JP2008292871A - 描画データの作成方法および描画方法 - Google Patents
描画データの作成方法および描画方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008292871A JP2008292871A JP2007139819A JP2007139819A JP2008292871A JP 2008292871 A JP2008292871 A JP 2008292871A JP 2007139819 A JP2007139819 A JP 2007139819A JP 2007139819 A JP2007139819 A JP 2007139819A JP 2008292871 A JP2008292871 A JP 2008292871A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- data
- drawing data
- pattern
- closed
- line segment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 92
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 34
- 238000013461 design Methods 0.000 claims abstract description 23
- 238000004513 sizing Methods 0.000 claims description 26
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 10
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 10
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 2
- 238000009877 rendering Methods 0.000 description 2
- 230000008719 thickening Effects 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000012615 high-resolution technique Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
【解決手段】設計データから電子線またはレーザ描画装置の描画データを作成する描画データの作成方法において、前記設計データのパターン図形を複数の描画基本図形の単位に分解し、該基本図形の外周を線分と頂点で表現した閉図形として定義し、前記線分を基準に前記閉図形の外側か内側のいずれかに、または外側と内側の両方に、前記線分に沿った任意の幅の帯状の輪郭部を定義し、かつ前記輪郭部の内側を内側部として定義し、前記各々の図形定義を一つの描画データフォーマット上で表現して描画データとすることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
特許文献1に記載された発明は、描画データとして、最大描画グリッドで表現したパターン内部データと細かな描画グリッドで表現したパターンエッジデータとの別々の描画データを用いて描画を行っている。特許文献2に記載された発明は、図形を太らせたり、細らせたり、減算することにより二種類のマスクパターンを発生させて二つの描画データを得ている。また、特許文献3には、レーザ露光(描画)において図形の細らせ処理と太らせ処理を行なって露光する露光方法が記載されている。
次に、本発明の描画データの形成方法および描画方法について、さらに詳しく説明する。
図3は、本発明の描画データの作成方法、および描画方法の第1の実施形態を示す説明図であり、閉図形の一例として四角形の内側に輪郭部を設けた場合である。
先ず、図3(a)に示すように、設計データのパターン図形を描画基本図形に分解し、四角形状の描画基本図形の外周を線分(破線のライン)と4点((Xa,Ya)〜(Xd,Yd))で表現した閉図形として定義する。
上記の各定義は、描画データ中に定義するか、または描画装置の描画パラメタでも指定が可能とする。
図4は、本発明の描画データの作成方法、および描画方法の第2の実施形態を示す説明図であり、閉図形の外側に輪郭部を設けた場合である。
先ず、図4(a)に示すように、設計データのパターン図形を描画基本図形に分解し、四角形状の描画基本図形の外周を線分(破線のライン)と4点((Xa,Ya)〜(Xd,Yd))で表現した閉図形として定義する。
上記の各定義は、描画データ中に定義するか、または描画装置の描画パラメータでも指定が可能とする。
図5は、本発明の描画データの作成方法、および描画方法の第3の実施形態を説明するためのフローチャートである。フォトマスクの設計データ51としては、実施形態1および2と同じく、通常、レイアウトデータを多角形(ポリゴン)で表現したGDSIIデータが用いられる。図5に示す描画データ変換52において、設計データ51としてのポリゴンパターンは、基本図形である複数の四角形あるいは三角形の単位に分解される。
本実施形態はサイジングを行う場合であって、2つの場合について以下に説明する。
図7は、本実施形態の第2の場合を示す説明図であり、閉図形の一例として四角形の内側に輪郭部を設けた場合である。図7(a)に示すように、基本図形の外周を線分(破線のライン)と、例えば、4点の頂点(Xa,Ya)〜(Xd,Yd)で表現した閉図形として定義する。
12、52 描画データ変換
13 輪郭部と内側部のパターンの描画データ
14、15、54 描画装置
53 サイジング量定義つきパターンの描画データ
81、101、111 設計データ
82、102、112 描画データ変換
83 輪郭部のみのパターンの描画データ
84 内側部のみのパターンの描画データ
85、86、104 描画装置
103 サイジング済みのパターンの描画データ
Claims (4)
- 設計データから電子線またはレーザ描画装置の描画データを作成する描画データの作成方法において、
前記設計データのパターン図形を複数の描画基本図形の単位に分解し、該基本図形の外周を線分と頂点で表現した閉図形として定義し、
前記線分を基準に前記閉図形の外側か内側のいずれかに、または外側と内側の両方に、前記線分に沿った任意の幅の帯状の輪郭部を定義し、かつ前記輪郭部の内側を内側部として定義し、
前記各々の図形定義を一つの描画データフォーマット上で表現して描画データとすることを特徴とする描画データの作成方法。 - 請求項1に記載の描画データの作成方法において、
