JP2008516490A - 音響波により動作する素子および該素子の製造方法 - Google Patents
音響波により動作する素子および該素子の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008516490A JP2008516490A JP2007535054A JP2007535054A JP2008516490A JP 2008516490 A JP2008516490 A JP 2008516490A JP 2007535054 A JP2007535054 A JP 2007535054A JP 2007535054 A JP2007535054 A JP 2007535054A JP 2008516490 A JP2008516490 A JP 2008516490A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- metal layer
- electrode
- resonator
- transducer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02228—Guided bulk acoustic wave devices or Lamb wave devices having interdigital transducers situated in parallel planes on either side of a piezoelectric layer
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/42—Piezoelectric device making
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
Description
A)犠牲基板の上に第1の金属層と圧電層と構造形成された第2の金属層から成る層構造を形成するステップと、
B)この層構造を基板と固定的に接合するステップと、
C)犠牲基板を除去するステップと、
D)第1の金属層を構造形成するステップと、
E)上記の層構造を第1の金属層の側で別の基板と固定的に接合するステップ
を有している。
21,22 第2のゲートの端子
A 第1の共振器R1の第1の電極
A′ 第2の共振器R2の第1の電極
B 第1の共振器R1の第2の電極
B′ 第2の共振器R2の第2の電極
DS1,DS2 誘電層
G1 第1の基準電位
G2 第2の基準電位
MEj j番目の金属層、j=1〜3
MF1 第1の導電面
MF2 第2の導電面
OS 犠牲基板
PS,PS1,PS2 圧電層
R1 第1の共振器
R2 第2の共振器
SS 層系
S1 第1の基板
S2 第2の基板
W1 第1の変換器
W2 第2の変換器
x 長手方向
y 横断方向
z 垂直方向
Claims (24)
- 音響波により動作する素子において、
層系と第1の共振器と第2の共振器とが設けられており、
前記層系は、圧電層(PS1)および該圧電層(PS1)の上に配置された第1の金属層(ME1)を含んでおり、
前記第1の共振器は、前記第1の金属層(ME1)の上に形成された第1の電極(A)を備え、該第1の電極(A)は、波の伝播方向で周期的に配置された電極構造体を有しており、
前記第2の共振器は、前記第1の共振器と音響的に結合されかつ該第1の共振器とは電気的に絶縁されており、
前記層系は導波体を成しており、該導波体を介してガイド音響体積波が横方向に案内されることを特徴とする、
音響波により動作する素子。 - 請求項1記載の素子において、
前記第1の共振器は、前記第1の金属層(ME1)に形成された第2の電極(B)を備え、該第2の電極(B)は、波の伝播方向で周期的に配置された電極構造体を有しており、前記第1の電極(A)と前記第2の電極(B)の電極構造体は交互に配置されていて第1の変換器(W1)を成すことを特徴とする素子。 - 請求項1記載の素子において、
前記圧電層(PS1)の下に配置された第2の金属層(ME2)が設けられており、前記第1の共振器は、該第2の金属層(ME2)に形成された第2の電極(B)を備え、該第2の電極(B)は、波の伝播方向で周期的に配置された電極構造体を有しており、前記第1の電極(A)と前記第2の電極(B)の電極構造体は上下に配置されていることを特徴とする素子。 - 請求項2記載の素子において、
前記圧電層(PS1)の下に配置された第2の金属層(ME2)が設けられており、前記第2の共振器は第2の変換器(W2)を有し、該第2の変換器(W2)は相互にかみ合った電極(A′,B′)を備えており、前記第1の変換器(W1)と第2の変換器(W2)の電極構造体は互いに向き合って配置されていることを特徴とする素子。 - 請求項1記載の素子において、
前記第1の圧電層(PS1)の下に配置された第2の金属層(ME2)と、該第2の金属層(ME2)に形成され第1の変換器(W1)の下に配置された第1の導電面(MF1)が設けられており、該第1の導電面(MF1)は、前記第1の共振器の第2の電極(B)として用いられ、前記第2の共振器は、前記第1の金属層(ME1)に形成された第2の変換器(W2)を有しており、
前記第2の金属層(ME2)に形成され該第2の変換器(W2)の下に配置された第2の導電面(MF2)が設けられており、該第2の導電面(MF2)は、前記第2の共振器の第2の電極(B′)として用いられ、前記第1の導電面(MF1)とは電気的に絶縁されていることを特徴とする素子。 - 請求項1記載の素子において、
前記第1の圧電層(PS1)の下に配置された第2の金属層(ME2)と、該第2の金属層(ME2)に形成され第1の変換器(W1)の下に配置された第1の導電面(MF1)が設けられており、該第1の導電面(MF1)は、前記第1の共振器の第2の電極(B)として用いられ、前記第2の共振器は、前記第1の金属層(ME1)に形成された第2の変換器(W2)を有しており、前記第1の導電面(MF1)も該第2の変換器(W2)の下に配置されていることを特徴とする素子。 - 請求項2から6のいずれか1項記載の素子において、
前記両方の共振器は、前記圧電層(PS1)を含む結合系を介して互いに音響的に結合されていることを特徴とする素子。 - 請求項7記載の素子において、
