JP2008300820A - 相変化メモリ装置とその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】相変化メモリ装置100は、相変化メモリセルのアレイからなる。各相変化メモリセルは、基板110上に設置された選択的なMOSトランジスタを有する。直立電極構造135は、導電プラグ130によりトランジスタに電気的に接続される。直立相変化メモリ層140が直立電極構造135に重畳されて接触領域145で接触し、接触領域145は相転移位置になる。直立加熱電極135と直立相変化メモリ層140を導入することにより、最小接触領域が達成され、操作電流がさらに減少する。
【選択図】図3
Description
20 導線
32、60 電極構造
34、65 絶縁層
40、74 相変化メモリ層
50、72 誘電層
55 金属プラグ
76 金属導線
80 パッシベーション層
100 相変化メモリセル
110 基板
115 第一誘電層
120 ゲート電極
122 ソース
124 ドレイン
130、130a、130b、130c、130d、130e 導電プラグ
132 第二誘電層
133 開口
135 直立電極構造
136 第三誘電層
138、246 第四誘電層
E 異方性エッチバック工程
140 直立相変化メモリ層
140a 第一直立相変化メモリ層
140b 第二直立相変化メモリ層
140’、140” 第二導電スペーサ
142 スペーサ壁
I 傾斜したイオン注入
145、145a、145b 接触点
146、238 第五誘電層
147 トレンチ
150 ビットライン
150a 第一ビットライン
150b 第二ビットライン
222、224、226 BJTの3つの電極
240 クラッド金属層
256 第六誘電層
257 接触ウィンドウ
258 接触プラグ
M11、M12、M21、M22、N11 相変化メモリ素子
Claims (37)
- 相変化メモリ装置であって、
基板上に設置される電流制御装置と、
前記電流制御装置に電気的に接続される直立電極構造と、
前記直立電極構造上に重畳され、第一接触点で接触する第一直立相変化メモリ層と、
からなり、前記第一接触点は、第一相変化メモリセルの相転移位置になることを特徴とする相変化メモリ装置。 - 前記直立電極構造は金属壁構造であることを特徴とする請求項1記載の相変化メモリ装置。
- 前記第一直立相変化メモリ層は単一の壁構造で、相変化材料は半導体、あるいは、半金属であることを特徴とする請求項1記載の相変化メモリ装置。
- 前記直立電極構造と前記第一直立相変化メモリ層は直立状態で交差し、前記直立電極構造と前記第一直立相変化メモリ層は垂直、あるいは、非垂直で交差することを特徴とする請求項1記載の相変化メモリ装置。
- 前記直立電極構造は、遷移金属、希土類金属、あるいは、それらの合金、窒化物、炭化物、ニトロカーバイドなどを含む高Tm(融点)導電材料からなることを特徴とする請求項2記載の相変化メモリ装置。
- 前記第一直立相変化メモリ層は相変化メモリ材料からなり、生成された位相の状態を制御することによりメモリの作用を達成することを特徴とする請求項3記載の相変化メモリ装置。
- 前記相変化メモリ材料は、群III、群IV、群V、群VI金属、あるいは、それらの合金からなることを特徴とする請求項6記載の相変化メモリ装置。
- 前記電流制御素子はトランジスタ素子であることを特徴とする請求項1記載の相変化メモリ装置。
- さらに、前記直立電極構造上に重畳された第二直立相変化メモリ層からなり、第二接触点で接触し、前記第二接触点は第二相変化メモリセルの相転移位置となることを特徴とする請求項1記載の相変化メモリ装置。
- 前記第二直立相変化メモリ層は単一の壁構造であることを特徴とする請求項9記載の相変化メモリ装置。
- 前記直立電極構造と前記第二直立相変化メモリ層は直立状態で交差し、前記直立電極構造と前記直立相変化メモリ層は垂直、あるいは、非垂直で交差することを特徴とする請求項9記載の相変化メモリ装置。
- 前記第二直立相変化メモリ層は、相変化メモリ材料からなり、生成された位相の状態を制御することによりメモリの作用を達成することを特徴とする請求項10記載の相変化メモリ装置。
- 前記相変化メモリ材料は、群III、群IV、群V、群VI金属、あるいは、それらの合金からなることを特徴とする請求項12記載の相変化メモリ装置。
- 前記第一、第二直立相変化メモリ層はそれぞれ2つの異なる導電線に接続され、各導電線は前記相変化メモリ装置のビットラインに対応することを特徴とする請求項9記載の相変化メモリ装置。
- さらに、
前記基板上で、複数の電流制御素子に対応するアレイに配列された複数の前記第一相変化メモリセルと、
第一方向に沿って、各電流制御素子に直列に接続する複数のワードラインと、
第二方向に沿って、各第一直立相変化メモリ層に直列に接続する複数のビットラインと、
からなり、前記第一、および、第二方向は直角で交差することを特徴とする請求項1記載の相変化メモリ装置。 - さらに、
