JP4483934B2 - 弾性表面波角速度センサ - Google Patents

Description

本発明は、弾性表面波を用いて摂動錘を駆動振動させ、この摂動錘に対して加えられる加速度の検出を行う弾性表面波角速度センサ（以下、単に角速度センサという）に関するものである。

従来、特許文献１、２において、弾性表面波を用いて角速度の検出を行う角速度センサが提案されている。特許文献１、２に記載されている角速度センサは、共に、同一原理に基づいて角速度を検出するものであり、センサを構成するデバイスの構造としては、圧電単結晶基板上に金属配線で形成された駆動用の櫛歯電極、検出用の櫛歯電極、反射器および複数の摂動錘を備えたものを採用している。

図９は、特許文献１に記載された角速度センサのレイアウト図である。この図に示すように、略正方形に整列配置された複数の摂動錘Ｊ１を中心として、複数の摂動錘Ｊ１により形成される正方形の一辺と対向するように駆動用の櫛歯電極Ｊ２が配置され、さらに、その駆動用の櫛歯電極Ｊ２および複数の摂動錘Ｊ１を挟むように両側に反射器Ｊ３、Ｊ４が配置されている。つまり、複数の摂動錘Ｊ１により形成される正方形の相対する二辺と対向するように駆動用の櫛歯電極Ｊ２および反射器Ｊ３、Ｊ４が配置されることで、駆動用の櫛歯電極Ｊ２および反射器Ｊ３、Ｊ４からなる１つの弾性表面波デバイスが図９中のｘ軸方向に並べられ、そのデバイスの伝播路上に複数の摂動錘Ｊ１が配置された構成となっている。

また、複数の摂動錘Ｊ１により形成される正方形の相対する他の二辺と対向するように検出用の櫛歯電極Ｊ５、Ｊ６が設けられると共に、その検出用の櫛歯電極Ｊ５、Ｊ６および複数の摂動錘Ｊ１を挟むように両側に反射器Ｊ７、Ｊ８が配置されることで、検出用の櫛歯電極Ｊ５、Ｊ６および反射器Ｊ７、Ｊ８からなるもう１つの弾性表面波デバイスが図９中のｙ軸方向に並べられ、そのデバイスの伝播路上に摂動錘Ｊ１が配置された構成となっている。

このように構成される角速度センサは、以下のように作動する。図１０に、角速度センサの駆動用の櫛歯電極Ｊ２による定在波の振動分布と摂動錘Ｊ１との関係とその角速度センサに発生するコリオリ力の説明図を示し、この図を参照して説明する。

駆動用の櫛歯電極Ｊ２に交流電圧を印加し、その駆動用の櫛歯電極Ｊ２のピッチで決まる共振周波数、たとえば１０ＭＨｚ〜数百ＭＨｚの信号で駆動すると、弾性表面波が励起される。このとき、弾性表面波が反射器Ｊ３、Ｊ４で閉じ込められるため、弾性表面波の励振効率が向上していく。また、反射器Ｊ３、Ｊ４により、駆動用の櫛歯電極Ｊ２と反射器Ｊ４の間にある伝播路に定在波が生成される。

そして、複数の摂動錘Ｊ１のピッチが定在波の波長に合わせられており、各摂動錘Ｊ１それぞれが定在波の腹の部分に位置するようにパターニングされているため、摂動錘Ｊ１が定在波の最大振幅位置で振動する。なお、「定在波の腹」とは、基板面に垂直方向の振動成分が最大となる場所のことを意味している。

このとき、対角線上において隣接している各摂動錘Ｊ１が定在波の振幅の上下逆位相となる位置に配置されているため、図１０に示すように、摂動錘Ｊ１１〜Ｊ１４と摂動錘Ｊ１５は逆位相振動する。

このような状態において、図中で、ｘ方向の回りに回転（角速度）Ωｘが加わった場合、摂動錘Ｊ１に振動速度に比例したコリオリ力による加速度ａ＝２ｖ×Ωがｙ方向に加わる。ｖとΩｘはベクトル量であるから、摂動錘Ｊ１１〜Ｊ１４と摂動錘Ｊ１５に作用する力は逆位相となる。

また、コリオリ力によるそれぞれの摂動錘Ｊ１１〜Ｊ１５で生じる加振力は、駆動定在波（ｘ方向）とは直行する向き（ｙ方向）に弾性波を励振することとなる。これらの摂動錘Ｊ１１〜Ｊ１５において駆動される弾性波は、摂動錘Ｊ１（たとえば、摂動錘Ｊ１１とＪ１２）がｙ方向に対し波長の整数倍で配置されるため、検出用の櫛歯電極Ｊ５、Ｊ６の空間に弾性波動が励振される。そして、検出用の櫛歯電極Ｊ５、Ｊ６と対向するように反射器Ｊ７、Ｊ８が設置されているため、コリオリ力によって励振された波によって定在波が励振される。この定在波の強さがコリオリ力に比例しているため、検出用の櫛歯電極Ｊ５、Ｊ６で電圧または電荷を計測することにより、回転角速度を計測することが可能となる。
特開平８−３３４３３０号公報 米国特許第６５１６６６５号明細書

これら特許文献１、２に記載された技術は、原理・構造上、駆動波（つまり励起された弾性表面波）が摂動錘にて散乱されることで検出方向に波を生じさせることとなる。この散乱波は検出しようとしているコリオリ力による波よりも非常に大きく、例えば電圧換算で６桁ほど大きいため、コリオリ力を検出するためには散乱波を低減する必要がある。この散乱波の低減手法として、摂動錘を挟んで２つの検出用の櫛歯電極を両側に配置することにより、散乱波を互いに打ち消すという方法が考えられるが、ペア性が悪く打ち消すことが難しいため、ペア性の向上が必要である。

本発明は、上記問題に鑑みて、散乱波を低減できる角速度センサを提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、基板（２）と、基板（２）に対して弾性表面波を伝搬させることにより、該基板（２）の所定領域に定在波を形成する駆動電極（７〜１０）と、基板（２）の表面における定在波が形成される領域に配置され、該定在波により基板（２）に対して振動させられる複数の摂動錘（６）と、基板（２）のうち複数の摂動錘（６）に対して弾性表面波の伝搬方向と垂直方向に形成され、摂動錘（６）に対して角速度が印加されたときに発生するコリオリ力に基づく弾性波を検出する検出器（１３〜１６、３０、３１）とを備え、駆動電極（７〜１０）と複数の摂動錘（６）および検出器（１３〜１６、３０、３１）を、弾性表面波の伝搬方向に沿った直線であって複数の摂動錘（６）の中央位置を通る直線を駆動軸（Ｄ）として、該駆動軸（Ｄ）に対して線対称の構造にすることを特徴としている。

