JP2008524504A - ピストンシリンダユニット - Google Patents

Abstract

ピストンシリンダユニット（１）であって、シリンダ（２）が設けられており、ピストン（３）が設けられており、該ピストンは、ピストン（３）とシリンダ（２）とによって取り囲まれるシリンダ容積（１８）が最大となる第１のピストン位置と、シリンダ容積が最小となる第２のピストン位置との間で、シリンダ（２）の軸方向で往復運動可能であって、前記ピストン（３）とシリンダ（２）との間に設けられた流体軸受が設けられており、該流体軸受はピストン（３）をシリンダ（２）内に軸方向可動に支承しており、ピストン（３）の周面をピストン（３）の軸方向の延在の少なくとも一部にわたって取り囲むピストン側支承面（３８）を規定しており、流体軸受は、シリンダ（２）の内周壁（１４）に設けられた、流体のための複数の流出ノズルを有している形式のものにおいて、
流出ノズル（３０´，３２´）が、ピストン（３）が第２のピストン位置に位置している場合に第１の流出ノズル（３０´）が、ピストン側支承面（３８）の、ピストン長手方向延在に関して前方または中央の領域に圧力流体を供給し、第２の流出ノズル（３２´）が、ピストン側支承面（３８）の、ピストン長手方向延在に関して中央の領域に圧力流体を供給するように配置されている。

Description

本発明は、特に、圧力流体を形成するためのコンプレッサのためのピストンシリンダユニットであって、シリンダが設けられており、ピストンが設けられており、該ピストンは、ピストンとシリンダとによって取り囲まれるシリンダ容積が最大となる第１のピストン位置と、シリンダ容積が最小となる第２のピストン位置との間で、シリンダの軸方向で往復運動可能であって、前記ピストンとシリンダとの間に設けられた流体軸受が設けられており、該流体軸受はピストンをシリンダ内に軸方向可動に支承しており、ピストンの周面をピストンの軸方向の延在の少なくとも一部にわたって取り囲むピストン側支承面を規定しており、流体軸受は、シリンダの内周壁に設けられた、流体のための複数の流出ノズルを有している形式のものに関する。

このような形式のピストンシリンダユニットはＵＳ５５２５８４５Ａ特許明細書により公知である。この公知のピストンシリンダユニットでは、流出ノズルは、ピストンを第１のピストン位置でも第２のピストン位置でも支持しているシリンダ壁に設けられている。これを可能とするために、流出ノズルは、シリンダ底面から、即ちシリンダ孔の端面側の内壁から比較的遠く離されている。その結果、ピストン周面と、シリンダ内周面との間に形成される、ピストン底面に隣接する前方の周面領域におけるシリンダにピストンを支承するための流体クッションは、ピストンが第２のピストン位置、即ち圧縮位置に近づくほど弱くなってしまう。シリンダ容積における圧縮中に同時に生じる高い圧力により、圧縮された流体が、シリンダ容積から、ピストン外周面とシリンダ内周面との間の支承部ギャップに侵入し、このことは、周面に沿った非対称的な侵入のもとで、ピストンの側方の変位を生ぜしめ、ひいてはピストンを不都合に傾動させることになる。

ＪＰ２００２３４９４３５号特許明細書により、リニアモータによって駆動されていて、ピストンリングのないピストンのもとでガスクッションに沿って自由にガイドされているピストンシリンダユニットが公知である。このようなガスクッションを安定化させるためにピストンの周面に周方向溝が設けられている。この周方向溝は、シリンダにおけるピストンの傾動の危険を減じる。環状の溝は、ピストンの支承のために不都合な横方向力だけではなく、エアベアリング全体も弱めるので、エアベアリングに関する環状溝の作用は極めて不都合なものである。

そこで本発明の課題は、冒頭で述べた形式のピストンシリンダユニットを改善して、ピストンが圧縮位置へと動く際、または圧縮位置にある場合に、シリンダにおけるピストンの十分で確実な支承が、ひいてはピストンの側方の変位に関する安全性が保証されるようにすることである。

