JP2009222520A - 走査型プローブ顕微鏡の探針と試料表面との距離制御方法及び走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は走査型プローブ顕微鏡の探針と試料表面との距離制御方法及び走査型プローブ顕微鏡に関し、アプローチ時間を短縮することを目的としている。
【解決手段】探針を使用して試料表面を走査し、試料表面の凹凸を原子分解能で測定を行なう走査型プローブ顕微鏡において、第1段階として、ACモードAFMで動作し、探針6への加振信号と探針6からの信号を光検出器7で検出した信号との位相差を算出し、該位相差信号の所定の変化を検出するまでACモードAFMによるフィードバック制御を行なう第1の制御手段を有し、第2段階として、モードをコンタクトモードAFMに切り替えて、前記光検出器7の出力である試料表面観察フィードバック信号を用いてフィードバック制御を行なって、探針と試料表面間の距離を制御する第2の制御手段とを有して構成される。
【選択図】図1
【解決手段】探針を使用して試料表面を走査し、試料表面の凹凸を原子分解能で測定を行なう走査型プローブ顕微鏡において、第1段階として、ACモードAFMで動作し、探針6への加振信号と探針6からの信号を光検出器7で検出した信号との位相差を算出し、該位相差信号の所定の変化を検出するまでACモードAFMによるフィードバック制御を行なう第1の制御手段を有し、第2段階として、モードをコンタクトモードAFMに切り替えて、前記光検出器7の出力である試料表面観察フィードバック信号を用いてフィードバック制御を行なって、探針と試料表面間の距離を制御する第2の制御手段とを有して構成される。
【選択図】図1
Description
本発明は走査型プローブ顕微鏡の探針と試料表面との距離制御方法及び装置に関し、探針と試料表面の距離がある任意の値になるまで近づけるために、高速移動・ダメージレスで行ない、測定に至るまでの時間を短縮する方法及び装置に関する。
走査型原子力間力顕微鏡(AFM:Atomic Force Microscope)は、探針先端と試料表面の間に働く原子間力を検出し、この原子間力が一定になるようにフィードバックを行ないながら試料を走査し、試料の表面形状を得る装置である。このAFMには、多くの測定モードがあり、探針先端を試料表面にコンタクトさせるコンタクトモードAFM、探針を振動させながら試料に近づけ、探針の振幅が一定になるように測定するACモードAFM、探針を試料表面に接触させずに測定するNC(Non Contact)モードAFMが代表的なものである。
図4はACモードAFMの実施の形態例を示す構成図である。図において、1は試料、2はその上に試料1を載せ、3次元方向に試料1を移動させるスキャナ、3は該スキャナ2を移動させるモータである。該モータ3はパソコン(PC)14から駆動力を与えられるようになっている。
4はレーザ光を出射するレーザダイオード(LD)、5は圧電素子としてのPZT、6は該PZT5により微小振動を与えられるカンチレバ(以下探針という)である。7はレーザダイオード4により探針6上に照射された光の反射光を受けて電気信号に変換するフォトディテクタ(PD:以後光検出器という)、8は該光検出器7の出力を受けて信号の増幅を行なうプリアンプ、9は該プリアンプ8の出力を受けてRMS(実効値)を直流に変換するRMS−DCコンバータである。
10はRMS−DCコンバータ9の出力を一方の入力に、他方の入力に基準値発生部11からの基準値を受けてその差分を演算により求める誤差アンプ、11は基準値を発生する基準値発生部である。12は誤差アンプ10の出力を受けて、フィードバック信号を作成するフィードバック回路、13は該フィードバック回路12の出力であるトポグラフィック信号(表面形状信号)を受けて、アナログ信号をディジタル信号に変換するA/D変換器、14は該A/D変換器13の出力を受けて、所定の演算制御処理を行なうパソコン(PC)である。該PC14からは、モータ3に向けてモータ駆動信号が出力される。
15はプリアンプ8の出力を受けてFM復調を行なうFM復調器(D−PLL)である。16は該FM復調器15の出力を受けるアッテネータである。FM復調器15の出力は、アッテネータ16及びA/D変換器13に与えられる。17はフィードバック回路12の出力を受けてスキャナ2を駆動するHV−アンプである。FM復調器15の出力はA/D変換器13には、位相信号の直流成分として与えられる。このDC成分は、A/D変換器13の基準電圧となる。18はスキャン信号を発生させるスキャンジェネレータ、19は該スキャンジェネレータ18の出力を受けて増幅するHV−アンプである。該HV−アンプ19は、ステージをX,Y2次元方向に駆動する。25はオペレータが操作する操作部でありPC14と接続されている。該操作部25としては、例えばキーボードやマウス等が用いられる。このように構成された装置の動作を説明すれば、以下の通りである。