このように、駆動電極（７〜１０）が駆動軸（Ｄ）に対して線対称となるように配置している。このため、駆動電極（７〜１０）で発生された駆動波の摂動錘（６）での散乱波の対称性が改善される。これにより、散乱波を低減することが可能となり、コリオリ力の検出をより精度良く行える角速度センサとすることが可能となる。
また、検出器（１３〜１６、３０、３１）も駆動軸（Ｄ）に対して線対称となるように配置してある。このため、これら検出器（１３〜１６、３０、３１）のペア性を向上することが可能となり、より散乱波の影響を低減することが可能となる。

例えば、請求項２に記載したように、駆動電極（７〜１０）を２組備え、１組の駆動電極（７、８）に対してもう１組の駆動電極（９、１０）が駆動軸（Ｄ）を挟んで線対称の構造とされるようにすることができる。

この場合、例えば請求項３に記載したように、２組の駆動電極（７〜１０）に対して、それぞれ、駆動軸（Ｄ）に対して垂直方向に延設された第１櫛歯部（７ａ、９ａ）を有する第１駆動用櫛歯電極（７、９）と、第１櫛歯部（７ａ、９ａ）に対して対向配置された第２櫛歯部（８ａ、１０ａ）を有する第２駆動用櫛歯電極（８、１０）を備えることができる。

さらに、請求項４に記載したように、２組の駆動電極（７〜１０）それぞれの第１駆動用櫛歯電極（７、９）に、第１櫛歯部（７ａ、９ａ）の一端を連結する第１バスバー（７ｂ、９ｂ）を備え、また、２組の駆動電極（７〜１０）それぞれの第２駆動用櫛歯電極（８、１０）に、第２櫛歯部（８ａ、１０ａ）のうち第１櫛歯部（７ａ、９ａ）が第１バスバー（７ｂ、９ｂ）と連結される方と異なる側の端部を連結する第２バスバー（８ｂ、１０ｂ）を備えた構成とすることができる。

また、請求項５に記載したように、２組の駆動電極（７〜１０）それぞれの第１駆動用櫛歯電極（７、９）における第１櫛歯部（７ａ、９ａ）の一端を共通する一本の第１バスバー（２０）にて連結し、２組の駆動電極（７〜１０）それぞれの第２駆動用櫛歯電極（８、１０）に関しては、第２櫛歯部（８ａ、１０ａ）のうち第１櫛歯部（７ａ、９ａ）が第１バスバー（７ｂ、９ｂ）と連結される方と異なる側の端部が第２バスバー（８ｂ、１０ｂ）にて連結された構成とすることもできる。

このように、第１櫛歯部（７ａ、９ａ）の各端部の結合用バスバーを共通化することにより、角速度センサの小型化を図ることが可能となる。

請求項６に記載の発明では、第１バスバー（７ｂ、９ｂ、２０）および第２バスバー（８ｂ、１０ｂ）の延長線上の領域を避け、該延長線上の内側に摂動錘（６）を配置することを特徴としている。

このような構成にすれば、弾性波の速度に違いが生じる第１バスバー（７ｂ、９ｂ、２０）および第２バスバー（８ｂ、１０ｂ）の延長線上において摂動錘（６）を取り除くことになるため、駆動波の位相ズレによる散乱波のズレを防ぐことができ、散乱波の打ち消し精度を向上することが可能となる。これにより、コリオリ力の検出をより精度良く行える角速度センサとすることが可能となる。

さらに、請求項７に記載したように、第１櫛歯部（７ａ、９ａ）と第２櫛歯部（８ａ、１０ａ）とが対向する交差指幅分の領域内において摂動錘（６）が配置されるようにすると好ましい。

このような構成にすれば、第１、第２櫛歯部（７ａ〜１０ａ）が対向している部分と対向していない部分との間での音速差（駆動波の伝わる速度）による位相ズレの影響を低減でき、散乱波の打ち消し合いの精度を向上することが可能となる。これにより、コリオリ力の検出をより精度良く行える角速度センサとすることが可能となる。

一方、請求項８に記載したように、検出器（１３〜１６）は、複数の摂動錘（６）の中央位置を通り駆動軸（Ｄ）に対して垂直方向の直線を垂直軸（Ｅ）とすると、該垂直軸（Ｅ）を挟んで線対称の構造とされると好ましい。

このように、検出器（１３〜１６）も垂直軸（Ｅ）に対して線対称となるように配置することにより、これら検出器（１３〜１６）での散乱波の対称性を改善することが可能となり、より散乱波の影響を低減することが可能となる。したがって、コリオリ力の検出をより精度良く行える角速度センサとすることが可能となる。

例えば、請求項９に記載したように、複数の摂動錘（６）を挟んで両側に検出器（１３〜１６）を配置し、駆動軸（Ｄ）を挟んで線対称の構造とすることができる。

この場合、請求項１０に記載したように、複数の摂動錘（６）を挟んで両側に配置されたそれぞれの検出器（１３〜１６）を２組ずつで構成し、１組の検出器（１３〜１６）に対してもう１組の検出器（１３〜１６）が垂直軸（Ｅ）を挟んで線対称の構造にすると好ましい。

このように、検出器（１３〜１６）を垂直軸（Ｅ）に対して対称構造にすることにより、検出器（１３〜１６）の出力での散乱波を互いに打ち消し合わせることが可能となり、コリオリ力の検出をより精度良く行える角速度センサとすることが可能となる。

このような２組の検出器（１３〜１６）は、例えば、請求項１１に記載したように、それぞれ、駆動軸（Ｄ）に対して平行方向に延設された第３櫛歯部（１３ａ、１５ａ）を有する第１検出用櫛歯電極（１３、１５）と、第３櫛歯部（１３ａ、１５ａ）に対して対向配置された第４櫛歯部（１４ａ、１６ａ）を有する第２検出用櫛歯電極（１４、１６）を備えた構成とされる。