この課題は、請求項１記載の特徴を備えたピストンシリンダユニットにより解決される。

流出ノズルが、ピストンが第２のピストン位置に位置している場合に第１の流出ノズルが、ピストン側支承面の、ピストン長手方向延在に関して前方または中央の領域に圧力流体を供給し、第２の流出ノズルが、ピストン側支承面の、ピストン長手方向延在に関して中央の領域に圧力流体を供給するように配置されていることにより、ピストンがシリンダに接触することなしに、シリンダにおけるピストンの確実な支承および半径方向の位置決めが得られる。中央の領域または前方及び中央の領域に流出ノズルが配置されていることにより、圧縮室から、ピストンを取り囲む支承ギャップへの圧力の侵入の際に、支承重心がピストンの中央もしくは前方の領域に残り、いずれにせよ僅かにしか後方に移動しない。これにより軸受流体によるピストンの確実な半径方向の支承が、ピストンの中央の領域でも前方の領域でも保証され、これにより支承ギャップにおける圧力に対する圧縮室における圧力の影響は、従来のものに比べて著しく減じられる。

この場合、ピストンが第２のピストン位置では向かい合っていて位置するが第１のピストン位置では向かい合って位置しない、シリンダの内周壁の領域にも流出ノズルが設けられているようにノズル装置が配置されていると有利である。これにより、圧縮状態でも確実に流体クッションが、シリンダの内周壁とピストンの外周壁との間に形成され、この場合、この流体クッションが、シリンダ容積からの圧縮された流体の侵入により押しのけられることはない。このような構成では、ピストンは第２のピストン位置で、即ちピストンの圧縮位置で、シリンダの内周壁よりもさらに確実に流体クッション上に支持されている。

有利な構成では、流出ノズルは、ピストンが第２のピストン位置にある場合に、第１の流出ノズルが、ピストン側支承面の、ピストン長手方向延在に関して前方の領域に圧力流体を供給し、第２の流出ノズルが、ピストン側支承面の、ピストン長手方向延在に関して中央または後方の領域に圧力流体を供給するように配置されている。この場合、ピストン側支承面の前方および後方の領域に流出ノズルが設けられていると、ピストンの圧縮位置で、ピストン長手方向延在にわたって特に均一なピストンの支持が得られる。ピストン側支承面の前方の領域に第１の流出ノズルが設けられており、ピストン側支承面の中央の領域に第２の流出ノズルが設けられていても有利であり、これにより軸受重心が前方に向かって、即ちピストン底面に向かって延びる。これにより、ピストンとシリンダとの間のリングギャップの前方端部の領域で、即ちシリンダ容積に面して、ピストンとシリンダとの間の流体軸受において比較的高い圧力が形成され、この圧力は、シリンダ容積における圧縮圧に比較的高い抵抗を与え、従って、圧縮された圧力流体がシリンダ容積から軸受ギャップへと侵入するのをさらに良好に防止することができる。

さらに付加的な構成では、流出ノズルは、ピストンが第１のピストン位置にある場合に、第２の流出ノズルが、ピストン側支承面の、ピストン長手方向延在に関して前方の領域に圧力流体を供給し、第３の流出ノズルが、ピストン側支承面の、ピストン長手方向延在に関して後方の領域に圧力流体を供給するように配置されている。このように付加的に設けられた後方の領域における第３の流出ノズルは、引き戻された位置においてピストンの改善された支持を生ぜしめる。

流体軸受がガス圧軸受から形成されていて、流出ノズルがガス流出ノズルから形成されていると特に有利であり、さらに特に有利な構成では、これはエアベアリングである。

有利には、それぞれ複数の流出ノズルがノズル装置を形成している。

ノズル装置が、有利にはピストンシリンダユニットの軸方向で互いに間隔をおいて配置されていて、有利にはシリンダ軸線の周りにリング状に形成されている。これにより特に均一な流体クッションまたはガスクッションがピストンとシリンダとの間に形成されている。