前記線分に沿った任意の幅の帯状の輪郭部をサイジング部として固定、または可変と定義し、かつ前記輪郭部の内側を内側部として定義し、
前記各々の図形定義を一つの描画データフォーマット上で表現して描画データとすることを特徴とする描画データの作成方法。 - 設計データから電子線またはレーザ描画装置の描画データを作成し所定の基板上に描画する描画方法において、
前記設計データのパターン図形を複数の描画基本図形の単位に分解し、該基本図形の外周を線分と頂点で表現した閉図形として定義し、
前記線分を基準に前記閉図形の外側か内側のいずれかに、または外側と内側の両方に、前記線分に沿った任意の幅の帯状の輪郭部を定義し、かつ前記輪郭部の内側を内側部として定義し、
前記各々の図形定義を一つの描画データフォーマット上で表現して描画データとし、
前記輪郭部を照射面積の小さい可変成形電子線の小ショットまたは微小スポットの電子線で描画し、前記内側部を照射面積の大きいレーザまたは可変成形電子線の大ショットで描画することを特徴とする描画方法。 - 設計データから電子線またはレーザ描画装置の描画データを作成し所定の基板上に描画する描画方法において、
前記設計データのパターン図形を複数の描画基本図形の単位に分解し、該基本図形の外周を線分と頂点で表現した閉図形として定義し、
前記線分を基準に前記閉図形の外側か内側のいずれかに、前記線分に沿った任意の幅の帯状の輪郭部をサイジング部として固定、または可変と定義し、かつ前記輪郭部の内側を内側部として定義し、
前記各々の図形定義を一つの描画データフォーマット上で表現して描画データとし、
前記描画装置にて、前記描画データ中に前記輪郭部を固定と定義されたサイジング部としてそのまま描画するか、または描画時に可変としたい時には、前記輪郭部をサイジング量として描画パラメータにて指定して描画することを特徴とする描画方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007139819A JP5126484B2 (ja) | 2007-05-28 | 2007-05-28 | 描画データの作成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007139819A JP5126484B2 (ja) | 2007-05-28 | 2007-05-28 | 描画データの作成方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012089797A Division JP2012134570A (ja) | 2012-04-11 | 2012-04-11 | 描画方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008292871A true JP2008292871A (ja) | 2008-12-04 |
JP5126484B2 JP5126484B2 (ja) | 2013-01-23 |
Family
ID=40167620
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007139819A Active JP5126484B2 (ja) | 2007-05-28 | 2007-05-28 | 描画データの作成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5126484B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010129900A (ja) * | 2008-11-28 | 2010-06-10 | Dainippon Printing Co Ltd | 描画データ作成プログラム、描画データ作成方法、描画データ作成装置、描画システム |
JP2020160070A (ja) * | 2017-10-10 | 2020-10-01 | 株式会社 ミックウェア | 情報処理装置及びプログラム |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02138723A (ja) * | 1987-12-18 | 1990-05-28 | Hitachi Ltd | 電子線描画装置及び描画方法 |
JPH02210814A (ja) * | 1989-02-10 | 1990-08-22 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JPH02218115A (ja) * | 1989-02-20 | 1990-08-30 | Toshiba Corp | パターン形成方法 |
JPH0426109A (ja) * | 1990-05-21 | 1992-01-29 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 図形パターン発生方法 |
JPH08195339A (ja) * | 1995-01-18 | 1996-07-30 | Hitachi Ltd | 電子ビーム描画方法 |
JPH09298145A (ja) * | 1996-05-07 | 1997-11-18 | Mitsubishi Electric Corp | 電子ビーム描画データ作成装置 |
JPH10209000A (ja) * | 1997-01-17 | 1998-08-07 | Sony Corp | 電子ビーム描画装置及びパターン描画方法 |
JP2002260982A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-09-13 | Jeol Ltd | 可変面積型電子ビーム描画装置を用いた描画方法 |
JP2003195511A (ja) * | 2001-12-27 | 2003-07-09 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 露光方法及び露光装置 |
-
2007
- 2007-05-28 JP JP2007139819A patent/JP5126484B2/ja active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02138723A (ja) * | 1987-12-18 | 1990-05-28 | Hitachi Ltd | 電子線描画装置及び描画方法 |