さらに、請求項１２に記載したように、２組の検出器（１３〜１６）それぞれの第１検出用櫛歯電極（１３、１５）に、第３櫛歯部（１３ａ、１５ａ）の一端を連結する第３バスバー（１３ｂ、１５ｂ）を備え、また、２組の検出器（１３〜１６）それぞれの第２検出用櫛歯電極（１４、１６）に、第４櫛歯部（１４ａ、１６ａ）のうち第３櫛歯部（１３ａ、１５ａ）が第３バスバー（１３ｂ、１５ｂ）と連結される方と異なる側の端部を連結する第４バスバー（１４ｂ、１６ｂ）を備えた構成とすることができる。

また、請求項１３に記載したように、２組の検出器（１３〜１６）それぞれの第１検出用櫛歯電極（１３、１５）における第３櫛歯部（１３ａ、１５ａ）の一端を共通する一本の第３バスバー（２１、２２）にて連結し、２組の検出器（１３〜１６）それぞれの第２検出用櫛歯電極（１４、１６）は、第４櫛歯部（１４ａ、１６ａ）のうち第３櫛歯部（１３ａ、１５ａ）が第３バスバー（２１、２２）と連結される方と異なる側の端部が第４バスバー（１４ｂ、１６ｂ）にて連結された構成とすることもできる。

このように、第３櫛歯部（１３ａ、１５ａ）の各端部の結合用バスバーを共通化することにより、角速度センサの小型化を図ることが可能となる。

請求項１４に記載の発明では、第３バスバー（１３ｂ、１５ｂ、２１、２２）および第４バスバー（１４ｂ、１６ｂ）の延長線上の領域を避け、該延長線上の内側に摂動錘（６）を配置することを特徴としている。

このような構成にすれば、弾性波の伝搬速度に違いが生じる第３バスバー（１３ｂ、１５ｂ、２１、２２）および第４バスバー（１４ｂ、１６ｂ）上を通過する弾性波の影響を取り除くことになるため、散乱波のズレを防ぐことができ、散乱波の打ち消し精度を向上することが可能となる。これにより、コリオリ力の検出をより精度良く行える角速度センサとすることが可能となる。

さらに、請求項１５に記載したように、第３櫛歯部（１３ａ、１５ａ）と第４櫛歯部（１４ａ、１６ａ）とが対向する交差指幅分の領域内に摂動錘（６）が配置されるようにすると好ましい。

このような構成にすれば、第３、第４櫛歯部（１３ａ〜１６ａ）が対向している部分と対向していない部分との間での音速差（弾性波の伝わる速度）による位相ズレの影響を低減でき、散乱波の打ち消し合いの精度を向上することが可能となる。これにより、コリオリ力の検出をより精度良く行える角速度センサとすることが可能となる。

請求項１６に記載の発明では、駆動電極（７〜１０）は２組備えられ、１組の駆動電極（７、８）に対してもう１組の駆動電極（９、１０）が駆動軸（Ｄ）を挟んで線対称の構造とされており、摂動錘（６）は、２組の駆動電極（７〜１０）のうちの一方にて形成される定在波が形成される領域に配置された第１摂動錘（６ａ）と、２組の駆動電極（７〜１０）のうちの他方にて形成される定在波が形成される領域に配置された第２摂動錘（６ｂ）とを有して構成され、検出器（３０、３１）は、第１、第２摂動錘（６ａ、６ｂ）の間に配置されていることを特徴としている。

このような構造によれば、第１、第２摂動錘（６ａ、６ｂ）での散乱波が検出器（３０、３１）側に向かって伝搬されたときに逆相で伝わることになる。このため、各散乱波が互いに打ち消し合うようにすることが可能となる。さらに、コリオリ力による波は同位相となるため、互いに共振して一層強め合うことになる。このため、コリオリ力の検出をより精度良く行える角速度センサとすることが可能となる。

具体的には、請求項１７に示すように、２組の駆動電極（７〜１０）を逆位相で駆動すれば良い。

この場合にも、請求項１８に示すように、検出器（３０、３１）も、駆動軸（Ｄ）を挟んで線対称の構造とされると好ましい。

このように、検出器（３０、３１）も駆動軸（Ｄ）に対して線対称となるように配置することにより、これら検出器（３０、３１）のペア性を向上することが可能となり、より散乱波の影響を低減することが可能となる。したがって、コリオリ力の検出をより精度良く行える角速度センサとすることが可能となる。

なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。

以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付してある。

（第１実施形態）
本発明の第１実施形態について説明する。図１は、本実施形態の角速度センサ１を示したものであり、図１（ａ）は、角速度センサ１の斜視図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）におけるＡ−Ａ断面図である。

図１（ｂ）に示すように、角速度センサ１は、基板２上にセンサ部を構成する各構成要素が備えられた構造となっている。本実施形態では、基板２として圧電基板３を用いている。圧電基板３は、例えば板厚が４００μｍ以上とされ、この圧電基板３上にセンサ部が形成されることにより角速度センサ１が構成されている。このような圧電基板３を構成する圧電材料としては、例えばニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウムなどを用いることができる。

基板２の表面には、摂動錘６、定在波を発生させるための駆動電極に相当する励振用の櫛歯電極（以下、励振用ＩＤＴという）７〜１０、反射器１１、１２および検出器としての役割を果たす検出用ＩＤＴ１３〜１６が備えられた構成とされている。

摂動錘６は、本実施形態では、絶縁材料にて構成されている。例えば、絶縁体としてシリコン酸化膜（ＳｉＯ₂）、シリコン窒化膜（Ｓｉ₃Ｎ₄）を用いれば、通常の半導体プロセスにて摂動錘６を形成することが可能となる。摂動錘６の膜厚は、例えば１〜数μｍ程度とされている。

一方、励振用ＩＤＴ７〜１０、反射器１１、１２および検出用ＩＤＴ１３〜１６は、不純物がドーピングされたＰｏｌｙ−Ｓｉ、Ａｌ、Ｔｉ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｗ、Ｒｕ等の金属またはそれを含む合金、例えばＡｌ−Ｓｉ−Ｃｕ、ＴｉＷ等の合金によって構成されている。これらを不純物がドーピングされたＰｏｌｙ−Ｓｉ、Ａｌ、Ｔｉ、Ａｌ−Ｓｉ−Ｃｕ等で形成すれば、角速度センサ１の製造を半導体プロセスにて行う場合に、形成時の金属汚染を防止することができる。これら励振用ＩＤＴ７〜１０、反射器１１、１２および検出用ＩＤＴ１３〜１６は、例えば１μｍ以下の膜厚とされている。