先ず、光学的顕微鏡(図示せず)と高さ方向(Z軸方向)調整手段(図示せず)を用いて試料1表面と探針(カンチレバ)6間の高さ方向の距離がほぼ数μmとなるように、オペレータが機械的にマニュアルで調整を行なう。その後、自動ボタンを押すと、装置は以下のような動作により更に試料1表面と探針6間の距離が最も適正な値になるまでフィードバックによる位置制御を行なう。その制御の概要は、以下の通りである。
探針6をPZT5により一定出力で加振して、探針6の先端部にレーザのスポットがくるように調整する。その際、反射したレーザ光を光検出器7で変位信号として検出し、プリアンプ8で増幅した後RMS−DCコンバータ9を通して探針6の振幅を検出する。また、この際、探針6に印加する波形と、光検出器7で検出した波形の間には位相差が生じているため、RMS−DCコンバータ9から出力される電圧値が最大になるように、FM復調器(D−PLL)15の中で位相の調整を行なう。次に、RMS−DC値が基準値と同じ値になるまで、PC14はモータ3を使用してステージを探針6に近づける(アプローチ)。アプローチが完了した状態で、スキャナ2に走査電圧を印加し、誤差アンプ10からの出力が0になるようにフィードバック回路12を動作させ、試料表面と探針間の距離の制御を行なう。
従来のこの種の装置としては、第1段階のアプローチでは設定された位相差値の最小変化量を用いて試料表面と探針間の距離が所定の位置で停止するようにし、第2段階のアプローチでは、スキャナのZ軸(高さ方向)の伸縮とステージの移動を組み合わせて動作させるようにした技術が知られている(例えば特許文献1参照)。
特開2007−33321号公報(段落0021〜0031、図2、図16)
コンタクトモードAFMで試料の表面形状を測定する場合、探針と試料表面間の距離は極めて小さいため、測定前のアプローチにおいて探針と試料表面とが衝突しないように、探針を緩やかに試料表面に接近させる必要がある。
従来のアプローチ手法では、そのアプローチ速度は一定のため、アプローチが完了するまで時間を要してしまう。特に、サンプルが高散乱性若しくは透明な試料においては、カンチレバーと試料間の距離は把握しにくい傾向にある。このため、アプローチ開始前の探針と試料間の距離を予め大きくとる必要があった。従って、アプローチ時間がかかってしまうという問題があった。
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであって、コンタクトAFMで測定を行なう時のアプローチ時間を短縮することができる走査型プローブ顕微鏡の探針と試料表面との距離制御方法及び走査型プローブ顕微鏡を提供することを目的としている。
(1)請求項1記載の発明は、探針を使用して試料表面を走査し、試料表面の凹凸を原子分解能で測定を行なう走査型プローブ顕微鏡において、第1段階では、探針への加振信号と探針からの信号を光検出器で検出した信号との位相差を算出し、該位相差信号の所定の変化を検出するまでACモードAFMによるフィードバック制御を行ない、次に、第2段階では、モードをコンタクトモードAFMに切り替えて、前記光検出器の出力である試料表面観察フィードバック信号を用いてフィードバック制御を行なって、探針と試料表面間の距離を制御することを特徴とする。
(2)請求項2記載の発明は、探針を使用して試料表面を走査し、試料表面の凹凸を原子分解能で測定を行なう走査型プローブ顕微鏡において、第1段階として、ACモードAFMで動作し、探針への加振信号と探針からの信号を光検出器で検出した信号との位相差を算出し、該位相差信号の所定の変化を検出するまでACモードAFMによるフィードバック制御を行なう第1の制御手段を有し、第2段階として、モードをコンタクトモードAFMに切り替えて、前記光検出器の出力である試料表面観察フィードバック信号を用いてフィードバック制御を行なって、探針と試料表面間の距離を制御する第2の制御手段とを有し、て構成されることを特徴とする。
(1)請求項1記載の発明によれば、第1段階で探針への加振信号と光検出信号との位相差信号を用いてフィードバック制御により該位相信号が所定の値になるまで、試料表面と探針間の距離を調整し、次に第2段階ではコンタクトモードAFMを用いてフィードバック制御を用いて探針と試料表面間の距離を制御するようにしたので、アプローチ時間を短縮することができる。