前記圧電層は、第3の金属層(ME3)により分離された圧電部分層(PS1,PS2)を有しており、前記結合系は、第1の圧電部分層(PS1)と前記第3の金属層(ME3)と第2の圧電部分層(PS2)の複合体により形成されていることを特徴とする素子。 - 請求項8記載の素子において、
前記第3の金属層(ME3)に第1の導電面(MF1)が形成されており、該第1の導電面は前記第1の変換器(W1)と前記第2の変換器(W2)との間に配置されていることを特徴とする素子。 - 請求項6または9記載の素子において、
前記導電面(MF1)はアースと電気的に接続されていることを特徴とする素子。 - 請求項6から10のいずれか1項記載の素子において、
前記両方の共振器は、前記結合系を介して横断方向(y)で互いに音響的に結合されていることを特徴とする素子。 - 請求項6から10のいずれか1項記載の素子において、
前記両方の共振器は、前記結合系を介して長手方向(x)で互いに音響的に結合されていることを特徴とする素子。 - 請求項6から10のいずれか1項記載の素子において、
前記両方の共振器は、前記結合系を介して垂直方向(z)で互いに音響的に結合されていることを特徴とする素子。 - 請求項2から13のいずれか1項記載の素子において、
前記第1および/または第2の共振器における電気的励起は、層平面に対し垂直方向(z)で行われることを特徴とする素子。 - 請求項14記載の素子において、
垂直方向(z)における電気的励起は、第1または第2の変換器(W1,W2)と該変換器と対向する導電面(MF1,MF2)との間で行われることを特徴とする素子。 - 請求項2から11または13から15のいずれか1項記載の素子において、
前記第1および/または第2の変換器における電気的励起は長手方向(x)で行われることを特徴とする素子。 - 請求項2から16のいずれか1項記載の素子において、
第1および第2の電気的ゲートの各第1の端子(11,21)間に配置された第1の信号経路と、該第1および第2の電気的ゲートの各第2の端子(12,22)間に配置された第2の信号経路が設けられており、前記第1の変換器(W1)は前記第1の信号経路中に、前記第2の変換器は第2の信号経路中に配置されていることを特徴とする素子。 - 請求項2から16のいずれか1項記載の素子において、
第1および第2の電気的ゲートの各第1の端子(11,21)間に配置された第1の信号経路と、該第1および第2の電気的ゲートの各第2の端子(12,22)間に配置された第2の信号経路と、前記第1の信号経路と前記第2の信号を接続する分岐路が設けられており、前記第1の変換器(W1)は第1の分岐路中に、前記第2の変換器(W2)は第2の分岐路中に配置されていることを特徴とする素子。 - ガイド音響波により動作する素子の製造方法において、
A)犠牲基板(OS)の上に、全体に延びる金属層(ME3)と圧電層(PS2)と構造形成された金属層(ME2)から成る層構造を形成するステップと、
B)該層構造を前記構造形成された金属層(ME2)の側で基板(S2)と固定的に接合するステップと、
C)前記犠牲基板(OS)を取り除くステップと、
D)前記全体に延びる金属層(ME3)の開放されている表面上に、別の圧電層(PS1)と別の構造形成された金属層(ME1)を含む別の層構造を取り付けるステップと、
E)該別の層構造を前記別の構造形成された金属層(ME1)の側で別の基板(S1)と固定的に接合するステップ
が設けられていることを特徴とする、ガイド音響波により動作する素子の製造方法。 - 請求項19記載の方法において、
ステップB)および/またはステップE)における前記層構造と前記基板との接合をウェハボンディングにより行うことを特徴とする方法。 - 請求項19記載の方法において、
前記基板(S1,S2)の少なくとも一方を圧電層として取り付けることを特徴とする方法。 - 請求項19または20記載の方法において、
ステップB)の前の層構造および/またはステップE)の前の別の層構造に最後の層として平坦化層を形成し、該平坦化層をステップB)またはステップE)において個々の基板(S1,S2)と接合することを特徴とする方法。 - 請求項19から22のいずれか1項記載の方法において、
ステップA)またはステップD)における構造形成された金属層(ME1,ME2)の形成のため最初に、全体に延びる金属層を形成し、次にエッチングにより該金属層に電極構造体を構造形成することを特徴とする方法。 - 請求項19から22のいずれか1項記載の方法において、
前記構造形成された金属層(ME1,ME2)をマスクを利用して形成することを特徴とする方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102004049498.3 | 2004-10-11 | ||
DE102004049498A DE102004049498A1 (de) | 2004-10-11 | 2004-10-11 | Mit akustischen Wellen arbeitendes Bauelement und Verfahren zu dessen Herstellung |
PCT/EP2005/010387 WO2006040001A1 (de) | 2004-10-11 | 2005-09-26 | Mit akustischen wellen arbeitendes bauelement und verfahren zu dessen herstellung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008516490A true JP2008516490A (ja) | 2008-05-15 |
JP5134959B2 JP5134959B2 (ja) | 2013-01-30 |
Family
ID=35429201
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007535054A Expired - Fee Related JP5134959B2 (ja) | 2004-10-11 | 2005-09-26 | 音響波により動作する素子および該素子の製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8471652B2 (ja) |
JP (1) | JP5134959B2 (ja) |
DE (1) | DE102004049498A1 (ja) |
