとも2つのSAW検知素子と関連する第1の面とは反対の、センサチップの第2の面(すなわち後面)の中央に配置される。
センサチップは掃引水晶から構成でき、一方、SAWセンサ素子はインターディジタル変換器(IDT)から形成される。センサチップは設計上の考慮に応じて遅延線構造または共振子構造に配置可能である。ダイアフラムはウエットまたはドライエッチング液、または機械的エッチング方法を使用してエッチング可能である。センサチップに関連する周波数、位相または振幅の変化が機械的ひずみと相関することに留意されたい。
別個の図面全体を通して同様の参照番号が同一の、または機能的に同類の要素を示し、また本明細書に組み込まれ、またその一部をなす添付図面は本発明をさらに例示し、発明の詳細な説明を伴って本発明の原理を説明する役割を果たす。
これらの非限定的な実施例で論じられる特定の数値および構成は変更可能であり、本発明の実施形態を説明するために引用されたものであり、本発明の範囲を限定することを意図するものではない。
本明細書に開示される実施形態は一般にディープ水晶エッチング、水晶−水晶直接パッケージングおよび水晶ケージの外側に突出する金属コネクタ用の基本技術と並んで、トルク、圧力および/または温度検知のためのエッチングされた水晶ダイアフラムの機械的設計のための方法論を記載する。このようなコンセプトは複数のSAW共振子の実装に基づく検知構成に適用できる。
2つのSAW共振子またはSAW遅延線を少なくとも部分的に検知ダイアフラム上に配置できる。SAW共振子またはSAW遅延線はトルクひずみを測定するためのハーフブリッジを形成するように互いに垂直に配置する必要がある。
トルク、圧力および/または温度測定のための水晶をベースにしたワイヤレスおよび/または受動SAWセンサの設計および製造に先立ち、信頼性があり柔軟な水晶SAWセンサの挙動をトルク、圧力および/または温度の検知動作の全範囲にわたって確実に実行できるように、ダイアフラム上のひずみ状態の機械的シミュレーションを行う必要がある。
測定されるトルク範囲に応じて、トルクがかかって撓む水晶ダイアフラムはパッケージ用に使用される別の水晶ウエーハによって縁部に、またトルクストップ上に支持されるより薄い水晶ウエーハ(すなわちエッチングされた領域がないウエーハ)から形成されてもよく、またはエッチングされたトルク検知用の水晶ダイアフラムを得るために水晶を選択的にエッチングすることによって形成可能である。ウエット、ドライまたは機械的水晶エッチングによって実施される水晶ダイアフラムはより小さいトルク測定用にも形成可能である。
一般に、SAWセンサ動作の周波数を高めると、SAWデバイスの寸法を大幅に縮小でき、一方、ライセンス不要の周波数帯域における動作を確保するための周波数帯域幅制限を容易に満たすことができる。SAWフィルタの標準的技術はインターディジタル変換器(IDT)変換ドメインを定義するためにも応用できる。直接水晶結合技術は極めて平坦な表面を必要とするので、全水晶パッケージ内に外部結合パッドへの導電路を形成する方法として金属イオン注入を利用することが好ましい。チタンは好ましい種類の金属の1つであり、チタン注入のエネルギおよび注入量は、センサアンテナへの適応回路が必要とする導電路の設計された電気抵抗によって決められる。
SAWデバイスのパッケージングとカプセル封入は、SAWデバイスが配置される水晶基板の表面での熱応力は動作周波数を変えることがあるので、温度依存特性、長期的安定性、ヒステリシスおよびクリープに多大な影響を及ぼす。したがって、SAWセンサのパッケージングは重要なステップである。熱望膨張率の不整合による熱応力を回避するため、真の全水晶パッケージング(TAQP)技法を下記のような直接水晶−水晶ウエーハ結合ステップの流れで実装可能である。
1.受け取り状態の水晶ウエーハの微細粗さ評価
(AFM;RMS<1.3nm)
2.処理された水晶カバー(ウエーハレベル)および水晶SAW基板(ウエーハレベル)の微細粗さ評価(AFM;RMS<1.3nm)
3.30〜50分間沸騰させ、濃縮されたHNO3中での水晶カバーおよび水晶SAW基板の親水化処理、この処理後にRMSは低減)
4.DIウエーハ内でリンスした後に乾燥
5.メガソニックRCA溶液(NH4OH:H2O2:H2O=1:1:5)で10分間洗浄した後、HCL:H2O2:H2O=1:1:6)で10分間洗浄
6.水晶カバーおよび水晶SAW基板の乾燥
7.カバーおよびSAW基板の即時の接触、位置合せ
8.温度T<450℃で1時間N2で熱焼なまし(すなわち、温度は約10℃/分で上下すべき)、
9.結合の制御、50nmの薄いブレードによる「亀裂開口」法が用いられる。