(2)請求項2記載の発明によれば、第1段階で探針への加振信号と光検出信号との位相差信号を用いてフィードバック制御により該位相信号が所定の値になるまで、試料表面と探針間の距離を調整し、次に第2段階ではコンタクトモードAFMを用いてフィードバック制御を用いて探針と試料表面間の距離を制御するようにしたので、アプローチ時間を短縮することができる。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態例を詳細に説明する。
図2は本発明方法の一実施の形態を示すフローチャートである。以下、このフローチャートに基づいて本発明方法を説明する。システムとしては、図1に示す構成を用いる。図1は本発明を実施するAFMの概略構成例を示す図である。図1において、図4と同一又は類似の動作をする構成要素には同じ番号を付与し、詳しい説明の重複を避ける。
図2は本発明方法の一実施の形態を示すフローチャートである。以下、このフローチャートに基づいて本発明方法を説明する。システムとしては、図1に示す構成を用いる。図1は本発明を実施するAFMの概略構成例を示す図である。図1において、図4と同一又は類似の動作をする構成要素には同じ番号を付与し、詳しい説明の重複を避ける。
図1に示すように、本発明を実施するAFMには、ACモードAFMとコンタクトモードAFMの測定モードを切り替える切り替えスイッチ21と22が設けられている。切り替えスイッチ21は光検出器7からプリアンプ8を通る変位信号側、切り替えスイッチ22はカンチレバ6を加振する加振信号側の信号経路をそれぞれ切り替えるためのものである。
切り替えスイッチ21と22がそれぞれ接点21aと22aに接続される時はACモードAFMとして動作し、切り替えスイッチ21と22がそれぞれ接点21bと22bに接続される時はコンタクトモードAFMとして動作する。切り替えスイッチ21と22の切り替えは、PC14により制御される。
図2に示すように、本発明は第1段階アプローチと、第2段階アプローチとから構成されている。この内、第1段階アプローチは従来のACモードAFMを用いた高速アプローチ、第2段階アプローチは本発明に基づくコンタクトモードAFMを用いたアプローチを示している。動作の主体は、図1に示す回路の動作制御を行なうパソコン(PC)14が行なう。
先ずコンタクトモードAFMでカンチレバ(探針)6の光軸調整を行なう(S1)。この光軸調整の方法は従来のやり方で行なうことができる。この光軸調整ができたら、オペレータは操作部25を操作して測定モードをコンタクトモードAFMからACモードAFMに切り替える(S2)。ここまでが、前処理段階である。
次に、第1段階アプローチに入る。
S3:ACモードAFMで探針の加振設定を行なう。
この際、オペレータはACモードAFM測定で必要となるカンチレバ6のチューニング(調整)を行なう。
S4:ACモードAFMのリファレンス値の算出、位相の調整を行なう。
S3:ACモードAFMで探針の加振設定を行なう。
この際、オペレータはACモードAFM測定で必要となるカンチレバ6のチューニング(調整)を行なう。
S4:ACモードAFMのリファレンス値の算出、位相の調整を行なう。
RMS−DC値が最大になるように、探針6の加振信号と光検出器7で検出される信号間の位相差調整を行なう。次に、アプローチ条件のリファレンス値を算出する。上記S3,S4の作業は、ACモードAFMで試料表面の観測を行なう際に通常行なう作業である。
S5:位相差の最小変化量の設定、アプローチ速度の設定を行なう。
S5:位相差の最小変化量の設定、アプローチ速度の設定を行なう。
モータアプローチを、位相差信号を検出して停止するために、操作部25から最小変化量を設定する。設定する最小変化量は、角度で設定し、通常2度前後を設定するが、試料や環境(大気、真空、液体等)の状態により、設定する角度は変化するので、状況に応じて設定する。また、最小変化量は角度で設定しているが、その単位は、例えば角度変換を行えば、ラジアンで設定することもできる。以上の最小変化量の設定は、オペレータが操作部25を操作して行なう。
位相差調整は、電気回路の中で、電圧値で計算されることから、電圧での設定でも可能である。次に、第1段階のアプローチの際に使用する、モータアプローチの速度を設定する。モータ3の速度は最大で50μm/secとしているが、ステージの構造、使用するモータによっても変わるので、操作部25から任意的に変更できるようにする。
S6:ステップS5で設定された速度で、モータアプローチを開始する。