摂動錘６は、図１（ａ）に示すように、例えば上面形状が四角形（例えば正方形）で構成され、複数個備えられている。そして、複数個の摂動錘６が千鳥状に配置されることで、複数個の摂動錘６が配置された領域の外縁形状が略正方形とされている。具体的には、複数の摂動錘６は、これら複数の摂動錘６が構成する略正方形の相対する二辺（具体的には図中Ｙ軸方向）と平行な複数列に並べられ、例えば各列が励振用ＩＤＴ７により生成される定在波の腹の位置となるように、各列の間隔が定在波の波長λと同じもしくはその半分となるように設定されている。

励振用ＩＤＴ７〜１０および反射器１１と反射器１２は、複数の摂動錘６が構成する略正方形の相対する二辺（具体的には紙面左右の二辺）と対向するように配置され、複数の摂動錘６の両側にそれぞれ配置されている。

具体的には、励振用ＩＤＴ７〜１０は、励振用ＩＤＴ７と励振用ＩＤＴ８を一組、励振用ＩＤＴ９と励振用ＩＤＴ１０をもう一組として、これらが共に、紙面左側において複数の摂動錘６が構成する略正方形の一辺と対向するように配置されている。励振用ＩＤＴ７、８と励振用ＩＤＴ９、１０は、駆動波（つまり励起された弾性表面波）の伝搬方向に相当する図中Ｘ軸方向において複数の摂動錘６が構成する略正方形の中心を通る線を駆動軸Ｄとすると、この駆動軸Ｄを中心として線対称となるように形成されている。

励振用ＩＤＴ７、８は、駆動軸Ｄよりも紙面上方に配置されており、これらが一対となって一組の駆動電極を構成するものである。これら励振用ＩＤＴ７、８は、共に、摂動錘６のうちｙ軸と平行な一辺と対向する複数の櫛歯部７ａ、８ａと、これら複数の櫛歯部７ａ、８ａを連結するバスバー７ｂ、８ｂを有して構成されている。これら励振用ＩＤＴ７、８は、互いの櫛歯部７ａ、８ａが等間隔に一本ずつ交互に、つまり互いの櫛歯部７ａ、８ａが噛み合うように配置されることで、各櫛歯部７ａ、８ａが１本ずつ対向配置されている。そして、各バスバー７ｂ、８ｂが櫛歯部７ａ、８ａを挟んで反対側に配置され、バスバー７ｂが各櫛歯部７ａの紙面下方側の端部と接続され、バスバー８ｂが各櫛歯部８ａの紙面上方側の端部と接続されている。

一方、励振用ＩＤＴ９、１０は、駆動軸Ｄよりも紙面下方に配置されており、励振用ＩＤＴ７、８と同様に、これらが一対となって一組の駆動電極を構成している。これら励振用ＩＤＴ９、１０も、共に、摂動錘６のうちｙ軸と平行な一辺と対向する複数の櫛歯部９ａ、１０ａと、これら複数の櫛歯部９ａ、１０ａを連結するバスバー９ｂ、１０ｂを有して構成されている。この励振用ＩＤＴ９、１０は、互いの櫛歯部９ａ、１０ａが等間隔に一本ずつ交互に、つまり互いの櫛歯部９ａ、１０ａが噛み合うように配置されることで、各櫛歯部９ａ、１０ａが１本ずつ対向配置されている。そして、各バスバー９ｂ、１０ｂが櫛歯部９ａ、１０ａを挟んで反対側に配置され、バスバー９ｂが各櫛歯部９ａの紙面上方側の端部と接続され、バスバー１０ｂが各櫛歯部１０ａの紙面下方側の端部と接続されている。

これら励振用ＩＤＴ７〜１０には、例えばボンディングワイヤなどにより構成される駆動電圧印加ラインを通じて、駆動電源から駆動電圧が印加されるようになっており、この駆動電圧の印加により励振用ＩＤＴ７〜１０を図１（ａ）、（ｂ）のｚ軸方向（つまり基板垂直方向）に振動させられるようになっている。

また、反射器１１は、櫛歯部７ａ、８ａや櫛歯部９ａ、１０ａを挟んで摂動錘６と反対側に複数本配置され、櫛歯部７ａ、８ａや櫛歯部９ａ、１０ａと対向するようにｙ軸方向に沿って延設されている。各反射器１１は、それぞれバスバー７ｂ、８ｂの間、および、バスバー９ｂ、１０ｂの間に配置され、等間隔に配置されている。

また、反射器１２は、複数の摂動錘６を挟んで励振用ＩＤＴ７〜１０と反対側に複数本配置されている。各反射器１２は、励振用ＩＤＴ７〜１０における櫛歯部７ａ〜１０ａと対向するように図１中のｙ軸方向に沿って延設されており、複数の摂動錘６にて構成される四角形の一辺と同等もしくはそれよりも長くされている。

検出用ＩＤＴ１３、１４は、これらが一対となって一組の検出器を構成するものである。これら検出用ＩＤＴ１３、１４は、共に、摂動錘６のうちｘ軸と平行な一辺と対向する複数の櫛歯部１３ａ、１４ａと、これら複数の櫛歯部１３ａ、１４ａを連結するバスバー１３ｂ、１４ｂを有して構成されている。これら検出用ＩＤＴ１３、１４は、互いの櫛歯部１３ａ、１４ａが等間隔に一本ずつ交互に、つまり互いの櫛歯部１３ａ、１４ａが噛み合うように配置されることで、各櫛歯部１３ａ、１４ａが１本ずつ対向配置されている。そして、各バスバー１３ｂ、１４ｂが櫛歯部１３ａ、１４ａを挟んで反対側に配置され、バスバー１３ｂが各櫛歯部１３ａの紙面左側の端部と接続され、バスバー１４ｂが各櫛歯部１４ａの紙面右側の端部と接続されている。