1.受け取り状態の水晶ウエーハの微細粗さ評価
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2.処理された水晶カバー(ウエーハレベル)および水晶SAW基板(ウエーハレベル)の微細粗さ評価(AFM;RMS<1.3nm)
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7.カバーおよびSAW基板の即時の接触、位置合せ
8.温度T<450℃で1時間N2で熱焼なまし(すなわち、温度は約10℃/分で上下すべき)、
9.結合の制御、50nmの薄いブレードによる「亀裂開口」法が用いられる。
高トルク測定の場合は、水晶強度の値を50Mpaと想定すると、エッチングされた水晶ダイアフラムは一般に使用する必要はない。このような状態では、ダイアフラムをベースにした検知原理が中程度および低いトルク動作用のTAQPステップの流れで実施されるように、全体として「開始」水晶ウエーハを使用できる。
図1は好ましい実施形態によって実装可能なSAWトルクセンサシステム100のブロック図を示している。図1では、側面図101と上面図103はシステム100の変更された図面を示していることに留意されたい。一般に、システム100は水晶センサ基板102を含んでおり、その上にX−SAW共振子104とY−SAW共振子106とが配置される。XおよびY共振子104および106は、それらが逆の信号極性を有するように基盤102上に配置される。このような配置によってシステム100は圧縮ひずみと引っ張りひずみとを測定できる。したがってシステム100を使用してトルクの方向と大きさを容易に測定できる。側面図101では結合位置108および110は基板102の近傍に示されていることに留意されたい。
図2は代替実施形態にしたがって実装可能なSAWトルクセンサシステム200のブロック図を示している。システム200は、システム200の側面図201と上面図203とを示している。一般に、基板202は結合位置208および210と関連して備えることができる。微細加工された空洞212を基板202から形成できる。加えて、基準SAW共振子218および温度SAW共振子214を基板202上に、または基板202から構成できる。加えて、トルクSAW共振子216は空洞212の上方に位置する領域217内で基板202上に構成できる。
共振子216は、領域213内のひずみの増大によりトルク信号が最大になるように基盤202内の薄い区分213の上方に配置される。温度SAW共振子214は温度のみにしか影響されないような位置に配置される。基準SAW共振子218は、トルクによって影響されないように基板202上に配置され、温度のための基準共振子として使用可能である。温度情報は増大するトルクまたは圧力の正確な読み取りに必要である。専用の温度センサがない構成(例えば図4および5を参照)では、温度情報はハーフブリッジ構造(一方は圧縮ひずみ、他方は引っ張りひずみを受ける)を利用して得ることができる。次に、生成された2つの周波数を互いに混和して、差または合計を生成することができよう。差はトルクであり、合計は温度であろう。
図3Aは一実施形態により実装可能なSAWトルクセンサ・パッケージングシステム300の上面図を示している。同様に、図3Bは一実施形態によるシステム300の側面図を示している。システム300は一般にSAW基板303上に配置された基準SAW共振子308と温度SAW共振子312とを含んでいる。トルクSAW共振子310は図2の構成に関して前述したもの同様に基板303上に配置可能である。アンテナ接点または出力ピン302およびピン304が、共振子308、310および312を囲む壁330を通してシステム300から突出している。
空洞334はパッケージベース322から構成され、ひずみ集中装置としての機能を果たすことができる。溶接および/または接着部325および327は取り付けフランジ(図3A−3Bには図示せず)の周囲に構成可能である。気密シール326および328もパッケージング壁330およびカバー324に備えることができる。同様のパッケージング壁330もカバー324と関連して実装される。SAW基板303も基板303の薄い領域311の下に配置された空洞313を含めるように構成される。加えて、基板303をベース322に固着するため、結合位置330および332が基板303の下に配置される。