S6:ステップS5で設定された速度で、モータアプローチを開始する。
この時のスキャナのZ軸方向の状態は、フィードバック回路12を動作させ図3の(b)に示すように伸びている状態とする。図3はスキャナの状態を示す図である。(a)はリトラクト状態を、(b)は最大振り幅まで伸びている状態を示す。
S7:PC14は指定位相差値と現在の位相差値との比較を行なう。
S7:PC14は指定位相差値と現在の位相差値との比較を行なう。
ステップS6のモータアプローチ中、PC14は位相差を観察する。アプローチ直前の位相差と、アプローチ中の位相差を比較して、ステップS5で設定された最小変化量だけ位相値が変化しているか観察する。アプローチ直前の位相差と、アプローチ中の位相差を比較して、ステップS5で設定された最小変化量だけ位相値が変化しているか観察する。位相差が最小変化量だけ変化していない場合は、モータアプローチを続行する。
S8:モータアプローチを停止する
ステップS6のアプローチ中、位相差がステップS4で設定された最小変化量だけ変化したら、PC14はモータアプローチを停止する。ステップS3〜ステップS8までの動作を第1段階のアプローチとする。以降は第2段階のアプローチである。
S9:スキャナをリトラクト状態にする
PC14はスキャナ2を一旦、リトラクト状態にする。その時の状態は図3の(a)に示すように一番縮んでいる状態にする。
S10:PC14は切り替えスイッチ21と22を制御して測定モードをACモードAFMからコンタクトモードAFMに切り替える。
S8:モータアプローチを停止する
ステップS6のアプローチ中、位相差がステップS4で設定された最小変化量だけ変化したら、PC14はモータアプローチを停止する。ステップS3〜ステップS8までの動作を第1段階のアプローチとする。以降は第2段階のアプローチである。
S9:スキャナをリトラクト状態にする
PC14はスキャナ2を一旦、リトラクト状態にする。その時の状態は図3の(a)に示すように一番縮んでいる状態にする。
S10:PC14は切り替えスイッチ21と22を制御して測定モードをACモードAFMからコンタクトモードAFMに切り替える。
以降のステップは第2段階アプローチである。
S11:スキャナ2をリトラクト状態にする
S12:スキャナ2の最大振り幅分の半分の距離分を、カンチレバ6と試料1の表面の距離が縮まる方向に移動する。
S13:スキャナ2をアプローチ状態にする。
S11:スキャナ2をリトラクト状態にする
S12:スキャナ2の最大振り幅分の半分の距離分を、カンチレバ6と試料1の表面の距離が縮まる方向に移動する。
S13:スキャナ2をアプローチ状態にする。
このアプローチ状態では、レーザダイオード4からの光がカンチレバ6に照射されるが、PZT5は加振されていない。従って、光検出器7の出力は直流となる。例えば、光検出器7の上半分の出力をA、下半分の出力をBとすると、該光検出器7からは、これらの信号の差分である(A−B)が出力される。この出力は、続くプリアンプ8で増幅された後、フォースシグナル(Force signal)となり誤差アンプ10で基準値発生部11の出力と比較される。
該誤差アンプ10の出力は、フィードバック回路12を介してHV−アンプ17に入る。HV−アンプ17は、入力信号に応じてスキャナ2を駆動する。この結果、試料1の表面とカンチレバ6の間のZ軸方向に距離が縮む方向にスキャナ2は駆動される。
S14:PC14は、フォース・シグナル値がリファレンス値になっているかどうかチェックする。フォース・シグナルはプリアンプ8の出力である。即ち、誤差アンプ10はフォース・シグナル値を基準値発生部11からの基準値と比較し、その出力をフィードバック回路12に与える。PC14はデジタルデータに変換された信号を入力し、その値が0になっているかどうかチェックする。0になっていない場合には、アプローチ動作を続行する。0になった場合には、PC14はその状態で回路の動作を停止させ、アプローチを終了する。
S14:PC14は、フォース・シグナル値がリファレンス値になっているかどうかチェックする。フォース・シグナルはプリアンプ8の出力である。即ち、誤差アンプ10はフォース・シグナル値を基準値発生部11からの基準値と比較し、その出力をフィードバック回路12に与える。PC14はデジタルデータに変換された信号を入力し、その値が0になっているかどうかチェックする。0になっていない場合には、アプローチ動作を続行する。0になった場合には、PC14はその状態で回路の動作を停止させ、アプローチを終了する。