WO (1) | WO2006040001A1 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011176544A (ja) * | 2010-02-24 | 2011-09-08 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性境界波フィルタ装置 |
JP2012530388A (ja) * | 2009-06-11 | 2012-11-29 | クォルコム・メムズ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド | 2つの圧電層を備えた圧電共振器 |
JP2014529241A (ja) * | 2011-08-19 | 2014-10-30 | クゥアルコム・インコーポレイテッドQualcomm Incorporated | 複合圧電横振動共振器 |
JP2016519897A (ja) * | 2013-04-08 | 2016-07-07 | ソイテック | 改良型の熱補償形表面弾性波デバイスおよび製造方法 |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102004049498A1 (de) | 2004-10-11 | 2006-04-13 | Epcos Ag | Mit akustischen Wellen arbeitendes Bauelement und Verfahren zu dessen Herstellung |
DE102004049499B4 (de) * | 2004-10-11 | 2017-12-21 | Snaptrack, Inc. | Mit akustischen Volumenwellen arbeitende Schaltung und Bauelement mit der Schaltung |
DE102006019961B4 (de) * | 2006-04-28 | 2008-01-10 | Epcos Ag | Elektroakustisches Bauelement |
DE102006039515B4 (de) * | 2006-08-23 | 2012-02-16 | Epcos Ag | Drehbewegungssensor mit turmartigen Schwingstrukturen |
US8925163B2 (en) * | 2006-09-18 | 2015-01-06 | Teknologian Tutkimuskeskus Vtt | Method of manufacturing laterally coupled BAW thin films |
DE102006048879B4 (de) * | 2006-10-16 | 2018-02-01 | Snaptrack, Inc. | Elektroakustisches Bauelement |
FR2936100B1 (fr) * | 2008-09-18 | 2010-09-17 | Direction Generale Pour L Arme | Dispositif a ondes acoustiques d'interfaces. |
US8610518B1 (en) | 2011-05-18 | 2013-12-17 | Triquint Semiconductor, Inc. | Elastic guided wave coupling resonator filter and associated manufacturing |
US20120293520A1 (en) * | 2011-05-19 | 2012-11-22 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Piezoelectric resonators with configurations having no ground connections to enhance electromechanical coupling |
US9093979B2 (en) * | 2012-06-05 | 2015-07-28 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Laterally-coupled acoustic resonators |
DE102013100286B3 (de) * | 2013-01-11 | 2014-06-05 | Epcos Ag | Breitbandiges Filter in Abzweigtechnik |
US20200121494A1 (en) | 2017-06-22 | 2020-04-23 | Kurume University | Mouthpiece |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5338284A (en) * | 1976-09-20 | 1978-04-08 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Crystal vibrator |
JPS5375888A (en) * | 1976-12-17 | 1978-07-05 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Crystal vibrator |
JPS5469363A (en) * | 1977-11-15 | 1979-06-04 | Tdk Corp | Ultrasonic wave transducer |
JPS58173912A (ja) * | 1982-04-05 | 1983-10-12 | Hiroshi Shimizu | 圧電体屈曲振動子および圧電フィルタ |
JPS61127218A (ja) * | 1984-11-26 | 1986-06-14 | Toshiba Corp | 圧電薄膜共振子 |
JPH02109411A (ja) * | 1988-09-14 | 1990-04-23 | Siemens Ag | 音波遅延線 |
JPH0418806A (ja) * | 1990-05-14 | 1992-01-23 | Toshiba Corp | 圧電薄膜デバイス |