ピストンとシリンダとの間の特に均一な流体クッションまたはガスクッションを形成するために有利には、各ノズルリングが、周方向で均一に互いに間隔をおいて配置された複数の流出ノズルを有している。

有利には流出ノズルが、高エネルギービームによって穿孔されたマイクロ孔によって形成されていて、これらのマイクロ孔はさらに有利には円錐状に形成されており、その最も狭い横断面は、シリンダ側支承面への開口部に位置している。このようにして形成されたマイクロ孔は、高い均一性と高い支持性の流体クッションまたはガスクッションを提供する。

有利にはこれらのマイクロ孔はレーザービームによって穿孔される。

流出ノズルに供給するための圧力流体が、シリンダ容積の圧縮によって生ぜしめられる流体流から、例えば流出通路から導出され、これによりピストンシリンダユニットの簡単な構成が得られ、この場合、同時に、流出ノズルに供給するための圧力流体のための付加的な圧力形成を省くことができ、このことはこのような形式のピストンシリンダユニットの安価な製造のために寄与する。

ピストンが往復運動する駆動のために、直線駆動装置の可動の部分によって負荷されていると、このピストンシリンダユニットは特に有利である。

本発明によるピストンシリンダユニットは特に有利には、圧力流体を生ぜしめるためのコンプレッサにおいて、有利には、リニアモータによって駆動される直線コンプレッサにおいて使用される。

さらに有利な本発明の構成は、その他の従属請求項に記載されている。

以下に図面につき本発明の実施例を詳しく説明する。

図１は、第1のピストン位置にあるピストンを有した本発明によるピストンシリンダユニット１を概略的に示した縦断面図であって、
図２は、圧縮位置にあるピストンを有した同じピストンシリンダユニットを示した図である。

図１には、シリンダ２とピストン３とを備えたピストンシリンダユニットを示す縦断面図が示されている。シリンダ２にはシリンダ孔１０が設けられており、該シリンダ孔１０にはピストン３が、シリンダ孔１０の長手方向軸線Ｘの方向で往復運動可能かつ自由に案内されて収容されている。シリンダ孔１０の、シリンダヘッド２３に形成されたヘッド側の端壁１２と、シリンダ孔１０の内周壁１４と、ピストン底面１６とはシリンダ容積１８を制限している。

シリンダ孔１０のヘッド側の端壁１２には、概略的に示された弁２０が設けられた流入通路２２が開口している。同様にヘッド側の端壁１２には流出通路２４も設けられており、該流出通路２４は相応の弁２６を有しており、この流出通路２４はシリンダ孔１０に開口している。

さらに図１に示されているようにシリンダ側支承面１５は、ピストン３が図２に示した第２のピストン位置にある場合にピストン側支承面３８のピストン側の前方の制限平面Ｋ１と一致する前方の制限平面Ｚ１と、ピストン３が図１に示した第１のピストン位置にある場合にピストン側支承面３８の、ピストン底面１６とは反対側の後方の制限線Ｋ２と一致する後方の制限平面Ｚ２とから延びている。シリンダ側支承面１５の長さＬは、シリンダ側支承面１５上に垂直に延びる支承面中央平面Ｅによって、それぞれ長さＬ／２の２つの半部に分割される。

図１には、単に付加的に設けられた流出ノズル３４´が示されている、シリンダ側支承面１５の後方領域におけるよりも多くの流出ノズル３０´，３２´が前方領域に設けられていることも示されている。支承面中央平面Ｅに関して非対称的なこのような流出ノズルの配置により、シリンダ側支承面１５の長さＬにわたる流出ノズルのノズル横断面の分布も同様に、支承面中央平面Ｅに関して非対称となる。このような形式の非対称性は、シリンダ側支承面１５の前方若しくは後方の領域に設けられた流出ノズルの数が異なることによってだけでなく、例えば、シリンダ側支承面１５の前方領域における流出ノズルが、シリンダ側支承面１５の後方領域における流出ノズルよりも大きなノズル直径、ひいてはノズル横断面積を有していることによっても得られる。