前記基板上で、複数の電流制御素子に対応するアレイに配列された複数の前記第一相変化メモリセルと複数の前記第二相変化メモリセルと、
第一方向に沿って、各電流制御素子に直列に接続する複数のワードラインと、
第二方向に沿って、各第一直立相変化メモリ層に直列に接続する複数のビットラインと、
前記第二方向に沿って、各第二直立相変化メモリ層に直列に接続する複数の第二ビットラインと、
からなり、前記第一、および、第二方向は直角で交差することを特徴とする請求項9記載の相変化メモリ装置。 - 前記複数の電流制御素子は、第一組のトランジスタサブアレイと第二組のトランジスタサブアレイを有するアレイに配列されることを特徴とする請求項16記載の相変化メモリ装置。
- 前記第一組のトランジスタサブアレイと前記第二組のトランジスタサブアレイは、たがいに1/2並進対称性に設定されることを特徴とする請求項17記載の相変化メモリ装置。
- 相変化メモリ装置の製造方法であって、
電流制御素子を有する基板を提供する工程と、
直立電極構造を前記基板上に形成し、前記電流制御素子に電気的に接続する工程と、
前記直立電極構造上に第一直立相変化メモリ層と第二直立相変化メモリ層を形成する工程と、
からなることを特徴とする相変化メモリ装置の製造方法。 - 前記電流制御素子はトランジスタ素子であることを特徴とする請求項19記載の相変化メモリ装置の製造方法。
- 前記基板は、第一誘電層と、前記第一誘電層中の導電プラグとからなり、前記導電プラグは前記電流制御素子と前記直立電極構造に電気的に接続することを特徴とする請求項19記載の相変化メモリ装置の製造方法。
- 前記直立電極構造の形成方法は、
前記第一誘電層上に第二誘電層を形成する工程と、
前記第二誘電層をパターン化して、方形開口を形成し、前記導電プラグを露出する工程と、
前記第二誘電層と前記方形開口上に、第一導電層を蒸着する工程と、
前記第一導電層上に第三誘電層を蒸着して、前記方形開口を充填する工程と、
前記第三誘電層と前記第一導電層を、前記第二誘電層が露出するまで平坦化し、導電壁構造を形成する工程と、
からなることを特徴とする請求項19記載の相変化メモリ装置の製造方法。 - 前記第一導電層は、遷移金属、希土類金属、あるいは、それらの合金、窒化物、炭化物、ニトロカーバイドなどを含む高Tm(融点)導電材料からなることを特徴とする請求項22記載の相変化メモリ装置の製造方法。
- 第一直立相変化メモリ層と第二直立相変化メモリ層の形成方法は、
前記第三誘電層上に、第四誘電層を形成する工程と、
前記第四誘電層をパターン化して、方形島構造を形成する工程と、
前記第四誘電層と前記第三誘電層上に、第二導電層を蒸着する工程と、
前記第二導電層を異方性エッチングして、前記方形島構造上にスペーサを形成する工程と、
第二方向に平行な一対のスペーサ壁を絶縁化し、第一方向に平行な一対のスペーサ壁を保留して、第一直立相変化メモリ層と第二直立相変化メモリ層とする工程と、
からなることを特徴とする請求項19記載の相変化メモリ装置の製造方法。 - 前記第一直立相変化メモリ層と前記第二直立相変化メモリ層は、相変化メモリ材料からなり、生成された位相の状態を制御することによりメモリの作用を達成することを特徴とする請求項24記載の相変化メモリ装置の製造方法。
- 前記相変化メモリ材料は、群III、群IV、群V、群VI金属、あるいは、それらの合金からなることを特徴とする請求項25記載の相変化メモリ装置の製造方法。
- 第二方向に平行な一対の前記スペーサ壁の絶縁は、酸素、あるいは、窒素イオンを、前記第二方向に平行な一対のスペーサ壁に注入する工程を含むことを特徴とする請求項24記載の相変化メモリ装置の製造方法。
- さらに、前記第二方向に沿って、前記第一直立相変化メモリ層を接続する第一ビットラインの形成工程と、前記第二直立相変化メモリ層に接続する第二ビットラインの形成工程を含むことを特徴とする請求項19記載の相変化メモリ装置の製造方法。
- 前記第一、および、前記第二ビットラインの形成方法は、
前記第四誘電層上に第五誘電層を蒸着して、前記第五誘電層を平坦化する工程と、
前記第五誘電層をエッチングして、第一トレンチと第二トレンチを前記第二方向に沿って形成し、前記第一、および、前記第二直立相変化メモリ層を露出する工程と、
前記第五誘電層上に第三金属層を蒸着し、前記第一トレンチと前記第二トレンチを充填する工程と、
前記第三導電層をエッチングして、前記第一、および、前記第二ビットラインを形成する工程と、
からなることを特徴とする請求項28記載の相変化メモリ装置の製造方法。 - 第一直立相変化メモリ層と第二直立相変化メモリ層の形成方法は、
前記第三誘電層上に第四誘電層を形成する工程と、
前記第四誘電層をパターン化して、前記第二方向に沿って、棒状の島構造を形成する工程と、
前記第三と前記第四誘電層上に第五誘電層を形成して、前記第五誘電層を平坦化する工程と、
前記第五誘電層上にクラッド金属層を形成する工程と、
前記クラッド金属層と前記第五誘電層をパターン化して、方形の島構造を形成する工程と、