JPH02210814A (ja) * | 1989-02-10 | 1990-08-22 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JPH02218115A (ja) * | 1989-02-20 | 1990-08-30 | Toshiba Corp | パターン形成方法 |
JPH0426109A (ja) * | 1990-05-21 | 1992-01-29 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 図形パターン発生方法 |
JPH08195339A (ja) * | 1995-01-18 | 1996-07-30 | Hitachi Ltd | 電子ビーム描画方法 |
JPH09298145A (ja) * | 1996-05-07 | 1997-11-18 | Mitsubishi Electric Corp | 電子ビーム描画データ作成装置 |
JPH10209000A (ja) * | 1997-01-17 | 1998-08-07 | Sony Corp | 電子ビーム描画装置及びパターン描画方法 |
JP2002260982A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-09-13 | Jeol Ltd | 可変面積型電子ビーム描画装置を用いた描画方法 |
JP2003195511A (ja) * | 2001-12-27 | 2003-07-09 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 露光方法及び露光装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010129900A (ja) * | 2008-11-28 | 2010-06-10 | Dainippon Printing Co Ltd | 描画データ作成プログラム、描画データ作成方法、描画データ作成装置、描画システム |
JP2020160070A (ja) * | 2017-10-10 | 2020-10-01 | 株式会社 ミックウェア | 情報処理装置及びプログラム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5126484B2 (ja) | 2013-01-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4378648B2 (ja) | 照射パターンデータ作成方法、マスク製造方法、及び描画システム | |
US11340584B2 (en) | Synchronized parallel tile computation for large area lithography simulation | |
JP2007243177A (ja) | ゲートパターンを形成するための二重露光二重レジスト層プロセス | |
JP2005079111A (ja) | 電子線描画データ作成方法、作成装置及び作成プログラム並びに電子線描画装置 | |
JP4160203B2 (ja) | マスクパターン補正方法及びマスクパターン補正プログラムを記録した記録媒体 | |
JP5988569B2 (ja) | 決定方法、決定装置およびプログラム | |
TWI722454B (zh) | 改善臨界尺寸一致性的方法與系統 | |
JP2007102207A (ja) | 複雑度低減のためのルールベース光学近接効果補正における可変バイアス・ルールの作成および適用 | |
JP5126484B2 (ja) | 描画データの作成方法 | |
JP2007155927A (ja) | 回折光学素子作製方法と回折光学素子、および該作製方法に用いられるレチクルマスク | |
KR100690543B1 (ko) | 패턴 데이터 작성 방법, 패턴 데이터 작성 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독 가능한 기록매체, 컴퓨터 및 반도체 장치의 제조 방법 | |
JP2009210707A (ja) | フォトマスク及びその設計方法と設計プログラム | |
JPH11202470A (ja) | マスク製造のための近接効果補正方法 | |
JP2009065036A (ja) | 図形パターン分割方法及びその方法を用いた描画装置、フォトマスク | |
JP2007123342A (ja) | 半導体装置の製造方法。 | |
JP2009271174A (ja) | マスクパターン作成方法及びパターン形成方法 | |
JP2012134570A (ja) | 描画方法 | |
JP5810642B2 (ja) | マスクデータ生成方法及びそれを用いたマスクの製造方法 | |
JP2009216936A (ja) | 階層構造を用いたフォトマスクデータの処理方法、フォトマスクデータ処理システム、および、製造方法 | |
TWI548932B (zh) | 用於雙重曝光製程的光罩組暨使用該光罩組的方法 | |
JP4631573B2 (ja) | 濃度分布マスクの製造方法 | |
JP2005316135A (ja) | 設計パターン補正方法と設計パターン作成方法及びプロセス近接効果補正方法 | |
JP2005003996A (ja) | フォトマスクとフォトマスクの製造方法及びマスクデータ生成方法 | |
JP2008203398A (ja) | フォトマスクのパターン補正方法及びフォトマスク | |
JP2011071393A (ja) | 露光パターン生成方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100416 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120117 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120214 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120411 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121003 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121016 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5126484 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151109 Year of fee payment: 3 |