JPH1117489A (ja) * | 1997-06-25 | 1999-01-22 | Kyocera Corp | 圧電共振子およびラダー型フィルタ |
JPH11284478A (ja) * | 1998-03-31 | 1999-10-15 | Kyocera Corp | 圧電共振子およびラダー型フィルタ |
JPH11308070A (ja) * | 1998-04-20 | 1999-11-05 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電体素子 |
JP2000069594A (ja) * | 1998-06-02 | 2000-03-03 | Hewlett Packard Co <Hp> | 音響共振器とその製作方法 |
JP2002541704A (ja) * | 1999-03-30 | 2002-12-03 | インフィネオン テクノロジース アクチエンゲゼルシャフト | 構成素子 |
JP2002368576A (ja) * | 2001-06-05 | 2002-12-20 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性波素子 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2231467C3 (de) * | 1972-06-27 | 1975-02-13 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Piezoelektrische Anordnung und Verfahren zur Vermeidung von Über Sprechkapazitäten |
US3931598A (en) * | 1974-12-17 | 1976-01-06 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Normal reflective array compressor and method |
US4329666A (en) * | 1980-08-11 | 1982-05-11 | Motorola, Inc. | Two-pole monolithic crystal filter |
US4598261A (en) * | 1985-05-24 | 1986-07-01 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Microwave saw monochromator |
JPH01308070A (ja) | 1988-06-07 | 1989-12-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体記憶装置 |
US5249355A (en) | 1991-10-31 | 1993-10-05 | Hughes Aircraft Company | Method of fabricating a multilayer electrical circuit structure |
US5294898A (en) | 1992-01-29 | 1994-03-15 | Motorola, Inc. | Wide bandwidth bandpass filter comprising parallel connected piezoelectric resonators |
US5910756A (en) | 1997-05-21 | 1999-06-08 | Nokia Mobile Phones Limited | Filters and duplexers utilizing thin film stacked crystal filter structures and thin film bulk acoustic wave resonators |
US6121856A (en) * | 1998-08-21 | 2000-09-19 | Lockheed Martin Corporation | Bulk acoustic wave device with lamb wave mode selection |
GB0014963D0 (en) | 2000-06-20 | 2000-08-09 | Koninkl Philips Electronics Nv | A bulk acoustic wave device |
US6720844B1 (en) | 2001-11-16 | 2004-04-13 | Tfr Technologies, Inc. | Coupled resonator bulk acoustic wave filter |
US6670866B2 (en) | 2002-01-09 | 2003-12-30 | Nokia Corporation | Bulk acoustic wave resonator with two piezoelectric layers as balun in filters and duplexers |
JP3815424B2 (ja) | 2002-11-08 | 2006-08-30 | 株式会社村田製作所 | 弾性境界波装置 |
DE10319554B4 (de) | 2003-04-30 | 2018-05-09 | Snaptrack, Inc. | Mit akustischen Volumenwellen arbeitendes Bauelement mit gekoppelten Resonatoren |
DE10325281B4 (de) * | 2003-06-04 | 2018-05-17 | Snaptrack, Inc. | Elektroakustisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung |
DE102004049498A1 (de) | 2004-10-11 | 2006-04-13 | Epcos Ag | Mit akustischen Wellen arbeitendes Bauelement und Verfahren zu dessen Herstellung |
