JP2008291329A - ブリッジレスのエッチング製品およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
製造の作業性と検査の作業性が向上したブリッジレスのエッチング製品とその製造方法を提供する。この際、テープに貼った状態で客先に提供できるものとし、しかも、必要に応じ、任意に単体製品を配置できるものとする。
【解決手段】
金属板上に、複数のエッチング製品単体を個別に相互に間隔を置いて離間して設けられており、これに、UV粘着消失テープを貼り付けられていることを特徴とするブリッジレスのエッチング製品
【選択図】図1
Description
そこで、ブリッジの無い製品を作製するために、ブリッジのないブリッジレスのパターンを形成したパターン露光用フォトマスクを用いて、整面、レジストコートした金属シートに、露光、現像を行った後に、金属シートの片面に粘着テープを貼り、片面エッチングを行い、レジストを剥離、水洗、乾燥した後、部品単体を一個づつ粘着テープから剥がして製品にしている。或いは、もう一つの方法として、金属シートの片面に粘着テープを貼り、金属シートの他方の面をハーフエッチングし、水洗、乾燥後、レジストが付いた状態で、エッチング面に粘着テープを貼り、既に貼ってあるテープを剥がし再度反対側からエッチングし、レジストを剥離することも行われている。
このように、レジストが付いた状態でテープに貼られた個別の製品単体を一個づつテープから剥がし、これを籠、バットのような容器に入れて、剥離液を入れて、レジストを剥離、水洗し、乾燥している(特許文献1)。
この場合、UV粘着消失テープは、長尺のシート状またはロール状であることが好ましい。そして、金属板に、UV粘着消失テープを貼り付け、この金属板の金属面に、フォトレジストをコートし、露光、現像、エッチング剥離を行って、複数の製品単体パターンを相互に間隔をおいて離間して設けたブリッジレスのエッチング製品を得ることが好ましい。また、これをそのまま客先に提供することも好ましい。この場合、長尺のシート状またはロール状であることが好ましい。そして、さらに、外観検査を行うことが好ましい。さらに、UV光を全面照射し、UV粘着消失テープを剥膜して、個別の単体製品を得ることが好ましい。
本発明では、このようなUV粘着消失テープを金属板に貼り付ける。そして、貼り付け体に、公知のフォトエッチング法に従い、金属板表面にフォトレジストコートを行う。その後、公知のフォトエッチング法に従い、露光・現像・エッチング・剥離を施して、エッチング処理が行われて、ブリッジレスのエッチング製品が完成する。このようなエッチング処理によって作成されるエッチング製品は、複数の製品単体を相互に離間して、ブリッジレスの状態で配置されている。この場合、ブリッジレスの製品は、長尺のシート状、或いは、ロール状で、客先に提供されるものである。なお、特開2006−114779号公報には、UV粘着消失テープを金属板に貼り付けてエッチング処理を施す旨が開示されているが、しかし、この公報には、複数の製品単体を配置することも、それらを離間して、ブリッジレスの状態で配置することも、その後、何ら、処理を行わないでシート状、或いは、ロール状で、客先に、製品として提供すること等も、開示も示唆もされていない。このため、本発明による優れた効果についても示唆さへされていない。
そして、この次ぎに、このブリッジレスのエッチング製品は、必要に応じ、外観検査を行う。この外観検査は、出荷元が行う場合と客先で行う場合との双方がある。そして、客先では、UV光を全面照射すればよい。このUV光照射により、容易に一個づつの個別の製品単体を得ることができる。
図2には、本発明の第2の実施例が示される。図2に示される例は、金属板の板厚が0.3mmより大であって、板厚が厚い場合の例である。金属板の板厚が薄い場合は、一方の面からのエッチングで、金属板に貫通パターンを形成できる。しかし、金属板が厚くなると、一方の面側からのエッチングだけでは、精度の良い貫通パターンが得られなくなる。第2の実施例では、金属板が厚い場合でも精度の良いパターンが得られるのである。この場合も、図2(a)に示されるように、金属板1の脱脂および整面を行う。この場合は、次いで、図2(b)に示されるように、この金属板1の両方の面に、フォトレジスト3,3をコートする。次に、図2(c)、(d)に示されるように、露光して、図2(e)に示されるように、現像を行う。その後、図2(f)に示されるように、現像後の一方の面に、UV粘着消失テープ2を貼り付ける。その後、図2(g)に示されるように、片面をエッチングして、その後に、図2(h)に示されるように、エッチング面を剥離した後に、UV照射を行い、UV粘着消失テープを剥膜して、さらに、図2(i)に示されるように、再び、UV粘着消失テープ2を逆側の面に貼り付けて、図2(j)に示されるように、エッチングを行なった後に、レジストを剥膜すれば、エッチング製品が得られる。その後、前記と同様に、必要に応じて図2(k)に示されるように、UV照射して、テープの剥膜を行えばよい。
図3には、本発明の適用例が示される。本発明は、図3(a)に示されるような矩形や図3(b)に示されるようなリング状や、図3(e)に示されるような渦巻き状や図3(d)に示されるようなスパイラル状等種々の形状の単体製品に適用可能である。しかも、UV粘着消失テープへのエッチングは、シート状、ロール状等の長尺シートに行うことができるので、製造上有利である。
金属板として、厚さ0.05mmのステンレス箔を用意した。このステンレス箔に、上述した図1に示される工程に従い、日立化成工業株式会社製の品番HAE-1606のUV粘着消失テープを貼付けて、これに、フォトレジストコート・露光・現像を行い、間隔0.5mmで、0.5mm幅の形状のストライプをエッチングした。その後、テープを剥膜した。その結果、良好なエッチング製品が完成していた。
このような結果は、図2に示される板厚0.3mm超の場合も同様に実現した。
2UV粘着消失テープ
Claims (7)
- 複数のエッチング製品単体が個別に相互に間隔を置いて離間して設けられており、これに、UV粘着消失テープが貼り付けられていることを特徴とするブリッジレスのエッチング製品。
- 前記UV粘着消失テープが長尺のシート状またはロール状である請求項1のブリッジレスのエッチング製品。
- 金属板に、UV粘着消失テープを貼り付け、前記金属板の金属面に、フォトレジストをコートし、露光、現像、エッチング剥離を行って、複数の製品単体パターンを相互に間隔をおいて離間して設けたブリッジレスのエッチング製品を得る請求項1または2のブリッジレスのエッチング製品の製造方法。
- そのまま客先に提供する請求項3のブリッジレスのエッチング製品の製造方法。
- 長尺のシート状またはロール状である請求項3または4のブリッジレスのエッチング製品の製造方法。
- 外観検査を行う請求項3〜5のいずれかのブリッジレスのエッチング製品の製造方法。
- さらに、UV光を全面照射し、UV粘着消失テープを剥膜して、個別の単体製品を得る請求項3〜6のいずれかのエッチング製品の製造方法。
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