一方、検出用ＩＤＴ１５、１６も同様であり、これらが一対となって一組の検出器を構成する。これら検出用ＩＤＴ１５、１６は、共に、摂動錘６のうちｘ軸と平行な他の一辺（つまり検出用ＩＤＴ１３、１４が配置される側とは反対側の一辺）と対向する複数の櫛歯部１５ａ、１６と、これら複数の櫛歯部１５ａ、１６ａを連結するバスバー１５ｂ、１６ｂを有して構成されている。この検出用ＩＤＴ１５、１６は、互いの櫛歯部１５ａ、１６ａが等間隔に一本ずつ交互に、つまり互いの櫛歯部１５ａ、１６ａが噛み合うように配置されることで、各櫛歯部１５ａ、１６ａが１本ずつ対向配置されている。そして、各バスバー１５ｂ、１６ｂが櫛歯部１５ａ、１６ａを挟んで反対側に配置され、バスバー１５ｂが各櫛歯部１５ａの紙面左側の端部と接続され、バスバー１６ｂが各櫛歯部１６ａの紙面右側の端部と接続されている。

本実施形態では、これら検出用ＩＤＴ１３、１４と検出用ＩＤＴ１５、１６も駆動軸Ｄに対して線対称となるように配置してある。このため、これら検出用ＩＤＴ１３〜１６のペア性を向上することが可能となっている。

このようなセンサ部を有した構造により、本実施形態の角速度センサ１が構成されている。

続いて、本実施形態の角速度センサ１の作動について説明する。図２は、本実施形態の角速度センサ１に対して角速度が印加された場合の摂動錘６などの様子を示した拡大模式図である。

本実施形態の角速度センサ１におけるセンサ部の駆動は、励振用ＩＤＴ７〜１０に対して駆動電圧を印加することにより行う。例えば、励振用ＩＤＴ７、９に対して＋Ｂ［Ｖ］、励振用ＩＤＴ８、１０に対して−Ｂというように、励振用ＩＤＴ７、９と励振用ＩＤＴ８、１０に対してＢ［Ｖ］の振幅の交流電圧の位相を半周期ずらして印加する。これにより、励振用ＩＤＴ７〜１０がｚ軸方向に振動し、ｘ軸方向に弾性表面波が生成される。

弾性表面波を効率よく生成できる交流電圧の周期（共振周波数）は、主に励振用ＩＤＴ７〜１０の間隔や圧電基板３の物性により決まる。このため、これらに基づいて交流電圧の周期を例えば数ＭＨｚ〜数百ＭＨｚに調整することで、弾性表面波を励起することができる。

このとき、通常、伝搬路には進行波が励起されるが、反射器１１、１２により表面弾性波が伝搬路中に閉じ込められ、伝搬路に定在波が生成される。この定在波の腹の位置に複数の摂動錘６の各列が配置されているため、定在波の振幅を大きくすることができる。

ここで、ｘ軸を回転軸とする角速度Ωが加わった場合、１つの摂動錘６の質量をｍ、摂動錘６の振動速度をｖ、摂動錘６の振幅をｒ、共振周波数をω（＝２πｆ）とすると、摂動錘６に対してｙ軸方向にコリオリ力Ｆ＝２ｍｖΩが働く。なお、ｖ＝ｒω、ω＝２πｆである。

また、定在波の振動は駆動電圧の周波数と同じ周期の振動となる。このため、コリオリ力Ｆは、ｙ軸の＋方向と−方向に周期的に振動する。このコリオリ力Ｆにより、複数の摂動錘６を挟んでｙ軸方向両側に配置された検出用ＩＤＴ１３〜１６の方向に弾性波が励起される。その弾性波の振動振幅を検出用ＩＤＴ１３〜１６の電気信号（電圧または電荷）に変換することで角速度を測定することが可能となる。

このようにして角速度の測定を行うに際し、本実施形態では、励振用ＩＤＴ７〜１０が駆動軸Ｄに対して線対称となるように配置している。このため、励振用ＩＤＴ７、８の組と励振用ＩＤＴ９、１０の組でそれぞれ発生された駆動波の摂動錘６での散乱波の対称性が改善される。これにより、散乱波を低減することが可能となり、コリオリ力の検出をより精度良く行える角速度センサとすることが可能となる。

さらに、本実施形態では、検出用ＩＤＴ１３、１４と検出用ＩＤＴ１５、１６も駆動軸Ｄに対して線対称となるように配置してある。このため、これら検出用ＩＤＴ１３〜１６のペア性を向上することが可能となり、より散乱波の影響を低減することが可能となる。したがって、コリオリ力の検出をより精度良く行える角速度センサとすることが可能となる。

なお、一般には、摂動錘は金属材料で構成されるが、これは製造工程を簡素化するためであり、錘としての機能を果たせれば必ずしも金属である必要は無い。摂動錘６を例えばシリコン酸化膜やシリコン窒化膜によって構成する場合、シリコン酸化膜の密度が２２００ｋｇ／ｍ³、シリコン窒化膜の密度が３１００ｋｇ／ｍ³であり、金属材料として一般的に用いられているアルミニウム（Ａｌ）の密度２７００ｋｇ／ｍ³と同等である。つまり、従来と同じ膜厚で摂動錘６を形成すれば、錘としての機能を果たし、同等の感度とすることが可能となる。

次に、本実施形態の角速度センサ１の製造方法について説明する。図３に、本実施形態の角速度センサ１の製造工程の断面図を示し、この図を参照して説明する。

まず、図３（ａ）に示す工程では、基板２として、例えば４００μｍ以上の膜厚の圧電基板３を用意する。そして、この基板２の表面に、例えば１〜数μｍの膜厚のシリコン酸化膜もしくはシリコン窒化膜などで構成された絶縁膜２０を形成する。次に、図３（ｂ）に示す工程では、絶縁膜２０の上に摂動錘６の形成予定領域のみを覆うマスク（図示せず）を用いて絶縁膜２０をウェットエッチングもしくはドライエッチングによりパターニングし、摂動錘６を形成する。例えば、絶縁膜２０をシリコン酸化膜で構成する場合にはフッ酸、シリコン窒化膜で構成する場合にはリン酸が有効である。

続く、図３（ｃ）に示す工程では、摂動錘６および基板２の表面を覆うように、不純物がドーピングされたＰｏｌｙ−Ｓｉ、Ａｌ、Ｔｉ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｗ、Ｒｕ等の金属、またはそれを含む合金、たとえば、Ａｌ−Ｓｉ−Ｃｕ、Ａｌ−Ｃｕ、ＴｉＷ等で構成された導体膜２１を例えば１μｍ以下の膜厚で成膜する。一般的に、励振用ＩＤＴ７〜１０や検出用ＩＤＴ１３〜１６のための材料には軽い方が有効であるため、ＡｌやＴｉ等を用いるのが好ましく、特にＡｌを用いた場合、通常の半導体プロセスと共用することも可能となる。