DE102004049499B4 (de) | 2004-10-11 | 2017-12-21 | Snaptrack, Inc. | Mit akustischen Volumenwellen arbeitende Schaltung und Bauelement mit der Schaltung |
US7098758B2 (en) * | 2004-11-03 | 2006-08-29 | Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Acoustically coupled thin-film resonators having an electrode with a tapered edge |
KR101288190B1 (ko) * | 2005-05-27 | 2013-07-18 | 트리퀸트 세미컨덕터 인코퍼레이티드 | Baw 공진기 디바이스, 필터 및 전자 장치 |
-
2004
- 2004-10-11 DE DE102004049498A patent/DE102004049498A1/de not_active Withdrawn
-
2005
- 2005-09-26 JP JP2007535054A patent/JP5134959B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-09-26 US US11/576,981 patent/US8471652B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-09-26 WO PCT/EP2005/010387 patent/WO2006040001A1/de active Application Filing
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5338284A (en) * | 1976-09-20 | 1978-04-08 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Crystal vibrator |
JPS5375888A (en) * | 1976-12-17 | 1978-07-05 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Crystal vibrator |
JPS5469363A (en) * | 1977-11-15 | 1979-06-04 | Tdk Corp | Ultrasonic wave transducer |
JPS58173912A (ja) * | 1982-04-05 | 1983-10-12 | Hiroshi Shimizu | 圧電体屈曲振動子および圧電フィルタ |
JPS61127218A (ja) * | 1984-11-26 | 1986-06-14 | Toshiba Corp | 圧電薄膜共振子 |
JPH02109411A (ja) * | 1988-09-14 | 1990-04-23 | Siemens Ag | 音波遅延線 |
JPH0418806A (ja) * | 1990-05-14 | 1992-01-23 | Toshiba Corp | 圧電薄膜デバイス |
JPH1117489A (ja) * | 1997-06-25 | 1999-01-22 | Kyocera Corp | 圧電共振子およびラダー型フィルタ |
JPH11284478A (ja) * | 1998-03-31 | 1999-10-15 | Kyocera Corp | 圧電共振子およびラダー型フィルタ |
JPH11308070A (ja) * | 1998-04-20 | 1999-11-05 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電体素子 |
JP2000069594A (ja) * | 1998-06-02 | 2000-03-03 | Hewlett Packard Co <Hp> | 音響共振器とその製作方法 |
JP2002541704A (ja) * | 1999-03-30 | 2002-12-03 | インフィネオン テクノロジース アクチエンゲゼルシャフト | 構成素子 |
JP2002368576A (ja) * | 2001-06-05 | 2002-12-20 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性波素子 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012530388A (ja) * | 2009-06-11 | 2012-11-29 | クォルコム・メムズ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド | 2つの圧電層を備えた圧電共振器 |
JP2011176544A (ja) * | 2010-02-24 | 2011-09-08 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性境界波フィルタ装置 |
JP2014529241A (ja) * | 2011-08-19 | 2014-10-30 | クゥアルコム・インコーポレイテッドQualcomm Incorporated | 複合圧電横振動共振器 |
US9406865B2 (en) | 2011-08-19 | 2016-08-02 | Qualcomm Incorporated | Composite piezoelectric laterally vibrating resonator |
JP2016519897A (ja) * | 2013-04-08 | 2016-07-07 | ソイテック | 改良型の熱補償形表面弾性波デバイスおよび製造方法 |
US10270413B2 (en) | 2013-04-08 | 2019-04-23 | Soitec | Advanced thermally compensated surface acoustic wave device and fabrication |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8471652B2 (en) | 2013-06-25 |