前記クラッド金属層と前記第四誘電層上に、第二導電層を蒸着する工程と、
前記第二導電層を異方性エッチングして、前記方形島構造上にスペーサを形成する工程と、
からなり、前記第二方向に平行な前記第二導電層の一対のスペーサ壁は、前記棒状の島構造により前記直立電極構造から絶縁され、前記第二方向に平行な前記第二導電層の一対のスペーサ壁は、第一直立相変化メモリ層と第二直立相変化メモリ層となることを特徴とする請求項22記載の相変化メモリ装置の製造方法。 - 前記第一直立相変化メモリ層と前記第二直立相変化メモリ層は相変化メモリ材料からなり、生成された位相の状態を制御することによりメモリの作用を達成することを特徴とする請求項30記載の相変化メモリ装置の製造方法。
- 前記相変化メモリ材料は、群III、群IV、群V、群VI金属、あるいは、それらの合金からなることを特徴とする請求項30記載の相変化メモリ装置の製造方法。
- さらに、前記第二方向に沿って、前記第一直立相変化メモリ層を接続する第一ビットラインの形成工程と、前記第二直立相変化メモリ層に接続する第二ビットラインの形成工程を含むことを特徴とする請求項30記載の相変化メモリ装置の製造方法。
- 前記第一、および、前記第二ビットラインの形成方法は、
前記第五誘電層上に第六誘電層を蒸着して、前記第六誘電層を平坦化する工程と、
前記第六誘電層をエッチングして、複数の接触ウィンドウを形成し、前記クラッド金属層を露出する工程と、
前記第六誘電層上に第三導電層を蒸着し、前記複数の接触ウィンドウを充填して、複数の接触プラグを形成する工程と、
前記第二方向に沿って、前記第三導電層をエッチングして、前記第一、および、前記第二ビットラインを形成する工程と、
からなることを特徴とする請求項33記載の相変化メモリ装置の製造方法。 - 相変化メモリ装置の製造方法であって、
アレイで配列される複数の電流制御素子と、前記電流制御素子に直列に接続される複数のワードラインを有する基板を提供する工程と、
前記基板上で各電流制御素子に対応し、前記電流制御素子に電気的に接続する直立電極構造を形成する工程と、
前記直立電極構造上に第一直立相変化メモリ層を形成して、第一接触点と接触し、前記第一接触点は第一相変化メモリセルとなる工程と、
前記直立電極構造上に第二直立相変化メモリセル層を形成して、第二接触点と接触し、前記第二接触点は第二相変化メモリセルとなる工程と、
からなり、前記第一相変化メモリセルは前記第二相変化メモリセルに平行であることを特徴とする相変化メモリ装置の製造方法。 - 前記複数の電流制御素子は、第一組のトランジスタサブアレイと第二組のトランジスタサブアレイからなるアレイに配列されることを特徴とする請求項35記載の相変化メモリ装置の製造方法。
- 前記第一組のトランジスタサブアレイと前記第二組のトランジスタサブアレイは、たがいに1/2並進対称性に設定されることを特徴とする請求項36記載の相変化メモリ装置の製造方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW096119447A TWI336128B (en) | 2007-05-31 | 2007-05-31 | Phase change memory devices and fabrication methods thereof |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008300820A true JP2008300820A (ja) | 2008-12-11 |
Family
ID=40087087
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008083252A Pending JP2008300820A (ja) | 2007-05-31 | 2008-03-27 | 相変化メモリ装置とその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20080296554A1 (ja) |
JP (1) | JP2008300820A (ja) |
TW (1) | TWI336128B (ja) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A711 | Notification of change in applicant |
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|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20100602 |
|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A02 | Decision of refusal |
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