JP2008516259A - 試験体上の欠陥を分類するためのコンピュータに実装された方法およびシステム - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (25)
- 試験体上の欠陥を分類するための、コンピュータに実装された方法であって、
試験体上で検出された個々の欠陥を、該個々の欠陥の一つまたはそれ以上の特性に基づいて、欠陥グループに割り付ける割付工程と、
該欠陥グループについての情報をユーザに表示する表示工程と、
該ユーザの操作によって、該欠陥グループのそれぞれに分類を割り付けることを可能にする割付可能化工程と、
を含むことを特徴とする方法。 - 一つまたはそれ以上の特性は、欠陥特徴のベクトル、抽出された特徴、特徴の属性、またはそれらの何らかの組合せを含むこととする請求項1に記載の方法。
- 一つまたはそれ以上の特性は、個々の欠陥の電子ビームレビューによって生成されたデータから判定されることとする請求項1に記載の方法。
- 一つまたはそれ以上の特性は、個々の欠陥の電子ビームレビューによって生成されたデータと試験体の光学検査によって生成されたデータとの組合せから判定されることとする請求項1に記載の方法。
- 試験体の一つまたはそれ以上の特性に基づいて分類レシピを選択する工程をさらに含み、割付工程は、個々の欠陥を、上記分類レシピを用いて、該欠陥グループに割り付ける工程を含むこととする請求項1に記載の方法。
- 試験体上で行われた一つまたはそれ以上のプロセスに基づいて分類レシピを選択する工程をさらに含み、割付工程は、個々の欠陥を、上記分類レシピを用いて、該欠陥グループに割り付ける工程を含むこととする請求項1に記載の方法。
- 割付工程は、個々の欠陥を、自動欠陥分類コードを用いて、欠陥グループに割り付ける工程を含むこととする請求項1に記載の方法。
- 割付工程は、個々の欠陥を、自然グループ化を用いて、欠陥グループに割り付ける工程を含むこととする請求項1に記載の方法。
- 欠陥グループは、一つまたはそれ以上の認識されていない特性を有する個々の欠陥に対する欠陥グループを含むこととする請求項1に記載の方法。
- 欠陥グループは、検査によって検出されたが、レビューによっては再検出されなかった個々の欠陥に対する欠陥グループを含むこととする請求項1に記載の方法。
- 情報は、欠陥グループに対する有り得る分類を含むこととする請求項1に記載の方法。
- 情報は、欠陥グループのそれぞれに含まれている一つまたはそれ以上の代表的な欠陥についての情報を含むこととする請求項1に記載の方法。
- 情報は、個々の欠陥のうちの一つまたはそれ以上についてのデータを含み、かつ、該データは、電子ビームレビューツールによって生成されることとする請求項1に記載の方法。
- 情報は、個々の欠陥のうちの一つまたはそれ以上についてのデータを含み、かつ、該データは、光学検査ツールによって生成されることとする請求項1に記載の方法。
- ユーザの操作によって、該個々の欠陥のうちの一つまたはそれ以上を、該欠陥グループのうちの一つから該欠陥グループのうちの他の一つへと移動させることを可能にする工程をさらに含むこととする請求項1に記載の方法。
- ユーザの操作によって、一つまたはそれ以上の追加の欠陥グループを作成させ、かつ、個々の欠陥のうちの一つまたはそれ以上を欠陥グループから追加の欠陥グループの一つまたはそれ以上へと移動させることを可能にする工程をさらに含むこととする請求項1に記載の方法。
- ユーザによって割り付けられた分類に基づいて分類レシピを生成する工程をさらに含み、該分類レシピは、半自動欠陥分類法および自動欠陥分類法で使用され得ることとする請求項1に記載の方法。
- ユーザによって割り付けられた分類に基づいて分類レシピを変更する工程をさらに含み、割付工程は、個々の欠陥を、上記分類レシピを用いて、欠陥グループに割り付ける工程を含むこととする請求項1に記載の方法。
- ユーザによって割り付けられた分類に基づいて訓練セットを生成する工程をさらに含むこととする請求項1に記載の方法。
- 個々の欠陥、試験体、試験体上で行われたプロセス、または、それらの組合せを、ユーザによって割り付けられた分類に基づいて分析する工程をさらに含むこととする請求項1に記載の方法。
- ユーザによって割り付けられた分類に基づいて歩留管理決定を行なう工程をさらに含むこととする請求項1に記載の方法。
- 試験体上の欠陥を分類するための、コンピュータに実装された方法であって、
該試験体上で検出された個々の欠陥を、該個々の欠陥の一つまたはそれ以上の特性に基づいて、欠陥グループに割り付ける割付工程と、
該欠陥グループについての情報をユーザに表示する表示工程であって、該情報が、該欠陥グループのそれぞれに割り付けられた分類を含む該表示工程と、
該ユーザの操作によって、該欠陥グループのそれぞれに割り付けられた該分類を確認または変更させることを可能にする工程と、
を含むことを特徴とする方法。 - 試験体上の欠陥を分類するよう構成されたシステムであって、
該試験体上で検出された個々の欠陥を、該個々の欠陥の一つまたはそれ以上の特性に基づいて、欠陥グループに割り付けるために、プロセッサ上で実行可能なプログラム命令と、
上記欠陥グループについての情報をユーザに表示し、かつ、該ユーザの操作によって、該欠陥グループのそれぞれに分類を割り付けさせることを可能にする割付可能化構成を有するユーザインタフェースと、
を含むことを特徴とするシステム。 - 割付可能化構成は、ユーザが、プログラム命令によって欠陥グループのそれぞれに割り付けられた分類を確認または拒否することを可能にする構成を含むこととする請求項23に記載のシステム。
- 割付可能化構成は、ユーザが、プログラム命令によって欠陥グループのそれぞれに割り付けられた分類を変更することを可能にする構成を含むこととする請求項23に記載のシステム。
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