図２の左側へピストン３が運動する際には、流入通路２２と流入弁２０とを通って流体がシリンダ室１８へと吸入され、ピストン３が右側に運動する際には、この流体が圧縮状態で流出弁２６と流出通路２４とを通って吐出される。図示したピストンシリンダユニット１は、例えばコンプレッサのように、吐出される流体がガス状であるような、ピストン作業機械の部分である。しかしながら本発明は基本的に、例えば内燃機関またはポンプのような別のピストン作業機械においても使用することができる。

吐出されるガス状の流体の一部は、流出通路２４から、シリンダヘッド２３とシリンダ２のケーシング２１に設けられた接続通路２８を通って、同様にシリンダ２のケーシング２１に設けられたシリンダ孔１０を環状に取り囲むリング通路３０，３２，３４内に案内される。リング通路３０，３２，３４は、シリンダ孔１０の長手方向軸線Xの方向で互いに間隔をおいて位置している。各リング通路３０，３２，３４には多数のマイクロ孔３０´，３２´，３４´が設けられており、これらのマイクロ孔３０´，３２´，３４´は、シリンダ孔１０の周面にわたって均一に分配されていて、各リング通路３０，３２，３４をシリンダ孔１０の内部に接続しており、この場合、シリンダの内壁１４を貫通している。各リング通路３０，３２，３４のマイクロ孔３０´，３２´，３４´は従って、それぞれ１つのリング状のノズル装置３０´´，３２´´，３４´´を形成している。従って、接続通路２８を通ってリング通路３０，３２，３４に案内される圧力ガスは、マイクロ孔３０´，３２´，３４´を通って流出し、シリンダ２の内周壁１４に沿ったシリンダ側支承面１５と、ピストン３の外周壁３６に沿ったピストン側支承面３８との間に、ピストンを側方から支持するエアクッションを形成する。

配属されたマイクロ孔３０´を備えた第１のリング通路３０は、圧縮位置の近くにピストンが存在している場合にだけ、即ち図２に示したように、シリンダ容積１８が最小である場合にだけマイクロ孔３０´をピストンがカバーする領域に位置している。このような場合、ピストン３は、前方の第１のマイクロ孔を、前方の領域３´´における支承面３８でカバーする。

シリンダ容積１８が最大である図１に示した位置では、最前方のマイクロ孔３０´は、シリンダ２の内周壁１４とピストンの外周壁３６との間にエアクッションを形成するためには寄与しない。しかしながらマイクロ孔３０´の最も外側の横断面は僅かであるので、これにより生じる圧力損失は深刻なものではない。しかしながら、ピストン３がマイクロ孔３０´をカバーしている場合にだけ第１のリング通路３０に圧力ガスを供給する弁装置（図示せず）を設けることもできる。

第２のリング通路３２は、この第２のリング通路３２に配属されたマイクロ孔３２´が常にピストン３によってカバーされるように配置されているので、このマイクロ孔３２´はピストン３の軸方向運動距離全体にわたって、シリンダ２の内周壁１４とピストン３の外周壁３６との間にエアクッションを形成するために寄与する。

第３のリング通路３４は、シリンダ孔１０のヘッド側の端壁１２から最も遠く離れて位置している。従って、第３のリング通路３４に設けられたマイクロ孔３４´は、ピストン３が、シリンダ容積１８が最大となる引き戻された位置の領域に位置している場合にだけピストン３によって、即ち、ピストンの後方領域３´における支承面３８によってカバーされる。配属されたマイクロ孔３４´を備えた第３のリング通路３４を設けることは付加的なものであって、シリンダ孔１０におけるピストン３の走行特性をさらに改善するためにだけ働く。