DE102004049498A1 (de) | 2006-04-13 |
US20080094150A1 (en) | 2008-04-24 |
JP5134959B2 (ja) | 2013-01-30 |
WO2006040001A1 (de) | 2006-04-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5134959B2 (ja) | 音響波により動作する素子および該素子の製造方法 | |
JP6652062B2 (ja) | 弾性波装置及びその製造方法 | |
US7956705B2 (en) | Circuit working with acoustic volume waves and component connected to the circuit | |
WO2017212774A1 (ja) | 弾性波装置及びその製造方法 | |
JP4960867B2 (ja) | 損失の小さい電気音響素子 | |
US6437484B1 (en) | Piezoelectric resonator | |
WO2006134959A1 (ja) | 多重モード薄膜弾性波共振器フィルタ | |
CN103283147A (zh) | 弹性波装置及其制造方法 | |
JP2013528996A (ja) | 広帯域音響結合薄膜bawフィルタ | |
JP4513860B2 (ja) | 圧電薄膜フィルタ | |
US20090009263A1 (en) | Duplexer | |
JP2021536721A (ja) | 二段横波バルク弾性波フィルタ | |
WO2006062082A1 (ja) | 薄膜弾性波共振子 | |
US8872598B2 (en) | Combiner comprising acoustic transducers | |
KR100889231B1 (ko) | 탄성경계파 장치 | |
JP4036856B2 (ja) | 弾性表面波素子を用いたバンドパスフィルタ | |
WO2023071516A1 (zh) | 一种xbar滤波器 | |
US8907741B2 (en) | Acoustic wave power device | |
US11309866B2 (en) | Acoustic wave device and method for manufacturing acoustic wave device | |
WO2010007805A1 (ja) | 分波器 | |
JP2015109622A (ja) | 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ | |
JP7421541B2 (ja) | フィルタおよびマルチフィルタ | |
WO2024043343A1 (ja) | 弾性波装置 | |
WO2023282343A1 (ja) | フィルタ装置及びマルチプレクサ | |
JP5526858B2 (ja) | 弾性境界波フィルタ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080813 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20101227 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20101228 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110411 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110421 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110720 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110727 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110822 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110829 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110921 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120314 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20120612 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120619 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20120717 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120724 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20120810 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120817 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120914 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121012 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121112 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151116 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5134959 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D02 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |