JP5983493B2 - 圧力センサ - Google Patents
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Description
本発明の第1実施形態について図面を参照しつつ説明する。なお、本実施形態の圧力センサは、例えば、被取付部材としての自動車のエンジンに取り付けられ、当該エンジンにおける燃焼室内の圧力を検出するのに利用されると好適である。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して受圧部の構成を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対してアンテナ部60の構成を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第4実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対してセンサ部40の構成を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第5実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対してセンサ部40の構成を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第6実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対してアンテナ部60を制御回路101に組み込んだものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第7実施形態について説明する。本実施形態は、第6実施形態に対してハウジング10にメタルステムを備えるものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
30 メタルダイヤフラム
40 センサ部
41 基板
42a 検出電極
43a 反射器
45 コイルパターン
60 アンテナ部
62 コイルパターン
140a メタルダイヤフラム
Claims (5)
- 中空部を有し、導電性を有する筒状とされたケーシング(1)と、
測定媒体を受圧することで変形可能とされ、前記ケーシングに備えられた導電性を有する受圧部(30、130、140a)と、
前記受圧部に配置されることで前記ケーシング内に備えられ、前記測定媒体に応じたセンサ信号を出力するセンサ部(40)と、を備え、
前記ケーシング内には、コイルパターン(62)が形成されたアンテナ部(60)が配置され、
前記センサ部は、圧電材料で構成された基板(41)に弾性表面波を発振すると共に受信する第1検出電極(42a)および前記弾性表面波を反射する第1反射器(43a)が形成された弾性表面波検出素子と、前記第1検出電極と電気的に接続されると共に前記コイルパターンとコイル結合するコイルパターン(45)と、を有し、前記アンテナ部から前記コイル結合による無線通信によって駆動信号を受信すると、前記第1検出電極から前記弾性表面波を発振すると共に前記第1反射器で反射された前記弾性表面波を受信し、受信した前記弾性表面波に基づく前記センサ信号を前記コイル結合による無線通信によって前記アンテナ部に送信することを特徴とする圧力センサ。 - 前記受圧部は、前記測定媒体を直接受圧するメタルダイヤフラム(30、140a)と、前記センサ部と前記メタルダイヤフラムとの間に配置され、前記メタルダイヤフラムに印加された圧力のうちの所定割合の荷重を前記センサ部に伝達する荷重伝達部材(130)と、を有することを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記アンテナ部は、多層基板(67)を用いて構成され、各層に形成されたコイルパターン(62a、62b)が連結されることによって前記コイルパターンが形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の圧力センサ。
- 前記センサ部は、前記基板としての第1基板に第2基板(46)が積層されており、前記第2基板には、前記第1検出電極および前記第1反射器と対向する部分に凹部(46a)が形成されていると共に前記第1基板側と反対側の一面に前記コイルパターンが形成され、前記第1検出電極と前記コイルパターンとは前記第2基板に形成された厚さ方向に貫通するスルーホール(47)内に配置された電極(48)を介して電気的に接続されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の圧力センサ。
- 前記センサ部は、前記基板に、前記第1検出電極および前記第1反射器に加えて、弾性表面波を発振すると共に受信する第2検出電極(42b)および当該弾性表面波を反射する第2反射器(43b)が形成され、前記第1検出電極から発振された前記弾性表面波が伝播する第1伝播路(44a)と、前記第2検出電極から発振された前記弾性表面波が伝播する第2伝播路(44b)とが異なる場所に構成され、かつ、前記第1、第2伝播路における前記弾性表面波の伝播方向の長さが異なっていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の圧力センサ。
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