この場合、ピストンの後方領域３´は、ピストン側支承面３８に直交する中央平面Ｍ（図２）に関して、ピストン底面１６とは反対側の領域として規定されている。これに応じて、ピストンの前方領域３´´は、中央平面Ｍに関して、ピストン３の前方のピストン底面側の端部に面した領域である。後方のピストン領域３´と前方のピストン領域３´´との間で、中央のピストン領域３´´´は、ピストン中央平面Ｍの前方および後方の領域として規定されている。ピストン中央平面Ｍはピストン側支承面３８に直交しており、ピストン側支承面３８の支承面長さａに関して真ん中に、半分の支承面長さａ／２のところに位置している。中央のピストン領域３´´´は、仮想円周線である、１つの平面でピストン中央平面Ｍに対して平行に延びる前方の円周線Ｕ１によって前方のピストン領域３´´を制限している。同様に、中央のピストン領域３´´´は、仮想線である、ピストン中央平面Ｍに対して平行に１つの平面で延びている後方の円周線Ｕ２によって後方のピストン領域３´を制限している。前方の円周線Ｕ１と後方の円周線Ｕ２とはそれぞれピストン中央平面Ｍに対して、支承面長さａに対して２０％までの、有利には１５％までの、さらに有利には１０％までの軸方向の間隔を有している。この場合、ピストン中央平面Ｍに対して円周線Ｕ１，Ｕ２の対称的な配置が有利ではあるが、ピストン中央平面Ｍに対する前方の円周線Ｕ１の間隔は、ピストン中央平面Ｍに対する後方の円周線Ｕ２の間隔と同じである必要はない。

それぞれリング状のノズル装置３０´´，３２´´，３４´´を形成する、配属されたマイクロ孔３０´，３２´，３４´を有したリング通路３０，３２，３４の間には、同様に形成されたリング状の別のノズル装置が、シリンダ孔１０の内壁に設けられていても良い。

実際に使用されている本発明によるピストンシリンダユニットの構成では、第１の流出ノズル３０´と第２の流出ノズル３２´とは、これらのノズル３０´，３２´が図２に示されている第２の前方のピストン位置で、ピストン３ンの中央の領域３´´´に圧力流体を供給し、このピストン位置では流出ノズルは後方のピストン領域３´には供給しないように配置されている。この場合、図２に示されているように流出ノズル３０´，３２´は、ピストン中央平面Ｍに関して僅かに、前方のピストン領域３´の方向でずらされていて良い。

本発明は、本発明の中心的な思想を広く説明した上記の実施例に限定されるものではない。請求の範囲では、本発明による装置はむしろ、上記実施例とは異なるものとしても想定できる。この場合、この装置は特に、請求項の個々の特徴から成る組み合わせを成す特徴を有していて良い。

請求項、明細書、図面における符号は、単に、本発明を理解しやすくするためのものであって、保護範囲を限定するものではない。

第1のピストン位置にあるピストンを有した本発明によるピストンシリンダユニット１を概略的に示した縦断面図である。 圧縮位置にあるピストンを有した同じピストンシリンダユニットを示した図である。

Claims (20)