システム300のパッケージは、SAWセンサ基板303とパッケージベース302内にそれぞれ配設された空洞313および334を利用することによってトルクSAW共振子310内のひずみを最大限にするように設計されている。このようなパッケージまたはシステム300はベース322用の強度が高いステンレススチール(例えば17−7 PH、ハスタロイ、EN56など)を、また壁330から形成されたパッケージ壁用にはより柔軟なステンレススチールを使用して形成可能である。ガラス−金属シール(GTMS)306もパッケージ壁330を形成する柔軟なステンレススチール材料から形成可能である。このようなGTMSは、GTMSの信頼性が保たれるように低ひずみ領域内に配置可能である。
一般に、トルク測定用に使用される本明細書に記載のSAWデバイスでは、SAW水晶ウエーハを製造するためにいくつかの処理ステップを利用できる。このような処理ステップの例を下記に示す。
1.受け取った状態の化学研磨された二重側面の水晶SAWウエーハの微細粗さ評価
2.ウエーハの洗浄
3.次のステップで抵抗マスクとして使用される薄い金属層の溶着
4.SAW表面から外部接続部(単数または複数)へと通る金属通路のために必要なチャネル−ギャップ形成のためのフォトリソグラフィステップ
5.チャネル−ギャップのRIEエッチング
6.金属除去
7.ウエーハの洗浄
8.チタン注入用の抵抗マスクとして利用される薄膜層の溶着
9.チタン注入のためのフォトリソグラフィステップ
10.埋設導電路改正のためのチタン注入
11.SAW電極形成および外部接触のために使用される金属層の溶着
12.金属パターン形成のためのフォトリソグラフィステップ
13.金属エッチング
14.ウエーハの洗浄
15.30〜50分間沸騰させ、濃縮されたHNO3中での水晶SAWウエーハの親水化処理
16.DIウエーハ内でリンスした後に乾燥
17.メガソニックRCA溶液(NH4OH:H2O2:H2O=1:1:5)で10分間洗浄した後、HCl:H2O2:H2O=1:1:6)で10分間洗浄
18.乾燥
上記の処理ステップが完了すると、水晶ベース板を形成するために別の水晶ウエーハに同様の処理ステップのセットを実施することができる。2つの水晶ウエーハが直接結合される準備ができると、下記のようにウエーハの切断およびチップの組立て処理を行うことができる。
1.水晶SAWウエーハおよび水晶ベース板の接触、位置合せ
2.温度T<450℃で1時間N2中で熱焼なまし(すなわち、温度は約10℃/分で上下に傾斜されるべき)
3.結合の制御、50mmのブレードにより「亀裂開口」法が用いられる。
4.部分ウエーハ切断(すなわち水晶SAWウエーハの厚みに等しい厚みに、一方向だけで切断)
5.AQP微細構造のチップ間空隙で結合されたチップの厚み全体の切断
6.パッケージベース板上の特殊樹脂とチップとの結合
7.双方のチップと接触する金属用の導電性樹脂の投入
8.ワイヤボンディング
9.保護樹脂の投入
10.キャッピングおよび溶接
同様にして、AQP SAWセンサの別の製造方法の技術を記載することができる。水晶ウエーハを例えば、ウエット、ドライまたは機械的エッチングによってエッチングすることができよう。「全水晶」センサパッケージの場合は、アンテナへの電極接続を「ウエーハ通し」接続によって行うことができよう。「ウエーハ通し」設計の場合、「通し」穴をレーザー、超音波、またはウエットエッチングによって穿孔することができよう。
1.受け取った状態の化学研磨された二重側面の水晶SAWウエーハの微細粗さ評価
2.ウエーハの洗浄
3.次のステップで抵抗マスクとして使用される薄い金属層の溶着
4.SAW表面から外部接続部(単数または複数)へと通る金属通路のために必要なチャネル−ギャップ形成のためのフォトリソグラフィステップ
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6.金属除去
7.ウエーハの洗浄
8.チタン注入用の抵抗マスクとして利用される薄膜層の溶着
9.チタン注入のためのフォトリソグラフィステップ
10.埋設導電路改正のためのチタン注入
11.SAW電極形成および外部接触のために使用される金属層の溶着
12.金属パターン形成のためのフォトリソグラフィステップ
13.金属エッチング
14.ウエーハの洗浄
15.30〜50分間沸騰させ、濃縮されたHNO3中での水晶SAWウエーハの親水化処理
16.DIウエーハ内でリンスした後に乾燥
17.メガソニックRCA溶液(NH4OH:H2O2:H2O=1:1:5)で10分間洗浄した後、HCl:H2O2:H2O=1:1:6)で10分間洗浄
18.乾燥
上記の処理ステップが完了すると、水晶ベース板を形成するために別の水晶ウエーハに同様の処理ステップのセットを実施することができる。2つの水晶ウエーハが直接結合される準備ができると、下記のようにウエーハの切断およびチップの組立て処理を行うことができる。