そして、図３（ｄ）に示す工程では、導体膜２１の表面に励振用ＩＤＴ７〜１０、反射器１１、１２および検出用ＩＤＴ１３〜１６の形成予定領域を覆うマスク（図示せず）を配置した後、導体膜２１をウェットエッチングもしくはドライエッチングによりパターニングすることで、励振用ＩＤＴ７〜１０、反射器１１、１２および検出用ＩＤＴ１３〜１６を形成する。例えば導体膜２１をＡｌで構成する場合には、リン酸を用いることができる。

この後の工程に関しては図示しないが、ワイヤボンディングなどを行うことで、駆動電圧印加ラインやＧＮＤラインを形成したり、励振用ＩＤＴ７〜１０や検出用ＩＤＴ１３〜１６と接続される配線等を形成することで、本実施形態の角速度センサ１が完成する。

（第２実施形態）
本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態の角速度センサは、第１実施形態に対して検出用ＩＤＴ１３〜１６の構成を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、
図４は、本実施形態の角速度センサ１の斜視図である。この図に示したように、駆動軸Ｄに対して垂直方向、かつ、複数の摂動錘６が構成する四角形の中心を通過する直線を垂直軸Ｅとすると、検出用ＩＤＴ１３、１４が２つ設けられ、かつ、それぞれが垂直軸Ｅを中心として線対称となる配置とされていると共に、検出用ＩＤＴ１５、１６が２つ設けられ、かつ、それぞれが垂直軸Ｅを中心として線対称となる配置とされている。

このように、検出用ＩＤＴ１３、１４を垂直軸Ｅに対して対称構造にすると共に、検出用ＩＤＴ１５、１６を垂直軸Ｅに対して対称構造にすることにより、検出用ＩＤＴ１３〜１６での散乱波の対称性が改善され、より散乱波の影響を低減することが可能となる。したがって、さらにコリオリ力の検出を精度良く行える角速度センサとすることが可能となる。

（第３実施形態）
本発明の第３実施形態について説明する。本実施形態の角速度センサは、第２実施形態に対して励振用ＩＤＴ７〜１０および検出用ＩＤＴ１３〜１６の構成を変更したものであり、その他に関しては第２実施形態と同様であるため、
図５は、本実施形態の角速度センサ１の斜視図である。この図に示したように、励振用ＩＤＴ７〜１０に関しては、櫛歯部７ａおよび櫛歯部９ａの各端部を共通する１本のバスバー２０にて結合している。また、検出用ＩＤＴ１３〜１６に関しても同様に、櫛歯部１３ａおよび櫛歯部１５ａの各端部を共通する１本のバスバー２１、２２にて結合している。

このように、櫛歯部７ａおよび櫛歯部９ａの各端部の結合用バスバーを共通化したり、櫛歯部１３ａおよび櫛歯部１５ａの各端部の結合用バスバーを共通化することにより、角速度センサの小型化を図ることが可能となる。

（第４実施形態）
本発明の第４実施形態について説明する。本実施形態の角速度センサは、第３実施形態に対して摂動錘６の配置場所を変更したものであり、その他に関しては第２実施形態と同様であるため、
図６は、本実施形態の角速度センサ１の斜視図である。この図に示したように、本実施形態では、励振用ＩＤＴ７〜１０におけるバスバー２０、８ａ、１０ａおよび検出用ＩＤＴ１３〜１６におけるバスバー２１、１４ａ、１６ａからの各延長線を避けるように、つまり各延長線によって囲まれる領域に摂動錘６が配置されるようにしている。

このような構成にすれば、弾性波の速度に違いが生じるバスバー２０、８ａ、１０ａおよびバスバー２１、１４ａ、１６ａの延長線上において摂動錘６を取り除くことになるため、散乱波のズレを防ぐことができ、散乱波の打ち消し精度を向上することが可能となる。これにより、さらにコリオリ力の検出を精度良く行える角速度センサとすることが可能となる。

（第５実施形態）
本発明の第５実施形態について説明する。本実施形態の角速度センサも、第３実施形態に対して摂動錘６の構成を変更したものであり、その他に関しては第２実施形態と同様であるため、
図７は、本実施形態の角速度センサ１の斜視図である。この図に示したように、本実施形態では、励振用ＩＤＴ７〜１０における櫛歯部７ａと櫛歯部８ａが対向する交差指幅分の領域や櫛歯部９ａと櫛歯部１０ａが対向する交差指幅分の領域の延長線、および、検出用ＩＤＴ１３〜１６における櫛歯部１３ａと櫛歯部１４ａが対向する交差指幅分の領域や櫛歯部１５ａと櫛歯部１６ａが対向する交差指幅分の領域の延長線の交差する領域内に摂動錘６が配置されるようにしている。

励振用ＩＤＴ７〜１０において各櫛歯部７ａ〜１０ａが対向している部分と対向していない部分との間、もしくは、検出用ＩＤＴ１３〜１６において各櫛歯部１３ａ〜１６ａが対向している部分と対向していない部分との間で音速差（弾性波の伝わる速度）による位相ズレが生じる可能性がある。しかしながら、本実施形態のような構成にすれば、各摂動錘６が各櫛歯部７ａ〜１０ａの交差指幅分の領域および各櫛歯部１３ａ〜１６ａの交差指幅分の領域内に入るようにしているため、上記位相ズレの影響を低減でき、散乱波の打ち消し合いの精度を向上することが可能となる。これにより、コリオリ力の検出をより精度良く行える角速度センサとすることが可能となる。

（第６実施形態）
本発明の第６実施形態について説明する。本実施形態の角速度センサは、角速度センサを構成する各構成要素を上記各実施形態と異なるレイアウトにしたものである。各構成要素の基本的な機能に関しては、上記各実施形態と同様であるため、異なる部分についてのみ説明する。

図８は、本実施形態の角速度センサ１の斜視図である。この図に示したように、本実施形態では、励振用ＩＤＴ７〜１０を駆動軸Ｄに対して線対称にしているという点では第１実施形態などと同様であるが、これらの間を開け、励振用ＩＤＴ７、８の櫛歯部７ａ、８ａの配列方向の延長線上に第１摂動錘６ａおよび反射器１２ａを配置し、励振用ＩＤＴ９、１０の櫛歯部９ａ、１０ａの配列方向の延長線上に第２摂動錘６ｂおよび反射器１２ｂを配置することにより、励振用ＩＤＴと摂動錘および反射器を２組設けた構造としている。そして、第１摂動錘６ａと第２摂動錘６ｂの間に検出用ＩＤＴ３０、３１を配置している。この検出用ＩＤＴ３０、３１は、駆動軸Ｄおよび垂直軸Ｅに対して線対称とされている。