1. 特に、圧力流体を形成するためのコンプレッサのためのピストンシリンダユニット（１）であって、
   シリンダ（２）が設けられており、
   ピストン（３）が設けられており、該ピストンは、ピストン（３）とシリンダ（２）とによって取り囲まれるシリンダ容積（１８）が最大となる第１のピストン位置と、シリンダ容積が最小となる第２のピストン位置との間で、シリンダ（２）の軸方向で往復運動可能であって、
   前記ピストン（３）とシリンダ（２）との間に設けられた流体軸受が設けられており、該流体軸受はピストン（３）をシリンダ（２）内に軸方向可動に支承しており、ピストン（３）の周面をピストン（３）の軸方向の延在の少なくとも一部にわたって取り囲むピストン側支承面（３８）を規定しており、
   流体軸受は、シリンダ（２）の内周壁（１４）に設けられた、流体のための複数の流出ノズルを有しており、これらの流出ノズルは、ピストン（３）が第２のピストン位置では向かい合って位置するが第１のピストン位置では向かい合って位置しない、シリンダの内周壁（１４）の領域にも設けられている形式のものにおいて、
   流出ノズル（３０´，３２´）が、ピストン（３）が第２のピストン位置に位置している場合に第１の流出ノズル（３０´）が、ピストン側支承面（３８）の、ピストン長手方向延在に関して前方の領域に圧力流体を供給し、第２の流出ノズル（３２´）が、ピストン側支承面（３８）の、ピストン長手方向延在に関して中央の領域に圧力流体を供給するように配置されていて、これにより軸受重心は前方に向かってピストン底面（１６）へと延びており、これにより、ピストン（３）とシリンダ（２）との間のリングギャップの前端部の領域に比較的高い圧力が、ピストン（３）とシリンダ（２）の間の流体軸受において形成されることを特徴とする、ピストンシリンダユニット。
2. 中央のピストン領域（３´´´）が、ピストン中央平面（Ｍ）の前方または後方の領域として規定されており、ピストン中央平面（Ｍ）がピストン側支承面（３８）に対して直交しており、ピストン側支承面（３８）の支承面長さ（ａ）に関して真ん中の半分の支承面長さ（ａ／２）のところに位置している、請求項１記載のピストンシリンダユニット。
3. 中央のピストン領域（３´´´）が前方の円周線（Ｕ１）から後方の円周線（Ｕ２）にまで延びており、前方の円周線（Ｕ１）はピストン中央平面（Ｍ）の前方に支承面長さ（ａ）の２０％までの間隔をおいてピストン底面（１６）側に位置しており、後方の円周線（Ｕ２）はピストン中央平面（Ｍ）の後方に支承面長さ（ａ）の２０％までの間隔をおいてピストン底面（１６）とは反対側に位置している、請求項２記載のピストンシリンダユニット。
4. 中央のピストン領域（３´´´）が前方の円周線（Ｕ１）から後方の円周線（Ｕ２）にまで延びており、前方の円周線（Ｕ１）はピストン中央平面（Ｍ）の前方に支承面長さ（ａ）の１５％までの間隔をおいてピストン底面（１６）側に位置しており、後方の円周線（Ｕ２）はピストン中央平面（Ｍ）の後方に支承面長さ（ａ）の１５％までの間隔をおいてピストン底面（１６）とは反対側に位置している、請求項２記載のピストンシリンダユニット。
5. 中央のピストン領域（３´´´）が前方の円周線（Ｕ１）から後方の円周線（Ｕ２）にまで延びており、前方の円周線（Ｕ１）はピストン中央平面（Ｍ）の前方に支承面長さ（ａ）の１０％までの間隔をおいてピストン底面（１６）側に位置しており、後方の円周線（Ｕ２）はピストン中央平面（Ｍ）の後方に支承面長さ（ａ）の１０％までの間隔をおいてピストン底面（１６）とは反対側に位置している、請求項２記載のピストンシリンダユニット。
6. ピストンが第２のピストン位置にある場合、どの流出ノズルも、ピストン側支承面（３８）の、ピストン長手方向延在に関して後方の領域に圧力流体を供給しない、請求項１から５までのいずれか1項記載のピストンシリンダユニット。
7. 流出ノズル（３２´，３４´）が、ピストンが第１のピストン位置にある場合に第２の流出ノズル（３２´）が、ピストン側支承面（３８）の、ピストン長手方向延在に関して前方の領域に圧力流体を供給し、第３の流出ノズル（３４´）が、ピストン側支承面（３８）の、ピストン長手方向延在に関して後方の領域に圧力流体を供給するように配置されている、請求項１から６までのいずれか１項記載のピストンシリンダユニット。
8. ピストン（３）が第２のピストン位置では向かい合っていて位置するが第１のピストン位置では向かい合って位置しない、シリンダの内周壁の領域にも流出ノズル（３０´）が設けられている、請求項１から７までのいずれか１項記載のピストンシリンダユニット。