なお、この場合において、モータアプローチを開始する時点で、位相差がステップS5で設定された最小変化量だけ変化している場合は、既に第1段階のアプローチは終了していることになるので、第1段階のアプローチは省略し、第2段階のアプローチS11から行なうようにする。
以上、説明したように、本発明によれば第1段階で探針への加振信号と光検出信号との位相差信号を用いてフィードバック制御により該位相信号が所定の値になるまで、試料表面と探針間の距離を調整し、次に第2段階ではコンタクトモードAFMを用いてフィードバック制御により探針と試料表面間の距離を制御するようにしたので、アプローチ時間を短縮することができる。
1 試料
2 スキャナ
3 モータ
4 レーザダイオード
5 圧電素子(PZT)
6 探針
7 フォトディテクタ(PD)
8 プリアンプ
10 誤差アンプ
11 基準値発生部
12 フィードバック回路
13 A/D変換器
14 パソコン(PC)
15 FM復調器
16 アッテネータ
17 HV−アンプ
18 スキャンジェネレータ
19 HV−アンプ
21 切り替えスイッチ(変位信号側)
22 切り替えスイッチ(加振信号側)
25 操作部
2 スキャナ
3 モータ
4 レーザダイオード
5 圧電素子(PZT)
6 探針
7 フォトディテクタ(PD)
8 プリアンプ
10 誤差アンプ
11 基準値発生部
12 フィードバック回路
13 A/D変換器
14 パソコン(PC)
15 FM復調器
16 アッテネータ
17 HV−アンプ
18 スキャンジェネレータ
19 HV−アンプ
21 切り替えスイッチ(変位信号側)
22 切り替えスイッチ(加振信号側)
25 操作部
Claims (2)
- 探針を使用して試料表面を走査し、試料表面の凹凸を原子分解能で測定を行なう走査型プローブ顕微鏡において、
第1段階では、探針への加振信号と探針からの信号を光検出器で検出した信号との位相差を算出し、該位相差信号の所定の変化を検出するまでACモードAFMによるフィードバック制御を行ない、
次に、第2段階では、モードをコンタクトモードAFMに切り替えて、前記光検出器の出力である試料表面観察フィードバック信号を用いてフィードバック制御を行なって、探針と試料表面間の距離を制御することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡の探針と試料表面間の距離制御方法。 - 探針を使用して試料表面を走査し、試料表面の凹凸を原子分解能で測定を行なう走査型プローブ顕微鏡において、
第1段階として、ACモードAFMで動作し、探針への加振信号と探針からの信号を光検出器で検出した信号との位相差を算出し、該位相差信号の所定の変化を検出するまでACモードAFMによるフィードバック制御を行なう第1の制御手段を有し、
第2段階として、モードをコンタクトモードAFMに切り替えて、前記光検出器の出力である試料表面観察フィードバック信号を用いてフィードバック制御を行なって、探針と試料表面間の距離を制御する第2の制御手段とを有し、
て構成されることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
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JP2008066458A JP2009222520A (ja) | 2008-03-14 | 2008-03-14 | 走査型プローブ顕微鏡の探針と試料表面との距離制御方法及び走査型プローブ顕微鏡 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2013178287A (ja) * | 2009-02-10 | 2013-09-09 | Hitachi High-Tech Science Corp | 走査型プローブ顕微鏡における探針とサンプルの近接方法 |
CN110134002A (zh) * | 2018-02-09 | 2019-08-16 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 一种基于超声afm闭环系统的可控深度表面缺陷加工方法 |
CN112684212A (zh) * | 2020-12-26 | 2021-04-20 | 温州大学 | 一种原子力显微镜液相成像方法 |
-
2008
- 2008-03-14 JP JP2008066458A patent/JP2009222520A/ja not_active Withdrawn
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