JP2005227282A - 圧力を表す値を検出するためのマイクロメカニックセンサの製作法及び圧力を表す値を検出するためのマイクロメカニックセンサ - Google Patents
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- B81B2201/02—Sensors
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Abstract
【解決手段】開口(23,150)の壁の少なくとも一部に材料層(30)を付与するようにした。
【選択図】図3
Description
Claims (11)
- 圧力を表す値を検出するためのマイクロメカニックセンサの製作法であって、製作を少なくとも以下のステップ、即ち
‐第1の構成素子(1,100)にキャビティ(9,10,11)を形成し、
‐第2の構成素子(2,110,120)に開口(23,150)を形成し、
‐該開口(23,150)をキャビティ(9,10,11)に合わせて位置調整し、
‐第1の構成素子(1,100)と第2の構成素子(2,110,120)とを結合するステップで行う形式のものにおいて、
別の製作ステップにおいて、前記開口(23,150)の壁の少なくとも一部に材料層(30)を付与することを特徴とする、圧力を表す値を検出するためのマイクロメカニックセンサの製作法。 - 第1の構成素子(1,100)に半導体材料、特にシリコン及び/又はダイヤフラム及び/又はピエゾ抵抗(6)を設け、この場合、これらのピエゾ抵抗(6)をダイヤフラムに付与する、請求項1記載の方法。
- 第2の構成素子(2,110,120)としてガラスベースを設け、該ガラスベースに設けられる開口(23,150)を、超音波穿孔、レーザ処理、サンドブラスト又はプレス加工を用いた熱処理によって形成する、請求項1記載の方法。
- 材料層(30)が、エポキシ樹脂又はプラスチック又はポリイミド又はHMDS又はTEOS又はケイ素窒化物又はテフロンを有している、請求項1記載の方法。
- 第2の構成素子(2,110,120)の開口に挿入部材(140)を挿入し、該挿入部材を、材料層によって第2の構成素子(2,110,120)と固着結合し且つ/又は管片又は毛管によって実現化し且つ/又はガラス、金属、セラミック、プラスチック又は第2の構成素子(2,110,120)と同じ温度係数を有する材料から形成し且つ/又は第1の構成素子と第2の構成素子とを結合した後で開口(23,150)に挿入する、請求項1記載の方法。
- キャビティ(9,10,11)及び/又はダイヤフラムをマイクロメカニックプロセスによって、第1の構成素子と第2の構成素子との結合後に第2の構成素子(2,110,120)の開口(23,150)を介して形成する、請求項1又は2記載の方法。
- 開口(23,150)の壁の少なくとも一部に材料層(30)を付与することに加えて付加的に焼戻しステップを実施し、この場合、材料層(30)をキャビティ壁の少なくとも一部にもやはり付与する、請求項1記載の方法。
- 特に請求項1から7までのいずれか1項記載の製作法に基づいて圧力を表す値を検出するためのマイクロメカニックセンサであって、第1の構成素子と第2の構成素子とから成っており、第1の構成素子(1,100)が少なくとも1つのキャビティ(9,10,11)を有しており、第2の構成素子(2,110,120)が開口(23,150)を有しており、該開口(23,150)が、第2の構成素子(2,110,120)を貫通して前記キャビティ(9,10,11)に通じる通路を成している形式のものにおいて、
開口(23,150)の壁の少なくとも一部が材料層(30)を有していることを特徴とする、圧力を表す値を検出するためのマイクロメカニックセンサ。 - 第1の構成素子(1,100)が、半導体材料、特にシリコン及び/又はダイヤフラム及び/又はセンサ素子、特にピエゾ抵抗(6)を有しており且つ/又は第2の構成素子(2,110,120)としてガラスベースが設けられている、請求項8記載のセンサ。
- 材料層(30)が、エポキシ樹脂又はプラスチック又はポリイミド又はHMDS又はTEOS又はケイ素窒化物又はテフロンを有している、請求項8記載のセンサ。
- 第2の構成素子(2,110,120)の開口(23,150)の少なくとも一部が挿入部材(140)を有しており、該挿入部材(140)が、材料層によって第2の構成素子(2,110,120)と固着結合されており且つ/又は管片又は毛管によって実現化されており且つ/又はガラス、金属、セラミック、プラスチック又は第2の構成素子(2,110,120)と同じ温度係数を有する材料から成っている、請求項8記載のセンサ。
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