9. 特に圧力流体を形成するためのコンプレッサのためのピストンシリンダユニットであって、特に請求項１から８までのいずれか１項記載の少なくとも１つのピストンシリンダユニットを有しており、
   シリンダ（２）が設けられており、
   ピストン（３）が設けられており、該ピストンは、ピストン（３）とシリンダ（２）とによって取り囲まれるシリンダ容積（１８）が最大となる第１のピストン位置と、シリンダ容積が最小となる第２のピストン位置との間で、シリンダ（２）の軸方向で往復運動可能であって、
   前記ピストン（３）とシリンダ（２）との間に設けられた流体軸受が設けられており、該流体軸受はピストン（３）をシリンダ（２）内に軸方向可動に支承しており、ピストン（３）の周面をピストン（３）の軸方向の延在の少なくとも一部にわたって取り囲むピストン側支承面（３８）を規定しており、
   流体軸受は、シリンダ（２）の内周壁（１４）に設けられた、流体のための複数の流出ノズルを有しており、
   シリンダ側支承面（１５）が、ピストン（３）が第２のピストン位置にある場合に、ピストン側支承面（３８）の、ピストン底面側の前方の制限平面（Ｋ１)と一致する前方の制限平面（Ｚ１)と、ピストン（３）が第１のピストン位置にある場合に、ピストン側支承面（３８）の、ピストン底面（１６）とは反対側の後方の制限線（Ｋ２）と一致する後方の制限平面（Ｚ２）とから延びている形式のものにおいて、
   流出ノズルのノズル横断面の分布が、シリンダ側支承面（１５）の長さ（Ｌ）にわたって、支承面中央平面（Ｅ）に関して非対称的であって、シリンダ側支承面（１５）の前方領域における流出ノズル（３０´，３２´）のノズル横断面積の合計が、後方領域における流出ノズル（３４´）のノズル横断面の合計よりも大きいことを特徴とする、特に圧力流体を形成するためのコンプレッサのためのピストンシリンダユニット。
10. シリンダ側支承面（１５）の前方領域に、後方領域よりも多くの流出ノズルが設けられている、請求項９記載のピストンシリンダユニット。
11. シリンダ側支承面（１５）の前方領域に設けられた流出ノズルの少なくとも一部が、その他の流出ノズルよりも大きなノズル横断面積を有している、請求項９または１０記載のピストンシリンダユニット。
12. 流体軸受が、ガス圧軸受、有利にはエアベアリングによって形成されており、流出ノズルがガス流出ノズル（３０´，３２´，３４´）によって形成されている、請求項１から１１までのいずれか１項記載のピストンシリンダユニット。
13. それぞれ複数の流出ノズル（３０´，３２´，３４´）がノズル装置（３０´´，３２´´，３４´´）を形成している、請求項１から１２までのいずれか１項記載のピストンシリンダユニット。
14. ノズル装置（３０´´，３２´´，３４´´）がピストンシリンダユニット（１）の軸方向で互いに間隔をおいて位置しており、有利にはシリンダ軸線（Ｘ）を中心としてリング状に形成されている、請求項１３記載のピストンシリンダユニット。
15. 各ノズル装置（３０´´，３２´´，３４´´）が、周方向で互いに均一に間隔をおいて配置された複数の流出ノズル（３０´，３２´，３４´）を有している、請求項１３または１４記載のピストンシリンダユニット。
16. 流出ノズル（３０´，３２´，３４´）が、高エネルギビームによって穿孔されたマイクロ孔によって形成されていて、これらのマイクロ孔は有利には円錐状に形成されており、その最も狭い横断面はシリンダ側支承面（１５）への開口部に位置している、請求項１から１５までのいずれか１項記載のピストンシリンダユニット。
17. マイクロ孔がレーザービームによって穿孔されている、請求項１６記載のピストンシリンダユニット。
18. 流出ノズル（３０´，３２´，３４´）に供給するための圧力流体が、シリンダ容積（１８）の圧縮により圧縮された流体流から導出されている、請求項１から１７までのいずれか１項記載のピストンシリンダユニット。
19. ピストンが、往復運動する駆動のために、直線駆動装置の可動部分によって負荷されている、請求項１から１８までのいずれか１項記載のピストンシリンダユニット。
20. 請求項１から１９までのいずれか１項記載のピストンシリンダユニットを有した、圧力流体を形成するためのコンプレッサ。

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