JP2008304211A - カンチレバの自動チューニング方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】試料を加熱又は冷却して温度変化させながら走査型原子間力顕微鏡で観察を行なうに際し、試料の熱膨張又は収縮を伴うZ方向の移動の制限を行なうために、スキャナの可動範囲を設定し、温度変化によりスキャナの伸縮が前記可動範囲を超えたら走査を中断し、スキャナを初期状態に戻しながら試料の膨張又は収縮に伴うドリフト分をZステージの移動により補正し、アプローチと走査を再開するように構成する。
【選択図】図4
Description
また、走査型トンネル電子顕微鏡において、粗動機構と微動機構の動作を連動させるように制御し、試料表面の凹凸が大きい場合にも、探針が表面を追従できるようにした技術が知られている(例えば特許文献2参照)。
(2)請求項2記載の発明は、試料を加熱又は冷却して温度変化させながら走査型原子間力顕微鏡で観察を行なうに際し、カンチレバの加振自動調整を行ない、アプローチと走査を再開するようにしたことを特徴とする。
(3)請求項3記載の発明は、試料を加熱又は冷却して温度変化させながら走査型原子間力顕微鏡で観察を行なうに際し、試料の熱膨張又は収縮を伴うZ方向の移動の制限を行なうために、スキャナの可動範囲を設定し、温度変化によりスキャナの伸縮が前記可動範囲を超えたら走査を中断し、スキャナを初期状態に戻しながら試料の膨張又は収縮に伴うドリフト分をZステージの移動により補正すると共に、カンチレバの加振自動調整を行ない、アプローチと走査を再開する、ようにしたことを特徴とする。
(4)請求項4記載の発明は、ワンフレーム測定終了毎に、カンチレバをリトラクト状態にして、カンチレバの加振自動調整を行なえるようにしたことを特徴とする。
(5)請求項5記載の発明によれば、任意の温度範囲毎に、カンチレバをリトラクト状態にして、カンチレバの加振自動調整を行なえるようにしたことを特徴とする。
(2)請求項2記載の発明によれば、カンチレバの加振補正による自動補正を行なうことができる。
(3)請求項3記載の発明によれば、スキャナの可動範囲を予め設定して、その範囲を超えないようにZ軸方向を制御すると共に、カンチレバの加振自動調整を行なうことで、試料の温度変化に伴うスキャナのZ軸方向のドリフト補正と、カンチレバの発振自動調整を行なうことができるカンチレバの自動チューニング方法を提供することができる。
(4)請求項4記載の発明によれば、カンチレバの共振周波数のズレを防止することができる。
(5)請求項5記載の発明によれば、試料の熱膨張・収縮係数が小さくてZステージの移動によるドリフトの補正が行われない場合においても、カンチレバの共振周波数のズレを補正することが可能になり、安定した測定を行なうことができる。
2 カンチレバ
3 PZT
4 試料
5 スキャナ
6 レーザダイオード
7 光ディテクタ
8 プリアンプ
9 RMS−DCコンバータ
10 ステージ
11 モータ
12 FMデモジュレータ
13 アッテネータ
14 誤差アンプ
15 基準電圧発生回路
16 フィードバック回路
17 パソコン
18 HV−アンプ
19 HV−アンプ
20 A/D変換器
Claims (5)
- 試料を加熱又は冷却して温度変化させながら走査型原子間力顕微鏡で観察を行なうに際し、
試料の熱膨張又は収縮を伴うZ方向の移動の制限を行なうために、スキャナの可動範囲を設定し、
温度変化によりスキャナの伸縮が前記可動範囲を超えたら走査を中断し、
スキャナを初期状態に戻しながら試料の膨張又は収縮に伴うドリフト分をZステージの移動により補正し、
アプローチと走査を再開するようにしたことを特徴とするカンチレバの自動チューニング方法。 - 試料を加熱又は冷却して温度変化させながら走査型原子間力顕微鏡で観察を行なうに際し、
カンチレバの加振自動調整を行ない、
アプローチと走査を再開するようにしたことを特徴とするカンチレバの自動チューニング方法。 - 試料を加熱又は冷却して温度変化させながら走査型原子間力顕微鏡で観察を行なうに際し、
試料の熱膨張又は収縮を伴うZ方向の移動の制限を行なうために、スキャナの可動範囲を設定し、
温度変化によりスキャナの伸縮が前記可動範囲を超えたら走査を中断し、
スキャナを初期状態に戻しながら試料の膨張又は収縮に伴うドリフト分をZステージの移動により補正すると共に、カンチレバの加振自動調整を行ない、アプローチと走査を再開する、
ようにしたことを特徴とするカンチレバの自動チューニング方法。 - ワンフレーム測定終了毎に、カンチレバをリトラクト状態にして、カンチレバの加振自動調整を行なえるようにしたことを特徴とする請求項2又は3記載のカンチレバの自動チューニング方法。
- 任意の温度範囲毎に、カンチレバをリトラクト状態にして、カンチレバの加振自動調整を行なえるようにしたことを特徴とする請求項2又は3記載の自動チューニング方法。
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JP2007149241A JP2008304211A (ja) | 2007-06-05 | 2007-06-05 | カンチレバの自動チューニング方法 |
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-
2007
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