具体的には、検出用ＩＤＴ３０は、駆動軸Ｄに沿って形成された櫛歯部３０ａの中央部が垂直軸Ｅに沿って形成されたバスバー３０ｂにて連結した構成とされている。また、検出用ＩＤＴ３１は、検出用ＩＤＴ３０におけるバスバー３０ｂの両側に延びた櫛歯部３０ａと対向するように形成された櫛歯部３１ａの両端部のうちバスバー３０ｂとは反対側の端部を駆動軸Ｄと平行に形成されたバスバー３１ｂにて連結した構成とされている。

このような構成の角速度センサ１では、励振用ＩＤＴ７、８と励振用ＩＤＴ９、１０を逆相で駆動することにより、第１、第２摂動錘６ａ、６ｂでの散乱波が検出用ＩＤＴ３０、３１側に向かって伝搬されたときに逆相で伝わることになる。このため、各散乱波が互いに打ち消し合うようにすることが可能となる。さらに、コリオリ力による波は同位相となるため、互いに共振して一層強め合うことになる。このため、コリオリ力の検出をより精度良く行える角速度センサとすることが可能となる。

なお、第１、第２摂動錘６ａ、６ｂでの散乱波は検出用ＩＤＴ３０、３１と逆方向へも伝搬されることになるが、第１、第２摂動錘６ａ、６ｂを挟んで検出用ＩＤＴ３０、３１と逆方向において基板２の表面等に吸音材４０、４１を塗布しておけば、それを吸音することができるため、よりその散乱波による影響を無くすことが可能となる。

（他の実施形態）
上記各実施形態では、基板２として圧電基板３を用いる例を挙げて説明しているが、圧電基板３に限るものではない。例えば、半導体基板上に圧電膜を形成したものを基板２として用いても良く、弾性表面波を伝搬させられるものであればどのようなものであっても構わない。

また、上記第１〜第５実施形態では、反射器１１、１２を備えたり、検出用ＩＤＴ１３〜１６が摂動錘６を挟んで両側に配置されるような構造としているが、これらも単なる一例を示したに過ぎず、反射器１１、１２を無くしたり、検出用ＩＤＴ１３〜１６を摂動錘６に対して両側ではなく一方のみに配置する構造としても良い。ただし、反射器１１、１２に関しては、安定した定在波を発生させる上で有効であり、検出用ＩＤＴ１３〜１６を摂動錘６の両側に配置することは、ペア性を向上させるという点で有効である。

同様に、励振用ＩＤＴ７〜１０に関しても、摂動錘６に対して両側に配置されるようにしても構わない。さらに、励振用ＩＤＴ７〜１０を櫛歯形状にしているが、櫛歯形状としなくても良い。

（ａ）は、本発明の第１実施形態にかかる角速度センサの斜視図であり、（ｂ）は、（ａ）におけるＡ−Ａ断面図である。 図１に示す角速度センサに対して角速度が印加された場合の摂動錘などの様子を示した拡大模式図である。 図１に示す角速度センサの製造工程の断面図である。 本発明の第２実施形態にかかる角速度センサの斜視図である。 本発明の第３実施形態にかかる角速度センサの斜視図である。 本発明の第４実施形態にかかる角速度センサの斜視図である。 本発明の第５実施形態にかかる角速度センサの斜視図である。 本発明の第６実施形態にかかる角速度センサの斜視図である。 従来の角速度センサのレイアウト図である。 角速度センサの駆動用の櫛歯電極による定在波の振動分布と摂動マスとの関係とその角速度センサに発生するコリオリ力の説明図である。

符号の説明

１…角速度センサ、２…基板、３…圧電基板、６…摂動錘、６ａ…第１摂動錘、６ｂ…第２摂動錘、７〜１０…励振用ＩＤＴ、７ａ〜１０ａ…櫛歯部、７ｂ〜１０ｂ…バスバー、１１、１２…反射器、１３〜１６…検出用ＩＤＴ、１３ａ〜１６ａ…櫛歯部、１３ｂ〜１６ｂ…バスバー、２０、２１…バスバー、３０、３１…検出用ＩＤＴ、３０ａ、３１ａ…櫛歯部、３０ｂ、３１ｂ…バスバー、４０、４１…吸音材

Claims (18)