1.水晶SAWウエーハおよび水晶ベース板の接触、位置合せ
2.温度T<450℃で1時間N2中で熱焼なまし(すなわち、温度は約10℃/分で上下に傾斜されるべき)
3.結合の制御、50mmのブレードにより「亀裂開口」法が用いられる。
4.部分ウエーハ切断(すなわち水晶SAWウエーハの厚みに等しい厚みに、一方向だけで切断)
5.AQP微細構造のチップ間空隙で結合されたチップの厚み全体の切断
6.パッケージベース板上の特殊樹脂とチップとの結合
7.双方のチップと接触する金属用の導電性樹脂の投入
8.ワイヤボンディング
9.保護樹脂の投入
10.キャッピングおよび溶接
同様にして、AQP SAWセンサの別の製造方法の技術を記載することができる。水晶ウエーハを例えば、ウエット、ドライまたは機械的エッチングによってエッチングすることができよう。「全水晶」センサパッケージの場合は、アンテナへの電極接続を「ウエーハ通し」接続によって行うことができよう。「ウエーハ通し」設計の場合、「通し」穴をレーザー、超音波、またはウエットエッチングによって穿孔することができよう。
SAWセンサでは、機械的なひずみが伝播経路の長さと波の速度の双方に影響する。周波数および/または位相の変化がこのひずみと相関する。したがって図2〜4の構成は、センサの感度の上昇を促進し、同時に製造し易くし、かつダイアフラムの直径の選択に際して設計上より多くの選択肢を可能にするために、機械的なひずみがダイアフラムのような単一部品に集中する実施形態の変化形態を示している。
図4は一実施形態によって実装可能なSAWセンサシステム400のブロック図を示している。システム400は一般に、2つのSAWチップ402および404がその上に配置されるシャフト401を含んでいる。SAWチップ402は、SAWチップ402の後面にエッチングされたダイアフラム406を含んでいる。同様に、SAWチップ404は、SAWチップ402の後面にエッチングされたダイアフラム408を含んでいる。チップの強度を高め、このようなチップの機械的ひずみをエッチングされたダイアフラム408に集中させるために、エッチングはSAWチップ402および404の後面から行われる。
図5は別の実施形態によって実装可能なSAWセンサシステム500のブロック図を示している。システム500は2つのSAWセンサ504および506を示している。ダイアフラム508はSAWセンサ504の後面でエッチングされ、一方、ダイアフラム510はSAWセンサ506の後面でエッチングされる。双方のSAWチップ504および506は共に同じ基板502内に配置される。
図6は好ましい実施形態によって実装可能なエッチングされたセンサシステム601のブロック図を示している。システム601は一般にセンサチップ600を含んでおり、その上に少なくとも2つの表面弾性波(SAW)検知素子610および612がセンサチップ600の第1の面(例えば前面)の中央に配置される。SAW検知素子610、612はセンサチップの第1の面の共通領域を占めている。エッチングされたダイアフラム606は、センサシステム601またはセンサデバイスの機械的ひずみをエッチングされたダイアフラム606に集中させ、それによって強度、感度を高め、製造し易くするため、2つのSAW検知素子610、608とは反対の、センサチップ600の第2の面(すなわち後面)の中央に配置される。
センサチップ600は掃引水晶から構成可能であり、一方、SAW検知素子610,612はインターディジタル変換器(IDT)から構成される。センサチップ600は設計上の考慮に応じて遅延線構造または共振子構造に配置可能である。ダイアフラム606はウエット、ドライ、または機械的エッチング方法を使用してエッチング可能である。センサチップ600に関連する周波数または位相の変化が機械的ひずみと相関することに留意されたい。例えばリフレクタ614、616、618がSAW検知素子610と関連するように、複数のリフレクタを備えることができる。同様に、リフレクタ620、622、624はSAW検知素子612と関連する。
このように、SAWチップのIDTの(例えば遅延線または共振子)はSAWチップ600の一方の面に配置され、一方、エッチングはチップ600の他方の面から達成される。使用されるエッチング液は製造上の必要性に応じてドライまたはウエットのものでよい。掃引水晶が好ましいのは、機械的強度が高まり、エッチングされた表面形状がより良くなるからである。システム600はトルクセンサとして利用可能である。
例えば現在予見されず、認められておらず、または後に出願人あるいはその他によって達成され、または達成され得る、本明細書の教示の様々な他の代替、修正、変化形態、改良、同等の教示または実質的に同等の教示は特許請求の範囲およびその補正に含まれることを意図するものである。
Claims (23)
- センサチップと、
前記センサチップの第1の面の中央に位置し、前記センサチップの前記第1の面上の共通領域を占める少なくとも2つの表面弾性波(SAW)検知素子と、
エッチングされたダイアフラム内に機械的ひずみを集中させ、それによって強度、感度を高め、製造し易くするため、前記少なくとも2つのSAW検知素子と関連する前記第1の面とは反対の、前記センサチップの第2の面の中央に位置するエッチングされたダイアフラムと、
を備えるセンサシステム。 - 前記センサチップは掃引水晶を備える、請求項1に記載のシステム。
- 前記少なくとも2つのSAW検知素子は前記素子のインターディジタル変換器を備える、請求項1に記載のシステム。
- 前記センサチップは遅延線構造を備える、請求項1に記載のシステム。
- 前記センサチップは共振子構造を備える、請求項1に記載のシステム。
- 前記エッチングされたダイアフラムはウエットエッチング液を使用してエッチングされる、請求項1に記載のシステム。
- 前記エッチングされたダイアフラムはドライエッチング液を使用してエッチングされる、請求項1に記載のシステム。
- 前記エッチングされたダイアフラムは機械的にエッチングされる、請求項1に記載のシステム。
- 前記センサチップに関連する周波数の変化は前記機械的ひずみに相関する、請求項1に記載のシステム。
- 前記センサチップに関連する位相の変化は前記機械的ひずみに相関する、請求項1に記載のシステム。
- 前記センサチップに関連する遅延時間の変化は前記機械的ひずみに相関する、請求項1に記載のシステム。
- 前記少なくとも2つのSAW検知素子は第1のSAWセンサと第2のSAWセンサとを備える、請求項1に記載のシステム。
- 前記センサチップの前記第1の面上に前記第1のSAWセンサに関連する第1組のリフレクタと、前記第2のSAWセンサに関連する第2組のリフレクタとをさらに備える、請求項12に記載のシステム。
- 掃引水晶を備えるセンサチップと、
前記センサチップの第1の面の中央に位置し、インターディジタル変換器を備え、前記センサチップの前記第1の面上の共通の領域を占める少なくとも2つの表面弾性波(SAW)検知素子と、
エッチングされたダイアフラム内に機械的ひずみを集中させ、それによって強度、感度を高め、製造し易くするため、前記少なくとも2つのSAW検知素子と関連する前記第1の面とは反対の、前記センサチップの第2の面の中央に位置するエッチングされたダイアフラムと、を備え、
前記第1組のリフレクタは前記第2組のリフレクタと反対に延びる、
センサシステム。 - 前記センサチップは遅延線構造を備える、請求項14に記載のシステム。
- 前記センサは共振子構造を備える請求項14に記載のシステム。
- 掃引水晶を備えるセンサチップを準備するステップと、
センサチップの第1の面上の共通の領域を占め、インターディジタル変換器を備える、前記センサチップの前記第1の面の中心に位置する少なくとも2つの表面弾性波(SAW)検知素子を配置するステップと、
エッチングされたダイアフラム内に機械的ひずみを集中させ、それによって強度、感度を高め、製造し易くするため、前記少なくとも2つのSAW検知素子と関連する前記第1の面とは反対の、前記センサチップの第2の面の中央でダイアフラムをエッチングするステップと、を含む検知方法。 - 前記センサチップを遅延線構造で配置するステップをさらに含む、請求項17に記載の方法。
- 前記センサチップを共振子構造で配置するステップをさらに含む、請求項17に記載の方法。
- ウエットエッチング液を使用して前記センサチップの前記第2の面でダイアフラムをエッチングするステップをさらに含む、請求項17に記載の方法。
- ドライエッチング液を使用して前記センサチップの前記第2の面で前記ダイアフラムをエッチングするステップをさらに含む、請求項17に記載の方法。
- 前記センサチップの前記第2の面で前記ダイアフラムを機械的にエッチングするステップをさらに含む、請求項17に記載の方法。
- 第1のSAWセンサと第2のSAWセンサとを備えるように前記少なくとも2つのSAW検知素子を構成するステップと、
前記センサチップの前記第1の面上の第1組のリフレクタを前記第1のSAWセンサに関連させ、第2組のリフレクタを前記第2のSAWセンサに関連させるステップとをさらに含む、請求項17に記載の方法。
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