1. 基板（２）と、
   前記基板（２）に対して弾性表面波を伝搬させることにより、該基板（２）の所定領域に定在波を形成する駆動電極（７〜１０）と、
   前記基板（２）の表面における前記定在波が形成される領域に配置され、該定在波により前記基板（２）に対して振動させられる複数の摂動錘（６）と、
   前記基板（２）のうち前記複数の摂動錘（６）に対して前記弾性表面波の伝搬方向と垂直方向に形成され、前記摂動錘（６）に対して角速度が印加されたときに発生するコリオリ力に基づく弾性波を検出する検出器（１３〜１６、３０、３１）とを備え、
   前記駆動電極（７〜１０）と前記複数の摂動錘（６）および前記検出器（１３〜１６、３０、３１）は、前記弾性表面波の伝搬方向に沿った直線であって前記複数の摂動錘（６）の中央位置を通る直線を駆動軸（Ｄ）として、該駆動軸（Ｄ）に対して線対称の構造とされていることを特徴とする弾性表面波角速度センサ。
2. 前記駆動電極（７〜１０）は２組備えられ、１組の前記駆動電極（７、８）に対してもう１組の前記駆動電極（９、１０）が前記駆動軸（Ｄ）を挟んで線対称の構造とされていることを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波角速度センサ。
3. 前記２組の駆動電極（７〜１０）は、それぞれ、前記駆動軸（Ｄ）に対して垂直方向に延設された第１櫛歯部（７ａ、９ａ）を有する第１駆動用櫛歯電極（７、９）と、前記第１櫛歯部（７ａ、９ａ）に対して対向配置された第２櫛歯部（８ａ、１０ａ）を有する第２駆動用櫛歯電極（８、１０）を備えていることを特徴とする請求項２に記載の弾性表面波角速度センサ。
4. 前記２組の駆動電極（７〜１０）それぞれの前記第１駆動用櫛歯電極（７、９）は、前記第１櫛歯部（７ａ、９ａ）の一端を連結する第１バスバー（７ｂ、９ｂ）を有し、
   前記２組の駆動電極（７〜１０）それぞれの前記第２駆動用櫛歯電極（８、１０）は、前記第２櫛歯部（８ａ、１０ａ）のうち前記第１櫛歯部（７ａ、９ａ）が前記第１バスバー（７ｂ、９ｂ）と連結される方と異なる側の端部を連結する第２バスバー（８ｂ、１０ｂ）を有した構成とされていることを特徴とする請求項３に記載の弾性表面波角速度センサ。
5. 前記２組の駆動電極（７〜１０）それぞれの前記第１駆動用櫛歯電極（７、９）における前記第１櫛歯部（７ａ、９ａ）の一端は共通する一本の第１バスバー（２０）にて連結されており、
   前記２組の駆動電極（７〜１０）それぞれの前記第２駆動用櫛歯電極（８、１０）は、前記第２櫛歯部（８ａ、１０ａ）のうち前記第１櫛歯部（７ａ、９ａ）が前記第１バスバー（７ｂ、９ｂ）と連結される方と異なる側の端部が第２バスバー（８ｂ、１０ｂ）にて連結された構成とされていることを特徴とする請求項３に記載の弾性表面波角速度センサ。
6. 前記第１バスバー（７ｂ、９ｂ、２０）および前記第２バスバー（８ｂ、１０ｂ）の延長線上の領域を避け、該延長線上の内側に前記摂動錘（６）が配置されていることを特徴とする請求項４または５に記載の弾性表面波角速度センサ。
7. 前記第１櫛歯部（７ａ、９ａ）と前記第２櫛歯部（８ａ、１０ａ）とが対向する交差指幅分の領域内において前記摂動錘（６）が配置されていることを特徴とする請求項６に記載の弾性表面波角速度センサ。
8. 前記検出器（１３〜１６）は、前記複数の摂動錘（６）の中央位置を通り前記駆動軸（Ｄ）に対して垂直方向の直線を垂直軸（Ｅ）とすると、該垂直軸（Ｅ）を挟んで線対称の構造とされていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１つに記載の弾性表面波角速度センサ。
9. 前記検出器（１３〜１６）は、前記複数の摂動錘（６）を挟んで両側に配置されていることを特徴とする請求項８に記載の弾性表面波角速度センサ。
10. 前記複数の摂動錘（６）を挟んで両側に配置された前記検出器（１３〜１６）は、それぞれ２組ずつ備えられ、１組の前記検出器（１３〜１６）に対してもう１組の前記検出器（１３〜１６）が前記垂直軸（Ｅ）を挟んで線対称の構造とされていることを特徴とする請求項９に記載の弾性表面波角速度センサ。
11. 前記２組の検出器（１３〜１６）は、それぞれ、前記駆動軸（Ｄ）に対して平行方向に延設された第３櫛歯部（１３ａ、１５ａ）を有する第１検出用櫛歯電極（１３、１５）と、前記第３櫛歯部（１３ａ、１５ａ）に対して対向配置された第４櫛歯部（１４ａ、１６ａ）を有する第２検出用櫛歯電極（１４、１６）を備えていることを特徴とする請求項１０に記載の弾性表面波角速度センサ。
12. 前記２組の検出器（１３〜１６）それぞれの前記第１検出用櫛歯電極（１３、１５）は、前記第３櫛歯部（１３ａ、１５ａ）の一端を連結する第３バスバー（１３ｂ、１５ｂ）を有し、
    前記２組の検出器（１３〜１６）それぞれの前記第２検出用櫛歯電極（１４、１６）は、前記第４櫛歯部（１４ａ、１６ａ）のうち前記第３櫛歯部（１３ａ、１５ａ）が前記第３バスバー（１３ｂ、１５ｂ）と連結される方と異なる側の端部を連結する第４バスバー（１４ｂ、１６ｂ）を有した構成とされていることを特徴とする請求項１１に記載の弾性表面波角速度センサ。
13. 前記２組の検出器（１３〜１６）それぞれの前記第１検出用櫛歯電極（１３、１５）における前記第３櫛歯部（１３ａ、１５ａ）の一端は共通する一本の第３バスバー（２１、２２）にて連結されており、
    前記２組の検出器（１３〜１６）それぞれの前記第２検出用櫛歯電極（１４、１６）は、前記第４櫛歯部（１４ａ、１６ａ）のうち前記第３櫛歯部（１３ａ、１５ａ）が前記第３バスバー（２１、２２）と連結される方と異なる側の端部が第４バスバー（１４ｂ、１６ｂ）にて連結された構成とされていることを特徴とする請求項１２に記載の弾性表面波角速度センサ。
14. 前記第３バスバー（１３ｂ、１５ｂ、２１、２２）および前記第４バスバー（１４ｂ、１６ｂ）の延長線上の領域を避け、該延長線上の内側に前記摂動錘（６）が配置されていることを特徴とする請求項１２または１３に記載の弾性表面波角速度センサ。
15. 前記第３櫛歯部（１３ａ、１５ａ）と前記第４櫛歯部（１４ａ、１６ａ）とが対向する交差指幅分の領域内において前記摂動錘（６）が配置されていることを特徴とする請求項１４に記載の弾性表面波角速度センサ。
16. 前記駆動電極（７〜１０）は２組備えられ、１組の前記駆動電極（７、８）に対してもう１組の前記駆動電極（９、１０）が前記駆動軸（Ｄ）を挟んで線対称の構造とされており、
    前記摂動錘（６）は、前記２組の駆動電極（７〜１０）のうちの一方にて形成される前記定在波が形成される領域に配置された第１摂動錘（６ａ）と、前記２組の駆動電極（７〜１０）のうちの他方にて形成される前記定在波が形成される領域に配置された第２摂動錘（６ｂ）とを有して構成され、
    前記検出器（３０、３１）は、前記第１、第２摂動錘（６ａ、６ｂ）の間に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波角速度センサ。
17. 前記２組の駆動電極（７〜１０）は逆位相で駆動されるものであることを特徴とする請求項１６に記載の弾性表面波角速度センサ。
18. 前記検出器（３０、３１）は、前記駆動軸（Ｄ）を挟んで線対称の構造とされていることを特徴とする請求項１６または１７に記載の弾性表面波角速度センサ。

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